JP4860351B2 - 曲面貼着方法および超音波プローブ - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 8
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 claims description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 4
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N Lead zirconate titanate Chemical compound data:image/svg+xml;base64,<?xml version='1.0' encoding='iso-8859-1'?>
<svg version='1.1' baseProfile='full'
              xmlns='http://www.w3.org/2000/svg'
                      xmlns:rdkit='http://www.rdkit.org/xml'
                      xmlns:xlink='http://www.w3.org/1999/xlink'
                  xml:space='preserve'
width='300px' height='300px' viewBox='0 0 300 300'>
<!-- END OF HEADER -->
<rect style='opacity:1.0;fill:#FFFFFF;stroke:none' width='300.0' height='300.0' x='0.0' y='0.0'> </rect>
<text x='13.6' y='243.7' class='atom-0' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='35.5' y='231.1' class='atom-0' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='44.9' y='231.1' class='atom-0' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='66.3' y='243.7' class='atom-1' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='88.2' y='231.1' class='atom-1' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='97.5' y='231.1' class='atom-1' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='13.6' y='191.0' class='atom-2' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='35.5' y='178.4' class='atom-2' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='44.9' y='178.4' class='atom-2' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='119.0' y='243.7' class='atom-3' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='140.9' y='231.1' class='atom-3' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='150.2' y='231.1' class='atom-3' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='13.6' y='138.3' class='atom-4' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='35.5' y='125.7' class='atom-4' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='44.9' y='125.7' class='atom-4' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='171.7' y='243.7' class='atom-5' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >T</text>
<text x='193.6' y='243.7' class='atom-5' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >i</text>
<text x='201.5' y='231.1' class='atom-5' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >4</text>
<text x='213.4' y='231.1' class='atom-5' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >+</text>
<text x='13.6' y='85.6' class='atom-6' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >Z</text>
<text x='35.5' y='85.6' class='atom-6' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >r</text>
<text x='47.3' y='73.0' class='atom-6' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >4</text>
<text x='59.3' y='73.0' class='atom-6' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >+</text>
<text x='224.4' y='243.7' class='atom-7' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >P</text>
<text x='246.3' y='243.7' class='atom-7' style='font-size:31px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >b</text>
<text x='264.4' y='231.1' class='atom-7' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >2</text>
<text x='275.4' y='231.1' class='atom-7' style='font-size:20px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >+</text>
<path d='M 286.3,224.7 L 286.3,224.6 L 286.3,224.5 L 286.3,224.3 L 286.2,224.2 L 286.2,224.1 L 286.1,224.0 L 286.1,223.9 L 286.0,223.7 L 285.9,223.6 L 285.8,223.6 L 285.7,223.5 L 285.6,223.4 L 285.4,223.3 L 285.3,223.3 L 285.2,223.2 L 285.1,223.2 L 284.9,223.2 L 284.8,223.2 L 284.7,223.2 L 284.5,223.2 L 284.4,223.2 L 284.3,223.3 L 284.1,223.3 L 284.0,223.4 L 283.9,223.4 L 283.8,223.5 L 283.7,223.6 L 283.6,223.7 L 283.5,223.8 L 283.4,223.9 L 283.3,224.0 L 283.3,224.2 L 283.2,224.3 L 283.2,224.4 L 283.2,224.5 L 283.2,224.7 L 283.2,224.8 L 283.2,225.0 L 283.2,225.1 L 283.2,225.2 L 283.3,225.3 L 283.3,225.5 L 283.4,225.6 L 283.5,225.7 L 283.6,225.8 L 283.7,225.9 L 283.8,226.0 L 283.9,226.1 L 284.0,226.1 L 284.1,226.2 L 284.3,226.2 L 284.4,226.3 L 284.5,226.3 L 284.7,226.3 L 284.8,226.3 L 284.9,226.3 L 285.1,226.3 L 285.2,226.3 L 285.3,226.2 L 285.4,226.2 L 285.6,226.1 L 285.7,226.0 L 285.8,225.9 L 285.9,225.9 L 286.0,225.8 L 286.1,225.6 L 286.1,225.5 L 286.2,225.4 L 286.2,225.3 L 286.3,225.2 L 286.3,225.0 L 286.3,224.9 L 286.3,224.7 L 284.8,224.7 Z' style='fill:#000000;fill-rule:evenodd;fill-opacity:1;stroke:#000000;stroke-width:0.0px;stroke-linecap:butt;stroke-linejoin:miter;stroke-opacity:1;' />
