WO2015063921A1 - 共振型高周波電源装置 - Google Patents

共振型高周波電源装置 Download PDF

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酒井 清秀
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Definitions

  • the present invention relates to a resonance type high frequency power supply device that performs power transmission at a high frequency.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and can maintain a resonant switching condition with respect to a load impedance variation and perform waveform control of an output voltage.
  • An object of the present invention is to provide a resonance type high frequency power supply device capable of operating at a frequency.
  • a resonance type high frequency power supply apparatus is a resonance type high frequency power supply apparatus including a power element that performs a switching operation at a high frequency exceeding 2 MHz, and performs resonance control for controlling the switching voltage of the power element and the output voltage of the apparatus.
  • a matched filter is provided.
  • the present invention since it is configured as described above, it is possible to maintain the resonant switching condition against the impedance fluctuation of the load and to control the waveform of the output voltage, and to operate at a high frequency exceeding 2 MHz. It becomes.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a resonance type high frequency power supply device according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 1 shows a circuit when the power element Q1 has a single configuration.
  • the resonance type high frequency power supply device includes a power element Q1, a resonance circuit element (capacitors C1, C2 and an inductor L2), an inductor L1, a high frequency pulse drive circuit 1, a variable pulse signal generation circuit 2, and a bias circuit.
  • the power supply circuit 3 and the resonance matching filter 4 are configured.
  • the resonant transmitting antenna (power transmitting transmitting antenna) 10 is a power transmitting resonant antenna having LC resonance characteristics (not limited to a non-contact type).
  • the resonant transmission antenna 10 may be any of a magnetic field resonance type, an electric field resonance type, and an electromagnetic induction type.
  • the power element Q1 is a switching element that performs a switching operation in order to convert the input DC voltage Vin into AC.
  • the power element Q1 is not limited to an RF FET, and for example, an element such as Si-MOSFET, SiC-MOSFET, or GaN-FET can be used.
  • the resonant circuit elements are elements for resonant switching of the switching operation of the power element Q1. Resonance conditions can be matched with the resonant transmission antenna 10 by the resonant circuit element including the capacitors C1 and C2 and the inductor L2.
  • the inductor L1 functions to temporarily hold the energy of the input DC voltage Vin for each switching operation of the power element Q1.
  • the high-frequency pulse drive circuit 1 is a circuit for driving the power element Q1 by sending a high-frequency pulsed voltage signal exceeding 2 MHz to the G terminal of the power element Q1.
  • the high-frequency pulse drive circuit 1 is a circuit configured so that a high-speed ON / OFF output can be performed by using an FET element or the like as an output portion and a totem pole circuit configuration.
  • the variable pulse signal generation circuit 2 is a circuit that drives the high-frequency pulse drive circuit 1 by sending a high-frequency pulsed voltage signal exceeding 2 MHz, such as a logic signal, to the high-frequency pulse drive circuit 1.
  • the variable pulse signal generation circuit 2 includes a frequency setting oscillator and a logic IC such as a flip-flop or an inverter, and has functions such as a pulse width change and an inverted pulse output.
  • the bias power supply circuit 3 supplies drive power to the variable pulse signal generation circuit 2 and the high-frequency pulse drive circuit 1.
  • the resonance matching filter 4 performs waveform control of the switching voltage Vds of the power element Q1 and the output voltage Vout of the resonance type high frequency power supply device.
  • the output impedance of the resonant circuit elements can be matched with the input impedance of the resonant transmission antenna 10 on the load side.
