WO2014171575A1 - 캐니스터용 칠러 - Google Patents

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WO2014171575A1
WO2014171575A1 PCT/KR2013/004184 KR2013004184W WO2014171575A1 WO 2014171575 A1 WO2014171575 A1 WO 2014171575A1 KR 2013004184 W KR2013004184 W KR 2013004184W WO 2014171575 A1 WO2014171575 A1 WO 2014171575A1
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canister
tray
chiller
inner casing
dew
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PCT/KR2013/004184
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김장원
손우호
유광식
강문철
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데이스타 유한회사
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
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    • F25D17/02—Arrangements for circulating cooling fluids; Arrangements for circulating gas, e.g. air, within refrigerated spaces for circulating liquids, e.g. brine

Definitions

  • the present invention relates to a chiller for canisters.
  • Canisters are containers for storing organic and inorganic metal compounds used in manufacturing processes related to semiconductors and transfer materials. Many of the organic and inorganic metal compounds and the like are expensive specially designed high purity compounds. Since most of these precursors are very sensitive to air or moisture, the canister is provided with a metal storage container having airtightness and chemical resistance.
  • the canister needs to be kept at a constant temperature for the storage of organic and inorganic metal compounds stored therein.
  • a chiller is used to cool the canister.
  • the chiller accommodates the canister therein and circulates cooling water to cool the canister.
  • the chiller has been disclosed in Patent No. 10-0773474, "Chiller System of Semiconductor Manufacturing Equipment.”
  • the chiller 10 includes a tray 11 and an inner casing 13 inserted into the tray 11 and in which the canister 20 is accommodated. As shown by the arrow, the cooling water introduced through the inlet pipe 15 flows between the inner casing 13 and the caseter 20 and then is discharged through the discharge pipe 17.
  • the chiller 10 is discharged to the discharge pipe 17 after the cooling water discharged from the inner casing 13 is collected in the space (S1) between the tray 11 and the inner casing (13). At this time, since the temperature of the cooling water and the temperature of the external atmosphere are different from each other, dew condensation occurs on the outer wall of the tray 11, resulting in the formation of dew M.
  • a canister chiller capable of preventing dew from occurring on the outer wall of the tray.
  • a canister chiller capable of blocking external leakage of cooling water by improving the coupling structure of the cover and the sealing member.
  • a canister chiller capable of fixing the canister and the tray to prevent the flow of the canister.
  • a canister chiller capable of collecting dew generated on an upper surface of the cover to prevent dew from flowing down to the bottom.
  • the upper tray is open in the shape of an enclosure; An inner casing inserted into the tray to be spaced apart from the inner wall surface of the tray by a canister; And a drain box disposed between the inner casing and the tray and collecting the cooling water discharged from the inner casing.
  • the drain box may be spaced apart from the inner wall surface of the tray by a predetermined interval.
  • a heat insulation layer may exist in the space between the drain box and the inner wall surface of the tray.
  • all the coolant discharged from the inner casing through the tray and connected to the drain box may be discharged to the outside through the coolant discharge pipe after being collected in the drain box.
  • the drain box may have a ring shape surrounding the inner casing.
  • the upper inner surface of the inner casing, a plurality of inverted triangular overflow grooves in communication with the drain box is formed at a predetermined interval, the cooling water flowing in the inner casing is the overflow It may be moved to the catch through the groove.
  • the upper inner surface of the inner casing, a plurality of inverted triangular overflow grooves in communication with the drain box is formed at a predetermined interval, the cooling water flowing in the inner casing is the overflow It may be moved to the catch through the groove.
  • the bottom of the inner casing, the bottom of the canister may be formed with a locking skirt that can be coupled to the lock bar extending a predetermined length in the circumferential direction.
  • a canister chiller includes: an upper sealing part fixedly coupled to an upper portion of the tray and the inner casing, and a detachable sealing member detachably coupled to an upper surface of the upper sealing part; And a sealing cover coupled to an upper portion of the detachable sealing member to pressurize the detachable sealing member to prevent external leakage of the cooling water.
  • the upper surface of the upper sealing portion is formed to be recessed to a certain height stepped mounting surface on which the detachable sealing member is seated, the lower portion of the sealing cover so that the length is longer toward the outside from the radially inner side
  • the protrusion may be provided with a pressure inclination protrusion for pressing the detachable sealing member.
  • the upper surface of the sealing cover is formed in the trench shape along the outer periphery to a predetermined depth recessed dew receiving groove is formed, the upper outer peripheral surface of the tray of the dew receiving groove Dehumidifying pockets that can accommodate the may be combined.
  • the canister chiller may further include a pocket connector tube having one end disposed in the dew receiving groove and the other end detachably coupled to the dehumidification pocket.
  • condensation may be prevented from occurring outside of the canister chiller.
  • the inclined surface of the pressure inclination protrusion of the sealing cover presses the detachable sealing member, it is possible to effectively block the external leakage of the cooling water.
  • the lower portion of the inner casing is provided with a locking skirt that can prevent the rotation of the canister can be stably fixed to the position of the canister.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a cross-sectional configuration of a conventional canister chiller
  • Figure 2 is a perspective view showing the external configuration of the canister chiller according to the present invention
  • FIG. 3 is an exploded perspective view showing an exploded configuration of the canister chiller according to the present invention.
  • Figure 4 is a cross-sectional view showing a cross-sectional configuration of the canister chiller according to the present invention and the movement path of the coolant
  • Figure 5 is an enlarged view showing an enlarged upper sealing structure of the canister chiller according to the present invention.
  • tray body 113 internal inlet pipe
  • bonding plate 120 inner casing
  • mounting surface 160 detachable sealing member
  • sealing cover 171 sealing cover body
  • dew inlet 185 level gauge
  • dew discharge pipe 200 canister
  • FIG. 2 is a perspective view showing the external configuration of the canister chiller 100 according to an embodiment of the present invention
  • Figure 3 is an exploded view showing the configuration of the canister chiller 100 according to an embodiment of the present invention
  • 4 is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional configuration of the canister chiller 100 and a flow of cooling water
  • FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view illustrating an enlarged upper sealing structure of the canister chiller 100.
