WO2015010355A1 - 静电消除装置、卡匣承载设备及物料搬运系统 - Google Patents

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cassette
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static eliminator
side walls
carrying
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English (en)
French (fr)
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陈增宏
林昆贤
汪永强
杨卫兵
齐明虎
李晨阳子
杨国坤
蒋运芍
舒志优
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TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
    • H10P72/1924—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by atmosphere control
    • H10P72/1926—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrier
    • H10P72/1928—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrier characterised by the presence of antistatic elements

Definitions

  • the present invention relates to static elimination technology, and more particularly to a static elimination device and a cassette carrying device equipped with the static elimination device.
  • the invention also relates to a material handling system using the cassette carrying device. Background technique
  • TFT-LCDs thin film transistor liquid crystal display panels
  • OLED organic light emitting diode
  • TFT-LCDs thin film transistor liquid crystal display panels
  • OLED organic light emitting diode
  • the surface thereof is electrostatically charged by contact or friction.
  • the static electricity existing on the surface of the glass substrate attracts the surrounding particles to be adsorbed on the surface of the glass substrate to cause the glass substrate. It is contaminated and even produces electrostatic discharge (ESD) barriers.
  • ESD electrostatic discharge
  • static electricity causes charge build-up, and when the charge accumulates to a certain extent, a huge instantaneous discharge occurs, which damages the circuit on the glass substrate.
  • the panel industry currently uses two methods to eliminate static electricity.
  • the first is to ground the device and adjust the relative humidity of the environment to discharge the static electricity on the surface of the object.
  • the second is to spray positive and negative ions onto the surface of the glass substrate with a static eliminator to eliminate static electricity on the surface of the glass substrate.
  • the first method has a limited effect of eliminating static electricity, and the second method has better effect of eliminating static electricity.
  • the material handling system usually includes a plurality of cassette carriers for placing cassettes.
  • the second method described above eliminates static electricity.
  • a static eliminator is mounted on each cassette carrier, resulting in installation. Both cost and post-maintenance costs are high.
  • an embodiment of the present invention provides a static elimination device for eliminating static electricity on a glass substrate.
  • the static elimination device comprises a guide rail with a rectangular frame structure, a slider, and a static Electric eliminator and drive unit.
  • the rail is disposed on an outer surface of a side of the cassette carrier assembly carrying the glass substrate, the rail including two first side walls that are opposite each other and two second side walls that are opposite each other.
  • the slider is slidably spanned across the two first side walls.
  • the static eliminator is fixed to the slider.
  • the driving device comprises a driving motor and a screw
  • the driving motor is mounted on an outer surface of one of the second side walls
  • the screw is located in the frame body and one end thereof is connected with the driving motor, and the other end is rotatably mounted on the other A second side wall
  • the screw passes through the slider and is threadedly engaged with the slider
  • the driving device is configured to drive the slider to move back and forth along the rail to drive the static eliminator to move back and forth along the rail.
  • the slider has a "work" shape and includes a carrying portion, a connecting portion parallel to the carrying portion, and a connecting portion vertically connecting the carrying portion and the connecting portion, the carrying portion being carried on the two first
  • the connecting portion is in contact with the lower surface 4 of the two first side walls, and the through portion is located in the frame and is provided with a threaded hole that cooperates with the screw, and the static eliminator comprises a fixing a rod connected to the connecting portion and a plurality of nozzles extending from the rod.
  • the slider is T-shaped and includes a vertically connected bearing portion and a connecting portion.
  • the bearing portion is carried on the upper surfaces of the two first sidewalls.
  • the connecting portion is located in the frame and is provided with the screw. a threaded hole, the static eliminator comprising a rod fixedly coupled to the connecting portion and a plurality of nozzles extending from the rod.
  • an embodiment of the present invention further provides a cassette carrying device including a cassette carrying table assembly for carrying a glass substrate and a static eliminating device for eliminating static electricity on the glass substrate.
  • the cassette carrier assembly includes a plurality of cassette carriers that are connected in series in parallel, and a side wall is shared between adjacent cassette carriers.
  • the static elimination device includes a guide rail having a rectangular frame structure, a slider, a static eliminator, and a driving device.
  • the rail is disposed on an outer surface of a side of the cassette carrier assembly, the rail including two first side walls that are opposite each other and two second side walls that are opposite each other.
  • the slider is slidably spanned across the two first side walls.
  • the static eliminator is fixed to the slider and opposite the bottom of the cassette carrier assembly.
  • the driving device comprises a driving motor and a screw, the driving motor is mounted on an outer surface of one of the second side walls, the screw is located in the frame body and one end thereof is The drive motor is coupled, and the other end is rotatably mounted on the other second side wall, the screw passes through the slider and is threadedly engaged with the slider, and the driving device is configured to drive the slider back and forth along the guide rail Moving to drive the static eliminator to move back and forth along the rail.
  • the slider has a "work" shape and includes a carrying portion, a connecting portion parallel to the carrying portion, and a connecting portion vertically connecting the carrying portion and the connecting portion, the carrying portion being carried on the two first
  • the connecting portion is in contact with the lower surface 4 of the two first side walls, and the through portion is located in the frame and is provided with a threaded hole that cooperates with the screw, and the static eliminator comprises a fixing a rod connected to the connecting portion and a plurality of nozzles extending from the rod.