<path d='M 286.3,231.1 L 286.3,230.9 L 286.3,230.8 L 286.3,230.7 L 286.2,230.5 L 286.2,230.4 L 286.1,230.3 L 286.1,230.2 L 286.0,230.1 L 285.9,230.0 L 285.8,229.9 L 285.7,229.8 L 285.6,229.7 L 285.4,229.7 L 285.3,229.6 L 285.2,229.6 L 285.1,229.5 L 284.9,229.5 L 284.8,229.5 L 284.7,229.5 L 284.5,229.5 L 284.4,229.5 L 284.3,229.6 L 284.1,229.6 L 284.0,229.7 L 283.9,229.8 L 283.8,229.8 L 283.7,229.9 L 283.6,230.0 L 283.5,230.1 L 283.4,230.2 L 283.3,230.4 L 283.3,230.5 L 283.2,230.6 L 283.2,230.7 L 283.2,230.9 L 283.2,231.0 L 283.2,231.1 L 283.2,231.3 L 283.2,231.4 L 283.2,231.5 L 283.3,231.7 L 283.3,231.8 L 283.4,231.9 L 283.5,232.0 L 283.6,232.1 L 283.7,232.2 L 283.8,232.3 L 283.9,232.4 L 284.0,232.5 L 284.1,232.5 L 284.3,232.6 L 284.4,232.6 L 284.5,232.6 L 284.7,232.7 L 284.8,232.7 L 284.9,232.6 L 285.1,232.6 L 285.2,232.6 L 285.3,232.5 L 285.4,232.5 L 285.6,232.4 L 285.7,232.4 L 285.8,232.3 L 285.9,232.2 L 286.0,232.1 L 286.1,232.0 L 286.1,231.9 L 286.2,231.7 L 286.2,231.6 L 286.3,231.5 L 286.3,231.3 L 286.3,231.2 L 286.3,231.1 L 284.8,231.1 Z' style='fill:#000000;fill-rule:evenodd;fill-opacity:1;stroke:#000000;stroke-width:0.0px;stroke-linecap:butt;stroke-linejoin:miter;stroke-opacity:1;' />
</svg>
 data:image/svg+xml;base64,<?xml version='1.0' encoding='iso-8859-1'?>
<svg version='1.1' baseProfile='full'
              xmlns='http://www.w3.org/2000/svg'
                      xmlns:rdkit='http://www.rdkit.org/xml'
                      xmlns:xlink='http://www.w3.org/1999/xlink'
                  xml:space='preserve'
width='85px' height='85px' viewBox='0 0 85 85'>
<!-- END OF HEADER -->
<rect style='opacity:1.0;fill:#FFFFFF;stroke:none' width='85.0' height='85.0' x='0.0' y='0.0'> </rect>
<text x='3.4' y='68.0' class='atom-0' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='9.4' y='64.5' class='atom-0' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='12.0' y='64.5' class='atom-0' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='18.0' y='68.0' class='atom-1' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='24.0' y='64.5' class='atom-1' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='26.6' y='64.5' class='atom-1' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='3.4' y='53.4' class='atom-2' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='9.4' y='49.9' class='atom-2' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='12.0' y='49.9' class='atom-2' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='32.6' y='68.0' class='atom-3' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='38.6' y='64.5' class='atom-3' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='41.2' y='64.5' class='atom-3' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='3.4' y='38.8' class='atom-4' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >O</text>
<text x='9.4' y='35.3' class='atom-4' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >2</text>
<text x='12.0' y='35.3' class='atom-4' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#E84235' >-</text>
<text x='47.2' y='68.0' class='atom-5' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >T</text>
<text x='53.3' y='68.0' class='atom-5' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >i</text>
<text x='55.5' y='64.5' class='atom-5' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >4</text>
<text x='58.8' y='64.5' class='atom-5' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >+</text>
<text x='3.4' y='24.1' class='atom-6' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >Z</text>