  • the canister chiller 100 accommodates the canister 200 therein and circulates the coolant to cool the canister 200 to a predetermined temperature.
  • the canister chiller 100 may be provided with a circulation pump (not shown) for circulating the coolant although not shown in the drawing.
  • the canister chiller 100 includes a tray-shaped tray 110, an inner casing 120 disposed inside the tray 110, and the canister 200 is accommodated therein, and the tray 110. And the drain box 130 disposed between the inner casing 120, the inlet pipe 140 for introducing the cooling water into the inner casing 120, and the discharge pipe 145 for discharging the cooling water of the drain box 130 to the outside.
  • the tray 110 may be formed, for example, in a cylindrical shape having a predetermined diameter to accommodate the inner casing 120 and the canister 200 therein.
  • the tray 110 may include a tray main body 111, an inner inflow pipe 113 connecting the tray main body 111 and an inner casing 120, and a movement 115 coupled to a lower portion of the tray 110. It may include.
  • the tray body 111 may support the flow of the cooling water to be stable and the canister 200 is stably received.
  • Inlet pipe 140 is coupled to the lower portion of the tray body 111, the discharge pipe 145 is coupled to the top.
  • Inlet pipe 140 is connected to the inner inlet pipe (113).
  • the inner inflow pipe 113 may be connected to the inlet 122 of the bottom surface of the inner casing 120 to supply the coolant to the inner casing 120.
  • the moving box 115 is coupled to the bottom of the tray 110, for example, to support the tray 110 to be moved.
  • a plurality of wheels 116 may be coupled to the lower portion of the moving box 115.
  • the upper portion of the tray body 111 is provided with a coupling plate 118 to couple the inner casing 120 and the tray body 111.
  • the upper sealing part 150 is coupled to the upper surface of the coupling plate 118.
  • the inner casing 120 is inserted into the tray 110 at a predetermined interval.
  • An accommodation space in which the canister 200 is accommodated is formed inside the inner casing 120.
  • the inner casing 120 is, for example, formed through the inner casing body 121 inserted into the tray body 111 and the inner wall surface of the inner casing body 121 to drain the cooling water 130. It may include an overflow groove 123 and a plurality of lock skirt 125 formed on the bottom surface of the inner casing body 121.
  • the inner casing body 121 accommodates the canister 200 therein, and the coolant existing between the inner casing body 12 and the canister 200 flows to allow heat exchange between the canister 200 and the cooling water. .
  • the inner casing body 121 is disposed so that its outer diameter is spaced apart from the tray body 111 by a predetermined interval.
  • Insulating material A is inserted into the space between the inner casing body 121 and the tray body 111.
  • the heat insulating material A prevents the temperature of the coolant from being transferred to the outer wall surface of the tray 110, thereby contributing to blocking condensation from occurring on the outer wall surface of the tray 110.
  • the separation distance L2 between the inner casing body 121 and the tray body 111 may be adjusted in consideration of the temperature of the cooling water.
  • the type of the heat insulating material A inserted therein may also be selected according to the temperature of the cooling water.
  • the inner diameter of the inner casing body 121 may be formed to be larger by a predetermined length d1 than the outer diameter of the canister 200.
  • the inner casing body 121 according to an embodiment of the present invention is formed to be 1 mm larger than the outer diameter of the canister 200. Cooling water flows into the space between the outer diameter of the canister 200 and the inner diameter of the inner casing body 121 and heat exchanges with the canister 200.
  • Overflow groove 123 is formed through the upper inner wall surface of the inner casing body 121.
  • the overflow groove 123 discharges the coolant heat exchanged with the canister 200 to the drain box 130.
  • the coolant is blocked from moving upward by the upper sealing block 151 and overflows to the overflow groove 123.
  • the overflow groove 123 may be formed in an inverted triangle shape as shown in FIG. As such, the overflow groove 123 is formed to have a narrower cross-sectional area from the top to the bottom thereof, thereby reducing the generation of vortices when the coolant moves to the drain box 130 through the overflow groove 123.
  • the lock skirt 125 allows the position of the canister 200 accommodated in the inner casing body 121 to be fixed.
  • the locking skirt 125 protrudes from the lower sidewall of the inner casing body 121 as shown in an enlarged view of FIG. 4.
  • the lock skirt 125 is bent in the vertical direction with the end region 125a protruding radially inward from the side wall.
  • a coupling groove 125b into which the lock bar 210 of the canister 200 is inserted may be formed between the end region 125a and the side wall.
  • the lower sidewall 211 of the canister 200 may be coupled to the locking bar 210 protruding along the inner circumference.
  • An end of the locking bar 210 may be formed with a locking protrusion 210a protruded stepwise.
  • the protruding length of the locking protrusion 210a may be larger than the width of the coupling groove 125b. Accordingly, when the operator inserts the canister 200 into the inner casing 120, the sidewall 211 of the canister 200 is inserted into the coupling groove 125b of the lock skirt 125.
  • the locking bar 210 is inserted into the coupling groove 125b, the locking protrusion 210a contacts the end region 125a, and the rotation is limited.
  • the positions of the canister 200 and the inner casing 120 are fixed so that the coolant and the canister 200 may be heat-exchanged even if the coolant flows into the inner casing 120.
  • the drain box 130 is interposed between the tray 110 and the inner casing 120 to collect the coolant and then discharge it to the discharge pipe 145.
  • the drain box 130 is formed in a ring shape and is coupled in a form surrounding the outer wall surface of the inner casing 120 corresponding to the overflow groove 123.
  • the width of the drain box 130 is formed to be spaced apart from the inner wall surface of the tray 110 by a predetermined interval.
  • the heat insulating material A may be inserted between the drain box 130 and the inner wall surface of the tray 110.
  • the drain box 130 Since the drain box 130 is provided separately between the tray 110 and the inner casing 120, and the coolant is discharged to the discharge pipe 145 through the drain box 130, it is compared with the conventional chiller 10 shown in FIG. 1. When the coolant is in direct contact with the tray 110 is blocked. In addition, since the heat insulating material A is disposed between the drain box 130 and the tray 110, condensation may be prevented from occurring on the outer wall surface of the tray 110.
