JP2023038018A - 振動発生装置 - Google Patents

Abstract

【課題】長寿命化を図ることができるとともに、所望の振動方向以外の方向に振動してしまうのを抑制できる振動発生装置を提供すること。【解決手段】振動発生装置１０１は、可動体ＭＢを筐体ＨＳ内で往復動可能に案内する案内手段ＧＭと、磁束源５とコイル４とで構成される駆動手段ＤＭと、筐体ＨＳの一部として可動体ＭＢの上側に配置される上側磁性部材１ＭＵと、筐体ＨＳの一部として可動体ＭＢの下側に配置される下側磁性部材１ＭＤとを備える。磁束源５に含まれる四つの磁石のそれぞれは、上下方向（Ｚ軸方向）においてＮ極部分とＳ極部分とが隣接するように配置されている。そして、振動発生装置１０１は、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間に作用する磁気的な吸引力の大きさと、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間に作用する磁気的な吸引力の大きさとが互いに異なるように構成される。【選択図】図２

Description

本開示は、振動発生装置に関する。

従来、筐体内で可動子（可動体）を振動可能に支持するリニア振動アクチュエータ（振動発生装置）が知られている（特許文献１参照）。この振動発生装置は、可動体が所望の振動方向（左右方向）に沿って移動できるように可動体をガイドするガイド溝を備えたレール部材を有する。また、この振動発生装置では、可動体に複数の磁石が取り付けられている。そして、複数の磁石は、隣り合う二つの磁石のそれぞれの着磁方向が上下方向に沿うとともに互いに逆向きとなるように構成されている。すなわち、隣り合う二つの磁石は、一方の磁石の上側がＮ極の場合に他方の磁石の上側がＳ極となるように配置されている。また、この振動発生装置では、可動体に取り付けられた磁石と磁性材料でできた筐体の天井壁部との間に作用する磁気的な吸引力と、可動体に取り付けられた磁石と筐体の底壁部との間に作用する磁気的な吸引力とが略均等な大きさとなるように構成されている。

国際公開第２０１９／１５１２３２号

上述の構成では、可動体の上側における吸引力と下側における吸引力とが互いに打ち消し合うため、可動体は、レール部材（ガイド溝）に対して上側又は下側の何れか一方に過度に押し付けられることがない。そのため、上述の構成は、可動体の上側又は下側の何れか一方のみで吸引力を作用させて可動体がレール部材（ガイド溝）に対して上側又は下側の何れか一方に過度に押し付けられて可動体とレール部材との間の接触部分が過度に摩耗してしまうのを防止でき、ひいては、振動発生装置の寿命が短くなってしまうのを防止できる。

しかしながら、上述の構成では、可動体は、レール部材（ガイド溝）に対して上側又は下側の何れか一方に過度に押し付けられることがない反面、筐体の僅かな振動に反応して上下方向に振動してしまうおそれがある。

そこで、長寿命化を図ることができるとともに、所望の振動方向以外の方向に振動してしまうのを抑制できる振動発生装置を提供することが望まれる。

本発明の実施形態に係る振動発生装置は、固定体と、前記固定体内に収容される可動体と、前記可動体を前記固定体内で左右方向に沿って往復動可能に案内する案内手段と、前記可動体に取り付けられる磁束源と、前記固定体に取り付けられるとともに前後方向に沿って延在し左右方向に沿って並設されるコイルとによって構成される駆動手段と、前記固定体の一部として前記可動体の上側に配置される上側磁性部材と、前記固定体の一部として前記可動体の下側に配置される下側磁性部材と、を備え、前記磁束源は、１又は複数の磁石を含み、前記磁束源に含まれる１又は複数の前記磁石のそれぞれは、上下方向においてＮ極部分とＳ極部分とが隣接するように配置されており、前記磁束源と前記上側磁性部材との間に作用する磁気的な吸引力の大きさと、前記磁束源と前記下側磁性部材との間に作用する磁気的な吸引力の大きさとが互いに異なるように構成されている。

上述の振動発生装置は、長寿命化を図ることができるとともに、所望の振動方向以外の方向に振動してしまうのを抑制できる。

振動発生装置の斜視図である。 振動発生装置の上面図である。 振動発生装置の分解斜視図である。 可動体の斜視図である。 サイドカバーの内側に収容された可動体の下面図である。 振動発生装置の左側面図である。 下前側ボールセット、下前側ボールガイド、及び下前側レールの斜視図である。 下前側ボールセット、下前側ボールガイド、及び下前側レールの正面図である。 振動発生装置の断面図である。 振動発生装置の斜視図である。 筐体に固定されたコイルの斜視図である。 筐体に固定されたコイルの上面図である。 カバー、コイル、及び磁束源の断面図である。 下側カバー、下側コイル、及び磁束源の上面図である。 振動発生装置の断面図である。 振動発生装置の断面図である。 振動発生装置の別の構成例の分解斜視図である。 振動発生装置の別の構成例の断面図である。 振動発生装置の別の構成例の断面図である。

以下、図面を参照し、本発明の実施形態に係る振動発生装置１０１について説明する。図１Ａは、振動発生装置１０１の斜視図であり、図１Ｂは、振動発生装置１０１の上面図である。図２は、振動発生装置１０１の分解斜視図である。

図１ＡにおけるＸ１は三次元直交座標系を構成するＸ軸の一方向を表し、Ｘ２はＸ軸の他方向を表す。また、Ｙ１は三次元直交座標系を構成するＹ軸の一方向を表し、Ｙ２はＹ軸の他方向を表す。同様に、Ｚ１は三次元直交座標系を構成するＺ軸の一方向を表し、Ｚ２はＺ軸の他方向を表す。本実施形態では、振動発生装置１０１のＸ１側は、振動発生装置１０１の前側（正面側）に相当し、振動発生装置１０１のＸ２側は、振動発生装置１０１の後側（背面側）に相当する。また、振動発生装置１０１のＹ１側は、振動発生装置１０１の左側に相当し、振動発生装置１０１のＹ２側は、振動発生装置１０１の右側に相当する。そして、振動発生装置１０１のＺ１側は、振動発生装置１０１の上側に相当し、振動発生装置１０１のＺ２側は、振動発生装置１０１の下側に相当する。他の図においても同様である。また、振動発生装置１０１を構成している他の部材についても同様である。

振動装置ＶＥは、制御部ＣＴＲ及び振動発生装置１０１を有する。振動発生装置１０１は、固定体としての筐体ＨＳと、筐体ＨＳ内に収容される可動体ＭＢと、筐体ＨＳに取り付けられるコイル４と、筐体ＨＳ内で左右方向に沿って可動体ＭＢを往復動可能に案内する案内手段ＧＭと、を有する。制御部ＣＴＲは、筐体ＨＳに固定された絶縁基板（図示せず。）上に設けられた入力端子（図示せず。）に接続されている。なお、図１Ａの破線は、制御部ＣＴＲと絶縁基板上に設けられた入力端子とが電気的に接続されていることを模式的に示している。なお、本実施形態では、制御部ＣＴＲは、筐体ＨＳの外部に設置されているが、筐体ＨＳの内部に設置されていてもよい。

