CN103972131A - 结合装置和结合方法 - Google Patents

Abstract

提供一种结合装置和一种结合方法，所述结合装置包括：具有一个表面的支架，基板的至少一部分安置在所述一个表面上；将器件附接到所述基板的结合工具；和被安装在所述支架上以便清洁所述支架的所述一个表面的清洁组件。

Description

结合装置和结合方法

相关专利申请的交叉引用

本申请基于2013年1月24日递交到韩国知识产权局的韩国专利申请第10-2013-0008127号并要求该专利申请的优先权，其公开内容通过引用全部合并于此。

技术领域

本发明涉及结合装置和结合方法。

背景技术

结合工艺大部分被包括在制造显示器件、半导体或太阳能电池的工艺中。例如，包括在液晶显示器、场发射显示器、等离子显示器或诸如驱动IC或柔性印刷电路板的电致发光显示器中的大多数器件通过结合工艺被安装在基板上。

通常，结合工艺以以下方式执行：器件被定位在基板的一个表面上，基板安置在支架上，然后利用结合工具将该器件附接到基板。具体而言，结合工具的结合头部从器件的上部分向下并且将该器件压在基板上。此时，如果在支架上存在外来物质，则过度的压力被施加到基板的与存在外来物质的部分对应的部分，并且这可导致缺陷的发生，例如基板的损坏、器件的损坏或器件的不完全安装等。

这些劣质部件必须在执行后一过程之前被丢弃，而这导致时间和费用的浪费。如果在不能发现这类缺陷的状态下执行后一过程，则可能发送出劣质产品。

发明内容

因此，可能需要清洁支架的其上安置有基板的一个表面。也就是，可能需要在执行结合工艺之前确认在支架的所述一个表面上是否存在外来物质，并且如果所述一个表面上存在外来物质，则清洁支架的所述一个表面。

根据清洁支架的所述一个表面的一种方法，结合装置可在将结合工艺执行预定次数之后停止其操作，并且工人可手动清洁支架的所述一个表面。然而，在此情况下，由于工作的暂停可发生工作损失，并且可能需要工人执行清洁工作。

因此，本发明要解决的一个目的是要提供一种结合装置，通过在连续的结合工艺中自动实时清洁支架的其上安置有基板的至少一部分的一个表面，该结合装置能够防止由于外来物质而导致的缺陷的发生，例如基板的损坏、器件的损坏或器件的不完全安装。

本发明要解决的另一个目的是要提供一种结合方法，通过在连续的结合工艺中自动实时清洁支架的其上安置有基板的至少一部分的一个表面，该结合方法能够防止由于外来物质而导致的缺陷的发生，例如基板的损坏、器件的损坏或器件的不完全安装。

本发明的额外优点、目的和特征将部分地提出在下面的描述中，并且部分地在阅读下文之后对本领域普通技术人员将变得明显，或者可从本发明的实施而获悉。

在本发明的一个方面中，提供一种结合装置，其包括：具有一个表面的支架，基板的至少一部分安置在所述一个表面上；将器件附接到所述基板的结合工具；和被安装在所述支架上以便清洁所述支架的所述一个表面的清洁组件。

在本发明的另一方面中，提供一种结合装置，其包括：具有一个表面的支架，基板的至少一部分安置在所述一个表面上；和将器件附接到所述基板的结合工具；其中所述一个表面包括多个孔，并且所述支架通过所述多个孔吸入空气和所述一个表面上的外来物质。

在本发明的又一方面中，提供一种结合方法，其包括：使基板的至少一部分安置在支架的一个表面上；使用结合工具将器件附接到所述基板；以及使所述基板与所述支架的所述一个表面分开，并且使用清洁单元清洁所述支架的所述一个表面。

根据本发明的实施例，至少能够实现下面的效果。

也就是，所述支架的其上安置有基板的至少一部分的所述一个表面在连续的结合工艺中被实时清洁，因此能够防止由于中断连续结合工艺导致的劳力损失。

进一步，通过自动清洁所述支架的所述一个表面能够实现过程自动化。

进一步，所述支架的所述一个表面上的漂浮外来物质被去除，因此能够不仅防止外来物质附接到所述支架的所述一个表面的上部，而且防止外来物质附接到所述基板的接触支架的下部分或者所述器件的接触结合头部的上部分。