  • the inlet pipe 140 is coupled to the outside of the tray 110 to introduce the coolant into the tray 110.
  • Inlet pipe 140 is connected to the inner inlet pipe 113 to supply the cooling water.
  • the discharge pipe 145 is connected to the drain box 130 to discharge the cooling water having completed the heat exchange to the outside.
  • the discharge pipe 145 is connected by the connection pipe 135 of the drain box 130.
  • the upper sealing unit 150 includes an upper sealing block 151 integrally coupled to the upper portion of the coupling plate 118, and a plurality of lower sealing members 153 disposed between the upper sealing block 151 and the coupling plate 118. It includes.
  • the upper sealing block 151 is fixedly coupled to the coupling plate 118.
  • the lower sealing member 153 is fixedly coupled between the coupling plate 118 and the upper sealing block 151 to block leakage of the coolant in the lateral direction (that is, the direction radiated outward from the center of the canister chiller 100). do.
  • the lower sealing member 153 may be implemented with, for example, an O ring.
  • the inner peripheral surface of the upper sealing block 151 has a seating surface 157, which is formed to be recessed to a certain height, has a predetermined area.
  • the detachable sealing member 160 may be seated on the seating surface 157.
  • Fastening member insertion grooves 155 are formed at regular intervals on the outer circumferential surface of the upper sealing block 151 so that interference with the seating surface 157 does not occur.
  • the fastening member 179 is inserted into the fastening member insertion groove 155 to fix the positions of the upper sealing block 151 and the sealing cover 170.
  • the detachable sealing member 160 is detachably coupled to the upper sealing part 150.
  • the detachable sealing member 160 is seated on the seating surface 157 and is in close contact with the seating surface 157 by the pressure of the sealing cover 170 to block external leakage of the coolant.
  • the detachable sealing member 160 may also be implemented in the form of an O-ring.
  • the sealing cover 170 may be coupled to an upper portion of the upper sealing part 150.
  • the sealing cover 170 is pressed downward from the upper portion of the upper sealing portion 150 to allow the detachable sealing member 160 to be in close contact with the upper sealing portion 150.
  • the sealing cover 170 has a sealing cover body 171, a pocket for connecting the dew receiving groove 173 recessed in the outer circumference of the sealing cover body 171, the dew receiving groove 173, and the dehumidification pocket 180. It includes a connecting pipe 175 and a pressure inclined protrusion 177 protruding to the lower portion of the sealing cover 170 to press the removable sealing member 160.
  • the sealing cover body 171 is formed in a ring shape to cover the upper portion of the upper sealing portion 150.
  • the dew accommodating groove 173 may be formed in a trench in a trench shape along the outer circumference of the sealing cover body 171.
  • Insulation material A is inserted between the tray 110 and the inner casing 120, but insulation material A is not inserted between the upper sealing part 150 and the sealing cover 170 and is sealed by the temperature difference between the cooling water and the room temperature. Condensation may occur on the top surface of the cover body 171. Since the dew accommodating groove 173 is formed to have a predetermined depth step with respect to the sealing cover body 171, the dew generated by condensation is collected. By the presence of the dew accommodating groove 173, it is possible to prevent the dew from falling along the sealing cover 170 and falling to the bottom.
  • One end of the pocket connector 175 is disposed in the dew receiving groove 173 and the other end is detachably coupled to the dehumidification pocket 180.
  • the dew received in the dew accommodating groove 173 is moved to the dehumidifying pocket 180 through the pocket connector 175.
  • the pressure inclination protrusion 177 is formed to protrude to the lower portion of the sealing cover body 171. At this time, the pressure inclination protrusion 177 is spaced apart by the diameter of the detachable sealing member 160 in the radially outer side in the inner boundary region of the sealing cover body 171. In addition, the pressure inclination protrusion 177 is formed to be inclined to gradually increase in the radially outward length.
  • the detachable sealing member 160 is coupled to the inclined surface of the pressure inclined protrusion 177.
  • the sealing force may be improved by being closely adhered between the plates 118.
  • the pressure inclination protrusion 177 is in contact with the seating surface 157, the outflow of the cooling water may be more effectively prevented.
  • the dehumidification pocket 180 is coupled to the upper outer wall of the tray 110 to accommodate the dew generated in the sealing cover 170 therein.
  • the dehumidification pocket 180 may include, for example, a pocket main body 181 having a chamber capable of accommodating dew therein, and a level gauge 185 formed at one side of the pocket main body 181 to indicate the level of dew. And, it may include a dew discharge pipe 187 for discharging the dew to the outside of the pocket body 181.
  • the pocket body 181 is coupled to the outer wall of the tray 110, for example.
  • the upper portion of the pocket body 181 is formed with a dew inlet hole 183 to which the pocket connecting pipe 175 is coupled. As a result, dew flows into the pocket body 181.
  • the canister 200 is inserted into the inner casing 120.
  • the detachable sealing member 160 and the sealing cover 170 is in a separated state from the tray 110.
  • the side wall 211 of the canister 200 is inserted into the coupling groove 125b of the lock skirt 125 and is enlarged as shown in FIG. 4. Rotate clockwise or counterclockwise.
  • the locking bar 210 is inserted into the coupling groove 125b by the rotation, and the locking protrusion 210a comes into contact with the end region 125a, thereby limiting the movement of the canister 200. Therefore, the position of the canister 200 is stably fixed during the heat exchange process by the inflow and outflow of the cooling water.
  • the canister 200 is inserted into the inner casing 120 in a state where the detachable sealing member 160 is coupled to the outer circumferential surface. As the canister 200 is inserted, the detachable sealing member 160 may be seated on the seating surface 157 of the upper sealing block 151.
  • the sealing cover 170 When the position of the canister 200 is fixed, the sealing cover 170 is disposed above the detachable sealing member 160. Then, the plurality of fastening members 179 are fastened to fix the sealing cover 170 to the upper sealing block 151. At this time, the pressure inclination protrusion 177 pressurizes the detachable sealing member 160 by the pressing force to increase the sealing force between the upper sealing block 151 and the sealing cover 170, and the external outflow of the coolant is blocked twice. Will be.
