WO2022259916A1 - 振動発生装置 - Google Patents

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WO2022259916A1
WO2022259916A1 PCT/JP2022/022125 JP2022022125W WO2022259916A1 WO 2022259916 A1 WO2022259916 A1 WO 2022259916A1 JP 2022022125 W JP2022022125 W JP 2022022125W WO 2022259916 A1 WO2022259916 A1 WO 2022259916A1
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WO
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movable
movable body
magnetic flux
coil
fixed
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/022125
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English (en)
French (fr)
Inventor
剛教 高橋
一成 高橋
剛 白坂
祐基 池添
Original Assignee
アルプスアルパイン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by アルプスアルパイン株式会社 filed Critical アルプスアルパイン株式会社
Priority to JP2023527632A priority Critical patent/JPWO2022259916A1/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/02—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs

Definitions

  • the present disclosure relates to a vibration generator.
  • a linear vibration actuator (vibration generator) that supports a mover (movable body) including a magnet so that it can vibrate (see Patent Document 1).
  • This vibration generator has a pair of rails that hold a movable body so that it can move straight.
  • This vibration generator also includes a magnetic spring that utilizes a repulsive force (repulsive force) between a magnet attached to the movable body and another magnet attached to the housing. The magnetic spring is configured to generate a restoring force to return the movable body to the initial position when the movable body is moved from the initial position by the electromagnetic force.
  • a vibration generating device includes a fixed body, a movable body housed in the fixed body, guide means for guiding the movable body to reciprocate along the horizontal direction in the fixed body, A magnetic flux generating member attached to one of the fixed body and the movable body and generating magnetic flux along the vertical direction, and a magnetic flux generating member attached to the other of the fixed body and the movable body and extending in the front-rear direction and extending in the left-right direction and a biasing means for generating a force to move the movable body at a position deviated from the center of the movable range of the movable body toward the center of the movable range,
  • the guide means includes a fixed-side end face set along the left-right direction on the fixed body, a movable-side end face set on the movable body along the left-right direction, and between the fixed-side end face and the movable-side end face. and a rolling member rotatably sandwiched between the urging
  • the vibration generator described above can suppress the generation of abnormal noise due to the stick-slip phenomenon.
  • FIG. 4 is a perspective view of the lower front ball set, lower front ball guide, and lower front rail;
  • FIG. 4 is a front view of the lower front ball set, lower front ball guide, and lower front rail;
  • It is a sectional view of a vibration generator.
  • It is a perspective view of a vibration generator. 4 is a perspective view of a coil fixed to a housing;
  • FIG. FIG. 4 is a top view of a coil fixed to a housing;
  • Fig. 3 is a cross-sectional view of the cover, coil and magnetic flux source;
  • FIG. 4B is a top view of the lower cover, lower coil, and magnetic flux source;
  • FIG. 1A is a perspective view of the vibration generator 101
  • FIG. 1B is a top view of the vibration generator 101
  • FIG. FIG. 2 is an exploded perspective view of the vibration generator 101.
  • X1 in FIG. 1A represents one direction of the X-axis constituting the three-dimensional orthogonal coordinate system, and X2 represents the other direction of the X-axis.
  • Y1 represents one direction of the Y-axis forming the three-dimensional orthogonal coordinate system, and Y2 represents the other direction of the Y-axis.
  • Z1 represents one direction of the Z-axis forming the three-dimensional orthogonal coordinate system, and Z2 represents the other direction of the Z-axis.
  • the X1 side of the vibration generator 101 corresponds to the front side (front side) of the vibration generator 101
  • the X2 side of the vibration generator 101 corresponds to the rear side (rear side) of the vibration generator 101. do.
  • the Y1 side of the vibration generator 101 corresponds to the left side of the vibration generator 101
  • the Y2 side of the vibration generator 101 corresponds to the right side of the vibration generator 101
  • the Z1 side of the vibration generator 101 corresponds to the upper side of the vibration generator 101
  • the Z2 side of the vibration generator 101 corresponds to the lower side of the vibration generator 101 .
  • the vibration device VE has a control unit CTR and a vibration generator 101.
  • the vibration generating device 101 includes a housing HS as a fixed body, a movable body MB housed in the housing HS, a coil 4 attached to the housing HS, and a movable body extending in the horizontal direction within the housing HS. and guide means GM for reciprocatingly guiding the MB.
  • the control unit CTR is connected to input terminals (not shown) provided on an insulating substrate (not shown) fixed to the housing HS. Note that the dashed lines in FIG. 1A schematically indicate that the control unit CTR and the input terminals provided on the insulating substrate are electrically connected. Note that the control unit CTR is installed outside the housing HS in the present embodiment, but may be installed inside the housing HS.
  • the housing HS is an example of a fixed body. As shown in FIG. 1A, the housing HS has a substantially rectangular parallelepiped outer shape and is configured such that the surfaces (upper and lower surfaces) parallel to the XY plane have the largest area. . In this embodiment, the housing HS is composed of a cover 1 and side covers 2, and is constructed to completely cover the members housed therein. However, the housing HS may be configured such that a part of the members accommodated therein is exposed.
  • the cover 1 includes an upper cover 1U forming the top surface of the housing HS and a lower cover 1D forming the bottom surface of the housing HS. Both the upper cover 1U and the lower cover 1D are plate-like members. In this embodiment, the upper cover 1U and the lower cover 1D have the same shape and size. That is, the upper cover 1U and the lower cover 1D are configured as the same component.
  • the upper cover 1U is formed so as to be front-rear and left-right symmetrical. The same applies to the lower cover 1D.
  • the upper cover 1U and the lower cover 1D are arranged vertically symmetrical to each other.
  • the upper cover 1U includes an upper magnetic member 1MU and an upper frame 1WU.
  • the lower cover 1D includes a lower magnetic member 1MD and a lower frame 1WD.
  • the upper magnetic member 1MU and the lower magnetic member 1MD are also referred to as the magnetic member 1M
  • the upper frame 1WU and the lower frame 1WD are also referred to as the frame 1W.
  • the magnetic member 1M is one of the members constituting the biasing means BM, and is magnetically attracted to the magnetic flux source 5 at a distance from the magnetic flux source 5, which is another one of the members constituting the biasing means BM.
  • the biasing means BM is a means for generating a force for moving the movable body MB, which is positioned away from the center of the movable range of the movable body MB, toward the center of the movable range.
  • the magnetic member 1M is fixed to the frame 1W so as not to come into contact with the magnetic flux source 5 constituting the movable body MB and to magnetically hold the magnetic flux source 5 at a predetermined position.
  • the magnetic member 1M moves the magnetic flux source 5 to the predetermined position due to the magnetic attraction force between the magnetic flux source 5 and the magnetic member 1M based on the magnetic force generated by the magnetic flux source 5. Acts to pull back into position.
  • the predetermined position is, for example, the position of the magnetic flux source 5 when the movable body MB is positioned at the center of the movable range.
  • the frame 1W is a non-magnetic member for supporting the magnetic member 1M.
  • the frame 1W is made of austenitic stainless steel.
  • the frame 1W may be made of synthetic resin.
  • the magnetic member 1M is joined to the frame 1W with an adhesive.
  • the side cover 2 is formed to constitute the side surface of the housing HS.
  • the side cover 2 is made of a non-magnetic member (austenitic stainless steel).
  • the side cover 2 may be made of synthetic resin.
  • the side cover 2 includes four flat plate-shaped side plate portions. More specifically, as shown in FIG. 2, the four side plate portions are a first side plate portion 2A1 and a third side plate portion 2A3 facing each other, and perpendicular to each of the first side plate portion 2A1 and the third side plate portion 2A3. and a second side plate portion 2A2 and a fourth side plate portion 2A4 facing each other.
  • the cover 1 is fastened to the side cover 2 by fastening members.
  • the fastening members include an upper fastening member and a lower fastening member.
  • the upper fastening member includes first upper male screw 3U1 to fourth upper male screw 3U4
  • the lower fastening member includes first lower male screw 3D1 to fourth lower male screw 3D4.
  • the first upper male screw 3U1 to fourth upper male screw 3U4 are also referred to as upper fastening member 3U
  • the first lower male screw 3D1 to fourth lower male screw 3D4 are referred to as lower fastening member 3D.
  • the upper fastening member 3U and the lower fastening member 3D are also referred to as the fastening member 3.
  • the fastening member 3 is a male screw that can be operated with a Phillips screwdriver, and is configured to mesh with female screw holes formed in the four corners of the side cover 2 .
  • the female screw holes formed in the four corners of the side cover 2 are formed so as to pass through the corners of the side cover 2 along the Z-axis direction, and the first female screw hole 2T1 to the fourth female screw hole 2T4 are formed.
  • the upper cover 1U (upper frame 1WU) is fastened to the side cover 2 by four upper fastening members 3U (first upper male screw 3U1 to fourth upper male screw 3U4).
  • the first upper male screw 3U1 is screwed into the upper opening of the first female screw hole 2T1 formed in the right front corner of the side cover 2, and the second upper male screw 3U2 is screwed into the left front corner of the side cover 2.
  • the third upper male screw 3U3 is screwed into the upper opening of the third female screw hole 2T3 formed in the left rear corner of the side cover 2, and is screwed into the upper opening of the second female screw hole 2T2 formed in the side cover 2.
  • the 4 upper male screw 3U4 is screwed into the upper opening of the 4th female screw hole 2T4 formed in the right rear corner of the side cover 2. As shown in FIG.
  • the lower cover 1D (lower frame 1WD) is fastened to the side cover 2 by four lower fastening members 3D (first lower male screw 3D1 to fourth lower male screw 3D4).
  • first lower male screw 3D1 is screwed into the lower opening of the first female screw hole 2T1 formed in the right front corner of the side cover 2
  • second lower male screw 3D2 is screwed into the side cover 2.
  • the third lower male screw 3D3 is screwed into the lower opening of the second female screw hole 2T2 formed in the left front corner of the side cover 2
  • the third lower male screw 3D3 is screwed into the lower side of the third female screw hole 2T3 formed in the left rear corner of the side cover 2.
  • the fourth lower male screw 3D4 is screwed into the lower opening of the fourth female screw hole 2T4 formed in the right rear corner of the side cover 2. As shown in FIG.
  • the coil 4 is a member that constitutes the drive means DM.
  • the coil 4 is a wound coil formed by winding a conductive wire whose surface is coated with an insulating material, and is configured to be fixed to the cover 1 .
  • FIG. 2 omits illustration of the detailed winding state of the conductive wire for clarity. The same applies to other drawings showing the coil 4.
  • FIG. The coil 4 may be a laminated coil, a thin film coil, or the like.
  • the coil 4 includes an upper coil 4U fixed to the lower (Z2 side) surface of the upper cover 1U (upper magnetic member 1MU) and an upper (Z2) surface of the lower cover 1D (lower magnetic member 1MD). and a lower coil 4D fixed to the Z1 side) surface.
  • the upper coil 4U includes a first upper coil 4U1, a second upper coil 4U2, and a third upper coil 4U3 that are juxtaposed and connected in series along the Y-axis direction, and the lower coil 4D is arranged along the Y-axis direction. It includes a first lower coil 4D1, a second lower coil 4D2 and a third lower coil 4D3 juxtaposed and connected in series along.
  • the first upper coil 4U1 and the first lower coil 4D1 are also referred to as the left coil 4L
  • the second upper coil 4U2 and the second lower coil 4D2 are also referred to as the central coil 4C
  • the third lower coil 4D3 is also referred to as the right coil 4R.
  • the control unit CTR is configured to be able to control the movement of the movable body MB.
  • the control unit CTR is a device including an electronic circuit, a non-volatile memory device, etc., and is configured to be able to control the direction and magnitude of the current flowing through the coil 4 .
  • the control unit CTR may be configured to control the direction and magnitude of the current flowing through the coil 4 in response to a control command from an external device such as a computer. 4 may be configured to control the direction and magnitude of the current through 4 .
  • the movable body MB is configured to vibrate the housing HS.
  • the movable body MB is configured to vibrate the housing HS by reciprocating while being housed in the housing HS.
  • FIG. 3 is a diagram showing a configuration example of the movable body MB.
  • the upper diagram in FIG. 3 is a perspective view of the entire movable body MB
  • the lower diagram in FIG. 3 is an exploded perspective view of the movable body MB.
  • FIG. 4 is a bottom view of the movable body MB housed inside the side cover 2.
  • the movable body MB is configured to include a magnetic flux source 5 and a magnetic flux source holding member 6 . Specifically, the movable body MB is configured to reciprocate (vibrate) relative to the housing HS along a vibration axis VA (see the upper diagram of FIG. 3) extending in a predetermined direction.
  • the magnetic flux source 5 is a member that constitutes the driving means DM, and is configured to be able to generate magnetic flux.
  • the magnetic flux source 5 is a permanent magnet and includes a left magnet 5L, a central magnet 5C and a right magnet 5R.
  • the permanent magnet as the magnetic flux source 5 has a coarse cross pattern on the N pole portion and a fine cross pattern on the S pole portion. The same applies to other drawings.
  • the central magnet 5C includes a first central magnet 5C1 and a second central magnet 5C2.
  • the left magnet 5L, the first central magnet 5C1, the second central magnet 5C2, and the right magnet 5R are all permanent magnets magnetized to two poles, and are arranged side by side along the Y-axis direction.
  • the magnetic flux source holding member 6 is configured to hold the magnetic flux source 5 .
  • the magnetic flux source holding member 6 is a rectangular frame-shaped member made of a non-magnetic material, and has a main body portion 6M and an overhanging portion 6G, as shown in FIG.
  • the protruding portion 6G is integrally formed to protrude from the main body portion 6M in the front-rear direction.
  • the projecting portion 6G includes a rear projecting portion 6GB and a front projecting portion 6GF, as shown in the lower diagram of FIG. 5 (below the block arrow) shown later.
  • the dimension M1 of the projecting portion 6G (rear projecting portion 6GB) in the vertical direction is smaller than the dimension M2 of the main body portion 6M in the vertical direction.
  • the magnetic flux source holding member 6 includes the left magnet 5L, the first central magnet 5C1, the second central magnet 5C2, and the right magnet 5R, which are arranged substantially along the Y-axis direction. It is configured so that it can be held at regular intervals.
  • a non-magnetic member forming the magnetic flux source holding member 6 is, for example, a non-magnetic metal.
  • a metal having a relatively large specific gravity is employed as the non-magnetic metal. This is to increase the vibration force caused by the movable body MB by increasing the weight of the movable body MB.
  • the non-magnetic member may be made of synthetic resin.
  • the drive means DM is an example of a vibration force generator, and is configured to vibrate the movable body MB along the vibration axis VA.
  • the driving means DM is composed of the coil 4 and the magnetic flux source 5, and a current is provided between the coil 4 and the magnetic flux source 5 according to the direction and magnitude of the current supplied to the coil 4 through the control part CTR. It is configured to be able to vibrate the movable body MB (magnetic flux source 5) along the vibration axis VA by utilizing the acting electromagnetic force.
  • FIG. 5 is a left side view of the vibration generator 101.
  • FIG. 5 illustration of members other than the cover 1, the magnetic flux source holding member 6, the ball set 7, the ball guide 8, and the rail 9 is omitted for clarity.
  • the upper diagram in FIG. 5 (the diagram above the block arrow) is a left side view of the cover 1, the magnetic flux source holding member 6, the ball set 7, the ball guide 8, and the rail 9 in the disassembled state.
  • is. 5 is a left side view of the cover 1, the magnetic flux source holding member 6, the ball set 7, the ball guide 8, and the rail 9 in an assembled state.
  • the upper magnetic member 1MU and the lower magnetic member 1MD are marked with a fine dot pattern
  • the rails 9 are marked with a coarse dot pattern to retain the magnetic flux source.
  • Member 6 is provided with a coarser dot pattern.
  • the guide means GM is configured so as to be able to reciprocately guide the movable body MB along the left-right direction (Y-axis direction) within the housing HS.
  • the guide means GM includes a ball set 7, ball guides 8 and rails 9, as shown in FIG.
  • the guide means GM is such that a protruding portion 6G formed on a magnetic flux source holding member 6 that constitutes the movable body MB is sandwiched between a pair of rails 9 arranged above and below via a ball set 7, so that the pair of rails 9 so as to be movably guided in the horizontal direction.
  • the protruding portion 6G formed in the magnetic flux source holding member 6 includes a front protruding portion 6GF extending in the Y-axis direction facing the first side plate portion 2A1 of the side cover 2, and a first side plate portion 6GF of the side cover 2. 3, and a rear overhanging portion 6GB extending in the Y-axis direction facing the side plate portion 2A3.
  • the rail 9 is an example of a fixed body, and as shown in FIG. 5, an upper rail 9U arranged between the upper cover 1U and the projecting portion 6G and between the movable body MB and the lower cover 1D. and a lower rail 9D positioned thereon.