  • the input DC voltage Vin is applied to the D terminal of the power element Q1 through the inductor L1.
  • the power element Q1 converts the voltage into a positive AC voltage by an ON / OFF switching operation.
  • the inductor L1 temporarily holds energy to assist in converting power from direct current to alternating current.
  • the switching operation of the power element Q1 is a resonance circuit element including capacitors C1 and C2 and an inductor L2 so that ZVS (zero voltage switching) is established so that the switching loss due to the Ids current and the Vds voltage product is minimized.
  • Resonant switching conditions are set.
  • the resonance switching condition of the internal circuit is not changed by the impedance fluctuation on the load side.
  • the constants of the resonant matched filter 4 are set so that the voltage waveforms of Vds and Vout meet the conditions as shown in FIG. In FIG. 2A, ON-Duty operates within a range of 30 to 80%.
  • the power element Q1 is driven by inputting a pulsed voltage signal output from the high-frequency pulse drive circuit 1 that receives an arbitrary pulsed voltage signal from the variable pulse signal generation circuit 2 to the G terminal of the power element Q1. Is going on. At this time, the drive frequency of the power element Q1 becomes the operating frequency of the resonance type high frequency power supply device and is determined by the setting of the oscillator circuit in the variable pulse signal generation circuit 2.
  • the resonance matching filter 4 that controls the waveforms of the switching voltage Vds and the output voltage Vout of the power element Q1 is provided. Therefore, in operation at a high frequency exceeding 2 MHz. In addition, it is possible to maintain the resonant switching condition against the load impedance fluctuation (without destroying the resonant switching condition by 50% or more) and to control the waveform of the output voltage Vout. As a result, even if an impedance element with resonance conditions such as an antenna for wireless power transmission is approached or moved away as a load, heat is not generated due to a sudden power loss, and heat is exhausted from a heat sink for heat generation protection. There is no need to overdesign. Therefore, cost reduction, small size, light weight, and high efficiency can be achieved.
  • FIG. 1 shows the case where the resonance matching filter 4 including the capacitors C3 and C4 is used
  • the present invention is not limited to this.
  • the resonance matching filter 4 having a configuration as shown in FIGS. .
  • FIG. 1 shows the case where the high-frequency pulse drive circuit 1, the variable pulse signal generation circuit 2, and the bias power supply circuit 3 are used to drive the power element Q1, but the present invention is not limited to this.
  • a type drive circuit, an RF power amplifier circuit, and a multi-output type power supply circuit may be used.
  • the present invention shows a circuit in the case where the power element Q1 has a single configuration, but the present invention is not limited to this.
  • the present invention also applies to a case where the power element Q1 has a push-pull configuration. Is applicable.
  • the resonance condition variable type for varying the resonance condition by the resonance circuit element.
  • the resonance matching filter 5 may be used.
  • a resonance condition variable circuit 6 that varies the resonance condition by the resonance circuit elements (capacitors C1, C2 and inductor L2) may be provided separately.
  • the present invention can be modified with any component of the embodiment or omitted with any component of the embodiment.
  • the resonance type high frequency power supply device can maintain the condition of resonance switching with respect to the impedance fluctuation of the load, can control the waveform of the output voltage, and can operate at a high frequency exceeding 2 MHz. It is suitable for use in a resonance type high frequency power supply device that performs power transmission at a frequency.
  • High frequency pulse drive circuit 2. Variable pulse signal generation circuit, 3. Power supply circuit for bias, 4. Resonance matching filter, 5. Resonance condition variable resonance matching filter, 6. Resonance condition variable circuit, 10. Resonance transmission antenna (Transmission for power transmission) antenna).

