CN107564443B - 监测产品上的静电量的装置及机台 - Google Patents

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Abstract

提供一种监测产品上的静电量的装置及机台。所述监测产品上的静电量的装置包括:静电检测器、控制器和移动机构,其中,静电检测器固定在移动机构上,移动机构带动静电检测器随着在工作平台上被制作的产品的移动而同步进行相同的移动,以使静电检测器和所述产品之间的距离始终保持在预定距离范围内,其中,静电检测器将实时检测到的所述产品上的静电值发送到控制器,以由控制器获知所述产品上的静电值。根据所述监测产品上的静电量的装置及机台,能够实时、准确地监测在工作平台上被制作的产品上的静电量。

Description

监测产品上的静电量的装置及机台
技术领域
本发明总体说来涉及液晶显示器制造技术领域,更具体地讲,涉及一种监测产品上的静电量的装置、一种机台。
背景技术
在液晶显示器的制作过程中,需要在工作平台上对基板实施工艺(例如,布置阵列等),在将基板与工作平台分离等过程中,不可避免地会在基板上产生静电量,而如果静电量过大则会对基板造成静电击伤(ESD),导致所制作的液晶面板品质异常。在现有技术中,只有在对液晶面板进行点灯测试之后,才能拦检到由于静电异常而造成的不良液晶面板,而此时可能已经生产了大批量的由于静电异常而造成的不良液晶面板。
发明内容
本发明的示例性实施例在于提供一种监测产品上的静电量的装置及机台,其能够实时、准确地监测在工作平台上被制作的产品上的静电量。
根据本发明的示例性实施例,提供一种监测产品上的静电量的装置,其特征在于,所述装置包括:静电检测器、控制器和移动机构,其中,静电检测器固定在移动机构上,移动机构带动静电检测器随着在工作平台上被制作的产品的移动而同步进行相同的移动,以使静电检测器和所述产品之间的距离始终保持在预定距离范围内,其中,静电检测器将实时检测到的所述产品上的静电值发送到控制器,以由控制器获知所述产品上的静电值。
可选地,移动机构带动静电检测器随着在工作平台上被制作的产品的升降移动而同步进行相同的升降移动。
可选地,移动机构被固定到升降机构,以使移动机随着升降机构的升降移动而同步进行相同的升降移动,其中,所述升降机构用于带动所述产品在工作平台上进行升降移动。
可选地,控制器基于所述产品在工作平台上的移动规律来产生用于控制移动机构移动的控制信号,并将所述控制信号发送到移动机构,以控制移动机构带动静电检测器随着在工作平台上被制作的产品的移动而同步进行相同的移动。
可选地,所述装置还包括:报警装置,其中,控制器当检测到所述产品上的静电值大于预定阈值时,控制报警装置发出报警。
可选地,所述产品是基板。
可选地,所述预定距离范围为10-15cm。
根据本发明的另一示例性实施例,提供一种机台,其特征在于,所述机台包括:上述监测产品上的静电量的装置;工作平台,其中,在所述工作平台上用于制作所述产品的区域中开设有一个垂直贯通所述工作平台的安装孔,其中,移动机构带动静电检测器在安装孔内进行升降移动。
可选地,移动机构包括:升降平台和固定柱,其中,固定柱通过一个端面固定在升降平台上,并且,固定柱能够沿长度方向随着升降平台的升降移动在安装孔内进行升降移动,其中,静电检测器固定在固定柱的另一个端面上。
根据本发明示例性实施例的监测产品上的静电量的装置及机台,能够实时、准确地监测产品在工作平台区域时的静电量情况,从而能够在第一时间发现静电异常情况而尽早排查静电异常原因,以降低产品的不良率。
将在接下来的描述中部分阐述本发明总体构思另外的方面和/或优点,还有一部分通过描述将是清楚的,或者可以经过本发明总体构思的实施而得知。
附图说明
图1示出根据本发明示例性实施例的监测产品上的静电量的装置的结构示意图;
图2示出根据本发明示例性实施例的工作平台的结构示意图;
图3示出根据本发明示例性实施例的工作平台的剖面图;
图4示出根据本发明示例性实施例的监测产品上的静电量的装置的结构示意图。
具体实施方式
现将详细参照本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中,相同的标号始终指的是相同的部件。以下将通过参照附图来说明所述实施例,以便解释本发明。
图1示出根据本发明示例性实施例的监测产品上的静电量的装置的结构示意图。如图1所示,根据本发明示例性实施例的监测产品上的静电量的装置10包括:静电检测器101、移动机构102和控制器103。
具体说来,静电检测器101用于检测产品30上的静电量,并将实时检测到的产品30上的静电值发送到控制器103,以由控制器103获知所述产品上的静电值。
作为示例,控制器103可控制显示设备显示产品上的静电值,也可将产品上的静电值存储到存储设备以备份。此外,作为示例,根据本发明示例性实施例的监测产品上的静电量的装置10还可包括:报警装置(未示出)。控制器103可当检测到产品30上的静电值大于预定阈值时,控制报警装置发出报警,以提示工作人员产品30上的静电量异常。
静电检测器101固定在移动机构102上,移动机构102带动静电检测器101随着在工作平台20上被制作的产品30的移动而同步进行相同的移动,以使静电检测器101和所述产品30之间的距离始终保持在预定距离范围内。换言之,只要产品30在工作平台20区域(例如,在工作平台20上被制作、移动、与工作平台20分离的全部过程中),静电检测器101和产品30之间的距离始终保持在预定距离范围内,以能够实时、准确地检测到产品30上的静电量。
作为示例,静电检测器101可在产品30的上方或下方来检测产品30上的静电量。
作为示例,产品30可以是各种对静电敏感、容易造成静电击伤的产品。例如,产品50可以是各种基板(例如,玻璃基板)。
作为示例,所述预定距离范围是静电检测器101能够准确、有效地检测到产品30上的静电量的距离范围。例如,所述预定距离范围可为10-15cm。
作为优选示例,移动机构102可带动静电检测器101随着在工作平台20上被制作的产品30的升降移动而同步进行相同的升降移动。
作为示例,移动机构102可固定到升降机构,以使移动机102随着升降机构的升降移动而同步进行相同的升降移动,这里,所述升降机构用于带动所述产品在工作平台上进行升降移动。例如,工作平台20可包括:多个顶针(未示出)和升降机构(未示出)。所述多个顶针的底部固定在升降机构上以由升降机构带动所述多个顶针进行升降移动,当需要将产品30与工作平台20进行分离时,控制升降机构向上移动以带动所述多个顶针向上移动,从而使所述多个顶针的顶部承载起产品30向上移动,以使产品30与工作平台20分离。移动机构102可固定到升降机构上,以使移动机102随着升降机构的升降移动而同步进行相同的升降移动。
作为另一示例,控制器103可生成用于控制移动机构102移动的控制信号,并将所述控制信号发送到移动机构102,以控制移动机构102带动静电检测器101随着在工作平台20上被制作的产品30的移动而同步进行相同的移动。例如,控制器103可预先获知产品30在工作平台20区域的移动规律,然后按照产品30在工作平台20区域的移动规律来生成用于控制移动机构102移动的控制信号,以控制移动机构102带动静电检测器101随着在工作平台20上被制作的产品30的移动而同步进行相同的移动。
根据本发明示例性实施例的机台包括:监测产品上的静电量的装置10和工作平台20。
参照图2和图3,在工作平台20上用于制作产品30的区域中开设有一个垂直贯通工作平台20的安装孔201,其中,移动机构102带动静电检测器101在安装孔201内进行升降移动。图3是沿图2中的A-A剖面截取的工作平台20的剖视图。
图4示出根据本发明示例性实施例的监测产品上的静电量的装置10的结构示意图。
如图4所示,移动机构102可包括:固定柱104和升降平台105,其中,固定柱104通过其一个端面固定在升降平台105上,并且,固定柱104能够沿其长度方向随着升降平台105的升降移动在工作平台20的安装孔201内进行升降移动,其中,静电检测器101固定在固定柱104的另一个端面上。
根据本发明示例性实施例的监测产品上的静电量的装置及机台,能够实时、准确地监测产品在工作平台区域时的静电量情况,从而能够在第一时间发现静电异常情况而尽早排查静电异常原因,以降低产品的不良率。
虽然已表示和描述了本发明的一些示例性实施例,但本领域技术人员应该理解,在不脱离由权利要求及其等同物限定其范围的本发明的原理和精神的情况下,可以对这些实施例进行修改。