  • the upper rail 9U includes an upper front rail 9UF extending in the Y-axis direction facing the first side plate portion 2A1 of the side cover 2, and an upper front rail 9UF extending in the Y-axis direction facing the third side plate portion 2A3 of the side cover 2. and a rear rail 9UB.
  • the lower rail 9D includes a lower front rail 9DF extending in the Y-axis direction facing the first side plate portion 2A1 of the side cover 2, and a lower front rail 9DF extending in the Y-axis direction facing the third side plate portion 2A3 of the side cover 2. and an extending lower rear rail 9DB.
  • the ball set 7 is an example of a rolling member and is composed of a plurality of spherical balls. Specifically, as shown in the upper diagram of FIG. 5, the ball set 7 includes an upper ball set 7U disposed between the upper rail 9U and the projecting portion 6G, a lower rail 9D and the projecting portion 6G. and a lower ball set 7D disposed between.
  • the upper ball set 7U is arranged between the upper front rail 9UF and the front projecting portion 6GF, and between the upper rear rail 9UB and the rear projecting portion 6GB. and an upper rear ball set 7UB.
  • the lower ball set 7D is arranged between the lower front ball set 7DF and the front protruding portion 6GF, and between the lower rear rail 9DB and the rear protruding portion 6GB. and a lower rear ball set 7DB arranged thereon.
  • the ball guide 8 is a member for maintaining the spacing between each of the balls that make up the ball set 7 . Note that the ball guide 8 may be omitted.
  • the ball guide 8 maintains an upper ball guide 8U that maintains the spacing between each of the balls that make up the upper ball set 7U, and the ball guide 8U that maintains the spacing between each of the multiple balls that make up the lower ball set 7D. and a lower ball guide 8D.
  • the upper ball guide 8U includes an upper front ball guide 8UF that maintains the spacing between each of the plurality of balls that make up the upper front ball set 7UF, and a plurality of balls that make up the upper rear ball set 7UB. and an upper rear ball guide 8UB that maintains the spacing between them.
  • the lower ball guide 8D is a lower front ball guide 8DF that maintains the spacing between each of the plurality of balls that make up the lower front ball set 7DF, and the plurality of balls that make up the lower rear ball set 7DB. and lower rear ball guides 8DB that maintain the spacing between each.
  • FIG. 6 is a perspective view of the lower front ball set 7DF, the lower front ball guide 8DF, and the lower front rail 9DF.
  • the upper diagram in FIG. 6 (the diagram above the block arrow) is an exploded perspective view of the lower front ball set 7DF, the lower front ball guide 8DF, and the lower front rail 9DF
  • the lower diagram in FIG. The figure below the arrow) is an assembly perspective view of the lower front ball set 7DF, the lower front ball guide 8DF, and the lower front rail 9DF.
  • FIG. 7 is a front view of the lower front ball set 7DF, the lower front ball guide 8DF, and the lower front rail 9DF.
  • FIG. 7 is an exploded front view of the lower front ball set 7DF, the lower front ball guide 8DF, and the lower front rail 9DF
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the vibration generator 101.
  • the upper diagram of FIG. 8 is a diagram of the cross section of the vibration generator 101 on a plane parallel to the XZ plane including the dashed line VIIIA-VIIIA shown in FIG. 1B as viewed from the Y1 side as indicated by the arrow. is.
  • FIG 8 is an enlarged diagram of the range R1 surrounded by the dashed line in the upper diagram of FIG.
  • the following description with reference to FIGS. 6 to 8 relates to the positional relationship between the lower front ball set 7DF, the lower front ball guide 8DF and the lower front rail 9DF.
  • Positional relationship with upper front rail 9UF positional relationship between upper rear ball set 7UB, upper rear ball guide 8UB, and upper rear rail 9UB, lower rear ball set 7DB, lower rear ball guide 8DB, and lower
  • the lower front ball set 7DF includes five balls (first ball 7DF1 to fifth ball 7DF5), as shown in FIGS.
  • Five balls (first ball 7DF1 to fifth ball 7DF5) are arranged in five through holes (first through hole HL1 to fifth through hole HL5) formed in lower front ball guide 8DF.
  • first ball 7DF1 to fifth ball 7DF5 are V-shaped grooves 6VDF formed in the lower end surface of the front-side projecting portion 6GF of the magnetic flux source holding member 6 (see the upper diagrams of FIGS. 4 and 5). ) and a V-groove 9VDF formed in the upper end surface of the lower front rail 9DF.
  • the lower end surface of the front projecting portion 6GF functions as a movable end surface MS
  • the upper end surface of the lower front rail 9DF functions as a fixed end surface FS.
  • the lower front ball guide 8DF is configured such that its thickness HT1 in the Z-axis direction is smaller than the diameter DT2 of each of the first ball 7DF1 to the fifth ball 7DF5. It is Specifically, the thickness HT1 of the lower front ball guide 8DF is, as shown in the lower diagram of FIG. It is configured to be smaller than the gap GP1 between the lower end surface of the front projecting portion 6GF and the upper end surface of the lower front rail 9DF when they are clamped. Further, the diameter DT1 of each of the five through-holes (first through-hole HL1 to fifth through-hole HL5) is, as shown in the lower diagram of FIG.
  • the diameter DT1 of each of the five through holes (first through hole HL1 to fifth through hole HL5) is slightly smaller than the diameter DT2 of each of the five balls (first ball 7DF1 to fifth ball 7DF5). It may be configured to be
  • Each ball that constitutes the lower front ball set 7DF is V-shaped so that it contacts the V-groove 6VDF at two contact points and the V-groove 9VDF at two contact points, as shown in the lower diagram of FIG. It is sandwiched between the groove 6VDF and the V-groove 9VDF.
  • the lower diagram of FIG. 8 shows a state in which the third ball 7DF3 is in contact with the V-groove 6VDF at the contact points CP1 and CP2 and the V-groove 9VDF at the contact points CP3 and CP4.
  • the five through holes (first through hole HL1 to fifth through hole HL5) of the lower front ball guide 8DF correspond to the five balls (first ball 7DF1 to fifth ball 7DF) that constitute the lower front ball set 7DF. Two adjacent balls among the five balls 7DF5) are formed with the same interval.
  • the lower front ball guide 8DF as shown in the lower diagram of FIG. 6 and the lower diagram of FIG.
  • the distance CL2 between the third through hole HL3, the distance CL3 between the third through hole HL3 and the fourth through hole HL4, and the distance CL4 between the fourth through hole HL4 and the fifth through hole HL5 are Both are formed to be equal.
  • FIG. 9 is a perspective view of the vibration generator 101.
  • members other than the cover 1, the magnetic flux source 5, the magnetic flux source holding member 6, the ball set 7, the ball guide 8, and the rail 9 are omitted for clarity.
  • the upper view of FIG. 9 is a perspective view of the cover 1, the magnetic flux source 5, the magnetic flux source holding member 6, the ball set 7, the ball guide 8, and the rail 9 in an assembled state.
  • the bottom view of FIG. 9 is a perspective view of the lower cover 1D, the lower rail 9D, and the magnetic flux source holding member 6 in an assembled state.
  • the magnetic flux source holding member 6 has a coarse dot pattern and the rail 9 has a fine dot pattern for clarity.
  • the top end (lower end) of the upper front rail 9UF and the top end (upper end) of the lower front rail 9DF are combined so as to face each other with the front projecting portion 6GF interposed therebetween.
  • the tip (lower end) of the rear rail 9UB and the tip (upper end) of the lower rear rail 9DB are combined so as to face each other with the rear projection 6GB interposed therebetween.
  • the tip of the upper front rail 9UF is arranged to face the upper end surface of the front overhanging portion 6GF with a small gap therebetween.
  • the tip of 9DF is arranged so as to face the lower end surface of the front overhanging portion 6GF with a small gap therebetween.
  • the front projecting portion 6GF is configured to have substantially the same shape as the space formed between the tip of the upper front rail 9UF and the tip of the lower front rail 9DF.
  • the front overhanging portion 6GF is formed as one substantially rectangular parallelepiped projecting portion that continuously extends over most of the entire length of the magnetic flux source holding member 6 in the longitudinal direction.
  • the front projecting portion 6GF may be a combination of a plurality of projecting portions intermittently arranged along the longitudinal direction of the magnetic flux source holding member 6. FIG. The same is true for the rear overhanging portion 6GB.
  • the magnetic flux source holding member 6 is formed so as to be front-rear symmetrical. That is, the front projecting portion 6GF and the rear projecting portion 6GB are formed to have the same shape and size. However, the front projecting portion 6GF and the rear projecting portion 6GB may have different shapes.
  • the projecting portion 6G is configured to be movable between the upper rail 9U and the lower rail 9D in the directions indicated by the double-headed arrows AR1 in the upper diagram of FIG. 9 and the lower diagram of FIG. It is Specifically, the protruding portion 6G has a V-groove 6VU (see the V-groove 6VUB and the V-groove 6VUF in the upper diagram of FIG. 5) formed in its upper end surface functioning as the movable-side end surface MS, The upper ball set 7U is sandwiched between the V-groove 9VU (V-groove 9VUB and V-groove 9VUF in the upper diagram of FIG.
  • the projecting portion 6G has a V-groove 6VD (see the V-groove 6VDB and the V-groove 6VDF in the upper diagram of FIG. 5) formed in its lower end surface functioning as the movable-side end surface MS, and a fixed-side end surface FS.
  • the lower ball set 7D is sandwiched between the V-groove 9VD (V-groove 9VDB and V-groove 9VDF in the upper diagram of FIG. 5) formed in the tip surface (upper end surface) of the functioning lower rail 9D. It is configured.
  • the projecting portion 6G causes the upper ball set 7U to roll between the V grooves 6VU and V grooves 9VU, and the lower ball set 7D to roll between the V grooves 6VD and 9VD.
  • it is configured to be able to reciprocate in the left-right direction (Y-axis direction).
  • This configuration restricts the movement of the magnetic flux source holding member 6 in the front-rear direction and the vertical direction, while permitting smooth movement in the left-right direction.
  • FIG. 10A and 10B are detailed views of the coil 4 fixed to the housing HS.
  • FIG. 10A is a perspective view of the lower coil 4D fixed to the lower cover 1D.
  • FIG. 10B is a top view of the lower coil 4D fixed to the lower cover 1D.
  • the lower coil 4D has a coarse dot pattern and the lower magnetic member 1MD and the lower rail 9D have a fine dot pattern for clarity.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of the vibration generator 101 on a plane parallel to the YZ plane including the dashed-dotted line XI-XI shown in FIG.
  • FIG. 11 is a sectional view of the cover 1, the coil 4, and the magnetic flux source 5 when the movable body MB (magnetic flux source 5) is positioned at the center of the movable range.
  • the center view of FIG. 11 is a sectional view of the cover 1, the coil 4, and the magnetic flux source 5 when the movable body MB (magnetic flux source 5) is positioned at the right end of the movable range.
  • the lower diagram of FIG. 11 is a sectional view of the cover 1, the coil 4, and the magnetic flux source 5 when the movable body MB (magnetic flux source 5) is positioned at the left end of the movable range.
  • FIG. 11 is a sectional view of the cover 1, the coil 4, and the magnetic flux source 5 when the movable body MB (magnetic flux source 5) is positioned at the left end of the movable range.
  • FIG. 12 is a top view of the magnetic flux source 5 movable in the horizontal direction (Y-axis direction) above the lower coil 4D fixed to the lower cover 1D.
  • the upper diagram in FIG. 12 is a top view of the lower cover 1D, the lower coil 4D, and the magnetic flux source 5 when the movable body MB (magnetic flux source 5) is positioned at the center of the movable range.
  • the center view of FIG. 12 is a top view of the lower cover 1D, the lower coil 4D, and the magnetic flux source 5 when the movable body MB (magnetic flux source 5) is positioned at the right end of the movable range.
  • the lower diagram of FIG. 12 is a top view of the lower cover 1D, the lower coil 4D, and the magnetic flux source 5 when the movable body MB (magnetic flux source 5) is positioned at the left end of the movable range.
  • the coil 4 which is one of the components of the driving means DM, includes an upper coil 4U fixed to the lower (Z2 side) surface of the upper cover 1U and an upper (Z2) surface of the lower cover 1D. and a lower coil 4D fixed to the Z1 side) surface.
  • the lower coil 4D consists of three coils (a first lower coil 4D1, a second lower coil 4D1, a second coil 4D2, and a third lower coil 4D3).
  • the following description with reference to Figures 10A and 10B relates to the lower coil 4D, but applies equally to the upper coil 4U. This is because the upper cover 1U and the lower cover 1D have the same shape and size, and the upper coil 4U and the lower coil 4D have the same shape and size.
  • Each of the three coils forming the lower coil 4D is wound to surround the lower internal space 1DP, as shown in FIG. 10B.
  • the first lower coil 4D1 is wound around the left lower internal space 1DPL
  • the second lower coil 4D2 is wound around the central lower internal space 1DPC
  • the third The lower coil 4D3 is wound so as to surround the lower right internal space 1DPR.
  • the first lower coil 4D1 includes a left bundle portion 4D1L located on the left side (Y1 side) of the left lower internal space 1DPL and extending along the left lower internal space 1DPL, and a right side (Y2 side) of the left lower internal space 1DPL. and a right bundle portion 4D1R located at and extending along the left lower internal space 1DPL.
  • the wire bundle portion means a portion where the conductive wires forming the coil 4 extend along the front-rear direction (X-axis direction).
  • the left bundled portion 4D1L and the right bundled portion 4D1R of the first lower coil 4D1 have a finer dot pattern than the other portions of the first lower coil 4D1. It has a dot pattern.
  • the second lower coil 4D2 is located on the left side (Y1 side) of the central lower internal space 1DPC and extends along the central lower internal space 1DPC. Y2 side) and extending along the central lower internal space 1DPC.
  • the third lower coil 4D3 is positioned on the left side (Y1 side) of the lower right internal space 1DPR and extends along the lower right internal space 1DPR. and a right bundle portion 4D3R located on the right side (Y2 side) of and extending along the lower right internal space 1DPR.
  • the left bundled wire portion 4D1L and the right bundled wire portion 4D1R of the first lower coil 4D1 are portions through which the magnetic flux generated by the magnetic flux source 5 passes, that is, drive based on the Lorentz force for moving the movable body MB in the horizontal direction. It is the part that generates the force.
  • the magnetic flux source 5 which is another component of the driving means DM, moves in the left-right direction (Y-axis direction) in the space between the upper coil 4U and the lower coil 4D. placed as possible.
  • the magnetic flux source 5 includes a left magnet 5L, a first central magnet 5C1, a second central magnet 5C2, and a right magnet 5R.
  • the left magnet 5L, the first central magnet 5C1, the second central magnet 5C2, and the right magnet 5R are held at predetermined intervals by a magnetic flux source holding member 6 (not shown in FIG. 11). ing.
  • the width W1 of the left magnet 5L is substantially the same as the width W2 of the right magnet 5R.
  • the width W3 of the first central magnet 5C1 is substantially the same as the width W4 of the second central magnet 5C2.
  • the width W1 of the left magnet 5L is approximately half the width W3 of the first central magnet 5C1.
  • the six coils that make up the coil 4 are configured to have the same shape and size. 11, the width W5 of the left wire bundle portion 4U1L of the first upper coil 4U1, the width W6 of the right wire bundle portion 4U1R of the first upper coil 4U1, and the second upper Width W7 of left bundle portion 4U2L of coil 4U2, width W8 of right bundle portion 4U2R of second upper coil 4U2, width W9 of left bundle portion 4U3L of third upper coil 4U3, right bundle of third upper coil 4U3 Width W10 of wire portion 4U3R, width W11 of left bundle portion 4D1L of first lower coil 4D1, width W12 of right bundle portion 4D1R of first lower coil 4D1, left bundle portion of second lower coil 4D2 Width W13 of 4D2L, width W14 of right bundle portion 4D2R of second lower coil 4D2, width W15 of left bundle portion 4D3L of third lower coil 4D3, and right bundle portion of third lower coil 4D3 The width
  • the width W1 of the left magnet 5L is substantially the same as the width W5 of the left wire bundle portion 4U1L of the first upper coil 4U1.
  • the width W3 of the first central magnet 5C1 is substantially the same as the sum of the width W6 of the right bundled portion 4U1R of the first upper coil 4U1 and the width W7 of the left bundled portion 4U2L of the second upper coil 4U2. is configured to be
  • the N pole portion (upper portion) of the left magnet 5L is the left bundle line of the first upper coil 4U1. It is arranged so as to face the portion 4U1L and so that the S pole portion (lower side portion) faces the left bundled wire portion 4D1L of the first lower coil 4D1.