  • the slider is T-shaped and includes a vertically connected bearing portion and a connecting portion.
  • the bearing portion is carried on the upper surfaces of the two first sidewalls.
  • the connecting portion is located in the frame and is provided with the screw. a threaded hole, the static eliminator comprising a rod fixedly coupled to the connecting portion and a plurality of nozzles extending from the rod.
  • the plurality of nozzles are arranged in a straight line, and the extending direction of the straight line is the guiding direction of the guide rail.
  • the material handling system further includes a slide rail and a driver, the robot arm being slidably mounted in the slide rail, the driver being fixed on the slide rail and configured to drive the robot arm to move back along the slide rail.
  • the slider has a "work" shape and includes a carrying portion, a connecting portion parallel to the carrying portion, and a connecting portion vertically connecting the carrying portion and the connecting portion, the carrying portion being carried on the two first
  • the connecting portion is in contact with the lower surface 4 of the two first side walls, and the through portion is located in the frame and is provided with a threaded hole that cooperates with the screw, and the static eliminator comprises a fixing a rod connected to the connecting portion and a plurality of nozzles extending from the rod.
  • the plurality of nozzles are arranged in a straight line, and the extending direction of the straight line is the guiding direction of the guide rail.
  • the drive motor is mounted on the outer surface of one of the second side walls by gluing, snapping or screwing.
  • the static elimination device, the cassette carrying device and the material handling system provided by the invention drive the static eliminator to move back and forth along the guide rail to any position, so that the same static eliminator sequentially enters and exits all the cassette carriers.
  • the glass substrate is subjected to static elimination operation, and a static eliminator is disposed corresponding to each of the cassette carriers, thereby saving installation cost and later maintenance cost.
  • Figure 3 is a plan view of the static elimination device of Figure 2;
  • Figure 4 is a cross-sectional view of the static elimination device of Figure 2 taken along line IV-IV.
  • Fig. 5 is a view showing the operation of the static eliminator in the static eliminator of Fig. 2.
  • Figure 6 is a cross-sectional view showing a static elimination device according to a second embodiment of the present invention.
  • Figure 7 is a schematic view showing the structure of a material handling system according to a third embodiment of the present invention.
  • Figure 8 is a functional block diagram of a material handling system according to a third embodiment of the present invention.
  • the cassette carrier assembly 10 is formed by a series of four cassette carriers 10a, 10b, 10c and 10d connected in series, each of the cassette holders 10a, 10b, 10c and 10d having a rectangular frame structure and phase A side wall is shared between the adjacent cassette carriers.
  • the cassette carrier assembly 10 includes a bottom portion 12 and a top portion 14 that is parallel to the bottom portion 12.
  • the bottom portion 12 has a flat shape for carrying a cassette (not shown) provided with a glass substrate.
  • the top portion 14 includes two parallel sides 142 and two parallel sides The long side of the back 144.
  • the two short sides 142 are perpendicularly connected to the two long sides 144.
  • the static elimination device 20 is mounted on the outer surface 146 of the long side 144.
  • the static elimination device 20 includes a guide rail 22, a slider 24, a static eliminator 26, and a drive unit 28.
  • the slider 24 has a "work" shape, and includes a carrying portion 242, a connecting portion 244 parallel to the carrying portion 242, and a through portion 246 that vertically connects the carrying portion 242 and the connecting portion 244.
  • the load bearing portion 242 is carried on the upper surface 226 of the two first side walls 222.
  • the connecting portion 244 is in contact with the lower surface 227 of the two first side walls 222.
  • the through portion 246 is located in the guide rail 22 and is provided with a threaded hole 247.
  • the static eliminator 26 When the glass substrate enters and exits the target cassette carrier 10a, 10b, 10c, the static eliminator 26 is opened, and positive and negative ion wind enters from the air inlet 266 and flows along the air passage 268 to the plurality of nozzles 264, and finally from the The plurality of nozzles 264 are sprayed onto the glass substrate being transported to neutralize the positive and negative ions on the glass substrate, thereby controlling and effectively reducing the amount of static electricity on the glass substrate, thereby improving the yield of the glass substrate in each process, thereby improving Capacity.
  • the static eliminator 26 in the static eliminator 20 can be moved to any position on the guide rail 22, the static eliminator 20 can use the same static eliminator 26 to sequentially access all of the cassette carriers 10a, 10b.
  • the glass substrate of 10c or 10d is subjected to static elimination operation, and each of the cassette carrying stages 10a, 10b, 10c or 10d is prevented from being equipped with a static eliminator, thereby saving installation cost and later maintenance cost.
  • the static elimination device 20 is not limited to being mounted on the long side 144 of the top portion 14 in the embodiment, and the static elimination device 20 can also be mounted on the long side of the bottom portion 12,
  • the static eliminator 26 is fixedly disposed on the carrying portion 242 with the nozzle 264 facing directly upward.
  • the orientation of the nozzle 264 is not limited to being directly above or directly below, and may be slightly inclined as long as the positive and negative ions sprayed from the nozzle 264 can reach the glass substrate.
  • the static eliminator 36 is fixedly coupled to the connecting portion 244.
  • the static electricity eliminating device 30 in this embodiment can be mounted on the cassette carrier assembly 10 in place of the static electricity eliminating device 20 in the first embodiment to form a cassette carrying device.
