KR20140123879A - 캐니스터용 칠러 - Google Patents

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Abstract

상부가 개방된 함체형상의 트레이; 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되게 상기 트레이에 삽입되며 내부에 캐니스터가 수용되는 내부케이싱; 및 상기 내부케이싱과 상기 트레이 사이에 배치되며 상기 내부케이싱으로부터 배출되는 냉각수를 집수하는 배수함;을 포함하는 캐니스터용 칠러가 개시되며, 이에 의하여 트레이 표면에 결로가 발생되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

Description

캐니스터용 칠러{CHILLER FOR CANISTER}
본 발명은 캐니스터용 칠러에 관한 것이다.
캐니스터는 반도체 및 전재재료와 관련된 제조공정에서 사용되는 유기 및 무기금속 화합물을 보관하는 용기이다. 유기 및 무기금속 화합물 등의 상당수는 고가의 특별히 고안된 고순도 화합물로서, 이러한 대부분의 전구체는 공기 또는 수분에 매우 민감하므로 캐니스터는 밀폐성과 내화학성을 갖춘 금속제 보관용기로 구비된다.
캐니스터는 내부에 저장된 유기 및 무기금속 화합물의 보관을 위해 일정 온도로 유지될 필요가 있다. 이를 위해 캐니스터를 냉각시키는 칠러가 사용된다.
칠러는 내부에 캐니스터를 수용한 후, 냉각수를 순환시켜 캐니스터를 냉각시킨다. 칠러는 등록특허 제10-0773474호 "반도체 제조장비의 칠러 시스템"에 개시된 바 있다.
도 1은 종래 칠러(10)의 단면구성을 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이 칠러(10)는 트레이(11)와, 트레이(11) 내부에 삽입되며 캐니스터(20)가 수용되는 내부케이싱(13)을 포함한다. 화살표로 도시된 바와 같이 유입관(15)을 통해 유입된 냉각수는, 내부케이싱(13)과 케이스터(20) 사이에서 유동된 후, 배출관(17)을 통해 배출된다.
그런데, 칠러(10)는 내부케이싱(13)으로부터 배출된 냉각수가 트레이11)와 내부케이싱(13) 사이의 공간(S1)에 집수된 후 배출관(17)으로 배출된다. 이 때, 냉각수의 온도와 외부 대기의 온도는 서로 차이가 있으므로 트레이(11)의 외벽에 결로가 발생되어 이슬(M)이 맺히는 문제가 있었다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 트레이 외벽에 이슬이 발생되는 것을 예방할 수 있는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 커버와 실링부재의 결합구조를 개선하여 냉각수의 외부 누설을 차단할 수 있는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐니스터와 트레이를 고정시켜 캐니스터의 유동을 방지할 수 있는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 커버 상면에 발생되는 이슬을 집수하여 이슬이 바닥으로 흘러내리는 것을 방지할 수 있는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 본 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상부가 개방된 함체형상의 트레이; 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되게 상기 트레이에 삽입되며 내부에 캐니스터가 수용되는 내부케이싱; 및 상기 내부케이싱과 상기 트레이 사이에 배치되며 상기 내부케이싱으로부터 배출되는 냉각수를 집수하는 배수함;을 포함하는 캐니스터용 칠러가 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 배수함은 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되어 있을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 배수함과 상기 트레이의 내벽면 사이의 이격 공간에는 단열층이 존재할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 트레이를 관통하여 상기 배수함과 연결되어 있고, 상기 내부케이싱으로부터 배출되는 모든 냉각수는 상기 배수함에 집수된 후에, 상기 냉각수 배출관을 통해서 외부로 배출되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 배수함은 상기 내부케이싱을 둘러싸는 링 형상을 가진 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고, 상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고, 상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 내부케이싱의 바닥에는, 상기 캐니스터의 하부에 원주방향으로 일정길이 연장된 잠금바와 결합될 수 있는 잠금스커트가 형성되어 있는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐니스터용 칠러는, 상기 트레이와 상기 내부케이싱의 상부에 고정결합되는 상부실링부, 상기 상부실링부의 상면에 착탈가능하게 결합되는 착탈실링부재; 상기 착탈실링부재의 상부에 결합되며 상기 착탈실링부재를 가압하여 상기 냉각수의 외부 유출을 방지하는 실링커버;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부실링부의 상면에는 상기 착탈실링부재가 안착되는 안착면이 일정높이 단차지게 함몰 형성되고, 상기 실링커버의 하부에는 반경방향 내측에서 외측으로 갈수록 길이가 길어지도록 돌출형성되어 상기 착탈실링부재를 가압하는 가압경사돌기가 구비된 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 실링커버의 상면에는 외주연을 따라 트렌치형상으로 일정 깊이 함몰형성되어 이슬이 저수되는 이슬수용홈이 형성되고, 상기 트레이의 상부 외주면에는 상기 이슬수용홈의 이슬을 수용할 수 있는 제습포켓이 결합되어 있는 것일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐니스터용 칠러는, 일단부는 상기 이슬수용홈에 배치되고 타단부는 상기 제습포켓에 착탈가능하게 결합되는 포켓연결관을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 하나 이상의 실시예에 따르면, 캐니스터용 칠러의 외부에 결로가 발생되는 것을 예방할 수 있다.
