WO2015135798A1 - Prozesskammerabdeck-anordnung und prozesskammer-anordnung - Google Patents

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WO2015135798A1
WO2015135798A1 PCT/EP2015/054411 EP2015054411W WO2015135798A1 WO 2015135798 A1 WO2015135798 A1 WO 2015135798A1 EP 2015054411 W EP2015054411 W EP 2015054411W WO 2015135798 A1 WO2015135798 A1 WO 2015135798A1
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WO
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process chamber
chamber cover
flash lamp
assembly
various embodiments
Prior art date
Application number
PCT/EP2015/054411
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jan Leupold
Harald Gross
Georg Haasemann
Andreas Heisig
Erwin Zschieschang
Enno Mirring
Lars Zimmermann
Udo Willkommen
Original Assignee
Von Ardenne Gmbh
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B41/00—Circuit arrangements or apparatus for igniting or operating discharge lamps
    • H05B41/14—Circuit arrangements
    • H05B41/16—Circuit arrangements in which the lamp is fed by dc or by low-frequency ac, e.g. by 50 cycles/sec ac, or with network frequencies
    • H05B41/20—Circuit arrangements in which the lamp is fed by dc or by low-frequency ac, e.g. by 50 cycles/sec ac, or with network frequencies having no starting switch
    • H05B41/22—Circuit arrangements in which the lamp is fed by dc or by low-frequency ac, e.g. by 50 cycles/sec ac, or with network frequencies having no starting switch for lamps having an auxiliary starting electrode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/70—Lamps with low-pressure unconstricted discharge having a cold pressure < 400 Torr
    • H01J61/80—Lamps suitable only for intermittent operation, e.g. flash lamp
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
    • H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B41/00—Circuit arrangements or apparatus for igniting or operating discharge lamps
    • H05B41/02—Details
    • H05B41/04—Starting switches

Definitions

  • the invention relates to a Jerusalem miter board arrangement and a process chamber arrangement.
  • processed goods e.g. Substrates, plates, glasses, wafers, semi-finished products and / or tools are subjected to a heat treatment, e.g. by means of a
  • RTP treatment Rapid Thermal Processing
  • the electrical energy is supplied pulsed, for example by means of cables to the flash lamps.
  • the flash lamp assembly can be mounted on a detachably connected to the process chamber wall element (a process chamber cover) of the process chamber, wherein the wall element of the
  • Process chamber can be dismantled from the process chamber together with the flash lamp assembly mounted thereon.
  • the wall element can be set up in such a way
  • the flash lamp assembly for example, in modular
  • Process chamber concepts for example, in an in-line processing system through which a substrate can be transported through and wherein the substrate successively in various areas of the in-line processing plant will be processed (eg cleaned, coated, etched, heated, exposed, etc.).
  • Embodiments are illustratively seen in mounting a flash lamp assembly to a wall member of the processing chamber releasably connected to the process chamber and providing the flash lamp assembly with coolant and / or electrical energy through the wall member.
  • Flash lamp assembly to be integrated into the modular processing arrangement.
  • a process chamber cover assembly comprising: a process chamber cover for covering an opening of a process chamber (e.g., vacuum sealing the process chamber)
  • Process chamber cover is attached to its process chamber side.
  • the process chamber may be a vacuum chamber and the process chamber cover may be a vacuum chamber cover
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Flash lamp assembly have multiple flash lamps.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Process chamber cover be releasably attached to the process chamber.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Process chamber cover assembly further one
  • Process chamber cover be arranged.
  • the power supply circuit may be detachably attached to the process chamber cover.
  • Process chamber cover assembly further a
  • Power supply circuit and the flash lamp assembly be coupled to each other by means of the contacting structure.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Process chamber cover assembly further a
  • Process chamber cover be arranged.
  • coolant supply structure may be releasably attached to the process chamber cover.
  • the pedestal structure is disposed (mounted or mounted) on the process chamber side of the process chamber cover.
  • the at least one pedestal structure may include a plurality of pedestal structures (or the process chamber cover assembly may have multiple pedestals)
  • Process chamber cover assembly further at least one
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Process chamber cover having a coupling element for attaching a lifting device for lifting the
  • the process chamber cover can have, for example, an eyelet or a thread for screwing in an eyelet into which, for example, a hook of a crane can engage, so that the process chamber cover arrangement can be lifted off the opening of the process chamber.
  • the process chamber cover can have, for example, an eyelet or a thread for screwing in an eyelet into which, for example, a hook of a crane can engage, so that the process chamber cover arrangement can be lifted off the opening of the process chamber.
  • Process chamber cover assembly to be lifted up from the process chamber, or down from the process chamber away (e.g., lowered) or to one side away from the process chamber (e.g., moved laterally).
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Process chamber cover to be a lid for closing and / or sealing an opening of the process chamber.
  • Process chamber assembly comprising: a
  • Process chamber with an opening (for receiving a
  • Process chamber cover assembly and a process chamber cover assembly.
  • the process chamber arrangement may further comprise a vacuum pump arrangement, by means of which with the process chamber cover the
  • Process chamber cover assembly sealed process chamber can be evacuated.
  • a processing assembly (a process chamber assembly) comprising: a wall member (a process chamber cover) for covering and / or sealing an opening of a
  • Process chamber housing at least one flash lamp, which is fixed to the wall element of the chamber housing such that when mounting the wall element to the process chamber housing, the at least one flashlamp through the opening of the
  • Process chamber housing is brought through, and wherein in the assembled state of the wall element at the
  • Process chamber housing the at least one flash lamp is held by the wall element in the process chamber housing and the Wall element closes the opening of the process chamber housing vacuum-tight or airtight.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • the sealed process chamber housing can be coupled, so that the sealed process chamber housing can be evacuated.
  • Figure 1A is a Rothprovingabdeck arrangement with a
  • Flash lamp in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments
  • FIG. 1B shows a process chamber cover arrangement with a
  • Flash lamp in a schematic side view or cross-sectional view from a second direction, according to various embodiments
  • Figure IC is a Rothprovingabdeck arrangement with several
  • Flash lamps in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments,
  • FIG. 1D shows a process chamber cover arrangement with several
  • FIG. 1F shows a process chamber cover arrangement with a
  • Flash lamp and a supply device in a schematic side view or cross-sectional view from a first direction, according to various embodiments
  • Figure 2A is a process chamber arrangement in a schematic
  • FIG. 2B shows a process chamber arrangement in a schematic
  • FIGS. 3A and 3B each show a process chamber arrangement in a schematic side view or
  • FIG. 3C shows a process chamber arrangement in one
  • FIG. 3D shows a process chamber arrangement in a detailed schematic side view or cross-sectional view, according to various embodiments
  • FIGS. 4A and 4B each show a process chamber arrangement in a schematic side view or
  • FIGS. 4C and 4D each show a process chamber arrangement in a perspective view, according to various embodiments; and 4E each show a process chamber arrangement in one
  • Temperature treatment or a light treatment can be subjected.
  • a substrate to be treated or a support to be treated can be heated exclusively, or the chemical and / or physical properties of the substrate or support to be treated can be changed.
  • flash lamps for example, such high radiation powers can be generated that they can be used in RTP systems (English, rapid thermal processing, RTP) for treating substrates or carriers by means of light.
  • flash lamps may be subjected to UV treatment (e.g., radiation curing or UV curing).
  • Flash lamp module (a process chamber cover assembly)
  • a coating equipment e.g., a glass coating equipment or film coating equipment.
  • a process chamber may have a predefined opening (in size, shape and location), the flash lamp module being provided to fit such an opening in the process chamber.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Flash lamp module (the Jerusalem Bachabdeck arrangement) one or more flash lamp resonant circuits, e.g. mounted on or on the lid of the flash lamp module (on the
  • the charging capacitor and the inductance of the respective oscillating circuit for a flash lamp can be mounted on or in the cover, e.g. be integrated into the flash lamp module or be.
  • the flashlamp oscillator of which only currents in the range of a few amperes per flashlamp flow to the charging capacitor, can be installed anywhere at a distance from the flashlamp module.
  • Flash lamps are provided in a flash lamp assembly as an exchangeable removable component, so that a simple separation of the lid with the capacitors and coils of the flash lamps is possible and the cassette alone by air freight due to the low weight can be shipped at a moderate cost.
  • a plurality of flashlamps may be commonly held by a frame or carrier, wherein the frame or carrier may be releasably attachable to the lid (to the process chamber cover) or may be. Further, the flashlamps of the plurality of flashlamps may each be individually detachably attached to the frame or support.
  • flash lamps for example, gas discharge lamps or high-pressure gas discharge lamps can be used, which with a maximum pulse power in the kilowatt range up
  • a flash lamp may be an electrical
  • a flash lamp have an arc length in a range of about a few centimeters to about a few meters
  • a radiant energy can be generated in a range of about 0.4 kJ to about 100 kJ or, for example, 30% to 50% of the electric power in
  • Radiation power can be implemented, or 30% to 50% of electrical energy can be converted into radiant energy. Due to the short flash of light (e.g.
  • the radiant power can be large, e.g. in the gigawatt range.
  • the flash lamps depending on the power or
  • FIG. 1A illustrates a process chamber cover assembly 100 in a side view from a direction 103 transverse to the directions 101 and 105, according to various
  • the process chamber cover assembly 100 may include, for example, a process chamber cover 102 for covering an opening of a process chamber.
  • the process chamber cover 102 may, for example, in
  • Process chamber cover 102 has an opening in one
  • Process chamber covered for example, completely overlapped
  • this is a process chamber completed, for example, such that a substrate can be processed within the process chamber when the process chamber by means of the process chamber cover 102nd
  • the process chamber cover 102 for example, at least one sealing surface 102d (or
  • Sealing area or support surface 102d (or support area), for example, at the edge of the process chamber cover 102 and the process chamber cover 102 circulating, wherein when mounting the process chamber cover 102 (or the entire process chamber cover assembly 100) on a
  • Sealing surface or bearing surface of the process chamber can be brought into contact, so that the process chamber cover 102, the process chamber by means of the sealing surface 102 d or
  • the at least one sealing surface 102d or bearing surface 102d may be planar, e.g. sanded and / or polished so that these on one
  • additional elastic sealing element can lie airtight or vacuum-tight or so that they on another flat sealing surface or bearing surface without
  • additional elastic sealing element can abut air-tight or vacuum-tight. It can the
  • Process chamber cover 102 is a metal or a
  • Metal alloy or consist thereof, e.g.
  • Aluminum an aluminum compound, e.g. Steel, e.g.
  • Structural steel e.g. Stainless steel, or the like. According to
  • the process chamber to which the process chamber cover 102 (or the entire
  • Process chamber cover assembly 100) to be mounted also comprise or consist of a metal or a metal alloy, for example aluminum, an aluminum compound, eg steel, eg structural steel, eg stainless steel, or the like.
  • theificatzigabdeck arrangement 100 for example, an elastic sealing structure (not shown), for example on the sealing surface 102d or the support surface 102d of the process chamber cover 102.
  • An elastic vacuum-compatible sealing structure for example on the sealing surface 102d or the support surface 102d of the process chamber cover 102.
  • VDF vinylidene fluoride
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Process chamber cover 102 has an inside 102i (a
  • Process chamber side 102i wherein the sealing surface 102d or the support surface 102d may be provided on the inner side 102i of the process chamber cover 102.
  • the inside 102i of the process chamber cover 102 may
  • the process chamber cover 102 may include an outer side 102a (a side applied to the process chamber side 102i) opposite to the inner side 102i of the process chamber cover 102.
  • Flash lamp assembly with at least one flashlamp 106 attached to the inside of the process chamber cover 102 (e.g., removably attached) or mounted. This can
  • a bracket 102h may be used which holds or fixes the at least one flash lamp 106 of the flash lamp assembly to the process chamber cover 102.
  • the process chamber cover assembly 100 may further include, for example, at least one optical reflector, e.g. one or more light reflecting surfaces (not
  • the optical reflector for example, between the flash lamp 106 and the process chamber cover 102 may be arranged.
  • the optical reflector for example, between the flash lamp 106 and the process chamber cover 102 may be arranged.
  • the light emission 106L of the at least one flashlamp 106 may be in a direction away from the
  • Process chamber cover 102 can be increased.
  • a substrate can be efficiently exposed in the process chamber.
  • Process chamber cover 102 can be reduced by means of the optical reflector due to the light 106 L emitted by the at least one flashlamp 106.
  • a reflector in the infrared region of the light and / or in the ultraviolet region of the light (in addition to the visible light) can be understood as an optical reflector.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Process chamber cover a coupling element or a plurality of coupling elements (e.g., a coupling structure) for
  • Process chamber cover 102 (or the entire
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Process chamber cover 102 have a width along the direction 101 in a range of about 10 cm to about 150 cm, e.g. in a range of about 30 cm to about 100 cm.
  • FIG. 1B illustrates that shown in Fig. 1A
  • the process chamber cover 102 of the process chamber cover assembly 100 may have a length along the direction 103 (across the direction 101) in a range of approximately 50 cm to about 500 cm, for example in a range of about 100 cm to about 500 cm, for example in a range of about 200 cm to about 500 cm, for example in a range of about 100 cm to about 450 cm, for example in one
  • the at least one flashlamp 106 may be arranged along its longitudinal extent (in FIG. 1
  • brackets 102h e.g. of two pedestal elements 102h, which form a pedestal structure 102h for the at least one flashlamp 106.
  • the at least one flashlamp 106 may be stabilized, for example, during ignition.