  • Cooling water is introduced into the inner casing 120 through a path as shown by an arrow in FIG. 4 through the inlet pipe 140 and the inner inlet pipe 113.
  • the coolant moves along the spaced space between the inner wall of the inner casing 120 and the canister 200 and is collected into the drain box 130 through the overflow groove 123.
  • the coolant collected in the drain box 130 is discharged to the outside through the connection pipe 135 and the discharge pipe 145.
  • the insulating material (A) is inserted into the spaced space between the inner casing 120 and the tray 110 during the movement of the coolant to block the contact between the outside air and the coolant. Therefore, since the outer wall surface of the tray 110 is maintained at the same or almost the same as the temperature of the outside air, no condensation is generated.
  • the drain box 130 is also disposed to be spaced apart from the inner wall surface of the tray 110, the heat insulating material (A) is inserted between the condensation does not occur over the entire area of the tray 110.
  • Condensation is generated on the surface of the sealing cover 170 by the temperature difference between the cooling water and the air.
  • Dew generated by condensation is collected in the dew receiving groove 173 formed stepped.
  • the pocket connector 175. Dew accommodated in the dehumidification pocket 180 is discharged to the outside by the dew discharge pipe 145.

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Abstract

상부가 개방된 함체형상의 트레이; 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되게 상기 트레이에 삽입되며 내부에 캐니스터가 수용되는 내부케이싱; 및 상기 내부케이싱과 상기 트레이 사이에 배치되며 상기 내부케이싱으로부터 배출되는 냉각수를 집수하는 배수함;을 포함하는 캐니스터용 칠러가 개시되며, 이에 의하여 트레이 표면에 결로가 발생되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

Description

캐니스터용 칠러
본 발명은 캐니스터용 칠러에 관한 것이다.
캐니스터는 반도체 및 전재재료와 관련된 제조공정에서 사용되는 유기 및 무기금속 화합물을 보관하는 용기이다. 유기 및 무기금속 화합물 등의 상당수는 고가의 특별히 고안된 고순도 화합물로서, 이러한 대부분의 전구체는 공기 또는 수분에 매우 민감하므로 캐니스터는 밀폐성과 내화학성을 갖춘 금속제 보관용기로 구비된다.
캐니스터는 내부에 저장된 유기 및 무기금속 화합물의 보관을 위해 일정 온도로 유지될 필요가 있다. 이를 위해 캐니스터를 냉각시키는 칠러가 사용된다.
칠러는 내부에 캐니스터를 수용한 후, 냉각수를 순환시켜 캐니스터를 냉각시킨다. 칠러는 등록특허 제10-0773474호 "반도체 제조장비의 칠러 시스템"에 개시된 바 있다.
도 1은 종래 칠러(10)의 단면구성을 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이 칠러(10)는 트레이(11)와, 트레이(11) 내부에 삽입되며 캐니스터(20)가 수용되는 내부케이싱(13)을 포함한다. 화살표로 도시된 바와 같이 유입관(15)을 통해 유입된 냉각수는, 내부케이싱(13)과 케이스터(20) 사이에서 유동된 후, 배출관(17)을 통해 배출된다.
그런데, 칠러(10)는 내부케이싱(13)으로부터 배출된 냉각수가 트레이11)와 내부케이싱(13) 사이의 공간(S1)에 집수된 후 배출관(17)으로 배출된다. 이 때, 냉각수의 온도와 외부 대기의 온도는 서로 차이가 있으므로 트레이(11)의 외벽에 결로가 발생되어 이슬(M)이 맺히는 문제가 있었다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 트레이 외벽에 이슬이 발생되는 것을 예방할 수 있는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 커버와 실링부재의 결합구조를 개선하여 냉각수의 외부 누설을 차단할 수 있는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐니스터와 트레이를 고정시켜 캐니스터의 유동을 방지할 수 있는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 커버 상면에 발생되는 이슬을 집수하여 이슬이 바닥으로 흘러내리는 것을 방지할 수 있는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 본 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상부가 개방된 함체형상의 트레이; 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되게 상기 트레이에 삽입되며 내부에 캐니스터가 수용되는 내부케이싱; 및 상기 내부케이싱과 상기 트레이 사이에 배치되며 상기 내부케이싱으로부터 배출되는 냉각수를 집수하는 배수함;을 포함하는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 배수함은 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되어 있을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 배수함과 상기 트레이의 내벽면 사이의 이격 공간에는 단열층이 존재할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 트레이를 관통하여 상기 배수함과 연결되어 있고, 상기 내부케이싱으로부터 배출되는 모든 냉각수는 상기 배수함에 집수된 후에, 상기 냉각수 배출관을 통해서 외부로 배출되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 배수함은 상기 내부케이싱을 둘러싸는 링 형상을 가진 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고, 상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고, 상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 내부케이싱의 바닥에는, 상기 캐니스터의 하부에 원주방향으로 일정길이 연장된 잠금바와 결합될 수 있는 잠금스커트가 형성되어 있는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐니스터용 칠러는, 상기 트레이와 상기 내부케이싱의 상부에 고정결합되는 상부실링부, 상기 상부실링부의 상면에 착탈가능하게 결합되는 착탈실링부재; 상기 착탈실링부재의 상부에 결합되며 상기 착탈실링부재를 가압하여 상기 냉각수의 외부 유출을 방지하는 실링커버;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부실링부의 상면에는 상기 착탈실링부재가 안착되는 안착면이 일정높이 단차지게 함몰 형성되고, 상기 실링커버의 하부에는 반경방향 내측에서 외측으로 갈수록 길이가 길어지도록 돌출형성되어 상기 착탈실링부재를 가압하는 가압경사돌기가 구비된 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 실링커버의 상면에는 외주연을 따라 트렌치형상으로 일정 깊이 함몰형성되어 이슬이 저수되는 이슬수용홈이 형성되고, 상기 트레이의 상부 외주면에는 상기 이슬수용홈의 이슬을 수용할 수 있는 제습포켓이 결합되어 있는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐니스터용 칠러는, 일단부는 상기 이슬수용홈에 배치되고 타단부는 상기 제습포켓에 착탈가능하게 결합되는 포켓연결관을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 하나 이상의 실시예에 따르면, 캐니스터용 칠러의 외부에 결로가 발생되는 것을 예방할 수 있다.
