WO2016021244A1 - 超音波観察装置、超音波観察装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

第１振動子３４と、第１振動子領域３８と、柱状部３７と、第１振動子領域３８における複数の第１上部電極３２と、柱状部３７の第２の面３７ｙとを配列方向Ｃに沿ってつなぐ膜部と、を有するシートと、膜部３５が外表となり、前記第１振動子領域３８において第２の端部３８ｂに位置する第１振動子３４ｂと柱状部３７とが付き合うようシートが丸められた状態において、柱状部３７と第１振動子３４ｂとの間を接着する接着部５０と、を具備している。

Description

超音波観察装置、超音波観察装置の製造方法

　本発明は、膜部に対して上下に電極を有する超音波振動子が複数固定されたシートが丸められ、シートの端部同士が接着された超音波観察装置、超音波観察装置の製造方法に関する。

 超音波振動子から被検部位に超音波を３６０°方向に繰り返し放射し、被検部位から反射される超音波のエコー信号を超音波振動子にて受信して、被検部位の二次元的な可視像である超音波画像を表示装置の画面上に表示させることができる超音波観察装置は周知である。

 また、日本国第特開２０１０－１７２２９号公報には、電子ラジアル型の超音波振動子を有する超音波観察装置を、被検体内に挿入される挿入部の先端に具備する超音波内視鏡の構成が開示されている。

 日本国第特開２０１０－１７２２９号公報に開示されているような電子ラジアル型の超音波振動子は、複数から構成されており、挿入部の円周方向に沿って、３６０°、所定の間隔を有して複数配列されている。

 具体的には、各超音波振動子は、通常、単板圧電素子の上下面に電極が設けられ、音響放射面となる圧電素子の上部電極が、３６０°に丸められた膜部に対して、複数の超音波振動子の配列方向において所定の間隔を有して固定されている。

 尚、各上部電極上に音響整合層が設けられている場合は、各音響整合層が、３６０°に丸められた膜部に対して、配列方向において所定の間隔を有して固定されている。

 よって、超音波観察装置は、３６０°に丸められた膜部に対して、複数の超音波振動子が配列方向において所定の間隔を有して固定されたシートを具備している。

 ここで、上述した超音波観察装置を製造する際、膜部に対して少なくとも複数の超音波振動子が固定されたシートを３６０°丸めて、シートが円形を有するよう、シートの各端部同士のつなぎ目を接着固定する必要がある。

 この際、膜部に少なくとも複数の超音波振動子が固定されたシートの振動子領域において、複数の超音波振動子の内、配列方向における第１の端部に固定された超音波振動子の下部電極と、つなぎ目において第１の端部に固定された超音波振動子に隣り合うとともに配列方向における第２の端部に固定される超音波振動子の下部電極とが接触して電気的にショートしてしまうことがないよう、つなぎ目を接着固定する必要がある。

 そこで、シートのつなぎ目に、接着剤とともにスペーサを差し込んで接着する手法、構成も周知ではあるが、シートのつなぎ目は、例えば数十μｍと微細なことからスペーサを差し込み難いといった問題があった。

 本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、簡単な構成かつ手法により、丸められたシートの各端部のつなぎ目において、隣り合う超音波振動子の下部電極同士の接触を防ぐことのできる超音波観察装置、超音波観察装置の製造方法を提供することを目的とする。

 本発明の一態様による超音波観察装置は、第１下部電極と、前記第１下部電極上に配置された第１圧電素子と、前記第１圧電素子上に所定の配列方向で配置された第１上部電極とを有する第１振動子と、前記第１振動子が所定の間隔を有して複数配列された第１振動子領域と、少なくとも第１の面が非導電性であるとともに、前記第１振動子領域において前記配列方向における第１の端部に位置する前記第１振動子に隣接して配置された柱状部と、可撓性を有するとともに、少なくとも前記第１振動子領域における複数の前記第１上部電極と、前記柱状部の前記第１の面に対向する第２の面とを前記配列方向に沿ってつなぐ膜部と、を有するシートと、前記膜部が外表となり、前記第１振動子領域において複数の前記第１振動子の内、前記配列方向における第２の端部に位置する前記第１振動子と前記柱状部とが付き合うよう前記シートが丸められた状態において、前記柱状部と、前記第２の端部に位置する前記第１振動子との間を接着する接着部と、を具備している。

