CN105247655A - 罐用激冷器 - Google Patents

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Abstract

披露了一种罐用激冷器，该激冷器包括：一个鼓形托架，具有一个开放上部；一个插入该托架中的内壳体，具有一个在该托架的内壁表面与该内壳体之间的给定空间，用于接收该罐；以及一个排水容器，被安排在该内壳体与该托架之间，用于收集从该内壳体排放的冷却水，因此防止露水在该托架的表面上产生。

Description

罐用激冷器
技术领域
本发明涉及一种罐。
发明背景
该罐是一种用于存储在涉及半导体和电子材料的制造工艺中所使用的有机和无机金属化合物的容器。这些有机和无机金属化合物的大多数为特别设计的具有高纯度的昂贵化合物，并且大多数此类前体对于空气或水是非常敏感的，并且因此该罐由一种提供密封和耐化学品性的金属制成。
该罐必须被保持在一个给定温度下，以便保存存储在其中的有机和无机金属化合物。为此目的，使用一个用于冷却该罐的激冷器。
该激冷器包围该罐，从而使冷却水循环用于冷却该罐。在标题为“用于半导体制造设备的激冷器系统(CHILLERSYSTEMFORSEMICONDUCTORMANUFACTURINGEQUIPMENT)”的注册专利号10-0773474中披露了一种激冷器。
图1是一个常规的激冷器10的截面图。如该附图中所示，激冷器10包括一个托架11，以及一个用于接收罐20的插入在托架11中的内壳体13。如由箭头所指示的，通过一个入口管15供应的冷却水在内壳体13与罐20之间流动，通过一个排放管17被排出。
在这种情况下，设计激冷器10使得从内壳体13排放的冷却水在托架11与内壳体13之间的空间(S1)中被收集，并且然后通过排放管17被排出。在此，该冷却水的温度不同于外部的大气温度，并且因此蒸汽在托架11的外壁上冷凝产生露水(M)而导致问题。
发明内容
发明目的
根据本发明的一个实施例，提供一个用于该罐的激冷器用于防止在该托架的外壁上产生露水。
根据本发明的另一个实施例，提供一个用于该罐的激冷器用于通过改进盖子与密封件的连接结构来防止冷却水泄漏到外面。
根据本发明的又另一个实施例，提供一个用于该罐的激冷器用于防止该罐移位。
根据本发明的一个另外的实施例，提供一个用于该罐的激冷器用于收集在盖子的上表面上产生的露水，以便防止露水向下流到底部。
本领域的普通技术人员将从本发明的优选实施例中清楚地理解本发明的目的和优点。
发明概述
根据本发明的一个实施例，一个罐用激冷器包括：一个鼓形托架，具有一个开放上部；一个插入在该托架中的内壳体，具有一个在该托架的内壁表面与该内壳体之间的给定空间，用于接收该罐；以及一个排水容器，被安排在该内壳体与该托架之间，用于收集从该内壳体排放的冷却水。
根据本发明的另一个实施例，该排水容器与该托架的内壁分开一个给定的空间。
根据本发明的另一个实施例，一个绝缘层被安排在该排水容器与该托架的内壁之间的给定空间中。
根据本发明的另一个实施例，一个冷却水排放管通过该托架被连接到该排水容器上，以便将收集的所有冷却水通过该冷却水排放管从该内壳体排入到该排水容器中。
根据本发明的另一个实施例，该排水容器的形状像一个围绕该内壳体的环。
根据本发明的另一个实施例，多个倒三角形溢流孔以在该内壳体的上部内部中的孔之间的一个给定间隔形成，以便与该排水容器连通，使得在该内壳体中流动的冷却水移动通过这些溢流孔至该排水容器。
根据本发明的另一个实施例，多个倒三角形溢流孔以在该内壳体的上部内部中的孔之间的一个给定间隔形成，以便与该排水容器连通，使得在该内壳体中流动的冷却水移动通过这些溢流孔至该排水容器。
根据本发明的另一个实施例，一个锁定裙(lockingskirt)在该内壳体的底部中形成，以便用一个沿该罐的下部的圆周延伸的锁条锁定至一个给定长度。