또한, 본 발명에 하나 이상의 실시예에 따르면, 실링커버의 상면에 발생되는 결로에 의한 이슬은 이슬수용홈에 수용한 후 별도의 제습포켓으로 배출되므로, 이슬이 바닥으로 흘러내리는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 하나 이상의 실시예에 따르면, 실링커버의 가압경사돌기의 경사면이 착탈실링부재를 가압하므로, 냉각수의 외부 누설을 효과적으로 차단할 수 있다.
또한, 본 발명에 하나 이상의 실시예에 따르면, 내부케이싱의 하부에 캐니스터의 회전을 방지할 수 있는 잠금스커트를 구비하여 캐니스터의 위치를 안정적으로 고정시킬 수 있다.
도 1은 종래 캐니스터용 칠러의 단면구성을 도시한 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러의 외부 구성을 도시한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러의 구성을 분해하여 도시한 분해사시도,
도 4는 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러의 단면구성과 냉각수의 이동경로를 도시한 단면도, 그리고
도 5는 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러의 상부 실링구조를 확대도시한 확대도이다.
[부호의 설명]
100 : 캐니스터용 칠러 110 : 트레이
111 : 트레이본체 113 : 내부유입관
115 : 이동함 116 : 바퀴
118 : 결합판 120 : 내부케이싱
121 : 내부케이싱본체 122 : 유입공
123 : 오버플로우홈 125 : 잠금스커트
125a : 단부영역 125b : 결합홈
130 : 배수함 135 : 연결관
140 : 유입관 145 : 배출관
150 : 상부실링부 151 : 상부실링블럭
153 : 하부실링부재 155 : 체결부재삽입홈
157 : 안착면 160 : 착탈실링부재
170 : 실링커버 171 : 실링커버본체
173 : 이슬수용홈 175 : 포켓연결관
177 : 가압경사돌기 179 : 체결부재
180 : 제습포켓 181 : 포켓본체
183 : 이슬유입구 185 : 레벨게이지
187 : 이슬배출관 200 : 캐니스터
210 : 잠금바 210a : 잠금돌기
A : 단열재
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐니스터용 칠러(100)의 외부구성을 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐니스터용 칠러(100)의 구성을 분해하여 도시한 분해사시도이고, 도 4는 캐니스터용 칠러(100)의 단면구성과 냉각수의 유동흐름을 도시한 단면도이고, 도 5는 캐니스터용 칠러(100)의 상부실링구조를 확대하여 도시한 확대단면도이다.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러(100)는 내부에 캐니스터(200)를 수용하고, 냉각수를 순환시켜 캐니스터(200)를 일정온도로 냉각시킨다. 이 때, 캐니스터용 칠러(100)에는 도면에 도시되지 않았으나 냉각수를 순환시키기 위한 순환펌프(미도시) 등이 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 캐니스터용 칠러(100)는 함체형상의 트레이(110)와, 트레이(110) 내부에 배치되며 캐니스터(200)가 수용되는 내부케이싱(120)과, 트레이(110)와 내부케이싱(120) 사이에 배치되는 배수함(130)과, 내부케이싱(120)으로 냉각수를 유입시키는 유입관(140)과, 배수함(130)의 냉각수를 외부로 배출시키는 배출관(145)과, 트레이(110)와 내부케이싱(120)의 상부에 결합되는 상부실링부(150)와, 상부실링부(150)에 착탈가능하게 배치되는 착탈실링부재(160)와, 착탈실링부재(160)의 상부에 결합되는 실링커버(170)와, 트레이(110)의 외주면에 결합되어 실링커버(170)에 발생되는 이슬을 집수하는 제습포켓(180)을 포함할 수 있다.
트레이(110)는, 예를 들면, 일정 직경을 갖는 원통형태로 형성되어 내부에 내부케이싱(120)과 캐니스터(200)를 수용할 수 있다. 트레이(110)는, 트레이본체(111)와, 트레이본체(111)와 내부케이싱(120)을 연결하는 내부유입관(113)과, 트레이(110)의 하부에 결합되는 이동함(115)을 포함할 수 있다.
트레이본체(111)는 냉각수의 유출입이 안정적으로 이루어지고, 캐니스터(200)가 안정적으로 수용되도록 지지할 수 있다. 트레이본체(111)의 하부에는 유입관(140)이 결합되고, 상부에는 배출관(145)이 결합된다. 유입관(140)은 내부유입관(113)과 연결된다. 내부유입관(113)은 내부케이싱(120)의 바닥면의 유입공(122)과 연결되어 냉각수를 내부케이싱(120)으로 공급할 수 있다.
이동함(115)은, 예를 들면, 트레이(110)의 하부에 결합되어 트레이(110)가 이동되도록 지지한다. 이동함(115)의 하부에는 복수개의 바퀴(116)가 결합될 수 있다.
트레이본체(111)의 상부에는 결합판(118)이 구비되어 내부케이싱(120)과 트레이본체(111)를 결합시킨다. 결합판(118)의 상면에는 상부실링부(150)가 결합된다.
내부케이싱(120)은 트레이(110) 내부에 일정간격 이격되게 삽입된다. 내부케이싱(120)의 내부에는 캐니스터(200)가 수용되는 수용공간이 형성된다. 내부케이싱(120)은, 예를 들면, 트레이본체(111) 내부에 삽입되는 내부케이싱본체(121)와, 내부케이싱본체(121)의 내벽면에 관통형성되어 냉각수를 배수함(130)으로 유출시키는 오버플로우홈(123)과, 내부케이싱본체(121)의 바닥면에 형성된 복수개의 잠금스커트(125)를 포함할 수 있다.
내부케이싱본체(121)는 내부에 캐니스터(200)를 수용하며, 내부케이싱본체(12)와 캐니스터(200)의 사이에 존재하는 냉각수가 유동됨으로써, 캐니스터(200)와 냉각수간에 열교환이 이루어지도록 한다. 내부케이싱본체(121)는 외경이 트레이본체(111)와 일정간격 이격되게 배치된다.