또한, 본 발명에 하나 이상의 실시예에 따르면, 실링커버의 상면에 발생되는 결로에 의한 이슬은 이슬수용홈에 수용한 후 별도의 제습포켓으로 배출되므로, 이슬이 바닥으로 흘러내리는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 하나 이상의 실시예에 따르면, 실링커버의 가압경사돌기의 경사면이 착탈실링부재를 가압하므로, 냉각수의 외부 누설을 효과적으로 차단할 수 있다.
또한, 본 발명에 하나 이상의 실시예에 따르면, 내부케이싱의 하부에 캐니스터의 회전을 방지할 수 있는 잠금스커트를 구비하여 캐니스터의 위치를 안정적으로 고정시킬 수 있다.
도 1은 종래 캐니스터용 칠러의 단면구성을 도시한 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러의 외부 구성을 도시한 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러의 구성을 분해하여 도시한 분해사시도,
도 4는 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러의 단면구성과 냉각수의 이동경로를 도시한 단면도, 그리고
도 5는 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러의 상부 실링구조를 확대도시한 확대도이다.
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐니스터용 칠러(100)의 외부구성을 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐니스터용 칠러(100)의 구성을 분해하여 도시한 분해사시도이고, 도 4는 캐니스터용 칠러(100)의 단면구성과 냉각수의 유동흐름을 도시한 단면도이고, 도 5는 캐니스터용 칠러(100)의 상부실링구조를 확대하여 도시한 확대단면도이다.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러(100)는 내부에 캐니스터(200)를 수용하고, 냉각수를 순환시켜 캐니스터(200)를 일정온도로 냉각시킨다. 이 때, 캐니스터용 칠러(100)에는 도면에 도시되지 않았으나 냉각수를 순환시키기 위한 순환펌프(미도시) 등이 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 캐니스터용 칠러(100)는 함체형상의 트레이(110)와, 트레이(110) 내부에 배치되며 캐니스터(200)가 수용되는 내부케이싱(120)과, 트레이(110)와 내부케이싱(120) 사이에 배치되는 배수함(130)과, 내부케이싱(120)으로 냉각수를 유입시키는 유입관(140)과, 배수함(130)의 냉각수를 외부로 배출시키는 배출관(145)과, 트레이(110)와 내부케이싱(120)의 상부에 결합되는 상부실링부(150)와, 상부실링부(150)에 착탈가능하게 배치되는 착탈실링부재(160)와, 착탈실링부재(160)의 상부에 결합되는 실링커버(170)와, 트레이(110)의 외주면에 결합되어 실링커버(170)에 발생되는 이슬을 집수하는 제습포켓(180)을 포함할 수 있다.
트레이(110)는, 예를 들면, 일정 직경을 갖는 원통형태로 형성되어 내부에 내부케이싱(120)과 캐니스터(200)를 수용할 수 있다. 트레이(110)는, 트레이본체(111)와, 트레이본체(111)와 내부케이싱(120)을 연결하는 내부유입관(113)과, 트레이(110)의 하부에 결합되는 이동함(115)을 포함할 수 있다.
