WO2014168109A1 - 磁気バネ装置 - Google Patents

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WO2014168109A1
WO2014168109A1 PCT/JP2014/060082 JP2014060082W WO2014168109A1 WO 2014168109 A1 WO2014168109 A1 WO 2014168109A1 JP 2014060082 W JP2014060082 W JP 2014060082W WO 2014168109 A1 WO2014168109 A1 WO 2014168109A1
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WO
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yoke portion
magnetic
spring device
mover
magnetic spring
Prior art date
Application number
PCT/JP2014/060082
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English (en)
French (fr)
Inventor
上運天　昭司
光晴 田中
Original Assignee
アズビル株式会社
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F6/00—Magnetic springs; Fluid magnetic springs, i.e. magnetic spring combined with a fluid
    • F16F6/005—Magnetic springs; Fluid magnetic springs, i.e. magnetic spring combined with a fluid using permanent magnets only

Definitions

  • the present invention relates to a magnetic spring device that uses a magnetic attractive force as a magnetic spring force.
  • Patent Document 1 shows a magnetic spring 300 as shown in FIG. 29A and FIG. 29A is an axial cross-sectional view, and FIG. 29B is a view of FIG. 29A viewed from the X direction.
  • the magnetic spring 300 includes a movable shaft 302 that is movable in the axial direction by bearings 301, 301, a movable inner cylinder 303 that is fixed to the movable shaft 302, and a fixed shaft that is disposed coaxially with the movable shaft 303.
  • the outer cylinder 304 is formed with a permanent magnet, and the outer cylinder 304 is formed with a magnetic material.
  • a configuration in which the inner cylinder 303 is a magnetic body and the outer cylinder 304 is a permanent magnet is shown as another example.
  • Patent Document 2 shows a spring constant variable type magnetic spring device 400 whose configuration is shown in FIG.
  • This spring constant variable magnetic spring device 400 includes a mover 403 composed of a permanent magnet 401 and a ferromagnetic body 402, and stators 406 and 406 composed of a coil 404 and a ferromagnetic body 405, and includes a magnetic spring. It includes a magnetic circuit that can adjust the spring force.
  • This magnetic circuit generates a spring force of a magnetic spring by a magnetic attraction force by the permanent magnet 401, and the amount of magnetic flux flowing from the mover 403 to the stator 406 is changed to a current flowing through the coil 404 or the mover 403 and the stator.
  • the spring force of the magnetic spring can be adjusted by changing the size of the gap with 406 or replacing the permanent magnet 401 with one having a different coercive force.
  • the magnetic spring described in Patent Document 1 has a problem that the spring force cannot be adjusted. Further, in the spring constant variable magnetic spring device described in Patent Document 2, when a coil current is used for adjusting the spring force, electric power is always required and heat is generated.
  • FIG. 32 The spring constant variable type magnetic spring device described in Patent Document 2 is shown in FIG. 32 in which the name of the device is shown as “spring constant variable type” and the characteristics shown in FIG. 3 of Patent Document 2 are transcribed.
  • spring constant variable type the name of the device
  • FIG. 3 of Patent Document 2 the characteristics shown in FIG. 3 of Patent Document 2 are transcribed.
  • the present invention has been made to solve such a problem.
  • the object of the present invention is to have a constant force region in which the spring force is substantially constant with respect to displacement, and to change the magnitude of the spring force. It is another object of the present invention to provide a magnetic spring device that does not require electric power. More preferably, it is to provide a magnetic spring device in which the range of the constant force region is widened.
  • the present invention provides a magnetic spring device that uses a magnetic attraction force as a magnetic spring force, and includes a first yoke portion and a second yoke portion having opposing surfaces facing each other at a distance. And a connecting yoke portion that magnetically connects the first yoke portion and the second yoke portion to form a magnetic path between the first yoke portion and the second yoke portion. Between the first yoke portion and the second yoke portion, between the first yoke portion and the second yoke portion, between the opposed surface of the opposed yoke portion.
  • a movable magnet comprising a permanent magnet having at least a pair of magnetic poles at positions opposite to each other across the movable shaft. And a pair between the first yoke portion and the mover Distance and the second yoke portion and the facing distance between the movable element, characterized in that it comprises a distance adjusting means for enabling adjustment.
  • the connecting yoke portion serves as a magnetic path between the first yoke portion and the second yoke portion of the opposing yoke portion, and the space between the first yoke portion and the second yoke portion of the opposing yoke portion is between Magnetically connected.
  • the magnetic flux emitted from one of the magnetic poles of the mover enters the first yoke portion of the opposing yoke portion,
  • the first yoke portion passes through the connecting yoke portion, enters the second yoke portion of the opposing yoke portion from the connecting yoke portion, and is returned to the other magnetic pole of the mover.
  • the absolute value of the force generated in the movable axis direction increases with respect to the displacement of the mover in the movable axis direction, and the change in the force generated in the movable axis direction with respect to the displacement is small.
  • a region where the force generated in the axial direction is substantially constant (force constant region) is enlarged.
  • a permanent magnet is used, basically no electric power is required for generating a magnetic force.
  • the facing distance between the first yoke portion and the mover and the facing distance between the second yoke portion and the mover can be adjusted.
  • the distance adjusting means that can adjust the facing distance between the first yoke portion and the mover and the facing distance between the second yoke portion and the mover can independently adjust each facing distance. It is also possible to use a mechanism that changes each facing distance symmetrically about the movable axis of the mover. Thereby, in the present invention, when the facing distance between the first yoke portion and the mover and the facing distance between the second yoke portion and the mover are adjusted, the force constant region is maintained substantially. The magnitude of the force can be changed according to the facing distance.
  • the connecting yoke portion is a magnetic path between the first yoke portion and the second yoke portion, the facing distance between the first yoke portion and the mover, and the second Since the facing distance between the yoke part and the mover can be adjusted, it has a constant force region where the spring force is almost constant with respect to the displacement, and the magnitude of the spring force can be changed. It is possible to provide a magnetic spring device that basically does not require electric power.
  • FIG. 1A is a plan view showing a configuration of a main part of a magnetic spring device as a basis of the present invention.
  • FIG. 1B is a front view showing the configuration of the main part of the magnetic spring device as the basis of the present invention.
  • FIG. 2A is a diagram showing how the magnetic spring force Fz in the Z-axis direction is generated in this magnetic spring device.
  • FIG. 2B is a diagram showing how the magnetic spring force Fz in the Z-axis direction is generated in this magnetic spring device.
  • FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the displacement of the magnetic body and permanent magnet in the Z-axis direction and the magnetic spring force Fz in the Z-axis direction in this magnetic spring device.
  • FIG. 1A is a plan view showing a configuration of a main part of a magnetic spring device as a basis of the present invention.
  • FIG. 1B is a front view showing the configuration of the main part of the magnetic spring device as the basis of the present invention.
  • FIG. 2A is a
  • FIG. 4A is a plan view showing a configuration of a main part of the magnetic spring device according to the present invention.
  • FIG. 4B is a front view showing a configuration of a main part of the magnetic spring device according to the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the displacement in the Z-axis direction between the magnetic body and the permanent magnet in this magnetic spring device and the magnetic spring force Fz in the Z-axis direction.
  • FIG. 6 shows the positional deviation in the Z-axis direction between the magnetic body and the permanent magnet in the Z-axis direction and Z when the distance d between the surfaces of the pair of opposing magnetic bodies and the respective magnetic pole faces of the permanent magnet is changed. It is a figure which shows the relationship with the magnetic spring force Fz of an axial direction.
  • FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the displacement in the Z-axis direction between the magnetic body and the permanent magnet in this magnetic spring device and the magnetic spring force Fz in the Z-axis direction.
  • FIG. 6 shows the positional
  • FIG. 7 is a diagram showing an example in which the surfaces of a pair of opposing magnetic bodies are slightly inclined.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example in which depressions or protrusions are provided on the surfaces of a pair of opposing magnetic bodies.
  • FIG. 9 shows that a force Fz in the Z-axis direction is generated even when the permanent magnets do not protrude in the Z-axis direction from between the surfaces of the opposing magnetic bodies when the pair of opposing magnetic bodies are slightly inclined. It is a figure which shows a mode that it does.
  • FIG. 10 shows the relationship between the displacement of the magnetic body and the permanent magnet in the Z-axis direction and the magnetic spring force Fz in the Z-axis direction when the surfaces of the pair of opposing magnetic bodies are parallel and slightly inclined.
  • FIG. 11A is a plan view illustrating a first example of a mechanism that enables adjustment of a facing distance d between a pair of opposing magnetic bodies and a permanent magnet.
  • FIG. 11B is a front view showing a first example of a mechanism that can adjust the facing distance d between a pair of opposing magnetic bodies and a permanent magnet.
  • FIG. 12A is a plan view illustrating a second example of a mechanism that enables adjustment of a facing distance d between a pair of opposing magnetic bodies and a permanent magnet.
  • FIG. 12B is a front view showing a second example of a mechanism capable of adjusting a facing distance d between a pair of opposing magnetic bodies and a permanent magnet.
  • FIG. 13A is a plan view illustrating a third example of a mechanism that enables adjustment of a facing distance d between a pair of opposing magnetic bodies and a permanent magnet.
  • FIG. 13B is a front view showing a third example of a mechanism that can adjust the facing distance d between a pair of opposing magnetic bodies and a permanent magnet.
  • FIG. 14 is a perspective view showing a main part of an embodiment of the magnetic spring device according to the present invention.
  • FIG. 15A is a diagram illustrating a generation state of a magnetic spring force when an external force is applied in a direction in which the magnetic spring device is pressed against the shaft.
  • FIG. 15B is a diagram illustrating a state in which the magnetic spring force is generated when an external force is applied in the direction in which the shaft is pulled in the magnetic spring device.
  • FIG. 16 is a diagram showing an example in which a linear guide (bush) is provided between the opposing surfaces of the first yoke portion and the second yoke portion.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating an example in which a start point stopper is attached to the mover and an end point stopper is attached to the shaft to limit the movement range of the mover in the movable axis direction (Z-axis direction).
  • FIG. 18A is a diagram showing an example in which the opposing yoke portion and the connecting yoke portion are integrated.
  • FIG. 18B is a diagram illustrating another example in which the opposing yoke portion and the connecting yoke portion are integrated.
  • FIG. 19A is a diagram illustrating an example in which the mover is a cylindrical permanent magnet.
  • FIG. 19B is a diagram illustrating an example in which the mover is a prismatic permanent magnet.