根据本发明的另一个实施例，一个罐用激冷器包括：一个上密封部分，被固定地连接至该托架和该内壳体的上部；一个可拆卸密封件，被可拆卸地附接至该上密封部分的上表面；以及一个密封盖，被连接至该可拆卸密封件的上部，用于压着该可拆卸密封件，以便防止冷却水流动到外面。
根据本发明的另一个实施例，该上密封部分的上表面配备有一个沉陷给定深度的用于容纳所述可拆卸密封件的座面(seatsurface)，并且该密封盖的上部配备有一个压力斜坡凸起(pressureslopeprojection)，该压力斜坡凸起具有从内到外沿径向方向增加的长度，用于压着该可拆卸密封件。
根据本发明的另一个实施例，一个露水接收凹槽是通过使该密封盖的上表面沉陷而形成的，像一个沿该周长的沟道以接收露水，并且一个除湿口袋被连接到该托架的上部的外表面以收集来自该露水接收凹槽的露水。
根据本发明的另一个实施例，一个罐用激冷器进一步包括一个口袋连接管，其一端被安排在该露水接收凹槽中并且另一端被可拆卸地附接至该除湿口袋。
发明效果
根据本发明的至少一个实施例，防止露水在该罐用激冷器的外部形成。
根据本发明的至少一个实施例，在该密封盖的上表面上冷凝的露水被该露水接收凹槽接收，并且被排放至该除湿口袋，因此防止露水向下流动到底部。
根据本发明的至少一个实施例，该压力斜坡凸起的倾斜表面压着该可拆卸密封件以便有效地防止冷却水泄漏到外面。
根据本发明的至少一个实施例，该内壳体的下部配备有一个用于防止该罐转动的锁定裙，因此稳定地固定该罐的位置。
附图简要说明
图1是用于罐的一个常规激冷器的截面图；
图2是展示根据本发明的一个罐用激冷器的外部结构的透视图；
图3是展示根据本发明的一个罐用激冷器的拆分结构的透视图；
图4是根据本发明的一个罐用激冷器的截面图、以及冷却水的流动路径；并且
图5是根据本发明的一个罐用激冷器的上密封结构的放大视图。
用于进行本发明的详细说明
为了清楚地理解本发明，本发明的优选实施例参照附图进行描述。本发明的一个实施例可以多样地进行修改，并且本发明的范围必须不受限于以下具体描述的实施例。提供这些实施例用于本领域的普通技术人员清楚地理解本发明。因此，这些组成部分的形状等可以被放大以强调清楚的描述。应指出相同的元件由相同的参考号来表示。未描述可能混淆本发明的主旨的常规功能和结构。
图2是根据本发明的一个实施例的罐用激冷器100的外部结构的透视图，图3是根据本发明的一个实施例的罐用激冷器100的拆分结构的透视图，图4是根据本发明的罐用激冷器100的截面图、以及冷却水的流动路径，并且图5是根据本发明的罐用激冷器100的上密封结构的放大视图。
如这些附图中所示，根据本发明的罐用激冷器100包围一个罐200，并且使冷却水循环以将罐200冷却至一个给定温度。在这种情况下，罐用激冷器100配备有一个用于使冷却水循环的循环泵(未示出)。
根据本发明的一个实施例的激冷器100包括一个鼓形托架110，一个用于包围罐200的插入托架110中的内壳体120，一个被安排在托架110与内壳体120之间的排水容器130，一个用于将冷却水引导到内壳体120中的入口管140，一个用于将排水容器130的冷却水排出到外部的排放管145，一个被连接到托架110和内壳体120的上部的上密封部分150，一个被可拆卸地附接至上密封部分150的可拆卸密封件160，一个被连接到可拆卸密封件160的上部的密封盖170，以及一个被连接到托架110的外周表面用于收集密封盖170中产生的露水的除湿口袋180。
托架110是作为用于包围内壳体120和罐200的具有一个给定的直径的圆筒而形成的。托架110包括一个托架主体111、一个用于连接托架主体111和内壳体120的内入口管113、以及一个被连接到托架110的底部的可移动容器115。