  • the working principle of the static elimination device 30 in this embodiment is the same as that of the static elimination device 20 in the first embodiment, and the efficiencies can be achieved, and details are not described herein.
  • the excitation unit 50 is electrically connected to the first receiver 60 and the second receiver 70.
  • the excitation unit 50 is configured to transmit a position signal of the target cassette carrier 10a, 10b, 10c or 10d to the first receiver 60 and the second receiver 70.
  • the first receiver 60 is electrically connected to the driving device 28 and controls the driving device 28 to drive the static eliminator 26 to move along the guide rail 22.
  • the position detecting unit 80 is electrically connected to the first receiver 60 and the second receiver 70.
  • the position detecting unit 80 is configured to detect whether the static eliminator 26 reaches the target cassette carrying platform 10a, 10b, 10c or 10d transmits the detected result to the first receiver 60, the second receiver 70, and the static eliminator 26.
  • the second receiver 70 is electrically connected to the driver 48.
  • static elimination device 30 of the second embodiment can replace the static elimination device 20 of the material handling system 2.
  • the excitation unit 50 transmits a position signal of the target card 10a, 10b, 10c or 10d to the first receiver 60 and the second receiver 70.
  • the first receiver 60 controls the driving device 28 to drive the static eliminator 26 to move along the rail 22 to the target cassette carrying platform 10a, 10b, 10c or 10d.
  • the position detecting device 80 detects whether the static eliminator 26 reaches the target cassette carrying table 10a, 10b, 10c or 10d.
  • the static eliminator 26 can be moved to any position on the guide rail 22, the static eliminator 20 can use the same static eliminator 26 to sequentially access the glass of all the cassette carriers 10a, 10b, 10c or 10d.
  • the substrate is subjected to an antistatic operation, and each of the cassette carrying stages 10a, 10b, 10c or 10d is prevented from being equipped with a static eliminator, thereby saving installation cost and later maintenance cost.
  • the material handling system 2 may further include only the cassette carrying device 1 and the first embodiment.
  • Mechanical arm 46 At this time, if the material handling system 2 is used to transport the glass substrate, the robot arm 46 is fixed, but the arm can be extended to face the target cassette carrying table 10a, 10b, 10c or 10d. Moreover, whether or not the static eliminator 26 reaches the target cassette carrying table 10a, 10b, 10c or 10d is visually judged by the operator.
  • the step of transporting the glass substrate by the material handling system 2 includes: the static eliminator 26 moves along the guide rail 22 to the target cassette stage 10a, 10b, 10c or 10d and opens to spray the positive and negative ion wind outward, the arm extension of the robot arm The glass substrate is picked up or lowered by the position of the target cassette carrier 10a, 10b, 10c or 10d.