  • FIG. 20 is a diagram illustrating an example in which the opposing surfaces of the pair of yoke portions are arcuate in accordance with the outer peripheral surface of the mover when the mover is formed in a columnar shape or a cylindrical shape.
  • FIG. 19A is a diagram illustrating an example in which the mover is a cylindrical permanent magnet.
  • FIG. 19B is a diagram illustrating an example in which the mover is a prismatic permanent magnet.
  • FIG. 20 is a diagram illustrating an example in which the opposing surfaces of the pair of yoke portions are arcuate in accordance with the outer peripheral surface of the mover when the mover is formed in a
  • FIG. 21 is a diagram showing an example in which the connecting yoke portions are provided not only on one side of the end surface in the direction orthogonal to the movable shaft of the pair of yoke portions, but also on both sides.
  • FIG. 22A is a plan view showing an example in which connecting yoke portions are provided on both sides of end surfaces in the movable axis direction of a pair of yoke portions.
  • FIG. 22B is a front view showing an example in which connection yoke portions are provided on both sides of the end surfaces in the movable axis direction of the pair of yoke portions.
  • FIG. 22A is a plan view showing an example in which connecting yoke portions are provided on both sides of end surfaces in the movable axis direction of a pair of yoke portions.
  • FIG. 22B is a front view showing an example in which connection yoke portions are provided on both sides of the end surfaces in the movable axis direction of the pair of y
  • FIG. 23A is a plan view showing an example in which the connecting yoke portion is provided only in an arbitrary range on one end surface side in the direction orthogonal to the movable shaft of the pair of yoke portions.
  • FIG. 23B is a front view showing an example in which the connecting yoke portion is provided only in an arbitrary range on one end surface side in the direction orthogonal to the movable shaft of the pair of yoke portions.
  • FIG. 24A is a plan view illustrating a mechanism for changing the distance d between the pair of yoke portions and the mover.
  • FIG. 24B is a front view illustrating a mechanism for changing the distance d between the pair of yoke portions and the mover.
  • FIG. 24C is a cross-sectional view of the slide mechanism taken along line AA in FIG. 24A.
  • FIG. 25 is a diagram illustrating an example in which a link mechanism is used as the distance adjustment mechanism.
  • FIG. 26 is a diagram illustrating an example in which a moving direction conversion mechanism is used as the distance adjustment mechanism.
  • FIG. 27 is a diagram illustrating an example in which a cam mechanism is used as the distance adjustment mechanism.
  • FIG. 28 is a diagram illustrating an example in which a rack and pinion mechanism is used as the distance adjustment mechanism.
  • FIG. 29 is a diagram illustrating a configuration of a main part of the magnetic spring disclosed in Patent Document 1.
  • 30 is a diagram showing the relationship between the stroke of the movable shaft and the spring force shown in FIG.
  • FIG. 31 is a diagram showing a configuration of a main part of the spring constant variable magnetic spring device shown in Patent Document 2.
  • FIG. 32 is a diagram illustrating the characteristics shown in FIG.
  • FIG. 1A and 1B show the configuration of the main part of a magnetic spring device as the basis of the present invention.
  • a length of a certain axis (which is defined as “Z-axis”) between the magnetic bodies 1-1 and 1-2 having a pair of opposing surfaces whose length in the direction of L is L.
  • a permanent magnet 2 having a length L in the Z-axis direction and a magnetic pole surface in the direction orthogonal to the Z-axis is disposed at the center.
  • One magnetic pole surface of the permanent magnet 2 is opposed to the surface of the magnetic body 1-1, and the other magnetic pole surface of the permanent magnet 2 is opposed to the surface of the magnetic body 1-2.
  • the magnetic attractive force F is inclined in the Z axis direction near the ends of the surfaces of the magnetic bodies 1-1 and 1-2 on the side from which the permanent magnet 2 protrudes.
  • a force Fz in the Z-axis direction is generated (see FIG. 2A).
  • the magnitude of the magnetic attractive force F tilted in the Z-axis direction decreases.
  • the ratio of the direction decomposition vector Fz increases (see FIG. 2B).
  • FIG. 4A and FIG. 4B show the configuration of the main part of the magnetic spring device according to the present invention.
  • the inventors have separated the magnetic body 1 between a pair of opposing magnetic bodies 1-1 and 1-2 at such a position that the direct influence from the permanent magnet 2 can be ignored.
  • the magnetic force between the pair of magnetic bodies 1-1 and 1-2 is allowed to flow, the absolute value of the force Fz generated in the Z-axis direction increases and the displacement in the Z-axis direction further increases.
  • the force constant region in which the force Fz changes little and the force generated in the Z-axis direction is almost constant can be expanded (see FIG. 5).
  • the position of the permanent magnet 2 in the Z-axis direction Regardless of the distance between the surfaces of the magnetic bodies 1-1 and 1-2 and the magnetic pole surfaces of the permanent magnet 2, the surfaces of the magnetic bodies 1-1 and 1-2 and the permanent magnet 2 whose characteristics of the magnetic springs are opposed to each other. This is because it is influenced only by the position between the magnetic pole surfaces.
  • the inventors attach a slight inclination angle ⁇ to the surfaces of the pair of opposing magnetic bodies 1-1 and 1-2 (see FIG. 7), or add depressions or protrusions (see FIG. 8).
  • the magnetic resistance in the space between the surfaces of the pair of opposing magnetic bodies 1-1 and 1-2 and the magnetic pole surface of the permanent magnet 2 is adjusted to an appropriate gradient in the Z-axis direction (the opposing magnetic bodies 1-1 and 1- 2), the displacement of the permanent magnet 2 in the direction toward the end of the surface having the larger magnetoresistance in the space is applied.
  • the constant force region where the spring force is substantially constant can be further expanded.
  • the magnetic attractive force F is inclined in the Z-axis direction even when the permanent magnet 2 does not protrude in the Z-axis direction from between the surfaces of the pair of opposing magnetic bodies 1-1 and 1-2. Since the force Fz in the Z-axis direction is generated, the force characteristic with respect to the displacement is flattened (see FIG. 10). In this case, the maximum generated force is reduced by flattening, but the generated force is reduced by reducing the distance between the surfaces of the pair of opposing magnetic bodies 1-1 and 1-2 and the magnetic pole surface of the permanent magnet 2. Can be canceled.
  • the facing distance d between the magnetic body 1-1 serving as the first yoke portion and the permanent magnet 2 serving as the mover, and the magnetic body 1 serving as the second yoke portion are illustrated.
  • the facing distance d between 2 and the permanent magnet 2 is the same distance.
  • the facing distance e between the magnetic body 1-3 serving as the connecting yoke portion and the permanent magnet 2 is larger than the facing distance d between the magnetic bodies 1-1, 1-2 and the permanent magnet 2. is doing.
  • the pair of opposing magnetic bodies 1-1 and 1-2 are magnetically coupled by the magnetic body 1-3 at a position where the direct influence from the permanent magnet 2 can be ignored. .
  • FIGS. 12A, 12B, 13A, and 13B the facing distance d between the magnetic bodies 1-1 and 1-2 and the permanent magnet 2 can be adjusted.
  • a pedestal 21 made of a non-magnetic material having a passage hole 21a for the permanent magnet 2 is provided at the center, while the magnetic body 1-1, L-shaped mounting members 22-1 and 22-2 made of a non-magnetic material are fixed to the outer surface of 1-2, and the L-shaped mounting members 22-1 and 22-2 are bolts 23-1 and 23-23. 2, the magnetic bodies 1-1 and 1-2 are arranged to face both sides of the permanent magnet 2.
  • Long holes 22-1a and 22-2a are formed in the L-shaped attachment members 22-1 and 22-2, and bolts screwed into the base 21 through the long holes 22-1a and 22-2a.
  • 23-1 and 23-2 are loosened, and the positions of the L-shaped mounting members 22-1 and 22-2 are adjusted so as to face each other between the magnetic bodies 1-1 and 1-2 and the permanent magnet 2.
  • the distance d can be adjusted.
  • the second example of the distance adjusting mechanism is provided with a pedestal 21 made of a non-magnetic material having a passage hole 21a for the permanent magnet 2 in the central portion, while the magnetic body 1-1. , 1-2 are integrally formed with bent portions 1-1a, 1-2a, which are bent outward, at the lower end surface thereof, and the mounting portions 1-1a, 1-2a are pedestaled by bolts 23-1, 23-2.
  • the magnetic bodies 1-1 and 1-2 are arranged to face both sides of the permanent magnet 2.
  • Slots 1-1b, 1-2b are formed in the mounting portions 1-1a, 1-2a, and bolts 23-1, screwed into the base 21 through the slots 1-1b, 1-2b.
  • the facing distance d between the magnetic bodies 1-1 and 1-2 and the permanent magnet 2 can be adjusted by loosening 23-2 and adjusting the positions of the mounting portions 1-1a and 1-2a. .
  • the third example of the distance adjusting mechanism is such that the lateral width of the magnetic body 1-3 is increased and the end faces of the magnetic bodies 1-1 and 1-2 on the magnetic body 1-3 side are outside.
  • the mounting portions 1-1c and 1-2c that are bent into a single shape are integrally formed, and the mounting portions 1-1c and 1-2c are fixed to the magnetic body 1-3 with bolts 23-1 and 23-2.
  • the magnetic bodies 1-1 and 1-2 are arranged to face both sides of the permanent magnet 2. Slots 1-1d and 1-2d are formed in the mounting portions 1-1c and 1-2c.
  • the distance adjusting mechanism that can adjust the facing distance d between the magnetic bodies 1-1 and 1-2 and the permanent magnet 2 may be manufactured by a separate member or by the yoke itself. However, it is preferable to avoid a structure in which a hole is made in the magnetic path portion of the yoke through which the magnetic flux flows or a stress is applied to the yoke.
  • the space between the opposing surfaces of the magnetic bodies 1-1 and 1-2 is a space.
  • the space between the opposing surfaces of the magnetic bodies 1-1 and 1-2 is not limited to the space.
  • the space other than the moving space of the permanent magnet 2 may be filled with a non-magnetic material.
  • Embodiment FIG. 14 is a perspective view showing a main part of an embodiment of the magnetic spring device according to the present invention.
  • This magnetic spring device 100 is located at the center between the magnetic bodies 1-1 and 1-2 having a pair of opposing surfaces having a length L in the Z-axis direction and the magnetic bodies 1-1 and 1-2.
  • Permanent magnet 2 and magnetic body 1-3 that magnetically connects between magnetic bodies 1-1 and 1-2.
