WO2015182203A1 - 積層部材の加工方法、積層部材の加工体およびガスバリアフィルム - Google Patents

積層部材の加工方法、積層部材の加工体およびガスバリアフィルム Download PDF

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WO2015182203A1
WO2015182203A1 PCT/JP2015/056508 JP2015056508W WO2015182203A1 WO 2015182203 A1 WO2015182203 A1 WO 2015182203A1 JP 2015056508 W JP2015056508 W JP 2015056508W WO 2015182203 A1 WO2015182203 A1 WO 2015182203A1
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WO
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sheet
gas barrier
barrier layer
laminated member
film
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PCT/JP2015/056508
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恵美 淵
智史 永縄
Original Assignee
リンテック株式会社
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    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D3/00—Cutting work characterised by the nature of the cut made; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
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    • B32B38/18—Handling of layers or the laminate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00

Definitions

  • the present invention relates to a method for processing a laminated member, a processed body of the laminated member, and a gas barrier film.
  • a transparent substrate used as a protective member on the display side of an image display device such as a display, a touch panel, or a mobile phone has been conventionally made of glass, but has excellent shape workability such as being able to easily form a shape having a curved surface, Since it is preferable also from a viewpoint of weight reduction, adoption of a plastic film as a transparent substrate has been studied.
  • a transparent substrate made of a plastic film has the advantages described above, but tends to have a higher gas permeability such as moisture than a glass substrate. For this reason, reducing the gas permeability of a transparent substrate provided with a plastic film is calculated
  • a layer made of an inorganic compound is formed on a base film as a gas barrier layer, and the transparent substrate is made of a gas barrier film. It is done.
  • the characteristic of the gas barrier layer that contributes to reducing the gas permeability of the transparent substrate is referred to as gas barrier property.
  • the inorganic compound layer constituting the gas barrier layer is hard, and its thickness is about 1 ⁇ m or less. Therefore, when the gas barrier film is processed into a predetermined shape, the gas barrier layer is easily cracked. The gas barrier property of the cracked gas barrier layer is significantly lowered, and it is difficult to reduce the gas permeability of the gas barrier film while the gas barrier layer is provided. For this reason, when processing a gas barrier film provided with a gas barrier layer, it is calculated
  • Patent Document 1 discloses that a gas barrier layer formed on a resin base material is laminated with a resin material having releasability. A method for preventing the generation of scratches and adhesion of foreign substances by a contacting roll is disclosed.
  • Patent Document 2 discloses an adhesive protective film having an adhesive layer having an adhesive strength of 0.05 to 0.15 N / 25 mm in order to produce a gas barrier film capable of achieving high barrier performance in a roll form. It is disclosed that a gas barrier layer is laminated on a smooth layer surface after peeling the adhesive protective film from a composite film in which the adhesive layer surface and a smooth layer surface of a film having a smooth layer on one side are in contact with each other.
  • Patent Document 3 discloses a gas barrier film of a composite film in which a gas barrier film, an adhesive layer, and a support film are laminated in this order as a method for laminating a gas barrier film and an electronic element without damaging the continuously supplied gas barrier film.
  • a method is disclosed in which a blade is inserted from the surface side and a partial slit process is performed up to the middle of the film thickness direction of the support film of the film composite.
  • the inorganic compound layer used as the gas barrier layer tends to be reduced in thickness from the viewpoint of reducing the production cost of the gas barrier film, and the gas barrier is ensured so that an appropriate gas barrier property can be secured even if the layer is thinned.
  • the layer has become harder in recent years. For this reason, when performing the process which cut
  • An object of the present invention is to provide a method for processing a laminated member that can provide a gas barrier film including a gas barrier layer and that is difficult to crack in the gas barrier layer.
  • Another object of the present invention is to provide a laminated member processed body obtained by subjecting a laminated member capable of providing a gas barrier film having a gas barrier layer to mechanical cutting, and a gas barrier film obtained from the laminated member processed body. To do.
  • a method for processing a laminated member comprising a first sheet and a second sheet disposed on one surface of the first sheet, wherein the first sheet comprises a substrate and the base
  • a gas barrier layer laminated on at least one surface of the material the gas barrier layer has a surface hardness measured using a nanoindenter of 10 GPa or more
  • the first sheet of the second sheet The surface opposite to the opposite surface has a surface hardness measured using a nanoindenter of 0.05 GPa or more
  • the laminated member is mechanically cut from the surface on the second sheet side.
  • a method for processing a laminated member comprising: a cutting step of obtaining a processed body of the laminated member including the cut body of the first sheet and the cut body of the second sheet.
  • the second sheet includes a support film and a pressure-sensitive adhesive layer laminated on one side of the support film, and the surface on the pressure-sensitive adhesive layer side faces the first sheet.
  • the surface of the first sheet opposite to the surface facing the second sheet has an arithmetic average roughness (Ra) of 10 nm or more and a maximum cross-sectional height (Rt) of the roughness curve of 150 nm or more.
  • Ra arithmetic average roughness
  • Rt maximum cross-sectional height
  • the gas barrier layer of the first sheet has an arithmetic average roughness (Ra) of 10 nm to 50 nm and a maximum cross-sectional height (Rt) of a roughness curve of 150 nm to 1000 nm. ) To (8).
  • a laminated member including a first sheet and a second sheet disposed on one surface of the first sheet is obtained by performing mechanical cutting from the surface on the second sheet side.
  • it is a laminated member processed body including the cut body of the first sheet and the cut body of the second sheet, and the first sheet is laminated on at least one surface of the base material and the base material.
  • the gas barrier layer has a surface hardness measured using a nanoindenter of 10 GPa or more, and is a surface opposite to the surface facing the first sheet of the second sheet. Is a processed member of a laminated member having a surface hardness measured using a nanoindenter of 0.05 GPa or more.
  • a gas barrier film including a cut body of a first sheet provided with a processed body of the laminated member described in (10) above.
  • a method for processing a laminated member in which a gas barrier layer is difficult to crack is also provided. Also provided is a laminated member processed body obtained by mechanically cutting a laminated member capable of providing a gas barrier film having a gas barrier layer, and further provides a gas barrier film obtained from the laminated member processed body. Is done.
  • a laminated member 100 includes a first sheet 10 and a second sheet 20, and the adhesive layer 22 side included in the second sheet 20. Is attached to the surface of the gas barrier layer 12 included in the first sheet 10.
  • the first sheet 10 includes a base material 11 and a gas barrier layer 12 laminated on at least one surface of the base material 11.
  • the base material 11 included in the first sheet 10 according to the present embodiment has the laminated member 100 as long as the gas barrier layer 12 of the first sheet 10 can satisfy the regulations regarding hardness described later. Specific features are not particularly limited.
  • the substrate 11 is made of a transparent plastic film.
  • the transparent plastic film include polyethylene, polypropylene, polyolefin such as ethylene- (meth) acrylic acid copolymer, ethylene- (meth) acrylic acid ester copolymer, polyester such as polyethylene terephthalate and polybutylene terephthalate, polychlorinated Acrylic resins such as vinyl, polystyrene, polyurethane, polycarbonate, polyamide, polyimide, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, polymethyl methacrylate, polybutene, polybutadiene, polymethylpentene, ethylene vinyl acetate copolymer, Examples thereof include a film made of a resin such as an ABS resin or an ionomer resin, or a laminated film thereof.
  • a film made of polyester such as polyethylene terephthalate or polybutylene terephthalate, polycarbonate, polyamide, polyimide, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfide, polyarylate, or the like, or a laminated film of these.
  • a polyethylene terephthalate film is particularly preferable.
  • a (meth) acrylic acid copolymer means both an acrylic acid copolymer and a methacrylic acid copolymer. The same applies to similar terms such as ethylene- (meth) acrylic acid ester copolymer.
  • the film may be a stretched film or an unstretched film.
  • the thickness of the base material 11 provided in the first sheet 10 according to the present embodiment is not particularly limited and is appropriately selected according to the purpose of use of the first sheet 10 and is usually 1 to 500 ⁇ m. From the viewpoint of improving the handleability and realizing weight reduction, the thickness of the base material 11 is preferably 300 ⁇ m or less, and more preferably 100 ⁇ m or less. The lower limit of the thickness of the substrate 11 is not limited. From the viewpoint of improving the handleability, the thickness of the base material 11 is preferably 5 ⁇ m or more, and more preferably 10 ⁇ m or more.
  • the base 11 provided in the first sheet 10 according to the present embodiment may include a weathering agent such as an antioxidant, an ultraviolet absorber, and a light stabilizer.
  • a weathering agent such as an antioxidant, an ultraviolet absorber, and a light stabilizer.
  • the substrate 11 included in the first sheet 10 according to the present embodiment is provided on at least one of its surfaces with respect to elements (gas barrier layer 12, primer layer, etc.) laminated on the (their) surfaces.
  • a surface treatment may be applied for the purpose of improving the adhesion. Examples of the surface treatment include corona discharge treatment, plasma treatment, chromic acid treatment (wet), flame treatment, hot air treatment, ozone / ultraviolet irradiation treatment, sand blast method, solvent treatment method and the like.
  • the base material 11 is provided with a primer layer on the surface of the base material 11 so as to be positioned between the base material 11 and the gas barrier layer 12 for the purpose of improving the adhesion with the gas barrier layer 12. May be.
  • the composition and thickness of the gas barrier layer 12 are not limited as long as the gas barrier layer 12 can contribute to lowering the gas permeability of the first sheet 10.
  • the gas barrier layer 12 usually includes an inorganic compound layer.
