WO2014185159A1 - 基板めっき装置 - Google Patents
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- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/10—Agitating of electrolytes; Moving of racks
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/001—Apparatus specially adapted for electrolytic coating of wafers, e.g. semiconductors or solar cells
Abstract
Description
2 … … 基板ホルダ
3 … … アノード
4 … … パドル
5 … … レール部
41 … … 羽根部
42 … … 軸部
43 … … モーター部
44 … … 支持部
45 … … カバー
Claims (5)
- めっき液を収容するめっき槽と、基板を着脱自在に保持する基板ホルダと、基板ホルダに保持された基板に対向して配置されたアノードと、基板ホルダと平行するようにめっき槽の上方に架け渡されたレール部と、該レール部に懸垂支持されレール部に沿って往復移動可能なパドルとを備えためっき装置であって、該パドルには軸部を中心に回転自在もしくは回動自在な羽根部が垂設されていることを特徴とするめっき装置。
- 前記羽根部は、駆動手段により常に一方向に回転することを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記羽根部は、駆動手段により所定の角度の範囲内において回動することを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記パドルにおいて、上下の円板状の支持部の間に垂設された一組の羽根部が、上部の支持部に連設された軸部を回転軸として回転自在に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記パドルにおいて、側面に沿って半円形に湾曲するカバーが設けられていることを特徴とする請求項4に記載のめっき装置。
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