  • the permanent magnet 2 has a length L in the Z-axis direction and a magnetic pole surface in a direction orthogonal to the Z-axis direction, like the magnetic bodies 1-1 and 1-2.
  • the magnetic body 1-1 corresponds to the first yoke portion in the present invention
  • the magnetic body 1-2 corresponds to the second yoke portion
  • the magnetic body 1-3 is connected.
  • the permanent magnet 2 corresponds to a yoke and corresponds to a mover.
  • the magnetic body 1-1 is referred to as a first yoke portion
  • the magnetic body 1-2 is referred to as a second yoke portion
  • the magnetic body 1-3 is referred to as a connecting yoke portion
  • the permanent magnet 2 is referred to as a mover.
  • the first yoke part 1-1 and the second yoke part 1-2 may be simply referred to as a yoke part.
  • the first yoke part 1-1 and the second yoke part 1-2 are opposed to each other with a distance therebetween, thereby constituting a counter yoke part 1-4.
  • the connecting yoke portion 1-3 magnetically connects the first yoke portion 1-1 and the second yoke portion 1-2 so that the first yoke portion 1-1 and the second yoke portion 1-2 are connected to each other. It becomes a magnetic path between the yoke portion 1-2.
  • the opposed yoke portion 1-4 and the connecting yoke portion 1-3 constitute the stator 1.
  • the mover 2 is formed in a columnar shape, and the shaft 3 is connected to both ends thereof.
  • the shaft 3 is a non-magnetic material.
  • an integrated body composed of the movable element 2 and the shaft 3 is referred to as a “movable body” and is denoted by reference numeral 4.
  • the movable body 4 is provided so as to be movable in the Z-axis direction. That is, the movable element 2 and the movable body 4 have the Z-axis direction as the direction of the movable axis.
  • the direction of the movable axis of the movable element 2 and the movable body 4 is a direction orthogonal to the opposing direction of the first yoke part 1-1 and the second yoke part 1-2.
  • the directions of the movable axes of the movable element 2 and the movable body 4 are regulated by inserting both ends of the shaft 3 into linear guides (bush) 5-1 and 5-2.
  • the linear guides (bush) 5-1 and 5-2 are provided in the linear guide holders 6A1 and 6A2 attached to both ends of the base plate 6B with their positions fixed.
  • the facing distance d between the first yoke part 1-1 and the mover 2 and the facing distance d between the second yoke part 1-1 and the mover 2 are equal to each other.
  • the facing distance e between the connecting yoke portion 1-3 and the mover 2 is larger than the facing distance d between the first yoke portion 1-1 and the second yoke portion 1-2 and the mover 2. large.
  • the pair of opposing yoke parts 1-1 and 1-2 are magnetically connected by the connecting yoke part 1-3 at a position that is so far away that the direct influence from the mover 2 can be ignored. Yes.
  • FIG. 14 shows a state in which the mover 2 is located at the center position (origin position) of the movement range in the movable axis direction (Z-axis direction).
  • the mover 2 is positioned between the opposed surfaces of the opposed yoke portion 1-4, and all of one magnetic pole surface (N pole in this example) is the first yoke portion 1-1.
  • the other magnetic pole surface (in this example, the S pole) faces the surface of the second yoke portion 1-2 with a distance. That is, the surfaces of the yoke portions 1-1 and 1-2 having a length L (surfaces of magnetic bodies) and the mover 2 having a length L (magnetic pole surfaces of permanent magnets) overlap in the Z-axis direction.
  • only the magnetic attractive force F Fx acts in the direction orthogonal to the Z axis, and no force is generated in the Z axis direction.
  • the pair of opposing yoke parts 1-1 and 1-2 are magnetically connected by the connecting yoke part 1-3, and the magnetic flux between the pair of yoke parts 1-1 and 1-2 is increased.
  • the magnetic flux emitted from the N pole of the mover 2 enters the first yoke portion 1-1 of the opposing yoke portion 1-4, passes through the connecting yoke portion 1-3 from the first yoke portion 1-1, and is connected.
  • the yoke portion 1-3 enters the second yoke portion 1-2 of the opposing yoke portion 1-4 and is returned to the S pole of the mover 2.
  • the yoke parts 1-1 and 1-2 are magnetically connected by the connecting yoke part 1-3, and the magnetic flux flows through the connecting yoke part 1-3.
  • the absolute value of the force Fz generated in the Z-axis direction is increased, and the constant force region of the force Fz is further expanded (see FIG. 5).
  • a distance adjusting mechanism as will be described later is provided to change the distance d between the surfaces of the pair of opposing yoke portions 1-1 and 1-2 and the respective magnetic pole surfaces of the mover 2, that is, the yoke portion
  • the magnitude of the force Fz can be changed according to the facing distance d while maintaining a constant force region. (See FIG. 6).
  • the movable axis direction of the mover 2 is restricted by inserting both ends of the shaft 3 into linear guides (bush) 5-1 and 5-2.
  • a linear guide (bush) 7 is provided between the opposing surfaces of the first yoke part 1-1 and the second yoke part 1-2 in a state where the position is fixed. You may make it regulate the movable-axis direction of the needle
  • a start point stopper 8-1 may be attached to the mover 2 and an end point stopper 8-2 may be attached to the shaft 3 to limit the movement range of the mover 2 in the movable axis direction.
  • the movement of the mover 2 in the downward direction is regulated by the contact of the end point stopper 8-2 attached to the shaft 3 with the linear guide (bush) 7, and the movement of the mover 2 in the upward direction is restricted.
  • the start point stopper 8-1 attached to the mover 2 is regulated by contact with the linear guide (bush) 7.
  • both the start point stopper 8-1 and the end point stopper 8-2 are provided, but only one of them may be provided.
  • the opposing yoke portion 1-4 and the connecting yoke portion 1-3 are separated, but the opposing yoke portion 1-4 and the connecting yoke portion 1-3 are integrated. It may be allowed. That is, in the magnetic spring device 100 shown in FIG. 14, the connecting yoke portion 1-3 is brought into contact with the yoke portions 1-1 and 1-2 of the opposing yoke portion 1-4, and the connecting yoke portion 1-3 is connected to the opposing yoke portion. Although it is magnetically attracted to 1-4, the opposing yoke portion 1-4 and the connecting yoke portion 1-3 may be integrated.
  • FIGS. 18A and 18B show an example in which the opposing yoke portion 1-4 and the connecting yoke portion 1-3 are integrated.
  • the connecting yoke portion 1-3 is deformed by an arc-shaped or square-shaped external force, for example, similar to FIGS. 11A, 11B, 12A, and 12B.
  • the facing distance d between the yoke portions 1-1 and 1-2 and the mover 2 can be adjusted.
  • the movable element 2 is a columnar permanent magnet, but it may be a cylindrical permanent magnet as shown in FIG. 19A, or a prismatic shape as shown in FIG. 19B. A permanent magnet may be used. Further, when the mover 2 is formed in a columnar shape or a cylindrical shape, the opposing surfaces of the yoke parts 1-1 and 1-2 are made arcuate to match the outer peripheral surface of the mover 2, as shown in FIG. May be.
  • the opposing surfaces of the yoke portions 1-1 and 1-2 of the opposing yoke portion 1-4 are parallel to the movable axis direction of the mover 2.
  • the opposing surfaces of the yoke portions 1-1 and 1-2 may be inclined with respect to the movable axis direction of the mover 2.
  • the inclination directions of the yoke portions 1-1 and 1-2 are symmetrical with respect to the movable shaft, and the inclination angle ⁇ is also the same.
  • a plurality of depressions or protrusions 1a may be provided symmetrically on the opposing surfaces of the yoke portions 1-1 and 1-2. In this case, the density of the plurality of depressions or projections 1a is gradually changed along the movable axis direction on the opposing surfaces of the yoke portions 1-1 and 1-2.
  • the space between the pair of opposing yoke portions 1-1 and 1-2 and the magnetic pole surface of the mover 2 is provided.
  • the appropriate magnetic gradient in the movable axis (Z-axis) direction is such that the magnetic resistance is large at one of the Z-axis end portions of the surfaces of the opposing yoke portions 1-1 and 1-2, and the other is small. ), And the force constant region in which the spring force becomes substantially constant with respect to the displacement of the mover 2 toward the end side where the magnetic resistance of the space is larger can be further expanded.
  • the connecting yoke portion 1-3 is provided only on one side of the end surface in the direction orthogonal to the movable shafts of the yoke portions 1-1 and 1-2. It may be provided on both sides of the end face in the direction orthogonal to the movable shafts 1 and 1-2. That is, as shown in FIG. 21, the first connecting yoke portion 1-31 is provided on one of the end surfaces in the direction orthogonal to the movable shafts of the yoke portions 1-1 and 1-2, and the yoke portions 1-1 and 1-2 are connected to each other.
  • the second connecting yoke portion 1-32 may be provided on the other end face in the direction orthogonal to the movable shaft.
  • the facing distance e between the second connecting yoke portion 1-32 and the mover 2 is also the same as the facing distance e between the first connecting yoke portion 1-31 and the mover 2.
  • the facing distance d between the parts 1-1 and 1-2 and the mover 2 is made larger.
  • the facing distance e between the first connecting yoke portion 1-31 and the mover 2 and the facing distance e between the second connecting yoke portion 1-32 and the mover 2 are made the same.
  • the stator composed of the first and second yoke portions 1-1 and 1-2 and the first and second connecting yoke portions 1-31 and 1-32 is fixed to the movable shaft of the movable member 2. Have a symmetrical structure.
  • the connecting yoke portion 1-3 is provided on one end face parallel to the movable shaft of the yoke portions 1-1 and 1-2. -2 may be provided on both end faces orthogonal to the movable axis direction.
  • the connecting yoke portion is composed of a plurality of members made of a magnetic material.
  • the first connecting yoke portion 1-33 is provided on one of the two end surfaces of the yoke portions 1-1 and 1-2 in the movable axis direction, and the second connecting yoke is provided on the other.
  • the part 1-34 is provided.
  • the facing distance e between the connecting yoke portions 1-33, 1-34 and the mover 2 is similar to the facing distance e between the connecting yoke portion 1-3 and the mover 2 shown in FIG. Also, it is made larger than the facing distance d between the yoke parts 1-1 and 1-2 and the mover 2.
