JP2011155757A - リニアモータ - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、必要な永久磁石数を低減して、全体を安価にすることができるリニアモータを得ることを目的とするものである。
【解決手段】固定子1は、磁性体により構成されている。可動子コア5は、可動子2の幅方向の永久磁石7の両側に配置された第1及び第2のコア部分8,9に分割されている。永久磁石7の着磁方向は、可動子2の幅方向に平行な方向である。永久磁石7は、可動子2に対向する磁極部4との間に磁束の流れを形成する。磁極部4は、第1及び第2のコア部分8,9に対向するように2列に配置されているとともに、可動子2の移動方向に沿って、固定子1の永久磁石7に対向する部分の左右両側に交互に振り分けて配置されている。
【選択図】図1
【解決手段】固定子1は、磁性体により構成されている。可動子コア5は、可動子2の幅方向の永久磁石7の両側に配置された第1及び第2のコア部分8,9に分割されている。永久磁石7の着磁方向は、可動子2の幅方向に平行な方向である。永久磁石7は、可動子2に対向する磁極部4との間に磁束の流れを形成する。磁極部4は、第1及び第2のコア部分8,9に対向するように2列に配置されているとともに、可動子2の移動方向に沿って、固定子1の永久磁石7に対向する部分の左右両側に交互に振り分けて配置されている。
【選択図】図1
Description
この発明は、例えば、工作機械や半導体製造装置などの産業機械のテーブル送りなどに用いられるリニアモータに関するものである。
例えば、工作機械のテーブル送りや搬送機器のアクチュエータに対しては、高速化・高精度化の要求が高い。そこで、近年、工作機械などにリニアモータがよく用いられている。リニアモータは、ダイレクト駆動であり、回転型サーボモータとボールネジとを組み合わせた従来の駆動方式に比べ、高速度・高加速度特性を得ることができ、かつバックラッシュや摩擦による応答誤差が生じないため、高精度なシステムを構築可能である。
従来のリニアモータは、固定子と、この固定子に対向し固定子に対して移動される可動子とを有している。固定子は、磁石板の上に複数の永久磁石を配置して構成されている。永久磁石は、可動子に対して交互に異極が対向するように着磁されている。可動子は、複数のティースにそれぞれコイルが巻回されて構成されている(例えば、特許文献1参照)。
上記のような従来のリニアモータでは、高推力化のため、高価なネオジム磁石が永久磁石として用いられていることが多いため、長ストローク化して必要な永久磁石数が増加すると、全体がかなり高価になってしまう。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、必要な永久磁石数を低減して、全体を安価にすることができるリニアモータを得ることを目的とする。
この発明に係るリニアモータは、所定の経路に沿って並べて配置された複数の磁極部を有する固定子、及び可動子コアと、可動子コアに巻回されたコイルとを有し、固定子に対向して配置され、経路に沿って移動する可動子を備え、磁極部は、磁性体により構成されており、可動子には、可動子に対向する磁極部との間に磁束の流れを形成する少なくとも1つの永久磁石が設けられており、永久磁石の着磁方向は、可動子の移動方向に対して直角で可動子の幅方向に平行な方向であり、可動子コアは、可動子の幅方向の永久磁石の両側に配置された複数のコア部分に分割されており、磁極部は、コア部分に対向するように複数列に配置されているとともに、可動子の移動方向に沿って、固定子の永久磁石に対向する部分の左右両側に交互に振り分けて配置されている。
この発明のリニアモータは、可動子に設けた永久磁石により、磁性体により構成された磁極部との間に磁束の流れが形成され、しかも永久磁石の左右両側の磁極部に異極が形成されるので、固定子側の永久磁石を省略することができ、必要な永久磁石数を低減して、全体を安価にすることができる。
以下、この発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1によるリニアモータを示す斜視図、図2は図1の要部を示す側面図、図3は図1の固定子を示す平面図である。図において、リニアモータは、固定子1と、空隙を介して固定子1に対向して配置され、固定子1に対して所定の経路に沿って移動する可動子2とを有している。この例では、可動子2の移動方向は、図のX軸方向である。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1によるリニアモータを示す斜視図、図2は図1の要部を示す側面図、図3は図1の固定子を示す平面図である。図において、リニアモータは、固定子1と、空隙を介して固定子1に対向して配置され、固定子1に対して所定の経路に沿って移動する可動子2とを有している。この例では、可動子2の移動方向は、図のX軸方向である。