进一步，能够防止由于所述支架的所述一个表面上的外来物质而导致的缺陷的发生，例如基板的损坏、器件的损坏或器件的不完全安装。

进一步，由于能够在执行后续过程之前防止缺陷，例如基板的损坏、器件的损坏或器件的不完全安装，因而能够防止时间和费用的浪费以及次品的装运。

根据本发明的效果不限于上面例示的内容，而在本发明的说明书中描述了更多的各种效果。

附图说明

本发明的上述和其它目的、特征和优点根据结合附图的下面详细描述将更明显，附图中：

图1为根据本发明一实施例的结合装置的透视图；

图2为根据本发明一实施例的结合装置的支架和清洁组件的俯视图；

图3为根据本发明一实施例的结合装置的支架和清洁组件的侧视图；

图4为根据本发明一实施例的结合装置的支架和清洁组件的主视图；

图5为例示通过根据本发明一实施例的结合装置执行的将器件附接到基板上的侧视图；

图6为根据本发明另一实施例的结合装置的支架和清洁组件的主视图；

图7为根据本发明又一实施例的结合装置的支架和清洁组件的主视图；

图8为根据本发明又一实施例的结合装置的支架、清洁组件和传感器的主视图；并且

图9为根据本发明又一实施例的结合装置的支架和清洁组件的透视图。

具体实施方式

通过参见待参照附图详细描述的各实施例，本发明的各方面和各特征以及用于实现这些方面和特征的方法将是明显的。然而，本发明不限于下文公开的各实施例，而是能够以多种形式实施。在说明书中定义的事物，例如详细构造和元件，仅为帮助本领域普通技术人员全面理解本发明而提供的具体细节，本发明仅被限定在所附权利要求的范围内。

用于指代元件在另一元件上或位于不同层或层上的用语“上”包括两种情况：一种情况是元件直接位于另一元件或层上；另一种情况是元件经由另一层或又一元件而位于另一元件上。在本发明的整个描述中，相同的附图标记在不同的图中用于相同的元件。

尽管用语“第一、第二、等等”用于描述多种构成元件，但这些构成元件并不被该用语限制。这些用语仅用于区分一个构成元件和其它构成元件。因此，在下面的描述中，第一构成元件可以为第二构成元件。

在下文中，将参照附图详细描述本发明的各优选实施例。

图1为根据本发明一实施例的结合装置的透视图。图2为根据本发明一实施例的结合装置的支架100和清洁组件200的俯视图，图3为根据本发明一实施例的结合装置的支架100和清洁组件200的侧视图，图4为根据本发明一实施例的结合装置的支架100和清洁组件200的主视图。参照图1至图4，结合装置包括支架100、结合工具400和清洁组件200。进一步，该结合装置可进一步包括传感器300和控制器（未示出）。

结合装置可以是将附属元件安装在基板上的装置，该基板在显示器件、半导体或太阳能电池的制造过程中为主要件。在描述中，以结合装置用于例如在液晶显示器、场发射显示器、等离子显示器或电致发光显示器的制造过程中将器件620安装在基板610上进行举例说明，但不限于此。

基板610可为其上没有形成结构的简单基板或者为其上形成有结构的基板。形成在基板610上的结构可为完成的结构或者为具有中间步骤的未完成结构。进一步，基板610可独立构成一个显示面板，或者可为被分割以构成多个显示面板的母板。进一步，基板610可为一片基板，或者可包括多个层叠的基板。如果基板610包括多个层叠的基板，则该多个基板可彼此完全重叠，或者至少一个基板可部分地从其它基板伸出。这里，器件620可被安装在部分伸出的部分上。

器件620可为其上安装有至少一个芯片的驱动IC或柔性印刷电路板，并且可被定位在基板610上。在图1中例示的示例性实施例中，器件620可被定位在基板610的一个端部上。具体地，器件620的至少一部分可与基板610重叠，并且与基板610重叠的部分的至少一部分可被附接到基板610。