筐体ＨＳは、固定体の一例であり、図１Ａに示すように、略直方体の外形を有し、ＸＹ平面に平行な面（上面及び下面）の面積が最も広くなるように構成されている。本実施形態では、筐体ＨＳは、カバー１及びサイドカバー２で構成され、内部に収容される部材を完全に覆うように構成されている。但し、筐体ＨＳは、内部に収容される部材の一部が露出するように構成されていてもよい。

カバー１は、図２に示すように、筐体ＨＳの天面を形成する上側カバー１Ｕと、筐体ＨＳの底面を形成する下側カバー１Ｄとを含む。上側カバー１Ｕ及び下側カバー１Ｄは何れも平板状の部材である。本実施形態では、上側カバー１Ｕ及び下側カバー１Ｄは同じ形状及び同じ大きさを有する。すなわち、上側カバー１Ｕ及び下側カバー１Ｄは同一部品として構成されている。

また、上側カバー１Ｕは、前後対称且つ左右対称となるように形成されている。下側カバー１Ｄについても同様である。そして、上側カバー１Ｕと下側カバー１Ｄとは、互いに上下対称となるように配置されている。

具体的には、上側カバー１Ｕは、上側磁性部材１ＭＵ及び上側枠体１ＷＵを含む。同様に、下側カバー１Ｄは、下側磁性部材１ＭＤ及び下側枠体１ＷＤを含む。なお、以下では、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤは磁性部材１Ｍとも称され、上側枠体１ＷＵ及び下側枠体１ＷＤは枠体１Ｗとも称される。

磁性部材１Ｍは、付勢手段ＢＭを構成する部材の一つであり、付勢手段ＢＭを構成する部材の別の一つである磁束源５から離れたところに磁束源５と磁気的に引き合うように配置される。付勢手段ＢＭは、可動体ＭＢの可動範囲の中心からずれた位置にある可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて移動させる力を発生させるための手段である。

本実施形態では、磁性部材１Ｍは、可動体ＭＢを構成する磁束源５とは接触しないように、且つ、磁束源５を所定位置に磁気的に保持できるように、枠体１Ｗに固定されている。磁束源５が所定位置から変位している場合、磁束源５が発生させる磁力に基づく磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の磁気的な吸引力により、磁性部材１Ｍは、磁束源５を所定位置に引き戻すように作用する。所定位置は、例えば、可動体ＭＢが可動範囲の中心に位置するときの磁束源５の位置である。

枠体１Ｗは、磁性部材１Ｍを支持するための非磁性部材である。本実施形態では、枠体１Ｗは、オーステナイト系ステンレス鋼で形成されている。但し、枠体１Ｗは、合成樹脂で形成されていてもよい。磁性部材１Ｍは、接着剤によって枠体１Ｗに接合されている。

サイドカバー２は、筐体ＨＳの側面を構成するように形成されている。本実施形態では、サイドカバー２は、非磁性部材（オーステナイト系ステンレス鋼）で形成されている。但し、サイドカバー２は、合成樹脂で形成されていてもよい。具体的には、サイドカバー２は、平板状に形成された四つの側板部を備えている。より具体的には、四つの側板部は、図２に示すように、互いに対向する第１側板部２Ａ１及び第３側板部２Ａ３と、第１側板部２Ａ１及び第３側板部２Ａ３のそれぞれに垂直で且つ互いに対向する第２側板部２Ａ２及び第４側板部２Ａ４とを含む。

カバー１は、締結部材によりサイドカバー２に締結される。具体的には、締結部材は、上側締結部材及び下側締結部材を含む。より具体的には、上側締結部材は、第１上側雄ネジ３Ｕ１～第４上側雄ネジ３Ｕ４を含み、下側締結部材は第１下側雄ネジ３Ｄ１～第４下側雄ネジ３Ｄ４を含む。以下では、説明の便宜上、第１上側雄ネジ３Ｕ１～第４上側雄ネジ３Ｕ４は上側締結部材３Ｕとも称され、第１下側雄ネジ３Ｄ１～第４下側雄ネジ３Ｄ４は下側締結部材３Ｄとも称され、上側締結部材３Ｕ及び下側締結部材３Ｄは締結部材３とも称される。

本実施形態では、締結部材３は、プラスドライバで操作できるように構成された雄ネジであり、サイドカバー２の四隅に形成された雌ネジ孔とかみ合うように構成されている。サイドカバー２の四隅に形成された雌ネジ孔は、Ｚ軸方向に沿ってサイドカバー２の角部を貫通するように形成されており、第１雌ネジ孔２Ｔ１～第４雌ネジ孔２Ｔ４を含む。そして、上側カバー１Ｕ（上側枠体１ＷＵ）は、四つの上側締結部材３Ｕ（第１上側雄ネジ３Ｕ１～第４上側雄ネジ３Ｕ４）により、サイドカバー２に締結されている。具体的には、第１上側雄ネジ３Ｕ１は、サイドカバー２の右前隅に形成された第１雌ネジ孔２Ｔ１の上側開口にねじ込まれ、第２上側雄ネジ３Ｕ２は、サイドカバー２の左前隅に形成された第２雌ネジ孔２Ｔ２の上側開口にねじ込まれ、第３上側雄ネジ３Ｕ３は、サイドカバー２の左後隅に形成された第３雌ネジ孔２Ｔ３の上側開口にねじ込まれ、第４上側雄ネジ３Ｕ４は、サイドカバー２の右後隅に形成された第４雌ネジ孔２Ｔ４の上側開口にねじ込まれる。同様に、下側カバー１Ｄ（下側枠体１ＷＤ）は、四つの下側締結部材３Ｄ（第１下側雄ネジ３Ｄ１～第４下側雄ネジ３Ｄ４）により、サイドカバー２に締結されている。具体的には、第１下側雄ネジ３Ｄ１は、サイドカバー２の右前隅に形成された第１雌ネジ孔２Ｔ１の下側開口にねじ込まれ、第２下側雄ネジ３Ｄ２は、サイドカバー２の左前隅に形成された第２雌ネジ孔２Ｔ２の下側開口にねじ込まれ、第３下側雄ネジ３Ｄ３は、サイドカバー２の左後隅に形成された第３雌ネジ孔２Ｔ３の下側開口にねじ込まれ、第４下側雄ネジ３Ｄ４は、サイドカバー２の右後隅に形成された第４雌ネジ孔２Ｔ４の下側開口にねじ込まれる。