  • Examples of the material of the inorganic compound layer include inorganic oxides such as silicon oxide, silicon oxynitride, aluminum oxide, aluminum oxynitride, magnesium oxide, zinc oxide, indium oxide, and tin oxide, and inorganic nitride such as silicon nitride and aluminum nitride. And inorganic oxynitrides such as silicon oxynitride, and metals such as aluminum, magnesium, zinc and tin. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
  • the inorganic compound layer may be a film obtained by converting a film containing a polysilazane compound into a siliceous film by a known modification method.
  • the modification treatment include plasma ion implantation, plasma treatment, heat treatment, and ultraviolet irradiation treatment.
  • ions implanted by plasma ion implantation include rare gases such as argon, helium, neon, krypton, and xenon, ions such as fluorocarbon, hydrogen, nitrogen, oxygen, carbon dioxide, chlorine, fluorine, and sulfur; gold,
  • metals such as silver, copper, platinum, nickel, palladium, chromium, titanium, molybdenum, niobium, tantalum, tungsten, and aluminum.
  • the thickness of the gas barrier layer 12 is preferably 1 nm to 10 ⁇ m, more preferably 10 to 1000 nm, particularly preferably 20 to 500 nm, and further preferably 50 to 200 nm.
  • the gas barrier layer 12 may be a single layer or a plurality of layers, but the gas barrier layer 12 is preferably a plurality of layers from the viewpoint of obtaining higher gas barrier properties.
  • the method for forming the gas barrier layer 12 may be appropriately selected according to the material to be used. For example, based on a method in which the material of the gas barrier layer is formed on the substrate 11 by vapor deposition, sputtering, ion plating, thermal CVD, plasma CVD, or the like, or a solution in which a polysilazane compound is dissolved in an organic solvent. Examples thereof include a method in which a film containing a polysilazane compound is formed by coating on the material 11 and further converted to a siliceous film by performing the above-described modification treatment. Between the base material 11 and the gas barrier layer 12, a layer for improving the adhesion between the base material 11 and the gas barrier layer 12 such as an adhesive layer may be interposed.
  • the first sheet 10 has a laminated structure in which the gas barrier layer 12 is laminated on at least one surface of the base material 11 as described above, and the nanoindenter of the gas barrier layer 12 is provided.
  • the surface hardness measured by using is 10 GPa or more. When the surface hardness is less than 10 GPa, cracks are hardly generated in the gas barrier layer 12 even by the conventional processing method. However, when the surface hardness is 10 GPa or more, the conventional processing method causes cracks in the gas barrier layer. It is difficult to suppress the occurrence. However, if the laminated member 100 according to the present embodiment is used, it is possible to reduce the possibility of cracking in the gas barrier layer 12 even if a general mechanical cutting process is performed.
  • the surface hardness of the gas barrier layer 12 is preferably 10 to 100 GPa, more preferably 20 to 50 GPa.
  • the nano indenter is a measuring instrument that pushes a triangular pyramid indenter made of a diamond tip into the material surface and obtains hardness (hardness by an indentation test) from the load applied to the indenter at that time and the projected area under the indenter. Since the indentation load is smaller than that of a normal hardness meter (such as a Vickers hardness meter), the hardness of the surface of a relatively fragile layer such as the gas barrier layer 12 can be appropriately measured because it is a hard and thin layer. .
  • a normal hardness meter such as a Vickers hardness meter
  • the first sheet 10 preferably has low gas permeability.
  • the water vapor permeability is 0.5 g / (m 2 ⁇ day) at 40 ° C. and 90% RH. preferably less, more preferably at most 0.1g / (m 2 ⁇ day) , and particularly preferably 0.05g / (m 2 ⁇ day) or less.
  • the laminated structure of the first sheet 10 is not limited.
  • a gas barrier layer 12 may be provided on one surface of the substrate 11, or a structure in which a plurality of gas barrier layers 12 are stacked may be provided. Further, the gas barrier layer 12 may be provided on both surfaces of the substrate 11.
  • the thickness of the first sheet 10 according to the present embodiment is appropriately set in consideration that the cut body of the first sheet 10 becomes a gas barrier film.
  • the thickness of the first sheet 10 according to the present embodiment is in the range of about 20 ⁇ m to 300 ⁇ m, and may be preferably 30 ⁇ m or more and 250 ⁇ m or less, and may be 40 ⁇ m or more and 230 ⁇ m or less. May be preferred.
  • the first sheet 10 has a total light transmittance (hereinafter referred to as “total light transmittance”) measured in the thickness direction in accordance with JIS K7361-1. (Abbreviated) is preferably 85% or more.
  • total light transmittance is preferably 85% or more.
  • the total light transmittance is preferably 90% or more.
  • seat 10 at the time of measuring this total light transmittance is not specified.
  • the surface opposite to the surface facing the second sheet 20 of the first sheet 10 according to the present embodiment is defined in JIS B0601: 2001 (ISO 4287: 1997). It is preferable that the arithmetic average roughness (Ra) is 10 nm or more and 50 nm or less, and the maximum cross-sectional height (Rt) of the roughness curve is 150 nm or more and 1000 nm or less.
  • the arithmetic average of the surface of the first sheet 10 according to the present embodiment facing the second sheet 20, that is, the surface of the gas barrier layer 12, is defined in JIS B0601: 2001 (ISO 4287: 1997). It is preferable that the roughness (Ra) is 10 nm to 50 nm and the maximum cross-sectional height (Rt) of the roughness curve is 150 nm to 1000 nm.
  • the above-described blocking and air biting are less likely to occur and the first sheet 10 is excellent in winding property, and cracks are less likely to occur in the gas barrier layer 12 when the first sheet 10 is wound.
  • the arithmetic average roughness (Ra) of the surface of the gas barrier layer 12 of the first sheet 10 according to the present embodiment is The maximum cross-sectional height (Rt) of the roughness curve is preferably 900 nm or less.
  • seat 20 with which the laminated member 100 which concerns on one Embodiment of this invention is provided functions as a protective film, when performing the mechanical cutting process with respect to the laminated member 100, and
  • the second sheet 20 is laminated on the first sheet 10 so that the surface of the pressure-sensitive adhesive layer 22 is in contact with one surface of the first sheet 10.
  • the surface of the pressure-sensitive adhesive layer 22 of the second sheet 20 is preferably in contact with the surface of the gas barrier layer 12 of the first sheet 10.
  • the 2nd sheet with which the lamination member concerning one embodiment of the present invention is provided does not need to have such a lamination structure. That is, the 2nd sheet
  • the surface opposite to the surface facing the first sheet in the second sheet provided in the laminated member according to the embodiment of the present invention is the surface hardness measured using a nanoindenter Is 0.05 GPa or more.
  • the surface hardness of the second sheet 20 on the support film 21 side is 0.05 GPa or more.
  • a cutting blade for processing is inserted into the first sheet 10 via the second sheet 20.
  • the surface of the second sheet opposite to the surface facing the first sheet is the surface that the cutting blade first contacts when the mechanical cutting process is performed.
  • the second sheet 20 is required to have an ability to appropriately reduce the impact of the blade and suppress the occurrence of cracks in the gas barrier layer 12 in the mechanical cutting process.
  • the surface hardness of the second sheet is measured by a nanoindenter as an index indicating the degree of ability of the second sheet 20 to relieve the impact of the blade. By using the nano indenter, it is possible to appropriately evaluate the ability of the second sheet to relax when the cutting blade starts to enter the second sheet.
  • the second sheet 20 preferably has a surface hardness of at least one surface measured using a nanoindenter of 0.15 GPa or more. , More preferably 0.2 GPa or more, and particularly preferably 0.25 GPa or more.
  • the surface opposite to the surface facing the first sheet has a surface hardness measured by using a nanoindenter of 0.5 GPa or less. It is preferable.
  • the second sheet 20 preferably has a surface hardness of 0.5 GPa or less with respect to the surface on the support film 21 side.
  • regulation regarding this surface hardness when the mechanical cutting process is performed with respect to the 2nd sheet
  • the specific composition and structure of the support film 21 are not limited as long as the above-mentioned regulations regarding surface hardness can be satisfied.
  • the support film 21 may be made of the same material as the base material 11 described above.
  • specific examples of the plastic film include polyethylene terephthalate (PET), polybutylene terephthalate (PBT), polyethylene naphthalate (PEN), polycarbonate (PC), polypropylene (PP), and polybutadiene.
  • Synthetic resin films such as polymethylpentene, polyurethane, polyvinyl chloride (PVC), acrylonitrile / butadiene / styrene (ABS) resin, polystyrene (PS), triacetyl cellulose (TAC), fluororesin, polylactic acid, etc. Can do.
  • the support film 21 may have a single layer structure or a laminated structure.
  • the thickness of the support film 21 is not limited as long as it can satisfy the regulations regarding the surface hardness described later.
  • An example is a range of 10 ⁇ m to 500 ⁇ m.
  • the thickness of the support film 21 is preferably 25 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less.
  • Adhesive layer The composition of the adhesive composition constituting the adhesive layer 22 is not particularly limited.
  • the pressure-sensitive adhesive that is the main component include rubber-based, acrylic-based, silicone-based, and urethane-based pressure-sensitive adhesives. One type of these may be used, or two or more types may be used.
  • the adhesive layer 22 may have a laminated structure.
  • the acrylic adhesive among the above will be described in some detail.
  • the acrylic adhesive has an acrylic copolymer as a main component.
  • the pressure-sensitive adhesive composition may further contain a cross-linking agent, a tackifier, a filler, an antioxidant, an antistatic agent, an ultraviolet absorber and the like as necessary.