Abstract

 2MHzを超える高周波数のスイッチング動作を行うパワー素子を備えた共振型高周波電源装置であって、パワー素子のスイッチング電圧共振レベル調整及び出力電圧の波形制御を行う共振整合フィルタ4を備えた。

Description

共振型高周波電源装置
 この発明は、高周波数で電力伝送を行う共振型高周波電源装置に関するものである。
 図8に示す従来の共振型高周波電源装置では、パワー素子(FET)101のドレイン・ソース間に並列接続したインダクタ102及びキャパシタ103により、FET101の寄生容量104が大きい場合でもFET101の共振スイッチングの条件を維持できるように構成している(例えば特許文献1参照)。
特開2013-30973号公報
 しかしながら、特許文献1に開示された従来技術では、FET101の寄生容量104に対して共振スイッチングの条件を維持できるように設定しているため、出力に繋がる負荷のインピーダンス変動に対しては補償することができない。よって、負荷としてワイヤレス電力伝送用のアンテナなど、共振条件を持つインピーダンス素子が近づいたり遠ざかったりすると、共振スイッチングの条件が崩れてしまうという課題がある。そして、共振スイッチングの条件が崩れるとFETなどの電力損失が急激に増えるため、その対策のための排熱装置を備える必要がある。また、従来技術では、出力電圧の波形制御についても考慮されておらず、電力伝送の高効率化を図ることができないという課題もある。
 この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、負荷のインピーダンス変動に対して共振スイッチングの条件を維持し、かつ出力電圧の波形制御を行うことができ、2MHzを超える高周波数の動作が可能な共振型高周波電源装置を提供することを目的としている。
 この発明に係る共振型高周波電源装置は、2MHzを超える高周波数のスイッチング動作を行うパワー素子を備えた共振型高周波電源装置であって、パワー素子のスイッチング電圧及び装置出力電圧の波形制御を行う共振整合フィルタを備えたものである。
 この発明によれば、上記のように構成したので、負荷のインピーダンス変動に対して共振スイッチングの条件を維持し、かつ出力電圧の波形制御を行うことができ、2MHzを超える高周波数の動作が可能となる。
この発明の実施の形態1に係る共振型高周波電源装置の構成を示す図である(パワー素子がシングル構成)。 この発明の実施の形態1に係る共振型高周波電源装置のVds波形とVout波形を示す図である。 この発明の実施の形態1に係る共振型高周波電源装置の別の構成を示す図である。 この発明の実施の形態1に係る共振型高周波電源装置の別の構成を示す図である。 この発明の実施の形態1に係る共振型高周波電源装置の別の構成を示す図である(パワー素子がプッシュプル構成)。 この発明の実施の形態1に係る共振型高周波電源装置の別の構成を示す図である(共振条件可変型共振整合フィルタを設けた場合)。 この発明の実施の形態1に係る共振型高周波電源装置の別の構成を示す図である(共振条件可変回路を設けた場合)。 従来の共振型高周波電源装置の構成を示す図である。
 以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
 図1はこの発明の実施の形態1に係る共振型高周波電源装置の構成を示す図である。なお図1では、パワー素子Q1がシングル構成の場合の回路を示している。
 共振型高周波電源装置は、図1に示すように、パワー素子Q1、共振回路素子(コンデンサC1,C2及びインダクタL2)、インダクタL1、高周波パルスドライブ回路1、可変型パルス信号発生回路2、バイアス用電源回路3及び共振整合フィルタ4から構成されている。
 なお、共振型送信アンテナ(電力伝送用送信アンテナ)10は、LC共振特性を持つ電力伝送用の共振型アンテナである(非接触型のみに限定されない)。この共振型送信アンテナ10は、磁界共鳴型、電界共鳴型、電磁誘導型のいずれであってもよい。
 パワー素子Q1は、入力の直流電圧Vinを交流に変換するためにスイッチング動作を行うスイッチング素子である。このパワー素子Q1としては、RF用のFETに限らず、例えばSi-MOSFETやSiC-MOSFET、GaN-FETなどの素子を用いることが可能である。
 共振回路素子(コンデンサC1,C2及びインダクタL2)は、パワー素子Q1のスイッチング動作を共振スイッチングさせるための素子である。このコンデンサC1,C2及びインダクタL2からなる共振回路素子により、共振型送信アンテナ10との間で共振条件を合わせることができる。
 インダクタL1は、入力の直流電圧Vinのエネルギーを、パワー素子Q1のスイッチング動作ごとに一時的に保持する働きをするものである。
 高周波パルスドライブ回路1は、パワー素子Q1のG端子に2MHzを超える高周波数のパルス状の電圧信号を送り、パワー素子Q1を駆動させる回路である。この高周波パルスドライブ回路1は、出力部をFET素子などでトーテンポール回路構成にして高速のON/OFF出力ができるように構成した回路である。
