CN106019655A - 机台 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种机台，包括机台本体、定盘及静电监控装置，所述定盘设于所述机台本体上，所述定盘用于放置基板；所述静电监控装置设于所述机台本体上且与所述机台本体电连接，所述静电监控装置与所述基板之间具有静电感应距离，所述静电感应距离设置为使得所述静电监控装置能够感应到所述基板上的静电。本发明的机台能够提前、实时检测放置在机台上的基板的静电值。

Description

机台
技术领域
本发明涉及液晶显示器制造技术领域，尤其涉及一种机台。
背景技术
在液晶显示器的制造过程中，需要将基板放置在机台上，然后在基板上实施阵列、成盒等前制程段工艺。此过程中会产生大量静电，而静电将对基板造成静电击伤(ESD)，破坏基板上的电路，导致液晶面板品质异常。但是现有技术中，直到完成在机台上进行的前制程之后，在后制程的第一次点灯测试(LOT1)中才能拦检到产生静电异常的液晶面板。此种方式十分滞后，当发现不良时，极有可能在前制程中已经产生大量的异常的液晶面板。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种机台，能够提前、实时检测放置在机台上的基板的静电值。
一种机台，包括机台本体、定盘及静电监控装置，所述定盘设于所述机台本体上，所述定盘用于放置基板；所述静电监控装置设于所述机台本体上且与所述机台本体电连接，所述静电监控装置与所述基板之间具有静电感应距离，所述静电感应距离设置为使得所述静电监控装置能够感应到所述基板上的静电。
其中，所述定盘内设有安装孔，所述静电监控装置设于所述安装孔内。
其中，所述定盘上设有多个顶针，所述多个顶针的顶部承载所述基板；所述静电监控装置设于所述多个顶针的顶部所述静电感应距离处。
其中，所述静电感应距离为10-15cm。
其中，所述机台还包括报警装置，所述报警装置设于所述机台本体上且与所述机台本体电连接。
其中，所述定盘内设有吸附孔，所述定盘通过所述吸附孔吸附所述基板。
其中，所述吸附孔通过管道连通有气源。
其中，所述管道上设有气压表。
由此，本发明提供的机台，通过在机台本体上设置定盘和静电监控装置，在定盘中放置基板，静电监控装置能够感应基板上的静电，从而能够在第一次点灯测试之前的前制程中，提前、实时检测基板的静电值和监控静电异常。
附图说明
为更清楚地阐述本发明的构造特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。
图1是本发明实施例提供的机台的结构示意图。
图2本发明另一实施例提供的机台的结构示意图。
具体实施例
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。
如图1所示，本实施例的机台10包括机台本体11、定盘12及静电监控装置13。本实施例的机台10用于液晶面板制造过程的前制程中；与所述前制程对应的，第一次点灯测试(LOT1)则属于在后的后制程。
机台本体11是机台10中的电气控制和机械运动控制机构。例如，其能够实现从机械手中接收基板，传递基板至定盘12位置并将基板放置在定盘12上，对基板进行各种制程加工，最终将完成制程的基板又传送至机械手等。本实施例中，对机台本体11的机械结构与电气结构不做具体限制，本领域内的技术人员可根据实际生产需要予以确定。
如图1所示，定盘12设于机台本体11上，定盘12用于放置基板14。本实施例中出于简洁的目的，图1只示出了一个定盘12。而实际上根据具体的制程不同，可能存在上下相对的两个定盘12，其中每个定盘12上均放置有基板14。同时应注意，由于TFT(薄膜晶体管)基板上布设有TFT、像素结构及各类金属导电层等，生产过程中的静电主要聚集在TFT基板上，所以通常只需要对TFT基板进行静电监控。当然，对于CF(彩色滤光片)基板进行静电监控也是完全可以的。故而，本实施例中的基板14，既可以指TFT基板，也可以指CF基板。
本实施例中，进一步的，如图1所示，定盘12内设有吸附孔122，定盘12通过吸附孔122将基板14吸附于其上。本实施例中出于简洁的目的，图1中仅示出了4个吸附孔122。但实际上根据具体制程的不同，可以设计需要数量的吸附孔122。