　また、本発明の一態様による超音波観察装置の製造方法は、第１下部電極と、前記第１下部電極上に配置された第１圧電素子と、前記第１圧電素子上に配置された第１上部電極とを有する第１振動子と、前記第１振動子が所定の間隔を有して複数配列された第１振動子領域と、少なくとも第１の面が非導電性であるとともに、前記第１振動子領域において複数の前記第１振動子の内、複数の前記第１振動子の配列方向における第１の端部に位置する前記第１振動子に隣接して配置された柱状部と、可撓性を有するとともに、少なくとも前記第１振動子領域における複数の前記第１上部電極と、前記柱状部の前記第１の面に対向する第２の面とを前記配列方向に沿ってつなぐ膜部と、を有するシートを作製する工程と、前記シートを、前記膜部が外表となり、前記第１振動子領域において複数の前記第１振動子の内、前記配列方向における第２の端部に位置する前記第１振動子と前記柱状部とが付き合うよう丸める工程と、前記シートが丸められた状態において、前記柱状部と、前記第２の端部に位置する前記第１振動子との間を接着部により接着する工程と、を有している。

第１実施の形態の超音波観察装置を概略的に示す斜視図 図１中のII-II線に沿う超音波観察装置の部分断面図 図１の超音波観察装置から接着部を除去してシートを展開して示す断面図 図１の第１超音波振動子の第１上部電極が直接、膜部に固定された変形例を示す部分断面図 第２実施の形態の超音波観察装置のシートにおけるつなぎ目付近の部分断面図 図５の超音波観察装置から接着部を除去してシート全体を展開して示す断面図 第１、第２実施の形態の超音波観察装置を具備した超音波内視鏡装置を示す図

　以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。尚、図面は模式的なものであり、各部材の厚みと幅との関係、それぞれの部材の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。

（第1実施の形態）
　図１は、本実施の形態の超音波観察装置を概略的に示す斜視図、図２は、図１中のII-II線に沿う超音波観察装置の部分断面図である。

 また、図３は、図１の超音波観察装置から接着部を除去してシートを展開して示す断面図、図４は、図１の第１超音波振動子の第１上部電極が直接、膜部に固定された変形例を示す部分断面図である。

　図１に示すように、超音波観察装置３０は、シート３９と、接着部５０とを具備している。

 シート３９は、後述する配列方向Ｃに沿って３６０°丸められるとともに延在方向Ｈに沿って細長な形状を有している。

 具体的には、シート３９は、図３に示すように、複数の第１振動子３４と、第１振動子領域３８と、柱状部３７と、音響整合層３６と、膜部３５とを具備して主要部が構成されている。

　複数の第１振動子３４は、延在方向Ｈにおいて一端３９ｉから他端３９ｔまで延在しており、第１下部電極３３と、第１下部電極３３上に配置された第１圧電素子３１と、第１圧電素子３１上に配置された第１上部電極３２とをそれぞれ有する電子ラジアル型の超音波振動子である。

 また、複数の第１振動子３４は、それぞれ配列方向ＣにＣ１の幅を有するとともに、配列方向Ｃにおいて所定の間隔Ｃ２を有して配列されている。

　第１圧電素子３１は、振動に伴い、超音波を第１上部電極３２側に放射するとともに、被検部位から反射された音波を受信する。

 第１上部電極３２と第１下部電極３３とは、第１圧電素子３１に対してパルス電圧を印加することにより第１圧電素子３１を振動させるものである。また、第１上部電極３２はＧＮＤ電極を構成しているとともに、第１下部電極３３はプラス電極を構成している。

　第１振動子領域３８は、複数の第１振動子３４が、配列方向Ｃにおいて所定の間隔Ｃ２を有して複数配列されていることにより構成されている。

 尚、所定の間隔Ｃ２は、小さければ小さい程、Ｃ１を大きくでき、その結果として各第１振動子３４の感度が向上する。

　柱状部３７は、少なくとも第１の面３７ｘが非導電性であるとともに、第１振動子領域３８において、複数の第１振動子３４の内、配列方向Ｃにおける第１の端部３８ａに位置する第１振動子３４ａに対して所定の間隔Ｃ２を有して隣接して配置されている。