コイル４は、駆動手段ＤＭを構成する部材である。本実施形態では、コイル４は、絶縁材料で表面を被覆された導電線が巻回されて形成される巻き線コイルであり、カバー１に固定されるように構成されている。図２は、明瞭化のため、導電線の詳細な巻回状態の図示を省略している。コイル４を図示する他の図においても同様である。コイル４は、積層コイル又は薄膜コイル等であってもよい。具体的には、コイル４は、上側カバー１Ｕ（上側磁性部材１ＭＵ）の下側（Ｚ２側）の面に固定される上側コイル４Ｕと、下側カバー１Ｄ（下側磁性部材１ＭＤ）の上側（Ｚ１側）の面に固定される下側コイル４Ｄと、を含む。そして、上側コイル４Ｕは、Ｙ軸方向に沿って並置され且つ直列接続される第１上側コイル４Ｕ１、第２上側コイル４Ｕ２、及び第３上側コイル４Ｕ３を含み、下側コイル４Ｄは、Ｙ軸方向に沿って並置され且つ直列接続される第１下側コイル４Ｄ１、第２下側コイル４Ｄ２、及び第３下側コイル４Ｄ３を含む。なお、以下では、第１上側コイル４Ｕ１及び第１下側コイル４Ｄ１は左側コイル４Ｌとも称され、第２上側コイル４Ｕ２及び第２下側コイル４Ｄ２は中央コイル４Ｃとも称され、第３上側コイル４Ｕ３及び第３下側コイル４Ｄ３は右側コイル４Ｒとも称される。

制御部ＣＴＲは、可動体ＭＢの動きを制御できるように構成されている。本実施形態では、制御部ＣＴＲは、電子回路及び不揮発性記憶装置等を含む装置であり、コイル４を流れる電流の向き及び大きさを制御できるように構成されている。制御部ＣＴＲは、コンピュータ等の外部装置からの制御指令に応じてコイル４を流れる電流の向き及び大きさを制御するように構成されていてもよく、外部装置からの制御指令を受けずにコイル４を流れる電流の向き及び大きさを制御するように構成されていてもよい。

可動体ＭＢは、筐体ＨＳを振動させることができるように構成されている。本実施形態では、可動体ＭＢは、筐体ＨＳ内に収容された状態で往復動することにより、筐体ＨＳを振動させることができるように構成されている。

ここで、図３及び図４を参照し、可動体ＭＢの詳細について説明する。図３は、可動体ＭＢの構成例を示す図である。具体的には、図３の上図は、可動体ＭＢの全体の斜視図であり、図３の下図は、可動体ＭＢの分解斜視図である。図４は、サイドカバー２の内側に収容された可動体ＭＢの下面図である。

可動体ＭＢは、磁束源５及び磁束源保持部材６を含むように構成されている。具体的には、可動体ＭＢは、所定方向に延びる振動軸ＶＡ（図３の上図参照）に沿って筐体ＨＳに対して往復動（振動）できるように構成されている。

磁束源５は、駆動手段ＤＭを構成する部材であり、磁束を発生させることができるように構成されている。本実施形態では、磁束源５は、永久磁石であり、左側磁石５Ｌ、中央磁石５Ｃ、及び右側磁石５Ｒを含む。図３では、明瞭化のため、磁束源５としての永久磁石には、Ｎ極部分に粗いクロスパターンが付され、Ｓ極部分に細かいクロスパターンが付されている。他の図においても同様である。

中央磁石５Ｃは、第１中央磁石５Ｃ１及び第２中央磁石５Ｃ２を含む。左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒは何れも、二極に着磁された永久磁石であり、Ｙ軸方向に沿って並置されている。

磁束源保持部材６は、磁束源５を保持できるように構成されている。本実施形態では、磁束源保持部材６は、非磁性部材で形成された矩形枠状の部材であり、図２に示すように、本体部６Ｍ及び張出部６Ｇを有する。張出部６Ｇは、本体部６Ｍから前後方向に張り出すように一体的に形成されている。また、張出部６Ｇは、後掲の図５の下図（ブロック矢印よりも下にある図）に示すように、後側張出部６ＧＢ及び前側張出部６ＧＦを含む。上下方向における張出部６Ｇ（後側張出部６ＧＢ）の寸法Ｍ１は、上下方向における本体部６Ｍの寸法Ｍ２よりも小さい。

具体的には、磁束源保持部材６は、図３及び図４に示すように、左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５ＲをＹ軸方向に沿って略等間隔で保持できるように構成されている。磁束源保持部材６を構成する非磁性部材は、例えば、非磁性金属である。好適には、非磁性金属としては、比較的比重の大きい金属が採用される。可動体ＭＢの重量を大きくすることで可動体ＭＢによってもたらされる振動力を大きくするためである。但し、非磁性部材は、合成樹脂で形成されていてもよい。

駆動手段ＤＭは、振動力発生部の一例であり、可動体ＭＢを振動軸ＶＡに沿って振動させることができるように構成されている。本実施形態では、駆動手段ＤＭは、コイル４及び磁束源５で構成され、制御部ＣＴＲを通じてコイル４に供給される電流の向き及び大きさに応じた、コイル４と磁束源５との間に作用する電磁力を利用し、可動体ＭＢ（磁束源５）を振動軸ＶＡに沿って振動させることができるように構成されている。

次に、図５を参照し、案内手段ＧＭについて説明する。図５は、振動発生装置１０１の左側面図である。図５では、明瞭化のため、カバー１、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９以外の部材の図示が省略されている。具体的には、図５の上図（ブロック矢印よりも上にある図）は、分解された状態にあるカバー１、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９の左側面図である。図５の下図は、組み合わされた状態にあるカバー１、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９の左側面図である。図５の上図及び下図では、明瞭化のため、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤには細かいドットパターンが付され、レール９には粗いドットパターンが付され、磁束源保持部材６には更に粗いドットパターンが付されている。

案内手段ＧＭは、筐体ＨＳ内で左右方向（Ｙ軸方向）に沿って可動体ＭＢを往復動可能に案内できるように構成されている。本実施形態では、案内手段ＧＭは、図２に示すように、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９を含む。案内手段ＧＭは、可動体ＭＢを構成する磁束源保持部材６に形成された張出部６Ｇが、ボールセット７を介し、上下に配置された一対のレール９の間に挟まれ、一対のレール９によって左右方向に移動自在に案内されるように構成されている。

具体的には、磁束源保持部材６に形成された張出部６Ｇは、サイドカバー２の第１側板部２Ａ１に対向してＹ軸方向に延びる前側張出部６ＧＦと、サイドカバー２の第３側板部２Ａ３に対向してＹ軸方向に延びる後側張出部６ＧＢと、を含む。

レール９は、固定体の一例であり、図５に示すように、上側カバー１Ｕと張出部６Ｇとの間に配置される上側レール９Ｕと、可動体ＭＢと下側カバー１Ｄとの間に配置される下側レール９Ｄとを含む。そして、上側レール９Ｕは、サイドカバー２の第１側板部２Ａ１に対向してＹ軸方向に延びる上前側レール９ＵＦと、サイドカバー２の第３側板部２Ａ３に対向してＹ軸方向に延びる上後側レール９ＵＢと、を含む。同様に、下側レール９Ｄは、サイドカバー２の第１側板部２Ａ１に対向してＹ軸方向に延びる下前側レール９ＤＦと、サイドカバー２の第３側板部２Ａ３に対向してＹ軸方向に延びる下後側レール９ＤＢと、を含む。