  • the acrylic copolymer may include a structural unit derived from a functional group-containing monomer.
  • functional group-containing monomers include carboxyl group-containing monomers such as acrylic acid and methacrylic acid, and hydroxyl group-containing monomers such as 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, and 4-hydroxybutyl acrylate. It is done.
  • the functional group-containing monomer is preferably contained in an amount of 0.3 to 5.0% by mass as a monomer unit based on the whole monomer constituting the acrylic copolymer (100% by mass).
  • the crosslinking agent used in the pressure-sensitive adhesive composition is not particularly limited and is appropriately selected from those commonly used in pressure-sensitive adhesive compositions mainly composed of acrylic materials.
  • polyisocyanate A compound, an epoxy resin, a melamine resin, a urea resin, a dialdehyde, a methylol polymer, an aziridine compound, a metal chelate compound, a metal alkoxide, a metal salt, or the like is used, and a polyisocyanate compound is preferably used.
  • the pressure-sensitive adhesive layer 22 has removability. It is preferable. This removability may be realized by the fact that the adhesiveness of the surface of the pressure-sensitive adhesive layer 22 of the second sheet 20 to the first sheet 10 is relatively low, A reactive substance may be included so that the adhesiveness of the surface of the adhesive layer 22 of the second sheet 20 to the first sheet 10 can be reduced.
  • the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 22 is not particularly limited. It should be appropriately set according to the application, and is usually about 0.5 ⁇ m to 100 ⁇ m, preferably about 2 ⁇ m to 70 ⁇ m, and more preferably about 10 ⁇ m to 50 ⁇ m. There is a case.
  • the second sheet 20 can be produced by a conventional method.
  • a coating agent containing a pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer 22 and, if desired, a solvent is further prepared, and a comma roll coater, a gravure coater, Apply to one side of the support film 21 by a coating machine such as a chamber gravure coater, kiss roll coater, reverse roll coater, knife coater, roll knife coater, die coater or the like, or apply to the release treatment surface of a separately prepared release sheet,
  • the formed pressure-sensitive adhesive layer 22 and the support film 21 may be bonded together.
  • a release film may be laminated on the adhesive layer 22 of the second sheet 20 in order to protect the adhesive layer 22.
  • the release film is not particularly limited.
  • the second sheet of the laminated member includes an adhesive layer as in the second sheet 20, the adhesive layer of the second sheet 20
  • the surface 22 is preferably attached to the surface of the gas barrier layer 12 of the first laminate 10, and in this state, the adhesive force of the second sheet 20 to the first sheet 10 is 1500 mN / 25 mm or less. preferable.
  • seat in this specification shall show with the value by the measuring method in the test example mentioned later.
  • the laminated member 100 Since the adhesive force of the second sheet 20 to the first sheet 10 is 1500 mN / 25 mm or less, the laminated member 100 is subjected to a mechanical cutting process, and then the second sheet 20 is removed from the cut body of the first sheet 10.
  • the material constituting the pressure-sensitive adhesive layer causes cohesive failure and the material is transferred to the gas barrier layer 12, or the stress applied to the gas barrier layer 12 at the time of peeling. It is possible to stably reduce the possibility that the gas barrier layer 12 has a problem of cracking.
  • the adhesive strength of the second sheet 20 to the first sheet 10 is preferably 1490 mN / 25 mm or less, and 1450 mN / 25 mm or less. Is more preferable.
  • the adhesive strength of the second sheet 20 to the first sheet 10 is 10 mN / 25 mm so that the adhesive layer 22 can appropriately hold the gas barrier layer 12 when the laminated member 100 is mechanically cut.
  • it is more preferably 50 mN / 25 mm or more, and particularly preferably 100 mN / 25 mm or more.
  • the adhesive strength is less than 10 mN / 25 mm, when the laminated member 100 is mechanically cut, the adhesion between the pressure-sensitive adhesive layer 22 and the gas barrier layer 12 is lowered, and the impact is moderated appropriately. It becomes difficult to cause cracks in the gas barrier layer 12.
  • the thickness of the second sheet 20 is preferably thicker than the thickness of the first sheet 10.
  • Processing method of laminated member The above-described processing method of the laminated member 100 is obtained by mechanically cutting the laminated member 100 from the surface on the second sheet 20 side, and the cut body of the first sheet 10 and the second member. A cutting step of obtaining a processed body of the laminated member 100 including the cut body of the sheet 20 is provided.
  • the specific method of mechanical cutting is not limited. It may be a press cut using a straight or curved blade, or may be cut while rotating the rotary blade. Further, it may be a cutting process or a punching process. Moreover, you may perform a mechanical cutting process, conveying the laminated member 100 in a fixed direction by a roll-to-roll system. In FIG. 5, by pressing the laminated member 100 with the linear cutting blade 3, a processed body of the laminated member 100 including the cut body of the first sheet 10 and the cut body of the second sheet 20 is formed. It is a schematic sectional drawing which shows a state.
  • the laminated member 100 has the second blade 20 positioned on the processing surface side, so that the blades are used in the processing. Can be mitigated by the second sheet 20 and the possibility of cracks occurring in the gas barrier layer 12 can be reduced.
  • the gas barrier film including the cut body of the first sheet 10 is obtained including removing the cut body of the second sheet 20 from the processed body of the laminated member 100.
  • a removal step may be performed.
  • the method for removing the cut body of the second sheet 20 in the removing step is arbitrary.
  • an operation for facilitating the removal for example, energy beam irradiation, may be additionally included before the removal.
  • the gas barrier film according to an embodiment of the present invention includes a cut body of the first sheet provided in the processed body of the laminated member 100.
  • another layer (also referred to as “additional layer” in this specification) is laminated on the surface of the first sheet 10 opposite to the side facing the second sheet 20. Also good.
  • the additional layer examples include a layer made of a support film, a laminate including a support film and an adhesive layer, a hard coat layer, and the like, similar to the second sheet 20.
  • the cut body of the additional layer may or may not be formed in the cutting step.
  • the processed body of the laminated member may include a cut body of the additional layer, or the additional layer may be peeled from the cut body of the first sheet 10 to obtain a processed body of the laminated body.
  • the processed body of the laminated member includes a cut body of the additional layer, in the removing step, a portion of the additional layer that is in contact with the cut body of the first sheet 10 is removed from the cut body of the first sheet 10. And what is necessary is just to obtain the gas barrier film which consists of a cut body of a 1st sheet
  • Example 1 A transparent polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 ⁇ m (trade name: PET25 T-100, Ra: 24 nm, Rt: 750 nm) having a thickness of 25 ⁇ m was used as a substrate, and silicon oxide was formed on one surface of the substrate. A film having a thickness of 150 nm was formed under the following conditions to form a gas barrier layer to obtain a first sheet. In addition, Ra of the surface of the obtained gas barrier layer was 40 nm or less, and Rt was 900 nm or less.
  • a second sheet comprising the gas barrier layer surface of the first sheet, a support film and an adhesive layer ("PF PET50B” manufactured by Lintec Corporation, support film: polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 ⁇ m)
  • PF PET50B polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 ⁇ m
  • the laminated member was cut from the second sheet side to obtain a laminated member processed body.
  • the cut body of the second sheet was removed from the processed body of the laminated member to obtain a gas barrier film made of the cut body of the first sheet.
  • Example 2 A laminated member processed body was obtained in the same manner as in Example 1 except that a gas barrier layer made of silicon oxynitride (thickness 150 nm) was formed under the following conditions.
  • the thickness relationship between the first sheet and the second sheet was second sheet> first sheet.
  • the cut body of the second sheet was removed from the processed body of the laminated member to obtain a gas barrier film made of the cut body of the first sheet.
  • Ra of the surface of the obtained gas barrier layer was 40 nm or less, and Rt was 900 nm or less.
  • ⁇ Reactive sputtering conditions Sputtering gas: argon, nitrogen, oxygen Gas flow rate: argon 100 sccm, nitrogen 60 sccm, oxygen 40 sccm ⁇ Target material: Silicon ⁇ Power value: 2500W ⁇ Vacuum chamber pressure: 0.2Pa
  • Example 3 An acrylic adhesive (“LS411E” manufactured by Lintec) was applied to the release-treated surface of the release film (“SP-PET1031C” manufactured by Lintec), and dried to a thickness of 25 ⁇ m.
  • Example 1 except that a polyethylene terephthalate film (“PET100A4300” manufactured by Toyobo Co., Ltd., thickness 100 ⁇ m) was bonded as a support film, and the release film was peeled from the resulting laminate to obtain a second sheet.
  • PET100A4300 manufactured by Toyobo Co., Ltd., thickness 100 ⁇ m
  • a laminated member processed body was obtained.
  • the thickness relationship between the first sheet and the second sheet was second sheet> first sheet.
  • the cut body of the second sheet was removed from the processed body of the laminated member to obtain a gas barrier film made of the cut body of the first sheet.
  • Example 4 An acrylic adhesive (“LS411E” manufactured by Lintec) was applied to the release-treated surface of the release film (“SP-PET1031C” manufactured by Lintec), and dried to a thickness of 25 ⁇ m. Except that a polycarbonate film (“Pure Ace C110-75” manufactured by Teijin Ltd., thickness 75 ⁇ m) was laminated as a support film and the release film was peeled from the resulting laminate to obtain a second sheet. In the same manner as in Example 1, a laminated member processed body was obtained. The thickness relationship between the first sheet and the second sheet was second sheet> first sheet. The cut body of the second sheet was removed from the processed body of the laminated member to obtain a gas barrier film made of the cut body of the first sheet.