 また、柱状部３７は、配列方向ＣにＣ１の幅を有しているとともに、延在方向Ｈにおいて一端３９ｉから他端３９ｔまで延在している。尚、柱状部３７は、延在方向Ｈにおいて、一端３９ｉ及び他端３９ｔ付近のみに個別に設けられていても構わない。

　膜部３５は、可撓性を有するとともに、第１振動子領域３８における複数の第１上部電極３２と、柱状部３７の第１の面３７ｘに対向する第２の面３７ｙとを配列方向Ｃに沿ってつないでいる。尚、膜部３５は、音響整合層または音響レンズとして機能しても構わない。

　また、本実施の形態においては、図１～図３に示すように、各第１上部電極３２と膜部３５との間に、それぞれ音響整合層３６が配置されている構成を例に挙げて示しているが、即ち、各第１上部電極３２は、各音響整合層３６を介して、第２の面３７ｙと膜部３５によりつながれている構成を例に挙げて示している。

 これに限らず、図４に示すように、各第１上部電極３２は、直接、膜部３５に固定されることにより、各第１上部電極３２が第２の面３７ｙと膜部３５によりつながれている構成であっても構わない。

 接着部５０は、シート３９における延在方向Ｈにおいて一端３９ｉから他端３９ｔまで延在する空間となる配列方向Ｃの各端部３９ａ、３９ｂ間のつなぎ目Ｔを、延在方向Ｈに沿ってシート３９の一端３９ｉから他端３９ｔまで接着する。

 具体的には、接着部５０は、図１に示すように、膜部３５が外表となり、図２に示すように、第２の端部３８ｂに位置する第１振動子３４ｂと柱状部３７の非導電性を有する第１の面３７ｘの一部とが付き合うようにシート３９が丸められた状態において、シート３９の配列方向Ｃにおける各端部３９ａ、３９ｂ間のつなぎ目Ｔにおいて、柱状部３７と第１振動子３４ｂとの間を延在方向Ｈに沿って接着するものである。

 尚、接着部５０は、例えば接着剤から構成されている。また、接着部５０は、膜部３５と同じ材料から構成されていても構わない。

 次に、このように構成された超音波観察装置３０の製造方法について簡単に説明する。

 先ず、図３に示すシート３９を作製する工程を行う。シート３９を作製する場合は、先ず、膜部３５を形成する。次いで、膜部３５上に音響整合層３６を用いる場合は、音響整合層３６を、柱状部３７が形成される部位を除いて形成する。

 次いで、音響整合層３６上に上下面に電極３２、３３が形成された第１圧電素子３１を配列方向Ｃにおいて音響整合層３６と同じ幅に接合するとともに、膜部３５上に配列方向Ｃに幅Ｃ１を有する柱状部３７を接合する。

 その後、電極３２、３３、第１圧電素子３１、音響整合層３６に対して、配列方向Ｃにおいて幅Ｃ１毎に、ブレード幅Ｃ２を有するダイシングブレードを用いて配列方向Ｃに幅Ｃ２を有する溝を複数形成する。

　その結果、膜部３５上に音響整合層３６を介して、配列方向Ｃに所定の間隔Ｃ２を有して幅Ｃ１を有する複数の第１振動子３４が配列されるとともに、配列方向Ｃにおける第１振動子３４ａと柱状部３７との間に所定の間隔Ｃ２を有するシート３９が作製される。

　次いで、シート３９を、図１、図２に示すように、膜部３５が外表となり、第２の端部３８ｂに位置する第１振動子３４ｂと、柱状部３７の第１の面３７ｘの一部とが付き合うよう、３６０°丸める工程を行う。

　最後に、シート３９が丸められた状態において、配列方向Ｃにおける柱状部３７と第１振動子３４ｂとの間に接着部５０を注入して、接着部５０により接着する工程を行う。このことにより、超音波観察装置３０は製造される。