  • the brackets 102h may be mounted to the process chamber cover 102 as shown, so that illustratively the at least one
  • Flash lamp 106 may be attached to the process chamber cover 102 or may be mounted.
  • the respective holder 102h may be in one piece and be screwed or clamped, for example, to the process chamber cover 102.
  • the respective holder 102h may be part of a contacting structure for electrically contacting the at least one flashlamp 106 of the flashlamp assembly, wherein the
  • Process chamber cover 102 may extend therethrough. Furthermore, the respective holder 102h may be part of a cooling structure for thermal contacting of the at least one
  • Flash lamp 106 of the flash lamp assembly wherein the
  • Cooling structure can extend through the process chamber cover. For example, using the respective holder 102h of the at least one flash lamp 106, a coolant and electrical energy can be supplied. In this case, the at least one flash lamp 106 in such a way
  • the at least one flashlamp 106 may comprise a transparent inner tube (eg made of quartz glass), wherein the transparent inner tube has an anode structure and a cathode structure and is configured (eg filled with gas), that a gas discharge can be ignited within the inner tube , Furthermore, the at least one flashlamp 106 can have a transparent outer tube, for example, arranged coaxially to the inner tube, so that between the inner tube and the outer tube
  • Coolant can be directed.
  • the respective support 102h may support the inner tube and the outer tube of the at least one flashlamp 106, as well as an electrical support
  • the at least one flashlamp 106 (or may be multiple at the
  • the at least one flashlamp 106 may be shorter along its longitudinal extent (e.g., along direction 103) than the longitudinal extent (e.g., along direction 103) of process chamber cover 102.
  • the at least one flashlamp 106 (or may be multiple at the Process chamber cover 102 mounted flash lamps 106 each) a diameter (transverse to the longitudinal extent) in a range of about 0.5 cm to about 5.0 cm
  • the at least one flashlamp 106 (or may be multiple at the
  • FIG. 1C illustrates a process chamber cover assembly 100 in a side view from a direction 103 transverse to the directions 101 and 105, according to various
  • the dyingschzigabdeck arrangement 100 comprises a plurality of flash lamps 106.
  • the flash lamp assembly of the process chamber cover assembly 100 may include a plurality of flash lamps 106.
  • Fig. ID illustrates that shown in Fig. IC
  • the plurality of flashlamps 106 each at their end portions by means of a holder 102h are held or at the
  • Process chamber cover 102 are attached. Further, the plurality of flashlamps 106 each at the axial
  • each flashlamp 106 of the plurality of flashlamps 106 may be held at their axial end portions by means of two brackets 102h, respectively.
  • each of the flash lamps 106 can be held and / or held by means of two base elements of a base structure
  • each of the flashlamps 106 may be replaced one by one (e.g., if the flashlamp 106 malfunctions or the flashlamp 106 is diminished in functionality) by, for example, disassembling each of the two pedestal elements of the pedestal structure of the associated flashlamp 106 from the process chamber cover 102.
  • Base structures are each attached to one side of the flash lamps 106 on a common support structure or are, wherein the common support structure on the
  • Process chamber side 102i of the process chamber cover 102 can be or can be attached.
  • both a single flash lamp 106 can be replaced, for example, by the two respective base elements of the base structure of the associated flash lamp 106 of the
  • common support structure are dismantled, as well as all flashlamps 106 are replaced simultaneously, by each of the two support structure elements (at the axial end portions of the flashlamps 106) of the common
  • Holding structure are removed from the process chamber cover 102, wherein the plurality of flashlamps together with the respective base elements (base structures) of the
  • Process chamber cover 102 are dismantled, such as
  • FIG. IE for example, in FIG. IE.
  • FIG. IE illustrates a process chamber cover assembly 100 in a side view from a direction 103 transverse to the directions 101 and 105, according to various
  • the process chamber cover assembly 100 includes a plurality of flash lamps 106, each of the plurality of flash lamps Flash lamp 106 is secured to a common support structure element 102sh (a socket element holder 102sh) of a support structure (eg, detachably) by a socket member 102s (a lamp cap 102s) of a pedestal structure, and wherein the support structure element 102sh is attached to the process chamber cover 102 (eg, detachably).
  • a common support structure element 102sh a socket element holder 102sh
  • a socket member 102s a lamp cap 102s
  • Flash lamp assembly provided, wherein the
  • Flash lamp assembly may have a plurality of flash lamps 106, wherein the plurality of flash lamps 106 are releasably secured by means of a respective base structure to a common support structure.
  • the common support structure may be a frame structure such that the flash lamp assembly may or may be provided as a preassembled assembly. For example, the entire
  • FIG. 1F illustrates a process chamber cover assembly 100 in a side view from a direction 103 transverse to the directions 101 and 105, according to various
  • the process chamber cover assembly 100 may further include a
  • Process chamber cover 102 may be provided opposite the inside 102i. It can the
  • Supply device 108 have multiple components, which may be provided in a common housing.
  • the supply device 108 may be releasably attached to the process chamber cover 102 so that it can be easily disassembled from the process chamber cover 102 or mounted to the process chamber cover 102.
  • the supply device 108 may also be physically remote from the process chamber cover assembly 100
  • the Contacting structure can pass through the process chamber cover 102 therethrough.
  • the contacting structure can, for example, in each case an anode and / or a cathode of the at least one flashlamp 106 with the
  • each flash lamp 106 may each be assigned a power supply circuit.
  • the flashlamp 106 may be in the
  • Actuate power supply circuit as a switch, in which case the ignition of the flash lamp 106 must be additionally triggered (triggered), for example by means of an additional electric field or a
  • Power supply circuit one or more switches for operating (flashing) of the at least one flash lamp 106 have.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Supply device 108 further comprise a cooling structure for thermal contacting (eg for cooling) of the at least one flashlamp 106, wherein the cooling structure may pass through the process chamber cover 102.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Power supply circuit having a capacitor arrangement with a capacitor or with several
  • Capacitors (e.g., connected in parallel), the
  • Capacitor assembly can be gradually charged by means of an external power / voltage source and (for
  • Generating the flash of light by means of the flash lamp 106) can be discharged by the at least one flash lamp 106.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Power supply circuit having a coil arrangement with a coil or with a plurality of coils (for example, connected in parallel or in series), wherein the coil arrangement is arranged such that this unloading the
  • Capacitor arrangement influenced by the at least one flash lamp 106 therethrough.
  • the flash lamp 106 can be operated by means of a pulsed high current source, wherein the pulsed high current source in the
  • Process chamber cover assembly 100 may be integrated.
  • the coil arrangement and the capacitor arrangement can illustratively form a flash lamp resonant circuit or be part of a flash lamp resonant circuit.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Flash lamp 106 provide in a range of about 1 kV to about 40 kV, e.g. in a range of about 10 kV to about 40 kV, e.g. in a range of about 20 kV to about 40 kV.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Power supply circuit a pulsed maximum current between the anode and the cathode of the at least one
  • Allow flash lamp 106 to range from about 100 A to about 10 kA, e.g. in a range of
  • the support 102h (e.g., with the pedestal elements 102s and optionally the
  • common support structure 102sh may be configured to receive, hold, and / or power (electrically power and / or cool) a plurality of tubular flashlamps, e.g. two, three, four, five, six, seven, eight, nine, ten, or more than ten flashlamps, e.g. more than 12 flashlamps or more than 20 flashlamps.
  • tubular flashlamps e.g. two, three, four, five, six, seven, eight, nine, ten, or more than ten flashlamps, e.g. more than 12 flashlamps or more than 20 flashlamps.
  • the plurality of flashlamps 106 may be arranged side by side, e.g. transverse to its longitudinal direction
  • Each of the plurality of flash lamps 106 may have a length in a range of about 100 cm to about 500 cm. Each of the plurality of flash lamps 106 may have a diameter in a range of about 0.5 cm to about 5.0 cm.
  • FIG. 2A illustrates a process chamber assembly 200 in a schematic side view, according to various
  • Embodiments wherein the process chamber cover assembly 100 is mounted to a process chamber 200p.
  • the process chamber cover 102 may be mounted on a chamber wall 200w of the process chamber 200p.
  • the process chamber 200p may include an opening 200g with the at least one flashlamp 106 of the process chamber cover assembly 100 mounted in place
  • the holder 102h can / for the at least one flash lamp 106 and / or the at least one flash lamp 106 through the opening 200g in a chamber wall of
  • Process chamber 200p extend therethrough.
  • Process chamber 200p be attached, e.g. be screwed or clamped.
  • Process chamber 200p rest or adjoin. Thus, the area between the process chamber 200p (or
  • Process chamber wall 200w) and the process chamber cover 102 may be vacuum-tight or hermetically sealed.
  • the bearing surface 200d or sealing surface 200d of the process chamber 200p can surround or delimit the opening 200g. It is understood that the opening 200g is provided in the process chamber 200p (or in a process chamber wall 200w of the process chamber 200p) to match the flash lamp assembly.
  • the area between the process chamber 200p (or process chamber wall 200w) and the process chamber cover 102 may be sealed by an elastic seal.
  • FIG. 2B illustrates a process chamber assembly 200 in a schematic side view, according to various
  • the Jerusalemgrazingabdeck arrangement 100 can be introduced 205 (inserted or lowered) in the process chamber 200 p.
  • the process chamber cover 102 of the process chamber cover assembly 100 can lie positively on the process chamber 200 p, wherein the at least one flashlamp 106 within the
  • Process chamber 200p is held so that a substrate 220 in an exposure region 106s of the process chamber 200p can be exposed by means of the at least one flashlamp 106.
  • the substrate 220 can be guided, for example, along a planar (or also curved) transport surface 10 Ole, eg by means of one or more rollers 210
  • the process chamber 200p may be a vacuum process chamber 200p for exposing (irradiating) a substrate 220 in a vacuum.
  • the vacuum may or may not be provided by a vacuum pumping arrangement (not shown), for example, the vacuum pumping arrangement may include a backing pump (e.g., Roots pump, diaphragm pump, or rotary vane pump) and / or a high vacuum pump (e.g., turbomolecular pump).
  • a backing pump e.g., Roots pump, diaphragm pump, or rotary vane pump
  • a high vacuum pump e.g., turbomolecular pump
  • Process pressure may or may be dynamically provided within the vacuum process chamber 200p, wherein during processing both at least one gas (e.g., process gases, reactive gas, or inert gas) is introduced into the vacuum process chamber 200p, as well as the introduced gas from the vacuum process chamber 200p by means of the at least one gas (e.g., process gases, reactive gas, or inert gas) is introduced into the vacuum process chamber 200p, as well as the introduced gas from the vacuum process chamber 200p by means of the at least one gas (e.g., process gases, reactive gas, or inert gas) is introduced into the vacuum process chamber 200p, as well as the introduced gas from the vacuum process chamber 200p by means of the at least one gas (e.g., process gases, reactive gas, or inert gas) is introduced into the vacuum process chamber 200p, as well as the introduced gas from the vacuum process chamber 200p by means of the at least one gas (e.g., process gases, reactive gas, or inert gas) is introduced into the vacuum process chamber 200p, as well as the
  • Vacuum pump assembly is pumped. At this time, an equilibrium can be established whereby the process pressure (e.g., a pressure of the process gas) can be set.
  • the gas flow through the vacuum process chamber 200p and / or the process pressure can be controlled and / or controlled by means of valves and / or sensors (a control).
  • the process chamber 200p may include an atmospheric pressure processing chamber for exposing a substrate to normal pressure (actual prevailing air pressure outside of
  • Process chamber 200p or at slight overpressure (e.g.,
  • the process chamber 200p may have an overpressure Process chamber, wherein substrates can be processed under a pressure of more than 1200 hPa, for example in a process gas.
  • the fixing device 102h (the holder 102h) for fixing the at least one flash lamp 106 may
  • corresponding lamp base have to
  • the attachment device 102h may be configured to receive a plurality of tubular flashlamps in which
  • the plurality of flashlamps 106 may be arranged side by side, e.g. across to their
  • Embodiments may include the multiple flashlamps 106 (e.g., due to their length and relative arrangement
  • Exposure space 106s in which the substrate 220 can be exposed.
  • a substrate 220 may extend across the lengthwise direction 103 of the at least one flashlamp 106 (e.g., along the direction 101) through the processing region 106s
  • Direction 101 (eg, along a substrate transport direction) may range from about 20 cm to about 600 cm, eg, in a range from about 40 cm to about 100 cm. Further, the width (eg, the spatial extent along the direction 103 transverse to the transport direction 101) of the process chamber 200p may be in a range of about 20 cm to about 600 cm, eg, in a range of about 100 cm to about 450 cm (but the width must be at least greater than the length of the at least one flash lamp 106 in the same direction).
  • the opening 200g in the process chamber 200p may have a width (along the direction 103, eg along the longitudinal direction of the at least one flashlamp 106) that is greater than the length of the at least one flashlamp 106 and which is smaller than the width (along the Direction 103, eg along the
  • Process chamber cover 102 is. According to different
  • the opening 200g in the process chamber 200p may have a length (along the direction 101, e.g., transverse to the longitudinal direction of the at least one flashlamp 106) greater than the diameter of the at least one
  • Flash lamp 106 (or as the flash lamp assembly 106) and which is smaller than the length (along the direction 101, for example, transverse to the longitudinal direction of the at least one flashlamp 106) of the process chamber cover 102. Furthermore, the
  • Process chamber cover assembly 100 may be mounted on the process chamber 200p such that the flash lamps 106 are aligned with their longitudinal extent (along the direction 103) transverse to the transport direction 101 (along the width direction 103 of the process chamber 200p).