ボールセット７は、転動部材の一例であり、複数の球体状のボールで構成される。具体的には、ボールセット７は、図５の上図に示すように、上側レール９Ｕと張出部６Ｇとの間に配置される上側ボールセット７Ｕと、下側レール９Ｄと張出部６Ｇとの間に配置される下側ボールセット７Ｄと、を含む。そして、上側ボールセット７Ｕは、上前側レール９ＵＦと前側張出部６ＧＦとの間に配置される上前側ボールセット７ＵＦと、上後側レール９ＵＢと後側張出部６ＧＢとの間に配置される上後側ボールセット７ＵＢと、を含む。同様に、下側ボールセット７Ｄは、下前側レール９ＤＦと前側張出部６ＧＦとの間に配置される下前側ボールセット７ＤＦと、下後側レール９ＤＢと後側張出部６ＧＢとの間に配置される下後側ボールセット７ＤＢと、を含む。

ボールガイド８は、ボールセット７を構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持するための部材である。なお、ボールガイド８は省略されてもよい。ボールガイド８は、上側ボールセット７Ｕを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する上側ボールガイド８Ｕと、下側ボールセット７Ｄを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する下側ボールガイド８Ｄと、を含む。そして、上側ボールガイド８Ｕは、上前側ボールセット７ＵＦを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する上前側ボールガイド８ＵＦと、上後側ボールセット７ＵＢを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する上後側ボールガイド８ＵＢと、を含む。同様に、下側ボールガイド８Ｄは、下前側ボールセット７ＤＦを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する下前側ボールガイド８ＤＦと、下後側ボールセット７ＤＢを構成する複数のボールのそれぞれの間の間隔を維持する下後側ボールガイド８ＤＢと、を含む。

ここで、図６～図８を参照し、ボールセット７とボールガイド８とレール９との関係について説明する。図６は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの斜視図である。具体的には、図６の上図（ブロック矢印よりも上にある図）は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの分解斜視図であり、図６の下図（ブロック矢印よりも下にある図）は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの組立斜視図である。図７は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの正面図である。具体的には、図７の上図（ブロック矢印よりも上にある図）は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの分解正面図であり、図７の下図（ブロック矢印よりも下にある図）は、下前側ボールセット７ＤＦ、下前側ボールガイド８ＤＦ、及び下前側レール９ＤＦの組立正面図である。図８は、振動発生装置１０１の断面図である。具体的には、図８の上図は、図１Ｂに示す一点鎖線ＶＩＩＩＡ－ＶＩＩＩＡを含むＸＺ平面に平行な平面における振動発生装置１０１の断面を矢印で示すようにＹ１側から見たときの図である。図８の下図は、図８の上図における破線で囲まれた範囲Ｒ１の拡大図である。なお、図６～図８を参照する以下の説明は、下前側ボールセット７ＤＦと下前側ボールガイド８ＤＦと下前側レール９ＤＦとの位置関係に関するが、上前側ボールセット７ＵＦと上前側ボールガイド８ＵＦと上前側レール９ＵＦとの位置関係、上後側ボールセット７ＵＢと上後側ボールガイド８ＵＢと上後側レール９ＵＢとの位置関係、及び、下後側ボールセット７ＤＢと下後側ボールガイド８ＤＢと下後側レール９ＤＢとの位置関係にも同様に適用される。

具体的には、下前側ボールセット７ＤＦは、図６及び図７に示すように、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）を含む。五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）は、下前側ボールガイド８ＤＦに形成された五つの貫通孔（第１貫通孔ＨＬ１～第５貫通孔ＨＬ５）内に配置される。

また、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）は、磁束源保持部材６の前側張出部６ＧＦの下端面に形成されたＶ溝６ＶＤＦ（図４及び図５の上図参照）と、下前側レール９ＤＦの上端面に形成されたＶ溝９ＶＤＦとの間に配置される。この場合、前側張出部６ＧＦの下端面は可動側端面ＭＳ（下可動側端面ＭＳＤ）として機能し、下前側レール９ＤＦの上端面は固定側端面ＦＳ（下固定側端面ＦＳＤ）として機能する。

下前側ボールガイド８ＤＦは、図７の上図及び図８の下図に示すように、Ｚ軸方向における厚みＨＴ１が第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５のそれぞれの直径ＤＴ２よりも小さくなるように構成されている。具体的には、下前側ボールガイド８ＤＦの厚みＨＴ１は、図８の下図に示すように、下前側ボールセット７ＤＦが前側張出部６ＧＦの下端面と下前側レール９ＤＦの上端面との間に挟持されたときの、前側張出部６ＧＦの下端面と下前側レール９ＤＦの上端面との間の隙間ＧＰ１よりも小さくなるように構成されている。また、五つの貫通孔（第１貫通孔ＨＬ１～第５貫通孔ＨＬ５）のそれぞれの直径ＤＴ１は、図８の下図に示すように、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）のそれぞれの直径ＤＴ２よりも僅かに大きくなるように構成されている。但し、五つの貫通孔（第１貫通孔ＨＬ１～第５貫通孔ＨＬ５）のそれぞれの直径ＤＴ１は、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）のそれぞれの直径ＤＴ２よりも僅かに小さくなるように構成されていてもよい。

下前側ボールセット７ＤＦを構成する各ボールは、図８の下図に示すように、二つの接触点でＶ溝６ＶＤＦと接触し、且つ、二つの接触点でＶ溝９ＶＤＦと接触するように、Ｖ溝６ＶＤＦとＶ溝９ＶＤＦとの間で挟持される。図８の下図は、第３ボール７ＤＦ３が、接触点ＣＰ１及び接触点ＣＰ２でＶ溝６ＶＤＦと接触し、且つ、接触点ＣＰ３及び接触点ＣＰ４でＶ溝９ＶＤＦと接触した状態を示す。

また、本実施形態では、下前側ボールガイド８ＤＦの五つの貫通孔（第１貫通孔ＨＬ１～第５貫通孔ＨＬ５）は、下前側ボールセット７ＤＦを構成する五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）のうちの隣り合う二つのボールの間隔が同じになるように間隔を空けて形成されている。具体的には、下前側ボールガイド８ＤＦは、図６の下図及び図７の下図に示すように、第１貫通孔ＨＬ１と第２貫通孔ＨＬ２との間の間隔ＣＬ１、第２貫通孔ＨＬ２と第３貫通孔ＨＬ３との間の間隔ＣＬ２、第３貫通孔ＨＬ３と第４貫通孔ＨＬ４との間の間隔ＣＬ３、及び、第４貫通孔ＨＬ４と第５貫通孔ＨＬ５との間の間隔ＣＬ４がいずれも等しくなるように形成されている。