Landscapes

  • Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

一种静电消除装置（20），用于消除玻璃基板上的静电，该静电消除装置（20）包括呈框体结构的导轨（22）、静电消除器（26）及驱动装置（28）。该导轨（22）设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件（10）的一条侧边的外表面上。该静电消除器（26）能够滑动地装设在该导轨（22）内。该驱动装置（28）固定在该导轨（22）上并用于驱动该静电消除器（26）沿着该导轨（22）来回移动。还提供了一种装配有该静电消除装置（20）的卡匣承载设备（1）以及使用该卡匣承载设备（1）的物料搬运系统（2）。

Description

说 明 书
静电消除装置、 卡匣承载设备及物料搬运系统
技术领域
本发明涉及静电消除技术， 尤其涉及一种静电消除装置及装配有该静电消 除装置的卡匣承载设备。 本发明还涉及一种使用该卡匣承载设备的物料搬运系 统。 背景技术
目前， 薄膜晶体管液晶显示面板 (TFT-LCD)及有机发光二极管 (OLED)显示 面板越来越多地作为显示屏而应用在电子产品中。在制造液晶显示面板及 OLED 显示面板的过程中， 需要使用物料搬运系统中的搬运设备将玻璃基板 (substrate) 搬运至放置在卡匣承载台（cassette stage)上的卡匣（cassette)中或者搬离该卡匣。玻 璃基板在搬运之前的各个工艺之间传送时会因接触或摩擦而使其表面带有静 电， 这些存在于玻璃基板表面的静电会吸引周边的微粒使其吸附在玻璃基板的 表面而造成玻璃基板被污染甚至产生静电译放 (ESD)障碍。 此外， 静电会导致电 荷累积， 当电荷累积到一定程度之后， 会产生巨大的瞬间放电， 从而损坏玻璃 基板上的电路。
为了解决静电危害的问题， 目前面板业通常釆用两种方法消除静电， 第一 种是将设备接地， 并且调整环境的相对湿度， 以使物体表面的静电导出。 第二 种是釆用静电消除器喷洒正负离子至玻璃基板表面以消除玻璃基板表面上的静 电。 第一种方法消除静电效果有限， 第二种方法消除静电的效果较佳。 然而， 物料搬运系统通常包含有多个用于放置卡匣的卡匣承载台， 釆用上述第二种方 法消除静电需要在每个卡匣承载台上都装配一台静电消除器， 从而导致安装成 本以及后期维护成本均较高。
因此， 有必要提供能够解决上述问题的静电消除装置、 装配有该静电消除 装置的卡匣承载设备以及使用该卡匣承载设备的物料搬运系统。 发明内容
为了解决上述技术问题， 本发明实施例提供了一种静电消除装置， 用于消 除玻璃基板上的静电。 该静电消除装置包括呈矩形框体结构的导轨、 滑块、 静 电消除器及驱动装置。 该导轨设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件的一条 侧边的外表面上， 该导轨包括平行相背的两个第一侧壁及平行相背的两个第二 侧壁。 该滑块能够滑动地横跨在该两个第一侧壁上。 该静电消除器固定在该滑 块上。 该驱动装置包括驱动马达及螺杆， 该驱动马达装设在其中一个第二侧壁 的外表面上， 该螺杆位于该框体内且其一端与该驱动马达连接， 另一端能够转 动地装设在另一个第二侧壁上， 该螺杆穿过该滑块并与该滑块螺纹配合， 该驱 动装置用于驱动该滑块沿着该导轨来回移动以带动该静电消除器沿着该导轨来 回移动。
其中， 该滑块呈 "工" 字形并包括承载部、 与该承载部平行相背的连接部 以及垂直连接该承载部及该连接部的穿设部， 该承载部承载在该两个第一侧壁 的上表面上， 该连接部与该两个第一侧壁的下表面 4氏触， 该穿设部位于该框体 内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔， 该静电消除器包括固定连接在该连接部上 的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。
其中， 该滑块呈 T形并包括垂直连接的承载部及连接部， 该承载部承载在 该两个第一侧壁的上表面上， 该连接部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的 螺纹孔， 该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的 多个喷嘴。
其中， 该多个喷嘴排列成一条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨的导引 方向。
其中， 该驱动马达通过胶合、 卡合或者螺纹连接方式装设在其中一个第二 侧壁的外表面上。
为了解决上述技术问题， 本发明实施例还提供了一种卡匣承载设备， 其包 括一个用于承载玻璃基板的卡匣承载台组件及一个用于消除该玻璃基板上的静 电的静电消除装置。 该卡匣承载台组件包括多个并排串联起来的卡匣承载台， 相邻卡匣承载台之间共用一个侧壁。 该静电消除装置包括呈矩形框体结构的导 轨、 滑块、 静电消除器及驱动装置。 该导轨设置在该卡匣承载台组件的一条侧 边的外表面上， 该导轨包括平行相背的两个第一侧壁及平行相背的两个第二侧 壁。 该滑块能够滑动地横跨在该两个第一侧壁上。 该静电消除器固定在该滑块 上并与该卡匣承载台组件的底部相对。 该驱动装置包括驱动马达及螺杆， 该驱 动马达装设在其中一个第二侧壁的外表面上， 该螺杆位于该框体内且其一端与 该驱动马达连接， 另一端能够转动地装设在另一个第二侧壁上， 该螺杆穿过该 滑块并与该滑块螺纹配合， 该驱动装置用于驱动该滑块沿着该导轨来回移动以 带动该静电消除器沿着该导轨来回移动。
其中， 该滑块呈 "工" 字形并包括承载部、 与该承载部平行相背的连接部 以及垂直连接该承载部及该连接部的穿设部， 该承载部承载在该两个第一侧壁 的上表面上， 该连接部与该两个第一侧壁的下表面 4氏触， 该穿设部位于该框体 内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔， 该静电消除器包括固定连接在该连接部上 的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。
其中， 该滑块呈 T形并包括垂直连接的承载部及连接部， 该承载部承载在 该两个第一侧壁的上表面上， 该连接部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的 螺纹孔， 该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的 多个喷嘴。