내부케이싱본체(121)와 트레이본체(111) 사이의 이격공간에는 단열재(A)가 삽입된다. 단열재(A)는 냉각수의 온도가 트레이(110) 외벽면으로 전달되는 것을 차단함으로써, 트레이(110) 외벽면에 결로가 발생되는 것을 차단하는데 기여한다.
내부케이싱본체(121)와 트레이본체(111) 사이의 이격거리(L2)는 냉각수의 온도를 고려하여 가감될 수 있다. 또한, 내부에 삽입되는 단열재(A)의 종류도 냉각수의 온도에 따라 선택될 수 있다. 또한, 대안적 실시예에 따르면, 별도의 단열재(A)의 삽입 없이 공기층에 의해 단열의 효과를 구현할 수도 있다.
내부케이싱본체(121)의 내경은 캐니스터(200)의 외경에 비해 일정길이(d1)만큼 크게 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 내부케이싱본체(121)는 캐니스터(200)의 외경에 비해 1mm 만큼 크게 형성된다. 캐니스터(200)의 외경과 내부케이싱본체(121) 내경사이의 이격공간으로 냉각수가 유동되며 캐니스터(200)와 열교환하게 된다.
오버플로우홈(123)은 내부케이싱본체(121)의 상부 내벽면에 관통형성된다. 오버플로우홈(123)은 캐니스터(200)와 열교환된 냉각수를 배수함(130)으로 배출시킨다. 냉각수는 상부실링블럭(151)에 의해 상부로 이동되는 것이 차단되어 오버플로우홈(123)으로 오버플로우되게 된다.
본 실시예에서, 오버플로우홈(123)은 도 3에 도시된 바와 같이 역삼각형 형태로 형성될 수 있다. 이처럼 오버플로우홈(123)은 상부에서 하부로 갈수록 단면적이 좁아지게 형성됨으로써 오버플로우홈(123)을 통해서 냉각수가 배수함(130)으로 이동될 때 와류가 발생되는 것이 줄어들게 된다.
잠금스커트(125)는 내부케이싱본체(121)에 수용된 캐니스터(200)의 위치가 고정되도록 한다. 잠금스커트(125)는 도 4에 확대도시된 바와 같이 내부케이싱본체(121)의 하부 측벽에 돌출형성된다. 잠금스커트(125)는 측벽으로부터 반경방향 내측으로 돌출형성된 단부영역(125a)가 수직방향으로 절곡형성된다. 이에 의해 단부영역(125a)와 측벽 사이에 캐니스터(200)의 잠금바(210)가 삽입되는 결합홈(125b)이 형성될 수 있다.
캐니스터(200)의 하부 측벽(211)에는 내주연을 따라 돌출형성된 잠금바(210)가 결합되어 있을 수 있다. 잠금바(210)의 단부에는 단차지게 돌출형성된 잠금돌기(210a)가 형성될 수 있다. 잠금돌기(210a)의 돌출길이는 결합홈(125b)의 폭보다 크게 형성될 수 있다. 이에 따라 작업자가 캐니스터(200)를 내부케이싱(120)에 삽입하면 캐니스터(200)의 측벽(211)이 잠금스커트(125)의 결합홈(125b)에 삽입되게 된다. 그리고, 캐니스터(200)를 회전시키면 결합홈(125b)으로 잠금바(210)가 삽입되고 잠금돌기(210a)가 단부영역(125a)에 접촉되며 회전이 제한되게 된다.
이에 의해 캐니스터(200)와 내부케이싱(120)의 위치가 고정되어 내부케이싱(120)에 냉각수가 유입되더라도 안정적으로 냉각수와 캐니스터(200)의 열교환이 이루어질 수 있다.
배수함(130)은 트레이(110)와 내부케이싱(120) 사이에 개재되어 냉각수를 집수한 후 배출관(145)으로 배출시킨다. 배수함(130)은 링 형상으로 형성되며, 오버플로우홈(123)에 대응되는 내부케이싱(120)의 외벽면을 둘러싸는 형태로 결합된다. 이때, 배수함(130)의 폭은 트레이(110)의 내벽면과 일정간격 이격되도록 형성된다. 이에 의해 배수함(130)과 트레이(110)의 내벽면 사이에 단열재(A)가 삽입될 수 있다.
배수함(130)이 트레이(110)와 내부케이싱(120) 사이에 별도로 구비되고, 냉각수가 배수함(130)을 통해 배출관(145)으로 배출되므로 도 1에 도시된 종래 칠러(10)와 비교할 때 냉각수가 트레이(110)와 직접 접촉되는 것이 차단된다. 또한, 배수함(130)과 트레이(110)사이에 단열재(A)가 배치되므로 트레이(110) 외벽면에 결로가 발생되는 것이 차단할 수 있다.
유입관(140)은 트레이(110)의 외측에 결합되어 냉각수를 트레이(110) 내부로 유입시킨다. 유입관(140)은 내부유입관(113)과 연결되어 냉각수를 공급한다.
배출관(145)은 배수함(130)과 연결되어 열교환이 완료된 냉각수를 외부로 배출시킨다. 배출관(145)은 배수함(130)의 연결관(135)에 의해 연결된다.
도 5는 본 발명의 캐니스터 칠러(100)의 상부실링구조를 확대하여 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이 상부실링부(150)는 트레이(110)와 내부케이싱(120)의 상부에 위치되어 냉각수의 외부 누설을 차단할 수 있다. 상부실링부(150)는 결합판(118) 상부에 일체로 결합되는 상부실링블럭(151)과, 상부실링블럭(151)과 결합판(118) 사이에 배치되는 복수개의 하부실링부재(153)를 포함한다.
상부실링블럭(151)은 결합판(118)에 고정결합된다. 하부실링부재(153)는 결합판(118)과 상부실링블럭(151) 사이에 고정결합되어 측방향(즉, 캐니스터 칠러(100)의 중심으로부터 외부로 방사되는 방향)으로의 냉각수의 누설을 차단한다. 하부실링부재(153)는 예를 들면 O링으로 구현될 수 있다.