　このように、本実施の形態においては、超音波観察装置３０のシート３９における第１振動子領域３８において、複数の第１振動子３４の内、配列方向Ｃにおける第１の端部３８ａに位置する第１振動子３４ａに対して所定の間隔Ｃ２を有して隣接して、少なくとも第１の面３７ｘが非導電性を有する柱状部３７が配置されていると示した。

　また、接着部５０は、膜部３５が外表となり、第２の端部３８ｂに位置する第１振動子３４ｂと柱状部３７の非導電性を有する第１の面３７ｘの一部とが付き合うようにシート３９が丸められた状態において、シート３９のつなぎ目Ｔにおいて、配列方向Ｃにおける柱状部３７と第１振動子３４ｂとの間を延在方向Ｈに沿って接着すると示した。

　このことによれば、シート３９のつなぎ目Ｔにおいて、第１振動子３４ｂの下部電極３３には、柱状部３７の非導電性を有する第１の面３７ｘの一部が接触していることから、従来のように第１振動子３４ａの下部電極３３が接触してしまうことがない。

 このため、第１振動子３４ｂと第１振動子３４ａとのつなぎ目Ｔにおける電気的なショートを、上述したスペーサ等を別途用いなくとも柱状部３７により確実に防ぐことができるため、超音波観察装置３０の製造歩留まりが向上する。

 尚、このことは、各第１振動子３４の感度を向上させるため所定の間隔Ｃ２を小さくした場合において特に有効である。

　また、柱状部３７の第１の面３７ｘの一部が第１振動子３４ｂに付き合っていることにより、つなぎ目Ｔに注入した接着部５０がシート３９の内周側に流れ出てしまうことが無い。このため、接着剤の流出分を補填する作業を追加で行わなくとも済む可能性がある。

　さらに、作業者は、柱状部３７の第１の面３７ｘの一部を第１振動子３４ｂに付き当て、つなぎ目Ｔに接着部５０を注入するのみにより、つなぎ目Ｔの接着作業を行うことができることから、つなぎ目Ｔの位置合わせを容易に行うことができるとともに、接着作業性が向上する。

　以上から、簡単な構成かつ手法により、丸められたシートの各端部のつなぎ目において、隣り合う超音波振動子の下部電極同士の接触を防ぐことのできる超音波観察装置、超音波観察装置の製造方法を提供することができる。

（第２実施の形態）
　図５は、本実施の形態の超音波観察装置のシートにおけるつなぎ目付近の部分断面図、図６は、図５の超音波観察装置から接着部を除去してシート全体を展開して示す断面図である。

 この第２実施の形態の超音波観察装置の構成は、上述した図１～図４に示した第１実施の形態の超音波観察装置と比して、柱状部が少なくとも第２振動子から構成されている点が異なる。よって、この相違点のみを説明し、第１実施の形態と同様の構成には同じ符号を付し、その説明は省略する。

　図６に示すように、本実施の形態において、シート１３９は、複数の第１振動子３４と、第１振動子領域３８と、柱状部１３７と、音響整合層３６、１３６と、膜部３５とを具備して主要部が構成されている。

　柱状部１３７は、後述する少なくとも第１の面１３７ｘが非導電性であるとともに、複数の第１振動子３４の内、配列方向Ｃにおける第１の端部３８ａに位置する第１振動子３４ａに対して所定の間隔Ｃ２を有して隣接して配置されている。

 また、柱状部１３７は、配列方向Ｃにおいて、幅Ｃ１よりもＣ２だけ大きなＣ３の幅を有しているとともに、延在方向Ｈにおいて一端３９ｉから他端３９ｔまで延在している。

　より具体的には、柱状部１３７は、第２下部電極１３３と、第２下部電極１３３上に配置された第２圧電素子１３１と、第２圧電素子１３１上に配置された第２上部電極１３２とをそれぞれ有する第２振動子を少なくとも具備しており、第２振動子は、配列方向ＣにＣ３の幅を有している電子ラジアル型の超音波振動子である。

　第２圧電素子１３１は、第１圧電素子３１と同様に、振動に伴い、超音波を第２上部電極１３２側に放射するとともに、被検部位から反射された音波を受信する。

 第２上部電極１３２と第２下部電極１３３とは、第２圧電素子１３１に対してパルス電圧を印加することにより第２圧電素子１３１を振動させるものである。また、第２上部電極１３２はＧＮＤ電極を構成しているとともに、第２下部電極１３３はプラス電極を構成している。