固定子1は、磁性体により構成されている。また、固定子1は、平板状のベース部3と、ベース部3の可動子2に対向する面に極対ピッチ毎に設けられた複数の磁極部4とを有している。磁極部4は、可動子2の移動経路に沿って並べて配置されている。また、磁極部4は、ベース部3の可動子2に対向する面から可動子2側へ突出している。さらに、この例では、磁極部4の平面形状は四角形である。さらにまた、磁極部4は、ベース部3と一体で構成しても、ベース部3とは別に加工した後に接着、ねじ止め又は溶接等によりベース部3に固定してもよい。
可動子2には、複数のティース2aとコアバック部2bとが設けられている。また、可動子2は、可動子コア5、コイル6(図1では省略)、及び永久磁石7を有している。可動子コア5は、可動子2の幅方向(可動子2の移動方向に直角かつ可動子2と固定子1との間の空隙面に平行な方向:図のY軸方向)の永久磁石7の両側に配置された第1及び第2のコア部分8,9に分割されている。即ち、第1及び第2のコア部分8,9は永久磁石7の左右に配置され、永久磁石7は第1及び第2のコア部分8,9間に挟まれている。
ティース2aは、第1及び第2のコア部分8,9と永久磁石7とに連続して形成されている。コイル6は、ティース2aに巻回されている。
永久磁石7の着磁方向は、可動子2の幅方向に平行な方向(図のY軸方向)、即ち移動方向に対して左右の方向である。永久磁石7は、可動子2に対向する磁極部4との間に磁束の流れを形成する。磁極部4は、第1及び第2のコア部分8,9に対向するように2列に配置されているとともに、可動子2の移動方向に沿って、固定子1の永久磁石7に対向する部分の左右両側に交互に振り分けて配置されている。即ち、磁極部4は、固定子1を水平面上に置いて真上から見た場合に千鳥格子状に配置されている。
固定子1の永久磁石7に対向する部分には、磁極部4が配置されていない部分が存在している。この磁極部4が配置されていない部分の幅寸法(図3のw1)は、永久磁石7の幅寸法(図のY軸方向の寸法)とほぼ等しい。また、固定子1の磁極部4が配置されている領域の幅寸法(図3のw2)は、可動子コア5の幅寸法(図のY軸方向の寸法)とほぼ等しい。
この例では、側面から見た形状がコア部分8,9と同じである一体物の永久磁石7を用いている。これに対して、複数の磁石を組み合わせて永久磁石7を構成してもよく、直方体等の単純な形状の磁石を組み合わせることで、低コスト化が可能である。
コア部分8,9は、可動子2の幅方向に積層された複数の電磁鋼板、又は圧粉鉄心等により構成されている。コア部分8,9と永久磁石7とは、接着により一体化されている。
ベース部3の幅方向(図のY軸方向)両端部には、固定子1を他の装置に取り付けるための取付具が挿通される複数の取付孔3aが設けられている。可動子2の移動方向への取付孔3aのピッチは、極対ピッチと同じである。
ここで、図4は図1の永久磁石7により固定子1に形成される主要な磁束の流れ(磁束ベクトル)を示す斜視図であり、コイル6に電流を流していないときの状態を示している。永久磁石7の着磁方向がY軸方向の正の方向であるとすると、永久磁石7からの磁束(図4の点線矢印)は、可動子2側から手前側(可動子2の移動方向(X軸方向の正の方向)に対して右側)の磁極部4へ流れ、固定子1内を手前側から奥側(可動子2の移動方向に対して左側)へ流れ、奥側の磁極部4から可動子2側へと流れている。
従って、永久磁石7の左側の磁極部4と右側の磁極部4とは異極となる。そして、磁極部4を永久磁石7の左右両側に交互に振り分けて配置したことにより、可動子2の移動方向に沿って見ると、固定子1上にはN極とS極とが交互に発生する。このため、固定子1には永久磁石を配置する必要がなくなり、必要な永久磁石数を低減して、全体を安価にすることができる。
なお、実施の形態1では、移動方向への可動子2の長さ寸法が磁極部4の2極分であるが、これに限定されるものではなく、例えば4極分であってもよい。図5は図1の可動子2の長さ寸法を磁極部4の4極分とした場合に永久磁石7により固定子1に形成される主要な磁束の流れを示す斜視図であり、このような構成によっても固定子1に永久磁石を配置する必要がなくなる。
また、実施の形態1では極数:ティース数が2:3の場合を示したが、極数とティース数との比もこれに限定されるものではない。
実施の形態2.