器件620可在器件620处于预加压状态下被传送到结合装置。这里，预加压的意思可以是，被放置在基板610上的器件620通过沿从器件620的上部到基板610的方向施加较弱压力而被固定到基板610。也就是，在传送具有定位有器件620的一个表面的基板610之前，可利用恒定的力优先执行固定过程，使得器件620不与基板610分开。这里，在制造显示器件时用于将器件620电连接并且物理连接到基板610的无铅各向异性导电膜可介于器件620和基板610之间。

如果基板610和基板610上的器件620被总体定义为基板组件600，则基板组件600可通过传送机器人500被传送到结合装置。传送机器人500可包括吸附板510和机器人手臂520。吸附板510可具有一个多孔表面用于将基板610的至少一部分吸附和固定在其上。在图1中例示的示例性实施例中，基板610的被吸附板510吸附的部分可为基板610的不与器件620重叠的部分。基板610的不被吸附板510吸附的剩余部分可与器件620重叠，并且该部分可接触支架100且可安置在支架100上。图1例示出一个吸附板510吸附和固定一个基板610，但不限于此。一个吸附板510可吸附和固定多个基板610，或者多个吸附板510可吸附和固定一个基板610。机器人手臂520被连接到吸附板510的侧表面，以便将吸附板510移动到结合装置。

支架100在结合工艺中可支撑基板610。支架100可为立方体形状，并且可由石英或不锈钢（SUS）制成。支架100可包括其上安置有基板610的至少一部分的一个表面。这里，基板610的至少一部分可指的是基板610的与器件620重叠的部分。支架100的一个表面可接触基板610的至少一部分，以便稳定地支撑基板610。在一示例性实施例中，支架100的接触基板610的至少一部分的一个表面可涂覆有氟或者可经过氟等离子体处理，以便防止可能发生在支架100的一个表面上的划痕和对外来物质的吸附。

结合工具400可被定位在支架100的安置有基板610的至少一部分的所述一个表面的上部分上。结合工具400可包括结合头部410和结合臂420。结合头部410可主要将器件620压在基板610上。具体地，结合头部410可从支架100的所述一个表面的上部分竖直地向下以便接触器件620，并且可通过沿基板610的方向对器件620进行热压而将器件620附接到基板610。如果各向异性导电膜介于器件620和基板610之间，则器件620被结合头部410热压，因此电荷能够通过各向异性导电膜在基板610和器件620之间流动。如果电荷在基板610和器件620之间流动，则可以认为器件620被安装在基板610上。结合臂被连接到结合头部410以便移动结合头部410。

清洁组件200可被安装在支架100上。清洁组件200可与支架100整体形成。清洁组件200能够清洁支架100的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面。清洁组件200可包括传送轨道210、传送板220、清洁单元230和集尘器240。

传送轨道210可形成在支架100的一个侧表面上，该侧表面接触支架100的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面。传送轨道210可被连接到传送板220的一部分，以便移动传送板220。传送轨道210可包括移动传送板220的驱动部分，例如线性马达。在图1和图2中例示的示例性实施例中，传送轨道210可沿第一方向或者沿与第一方向相反的方向移动传送板220。这里，第一方向可为x方向，与第一方向相反的方向可为-x方向。也就是，传送轨道210可使传送板220执行线性往复运动。

传送板220可被连接到传送轨道210，并且可沿第一方向或者沿与第一方向相反的方向移动。传送板220的至少一部分可被设置为与支架100的其上安置有基板610的至少一部分的一个表面平行，以便与支架100的该一个表面分开。在图1和图2中例示的示例性实施例中，传送板220可沿x方向或者沿-x方向移动，并且扫描支架100的所述一个表面的全部。

清洁单元230可被设置在传送板220的一个表面上，该表面面对支架100的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面。清洁单元230可基本执行支架100的所述一个表面上的清洁。因为清洁单元230被固定到传送板220的一个表面，因而清洁单元230可与传送板220一起沿第一方向或者沿与第一方向相反的方向移动，并且可清洁支架100的所述一个表面，但不限于此。清洁单元230还可与支架100的所述一个表面分开一预定距离，以便清洁支架100的所述一个表面。