　また、図５に示すように、柱状部１３７において、第２下部電極１３３の配列方向Ｃにおける端部１３３ａが、第１振動子領域３８の第２の端部３８ｂから所定の距離Ｃ２離間して位置していることにより、第２圧電素子１３１の一部が露出され、露出された第２圧電素子１３１下に第１の面１３７ｘが構成されている。

 尚、所定の距離Ｃ２は、第１振動子領域３８における複数の第１振動子３４の配列方向Ｃにおける所定の間隔Ｃ２に一致している。

　第１の面１３７ｘは、第２下部電極１３３におけるシート１３９の配列方向Ｃの端部１３９ａ側が、第２圧電素子１３１の一部とともに、ブレード幅Ｃ２を有するダイシングブレードを用いてダイシングされ、切り欠きＫが形成されることにより、切り欠きＫによって露出される第２圧電素子１３１下に、配列方向Ｃに所定の距離Ｃ２を有して構成されている。また、前述した第１の面１３７Ｘは、第２下部電極１３３をエッチングして、露出部Ｋを設けてもよい。

　尚、柱状部１３７は、延在方向Ｈにおいて、シート１３９の延在方向Ｈの一端及び他端付近のみに個別に設けられていても構わない。

　膜部３５は、可撓性を有するとともに、第１振動子領域３８における複数の第１上部電極３２と、柱状部１３７の第１の面１３７ｘに対向する第２の面１３７ｙとを配列方向Ｃに沿ってつないでいる。

　また、本実施の形態においては、図５、図６に示すように、柱状部１３７は、第２上部電極１３２と膜部３５との間に、音響整合層１３６を具備している構成を例に挙げて示しているが、これに限らず、第２上部電極１３２は、直接、膜部３５に固定されていても構わない。

　接着部５０は、図５に示すように、膜部３５が外表となり、第２の端部３８ｂに位置する第１振動子３４ｂと柱状部１３７の非導電性を有する第１の面１３７ｘの一部とが付き合うようにシート１３９が丸められた状態において、シート１３９の配列方向Ｃにおける各端部１３９ａ、１３９ｂ間のつなぎ目Ｔにおいて、柱状部１３７と第１振動子３４ｂとの間を延在方向Ｈに沿って接着するものである。

 尚、接着部５０は、本実施の形態においても、例えば接着剤から構成されている。また、接着部５０は、膜部３５と同じ材料から構成されていても構わない。

 また、本実施に形態においては、図５に示すように、第１振動子３４ｂと柱状部１３７の非導電性を有する第１の面１３７ｘの一部とが付き合うつなぎ目Ｔにおいても、上述したように、第１振動子領域３８における複数の第１振動子３４の配列方向Ｃにおける所定の間隔Ｃ２に一致する所定の距離Ｃ２が生じている。

　次に、このように構成された超音波観察装置３０の製造方法について簡単に説明する。

 先ず、図６に示すシート１３９を作製する工程を行う。シート１３９を作製する場合は、先ず、膜部３５を形成する。次いで、膜部３５上に音響整合層３６、１３６を用いる場合は、音響整合層３６、１３６を同時に形成する。

 次いで、音響整合層３６および音響整合層１３６上に上下面に電極３２、３３および電極１３２、１３３が形成された第１圧電素子３１および第２圧電素子１３２を配列方向Ｃにおいて音響整合層３６および音響整合層１３６と同じ幅に接合する。

 その後、電極３２、３３、第１圧電素子３１、音響整合層３６に対して、配列方向Ｃにおいて幅Ｃ１毎に、ブレード幅Ｃ２を有するダイシングブレードを用いて配列方向Ｃに幅Ｃ２を有する溝を複数形成する。

 さらに、シート１３９の端部１３９ａ側における電極１３３の一部及び第２圧電素子１３１の一部に対して、ブレード幅Ｃ２を有するダイシングブレードを用いて配列方向Ｃに幅Ｃ２を有する溝を形成することにより、切り欠きＫを形成する。もしくは、エッチング幅Ｃ２でエッチングすることにより露出部Ｋを形成する。

