KR101182877B1 - 캐니스터 온도 조절 장치 - Google Patents

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Abstract

개시된 본 발명에 따른 캐니스터 온도 조절 장치는, 캐니스터(101)를 감싸도록 설치되어 캐니스터에 공기를 분사하는 에어샤워 몸체(110), 흡열 또는 발열 반응을 하여 주위 공기를 냉각 또는 가열시키는 열전모듈부(120), 열전모듈부에 의해 냉각 또는 가열된 공기를 에어샤워 몸체(110)로 유입시켜 공기를 분사하도록 하는 에어 블로어(130), 에어샤워 몸체와 열전모듈부 및 에어 블로어를 연결하여 공기의 이동 경로를 제공하는 에어덕트(140), 상기 구성요소들을 감싸도록 설치되며 밀폐구조를 갖는 케이스(100), 에어샤워 몸체(110) 내부의 공기의 온도를 감지하는 온도감지부(119), 및 온도감지부로부터 수신된 정보를 이용하여 열전모듈부를 제어하는 제어기를 포함한다. 열전모듈부(120)에 의해 가열 또는 냉각된 공기는 에어 블로어(130)에 의해 에어샤워 몸체(110)로 유입된 후 분사되어, 캐니스터(101)의 표면 공기와 열교환하여 캐니스터(101)를 일정 온도로 유지하게 된다.

Description

캐니스터 온도 조절 장치{Apparatus for controlling temperature of canister}
본 발명은 캐니스터 온도 조절 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 반도제 제조공정이나 디스플레이 제조공정 또는 LED 제조공정에서 사용되는 캐니스터(버블러)의 온도를 일정하게 유지하도록 하는 캐니스터 온도 조절 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하는 반도체 제조공정이나 디스플레이공정 또는 LED 소자를 제조하는 LED 제조공정시 여러 종류의 반응가스(source gas)가 사용된다.
통상의 반도체 제조공정은 반도체, 도체, 절연체 물질로 다층 박막을 적응하고 각 박막들에 필요한 패턴을 식각하여 회로 소자를 형성하는 공정으로 이루어지는데, 여기서 다양한 물질들로 박막을 형성하는 공정은 가장 필수적이며 일반적인 공정에 속한다. 박막을 적층하는 방법에는 여러 가지가 있을 수 있는데, 그 중에서 화학기상증착(CVD:Chemical Vapor Deposition)과 물리기상증착(PVD:Physical Vapor Deposition) 등이 대표적이며, 특히 많이 사용되는 방법이 CVD 방법으로서, 공정 챔버에 웨이퍼를 위치시킨 후 복수의 캐니스터(버블러)에 나누어 담긴 반응가스를 인젝터를 통해 투입하여 화학 반응으로 생성된 물질을 이용하여 웨이퍼 상에 층간 절연막을 형성하거나 웨이퍼 상에 형성된 막질을 평탄화시키며, 또는 다른 목적을 달성하기 위하여 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 등을 형성한다.
한편, 캐니스터(버블러)의 온도 조절(유지) 장치는 캐니스터의 온도를 일정하게 유지하여 안정적인 버블 반응을 유지하는 목적으로 사용되며 이는 CVD 공정에서 매우 중요한 공정기술을 구현하는데 필수적인 요건이 된다. 특히, 캐니스터(버블러)의 온도 유지는 LED 제조공정의 유기금속화학기상증착(MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 장치에서 다양한 특성의 LED 기판을 제조하는데 사용되는 다양한 반응가스의 정밀제어를 위해서는 반드시 요구되는 기술이다.