  • a plurality of flash lamps 106 in the process chamber 200p may be replaced by the
  • Process chamber cover 102 of Jerusalem chips are supplied. During operation of the
  • Process chamber cover assembly 100 (during flash of the flash lamps 106), the substrate 220 along a
  • the process chamber assembly 200 may include a transport device 210, such as a plurality of transport rollers 210.
  • the substrate 220 may be in physical contact with only annular portions of the transport rollers during transport, with the annular portions projecting radially from the transport roller.
  • the process chamber 200p may include at least one entrance gate and / or at least one exit gate for transporting the substrate 220 into the process chamber 200p or out of the process chamber 200p.
  • the process chamber 200p may be configured to be light-tight or light-tight so that, for example, when flashed, no electromagnetic radiation (e.g., UV light) may exit the process chamber 200p.
  • no electromagnetic radiation e.g., UV light
  • the process chamber cover assembly 100 may, for example, be part of a vacuum deposition system, e.g. Part of a glass, metal tape or foil coating plant.
  • the lid 102 (the process chamber cover 102 of FIG.
  • Process chamber cover assembly 100 may or may not be sealingly connected to the vacuum coating equipment.
  • the cover 102 can be set up such that it fits on openings which are usually present in a vacuum coating installation, onto which, for example, a magnetron or a vacuum pump cover is also placed.
  • the lid 102 firmly screwed, loosely laid or created, the attachment of the top, bottom or side may be possible.
  • the flash lamp assembly 106 may include one or more transparent jacket tubes (eg, per
  • Flash lamp 106 a jacket tube, wherein the jacket tube
  • Operation can be cooled by means of water.
  • the gas discharge lamp 106 may comprise an elongated gas tube filled with a tube having two in the lamp tube respectively at the end of the lamp tube
  • Electrodes where one electrode is called or operated as an anode, the other as a cathode. At the two
  • End portions of the gas discharge lamp 106 can be vacuum-tight mounted on the lid, sealing with the jacket tube
  • connected end pieces 102h may be arranged, in which the gas discharge lamp and the jacket tube and stored by which cooling water in an annular gap between
  • Gas discharge lamp and casing pipe can flow in and out.
  • Gas discharge lamp are guided.
  • a firing wire may also be established on the anode side or an electric potential for self-ignition suppression may be provided on the cathode side within the tails.
  • the end pieces 102 s (the base elements) can be mounted on both sides respectively with a summarizing element 102 sh, eg an intermediate plate, and then as a unit to the vacuum cover 102 to be assembled.
  • a summarizing element 102 sh eg an intermediate plate
  • the distribution of the cooling water to the individual end pieces 102s take place, cf. see Fig. IE.
  • the respective intermediate plate 102sh (the one intermediate plate 102sh or the one
  • Intermediate frame 102sh or the plurality of intermediate plates 102sh may be sealed to the end pieces 102s and the lid 102.
  • the end pieces 102s and intermediate plates 102sh may comprise an electrically insulating and strong light radiation resistant, temperature resistant material, such as e.g. Ceramic or fluorine plastic (PTFE or PVDF).
  • Flash lamp assembly 106 at least one lamp 106, a
  • a plurality of lamp units may or may be provided as a common lamp array.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Gas discharge lamps 106 takes place as synchronously as possible
  • the ignition wire can be contacted on the anode side and laid parallel to the gas discharge lamp 106, so that the ignition wire ends with a sufficient distance (about 20 cm) to the cathode.
  • a simmer ignition an over-head ignition or a cover reflector placed on ignition voltage can be used to ignite the at least one flashlamp 106.
  • the process chamber cover assembly 100 or process chamber 200p may include reflectors, such as set up that they reflect the high-energy light radiation produced in the gas discharge lamp as effectively as possible to the substrate to be treated
  • the reflectors may be highly reflective and water cooled on the surface facing the gas discharge lamps 106 and away from the surface
  • Seen substrate from behind the lamp field are located (a so-called back or cover reflector) and at least the side of the lamp field.
  • the ⁇ is a ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇
  • Process chamber cover 102 a lid reflector between the at least one flash lamp 106 and the
  • Cover reflector may be mounted on the process chamber cover 102. Further, the lid reflector may be incorporated into the vacuum deposition equipment independently of the process chamber cover 102.
  • the electrical energy for the short gas discharge in the lamps 106 may or may not be provided by means of capacitors, so that very high electrical currents (about 5000 A) may flow for a short time.
  • the power of the gas discharge over time is determined by a choke coil with a predefined
  • the capacitors are associated with a central or each individual
  • the electrical conductors between the gas discharge lamp 106 and the capacitor or inductor can be kept as short as possible or by the capacitors and coils in close proximity to the gas discharge lamp 106, as
  • Process chamber cover 102 are mounted.
  • the LC unit 108 may be fixedly connected to the vacuum lid 102 (the process chamber cover 102) or easily separable therefrom. According to different
  • the L-C unit 108 may be mechanically and electrically readily separable from the process chamber cover 102, such that the L-C unit 108 is e.g. with the help of a crane, can be lifted down from the vacuum lid.
  • the electrical contact between the L-C unit 108 and the individual gas discharge lamps 106 can be effected by means of a plug contact (or by means of a plurality of plug contacts), the () in mounting the L-C unit 108 to the
  • Vacuum cap 102 contacted or via a manual
  • Flash lamp assembly 106 and the process chamber cover 102 described with respect to the basic features described with reference to Figures 1A to 1F, 2A and 2B and
  • Figures 3A to 3D show various views of a process chamber assembly 200, according to various
  • FIG. 3A illustrates the process chamber assembly 200 in a schematic side view, according to various Embodiments wherein the process chamber cover assembly 100 is mounted to the process chamber 200p (a vacuum process chamber).
  • an LC unit 108 may be provided on the outside of the process chamber cover 102
  • Inductance, L, capacitance, C for electrically supplying the flash lamps 106 (of the flash lamp panel 106) may be mounted or.
  • electrical terminals 314 for the L-C unit 108 may be provided, e.g. for charging the capacitors of the L-C unit 108 by means of an external charging device.
  • the L-C unit 108 may be a pulse current / voltage source.
  • Process chamber cover 102 (the lid 102) may be below
  • Process chamber 200p may or may not be mounted.
  • the process chamber assembly 200 (e.g., the process chamber 200p) may include a
  • Process chamber cover 102 and the L-C unit 108 can be mounted on the process chamber 200p. According to various embodiments, a
  • the L-C unit 108 may include a plurality of coils and / or capacitors
  • a coil and a capacitor may be provided for each flash lamp 106, wherein the coil may be connected in series with the flash lamp 106 and the capacitor may be connected in parallel with the flash lamp 106 Flash 106 (or parallel to the flash lamp 106 and the coil) may be connected.
  • the process chamber assembly 200 may include a transport roller 210 or more
  • Have transport rollers 210 e.g. one or more
  • Disc transport rollers as for example, in Fig.3B in a related to Fig.3A sectional view B-B
  • process chamber arrangement 200 can have several features
  • Reflectors or reflector structures e.g. a front side reflector 308rs (see Fig. 3B), a
  • the process chamber 200p may be configured such that the substrate is sandwiched between the transport rollers 210 and the
  • Flash lamp assembly 106 and can be transported on the transport rollers 210 between the counter-reflector 308g and the flash lamp assembly 106.
  • FIG. 3C illustrates the process chamber arrangement 200 in a schematic perspective view, according to FIG.
  • Process chamber cover assembly 100 is mounted on the process chamber 200p.
  • the process chamber cover 102 of the process chamber cover assembly 100 may have substantially the same lateral dimensions as the process chamber 200p.
  • a process chamber cover assembly 100 may have substantially the same lateral dimensions as the process chamber 200p.
  • Chamber system forms, for example, an in-line coating system (continuous coating plant).
  • a processing plant with a plurality of interconnected process chambers 200p for example, one or more process chambers 200p may or may not be populated with the process chamber cover assembly 100, and further process chambers 200p may, for example be or be equipped with magnetrons or other vacuum components, eg a pump arrangement.
  • FIG. 3D illustrates a detail view X of FIG
  • Process chamber arrangement 200 (see Fig.3B), according to
  • a flashlamp assembly 106 of the process chamber cover assembly 100 may include a plurality of flashlamps 106 which may be formed by respective end pieces 102s (pedestal members) and an intermediate plate 102sh (a
  • Support structure may be mounted as a lamp array on the process chamber cover 102, as described above.
  • the intermediate plate 102sh may be mounted to the process chamber cover 102 using an intermediate plate seal 304dh.
  • each end piece 102s may be formed using a
  • Tail Seal 304ds may or may not be mounted to the intermediate plate 102sh.
  • Flash lamp assembly 106 may be disposed in a jacket tube 306m and sealed by means of a gasket 306d such that, for example, cooling water may be carried in the jacket tube 306m (e.g., a quartz glass tube).
  • a gasket 306d such that, for example, cooling water may be carried in the jacket tube 306m (e.g., a quartz glass tube).
  • an ignition wire may be disposed in or on the jacket tube 306m or in the flashlamp 106 for firing the flashlamp 106.
  • FIGS. 4A to 4D show various views of the process chamber assembly 200 described in FIGS. 3A to 3D in a disassembled or partially assembled state, according to various embodiments.
  • FIGS. 4A and 4B respectively illustrate the process chamber arrangement 200 in a schematic side view, according to various embodiments, wherein the
  • the assembly and disassembly of the process chamber arrangement 200 can be carried out using the centering device 312, wherein the centering device 312 in the
  • Supply device 108 may extend therethrough.
  • 4C illustrates the process chamber arrangement 200 in a schematic perspective view, according to FIG.
  • Supply device 108 (or the L-C unit) is disassembled (e.g., lifted off) from process chamber cover 102 of process chamber cover assembly 100, and further wherein process chamber cover 102 of process chamber cover assembly 100 is disassembled (e.g., raised) from process chamber 200p.
  • process chamber assembly 200 can be or will be provided modularly.
  • 4D illustrates the process chamber arrangement 200 in a schematic perspective view, according to FIG.
  • Process chamber cover 102 of process chamber cover assembly 100 is disassembled together with supply device 108 (or L-C unit) from process chamber 200p (e.g.
  • the supply device 108 may
  • FIG. 4E illustrates the process chamber arrangement 200 in a schematic perspective view, according to FIG various embodiments, with the mounted on the process chamber 200p LC unit 108 (supply device 108).
  • the LC unit 108 or the supply device 108 may include a plurality of capacitors 408k and a plurality of coils 408s (eg, choke coils) that may be disposed in a housing 408g.
  • the LC unit 108 may be connected to the
  • Process chamber cover 102 may be mounted as a module or be. It is understood that the capacitors 408k and the coils 408s of the L-C unit 108 may or may be provided in a different form and / or arrangement.
  • Coolant guide or a cooling device for cooling the flash lamps 106 and / or the L-C unit 108 may be integrated.
  • the mounting of the various components and components as described herein may include, for example, plugging, clamping, laying, applying, gluing, bolting, or mechanically non-releasable bonding (e.g., welding).
  • Process chamber cover assembly 100 have further components, e.g. Sensors, vacuum pumps, cooling devices, heaters and the like.
  • the flash lamps may be aligned perpendicular to the transport direction.
  • the lid may be configured such as e.g. massive
  • the process chamber cover assembly or flash lamp assembly described herein enables a modular structure of processing equipment.
  • the supply of the flash lamps can be arranged in the small space of the lid (eg be arranged compactly in the lid).
  • the high-current circuit for supplying the flash lamps can be arranged compactly in the lid (occupational safety). Therefore, short lines in the
  • High circuit can be provided with small parasitic inductances and / or capacitances. Furthermore, thin leads outside the lid (of small cross-section) may be used since only small currents (e.g., about 2 A DC) must be provided for the high current circuit in the lid, and further (e.g.
  • an electrical connector may be used between a flashlamp and the associated terminal head or threaded connection.
  • the power supply e.g., the power supply
  • process chamber cover assembly described herein may, for example, allow the power supply to be located anywhere.

Landscapes

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Abstract

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammerabdeck-Anordnung (100) Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerabdeckung (102) zum Abdecken einer Öffnung (200g) einer Prozesskammer (200p); undeine Blitzlampenanordnung mit mindestens einer Blitzlampe(106), wobei die Blitzlampenanordnung an der Prozesskammerabdeckung (102) an ihrer Prozesskammerseite (102i) befestigt ist.

Description

Beschreibung
Prozesskammerabdeck-Anordnung und Prozesskammer-Anordnung
Die Erfindung betrifft eine Prozesskammerabdeck-Anordnung und eine Prozesskammer-Anordnung.
Im Allgemeinen können Verarbeitungsgüter, z.B. Substrate, Platten, Gläser, Wafer, Halbzeuge und/oder Werkzeuge einer Wärmebehandlung unterzogen werden, z.B. mittels einer
sogenannten RTP-Behandlung (Rapid-Thermal-Processing) . Eine Wärmebehandlung kann beispielsweise im Vakuum, bei
Normaldruck oder bei Überdruck mittels Blitzlampen in
Prozesskammern erfolgen. Dabei werden die Blitzlampen
beispielsweise in eine Prozesskammer eingebaut und
beispielsweise durch seitliche Öffnungen in der Prozesskammer hindurch mit Kühlwasser und/oder elektrischer Energie
versorgt. Die elektrische Energie wird beispielsweise mittels Kabeln den Blitzlampen gepulst zugeführt.