本实施例中，进一步的，吸附孔122通过管道(图未示)连接有气源(图未示)。通过所述气源在吸附孔122内形成负压，进而将基板14吸附在定盘12表面。全部吸附孔122可以是仅通过一根所述管道连接至所述气源，或者是每个吸附孔122均通过一根所述管道连接至所述气源，或者多个吸附孔122通过一根所述管道连接至所述气源，另外的多个吸附孔122通过另一根所述管道连接至所述气源。
本实施例中，进一步的，所述管道上设有气压表，以便捷地监控管道中的气压，提高安全性能。
本实施例中，静电监控装置13设在机台本体11上，且与机台本体11电连接。静电监控装置13用于监控基板14上的静电值，并向机台本体11发送所述静电值。静电监控装置13与基板14之间具有静电感应距离，所述静电感应距离设置为：使得静电监控装置13能够感应到基板14上的静电。静电监控装置13是禁止直接接触基板14的，否则将造成基板14的品质异常，因此需要将静电监控装置13与基板14间隔特定的所述静电感应距离。优选的，所述静电感应距离为10-15cm。在其他实施例中，所述静电感应距离可以根据需要设计为其他数值。
本实施例中，优选的，如图1所示，定盘12内开设有安装孔121，静电监控装置13具体设置在安装孔121内。同样的，静电监控装置13与基板14间隔有所述静电感应距离。将静电监控装置13安装在定盘12中的安装孔121内，能够在不占用结构空间，同时又实现了对基板14的静电监控。
本实施例中，机台10还包括报警装置(图未示)。所述报警装置设于机台本体11上，且与机台本体11电连接。静电监控装置13将检测到的基板14上的静电值发送给机台本体11，机台本体11判断静电值异常后，向所述报警器发送报警信号；所述报警器接收所述报警信号后发出报警提示，以警示人员及时介入、排查异常。
由此，本实施例的机台10，通过在机台本体11上设置静电监控装置13，静电监控装置13能够感应基板14的静电，从而能够在第一次点灯测试之前的前制程中，提前、实时检测基板14的静电值和监控静电异常。进一步的，通过设置报警器，所述报警器能够在监控到静电异常时发出报警提示以警示人员尽快介入排查异常，从而能够确保尽早消除异常原因，提升制程良率、提高产品品质。
在本发明又一实施例中，如图2所示，与上述实施例不同的是，机台20的定盘12上设有多个顶针123，基板14承载在多个顶针123的顶部。应理解，为了将基板14放置平整，多个顶针123的高度一致。静电监控装置13设于多个顶针123的顶部，且与多个顶针123的顶部相距所述静电感应距离。对于设计有顶针123的定盘12，在顶针123顶部设置静电监控装置13，能够实现对基板14的静电监控。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易的想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种机台，其特征在于，包括机台本体、定盘及静电监控装置，所述定盘设于所述机台本体上，所述定盘用于放置基板；所述静电监控装置设于所述机台本体上且与所述机台本体电连接，所述静电监控装置与所述基板之间具有静电感应距离，所述静电感应距离设置为使得所述静电监控装置能够感应到所述基板上的静电。
2.根据权利要求1所述的机台，其特征在于，所述定盘内设有安装孔，所述静电监控装置设于所述安装孔内。
3.根据权利要求1所述的机台，其特征在于，所述定盘上设有多个顶针，所述多个顶针的顶部承载所述基板；所述静电监控装置设于所述多个顶针的顶部所述静电感应距离处。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的机台，其特征在于，所述静电感应距离为10-15cm。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的机台，其特征在于，所述机台还包括报警装置，所述报警装置设于所述机台本体上且与所述机台本体电连接。
6.根据权利要求1所述的机台，其特征在于，所述定盘内设有吸附孔，所述定盘通过所述吸附孔吸附所述基板。
7.根据权利要求6所述的机台，其特征在于，所述吸附孔通过管道连通有气源。
8.根据权利要求7所述的机台，其特征在于，所述管道上设有气压表。
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