종래의 캐니스터 온도 조절 장치는 보통 다양한 형태의 버블러를 온도 조절이 가능한 배스(Bath)에 담궈서 사용하는 Bath 구조가 적용된다. Bath 구조는 Bath 내부에 채워진 유체의 온도를 일정하게 제어함으로써 금속재질의 캐니스터의 온도를 일정하게 유지하는 방식이다. 제어온도에 따라 Bath에 사용되는 유체는 상온의 경우 물을, 저온의 경우 부동액을 사용하게 된다. 도 1을 참조하면 구체적으로 Bath 구조의 온도 조절 장치는, 열 매체인 액체가 수용되는 Bath(10), 열 매체의 온도를 냉각하기 위한 냉각장치(30, 냉매압축기나 열전소자 등), 열 매체의 온도를 가열하기 위한 가열장치(40, 히터나 열전소자 등), 열 매체의 온도가 Bath(10) 내부에서 균일한 온도로 분포되게 하기 위한 교반기 또는 펌프(50), 열 매체의 온도를 설정온도로 제어하기 위한 제어기(60) 등을 구성요소로 하고 있다. 캐니스터(20)는 Bath(10)에 수용되어 있는 열 매체에 담겨진다. 이러한 종래의 Bath 구조는 다양한 종류의 크기와 모양을 갖는 캐니스터를 사용함에 있어서 액체가 담겨진 Bath(10) 내부에 캐니스터(20)를 넣는 방법이기 때문에 편의성이 있어 많이 사용된다.
그런데, 온도 유지를 위한 열 전달 매체를 액체를 사용하기 때문에 다음과 같은 문제가 있다. 첫째, 장시간 사용시 액체의 누수 또는 증발로 인한 액체의 수위불량으로 인한 항온 기능 및 성능의 저하 문제가 생기게 된다. 둘째, 액체의 누수 등으로 인한 전기 장치의 안전문제 등이 발생할 가능성이 높게 된다. 셋째, 버블러에서 발생하는 화학적 발열량을 회수하는 냉각열량보다 액체의 온도를 유지하기 위해 사용되는 냉각열량이 많아서 에너지 소비가 많은 문제점이 있으며, 특히 이는 앞으로의 생산공정에서의 화두인 친환경 에너지 소비와 관련이 있어 더욱 중요한 문제로 부각된다. 넷째, 액체의 비열과 질량이 크기 때문에 초기 구동 시 설정온도로 도달되는 시간이 길어지는 문제점이 발생하게 된다. 마지막으로, 액체의 사용으로 인해 장치 및 설비의 관리에 있어서 문제점이 있게 된다.
본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 안출된 것으로써, 열 전달 매체로써 액체를 사용하지 않고 기체를 사용하여 캐니스터의 온도를 일정하게 유지하도록 하는 캐니스터 온도 조절 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 캐니스터 온도 조절 장치는, 상기 캐니스터를 감싸도록 설치되어 상기 캐니스터에 공기를 분사하는 에어샤워 몸체; 흡열 또는 발열 반응을 하여 주위 공기를 냉각 또는 가열시키는 열전모듈부; 상기 열전모듈부에 의해 냉각 또는 가열된 공기를 상기 에어샤워 몸체로 유입시켜 공기를 분사하도록 하는 에어 블로어; 상기 에어샤워 몸체와 열전모듈부 및 에어 블로어를 연결하여 공기의 이동 경로를 제공하는 에어덕트: 상기 구성요소들을 감싸도록 설치되며 밀폐구조를 갖는 케이스; 상기 에어샤워 몸체 내부의 공기의 온도를 감지하는 온도감지부; 및, 상기 온도감지부로부터 수신된 정보를 이용하여 상기 열전모듈부를 제어하는 제어기를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 에어샤워 몸체는 다수의 공기분사공이 형성된 내부 몸체와, 상기기 내부 몸체로부터 일정 거리 이격되도록 설치되어 사이에 공간을 형성하도록 하는 외부 몸체를 포함하며, 상기 내부 몸체와 외부 몸체 사이의 공간은 밀폐되도록 형성되며, 상기 외부 몸체의 하부에는 상기 에어덕트와 연통되는 공기유입구가 형성된다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 상기 에어샤워 몸체는, 상하단이 개방되며 다수의 공기분사공이 형성된 내부 몸체; 상하단이 개방되며 상기 내부 몸체로부터 일정 거리 이격되도록 설치되어 사이에 공간을 형성하도록 하는 외부 몸체; 상기 내부 몸체와 외부 몸체 사이의 공간을 밀폐시키도록 상기 내부 몸체와 외부 몸체의 상단에 결합하는 상부플렌지; 및, 상기 내부 몸체와 외부 몸체 사이의 공간을 밀폐시키도록 상기 내부 몸체와 외부 몸체의 하단에 결합하며, 상기 에어덕트와 연통되는 공기유입구가 형성되는 하부플렌지를 포함한다.