 可変型パルス信号発生回路2は、高周波パルスドライブ回路1にロジック信号などの2MHzを超える高周波数のパルス状の電圧信号を送り、高周波パルスドライブ回路1を駆動させる回路である。この可変型パルス信号発生回路2は、周波数設定用のオシレータとフリップフロップやインバータなどのロジックICで構成され、パルス幅の変更や反転パルス出力などの機能を持つ。
 バイアス用電源回路3は、可変型パルス信号発生回路2及び高周波パルスドライブ回路1への駆動電力の供給を行うものである。
 共振整合フィルタ4は、パワー素子Q1のスイッチング電圧Vds及び共振型高周波電源装置の出力電圧Voutの波形制御を行うものである。これにより、共振回路素子(コンデンサC1,C2及びインダクタL2)の出力インピーダンスと負荷側の共振型送信アンテナ10の入力インピーダンスとの整合を取ることができる。
 次に、上記のように構成された共振型高周波電源装置の動作について説明する。
 まず、入力の直流電圧VinはインダクタL1を通してパワー素子Q1のD端子に印加される。そして、パワー素子Q1は、その電圧をON/OFFのスイッチング動作により正電圧の交流状電圧へ変換する。この変換動作のときに、インダクタL1は一時的にエネルギーを保持する働きをして、直流を交流へ電力変換する手助けを行う。
 ここで、パワー素子Q1のスイッチング動作は、Ids電流とVds電圧積によるスイッチング損失が最も小さくなるように、ZVS(ゼロボルテージスイッチング)が成立するようコンデンサC1,C2及びインダクタL2からなる共振回路素子で共振スイッチング条件が設定されている。この共振スイッチング動作により、出力電圧VoutにはRTN電圧を軸にした交流電圧が出力される。
 このとき、パワー素子Q1のスイッチング電圧Vdsと出力電圧Voutとの関係は共振整合フィルタ4によって設定されるため、負荷側のインピーダンス変動によって内部回路の共振スイッチング条件が変化することはない。なお、共振整合フィルタ4の定数は、Vds及びVoutの電圧波形が図2に示すような条件に合うように設定する。図2(a)において、ON-Dutyは30~80%の範囲内で動作する。
 パワー素子Q1の駆動は、可変型パルス信号発生回路2からの任意のパルス状の電圧信号を受けた高周波パルスドライブ回路1が出力する、パルス状の電圧信号をパワー素子Q1のG端子へ入力することで行っている。このとき、パワー素子Q1の駆動周波数は共振型高周波電源装置の動作周波数となり、可変型パルス信号発生回路2内部のオシレータ回路の設定により決まる。
 以上のように、この実施の形態1によれば、パワー素子Q1のスイッチング電圧Vds及び出力電圧Voutの波形制御を行う共振整合フィルタ4を備えるように構成したので、2MHzを超える高周波数の動作において、負荷のインピーダンス変動に対して共振スイッチングの条件を維持し(共振スイッチングの条件を50%以上崩してしまうことがなく)、かつ出力電圧Voutの波形制御を行うことができる。
 その結果、負荷としてワイヤレス電力伝送用のアンテナなど、共振条件を持つインピーダンス素子が近づいたり、遠ざかったりしても、急激な電力損失による発熱を起こすことはなく、発熱保護用のヒートシンクなどの排熱設計を過剰に行う必要はない。そのため、コストの削減、小型、軽量化及び高効率化を図ることができる。
 なお図1では、コンデンサC3,C4からなる共振整合フィルタ4を用いる場合について示したが、これに限るものではなく、例えば図3,4に示すような構成の共振整合フィルタ4を用いてもよい。
 また図1では、パワー素子Q1を駆動させるため、高周波パルスドライブ回路1、可変型パルス信号発生回路2及びバイアス用電源回路3を用いた場合について示したが、これに限るものではなく、例えばトランス型ドライブ回路、RFパワーアンプ回路及び多出力型電源回路を用いるようにしてもよい。
 また図1では、パワー素子Q1がシングル構成の場合の回路について示したが、これに限るものではなく、例えば図5に示すように、パワー素子Q1がプッシュプル構成の場合にも同様に本発明を適用可能である。
 また図1では、共振回路素子による共振条件が固定の場合について説明を行ったが、これに限るものではなく、例えば図6に示すように、共振回路素子による共振条件を可変させる共振条件可変型共振整合フィルタ5を用いるようにしてもよい。また、例えば図7に示すように、上記共振回路素子(コンデンサC1,C2及びインダクタL2)による共振条件を可変させる共振条件可変回路6を別途設けるようにしてもよい。
 また、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
 この発明に係る共振型高周波電源装置は、負荷のインピーダンス変動に対して共振スイッチングの条件を維持し、かつ出力電圧の波形制御を行うことができ、2MHzを超える高周波数の動作が可能となり、高周波数で電力伝送を行う共振型高周波電源装置等に用いるのに適している。
 1 高周波パルスドライブ回路、2 可変型パルス信号発生回路、3 バイアス用電源回路、4 共振整合フィルタ、5 共振条件可変型共振整合フィルタ、6 共振条件可変回路、10 共振型送信アンテナ(電力伝送用送信アンテナ)。