  • LS411E manufactured by Lintec
  • Example 5 An acrylic adhesive (“LS411E” manufactured by Lintec) was applied to the release-treated surface of the release film (“SP-PET1031C” manufactured by Lintec), and dried to a thickness of 25 ⁇ m.
  • Example 1 except that a polypropylene film (“Alphan PP40” manufactured by Oji Paper Co., Ltd., thickness: 40 ⁇ m) was bonded as a support film, and the release film was peeled off from the resulting laminate to obtain a second sheet.
  • a laminated member processed body was obtained.
  • the thickness relationship between the first sheet and the second sheet was second sheet> first sheet.
  • the cut body of the second sheet was removed from the processed body of the laminated member to obtain a gas barrier film made of the cut body of the first sheet.
  • Example 6 The laminated member was processed in the same manner as in Example 1 except that “Sanitect PAC-3-70” (thickness: 70 ⁇ m) manufactured by Sanei Kaken Co., Ltd. was used as the second sheet having the support film and the adhesive layer. Got the body. The thickness relationship between the first sheet and the second sheet was second sheet> first sheet. The cut body of the second sheet was removed from the processed body of the laminated member to obtain a gas barrier film made of the cut body of the first sheet.
  • “Sanitect PAC-3-70” thickness: 70 ⁇ m
  • the thickness relationship between the first sheet and the second sheet was second sheet> first sheet.
  • the cut body of the second sheet was removed from the processed body of the laminated member to obtain a gas barrier film made of the cut body of the first sheet.
  • Example 7 A laminated member processed body in the same manner as in Example 1 except that “SRL-0753C (AS)” (thickness: 75 ⁇ m) manufactured by Lintec Corporation was used as the second sheet having the support film and the pressure-sensitive adhesive layer. Got. The thickness relationship between the first sheet and the second sheet was second sheet> first sheet. The cut body of the second sheet was removed from the processed body of the laminated member to obtain a gas barrier film made of the cut body of the first sheet.
  • AS silk-0753C
  • Example 1 A gas barrier film comprising a cut body of the first sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the cutting process was performed without attaching the second sheet to the first sheet.
  • a gas barrier film made of a cut body of the first sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 1 except that a gas barrier layer made of carbon-containing silicon oxide (thickness 250 nm) was formed under the following conditions.
  • Ra of the surface of the obtained gas barrier layer was 40 nm or less, and Rt was 900 nm or less.
  • ⁇ Reactive sputtering conditions> Sputtering gas: Hexamethyldisiloxane: Oxygen gas: Helium Gas flow rate: Hexamethyldisiloxane 1 sccm, Oxygen gas 10 sccm, Helium 10 sccm ⁇ Power value: 2500W ⁇ Vacuum chamber pressure: 0.2Pa
  • A No foreign matters or scratches of 1 ⁇ m or more were observed, and almost no foreign materials or scratches of 1 ⁇ m or less were observed (1 ⁇ m or less of foreign materials: less than 2).
  • B No foreign matter or scratches of 1 ⁇ m or more were observed, but slight foreign materials or scratches of 1 ⁇ m or less were observed (2 to 10 foreign materials of 1 ⁇ m or less).
  • C No foreign matter or scratches of 1 ⁇ m or more were observed, but many foreign materials or scratches of 1 ⁇ m or less were confirmed (11 ⁇ m or less foreign materials: 11 or more).
  • D Foreign matter and scratches of 1 ⁇ m or more were confirmed, and many foreign matters and scratches of 1 ⁇ m or less were confirmed.
  • the laminated member according to the present invention is suitably used as a transparent protective member on the display side of the image display device.

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Abstract

　第１のシート１０と、第１のシート１０の一方の面上に配置される第２のシート２０とを備える積層部材１００の加工方法であって、第１のシート１０は、基材１１と基材１１の少なくとも一方の面に積層されたガスバリア層１２とを備え、ガスバリア層１２は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が１０ＧＰａ以上であり、第２のシート２０の第１のシート１０に対向する面と反対側の面は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が０．０５ＧＰａ以上であり、積層部材１００を、第２のシート２０側の面から機械的切断加工を行って、第１のシート１０の切断体および第２のシート２０の切断体を備える積層部材１００の加工体を得る切断工程を備える、積層部材１００の加工方法。かかる加工方法によれば、ガスバリア層にクラックが入りにくい。

Description

積層部材の加工方法、積層部材の加工体およびガスバリアフィルム
　本発明は、積層部材の加工方法、積層部材の加工体およびガスバリアフィルムに関する。
　ディスプレイ、タッチパネル、携帯電話などの画像表示デバイスの表示側の保護部材として用いられる透明基板は、従来、ガラス製であったが、湾曲面を有する形状を容易に形成可能など形状加工性に優れ、軽量化の観点からも好ましいことから、透明基板としてプラスチックフィルムの採用が検討されてきている。
　プラスチックフィルムからなる透明基板は、上記のような有利な点を有するが、ガラス基板に比べて、水分などのガス透過率が高くなりやすい。このため、プラスチックフィルムを備える透明基板のガス透過率を低下させることが求められている。
　プラスチックフィルムを備える透明基板のガス透過率を低下させるための一手段として、無機化合物からなる層をガスバリア層として基材フィルム上に形成して、透明基板をガスバリアフィルムからなるものとすることが挙げられる。本明細書において、透明基板のガス透過率を低下させることに寄与するガスバリア層の特性をガスバリア性という。ガスバリア性が高いガスバリア層を用いることにより、透明基板のガス透過率をより低下させることが可能となる。
　透明基板を上記のガスバリアフィルムとすることにより、透明基板のガス透過率を低下させることが可能であることは確認されたが、次のような課題の存在も明らかになった。すなわち、一般的には、ガスバリア層を構成する無機化合物層は硬質であり、しかもその厚さは１μｍ以下程度である。したがって、ガスバリアフィルムを所定の形状に加工する際に、上記のガスバリア層にクラックが入りやすい。クラックが入ったガスバリア層のガスバリア性は著しく低下し、ガスバリア層を備えていながらガスバリアフィルムのガス透過性を低下させることが困難となってしまう。このため、ガスバリア層を備えるガスバリアフィルムを加工する際にクラックが入りにくいようにすること、すなわち、ガスバリアフィルムの加工性を向上させることが求められている。