상기 내부 몸체 및 외부 몸체는 원통형 구조를 가지며, 상기 공기분사공은 상기 내부 몸체에 균일하게 분포하도록 형성되는 것이 바람직하다.
상기 온도감지부는, 상기 에어샤워 몸체 내부에 설치되어 에어샤워 몸체 내부의 공기 온도를 감지하는 제1 온도센서와, 상기 캐니스터의 표면에 접촉하도록 설치되어 캐니스터 표면의 온도를 감지하는 제2 온도센서를 포함한다.
한편 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 캐니스터 온도 조절 장치는, 상기 케이스 내부에 설치되어 상기 캐니스터의 무게를 감지하는 무게감지부를 더 포함한다. 상기 무게감지부는 상기 캐니스터 하단이 안착하도록 상기 에어샤워 몸체의 하부에 설치되는 지지판과, 상기 지지판과 연결되며 상기 케이스에 고정되는 무게감지센서를 포함하며, 상기 지지판은 공기의 흐름을 막지 않도록 다수의 통기공을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 캐니스터 온도 조절 장치는 캐니스터의 항온 유지를 위해 액체를 사용하지 않고 기체(공기)를 사용함으로써 다음과 같은 효과가 있다. 먼저, 액체 누수 및 증발로 인한 항온 기능 저하 및 성능저하 현상을 해결하여 작업 생산성이 높아지고, 액체를 사용함에 따른 설비관리의 문제점을 해결할 수 있어 결국 제조 공정의 효율을 높일 수 있다. 그리고, 액체의 누수 등으로 인한 전기장치의 안전문제를 해결하는 효과가 있다. 또한 열교환장치 및 전체 장치의 부피를 줄일 수 있고 소비 전력이 작아 에너지 효율이 좋다. 그리고, 비열이 낮은 기체(공기)의 온도를 변화시키므로, 목적 온도 도달까지의 구동시간을 줄일 수 있는 이점이 있다. 한편, 본 발명에 의하면, 무게감지부를 적용함으로써 캐니스터 내부의 액체약액의 잔량을 감지할 수 있어, 액체약액의 부족으로 인한 공정 사고를 예방할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 캐니스터 온도 조절 장치의 개략 구조도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 캐니스터 온도 조절 장치의 구조도,
도 3a 및 도 3b는 도 2의 에어샤워 몸체의 사시도이다.
본 발명의 상기와 같은 목적, 특징 및 다른 장점들은 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명함으로써 더욱 명백해질 것이다. 이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 캐니스터 온도 조절 장치를 상세히 설명하기로 한다.
온도 조절 장치는 캐니스터(버블러)를 일정한 온도로 유지하기 위한 것으로써 그 구체적 구성은 도 2를 참조하면, 장치 외형을 형성하는 케이스(100), 케이스 내부에 설치되는 에어샤워 몸체(110)와 온도감지부(119)와 열전모듈부(120)와 에어 블로어(130)와 에어덕트(140) 및 무게감지부(150), 그리고 케이스(100)와 일체로 또는 별도로 설치되는 제어기를 포함한다.