次に、図９を参照し、案内手段ＧＭの詳細について説明する。図９は、振動発生装置１０１の斜視図である。図９では、明瞭化のため、カバー１、磁束源５、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９以外の部材の図示が省略されている。具体的には、図９の上図は、組み合わされた状態にあるカバー１、磁束源５、磁束源保持部材６、ボールセット７、ボールガイド８、及びレール９の斜視図である。図９の下図は、組み合わされた状態にある下側カバー１Ｄ、下側レール９Ｄ、及び磁束源保持部材６の斜視図である。図９の上図及び図９の下図では、明瞭化のため、磁束源保持部材６に粗いドットパターンが付され、レール９に細かいドットパターンが付されている。

上前側レール９ＵＦの先端（下端）と下前側レール９ＤＦの先端（上端）とは、図５の下図に示すように、前側張出部６ＧＦを挟んで互いに対向するように組み合わされ、且つ、上後側レール９ＵＢの先端（下端）と下後側レール９ＤＢの先端（上端）とは、図５の下図に示すように、後側張出部６ＧＢを挟んで互いに対向するように組み合わされる。

本実施形態では、図９の上図に示すように、上前側レール９ＵＦの先端は、前側張出部６ＧＦの上端面と間に僅かな間隔を空けて対向するように配置され、下前側レール９ＤＦの先端は、前側張出部６ＧＦの下端面との間に僅かな間隔を空けて対向するように配置される。すなわち、前側張出部６ＧＦは、上前側レール９ＵＦの先端と下前側レール９ＤＦの先端との間に形成される空間と略同じ形状を有するように構成されている。具体的には、前側張出部６ＧＦは、磁束源保持部材６の長手方向の全長の大部分にわたって連続的に延びる一つの略直方体形状の突出部として形成されている。しかしながら、前側張出部６ＧＦは、磁束源保持部材６の長手方向に沿って断続的に配置される複数の突出部の組み合わせであってもよい。後側張出部６ＧＢについても同様である。また、本実施形態では、磁束源保持部材６は、前後対称となるように形成されている。すなわち、前側張出部６ＧＦと後側張出部６ＧＢとは同じ形状及び同じ大きさを有するように形成されている。但し、前側張出部６ＧＦと後側張出部６ＧＢとは異なる形状を有していてもよい。

上述のように、張出部６Ｇは、上側レール９Ｕと下側レール９Ｄとの間で、図９の上図及び図９の下図のそれぞれにおける双方向矢印ＡＲ１で示す方向に移動できるように構成されている。具体的には、張出部６Ｇは、可動側端面ＭＳ（上可動側端面ＭＳＵ）として機能するその上端面に形成されたＶ溝６ＶＵ（図５の上図のＶ溝６ＶＵＢ及びＶ溝６ＶＵＦを参照）と、固定側端面ＦＳ（上固定側端面ＦＳＵ）として機能する上側レール９Ｕの先端面（下端面）に形成されたＶ溝９ＶＵ（図５の上図のＶ溝９ＶＵＢ及びＶ溝９ＶＵＦ）との間に上側ボールセット７Ｕが挟持されるように構成されている。また、張出部６Ｇは、可動側端面ＭＳ（下可動側端面ＭＳＤ）として機能するその下端面に形成されたＶ溝６ＶＤ（図５の上図のＶ溝６ＶＤＢ及びＶ溝６ＶＤＦを参照）と、固定側端面ＦＳ（下固定側端面ＦＳＤ）として機能する下側レール９Ｄの先端面（上端面）に形成されたＶ溝９ＶＤ（図５の上図のＶ溝９ＶＤＢ及びＶ溝９ＶＤＦ）との間に下側ボールセット７Ｄが挟持されるように構成されている。そして、張出部６Ｇは、Ｖ溝６ＶＵとＶ溝９ＶＵとの間で上側ボールセット７Ｕを転動させ、且つ、Ｖ溝６ＶＤとＶ溝９ＶＤとの間で下側ボールセット７Ｄを転動させながら、左右方向（Ｙ軸方向）に往復動できるように構成されている。

この構成により、磁束源保持部材６は、前後方向及び上下方向のそれぞれにおける移動が制限される一方で、左右方向における円滑な移動が許容される。

次に、図１０Ａ、図１０Ｂ、図１１、及び図１２を参照し、駆動手段ＤＭの詳細について説明する。図１０Ａ及び図１０Ｂは、筐体ＨＳに固定されたコイル４の詳細図である。具体的には、図１０Ａは、下側カバー１Ｄに固定された下側コイル４Ｄの斜視図である。図１０Ｂは、下側カバー１Ｄに固定された下側コイル４Ｄの上面図である。図１０Ａ及び図１０Ｂでは、明瞭化のため、下側コイル４Ｄに粗いドットパターンが付され、下側磁性部材１ＭＤ及び下側レール９Ｄに細かいドットパターンが付されている。図１１は、図１Ｂに示す一点鎖線ＸＩ－ＸＩを含むＹＺ平面に平行な平面における振動発生装置１０１の断面を矢印で示すようにＸ１側から見たときの図である。具体的には、図１１の上段は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときのカバー１、コイル４、及び磁束源５の断面図である。図１１の中段は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の右端に位置するときのカバー１、コイル４、及び磁束源５の断面図である。図１１の下段は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の左端に位置するときのカバー１、コイル４、及び磁束源５の断面図である。図１２は、下側カバー１Ｄに固定された下側コイル４Ｄの上を左右方向（Ｙ軸方向）に移動可能な磁束源５の上面図である。具体的には、図１２の上段は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときの下側カバー１Ｄ、下側コイル４Ｄ、及び磁束源５の上面図である。図１２の中段は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の右端に位置するときの下側カバー１Ｄ、下側コイル４Ｄ、及び磁束源５の上面図である。図１２の下段は、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の左端に位置するときの下側カバー１Ｄ、下側コイル４Ｄ、及び磁束源５の上面図である。

駆動手段ＤＭの構成要素の一つであるコイル４は、図２に示すように、上側カバー１Ｕの下側（Ｚ２側）の面に固定される上側コイル４Ｕと、下側カバー１Ｄの上側（Ｚ１側）の面に固定される下側コイル４Ｄと、を含む。

下側コイル４Ｄは、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、下側カバー１Ｄの上面（Ｚ１側の面）に接着剤で固定される三つのコイル（第１下側コイル４Ｄ１、第２下側コイル４Ｄ２、及び第３下側コイル４Ｄ３）を含む。図１０Ａ及び図１０Ｂを参照する以下の説明は、下側コイル４Ｄに関するが、上側コイル４Ｕにも同様に適用される。上側カバー１Ｕと下側カバー１Ｄとは同じ形状及び同じ大きさを有し、上側コイル４Ｕと下側コイル４Ｄとは同じ形状及び同じ大きさを有するためである。