托架主体111使得冷却水稳定地流入和流出，并且稳定地支撑罐200。托架主体111的下部配备有一个入口管140，并且其上部配备有一个排放管145。入口管140被连接到内入口管113。内入口管113被连接到一个在内壳体120的底部中的入口孔122，以便将冷却水供应至内壳体120。
可移动容器115例如被连接到托架110的底部用于支撑有待移动的托架110。可移动容器115的下部配备有多个轮子116。
托架主体111的上部配备有一个用于连接内壳体120和托架主体111的连接板118。连接板118的上表面配备有一个上密封部分150。
内壳体120被插入托架110中，与该托架的内部分开一个给定的空间。内壳体120包围罐200。内壳体120，例如，包括一个插入托架主体111中的内壳体主体121、一个用于将冷却水排放至排水容器130的穿透内壳体主体121的内壁的溢流孔123、以及在内壳体121的底部中形成的多个锁定裙125。
内壳体主体121接收罐200以便使得罐200与在内壳体主体121与罐200之间流动的冷却水进行热交换。内壳体主体121具有与托架主体111通过一个给定空间分开的外径。
在内壳体主体121与托架主体111之间的分开空间填充有一种绝缘材料(A)。绝缘材料(A)防止在冷却水与托架110的外壁之间的热交换，因此防止托架110的外部产生露水。
在内壳体主体121与托架主体111之间的分开空间(L2)可以根据冷却水的温度进行调整。而且，绝缘材料(A)的类型可以根据冷却水的温度进行选择。此外，根据另一个实施例，空气可以代替单独的绝缘材料(A)充当一个绝缘层。
内壳体主体121的内径比罐200的外径大一个给定长度(d1)。根据本发明的一个实施例的内壳体主体121的内径比罐200的外径大1mm。冷却水在罐200的外部与内壳体主体121的内部之间流动以便与罐200进行热交换。
溢流孔123是穿透内壳体主体121的上部的内壁表面而形成的。溢流孔123将已与罐200热交换的冷却水排放至排水容器130。通过一个上密封块151防止该冷却水向上流动，因此溢流至溢流孔123。
在本发明的实施例中，溢流孔123的形状可以像一个倒三角。因此，溢流孔123的截面从上部至下部减少以便减少通过溢流孔123排放至排水容器130的冷却水的涡流。
锁定裙125将插入内壳体主体121中的罐200的位置固定。锁定裙125，如图4中所示，是从内壳体主体121的下侧壁凸出而形成的。锁定裙125具有一个从该侧壁径向地向内凸出并且竖直地弯曲的端区域125a。因此，一个连接凹槽125b在端区域125a与该侧壁之间形成以接收罐200的一个锁条210。
锁条210是沿罐200的下侧壁211的内周边凸出而形成的。锁条210的端部是由一个阶梯式锁定凸起210a形成的。锁定凸起210a的长度可以大于连接凹槽125b的宽度，因此，将罐200插入到内壳体120中，罐200的侧壁211被插入锁定裙125的连接凹槽125b中。然后转动罐200，锁条210插入连接凹槽125b中以便使得锁定凸起210a与端区域125a接触，因此防止罐的转动。
因此，罐200和内壳体120的位置是固定的，使得在内壳体120中流动的冷却水与罐200稳定地进行热交换。
置入在托架110与内壳体120之间的排水容器130收集被排放至排放管145的冷却水。排水容器130的形状像一个包围内壳体120的对应于溢流孔123的外壁表面的环。在这种情况下，形成排水容器130的宽度以便与托架110的内壁表面分开给定的空间。因此，绝缘材料(A)可以插入在排水容器130与托架110的内壁表面之间。
排水容器130在托架110与内壳体120之间分开提供以便使得冷却水通过排水容器130排放至排放管145，因此与如图1中示出的常规激冷器10相比，防止了冷却水与托架110直接接触。此外，绝缘材料(A)被安排在排水容器130与托架110之间以便防止托架110的外壁表面产生露水。