其中， 该多个喷嘴排列成一条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨的导引 方向。
其中， 该驱动马达通过胶合、 卡合或者螺纹连接方式装设在其中一个第二 侧壁的外表面上。
为了解决上述技术问题， 本发明实施例还提供了一种物料搬运系统， 其包 括一个机械手臂以及一个卡匣承载设备。 该卡匣承载设备包括一个用于承载玻 璃基板的卡匣承载台组件及一个用于消除该玻璃基板上的静电的静电消除装 置。 该卡匣承载台组件包括多个并排串联起来的卡匣承载台， 相邻卡匣承载台 之间共用一个侧壁。 该静电消除装置包括呈矩形框体结构的导轨、 滑块、 静电 消除器及驱动装置。 该导轨设置在该卡匣承载台组件的一条侧边的外表面上， 该导轨包括平行相背的两个第一侧壁及平行相背的两个第二侧壁。 该滑块能够 滑动地横跨在该两个第一侧壁上。 该静电消除器固定在该滑块上并与该卡匣承 载台组件的底部相对。 该驱动装置包括驱动马达及螺杆， 该驱动马达装设在其 中一个第二侧壁的外表面上， 该螺杆位于该框体内且其一端与该驱动马达连接， 另一端能够转动地装设在另一个第二侧壁上， 该螺杆穿过该滑块并与该滑块螺 纹配合， 该驱动装置用于驱动该滑块沿着该导轨来回移动以带动该静电消除器 沿着该导轨来回移动。 该机械手臂设置于该卡匣承载设备的外部。 该机械手臂 用于夹持住玻璃基板并将该玻璃基板运送到对应的卡匣承载台内或者从对应的 卡匣承载台内取出该玻璃基板。
其中， 该物料搬运系统还包括滑轨以及驱动器， 该机械手臂能够滑动地装 设在该滑轨内， 该驱动器固定在该滑轨上并用于驱动该机械手臂沿着该滑轨来 回移动。
其中， 该物料搬运系统还包括激发单元、 第一接收器、 第二接收器以及位 置检测单元。 该激发单元与该第一接收器及该第二接收器均电性连接并传递目 标卡匣承载台的位置信号至该第一接收器及该第二接收器中。 该第一接收器与 该驱动装置电性连接并控制该驱动装置驱动该静电消除器沿着该导轨移动。 该 位置检测单元与该第一接收器及该第二接收器均电性连接并用于检测该静电消 除器是否到达该目标卡匣承载台并将检测到的结果传输给该第一接收器、 该第 二接收器及该静电消除器。 该第二接收器与该驱动器电性连接并在该静电消除 器到达该目标卡匣承载台时控制该驱动器驱动该机械手臂到达该目标卡匣承载 台以运进玻璃基板至该目标卡匣承载台或从该目标卡匣承载台运出玻璃基板。
其中， 该滑块呈 "工" 字形并包括承载部、 与该承载部平行相背的连接部 以及垂直连接该承载部及该连接部的穿设部， 该承载部承载在该两个第一侧壁 的上表面上， 该连接部与该两个第一侧壁的下表面 4氏触， 该穿设部位于该框体 内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔， 该静电消除器包括固定连接在该连接部上 的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。
其中， 该滑块呈 T形并包括垂直连接的承载部及连接部， 该承载部承载在 该两个第一侧壁的上表面上， 该连接部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的 螺纹孔， 该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的 多个喷嘴。
其中， 该多个喷嘴排列成一条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨的导引 方向。
其中， 该驱动马达通过胶合、 卡合或者螺纹连接方式装设在其中一个第二 侧壁的外表面上。
本发明所提供的静电消除装置、 卡匣承载设备及物料搬运系统釆用驱动装 置驱动静电消除器沿着导轨来回移动至任意位置， 以使同一个静电消除器先后 对进出所有卡匣承载台的玻璃基板进行消除静电操作， 避免每个卡匣承载台对 应装配一台静电消除器， 从而节省安装成本以及后期的维护成本。 附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施 例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述 中的附图仅仅是本发明的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付 出创造性劳动性的前提下， 还可以根据这些附图获得其他的附图。
图 1是本发明第一实施例所提供的卡匣承载设备的立体示意图。
图 2是图 1中的卡匣承载设备中的静电消除装置的立体示意图。
图 3是图 2中的静电消除装置的俯视图。
图 4是图 2中的静电消除装置沿 IV-IV线的剖面示意图。
图 5是图 2中的静电消除装置中的静电消除器的工作示意图。
图 6是本发明第二实施例提供的静电消除装置的剖面示意图。
图 7是本发明第三实施例提供的物料搬运系统的结构示意图。
图 8是本发明第三实施例提供的物料搬运系统的功能模块图。
图 9是本发明第四实施例提供的物料搬运方法的流程图。 具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行清 楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而不是 全部的实施例。 基于本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有作出创造 性劳动前提下所获得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。
实施例一
请参阅图 1 ,本发明第一实施例提供的卡匣承载设备 1包括一个卡匣承载台 组件 10以及一个静电消除装置 20。 该静电消除装置 20装配在该卡匣承载台组 件 10上。
该卡匣承载台组件 10由四个卡匣承载台 10a、 10b、 10c及 10d并排串联在 一起而形成， 每个卡匣承载台 10a、 10b、 10c及 10d均为矩形框体结构， 且相邻 的卡匣承载台之间共用一个侧壁。 该卡匣承载台组件 10包括一个底部 12以及 一个与该底部 12平行相背的顶部 14。 该底部 12呈平板状， 用于承载装有玻璃 基板的卡匣（图未示）。 该顶部 14包括两个平行相背的短侧边 142及两个平行相 背的长侧边 144。 该两个短侧边 142与该两个长侧边 144均垂直连接。 该静电消 除装置 20装配在该长侧边 144的外表面 146上。
该静电消除装置 20包括一个导轨 22、 一个滑块 24、 一个静电消除器 26以 及一个驱动装置 28。