  • the first central magnet 5C1 is arranged such that the S pole portion (upper portion) faces the right bundled portion 4U1R of the first upper coil 4U1 and the left bundled portion 4U2L of the second upper coil 4U2, and
  • the N pole portion (lower portion) is arranged to face the right wire bundle portion 4D1R of the first lower coil 4D1 and the left wire bundle portion 4D2L of the second lower coil 4D2.
  • the second central magnet 5C2 is arranged such that the N pole portion (upper portion) faces the right bundled portion 4U2R of the second upper coil 4U2 and the left bundled portion 4U3L of the third upper coil 4U3, and
  • the south pole portion (lower portion) is arranged to face the right wire bundle portion 4D2R of the second lower coil 4D2 and the left wire bundle portion 4D3L of the third lower coil 4D3.
  • the right magnet 5R has an S pole portion (upper portion) facing the right bundle portion 4U3R of the third upper coil 4U3 and an N pole portion (lower portion) facing the third lower coil 4D3. It is arranged so as to face the right wire bundle portion 4D3R.
  • the movable body MB moves rightward (Y2 direction) while being guided by the guide means GM. Specifically, current flows counterclockwise in the top view of the first lower coil 4D1, current flows clockwise in the second bottom coil 4D2 when viewed from the top, and current flows in the third bottom coil 4D3 in the top view. When the current flows counterclockwise as viewed, the movable body MB (magnetic flux source 5) moves rightward (Y2 direction).
  • the Lorentz force acts on the charged particles moving in the conductive wire forming the lower coil 4D fixed to the lower cover 1D, and the reaction force acts on the left magnet 5L and the first central magnet 5C1 as the magnetic flux source 5. , the second central magnet 5C2, and the right magnet 5R are moved rightward.
  • the movable body MB moves leftward (Y1 direction) while being guided by the guide means GM. do. Specifically, current flows clockwise in the first lower coil 4D1 when viewed from above, current flows counterclockwise in the second lower coil 4D2 when viewed from the top, and current flows in the third lower coil 4D3 in the upper surface. When the current flows clockwise in view, the movable body MB (magnetic flux source 5) moves leftward (Y1 direction).
  • the movable body MB moves in the right direction (Y2 direction), as shown in the central view of FIG. Protrudes further to the right.
  • a portion of the right magnet 5R protrudes further to the right than the right end URE of the inner surface of the upper magnetic member 1MU, and further protrudes to the right of the right end DRE of the inner surface of the lower magnetic member 1MD.
  • the portion 5Ra of the right magnet 5R that protrudes to the right from the right end RE on the inner surface of the magnetic member 1M is the magnetic member. It is attracted leftward by the right edge RE of the inner surface of 1M.
  • the right end RE of the inner surface of the magnetic member 1M is the portion of the magnetic member 1M that is closest to the portion 5Ra.
  • a portion of the magnetic force line (the magnetic force line extending between the portion 5Ra and the right end RE) representing the magnetic field that generates the attractive force that attracts the right magnet 5R to the right end RE of the magnetic member 1M is represented by a dotted line. It is Also, in the central view of FIG. 11, illustration of magnetic field lines representing other parts of the magnetic field generated by the magnetic flux source 5 is omitted for the sake of clarity.
  • the left end portion of the magnetic member 1M protrudes leftward from the left end of the left magnet 5L, as shown in the central view of FIG. .
  • the left end portion of each of the upper magnetic member 1MU and the lower magnetic member 1MD protrudes leftward from the left end of the left magnet 5L. Since an attractive force acts between the left magnet 5L and the magnetic member 1M, the portion 1MLa of the magnetic member 1M that protrudes leftward from the left end of the left magnet 5L moves the left magnet 5L to the left. attract.
  • the left end of the left magnet 5L is the portion of the left magnet 5L that is closest to the portion 1MLa of the magnetic member 1M.
  • part of the magnetic force line (the magnetic force line extending between the portion 1MLa and the left end of the left magnet 5L) representing the magnetic field that generates the attractive force that attracts the left magnet 5L to the left end of the magnetic member 1M is a dotted line. is represented by
  • the movable body MB (magnetic flux source 5) displaced rightward from the center of the movable range receives a force (attractive force) that pulls the movable body MB (magnetic flux source 5) back to the center of the movable range. Then, the movable body MB (magnetic flux source 5) displaced rightward from the center of the movable range flows through the coil 4 when the force (electromagnetic force) that moves the movable body MB rightward disappears. When the current disappears, the force (attractive force) causes it to move leftward and back toward the center of its range of motion.
  • the movable body MB moves leftward (Y1 direction), as shown in the lower diagram of FIG. side) projects further to the left than the left end LE.
  • a part of the left magnet 5L protrudes further to the left than the left end ULE of the inner surface of the upper magnetic member 1MU and further protrudes leftward than the left end DLE of the inner surface of the lower magnetic member 1MD.
  • the portion 5La of the left magnet 5L that protrudes leftward beyond the left end LE of the inner surface of the magnetic member 1M is the magnetic member. It is attracted rightward by the left edge LE of the inner surface of 1M.
  • the left end LE of the inner surface of the magnetic member 1M is the portion of the magnetic member 1M that is closest to the portion 5La.
  • a portion of the magnetic force line (the magnetic force line extending between the portion 5La and the left end LE) representing the magnetic field that generates the attractive force that attracts the left magnet 5L to the left end LE of the magnetic member 1M is indicated by a dotted line.
  • illustration of magnetic lines of force representing other portions of the magnetic field generated by the magnetic flux source 5 is omitted for clarity.
  • the right end portion of the magnetic member 1M protrudes further to the right than the right end of the right magnet 5R, as shown in the lower diagram of FIG. Specifically, the right end portions of each of the upper magnetic member 1MU and the lower magnetic member 1MD protrude to the right from the right end of the right magnet 5R. Since an attractive force acts between the right magnet 5R and the magnetic member 1M, the portion 1MRa of the magnetic member 1M that protrudes to the right from the right end of the right magnet 5R will move the right magnet 5R to the right. attract.
  • the right end of the right magnet 5R is the portion of the right magnet 5R that is closest to the portion 1MRa of the magnetic member 1M.
  • a portion of the magnetic force line (the magnetic force line extending between the portion 1MRa and the right end of the right magnet 5R) representing the magnetic field that generates the attractive force that attracts the right magnet 5R to the right end of the magnetic member 1M is indicated by a dotted line. is represented.
  • the movable body MB (magnetic flux source 5) displaced leftward from the center of the movable range receives a force (attractive force) that pulls the movable body MB (magnetic flux source 5) back to the center of the movable range. Then, the movable body MB (magnetic flux source 5) displaced leftward from the center of the movable range flows through the coil 4 when the force (electromagnetic force) that tends to move the movable body MB leftward disappears. When the current disappears, the force (attractive force) causes it to move to the right and back toward the center of its range of motion.
  • the biasing means BM and the driving means DM can vibrate the movable body MB in the horizontal direction.
  • the vibration generator 101 includes a fixed body (housing HS), a movable body MB accommodated in the fixed body (housing HS), and the movable body MB as a fixed body.
  • Guiding means GM for guiding reciprocatingly along the lateral direction inside (housing HS), and magnetic flux generator attached to one of the fixed body (housing HS) and movable body MB and generating magnetic flux along the vertical direction.
  • the guide means GM has a fixed side end face FS set along the left-right direction on the fixed body (rail 9), a movable side end face MS set along the left-right direction on the movable body MB), and a fixed side end face FS. and a rolling member (ball set 7) rotatably sandwiched between the movable side end surface MS.
  • the force generated by the biasing means BM is, for example, magnetic force.
  • the vibration generator 101 moves the housing HS, the movable body MB accommodated in the housing HS, and the movable body MB in the horizontal direction (Y-axis direction) within the housing HS.
  • a guide means GM for reciprocating guidance a magnetic flux source 5 that is attached to the movable body MB and generates a magnetic flux along the vertical direction, and a housing HS that is attached to the housing HS and extends along the front-rear direction and along the left-right direction. and a magnetic member 1M that generates a magnetic attraction force that moves the movable body MB at a position deviated from the center of the movable range of the movable body MB toward the center of the movable range. I have.
  • the guide means GM includes a fixed side end face FS set along the left-right direction on the rail 9, a movable side end face MS set along the left-right direction on the projecting portion 6G of the magnetic flux source holding member 6, and a fixed side end face MS. It includes a ball set 7 rollably sandwiched between the side end face FS and the movable side end face MS.
  • the ball set 7 is interposed between the movable body MB (magnetic flux source holding member 6) and the fixed body (rail 9), so it is possible to suppress or prevent the occurrence of abnormal noise due to the stick-slip phenomenon.
  • the movable body MB (magnetic flux source holding member 6) and the fixed body (rail 9) are prevented from coming into direct contact with each other. It is possible to prevent the generation of abnormal noise due to the stick-slip phenomenon caused by the friction (difference between static friction force and dynamic friction force) with the rail 9).
  • the vibration generator 101 shown in FIG. 2 can use the attractive force between the magnetic flux source 5 and the magnetic member 1M to return the movable body MB moved by the electromagnetic force toward the center of the movable range. . Therefore, the vibration generating device 101 can move the movable body MB moved by the electromagnetic force without using a spring member such as a coil spring and without attaching a separate magnet for the magnetic spring to the housing HS. can be moved back toward the center of the range of motion.
  • the vibration generator 101 is configured to use a spring member such as a coil spring or a magnetic spring to return the movable body MB moved by the electromagnetic force toward the center of the movable range.
  • a spring member such as a coil spring or a magnetic spring to return the movable body MB moved by the electromagnetic force toward the center of the movable range.
  • the magnetic flux source holding member 6 as the movable body MB is desirably formed integrally with the body portion 6M so as to protrude from the body portion 6M in the front-rear direction, and has a vertical dimension. and a protruding portion 6G smaller than the main body portion.
  • the movable side end face MS is set at least on the lower end face of the projecting portion 6G, and the ball set 7 as the rolling member contacts the fixed side end face FS at a position above the lower end face of the main body portion 6M. touch.
  • the lower end surface BF1 of the front projecting portion 6GF functions as the movable end surface MS
  • the third ball 7DF3 of the lower front ball set 7DF is located above (Z1) the lower end surface BF2 of the main body portion 6M. side) is in contact with the fixed side end face FS (upper end face TF1 of the lower front rail 9DF).
  • the third ball 7DF3 is in contact with the V-groove 9VDF formed in the upper end surface TF1 of the lower front rail 9DF at the contact point CP3 and the contact point CP4.
  • This configuration suppresses an increase in the vertical dimension of the magnetic flux source holding member 6, and also allows the upper ball set 7U (a plurality of balls arranged on the upper end surface of the projecting portion 6G) and the lower ball to
  • the posture of the magnetic flux source holding member 6 is stabilized by sandwiching the projecting portion 6G between the upper rail 9U and the lower rail 9D via a set 7D (a plurality of balls arranged on the lower end surface of the projecting portion 6G). It has the effect of being able to
  • the magnetic flux source 5 as the magnetic flux generating member is desirably attached to the magnetic flux source holding member 6 as the movable body MB, as shown in FIG.
  • the coil 4 is desirably attached to the cover 1 as a fixed body, as shown in FIGS. 10A and 10B.
  • the biasing means BM for generating a force to move the movable body MB toward the center of the movable range is desirably attached to the magnetic flux source 5 and the frame 1W as the fixed body, as shown in FIG. and a magnetic member 1M arranged outside the coil 4 (on the side opposite to the side where the movable body MB is present).
  • the guide means GM may include a rail 9 on which the fixed side end surface FS is formed.
  • the fixed body may include a cover 1 to which the magnetic member 1M is attached.
  • the rail 9 and the ball set 7 are sandwiched between the cover 1 and the movable body MB (magnetic flux source holding member 6) which are attracted to each other by the magnetic attractive force acting between the magnetic flux source 5 and the magnetic member 1M.
  • the magnetic flux source 5 is a permanent magnet that is vertically polarized with two poles, and includes a left magnet 5L, a first center magnet 5C1, a second center magnet 5C2, and a right magnet 5R.
  • a magnetic flux source 5 (the left magnet 5L, the first central magnet 5C1, the second central magnet 5C2, and the right magnet 5R) and the magnetic member 1M (the upper magnetic member 1MU and the lower magnetic member 1MD) are magnetically separated. It is configured so that a strong attractive force acts.
  • the magnetic attraction force acting between the magnetic flux source 5 and the magnetic member 1M causes the magnetic flux source holding member 6 and the frame 1W to attract each other.
  • the holding of the ball set 7 by the projecting portion 6G and the rail 9 can be ensured.
  • the magnetic attraction force acting between the magnetic flux source 5 and the upper magnetic member 1MU causes the magnetic flux source holding member 6 and the upper frame 1WU to attract each other.
  • the holding of the upper ball set 7U by the projecting portion 6G and the upper rail 9U can be ensured.
  • the magnetic attraction force acting between the magnetic flux source 5 and the lower magnetic member 1MD causes the magnetic flux source holding member 6 and the lower frame 1WD to exert a force to attract each other.
  • the holding of the lower ball set 7D by the projecting portion 6G and the lower rail 9D can be ensured.
  • the rail 9 and the ball set 7 are sandwiched between the projecting portion 6G of the magnetic flux source holding member 6 and the frame 1W and are tightened by magnetic attraction. Therefore, the rail 9 does not have to be fixed to the frame 1W with an adhesive. No adhesive is applied between the frame 1W and the rails 9 in the above-described embodiment.
  • the upper rail 9U may be adhesively fixed to the upper frame 1WU with an adhesive
  • the lower rail 9D may be adhesively fixed to the lower frame 1WD with an adhesive.
  • the ball set 7 is desirably composed of a plurality of balls sandwiched between the fixed side end face FS and the movable side end face MS. A plurality of balls are arranged at predetermined intervals.
  • the ball set 7 includes an upper rear ball set 7UB, an upper front ball set 7UF, a lower rear ball set 7DB, and a lower front ball set 7DF, as shown in FIG. 6 and 7, the lower front ball set 7DF is composed of five balls (first ball 7DF1 to fifth ball 7DF5). axial direction).
  • the number of balls that constitute each of the upper rear ball set 7UB, the upper front ball set 7UF, the lower rear ball set 7DB, and the lower front ball set 7DF may be four or less, or six or more. may be
  • a plurality of balls are arranged between the upper end surface of the projecting portion 6G of the magnetic flux source holding member 6 and the lower end surface of the upper rail 9U, and the lower end surface of the projecting portion 6G and the lower rail 9D are arranged.
  • a plurality of balls are arranged between the upper end face. Therefore, in this configuration, one ball is arranged between the upper end surface of the projecting portion 6G and the lower end surface of the upper rail 9U, or the lower end surface of the projecting portion 6G and the upper end surface of the upper rail 9U are arranged. This provides an effect that the magnetic flux source holding member 6 can be moved in the left-right direction (Y-axis direction) with low friction as compared with a configuration in which one ball is arranged between them.
  • this configuration can suppress tilting of the magnetic flux source holding member 6 by using a plurality of balls arranged at predetermined intervals.
  • at least one of the upper rear ball set 7UB, the upper front ball set 7UF, the lower rear ball set 7DB, and the lower front ball set 7DF may be composed of one ball.
  • the left end of the magnetic member 1M is outside ( left), the right end of the magnetic member 1M may be positioned inside (left) of the right end of the magnetic flux source 5 (right end of the right magnet 5R).
  • the left end of the magnetic member 1M may be positioned inside (right side) the left end of the magnetic flux source 5 (the left end of the left magnet 5L).
  • the vibration generator 101 when the movable body MB is positioned at the center (center) of the movable range as shown in the upper diagram of FIG. ), and the left end of the magnetic member 1M is positioned inside (right) of the left end of the magnetic flux source 5 (the left end of the left magnet 5L).
  • the vibration generating device 101 when the movable body MB is moving in the horizontal direction from the center of the movable range, the vibration generating device 101 is caused by the biasing means BM, that is, by the attractive force between the magnetic flux source 5 and the magnetic member 1M. , the movable body MB can be biased toward the center of the movable range.
  • the guide means GM may be configured so as not to apply a center restoring force to the movable body MB.
  • the center return force is a mechanical elastic force of a mechanical element such as a spring member that attempts to return the movable body MB, which is not positioned at the center of the movable range, to the center of the movable range.
  • the movable body MB magnetic flux source holding member 6
  • the movable body MB is supported by a ball set 7 and rails 9 that constitute the guide means GM so as to be movable in the left-right direction. and mechanical elements such as spring members are not connected.
  • the vibration generator 101 can omit a mechanical element such as a spring member for generating a center restoring force.
  • the movable body MB magnetic flux source holding member 6
  • the movable body MB magnetic flux source holding member 6
  • a mechanical element such as a spring member for applying a center restoring force.