入口管140被连接到托架110的外部以将冷却水引导至托架110的内部。入口管140被连接到内入口管113上以供应冷却水。
排放管145被连接到排水容器130上以将已完成热交换的冷却水排出到外部。排放管145经由排水容器130的一个连接管135被连接。
图5是展示罐激冷器100的上密封结构的放大截面图。如该附图中所示，上密封部分150被安排在托架110和内壳体120的上部以便防止冷却水泄漏到外面。上密封部分150包括一个被整体地连接到连接板118的上部的上密封块151、和被安排在上密封块151与连接板118之间的多个下密封件153。
上密封块151被固定地连接到连接板118上。下密封件153被固定地连接在连接板118与上密封块151之间以防止冷却水横向(即，从罐激冷器100的中心径向地向外)泄漏。下密封件153可以被制成为一个O-环。
上密封块151的内部的外周表面配备有一个座面157，使该座面沉陷以形成具有一个给定深度的阶梯。将可拆卸密封件160安置在座面157中。
上密封块151的外部的外周表面通过给定间隔配备有一个接合件插入凹槽155，以便防止干扰座面157。一个接合件179被插入接合件插入凹槽155中以固定上密封块151和密封盖170的位置。
可拆卸密封件160被可拆卸地附接到上密封件150上。可拆卸密封件160安置在座面157上，并且与座面157紧密接触，座面157被密封盖170压着以便防止冷却水泄漏到外面。可拆卸密封件160也可以被制成为一个O-环。
密封盖170被连接到上密封部分150的上部上。密封盖170将上密封部分150向下压以便使得可拆卸密封件160与上密封部分150紧密接触。密封盖170包括一个密封盖主体171、一个通过密封盖主体171的周长上的沉陷形成的露水接收凹槽173、用于连接该露水接收凹槽173和除湿口袋180的一个口袋连接管175、以及一个用于压着可拆卸密封件160的从密封盖170的下部凸出的压力斜坡凸起177。
密封盖主体171的形状像一个环以覆盖上密封部分150的上部。露水接收凹槽173是通过使密封盖主体171的上表面沉陷而形成的，像一个沿其周长的沟道。
绝缘材料(A)插入在托架110与内壳体120之间，但不存在插入在上密封部分150与密封盖170之间的绝缘材料(A)，使得由于在冷却水与外部之间的温度差，露水可能在密封盖主体171的上表面上产生。露水接收凹槽173是通过在密封盖主体171中沉陷一个给定深度而形成的，以便接收由冷凝产生的露水。露水接收凹槽173防止露水沿密封盖170向下流动。
口袋连接管175具有被安排在露水接收凹槽173中的一端、以及被可拆卸地连接到除湿口袋180上的另一端。露水接收凹槽173中接收的露水流动通过口袋连接管175至除湿口袋180。
压力斜坡凸起177是从密封盖主体171的下部凸出而形成的。在这种情况下，压力斜坡凸起177被安排为通过可拆卸密封件160的直径与密封盖主体171的内边界分开。此外，压力斜坡凸起177是倾斜地形成的以便具有径向上向外增加的长度。
因为压力斜坡凸起177的如此的形状，如果密封盖170被接合件179压向上密封件150，可拆卸密封件160形成在压力斜坡凸起177的倾斜表面与连接板118之间的紧密接触，因此改进密封效果。而且，压力斜坡凸起177与座面157接触以有效地防止冷却水泄漏。
除湿口袋180被连接到托架110的上外壁以收集从密封盖170产生的露水。
除湿口袋180，例如，包括具有用于接收露水的室的一个口袋主体181、一个用于指示露水水平的被安排至口袋主体181的一侧的水准仪185、以及一个用于将口袋主体181的露水排至外部的露水排放管187。
口袋主体181，例如，被连接到托架110的外壁。口袋主体181的上部配备有被连接到口袋连接管175的一个露水入口孔183，因此将露水引导到口袋主体181的内部。