下側コイル４Ｄを構成している三つのコイルのそれぞれは、図１０Ｂに示すように、下側内部空間１ＤＰを囲むように巻回されている。具体的には、第１下側コイル４Ｄ１は、左下側内部空間１ＤＰＬを囲むように巻回され、第２下側コイル４Ｄ２は、中央下側内部空間１ＤＰＣを囲むように巻回され、第３下側コイル４Ｄ３は、右下側内部空間１ＤＰＲを囲むように巻回されている。

第１下側コイル４Ｄ１は、左下側内部空間１ＤＰＬの左側（Ｙ１側）に位置し且つ左下側内部空間１ＤＰＬに沿って延びる左側束線部４Ｄ１Ｌと、左下側内部空間１ＤＰＬの右側（Ｙ２側）に位置し且つ左下側内部空間１ＤＰＬに沿って延びる右側束線部４Ｄ１Ｒと、を含む。なお、束線部は、コイル４を構成する導電線が前後方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる部分を意味する。

図１０Ｂでは、明瞭化のため、第１下側コイル４Ｄ１における左側束線部４Ｄ１Ｌ及び右側束線部４Ｄ１Ｒには、第１下側コイル４Ｄ１における他の部分に付されているドットパターンよりも細かいドットパターンが付されている。第２下側コイル４Ｄ２及び第３下側コイル４Ｄ３についても同様である。

第２下側コイル４Ｄ２は、中央下側内部空間１ＤＰＣの左側（Ｙ１側）に位置し且つ中央下側内部空間１ＤＰＣに沿って延びる左側束線部４Ｄ２Ｌと、中央下側内部空間１ＤＰＣの右側（Ｙ２側）に位置し且つ中央下側内部空間１ＤＰＣに沿って延びる右側束線部４Ｄ２Ｒと、を含む。

同様に、第３下側コイル４Ｄ３は、右下側内部空間１ＤＰＲの左側（Ｙ１側）に位置し且つ右下側内部空間１ＤＰＲに沿って延びる左側束線部４Ｄ３Ｌと、右下側内部空間１ＤＰＲの右側（Ｙ２側）に位置し且つ右下側内部空間１ＤＰＲに沿って延びる右側束線部４Ｄ３Ｒと、を含む。

第１下側コイル４Ｄ１の左側束線部４Ｄ１Ｌ及び右側束線部４Ｄ１Ｒは、磁束源５が発生させる磁束が通過する部分、すなわち、可動体ＭＢを左右方向に移動させるためのローレンツ力に基づく駆動力を発生させる部分である。第２下側コイル４Ｄ２の左側束線部４Ｄ２Ｌ及び右側束線部４Ｄ２Ｒ、並びに、第３下側コイル４Ｄ３の左側束線部４Ｄ３Ｌ及び右側束線部４Ｄ３Ｒについても同様である。

駆動手段ＤＭの構成要素の別の一つである磁束源５は、図１１に示すように、上側コイル４Ｕと下側コイル４Ｄとの間の空間内において、左右方向（Ｙ軸方向）に移動可能に配置されている。具体的には、磁束源５は、左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒを含む。そして、左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒのそれぞれは、図１１では不図示の磁束源保持部材６により、互いに所定の間隔を空けた状態で保持されている。

本実施形態では、図１１の中段に示すように、左側磁石５Ｌは、その幅Ｗ１が右側磁石５Ｒの幅Ｗ２と略同じになるように構成されている。また、第１中央磁石５Ｃ１は、その幅Ｗ３が第２中央磁石５Ｃ２の幅Ｗ４と略同じになるように構成されている。また、左側磁石５Ｌは、その幅Ｗ１が第１中央磁石５Ｃ１の幅Ｗ３の略２分の１となるように構成されている。

本実施形態では、コイル４を構成している六つのコイルは、同じ形状及び同じ大きさを有するように構成されている。すなわち、図１１の中段及び図１１の下段に示すように、第１上側コイル４Ｕ１の左側束線部４Ｕ１Ｌの幅Ｗ５、第１上側コイル４Ｕ１の右側束線部４Ｕ１Ｒの幅Ｗ６、第２上側コイル４Ｕ２の左側束線部４Ｕ２Ｌの幅Ｗ７、第２上側コイル４Ｕ２の右側束線部４Ｕ２Ｒの幅Ｗ８、第３上側コイル４Ｕ３の左側束線部４Ｕ３Ｌの幅Ｗ９、第３上側コイル４Ｕ３の右側束線部４Ｕ３Ｒの幅Ｗ１０、第１下側コイル４Ｄ１の左側束線部４Ｄ１Ｌの幅Ｗ１１、第１下側コイル４Ｄ１の右側束線部４Ｄ１Ｒの幅Ｗ１２、第２下側コイル４Ｄ２の左側束線部４Ｄ２Ｌの幅Ｗ１３、第２下側コイル４Ｄ２の右側束線部４Ｄ２Ｒの幅Ｗ１４、第３下側コイル４Ｄ３の左側束線部４Ｄ３Ｌの幅Ｗ１５、及び、第３下側コイル４Ｄ３の右側束線部４Ｄ３Ｒの幅Ｗ１６は全て同じ大きさである。

そして、左側磁石５Ｌは、その幅Ｗ１が第１上側コイル４Ｕ１の左側束線部４Ｕ１Ｌの幅Ｗ５と略同じになるように構成されている。また、第１中央磁石５Ｃ１は、その幅Ｗ３が、第１上側コイル４Ｕ１の右側束線部４Ｕ１Ｒの幅Ｗ６と第２上側コイル４Ｕ２の左側束線部４Ｕ２Ｌの幅Ｗ７との合計と略同じになるように構成されている。

可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときには、図１１の上段に示すように、左側磁石５Ｌは、Ｎ極部分（上側部分）が第１上側コイル４Ｕ１の左側束線部４Ｕ１Ｌと対向するように、且つ、Ｓ極部分（下側部分）が第１下側コイル４Ｄ１の左側束線部４Ｄ１Ｌと対向するように配置されている。また、第１中央磁石５Ｃ１は、Ｓ極部分（上側部分）が第１上側コイル４Ｕ１の右側束線部４Ｕ１Ｒ及び第２上側コイル４Ｕ２の左側束線部４Ｕ２Ｌのそれぞれと対向するように、且つ、Ｎ極部分（下側部分）が第１下側コイル４Ｄ１の右側束線部４Ｄ１Ｒ及び第２下側コイル４Ｄ２の左側束線部４Ｄ２Ｌのそれぞれと対向するように配置されている。また、第２中央磁石５Ｃ２は、Ｎ極部分（上側部分）が第２上側コイル４Ｕ２の右側束線部４Ｕ２Ｒ及び第３上側コイル４Ｕ３の左側束線部４Ｕ３Ｌのそれぞれと対向するように、且つ、Ｓ極部分（下側部分）が第２下側コイル４Ｄ２の右側束線部４Ｄ２Ｒ及び第３下側コイル４Ｄ３の左側束線部４Ｄ３Ｌのそれぞれと対向するように配置されている。また、右側磁石５Ｒは、Ｓ極部分（上側部分）が第３上側コイル４Ｕ３の右側束線部４Ｕ３Ｒと対向するように、且つ、Ｎ極部分（下側部分）が第３下側コイル４Ｄ３の右側束線部４Ｄ３Ｒと対向するように配置されている。