Claims (12)

  1.  2MHzを超える高周波数のスイッチング動作を行うパワー素子を備えた共振型高周波電源装置であって、
     前記パワー素子のスイッチング電圧及び装置出力電圧の波形制御を行う共振整合フィルタを備えた
     ことを特徴とする共振型高周波電源装置。
  2.  前記パワー素子は、RF(Radio Frequency)用のFET(Field Effect Transistor)以外のFETである
     ことを特徴とする請求項1記載の共振型高周波電源装置。
  3.  前記パワー素子は、プッシュプル構成又はシングル構成である
     ことを特徴とする請求項1記載の共振型高周波電源装置。
  4.  磁界共鳴による電力伝送用送信アンテナとの間で共振条件を合わせるコンデンサ及びインダクタからなる共振回路素子を備えた
     ことを特徴とする請求項1記載の共振型高周波電源装置。
  5.  電界共鳴による電力伝送用送信アンテナとの間で共振条件を合わせるコンデンサ及びインダクタからなる共振回路素子を備えた
     ことを特徴とする請求項1記載の共振型高周波電源装置。
  6.  電磁誘導による電力伝送用送信アンテナとの間で共振条件を合わせるコンデンサ及びインダクタからなる共振回路素子を備えた
     ことを特徴とする請求項1記載の共振型高周波電源装置。
  7.  前記共振整合フィルタは、前記共振回路素子の共振条件を可変とする
     ことを特徴とする請求項4記載の共振型高周波電源装置。
  8.  前記共振整合フィルタは、前記共振回路素子の共振条件を可変とする
     ことを特徴とする請求項5記載の共振型高周波電源装置。
  9.  前記共振整合フィルタは、前記共振回路素子の共振条件を可変とする
     ことを特徴とする請求項6記載の共振型高周波電源装置。
  10.  前記共振回路素子の共振条件を可変とする共振条件可変回路を備えた
     ことを特徴とする請求項4記載の共振型高周波電源装置。
  11.  前記共振回路素子の共振条件を可変とする共振条件可変回路を備えた
     ことを特徴とする請求項5記載の共振型高周波電源装置。
  12.  前記共振回路素子の共振条件を可変とする共振条件可変回路を備えた
     ことを特徴とする請求項6記載の共振型高周波電源装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021500701A (ja) * 2017-10-18 2021-01-07 ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation 半導体ウエハ製造のためのマッチレスプラズマ源

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011078299A (ja) * 2009-09-03 2011-04-14 Tdk Corp ワイヤレス給電装置およびワイヤレス電力伝送システム
JP2013027129A (ja) * 2011-07-20 2013-02-04 Toyota Industries Corp 給電側設備及び共鳴型非接触給電システム
WO2013080285A1 (ja) * 2011-11-28 2013-06-06 富士通株式会社 非接触型充電装置および非接触型充電方法
WO2013133028A1 (ja) * 2012-03-06 2013-09-12 株式会社村田製作所 電力伝送システム