  • the connecting yoke portion 1-3 is provided on the entire surface of one end surface in the direction orthogonal to the movable shafts of the yoke portions 1-1 and 1-2. Alternatively, it may be provided only in an arbitrary range on one end face side in the direction orthogonal to the movable axes ⁇ 1 and 1-2. For example, as shown in FIGS. 23A and 23B, the connecting yoke portion 1-3 is provided only at the central portion on one end face side in the direction orthogonal to the movable axes of the yoke portions 1-1 and 1-2. As described above, the size and shape of the connecting yoke portion 1-3 can be arbitrarily changed within a range in which a necessary amount of magnetic flux can flow.
  • 24A, 24B, and 24C illustrate a distance adjusting mechanism 200A that changes the facing distance d between the yoke portions 1-1 and 1-2 and the mover 2.
  • FIG. 24A, 24B, and 24C illustrate a distance adjusting mechanism 200A that changes the facing distance d between the yoke portions 1-1 and 1-2 and the mover 2.
  • the screw portion 10 is composed of a first screw portion 10-1 whose screw thread is in the forward direction and a second screw portion 10-2 in which the screw thread is in the reverse direction.
  • the screw portion 10-1 passes through the yoke portion 1-2 and is screwed into the screw hole portion 1-2a
  • the second screw portion 10-2 passes through the yoke portion 1-1 and passes through the screw hole portion 1a.
  • -1a the first screw portion 10-1 and the second screw portion 10-2 are pivotally supported by the fixed portion bearing 9, and the first screw portion 10-1 and the second screw portion 10-2 are A detent 10-3 is attached so that the position of the screw 10-2 does not move in the horizontal direction in the figure.
  • the slide mechanism 12 is provided on each of the yoke part 1-1 side and the yoke part 1-2 side, and includes a slide rail 12-1 and a slider 12-2.
  • the slider 12-2 is fixed to the outer surface of the yoke part 1-1, and is guided by the slide rail 12-1 in the horizontal direction in the drawing orthogonal to the movable axis of the mover 2.
  • the slider 12-2 is fixed to the outer surface of the yoke section 1-2, and is guided by the slide rail 12-1 in the horizontal direction in the drawing orthogonal to the movable axis of the movable element 2.
  • the screw portion 10 (10-1, 10-2) is rotated. Due to the rotation of the screw portion 10 (10-1, 10-2), the facing distance d between the yoke portion 1-1 and the mover 2 and the facing distance d between the yoke portion 1-2 and the mover 2 are increased. Changes symmetrically about the movable axis of the mover 2.
  • the dial 11 when the dial 11 is rotated counterclockwise, the yoke portions 1-1 and 1-2 are guided to the slide rails 12-1 and 12-1 together with the sliders 12-2 and 12-2, while being moved to the movable element 2. It moves in the approaching direction, and the facing distance d to the mover 2 is reduced.
  • the dial 11 When the dial 11 is rotated clockwise, the yoke portions 1-1 and 1-2 are guided by the slide rails 12-1 and 12-1 together with the sliders 12-2 and 12-2, and away from the mover 2. It moves and the facing distance d between the needle
  • 25 to 28 show another example of the distance adjusting mechanism.
  • 25 shows an example using a link mechanism
  • FIG. 26 shows an example using a moving direction changing mechanism
  • FIG. 27 shows an example using a cam mechanism
  • FIG. 28 shows an example using a rack and pinion mechanism.
  • a slide mechanism for guiding the yoke portions 1-1 and 1-2 in a direction orthogonal to the movable shaft of the mover 2 is omitted.
  • the link mechanism 14 moves up and down while changing its width W. Due to the change in the width W of the link mechanism 14, the facing distance d between the yoke part 1-1 and the movable element 2 and the facing distance d between the yoke part 1-2 and the movable element 2 are such that the movable element 2 is movable. It changes symmetrically about the axis.
  • the facing distance d between the yoke part 1-1 and the movable element 2 and the facing distance d between the yoke part 1-2 and the movable element 2 change the movable axis of the movable element 2. It changes symmetrically about the center.
  • the cam 17 rotates, and its width W (in the direction orthogonal to the movable shaft) changes.
  • the facing distance d between the movable element 2 and the facing distance d between the yoke portion 1-2 and the movable element 2 change symmetrically about the movable axis of the movable element 2.
  • the width W of the rack and pinion mechanism 18 composed of the pinion 18-1 and the racks 18-2 and 18-3 is changed.
  • the facing distance d between the yoke part 1-1 and the movable element 2 and the facing distance d between the yoke part 1-2 and the movable element 2 change symmetrically about the movable axis of the movable element 2.
  • the mover 2 is disposed in the vicinity of a line connecting the end surfaces opposite to the connecting yoke portion 1-3 in the direction orthogonal to the movable axes of the yoke portions 1-1 and 1-2, or the yoke portion 1- Bend the end face on the opposite side of the connecting yoke portion 1-3 in the direction orthogonal to the movable axes 1 and 1-2 to the mover 2 side (perpendicular), and make the end face the magnetic pole face of the mover 2 Also good.