请一并参阅图 2至图 4, 该导轨 22为一个矩形框体， 其包括平行相背的两 个第一侧壁 222及两个平行相背的两个第二侧壁 223 ,该两个第一侧壁 222与该 两个第二侧壁 223均垂直连接。 其中一个第一侧壁 222的外表面 224胶合在该 长侧边 144的外表面 146上从而将该静电消除装置 20装配在该卡匣承载组件 10 上， 还可以通过卡合或螺纹连接等方式装配在该外表面 16上。
该滑块 24呈 "工" 字形， 其包括一个承载部 242、 与该承载部 242平行相 背的连接部 244以及垂直连接该承载部 242及该连接部 244的穿设部 246。该承 载部 242承载在该两个第一侧壁 222的上表面 226上。 该连接部 244与该两个 第一侧壁 222的下表面 227抵触。 该穿设部 246位于该导轨 22内并开设有一个 螺纹孔 247。
请结合图 1及图 5 , 该静电消除器 26包括一个杆体 262及多个喷嘴 264。 该杆体 262固定连接在该连接部 244上。该杆体 262的侧壁上开设有进气口 266 以供正负离子风进入， 该杆体 262的内部开设有通风道 268以供正负离子流通。 该多个喷嘴 264从该杆体 262上垂直延伸并朝向正下方以对进出目标卡匣承载 台 10a、 10b、 10c或 10d的玻璃基板喷洒正负离子风。 本实施例中， 该多个喷嘴 264排列成一条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨 22的导引方向。
请一并参阅图 2至图 4, 该驱动装置 28包括一个驱动马达 282及一个螺杆 284。该驱动马达 28通过胶合的方式装设在其中一个第二侧壁 223的外表面 228 上。 该螺杆 284位于该导轨 22内， 且该螺杆 284的一端与该驱动马达 28连接， 另一端穿设在另一个第二侧壁 223上开设的收容孔 229内以使该螺杆 284能够 在该驱动马达 282的驱动下转动。 该螺杆 284从该螺纹孔 247穿过该滑块 24, 且该螺杆 284上的螺纹 286与该螺纹孔 247配合。 优选地， 本实施例中的驱动 马达 282为伺服电机。 可以理解， 该驱动马达 28并不局限于本实施例中的胶合 方式装配在该第二侧壁 223的外表面 228上， 还可以通过卡合或螺纹连接等方 式装配在该外表面 228上。 请一并参阅图 1至图 5 , 工作时， 该驱动马达 282接收外界指令转动而带动 该螺杆 284转动， 由于该螺杆 284上的螺纹 286与该螺纹孔 247配合， 且该导 轨 22对该滑块 24的限位， 则该螺杆 284转动使该滑块 24只沿着该导轨 22移 动从而带动该静电消除器 26也沿着该导轨 22移动。 当该静电消除器 26到达目 标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d 时， 该驱动马达 282停止转动。 玻璃基板 进出目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c时， 该静电消除器 26开启， 正负离子风从 该进气口 266进入并沿着该通风道 268流动到该多个喷嘴 264,最后从该多个喷 嘴 264喷洒至运送中的玻璃基板上以与玻璃基板上的正负离子中和， 从而控制 及有效减少玻璃基板上的静电量， 使玻璃基板在各制程中的良率得到提高， 进 而提高产能。 而且， 由于该静电消除装置 20中的静电消除器 26可以移动到该 导轨 22上的任意位置， 则该静电消除装置 20可以使用同一个静电消除器 26先 后对进出所有卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d的玻璃基板进行消除静电操作， 避免每个卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d对应装配一台静电消除器， 从而节省 安装成本以及后期的维护成本。
上述的静电消除器 26沿着该导轨 22的移动方向取决于该驱动马达 282的 转向， 而该驱动马达 282 的转向取决于通给其电流的方向。 例如： 当该驱动马 达 282通上一个方向的电流而正转， 该螺杆 284也正转， 该滑块 24则沿着该导 轨 22朝接近该驱动马达 282的方向移动； 当该驱动马达 282通上一个相反方向 的电流而反转， 该螺杆 284也反转， 该滑块 24则沿着该导轨 22朝远离该驱动 马达 282的方向移动。
可以理解的是，该静电消除装置 20并不局限于本实施例中装配在该顶部 14 的长侧边 144上， 该静电消除装置 20还可以装配在该底部 12的长侧边上， 此 时， 静电消除器 26固定设置在承载部 242上， 且喷嘴 264朝向正上方。 当然， 喷嘴 264 的朝向并不局限于正上方或者是正下方， 还可以稍微倾斜， 只要满足 从喷嘴 264中喷洒出来的正负离子能够到达玻璃基板上即可。
实施例二
请一并参阅 4及图 6, 本发明第二实施例提供的静电消除装置 30中的导轨 32、 静电消除器 36及驱动装置 38与第一实施例中的静电消除装置 20中的导轨 22、 静电消除器 26及驱动装置 28的结构基本相同， 不同之处在于该静电消除 装置 30中的滑块 34与静电消除装置 20中的滑块 24的结构不同。 具体为： 该 滑块 34呈 T形， 其包括垂直连接的承载部 342及连接部 344。 该承载部 342承 载在两个第一侧壁 322的上表面 326上。 该连接部 344位于该导轨 32内并开设 有与螺杆 384配合的螺纹孔 347。该静电消除器 36固定连接在该连接部 244上。 本实施例中的静电消除装置 30可以取代第一实施例中的静电消除装置 20而装 配在卡匣承载台组件 10上以形成一个卡匣承载设备。 本实施例中的静电消除装 置 30的工作原理与第一实施例中的静电消除装置 20的工作原理以及能达到的 功效完全相同， 在此不再赘述。
实施例三
请一并参阅图 7及图 8,本发明第三实施例提供的物料搬运系统 2包括第一 实施例中的卡匣承载设备 1、 一个滑轨 42、 一个滑动件 44、 一个机械手臂 46、 一个驱动器 48、 一个激发单元 50、 一个第一接收器 60、 一个第二接收器 70以 及一个位置检测单元 80。
该滑轨 42、 该滑动件 44、 该机械手臂 46及该驱动器 48放置在该卡匣承载 设备 1的外部且位于该静电消除装置 20所在的一侧。 该滑轨 42、 该滑动件 44 以及该驱动器 48的结构与第一实施例中的该导轨 22、 该滑块 24以及该驱动装 置 28的结构及工作原理完全相同， 在此不再赘述。 另外， 该滑轨 42的长度至 少等于该长侧边 144的长度。 该机械手臂 46固定在该滑动件 44的上表面 440 上。该驱动器 48驱动该滑动件 44沿着该滑轨 42来回移动而带动该机械手臂 46 沿着该滑轨 42来回移动以与目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d相对从而将 玻璃基板运送到该目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d内或者从该目标卡匣承 载台 10a、 10b、 10c或 10d内取出该玻璃基板。