  • the vibration generator 101 When the movable body MB is positioned at the center of the movable range as shown in the upper diagram of FIG. 11, the vibration generator 101 has the left end of the magnetic member 1M positioned inside (to the right) of the left end of the magnetic flux source 5, and , the right end of the magnetic member 1M is located inside (left side) of the right end of the magnetic flux source 5. As shown in FIG. However, in the vibration generator 101, when the movable body MB is positioned at the center of the movable range, the left end of the magnetic member 1M is the same as the left end of the magnetic flux source 5 (the left end of the left magnet 5L) or the left end of the magnetic flux source 5 (the left end of the left magnet 5L).
  • the right end of the magnetic member 1M is the same as the right end of the magnetic flux source 5 (the right end of the right magnet 5R) or is closer to the right end of the magnetic flux source 5 (the right end of the right magnet 5R). may be configured to be located on the outer side (right side).
  • the vibration generator 101 allows the movable body MB to move horizontally from the center of the movable range regardless of whether or not the total width of the magnetic flux source 5 in the horizontal direction, which is the vibration direction, is greater than the total width of the magnetic member 1M.
  • the attractive force between the magnetic flux source 5 and the magnetic member 1M can bias the movable body MB toward the center of the movable range.
  • the coil 4 may include an upper coil 4U arranged above the movable body MB and a lower coil 4D arranged below the movable body MB, as shown in FIG.
  • the magnetic member 1M may include an upper magnetic member 1MU arranged above the movable body MB and a lower magnetic member 1MD arranged below the movable body MB.
  • the vibration generating device 101 effectively utilizes the space in the housing HS compared to a configuration in which the coil 4 and the magnetic member 1M are arranged either above or below the movable body MB, and the driving means DM. driving force can be increased.
  • either one of the upper coil 4U and the lower coil 4D may be omitted.
  • Either one of the upper magnetic member 1MU and the lower magnetic member 1MD may be omitted.
  • the guide means GM is arranged such that the protruding portion 6G is sandwiched between the upper rail 9U and the lower rail 9D via the ball set 7 and is movably guided along the horizontal direction.
  • the upper rail 9U includes an upper front rail 9UF arranged on the front side of the magnetic flux source holding member 6 and an upper rear rail 9UF arranged on the rear side of the magnetic flux source holding member 6.
  • side rails 9UB may include a lower front rail 9DF arranged in front of the magnetic flux source holding member 6 and a lower rear rail 9DB arranged in the rear side of the magnetic flux source holding member 6 .
  • the projecting portion 6G of the magnetic flux source holding member 6 includes a front projecting portion 6GF arranged on the front side of the main body portion 6M of the magnetic flux source holding member 6 and a rear projecting portion arranged on the rear side of the main body portion 6M. 6 GB.
  • the magnetic flux source holding member 6 is placed in a substantially rectangular parallelepiped space formed between the front end surface (lower end surface) of the upper front rail 9UF and the front end surface (upper end surface) of the lower front rail 9DF. It may have a convex front projecting portion 6GF formed so as to protrude forward from the front surface of the main body portion 6M so as to be fitted. Further, the magnetic flux source holding member 6 is mounted on the rear surface of the main body 6M so as to be fitted in a substantially rectangular parallelepiped space formed between the front end surface of the upper rear rail 9UB and the front end surface of the lower rear rail 9DB. It may have a convex rear overhanging portion 6GB formed so as to protrude rearward from.
  • the guide means GM can prevent the projecting portion 6G from moving in directions other than the left-right direction (Y-axis direction). That is, the guide means GM can suppress the movement of the movable body MB in the front-rear direction (X-axis direction) and the vertical direction (Z-axis direction).
  • the housing HS may include a rectangular tubular side cover 2 .
  • the housing HS is positioned such that the upper cover 1U contacts the upper end of the side cover 2 from above, and the lower cover 1D contacts the lower end of the side cover 2.
  • This configuration enables the desired size of the space formed between the front end surface (lower end surface) of the upper rear rail 9UB and the front end surface (upper end surface) of the lower rear rail 9DB to be realized with high accuracy. to enable. Therefore, this configuration can realize smooth movement of the movable body MB in the horizontal direction.
  • the cover 1 may be fastened to the side cover 2 by fastening members 3, as shown in FIG. Specifically, the upper cover 1U is fastened to the upper end of the side cover 2 by first upper male screw 3U1 to fourth upper male screw 3U4, and the lower cover 1D is fastened by first lower male screw 3D1 to fourth upper male screw 3D1. It may be fastened to the lower end of the side cover 2 with a lower male screw 3D4.
  • This configuration has the effect of being able to adjust the gap GP2 (see the upper diagram of FIG. 9) between the upper cover 1U and the lower cover 1D. That is, this configuration has the effect of absorbing dimensional errors and assembly errors of the frame 1W, the magnetic flux source holding member 6, the ball set 7, and the rails 9.
  • FIG. 9 This configuration has the effect of absorbing dimensional errors and assembly errors of the frame 1W, the magnetic flux source holding member 6, the ball set 7, and the rails 9.
  • the upper cover 1U and the lower cover 1D are desirably configured to have the same shape and size. This configuration brings about the effect of further reducing the number of parts constituting the vibration generator 101 .
  • the lower cover 1D, upper cover 1U, and side cover 2 are formed as separate members independent of each other.
  • the side cover 2 may be integrated with the lower cover 1D or the upper cover 1U.
  • the upper cover 1U and the side cover 2 may be integrated and formed as one piece.
  • the upper rail 9U and the lower rail 9D may be arranged so as to face the second side plate portion 2A2 and the fourth side plate portion 2A4, respectively. That is, the upper rail 9U and the lower rail 9D may be arranged on the left and right sides of the movable body MB, respectively.
  • the projecting portions 6G may be formed at the left end and right end of the movable body MB.
  • the protruding portion 6G includes a left protruding portion protruding leftward from the left end of the magnetic flux source holding member 6 and a right protruding portion protruding rightward from the right end of the magnetic flux source holding member 6.
  • the guide means GM may be configured such that the upper rail 9U has an upper right rail and an upper left rail, and the lower rail 9D has a lower right rail and a lower left rail.
  • the left protruding portion is sandwiched between the top end surface (lower end surface) of the upper left rail and the top end surface (upper end surface) of the lower left rail via a ball set 7 and is guided so as to be movable in the left-right direction.
  • the right projecting portion is sandwiched between the top end surface (lower end surface) of the upper right rail and the top end surface (upper end surface) of the lower right rail via the ball set 7 and moves in the left-right direction. It may be configured to be guided.
  • the vibration generator 101 is configured such that the coil axis of the coil 4 and the moving direction of the magnetic flux source 5 are perpendicular to each other.
  • the vibration generator 101 may be configured such that the coil axis of the coil 4 and the movement direction of the magnetic flux source 5 are parallel.
  • the rail 9 is provided as a separate member from the cover 1, but may be integrated with the cover 1.
  • each of the V-groove 6VD, the V-groove 6VU, the V-groove 9VD, and the V-groove 9VU is composed of one continuous V-groove along the Y-axis direction.
  • a plurality of V-grooves may be intermittently arranged along the .