트레이본체(111)는 냉각수의 유출입이 안정적으로 이루어지고, 캐니스터(200)가 안정적으로 수용되도록 지지할 수 있다. 트레이본체(111)의 하부에는 유입관(140)이 결합되고, 상부에는 배출관(145)이 결합된다. 유입관(140)은 내부유입관(113)과 연결된다. 내부유입관(113)은 내부케이싱(120)의 바닥면의 유입공(122)과 연결되어 냉각수를 내부케이싱(120)으로 공급할 수 있다.
이동함(115)은, 예를 들면, 트레이(110)의 하부에 결합되어 트레이(110)가 이동되도록 지지한다. 이동함(115)의 하부에는 복수개의 바퀴(116)가 결합될 수 있다.
트레이본체(111)의 상부에는 결합판(118)이 구비되어 내부케이싱(120)과 트레이본체(111)를 결합시킨다. 결합판(118)의 상면에는 상부실링부(150)가 결합된다.
내부케이싱(120)은 트레이(110) 내부에 일정간격 이격되게 삽입된다. 내부케이싱(120)의 내부에는 캐니스터(200)가 수용되는 수용공간이 형성된다. 내부케이싱(120)은, 예를 들면, 트레이본체(111) 내부에 삽입되는 내부케이싱본체(121)와, 내부케이싱본체(121)의 내벽면에 관통형성되어 냉각수를 배수함(130)으로 유출시키는 오버플로우홈(123)과, 내부케이싱본체(121)의 바닥면에 형성된 복수개의 잠금스커트(125)를 포함할 수 있다.
내부케이싱본체(121)는 내부에 캐니스터(200)를 수용하며, 내부케이싱본체(12)와 캐니스터(200)의 사이에 존재하는 냉각수가 유동됨으로써, 캐니스터(200)와 냉각수간에 열교환이 이루어지도록 한다. 내부케이싱본체(121)는 외경이 트레이본체(111)와 일정간격 이격되게 배치된다.
내부케이싱본체(121)와 트레이본체(111) 사이의 이격공간에는 단열재(A)가 삽입된다. 단열재(A)는 냉각수의 온도가 트레이(110) 외벽면으로 전달되는 것을 차단함으로써, 트레이(110) 외벽면에 결로가 발생되는 것을 차단하는데 기여한다.
내부케이싱본체(121)와 트레이본체(111) 사이의 이격거리(L2)는 냉각수의 온도를 고려하여 가감될 수 있다. 또한, 내부에 삽입되는 단열재(A)의 종류도 냉각수의 온도에 따라 선택될 수 있다. 또한, 대안적 실시예에 따르면, 별도의 단열재(A)의 삽입 없이 공기층에 의해 단열의 효과를 구현할 수도 있다.
내부케이싱본체(121)의 내경은 캐니스터(200)의 외경에 비해 일정길이(d1)만큼 크게 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 내부케이싱본체(121)는 캐니스터(200)의 외경에 비해 1mm 만큼 크게 형성된다. 캐니스터(200)의 외경과 내부케이싱본체(121) 내경사이의 이격공간으로 냉각수가 유동되며 캐니스터(200)와 열교환하게 된다.
오버플로우홈(123)은 내부케이싱본체(121)의 상부 내벽면에 관통형성된다. 오버플로우홈(123)은 캐니스터(200)와 열교환된 냉각수를 배수함(130)으로 배출시킨다. 냉각수는 상부실링블럭(151)에 의해 상부로 이동되는 것이 차단되어 오버플로우홈(123)으로 오버플로우되게 된다.
본 실시예에서, 오버플로우홈(123)은 도 3에 도시된 바와 같이 역삼각형 형태로 형성될 수 있다. 이처럼 오버플로우홈(123)은 상부에서 하부로 갈수록 단면적이 좁아지게 형성됨으로써 오버플로우홈(123)을 통해서 냉각수가 배수함(130)으로 이동될 때 와류가 발생되는 것이 줄어들게 된다.
잠금스커트(125)는 내부케이싱본체(121)에 수용된 캐니스터(200)의 위치가 고정되도록 한다. 잠금스커트(125)는 도 4에 확대도시된 바와 같이 내부케이싱본체(121)의 하부 측벽에 돌출형성된다. 잠금스커트(125)는 측벽으로부터 반경방향 내측으로 돌출형성된 단부영역(125a)가 수직방향으로 절곡형성된다. 이에 의해 단부영역(125a)와 측벽 사이에 캐니스터(200)의 잠금바(210)가 삽입되는 결합홈(125b)이 형성될 수 있다.