  • the permanent magnet is preferably a rare earth magnet such as neodymium or samarium cobalt, or a ferrite magnet.
  • the magnetic material is preferably a soft magnetic material (for example, an electromagnetic steel sheet, electromagnetic soft iron, permalloy, etc.) having a large saturation magnetic flux density and magnetic permeability, a small coercive force, and a small magnetic hysteresis.
  • the non-magnetic material is made of, for example, SUS316, aluminum, brass, resin, or the like, or any other material that can ignore the magnetic influence on the magnetic circuit.
  • the direction of the movable shaft is not limited and may be used horizontally or obliquely.
  • the movable body 4 moves downward by the amount of gravity applied to the mass of the movable body 4 composed of the movable element 2 and the shaft 3, and the generated magnetic force is generated.
  • the point that balances with the spring force is the origin position when there is no external force (strictly, the frictional force of the linear guide (bush) 7 is added to this).
  • SYMBOLS 1 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Stator, 1-1 ... Magnetic body (1st yoke part), 1-2 ... Magnetic body (2nd yoke part), 1-1a, 1-2a ... Mounting part, 1-1b, 1- 2b ... long hole, 1-1c, 1-2c ... mounting part, 1-1d, 1-2d ... long hole, 1-3 ... magnetic body (connection yoke part), 1-4 ... opposing yoke part, 2 ... permanent Magnet (movable element), 21 ... pedestal, 21a ... Passing hole, 22-1, 22-2 ... Mounting member, 22-1a, 22-2a ... Long hole, 23-1, 23-2 ... Bolt, 200A, 200B , 200C, 200D, 200E ... Distance adjustment mechanism.

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Abstract

　磁性体からなる第１のヨーク部（１－１）と第２のヨーク部（１－２）との対向面間に、永久磁石からなる可動子（２）を設け、第１のヨーク部（１－１）と第２のヨーク部（１－２）との間を連結ヨーク部（１－３）で磁気的に連結する。また、第１のヨーク部（１－１）と可動子（２）との間の距離および第２のヨーク部（１－２）と可動子（２）との間の距離を調整可能とする距離調整機構（２００）を有する。　これにより、変位に対してばね力がほゞ一定となる力一定領域を持ち、基本的に電力を必要としない磁気バネ装置を提供できる。また、バネ力の大きさを変化させることができる。

Description

磁気バネ装置
　この発明は、磁気の吸引力を磁気バネ力として用いる磁気バネ装置に関する。
　部品の自動組付け、電極の押付け、ＩＣチップ等の小型精密部品用の吸着ノズル、形状測定器のプローブ、研磨ヘッド、工作機械などの様々な用途で、変位しても押付け力や引っ張り力が一定のバネが必要な場合が多い。また、必要に応じて簡単にバネ力を調整したいというニーズも多い。機械式バネではバネ長を長くして変位に対する力変化を小さくして対応しているが、サイズが大きくなってしまい、また、バネ長を大きく変化させないとバネ力が変化しなくなるため、バネ力の調整も難しくなる。
　それに対して、特許文献１には、図２９Ａ、図２９Ｂにその要部の構成を示すような磁気バネ３００が示されている。図２９Ａは軸方向断面図、図２９Ｂは図２９ＡをＸ方向から見た図である。この磁気バネ３００は、軸受３０１，３０１によって軸方向に移動可能とされた可動軸３０２と、可動軸３０２に固定された可動の内筒３０３と、可動軸３０３と同軸上に配置された固定の外筒３０４とを有し、内筒３０３を永久磁石によって形成し、外筒３０４を磁性体によって形成している。なお、特許文献１には、内筒３０３を磁性体、外筒３０４を永久磁石とする構成も別の例として示されている。
　この磁気バネ３００では、軸方向に引き合う内筒３０３と外筒３０４との間の磁力によって、バネ力を発生させている。これにより、特許文献１の図９に示された可動軸のストロークとバネ力との関係を転記した図３０に示すように、変位に対してばね力の変化が少なくばね力がほゞ一定となる、すなわち一定の範囲内に収まる領域（以下、この領域を「力一定領域」と呼ぶことがある。）を持つことができる。
　また、特許文献２には、図３１にその要部の構成を示すようなばね定数可変式磁気ばね装置４００が示されている。このばね定数可変式磁気バネ装置４００は、永久磁石４０１と強磁性体４０２とからなる可動子４０３と、コイル４０４と強磁性体４０５とからなる固定子４０６，４０６とを具備して、磁気ばねのばね力を調節できる磁気回路を含んでいる。この磁気回路は、永久磁石４０１による磁気吸引力で磁気ばねのばね力を発生させ、可動子４０３から固定子４０６に流れる磁束の量を、コイル４０４に流す電流、もしくは、可動子４０３と固定子４０６との間のギャップの大きさを変えたり、または、永久磁石４０１を保磁力が異なるものに交換することで磁気ばねのばね力を調節できる。
特開２００４－６８９０６号公報 特開２００４－３６０７４７号公報
　しかしながら、特許文献１に記載された磁気バネでは、バネ力を調節できないという問題がある。また、特許文献２に記載されたばね定数可変式磁気ばね装置では、ばね力の調節にコイル電流を使用する場合は、常時電力が必要になり発熱も生じてしまう。
　なお、特許文献２に記載されたばね定数可変式磁気ばね装置において、可動子と固定子との間のギャップの大きさや永久磁石の交換による場合は、これらの問題は解決されるが、磁気ばねの性能に関して構造的に以下の問題がある。
　特許文献２に記載されたばね定数可変式磁気ばね装置は、その装置の名称が「ばね定数可変式」と示すように、また特許文献２の図３に示された特性を転記した図３２に示すように、変位に対してばね力が比例変化する領域、すなわちばね定数を持つ領域のみで、変位に対してばね力がほゞ一定となる力一定領域が基本的に無いという問題がある。
　本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、変位に対してばね力がほゞ一定となる力一定領域を持ち、バネ力の大きさを変化させることができ、また、基本的に電力を必要としない磁気バネ装置を提供することにある。さらに好ましくは、力一定領域の範囲を広くした磁気バネ装置を提供することにある。
　このような目的を達成するために本発明は、磁気の吸引力を磁気バネ力として用いる磁気バネ装置において、距離を隔てて対向する対向面を持つ第１のヨーク部と第２のヨーク部とからなる対向ヨーク部と、前記第１のヨーク部と第２のヨーク部とを磁気的に接続して前記第１のヨーク部と第２のヨーク部との間の磁路となる連結ヨーク部とを備えた固定子と、前記対向ヨーク部の前記対向面の間に、前記第１のヨーク部と第２のヨーク部とから離間して、前記第１のヨーク部および第２のヨーク部の前記対向面が対向する方向に対してほゞ直交する方向を可動軸の方向として移動可能に設けられ、その可動軸を挟んで反対側の位置に少なくとも一対の磁極を有する永久磁石からなる可動子と、前記第１のヨーク部と前記可動子との間の対面距離および前記第２のヨーク部と前記可動子との間の対面距離を調整可能とする距離調整手段とを備えることを特徴とする。
　この発明では、連結ヨーク部が対向ヨーク部の第１のヨーク部と第２のヨーク部との間の磁路となり、対向ヨーク部の第１のヨーク部と第２のヨーク部との間が磁気的に接続される。これにより、例えば、可動子の一方の磁極をＮ極、可動子の他方の磁極をＳ極とすると、可動子の一方の磁極から出た磁束が対向ヨーク部の第１のヨーク部に入り、第１のヨーク部から連結ヨーク部を通り、連結ヨーク部から対向ヨーク部の第２のヨーク部に入り、可動子の他方の磁極に戻される。これにより、本発明では、可動子の可動軸方向への変位に対し、その可動軸方向に生じる力の絶対値が大きくなると共に、変位に対してこの可動軸方向に生じる力の変化が少なく可動軸方向に生じる力がほゞ一定となる領域（力一定領域）が拡大される。また、永久磁石を使用するので磁力の生成においては基本的に電力を必要としない。
　また、本発明では、第１のヨーク部と可動子との間の対面距離および第２のヨーク部と可動子との間の対面距離が調整可能とされている。この第１のヨーク部と可動子との間の対面距離および第２のヨーク部と可動子との間の対面距離を調整可能とする距離調整手段は、それぞれの対面距離を独立して調整可能とする機構であってもよく、それぞれの対面距離を可動子の可動軸を中心にして対称に変化させる機構であってもよい。これにより、本発明では、第１のヨーク部と可動子との間の対面距離および第２のヨーク部と可動子との間の対面距離を調整すると、力一定領域をほゞ維持したまま、力の大きさを対面距離に応じて変化させることができる。
　本発明によれば、連結ヨーク部を第１のヨーク部と第２のヨーク部との間の磁路とするようにし、第１のヨーク部と可動子との間の対面距離および第２のヨーク部と可動子との間の対面距離を調整可能としたので、変位に対してバネ力がほゞ一定となる力一定領域を持ち、バネ力の大きさを変化させることができ、また、基本的に電力を必要としない磁気バネ装置を提供することが可能となる。