  • one ball may correspond to each of a plurality of intermittently arranged V-shaped grooves.
  • the ball guide 8 may be omitted.
  • each of the V-groove 6VD, the V-groove 6VU, the V-groove 9VD, and the V-groove 9VU may be a groove having another cross-sectional shape such as a U-groove or a rectangular groove.
  • the five balls (first ball 7DF1 to fifth ball 7DF5) forming the lower front ball set 7DF are equally spaced by the lower front ball guide 8DF. are placed apart. However, the five balls may be arranged at non-equidistant intervals. The same applies to the upper rear ball set 7UB, the upper front ball set 7UF, and the lower rear ball set 7DB.
  • the vibration generator 101 is configured such that the magnetic flux source 5 is attached to the movable body MB and the coil 4 is attached to the fixed body (cover 1).
  • the vibration generator 101 may be configured such that the coil 4 is attached to the movable body MB and the magnetic flux source 5 is attached to the fixed body (cover 1).

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Abstract

振動発生装置（１０１）は、筐体（ＨＳ）と、可動体（ＭＢ）と、可動体（ＭＢ）を筐体（ＨＳ）内で左右方向に沿って往復動可能に案内する案内手段（ＧＭ）と、可動体（ＭＢ）に取り付けられる磁束源（５）と、筐体（ＨＳ）に取り付けられるコイル（４）と、可動体（ＭＢ）の可動範囲の中心からずれた位置にある可動体（ＭＢ）を可動範囲の中心に向けて移動させる磁力を発生させる付勢手段（ＢＭ）と、を備える。案内手段（ＧＭ）は、レール（９）において左右方向に沿って設定される固定側端面（ＦＳ）と、磁束源保持部材（６）において左右方向に沿って設定される可動側端面（ＭＳ）と、固定側端面（ＦＳ）と可動側端面（ＭＳ）との間に転動自在に挟持されたボールセット（７）とを含む。

Description

振動発生装置
　本開示は、振動発生装置に関する。
　従来、磁石を含む可動子（可動体）を振動可能に支持するリニア振動アクチュエータ（振動発生装置）が知られている（特許文献１参照。）。この振動発生装置は、可動体を直進移動可能に保持する一対のレールを備えている。また、この振動発生装置は、可動体に取り付けられた磁石と筐体に取り付けられた別の磁石との間の反発力（斥力）を利用する磁気バネを備えている。磁気バネは、電磁力によって可動体が初期位置から移動したときに、その可動体を初期位置に戻そうとする復元力を発生させることができるように構成されている。
国際公開第２０１９／１５１２３２号
　しかしながら、上述の構成では、可動体の移動方向が反転する際に、可動体とレールとの間の摩擦（静止摩擦力と動摩擦力との差）に起因するスティックスリップ現象による異音を発生させてしまうおそれがある。
　そこで、スティックスリップ現象による異音の発生を抑制できる振動発生装置を提供することが望まれる。
　本発明の実施形態に係る振動発生装置は、固定体と、前記固定体内に収容される可動体と、前記可動体を前記固定体内で左右方向に沿って往復動可能に案内する案内手段と、前記固定体及び前記可動体の一方に取り付けられるとともに上下方向に沿う磁束を発生させる磁束発生部材と、前記固定体及び前記可動体の他方に取り付けられるとともに前後方向に沿って延在し左右方向に沿って並設されるコイルと、前記可動体の可動範囲の中心からずれた位置にある前記可動体を前記可動範囲の中心に向けて移動させる力を発生させる付勢手段と、を備え、前記案内手段は、前記固定体に左右方向に沿って設定される固定側端面と、前記可動体に左右方向に沿って設定される可動側端面と、前記固定側端面と前記可動側端面との間に転動自在に挟持された転動部材とを含み、前記付勢手段が発生させる力は磁力である。
　上述の振動発生装置は、スティックスリップ現象による異音の発生を抑制できる。
振動発生装置の斜視図である。 振動発生装置の上面図である。 振動発生装置の分解斜視図である。 可動体の斜視図である。 サイドカバーの内側に収容された可動体の下面図である。 振動発生装置の左側面図である。 下前側ボールセット、下前側ボールガイド、及び下前側レールの斜視図である。 下前側ボールセット、下前側ボールガイド、及び下前側レールの正面図である。 振動発生装置の断面図である。 振動発生装置の斜視図である。 筐体に固定されたコイルの斜視図である。 筐体に固定されたコイルの上面図である。 カバー、コイル、及び磁束源の断面図である。 下側カバー、下側コイル、及び磁束源の上面図である。
　以下、図面を参照し、本発明の実施形態に係る振動発生装置１０１について説明する。図１Ａは、振動発生装置１０１の斜視図であり、図１Ｂは、振動発生装置１０１の上面図である。図２は、振動発生装置１０１の分解斜視図である。
　図１ＡにおけるＸ１は三次元直交座標系を構成するＸ軸の一方向を表し、Ｘ２はＸ軸の他方向を表す。また、Ｙ１は三次元直交座標系を構成するＹ軸の一方向を表し、Ｙ２はＹ軸の他方向を表す。同様に、Ｚ１は三次元直交座標系を構成するＺ軸の一方向を表し、Ｚ２はＺ軸の他方向を表す。本実施形態では、振動発生装置１０１のＸ１側は、振動発生装置１０１の前側（正面側）に相当し、振動発生装置１０１のＸ２側は、振動発生装置１０１の後側（背面側）に相当する。また、振動発生装置１０１のＹ１側は、振動発生装置１０１の左側に相当し、振動発生装置１０１のＹ２側は、振動発生装置１０１の右側に相当する。そして、振動発生装置１０１のＺ１側は、振動発生装置１０１の上側に相当し、振動発生装置１０１のＺ２側は、振動発生装置１０１の下側に相当する。他の図においても同様である。また、振動発生装置１０１を構成している他の部材についても同様である。
　振動装置ＶＥは、制御部ＣＴＲ及び振動発生装置１０１を有する。振動発生装置１０１は、固定体としての筐体ＨＳと、筐体ＨＳ内に収容される可動体ＭＢと、筐体ＨＳに取り付けられるコイル４と、筐体ＨＳ内で左右方向に沿って可動体ＭＢを往復動可能に案内する案内手段ＧＭと、を有する。制御部ＣＴＲは、筐体ＨＳに固定された絶縁基板（図示せず。）上に設けられた入力端子（図示せず。）に接続されている。なお、図１Ａの破線は、制御部ＣＴＲと絶縁基板上に設けられた入力端子とが電気的に接続されていることを模式的に示している。なお、本実施形態では、制御部ＣＴＲは、筐体ＨＳの外部に設置されているが、筐体ＨＳの内部に設置されていてもよい。
　筐体ＨＳは、固定体の一例であり、図１Ａに示すように、略直方体の外形を有し、ＸＹ平面に平行な面（上面及び下面）の面積が最も広くなるように構成されている。本実施形態では、筐体ＨＳは、カバー１及びサイドカバー２で構成され、内部に収容される部材を完全に覆うように構成されている。但し、筐体ＨＳは、内部に収容される部材の一部が露出するように構成されていてもよい。
　カバー１は、図２に示すように、筐体ＨＳの天面を形成する上側カバー１Ｕと、筐体ＨＳの底面を形成する下側カバー１Ｄとを含む。上側カバー１Ｕ及び下側カバー１Ｄは何れも平板状の部材である。本実施形態では、上側カバー１Ｕ及び下側カバー１Ｄは同じ形状及び同じ大きさを有する。すなわち、上側カバー１Ｕ及び下側カバー１Ｄは同一部品として構成されている。
　また、上側カバー１Ｕは、前後対称且つ左右対称となるように形成されている。下側カバー１Ｄについても同様である。そして、上側カバー１Ｕと下側カバー１Ｄとは、互いに上下対称となるように配置されている。
　具体的には、上側カバー１Ｕは、上側磁性部材１ＭＵ及び上側枠体１ＷＵを含む。同様に、下側カバー１Ｄは、下側磁性部材１ＭＤ及び下側枠体１ＷＤを含む。なお、以下では、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤは磁性部材１Ｍとも称され、上側枠体１ＷＵ及び下側枠体１ＷＤは枠体１Ｗとも称される。
　磁性部材１Ｍは、付勢手段ＢＭを構成する部材の一つであり、付勢手段ＢＭを構成する部材の別の一つである磁束源５から離れたところに磁束源５と磁気的に引き合うように配置される。付勢手段ＢＭは、可動体ＭＢの可動範囲の中心からずれた位置にある可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて移動させる力を発生させるための手段である。
　本実施形態では、磁性部材１Ｍは、可動体ＭＢを構成する磁束源５とは接触しないように、且つ、磁束源５を所定位置に磁気的に保持できるように、枠体１Ｗに固定されている。磁束源５が所定位置から変位している場合、磁束源５が発生させる磁力に基づく磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の磁気的な吸引力により、磁性部材１Ｍは、磁束源５を所定位置に引き戻すように作用する。所定位置は、例えば、可動体ＭＢが可動範囲の中心に位置するときの磁束源５の位置である。
　枠体１Ｗは、磁性部材１Ｍを支持するための非磁性部材である。本実施形態では、枠体１Ｗは、オーステナイト系ステンレス鋼で形成されている。但し、枠体１Ｗは、合成樹脂で形成されていてもよい。磁性部材１Ｍは、接着剤によって枠体１Ｗに接合されている。
　サイドカバー２は、筐体ＨＳの側面を構成するように形成されている。本実施形態では、サイドカバー２は、非磁性部材（オーステナイト系ステンレス鋼）で形成されている。但し、サイドカバー２は、合成樹脂で形成されていてもよい。具体的には、サイドカバー２は、平板状に形成された四つの側板部を備えている。より具体的には、四つの側板部は、図２に示すように、互いに対向する第１側板部２Ａ１及び第３側板部２Ａ３と、第１側板部２Ａ１及び第３側板部２Ａ３のそれぞれに垂直で且つ互いに対向する第２側板部２Ａ２及び第４側板部２Ａ４とを含む。
　カバー１は、締結部材によりサイドカバー２に締結される。具体的には、締結部材は、上側締結部材及び下側締結部材を含む。より具体的には、上側締結部材は、第１上側雄ネジ３Ｕ１～第４上側雄ネジ３Ｕ４を含み、下側締結部材は第１下側雄ネジ３Ｄ１～第４下側雄ネジ３Ｄ４を含む。以下では、説明の便宜上、第１上側雄ネジ３Ｕ１～第４上側雄ネジ３Ｕ４は上側締結部材３Ｕとも称され、第１下側雄ネジ３Ｄ１～第４下側雄ネジ３Ｄ４は下側締結部材３Ｄとも称され、上側締結部材３Ｕ及び下側締結部材３Ｄは締結部材３とも称される。
　本実施形態では、締結部材３は、プラスドライバで操作できるように構成された雄ネジであり、サイドカバー２の四隅に形成された雌ネジ孔とかみ合うように構成されている。サイドカバー２の四隅に形成された雌ネジ孔は、Ｚ軸方向に沿ってサイドカバー２の角部を貫通するように形成されており、第１雌ネジ孔２Ｔ１～第４雌ネジ孔２Ｔ４を含む。そして、上側カバー１Ｕ（上側枠体１ＷＵ）は、四つの上側締結部材３Ｕ（第１上側雄ネジ３Ｕ１～第４上側雄ネジ３Ｕ４）により、サイドカバー２に締結されている。具体的には、第１上側雄ネジ３Ｕ１は、サイドカバー２の右前隅に形成された第１雌ネジ孔２Ｔ１の上側開口にねじ込まれ、第２上側雄ネジ３Ｕ２は、サイドカバー２の左前隅に形成された第２雌ネジ孔２Ｔ２の上側開口にねじ込まれ、第３上側雄ネジ３Ｕ３は、サイドカバー２の左後隅に形成された第３雌ネジ孔２Ｔ３の上側開口にねじ込まれ、第４上側雄ネジ３Ｕ４は、サイドカバー２の右後隅に形成された第４雌ネジ孔２Ｔ４の上側開口にねじ込まれる。同様に、下側カバー１Ｄ（下側枠体１ＷＤ）は、四つの下側締結部材３Ｄ（第１下側雄ネジ３Ｄ１～第４下側雄ネジ３Ｄ４）により、サイドカバー２に締結されている。具体的には、第１下側雄ネジ３Ｄ１は、サイドカバー２の右前隅に形成された第１雌ネジ孔２Ｔ１の下側開口にねじ込まれ、第２下側雄ネジ３Ｄ２は、サイドカバー２の左前隅に形成された第２雌ネジ孔２Ｔ２の下側開口にねじ込まれ、第３下側雄ネジ３Ｄ３は、サイドカバー２の左後隅に形成された第３雌ネジ孔２Ｔ３の下側開口にねじ込まれ、第４下側雄ネジ３Ｄ４は、サイドカバー２の右後隅に形成された第４雌ネジ孔２Ｔ４の下側開口にねじ込まれる。
　コイル４は、駆動手段ＤＭを構成する部材である。本実施形態では、コイル４は、絶縁材料で表面を被覆された導電線が巻回されて形成される巻き線コイルであり、カバー１に固定されるように構成されている。図２は、明瞭化のため、導電線の詳細な巻回状態の図示を省略している。コイル４を図示する他の図においても同様である。コイル４は、積層コイル又は薄膜コイル等であってもよい。具体的には、コイル４は、上側カバー１Ｕ（上側磁性部材１ＭＵ）の下側（Ｚ２側）の面に固定される上側コイル４Ｕと、下側カバー１Ｄ（下側磁性部材１ＭＤ）の上側（Ｚ１側）の面に固定される下側コイル４Ｄと、を含む。そして、上側コイル４Ｕは、Ｙ軸方向に沿って並置され且つ直列接続される第１上側コイル４Ｕ１、第２上側コイル４Ｕ２、及び第３上側コイル４Ｕ３を含み、下側コイル４Ｄは、Ｙ軸方向に沿って並置され且つ直列接続される第１下側コイル４Ｄ１、第２下側コイル４Ｄ２、及び第３下側コイル４Ｄ３を含む。なお、以下では、第１上側コイル４Ｕ１及び第１下側コイル４Ｄ１は左側コイル４Ｌとも称され、第２上側コイル４Ｕ２及び第２下側コイル４Ｄ２は中央コイル４Ｃとも称され、第３上側コイル４Ｕ３及び第３下側コイル４Ｄ３は右側コイル４Ｒとも称される。
　制御部ＣＴＲは、可動体ＭＢの動きを制御できるように構成されている。本実施形態では、制御部ＣＴＲは、電子回路及び不揮発性記憶装置等を含む装置であり、コイル４を流れる電流の向き及び大きさを制御できるように構成されている。制御部ＣＴＲは、コンピュータ等の外部装置からの制御指令に応じてコイル４を流れる電流の向き及び大きさを制御するように構成されていてもよく、外部装置からの制御指令を受けずにコイル４を流れる電流の向き及び大きさを制御するように構成されていてもよい。
　可動体ＭＢは、筐体ＨＳを振動させることができるように構成されている。本実施形態では、可動体ＭＢは、筐体ＨＳ内に収容された状態で往復動することにより、筐体ＨＳを振動させることができるように構成されている。
　ここで、図３及び図４を参照し、可動体ＭＢの詳細について説明する。図３は、可動体ＭＢの構成例を示す図である。具体的には、図３の上図は、可動体ＭＢの全体の斜視図であり、図３の下図は、可動体ＭＢの分解斜視図である。図４は、サイドカバー２の内側に収容された可動体ＭＢの下面図である。
　可動体ＭＢは、磁束源５及び磁束源保持部材６を含むように構成されている。具体的には、可動体ＭＢは、所定方向に延びる振動軸ＶＡ（図３の上図参照。）に沿って筐体ＨＳに対して往復動（振動）できるように構成されている。
　磁束源５は、駆動手段ＤＭを構成する部材であり、磁束を発生させることができるように構成されている。本実施形態では、磁束源５は、永久磁石であり、左側磁石５Ｌ、中央磁石５Ｃ、及び右側磁石５Ｒを含む。図３では、明瞭化のため、磁束源５としての永久磁石には、Ｎ極部分に粗いクロスパターンが付され、Ｓ極部分に細かいクロスパターンが付されている。他の図においても同様である。
　中央磁石５Ｃは、第１中央磁石５Ｃ１及び第２中央磁石５Ｃ２を含む。左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒは何れも、二極に着磁された永久磁石であり、Ｙ軸方向に沿って並置されている。
　磁束源保持部材６は、磁束源５を保持できるように構成されている。本実施形態では、磁束源保持部材６は、非磁性部材で形成された矩形枠状の部材であり、図２に示すように、本体部６Ｍ及び張出部６Ｇを有する。張出部６Ｇは、本体部６Ｍから前後方向に張り出すように一体的に形成されている。また、張出部６Ｇは、後掲の図５の下図（ブロック矢印より下の図）に示すように、後側張出部６ＧＢ及び前側張出部６ＧＦを含む。上下方向における張出部６Ｇ（後側張出部６ＧＢ）の寸法Ｍ１は、上下方向における本体部６Ｍの寸法Ｍ２よりも小さい。
　具体的には、磁束源保持部材６は、図３及び図４に示すように、左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５ＲをＹ軸方向に沿って略等間隔で保持できるように構成されている。磁束源保持部材６を構成する非磁性部材は、例えば、非磁性金属である。好適には、非磁性金属としては、比較的比重の大きい金属が採用される。可動体ＭＢの重量を大きくすることで可動体ＭＢによってもたらされる振動力を大きくするためである。但し、非磁性部材は、合成樹脂で形成されていてもよい。
　駆動手段ＤＭは、振動力発生部の一例であり、可動体ＭＢを振動軸ＶＡに沿って振動させることができるように構成されている。本実施形態では、駆動手段ＤＭは、コイル４及び磁束源５で構成され、制御部ＣＴＲを通じてコイル４に供給される電流の向き及び大きさに応じた、コイル４と磁束源５との間に作用する電磁力を利用し、可動体ＭＢ（磁束源５）を振動軸ＶＡに沿って振動させることができるように構成されている。
　次に、図５を参照し、案内手段ＧＭについて説明する。図５は、振動発生装置１０１の左側面図である。図５では、明瞭化のため、カバー１、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９以外の部材の図示が省略されている。具体的には、図５の上図（ブロック矢印より上の図）は、分解された状態にあるカバー１、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９の左側面図である。図５の下図は、組み合わされた状態にあるカバー１、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９の左側面図である。図５の上図及び図５の下図では、明瞭化のため、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤには細かいドットパターンが付され、レール９には粗いドットパターンが付され、磁束源保持部材６には更に粗いドットパターンが付されている。
　案内手段ＧＭは、筐体ＨＳ内で左右方向（Ｙ軸方向）に沿って可動体ＭＢを往復動可能に案内できるように構成されている。本実施形態では、案内手段ＧＭは、図２に示すように、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９を含む。案内手段ＧＭは、可動体ＭＢを構成する磁束源保持部材６に形成された張出部６Ｇが、ボールセット７を介し、上下に配置された一対のレール９の間に挟まれ、一対のレール９によって左右方向に移動自在に案内されるように構成されている。