在视觉上检测水准仪185以通过切换露水排放管187将露水排出。
根据本发明的罐用激冷器100的操作参照图2至图5进行描述。
首先，将罐200插入内壳体120中。在这种情况下，可拆卸密封件160和密封盖170与托架110分开。在将罐200插入内壳体120中之后，如图4中所示，对罐200的侧壁211进行布置以便被插入锁定裙125的连接凹槽125b中，并且被顺时针或逆时针转动。
通过转动，使锁条210插入连接凹槽125b中，并且锁定凸起210a与端区域125a接触，因此防止罐200移动。因此，罐200的位置在冷却水流动以进行热交换的过程中被稳定地固定。
同时，罐200被插入内壳体120中，其中可拆卸密封件160被连接到外围表面上的。罐200的插入使得可拆卸密封件160被安置在上密封块151的座面157上。
当罐200的位置被固定时，密封盖170被布置在可拆卸密封件160的上部中。然后多个接合件179被紧固以便将密封盖170固定到上密封块151上。在这种情况下，压力斜坡凸起177压着可拆卸密封件160以便增强在上密封块151与密封盖170之间的密封力，双重地防止冷却水泄漏到外面。
完成密封盖170的连接，口袋连接管175被连接到除湿口袋180上。因此，完成罐200与激冷器100的连接，冷却水被供应至内壳体120的内部。
冷却水通过入口管140和内入口管113流入内壳体120中，如由图4中的箭头所示。冷却水流动穿过在内壳体120的内壁与罐200之间的分开空间至溢流凹槽123至排水容器130。在排水容器130中收集的冷却水通过连接管135和排放管145被排出到外部。
在这种情况下，绝缘材料(A)被插入在内壳体120与托架110之间的分开空间中以便防止冷却水与外部空气接触。因此，托架110的外壁被保持在等于或几乎等于外部温度的温度下，而不产生露水。
而且，排水容器130被安排为与托架110的内壁分开，并且绝缘材料(A)被插入在它们之间，因此整个托架110都不产生露水。
由于在冷却水与空气之间的温度差，密封盖170的表面产生露水。通过冷凝产生的露水在阶梯式露水接收凹槽173中被收集。露水接收凹槽173中收集至一个给定水平的露水通过口袋连接管175移动至除湿口袋180。除湿口袋180中接收的露水通过露水排放管145被排出到外部。
以上所描述的罐激冷器的实施例仅是一个实例，并且本领域的普通技术人员将认识到在不脱离本发明的情况下，此类实施例可以多样地进行修改或改变。因此，本发明不受以上所描述的形式的限制。在此，本发明的保护范围应该由所附的权利要求的技术概念决定。而且，应指出的是，本发明包括在本发明的主旨的范围内的所有修改、改变、和替代。
参考号的说明
100：罐用激冷器
110：托架
111：托架主体
113：内入口管
115：可移动容器
116：轮子
118：连接板
120：内壳体
121：内壳体主体
122：入口孔
123：溢流凹槽
125：锁定裙
125a：端区域
125b：连接凹槽
130：排水容器
135：连接管
140：入口管
145：排放管
150：上密封部分
151：上密封块
153：下密封件
155：接合件插入凹槽
157：座面
160：可拆卸密封件
170：密封盖
171：密封盖主体
173：露水接收凹槽
175：口袋连接管
177：压力斜坡凸起
179：接合件
180：除湿口袋
181：口袋主体
183：露水入口孔
185：水准仪
187：露水排放管
200：罐
210：锁条
210a：锁定凸起
A：绝缘材料

Claims (19)

1.一个罐用激冷器，包括：
一个鼓形托架，具有一个开放上部；
一个插入所述托架中的内壳体，具有一个在所述托架的内壁表面与所述内壳体之间的给定空间，用于接收所述罐；以及