Ein Aspekt verschiedener Ausführungsformen kann anschaulich darin gesehen werden, eine Prozessieranordnung mit einer Blitzlampen-Anordnung für eine Prozessierkammer in modularer Form bereitzustellen, z.B. für eine Vakuum-Prozessierkammer oder eine Atmosphärendruck-Prozessierkammer. Dabei kann die Blitzlampen-Anordnung an einem lösbar mit der Prozesskammer verbundenen Wandelement (einer Prozesskammerabdeckung) der Prozesskammer montiert sein, wobei das Wandelement der
Prozesskammer gemeinsam mit der daran montierten Blitzlampen- Anordnung von der Prozesskammer demontiert werden kann. Dabei kann das Wandelement derart eingerichtet sein, eine
zugehörige Öffnung in der Prozesskammer abzudecken, z.B.
luftdicht oder vakuumdicht zu verschließen. Somit kann die Blitzlampen-Anordnung beispielsweise in modulare
Prozesskammer-Konzepte, z.B. in eine In-Line-Prozessier- Anlage, durch welche ein Substrat hindurch transportiert werden kann und wobei das Substrat nacheinander in verschiedenen Bereichen der In-Line-Prozessier-Anlage prozessiert (z.B. gereinigt, beschichtet, geätzt, erwärmt, belichtet, usw.) wird, integriert werden.
Ferner kann ein anderer Aspekt verschiedener
Ausführungsformen anschaulich darin gesehen werden, eine Blitzlampen-Anordnung an einem lösbar mit der Prozesskammer verbundenen Wandelement der Prozesskammer zu montieren und die Blitzlampen-Anordnung durch das Wandelement hindurch mit Kühlmittel und/oder elektrischer Energie zu versorgen.
Anschaulich kann auch ein Teil der Versorgung für die
Blitzlampen-Anordnung in die modulare Prozessieranordnung integriert sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine
Prozesskammerabdeck-Anordnung Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerabdeckung zum Abdecken einer Öffnung einer Prozesskammer (z.B. zum vakuumdichten Verschließen der
Öffnung) ; und eine Blitzlampenanordnung mit mindestens einer Blitzlampe, wobei die Blitzlampenanordnung an der
Prozesskammerabdeckung an ihrer Prozesskammerseite befestigt ist .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer eine Vakuumkammer sein und die Prozesskammerabdeckung kann eine Vakuumkammerabdeckung sein
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Blitzlampenanordnung mehrere Blitzlampen aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeckung lösbar an der Prozesskammer befestigt sein .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner einen
Energieversorgungsschaltkreis aufweisen zum Bereitstellen Energie (elektrischer Energie) an die mindestens Blitzlampe der Blitzlampenanordnung.
Ferner kann der Energieversorgungsschaltkreis auf der der Prozesskammerseite abgewandten Seite der
Prozesskammerabdeckung angeordnet sein.
Ferner kann der Energieversorgungsschaltkreis lösbar an der Prozesskammerabdeckung befestigt sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine
Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner eine
Kontaktierungsstruktur aufweisen zum elektrischen
Kontaktieren der Blitzlampenanordnung, wobei die
Kontaktierungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung hindurch verläuft. Anschaulich können der
Energieversorgungsschaltkreis und die Blitzlampenanordnung miteinander mittels der Kontaktierungsstruktur gekoppelt sein .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner eine
Kühlmittelversorgungsstruktur aufweisen zum Bereitstellen von Kühlmittel an die mindestens eine Blitzlampe der
Blitzlampenanordnung.
Ferner kann die Kühlmittelversorgungsstruktur auf der der Prozesskammerseite abgewandten Seite der
Prozesskammerabdeckung angeordnet sein.
Ferner kann die Kühlmittelversorgungsstruktur lösbar an der Prozesskammerabdeckung befestigt sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine
Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner eine Kühlungsstruktur aufweisen zum thermischen Kontaktieren der Blitzlampenanordnung, wobei die Kühlungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung hindurch verläuft.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine
Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner mindestens eine
Sockelstruktur aufweisen zum Halten und Versorgen der
mindestens einen Blitzlampe, wobei die Sockelstruktur an der Prozesskammerseite der Prozesskammerabdeckung angeordnet (montiert oder befestigt) ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Sockelstruktur mehrere Sockelstrukturen aufweisen (oder die Prozesskammerabdeck-Anordnung kann mehrere
Sockelstrukturen aufweisen) zum Halten mehrerer Blitzlampen, wobei die mehreren Sockelstrukturen an einer gemeinsamen Haltestruktur angeordnet (montiert oder befestigt) sind, und wobei die gemeinsame Haltestruktur an der Prozesskammerseite der Prozesskammerabdeckung angeordnet (montiert oder
befestigt) ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine
Prozesskammerabdeck-Anordnung ferner mindestens einen
optischen Reflektor aufweisen, der zwischen der
Blitzlampenanordnung und der Prozesskammerabdeckung
angeordnet ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeckung ein Kupplungselement aufweisen zum Befestigen einer Hebeeinrichtung zum Heben der
Prozesskammerabdeck-Anordnung von der Öffnung der
Prozesskammer. Anschaulich kann die Prozesskammerabdeckung beispielsweise eine Öse oder ein Gewinde zum Einschrauben einer Öse aufweisen, in welche beispielsweise ein Haken eines Krans eingreifen kann, so dass die Prozesskammerabdeck- Anordnung von der Öffnung der Prozesskammer abgehoben werden kann . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeck-Anordnung nach oben von der Prozesskammer abgehoben werden, oder nach unten von der Prozesskammer entfernt (z.B. abgesenkt) werden oder zu einer Seite hin von der Prozesskammer entfernt (z.B. seitlich verschoben) werden. Anschaulich kann die Prozesskammerabdeckung ein
Seitenwandelement der Prozesskammer, ein Deckenelement der Prozesskammer, oder ein Bodenelement der Prozesskammer sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeckung ein Deckel zum Verschließen und/oder zum Abdichten einer Öffnung der Prozesskammer sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine
Prozesskammer-Anordnung Folgendes aufweisen: eine
Prozesskammer mit einer Öffnung (zum Aufnehmen einer
Prozesskammerabdeck-Anordnung) , und eine Prozesskammerabdeck- Anordnung .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer- Anordnung ferner eine Vakuumpumpenanordnung aufweisen, mittels derer die mit der Prozesskammerabdeckung der
Prozesskammerabdeck-Anordnung abgedichtete Prozesskammer evakuiert werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine
Prozessieranordnung (eine Prozesskammer-Anordnung) Folgendes aufweisen: ein Wandelement (eine Prozesskammerabdeckung) zum Abdecken und/oder Abdichten einer Öffnung eines
Prozesskammergehäuses, mindestens eine Blitzlampe, welche an dem Wandelement des Kammergehäuses derart befestigt ist, dass beim Montieren des Wandelements an dem Prozesskammergehäuse die mindestens eine Blitzlampe durch die Öffnung des
Prozesskammergehäuses hindurch gebracht wird, und wobei im montierten Zustand des Wandelements an dem
Prozesskammergehäuse die mindestens eine Blitzlampe von dem Wandelement in dem Prozesskammergehäuse gehalten wird und das Wandelement die Öffnung des Prozesskammergehäuses vakuumdicht oder luftdicht verschließt.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das
Prozesskammergehäuse mit einer Vakuumpumpenanordnung
gekoppelt sein, so dass das abgedichtete Prozesskammergehäuse evakuiert werden kann.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
Es zeigen
Figur 1A eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit einer
Blitzlampe in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
Figur 1B eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit einer
Blitzlampe in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer zweiten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
Figur IC eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit mehreren
Blitzlampen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen,·
Figur 1D eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit mehreren
Blitzlampen in einer schematischen Draufsicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen,·
Figur IE eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit mehreren
Blitzlampen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; Figur 1F eine Prozesskammerabdeck-Anordnung mit einer
Blitzlampe und einer Versorgungsvorrichtung in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
Figur 2A eine Prozesskammer-Anordnung in einer schematischen
Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen;
Figur 2B eine Prozesskammer-Anordnung in einer schematischen
Seitenansicht oder Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen;
Figuren 3A und 3B jeweils eine Prozesskammer-Anordnung in einer schematischen Seitenansicht oder
Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen;
Figur 3C eine Prozesskammer-Anordnung in einer
perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen,·
Figur 3D eine Prozesskammer-Anordnung in einer detaillierten schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
Figuren 4A und 4B jeweils eine Prozesskammer-Anordnung in einer schematischen Seitenansicht oder
Querschnittsansicht aus einer ersten Richtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen,·
Figuren 4C und 4D jeweils eine Prozesskammer-Anordnung in einer perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; und Figur 4E jeweils eine Prozesskammer-Anordnung in einer
Seitenansicht oder Querschnittsansicht und in einer entsprechenden perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische
Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird
Richtungsterminologie wie etwa „oben", „unten", „vorne", „hinten", „vorderes", „hinteres", usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur (en) verwendet. Da
Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl
verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der
Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe
"verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen werden eine
Prozesskammerabdeck-Anordnung und eine Prozesskammer- Anordnung bereitgestellt mittels derer Substrate oder Träger, wie beispielsweise Wafer, Folien, Glassubstrate,
Bandsubstrate, Metallbänder oder Werkstücke einer
Temperaturbehandlung oder einer Lichtbehandlung unterzogen werden können. Mittels Belichtens kann ein zu behandelndes Substrat oder ein zu behandelnder Träger beispielsweise ausschließlich erwärmt werden, oder die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des zu behandelnden Substrats oder Trägers können verändert werden. Mittels Blitzlampen können beispielsweise derart hohe Strahlungsleistungen erzeugt werden, dass diese in RTP-Anlagen (engl, rapid thermal processing, RTP) zum Behandeln von Substraten oder Trägern mittels Licht eingesetzt werden können. Ferner kann mittels Blitzlampen eine UV-Behandlung (z.B. Strahlenhärtung oder UV-Härtung) durchgeführt werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird ein
Blitzlampenmodul (eine Prozesskammerabdeck-Anordnung)
bereitgestellt, welches in eine Beschichtungsanlage (z.B. in eine Glasbeschichtungsanlage oder Folienbeschichtungsanlage) integriert werden kann. Mit Hilfe einer einfachen
Adapterplatte kann das Blitzlampenmodul beispielsweise auf verschiedene Versionen der sich im Einsatz befindlichen
Beschichtungsanlage angepasst werden. Anschaulich kann eine Prozesskammer eine (in Größe, Form und Lage) vordefinierte Öffnung aufweisen, wobei das Blitzlampenmodul passend zu einer derartigen Öffnung in der Prozesskammer bereitgestellt wird .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das
Blitzlampenmodul (die Prozesskammerabdeck-Anordnung) ein oder mehrere Blitzlampenschwingkreise aufweisen, z.B. montiert auf oder an dem Deckel des Blitzlampenmodul (auf der
Prozesskammerabdeckung der Prozesskammerabdeck-Anordnung) , so dass die mindestens eine Blitzlampe (oder die mehreren Blitzlampen) effizient betrieben werden können, z.B. mit möglichst geringer Verlustleistung. Anschaulich kann es aufgrund der hohen zum Blitzen benötigten elektrischen Ströme von mehreren Kiloampere pro Blitzlampe günstig sein, die Blitzlampenschwingkreise zum Erzeugen der hohen Ströme möglichst nah an den Blitzlampen anzuordnen. Gemäß
verschiedenen Ausführungsformen können der Ladekondensator und die Induktivität des jeweiligen Schwingkreises für eine Blitzlampe auf, an oder in dem Deckel montiert sein oder werden, z.B. in das Blitzlampenmodul integriert sein oder werden. Die Stromversorgung für den jeweiligen
Blitzlampenschwingkreis hingegen, von welcher nur Ströme im Bereich von wenigen Ampere pro Blitzlampe zum Ladekondensator fließen, kann an einer beliebigen Stelle räumlich entfernt von dem Blitzlampenmodul installiert sein oder werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können mehrere
Blitzlampen in einer Blitzlampenanordnung als austauschbares Wechselbauteil bereitgestellt sein oder werden, so dass eine einfache Separation von dem Deckel mit den Kondensatoren und Spulen von den Blitzlampen möglich ist und die Kassette alleine auch per Luftfracht aufgrund des geringen Gewichts zu moderaten Kosten versendet werden kann. Anschaulich können mehrere Blitzlampen gemeinsam von einem Rahmen oder Träger gehalten werden, wobei der Rahmen oder Träger lösbar an dem Deckel (an der Prozesskammerabdeckung) befestig sein kann oder werden kann. Ferner können die Blitzlampen der mehreren Blitzlampen jeweils einzeln lösbar an dem Rahmen oder Träger befestigt sein oder werden.