상부실링블럭(151)의 내측 외주면에는 일정높이 단차지게 함몰 형성된 안착면(157)이 일정면적 형성된다. 안착면(157)에는 착탈실링부재(160)가 안착될 수 있다.
상부실링블럭(151)의 외측 외주면에는 안착면(157)과 간섭이 발생되지 않도록 체결부재삽입홈(155)이 일정 간격으로 형성된다. 체결부재삽입홈(155)에 체결부재(179)가 삽입되어 상부실링블럭(151)과 실링커버(170)의 위치가 고정된다.
착탈실링부재(160)는 상부실링부(150)에 착탈가능하게 결합된다. 착탈실링부재(160)는 안착면(157)에 안착되고, 실링커버(170)의 가압에 의해 안착면(157)에 밀착되며 냉각수의 외부 누설을 차단하게 된다. 착탈실링부재(160)도 O링의 형태로 구현될 수 있다.
실링커버(170)는 상부실링부(150)의 상부에 결합될 수 있다. 실링커버(170)는 상부실링부(150)의 상부에서 하부방향으로 가압하여 착탈실링부재(160)가 상부실링부(150)에 밀착되도록 한다. 실링커버(170)는 실링커버본체(171)와, 실링커버본체(171)의 외주연에 함몰형성된 이슬수용홈(173)과, 이슬수용홈(173)과 제습포켓(180)을 연결하는 포켓연결관(175)과, 실링커버(170)의 하부에 돌출되어 착탈실링부재(160)를 가압하는 가압경사돌기(177)를 포함한다.
실링커버본체(171)는 링 형상으로 형성되어 상부실링부(150)의 상부를 커버한다. 이슬수용홈(173)은 실링커버본체(171)의 외주연을 따라 트렌치형상으로 일정깊이 함몰 형성될 수 있다.
트레이(110)와 내부케이싱(120) 사이에는 단열재(A)가 삽입되나 상부실링부(150)와 실링커버(170) 사이에는 단열재(A)가 삽입되지 않아 냉각수와 실온의 온도차이에 의해 실링커버본체(171) 상면에는 결로가 발생될 수 있다. 이슬수용홈(173)은 실링커버본체(171)에 대해 일정깊이 단차지게 형성되어 있으므로, 결로에 의해 생성된 이슬이 집수된다. 이슬수용홈(173)이 존재함으로써, 이슬이 실링커버(170)를 따라 이동한 후 바닥으로 낙하하는 것을 방지할 수 있다
포켓연결관(175)의 일단부는 이슬수용홈(173)에 배치되고 타단부는 제습포켓(180)에 착탈가능하게 결합된다. 이슬수용홈(173)에 수용된 이슬은, 포켓연결관(175)을 통해서 제습포켓(180)으로 이동된다.
가압경사돌기(177)는 실링커버본체(171)의 하부로 돌출형성된다. 이 때, 가압경사돌기(177)는 실링커버본체(171)의 내측경계영역에서 반경방향 외측으로 착탈실링부재(160)의 직경만큼 이격되어 배치된다. 또한, 가압경사돌기(177)는 반경방향 외측으로 점차 길이가 길어지도록 경사지게 형성된다.
이러한 가압경사돌기(177)의 형상에 의해 실링커버(170)가 체결부재(179)에 의해 상부실링부(150)로 가압되면 착탈실링부재(160)가 가압경사돌기(177)의 경사면과 결합판(118) 사이에 밀착되어 실링력이 향상될 수 있다. 또한, 가압경사돌기(177)가 안착면(157)에 접촉되므로 냉각수의 유출이 보다 효과적으로 방지될 수 있다.
제습포켓(180)은 트레이(110)의 상부 외벽에 결합되어 실링커버(170)에서 발생된 이슬을 내부에 수용한다.
제습포켓(180)은, 예를 들면, 내부에 이슬을 수용할 수 있는 챔버를 가진 포켓본체(181)와, 포켓본체(181)의 일측에 형성되어 이슬의 수위를 표시하는 레벨게이지(185)와, 포켓본체(181)의 외부로 이슬을 배출시키는 이슬배출관(187)을 포함할 수 있다.
포켓본체(181)는, 예를 들면, 트레이(110)의 외벽에 결합된다. 포켓본체(181)의 상부에는 포켓연결관(175)이 결합되는 이슬유입공(183)이 형성된다. 이에 의해 이슬이 포켓본체(181) 내부로 유입된다.
레벨게이지(185)의 수위를 육안으로 확인하고 관리자가 이슬배출관(187)을 개폐시켜 이슬을 외부로 배출시킨다.
이러한 구성을 갖는 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러(100)의 사용과정을 도 2 내지 도 5를 참조하여 설명한다.
먼저, 내부케이싱(120)으로 캐니스터(200)를 삽입한다. 이 때, 착탈실링부재(160)와 실링커버(170)는 트레이(110)로부터 분리된 상태이다. 캐니스터(200)를 내부케이싱(120)으로 삽입한 후, 도 4에 확대도시된 바와 같이 캐니스터(200)의 측벽(211)이 잠금스커트(125)의 결합홈(125b)으로 삽입되도록 배치하고 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킨다.
회전에 의해 잠금바(210)가 결합홈(125b)으로 삽입되고, 잠금돌기(210a)가 단부영역(125a)과 접촉됨으로써, 캐니스터(200)의 움직임이 제한되게 된다. 따라서, 냉각수의 유출입에 의한 열교환 과정 중에 캐니스터(200)의 위치가 안정적으로 고정되게 된다.
한편, 캐니스터(200)는 착탈실링부재(160)가 외주면에 결합된 상태로 내부케이싱(120)에 삽입된다. 캐니스터(200)의 삽입에 따라 착탈실링부재(160)는 상부실링블럭(151)의 안착면(157)에 안착되게 된다.