Claims (8)

1.一种监测产品上的静电量的装置,其特征在于,所述装置包括:静电检测器、控制器和移动机构,
其中,静电检测器固定在移动机构上,控制器基于所述产品在工作平台上的移动规律来产生用于控制移动机构移动的控制信号,并将所述控制信号发送到移动机构,移动机构带动静电检测器随着在工作平台上被制作的产品的移动而同步进行相同的移动,以使静电检测器和所述产品之间的距离始终保持在预定距离范围内,
其中,静电检测器将实时检测到的所述产品上的静电值发送到控制器,以由控制器获知所述产品上的静电值。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,移动机构带动静电检测器随着在工作平台上被制作的产品的升降移动而同步进行相同的升降移动。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,移动机构被固定到升降机构,以使移动机构随着升降机构的升降移动而同步进行相同的升降移动,其中,所述升降机构用于带动所述产品在工作平台上进行升降移动。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括:报警装置,其中,控制器当检测到所述产品上的静电值大于预定阈值时,控制报警装置发出报警。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述产品是基板。
6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述预定距离范围为10-15cm。
7.一种机台,其特征在于,所述机台包括:
如权利要求1-6之中任一权利要求所述的监测产品上的静电量的装置;
工作平台,其中,在所述工作平台上用于制作所述产品的区域中开设有一个垂直贯通所述工作平台的安装孔,其中,移动机构带动静电检测器在安装孔内进行升降移动。
8.根据权利要求7所述的机台,其特征在于,移动机构包括:升降平台和固定柱,其中,固定柱通过一个端面固定在升降平台上,并且,固定柱能够沿长度方向随着升降平台的升降移动在安装孔内进行升降移动,
其中,静电检测器固定在固定柱的另一个端面上。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201145711Y (zh) * 2008-01-25 2008-11-05 华南理工大学 一种具有虚拟仪器技术的静电动态电位的测试装置
CN102914717A (zh) * 2012-11-13 2013-02-06 天津一汽夏利汽车股份有限公司 静电放电测试试验台

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001108506A (ja) * 1999-10-13 2001-04-20 Aloka Co Ltd 層境界面検出装置
CN103400788B (zh) * 2013-07-26 2016-03-30 深圳市华星光电技术有限公司 静电消除装置、卡匣承载设备、物料搬运系统及搬运方法
JP6733988B2 (ja) * 2016-03-23 2020-08-05 株式会社日立ハイテク 自動分析装置
CN106019655A (zh) * 2016-07-26 2016-10-12 武汉华星光电技术有限公司 机台

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201145711Y (zh) * 2008-01-25 2008-11-05 华南理工大学 一种具有虚拟仪器技术的静电动态电位的测试装置
CN102914717A (zh) * 2012-11-13 2013-02-06 天津一汽夏利汽车股份有限公司 静电放电测试试验台

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