図１Ａは、本発明の基礎となる磁気バネ装置の要部の構成を示す平面図である。 図１Ｂは、本発明の基礎となる磁気バネ装置の要部の構成を示す正面図である。 図２Ａは、この磁気バネ装置においてＺ軸方向の磁気バネ力Ｆｚが発生する様子を示す図である。 図２Ｂは、この磁気バネ装置においてＺ軸方向の磁気バネ力Ｆｚが発生する様子を示す図である。 図３は、この磁気バネ装置における磁性体と永久磁石のＺ軸方向の位置ずれとＺ軸方向の磁気バネ力Ｆｚとの関係を示す図である。 図４Ａは、本発明に係る磁気バネ装置の要部の構成を示す平面図である。 図４Ｂは、本発明に係る磁気バネ装置の要部の構成を示す正面図である。 図５は、この磁気バネ装置における磁性体と永久磁石のＺ軸方向の位置ずれとＺ軸方向の磁気バネ力Ｆｚとの関係を示す図である。 図６は、この磁気バネ装置において一対の対向する磁性体の面と永久磁石のそれぞれの磁極面の間の距離ｄを変化させた場合の磁性体と永久磁石のＺ軸方向の位置ずれとＺ軸方向の磁気バネ力Ｆｚとの関係を示す図である。 図７は、一対の対向する磁性体の面にわずかな傾斜をつけた例を示す図である。 図８は、一対の対向する磁性体の面に窪みまたは突起を設けた例を示す図である。 図９は、一対の対向する磁性体の面にわずかな傾斜をつけた場合に永久磁石が対向する磁性体の面の間からＺ軸方向に飛び出していない状態でもＺ軸方向の力Ｆｚが発生する様子を示す図である。 図１０は、一対の対向する磁性体の面を平行とした場合とわずかな傾斜を付けた場合の磁性体と永久磁石のＺ軸方向の位置ずれとＺ軸方向の磁気バネ力Ｆｚとの関係を比較して示す図である。 図１１Ａは、一対の対向する磁性体と永久磁石との間の対面距離ｄを調整可能とする機構の第１例を示す平面図である。 図１１Ｂは、一対の対向する磁性体と永久磁石との間の対面距離ｄを調整可能とする機構の第１例を示す正面図である。 図１２Ａは、一対の対向する磁性体と永久磁石との間の対面距離ｄを調整可能とする機構の第２例を示す平面図である。 図１２Ｂは、一対の対向する磁性体と永久磁石との間の対面距離ｄを調整可能とする機構の第２例を示す正面図である。 図１３Ａは、一対の対向する磁性体と永久磁石との間の対面距離ｄを調整可能とする機構の第３例を示す平面図である。 図１３Ｂは、一対の対向する磁性体と永久磁石との間の対面距離ｄを調整可能とする機構の第３例を示す正面図である。 図１４は、本発明に係る磁気バネ装置の一実施の形態の要部を示す斜視図である。 図１５Ａは、この磁気バネ装置においてシャフトに押し付ける方向へ外力が加わった場合の磁気バネ力の発生状態を示す図である。 図１５Ｂは、この磁気バネ装置においてシャフトを引っ張る方向へ外力が加わった場合の磁気バネ力の発生状態を示す図である。 図１６は、第１のヨーク部と第２のヨーク部との対向面間にリニアガイド（ブッシュ）を設けるようにした例を示す図である。 図１７は、可動子に始点ストッパを取り付け、シャフトに終点ストッパを取り付け、可動子の可動軸方向（Ｚ軸方向）の移動範囲を制限するようにした例を示す図である。 図１８Ａは、対向ヨーク部と連結ヨーク部とを一体化させた一例を示す図である。 図１８Ｂは、対向ヨーク部と連結ヨーク部とを一体化させた他の例を示す図である。 図１９Ａは、可動子を円筒状の永久磁石とした例を示す図である。 図１９Ｂは、可動子を角柱状の永久磁石とした例を示す図である。 図２０は、可動子を円柱状又は円筒状とした場合に一対のヨーク部の対向面を可動子の外周面に合わせて円弧状とした例を示す図である。 図２１は、連結ヨーク部を一対のヨーク部の可動軸と直交方向の端面の片側だけではなく両側に設けるようにした例を示す図である。 図２２Ａは、一対のヨーク部の可動軸方向の端面の両側に連結ヨーク部を設けるようにした例を示す平面図である。 図２２Ｂは、一対のヨーク部の可動軸方向の端面の両側に連結ヨーク部を設けるようにした例を示す正面図である。 図２３Ａは、一対のヨーク部の可動軸と直交方向の端面片側の任意の範囲にのみ連結ヨーク部を設けるようにした例を示す平面図である。 図２３Ｂは、一対のヨーク部の可動軸と直交方向の端面片側の任意の範囲にのみ連結ヨーク部を設けるようにした例を示す正面図である。 図２４Ａは、一対のヨーク部と可動子との間の距離ｄを変化させる機構を例示する平面図である。 図２４Ｂは、一対のヨーク部と可動子との間の距離ｄを変化させる機構を例示する正面図である。 図２４Ｃは、スライド機構の図２４ＡにおけるＡ－Ａ線断面図である。 図２５は、距離調整機構としてリンク機構を用いた例を示す図である。 図２６は、距離調整機構として移動方向変換機構を用いた例を示す図である。 図２７は、距離調整機構としてカム機構を用いた例を示す図である。 図２８は、距離調整機構としてラックアンドピニオン機構を用いた例を示す図である。 図２９は、特許文献１に示された磁気バネの要部の構成を示す図である。 図３０は、特許文献１の図９に示された可動軸のストロークとバネ力との関係を示す図である。 図３１は、特許文献２に示されたばね定数可変式磁気ばね装置の要部の構成を示す図である。 図３２は、特許文献２の図３に示された特性を示す図である。
　以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。先ず、本発明に係る磁気バネ装置の実施の形態の説明に入る前に、本発明の原理について説明する。
〔発明の原理〕
　図１Ａおよび図１Ｂに本発明の基礎となる磁気バネ装置の要部の構成を示す。これらの図に示されるように、ある軸（これを「Ｚ軸」と定義する。）の方向の長さがＬの一対の対向する面を持つ磁性体１－１，１－２の間のほゞ中央に、同じくＺ軸方向の長さがＬで、Ｚ軸と直交する方向に磁極面を持つ永久磁石２が配置されている。磁性体１－１の面に永久磁石２の一方の磁極面が対向し、磁性体１－２の面に永久磁石２の他方の磁極面が対向して、長さＬの磁性体１－１，１－２の面と長さＬの永久磁石２の磁極面がＺ軸方向に重なっているときは、Ｚ軸と直交する方向に磁気吸引力Ｆ＝Ｆｘが働くのみで、Ｚ軸方向には力が発生しない。
　しかし、それらがＺ軸に沿ってずれると、永久磁石２が飛び出した側の磁性体１－１，１－２の面の端部付近では磁気吸引力ＦがＺ軸方向に傾き、その分解ベクトルとしてＺ軸方向の力Ｆｚが発生する（図２Ａ参照。）。そして、磁性体１－１，１－２と永久磁石２の磁極面とのＺ軸方向のずれが大きくなると、Ｚ軸方向に傾いた磁気吸引力Ｆの大きさは小さくなるが、そのＺ軸方向の分解ベクトルＦｚの割合は大きくなる（図２Ｂ参照。）。これにより、結果として、永久磁石２が磁性体１－１，１－２の面からＺ軸方向にずれ始めてから抜け出るまでの領域において、変位に対してＺ軸方向の力Ｆｚの変化が少なく、力Ｆｚがほゞ一定になる力一定領域が現れる（図３参照。）。
　図４Ａおよび図４Ｂに本発明に係る磁気バネ装置の要部の構成を示す。発明者らは、これらの図に示されるように、一対の対向する磁性体１－１，１－２間を、永久磁石２からの直接の影響が無視できる程度に離れた位置で磁性体１－３で磁気的に連結し、一対の磁性体１－１，１－２間の磁束が流れるようにすると、Ｚ軸方向に生じる力Ｆｚの絶対値が大きくなるとともに、さらにＺ軸方向変位に対してその力Ｆｚの変化が少なくＺ軸方向に生じる力がほゞ一定となる力一定領域を拡大することができることを見出した（図５参照。）。また、その状態で一対の対向する磁性体１－１，１－２の面と永久磁石２のそれぞれの磁極面の間の距離（対面距離）ｄを変化させると、力一定領域をほゞ維持したまま、力Ｆｚの大きさを対面距離ｄに応じて変化させることができることを見出した（図６参照。）。
　これは、一対の対向する磁性体１－１，１－２のみの場合は、磁性体１－１，１－２に挟まれた空間における磁束の流れる経路が、永久磁石２のＺ軸方向の位置や、対向する磁性体１－１，１－２の面と永久磁石２の各磁極面の間の距離によって大きく変化するため、磁気吸引力Ｆの変化、つまり、磁気バネ特性の変化も大きかったのに対し、磁束の流れを対向する磁性体１－１，１－２間を連結した磁性体１－３に集中させて安定させることにより、永久磁石２のＺ軸方向の位置や、対向する磁性体１－１，１－２の面と永久磁石２の各磁極面の間の距離に関わらず、磁気バネの特性が対向する磁性体１－１，１－２の面と永久磁石２の各磁極面間の位置状態にのみ影響されるようになるためである。
　また、発明者らは、一対の対向する磁性体１－１，１－２の面にわずかな傾斜角θをつけたり（図７参照。）、窪みや突起などを付けて（図８参照。）、一対の対向する磁性体１－１，１－２の面と永久磁石２の磁極面との間の空間の磁気抵抗にＺ軸方向の適切な勾配（対向する磁性体１－１，１－２の面のＺ軸方向端部の一方で磁気抵抗が大きく、他方で小さくなるような勾配）をつけることにより、空間の磁気抵抗が大きい方の端部側方向への永久磁石２の変位に対してばね力がほゞ一定となる力一定領域をさらに広げることができることを見出した。
　すなわち、一対の対向する磁性体１－１，１－２の面と永久磁石２の磁極面が平行な場合は、図１に示されるように、永久磁石２が一対の対向する磁性体１－１，１－２の面の間からＺ軸方向に飛び出していない状態では、Ｚ軸と直交方向に磁気吸引力Ｆ＝Ｆｘが働くのみで、Ｚ軸方向には力Ｆｚが発生しない。しかし、一対の対向する磁性体１－１，１－２の面と永久磁石２の磁極面との間の空間の磁気抵抗にＺ軸方向の適切な勾配をつけることにより、例えば図９に示されるように、永久磁石２が一対の対向する磁性体１－１，１－２の面の間からＺ軸方向に飛び出していない状態でも磁気吸引力ＦがＺ軸方向に傾き、その分解ベクトルとしてＺ軸方向の力Ｆｚが発生するため、変位に対する力特性が平坦化される（図１０参照。）。この場合、平坦化されることによって最高発生力は小さくなるが、一対の対向する磁性体１－１，１－２の面と永久磁石２の磁極面との間の距離を近づけることで発生力の低下をキャンセルすることができる。
　なお、図４に示した例では、第１のヨーク部として働く磁性体１－１と可動子として働く永久磁石２との間の対面距離ｄと、第２のヨーク部として働く磁性体１－２と永久磁石２との間の対面距離ｄとを等しい距離としている。さらに、これらの磁性体１－１，１－２と永久磁石２との間の対面距離ｄよりも、連結ヨーク部として働く磁性体１－３と永久磁石２との間の対面距離ｅを大きくしている。これにより、一対の対向する磁性体１－１，１－２間を、永久磁石２からの直接の影響が無視できる程度に離れた位置で、磁性体１－３によって磁気的に連結させている。
　なお、図４には、磁性体１－１，１－２と永久磁石２との間の対面距離ｄを調整可能とする距離調整機構については示していないが、例えば図１１Ａ、図１１Ｂや図１２Ａ、図１２Ｂ、図１３Ａ、図１３Ｂに示すような機構を採用することにより、磁性体１－１，１－２と永久磁石２との間の対面距離ｄを調整することが可能である。
　例えば、距離調整機構の第１例は、図１１Ａ、図１１Ｂに示すように、中央部に永久磁石２の通過穴２１ａを有する非磁性材よりなる台座２１を設ける一方、磁性体１－１，１－２の外面に非磁性材よりなるＬ字状の取付部材２２－１，２２－２を固定し、このＬ字状の取付部材２２－１，２２－２をボルト２３－１，２３－２により台座２１に固定することにより、磁性体１－１，１－２を永久磁石２の両側に対向させて配置している。Ｌ字状の取付部材２２－１，２２－２には、長穴２２－１ａ，２２－２ａが形成されており、この長穴２２－１ａ，２２－２ａを通して台座２１に螺合されたボルト２３－１，２３－２を緩めて、Ｌ字状の取付部材２２－１，２２－２の位置を調整することにより、磁性体１－１，１－２と永久磁石２との間の対面距離ｄを調整することができる。
　距離調整機構の第２例は、図１２Ａ、図１２Ｂ、図１２Ｃに示すように、中央部に永久磁石２の通過穴２１ａを有する非磁性材よりなる台座２１を設ける一方、磁性体１－１，１－２の下端面に外側に折り曲げられた取付部１－１ａ，１－２ａを一体的に形成し、この取付部１－１ａ，１－２ａをボルト２３－１，２３－２により台座２１に固定することにより、磁性体１－１，１－２を永久磁石２の両側に対向させて配置している。取付部１－１ａ，１－２ａには、長穴１－１ｂ，１－２ｂが形成されており、この長穴１－１ｂ，１－２ｂを通して台座２１に螺合されたボルト２３－１，２３－２を緩めて、取付部１－１ａ，１－２ａの位置を調整することにより、磁性体１－１，１－２と永久磁石２との間の対面距離ｄを調整することができる。
　距離調整機構の第３例は、図１３Ａ、図１３Ｂに示すように、磁性体１－３の横幅を広くし、磁性体１－１，１－２の磁性体１－３側の端面に外側に折り曲げられた取付部１－１ｃ，１－２ｃを一体的に形成し、この取付部１－１ｃ，１－２ｃをボルト２３－１，２３－２により磁性体１－３に固定することにより、磁性体１－１，１－２を永久磁石２の両側に対向させて配置している。取付部１－１ｃ，１－２ｃには、長穴１－１ｄ，１－２ｄが形成されている。この長穴１－１ｄ，１－２ｄを通して磁性体１－３に螺合されたボルト２３－１，２３－２を緩めて、取付部１－１ｃ，１－２ｃの位置を調整することにより、磁性体１－１，１－２と永久磁石２との間の対面距離ｄを調整することができる。
　このように、磁性体１－１，１－２と永久磁石２との間の対面距離ｄを調整可能とする距離調整機構は、別部材で製作しても、ヨーク自体で製作してもよい。ただし、磁束が流れるヨークの磁路部分に穴をあけたり、ヨークに応力がかかるような構造は避けるのが好ましい。