多个清洁单元230可被提供。清洁单元230可包括第一清洁单元230a和第二清洁单元230b。第一清洁单元230a和第二清洁单元230b可被设置为彼此相邻，并且可平行于支架100的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面并排设置。第一清洁单元230a和第二清洁单元230b可为执行相同功能的清洁单元230，但不限于此。第一清洁单元230a和第二清洁单元230b可为执行不同功能的清洁单元230。在图1和图4中例示的示例性实施例中，第一清洁单元230a可为接触支架100的所述一个表面以便将支架100的该一个表面上的外来物质去除的辊筒，第二清洁单元230b可为真空吸入器，该真空吸入器吸入去除的外来物质，以便使外来物质不会漂浮在支架100的所述一个表面上。这里，辊筒逆时针旋转，以便使从支架100的所述一个表面去除的外来物质被自然地吸入到真空吸入器中。

集尘器240可被定位在支架100的侧表面上。集尘器240可为与支架100的形状类似的立方体形状。集尘器240可包括集尘器主体241和集尘端口242。集尘器主体241可存储通过集尘端口242而收集的外来物质。集尘器主体241可包括门（未例示），如果在集尘器主体241中存储了预定量的外来物质，则该门从集尘器主体241排出外来物质。集尘器主体241可进一步包括显示存储的外来物质的量的外来物质量显示部分（未例示）。进一步，集尘器主体241可通过连接管连接到如上所述的真空吸入器，并且由真空吸入器吸入的外来物质可被收集在集尘器主体241中。这里，将集尘器主体241和真空吸入器彼此连接的连接管可被定位在如上所述的传送轨道210内。集尘端口242可形成在集尘器240的一个表面上，以便用作集尘器240上的外来物质被吸入到集尘端口242的主体通过的路径。在图1中例示的示例性实施例中，集尘端口242可形成在与支架100的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面相同的平面上，但不限于此。集尘端口242可形成在与支架100的所述一个表面不同的平面上。

集尘器240可被定位在传送板220和清洁单元230的移动路径的至少一个端部上。具体地，集尘器240可被定位在支架100的沿第一方向定位的一个侧表面上，并且可被定位在支架100的沿与第一方向相反的方向定位的另一侧表面上。多个支架100可被提供，并且两个集尘器可被定位在支架100的沿第一方向和沿与第一方向相反的方向定位的一个侧表面和另一侧表面上。这里，集尘端口242可形成为与支架100的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面相邻。

在基板610的至少一部分安置在支架100的所述一个表面上之前可通过清洁组件200执行如上所述的清洁。在示例性实施例中，在执行结合工艺之前可通过清洁组件200对输入到结合装置的所有基板610执行清洁。在另一示例性实施例中，可针对结合工艺通过清洁组件200周期性地执行预定次数的清洁。这里，预定次数可为对应于支架100的所述一个表面被清洁组件200清洁一次之后在支架100的该一个表面上不存在外来物质时的结合工艺数。

传感器300可被固定地安装在支架100的上部分上。传感器300可与支架100或清洁组件200整体形成。传感器300可被形成为与支架100的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面分开，但不限于此。传感器300还可被形成为与支架100的所述一个表面接触。传感器300可包括能够确认在支架100的所述一个表面上是否存在外来物质的光学传感器。在图1中例示的示例性实施例中，传感器300可为照相机，并且通过照相机拍下的图像可确认存在/不存在外来物质。然而，传感器300不限于此，但传感器300可包括压力传感器或超声波传感器。

控制器可被连接到传感器300、结合工具400和传送机器人500，以便控制传感器300、结合工具400和传送机器人500的操作。在示例性实施例中，如果传感器300确认在支架100的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面上存在外来物质，则控制器可中断后续结合工艺的进程，将传送机器人500和结合工具400固定在支架100的所述一个表面上以便彼此分开，并且操作清洁组件200以清洁支架100的所述一个表面。在另一示例性实施例中，如果传感器300确认在支架100的所述一个表面上存在外来物质，则控制器不中断连续的结合工艺，而是操作清洁组件200以便在基板610安置在支架100的所述一个表面上之前对支架100的所述一个表面进行清洁。在此情况下，因为连续的结合工艺没有被中断，因而能够减少时间和费用的浪费。

在下文中，参照图5，将描述通过如上所述根据本发明一实施例的结合装置执行的将器件620附接到基板610上。图5为例示通过根据本发明一实施例的结合装置执行的将器件620附接到基板610上的侧视图。