　このガスバリアフィルムの加工性を向上させるという課題を解決するために提案された手段として、特許文献１には、樹脂基材上に形成したガスバリア層に離型性を有する樹脂材料をラミネートすることにより、接触するロールによる擦り傷の発生や異物付着を防止する方法が開示されている。
　特許文献２には、高いバリア性能を達成できるガスバリアフィルムをロール状の形態で生産し得るために、粘着力が０．０５～０．１５Ｎ／２５ｍｍである粘着性層を有する粘着性保護フィルムの粘着性層面と、片面に平滑層を有するフィルムの平滑層面とが接して配置されている複合フィルムから、粘着性保護フィルムを剥離後、平滑層面にガスバリア層を積層することが開示されている。
　特許文献３には、連続して供給されるガスバリアフィルムを傷つけずにガスバリアフィルムと電子素子を貼り合わせる方法として、ガスバリアフィルム、接着剤層および支持フィルムがこの順に積層している複合フィルムのガスバリアフィルム面側から刃を入れて該フィルム複合体の前記支持フィルムの膜厚方向の途中までを部分スリット加工する方法が開示されている。
国際公開２００７／１３８８３７号 国際公開２０１０／０２４１４９号 特許第５２４７６４１号公報
　ガスバリア層として用いられる無機化合物層は、ガスバリアフィルムの製造コストを低減させる観点からその厚さが少なくなる傾向があり、そのように薄層化されても適切なガスバリア性を確保できるように、ガスバリア層は近年硬質化が進んでいる。このため、ガスバリア層を備えるガスバリアフィルムを機械的に切断する加工、具体的には、裁断加工や抜き加工が例示される、を実施する際に、ガスバリア層にクラックが入りやすくなっている。それゆえ、上記のガスバリアフィルムの加工性を高めることへの要求が特に高まっている。
　本発明は、ガスバリア層を備えるガスバリアフィルムを与えうる積層部材であって、ガスバリア層にクラックが入りにくい積層部材の加工方法を提供することを目的とする。また、ガスバリア層を備えるガスバリアフィルムを与えうる積層部材に対して機械的切断加工が施されてなる積層部材の加工体、およびその積層部材の加工体から得られるガスバリアフィルムを提供することも目的とする。
　上記目的を達成するために提供される本発明は次のとおりである。
（１）第１のシートと、第１のシートの一方の面上に配置される第２のシートとを備える積層部材の加工方法であって、前記第１のシートは、基材と前記基材の少なくとも一方の面に積層されたガスバリア層とを備え、前記ガスバリア層は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が１０ＧＰａ以上であり、前記第２のシートの前記第１のシートに対向する面と反対側の面は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が０．０５ＧＰａ以上であり、前記積層部材を、前記第２のシート側の面から機械的切断加工を行って、前記第１のシートの切断体および前記第２のシートの切断体を備える前記積層部材の加工体を得る切断工程を備えることを特徴とする、積層部材の加工方法。
（２）前記機械的切断加工は、裁断加工および抜き加工の少なくとも一方を含む、上記（１）に記載の加工方法。
（３）前記積層部材の加工体から前記第２のシートの切断体を除去することを含んで、前記第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得る除去工程を備える、上記（１）または（２）に記載の加工方法。
（４）前記第２のシートは、前記第１のシートの前記ガスバリア層側の面上に配置される、上記（１）から（３）のいずれかに記載の加工方法。
（５）前記第２のシートは、支持フィルムと、前記支持フィルムの一方の面上に積層された粘着剤層とを備え、前記粘着剤層側の面が前記第１のシートに対向するように前記第２のシートは配置されている、上記（１）から（４）のいずれかに記載の加工方法。
（６）前記第１のシートの第２のシートに対向する面と反対側の面は、算術平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以上、粗さ曲線の最大断面高さ（Ｒｔ）が１５０ｎｍ以上である、上記（１）から（５）のいずれかに記載の加工方法。
（７）前記第２のシートの前記粘着剤層の面は前記第１積層体の前記ガスバリア層の面に貼付され、前記第２のシートの前記第１のシートに対する粘着力が１５００ｍＮ／２５ｍｍ以下である、上記（５）に記載の加工方法。
（８）前記第２のシートの厚さは、第１のシートの厚さよりも厚いことを特徴とする、上記（１）から（７）のいずれかに記載の加工方法。　　　
（９）前記第１のシートの前記ガスバリア層は、算術平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下、かつ粗さ曲線の最大断面高さ（Ｒｔ）が１５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下である、上記（１）から（８）のいずれかに記載の加工方法。
（１０）第１のシートと、第１のシートの一方の面上に配置される第２のシートを備える積層部材を、前記第２のシート側の面から機械的切断加工を行って得られた、前記第１のシートの切断体および前記第２のシートの切断体を備える積層部材の加工体であって、前記第１のシートは、基材と前記基材の少なくとも一方の面に積層されたガスバリア層とを備え、前記ガスバリア層は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が１０ＧＰａ以上であり、前記第２のシートの前記第１のシートに対向する面と反対側の面は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が０．０５ＧＰａ以上であることを特徴とする積層部材の加工体。
（１１）上記（１０）に記載される積層部材の加工体備える第１のシートの切断体を備えるガスバリアフィルム。
　本発明によれば、ガスバリア層にクラックが入りにくい積層部材の加工方法が提供される。また、ガスバリア層を備えるガスバリアフィルムを与えうる積層部材に対して機械的切断加工が施されてなる積層部材の加工体が提供される、さらに、その積層部材の加工体から得られるガスバリアフィルムが提供される。
本発明の一実施形態に係る積層部材の概略断面図である。 直線状の切断刃により積層部材を押切することにより、第１のシートの切断体および前記第２のシートの切断体を備える積層部材の加工体が形成された状態を示す概略断面図である。
　以下、本発明の実施形態について説明する。
　１．積層部材
　図１に示されるように、本発明の一実施形態に係る積層部材１００は、第１のシート１０と第２のシート２０とを備え、第２のシート２０が備える粘着剤層２２側の面が第１のシート１０が備えるガスバリア層１２の面に貼付されている。
（１）第１のシート
　第１のシート１０は、基材１１と基材１１の少なくとも一方の面に積層されたガスバリア層１２とを備える。
（１－１）基材
　本実施形態に係る第１のシート１０が備える基材１１は、積層部材１００が第１のシート１０のガスバリア層１２が後述する硬度に関する規定を満たすことができる限り、具体的な特徴は特に限定されない。
　一実施形態に係る基材１１は透明プラスチックフィルムからなる。この透明プラスチックフィルムとしては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン－（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン－（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル系樹脂、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、エチレン酢酸ビニル共重合体、ＡＢＳ樹脂、アイオノマー樹脂などの樹脂からなるフィルム、またはそれらの積層フィルム等が挙げられる。それらの中でも、強度の観点から、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレートなどからなるフィルムまたはこれらの積層フィルムが挙げられる。これらの中で、特にポリエチレンテレフタレートフィルムが好適である。本明細書において、（メタ）アクリル酸共重合体とは、アクリル酸共重合体およびメタクリル酸共重合体の両方を意味する。エチレン－（メタ）アクリル酸エステル共重合体などの類似用語も同様である。
　基材１１がプラスチックフィルムを備える場合において、そのフィルムは、延伸フィルムであってもよいし、無延伸フィルムであってもよい。
　本実施形態に係る第１のシート１０が備える基材１１の厚さは特に制限はなく、第１のシート１０の使用目的に応じて適宜選定され、通常は１～５００μｍである。取り扱い性を高めたり軽量化を実現したりする観点から、基材１１の厚さは３００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下であることがより好ましい。基材１１の厚さの下限は限定されない。取り扱い性を高めるなどの観点から、基材１１の厚さは５μｍ以上が好ましく、１０μｍ以上がより好ましい。
　本実施形態に係る第１のシート１０が備える基材１１は、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤などの耐候剤を含んでいてもよい。
　本実施形態に係る第１のシート１０が備える基材１１は、その面の少なくとも一方に、その（それらの）面に積層される要素（ガスバリア層１２、プライマー層などが例示される。）に対する密着性を高める目的で、表面処理が施されていてもよい。上記の表面処理としては、例えばコロナ放電処理、プラズマ処理、クロム酸処理（湿式）、火炎処理、熱風処理、オゾン・紫外線照射処理、サンドブラスト法、溶剤処理法などが挙げられる。また、基材１１には、ガスバリア層１２との密着性を向上させる目的で、基材１１とガスバリア層１２との間に位置するように、基材１１の面上にプライマー層が設けられていてもよい。
（１－２）ガスバリア層
　ガスバリア層１２は、第１のシート１０のガス透過性を低下させることに寄与できる限り、その組成や厚さは限定されない。前述のように、通常、ガスバリア層１２は、無機化合物層を備える。
　無機化合物層の材料としては、例えば、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ等の無機酸化物、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の無機窒化物、酸化窒化ケイ素等の無機酸化窒化物等、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、スズ等の金属などが挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。
　また、無機化合物層は、ポリシラザン化合物を含有する膜を公知の改質方法によりシリカ質膜に転化させたものであってもよい。改質処理としては、プラズマイオン注入、プラズマ処理、熱処理、紫外線照射処理等が挙げられる。プラズマイオン注入にて注入されるイオンとしては、例えば、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等の希ガス、フルオロカーボン、水素、窒素、酸素、二酸化炭素、塩素、フッ素、硫黄等のイオン；金、銀、銅、白金、ニッケル、パラジウム、クロム、チタン、モリブデン、ニオブ、タンタル、タングステン、アルミニウム等の金属のイオンなどが挙げられる。