캐니스터(200)의 하부 측벽(211)에는 내주연을 따라 돌출형성된 잠금바(210)가 결합되어 있을 수 있다. 잠금바(210)의 단부에는 단차지게 돌출형성된 잠금돌기(210a)가 형성될 수 있다. 잠금돌기(210a)의 돌출길이는 결합홈(125b)의 폭보다 크게 형성될 수 있다. 이에 따라 작업자가 캐니스터(200)를 내부케이싱(120)에 삽입하면 캐니스터(200)의 측벽(211)이 잠금스커트(125)의 결합홈(125b)에 삽입되게 된다. 그리고, 캐니스터(200)를 회전시키면 결합홈(125b)으로 잠금바(210)가 삽입되고 잠금돌기(210a)가 단부영역(125a)에 접촉되며 회전이 제한되게 된다.
이에 의해 캐니스터(200)와 내부케이싱(120)의 위치가 고정되어 내부케이싱(120)에 냉각수가 유입되더라도 안정적으로 냉각수와 캐니스터(200)의 열교환이 이루어질 수 있다.
배수함(130)은 트레이(110)와 내부케이싱(120) 사이에 개재되어 냉각수를 집수한 후 배출관(145)으로 배출시킨다. 배수함(130)은 링 형상으로 형성되며, 오버플로우홈(123)에 대응되는 내부케이싱(120)의 외벽면을 둘러싸는 형태로 결합된다. 이때, 배수함(130)의 폭은 트레이(110)의 내벽면과 일정간격 이격되도록 형성된다. 이에 의해 배수함(130)과 트레이(110)의 내벽면 사이에 단열재(A)가 삽입될 수 있다.
배수함(130)이 트레이(110)와 내부케이싱(120) 사이에 별도로 구비되고, 냉각수가 배수함(130)을 통해 배출관(145)으로 배출되므로 도 1에 도시된 종래 칠러(10)와 비교할 때 냉각수가 트레이(110)와 직접 접촉되는 것이 차단된다. 또한, 배수함(130)과 트레이(110)사이에 단열재(A)가 배치되므로 트레이(110) 외벽면에 결로가 발생되는 것이 차단할 수 있다.
유입관(140)은 트레이(110)의 외측에 결합되어 냉각수를 트레이(110) 내부로 유입시킨다. 유입관(140)은 내부유입관(113)과 연결되어 냉각수를 공급한다.
배출관(145)은 배수함(130)과 연결되어 열교환이 완료된 냉각수를 외부로 배출시킨다. 배출관(145)은 배수함(130)의 연결관(135)에 의해 연결된다.
도 5는 본 발명의 캐니스터 칠러(100)의 상부실링구조를 확대하여 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이 상부실링부(150)는 트레이(110)와 내부케이싱(120)의 상부에 위치되어 냉각수의 외부 누설을 차단할 수 있다. 상부실링부(150)는 결합판(118) 상부에 일체로 결합되는 상부실링블럭(151)과, 상부실링블럭(151)과 결합판(118) 사이에 배치되는 복수개의 하부실링부재(153)를 포함한다.
상부실링블럭(151)은 결합판(118)에 고정결합된다. 하부실링부재(153)는 결합판(118)과 상부실링블럭(151) 사이에 고정결합되어 측방향(즉, 캐니스터 칠러(100)의 중심으로부터 외부로 방사되는 방향)으로의 냉각수의 누설을 차단한다. 하부실링부재(153)는 예를 들면 O링으로 구현될 수 있다.
상부실링블럭(151)의 내측 외주면에는 일정높이 단차지게 함몰 형성된 안착면(157)이 일정면적 형성된다. 안착면(157)에는 착탈실링부재(160)가 안착될 수 있다.
상부실링블럭(151)의 외측 외주면에는 안착면(157)과 간섭이 발생되지 않도록 체결부재삽입홈(155)이 일정 간격으로 형성된다. 체결부재삽입홈(155)에 체결부재(179)가 삽입되어 상부실링블럭(151)과 실링커버(170)의 위치가 고정된다.
착탈실링부재(160)는 상부실링부(150)에 착탈가능하게 결합된다. 착탈실링부재(160)는 안착면(157)에 안착되고, 실링커버(170)의 가압에 의해 안착면(157)에 밀착되며 냉각수의 외부 누설을 차단하게 된다. 착탈실링부재(160)도 O링의 형태로 구현될 수 있다.