参照图5，传送机器人500可传送一个表面上固定有器件620的基板610并且使基板610的一部分安置在支架100的所述一个表面上。这里，基板610的一部分可为基板610的与器件620重叠的一部分。此时，因为支架100的所述一个表面被清洁组件200清洁，不可能存在外来物质，因此基板610的一部分可稳定地接触支架100。然后，在结合工具400竖直地向下以接触器件620之后，预定的温度和压力可施加到器件620，以便将器件620附接到基板610。如果器件620被附接到基板610并且电流在器件620和基板610之间流动，则可以认为器件620已经被安装在基板610上。如上所述，在结合工具400竖直地向下并接触器件620的状态下，传送板220和清洁单元230被定位在支架100的不会妨碍将器件620安装在基板610上的过程的至少一个端部上。

如上所述，根据依据本发明一实施例的结合装置，支架100的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面在连续的结合工艺中被实时清洁，因此能够防止由于中断连续结合工艺而导致的劳力损失。进一步，支架100的所述一个表面被清洁组件200自动清洁以实现过程自动化。

进一步，因为集尘器240被定位在清洁单元230的移动路径的两个端部上，并且清洁单元230包括至少一个真空吸入器，因而，从支架100的所述一个表面去除的外来物质可由支架100的所述一个表面上的真空吸入器收集，并且可由支架100的所述一个表面的两个端部上的集尘器240收集。因此，防止从支架100的所述一个表面去除的外来物质处于漂浮状态，并且防止该外来物质不仅污染支架100的所述一个表面的上部分而且污染基板610的接触支架100的下部分、器件620的接触结合头部410的上部分以及与结合装置相邻的其它器件。

进一步，能够防止由于支架100的所述一个表面上的外来物质导致的缺陷的发生，例如基板610的损坏、器件620的损坏或器件620的不完全安装。进一步，在执行结合工艺的后续过程之前能够防止这种缺陷，例如基板610的损坏、器件620的损坏或器件620的不完全安装，因而能够防止时间和费用的浪费以及次品的装运。

图6为根据本发明另一实施例的结合装置的支架100和清洁组件201的主视图。为了便于解释，相同的附图标记用于与图4的图中例示的元件基本相同的元件，并且将省略其重复解释。

参照图6，根据本发明另一实施例的结合装置可包括三个清洁单元231。三个清洁单元231可平行于支架100的所述一个表面并排设置。在三个清洁单元231中，定位在中心的清洁单元231可为第一清洁单元231a，定位在两端的清洁单元231可为第二清洁单元231b。如上所述，第一清洁单元231a可为吹风机，第二清洁单元231b可为真空吸入器。吹风机能够将高压空气吹到支架100的所述一个表面，并且从吹风机中吹出的空气能够从支架100的所述一个表面去除粘接在支架100的所述一个表面的外来物质。去除的外来物质可由位于吹风机两端的真空吸入器吸入并且被收集在集尘器240中。如上所述，如果使用吹风机，则支架100的所述一个表面能够在吹风机与支架100的所述一个表面分开的状态下被清洁，因此能够最小化施加到支架100的所述一个表面上的物理影响。

图7为根据本发明又一实施例的结合装置的支架100和清洁组件202的主视图。为了便于解释，相同的附图标记用于与图4的图中例示的元件基本相同的元件，并且将省略其重复解释。

参照图7，在根据本发明又一实施例的结合装置的清洁单元232中，第二清洁单元232b为如上所述的真空吸入器，但第一清洁单元232a可包括叶片。叶片可具有刀片形状的前端部，以便流畅地去除粘接在支架100的所述一个表面的外来物质。叶片的前端部可与支架100的所述一个表面相邻到这样的程度：叶片的前端部几乎接触支架100的所述一个表面。叶片可由具有优良持久性和抗磨损的金属材料制成，并且通过一次扫描支架100的所述一个表面，能够去除支架100的所述一个表面上的外来物质。如上所述，如果使用叶片，则能够容易地去除通过强大粘合力粘接到支架100的所述一个表面的外来物质。

图8为根据本发明又一实施例的结合装置的支架100、清洁组件200和传感器301。为了便于解释，相同的附图标记用于与图4的图中例示的元件基本相同的元件，并且将省略其重复解释。