케이스(100)는 외부와의 공기 유출입을 차단하도록 밀폐된 구조를 가지나, 캐니스터(101)를 넣고 꺼낼 수 있어야 하므로, 케이스(100)의 상단은 개폐가 가능한 덮개가 설치되는 것이 일반적이다. 이 때 덮개로 덮을 경우 케이스의 상단과 접하는 덮개의 내부면에는 단열재 등이 설치되어 밀봉 및 단열의 역할을 충분히 하도록 하는 것이 좋다.
캐니스터(101, 버블러)에는 각종 원료약액이 담겨져 있고, 에어샤워 몸체(110)는 캐니스터(101)를 감싸도록 설치되어 캐니스터(101)에 공기를 분사한다. 도 3a 및 도 3b을 참조하면 본 실시예에 따른 에어샤워 몸체(110)는 내부 몸체(112), 외부 몸체(114), 상부플렌지(116) 및 하부플렌지(117)를 포함한다.
내부 몸체(112)는 상하단이 개방되며 벽면에 다수의 공기분사공(112a)이 형성된다. 그리고, 외부 몸체(114) 역시 상하단이 개방되며 내부 몸체(112)와 일정 거리 이격되도록 설치되어 사이에 공간을 형성하도록 한다. 상부플렌지(116)와 하부플렌지(117)는 내부 몸체(112)와 외부 몸체(114) 사이의 공간을 밀폐시키도록 내부 몸체(112)와 외부 몸체(114)의 상단 및 하단에 각각 결합된다. 그리고, 하부플렌지(117)에는 에어샤워 몸체(110) 내부로 공기가 유입되도록 하는 공기유입구(118)가 형성된다. 본 실시예에서는 상부플렌지(116)와 하부플렌지(117)가 별도 구성요소로 설치되는 것으로 예시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 내부 몸체(112)와 외부 몸체(114) 사이의 공간이 밀폐되어 있는 구조를 가지고 있어, 공기유입구(118)를 통해 유입된 공기가 밖으로 새어나가지 않고 내부 몸체(112)의 공기분사공(112a)을 통해 캐니스터(101) 쪽으로 분사되면 족하다. 이 때, 공기유입구(118)는 외부 몸체(114)의 하부 일측면 또는 내부 몸체(112)와 외부 몸체(114)를 연결하는 면에 형성될 수 있다.
에어샤워 몸체(110)(내부 몸체(112)와 외부 몸체(114)를 포함하는)의 재질은 일반적으로 얇은 금속재질 또는 합성수지 재료인 PVC, ABS 등의 재질이 적용될 수 있다. 캐니스터의 온도 조절 범위가 일반적으로 -10℃ ~ 50℃인 것을 감안한다면 합성수지의 재료를 적용하는 것이 좋다. 금속재질을 적용할 경우 제품의 무게가 감소되며, 가공성이 좋고, 부식 등의 영향을 적게 받는 이점이 있다. 한편, 공기를 열 전달매체로 하므로 에어샤워 몸체(110)는 열 용량이 작은 특성(비열 및 중량이 작고, 열전도성이 낮은 특성)을 갖는 재질로 적용하는 것이 바람직하다.
대부분의 캐니스터(버블러)의 구조는 원기둥의 형상을 기본으로 하므로, 에어샤워 몸체(110) 역시 본 실시예에서와 같이 원기둥의 형상을 갖도록 한다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 에어샤워 몸체(110)의 단면이 사각형 또는 육각형 등 다각형 형상을 가질 수 있으나, 이 경우 공기의 흐름을 원할히 하기 위해 굴곡면이 라운드처리되는 것이 바람직하다. 캐니스터(101)에 균일한 에어 샤워(air shower)가 가능하도록 내부 몸체(112)의 공기분사공(112a)은 내부 몸체 벽면에 전체적으로 균일하게 분포하도록 형성되는 것이 바람직하다.