该激发单元 50与该第一接收器 60及该第二接收器 70均电性连接。 该激发 单元 50用于传递目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d的位置信号至该第一接 收器 60及该第二接收器 70中。 该第一接收器 60与该驱动装置 28电性连接并 控制该驱动装置 28驱动该静电消除器 26沿着该导轨 22移动。 该位置检测单元 80与该第一接收器 60及该第二接收器 70均电性连接，该位置检测单元 80用于 检测该静电消除器 26是否到达目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d并将检测 到的结果传输给该第一接收器 60、 该第二接收器 70及该静电消除器 26。 该第 二接收器 70与该驱动器 48电性连接， 该第二接收器 70在该静电消除器 26到 达目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d时控制该驱动器 48驱动该机械手臂 46 沿着该滑轨 42移动至与目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d相对的位置而取 出玻璃基板或放入玻璃基板。
可以理解， 第二实施例中的静电消除装置 30可以取代物料搬运系统 2中的 静电消除装置 20。
实施例四
请一并参阅图 7至图 9,利用第三实施例中的物料搬运系统 2从目标卡匣承 载台 10a、 10b、 10c或 10d搬出玻璃基板或搬进玻璃基板至目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d的物料 运方法包括以下步骤：
S100: 激发单元 50传送目标卡匣 载台 10a、 10b、 10c或 10d的位置信号 至该第一接收器 60及该第二接收器 70。
S102: 该第一接收器 60控制该驱动装置 28驱动该静电消除器 26沿着该导 轨 22移动至目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d。
S104: 该位置检测装置 80检测该静电消除器 26是否到达该目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d。
S106: 若该静电消除器 26被检测到已经到达该目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d, 则该静电消除器 26根据该检测结果自动开启喷洒正负离子风， 且 该第二接收器 70根据该检测结果控制该驱动器 48驱动该机械手臂 46到达该目 标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d以将玻璃基板运送到该目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d内或者从该目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d内取出该玻 璃基板。 在此过程中， 该静电消除器 26喷洒的正负离子风与玻璃基板上的正负 离子中和， 从而控制及有效减少玻璃基板上的静电量， 使玻璃基板在各制程中 的良率得到提高， 进而提高产能。 而且， 由于该静电消除器 26可以移动到该导 轨 22上的任意位置， 则该静电消除装置 20可以使用同一个静电消除器 26先后 对进出所有卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d的玻璃基板进行消除静电操作， 避 免每个卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d对应装配一台静电消除器， 从而节省安 装成本以及后期的维护成本。
若该静电消除器 26被检测到未到达该目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d, 则回到步骤 S100重新传送目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d的位置信号至 该第一接收器 60及该第二接收器 70。 然后重复步骤 S102-S106。
另外， 物料搬运系统 2还可以仅包括第一实施例中的卡匣承载设备 1及一 个机械手臂 46。 此时， 若利用该物料搬运系统 2来搬运玻璃基板， 则机械手臂 46固定不动， 但其手臂能够伸长至与目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d相 对。 而且， 静电消除器 26是否到达目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c或 10d则由 操作人员目测判断。 因此， 利用物料搬运系统 2搬运玻璃基板的步骤包括： 静 电消除器 26沿着导轨 22移动至目标卡匣 载台 10a、 10b、 10c或 10d并开启向 外喷洒正负离子风， 机械手臂的手臂伸长至与目标卡匣承载台 10a、 10b、 10c 或 10d的位置来夹取或者放下玻璃基板。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已， 当然不能以此来限定本发明之 权利范围， 因此依本发明权利要求所作的等同变化， 仍属本发明所涵盖的范围。

Claims

权 利 要 求 书
1. 一种静电消除装置， 用于消除玻璃基板上的静电， 其特征在于， 该静电 消除装置包括：
呈矩形框体结构的导轨， 该导轨设置在承载该玻璃基板的卡匣承载台组件 的一条侧边的外表面上， 该导轨包括平行相背的两个第一侧壁及平行相背的两 个第二侧壁；
滑块， 该滑块能够滑动地横跨在该两个第一侧壁上；
静电消除器， 该静电消除器固定在该滑块上； 及
驱动装置， 该驱动装置包括驱动马达及螺杆， 该驱动马达装设在其中一个 第二侧壁的外表面上， 该螺杆位于该框体内且其一端与该驱动马达连接， 另一 端能够转动地装设在另一个第二侧壁上， 该螺杆穿过该滑块并与该滑块螺纹配 合， 该驱动装置用于驱动该滑块沿着该导轨来回移动以带动该静电消除器沿着 该导轨来回移动。