　ガスバリア層１２の厚さは、１ｎｍ～１０μｍであることが好ましく、１０～１０００ｎｍであることがより好ましく、２０～５００ｎｍであることが特に好ましく、５０～２００ｎｍであることがさらに好ましい。
　ガスバリア層１２は、単層であってもよく、複数層であってもよいが、より高いガスバリア性が得られるという観点から、ガスバリア層１２は複数層であることが好ましい。
　ガスバリア層１２を形成する方法は、使用する材料に応じて適宜選択すればよい。例えば、上記ガスバリア層の材料を、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法等により基材１１上に形成する方法、あるいはポリシラザン化合物を有機溶剤に溶解した溶液を基材１１に塗布してポリシラザン化合物を含有する膜を形成し、さらに上記のような改質処理を行ってシリカ質膜に転化する方法などが挙げられる。基材１１とガスバリア層１２との間に接着剤層など基材１１とガスバリア層１２との密着性を高める層が介在していてもよい。
（１－３）表面硬度
　第１のシート１０は、上記のように、基材１１の少なくとも一方の面に、ガスバリア層１２が積層された積層構造を有し、ガスバリア層１２のナノインデンターを用いて測定される表面硬度が１０ＧＰａ以上である。上記の表面硬度が１０ＧＰａ未満の場合には、従来の加工方法でもガスバリア層１２にクラックが発生し難いが、上記の表面硬度が１０ＧＰａ以上のものでは、従来の加工方法では、ガスバリア層へのクラック発生を抑制することが困難である。しかしながら、本実施形態に係る積層部材１００を用いれば、一般的な機械的切断加工が施されても、ガスバリア層１２にクラックが生じる可能性を低減させることが可能である。上記のガスバリア層１２の表面硬度は、好ましくは、１０～１００ＧＰａ、より好ましくは、２０～５０ＧＰａである。
　ここで、ナノインデンターは、ダイヤモンドチップからなる三角錐の圧子を材料表面に押し込み、その時の圧子にかかる荷重と圧子の下の射影面積から硬度（押込み試験による硬度）を求める測定器である。通常の硬度計（ビッカース硬度計など）に比べて、押し込み荷重が少ないため、ガスバリア層１２のような、硬質かつ薄層であるため比較的脆い層の表面の硬度を適切に測定することができる。
（１－４）ガス透過性
　第１のシート１０はガス透過性が低いことが好ましく、具体的に、水蒸気透過率として、４０℃、９０％ＲＨにおいて、０．５ｇ／（ｍ２・ｄａｙ）以下であることが好ましく、０．１ｇ／（ｍ２・ｄａｙ）以下であることがより好ましく、０．０５ｇ／（ｍ２・ｄａｙ）以下であることが特に好ましい。
（１－５）第１のシートの積層構造
　第１のシート１０の積層構造は限定されない。例えば、図１に示されるように、基材１１の一方の面にガスバリア層１２を備えていてもよく、ガスバリア層１２が複数積層した構造を有していてもよい。また、基材１１の両面にガスバリア層１２を備えていてもよい。
（１－６）厚さ
　本実施形態に係る第１のシート１０の厚さは、第１のシート１０の切断体がガスバリアフィルムとなることを考慮して適宜設定される。限定されない例として、本実施形態に係る第１のシート１０の厚さは、２０μｍから３００μｍ程度の範囲内であり、３０μｍ以上２５０μｍ以下であることが好ましい場合もあり、４０μｍ以上２３０μｍ以下であることが好ましい場合もある。
（１－７）全光線透過率
　本実施形態に係る第１のシート１０は、ＪＩＳ　Ｋ７３６１－１に準拠して厚さ方向に測定された全光線透過率（以下、「全光線透過率」と略記する。）が８５％以上であることが好ましい。この全光線透過率が８５％以上であることにより、画像表示デバイスの表示側の保護部材として用いられる透明基板として好ましく使用することが可能となる。上記の保護部材への適用性を高める観点から、全光線透過率は９０％以上であることが好ましい。なお、この全光線透過率を測定する際の第１のシート１０の厚さは特定されない。
（１－８）表面粗さ
　本実施形態に係る第１のシート１０の第２のシート２０に対向する面と反対側の面は、ＪＩＳ　Ｂ０６０１：２００１（ＩＳＯ　４２８７：１９９７）に規定される、算術平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下、かつ粗さ曲線の最大断面高さ（Ｒｔ）が１５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下となるようにすることが好ましい。
　ＲａおよびＲｔが上記範囲であれば、本発明の一実施形態に係る積層部材１００をロール・ツー・ロール方式により機械的切断加工する場合、巻き取り時に、フィルム表面とその上に接するフィルムの裏面が貼り付いてしまう現象（いわゆるブロッキング）や、しわが生じる現象（いわゆるエア噛み）等が発生しにくくなり、巻取適性に優れる第１のシート１０や積層部材１００が得られやすい。
　また、本実施形態に係る第１のシート１０における第２のシート２０に対向する面、すなわち、ガスバリア層１２の面についても、ＪＩＳ　Ｂ０６０１：２００１（ＩＳＯ　４２８７：１９９７）に規定される、算術平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下、かつ粗さ曲線の最大断面高さ（Ｒｔ）が１５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下であることが好ましい。上記のブロッキングやエア噛みが生じにくくなって巻取適性に優れる第１のシート１０となるうえに、第１のシート１０を巻き取る際にガスバリア層１２にクラックが生じにくくなる。このガスバリア層１２の巻取時のクラックが発生する可能性をより安定的に低減させる観点から、本実施形態に係る第１のシート１０のガスバリア層１２の面の算術平均粗さ（Ｒａ）は、４０ｎｍ以下であることが好ましく、粗さ曲線の最大断面高さ（Ｒｔ）は９００ｎｍ以下であることが好ましい。
（２）第２のシート
　本発明の一実施形態に係る積層部材１００が備える第２のシート２０は、積層部材１００に対して機械的切断加工を行う際に保護フィルムとして機能するものであって、支持フィルム２１と支持フィルム２１の一方の面に積層された粘着剤層２２とを備え、その一方の面が粘着剤層２２の面からなる。本実施形態では、この粘着剤層２２の面が第１のシート１０の一方の面に接するように、第２のシート２０は第１のシート１０に積層されている。このとき、第２のシート２０の粘着剤層２２の面は、第１のシート１０のガスバリア層１２の面に接していることが好ましい。本発明の一実施形態に係る積層部材が備える第２のシートはこのような積層構造を有していなくてもよい。すなわち、第２のシートは支持フィルムのみから構成されていてもよい。
（２－１）表面硬度
　本発明の一実施形態に係る積層部材が備える第２のシートにおける第１のシートに対向する面と反対側の面は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が０．０５ＧＰａ以上である。具体的には、第２のシート２０は、支持フィルム２１側の面について、表面硬度が０．０５ＧＰａ以上である。
　本発明の一実施形態に係る積層部材１００に対して機械的切断加工を行う場合には、第２のシート２０を介して第１のシート１０に、たとえば、加工用の切断刃を入刃することになる。すなわち、第２のシートにおける第１のシートに対向する面と反対側の面は、機械的切断加工が行われる際に、切断刃が最初に接触する面となる。第２のシート２０には、入刃の衝撃を適切に緩和し、機械的切断加工においてガスバリア層１２にクラックが発生することを抑制する能力が求められる。第２のシート２０が入刃の衝撃を緩和する能力の程度を表す指標として、本発明では、ナノインデンターによって第２のシートの表面硬度を測定することとしている。ナノインデンターを用いることにより、第２のシートに切断刃が入り始めたときの第２のシートの緩和する能力を適切に評価することができる。
　この表面硬度に関する規定を満たすことにより、第２のシート２０に対して機械的切断加工が施されたときに、積層部材１００の加工性を高めることが容易になる。具体的には、第２のシート２０の過度に変形が抑制され、機械的切断加工におけるガスバリア層１２のクラック発生を適切に防止することが可能となる。積層部材１００の加工性をより安定的に高める観点から、第２のシート２０は、少なくとも一方の面について、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が、０．１５ＧＰａ以上であることが好ましく、０．２ＧＰａ以上であることがより好ましく、０．２５ＧＰａ以上であることが特に好ましい。
　本発明の一実施形態に係る積層部材が備える第２のシートにおける第１のシートに対向する面と反対側の面は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が０．５ＧＰａ以下であることが好ましい。具体的には、第２のシート２０は、支持フィルム２１側の面について、表面硬度が０．５ＧＰａ以下であることが好ましい。この表面硬度に関する規定を満たすことにより、第２のシート２０に対して機械的切断加工が施されたときに、積層部材１００としての加工性を高めることが容易になる。積層部材１００の加工性をより安定的に高める観点から、第２のシート２０における第１のシートに対向する面と反対側の面は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が、０．４５ＧＰａ以下であることが好ましく、０．４ＧＰａ以下であることがより好ましい。
（２－２）支持フィルム
　支持フィルム２１の具体的な組成や構造は、上記の表面硬度に関する規定を満たすことができる限り、限定されない。支持フィルム２１は、前述の基材１１と同様の材料から構成されていてもよい。支持フィルム２１がプラスチックフィルムを備える場合において、そのプラスチックフィルムの具体例として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、ポリウレタン、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、アクリロニトリル／ブタジエン／スチレン（ＡＢＳ）樹脂、ポリスチレン（ＰＳ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、フッ素樹脂、ポリ乳酸等の合成樹脂フィルムなどを挙げることができる。支持フィルム２１は、単層構造であってもよいし、積層構造を有していてもよい。
　支持フィルム２１の厚さは、後述する表面硬度に関する規定を満たすことができる限り、限定されない。一例として、１０μｍから５００μｍの範囲が挙げられる。支持フィルム２１の厚さは２５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい場合もある。
（２－３）粘着剤層
　粘着剤層２２を構成する粘着性組成物の組成は特に限定されない。主成分である粘着剤としてゴム系、アクリル系、シリコーン系、ウレタン系等の粘着剤が例示され、これらの１種類を使用してもよいし、２種類以上を使用してもよい。また、粘着剤層２２は積層構造を有していてもよい。
　上記のうちアクリル系の粘着剤についてやや詳しく説明する。アクリル系の粘着剤は、アクリル系共重合体を主成分とする。粘着性組成物は必要に応じて、架橋剤、粘着付与剤、充填剤、酸化防止剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤等をさらに含んでいてもよい。