　また、図４では、磁性体１－１と１－２との対向面間を空間としているが、この磁性体１－１と１－２との対向面間は空間に限られるものではない。例えば、永久磁石２の移動スペース以外が非磁性体でうめられていてもよい。
〔実施の形態〕
　図１４は本発明に係る磁気バネ装置の一実施の形態の要部を示す斜視図である。この磁気バネ装置１００は、Ｚ軸方向に長さＬの一対の対向する面を持つ磁性体１－１，１－２と、磁性体１－１，１－２の間のほゞ中央に位置する永久磁石２と、磁性体１－１，１－２間を磁気的に連結する磁性体１－３とを備えている。永久磁石２は、磁性体１－１，１－２と同様にＺ軸方向に長さＬを持ち、Ｚ軸方向と直交方向に磁極面を持つ。
　なお、この磁気バネ装置１００において、磁性体１－１は本発明でいう第１のヨーク部に相当し、磁性体１－２は第２のヨーク部に相当し、磁性体１－３は連結ヨーク部に相当し、永久磁石２は可動子に相当する。以下、磁性体１－１を第１のヨーク部、磁性体１－２を第２のヨーク部、磁性体１－３を連結ヨーク部、永久磁石２を可動子と呼ぶ。なお、第１のヨーク部１－１、第２のヨーク部１－２は、単にヨーク部と呼ぶ場合もある。
　この磁気バネ装置１００において、第１のヨーク部１－１と第２のヨーク部１－２とは距離を隔てて対向し、対向ヨーク部１－４を構成している。また、連結ヨーク部１－３は、第１のヨーク部１－１と第２のヨーク部１－２との間を磁気的に接続して、第１のヨーク部１－１と第２のヨーク部１－２との間の磁路となる。この対向ヨーク部１－４と連結ヨーク部１－３とで固定子１が構成されている。
　また、この磁気バネ装置１００において、可動子２は円柱状に形成され、その両端にはシャフト３が接続されている。シャフト３は非磁性体とされている。以下では、この可動子２とシャフト３とからなる一体物を「可動体」と呼び、符号４で示す。可動体４は、Ｚ軸方向に移動可能に設けられている。すなわち、可動子２および可動体４は、Ｚ軸方向を可動軸の方向としている。
　可動子２および可動体４の可動軸の方向は、第１のヨーク部１－１と第２のヨーク部１－２との対向方向に対して直交する方向である。また、可動子２および可動体４の可動軸の方向は、シャフト３の両端がリニアガイド（ブッシュ）５－１，５－２に挿入されることによって、規制されている。リニアガイド（ブッシュ）５－１，５－２は、ベースプレート６Ｂの両端に取り付けられたリニアガイドホルダ６Ａ１，６Ａ２内に、その位置が固定された状態で設けられている。
　この磁気バネ装置１００において、第１のヨーク部１－１と可動子２との間の対面距離ｄと第２のヨーク部１－１と可動子２との間の対面距離ｄは互いに等しい。この第１のヨーク部１－１および第２のヨーク部１－２と可動子２との間の対面距離ｄよりも、連結ヨーク部１－３と可動子２との間の対面距離ｅが大きい。これにより、一対の対向するヨーク部１－１，１－２間が、連結ヨーク部１－３によって、可動子２からの直接の影響が無視できる程度に離れた位置で磁気的に連結されている。
　図１４は、可動子２がその可動軸方向（Ｚ軸方向）への移動範囲の中央位置（原点位置）に位置している状態を示している。この可動子２の原点位置では、対向ヨーク部１－４の対向面間に可動子２が位置し、その一方の磁極面（この例では、Ｎ極）の全てが第１のヨーク部１－１の面に距離を隔てて対面し、その他方の磁極面（この例では、Ｓ極）の全てが第２のヨーク部１－２の面に距離を隔てて対面している。すなわち、長さＬのヨーク部１－１，１－２の面（磁性体の面）と長さＬの可動子２（永久磁石の磁極面）が、Ｚ軸方向に重なっている。この場合、図１を用いて説明したように、Ｚ軸と直交方向に磁気吸引力Ｆ＝Ｆｘが働くのみで、Ｚ軸方向には力が発生しない。
　なお、この状態において、一対の対向するヨーク部１－１，１－２間は、連結ヨーク部１－３で磁気的に連結され、一対のヨーク部１－１，１－２間の磁束が流れている。すなわち、可動子２のＮ極から出た磁束が対向ヨーク部１－４の第１のヨーク部１－１に入り、第１のヨーク部１－１から連結ヨーク部１－３を通り、連結ヨーク部１－３から対向ヨーク部１－４の第２のヨーク部１－２に入り、可動子２のＳ極に戻されている。
　このような状態から、例えば図１５Ａに示すように、シャフト３に押付ける方向への外力が加わると、図２Ａを用いて説明したように、可動子２が飛び出した側のヨーク部１－１，１－２の面の端部付近では磁気吸引力ＦがＺ軸方向に傾き、その分解ベクトルとしてＺ軸方向の力Ｆｚが発生する。
　そして、それらのＺ軸方向のずれが大きくなると、図２Ｂを用いて説明したように、Ｚ軸方向に傾いた磁気吸引力Ｆの大きさは小さくなるが、そのＺ軸方向の分解ベクトルＦｚの割合は大きくなる。
　これにより、結果として、可動子２がヨーク部１－１，１－２の面からＺ軸方向にずれ始めてから抜け出るまでの領域において、変位に対してＺ軸方向の力Ｆｚの変化が少なく、力Ｆｚがほゞ一定になる力一定領域が現れる。
　この場合、本実施の形態では、ヨーク部１－１，１－２間は、連結ヨーク部１－３で磁気的に連結され、この連結ヨーク部１－３を通して磁束が流れているので、前述した発明の原理でも説明したように、Ｚ軸方向に生じる力Ｆｚの絶対値が大きくなるとともに、さらにその力Ｆｚの力一定領域が拡大される（図５参照。）。
　また、後述するような距離調整機構を設けて、一対の対向するヨーク部１－１，１－２の面と可動子２のそれぞれの磁極面の間の距離ｄを変化させると、すなわちヨーク部１－１，１－２と可動子２との間の対面距離ｄを変化させると、力一定領域をほゞ維持したまま、力Ｆｚの大きさを対面距離ｄに応じて変化させることができる（図６参照。）。
　図１５Ｂに示すように、シャフト３に引っ張る方向への外力が加わった場合も、磁気バネ力の方向が逆となるのみで、上述同様にして、力一定領域が得られる。また、ヨーク部１－１，１－２と可動子２との間の対面距離ｄを変化させることにより、力一定領域をほゞ維持したまま、力Ｆｚの大きさを対面距離ｄに応じて変化させることができる。
　なお、図１４に示した磁気バネ装置１００では、可動子２の可動軸方向をシャフト３の両端をリニアガイド（ブッシュ）５－１，５－２に挿入することにより規制するものとしているが、図１６に示すように、第１のヨーク部１－１と第２のヨーク部１－２との対向面間に、その位置を固定させた状態でリニアガイド（ブッシュ）７を設け、このリニアガイド（ブッシュ）７によって可動子２の可動軸方向を規制するようにしてもよい。
　また、図１７に示すように、可動子２に始点ストッパ８－１を取り付け、シャフト３に終点ストッパ８－２を取り付け、可動子２の可動軸方向の移動範囲を制限するようにしてもよい。この例では、可動子２の下降方向への移動がシャフト３に取り付けられた終点ストッパ８－２のリニアガイド（ブッシュ）７への当接により規制され、可動子２の上昇方向への移動が可動子２に取り付けられた始点ストッパ８－１のリニアガイド（ブッシュ）７への当接により規制される。なお、この例では、始点ストッパ８－１と終点ストッパ８－２の両方を設けているが、その何れか一方のみを設けるものとしてもよい。
　また、図１４に示した磁気バネ装置１００では、対向ヨーク部１－４と連結ヨーク部１－３とを別体としているが、対向ヨーク部１－４と連結ヨーク部１－３とを一体とさせてもよい。すなわち、図１４に示した磁気バネ装置１００では、連結ヨーク部１－３を対向ヨーク部１－４のヨーク部１－１，１－２に接触させ、連結ヨーク部１－３を対向ヨーク部１－４に磁気的に吸着させているが、対向ヨーク部１－４と連結ヨーク部１－３とを一体化させてもよい。
　図１８Ａ、図１８Ｂに対向ヨーク部１－４と連結ヨーク部１－３とを一体化した例を示す。この例では、図１８Ａ、図１８Ｂに示すように、連結ヨーク部１－３を円弧状や角状の外力によって変形可能な形状にし、例えば、図１１Ａ、図１１Ｂや図１２Ａ、図１２Ｂと同様な距離調整機構を付けることにより、ヨーク部１－１，１－２と可動子２との間の対面距離ｄを調整することができるようにしている。
　また、図１４に示した磁気バネ装置１００では、可動子２を円柱状の永久磁石としたが、図１９Ａに示すように円筒状の永久磁石としてもよく、図１９Ｂに示すように角柱状の永久磁石とするなどしてもよい。また、可動子２を円柱状又は円筒状とした場合、図２０に示すように、ヨーク部１－１，１－２の対向面を可動子２の外周面に合わせて円弧状とするようにしてもよい。
　また、図１４に示した磁気バネ装置１００では、対向ヨーク部１－４のヨーク部１－１，１－２の対向面を可動子２の可動軸方向と平行としたが、図７に示すように、ヨーク部１－１，１－２の対向面を可動子２の可動軸方向に対して傾斜させるようにしてもよい。この場合、ヨーク部１－１，１－２の傾斜方向を可動軸を挟んで対称とし、その傾斜角θも同一とする。また、図８に示すように、ヨーク部１－１，１－２の対向面に対称に、複数の窪みまたは突起１ａを設けるようにしてもよい。この場合、ヨーク部１－１，１－２の対向面において、複数の窪みまたは突起１ａの密度を可動軸方向に沿って徐々に変えるようにする。
　このように傾斜角θを設けたり、複数の窪みまたは突起１ａを設けたりすることによって、一対の対向するヨーク部１－１，１－２の面と可動子２の磁極面との間の空間の磁気抵抗に可動軸（Ｚ軸）方向の適切な勾配（対向するヨーク部１－１，１－２の面のＺ軸方向端部の一方で磁気抵抗が大きく、他方で小さくなるような勾配）がつけられ、空間の磁気抵抗が大きい方の端部側方向への可動子２の変位に対してばね力がほゞ一定となる力一定領域をさらに広げることができるようになる。
　なお、図７においては、ヨーク部１－１，１－２の面の対向間隔が広がった方が空間の磁気抵抗が大きい側となる。図８においては、複数の窪みまたは突起１ａが窪みの場合、ヨーク部１－１，１－２の面の窪みの密度が大きい方が空間の磁気抵抗が大きい側となり、複数の窪みまたは突起１ａが突起の場合、ヨーク部１－１，１－２の面の突起の密度が大きい方が空間の磁気抵抗が小さい側となる。
　また、図１４に示した磁気バネ装置１００では、連結ヨーク部１－３をヨーク部１－１，１－２の可動軸と直交方向の端面の片側にしか設けなかったが、ヨーク部１－１，１－２の可動軸と直交方向の端面の両側に設けるようにしてもよい。すなわち、図２１に示すように、ヨーク部１－１，１－２の可動軸と直交方向の端面の一方に第１の連結ヨーク部１－３１を、ヨーク部１－１，１－２の可動軸と直交方向の端面の他方に第２の連結ヨーク部１－３２を設けるようにしてもよい。この場合、第１の連結ヨーク部１－３１と可動子２との間の対面距離ｅと同様に、第２の連結ヨーク部１－３２と可動子２との間の対面距離ｅも、ヨーク部１－１，１－２と可動子２との間の対面距離ｄよりも大きくする。このとき、第１の連結ヨーク部１－３１と可動子２との間の対面距離ｅと、第２の連結ヨーク部１－３２と可動子２との間の対面距離ｅとを同一にすることによって、第１、第２のヨーク部１－１，１－２と第１、第２の連結ヨーク部１－３１，１－３２とからなる固定子は、可動子２の可動軸に対して対称な構造を有する。
　また、図１４に示した磁気バネ装置１００では、連結ヨーク部１－３をヨーク部１－１，１－２の可動軸に平行な一方の端面に設けたが、ヨーク部１－１，１－２の可動軸方向と直交する両方の端面に設けてもよい。このとき、連結ヨーク部は、磁性体からなる複数の部材から構成される。例えば、図２２Ａ、図２２Ｂに示すように、ヨーク部１－１，１－２の可動軸方向の２つの端面の一方に第１の連結ヨーク部１－３３を、他方に第２の連結ヨーク部１－３４を設けるようにする。この場合、図１４に示した連結ヨーク部１－３と可動子２との間の対面距離ｅと同様に、連結ヨーク部１－３３，１－３４と可動子２との間の対面距離ｅも、ヨーク部１－１，１－２と可動子２との間の対面距離ｄよりも大きくする。
　また、図１４に示した磁気バネ装置１００では、ヨーク部１－１，１－２の可動軸と直交方向の端面片側の全面に連結ヨーク部１－３を設けるようにしたが、ヨーク部１－１，１－２の可動軸と直交方向の端面片側の任意の範囲にのみ設けるようにしてもよい。例えば、図２３Ａ、図２３Ｂに示すように、ヨーク部１－１，１－２の可動軸と直交方向の端面片側の中央部分にのみ連結ヨーク部１－３を設けるようにする。このように、連結ヨーク部１－３のサイズ、形状は、必要な量の磁束を流せる範囲で任意に変更可能である。