<text x='9.4' y='24.1' class='atom-6' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >r</text>
<text x='12.7' y='20.6' class='atom-6' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >4</text>
<text x='16.0' y='20.6' class='atom-6' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >+</text>
<text x='61.8' y='68.0' class='atom-7' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >P</text>
<text x='67.9' y='68.0' class='atom-7' style='font-size:8px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >b</text>
<text x='72.9' y='64.5' class='atom-7' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >2</text>
<text x='76.0' y='64.5' class='atom-7' style='font-size:5px;font-style:normal;font-weight:normal;fill-opacity:1;stroke:none;font-family:sans-serif;text-anchor:start;fill:#3B4143' >+</text>
<path d='M 80.7,62.7 L 80.7,62.7 L 80.7,62.7 L 80.7,62.6 L 80.7,62.6 L 80.7,62.5 L 80.7,62.5 L 80.7,62.5 L 80.6,62.4 L 80.6,62.4 L 80.6,62.4 L 80.6,62.4 L 80.5,62.4 L 80.5,62.3 L 80.5,62.3 L 80.4,62.3 L 80.4,62.3 L 80.4,62.3 L 80.3,62.3 L 80.3,62.3 L 80.2,62.3 L 80.2,62.3 L 80.2,62.3 L 80.1,62.3 L 80.1,62.3 L 80.1,62.4 L 80.0,62.4 L 80.0,62.4 L 80.0,62.4 L 80.0,62.5 L 79.9,62.5 L 79.9,62.5 L 79.9,62.6 L 79.9,62.6 L 79.9,62.6 L 79.9,62.7 L 79.9,62.7 L 79.9,62.7 L 79.9,62.8 L 79.9,62.8 L 79.9,62.9 L 79.9,62.9 L 79.9,62.9 L 79.9,63.0 L 80.0,63.0 L 80.0,63.0 L 80.0,63.0 L 80.0,63.1 L 80.1,63.1 L 80.1,63.1 L 80.1,63.1 L 80.2,63.1 L 80.2,63.2 L 80.2,63.2 L 80.3,63.2 L 80.3,63.2 L 80.4,63.2 L 80.4,63.2 L 80.4,63.1 L 80.5,63.1 L 80.5,63.1 L 80.5,63.1 L 80.6,63.1 L 80.6,63.1 L 80.6,63.0 L 80.6,63.0 L 80.7,63.0 L 80.7,62.9 L 80.7,62.9 L 80.7,62.9 L 80.7,62.8 L 80.7,62.8 L 80.7,62.8 L 80.7,62.7 L 80.3,62.7 Z' style='fill:#000000;fill-rule:evenodd;fill-opacity:1;stroke:#000000;stroke-width:0.0px;stroke-linecap:butt;stroke-linejoin:miter;stroke-opacity:1;' />
<path d='M 80.7,64.5 L 80.7,64.4 L 80.7,64.4 L 80.7,64.4 L 80.7,64.3 L 80.7,64.3 L 80.7,64.3 L 80.7,64.2 L 80.6,64.2 L 80.6,64.2 L 80.6,64.1 L 80.6,64.1 L 80.5,64.1 L 80.5,64.1 L 80.5,64.1 L 80.4,64.1 L 80.4,64.1 L 80.4,64.0 L 80.3,64.0 L 80.3,64.0 L 80.2,64.0 L 80.2,64.1 L 80.2,64.1 L 80.1,64.1 L 80.1,64.1 L 80.1,64.1 L 80.0,64.1 L 80.0,64.2 L 80.0,64.2 L 80.0,64.2 L 79.9,64.2 L 79.9,64.3 L 79.9,64.3 L 79.9,64.4 L 79.9,64.4 L 79.9,64.4 L 79.9,64.5 L 79.9,64.5 L 79.9,64.5 L 79.9,64.6 L 79.9,64.6 L 79.9,64.6 L 79.9,64.7 L 79.9,64.7 L 80.0,64.7 L 80.0,64.8 L 80.0,64.8 L 80.0,64.8 L 80.1,64.8 L 80.1,64.9 L 80.1,64.9 L 80.2,64.9 L 80.2,64.9 L 80.2,64.9 L 80.3,64.9 L 80.3,64.9 L 80.4,64.9 L 80.4,64.9 L 80.4,64.9 L 80.5,64.9 L 80.5,64.9 L 80.5,64.9 L 80.6,64.8 L 80.6,64.8 L 80.6,64.8 L 80.6,64.8 L 80.7,64.7 L 80.7,64.7 L 80.7,64.7 L 80.7,64.6 L 80.7,64.6 L 80.7,64.6 L 80.7,64.5 L 80.7,64.5 L 80.3,64.5 Z' style='fill:#000000;fill-rule:evenodd;fill-opacity:1;stroke:#000000;stroke-width:0.0px;stroke-linecap:butt;stroke-linejoin:miter;stroke-opacity:1;' />
</svg>
 [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000006011 modification reaction Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- VHOQXEIFYTTXJU-UHFFFAOYSA-N 2-methylbuta-1,3-diene;2-methylprop-1-ene Chemical compound data:image/svg+xml;base64,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 data:image/svg+xml;base64,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 CC(C)=C.CC(=C)C=C VHOQXEIFYTTXJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004709 Chlorinated polyethylene Substances 0.000 description 1
- 230000037250 Clearance Effects 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000035512 clearance Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000001727 in vivo Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 description 1