　アクリル系共重合体は、官能基含有モノマーに由来する構成単位を備えていてもよい。かかる官能基含有モノマーとしては、例えばアクリル酸、メタアクリル酸等のカルボキシル基含有モノマーやアクリル酸２－ヒドロキシエチル、メタアクリル酸２－ヒドロキシエチル、アクリル酸４－ヒドロキシブチル等の水酸基含有モノマーが挙げられる。官能基含有モノマーは、アクリル系共重合体を構成するモノマー全体を基準（１００質量％）として、モノマー単位として０．３～５．０質量％含むことが好ましい。アクリル系共重合体は、官能基を含有することにより、架橋剤との反応で凝集力を調整することができ、粘着力および耐熱性を向上させることができる。
　粘着性組成物に使用される架橋剤としては、特に制限はなく、アクリル系の材料を主成分とする粘着性組成物において慣用されているものの中から適宜選択して用いられ、例えば、ポリイソシアネート化合物、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、ジアルデヒド類、メチロールポリマー、アジリジン系化合物、金属キレート化合物、金属アルコキシド、金属塩などが用いられ、好ましくはポリイソシアネート化合物が用いられる。
　後述するように、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得る除去工程において、第２のシート２０は第１のシート１０から剥離されるため、粘着剤層２２は再剥離性を有していることが好ましい。この再剥離性は、第２のシート２０の粘着剤層２２の面の第１のシート１０に対する貼付段階での粘着性が比較的低いことによって実現されてもよいし、粘着剤層２２に例えば反応性物質を含有させて、第２のシート２０の粘着剤層２２の面の第１のシート１０に対する粘着性を低減可能な状態としていてもよい。
　粘着剤層２２の厚さは特に限定されない。用途に応じて適宜設定されるべきものであり、通常、０．５μｍ以上１００μｍ以下程度とされ、２μｍ以上７０μｍ以下程度とすることが好ましい場合があり、１０μｍ以上５０μｍ以下程度とすることがより好ましい場合がある。
　第２のシート２０は、常法によって製造することができ、例えば、粘着剤層２２を構成する粘着剤と、所望によりさらに溶媒とを含有する塗布剤を調製し、コンマロールコーター、グラビアコーター、チャンバーグラビアコーター、キスロールコーター、リバースロールコーター、ナイフコーター、ロールナイフコーター、ダイコーター等の塗工機によって支持フィルム２１の片面に塗布するか、別に用意した剥離シートの剥離処理面に塗布し、形成した粘着剤層２２と支持フィルム２１とを貼り合わせてもよい。
　第２のシート２０の粘着剤層２２には、粘着剤層２２を保護するために剥離フィルムを積層してもよい。剥離フィルムとしては、特に限定されることなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、ポリウレタン、ポリ塩化ビニル、エチレン－酢酸ビニル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、アクリロニトリル／ブタジエン／スチレン樹脂、ポリスチレン、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、フッ素樹脂、ポリ乳酸等の合成樹脂からなるフィルムまたはそれらの発泡フィルムや、グラシン紙、コート紙、ラミネート紙等の紙に、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル基含有カルバメート等の剥離剤で剥離処理したものを使用することができる。剥離フィルムの厚さは、通常１０～２５０μｍ程度であり、好ましくは２０～２００μｍ程度である。
（２－４）粘着力
　第２のシート２０のように、本発明の一実施形態に係る積層部材の第２のシートが粘着剤層を備える場合には、第２のシート２０の粘着剤層２２の面は第１積層体１０のガスバリア層１２の面に貼付されることが好ましく、この状態において、第２のシート２０の第１のシート１０に対する粘着力が１５００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。なお、本明細書における第２のシートの第１のシートに対する粘着力とは、後述する試験例における測定方法による値で示すものとする。
　第２のシート２０の第１のシート１０に対する粘着力が１５００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることにより、積層部材１００に対して機械的切断加工を施したのち、第１のシート１０の切断体から第２のシート２０の切断体を剥離する際に、粘着剤層を構成する材料が凝集破壊を起こしてその材料がガスバリア層１２に転移する問題や、剥離する際にガスバリア層１２に付与される応力によりガスバリア層１２にクラックが発生する問題が生じる可能性を安定的に低減させることができる。これらの問題が生じる可能性をより安定的に低減させる観点から、第２のシート２０の第１のシート１０に対する粘着力は、１４９０ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、１４５０ｍＮ／２５ｍｍ以下であることがより好ましい。
　第２のシート２０の第１のシート１０に対する粘着力は、積層部材１００に対して機械的切断加工を施す際に、粘着剤層２２がガスバリア層１２を適切に保持できるように、１０ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、５０ｍＮ／２５ｍｍ以上であることがより好ましく、１００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが特に好ましい。粘着力が１０ｍＮ／２５ｍｍ未満の場合は、積層部材１００に対して機械的切断加工を施す際に、粘着剤層２２とガスバリア層１２との間の密着性が低下し、衝撃を適切に緩和することが困難となり、ガスバリア層１２にクラックが発生するおそれがある。
　第２のシート２０の厚さは、第１のシート１０の厚さよりも厚いことが好ましい。これにより、積層部材１００に対して機械的切断加工を施す際に、加工の際の衝撃が、第２のシート２０により緩和され、ガスバリア層１２においてクラックが発生する可能性を低減させることができる。
２．積層部材の加工方法
　上記の積層部材１００の加工方法は、積層部材１００を、第２のシート２０側の面から機械的切断加工を行って、第１のシート１０の切断体および前記第２のシート２０の切断体を備える積層部材１００の加工体を得る切断工程を備える。
　機械的切断加工の具体的な方法は限定されない。直線状または曲線状の刃を用いた押切であってもよいし、回転刃を回転させながら切断してもよい。また、裁断加工であってもよいし、抜き加工であってもよい。また、ロール・ツー・ロール方式により、積層部材１００を一定方向に搬送しながら、機械的切断加工を行ってもよい。図５は、直線状の切断刃３により積層部材１００を押切することにより、第１のシート１０の切断体および前記第２のシート２０の切断体を備える積層部材１００の加工体が形成された状態を示す概略断面図である。
　このような、一般的な機械的切断加工を含む切断工程であっても、本実施形態に係る積層部材１００は、加工面側に第２のシート２０が位置するため、加工の際の入刃の衝撃が、第２のシート２０により緩和され、ガスバリア層１２においてクラックが発生する可能性を低減させることができる。
　こうして、積層部材１００の切断体を得たら、この積層部材１００の加工体から第２のシート２０の切断体を除去することを含んで、第１のシート１０の切断体からなるガスバリアフィルムを得る除去工程を実施してもよい。除去工程における第２のシート２０の切断体の除去方法は任意である。粘着剤層２２の性質によっては、この除去を容易にすることを目的とする作業、例えば、エネルギー線照射などが、除去前に追加的に含まれていてもよい。すなわち、本発明の一実施形態に係るガスバリアフィルムは、積層部材１００の加工体が備える第１のシートの切断体を備える。
　以上の加工方法によれば、切断工程を経て得られた積層部材１００の切断体において、ガスバリア層１２にクラックが生じにくいため、除去工程を経て得られたガスバリアフィルムにもクラックが生じにくい。
　以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
　例えば、積層部材１００は、第１のシート１０の第２のシート２０に対向する側と反対側の面に、別の層（本明細書において「付加層」ともいう。）が積層されていてもよい。
　付加層として、第２のシート２０と同様に、支持フィルムからなる層や、支持フィルムと粘着剤層とを備える積層体、ハードコート層等が例示される。第１のシート１０の切断体に付加層が貼付されている場合には、切断工程において付加層の切断体は形成されてもよいし、形成されなくてもよい。また、積層部材の加工体は付加層の切断体を含んでいてもよいし、第１のシート１０の切断体から付加層を剥離して積層体の加工体を得てもよい。積層部材の加工体は付加層の切断体を含む場合には、除去工程では、付加層における、第１のシート１０の切断体に接している部分を、第１のシート１０の切断体から除去して、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得ればよい。
　以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。
〔実施例１〕
　基材として、厚さ２５μｍの透明なポリエチレンテレフタレートフィルム（三菱樹脂社製、商品名：ＰＥＴ２５　Ｔ－１００、Ｒａ：２４ｎｍ、Ｒｔ：７５０ｎｍ）を用いて、基材の一方の面上に、酸化ケイ素（厚さ１５０ｎｍ）を下記条件で成膜し、ガスバリア層を形成し、第１のシートを得た。なお、得られたガスバリア層の面のＲａは４０ｎｍ以下、Ｒｔは９００ｎｍ以下であった。　　　
＜反応性スパッタリングの条件＞
　・スパッタリングガス：アルゴン、酸素
　・ガス流量：アルゴン１００ｓｃｃｍ、酸素４０ｓｃｃｍ
　・ターゲット材料：シリコン
　・電力値：２５００Ｗ
　・真空槽内圧：０．２Ｐａ
　次いで、第１のシートのガスバリア層の面と、支持フィルムと粘着剤層とを備える第２のシートとして（リンテック社製「ＰＦ　ＰＥＴ５０Ｂ」、支持フィルム：厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム）の粘着剤層の面とを貼合して、積層部材を得た。なお、第１のシートと第２のシートの厚さの関係は、第２のシート＞第１のシートであった。
　積層部材を、第２のシート側から裁断加工を行って、積層部材の加工体を得た。この積層部材の加工体から第２のシートの切断体を除去して、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。
〔実施例２〕
　下記条件にて酸窒化ケイ素（厚さ１５０ｎｍ）からなるガスバリア層を形成したこと以外は、実施例１と同様にして、積層部材の加工体を得た。なお、第１のシートと第２のシートとの厚さの関係は、第２のシート＞第１のシートであった。この積層部材の加工体から第２のシートの切断体を除去して、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。なお、得られたガスバリア層の面のＲａは４０ｎｍ以下、Ｒｔは９００ｎｍ以下であった。
＜反応性スパッタリングの条件＞
　・スパッタリングガス：アルゴン、窒素、酸素
　・ガス流量：アルゴン１００ｓｃｃｍ、窒素６０ｓｃｃｍ、酸素４０ｓｃｃｍ
　・ターゲット材料：シリコン
　・電力値：２５００Ｗ
　・真空槽内圧：０．２Ｐａ
〔実施例３〕