 その結果、膜部３５上に音響整合層３６を介して、配列方向Ｃに所定の間隔Ｃ２を有して幅Ｃ１を有する複数の第１振動子３４が配列されるとともに、配列方向Ｃにおける第１振動子３４ａと柱状部１３７との間に所定の間隔Ｃ２を有し、さらに、柱状部１３７のシート１３９の端部１３９ａ側において、端部１３３ａと端部１３９ａとの間に所定の距離Ｃ２を有する切り欠きＫが形成されたシート１３９が作製される。

　次いで、シート１３９を、図５に示すように、膜部３５が外表となり、第２の端部３８ｂに位置する第１振動子３４ｂと、柱状部１３７の第１の面１３７ｘの一部とが付き合うよう、３６０°丸める工程を行う。

　最後に、シート１３９が丸められた状態において、配列方向Ｃにおける柱状部１３７と第１振動子３４ｂとの間に接着部５０を注入して、接着部５０により接着する工程を行う。このことにより、超音波観察装置３０は製造される。

 このように、本実施の形態においては、超音波観察装置３０のシート１３９における第１振動子領域３８において、複数の第１振動子３４の内、配列方向Ｃにおける第１の端部３８ａに位置する第１振動子３４ａに対して所定の間隔Ｃ２を有して隣接して、少なくとも第１の面１３７ｘが非導電性を有する柱状部１３７が配置されていると示した。

　また、柱状部１３７は、少なくとも第２下部電極１３３と、第２下部電極１３３上に配置された第２圧電素子１３１と、第２圧電素子１３１上に配置された第２上部電極１３２とをそれぞれ有する第２振動子を具備していると示した。

 さらに、第１の面１３７ｘは、第２下部電極１３３におけるシート１３９の端部１３９ａ側が、第２圧電素子１３１の一部とともに、ブレード幅Ｃ２を有するダイシングブレードを用いてダイシングされて切り欠きＫが形成されることにより、もしくはエッチング幅Ｃ２でエッチングされることによって、切り欠きＫまたは露出部Ｋによって露出される第２圧電素子１３１下に、配列方向Ｃに所定の距離Ｃ２を有して構成されていると示した。

 尚、所定の距離Ｃ２は、第１振動子領域３８における複数の第１振動子３４の配列方向Ｃにおける所定の間隔Ｃ２に一致していると示した。

 さらに、接着部５０は、膜部３５が外表となり、第２の端部３８ｂに位置する第１振動子３４ｂと柱状部１３７の非導電性を有する第１の面１３７ｘの一部とが付き合うようにシート１３９が丸められた状態において、シート１３９のつなぎ目Ｔにおいて、配列方向Ｃにおいて、柱状部１３７と第１振動子３４ｂとの間を延在方向Ｈに沿って接着すると示した。

　このことによれば、シート１３９のつなぎ目Ｔにおいて、第１振動子３４ｂの下部電極３３には、第２振動子１３４の非導電性を有する第１の面１３７ｘの一部が接触していることから、第１振動子３４ａの下部電極３３が第２振動子１３４の下部電極１３３に接触してしまうことがない。

 このため、本実施の形態においても、第１振動子３４ｂと第２振動子１３４とのつなぎ目Ｔにおける電気的なショートを、上述したスペーサ等を別途用いなくとも柱状部１３７により確実に防ぐことができる。

　また、柱状部１３７の第１の面１３７ｘの一部が第１振動子３４ｂに付き合っていることにより、つなぎ目Ｔに注入した接着部５０がシート１３９の内周側に流れ出てしまうことが無い。

 また、柱状部１３７における第２振動子１３４に対し、所定の距離Ｃ２を有する切り欠きＫが形成されていることにより、第１振動子３４ｂと柱状部１３７の非導電性を有する第１の面１３７ｘの一部とが付き合うつなぎ目Ｔにおいても、上述したように、第１振動子領域３８における複数の第１振動子３４の配列方向Ｃにおける所定の間隔Ｃ２に一致する所定の距離Ｃ２が生じている。