次に、図6はこの発明の実施の形態2によるリニアモータを示す斜視図、図7は図6の固定子を示す斜視図である。この例では、ベース部3の幅方向(図のY軸方向)両端部が磁極部4の外側まで延長されておらず、磁極部4の端部に揃えられている。また、取付孔3aは、ベース部3の磁極部4間の部分に設けられている。他の構成は、実施の形態1と同様である。
次に、図6はこの発明の実施の形態2によるリニアモータを示す斜視図、図7は図6の固定子を示す斜視図である。この例では、ベース部3の幅方向(図のY軸方向)両端部が磁極部4の外側まで延長されておらず、磁極部4の端部に揃えられている。また、取付孔3aは、ベース部3の磁極部4間の部分に設けられている。他の構成は、実施の形態1と同様である。
このようなリニアモータでは、磁束が取付孔3aを避けて流れるため、磁束を磁極部4に集めることができ、推力を向上させることができる。しかも、固定子1を装置に取り付けるためにベース部3を大きくする必要がなく、全体の小型化が可能となる。なお、固定子1を装置に取り付けるための取付具(ねじ等)としては、例えばステンレス鋼のような非磁性体からなるものを用いるのが好適である。
実施の形態3.
次に、図8はこの発明の実施の形態3によるリニアモータの固定子を示す斜視図である。実施の形態3では、実施の形態2の取付孔3aをベース部3の幅方向外側に広げることにより、ベース部3に複数のU字型の溝部3bが形成されている。即ち、可動子2の移動方向に隣接する磁極部4間には、固定子1の幅方向両端から中心へ向けて溝部3bが設けられている。そして、固定子1は、溝部3bでねじ止めされて装置に固定される。他の構成は、実施の形態2と同様である。
次に、図8はこの発明の実施の形態3によるリニアモータの固定子を示す斜視図である。実施の形態3では、実施の形態2の取付孔3aをベース部3の幅方向外側に広げることにより、ベース部3に複数のU字型の溝部3bが形成されている。即ち、可動子2の移動方向に隣接する磁極部4間には、固定子1の幅方向両端から中心へ向けて溝部3bが設けられている。そして、固定子1は、溝部3bでねじ止めされて装置に固定される。他の構成は、実施の形態2と同様である。
このような固定子1を用いたリニアモータでは、より効率的に磁束を磁極部4に集中させることができ、推力を向上させることができる。
なお、図8の例では、加工の容易さから溝部3bをU字型としたが、溝部3bの形状はこれに限定されるものではなく、例えば長方形型としてもよい。但し、磁束を効率良く磁極部4に集中させるためには、可動子2の移動方向に隣接する磁極部4間の中心に対して溝部3bを対称形とするのが好適である。
実施の形態4.