参照图8，根据本发明又一实施例的结合装置的传感器301可包括光发射部分301a和光接收部分301b。光发射部分301a可发射光，例如激光束，并且光接收部分301b可接收从光发射部分301a发射的激光束。光发射部分301a可形成在支架100的一个端部上或者形成在集尘器240的接触支架100的所述一个端部的上部分上，并且光接收部分301b可形成在支架的另一端部上或者形成在集尘器240的接触支架100的所述另一端部的上部分上，以便面对光发射部分301a。光发射部分301a和光接收部分301b可形成在从支架100的所述一个表面延伸的平面上，并且光发射部分301a可发射与支架100的所述一个表面平行的激光束，光接收部分301b可接收从光发射部分301a发射的激光束。这里，从光发射部分发射的光的发射路径可与支架100的所述一个表面相邻至这样的程度：发射路径几乎接触支架100的所述一个表面。

如上所述，如果从光发射部分301a发射的光被面对光发射部分301a的光接收部分301b接收，则控制器可确定在从光发射部分301a发射的光的发射路径上不存在外来物质。进一步，如果从光发射部分301a发射的光以改变的性能被光接收部分301b接收，或者如果从光发射部分301a发射的光没有被光接收部分301b接收到，则控制器可确定在从光发射部分301a发射的光的发射路径上存在外来物质。如上所述，如果使用包括彼此面对的光发射部分301a和光接收部分301b的传感器301，则能够更精确地执行外来物质的检测。

图9为根据本发明又一实施例的结合装置的支架101和清洁组件203的透视图。为了便于解释，相同的附图标记用于与图4的图中例示的元件基本相同的元件，并且将省略其重复解释。

参照图9，根据本发明又一实施例的结合装置的支架101可包括支架主体101a和吸入端口101b。支架主体101a执行与如上所述集尘器主体241的功能类似的功能，并且可存储通过吸入端口101b吸入到支架主体101a内的外来物质。吸入端口101b可形成在支架101的其上安置有基板610的至少一部分的所述一个表面上，并且可包括多个孔。支架101可通过吸入端口101b吸入空气和支架101的所述一个表面上的外来物质。

因为支架101的所述一个表面（也就是，吸入端口101b）执行集尘器240的集尘端口242的功能，因而根据本发明又一实施例的结合装置可以不需要集尘器240和真空吸入器。也就是，因为出现在支架101的所述一个表面上的外来物质通过支架101的所述一个表面（也就是，吸入端口101b）被收集在支架主体101a的内部，因而不需要安装分离的集尘器240和真空吸入器。因此，能够减小清洁组件203的传送板221的尺寸，并且仅通过第一清洁单元230a能够充分清洁支架101的所述一个表面。

在下文中，将描述根据本发明一实施例的结合方法。因为根据本发明一实施例的结合方法使用根据本发明一实施例的结合装置，因此参照图1至图5。

根据本发明一实施例的结合方法包括就坐步骤、附接步骤和清洁步骤。就坐步骤可为将基板610的至少一部分安置在支架100的所述一个表面上的步骤。附接步骤可为使用结合工具400将器件620附接到基板610的步骤。清洁步骤可为使基板610与支架100的所述一个表面分开并且使用清洁单元230清洁支架100的所述一个表面的步骤。如上所述，可连续执行包括就坐步骤、附接步骤和清洁步骤的结合工艺。

这里，可以下面的方式执行清洁：清洁单元230沿与支架的所述一个表面平行的第一方向或者沿与第一方向相反的方向移动的同时，清洁单元230去除支架100的所述一个表面上的外来物质，并且真空吸入器或集尘器240收集所去除的外来物质。进一步，可在传感器300确认在支架100的所述一个表面上存在外来物质的情况下执行清洁。

尽管为了例示性目的已经描述了本发明的优选实施例，本领域技术人员将认识到，在不脱离由所附权利要求公开的本发明的范围和精神的情况下，各种修改、增加和替换也是可以的。

Claims (20)