 このことから、シート１３９には、全周に亘って複数の振動子が間隔Ｃ２を有して等間隔に設けられていることから、超音波観察装置３０によって取得した被検部位の超音波画像に乱れが生じてしまうことを防ぐことができる。

　さらに、作業者は、柱状部１３７の第１の面１３７ｘの一部を第１振動子３４ｂに付き当て、つなぎ目Ｔに接着部５０を注入するのみにより、つなぎ目Ｔの接着作業を行うとともに、つなぎ目Ｔに所定の距離Ｃ２を生じさせる位置合わせも簡単に行うことができることから、接着作業性が向上する。

　また、柱状部１３７を構成する第２振動子１３４も配列方向Ｃにおいて切り欠きＫまたは、露出部Ｋを除く部位が、第１振動子３４と同様に幅Ｃ１を有しているとともに、第１振動子３４ａに対して、複数の第１振動子３４ａ間の所定の間隔Ｃ２と同じ所定の間隔Ｃ２を有して離間していることから、柱状部１３７を設けることにより、超音波観察装置３０によって取得した被検部位の超音波画像に乱れが生じてしまうことを防ぐことができる。

　尚、その他の効果は、上述した第１実施の形態と同じである。

 以下、上述した第１、第２実施の形態に用いた超音波観察装置３０を有する超音波内視鏡装置の構成の一例を、図７を用いて説明する。図７は、第１、第２実施の形態の超音波観察装置を具備した超音波内視鏡装置を示す図である。

　図７に示すように、超音波内視鏡装置１００は、超音波内視鏡１と、光源装置１１と、ビデオプロセッサ１２と、観測装置１４と、吸引ポンプ１５と、送水タンク１６とを具備している。

 超音波内視鏡１は、細長な挿入部２と、操作部３と、操作部３から延出された可撓性を有するユニバーサルコード４と、該ユニバーサルコード４の延出端に設けられた内視鏡コネクタ５とにより主要部が構成されている。

 内視鏡コネクタ５に、光源コネクタ６と、電気コネクタ７と、超音波コネクタ８と、吸引口金９と、送気送水口金１０とが設けられている。

 光源コネクタ６に、図示しないライトガイドを介して被検体内に照明光を供給する光源装置１１が着脱自在な構成となっている。

 また、電気コネクタ７に、図示しないイメージガイドや信号ケーブルを介して各種の信号処理等を行うビデオプロセッサ１２が着脱自在な構成となっている。

 さらに、超音波観察装置３０内の振動子３４、１３４から延出する超音波振動子ケーブル４０の基端側に設けられたコネクタ４５が電気的に接続された超音波コネクタ８に、超音波ケーブル１３を介して観測装置１４が着脱自在な構成となっている。

 また、図示しない処置具挿通チャンネルの他端の開口に設けられた吸引口金９に、図示しない吸引チューブを介して吸引ポンプ１５が着脱自在な構成となっている。さらに、図示しない流体供給管路に接続された送気送水口金１０に、図示しない送気・送水チューブを介して送水タンク１６が着脱自在な構成となっている。

　観測装置１４は、超音波内視鏡１の各種動作制御を行うものであって、例えば超音波振動子の駆動制御や、この超音波振動子の駆動制御によって取得した電気信号の信号処理を行って映像信号を生成する動作を行う。

　尚、観測装置１４で生成された映像信号は、図示しない表示装置に出力される。その結果、この映像信号を受けた表示装置の画面上には超音波画像が表示される。

　超音波内視鏡１の挿入部２は、先端側から順に、先端部２１と、例えば上下方向及び左右方向に湾曲自在に構成された湾曲部２２と、長尺でかつ可撓性を有する可撓管部２３とが連設されて構成されている。尚、先端部２１内に、超音波観察装置３０が位置している。

 操作部３に、湾曲部２２の湾曲操作を行う湾曲操作ノブ２５、２６が設けられている。また、操作部３の挿入部２側の位置には、処置具を、処置具挿通チャンネルを介して体内に導入する処置具挿通口金２７が設けられている。

 ビデオプロセッサ１２は、先端部２１内に設けられた図示しない撮像ユニットから伝送された電気信号に対して信号処理を行うことにより、標準的な映像信号を生成し、その映像信号を図示しない表示装置に出力し、表示装置の画面上に内視鏡観察画像を表示させるものである。