次に、図9はこの発明の実施の形態4によるリニアモータの固定子を示す斜視図である。実施の形態3のような溝部3bでねじ止めを行うためには、取付具としてのねじの頭部の高さを磁極部4の高さよりも低くする必要がある。一方、溝部3bの幅が大きいほど、磁極部4に磁束を集中させる効果が向上する。しかし、溝部3bの幅を大きくすると、固定に必要となるねじが大きくなるため、磁極部4の高さよりもねじの頭部を低くするには、低頭ボルトなどの特殊ねじを使用する必要が生じる。
次に、図9はこの発明の実施の形態4によるリニアモータの固定子を示す斜視図である。実施の形態3のような溝部3bでねじ止めを行うためには、取付具としてのねじの頭部の高さを磁極部4の高さよりも低くする必要がある。一方、溝部3bの幅が大きいほど、磁極部4に磁束を集中させる効果が向上する。しかし、溝部3bの幅を大きくすると、固定に必要となるねじが大きくなるため、磁極部4の高さよりもねじの頭部を低くするには、低頭ボルトなどの特殊ねじを使用する必要が生じる。
これに対して、実施の形態4では、固定子1を装置に取り付ける際にねじの頭部を受ける段部3cが溝部3b内に設けられている。
このような固定子1を用いたリニアモータでは、溝部3bの幅を十分に大きくして磁極部4に磁束を効率的に集中させつつ、特殊ねじを用いずに磁極部4の高さよりもねじの頭部を低くすることが可能となる。
なお、実施の形態2の構成でも、座ぐり穴(深座ぐり)を取付孔3aに設けて、ねじの頭部を受ける段部を取付孔3a内に設ければ、取付孔3aの径を十分に大きくして磁極部4に磁束を効率的に集中させつつ、特殊ねじを用いずに磁極部4の高さよりもねじの頭部を低くすることが可能となる。
実施の形態5.
次に、図10はこの発明の実施の形態5によるリニアモータの可動子を示す分解斜視図である。実施の形態1では、コア部分8,9と永久磁石7とを接着により一体化したが、実施の形態5では、可動子2のコアバック部2bにコア部分8,9と永久磁石7とを貫通する複数の結合用孔2cが設けられており、これらの結合用孔2cに挿通された複数組の結合具11によりコア部分8,9と永久磁石7とが一体化されている。結合具11は、結合用孔2cに挿通されたねじ棒12と、ねじ棒12に螺着された複数のナット13とを有している。他の構成は、実施の形態1、2、3又は4と同様である。
次に、図10はこの発明の実施の形態5によるリニアモータの可動子を示す分解斜視図である。実施の形態1では、コア部分8,9と永久磁石7とを接着により一体化したが、実施の形態5では、可動子2のコアバック部2bにコア部分8,9と永久磁石7とを貫通する複数の結合用孔2cが設けられており、これらの結合用孔2cに挿通された複数組の結合具11によりコア部分8,9と永久磁石7とが一体化されている。結合具11は、結合用孔2cに挿通されたねじ棒12と、ねじ棒12に螺着された複数のナット13とを有している。他の構成は、実施の形態1、2、3又は4と同様である。
このようなリニアモータでは、コア部分8,9と永久磁石7とをより確実に一体化することができる。
なお、コア部分8,9と永久磁石7との固定をより強固にするため、結合具11と接着剤とを併用してもよい。
なお、コア部分8,9と永久磁石7との固定をより強固にするため、結合具11と接着剤とを併用してもよい。
実施の形態6.
次に、図11はこの発明の実施の形態6によるリニアモータの可動子を示す分解斜視図である。実施の形態6では、第1及び第2のコア部分8,9が共通の平板状の可動子連結部材14に固定されている。可動子連結部材14は、漏れ磁束を低減するため、例えばステンレス鋼などの非磁性体により構成するのが好適である。
次に、図11はこの発明の実施の形態6によるリニアモータの可動子を示す分解斜視図である。実施の形態6では、第1及び第2のコア部分8,9が共通の平板状の可動子連結部材14に固定されている。可動子連結部材14は、漏れ磁束を低減するため、例えばステンレス鋼などの非磁性体により構成するのが好適である。
可動子連結部材14は、複数のねじ15によりコア部分8,9に固定されている。可動子連結部材14には、ねじ15が挿通される複数の孔が設けられている。また、コア部分8,9には、ねじ15が螺着される複数のねじ穴が設けられている。
さらに、コア部分8,9内を流れる磁束への影響を小さくするため、ねじ穴はティース2aの中心部に対応する位置に設けるのが好適である。さらにまた、可動子連結部材14からねじ15の頭部が飛び出ると、可動子2を装置に精度良く取り付けることができず、また装置への接触面が低減して放熱性が悪化するため、ねじ15の頭部を収容する座ぐり穴を設けるなどして、ねじ15の頭部が可動子連結部材14から飛び出さない構成とするのが好適である。
永久磁石7は、コア部分8,9及び可動子連結部材14の両方に接着されるが、より強固に固定したい場合には、永久磁石7の上面にタップを切って、可動子連結部材14にねじ止めしてもよい。他の構成は、実施の形態1、2、3又は4と同様である。
このような可動子2の一体化構造では、実施の形態5に比べ、永久磁石7がコア部分8,9間に圧縮されないため、圧縮による永久磁石7の破損を防止することができる。
実施の形態7.