- 229910000529 magnetic ferrite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound data:image/svg+xml;base64,PD94bWwgdmVyc2lvbj0nMS4wJyBlbmNvZGluZz0naXNvLTg4NTktMSc/Pgo8c3ZnIHZlcnNpb249JzEuMScgYmFzZVByb2ZpbGU9J2Z1bGwnCiAgICAgICAgICAgICAgeG1sbnM9J2h0dHA6Ly93d3cudzMub3JnLzIwMDAvc3ZnJwogICAgICAgICAgICAgICAgICAgICAgeG1sbnM6cmRraXQ9J2h0dHA6Ly93d3cucmRraXQub3JnL3htbCcKICAgICAgICAgICAgICAgICAgICAgIHhtbG5zOnhsaW5rPSdodHRwOi8vd3d3LnczLm9yZy8xOTk5L3hsaW5rJwogICAgICAgICAgICAgICAgICB4bWw6c3BhY2U9J3ByZXNlcnZlJwp3aWR0aD0nMzAwcHgnIGhlaWdodD0nMzAwcHgnIHZpZXdCb3g9JzAgMCAzMDAgMzAwJz4KPCEtLSBFTkQgT0YgSEVBREVSIC0tPgo8cmVjdCBzdHlsZT0nb3BhY2l0eToxLjA7ZmlsbDojRkZGRkZGO3N0cm9rZTpub25lJyB3aWR0aD0nMzAwLjAnIGhlaWdodD0nMzAwLjAnIHg9JzAuMCcgeT0nMC4wJz4gPC9yZWN0Pgo8dGV4dCB4PScxMzguMCcgeT0nMTcwLjAnIGNsYXNzPSdhdG9tLTAnIHN0eWxlPSdmb250LXNpemU6NDBweDtmb250LXN0eWxlOm5vcm1hbDtmb250LXdlaWdodDpub3JtYWw7ZmlsbC1vcGFjaXR5OjE7c3Ryb2tlOm5vbmU7Zm9udC1mYW1pbHk6c2Fucy1zZXJpZjt0ZXh0LWFuY2hvcjpzdGFydDtmaWxsOiMzQjQxNDMnID5TPC90ZXh0Pgo8dGV4dCB4PScxNjUuNicgeT0nMTcwLjAnIGNsYXNzPSdhdG9tLTAnIHN0eWxlPSdmb250LXNpemU6NDBweDtmb250LXN0eWxlOm5vcm1hbDtmb250LXdlaWdodDpub3JtYWw7ZmlsbC1vcGFjaXR5OjE7c3Ryb2tlOm5vbmU7Zm9udC1mYW1pbHk6c2Fucy1zZXJpZjt0ZXh0LWFuY2hvcjpzdGFydDtmaWxsOiMzQjQxNDMnID5pPC90ZXh0Pgo8cGF0aCBkPSdNIDE3OC45LDEzOC4wIEwgMTc4LjksMTM3LjggTCAxNzguOSwxMzcuNyBMIDE3OC44LDEzNy41IEwgMTc4LjgsMTM3LjMgTCAxNzguNywxMzcuMiBMIDE3OC42LDEzNy4wIEwgMTc4LjUsMTM2LjkgTCAxNzguNCwxMzYuNyBMIDE3OC4zLDEzNi42IEwgMTc4LjIsMTM2LjUgTCAxNzguMSwxMzYuNCBMIDE3Ny45LDEzNi4zIEwgMTc3LjgsMTM2LjIgTCAxNzcuNiwxMzYuMSBMIDE3Ny41LDEzNi4xIEwgMTc3LjMsMTM2LjAgTCAxNzcuMSwxMzYuMCBMIDE3Ni45LDEzNi4wIEwgMTc2LjgsMTM2LjAgTCAxNzYuNiwxMzYuMCBMIDE3Ni40LDEzNi4xIEwgMTc2LjMsMTM2LjEgTCAxNzYuMSwxMzYuMiBMIDE3NS45LDEzNi4yIEwgMTc1LjgsMTM2LjMgTCAxNzUuNywxMzYuNCBMIDE3NS41LDEzNi41IEwgMTc1LjQsMTM2LjcgTCAxNzUuMywxMzYuOCBMIDE3NS4yLDEzNi45IEwgMTc1LjEsMTM3LjEgTCAxNzUuMCwxMzcuMiBMIDE3NS4wLDEzNy40IEwgMTc0LjksMTM3LjYgTCAxNzQuOSwxMzcuNyBMIDE3NC45LDEzNy45IEwgMTc0LjksMTM4LjEgTCAxNzQuOSwxMzguMyBMIDE3NC45LDEzOC40IEwgMTc1LjAsMTM4LjYgTCAxNzUuMCwxMzguOCBMIDE3NS4xLDEzOC45IEwgMTc1LjIsMTM5LjEgTCAxNzUuMywxMzkuMiBMIDE3NS40LDEzOS4zIEwgMTc1LjUsMTM5LjUgTCAxNzUuNywxMzkuNiBMIDE3NS44LDEzOS43IEwgMTc1LjksMTM5LjggTCAxNzYuMSwxMzkuOCBMIDE3Ni4zLDEzOS45IEwgMTc2LjQsMTM5LjkgTCAxNzYuNiwxNDAuMCBMIDE3Ni44LDE0MC4wIEwgMTc2LjksMTQwLjAgTCAxNzcuMSwxNDAuMCBMIDE3Ny4zLDE0MC4wIEwgMTc3LjUsMTM5LjkgTCAxNzcuNiwxMzkuOSBMIDE3Ny44LDEzOS44IEwgMTc3LjksMTM5LjcgTCAxNzguMSwxMzkuNiBMIDE3OC4yLDEzOS41IEwgMTc4LjMsMTM5LjQgTCAxNzguNCwxMzkuMyBMIDE3OC41LDEzOS4xIEwgMTc4LjYsMTM5LjAgTCAxNzguNywxMzguOCBMIDE3OC44LDEzOC43IEwgMTc4LjgsMTM4LjUgTCAxNzguOSwxMzguMyBMIDE3OC45LDEzOC4yIEwgMTc4LjksMTM4LjAgTCAxNzYuOSwxMzguMCBaJyBzdHlsZT0nZmlsbDojMDAwMDAwO2ZpbGwtcnVsZTpldmVub2RkO2ZpbGwtb3BhY2l0eToxO3N0cm9rZTojMDAwMDAwO3N0cm9rZS13aWR0aDowLjBweDtzdHJva2UtbGluZWNhcDpidXR0O3N0cm9rZS1saW5lam9pbjptaXRlcjtzdHJva2Utb3BhY2l0eToxOycgLz4KPHBhdGggZD0nTSAxNzguOSwxNjIuMCBMIDE3OC45LDE2MS44IEwgMTc4LjksMTYxLjcgTCAxNzguOCwxNjEuNSBMIDE3OC44LDE2MS4zIEwgMTc4LjcsMTYxLjIgTCAxNzguNiwxNjEuMCBMIDE3OC41LDE2MC45IEwgMTc4LjQsMTYwLjcgTCAxNzguMywxNjAuNiBMIDE3OC4yLDE2MC41IEwgMTc4LjEsMTYwLjQgTCAxNzcuOSwxNjAuMyBMIDE3Ny44LDE2MC4yIEwgMTc3LjYsMTYwLjEgTCAxNzcuNSwxNjAuMSBMIDE3Ny4zLDE2MC4wIEwgMTc3LjEsMTYwLjAgTCAxNzYuOSwxNjAuMCBMIDE3Ni44LDE2MC4wIEwgMTc2LjYsMTYwLjAgTCAxNzYuNCwxNjAuMSBMIDE3Ni4zLDE2MC4xIEwgMTc2LjEsMTYwLjIgTCAxNzUuOSwxNjAuMiBMIDE3NS44LDE2MC4zIEwgMTc1LjcsMTYwLjQgTCAxNzUuNSwxNjAuNSBMIDE3NS40LDE2MC43IEwgMTc1LjMsMTYwLjggTCAxNzUuMiwxNjAuOSBMIDE3NS4xLDE2MS4xIEwgMTc1LjAsMTYxLjIgTCAxNzUuMCwxNjEuNCBMIDE3NC45LDE2MS42IEwgMTc0LjksMTYxLjcgTCAxNzQuOSwxNjEuOSBMIDE3NC45LDE2Mi4xIEwgMTc0LjksMTYyLjMgTCAxNzQuOSwxNjIuNCBMIDE3NS4wLDE2Mi42IEwgMTc1LjAsMTYyLjggTCAxNzUuMSwxNjIuOSBMIDE3NS4yLDE2My4xIEwgMTc1LjMsMTYzLjIgTCAxNzUuNCwxNjMuMyBMIDE3NS41LDE2My41IEwgMTc1LjcsMTYzLjYgTCAxNzUuOCwxNjMuNyBMIDE3NS45LDE2My44IEwgMTc2LjEsMTYzLjggTCAxNzYuMywxNjMuOSBMIDE3Ni40LDE2My45IEwgMTc2LjYsMTY0LjAgTCAxNzYuOCwxNjQuMCBMIDE3Ni45LDE2NC4wIEwgMTc3LjEsMTY0LjAgTCAxNzcuMywxNjQuMCBMIDE3Ny41LDE2My45IEwgMTc3LjYsMTYzLjkgTCAxNzcuOCwxNjMuOCBMIDE3Ny45LDE2My43IEwgMTc4LjEsMTYzLjYgTCAxNzguMiwxNjMuNSBMIDE3OC4zLDE2My40IEwgMTc4LjQsMTYzLjMgTCAxNzguNSwxNjMuMSBMIDE3OC42LDE2My4wIEwgMTc4LjcsMTYyLjggTCAxNzguOCwxNjIuNyBMIDE3OC44LDE2Mi41IEwgMTc4LjksMTYyLjMgTCAxNzguOSwxNjIuMiBMIDE3OC45LDE2Mi4wIEwgMTc2LjksMTYyLjAgWicgc3R5bGU9J2ZpbGw6IzAwMDAwMDtmaWxsLXJ1bGU6ZXZlbm9kZDtmaWxsLW9wYWNpdHk6MTtzdHJva2U6IzAwMDAwMDtzdHJva2Utd2lkdGg6MC4wcHg7c3Ryb2tlLWxpbmVjYXA6YnV0dDtzdHJva2UtbGluZWpvaW46bWl0ZXI7c3Ryb2tlLW9wYWNpdHk6MTsnIC8+CjxwYXRoIGQ9J00gMTc4LjksMTQ2LjAgTCAxNzguOSwxNDUuOCBMIDE3OC45LDE0NS43IEwgMTc4LjgsMTQ1LjUgTCAxNzguOCwxNDUuMyBMIDE3OC43LDE0NS4yIEwgMTc4LjYsMTQ1LjAgTCAxNzguNSwxNDQuOSBMIDE3OC40LDE0NC43IEwgMTc4LjMsMTQ0LjYgTCAxNzguMiwxNDQuNSBMIDE3OC4xLDE0NC40IEwgMTc3LjksMTQ0LjMgTCAxNzcuOCwxNDQuMiBMIDE3Ny42LDE0NC4xIEwgMTc3LjUsMTQ0LjEgTCAxNzcuMywxNDQuMCBMIDE3Ny4xLDE0NC4wIEwgMTc2LjksMTQ0LjAgTCAxNzYuOCwxNDQuMCBMIDE3Ni42LDE0NC4wIEwgMTc2LjQsMTQ0LjEgTCAxNzYuMywxNDQuMSBMIDE3Ni4xLDE0NC4yIEwgMTc1LjksMTQ0LjIgTCAxNzUuOCwxNDQuMyBMIDE3NS43LDE0NC40IEwgMTc1LjUsMTQ0LjUgTCAxNzUuNCwxNDQuNyBMIDE3NS4zLDE0NC44IEwgMTc1LjIsMTQ0LjkgTCAxNzUuMSwxNDUuMSBMIDE3NS4wLDE0NS4yIEwgMTc1LjAsMTQ1LjQgTCAxNzQuOSwxNDUuNiBMIDE3NC45LDE0NS43IEwgMTc0LjksMTQ1LjkgTCAxNzQuOSwxNDYuMSBMIDE3NC45LDE0Ni4zIEwgMTc0LjksMTQ2LjQgTCAxNzUuMCwxNDYuNiBMIDE3NS4wLDE0Ni44IEwgMTc1LjEsMTQ2LjkgTCAxNzUuMiwxNDcuMSBMIDE3NS4zLDE0Ny4yIEwgMTc1LjQsMTQ3LjMgTCAxNzUuNSwxNDcuNSBMIDE3NS43LDE0Ny42IEwgMTc1LjgsMTQ3LjcgTCAxNzUuOSwxNDcuOCBMIDE3Ni4xLDE0Ny44IEwgMTc2LjMsMTQ3LjkgTCAxNzYuNCwxNDcuOSBMIDE3Ni42LDE0OC4wIEwgMTc2LjgsMTQ4LjAgTCAxNzYuOSwxNDguMCBMIDE3Ny4xLDE0OC4wIEwgMTc3LjMsMTQ4LjAgTCAxNzcuNSwxNDcuOSBMIDE3Ny42LDE0Ny45IEwgMTc3LjgsMTQ3LjggTCAxNzcuOSwxNDcuNyBMIDE3OC4xLDE0Ny42IEwgMTc4LjIsMTQ3LjUgTCAxNzguMywxNDcuNCBMIDE3OC40LDE0Ny4zIEwgMTc4LjUsMTQ3LjEgTCAxNzguNiwxNDcuMCBMIDE3OC43LDE0Ni44IEwgMTc4LjgsMTQ2LjcgTCAxNzguOCwxNDYuNSBMIDE3OC45LDE0Ni4zIEwgMTc4LjksMTQ2LjIgTCAxNzguOSwxNDYuMCBMIDE3Ni45LDE0Ni4wIFonIHN0eWxlPSdmaWxsOiMwMDAwMDA7ZmlsbC1ydWxlOmV2ZW5vZGQ7ZmlsbC1vcGFjaXR5OjE7c3Ryb2tlOiMwMDAwMDA7c3Ryb2tlLXdpZHRoOjAuMHB4O3N0cm9rZS1saW5lY2FwOmJ1dHQ7c3Ryb2tlLWxpbmVqb2luOm1pdGVyO3N0cm9rZS1vcGFjaXR5OjE7JyAvPgo8cGF0aCBkPSdNIDE3OC45LDE1NC4wIEwgMTc4LjksMTUzLjggTCAxNzguOSwxNTMuNyBMIDE3OC44LDE1My41IEwgMTc4LjgsMTUzLjMgTCAxNzguNywxNTMuMiBMIDE3OC42LDE1My4wIEwgMTc4LjUsMTUyLjkgTCAxNzguNCwxNTIuNyBMIDE3OC4zLDE1Mi42IEwgMTc4LjIsMTUyLjUgTCAxNzguMSwxNTIuNCBMIDE3Ny45LDE1Mi4zIEwgMTc3LjgsMTUyLjIgTCAxNzcuNiwxNTIuMSBMIDE3Ny41LDE1Mi4xIEwgMTc3LjMsMTUyLjAgTCAxNzcuMSwxNTIuMCBMIDE3Ni45LDE1Mi4wIEwgMTc2LjgsMTUyLjAgTCAxNzYuNiwxNTIuMCBMIDE3Ni40LDE1Mi4xIEwgMTc2LjMsMTUyLjEgTCAxNzYuMSwxNTIuMiBMIDE3NS45LDE1Mi4yIEwgMTc1LjgsMTUyLjMgTCAxNzUuNywxNTIuNCBMIDE3NS41LDE1Mi41IEwgMTc1LjQsMTUyLjcgTCAxNzUuMywxNTIuOCBMIDE3NS4yLDE1Mi45IEwgMTc1LjEsMTUzLjEgTCAxNzUuMCwxNTMuMiBMIDE3NS4wLDE1My40IEwgMTc0LjksMTUzLjYgTCAxNzQuOSwxNTMuNyBMIDE3NC45LDE1My45IEwgMTc0LjksMTU0LjEgTCAxNzQuOSwxNTQuMyBMIDE3NC45LDE1NC40IEwgMTc1LjAsMTU0LjYgTCAxNzUuMCwxNTQuOCBMIDE3NS4xLDE1NC45IEwgMTc1LjIsMTU1LjEgTCAxNzUuMywxNTUuMiBMIDE3NS40LDE1NS4zIEwgMTc1LjUsMTU1LjUgTCAxNzUuNywxNTUuNiBMIDE3NS44LDE1NS43IEwgMTc1LjksMTU1LjggTCAxNzYuMSwxNTUuOCBMIDE3Ni4zLDE1NS45IEwgMTc2LjQsMTU1LjkgTCAxNzYuNiwxNTYuMCBMIDE3Ni44LDE1Ni4wIEwgMTc2LjksMTU2LjAgTCAxNzcuMSwxNTYuMCBMIDE3Ny4zLDE1Ni4wIEwgMTc3LjUsMTU1LjkgTCAxNzcuNiwxNTUuOSBMIDE3Ny44LDE1NS44IEwgMTc3LjksMTU1LjcgTCAxNzguMSwxNTUuNiBMIDE3OC4yLDE1NS41IEwgMTc4LjMsMTU1LjQgTCAxNzguNCwxNTUuMyBMIDE3OC41LDE1NS4xIEwgMTc4LjYsMTU1LjAgTCAxNzguNywxNTQuOCBMIDE3OC44LDE1NC43IEwgMTc4LjgsMTU0LjUgTCAxNzguOSwxNTQuMyBMIDE3OC45LDE1NC4yIEwgMTc4LjksMTU0LjAgTCAxNzYuOSwxNTQuMCBaJyBzdHlsZT0nZmlsbDojMDAwMDAwO2ZpbGwtcnVsZTpldmVub2RkO2ZpbGwtb3BhY2l0eToxO3N0cm9rZTojMDAwMDAwO3N0cm9rZS13aWR0aDowLjBweDtzdHJva2UtbGluZWNhcDpidXR0O3N0cm9rZS1saW5lam9pbjptaXRlcjtzdHJva2Utb3BhY2l0eToxOycgLz4KPC9zdmc+Cg== data:image/svg+xml;base64,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 [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound data:image/svg+xml;base64,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 data:image/svg+xml;base64,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 [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 235000012773 waffles Nutrition 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezo-electric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezo-electric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezo-electric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
- B06B1/0633—Cylindrical array