 尚、上述した超音波内視鏡１の構成は、あくまでも一例であり、図７の構成に限定されないことは勿論である。

 また、超音波観察装置３０は、超音波内視鏡装置１００以外の装置、例えば超音波処置具を有する装置にも適用可能である。

　さらに、上述した第１、第２実施の形態においては、第１振動子３４、第２振動子１３４は、電子ラジアル型の超音波振動子であると示したが、これに限らず、Ｃ－ＭＵＴ（Capacitive micromachined ultrasonic transducers）型の超音波振動子にも適用可能であることは云うまでもない。

　本出願は、２０１４年８月８日に日本国に出願された特願２０１４－１６２８０７号を優先権主張の基礎として出願するものであり、上記の内容は、本願明細書、請求の範囲、図面に引用されたものである。

Claims (6)

1.  第１下部電極と、前記第１下部電極上に配置された第１圧電素子と、前記第１圧電素子上に所定の配列方向で配置された第１上部電極とを有する第１振動子と、
   　前記第１振動子が所定の間隔を有して複数配列された第１振動子領域と、
   　少なくとも第１の面が非導電性であるとともに、前記第１振動子領域において前記配列方向における第１の端部に位置する前記第１振動子に隣接して配置された柱状部と、
   　可撓性を有するとともに、少なくとも前記第１振動子領域における複数の前記第１上部電極と、前記柱状部の前記第１の面に対向する第２の面とを前記配列方向に沿ってつなぐ膜部と、
   　を有するシートと、
   　前記膜部が外表となり、前記第１振動子領域において複数の前記第１振動子の内、前記配列方向における第２の端部に位置する前記第１振動子と前記柱状部とが付き合うよう前記シートが丸められた状態において、前記柱状部と、前記第２の端部に位置する前記第１振動子との間を接着する接着部と、
   　を具備していることを特徴とする超音波観察装置。
2. 　前記柱状部は、
   　少なくとも第２下部電極と、前記第２下部電極上に配置された第２圧電素子と、前記第２圧電素子上に配置された第２上部電極とを有する第２振動子から構成されており、
   　前記第２下部電極が前記第２の端部から所定の距離離間して位置していることにより前記第２圧電素子の一部が露出され、露出された前記第２圧電素子下に前記第１の面が構成されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波観察装置。
3. 　前記第２振動子の前記第１の面は、少なくとも前記第２下部電極の一部がダイシングされることによって露出される前記第２圧電素子下に構成されていることを特徴とする請求項２に記載の超音波観察装置。
4. 　前記所定の距離は、前記第１振動子領域における複数の前記第１振動子の前記配列方向における前記所定の間隔に一致していることを特徴とする請求項２または３に記載の超音波観察装置。
5. 　前記第１上部電極と前記膜部との間に、音響整合層が配置されていることを特徴とする請求項１～４のいずれか１項に記載の超音波観察装置。
6. 　第１下部電極と、前記第１下部電極上に配置された第１圧電素子と、前記第１圧電素子上に配置された第１上部電極とを有する第１振動子と、
    前記第１振動子が所定の間隔を有して複数配列された第１振動子領域と、
   　少なくとも第１の面が非導電性であるとともに、前記第１振動子領域において複数の前記第１振動子の内、複数の前記第１振動子の配列方向における第１の端部に位置する前記第１振動子に隣接して配置された柱状部と、
   　可撓性を有するとともに、少なくとも前記第１振動子領域における複数の前記第１上部電極と、前記柱状部の前記第１の面に対向する第２の面とを前記配列方向に沿ってつなぐ膜部と、
   　を有するシートを作製する工程と、
    前記シートを、前記膜部が外表となり、前記第１振動子領域において複数の前記第１振動子の内、前記配列方向における第２の端部に位置する前記第１振動子と前記柱状部とが付き合うよう丸める工程と、
   　前記シートが丸められた状態において、前記柱状部と、前記第２の端部に位置する前記第１振動子との間を接着部により接着する工程と、
   　を有していることを特徴とする超音波観察装置の製造方法。
   　

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