다시 도 2를 참조하면, 온도감지부(119)는 상기 에어샤워 몸체(110) 내부의 온도를 감지하고, 이 정보를 제어기로 송출한다. 온도감지부(119)는 캐니스터(101)와 내부 몸체(112) 사이에 설치되어 에어샤워 몸체 내부의 공기 온도를 감지하는 제1 온도센서(119a)와, 캐니스터(101)의 표면에 접촉하도록 설치되어 캐니스터(101) 표면의 온도를 감지하는 제2 온도센서(119b)를 포함한다. 보통 제1 온도센서(119a)만으로 구성될 수 있으나, 정밀제어를 위해 제2 온도센서(119b)가 적용될 수 있다. 제어기는 상기 두 온도센서들을 이용하여 에어샤워 몸체(110) 내부 공기의 온도와 캐니스터(101) 표면의 온도의 편차를 인식하여 열전모듈부(120)의 출력을 제어하여 캐니스터(101)의 온도를 일정하게 유지하도록 한다.
열전모듈부(120)는 주위 공기를 냉각 또는 가열시키며, 열전모듈과 열교환부로 구성된다. 열전모듈은 냉각시스템 또는 열펌프로서의 기능을 수행할 수 있게 되는 전자부품이다. 열전모듈은 다수의 열전소자가 배치되어 있어서 제어기의 제어에 의해 미도시된 전원공급부로부터 공급된 전원의 극성 전환에 의해 양측면을 통하여 흡열 또는 방열하게 된다. 열전모듈은 열에너지를 전기에너지로 또는 전기에너지를 열에너지로 직접 변환시킬 수 있는 전자부품으로서, 공급되는 전원의 극성을 제어함에 따라 열전방향을 역전시킴으로써 냉각 또는 가열로의 기능변환이 가능하여 열을 흡열면에서 방열면으로 이동시킬 수 있다. 또한, 공급되는 전압이나 전류를 제어함에 따라 0.05℃ 수준의 정밀한 온도제어도 가능하고, 소자를 가동시키기 위한 구동부분이 없기 때문에 진동 소음이 없으며, 열전반도체의 열전특성으로 이용하므로 냉매를 이용한 냉각시스템과 같은 오염이나 공해가 없는 특징이 있다. 열전모듈의 상세한 구조 및 특징은 본 발명이 속하는 기술분야에서 널리 알려진 사항이므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 열교환부는 열전모듈의 상부면에 접촉하도록 설치되어 공급되는 공기와 열교환하며, 재질은 알루미늄 합금이나 구리 합금 또는 그래핀(graphene) 소재가 적용될 수 있다. 공기와의 열교환효율을 극대화하기 위해 열교환부는 공기가 이동하는 관에 박막핀 구조, 절곡형 박판 등 다양한 구조가 적용될 수 있으며, 본 발명은 어느 특정의 구조에 한정되지 않는다.
한편, 열전모듈부(120)의 저면에는 방열부(125)가 설치되는데, 방열부(125)는 작업 조건 및 환경에 따라 냉각수를 사용하는 수냉식과 방열팬을 사용하는 공냉식 구조를 선택적으로 사용할 수 있으며, 본 발명은 특정 구조에 한정되지 않는다.
한편, 도시되지 않았으나, 열전모듈부(120) 또는 방열부(125)의 저면부 또는 측면부에는 열교환으로 인해 발생되는 응축수가 수용되는 물받이대가 설치될 수 있다. 이 물받이대에 수용되는 응축수는 외부로 배출되지 않고 자연건조된다. 열전모듈부의 열교환으로 인해 발생되는 응축수는 비교적 소량이고 케이스(100) 내부에는 공기가 계속 순환하게 되므로, 응축수는 자연건조되게 된다.