　具体的には、磁束源保持部材６に形成された張出部６Ｇは、サイドカバー２の第１側板部２Ａ１に対向してＹ軸方向に延びる前側張出部６ＧＦと、サイドカバー２の第３側板部２Ａ３に対向してＹ軸方向に延びる後側張出部６ＧＢと、を含む。
　レール９は、固定体の一例であり、図５に示すように、上側カバー１Ｕと張出部６Ｇとの間に配置される上側レール９Ｕと、可動体ＭＢと下側カバー１Ｄとの間に配置される下側レール９Ｄとを含む。そして、上側レール９Ｕは、サイドカバー２の第１側板部２Ａ１に対向してＹ軸方向に延びる上前側レール９ＵＦと、サイドカバー２の第３側板部２Ａ３に対向してＹ軸方向に延びる上後側レール９ＵＢと、を含む。同様に、下側レール９Ｄは、サイドカバー２の第１側板部２Ａ１に対向してＹ軸方向に延びる下前側レール９ＤＦと、サイドカバー２の第３側板部２Ａ３に対向してＹ軸方向に延びる下後側レール９ＤＢと、を含む。
　ボールセット７は、転動部材の一例であり、複数の球体状のボールで構成される。具体的には、ボールセット７は、図５の上図に示すように、上側レール９Ｕと張出部６Ｇとの間に配置される上側ボールセット７Ｕと、下側レール９Ｄと張出部６Ｇとの間に配置される下側ボールセット７Ｄと、を含む。そして、上側ボールセット７Ｕは、上前側レール９ＵＦと前側張出部６ＧＦとの間に配置される上前側ボールセット７ＵＦと、上後側レール９ＵＢと後側張出部６ＧＢとの間に配置される上後側ボールセット７ＵＢと、を含む。同様に、下側ボールセット７Ｄは、下前側レール９ＤＦと前側張出部６ＧＦとの間に配置される下前側ボールセット７ＤＦと、下後側レール９ＤＢと後側張出部６ＧＢとの間に配置される下後側ボールセット７ＤＢと、を含む。
　ボールガイド８は、ボールセット７を構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持するための部材である。なお、ボールガイド８は省略されてもよい。ボールガイド８は、上側ボールセット７Ｕを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する上側ボールガイド８Ｕと、下側ボールセット７Ｄを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する下側ボールガイド８Ｄと、を含む。そして、上側ボールガイド８Ｕは、上前側ボールセット７ＵＦを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する上前側ボールガイド８ＵＦと、上後側ボールセット７ＵＢを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する上後側ボールガイド８ＵＢと、を含む。同様に、下側ボールガイド８Ｄは、下前側ボールセット７ＤＦを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する下前側ボールガイド８ＤＦと、下後側ボールセット７ＤＢを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する下後側ボールガイド８ＤＢと、を含む。
　ここで、図６～図８を参照し、ボールセット７とボールガイド８とレール９との関係について説明する。図６は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの斜視図である。具体的には、図６の上図（ブロック矢印より上の図）は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの分解斜視図であり、図６の下図（ブロック矢印より下の図）は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの組立斜視図である。図７は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの正面図である。具体的には、図７の上図（ブロック矢印より上の図）は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの分解正面図であり、図７の下図（ブロック矢印より下の図）は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの組立正面図である。図８は、振動発生装置１０１の断面図である。具体的には、図８の上図は、図１Ｂに示す一点鎖線ＶＩＩＩＡ－ＶＩＩＩＡを含むＸＺ平面に平行な平面における振動発生装置１０１の断面を矢印で示すようにＹ１側から見たときの図である。図８の下図は、図８の上図における破線で囲まれた範囲Ｒ１の拡大図である。なお、図６～図８を参照する以下の説明は、下前側ボールセット７ＤＦと下前側ボールガイド８ＤＦと下前側レール９ＤＦとの位置関係に関するが、上前側ボールセット７ＵＦと上前側ボールガイド８ＵＦと上前側レール９ＵＦとの位置関係、上後側ボールセット７ＵＢと上後側ボールガイド８ＵＢと上後側レール９ＵＢとの位置関係、及び、下後側ボールセット７ＤＢと下後側ボールガイド８ＤＢと下後側レール９ＤＢとの位置関係にも同様に適用される。
　具体的には、下前側ボールセット７ＤＦは、図６及び図７に示すように、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）を含む。五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）は、下前側ボールガイド８ＤＦに形成された五つの貫通孔（第１貫通孔ＨＬ１～第５貫通孔ＨＬ５）内に配置される。
　また、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）は、磁束源保持部材６の前側張出部６ＧＦの下端面に形成されたＶ溝６ＶＤＦ（図４及び図５の上図参照。）と、下前側レール９ＤＦの上端面に形成されたＶ溝９ＶＤＦとの間に配置される。この場合、前側張出部６ＧＦの下端面は可動側端面ＭＳとして機能し、下前側レール９ＤＦの上端面は固定側端面ＦＳとして機能する。
　下前側ボールガイド８ＤＦは、図７の上図及び図８の下図に示すように、Ｚ軸方向における厚みＨＴ１が第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５のそれぞれの直径ＤＴ２よりも小さくなるように構成されている。具体的には、下前側ボールガイド８ＤＦの厚みＨＴ１は、図８の下図に示すように、下前側ボールセット７ＤＦが前側張出部６ＧＦの下端面と下前側レール９ＤＦの上端面との間に挟持されたときの、前側張出部６ＧＦの下端面と下前側レール９ＤＦの上端面との間の隙間ＧＰ１よりも小さくなるように構成されている。また、五つの貫通孔（第１貫通孔ＨＬ１～第５貫通孔ＨＬ５）のそれぞれの直径ＤＴ１は、図８の下図に示すように、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）のそれぞれの直径ＤＴ２よりも僅かに大きくなるように構成されている。但し、五つの貫通孔（第１貫通孔ＨＬ１～第５貫通孔ＨＬ５）のそれぞれの直径ＤＴ１は、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）のそれぞれの直径ＤＴ２よりも僅かに小さくなるように構成されていてもよい。
　下前側ボールセット７ＤＦを構成する各ボールは、図８の下図に示すように、二つの接触点でＶ溝６ＶＤＦと接触し、且つ、二つの接触点でＶ溝９ＶＤＦと接触するように、Ｖ溝６ＶＤＦとＶ溝９ＶＤＦとの間で挟持される。図８の下図は、第３ボール７ＤＦ３が、接触点ＣＰ１及び接触点ＣＰ２でＶ溝６ＶＤＦと接触し、且つ、接触点ＣＰ３及び接触点ＣＰ４でＶ溝９ＶＤＦと接触した状態を示す。
　また、本実施形態では、下前側ボールガイド８ＤＦの五つの貫通孔（第１貫通孔ＨＬ１～第５貫通孔ＨＬ５）は、下前側ボールセット７ＤＦを構成する五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）のうちの隣り合う二つのボールの間隔が同じになるように間隔を空けて形成されている。具体的には、下前側ボールガイド８ＤＦは、図６の下図及び図７の下図に示すように、第１貫通孔ＨＬ１と第２貫通孔ＨＬ２との間の間隔ＣＬ１、第２貫通孔ＨＬ２と第３貫通孔ＨＬ３との間の間隔ＣＬ２、第３貫通孔ＨＬ３と第４貫通孔ＨＬ４との間の間隔ＣＬ３、及び、第４貫通孔ＨＬ４と第５貫通孔ＨＬ５との間の間隔ＣＬ４がいずれも等しくなるように形成されている。
　次に、図９を参照し、案内手段ＧＭの詳細について説明する。図９は、振動発生装置１０１の斜視図である。図９では、明瞭化のため、カバー１、磁束源５、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９以外の部材の図示が省略されている。具体的には、図９の上図は、組み合わされた状態にあるカバー１、磁束源５、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９の斜視図である。図９の下図は、組み合わされた状態にある下側カバー１Ｄ、下側レール９Ｄ、及び磁束源保持部材６の斜視図である。図９の上図及び図９の下図では、明瞭化のため、磁束源保持部材６に粗いドットパターンが付され、レール９に細かいドットパターンが付されている。
　上前側レール９ＵＦの先端（下端）と下前側レール９ＤＦの先端（上端）とは、図５の下図に示すように、前側張出部６ＧＦを挟んで互いに対向するように組み合わされ、且つ、上後側レール９ＵＢの先端（下端）と下後側レール９ＤＢの先端（上端）とは、図５の下図に示すように、後側張出部６ＧＢを挟んで互いに対向するように組み合わされる。
　本実施形態では、図９の上図に示すように、上前側レール９ＵＦの先端は、前側張出部６ＧＦの上端面と間に僅かな間隔を空けて対向するように配置され、下前側レール９ＤＦの先端は、前側張出部６ＧＦの下端面との間に僅かな間隔を空けて対向するように配置される。すなわち、前側張出部６ＧＦは、上前側レール９ＵＦの先端と下前側レール９ＤＦの先端との間に形成される空間と略同じ形状を有するように構成されている。具体的には、前側張出部６ＧＦは、磁束源保持部材６の長手方向の全長の大部分にわたって連続的に延びる一つの略直方体形状の突出部として形成されている。しかしながら、前側張出部６ＧＦは、磁束源保持部材６の長手方向に沿って断続的に配置される複数の突出部の組み合わせであってもよい。後側張出部６ＧＢについても同様である。また、本実施形態では、磁束源保持部材６は、前後対称となるように形成されている。すなわち、前側張出部６ＧＦと後側張出部６ＧＢとは同じ形状及び同じ大きさを有するように形成されている。但し、前側張出部６ＧＦと後側張出部６ＧＢとは異なる形状を有していてもよい。
　上述のように、張出部６Ｇは、上側レール９Ｕと下側レール９Ｄとの間で、図９の上図及び図９の下図のそれぞれにおける双方向矢印ＡＲ１で示す方向に移動できるように構成されている。具体的には、張出部６Ｇは、可動側端面ＭＳとして機能するその上端面に形成されたＶ溝６ＶＵ（図５の上図のＶ溝６ＶＵＢ及びＶ溝６ＶＵＦを参照。）と、固定側端面ＦＳとして機能する上側レール９Ｕの先端面（下端面）に形成されたＶ溝９ＶＵ（図５の上図のＶ溝９ＶＵＢ及びＶ溝９ＶＵＦ）との間に上側ボールセット７Ｕが挟持されるように構成されている。また、張出部６Ｇは、可動側端面ＭＳとして機能するその下端面に形成されたＶ溝６ＶＤ（図５の上図のＶ溝６ＶＤＢ及びＶ溝６ＶＤＦを参照。）と、固定側端面ＦＳとして機能する下側レール９Ｄの先端面（上端面）に形成されたＶ溝９ＶＤ（図５の上図のＶ溝９ＶＤＢ及びＶ溝９ＶＤＦ）との間に下側ボールセット７Ｄが挟持されるように構成されている。そして、張出部６Ｇは、Ｖ溝６ＶＵとＶ溝９ＶＵとの間で上側ボールセット７Ｕを転動させ、且つ、Ｖ溝６ＶＤとＶ溝９ＶＤとの間で下側ボールセット７Ｄを転動させながら、左右方向（Ｙ軸方向）に往復動できるように構成されている。
　この構成により、磁束源保持部材６は、前後方向及び上下方向のそれぞれにおける移動が制限される一方で、左右方向における円滑な移動が許容される。
　次に、図１０Ａ、図１０Ｂ、図１１、及び図１２を参照し、駆動手段ＤＭの詳細について説明する。図１０Ａ及び図１０Ｂは、筐体ＨＳに固定されたコイル４の詳細図である。具体的には、図１０Ａは、下側カバー１Ｄに固定された下側コイル４Ｄの斜視図である。図１０Ｂは、下側カバー１Ｄに固定された下側コイル４Ｄの上面図である。図１０Ａ及び図１０Ｂでは、明瞭化のため、下側コイル４Ｄに粗いドットパターンが付され、下側磁性部材１ＭＤ及び下側レール９Ｄに細かいドットパターンが付されている。図１１は、図１Ｂに示す一点鎖線ＸＩ－ＸＩを含むＹＺ平面に平行な平面における振動発生装置１０１の断面を矢印で示すようにＸ１側から見たときの図である。具体的には、図１１の上図は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときのカバー１、コイル４、及び磁束源５の断面図である。図１１の中央図は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の右端に位置するときのカバー１、コイル４、及び磁束源５の断面図である。図１１の下図は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の左端に位置するときのカバー１、コイル４、及び磁束源５の断面図である。図１２は、下側カバー１Ｄに固定された下側コイル４Ｄの上を左右方向（Ｙ軸方向）に移動可能な磁束源５の上面図である。具体的には、図１２の上図は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときの下側カバー１Ｄ、下側コイル４Ｄ、及び磁束源５の上面図である。図１２の中央図は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の右端に位置するときの下側カバー１Ｄ、下側コイル４Ｄ、及び磁束源５の上面図である。図１２の下図は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の左端に位置するときの下側カバー１Ｄ、下側コイル４Ｄ、及び磁束源５の上面図である。
　駆動手段ＤＭの構成要素の一つであるコイル４は、図２に示すように、上側カバー１Ｕの下側（Ｚ２側）の面に固定される上側コイル４Ｕと、下側カバー１Ｄの上側（Ｚ１側）の面に固定される下側コイル４Ｄと、を含む。
　下側コイル４Ｄは、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、下側カバー１Ｄの上面（Ｚ１側の面）に接着剤で固定される三つのコイル（第１下側コイル４Ｄ１、第２下側コイル４Ｄ２、及び第３下側コイル４Ｄ３）を含む。図１０Ａ及び図１０Ｂを参照する以下の説明は、下側コイル４Ｄに関するが、上側コイル４Ｕにも同様に適用される。上側カバー１Ｕと下側カバー１Ｄとは同じ形状及び同じ大きさを有し、上側コイル４Ｕと下側コイル４Ｄとは同じ形状及び同じ大きさを有するためである。
　下側コイル４Ｄを構成している三つのコイルのそれぞれは、図１０Ｂに示すように、下側内部空間１ＤＰを囲むように巻回されている。具体的には、第１下側コイル４Ｄ１は、左下側内部空間１ＤＰＬを囲むように巻回され、第２下側コイル４Ｄ２は、中央下側内部空間１ＤＰＣを囲むように巻回され、第３下側コイル４Ｄ３は、右下側内部空間１ＤＰＲを囲むように巻回されている。
　第１下側コイル４Ｄ１は、左下側内部空間１ＤＰＬの左側（Ｙ１側）に位置し且つ左下側内部空間１ＤＰＬに沿って延びる左側束線部４Ｄ１Ｌと、左下側内部空間１ＤＰＬの右側（Ｙ２側）に位置し且つ左下側内部空間１ＤＰＬに沿って延びる右側束線部４Ｄ１Ｒと、を含む。なお、束線部は、コイル４を構成する導電線が前後方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる部分を意味する。
　図１０Ｂでは、明瞭化のため、第１下側コイル４Ｄ１における左側束線部４Ｄ１Ｌ及び右側束線部４Ｄ１Ｒには、第１下側コイル４Ｄ１における他の部分に付されているドットパターンよりも細かいドットパターンが付されている。第２下側コイル４Ｄ２及び第３下側コイル４Ｄ３についても同様である。
　第２下側コイル４Ｄ２は、中央下側内部空間１ＤＰＣの左側（Ｙ１側）に位置し且つ中央下側内部空間１ＤＰＣに沿って延びる左側束線部４Ｄ２Ｌと、中央下側内部空間１ＤＰＣの右側（Ｙ２側）に位置し且つ中央下側内部空間１ＤＰＣに沿って延びる右側束線部４Ｄ２Ｒと、を含む。
　同様に、第３下側コイル４Ｄ３は、右下側内部空間１ＤＰＲの左側（Ｙ１側）に位置し且つ右下側内部空間１ＤＰＲに沿って延びる左側束線部４Ｄ３Ｌと、右下側内部空間１ＤＰＲの右側（Ｙ２側）に位置し且つ右下側内部空間１ＤＰＲに沿って延びる右側束線部４Ｄ３Ｒと、を含む。
　第１下側コイル４Ｄ１の左側束線部４Ｄ１Ｌ及び右側束線部４Ｄ１Ｒは、磁束源５が発生させる磁束が通過する部分、すなわち、可動体ＭＢを左右方向に移動させるためのローレンツ力に基づく駆動力を発生させる部分である。第２下側コイル４Ｄ２の左側束線部４Ｄ２Ｌ及び右側束線部４Ｄ２Ｒ、並びに、第３下側コイル４Ｄ３の左側束線部４Ｄ３Ｌ及び右側束線部４Ｄ３Ｒについても同様である。
　駆動手段ＤＭの構成要素の別の一つである磁束源５は、図１１に示すように、上側コイル４Ｕと下側コイル４Ｄとの間の空間内において、左右方向（Ｙ軸方向）に移動可能に配置されている。具体的には、磁束源５は、左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒを含む。そして、左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒのそれぞれは、図１１では不図示の磁束源保持部材６により、互いに所定の間隔を空けた状態で保持されている。
　本実施形態では、図１１の中央図に示すように、左側磁石５Ｌは、その幅Ｗ１が右側磁石５Ｒの幅Ｗ２と略同じになるように構成されている。また、第１中央磁石５Ｃ１は、その幅Ｗ３が第２中央磁石５Ｃ２の幅Ｗ４と略同じになるように構成されている。また、左側磁石５Ｌは、その幅Ｗ１が第１中央磁石５Ｃ１の幅Ｗ３の略２分の１となるように構成されている。
　本実施形態では、コイル４を構成している六つのコイルは、同じ形状及び同じ大きさを有するように構成されている。すなわち、図１１の中央図及び図１１の下図に示すように、第１上側コイル４Ｕ１の左側束線部４Ｕ１Ｌの幅Ｗ５、第１上側コイル４Ｕ１の右側束線部４Ｕ１Ｒの幅Ｗ６、第２上側コイル４Ｕ２の左側束線部４Ｕ２Ｌの幅Ｗ７、第２上側コイル４Ｕ２の右側束線部４Ｕ２Ｒの幅Ｗ８、第３上側コイル４Ｕ３の左側束線部４Ｕ３Ｌの幅Ｗ９、第３上側コイル４Ｕ３の右側束線部４Ｕ３Ｒの幅Ｗ１０、第１下側コイル４Ｄ１の左側束線部４Ｄ１Ｌの幅Ｗ１１、第１下側コイル４Ｄ１の右側束線部４Ｄ１Ｒの幅Ｗ１２、第２下側コイル４Ｄ２の左側束線部４Ｄ２Ｌの幅Ｗ１３、第２下側コイル４Ｄ２の右側束線部４Ｄ２Ｒの幅Ｗ１４、第３下側コイル４Ｄ３の左側束線部４Ｄ３Ｌの幅Ｗ１５、及び、第３下側コイル４Ｄ３の右側束線部４Ｄ３Ｒの幅Ｗ１６は全て同じ大きさである。
　そして、左側磁石５Ｌは、その幅Ｗ１が第１上側コイル４Ｕ１の左側束線部４Ｕ１Ｌの幅Ｗ５と略同じになるように構成されている。また、第１中央磁石５Ｃ１は、その幅Ｗ３が、第１上側コイル４Ｕ１の右側束線部４Ｕ１Ｒの幅Ｗ６と第２上側コイル４Ｕ２の左側束線部４Ｕ２Ｌの幅Ｗ７との合計と略同じになるように構成されている。