次に、図12はこの発明の実施の形態7によるリニアモータの可動子を示す分解斜視図である。実施の形態7では、永久磁石7を囲んで保持する永久磁石保持部材16が可動子連結部材14にねじ止めされている。また、永久磁石7は、直方体状の磁石のみを組み合わせて構成されている。他の構成は、実施の形態6と同様である。
次に、図12はこの発明の実施の形態7によるリニアモータの可動子を示す分解斜視図である。実施の形態7では、永久磁石7を囲んで保持する永久磁石保持部材16が可動子連結部材14にねじ止めされている。また、永久磁石7は、直方体状の磁石のみを組み合わせて構成されている。他の構成は、実施の形態6と同様である。
このようなリニアモータでは、接着剤に頼らず、永久磁石7をコア部分8,9と安定して強固に一体化することができる。
実施の形態8.
次に、図13はこの発明の実施の形態8によるリニアモータの可動子を示す分解斜視図である。実施の形態8では、永久磁石保持部材16がコア部分8,9にねじ止めされる。他の構成は、実施の形態7と同様である。
次に、図13はこの発明の実施の形態8によるリニアモータの可動子を示す分解斜視図である。実施の形態8では、永久磁石保持部材16がコア部分8,9にねじ止めされる。他の構成は、実施の形態7と同様である。
このような構成によっても、接着剤に頼らず、永久磁石7をコア部分8,9と安定して強固に一体化することができる。
なお、永久磁石保持部材16は、永久磁石保持部材16及びコア部分8,9の両方にねじ固定してもよい。
実施の形態9.
次に、図14はこの発明の実施の形態9によるリニアモータを示す斜視図である。実施の形態1〜8では、可動子コア5を2つのコア部分8,9に分割した例を示したが、可動子2の幅方向(図のY軸方向)に3つ以上に分割してもよく、実施の形態9では3つに分割した例を示している。即ち、可動子2は、第1ないし第3のコア部分17〜19と、第1及び第2の永久磁石20,21とを有している。また、磁極部4は、第1ないし第3のコア部分17〜19に対向するように、3列に配置されている。他の構成は、実施の形態1、2、3、4、5、6、7又は8と同様である。
次に、図14はこの発明の実施の形態9によるリニアモータを示す斜視図である。実施の形態1〜8では、可動子コア5を2つのコア部分8,9に分割した例を示したが、可動子2の幅方向(図のY軸方向)に3つ以上に分割してもよく、実施の形態9では3つに分割した例を示している。即ち、可動子2は、第1ないし第3のコア部分17〜19と、第1及び第2の永久磁石20,21とを有している。また、磁極部4は、第1ないし第3のコア部分17〜19に対向するように、3列に配置されている。他の構成は、実施の形態1、2、3、4、5、6、7又は8と同様である。
このような構成によっても、固定子1には永久磁石を配置する必要がなくなり、必要な永久磁石数を低減して、全体を安価にすることができる。また、可動子2の幅方向に同形状のコア部分17〜19や永久磁石20,21を積み重ねることで、大型のリニアモータを簡単に構成できる。
実施の形態10.