Als Blitzlampen können beispielsweise Gasentladungslampen oder Hochdruck-Gasentladungslampen genutzt werden, welche mit einer maximalen Pulsleistung im Kilowatt-Bereich bis
Gigawatt-Bereich betrieben werden können. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Blitzlampe eine elektrische
Energie in einem Bereich von ungefähr 1 kJ bis ungefähr
250 kJ pro Lichtblitz umsetzten. Ferner kann eine Blitzlampe eine Lichtbogenlänge in einem Bereich von ungefähr einigen Zentimetern bis ungefähr einigen Metern aufweisen,
beispielsweise in einem Bereich von ungefähr 80 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 350 cm bis ungefähr 450 cm. Ferner kann mittels einer Blitzlampe eine Strahlungsenergie in einem Bereich von ungefähr 0,4 kJ bis ungefähr 100 kJ erzeugt werden, oder beispielsweise können 30 % bis 50 % der elektrischen Leistung in
Strahlungsleistung umgesetzt werden, bzw. 30 % bis 50 % der elektrischen Energie können in Strahlungsenergie umgesetzt werden. Aufgrund des kurzen Lichtblitzes (z.B. im
Millisekunden-Bereich) kann die Strahlungsleistung groß sein, z.B. im Gigawatt-Bereich . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann beim Blitzen mittels der Blitzlampen (abhängig von der Leistung oder
Leistung pro Länge) UV-Licht im Wellenlängenbereich von ungefähr 200 nm bis ungefähr 400 nm erzeugt werden, was beispielsweise zur UV-Behandlung von Substraten oder Trägern genutzt werden kann. Ferner kann beim Blitzen mittels der Blitzlampen (abhängig von der Leistung oder Leistung pro Länge) sichtbares Licht und/oder Infrarotlicht erzeugt werden . Fig.lA veranschaulicht eine Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer Seitenansicht aus einer Richtung 103 quer zu den Richtungen 101 und 105, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 beispielsweise eine Prozesskammerabdeckung 102 aufweisen kann zum Abdecken einer Öffnung einer Prozesskammer. Die Prozesskammerabdeckung 102 kann beispielsweise im
Wesentlichen plattenförmig sein, so dass mittels der
Prozesskammerabdeckung 102 eine Öffnung in einer
Prozesskammer abgedeckt (z.B. vollständig überlappt) werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeckung 102 (der Deckel 102) derart
eingerichtet sein, dass diese eine Prozesskammer komplettiert, beispielsweise derart, dass ein Substrat innerhalb der Prozesskammer prozessiert werden kann, wenn die Prozesskammer mittels der Prozesskammerabdeckung 102
abgedeckt ist. Dazu kann die Prozesskammerabdeckung 102 beispielsweise mindestens eine Dichtfläche 102d (oder
Dichtbereich) oder Auflagefläche 102d (oder Auflagebereich) aufweisen, beispielsweise am Rand der Prozesskammerabdeckung 102 und um die Prozesskammerabdeckung 102 umlaufend, wobei beim Montieren der Prozesskammerabdeckung 102 (oder der gesamten Prozesskammerabdeck-Anordnung 100) an einer
Prozesskammer die mindestens eine Dichtfläche 102d oder
Auflagefläche 102d mit einer entsprechend passenden
Dichtfläche oder Auflagefläche der Prozesskammer in Kontakt gebracht werden kann, so dass die Prozesskammerabdeckung 102 die Prozesskammer mittels der Dichtfläche 102d oder
Auflagefläche 102d zumindest in diesem Bereich luftdicht oder vakuumdicht abschließt.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Dichtfläche 102d oder Auflagefläche 102d plan sein, z.B. geschliffen und/oder poliert, so dass diese auf einer
weiteren planen Dichtfläche oder Auflagefläche ohne
zusätzliches elastisches Dichtungselement luftdicht oder vakuumdicht aufliegen kann oder so dass diese an einer weiteren planen Dichtfläche oder Auflagefläche ohne
zusätzliches elastisches Dichtungselement luftdicht oder vakuumdicht anliegen kann. Dabei kann die
Prozesskammerabdeckung 102 ein Metall oder eine
Metalllegierung aufweisen oder daraus bestehen, z.B.
Aluminium, eine Aluminiumverbindung, z.B. Stahl, z.B.
Baustahl, z.B. Edelstahl, oder dergleichen. Gemäß
verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer, an welche die Prozesskammerabdeckung 102 (oder die gesamte
Prozesskammerabdeck-Anordnung 100) montiert werden soll, ebenfalls ein Metall oder eine Metalllegierung aufweisen oder daraus bestehen, z.B. Aluminium, eine Aluminiumverbindung, z.B. Stahl, z.B. Baustahl, z.B. Edelstahl, oder dergleichen. Ferner kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 beispielsweise eine elastische Dichtungsstruktur aufweisen (nicht dargestellt), z.B. an der Dichtfläche 102d oder der Auflagefläche 102d der Prozesskammerabdeckung 102. Eine elastische vakuumtaugliche Dichtungsstruktur kann
beispielsweise einen Kunststoff oder ein Polymer aufweisen, z.B. ein Polymer oder Co-Polymer gebildet aus Vinyliden- (di ) - fluorid (VDF) (auch bezeichnet als Viton) .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeckung 102 eine Innenseite 102i (eine
Prozesskammerseite 102i) aufweisen, wobei die Dichtfläche 102d oder die Auflagefläche 102d auf der Innenseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102 bereitgestellt sein können. Die Innenseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102 kann
beispielsweise beim Montieren der Prozesskammerabdeckung 102 an einer Prozesskammer dem Inneren der Prozesskammer
zugewandt sein. Entsprechend kann die Prozesskammerabdeckung 102 eine Außenseite 102a (eine der Prozesskammerseite 102i angewandte Seite) aufweisen, gegenüberliegend zur Innenseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102.
Wie in Fig.lA veranschaulicht ist, kann eine
Blitzlampenanordnung mit mindestens einer Blitzlampe 106 an der Innenseite der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt (z.B. lösbar befestigt) oder montiert sein. Dazu kann
beispielsweise eine Halterung 102h verwendet werden, welche die mindestens eine Blitzlampe 106 der Blitzlampenanordnung an der Prozesskammerabdeckung 102 hält oder fixiert.
Die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 kann beispielsweise ferner mindestens einen optischen Reflektor, z.B. eine oder mehrere lichtreflektierende Flächen, aufweisen (nicht
dargestellt) , wobei der optische Reflektor beispielsweise zwischen der Blitzlampe 106 und der Prozesskammerabdeckung 102 angeordnet sein kann. Mittels des optischen Reflektors kann beispielsweise die Lichtabstrahlung 106L der mindestens einen Blitzlampe 106 in eine Richtung weg von der
Prozesskammerabdeckung 102 vergrößert werden. Somit kann beispielsweise ein Substrat in der Prozesskammer effizient belichtet werden. Ferner kann eine Erwärmung der
Prozesskammerabdeckung 102 aufgrund des von der mindestens einen Blitzlampe 106 abgestrahlten Lichts 106L mittels des optischen Reflektors vermindert werden. Dabei kann als optischer Reflektor auch ein Reflektor im infraroten Bereich des Lichts und/oder im ultravioletten Bereich des Lichts (neben dem sichtbaren Licht) verstanden werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeckung ein Kupplungselement oder mehrere Kupplungselemente (z.B. eine Kupplungsstruktur) aufweisen zum
Befestigen einer Hebeeinrichtung an der
Prozesskammerabdeckung 102, so dass die
Prozesskammerabdeckung 102 (oder die gesamte
Prozesskammerabdeck-Anordnung 100) von der Prozesskammer demontiert werden kann (beispielsweise anschaulich mittels eines Hallenkrans) .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeckung 102 eine Breite entlang der Richtung 101 in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 150 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 30 cm bis ungefähr 100 cm.
Fig.lB veranschaulicht beispielsweise die in Fig.lA
dargestellte Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer weiteren Seitenansicht aus einer Richtung 101 quer zu den Richtungen 103, 105. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck- Anordnung 100 eine Länge entlang der Richtung 103 (quer zur Richtung 101) in einem Bereich von ungefähr 50 cm bis ungefähr 500 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 200 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 450 cm, z.B. in einem
Bereich von ungefähr 350 cm bis ungefähr 450 cm. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 entlang deren Längserstreckung (in
Richtung 103) von zwei Halterungen 102h eingefasst sein, z.B. von zwei Sockelelementen 102h, welche eine Sockelstruktur 102h für die mindestens eine Blitzlampe 106 bilden. Somit kann die mindestens eine Blitzlampe 106 beispielsweise beim Zünden stabilisiert sein oder werden. Die Halterungen 102h können wie dargestellt an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert sein, so dass anschaulich die mindestens eine
Blitzlampe 106 an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt oder montiert sein kann oder werden kann. Dabei kann die jeweilige Halterung 102h einstückig sein und beispielsweise an die Prozesskammerabdeckung 102 angeschraubt oder geklemmt sein . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die jeweilige Halterung 102h Teil einer Kontaktierungsstruktur sein zum elektrischen Kontaktieren der mindestens einen Blitzlampe 106 der Blitzlampenanordnung, wobei sich die
Kontaktierungsstruktur beispielsweise durch die
Prozesskammerabdeckung 102 hindurch erstrecken kann. Ferner kann die jeweilige Halterung 102h Teil einer Kühlungsstruktur sein zum thermischen Kontaktieren der mindestens einen
Blitzlampe 106 der Blitzlampenanordnung, wobei sich die
Kühlungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung hindurch erstrecken kann. Beispielsweise kann unter Verwendung der jeweiligen Halterung 102h der mindestens einen Blitzlampe 106 ein Kühlmittel sowie elektrische Energie zugeführt werden. Dabei kann die mindestens eine Blitzlampe 106 derart
eingerichtet sein, dass diese entlang deren Längserstreckung von dem Kühlmittel durchflössen werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 ein transparentes Innenrohr aufweisen (z.B. aus Quarzglas), wobei das transparente Innenrohr eine Anodenstruktur und eine Kathodenstruktur aufweist und derart eingerichtet ist (z.B. mit Gas gefüllt ist), dass innerhalb des Innenrohrs eine Gasentladung gezündet werden kann. Ferner kann die mindestens eine Blitzlampe 106 ein transparentes Außenrohr aufweisen, z.B. koaxial zum Innenrohr eingerichtet, so dass zwischen dem Innenrohr und dem Außenrohr ein
Kühlmittel geleitet werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die jeweilige Halterung 102h das Innenrohr und das Außenrohr der mindestens einen Blitzlampe 106 tragen, sowie eine elektrische
Kontaktierung der Anode und der Kathode der mindestens einen Blitzlampe 106 ermöglichen, sowie das Einleiten von
Kühlmittel zu der mindestens einen Blitzlampe 106 hin und das Ableiten von Kühlmittel von der mindestens einen Blitzlampe 106 weg ermöglichen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 (oder können mehrere an der
Prozesskammerabdeckung 102 befestigte Blitzlampen 106
jeweils) eine Länge entlang der Richtung 103 (quer zur
Richtung 101) in einem Bereich von ungefähr 50 cm bis
ungefähr 500 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von
ungefähr 200 cm bis ungefähr 500 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 450 cm, z.B. in einem
Bereich von ungefähr 350 cm bis ungefähr 450 cm. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 entlang deren Längserstreckung (z.B. entlang der Richtung 103) kürzer sein als die Längserstreckung (z.B. entlang der Richtung 103) der Prozesskammerabdeckung 102.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 (oder können mehrere an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigte Blitzlampen 106 jeweils) einen Durchmesser (quer zur Längserstreckung) in einem Bereich von ungefähr 0,5 cm bis ungefähr 5,0 cm
aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1,0 cm bis ungefähr 3,0 cm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1,5 cm bis ungefähr 2,0 cm.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Blitzlampe 106 (oder können mehrere an der
Prozesskammerabdeckung 102 befestigte Blitzlampen 106 jeweils) rohrförmig sein, z.B. zylindrisch oder prismatisch rohrförmig (z.B. mit einer vieleckigen Grundfläche quer zur Längserstreckung der jeweiligen Blitzlampe 106). Fig. IC veranschaulicht eine Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer Seitenansicht aus einer Richtung 103 quer zu den Richtungen 101 und 105, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mehrere Blitzlampen 106 aufweist. Mit anderen Worten kann die Blitzlampenanordnung der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mehrere Blitzlampen 106 aufweisen.
Fig.lD veranschaulicht beispielsweise die in Fig. IC
dargestellte Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mit mehreren Blitzlampen 106 in einer Draufsicht aus der Richtung 105 quer zu den Richtungen 101, 103.
Dabei können die mehreren Blitzlampen 106 jeweils an deren Endabschnitten mittels einer Halterung 102h (wie vorangehend beschrieben) gehalten werden oder an der
Prozesskammerabdeckung 102 befestigt werden. Ferner können die mehreren Blitzlampen 106 jeweils an deren axialen
Endabschnitten mittels einer Vielzahl von Halterungen 102h gehalten werden oder an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt werden. Beispielsweise kann jede Blitzlampe 106 der mehreren Blitzlampen 106 an deren axialen Endabschnitten mittels jeweils zwei Halterungen 102h gehalten werden. Anschaulich kann jede der Blitzlampen 106 mittels zweier Sockelelemente einer Sockelstruktur gehalten und/oder
versorgt werden, wobei die jeweilige Sockelstruktur
beispielsweise direkt an der Prozesskammerseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102 angeordnet sein kann. In diesem Fall kann beispielsweise jede der Blitzlampen 106 einzeln ausgewechselt werden (z.B. bei einem Defekt der Blitzlampe 106 oder bei einer verminderten Funktionalität der Blitzlampe 106), indem beispielsweise die jeweils zwei Sockelelemente der Sockelstruktur der zugehörigen Blitzlampe 106 von der Prozesskammerabdeckung 102 demontiert werden.