　可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときには、図１１の上図に示すように、左側磁石５Ｌは、Ｎ極部分（上側部分）が第１上側コイル４Ｕ１の左側束線部４Ｕ１Ｌと対向するように、且つ、Ｓ極部分（下側部分）が第１下側コイル４Ｄ１の左側束線部４Ｄ１Ｌと対向するように配置されている。また、第１中央磁石５Ｃ１は、Ｓ極部分（上側部分）が第１上側コイル４Ｕ１の右側束線部４Ｕ１Ｒ及び第２上側コイル４Ｕ２の左側束線部４Ｕ２Ｌのそれぞれと対向するように、且つ、Ｎ極部分（下側部分）が第１下側コイル４Ｄ１の右側束線部４Ｄ１Ｒ及び第２下側コイル４Ｄ２の左側束線部４Ｄ２Ｌのそれぞれと対向するように配置されている。また、第２中央磁石５Ｃ２は、Ｎ極部分（上側部分）が第２上側コイル４Ｕ２の右側束線部４Ｕ２Ｒ及び第３上側コイル４Ｕ３の左側束線部４Ｕ３Ｌのそれぞれと対向するように、且つ、Ｓ極部分（下側部分）が第２下側コイル４Ｄ２の右側束線部４Ｄ２Ｒ及び第３下側コイル４Ｄ３の左側束線部４Ｄ３Ｌのそれぞれと対向するように配置されている。また、右側磁石５Ｒは、Ｓ極部分（上側部分）が第３上側コイル４Ｕ３の右側束線部４Ｕ３Ｒと対向するように、且つ、Ｎ極部分（下側部分）が第３下側コイル４Ｄ３の右側束線部４Ｄ３Ｒと対向するように配置されている。
　図１２の中央図の破線矢印で示すように下側コイル４Ｄに電流が流れると、可動体ＭＢ（磁束源５）は、案内手段ＧＭによってガイドされながら、右方向（Ｙ２方向）に移動する。具体的には、第１下側コイル４Ｄ１に上面視で反時計回りに電流が流れ、第２下側コイル４Ｄ２に上面視で時計回りに電流が流れ、且つ、第３下側コイル４Ｄ３に上面視で反時計回りに電流が流れると、可動体ＭＢ（磁束源５）は、右方向（Ｙ２方向）に移動する。
　下側カバー１Ｄに固定された下側コイル４Ｄを構成している導電線内を移動する荷電粒子にローレンツ力が作用し、その反力によって磁束源５としての左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒが右方向に移動させられるためである。
　同様に、図１２の下図の破線矢印で示すように下側コイル４Ｄに電流が流れると、可動体ＭＢ（磁束源５）は、案内手段ＧＭによってガイドされながら、左方向（Ｙ１方向）に移動する。具体的には、第１下側コイル４Ｄ１に上面視で時計回りに電流が流れ、第２下側コイル４Ｄ２に上面視で反時計回りに電流が流れ、且つ、第３下側コイル４Ｄ３に上面視で時計回りに電流が流れると、可動体ＭＢ（磁束源５）は、左方向（Ｙ１方向）に移動する。
　本実施形態では、右側磁石５Ｒの一部は、図１１の上図に示すように、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときであっても、磁性部材１Ｍの内側面（コイル４に対向する側の面）の右端ＲＥよりも右側に突出している。また、左側磁石５Ｌの一部は、図１１の上図に示すように、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときであっても、磁性部材１Ｍの内側面（コイル４に対向する側の面）の左端ＬＥよりも左側に突出している。
　そして、可動体ＭＢ（磁束源５）が右方向（Ｙ２方向）に移動すると、図１１の中央図に示すように、右側磁石５Ｒの一部は、磁性部材１Ｍの内側面の右端ＲＥよりも右側に更に突出する。具体的には、右側磁石５Ｒの一部は、上側磁性部材１ＭＵの内側面の右端ＵＲＥよりも右側に更に突出し、且つ、下側磁性部材１ＭＤの内側面の右端ＤＲＥよりも右側に更に突出する。そして、右側磁石５Ｒと磁性部材１Ｍとの間には吸引力が作用しているため、右側磁石５Ｒのうち、磁性部材１Ｍの内側面の右端ＲＥよりも右側に突出した部分５Ｒａは、磁性部材１Ｍの内側面の右端ＲＥによって左方向に引き付けられる。この状態において、磁性部材１Ｍの内側面の右端ＲＥは、部分５Ｒａから最も近い位置にある、磁性部材１Ｍの部位である。なお、図１１の中央図では、右側磁石５Ｒを磁性部材１Ｍの右端ＲＥに引き付ける吸引力を発生させる磁界を表す磁力線（部分５Ｒａと右端ＲＥとの間に延びる磁力線）の一部が点線で表されている。また、図１１の中央図では、明瞭化のため、磁束源５によって生成される磁界の他の部分を表す磁力線の図示が省略されている。
　また、可動体ＭＢ（磁束源５）が右方向（Ｙ２方向）に移動すると、図１１の中央図に示すように、磁性部材１Ｍの左端部分は、左側磁石５Ｌの左端よりも左側に突出する。具体的には、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤのそれぞれの左端部分は、左側磁石５Ｌの左端よりも左側に突出する。そして、左側磁石５Ｌと磁性部材１Ｍとの間には吸引力が作用しているため、磁性部材１Ｍのうち、左側磁石５Ｌの左端よりも左側に突出した部分１ＭＬａは、左側磁石５Ｌを左側に引き付ける。この状態において、左側磁石５Ｌの左端は、磁性部材１Ｍの部分１ＭＬａから最も近い位置にある、左側磁石５Ｌの部位である。なお、図１１の中央図では、左側磁石５Ｌを磁性部材１Ｍの左端に引き付ける吸引力を発生させる磁界を表す磁力線（部分１ＭＬａと左側磁石５Ｌの左端との間に延びる磁力線）の一部が点線で表されている。
　このように、可動範囲の中心から右方向に変位した可動体ＭＢ（磁束源５）は、可動体ＭＢ（磁束源５）を可動範囲の中心に引き戻そうとする力（吸引力）を受ける。そして、可動範囲の中心から右方向に変位した可動体ＭＢ（磁束源５）は、可動体ＭＢを右方向に移動させようとする力（電磁力）が消失したとき、すなわち、コイル４を流れる電流が消失したときに、その力（吸引力）によって左方向に移動し、可動範囲の中心に向かって戻る。
　反対に、可動体ＭＢ（磁束源５）が左方向（Ｙ１方向）に移動すると、図１１の下図に示すように、左側磁石５Ｌの一部は、磁性部材１Ｍの内側面（コイル４に対向する側の面）の左端ＬＥよりも左側に更に突出する。具体的には、左側磁石５Ｌの一部は、上側磁性部材１ＭＵの内側面の左端ＵＬＥよりも左側に更に突出し、且つ、下側磁性部材１ＭＤの内側面の左端ＤＬＥよりも左側に更に突出する。そして、左側磁石５Ｌと磁性部材１Ｍとの間には吸引力が作用しているため、左側磁石５Ｌのうち、磁性部材１Ｍの内側面の左端ＬＥよりも左側に突出した部分５Ｌａは、磁性部材１Ｍの内側面の左端ＬＥによって右方向に引き付けられる。この状態において、磁性部材１Ｍの内側面の左端ＬＥは、部分５Ｌａから最も近い位置にある、磁性部材１Ｍの部位である。なお、図１１の下図では、左側磁石５Ｌを磁性部材１Ｍの左端ＬＥに引き付ける吸引力を発生させる磁界を表す磁力線（部分５Ｌａと左端ＬＥとの間に延びる磁力線）の一部が点線で表されている。また、図１１の下図では、明瞭化のため、磁束源５によって生成される磁界の他の部分を表す磁力線の図示が省略されている。
　また、可動体ＭＢ（磁束源５）が左方向（Ｙ１方向）に移動すると、図１１の下図に示すように、磁性部材１Ｍの右端部分は、右側磁石５Ｒの右端よりも右側に突出する。具体的には、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤのそれぞれの右端部分は、右側磁石５Ｒの右端よりも右側に突出する。そして、右側磁石５Ｒと磁性部材１Ｍとの間には吸引力が作用しているため、磁性部材１Ｍのうち、右側磁石５Ｒの右端よりも右側に突出した部分１ＭＲａは、右側磁石５Ｒを右側に引き付ける。この状態において、右側磁石５Ｒの右端は、磁性部材１Ｍの部分１ＭＲａから最も近い位置にある、右側磁石５Ｒの部位である。なお、図１１の下図では、右側磁石５Ｒを磁性部材１Ｍの右端に引き付ける吸引力を発生させる磁界を表す磁力線（部分１ＭＲａと右側磁石５Ｒの右端との間に延びる磁力線）の一部が点線で表されている。
　このように、可動範囲の中心から左方向に変位した可動体ＭＢ（磁束源５）は、可動体ＭＢ（磁束源５）を可動範囲の中心に引き戻そうとする力（吸引力）を受ける。そして、可動範囲の中心から左方向に変位した可動体ＭＢ（磁束源５）は、可動体ＭＢを左方向に移動させようとする力（電磁力）が消失したとき、すなわち、コイル４を流れる電流が消失したときに、その力（吸引力）によって右方向に移動し、可動範囲の中心に向かって戻る。
　そのため、可動範囲の中心からずれた位置にある可動体ＭＢは、コイル４に対する電流の供給が停止されると、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力によって可動範囲の中心に戻される。このようにして、付勢手段ＢＭ及び駆動手段ＤＭは、可動体ＭＢを左右方向に振動させることができる。
　上述のように、本発明の実施形態に係る振動発生装置１０１は、固定体（筐体ＨＳ）と、固定体（筐体ＨＳ）内に収容される可動体ＭＢと、可動体ＭＢを固定体（筐体ＨＳ）内で左右方向に沿って往復動可能に案内する案内手段ＧＭと、固定体（筐体ＨＳ）及び可動体ＭＢの一方に取り付けられるとともに上下方向に沿う磁束を発生させる磁束発生部材（磁束源５）と、固定体（筐体ＨＳ）及び可動体ＭＢの他方に取り付けられるとともに前後方向に沿って延在し左右方向に沿って並設されるコイル４と、可動体ＭＢの可動範囲の中心からずれた位置にある可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて移動させる力を発生させる付勢手段ＢＭと、を備える。案内手段ＧＭは、固定体（レール９）に左右方向に沿って設定される固定側端面ＦＳと、可動体ＭＢ）に左右方向に沿って設定される可動側端面ＭＳと、固定側端面ＦＳと可動側端面ＭＳとの間に転動自在に挟持された転動部材（ボールセット７）とを含む。付勢手段ＢＭが発生させる力は、例えば、磁力である。
　図２に示す例では、振動発生装置１０１は、筐体ＨＳと、筐体ＨＳ内に収容される可動体ＭＢと、可動体ＭＢを筐体ＨＳ内で左右方向（Ｙ軸方向）に沿って往復動可能に案内する案内手段ＧＭと、可動体ＭＢに取り付けられるとともに上下方向に沿う磁束を発生させる磁束源５と、筐体ＨＳに取り付けられるとともに前後方向に沿って延在し左右方向に沿って並設されるコイル４と、可動体ＭＢの可動範囲の中心からずれた位置にある可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて移動させる磁気的な吸引力を発生させる磁性部材１Ｍと、を備えている。そして、案内手段ＧＭは、レール９に左右方向に沿って設定される固定側端面ＦＳと、磁束源保持部材６の張出部６Ｇに左右方向に沿って設定される可動側端面ＭＳと、固定側端面ＦＳと可動側端面ＭＳとの間に転動自在に挟持されたボールセット７とを含んでいる。
　この構成は、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）と固定体（レール９）との間にボールセット７を介在させるため、スティックスリップ現象による異音の発生を抑制し或いは防止できる。具体的には、この構成は、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）と固定体（レール９）とが直接接触しないようにするため、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）と固定体（レール９）との間の摩擦（静止摩擦力と動摩擦力との差）に起因するスティックスリップ現象による異音の発生を防止できる。
　また、図２に示す振動発生装置１０１は、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力を利用し、電磁力によって動かされた可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて戻すことができる。そのため、振動発生装置１０１は、コイルバネ等のバネ部材が用いられることなしに、且つ、磁気バネのための別の磁石が筐体ＨＳに取り付けられることなしに、電磁力によって動かされた可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて戻すことができる。
　但し、振動発生装置１０１は、コイルバネ等のバネ部材を利用し、或いは、磁気バネを利用し、電磁力によって動かされた可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて戻すことができるように構成されていてもよい。
　可動体ＭＢとしての磁束源保持部材６は、望ましくは、図５に示すように、本体部６Ｍと、本体部６Ｍから前後方向に張り出すように一体的に形成されるとともに上下方向の寸法が本体部より小さい張出部６Ｇと、を有する。この場合、可動側端面ＭＳは、少なくとも張出部６Ｇの下端面に設定されており、転動部材としてのボールセット７は、本体部６Ｍの下端面より上側の位置で固定側端面ＦＳに当接する。図８の下図に示す例では、前側張出部６ＧＦの下端面ＢＦ１は可動側端面ＭＳとして機能し、下前側ボールセット７ＤＦの第３ボール７ＤＦ３は、本体部６Ｍの下端面ＢＦ２より上側（Ｚ１側）の位置で固定側端面ＦＳ（下前側レール９ＤＦの上端面ＴＦ１）と接触している。具体的には、第３ボール７ＤＦ３は、下前側レール９ＤＦの上端面ＴＦ１に形成されたＶ溝９ＶＤＦに対して接触点ＣＰ３及び接触点ＣＰ４で接触している。
　この構成は、磁束源保持部材６の上下方向の寸法が大きくなってしまうのを抑制しながらも、上側ボールセット７Ｕ（張出部６Ｇの上端面に配置される複数のボール）と下側ボールセット７Ｄ（張出部６Ｇの下端面に配置される複数のボール）とを介し、張出部６Ｇを上側レール９Ｕと下側レール９Ｄとで挟持することによって磁束源保持部材６の姿勢を安定化させることができるという効果をもたらす。
　磁束発生部材としての磁束源５は、望ましくは、図３に示すように、可動体ＭＢとしての磁束源保持部材６に取り付けられている。また、コイル４は、望ましくは、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、固定体としてのカバー１に取り付けられている。そして、可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて移動させる力を発生させる付勢手段ＢＭは、望ましくは、図２に示すように、磁束源５と、固定体としての枠体１Ｗに取り付けられるとともにコイル４の外側（可動体ＭＢがある側の反対側）に配置される磁性部材１Ｍとを構成要素として含む。
　案内手段ＧＭは、固定側端面ＦＳが形成されるレール９を含んでいてもよい。また、固定体は、磁性部材１Ｍが取り付けられるカバー１を含んでいてもよい。そして、レール９及びボールセット７は、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間に作用する磁気的な吸引力によって互いに引き付けられるカバー１と可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）との間で挟持されていてもよい。
　図９に示す例では、磁束源５は、上下方向に二極着磁された永久磁石であり、左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒを含む。そして、磁束源５（左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒ）と磁性部材１Ｍ（上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤ）との間には磁気的な吸引力が作用するように構成されている。
　この構成は、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間に作用する磁気的な吸引力によって磁束源保持部材６と枠体１Ｗとが互いに引き付け合うような力を作用させ、磁束源保持部材６の張出部６Ｇとレール９とによるボールセット７の挟持を確かなものとすることができる。具体的には、この構成は、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間に作用する磁気的な吸引力によって磁束源保持部材６と上側枠体１ＷＵとが互いに引き付け合うような力を作用させ、張出部６Ｇと上側レール９Ｕとによる上側ボールセット７Ｕの挟持を確かなものとすることができる。同様に、この構成は、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間に作用する磁気的な吸引力によって磁束源保持部材６と下側枠体１ＷＤとが互いに引き付け合うような力を作用させ、張出部６Ｇと下側レール９Ｄとによる下側ボールセット７Ｄの挟持を確かなものとすることができる。また、この構成により、レール９及びボールセット７は、磁束源保持部材６の張出部６Ｇと枠体１Ｗとの間で挟持され且つ磁気的な吸引力によって締め付けられる。そのため、レール９は、接着剤を用いて枠体１Ｗに接着固定される必要は無い。上述の実施形態では、枠体１Ｗとレール９との間には接着剤は塗布されていない。但し、上側レール９Ｕは、接着剤によって上側枠体１ＷＵに接着固定されてもよく、下側レール９Ｄは、接着剤によって下側枠体１ＷＤに接着固定されてもよい。
　ボールセット７は、望ましくは、固定側端面ＦＳと可動側端面ＭＳとの間に挟持された複数のボールで構成される。そして、複数のボールは、所定の間隔を空けて配置される。本実施形態では、ボールセット７は、図５に示すように、上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、下後側ボールセット７ＤＢ、及び下前側ボールセット７ＤＦを含んでいる。そして、下前側ボールセット７ＤＦは、図６及び図７に示すように、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）で構成されており、下前側ボールガイド８ＤＦによって、左右方向（Ｙ軸方向）において等間隔を隔てて配置されている。上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、及び下後側ボールセット７ＤＢについても同様である。なお、上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、下後側ボールセット７ＤＢ、及び下前側ボールセット７ＤＦのそれぞれを構成するボールの数は、四つ以下であってもよく、六つ以上であってもよい。
　この構成では、磁束源保持部材６の張出部６Ｇの上端面と上側レール９Ｕの下端面との間に複数のボールが配置され、且つ、張出部６Ｇの下端面と下側レール９Ｄの上端面との間に複数のボールが配置される。そのため、この構成は、張出部６Ｇの上端面と上側レール９Ｕの下端面との間に一つのボールが配置される構成、或いは、張出部６Ｇの下端面と上側レール９Ｕの上端面との間に一つのボールが配置される構成に比べ、磁束源保持部材６を低摩擦で左右方向（Ｙ軸方向）に移動させることができるという効果をもたらす。一つのボールに荷重が集中してしまうのを防止できるためである。また、この構成は、所定の間隔を空けて配置される複数のボールを用いることにより、磁束源保持部材６が傾いてしまうのを抑制できる。但し、上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、下後側ボールセット７ＤＢ、及び下前側ボールセット７ＤＦの少なくとも一つは、一つのボールで構成されていてもよい。