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- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/12—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves in body cavities or body tracts, e.g. by using catheters
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- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4444—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device related to the probe
- A61B8/445—Details of catheter construction
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
- A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
- A61B8/4483—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
- A61B8/4488—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer the transducer being a phased array
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
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- A61B1/00—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor
- A61B1/012—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor characterised by internal passages or accessories therefor
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- A—HUMAN NECESSITIES
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- A61B1/04—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor combined with photographic or television appliances
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- Y10T29/49005—Acoustic transducer
Description
本発明は、曲面部材の曲面上に可撓性部材を貼着する曲面貼着方法、および、超音波診断に用いられる超音波プローブに関する。
近年、医療分野において、超音波画像を利用した医療診断が実用化されている。超音波画像は、超音波プローブから生体の所要部に超音波を照射し、超音波プローブとコネクタを介して接続された超音波観測器で、生体からのエコー信号を電気的に検出することによって得られる。超音波プローブの駆動方式としては、超音波を送受信する超音波振動子（超音波トランスデューサ）を複数個配置し、駆動する超音波振動子を電子スイッチなどで選択的に切り替える電子スキャン走査方式が知られている。
電子スキャン走査方式の超音波プローブには、プローブ先端に複数個（例えば９４〜１２８個）の超音波振動子を扇状に配置したコンベックス電子走査方式がある。また、プローブ先端の外周に複数個（例えば３６０個）の超音波振動子を放射状に配置したラジアル電子走査方式がある。
このような超音波プローブの作製方法としては、超音波振動子板を、バッキング材からなる可撓性シート（可撓性部材）に接合し、超音波振動子板を所定のサイズにダイシングした後、可撓性シートを湾曲させた状態で、凸状または円筒状の台座（曲面部材）の曲面上に貼り合わせる方法が提案されている。
特開平８−８９５０５号公報
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、バッキング材を台座に貼り付ける際にズレが生じることがあり、この貼り付けのズレにより、超音波振動子の位置ズレが生じ、感度・帯域のばらつきから超音波画像の画質が劣化してしまうという問題がある。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、位置ズレを防止することができる曲面貼着方法、および、超音波画像の画質劣化を防止することができる超音波プローブを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の曲面貼着方法は、曲面部材の曲面上に可撓性部材を貼着する曲面貼着方法において、前記曲面部材の曲面および前記可撓性部材の貼着面に相対応する凹凸形状を設け、両者を嵌合させることで位置決めを行うことを特徴とする。
なお、前記曲面および前記貼着面上の凹凸形状は、いずれの方向にも線対称でなく、前記曲面と前記貼着面とが１つの相対位置でのみ嵌合することが好ましい。また、前記曲面部材は、曲面形状を有する超音波プローブの台座であり、前記可撓性部材は、貼着面に対向する面に複数の超音波振動子を保持した可撓性シートであることが好ましい。
また、本発明の超音波プローブは、曲面形状を有する台座の曲面上に、貼着面に対向する面に複数の超音波振動子を保持した可撓性シートが貼着されてなる超音波プローブにおいて、前記台座の曲面および前記可撓性シートの貼着面に相対応し嵌合する凹凸形状を設けたことを特徴とする。
なお、前記超音波振動子は、前記可撓性シートの湾曲方向に沿って所定の間隔で配設されており、前記貼着面の凹凸形状は、隣接する超音波振動子の間に位置する溝からなることが好ましい。また、前記溝は、ダイシングによって形成されたものであることが好ましい。
また、前記複数の超音波振動子が配設された面の前記湾曲方向に沿う断面形状は、ほぼ多角形状となっていることが好ましい。また、前記曲面および前記貼着面上の凹凸形状は、いずれの方向にも線対称でなく、前記曲面と前記貼着面とが１つの相対位置でのみ嵌合することが好ましい。さらに、前記台座および前記可撓性シートは、バッキング材からなることが好ましい。
本発明の曲面貼着方法によれば、曲面部材の曲面および可撓性部材の貼着面に相対応する凹凸形状を設け、両者を嵌合させることで位置決めを行うので、曲面部材と可撓性部材との位置ズレを防止することができる。
また、上記曲面および上記貼着面上の凹凸形状は、いずれの方向にも線対称でなく、上記曲面と上記貼着面とが１つの相対位置でのみ嵌合するので、可撓性部材を曲面部材に対して逆方向に貼着することを防止することができる。
また、本発明の超音波プローブによれば、台座の曲面および可撓性シートの貼着面に相対応し嵌合する凹凸形状を設けたので、台座と可撓性シートとの位置ズレが防止されるとともに、超音波振動子の位置ズレが防止され、この結果、超音波画像の画質劣化を防止することができる。
また、上記超音波振動子は、可撓性シートの湾曲方向に沿って所定の間隔で配設されており、上記貼着面の凹凸形状は、隣接する超音波振動子の間に位置するように形成した溝を含むので、可撓性シートを湾曲させやすく台座への貼着が容易となる。また、これと同時に、上記の溝は、可撓性シートの超音波振動子の接合箇所を部分的に曲がり難くし、該接合箇所をほぼ平坦に保つので、複数の超音波振動子が配設された面の前記湾曲方向に沿う断面形状は、ほぼ多角形状となっている。これにより、可撓性シートの湾曲に伴う超音波振動子の剥離や位置ズレを防止し、超音波画像の画質劣化をより効果的に防止することができる。
また、上記曲面および上記貼着面上の凹凸形状は、いずれの方向にも線対称でなく、上記曲面と上記貼着面とが１つの相対位置でのみ嵌合するので、可撓性シートを台座に対して逆方向に貼着することを防止することができる。
図１および図２において、本発明を適用したコンベックス電子走査方式の超音波プローブ２の先端２ａには、超音波振動子アレイ１０が配設されている。この超音波振動子アレイ１０は、スキャン方向Ｓ１に沿う断面がほぼコンベックス形状（凸状）である台座１１の外周に沿って、複数の超音波振動子１２がスキャン方向Ｓ１に一次元配列されてなる。なお、超音波振動子１２は、スライス方向Ｓ２に延びた直方体形状の圧電素子であり、その上には、エポキシ系樹脂などからなる音響整合層１３が接着されている。
先端２ａに接続されたシース１４の上部には、生体内の観察部位の像光を取り込むための対物光学系１５と、像光を撮像して撮像信号を出力するＣＣＤ１６とを備えた撮像装置１７が搭載され、中央部には、穿刺針１８が挿通される穿刺針用チャンネル１９が設けられている。また、シース１４には、超音波観測器（図示せず）と超音波振動子アレイ１０および撮像装置１７とを電気的に接続するアレイ用配線ケーブル２０と、撮像装置用配線ケーブル２１とが、穿刺針用チャンネル１９を挟むように挿通されている。