Alternativ können die Sockelelemente der mehreren
Sockelstrukturen jeweils auf einer Seite der Blitzlampen 106 an einer gemeinsamen Haltestruktur befestigt sein oder werden, wobei die gemeinsame Haltestruktur an der
Prozesskammerseite 102i der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt sein kann oder werden kann. In diesem Fall kann sowohl eine einzelne Blitzlampe 106 ausgewechselt werden, indem beispielsweise die jeweils zwei Sockelelemente der Sockelstruktur der zugehörigen Blitzlampe 106 von der
gemeinsamen Haltestruktur demontiert werden, als auch alle Blitzlampen 106 gleichzeitig ausgewechselt werden, indem jeweils die beiden Haltestrukturelemente (an den axialen Endabschnitten der Blitzlampen 106) der gemeinsamen
Haltestruktur von der Prozesskammerabdeckung 102 demontiert werden, wobei die mehreren Blitzlampen gemeinsam mit den jeweiligen Sockelelementen (Sockelstrukturen) von der
Prozesskammerabdeckung 102 demontiert werden, wie
beispielsweise in Fig. IE veranschaulicht ist.
Fig. IE veranschaulicht eine Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer Seitenansicht aus einer Richtung 103 quer zu den Richtungen 101 und 105, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mehrere Blitzlampen 106 aufweist, wobei jede der mehreren Blitzlampen 106 mittels eines Sockelelements 102s (eines Lampensockels 102s) einer Sockelstruktur an einem gemeinsamen Haltestrukturelement 102sh (einem Sockelelementhalter 102sh) einer Haltestruktur (z.B. lösbar) befestigt ist und wobei das Haltestrukturelement 102sh an der Prozesskammerabdeckung 102 (z.B. lösbar) befestigt ist. Dies ermöglicht eine große
Flexibilität bei Wartungsprozessen, da entweder effizient alle Blitzlampen 106 ausgetauscht werden können oder falls nötig auch nur eine Blitzlampe 106 oder mehrere einzelne Blitzlampen 106 der Blitzlampenanordnung ausgetauscht werden können .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine
Blitzlampenanordnung bereitgestellt, wobei die
Blitzlampenanordnung mehrere Blitzlampen 106 aufweisen kann, wobei die mehreren Blitzlampen 106 mittels jeweils einer Sockelstruktur an einer gemeinsamen Haltestruktur lösbar befestigt sind. Ferner kann die gemeinsame Haltestruktur eine Rahmenstruktur sein, so dass die Blitzlampenanordnung als eine vormontierte Baugruppe bereitgestellt sein kann oder werden kann. Beispielsweise kann die gesamte
Blitzlampenanordnung als Verschleiß- oder Verbrauchsmaterial modular bereitgestellt und gewechselt werden. Fig.lF veranschaulicht eine Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in einer Seitenansicht aus einer Richtung 103 quer zu den Richtungen 101 und 105, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mindestens eine Blitzlampe 106 (oder analog mehrere
Blitzlampen 106) aufweist, wie hierin beschrieben ist.
Die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 kann ferner eine
Versorgungsvorrichtung 108 aufweisen, wobei die
Versorgungsvorrichtung 108 auf der Außenseite 102a der
Prozesskammerabdeckung 102 gegenüber der Innenseite 102i bereitgestellt sein kann. Dabei kann die
Versorgungsvorrichtung 108 mehrere Komponenten aufweisen, welche in einer gemeinsamen Häusung bereitgestellt sein können. Dabei kann die Versorgungsvorrichtung 108 lösbar an der Prozesskammerabdeckung 102 befestigt sein, so dass diese leicht von der Prozesskammerabdeckung 102 demontiert oder an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert werden kann.
Alternativ kann die Versorgungsvorrichtung 108 auch räumlich entfernt von der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100
bereitgestellt sein oder werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Versorgungsvorrichtung 108 einen
Energieversorgungsschaltkreis aufweisen zum Bereitstellen von elektrischer Energie an die mindestens eine Blitzlampe 106. Ferner kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 eine
Kontaktierungsstruktur zum elektrischen Kontaktieren der mindestens einen Blitzlampe 106 aufweisen, wobei die
Kontaktierungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung 102 hindurch verlaufen kann. Die Kontaktierungsstruktur kann beispielsweise jeweils eine Anode und/oder eine Kathode der mindestens einen Blitzlampe 106 mit dem
Energieversorgungsschaltkreis verbinden. Dabei kann jeder Blitzlampe 106 jeweils ein Energieversorgungsschaltkreis zugeordnet sein. Die Blitzlampe 106 kann in dem
Energieversorgungsschaltkreis als Schalter fungieren, wobei in diesem Fall das Zünden der Blitzlampe 106 zusätzlich getriggert (ausgelöst) werden muss, beispielsweise mittels eines zusätzlichen elektrischen Feldes oder eines
Spannungspulses, so dass in der Blitzlampe 106 eine
Gasentladung erzeugt wird. Alternativ kann der
Energieversorgungsschaltkreis einen oder mehrere Schalter zum Betreiben (Blitzen) der mindestens einen Blitzlampe 106 aufweisen .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Versorgungsvorrichtung 108 ferner eine Kühlungsstruktur aufweisen zum thermischen Kontaktieren (z.B. zum Kühlen) der mindestens einen Blitzlampe 106, wobei die Kühlungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung 102 hindurch verlaufen kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der
Energieversorgungsschaltkreis eine Kondensatoranordnung aufweisen mit einem Kondensator oder mit mehreren
Kondensatoren (z.B. parallel geschaltet), wobei die
Kondensatoranordnung allmählich aufgeladen werden kann mittels einer externen Strom-/Spannungsquelle und (zum
Erzeugen des Lichtblitzes mittels der Blitzlampe 106) durch die mindestens eine Blitzlampe 106 entladen werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der
Energieversorgungsschaltkreis eine Spulenanordnung aufweisen mit eine Spule oder mit mehreren Spulen (z.B. parallel oder in Reihe geschaltet) , wobei die Spulenanordnung derart eingerichtet ist, dass diese das Entladen der
Kondensatoranordnung durch die mindestens eine Blitzlampe 106 hindurch beeinflusst. Anschaulich kann die Blitzlampe 106 mittels einer gepulsten Hochstromquelle betrieben werden, wobei die gepulste Hochstromquelle in die
Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 integriert sein kann.
Die Spulenanordnung und die Kondensatoranordnung können anschaulich einen Blitzlampenschwingkreis bilden oder Teil eines Blitzlampenschwingkreises sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der
Energieversorgungsschaltkreis eine elektrische Spannung zwischen der Anode und der Kathode der mindestens einen
Blitzlampe 106 bereitstellen in einem Bereich von ungefähr 1 kV bis ungefähr 40 kV, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10 kV bis ungefähr 40 kV, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 kV bis ungefähr 40 kV.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der
Energieversorgungsschaltkreis einen gepulsten Maximalstrom zwischen der Anode und der Kathode der mindestens einen
Blitzlampe 106 in einem Bereich von ungefähr 100 A bis ungefähr 10 kA ermöglichen, z.B. in einem Bereich von
ungefähr 1 kA bis ungefähr 10 kA, z.B. in einem Bereich von ungefähr 4 kA bis ungefähr 6 kA.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Halterung 102h (z.B. mit den Sockelelementen 102s und optional der
gemeinsamen Haltestruktur 102sh) derart eingerichtet sein, mehrere rohrförmige Blitzlampen aufzunehmen, zu halten und/oder zu versorgen (elektrisch zu versorgen und/oder zu kühlen), z.B. zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder mehr als zehn Blitzlampen, z.B. mehr als 12 Blitzlampen oder mehr als 20 Blitzlampen.
Dabei können die mehreren Blitzlampen 106 nebeneinander angeordnet sein, z.B. quer zu deren Längsrichtung
nebeneinander (vgl. Fig.lD). Jede der mehreren Blitzlampen 106 kann eine Länge in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 500 cm aufweisen. Jede der mehreren Blitzlampen 106 kann einen Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 0,5 cm bis ungefähr 5,0 cm aufweisen.
Fig.2A veranschaulicht eine Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen Seitenansicht, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 an einer Prozesskammer 200p montiert ist.
Dabei kann die Prozesskammerabdeckung 102 an einer Kammerwand 200w der Prozesskammer 200p montiert sein oder werden. Wie vorangehend beschrieben, kann die Prozesskammer 200p eine Öffnung 200g aufweisen, wobei die mindestens eine Blitzlampe 106 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 im montierten
Zustand zum Inneren 106s (zu einem Prozessierbereich 106s oder Belichtungsbereich 106s in der Prozesskammer) freiliegt. Dabei können/kann sich die Halterung 102h für die mindestens eine Blitzlampe 106 und/oder die mindestens eine Blitzlampe 106 durch die Öffnung 200g in einer Kammerwand der
Prozesskammer 200p hindurch erstrecken.
Wie in Fig.2A veranschaulicht, kann die
Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 auf der Prozesskammer 200p aufliegen oder an der
Prozesskammer 200p befestigt sein, z.B. angeschraubt oder geklemmt sein. Dabei kann die Blitzlampenanordnung 106 mit deren Auflagefläche 102d oder Dichtfläche 102d auf der passenden Auflagefläche 200d oder Dichtfläche 200d der
Prozesskammer 200p aufliegen oder angrenzen. Somit kann der Bereich zwischen der Prozesskammer 200p (oder
Prozesskammerwand 200w) und der Prozesskammerabdeckung 102 vakuumdicht oder luftdicht abgedichtet sein oder werden.
Dabei kann die Auflagefläche 200d oder Dichtfläche 200d der Prozesskammer 200p die Öffnung 200g umgeben oder eingrenzen. Es versteht sich, dass die Öffnung 200g in der Prozesskammer 200p (oder in einer Prozesskammerwand 200w der Prozesskammer 200p) passend zur Blitzlampenanordnung bereitgestellt ist.
Alternativ kann der Bereich zwischen der Prozesskammer 200p (oder Prozesskammerwand 200w) und der Prozesskammerabdeckung 102 (z.B. zusätzlich) mittels einer elastischen Dichtung abgedichtet sein oder werden.
Fig.2B veranschaulicht eine Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen Seitenansicht, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 in die Prozesskammer 200p eingebracht 205 (eingeschoben oder abgesenkt) werden kann. Im montierten Zustand kann die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 formschlüssig auf der Prozesskammer 200p aufliegen, wobei die mindestens eine Blitzlampe 106 innerhalb der
Prozesskammer 200p gehalten wird, so dass ein Substrat 220 in einem Belichtungsbereich 106s der Prozesskammer 200p mittels der mindestens einen Blitzlampe 106 belichtet werden kann. Dabei kann das Substrat 220 beispielsweise entlang einer planaren (oder auch gekrümmten) Transportfläche lOle geführt werden, z.B. mittels einer oder mehrerer Rollen 210
(Transportrollen) .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 200p eine Vakuumprozesskammer 200p zum Belichten (Bestrahlen) eines Substrats 220 in einem Vakuum sein. Dabei kann mittels der Vakuumprozesskammer 200p ein Vakuum im Bereich des
Grobvakuums, des Feinvakuums, des Hochvakuums oder des
Ultrahochvakuums bereitgestellt sein oder werden. Das Vakuum (oder allgemein Unterdruck) kann beispielsweise mittels einer Vakuumpumpenanordnung bereitgestellt sein oder werden (nicht dargestellt) , wobei die Vakuumpumpenanordnung beispielsweise eine Vorvakuumpumpe (z.B. eine Wälzkolbenpumpe, Membranpumpe oder Drehschieberpumpe) und/oder eine Hochvakuumpumpe (z.B. Turbomolekularpumpe) aufweisen kann. Ein jeweiliger
Prozessdruck kann innerhalb der Vakuumprozesskammer 200p dynamisch bereitgestellt sein oder werden, wobei während des Prozessierens sowohl mindestens ein Gas (z.B. Prozessgase, Reaktivgas, oder Inertgas) in die Vakuumprozesskammer 200p eingeleitet wird, als auch das eingeleitete Gas wieder aus der Vakuumprozesskammer 200p mittels der
Vakuumpumpenanordnung abgepumpt wird. Dabei kann sich ein Gleichgewicht einstellen, wodurch der Prozessdruck (z.B. ein Druck des Prozessgases) festgelegt werden kann. Der Gasfluss durch die Vakuumprozesskammer 200p hindurch und/oder der Prozessdruck kann dabei mittels Ventilen und/oder Sensoren (einer Regelung) geregelt und/oder gesteuert werden.
Alternativ kann die Prozesskammer 200p eine Atmosphärendruck- Prozesskammer zum Belichten eines Substrats an Normaldruck (tatsächlicher herrschender Luftdruck außerhalb der
Prozesskammer 200p) oder bei leichtem Überdruck (z.B.
ungefähr 1 hPa bis ungefähr 100 hPa über dem tatsächlich herrschenden Luftdruck außerhalb der Prozesskammer 200p) sein. Ferner kann die Prozesskammer 200p eine Überdruck- Prozesskammer sein, wobei Substrate unter einem Druck von mehr als 1200 hPa prozessiert werden können, z.B. in einem Prozessgas . Die Befestigungsvorrichtung 102h (die Halterung 102h) zum Befestigen der mindestens einen Blitzlampe 106 kann
beispielsweise entsprechende Lampensockel aufweisen zum
Halten der jeweiligen Blitzlampe sowie zum elektrischen
Versorgen der jeweiligen Blitzlampe, wie vorangehend
beschrieben. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Befestigungsvorrichtung 102h derart eingerichtet sein, mehrere rohrförmige Blitzlampen aufzunehmen, in der
Prozesskammer 200p zu halten und/oder zu versorgen
(elektrisch zu versorgen und/oder zu kühlen), z.B. zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, oder mehr als zehn Blitzlampen, z.B. mehr als 12 Blitzlampen oder mehr als 20 Blitzlampen. Dabei können die mehreren Blitzlampen 106 nebeneinander angeordnet sein, z.B. quer zu deren
Längsrichtung nebeneinander. Gemäß verschiedenen
Ausführungsformen können die mehreren Blitzlampen 106 (z.B. aufgrund deren Länge und deren relativen Anordnung
zueinander) ein Belichtungsfeld 106s oder einen
Belichtungsraum 106s definieren, in dem das Substrat 220 belichtet werden kann.