図１２の中段の破線矢印で示すように下側コイル４Ｄに電流が流れると、可動体ＭＢ（磁束源５）は、案内手段ＧＭによってガイドされながら、右方向（Ｙ２方向）に移動する。具体的には、第１下側コイル４Ｄ１に上面視で反時計回りに電流が流れ、第２下側コイル４Ｄ２に上面視で時計回りに電流が流れ、且つ、第３下側コイル４Ｄ３に上面視で反時計回りに電流が流れると、可動体ＭＢ（磁束源５）は、右方向（Ｙ２方向）に移動する。

下側カバー１Ｄに固定された下側コイル４Ｄを構成している導電線内を移動する荷電粒子にローレンツ力が作用し、その反力によって磁束源５としての左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒが右方向に移動させられるためである。

同様に、図１２の下段の破線矢印で示すように下側コイル４Ｄに電流が流れると、可動体ＭＢ（磁束源５）は、案内手段ＧＭによってガイドされながら、左方向（Ｙ１方向）に移動する。具体的には、第１下側コイル４Ｄ１に上面視で時計回りに電流が流れ、第２下側コイル４Ｄ２に上面視で反時計回りに電流が流れ、且つ、第３下側コイル４Ｄ３に上面視で時計回りに電流が流れると、可動体ＭＢ（磁束源５）は、左方向（Ｙ１方向）に移動する。

本実施形態では、右側磁石５Ｒの一部は、図１１の上段に示すように、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときであっても、磁性部材１Ｍの内側面（コイル４に対向する側の面）の右端ＲＥよりも右側に突出している。また、左側磁石５Ｌの一部は、図１１の上段に示すように、可動体ＭＢ（磁束源５）が可動範囲の中心に位置するときであっても、磁性部材１Ｍの内側面（コイル４に対向する側の面）の左端ＬＥよりも左側に突出している。

そして、可動体ＭＢ（磁束源５）が右方向（Ｙ２方向）に移動すると、図１１の中段に示すように、右側磁石５Ｒの一部は、磁性部材１Ｍの内側面の右端ＲＥよりも右側に更に突出する。具体的には、右側磁石５Ｒの一部は、上側磁性部材１ＭＵの内側面の右端ＵＲＥよりも右側に更に突出し、且つ、下側磁性部材１ＭＤの内側面の右端ＤＲＥよりも右側に更に突出する。そして、右側磁石５Ｒと磁性部材１Ｍとの間には吸引力が作用しているため、右側磁石５Ｒのうち、磁性部材１Ｍの内側面の右端ＲＥよりも右側に突出した部分５Ｒａは、磁性部材１Ｍの内側面の右端ＲＥによって左方向に引き付けられる。この状態において、磁性部材１Ｍの内側面の右端ＲＥは、部分５Ｒａから最も近い位置にある、磁性部材１Ｍの部位である。なお、図１１の中段では、右側磁石５Ｒを磁性部材１Ｍの右端ＲＥに引き付ける吸引力を発生させる磁界を表す磁力線（部分５Ｒａと右端ＲＥとの間に延びる磁力線）の一部が点線で表されている。また、図１１の中段では、明瞭化のため、磁束源５によって生成される磁界の他の部分を表す磁力線の図示が省略されている。

また、可動体ＭＢ（磁束源５）が右方向（Ｙ２方向）に移動すると、図１１の中段に示すように、磁性部材１Ｍの左端部分は、左側磁石５Ｌの左端よりも左側に突出する。具体的には、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤのそれぞれの左端部分は、左側磁石５Ｌの左端よりも左側に突出する。そして、左側磁石５Ｌと磁性部材１Ｍとの間には吸引力が作用しているため、磁性部材１Ｍのうち、左側磁石５Ｌの左端よりも左側に突出した部分１ＭＬａは、左側磁石５Ｌを左側に引き付ける。この状態において、左側磁石５Ｌの左端は、磁性部材１Ｍの部分１ＭＬａから最も近い位置にある、左側磁石５Ｌの部位である。なお、図１１の中段では、左側磁石５Ｌを磁性部材１Ｍの左端に引き付ける吸引力を発生させる磁界を表す磁力線（部分１ＭＬａと左側磁石５Ｌの左端との間に延びる磁力線）の一部が点線で表されている。

このように、可動範囲の中心から右方向に変位した可動体ＭＢ（磁束源５）は、可動体ＭＢ（磁束源５）を可動範囲の中心に引き戻そうとする力（吸引力）を受ける。そして、可動範囲の中心から右方向に変位した可動体ＭＢ（磁束源５）は、可動体ＭＢを右方向に移動させようとする力（電磁力）が消失したとき、すなわち、コイル４を流れる電流が消失したときに、その力（吸引力）によって左方向に移動し、可動範囲の中心に向かって戻る。

反対に、可動体ＭＢ（磁束源５）が左方向（Ｙ１方向）に移動すると、図１１の下段に示すように、左側磁石５Ｌの一部は、磁性部材１Ｍの内側面（コイル４に対向する側の面）の左端ＬＥよりも左側に更に突出する。具体的には、左側磁石５Ｌの一部は、上側磁性部材１ＭＵの内側面の左端ＵＬＥよりも左側に更に突出し、且つ、下側磁性部材１ＭＤの内側面の左端ＤＬＥよりも左側に更に突出する。そして、左側磁石５Ｌと磁性部材１Ｍとの間には吸引力が作用しているため、左側磁石５Ｌのうち、磁性部材１Ｍの内側面の左端ＬＥよりも左側に突出した部分５Ｌａは、磁性部材１Ｍの内側面の左端ＬＥによって右方向に引き付けられる。この状態において、磁性部材１Ｍの内側面の左端ＬＥは、部分５Ｌａから最も近い位置にある、磁性部材１Ｍの部位である。なお、図１１の下段では、左側磁石５Ｌを磁性部材１Ｍの左端ＬＥに引き付ける吸引力を発生させる磁界を表す磁力線（部分５Ｌａと左端ＬＥとの間に延びる磁力線）の一部が点線で表されている。また、図１１の下段では、明瞭化のため、磁束源５によって生成される磁界の他の部分を表す磁力線の図示が省略されている。