台座１１は、先端２ａに設けられた基材２２上に載置されている。この台座１１は、ブチルゴムや塩素化ポリエチレンに、超音波減衰材（フェライト粉末、タングステン粉末、ＷＣ２粉末など）を混入させてなるバッキング材料を素材して形成されている。また、台座１１の外周には、凹凸面１１ａが形成されている。図３に示すように、凹凸面１１ａの凹凸形状は、スライス方向Ｓ２に沿うストライプ状の溝１１ｂによって形成されている。
超音波振動子アレイ１０は、可撓性シート２３上に接合されており、この可撓性シート２３は台座１１に貼り付けられている。この可撓性シート２３は、上記のバッキング材料を素材として形成されており、可撓性を有するように薄く形成されている。
可撓性シート２３の下側には、台座１１への貼着面として凹凸面２３ａが形成されている。この凹凸面２３ａの凹凸形状は、スライス方向Ｓ２に沿うストライプ状の溝２３ｂによって形成されており、台座１１の凹凸面１１ａに噛み合って嵌合するように、凹凸面１１ａの凹凸形状に相対応する形状となっている。台座１１と可撓性シート２３とは、凹凸面１１ａと凹凸面２３ａとの嵌合によって正確に位置決めがなされている。なお、溝２３ｂは、超音波振動子１２の真下ではなく、隣接する超音波振動子１２の間に位置するように配置されており、溝２３ｂの幅は、隣接する超音波振動子１２間の距離と同等か若しくはそれより小さい。
なお、煩雑を避けるために図示は省略しているが、隣接する超音波振動子１２の隙間には、エポキシ樹脂などからなる充填材が充填されている。また、超音波振動子アレイ１０上には、シリコン樹脂などからなり、超音波振動子アレイ１０から発せられる超音波をスライス方向Ｓ２に関して収束させる音響レンズが取り付けられている。
図４において、超音波振動子１２は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）系セラミックスなどを素材とする圧電材料３０の上下を個別電極３１ａおよび共通電極３１ｂで挟み込んだ構成となっている。個別電極３１ａは、図示せぬＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）やコネクタ、および配線ケーブル２０を経由して、超音波観測器内の送受信切替回路３２に接続されている。共通電極３１ｂは、図示せぬＦＰＣやコネクタを経由してアースに接続されている。
送受信切替回路３２は、超音波振動子１２による超音波の送受信切り替えを所定の時間間隔で行う。この送受信切替回路３２には、パルス発生回路３３および電圧測定回路３４が接続されている。パルス発生回路３３は、超音波振動子１２から超音波を発生させる際（超音波の送信時）に、パルス電圧を圧電材料３０に印加する。これにより、超音波振動子１２は、所定の周波数を有する超音波を発生する。
電圧測定回路３４は、生体からのエコー信号を受信する際（超音波の受信時）に、超音波振動子１２に生じる電圧を測定する。電圧測定回路３４は、この測定結果をコントローラ３５に送信する。コントローラ３５は、電圧測定回路３４から送信された測定結果を超音波画像に変換し、これをモニタ３６に表示させる。
生体内の超音波画像を取得する際には、超音波プローブ２の挿入部が生体内に挿入され、内視鏡用モニタにより撮像装置１７で取得された光学画像が観測されながら、生体内の所要部が探索される。そして、生体内の所要部に先端２ａが到達し、超音波画像を取得する指示がなされると、送受信切替回路３２により超音波振動子１２の超音波の送受信が切り替えられながら、送信時には、パルス発生回路３３からのパルス電圧の印加により、超音波振動子１２から超音波が発せられ、生体に超音波が走査される。
受信時には、生体からのエコー信号が超音波振動子１２によって受信され、電圧測定回路３４により超音波振動子１２に生じた電圧が測定される。電圧測定回路３４の測定結果はコントローラ３５に送信され、コントローラ３５で超音波画像に変換される。変換された超音波画像は、モニタ３６に表示される。また、光学画像または超音波画像が観測されながら、必要に応じて穿刺針１８が操作され、生体内の所要部が採取される。
次に、上記構成を有する超音波プローブ２の作製手順について説明する。まず、図５（Ａ）において、可撓性を有する薄い平板状のバッキング材料４０を用意し、この上に薄い平板状の超音波振動子板４１を接着し、さらに超音波振動子板４１の上に、前述の音響整合層１３を接着する。なお、超音波振動子板４１は、図４に示したように、前述の圧電材料３０の上下を個別電極３１ａおよび共通電極３１ｂで挟み込んだ構成となっている。
次いで、図５（Ｂ）において、ダイシングソーなどを用いて、超音波振動子板４１を音響整合層１３とともにダイシング（切断）し、超音波振動子板４１を複数の短冊状の超音波振動子１２に分割する。このとき、バッキング材料４０を僅かに削る程度にダイシングを行う。
次いで、図５（Ｃ）において、ダイシングソーなどを用いて、バッキング材料４０の下面に、隣接する超音波振動子１２の間に位置するようにストライプ状に溝２３ｂを形成することによって凹凸面２３ａを形成し、バッキング材料４０を上記の可撓性シート２３とする。なお、この溝２３ｂの形成は、超音波振動子１２を形成する以前に行ってもよく、それ以前のどの段階で行ってもよい。
そして、図３に示すように、可撓性シート２３を台座１１の外周面の形状に合わせて湾曲させ、可撓性シート２３の凹凸面２３ａを台座１１の凹凸面１１ａに嵌合させて、可撓性シート２３と台座１１との位置決めを行いつつ、接着剤やプライマーなどの結合性材料を用いて可撓性シート２３を台座１１に貼り付ける。台座１１の凹凸面１１ａは、可撓性シート２３の凹凸面２３ａの凹凸形状に相対応するように予め形成されている。なお、台座１１の形成は、射出成形などの方法によって所定の型を用いて行う。また、凹凸面１１ａは、ダイシング加工によって形成してもよい。
この後、隣接する超音波振動子１２間への充填材の充填および音響レンズの貼り付けなどを行い、台座１１を基材２２上に接着することで、超音波プローブ２の作製が完了する。なお、上記の作製方法において、超音波振動子１２の電気的配線処理については説明を省略している。この電気的配線処理については、例えば、特開平８−８９５０５号公報に開示されている。
以上詳細に説明したように、台座１１に凹凸面１１ａを、可撓性シート２３に凹凸面２３ａを設け、凹凸面１１ａと凹凸面２３ａとを嵌合させることにより、可撓性シート２３と台座１１との位置決めを行うようにしたので、超音波振動子１２の位置ズレが生じるおそれがない。したがって、超音波画像の画質劣化を防止することができる。
また、可撓性シート２３の湾曲方向に対して垂直に溝２３ｂを設けているので、可撓性シート２３は湾曲させやすく、台座１１への貼り付けが容易となる。また、溝２３ｂは、隣接する超音波振動子１２の間に位置するように配置されていることにより、可撓性シート２３上の超音波振動子１２の接合箇所を部分的に曲がり難くし、該接合箇所をほぼ平坦に保つので、可撓性シート２３の湾曲に伴う超音波振動子１２の剥離や位置ズレが防止される。つまり、可撓性シート２３を湾曲させると、図６に示すように、超音波振動子１２が配設された外周面２３ｄは、湾曲方向（スキャン方向Ｓ１）に沿う断面形状がほぼ多角形状となり、その平坦部に対して垂直方向に超音波振動子１２が屹立した状態となる。また、このとき、凹凸面２３ａの断面形状もほぼ多角形状となる。
上記実施形態では、ストライプ状の溝１１ｂ、２３ｂにより凹凸面１１ａ、２３ａの凹凸形状を形成しているが、この凹凸形状は、図７（Ａ）および（Ｂ）のように変形が可能である。図７（Ａ）は、凹凸面１１ａを、スライス方向Ｓ２に平行なストライプ状の溝１１ｂに加え、スキャン方向Ｓ１に平行な１つの溝１１ｃを設けることよって形成した例である。この場合には、スキャン方向Ｓ１だけでなくスライス方向Ｓ２に関しても、正確に可撓性シート２３と台座１１との位置決めを行うことができる。
また、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の溝１１ｃを斜め方向とした例である。この場合には、凹凸面１１ａ、２３ａ上の凹凸形状（凹凸パターン）は、いずれの方向に関しても線対称ではないので、可撓性シート２３と台座１１とは、１つの相対位置でのみ嵌合する。つまり、可撓性シート２３を台座１１に対して左右逆方向に取り付けることを防止することができる。さらに、凹凸面１１ａと凹凸面２３ａとを嵌合可能とするならば、例えば、図８（Ａ）に示すようなワッフル形状や、図８（Ｂ）に示すようなエンボス形状など、適宜の形状とすることができる。
また、上記実施形態では、超音波振動子アレイを、超音波振動子をスキャン方向に沿って所定間隔で１次元配列した１次元アレイとして構成しているが、本発明はこれに限定されず、超音波振動子アレイを、超音波振動子をスキャン方向およびスライス方向に沿って所定間隔で２次元配列した２次元アレイとして構成してもよい。
また、上記実施形態では、コンベックス電子走査方式の超音波プローブを例に挙げて説明しているが、本発明はこれに限定されず、ラジアル電子走査方式の超音波プローブにも適用可能である。この場合には、可撓性シートを貼り付ける台座は円筒状であり、超音波振動子は同様に、１次元配列または２次元配列とする。