실링커버(170)는 상부실링부(150)의 상부에 결합될 수 있다. 실링커버(170)는 상부실링부(150)의 상부에서 하부방향으로 가압하여 착탈실링부재(160)가 상부실링부(150)에 밀착되도록 한다. 실링커버(170)는 실링커버본체(171)와, 실링커버본체(171)의 외주연에 함몰형성된 이슬수용홈(173)과, 이슬수용홈(173)과 제습포켓(180)을 연결하는 포켓연결관(175)과, 실링커버(170)의 하부에 돌출되어 착탈실링부재(160)를 가압하는 가압경사돌기(177)를 포함한다.
실링커버본체(171)는 링 형상으로 형성되어 상부실링부(150)의 상부를 커버한다. 이슬수용홈(173)은 실링커버본체(171)의 외주연을 따라 트렌치형상으로 일정깊이 함몰 형성될 수 있다.
트레이(110)와 내부케이싱(120) 사이에는 단열재(A)가 삽입되나 상부실링부(150)와 실링커버(170) 사이에는 단열재(A)가 삽입되지 않아 냉각수와 실온의 온도차이에 의해 실링커버본체(171) 상면에는 결로가 발생될 수 있다. 이슬수용홈(173)은 실링커버본체(171)에 대해 일정깊이 단차지게 형성되어 있으므로, 결로에 의해 생성된 이슬이 집수된다. 이슬수용홈(173)이 존재함으로써, 이슬이 실링커버(170)를 따라 이동한 후 바닥으로 낙하하는 것을 방지할 수 있다
포켓연결관(175)의 일단부는 이슬수용홈(173)에 배치되고 타단부는 제습포켓(180)에 착탈가능하게 결합된다. 이슬수용홈(173)에 수용된 이슬은, 포켓연결관(175)을 통해서 제습포켓(180)으로 이동된다.
가압경사돌기(177)는 실링커버본체(171)의 하부로 돌출형성된다. 이 때, 가압경사돌기(177)는 실링커버본체(171)의 내측경계영역에서 반경방향 외측으로 착탈실링부재(160)의 직경만큼 이격되어 배치된다. 또한, 가압경사돌기(177)는 반경방향 외측으로 점차 길이가 길어지도록 경사지게 형성된다.
이러한 가압경사돌기(177)의 형상에 의해 실링커버(170)가 체결부재(179)에 의해 상부실링부(150)로 가압되면 착탈실링부재(160)가 가압경사돌기(177)의 경사면과 결합판(118) 사이에 밀착되어 실링력이 향상될 수 있다. 또한, 가압경사돌기(177)가 안착면(157)에 접촉되므로 냉각수의 유출이 보다 효과적으로 방지될 수 있다.
제습포켓(180)은 트레이(110)의 상부 외벽에 결합되어 실링커버(170)에서 발생된 이슬을 내부에 수용한다.
제습포켓(180)은, 예를 들면, 내부에 이슬을 수용할 수 있는 챔버를 가진 포켓본체(181)와, 포켓본체(181)의 일측에 형성되어 이슬의 수위를 표시하는 레벨게이지(185)와, 포켓본체(181)의 외부로 이슬을 배출시키는 이슬배출관(187)을 포함할 수 있다.
포켓본체(181)는, 예를 들면, 트레이(110)의 외벽에 결합된다. 포켓본체(181)의 상부에는 포켓연결관(175)이 결합되는 이슬유입공(183)이 형성된다. 이에 의해 이슬이 포켓본체(181) 내부로 유입된다.
레벨게이지(185)의 수위를 육안으로 확인하고 관리자가 이슬배출관(187)을 개폐시켜 이슬을 외부로 배출시킨다.
이러한 구성을 갖는 본 발명에 따른 캐니스터용 칠러(100)의 사용과정을 도 2 내지 도 5를 참조하여 설명한다.
먼저, 내부케이싱(120)으로 캐니스터(200)를 삽입한다. 이 때, 착탈실링부재(160)와 실링커버(170)는 트레이(110)로부터 분리된 상태이다. 캐니스터(200)를 내부케이싱(120)으로 삽입한 후, 도 4에 확대도시된 바와 같이 캐니스터(200)의 측벽(211)이 잠금스커트(125)의 결합홈(125b)으로 삽입되도록 배치하고 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킨다.