에어 블로어(130)는 일정한 정압을 유지하면서 열전모듈부(120)에 의해 냉각 또는 가열된 공기를 에어샤워 몸체(110)로 공급하여 공기가 내부 몸체(112)의 공기분사공(112a)으로 배출하여 캐니스터(101)의 표면에서 균일하고 연속적인 열교환이 이루어지도록 순환시키는 역할을 한다. 한편, 에어 블로어(130)는 온도의 정밀한 제어를 위해서 모터의 회전속도를 조절할 수 있는 방식이 적용될 수 있으며, 이 경우 제어기와 신호교환 가능하게 연결되어 제어기에 의해 제어된다.
에어덕트(140)는 공기의 이동 경로를 제공하며, 냉각 또는 가열된 공기가 에어샤워 몸체(110)로 유입되도록, 상기 에어샤워 몸체(110)와 열전모듈부(120) 및 에어 블로어(130)를 연결한다.
본 발명에 의하면 상기 에어 블로어(130)와 에어덕트(140)의 위치는 다양하게 변경될 수 있다. 본 발명의 일 실시예인 도 2를 참조하면, 에어 블로어(130)는 공기 흐름상 열전모듈부(120)의 후류에 설치된다. 따라서, 케이스(100) 내부의 공기는 에어 블로어(130)를 거쳐 열전모듈부(120)로 공급되고, 열전모듈부(120)에 의해 가열 또는 냉각된 공기는 에어샤워 몸체(110)로 유입되게 된다. 에어샤워 몸체(110)로 유입된 공기는 빠져나와 캐니스터(101)로 분사되어 캐니스터(101) 표면에서 열교환된 후, 캐니스터(101)와 에어샤워 몸체(110) 사이의 상부 또는 하부 공간으로 빠져나와 케이스(100)의 유로를 거쳐 다시 에어 블로어(130)로 순환한다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 에어 블로어(130)의 위치에 따라 에어덕트(140)의 위치 등은 달라질 수 있다. 예를 들어 에어 블로어(130)는 공기 흐름상 열전모듈부(120)의 상류 즉, 열전모듈부(120)와 에어샤워 몸체(110) 사이에 설치될 수도 있다. 따라서, 열전모듈부(120)에 의해 가열 또는 냉각된 공기는 에어 블로어(130)를 거쳐 에어샤워 몸체(110)로 유입되어 빠져나온 후 캐니스터(101)에서 분사된 후 케이스(100)의 유로를 거쳐 다시 열전모듈부(120)로 순환하게 된다. 이와 같이 에어 블로어(130)와 에어덕트(140)의 위치 등의 변화는 열교환효율과 제어특성 및 제품의 디자인 등을 고려하여 다양하게 설계 변경할 수 있다.
무게감지부(150)는 케이스(100) 내부에 설치되어 캐니스터(101)의 무게를 감지하는데, 캐니스터(101) 하단이 안착하도록 에어샤워 몸체(110)의 하부에 설치되는 지지판(152)과, 상기 지지판(152)과 연결되며 케이스(100)에 고정되게 설치되어 무게를 감지하는 무게감지센서(154)로 구성된다. 상기 지지판(152)은 공기의 흐름을 막지 않도록 다수의 통기공을 갖게 된다.
CVD 또는 MOCVD 공정에서 사용되는 캐니스터(버블러)의 경우 공정의 특성에 따라 여러 가지의 가스가 동시에 사용되며, 서로 다른 특성을 갖는 가스는 각각 서로 다른 반응속도와 소모량을 갖는다. 기존에는 버블러에 충전된 원료약액(source liquid)의 소진량을 정확히 파악할 수 있는 방법이 없어 공정진행 주에 원료약액이 소진되어 반응가스를 만들지 못하게 되는 경우가 발생할 수 있다. 또한 사전에 소요시간을 예측하는 방법을 사용하나 정확성이 떨어지는 문제 등이 있고 다양한 규격의 캐니스터(버블러)에 충전량을 확인할 수 있는 방법이 어렵다.