　図２４Ａ、図２４Ｂ、図２４Ｃにヨーク部１－１，１－２と可動子２との間の対面距離ｄを変化させる距離調整機構２００Ａを例示する。
　図２４Ａ、図２４Ｂにおいて、ネジ部１０はそのネジ山が順方向とされた第１のネジ部１０－１と、逆方向とされた第２のネジ部１０－２とからなり、第１のネジ部１０－１がヨーク部１－２を貫通してそのネジ孔部１－２ａに螺合され、第２のネジ部１０－２がヨーク部１－１を貫通してそのネジ孔部１－１ａに螺合され、第１のネジ部１０－１と第２のネジ部１０－２との間が固定部軸受９によって軸支され、かつ、第１のネジ部１０－１と第２のネジ部１０－２の位置が図示左右方向に移動しないように　移動止め１０－３が付いている。
　スライド機構１２は、ヨーク部１－１側とヨーク部１－２側のそれぞれに設けられており、スライドレール１２－１とスライダ１２－２とからなる。ヨーク部１－１側において、スライダ１２－２はヨーク部１－１の外面に固定されており、スライドレール１２－１によって、可動子２の可動軸と直交する図面内左右方向へ案内される。ヨーク部１－２側において、スライダ１２－２はヨーク部１－２の外面に固定されており、スライドレール１２－１によって可動子２の可動軸と直交する図面内左右方向へ案内される。
　この距離調整機構２００Ａにおいて、ダイアル１１を回転させると、ネジ部１０（１０－１，１０－２）が回転する。このネジ部１０（１０－１，１０－２）の回転によって、ヨーク部１－１と可動子２との間の対面距離ｄおよびヨーク部１－２と可動子２との間の対面距離ｄが可動子２の可動軸を中心にして対称に変化する。
　例えば、ダイアル１１を反時計方向へ回転させると、ヨーク部１－１，１－２がスライダ１２－２，１２－２とともにスライドレール１２－１，１２－１に案内されながら、可動子２に近づく方向に移動し、可動子２との間の対面距離ｄが狭まる。ダイアル１１を時計方向へ回転させると、ヨーク部１－１，１－２がスライダ１２－２，１２－２とともにスライドレール１２－１，１２－１に案内されながら、可動子２から遠ざかる方向に移動し、可動子２との間の対面距離ｄが拡がる。
　図２５～図２８に距離調整機構の別の例を示す。図２５はリンク機構を用いた例、図２６は移動方向変換機構を用いた例、図２７はカム機構を用いた例、図２８はラックアンドピニオン機構を用いた例である。何れの図においてもヨーク部１－１，１－２を可動子２の可動軸と直交方向へ案内するスライド機構は省略されている。
　図２５に示した距離調整機構２００Ｂでは、ダイアル１１を回転させることにより、ボルト（ネジ部）１３が回転し、リンク機構１４がその幅Ｗを変化させながら上下動する。このリンク機構１４の幅Ｗの変化によって、ヨーク部１－１と可動子２との間の対面距離ｄおよびヨーク部１－２と可動子２との間の対面距離ｄが可動子２の可動軸を中心にして対称に変化する。
　図２６に示した距離調整機構２００Ｃでは、ダイアル１１を回転させることにより、ボルト（ネジ部）１３が回転し、台座１５－１とくさび状部材１５－２とによって構成される移動方向変換機構１５の幅Ｗが変化し、これによってヨーク部１－１と可動子２との間の対面距離ｄおよびヨーク部１－２と可動子２との間の対面距離ｄが可動子２の可動軸を中心にして対称に変化する。
　図２７に示した距離調整機構２００Ｄでは、シャフト１６を回転させることにより、カム１７が回転して、その（可動軸と直交方向の）幅Ｗが変化し、これによってヨーク部１－１と可動子２との間の対面距離ｄおよびヨーク部１－２と可動子２との間の対面距離ｄが可動子２の可動軸を中心にして対称に変化する。
　図２８に示した距離調整機構２００Ｅでは、シャフト１６を回転させることにより、ピニオン１８－１とラック１８－２，１８－３とで構成されるラックアンドピニオン機構１８の幅Ｗが変化し、これによってヨーク部１－１と可動子２との間の対面距離ｄおよびヨーク部１－２と可動子２との間の対面距離ｄが可動子２の可動軸を中心にして対称に変化する。
　上述した本発明の実施の形態では、可動子２の磁極に対面する第１のヨーク部１－１および第２のヨーク部１－２の面が比較的広い場合の例を説明したが、第１のヨーク部１－１および第２のヨーク部１－２の対向面は、可動子２の磁極との間に必要な磁気吸引力を発生するために、必要な磁束を流すことができる程度の面積があればよい。例えば、可動子２を、ヨーク部１－１，１－２の可動軸と直交方向の、連結ヨーク部１－３と反対側の端面同士を結ぶ線の付近に配置したり、ヨーク部１－１，１－２の可動軸と直交方向の、連結ヨーク部１－３と反対側の端面を可動子２側に（直角に）折り曲げて、その端面を可動子２の磁極面と対面させてもよい。
　上述した本発明の実施の形態において、永久磁石は例えば、ネオジムやサマリウムコバルトなどの希土類磁石またはフェライト磁石などが好ましい。磁性体は、飽和磁束密度や透磁率が大きく、保磁力が小さく、磁気ヒステリシスの小さい軟磁性材料（例えば、電磁鋼板、電磁軟鉄、パーマロイなど）が好ましい。また、非磁性体は、例えば、ＳＵＳ３１６、アルミニウム、真鍮、樹脂などや、その他、磁気回路への磁気的影響が無視できるレベルの材料からなる。
　上述した本発明の実施の形態では、可動軸つまり可動子２の移動方向を垂直にした例で説明したが、可動軸の方向に制限はなく水平や斜めにして使用してもよい。なお、可動軸を水平以外の方向にして使用する場合は、可動子２とシャフト３からなる可動体４の質量にかかる重力の分だけ可動体４が下方に移動し、それに対して発生した磁気バネ力とつりあう点が、外力が無い時の原点位置となる（厳密にはリニアガイド（ブッシュ）７の摩擦力もこれに加わる）。
〔実施の形態の拡張〕
　以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
　１…固定子、１－１…磁性体（第１のヨーク部）、１－２…磁性体（第２のヨーク部）、１－１ａ，１－２ａ…取付部、１－１ｂ，１－２ｂ…長穴、１－１ｃ，１－２ｃ…取付部、１－１ｄ，１－２ｄ…長穴、１－３…磁性体（連結ヨーク部）、１－４…対向ヨーク部、２…永久磁石（可動子）、２１…台座、２１ａ…通過穴、２２－１，２２－２…取付部材、２２－１ａ，２２－２ａ…長穴、２３－１，２３－２…ボルト、２００Ａ，２００Ｂ，２００Ｃ，２００Ｄ，２００Ｅ…距離調整機構。

Claims (14)

  1. 　距離を隔てて対向する対向面を持つ第１のヨーク部と第２のヨーク部とからなる対向ヨーク部と、前記第１のヨーク部と第２のヨーク部とを磁気的に接続して前記第１のヨーク部と第２のヨーク部との間の磁路となる連結ヨーク部とを備えた固定子と、
    　前記対向ヨーク部の前記対向面の間に、前記第１のヨーク部と第２のヨーク部とから離間して、前記第１のヨーク部および第２のヨーク部の前記対向面が対向する方向に対してほゞ直交する方向を可動軸の方向として移動可能に設けられ、その可動軸を挟んで反対側の位置に少なくとも一対の磁極を有する永久磁石からなる可動子と、
    　前記第１のヨーク部と前記可動子との間の対面距離および前記第２のヨーク部と前記可動子との間の対面距離を調整可能とする距離調整手段と
    　を備え、磁気の吸引力を磁気バネ力として用いる磁気バネ装置。
  2. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記連結ヨーク部は、
    　前記第１のヨーク部および第２のヨーク部に接触して磁気的に吸着されている
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  3. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記連結ヨーク部は、
    　前記対向ヨーク部と一体とされ、かつ外力によって変形可能とされている
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  4. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記連結ヨーク部と前記可動子との間の対面距離は、前記第１のヨーク部と前記可動子との間の対面距離および前記第２のヨーク部と前記可動子との間の対面距離よりも大きい
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  5. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記可動子は、
    　円柱状、円筒状、または角柱状の永久磁石からなる
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  6. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記可動子の前記可動軸の方向の長さは、
    　前記対向ヨーク部の前記可動軸の方向の長さと等しい
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  7. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記可動子は、円柱状又は円筒状に形成され、
    　前記第１のヨーク部および第２のヨーク部の前記対向面は、前記可動子の外周面に合わせて円弧状に形成されている
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  8. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記第１のヨーク部および第２のヨーク部の前記対向面は、それぞれ前記可動子の前記可動軸と平行である
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  9. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記第１のヨーク部および第２のヨーク部の前記対向面は、前記可動子の前記可動軸に対して傾斜し、かつ、前記対向面の傾斜方向は、前記可動軸を挟んで対称とされている
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  10. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記第１のヨーク部および第２のヨーク部は、前記対向面に形成された複数の窪みまたは複数の突起を備えている
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  11. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記距離調整手段は、
    　前記第１のヨーク部と前記可動子との間の対面距離および前記第２のヨーク部と前記可動子との間の対面距離を前記可動子の前記可動軸を中心にして対称に変化させる機構を備える
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  12. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記固定子は、
    　前記可動子の前記可動軸に対して対称な構造を有する
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  13. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記可動子に連結されたシャフトと、
    　前記可動子の前記可動軸の方向の移動範囲を制限する移動範囲制限手段と
    をさらに備え、
    　前記移動範囲制限手段は、
    　前記可動子に取り付けられたストッパおよび前記シャフトに取り付けられたストッパの何れか一方あるいは両方である
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
  14. 　請求項１に記載された磁気バネ装置において、
    　前記連結ヨーク部は、磁性体からなる複数の部材からなる
    　ことを特徴とする磁気バネ装置。
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