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3919656A (en) * 1973-04-23 1975-11-11 Nathan O Sokal High-efficiency tuned switching power amplifier
US6008589A (en) * 1996-03-05 1999-12-28 California Institute Of Technology Single-switch, high power factor, ac-to-ac power converters
US7202734B1 (en) * 1999-07-06 2007-04-10 Frederick Herbert Raab Electronically tuned power amplifier
AU2002254159A1 (en) * 2001-03-09 2002-09-24 California Institute Of Technology Switchless multi-resonant, multi-band power amplifier
MX2007006210A (es) * 2004-11-23 2008-02-19 Sensormatic Electronics Corp Un dispositivo de eas/rfid integrado y dispositivos deshabilitadores para el mismo.
US7535133B2 (en) * 2005-05-03 2009-05-19 Massachusetts Institute Of Technology Methods and apparatus for resistance compression networks
JP2006353049A (ja) * 2005-06-20 2006-12-28 Toshiba Corp 電源装置及び無電極放電ランプ装置
US8532724B2 (en) * 2008-09-17 2013-09-10 Qualcomm Incorporated Transmitters for wireless power transmission
US20110049997A1 (en) * 2009-09-03 2011-03-03 Tdk Corporation Wireless power feeder and wireless power transmission system
JP5459058B2 (ja) * 2009-11-09 2014-04-02 株式会社豊田自動織機 共鳴型非接触電力伝送装置
US8203386B2 (en) * 2010-05-04 2012-06-19 Nxp B.V. Reconfigurable outphasing Chireix amplifiers and methods
US8174322B2 (en) * 2010-05-04 2012-05-08 Nxp B.V. Power control of reconfigurable outphasing chireix amplifiers and methods
WO2012086051A1 (ja) * 2010-12-24 2012-06-28 トヨタ自動車株式会社 非接触給電システム、車両、給電設備および非接触給電システムの制御方法
US9559550B2 (en) * 2011-02-15 2017-01-31 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Contactless power receiving apparatus and vehicle incorporating same, contactless power feeding facility, method of controlling contactless power receiving apparatus, and method of controlling contactless power feeding facility
US9306634B2 (en) * 2011-03-01 2016-04-05 Qualcomm Incorporated Waking up a wireless power transmitter from beacon mode
US20120223590A1 (en) * 2011-03-02 2012-09-06 Qualcommm Incorporated Reducing heat dissipation in a wireless power receiver
US10381874B2 (en) * 2011-03-25 2019-08-13 Qualcomm Incorporated Filter for improved driver circuit efficiency and method of operation
EP2722966A4 (en) * 2011-06-17 2015-09-09 Toyota Jidoshokki Kk CONTACTLESS ENERGY SUPPLY SYSTEM
US9252846B2 (en) * 2011-09-09 2016-02-02 Qualcomm Incorporated Systems and methods for detecting and identifying a wireless power device
US9496755B2 (en) * 2011-09-26 2016-11-15 Qualcomm Incorporated Systems, methods, and apparatus for rectifier filtering for input waveform shaping
JP6088234B2 (ja) * 2011-12-23 2017-03-01 株式会社半導体エネルギー研究所 受電装置、無線給電システム
JP6103445B2 (ja) * 2012-03-16 2017-03-29 パナソニックIpマネジメント株式会社 非接触充電装置の給電装置
US9368975B2 (en) * 2012-11-30 2016-06-14 Qualcomm Incorporated High power RF field effect transistor switching using DC biases
US9601267B2 (en) * 2013-07-03 2017-03-21 Qualcomm Incorporated Wireless power transmitter with a plurality of magnetic oscillators
US20150064970A1 (en) * 2013-09-04 2015-03-05 Qualcomm Incorporated Systems, apparatus, and methods for an embedded emissions filter circuit in a power cable
CN105684291B (zh) * 2013-10-31 2018-09-04 三菱电机工程技术株式会社 谐振型高频电源装置以及谐振型高频电源装置用开关电路
JP5791834B1 (ja) * 2013-10-31 2015-10-07 三菱電機エンジニアリング株式会社 共振型高周波電源装置及び共振型高周波電源装置用スイッチング回路
US20160248277A1 (en) * 2013-10-31 2016-08-25 Mitsubishi Electric Engineering Company, Limited Resonant type high frequency power supply device and switching circuit for resonant type high frequency power supply device
US9871416B2 (en) * 2013-10-31 2018-01-16 Mitsubishi Electric Engineering Company, Limited Resonant type high frequency power supply device
JP5847336B2 (ja) * 2013-11-15 2016-01-20 三菱電機エンジニアリング株式会社 高周波電源用整流回路
JP6188820B2 (ja) * 2013-12-10 2017-08-30 三菱電機エンジニアリング株式会社 高周波電源用整流回路
US9484766B2 (en) * 2013-12-16 2016-11-01 Qualcomm Incorporated Wireless power transmitter tuning
JP6180548B2 (ja) * 2013-12-26 2017-08-16 三菱電機エンジニアリング株式会社 高周波電源用整流回路
WO2015097801A1 (ja) * 2013-12-26 2015-07-02 三菱電機エンジニアリング株式会社 高周波電源用整流回路
JP6188825B2 (ja) * 2013-12-26 2017-08-30 三菱電機エンジニアリング株式会社 高周波電源用整流回路
US9812875B2 (en) * 2014-09-05 2017-11-07 Qualcomm Incorporated Systems and methods for adjusting magnetic field distribution using ferromagnetic material

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011078299A (ja) * 2009-09-03 2011-04-14 Tdk Corp ワイヤレス給電装置およびワイヤレス電力伝送システム
JP2013027129A (ja) * 2011-07-20 2013-02-04 Toyota Industries Corp 給電側設備及び共鳴型非接触給電システム
WO2013080285A1 (ja) * 2011-11-28 2013-06-06 富士通株式会社 非接触型充電装置および非接触型充電方法
WO2013133028A1 (ja) * 2012-03-06 2013-09-12 株式会社村田製作所 電力伝送システム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021500701A (ja) * 2017-10-18 2021-01-07 ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation 半導体ウエハ製造のためのマッチレスプラズマ源
JP7203099B2 (ja) 2017-10-18 2023-01-12 ラム リサーチ コーポレーション 半導体ウエハ製造のためのマッチレスプラズマ源および高周波電力供給方法

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