캐니스터(200)의 위치가 고정되면 실링커버(170)를 착탈실링부재(160)의 상부에 배치한다. 그리고, 복수개의 체결부재(179)를 체결하여 실링커버(170)를 상부실링블럭(151)에 고정시킨다. 이 때, 가압경사돌기(177)가 가압력에 의해 착탈실링부재(160)를 가압하여 상부실링블럭(151)과 실링커버(170) 사이의 실링력이 높아지게 되고, 냉각수의 외부 유출이 이중으로 차단되게 된다.
실링커버(170)의 결합이 완료되면, 포켓연결관(175)을 제습포켓(180)에 연결한다. 이렇게 캐니스터(200)와 캐니스터용 칠러(100)의 결합이 완료되면, 냉각수를 내부케이싱(120)으로 유입시킨다.
유입관(140)과 내부유입관(113)을 통해 냉각수는 도 4에 화살표로 도시된 바와 같은 경로를 통해 내부케이싱(120)으로 유입된다. 내부케이싱(120)의 내벽과 캐니스터(200) 사이의 이격공간을 따라 냉각수는 이동하여 오버플로우홈(123)을 통해 배수함(130)으로 집수된다. 배수함(130)에 집수된 냉각수는 연결관(135)과 배출관(145)을 통해 외부로 배출된다.
이 때, 냉각수의 이동시에 내부케이싱(120)과 트레이(110) 사이의 이격공간에는 단열재(A)가 삽입되어 외부 공기와 냉각수의 접촉이 차단된다. 따라서, 트레이(110) 외벽면은 외부 공기의 온도와 동일 또는 거의 동일하게 유지되므로 결로가 발생되지 않게 된다.
또한, 배수함(130)도 트레이(110)의 내벽면과 이격되게 배치되고, 그 사이에 단열재(A)가 삽입되므로 트레이(110) 전영역에 걸쳐 결로가 발생되지 않게 된다.
실링커버(170)의 표면에는 냉각수와 공기의 온도 차이에 의해 결로가 발생된다. 결로에 의해 생성된 이슬은 단차지게 형성된 이슬수용홈(173)에 모이게 된다. 이슬수용홈(173)에 이슬이 일정높이 모이게 되면 포켓연결관(175)에 의해 제습포켓(180)으로 이동된다. 제습포켓(180)에 수용된 이슬은 이슬배출관(145)에 의해 외부로 배출된다.
이상에서 설명된 본 발명의 캐니스터용 칠러의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

Claims (19)

  1. 상부가 개방된 함체형상의 트레이;
    상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되게 상기 트레이에 삽입되며 내부에 캐니스터가 수용되는 내부케이싱; 및
    상기 내부케이싱과 상기 트레이 사이에 배치되며 상기 내부케이싱으로부터 배출되는 냉각수를 집수하는 배수함;을 포함하는 캐니스터용 칠러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 배수함은 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 배수함과 상기 트레이의 내벽면 사이의 이격 공간에는 단열층이 존재하는 것인, 캐니스터용 칠러.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 트레이를 관통하여 상기 배수함과 연결되어 있고,
    상기 내부케이싱으로부터 배출되는 모든 냉각수는 상기 배수함에 집수된 후에, 상기 냉각수 배출관을 통해서 외부로 배출되는 것인, 캐니스터용 칠러.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 배수함은 상기 내부케이싱을 둘러싸는 링 형상을 가진 것인, 캐니스터용 칠러.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고,
    상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것인, 캐니스터용 칠러.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고,
    상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것인, 캐니스터용 칠러.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 내부케이싱의 바닥에는, 상기 캐니스터의 하부에 원주방향으로 일정길이 연장된 잠금바와 결합될 수 있는 잠금스커트가 형성되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 트레이와 상기 내부케이싱의 상부에 고정결합되는 상부실링부,
    상기 상부실링부의 상면에 착탈가능하게 결합되는 착탈실링부재;
    상기 착탈실링부재의 상부에 결합되며 상기 착탈실링부재를 가압하여 상기 냉각수의 외부 유출을 방지하는 실링커버;를 더 포함하는 것인 캐니스터용 칠러.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 상부실링부의 상면에는 상기 착탈실링부재가 안착되는 안착면이 일정높이 단차지게 함몰 형성되고,
    상기 실링커버의 하부에는 반경방향 내측에서 외측으로 갈수록 길이가 길어지도록 돌출형성되어 상기 착탈실링부재를 가압하는 가압경사돌기가 구비된 것인, 캐니스터용 칠러.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 실링커버의 상면에는 외주연을 따라 트렌치형상으로 일정 깊이 함몰형성되어 이슬이 저수되는 이슬수용홈이 형성되고,
    상기 트레이의 상부 외주면에는 상기 이슬수용홈의 이슬을 수용할 수 있는 제습포켓이 결합되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  12. 제11항에 있어서,
    일단부는 상기 이슬수용홈에 배치되고 타단부는 상기 제습포켓에 착탈가능하게 결합되는 포켓연결관을 더 포함하는 것인, 캐니스터용 칠러.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 트레이와 상기 내부케이싱의 상부에 고정결합되는 상부실링부;
    상기 착탈실링부재의 상부에 결합되는 실링커버; 및
    상기 실링커버에 생긴 이슬을 수용할 수 있는 제습포켓;을 더 포함하는 것인, 캐니스터용 칠러.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제습포켓은 상기 트레이의 상부 외주면에 결합되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 상부실링부의 상면에 착탈가능하게 결합되는 착탈실링부재;를 더 포함하며,
    상기 실링커버가 상기 착탈실링부재를 가압하는 것인, 캐니스터용 칠러.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 실링커버의 상면에는 외주연을 따라 트렌치형상으로 일정 깊이 함몰형성되어 이슬이 저수되는 이슬수용홈이 형성되어 있고,
    상기 이슬수용홈과 상기 제습포켓은 포켓 연결관에 의해 연결되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 배수함은 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 트레이를 관통하여 상기 배수함과 연결되어 있고,
    상기 내부케이싱으로부터 배출되는 모든 냉각수는 상기 배수함에 집수된 후에, 상기 냉각수 배출관을 통해서 외부로 배출되는 것인, 캐니스터용 칠러.
  19. 제13항에 있어서,
    상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고,
    상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것인, 캐니스터용 칠러.
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