　振動発生装置１０１は、図１１の中央図に示すように可動体ＭＢが可動範囲の右端に位置するときには、磁性部材１Ｍの左端が磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）よりも外側（左側）に位置する一方で、磁性部材１Ｍの右端が磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）よりも内側（左側）に位置するように構成されていてもよい。
　反対に、振動発生装置１０１は、図１１の下図に示すように可動体ＭＢが可動範囲の左端に位置するときには、磁性部材１Ｍの右端が磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）よりも外側（右側）に位置する一方で、磁性部材１Ｍの左端が磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）よりも内側（右側）に位置するように構成されていてもよい。
　なお、振動発生装置１０１は、図１１の上図に示すように可動体ＭＢが可動範囲の中心（中央）に位置するときには、磁性部材１Ｍの右端が磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）よりも内側（左側）に位置し、且つ、磁性部材１Ｍの左端が磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）よりも内側（右側）に位置するように構成されている。
　この構成により、振動発生装置１０１は、可動体ＭＢが可動範囲の中心から左右方向に移動しているときには、付勢手段ＢＭにより、すなわち、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力により、可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて付勢することができる。
　案内手段ＧＭは、可動体ＭＢに中心復帰力を付与しないように構成されていてもよい。中心復帰力は、可動範囲の中心に位置していない可動体ＭＢを可動範囲の中心に復帰させようとする、バネ部材等の機械要素による機械的な弾性力である。具体的には、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）は、図９の上図に示すように、案内手段ＧＭを構成しているボールセット７及びレール９によって左右方向に移動可能に支持されており、バネ部材等の機械要素が接続されていない。バネ部材等の機械要素によって可動体ＭＢに中心復帰力が付与されなくとも、可動体ＭＢが可動範囲の中心から左右方向に移動すると、可動体ＭＢは、付勢手段ＢＭにより、すなわち、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力により、可動範囲の中心に引き戻されるためである。すなわち、可動体ＭＢは、バネ部材等の機械要素による中心復帰力が付与されなくとも、可動範囲の中心に戻ることができるためである。
　この構成により、振動発生装置１０１は、中心復帰力を発生させるためのバネ部材等の機械要素を省略できる。但し、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）には、中心復帰力を付与するためのバネ部材等の機械要素が接続されていてもよい。
　振動発生装置１０１は、図１１の上図に示すように可動体ＭＢが可動範囲の中心に位置するときには、磁束源５の左端よりも磁性部材１Ｍの左端が内側（右側）に位置し、且つ、磁束源５の右端よりも磁性部材１Ｍの右端が内側（左側）に位置するように構成されている。しかしながら、振動発生装置１０１は、可動体ＭＢが可動範囲の中心に位置するときには、磁性部材１Ｍの左端が磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）と同じか磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）よりも外側（左側）に位置し、且つ、磁性部材１Ｍの右端が磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）と同じか磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）よりも外側（右側）に位置するように構成されていてもよい。
　このように、振動発生装置１０１は、振動方向である左右方向における磁束源５の全幅が磁性部材１Ｍの全幅よりも大きいか否かにかかわらず、可動体ＭＢが可動範囲の中心から左右方向に移動しているときには、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力により、可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて付勢することができる。
　コイル４は、図２に示すように、可動体ＭＢの上方に配置される上側コイル４Ｕと、可動体ＭＢの下方に配置される下側コイル４Ｄと、を含んでいてもよい。また、磁性部材１Ｍは、可動体ＭＢの上方に配置される上側磁性部材１ＭＵと、可動体ＭＢの下方に配置される下側磁性部材１ＭＤと、を含んでいてもよい。
　この構成により、振動発生装置１０１は、可動体ＭＢの上方又は下方の何れかにコイル４及び磁性部材１Ｍが配置される構成に比べ、筐体ＨＳ内のスペースを有効活用しながら、駆動手段ＤＭによる駆動力を大きくすることができる。但し、上側コイル４Ｕ及び下側コイル４Ｄのうちの何れか一方は省略されてもよい。また、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤのうちの何れか一方は省略されてもよい。
　案内手段ＧＭは、図５に示すように、張出部６Ｇが上側レール９Ｕと下側レール９Ｄとの間でボールセット７を介して挟持され且つ左右方向に沿って移動自在にガイドされるように構成されていてもよい。
　具体的には、図５の上図に示すように、上側レール９Ｕは、磁束源保持部材６の前側に配置される上前側レール９ＵＦと磁束源保持部材６の後側に配置される上後側レール９ＵＢとを含んでいてもよい。また、下側レール９Ｄは、磁束源保持部材６の前側に配置される下前側レール９ＤＦと磁束源保持部材６の後側に配置される下後側レール９ＤＢとを含んでいてもよい。そして、磁束源保持部材６の張出部６Ｇは、磁束源保持部材６の本体部６Ｍの前側に配置される前側張出部６ＧＦと、本体部６Ｍの後側に配置される後側張出部６ＧＢとを含んでいてもよい。
　より具体的には、磁束源保持部材６は、上前側レール９ＵＦの先端面（下端面）と下前側レール９ＤＦの先端面（上端面）との間に形成された略直方体形状の空間内に嵌め込まれるように、本体部６Ｍの前面から前方に突出するように形成された凸状の前側張出部６ＧＦを有していてもよい。また、磁束源保持部材６は、上後側レール９ＵＢの先端面と下後側レール９ＤＢの先端面との間に形成された略直方体形状の空間内に嵌め込まれるように、本体部６Ｍの後面から後方に突出するように形成された凸状の後側張出部６ＧＢを有していてもよい。
　この構成では、案内手段ＧＭは、張出部６Ｇが左右方向（Ｙ軸方向）以外の方向に移動するのを抑制できる。すなわち、案内手段ＧＭは、可動体ＭＢが前後方向（Ｘ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動するのを抑制できる。
　筐体ＨＳは、矩形筒状のサイドカバー２を含んでいてもよい。この場合、筐体ＨＳは、図８の上図に示すように、上側カバー１Ｕがサイドカバー２の上端部に上から当接して位置決めされるとともに、下側カバー１Ｄがサイドカバー２の下端部に下から当接して位置決めされるように構成されていてもよい。
　この構成は、上後側レール９ＵＢの先端面（下端面）と下後側レール９ＤＢの先端面（上端面）との間に形成される空間の所望のサイズが高精度に実現されるのを可能にする。そのため、この構成は、左右方向における可動体ＭＢの滑らかな移動を実現できる。
　カバー１は、図２に示すように、締結部材３によりサイドカバー２に締結されてもよい。具体的には、上側カバー１Ｕは、第１上側雄ネジ３Ｕ１～第４上側雄ネジ３Ｕ４によりサイドカバー２の上端部に締結され、下側カバー１Ｄは、第１下側雄ネジ３Ｄ１～第４下側雄ネジ３Ｄ４によりサイドカバー２の下端部に締結されてもよい。
　この構成は、上側カバー１Ｕと下側カバー１Ｄとの間の隙間ＧＰ２（図９の上図参照。）を調整できるという効果をもたらす。すなわち、この構成は、枠体１Ｗ、磁束源保持部材６、ボールセット７、及びレール９の寸法誤差及び組立誤差を吸収できるという効果をもたらす。
　上側カバー１Ｕと下側カバー１Ｄとは、望ましくは、同じ形状及び同じ大きさを有するように構成されている。この構成は、振動発生装置１０１を構成する部品の点数を更に削減できるという効果をもたらす。
　以上、本発明の好ましい実施形態について詳説した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態に制限されることはない。上述した実施形態は、本発明の範囲を逸脱することなしに、種々の変形又は置換等が適用され得る。また、上述の実施形態を参照して説明された特徴のそれぞれは、技術的に矛盾しない限り、適宜に組み合わされてもよい。
　例えば、上述の実施形態では、下側カバー１Ｄ、上側カバー１Ｕ、及びサイドカバー２は互いに独立した別個の部材として形成されている。しかしながら、サイドカバー２は、下側カバー１Ｄ又は上側カバー１Ｕに一体化されていてもよい。例えば、上側カバー１Ｕとサイドカバー２とは、統合されて一部品として形成されていてもよい。
　また、上側レール９Ｕ及び下側レール９Ｄは、第２側板部２Ａ２及び第４側板部２Ａ４のそれぞれと対向するように配置されていてもよい。すなわち、上側レール９Ｕ及び下側レール９Ｄは、可動体ＭＢの左側及び右側のそれぞれに配置されていてもよい。この場合、張出部６Ｇは、可動体ＭＢの左端部及び右端部に形成されていてもよい。例えば、張出部６Ｇは、磁束源保持部材６の左端部から左方に突出する左側張出部と、磁束源保持部材６の右端部から右方に突出する右側張出部とを含んでいてもよい。また、この場合、案内手段ＧＭは、上側レール９Ｕが上右側レール及び上左側レールを有し、下側レール９Ｄが下右側レール及び下左側レールを有するように構成されていてもよい。そして、左側張出部は、上左側レールの先端面（下端面）と下左側レールの先端面（上端面）との間でボールセット７を介して挟持され且つ左右方向に移動可能にガイドされるように構成され、右側張出部は、上右側レールの先端面（下端面）と下右側レールの先端面（上端面）との間でボールセット７を介して挟持され且つ左右方向に移動可能にガイドされるように構成されていてもよい。
　また、上述の実施形態では、振動発生装置１０１は、コイル４のコイル軸と磁束源５の移動方向とが垂直になるように構成されている。しかしながら、振動発生装置１０１は、コイル４のコイル軸と磁束源５の移動方向とが平行になるように構成されていてもよい。
　また、上述の実施形態では、レール９は、カバー１とは別の部材として設けられているが、カバー１に一体化されていてもよい。
　また、上述の実施形態では、Ｖ溝６ＶＤ、Ｖ溝６ＶＵ、Ｖ溝９ＶＤ、及びＶ溝９ＶＵのそれぞれは、Ｙ軸方向に沿って連続する一つのＶ溝で構成されているが、Ｙ軸方向に沿って複数のＶ溝が断続的に並ぶように構成されていてもよい。この場合、断続的に並ぶ複数のＶ溝のそれぞれに一つのボールが対応するように構成されていてもよい。この場合、ボールガイド８は省略されてもよい。また、Ｖ溝６ＶＤ、Ｖ溝６ＶＵ、Ｖ溝９ＶＤ、及びＶ溝９ＶＵのそれぞれは、Ｕ溝又は矩形溝等の他の断面形状を有する溝であってもよい。
　また、上述の実施形態では、図６及び図７に示すように、下前側ボールセット７ＤＦを構成する五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）は、下前側ボールガイド８ＤＦによって等間隔を隔てて配置されている。しかしながら、五つのボールは、非等間隔に配置されていてもよい。上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、及び下後側ボールセット７ＤＢについても同様である。
　また、上述の実施形態では、振動発生装置１０１は、磁束源５が可動体ＭＢに取り付けられ、且つ、コイル４が固定体（カバー１）に取り付けられるように構成されている。しかしながら、振動発生装置１０１は、コイル４が可動体ＭＢに取り付けられ、且つ、磁束源５が固定体（カバー１）に取り付けられるように構成されていてもよい。
　本願は、２０２１年６月７日に出願した日本国特許出願２０２１－０９５４３９号に基づく優先権を主張するものであり、この日本国特許出願の全内容を本願に参照により援用する。
　１・・・カバー　１Ｄ・・・下側カバー　１ＤＰ・・・下側内部空間　１ＤＰＣ・・・中央下側内部空間　１ＤＰＬ・・・左下側内部空間　１ＤＰＲ・・・右下側内部空間　１Ｍ・・・磁性部材　１ＭＤ・・・下側磁性部材　１ＭＬａ、１ＭＲａ・・・部分　１ＭＵ・・・上側磁性部材　１Ｕ・・・上側カバー　１Ｗ・・・枠体　１ＷＤ・・・下側枠体　１ＷＵ・・・上側枠体　２・・・サイドカバー　２Ａ１・・・第１側板部　２Ａ２・・・第２側板部　２Ａ３・・・第３側板部　２Ａ４・・・第４側板部　２Ｔ１・・・第１雌ネジ孔　２Ｔ２・・・第２雌ネジ孔　２Ｔ３・・・第３雌ネジ孔　２Ｔ４・・・第４雌ネジ孔　３・・・締結部材　３Ｄ・・・下側締結部材　３Ｄ１・・・第１下側雄ネジ　３Ｄ２・・・第２下側雄ネジ　３Ｄ３・・・第３下側雄ネジ　３Ｄ４・・・第４下側雄ネジ　３Ｕ・・・上側締結部材　３Ｕ１・・・第１上側雄ネジ　３Ｕ２・・・第２上側雄ネジ　３Ｕ３・・・第３上側雄ネジ　３Ｕ４・・・第４上側雄ネジ　４・・・コイル　４Ｃ・・・中央コイル　４Ｄ・・・下側コイル　４Ｄ１・・・第１下側コイル　４Ｄ１Ｌ・・・左側束線部　４Ｄ１Ｒ・・・右側束線部　４Ｄ２・・・第２下側コイル　４Ｄ２Ｌ・・・左側束線部　４Ｄ２Ｒ・・・右側束線部　４Ｄ３・・・第３下側コイル　４Ｄ３Ｌ・・・左側束線部　４Ｄ３Ｒ・・・右側束線部　４Ｌ・・・左側コイル　４Ｒ・・・右側コイル　４Ｕ・・・上側コイル　４Ｕ１・・・第１上側コイル　４Ｕ１Ｌ・・・左側束線部　４Ｕ１Ｒ・・・右側束線部　４Ｕ２・・・第２上側コイル　４Ｕ２Ｌ・・・左側束線部　４Ｕ２Ｒ・・・右側束線部　４Ｕ３・・・第３上側コイル　４Ｕ３Ｌ・・・左側束線部　４Ｕ３Ｒ・・・右側束線部　５・・・磁束源　５Ｃ・・・中央磁石　５Ｃ１・・・第１中央磁石　５Ｃ２・・・第２中央磁石　５Ｌ・・・左側磁石　５Ｌａ・・・部分　５Ｒ・・・右側磁石　５Ｒａ・・・部分　６・・・磁束源保持部材　６Ｇ・・・張出部　６ＧＢ・・・後側張出部　６ＧＦ・・・前側張出部　６Ｍ・・・本体部　６ＶＤ、６ＶＤＢ、６ＶＵＦ、６ＶＵ、６ＶＵＢ、６ＶＵＦ・・・Ｖ溝　７・・・ボールセット　７Ｄ・・・下側ボールセット　７ＤＢ・・・下後側ボールセット　７ＤＦ・・・下前側ボールセット　７ＤＦ１・・・第１ボール　７ＤＦ２・・・第２ボール　７ＤＦ３・・・第３ボール　７ＤＦ４・・・第４ボール　７ＤＦ５・・・第５ボール　７Ｕ・・・上側ボールセット　７ＵＢ・・・上後側ボールセット　７ＵＦ・・・上前側ボールセット　８・・・ボールガイド　８Ｄ・・・下側ボールガイド　８ＤＢ・・・下後側ボールガイド　８ＤＦ・・・下前側ボールガイド　８Ｕ・・・上側ボールガイド　８ＵＢ・・・上後側ボールガイド　８ＵＦ・・・上前側ボールガイド　９・・・レール　９Ｄ・・・下側レール　９ＤＢ・・・下後側レール　９ＤＦ・・・下前側レール　９Ｕ・・・上側レール　９ＵＢ・・・上後側レール　９ＵＦ・・・上前側レール　９ＶＤ、９ＶＤＢ、９ＶＵＦ、９ＶＵ、９ＶＵＢ、９ＶＵＦ・・・Ｖ溝　１０１・・・振動発生装置　ＢＦ１、ＢＦ２・・・下端面　ＢＭ・・・付勢手段　ＣＰ１～ＣＰ４・・・接触点　ＣＴＲ・・・制御部　ＤＬＥ・・・左端　ＤＭ・・・駆動手段　ＤＲＥ・・・右端　ＦＳ・・・固定側端面　ＧＭ・・・案内手段　ＨＬ１・・・第１貫通孔　ＨＬ２・・・第２貫通孔　ＨＬ３・・・第３貫通孔　ＨＬ４・・・第４貫通孔　ＨＬ５・・・第５貫通孔　ＨＳ・・・筐体　ＬＥ・・・左端　ＭＢ・・・可動体　ＭＳ・・・可動側端面　ＲＥ・・・右端　ＴＦ１・・・上端面　ＵＬＥ・・・左端　ＵＲＥ・・・右端　ＶＡ・・・振動軸　ＶＥ・・・振動装置

Claims (5)

  1. 　固定体と、
    　前記固定体内に収容される可動体と、
    　前記可動体を前記固定体内で左右方向に沿って往復動可能に案内する案内手段と、
    　前記固定体及び前記可動体の一方に取り付けられるとともに上下方向に沿う磁束を発生させる磁束発生部材と、
    　前記固定体及び前記可動体の他方に取り付けられるとともに前後方向に沿って延在し左右方向に沿って並設されるコイルと、
    　前記可動体の可動範囲の中心からずれた位置にある前記可動体を前記可動範囲の中心に向けて移動させる力を発生させる付勢手段と、を備え、
    　前記案内手段は、前記固定体に左右方向に沿って設定される固定側端面と、前記可動体に左右方向に沿って設定される可動側端面と、前記固定側端面と前記可動側端面との間に転動自在に挟持された転動部材とを含み、
    　前記付勢手段が発生させる力は磁力であることを特徴とする振動発生装置。
  2. 　固定体と、
    　前記固定体内に収容される可動体と、
    　前記可動体を前記固定体内で左右方向に沿って往復動可能に案内する案内手段と、
    　前記固定体及び前記可動体の一方に取り付けられるとともに上下方向に沿う磁束を発生させる磁束発生部材と、
    　前記固定体及び前記可動体の他方に取り付けられるとともに前後方向に沿って延在し左右方向に沿って並設されるコイルと、
    　前記可動体の可動範囲の中心からずれた位置にある前記可動体を前記可動範囲の中心に向けて移動させる力を発生させる付勢手段と、を備え、
    　前記案内手段は、前記固定体に左右方向に沿って設定される固定側端面と、前記可動体に左右方向に沿って設定される可動側端面と、前記固定側端面と前記可動側端面との間に転動自在に挟持された転動部材とを含み、
    　前記可動体は、本体部と、前記本体部から前後方向に張り出すように一体的に形成されるとともに上下方向の寸法が前記本体部より小さい張出部と、を有し、
    　前記可動側端面は、少なくとも前記張出部の下端面に設定されており、
    　前記転動部材は、前記本体部の下端面より上側の位置で前記固定側端面に当接することを特徴とする振動発生装置。
  3. 　前記磁束発生部材は、前記可動体に取り付けられ、
    　前記コイルは、前記固定体に取り付けられ、
    　前記付勢手段は、前記磁束発生部材と、前記固定体に取り付けられるとともに前記コイルの外側に配置される磁性部材とで構成される、
    　請求項１又は請求項２に記載の振動発生装置。
  4. 　前記案内手段は、前記固定側端面が形成されるレールを含み、
    　前記固定体は、前記磁性部材が取り付けられるカバーを含み、
    　前記レール及び前記転動部材は、前記磁束発生部材と前記磁性部材との間に作用する磁気的な吸引力によって互いに引き付けられる前記カバーと前記可動体との間で挟持される、
    　請求項３に記載の振動発生装置。
  5. 　前記転動部材は、前記固定側端面と前記可動側端面との間に挟持される複数のボールで構成され、
    　複数の前記ボールは、所定の間隔を空けて配置されている、
    　請求項１乃至請求項４の何れかに記載の振動発生装置。
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