회전에 의해 잠금바(210)가 결합홈(125b)으로 삽입되고, 잠금돌기(210a)가 단부영역(125a)과 접촉됨으로써, 캐니스터(200)의 움직임이 제한되게 된다. 따라서, 냉각수의 유출입에 의한 열교환 과정 중에 캐니스터(200)의 위치가 안정적으로 고정되게 된다.
한편, 캐니스터(200)는 착탈실링부재(160)가 외주면에 결합된 상태로 내부케이싱(120)에 삽입된다. 캐니스터(200)의 삽입에 따라 착탈실링부재(160)는 상부실링블럭(151)의 안착면(157)에 안착되게 된다.
캐니스터(200)의 위치가 고정되면 실링커버(170)를 착탈실링부재(160)의 상부에 배치한다. 그리고, 복수개의 체결부재(179)를 체결하여 실링커버(170)를 상부실링블럭(151)에 고정시킨다. 이 때, 가압경사돌기(177)가 가압력에 의해 착탈실링부재(160)를 가압하여 상부실링블럭(151)과 실링커버(170) 사이의 실링력이 높아지게 되고, 냉각수의 외부 유출이 이중으로 차단되게 된다.
실링커버(170)의 결합이 완료되면, 포켓연결관(175)을 제습포켓(180)에 연결한다. 이렇게 캐니스터(200)와 캐니스터용 칠러(100)의 결합이 완료되면, 냉각수를 내부케이싱(120)으로 유입시킨다.
유입관(140)과 내부유입관(113)을 통해 냉각수는 도 4에 화살표로 도시된 바와 같은 경로를 통해 내부케이싱(120)으로 유입된다. 내부케이싱(120)의 내벽과 캐니스터(200) 사이의 이격공간을 따라 냉각수는 이동하여 오버플로우홈(123)을 통해 배수함(130)으로 집수된다. 배수함(130)에 집수된 냉각수는 연결관(135)과 배출관(145)을 통해 외부로 배출된다.
이 때, 냉각수의 이동시에 내부케이싱(120)과 트레이(110) 사이의 이격공간에는 단열재(A)가 삽입되어 외부 공기와 냉각수의 접촉이 차단된다. 따라서, 트레이(110) 외벽면은 외부 공기의 온도와 동일 또는 거의 동일하게 유지되므로 결로가 발생되지 않게 된다.
또한, 배수함(130)도 트레이(110)의 내벽면과 이격되게 배치되고, 그 사이에 단열재(A)가 삽입되므로 트레이(110) 전영역에 걸쳐 결로가 발생되지 않게 된다.
실링커버(170)의 표면에는 냉각수와 공기의 온도 차이에 의해 결로가 발생된다. 결로에 의해 생성된 이슬은 단차지게 형성된 이슬수용홈(173)에 모이게 된다. 이슬수용홈(173)에 이슬이 일정높이 모이게 되면 포켓연결관(175)에 의해 제습포켓(180)으로 이동된다. 제습포켓(180)에 수용된 이슬은 이슬배출관(145)에 의해 외부로 배출된다.