Beispielsweise kann ein Substrat 220 quer zur Längsrichtung 103 der mindestens einen Blitzlampe 106 (z.B. entlang der Richtung 101) durch den Prozessierbereich 106s
(Belichtungsbereich) hindurch transportiert werden. Die räumliche Ausdehnung der Prozesskammer 200p entlang der
Richtung 101 (z.B. entlang einer Substrat-Transportrichtung) kann in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 600 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 40 cm bis ungefähr 100 cm. Ferner kann die Breite (z.B. die räumliche Ausdehnung entlang der Richtung 103 quer zur Transportrichtung 101) der Prozesskammer 200p in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 600 cm liegen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 cm bis ungefähr 450 cm (dabei muss die Breite jedoch mindestens größer sein als die Länge der mindestens einen Blitzlampe 106 in die gleiche Richtung) . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Öffnung 200g in der Prozesskammer 200p eine Breite (entlang der Richtung 103, z.B. entlang der Längsrichtung der mindestens einen Blitzlampe 106) aufweisen, welche größer als die Länge der mindestens einen Blitzlampe 106 und welche kleiner als die Breite (entlang der Richtung 103, z.B. entlang der
Längsrichtung der mindestens einen Blitzlampe 106) der
Prozesskammerabdeckung 102 ist. Gemäß verschiedenen
Ausführungsformen kann die Öffnung 200g in der Prozesskammer 200p eine Länge (entlang der Richtung 101, z.B. quer zur Längsrichtung der mindestens einen Blitzlampe 106) aufweisen, welche größer als der Durchmesser der mindestens einen
Blitzlampe 106 (oder als die Blitzlampenanordnung 106) und welche kleiner als die Länge (entlang der Richtung 101, z.B. quer zur Längsrichtung der mindestens einen Blitzlampe 106) der Prozesskammerabdeckung 102 ist. Ferner kann die
Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 derart an der Prozesskammer 200p montiert sein oder werden, dass die Blitzlampen 106 mit deren Längserstreckung (entlang der Richtung 103) quer zur Transportrichtung 101 (entlang der Breitenrichtung 103 der Prozesskammer 200p) ausgerichtet sind.
Wie in Fig.2B veranschaulicht ist, können mehrere Blitzlampen 106 in der Prozesskammer 200p mittels der
Befestigungsvorrichtung 102h gehalten und durch die
Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 hindurch mit elektrischer Energie und/oder Kühlmittel versorgt werden. Während des Betriebs der
Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 (während des Blitzens der Blitzlampen 106) kann das Substrat 220 entlang einer
Transportebene lOle in der Prozesskammer 200p (in den
Prozessierbereich 106s hinein und aus dem Prozessierbereich 106s heraus) transportiert werden, z.B. entlang der Richtung 101. Ferner kann auch ein Bandsubstrat entlang der
beispielsweise zumindest teilweise gekrümmten Transportebene lOle in der Prozesskammer 200p (in den Prozessierbereich 106s hinein und aus dem Prozessierbereich 106s heraus)
transportiert werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer- Anordnung 200 eine Transportvorrichtung 210 aufweisen, beispielsweise mehrere Transportrollen 210. Dabei kann das Substrat 220 beim Transportieren beispielsweise nur zu ringförmigen Abschnitten der Transportrollen körperlichen Kontakt haben, wobei die ringförmigen Abschnitte radial von der Transportrolle hervorstehen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 200p entsprechende mindestens eine Eingangsschleuse und/oder mindestens eine Ausgangsschleuse aufweisen zum Transportieren des Substrats 220 in die Prozesskammer 200p hinein oder aus der Prozesskammer 200p heraus.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 200p derart eingerichtet sein, dass diese lichtdicht ist oder lichtdicht betrieben werden kann, so dass beispielsweise beim Blitzen keine elektromagnetische Strahlung (z.B. UV-Licht) aus der Prozesskammer 200p austreten kann.
Die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 kann beispielsweise Teil einer Vakuumbeschichtungsanlage sein, z.B. Teil einer Glas-, Metallband- oder Folienbeschichtungsanlage .
Der Deckel 102 (die Prozesskammerabdeckung 102 der
Prozesskammerabdeck-Anordnung 100) kann dichtend mit der Vakuumbeschichtungsanlage verbunden sein oder werden. Ferner kann der Deckel 102 derart eingerichtet sein, dass dieser auf bei einer Vakuumbeschichtungsanlage üblicherweise vorhandene Öffnungen passt, auf die z.B. auch ein Magnetron oder ein Vakuumpumpdeckel gesetzt werden. Dabei kann der Deckel 102 fest verschraubt, lose aufgelegt oder angelegt werden, wobei das Anbringen von oben, unten oder seitlich möglich sein kann . Die Blitzlampenanordnung 106 kann beispielsweise ein oder mehrere transparente Mantelrohre aufweisen (z.B. pro
Blitzlampe 106 ein Mantelrohr, wobei das Mantelrohr
hochtransparentes Material aufweise, wie z.B. Quarzglas, und wobei jeweils eine Gasentladungslampe 106 in dem Mantelrohr angeordnet ist, so dass die Gasentladungslampe 106 beim
Betrieb mittels Wassers gekühlt werden kann.
Ferner kann die Gasentladungslampe 106 ein langgestrecktes mit einem Gas gefülltes Lampenrohr aufweisen mit zwei in dem Lampenrohr jeweils am Ende des Lampenrohres angeordneten
Elektroden, wobei eine Elektrode als Anode, die andere als Kathode bezeichnet oder betrieben wird. An den beiden
Endabschnitten der Gasentladungslampe 106 können vakuumdicht auf dem Deckel montierte, dichtend mit dem Mantelrohr
verbundene Endstücke 102h angeordnet sein, in welchen die Gasentladungslampe und das Mantelrohr gelagert und durch welche Kühlwasser in einen Ringspalt zwischen
Gasentladungslampe und Mantelrohr ein- bzw. ausströmen kann. Somit können beispielsweise Kühlwasser und elektrische
Energie innerhalb der Endstücke 102h an die
Gasentladungslampe geführt werden. Optional kann auch ein Zünddraht auf der Anodenseite eingerichtet sein oder ein elektrisches Potential zur SelbstZündungsunterdrückung auf der Kathodenseite innerhalb der Endstücke bereitgestellt sein oder werden.
Um einen einfachen und schnellen Wechsel des Lampenfeldes mit den Endstücken vornehmen zu können, können die Endstücke 102s (die Sockelelemente) auf beiden Seiten jeweils mit einem zusammenfassenden Element 102sh, z.B. einer Zwischenplatte, montiert werden und dann als Einheit an den Vakuumdeckel 102 montiert werden. In diesen Zwischenplatten 102sh kann z.B. die Verteilung des Kühlwassers auf die einzelnen Endstücke 102s erfolgen, vgl. dazu Fig. IE. Die jeweilige Zwischenplatte 102sh (die eine Zwischenplatte 102sh oder der eine
Zwischenrahmen 102sh oder die mehreren Zwischenplatten 102sh) kann zu den Endstücken 102s und dem Deckel 102 abgedichtet sein. Die Endstücke 102s und Zwischenplatten 102sh können ein elektrisch isolierendes und gegen starke Lichtstrahlung resistentes, temperaturfestes Material aufweisen, wie z.B. Keramik oder Fluor-Kunststoff (PTFE oder PVDF) .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann
Blitzlampenanordnung 106 mindestens eine Lampe 106, ein
Mantelrohr, Endstücke 102s, einen Zünddraht, eine elektrische Lampenkontaktierung als eine gemeinsame Lampeneinheit
aufweisen, wobei mehrere Lampeneinheiten als ein gemeinsames Lampenfeld bereitgestellt sein können oder werden können.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 derart eingerichtet sein oder betrieben werden, dass die Zündung der
Gasentladungslampen 106 möglichst synchron erfolgt,
beispielsweise mit Hilfe eines Hochspannungsimpulses welcher z.B. über einen Zünddraht, der sich im mit Wasser gefülltem Ringspalt zwischen Gasentladungslampe und Mantelrohr
befindet, möglichst nahe an die Gasentladungslampe übertragen wird. Der Zünddraht kann auf der Anodenseite kontaktiert werden und parallel zur Gasentladungslampe 106 verlegt werden, so dass der Zünddraht mit einem ausreichenden Abstand (ca. 20cm) zur Kathode endet.
Ferner kann eine Simmerzündung, eine Über-Kopf-Zündung oder ein auf Zündspannung gelegter Deckelreflektor zum Zünden der mindestens einen Blitzlampe 106 genutzt werden.
Ferner kann die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 oder die Prozesskammer 200p Reflektoren aufweisen, derart eingerichtet, dass diese die in der Gasentladungslampe entstehende hochenergetische Lichtstrahlung auf das zu behandelnde Substrat möglichst wirksam reflektieren
(konzentrieren) .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Reflektoren auf der den Gasentladungslampen 106 zugewandten Oberfläche hochreflektierend und wassergekühlt sein und sich vom
Substrat aus betrachtet hinter dem Lampenfeld befinden (ein so genannter Rück- oder Deckelreflektor) und zumindest seitlich des Lampenfeldes.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die
Prozesskammerabdeckung 102 einen Deckelreflektor zwischen der mindestens einen Blitzlampe 106 und der
Prozesskammerabdeckung 102 aufweisen, wobei der
Deckelreflektor an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert sein kann. Ferner kann der Deckelreflektor unabhängig von der Prozesskammerabdeckung 102 in die Vakuumbeschichtungsanlage eingebaut sein oder werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrische Energie für die kurze Gasentladung in den Lampen 106 mittels Kondensatoren bereitgestellt sein oder werden, so dass für eine kurze Zeit sehr hohe elektrische Ströme (ca. 5000 A) fließen können. Die Leistung der Gasentladung über die Zeit wird von einer Drosselspule mit einer vordefinierten
Induktivität eingestellt. Die Kondensatoren werden mit einem zentralen oder jeweils einzelnen zugeordneten
Kondensatorlader aufgeladen.
Um die elektrischen Leitungsverluste gering zu halten, können die elektrischen Leiter zwischen Gasentladungslampe 106 und dem Kondensator bzw. Drosselspule möglichst kurz gehalten sein oder werden, indem die Kondensatoren und Spulen in unmittelbarer Nähe zur Gasentladungslampe 106, als
zusammengefasste Einheit 108 (L-C-Einheit) auf der
Prozesskammerabdeckung 102 montiert werden. Die L-C-Einheit 108 kann fest mit dem Vakuumdeckel 102 (der Prozesskammerabdeckung 102) verbunden sein oder leicht trennbar davon gestaltet sein. Gemäß verschiedenen
Ausführungsformen kann die L-C-Einheit 108 mechanisch und elektrisch leicht von der Prozesskammerabdeckung 102 trennbar eingerichtet sein, so dass die L-C-Einheit 108 z.B. mit Hilfe eines Kranes, vom Vakuumdeckel heruntergehoben werden kann. Die elektrische Kontaktierung zwischen der L-C-Einheit 108 und den einzelnen Gasentladungslampen 106 kann mittels eines Steckkontakts (oder mittels mehrerer Steckkontakte) erfolgen, der (die) beim Montieren der L-C-Einheit 108 an dem
Vakuumdeckel 102 kontaktiert oder über eine manuelle
Verbindung erfolgen, z.B. in Form von herkömmlichen
Steckkupplungen oder Schraubkontakten.
Im Folgenden werden verschiedene Modifikationen und
Konfigurationen der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 bzw. der Prozesskammer-Anordnung 200 und Details zu der
Blitzlampenanordnung 106 und der Prozesskammerabdeckung 102 beschrieben, wobei sich die bezüglich der Figuren 1A bis 1F, 2A und 2B beschriebenen grundlegenden Merkmale und
Funktionsweisen analog einbeziehen lassen. Ferner können die nachfolgend beschriebenen Merkmale und Funktionsweisen analog auf die in den Figuren 1A bis 1F, 2A und 2B beschriebene Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 bzw. der Prozesskammer- Anordnung 200 übertragen werden oder mit der in den Figuren 1A bis 1F, 2A und 2B beschriebenen Prozesskammerabdeck- Anordnung 100 bzw. der Prozesskammer-Anordnung 200 kombiniert werden.
Die Figuren 3A bis 3D zeigen verschiedene Ansichten einer Prozesskammer-Anordnung 200, gemäß verschiedenen
Ausführungsformen .