1.一种结合装置，包括：

具有一个表面的支架，基板的至少一部分安置在所述一个表面上；

将器件附接到所述基板的结合工具；和

被安装在所述支架上以便清洁所述支架的所述一个表面的清洁组件。

2.如权利要求1所述的结合装置，其中所述清洁组件包括至少一个清洁单元，所述至少一个清洁单元在沿与所述支架的所述一个表面平行的第一方向或者沿与所述第一方向相反的方向移动的同时清洁所述支架的所述一个表面。

3.如权利要求2所述的结合装置，其中所述至少一个清洁单元包括第一清洁单元和第二清洁单元，并且

所述第一清洁单元和所述第二清洁单元平行于所述支架的所述一个表面并排设置。

4.如权利要求3所述的结合装置，其中所述第一清洁单元包括辊筒、吹风机和叶片中的至少一个，并且

所述第二清洁单元包括真空吸入器。

5.如权利要求2所述的结合装置，其中所述清洁组件进一步包括：

平行于所述支架的所述一个表面设置以与所述支架的所述一个表面分开的传送板；和

将所述传送板沿所述第一方向或者沿与所述第一方向相反的所述方向移动的传送轨道；

其中所述清洁单元被设置在所述传送板的面对所述支架的所述一个表面的一个表面上。

6.如权利要求2所述的结合装置，其中所述清洁组件进一步包括位于所述支架的侧表面上的至少一个集尘器。

7.如权利要求6所述的结合装置，其中多个集尘器被提供并位于所述支架的所述侧表面上，所述侧表面沿所述第一方向以及沿与所述第一方向相反的所述方向定位。

8.如权利要求1所述的结合装置，其中所述结合工具通过将所述器件热压在所述基板上而将所述器件安装在所述基板上。

9.如权利要求1所述的结合装置，进一步包括确认在所述支架的所述一个表面上是否存在外来物质的传感器。

10.如权利要求9所述的结合装置，其中所述传感器包括光发射部分和光接收部分，

其中所述光发射部分发射与所述支架的所述一个表面平行的光，并且所述光接收部分接收所发射的光。

11.如权利要求9所述的结合装置，进一步包括控制器，如果所述传感器确认在所述支架的所述一个表面上存在外来物质，则所述控制器操作所述清洁组件。

12.一种结合装置，包括：

具有一个表面的支架，基板的至少一部分安置在所述一个表面上；和

将器件附接到所述基板的结合工具；

其中所述一个表面包括多个孔，并且所述支架通过所述多个孔吸入空气和所述一个表面上的外来物质。

13.如权利要求12所述的结合装置，进一步包括被安装在所述支架上以便清洁所述支架的所述一个表面的清洁组件。

14.如权利要求13所述的结合装置，其中所述清洁组件包括至少一个清洁单元，所述至少一个清洁单元在沿与所述支架的所述一个表面平行的第一方向或者沿与所述第一方向相反的方向移动的同时清洁所述支架的所述一个表面。

15.如权利要求14所述的结合装置，其中所述清洁单元包括辊筒、吹风机和叶片中的至少一个。

16.如权利要求14所述的结合装置，其中所述清洁组件进一步包括：

平行于所述支架的所述一个表面设置以与所述支架的所述一个表面分开的传送板；和

将所述传送板沿所述第一方向或者沿与所述第一方向相反的所述方向移动的传送轨道；

其中所述至少一个清洁单元被设置在所述传送板的面对所述支架的所述一个表面的一个表面上。

17.如权利要求12所述的结合装置，进一步包括确认在所述支架的所述一个表面上是否存在外来物质的传感器。

18.一种结合方法，包括：

使基板的至少一部分安置在支架的一个表面上；

使用结合工具将器件附接到所述基板；以及

使所述基板与所述支架的所述一个表面分开，并且使用清洁单元清洁所述支架的所述一个表面。

19.如权利要求18所述的结合方法，其中所述使用清洁单元清洁所述支架的所述一个表面以下述方式执行：在所述清洁单元在沿与所述支架的所述一个表面平行的第一方向或者沿与所述第一方向相反的方向移动的同时，所述清洁单元去除所述支架的所述一个表面上的外来物质，并且真空吸入器或集尘器收集所去除的外来物质。

20.如权利要求18所述的结合方法，其中所述使用清洁单元清洁所述支架的所述一个表面在传感器确认在所述支架的所述一个表面上存在外来物质的情况下被执行。