이상에서 설명된 본 발명의 캐니스터용 칠러의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
100 : 캐니스터용 칠러 110 : 트레이
111 : 트레이본체 113 : 내부유입관
115 : 이동함 116 : 바퀴
118 : 결합판 120 : 내부케이싱
121 : 내부케이싱본체 122 : 유입공
123 : 오버플로우홈 125 : 잠금스커트
125a : 단부영역 125b : 결합홈
130 : 배수함 135 : 연결관
140 : 유입관 145 : 배출관
150 : 상부실링부 151 : 상부실링블럭
153 : 하부실링부재 155 : 체결부재삽입홈
157 : 안착면 160 : 착탈실링부재
170 : 실링커버 171 : 실링커버본체
173 : 이슬수용홈 175 : 포켓연결관
177 : 가압경사돌기 179 : 체결부재
180 : 제습포켓 181 : 포켓본체
183 : 이슬유입구 185 : 레벨게이지
187 : 이슬배출관 200 : 캐니스터
210 : 잠금바 210a : 잠금돌기
A : 단열재

Claims (19)

  1. 상부가 개방된 함체형상의 트레이;
    상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되게 상기 트레이에 삽입되며 내부에 캐니스터가 수용되는 내부케이싱; 및
    상기 내부케이싱과 상기 트레이 사이에 배치되며 상기 내부케이싱으로부터 배출되는 냉각수를 집수하는 배수함;을 포함하는 캐니스터용 칠러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 배수함은 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 배수함과 상기 트레이의 내벽면 사이의 이격 공간에는 단열층이 존재하는 것인, 캐니스터용 칠러.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 트레이를 관통하여 상기 배수함과 연결되어 있고,
    상기 내부케이싱으로부터 배출되는 모든 냉각수는 상기 배수함에 집수된 후에, 상기 냉각수 배출관을 통해서 외부로 배출되는 것인, 캐니스터용 칠러.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 배수함은 상기 내부케이싱을 둘러싸는 링 형상을 가진 것인, 캐니스터용 칠러.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고,
    상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것인, 캐니스터용 칠러.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고,
    상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것인, 캐니스터용 칠러.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 내부케이싱의 바닥에는, 상기 캐니스터의 하부에 원주방향으로 일정길이 연장된 잠금바와 결합될 수 있는 잠금스커트가 형성되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 트레이와 상기 내부케이싱의 상부에 고정결합되는 상부실링부,
    상기 상부실링부의 상면에 착탈가능하게 결합되는 착탈실링부재;
    상기 착탈실링부재의 상부에 결합되며 상기 착탈실링부재를 가압하여 상기 냉각수의 외부 유출을 방지하는 실링커버;를 더 포함하는 것인 캐니스터용 칠러.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 상부실링부의 상면에는 상기 착탈실링부재가 안착되는 안착면이 일정높이 단차지게 함몰 형성되고,
    상기 실링커버의 하부에는 반경방향 내측에서 외측으로 갈수록 길이가 길어지도록 돌출형성되어 상기 착탈실링부재를 가압하는 가압경사돌기가 구비된 것인, 캐니스터용 칠러.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 실링커버의 상면에는 외주연을 따라 트렌치형상으로 일정 깊이 함몰형성되어 이슬이 저수되는 이슬수용홈이 형성되고,
    상기 트레이의 상부 외주면에는 상기 이슬수용홈의 이슬을 수용할 수 있는 제습포켓이 결합되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  12. 제11항에 있어서,
    일단부는 상기 이슬수용홈에 배치되고 타단부는 상기 제습포켓에 착탈가능하게 결합되는 포켓연결관을 더 포함하는 것인, 캐니스터용 칠러.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 트레이와 상기 내부케이싱의 상부에 고정결합되는 상부실링부;
    상기 착탈실링부재의 상부에 결합되는 실링커버; 및
    상기 실링커버에 생긴 이슬을 수용할 수 있는 제습포켓;을 더 포함하는 것인, 캐니스터용 칠러.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제습포켓은 상기 트레이의 상부 외주면에 결합되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 상부실링부의 상면에 착탈가능하게 결합되는 착탈실링부재;를 더 포함하며,
    상기 실링커버가 상기 착탈실링부재를 가압하는 것인, 캐니스터용 칠러.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 실링커버의 상면에는 외주연을 따라 트렌치형상으로 일정 깊이 함몰형성되어 이슬이 저수되는 이슬수용홈이 형성되어 있고,
    상기 이슬수용홈과 상기 제습포켓은 포켓 연결관에 의해 연결되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 배수함은 상기 트레이의 내벽면과 일정 간격 이격되어 있는 것인, 캐니스터용 칠러.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 트레이를 관통하여 상기 배수함과 연결되어 있고,
    상기 내부케이싱으로부터 배출되는 모든 냉각수는 상기 배수함에 집수된 후에, 상기 냉각수 배출관을 통해서 외부로 배출되는 것인, 캐니스터용 칠러.
  19. 제13항에 있어서,
    상기 내부케이싱의 상부 내측면에는, 상기 배수함과 연통된 역삼각형 형상의 오버플로우홈이 일정 간격으로 복수개 형성되고,
    상기 내부케이싱에서 유동하는 냉각수는 상기 오버플로우홈을 통해서 상기 집수함으로 이동되는 것인, 캐니스터용 칠러.
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