また、上記実施形態では、曲面部材として、バッキング材によって形成された凸状または円筒状の台座、可撓性部材として、バッキング材によって形成され超音波振動子を保持した可撓性シートを例に挙げて説明しているが、本発明はこれに限定されず、その他の曲面部材と可撓性部材との貼り付けに関しても適用可能である。例えば、超音波振動子アレイへの音響レンズの貼り付けに際しても本発明を適用することができる。
また、本発明は、上記実施形態で挙げた超音波プローブだけでなく、超音波振動子アレイから発せられる超音波の焦点調節が重要な、治療（超音波による所要部の加熱・破壊など）用の超音波装置に適用することも有効である。
２ 超音波プローブ
１０ 超音波振動子アレイ
１１ 台座（曲面部材）
１１ａ 凹凸面
１１ｂ，１１ｃ 溝
１２ 超音波振動子
１３ 音響整合層
２２ 基材
２３ 可撓性シート（可撓性部材）
２３ａ 凹凸面
２３ｂ 溝
４０ バッキング材料
４１ 超音波振動子板
１０ 超音波振動子アレイ
１１ 台座（曲面部材）
１１ａ 凹凸面
１１ｂ，１１ｃ 溝
１２ 超音波振動子
１３ 音響整合層
２２ 基材
２３ 可撓性シート（可撓性部材）
２３ａ 凹凸面
２３ｂ 溝
４０ バッキング材料
４１ 超音波振動子板
Claims (6)
- 曲面形状を有する台座の曲面上に、貼着面に対向する面に複数の超音波振動子を保持した可撓性シートが貼着されてなる超音波プローブを貼着する曲面貼着方法において、
前記台座の曲面および前記可撓性シートの貼着面に、いずれの方向にも線対称でなく、前記曲面と前記貼着面とが１つの相対位置でのみ嵌合する凹凸形状を設け、両者を嵌合させることにより、前記台座の曲面上に前記可撓性シートを貼着することを特徴とする曲面貼着方法。 - 曲面形状を有する台座の曲面上に、貼着面に対向する面に複数の超音波振動子を保持した可撓性シートが貼着されてなる超音波プローブにおいて、
前記台座の曲面および前記可撓性シートの貼着面に相対応し嵌合する凹凸形状が設けられており、前記超音波振動子は、前記可撓性シートの湾曲方向に沿って所定の間隔で配設されており、前記貼着面の凹凸形状は、隣接する超音波振動子の間に位置する溝からなることを特徴とする超音波プローブ。 - 前記溝は、ダイシングによって形成されたものであることを特徴とする請求項２記載の超音波プローブ。
- 曲面形状を有する台座の曲面上に、貼着面に対向する面に複数の超音波振動子を保持した可撓性シートが貼着されてなる超音波プローブにおいて、
前記台座の曲面および前記可撓性シートの貼着面に相対応し嵌合する凹凸形状が設けられており、前記曲面および前記貼着面上の凹凸形状は、いずれの方向にも線対称でなく、前記曲面と前記貼着面とが１つの相対位置でのみ嵌合することを特徴とする超音波プローブ。 - 前記複数の超音波振動子が配設された面の前記湾曲方向に沿う断面形状は、ほぼ多角形状となっていることを特徴とする請求項２ないし４いずれか１項に記載の超音波プローブ。
- 前記台座および前記可撓性シートは、バッキング材からなることを特徴とする請求項２ないし５いずれか１項に記載の超音波プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006141516A JP4860351B2 (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 曲面貼着方法および超音波プローブ |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006141516A JP4860351B2 (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 曲面貼着方法および超音波プローブ |
| US11/802,144 US7739913B2 (en) | 2006-05-22 | 2007-05-21 | Joining method for curved surfaces, and ultrasonic probe and manufacturing method thereof |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007307288A JP2007307288A (ja) | 2007-11-29 |
| JP4860351B2 true JP4860351B2 (ja) | 2012-01-25 |
Family
ID=38710764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006141516A Active JP4860351B2 (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 曲面貼着方法および超音波プローブ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7739913B2 (ja) |
| JP (1) | JP4860351B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4860351B2 (ja) * | 2006-05-22 | 2012-01-25 | 富士フイルム株式会社 | 曲面貼着方法および超音波プローブ |
| CN101919079B (zh) * | 2007-07-03 | 2014-01-01 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于存在性检测的薄膜检测器 |
| JP5438983B2 (ja) * | 2008-02-08 | 2014-03-12 | 株式会社東芝 | 超音波プローブ及び超音波診断装置 |
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| US9211106B2 (en) | 2010-04-29 | 2015-12-15 | Neorad As | Coupling an ultrasound probe to the skin |
| CN103444207B (zh) * | 2011-03-31 | 2016-08-31 | 日本电气株式会社 | 振荡器和电子设备 |
| KR101995867B1 (ko) * | 2012-07-12 | 2019-10-01 | 삼성전자주식회사 | 곡면프레임을 포함하는 트랜스듀서 모듈, 상기 트랜스듀서 모듈을 포함하는 초음파 프로브 및 상기 곡면프레임을 제조하는 방법 |
| JP5642248B2 (ja) * | 2013-02-14 | 2014-12-17 | 株式会社神戸製鋼所 | 超音波探触子 |
| JP2014198083A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 音響整合体並びに超音波プローブおよび超音波測定装置 |
| JP6448055B2 (ja) | 2015-11-09 | 2019-01-09 | 富士フイルム株式会社 | 超音波内視鏡及び超音波内視鏡の製造方法 |
| JP6649044B2 (ja) * | 2015-11-10 | 2020-02-19 | 富士フイルム株式会社 | 超音波内視鏡及び超音波内視鏡の製造方法 |
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| CN114072058A (zh) * | 2019-09-05 | 2022-02-18 | 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 | 超声探头的声头及超声探头 |
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| JP4860351B2 (ja) * | 2006-05-22 | 2012-01-25 | 富士フイルム株式会社 | 曲面貼着方法および超音波プローブ |
| JP4322290B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2009-08-26 | 株式会社三共 | 遊技機 |
| JP2009060501A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Fujifilm Corp | バッキング材、超音波探触子、超音波内視鏡、超音波診断装置、及び、超音波内視鏡装置 |
-
2006
- 2006-05-22 JP JP2006141516A patent/JP4860351B2/ja active Active
-
2007
- 2007-05-21 US US11/802,144 patent/US7739913B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7739913B2 (en) | 2010-06-22 |
| US20070266792A1 (en) | 2007-11-22 |
| JP2007307288A (ja) | 2007-11-29 |
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