一个排水容器，被安排在所述内壳体与所述托架之间，用于收集从所述内壳体排放的冷却水。
2.如权利要求1所述的罐用激冷器，其特征在于，所述排水容器与所述托架的内壁分开一个给定的空间。
3.如权利要求2所述的罐用激冷器，其特征在于，一个绝缘层被安排在所述排水容器与所述托架的内壁之间的所述给定空间中。
4.如权利要求2或3所述的罐用激冷器，其特征在于，一个冷却水排放管通过所述托架被连接到所述排水容器上，以便将收集的所有冷却水通过所述冷却水排放管从所述内壳体排入到所述排水容器中。
5.如权利要求4所述的罐用激冷器，其特征在于，所述排水容器的形状像一个围绕所述内壳体的环。
6.如权利要求1所述的罐用激冷器，其特征在于，多个倒三角形溢流孔以在所述内壳体的上部内部中的所述孔之间的一个给定间隔形成，以便与所述排水容器连通，使得在所述内壳体中流动的冷却水通过所述溢流孔移动至所述排水容器。
7.如权利要求4所述的罐用激冷器，其特征在于，多个倒三角形溢流孔以在所述内壳体的上部内部中的所述孔之间的一个给定间隔形成，以便与所述排水容器连通，使得在所述内壳体中流动的冷却水通过所述溢流孔移动至所述排水容器。
8.如权利要求4所述的罐用激冷器，其特征在于，一个锁定裙在所述内壳体的底部中形成，以便用一个沿所述罐的下部的圆周延伸的锁条锁定至一个给定长度。
9.如权利要求4所述的罐用激冷器，进一步包括：
一个上密封部分，被固定地连接至所述托架和所述内壳体的上部；
一个可拆卸密封件，被可拆卸地附接至所述上密封部分的上表面；以及
一个密封盖，被连接至所述可拆卸密封件的上部，用于压着所述可拆卸密封件以便防止该冷却水流动到外面。
10.如权利要求4所述的罐用激冷器，其特征在于，所述上密封部分的上表面配备有一个座面，该座面沉陷一个给定深度，用于安置所述可拆卸密封件，并且所述密封盖的上部配备有一个压力斜坡凸起，该压力斜坡凸起具有从内到外沿径向方向增加的长度，用于压着所述可拆卸密封件。
11.如权利要求10所述的罐用激冷器，其特征在于，一个露水接收凹槽是通过使所述密封盖的上表面沉陷而形成的，像一个沿该周长的沟道以接收露水，并且一个除湿口袋被连接到所述托架的上部的外表面以收集来自所述露水接收凹槽的露水。
12.如权利要求11所述的罐用激冷器，进一步包括一个口袋连接管，其一端被安排在所述露水接收凹槽中并且另一端被可拆卸地附接至所述除湿口袋。
13.如权利要求1所述的罐用激冷器，进一步包括：
一个上密封部分，被固定地连接至所述托架和所述内壳体的上部；
一个密封盖，被连接至所述可拆卸密封件的上部；以及
一个除湿口袋，用于收集所述密封盖中产生的露水。
14.如权利要求13所述的罐用激冷器，其特征在于，所述除湿口袋被连接到所述托架的上部的外表面。
15.如权利要求14所述的罐用激冷器，进一步包括一个可拆卸地附接至该上密封部分的上表面的可拆卸密封件，所述可拆卸密封件被所述密封盖压着。
16.如权利要求13所述的罐用激冷器，其特征在于，一个露水接收凹槽是通过使所述密封盖的上表面沉陷而形成的，像一个沿该周长的沟道以接收露水，并且一个口袋连接管连接所述露水接收凹槽和所述除湿口袋。
17.如权利要求13所述的罐用激冷器，其特征在于，所述排水容器与所述托架的内壁分开一个给定空间。
18.如权利要求17所述的罐用激冷器，其特征在于，一个冷却水排放管通过所述托架被连接到所述排水容器，以便将收集的所有冷却水通过所述冷却水排放管从所述内壳体排入到所述排水容器中。
19.如权利要求13所述的罐用激冷器，其特征在于，多个倒三角形溢流孔以在所述内壳体的上部内部中的所述孔之间的一个给定间隔形成，以便与所述排水容器连通，使得在所述内壳体中流动的冷却水通过所述溢流孔移动至所述排水容器。
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