　剥離フィルム（リンテック社製「ＳＰ－ＰＥＴ１０３１Ｃ」）の剥離処理面にアクリル系粘着剤（リンテック社製「ＬＳ４１１Ｅ」）を乾燥後の厚さが２５μｍとなるように塗布、乾燥し、その粘着剤面に、支持フィルムとしてポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡績社製「ＰＥＴ１００Ａ４３００」、厚さ１００μｍ）を貼り合わせ、得られた積層体から剥離フィルムを剥離して第２シートを得たこと以外は、実施例１と同様にして、積層部材の加工体を得た。なお、第１のシートと第２のシートとの厚さの関係は、第２のシート＞第１のシートであった。この積層部材の加工体から第２のシートの切断体を除去して、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。
〔実施例４〕
　剥離フィルム（リンテック社製「ＳＰ－ＰＥＴ１０３１Ｃ」）の剥離処理面にアクリル系粘着剤（リンテック社製「ＬＳ４１１Ｅ」）を乾燥後の厚さが２５μｍとなるように塗布、乾燥し、その粘着剤面に支持フィルムとしてポリカーボネートフィルム（帝人社製「ピュアエースＣ１１０－７５」、厚さ７５μｍ）を貼り合わせ、得られた積層体から剥離フィルムを剥離して第２のシートを得たこと以外は、実施例１と同様にして、積層部材の加工体を得た。なお、第１のシートと第２のシートとの厚さの関係は、第２のシート＞第１のシートであった。この積層部材の加工体から第２のシートの切断体を除去して、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。
〔実施例５〕
　剥離フィルム（リンテック社製「ＳＰ－ＰＥＴ１０３１Ｃ」）の剥離処理面にアクリル系粘着剤（リンテック社製「ＬＳ４１１Ｅ」）を乾燥後の厚さが２５μｍとなるように塗布、乾燥し、その粘着剤面に支持フィルムとしてポリプロピレンフィルム（王子製紙社製「アルファンＰＰ４０」、厚さ４０μｍ）を貼り合わせ、得られた積層体から剥離フィルムを剥離して第２のシートを得たこと以外は、実施例１と同様にして、積層部材の加工体を得た。なお、第１のシートと第２のシートとの厚さの関係は、第２のシート＞第１のシートであった。この積層部材の加工体から第２のシートの切断体を除去して、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。
〔実施例６〕
　支持フィルムと粘着剤層とを備える第２のシートとしてサンエー化研社製「サニテクトＰＡＣ－３－７０」（厚さ７０μｍ）を用いた以外は、実施例１と同様にして、積層部材の加工体を得た。なお、第１のシートと第２のシートとの厚さの関係は、第２のシート＞第１のシートであった。この積層部材の加工体から第２のシートの切断体を除去して、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。
〔実施例７〕
　支持フィルムと粘着剤層とを備える第２のシートとしてリンテック社製「ＳＲＬ－０７５３Ｃ（ＡＳ）」（厚さ７５μｍ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、積層部材の加工体を得た。なお、第１のシートと第２のシートとの厚さの関係は、第２のシート＞第１のシートであった。この積層部材の加工体から第２のシートの切断体を除去して、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。
〔比較例１〕
　第２のシートを第１のシートに貼付せずに裁断加工を行ったこと以外は、実施例１と同様にして、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。
〔比較例２〕
　剥離フィルム（リンテック社製「ＳＰ－ＰＥＴ１０３１Ｃ」）の剥離処理面にアクリル系粘着剤（リンテック社製「ＬＳ４１１Ｅ」）を乾燥後の厚さが２５μｍとなるように塗布、乾燥し、その粘着剤面に支持フィルムとしてポリエチレンフィルム（住友化学社製「スミカセンＬ７０５」からなるフィルム、厚さ１１０μｍ）を貼り合わせ、得られた積層体から剥離フィルムを剥離して第２のシートを得たこと以外は、実施例１と同様にして、積層部材の加工体を得た。この積層部材の加工体から第２のシートの切断体を除去して、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。
〔参考例〕
　下記条件にて炭素含有酸化ケイ素（厚さ２５０ｎｍ）からなるガスバリア層を形成したこと以外は、比較例１と同様にして、第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得た。なお、得られたガスバリア層の面のＲａは４０ｎｍ以下、Ｒｔは９００ｎｍ以下であった。
＜反応性スパッタリングの条件＞
　・スパッタリングガス：へキサメチルジシロキサン：酸素ガス：ヘリウム
　・ガス流量：へキサメチルジシロキサン１ｓｃｃｍ、酸素ガス１０ｓｃｃｍ、ヘリウム１０ｓｃｃｍ
　・電力値：２５００Ｗ
　・真空槽内圧：０．２Ｐａ
〔試験例１〕＜表面硬度の測定＞
　実施例および比較例により製造したガスバリアフィルム、およびそれらのガスバリアフィルムを製造する際に使用した第２のシートの、第１のシートに対向する面と反対側の面について、ナノインデンター（ＭＴＳ社製「Ｎａｎｏ　Ｉｎｄｅｎｔｅｒ　ＳＡ２」）を用いて、２３℃における表面硬度を測定した。結果を表１に示す。
〔試験例２〕＜第２のシートの第１のシートに対する粘着力＞
　実施例および比較例により製造したガスバリアフィルムを製造する際に使用した第２のシートを２５ｍｍ×２５０ｍｍのサイズに切り出した。実施例および比較例により製造したガスバリアフィルムを製造する際に使用した第１のシートのガスバリア層の面に、上記第２のシートの粘着剤層の面を貼付した。その後、２３℃、相対湿度５０％の環境下で２４時間放置したのち、同環境下で、引張試験機（オリエンテック社製「テンシロン」）を用いて、ＪＩＳ　Ｚ０２３７に準じて、剥離速度３００ｍｍ／分、剥離角度１８０°の条件での剥離試験を実施した。剥離試験において剥離に要した最大の力を粘着力（ｍＮ／２５ｍｍ）とした。結果を表１に示す。
〔試験例３〕＜加工適正評価＞
　連続自動切断機（荻野精機製作所社製「ＰＮ１－６００」）を用いて、実施例および比較例において製造した積層部材（比較例１のみ第１のシート）を直線状に裁断して、積層部材（比較例１のみ第１のシート）の切断体を得た。得られた切断体の裁断した端部における任意に抜き出した２００μｍ×２００μｍの領域を観察対象とし、コンフォーカル顕微鏡（レーザーテック社製「ＨＤ１００Ｄ」、対物レンズ：２０倍）を用いて、ガスバリア層の端部や膜面のクラックや傷の有無を観察し、下記の基準に従って加工適正を評価した。
　　Ａ：１μｍ以上の異物や傷が見られなく、かつ１μｍ以下の異物や傷もほぼ見られなかった（１μｍ以下の異物：２個未満）。
　　Ｂ：１μｍ以上の異物や傷が見られなかったが、１μｍ以下の異物や傷がわずかに見られた（１μｍ以下の異物：２～１０個）。
　　Ｃ：１μｍ以上の異物や傷が見られなかったが、１μｍ以下の異物や傷が多数確認された（１μｍ以下の異物：１１個以上）。
　　Ｄ：１μｍ以上の異物や傷が確認され、かつ１μｍ以下の異物や傷が多数確認された。
　上記基準に従って評価した結果、「Ａ」、「Ｂ」および「Ｃ」のいずれかであった場合には、適切なガスバリア性を有するガスバリア層であると判断することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１から分かるように、本発明の条件を満たす実施例の積層部材を用いて、第２のシート側の面から切断することにより、切断面近傍にクラックが認められないガスバリアフィルムを製造することができた。
　本発明に係る積層部材は、画像表示デバイスの表示側の透明保護部材として好適に用いられる。
１００…積層部材
１０…第１のシート
１１…基材
１２…ガスバリア層
２０…第２のシート
２１…支持フィルム
２２…粘着剤層
３…切断刃

Claims (11)

  1. 　第１のシートと、第１のシートの一方の面上に配置される第２のシートとを備える積層部材の加工方法であって、
    　前記第１のシートは、基材と前記基材の少なくとも一方の面に積層されたガスバリア層とを備え、
    　前記ガスバリア層は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が１０ＧＰａ以上であり、
    　前記第２のシートの前記第１のシートに対向する面と反対側の面は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が０．０５ＧＰａ以上であり、
    　前記積層部材を、前記第２のシート側の面から機械的切断加工を行って、前記第１のシートの切断体および前記第２のシートの切断体を備える前記積層部材の加工体を得る切断工程を備えること
    を特徴とする、積層部材の加工方法。
  2. 　前記機械的切断加工は、裁断加工および抜き加工の少なくとも一方を含む、請求項１に記載の加工方法。
  3. 　前記積層部材の加工体から前記第２のシートの切断体を除去することを含んで、前記第１のシートの切断体からなるガスバリアフィルムを得る除去工程を備える、請求項１に記載の加工方法。
  4. 　前記第２のシートは、前記第１のシートの前記ガスバリア層側の面上に配置される、請求項１に記載の加工方法。
  5. 　前記第２のシートは、支持フィルムと、前記支持フィルムの一方の面上に積層された粘着剤層とを備え、
    　前記粘着剤層側の面が前記第１のシートに対向するように前記第２のシートは配置されている、請求項１に記載の加工方法。
  6. 　前記第１のシートの第２のシートに対向する面と反対側の面は、算術平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以上、粗さ曲線の最大断面高さ（Ｒｔ）が１５０ｎｍ以上である、請求項１に記載の加工方法。
  7. 　前記第２のシートの前記粘着剤層の面は前記第１積層体の前記ガスバリア層の面に貼付され、前記第２のシートの前記第１のシートに対する粘着力が１５００ｍＮ／２５ｍｍ以下である、請求項５に記載の加工方法。
  8. 　前記第２のシートの厚さは、第１のシートの厚さよりも厚いことを特徴とする、請求項１に記載の加工方法。
  9. 　前記第１のシートの前記ガスバリア層は、算術平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下、かつ粗さ曲線の最大断面高さ（Ｒｔ）が１５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下である、請求項１に記載の加工方法。
  10. 　第１のシートと、第１のシートの一方の面上に配置される第２のシートを備える積層部材を、前記第２のシート側の面から機械的切断加工を行って得られた、前記第１のシートの切断体および前記第２のシートの切断体を備える積層部材の加工体であって、
    　前記第１のシートは、基材と前記基材の少なくとも一方の面に積層されたガスバリア層とを備え、
    　前記ガスバリア層は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が１０ＧＰａ以上であり、
    　前記第２のシートの前記第１のシートに対向する面と反対側の面は、ナノインデンターを用いて測定される表面硬度が０．０５ＧＰａ以上であること
    を特徴とする積層部材の加工体。
  11. 　請求項１０に記載される積層部材の加工体が備える第１のシートの切断体を備えるガスバリアフィルム。
PCT/JP2015/056508 2014-05-28 2015-03-05 積層部材の加工方法、積層部材の加工体およびガスバリアフィルム WO2015182203A1 (ja)

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