2. 如权利要求 1所述的静电消除装置， 其特征在于， 该滑块呈 "工" 字形 并包括承载部、 与该承载部平行相背的连接部以及垂直连接该承载部及该连接 部的穿设部， 该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上， 该连接部与该两个 第一侧壁的下表面抵触， 该穿设部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺纹 孔， 该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多个 喷嘴。
3. 如权利要求 2所述的静电消除装置， 其特征在于， 该多个喷嘴排列成一 条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨的导引方向。
4. 如权利要求 1所述的静电消除装置， 其特征在于， 该滑块呈 T形并包括 垂直连接的承载部及连接部， 该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上， 该 连接部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔该静电消除器包括固定连 接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。
5. 如权利要求 4所述的静电消除装置， 其特征在于， 该多个喷嘴排列成一 条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨的导引方向。
6. 如权利要求 1所述的静电消除装置， 其特征在于， 该驱动马达通过胶合、 卡合或者螺纹连接方式装设在其中一个第二侧壁的外表面上。
7. 一种卡匣承载设备， 其特征在于， 该卡匣承载设备包括一个卡匣承载台 组件及如权利要求 1 所述的静电消除装置， 该卡匣承载台组件包括多个并排串 联起来的卡匣承载台， 相邻卡匣承载台之间共用一个侧壁， 该静电消除装置的 导轨设置在该卡匣承载台组件的一条侧边的外表面上， 该静电消除器与该卡匣 载台组件的底部相对。
8. 如权利要求 7所述的卡匣承载设备， 其特征在于， 该滑块呈 "工" 字形 并包括承载部、 与该承载部平行相背的连接部以及垂直连接该承载部及该连接 部的穿设部， 该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上， 该连接部与该两个 第一侧壁的下表面抵触， 该穿设部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺纹 孔， 该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多个 喷嘴。
9. 如权利要求 8所述的卡匣承载设备， 其特征在于， 该多个喷嘴排列成一 条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨的导引方向。
10. 如权利要求 7所述的卡匣承载设备，其特征在于，该滑块呈 T形并包括 垂直连接的承载部及连接部， 该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上， 该 连接部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔， 该静电消除器包括固定 连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。
11. 如权利要求 10所述的卡匣承载设备， 其特征在于， 该多个喷嘴排列成 一条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨的导引方向。
12. 如权利要求 7所述的卡匣承载设备，其特征在于，该驱动马达通过胶合、 卡合或者螺纹连接方式装设在其中一个第二侧壁的外表面上。
13. 一种物料搬运系统， 其特征在于， 该物料搬运系统包括一个机械手臂以 及如权利要求 7所述的卡匣承载设备， 该机械手臂设置于该卡匣承载设备的外 部， 该机械手臂用于夹持住玻璃基板并将该玻璃基板运送到对应的卡匣承载台 内或者从对应的卡匣承载台内取出该玻璃基板。
14. 如权利要求 13所述的物料搬运系统， 其特征在于， 该物料搬运系统还 包括滑轨以及驱动器， 该机械手臂能够滑动地装设在该滑轨内， 该驱动器固定 在该滑轨上并用于驱动该机械手臂沿着该滑轨来回移动。
15. 如权利要求 14所述的物料搬运系统， 其特征在于， 该物料搬运系统还 包括激发单元、 第一接收器、 第二接收器以及位置检测单元， 该激发单元与该 第一接收器及该第二接收器均电性连接并传递目标卡匣承载台的位置信号至该 第一接收器及该第二接收器中， 该第一接收器与该驱动装置电性连接并控制该 驱动装置驱动该静电消除器沿着该导轨移动， 该位置检测单元与该第一接收器 及该第二接收器均电性连接并用于检测该静电消除器是否到达该目标卡匣承载 台并将检测到的结果传输给该第一接收器、 该第二接收器及该静电消除器， 该 第二接收器与该驱动器电性连接并在该静电消除器到达该目标卡匣承载台时控 制该驱动器驱动该机械手臂到达该目标卡匣承载台以运进玻璃基板至该目标卡 匣承载台或从该目标卡匣承载台运出玻璃基板。
16. 如权利要求 15所述的物料搬运系统， 其特征在于， 该滑块呈 "工" 字 形并包括承载部、 与该承载部平行相背的连接部以及垂直连接该承载部及该连 接部的穿设部， 该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上， 该连接部与该两 个第一侧壁的下表面抵触， 该穿设部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺 纹孔， 该静电消除器包括固定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多 个喷嘴。
17. 如权利要求 16所述的物料搬运系统， 其特征在于， 该多个喷嘴排列成 一条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨的导引方向。
18. 如权利要求 15所述的物料搬运系统， 其特征在于， 该滑块呈 T形并包 括垂直连接的承载部及连接部， 该承载部承载在该两个第一侧壁的上表面上， 该连接部位于该框体内并开设有与该螺杆配合的螺纹孔， 该静电消除器包括固 定连接在该连接部上的杆体及从该杆体上伸出的多个喷嘴。
19. 如权利要求 18所述的物料搬运系统， 其特征在于， 该多个喷嘴排列成 一条直线， 且该直线的延伸方向为该导轨的导引方向。
20. 如权利要求 15所述的物料搬运系统， 其特征在于， 该驱动马达通过胶 合、 卡合或者螺纹连接方式装设在其中一个第二侧壁的外表面上。
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