기존에는 Bath 내부에 액체가 담겨져 있어 무게를 측정할 수 없었으나, 본 발명은 열전달 매체로써 공기를 사용하여 상기 무게감지부(150)를 적용할 수 있다. 이에 의해 초기 캐니스터의 충전상태의 무게를 확인할 수 있고, 사용 중에 감소되는 중량의 변화를 인식할 수 있어 한계치에 근접하기 전 사전에 교환경보를 알려줄 수 있게 된다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니한다. 즉, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자라면 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능하며, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정의 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
100. 케이스 101. 캐니스터
110. 에어샤워 몸체 112. 내부 몸체
114. 외부 몸체 119. 온도감지부
120. 열전모듈부 130. 에어 블로어
140. 에어덕트 150. 무게감지부

Claims (7)

  1. 캐니스터를 일정한 온도로 유지하기 위한 온도 조절 장치에 있어서,
    상기 캐니스터를 감싸도록 설치되어 상기 캐니스터에 공기를 분사하는 에어샤워 몸체;
    흡열 또는 발열 반응을 하여 주위 공기를 냉각 또는 가열시키는 열전모듈부;
    상기 열전모듈부에 의해 냉각 또는 가열된 공기를 상기 에어샤워 몸체로 유입시켜 공기를 분사하도록 하는 에어 블로어;
    상기 에어샤워 몸체와 열전모듈부 및 에어 블로어를 연결하여 공기의 이동 경로를 제공하는 에어덕트:
    상기 에어샤워 몸체 내부의 공기의 온도를 감지하는 온도감지부;
    상기 에어샤워 몸체, 열전모듈부, 에어 블로어 및 에어덕트를 감싸도록 설치되며 밀폐구조를 갖는 케이스;
    상기 케이스 내부에 설치되어 상기 캐니스터의 무게를 감지하는 무게감지부; 및,
    상기 온도감지부로부터 수신된 정보를 이용하여 상기 열전모듈부 및 에어 블로어를 제어하는 제어기를 포함하며,
    상기 에어샤워 몸체는 다수의 공기분사공이 벽면에 균일하게 분포하도록 형성된 내부 몸체와, 상기 내부 몸체로부터 일정 거리 이격되도록 설치되어 사이에 공간을 형성하도록 하는 외부 몸체를 포함하며, 상기 내부 몸체와 외부 몸체 사이의 공간은 밀폐되도록 형성되며, 상기 외부 몸체의 하부에는 상기 에어덕트와 연통되는 공기유입구가 형성되며,
    상기 무게감지부는 상기 캐니스터 하단이 안착하도록 상기 에어샤워 몸체의 하부에 설치되는 지지판과, 상기 지지판과 연결되며 상기 케이스에 고정되는 무게감지센서를 포함하며, 상기 지지판은 공기의 흐름을 막지 않도록 다수의 통기공을 갖는 것을 특징으로 하는 캐니스터 온도 조절 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 에어샤워 몸체는,
    상하단이 개방되며 다수의 공기분사공이 형성된 내부 몸체;
    상하단이 개방되며 상기 내부 몸체로부터 일정 거리 이격되도록 설치되어 사이에 공간을 형성하도록 하는 외부 몸체;
    상기 내부 몸체와 외부 몸체 사이의 공간을 밀폐시키도록 상기 내부 몸체와 외부 몸체의 상단에 결합하는 상부플렌지; 및,
    상기 내부 몸체와 외부 몸체 사이의 공간을 밀폐시키도록 상기 내부 몸체와 외부 몸체의 하단에 결합하며, 상기 에어덕트와 연통되는 공기유입구가 형성되는 하부플렌지를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터 온도 조절 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 내부 몸체 및 외부 몸체는 원통형 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 캐니스터 온도 조절 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 온도감지부는,
    상기 에어샤워 몸체 내부에 설치되어 에어샤워 몸체 내부의 공기 온도를 감지하는 제1 온도센서와, 상기 캐니스터의 표면에 접촉하도록 설치되어 캐니스터 표면의 온도를 감지하는 제2 온도센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터 온도 조절 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
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