次に、図15はこの発明の実施の形態9によるリニアモータを示す斜視図である。実施の形態10では、可動子コア5が可動子2の移動方向に4つに分割されている。即ち、可動子2は、第1ないし第4のコア部分22〜25と、第1ないし第3の永久磁石26〜28とを有している。
次に、図15はこの発明の実施の形態9によるリニアモータを示す斜視図である。実施の形態10では、可動子コア5が可動子2の移動方向に4つに分割されている。即ち、可動子2は、第1ないし第4のコア部分22〜25と、第1ないし第3の永久磁石26〜28とを有している。
また、磁極部4は、第1ないし第4のコア部分22〜25に対向するように、4列配置されている。さらに、可動子2の幅方向の両端に位置するコア部分22,25の幅寸法は、中間に位置するコア部分23,24の幅寸法の半分となっている。これに対応して、コア部分22,25に対向する磁極部4の幅寸法は、コア部分23,24に対向する磁極部4の幅寸法の半分となっている。他の構成は、実施の形態1、2、3、4、5、6、7又は8と同様である。
このような構成とすることにより、可動子コア5の飽和状態を均一化することができる。
なお、上記の例では、固定子1が水平面上に設置された状態を示したが、リニアモータの使用時の向きは特に限定されない。
また、上記の例では、可動子2がX軸方向に移動する場合を示したが、可動子2の移動経路は任意に設定することができ、例えば曲線状の経路であってもよい。
また、上記の例では、可動子2がX軸方向に移動する場合を示したが、可動子2の移動経路は任意に設定することができ、例えば曲線状の経路であってもよい。
1 固定子、2 可動子、3a 取付孔、3b 溝部、3c 段部、4 磁極部、5 可動子コア、6 コイル、7 永久磁石、8,17,22 第1のコア部分、9,18,23 第2のコア部分、19,24 第3のコア部分、14 可動子連結部材、16 永久磁石保持部材、20,26 第1の永久磁石、21,27 第2の永久磁石、25 第4のコア部分、28 第3の永久磁石。
Claims (7)
- 所定の経路に沿って並べて配置された複数の磁極部を有する固定子、及び
前記可動子コアと、前記可動子コアに巻回されたコイルとを有し、前記固定子に対向して配置され、前記経路に沿って移動する可動子
を備えたリニアモータにおいて、
前記磁極部は、磁性体により構成されており、
前記可動子には、前記可動子に対向する前記磁極部との間に磁束の流れを形成する少なくとも1つの永久磁石が設けられており、
前記永久磁石の着磁方向は、前記可動子の移動方向に対して直角で前記可動子の幅方向に平行な方向であり、
前記可動子コアは、前記可動子の幅方向の前記永久磁石の両側に配置された複数のコア部分に分割されており、
前記磁極部は、前記コア部分に対向するように複数列に配置されているとともに、前記可動子の移動方向に沿って、前記固定子の前記永久磁石に対向する部分の左右両側に交互に振り分けて配置されていることを特徴とするリニアモータ。 - 前記固定子には、前記固定子を他の装置に取り付けるための取付具が挿通される複数の取付孔が設けられており、
前記取付孔は、前記可動子の移動方向に隣接する前記磁極部間に配置されていることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。 - 前記取付具はねじであり、
前記取付孔内には、前記ねじの頭部を受ける段部が設けられていることを特徴とする請求項2記載のリニアモータ。 - 前記固定子には、前記固定子を他の装置に取り付けるための取付具が挿通される複数の溝部が設けられており、
前記溝部は、前記可動子の移動方向に隣接する磁極部間で、前記固定子の幅方向両端から中心へ向けて設けられていることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。 - 前記取付具はねじであり、
前記溝部内には、前記ねじの頭部を受ける段部が設けられていることを特徴とする請求項4記載のリニアモータ。 - 前記第1及び第2のコア部分は、共通の可動子連結部材に固定されていることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のリニアモータ。
- 前記永久磁石を保持する永久磁石保持部材が、前記可動子連結部材と前記第1及び第2のコア部分との少なくともいずれか一方に取り付けられていることを特徴とする請求項6記載のリニアモータ。
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