Fig.3A veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen Seitenansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 an der Prozesskammer 200p (einer Vakuumprozesskammer) montiert ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann auf der Außenseite der Prozesskammerabdeckung 102 eine L-C-Einheit 108
(Induktivität, L, Kapazität, C) zum elektrischen Versorgen der Blitzlampen 106 (des Blitzlampenfeldes 106) montiert sein oder werden. An der L-C-Einheit 108 (z.B. an einer Außenseite einer Häusung der L-C-Einheit 108) können Elektroanschlüsse 314 für die L-C-Einheit 108 bereitgestellt sein, z.B. zum Aufladen der Kondensatoren der L-C-Einheit 108 mittels einer externen Ladevorrichtung. Anschaulich kann die L-C-Einheit 108 eine Puls-Strom-/Spannungsquelle sein. Die
Prozesskammerabdeckung 102 (der Deckel 102) kann unter
Verwendung einer Deckeldichtung 102d, 202d an der
Prozesskammer 200p montiert sein oder werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer- Anordnung 200 (z.B. die Prozesskammer 200p) eine
Zentriervorrichtung 312 aufweisen, mittels derer die
Prozesskammerabdeckung 102 und die L-C-Einheit 108 an der Prozesskammer 200p montiert werden können. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann sich eine
elektrische Kontaktierung 310 (Kontaktstruktur) zum
elektrischen Kontaktieren der Blitzlampenanordnung 106 durch die Prozesskammerabdeckung 102 hindurch erstrecken und beispielsweise die Blitzlampen 106 mit der L-C-Einheit 108 verbinden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die L-C-Einheit 108 mehrere Spulen und/oder Kondensatoren
aufweisen, so dass die Gasentladungslampen 106 gepulst als Blitzlampen 106 betrieben werden können. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können beispielsweise für jede Blitzlampe 106 eine Spule und ein Kondensator bereitgestellt sein oder werden, wobei die Spule in Reihe zu der Blitzlampe 106 geschaltet sein kann und der Kondensator parallel zur Blitzlampe 106 (oder parallel zur Blitzlampe 106 und zur Spule) geschaltet sein kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer- Anordnung 200 eine Transportrolle 210 oder mehrere
Transportrollen 210 aufweisen, z.B. eine oder mehrere
Scheibentransportrollen, wie beispielsweise auch in Fig.3B in einer zur Fig.3A zugehörigen Schnittansicht B-B
veranschaulicht ist.
Ferner kann die Prozesskammer-Anordnung 200 mehrere
Reflektoren oder Reflektor-Strukturen aufweisen, z.B. einen Stirnseiten-Reflektor 308rs (vgl. Fig.3B), einen
Seitenreflektor 308r, einen Deckelreflektor 308rd, und einen Gegenreflektor 308g. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammer 200p derart eingerichtet sein, dass das Substrat zwischen den Transportrollen 210 und der
Blitzlampenanordnung 106 bzw. auf den Transportrollen 210 zwischen dem Gegenreflektor 308g und der Blitzlampenanordnung 106 transportiert werden kann.
Fig.3C veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen perspektivischen Ansicht, gemäß
verschiedenen Ausführungsformen, wobei die
Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 auf der Prozesskammer 200p montiert ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 im Wesentlichen die gleichen seitlichen Abmessungen aufweisen, wie die Prozesskammer 200p. Ferner kann eine
Prozessier-Anlage mehrere miteinander verbundene
Prozesskammern 200p aufweisen, welche ein gemeinsames
Kammersystem bildet, z.B. eine In-Line-Beschichtungsanlage (Durchlaufbeschichtungsanlage) . In einer Prozessier-Anlage mit mehreren miteinander verbundene Prozesskammern 200p können beispielsweise eine oder mehrere Prozesskammern 200p mit der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 bestückt sein oder werden und weitere Prozesskammern 200p können beispielsweise mit Magnetrons oder anderen Vakuumkomponenten, z.B. einer Pump-Anordnung, bestückt sein oder werden.
Fig.3D veranschaulicht eine Detailansicht X der
Prozesskammer-Anordnung 200 (vgl. Fig.3B), gemäß
verschiedenen Ausführungsformen.
Wie vorangehend beschrieben, kann eine Blitzlampenanordnung 106 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 mehrere Blitzlampen 106 aufweisen, welche mittels entsprechender Endstücke 102s (Sockelelemente) und einer Zwischenplatte 102sh (einer
Haltestruktur) als Lampenfeld an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert sein können oder werden können, wie vorangehend beschrieben. Die Zwischenplatte 102sh kann beispielsweise unter Verwendung einer Zwischenplatten-Dichtung 304dh an der Prozesskammerabdeckung 102 montiert sein oder werden. Ferner kann jeweils das Endstück 102s unter Verwendung einer
Endstück-Dichtung 304ds an der Zwischenplatte 102sh montiert sein oder werden.
Ferner kann jeweils eine Blitzlampe 106 der
Blitzlampenanordnung 106 in einem Mantelrohr 306m angeordnet sein, und mittels einer Dichtung 306d abgedichtet sein, so dass beispielsweise Kühlwasser in dem Mantelrohr 306m (z.B. ein Quarzglas-Rohr) geführt werden kann. Optional kann in oder an dem Mantelrohr 306m oder in der Blitzlampe 106 ein Zünddraht angeordnet sein zum Zünden der Blitzlampe 106.
Die Figuren 4A bis 4D zeigen verschiedene Ansichten der in den Figuren 3A bis 3D beschriebenen Prozesskammer-Anordnung 200 in demontiertem oder teilweise montiertem Zustand, gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
Fig.4A und Fig.4B veranschaulichen jeweils die Prozesskammer- Anordnung 200 in einer schematischen Seitenansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die
Versorgungsvorrichtung 108 (oder die L-C-Einheit) von der Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 demontiert (z.B. abgehoben) ist und wobei ferner die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 von der Prozesskammer 200p demontiert (z.B. abgehoben) ist .
Dabei kann das Montieren und Demontieren der Prozesskammer- Anordnung 200 unter Verwendung der Zentriervorrichtung 312 erfolgen, wobei sich die Zentriervorrichtung 312 im
montierten Zustand der Prozesskammer-Anordnung 200
beispielsweise durch entsprechend passende Durchgangslöcher in der Prozesskammerabdeckung 102 und in der
Versorgungsvorrichtung 108 hindurch erstrecken kann.
Fig.4C veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen perspektivischen Ansicht, gemäß
verschiedenen Ausführungsformen, wobei die
Versorgungsvorrichtung 108 (oder die L-C-Einheit) von der Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 demontiert (z.B. abgehoben) ist und wobei ferner die Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 von der Prozesskammer 200p demontiert (z.B. abgehoben) ist. Anschaulich können diese Komponenten der Prozesskammer- Anordnung 200 modular bereitgestellt sein oder werden.
Fig.4D veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen perspektivischen Ansicht, gemäß
verschiedenen Ausführungsformen, wobei die
Prozesskammerabdeckung 102 der Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 gemeinsam mit der Versorgungsvorrichtung 108 (oder die L- C-Einheit) von der Prozesskammer 200p demontiert (z.B.
abgehoben) ist. Die Versorgungsvorrichtung 108 kann
beispielsweise fest in die Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 integriert sein.
Fig.4E veranschaulicht die Prozesskammer-Anordnung 200 in einer schematischen perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, mit der an der Prozesskammer 200p montierten L-C-Einheit 108 (Versorgungsvorrichtung 108). Die L-C-Einheit 108 oder die Versorgungsvorrichtung 108 kann beispielsweise mehrere Kondensatoren 408k aufweisen und mehrere Spulen 408s (z.B. Drosselspulen), welche in einer Häusung 408g angeordnet sein können. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die L-C-Einheit 108 mit den
Kondensatoren 408k und den Spulen 408s auf der
Prozesskammerabdeckung 102 als Modul montiert sein oder werden. Es versteht sich, dass die Kondensatoren 408k und die Spulen 408s der L-C-Einheit 108 auch in anderer Form und/oder Anordnung bereitgestellt sein können oder werden können.
Ferner kann in die L-C-Einheit 108 auch eine
Kühlmittelführung oder eine Kühlvorrichtung zum Kühlen der Blitzlampen 106 und/oder der L-C-Einheit 108 integriert sein.
Das Montieren der verschiedenen Komponenten und Bauteile, wie hierin beschrieben, kann beispielsweise aufweisen: Stecken, Klemmen, Auflegen, Anlegen, Kleben, Verschrauben oder ein mechanisch unlösbares Verbinden (z.B. Schweißen). Ferner können/kann die Prozesskammer 200p und/oder die
Prozesskammerabdeck-Anordnung 100 weitere Bauteile aufweisen, z.B. Sensoren, Vakuumpumpen, Kühlvorrichtungen, Heizer und Ähnliches .
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Blitzlampen senkrecht zur Transportrichtung ausgerichtet sein. Ferner kann der Deckel derart eingerichtet sein, z.B. massive
Wandungen und/oder einen massiven Grundkörper aufweisen, dass die Anordnung im Deckel elektromagnetisch abgeschirmt wird (EMV-Abschirmung) , insbesondere in Richtung der
Prozesskammer .
Die hierin beschriebene Prozesskammerabdeck-Anordnung oder Blitzlampenanordnung ermöglicht einen modularen Aufbau einer Prozessieranläge . Der Versorgung der Blitzlampen kann in dem kleinen Bauraum des Deckels angeordnet sein (z.B. kompakt in dem Deckel angeordnet sein) . Beispielsweise kann der Hochstromkreis zum Versorgen der Blitzlampen kompakt in dem Deckel angeordnet sein (Arbeitsschutz) . Daher können kurze Leitungen im
Hochstromkreis bereitgestellt werden mit kleinen parasitären Induktivitäten und/oder Kapazitäten. Ferner können dünne Zuleitungen außerhalb des Deckels (mit kleinem Querschnitt) verwendet werden, da nur kleine Ströme (z.B. Gleichstrom mit ungefähr 2 A) für den Hochstromkreis im Deckel bereitgestellt werden müssen, wobei ferner (z.B. aufgrund der
vergleichsweise geringen Stromstärken) Standardstecker am Deckel verwendet werden können. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein elektrischer Steckverbinder zwischen einer Blitzlampe und dem zugehörigen Anschlusskopf oder geschraubte Verbindung verwendet werden.
Anschaulich kann die Stromversorgung (z.B. die
Hochstromversorgung) für die Blitzlampen eine große Baugröße
3
erfordern, z.B. mehr als 1 m , wobei diese bei herkömmlichen Anordnungen beispielsweise direkt neben der Anlage platziert werden müssten, wo allerdings ein Platzmangel herrschen kann. Die hierin beschriebene Prozesskammerabdeck-Anordnung kann es beispielsweise ermöglichen, dass die Stromversorgung an einem beliebigen Ort aufgestellt werden kann.

Claims

Patentansprüche
1. Prozesskammerabdeck-Anordnung (100), aufweisend:
• eine Prozesskammerabdeckung (102) zum Abdecken einer Öffnung einer Prozesskammer (200p) ; und
• eine Blitzlampenanordnung mit mindestens einer
Blitzlampe (106), wobei die Blitzlampenanordnung an der Prozesskammerabdeckung (102) an ihrer
Prozesskammerseite (102i) befestigt ist.
2. Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß Anspruch 1,
• wobei die Prozesskammer (200p) eine Vakuumkammer
ist; und
• wobei die Prozesskammerabdeckung (102) eine
Vakuumkammerabdeckung ist.
3. Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei die Blitzlampenanordnung mehrere Blitzlampen (106) aufweist .
Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 3,
wobei die Prozesskammerabdeckung (102) lösbar an der Prozesskammer (200p) befestigt ist.
5. Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 4, ferner aufweisend:
einen Energieversorgungsschaltkreis (108) zum
Bereitstellen von Energie an die mindestens eine
Blitzlampe (106) der Blitzlampenanordnung.
6. Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß Anspruch 5,
wobei der Energieversorgungsschaltkreis auf der der Prozesskammerseite abgewandten Seite (102a) der
Prozesskammerabdeckung (102) angeordnet ist.
7. Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß Anspruch 6, wobei der Energieversorgungsschaltkreis lösbar an der Prozesskammerabdeckung (102) befestigt ist.
Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 7, ferner aufweisend:
eine Kontaktierungsstruktur zum elektrischen
Kontaktieren der Blitzlampenanordnung, wobei die
Kontaktierungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung (102) hindurch verläuft.
Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 8, ferner aufweisend:
eine Kühlungsstruktur zum thermischen Kontaktieren der Blitzlampenanordnung, wobei die Kühlungsstruktur durch die Prozesskammerabdeckung (102) hindurch verläuft.
Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 9, ferner aufweisend:
mindestens eine Sockelstruktur (102s) zum Halten und Versorgen der mindestens einen Blitzlampe (106), wobei die Sockelstruktur (102s) an der Prozesskammerseite (102i) der Prozesskammerabdeckung (102) angeordnet ist.
Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß Anspruch 10, wobei die mindestens eine Sockelstruktur (102s) mehrere Sockelstrukturen aufweist zum Halten mehrerer
Blitzlampen (106), wobei die mehreren Sockelstrukturen an einer gemeinsamen Haltestruktur (102sh) befestigt sind, und wobei die gemeinsame Haltestruktur (102sh) an der Prozesskammerseite (102i) der Prozesskammerabdeckung (102) angeordnet ist.
Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 11, ferner aufweisend:
mindestens einen optischen Reflektor, der zwischen der Blitzlampenanordnung (106) und der
Prozesskammerabdeckung (102) angeordnet ist. Prozesskammerabdeck-Anordnung gemäß einem der
Ansprüche 1 bis 12,
wobei die Prozesskammerabdeckung (102) ein
Kupplungselement aufweist zum Befestigen einer
Hebeeinrichtung zum Heben der Prozesskammerabdeck
Anordnung (100) von der Öffnung der Prozesskammer
(200p) .
Prozesskammer-Anordnung (200), aufweisend:
• eine Prozesskammer (200p) mit einer Öffnung (200g) ; und
• eine Prozesskammerabdeck-Anordnung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 13.
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