また、可動体ＭＢ（磁束源５）が左方向（Ｙ１方向）に移動すると、図１１の下段に示すように、磁性部材１Ｍの右端部分は、右側磁石５Ｒの右端よりも右側に突出する。具体的には、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤのそれぞれの右端部分は、右側磁石５Ｒの右端よりも右側に突出する。そして、右側磁石５Ｒと磁性部材１Ｍとの間には吸引力が作用しているため、磁性部材１Ｍのうち、右側磁石５Ｒの右端よりも右側に突出した部分１ＭＲａは、右側磁石５Ｒを右側に引き付ける。この状態において、右側磁石５Ｒの右端は、磁性部材１Ｍの部分１ＭＲａから最も近い位置にある、右側磁石５Ｒの部位である。なお、図１１の下段では、右側磁石５Ｒを磁性部材１Ｍの右端に引き付ける吸引力を発生させる磁界を表す磁力線（部分１ＭＲａと右側磁石５Ｒの右端との間に延びる磁力線）の一部が点線で表されている。

このように、可動範囲の中心から左方向に変位した可動体ＭＢ（磁束源５）は、可動体ＭＢ（磁束源５）を可動範囲の中心に引き戻そうとする力（吸引力）を受ける。そして、可動範囲の中心から左方向に変位した可動体ＭＢ（磁束源５）は、可動体ＭＢを左方向に移動させようとする力（電磁力）が消失したとき、すなわち、コイル４を流れる電流が消失したときに、その力（吸引力）によって右方向に移動し、可動範囲の中心に向かって戻る。

そのため、可動範囲の中心からずれた位置にある可動体ＭＢは、コイル４に対する電流の供給が停止されると、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力によって可動範囲の中心に戻される。このようにして、付勢手段ＢＭ及び駆動手段ＤＭは、可動体ＭＢを左右方向に振動させることができる。

上述のように、本発明の実施形態に係る振動発生装置１０１は、固定体（筐体ＨＳ）と、固定体（筐体ＨＳ）内に収容される可動体ＭＢと、可動体ＭＢを固定体（筐体ＨＳ）内で左右方向に沿って往復動可能に案内する案内手段ＧＭと、可動体ＭＢに取り付けられるとともに上下方向に沿う磁束を発生させる磁束発生部材（磁束源５）と、固定体（筐体ＨＳ）に取り付けられるとともに前後方向に沿って延在し左右方向に沿って並設されるコイル４と、可動体ＭＢの可動範囲の中心からずれた位置にある可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて移動させる力を発生させる付勢手段ＢＭと、を備える。案内手段ＧＭは、固定体（レール９）に左右方向に沿って設定される固定側端面ＦＳと、可動体ＭＢに左右方向に沿って設定される可動側端面ＭＳと、固定側端面ＦＳと可動側端面ＭＳとの間に転動自在に挟持された転動部材（ボールセット７）とを含む。付勢手段ＢＭが発生させる力は、例えば、磁力である。

図２に示す例では、振動発生装置１０１は、筐体ＨＳと、筐体ＨＳ内に収容される可動体ＭＢと、可動体ＭＢを筐体ＨＳ内で左右方向（Ｙ軸方向）に沿って往復動可能に案内する案内手段ＧＭと、可動体ＭＢに取り付けられるとともに上下方向に沿う磁束を発生させる磁束源５と、筐体ＨＳに取り付けられるとともに前後方向に沿って延在し左右方向に沿って並設されるコイル４と、可動体ＭＢの可動範囲の中心からずれた位置にある可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて移動させる磁気的な吸引力を発生させる磁性部材１Ｍと、を備えている。そして、案内手段ＧＭは、レール９に左右方向に沿って設定される固定側端面ＦＳと、磁束源保持部材６の張出部６Ｇに左右方向に沿って設定される可動側端面ＭＳと、固定側端面ＦＳと可動側端面ＭＳとの間に転動自在に挟持されたボールセット７とを含んでいる。

この構成は、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）と固定体（レール９）との間にボールセット７を介在させるため、スティックスリップ現象による異音の発生を抑制し或いは防止できる。具体的には、この構成は、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）と固定体（レール９）とが直接接触しないようにするため、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）と固定体（レール９）との間の摩擦（静止摩擦力と動摩擦力との差）に起因するスティックスリップ現象による異音の発生を防止できる。

また、図２に示す振動発生装置１０１は、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力を利用し、電磁力によって動かされた可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて戻すことができる。そのため、振動発生装置１０１は、コイルバネ等のバネ部材が用いられることなしに、且つ、磁気バネのための別の磁石が筐体ＨＳに取り付けられることなしに、電磁力によって動かされた可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて戻すことができる。

但し、振動発生装置１０１は、コイルバネ等のバネ部材を利用し、或いは、磁気バネを利用し、電磁力によって動かされた可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて戻すことができるように構成されていてもよい。

可動体ＭＢとしての磁束源保持部材６は、望ましくは、図５に示すように、本体部６Ｍと、本体部６Ｍから前後方向に張り出すように一体的に形成されるとともに上下方向の寸法が本体部より小さい張出部６Ｇと、を有する。この場合、可動側端面ＭＳは、少なくとも張出部６Ｇの下端面に設定されており、転動部材としてのボールセット７は、本体部６Ｍの下端面より上側の位置で固定側端面ＦＳに当接する。図８の下図に示す例では、前側張出部６ＧＦの下端面ＢＦ１は可動側端面ＭＳ（下可動側端面ＭＳＤ）として機能し、下前側ボールセット７ＤＦの第３ボール７ＤＦ３は、本体部６Ｍの下端面ＢＦ２より上側（Ｚ１側）の位置で固定側端面ＦＳ（下前側レール９ＤＦの上端面ＴＦ１）と接触している。具体的には、第３ボール７ＤＦ３は、下前側レール９ＤＦの上端面ＴＦ１に形成されたＶ溝９ＶＤＦに対して接触点ＣＰ３及び接触点ＣＰ４で接触している。

この構成は、磁束源保持部材６の上下方向の寸法が大きくなってしまうのを抑制しながらも、上側ボールセット７Ｕ（張出部６Ｇの上端面に配置される複数のボール）と下側ボールセット７Ｄ（張出部６Ｇの下端面に配置される複数のボール）とを介し、張出部６Ｇを上側レール９Ｕと下側レール９Ｄとで挟持することによって磁束源保持部材６の姿勢を安定化させることができるという効果をもたらす。

磁束発生部材としての磁束源５は、望ましくは、図３に示すように、可動体ＭＢとしての磁束源保持部材６に取り付けられている。また、コイル４は、望ましくは、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、固定体としてのカバー１に取り付けられている。そして、可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて移動させる力を発生させる付勢手段ＢＭは、望ましくは、図２に示すように、磁束源５と、固定体としての枠体１Ｗに取り付けられるとともにコイル４の外側（可動体ＭＢがある側の反対側）に配置される磁性部材１Ｍとを構成要素として含む。

案内手段ＧＭは、固定側端面ＦＳが形成されるレール９を含んでいてもよい。また、固定体は、磁性部材１Ｍが取り付けられるカバー１を含んでいてもよい。そして、レール９及びボールセット７は、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間に作用する磁気的な吸引力によって互いに引き付けられるカバー１と可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）との間で挟持されていてもよい。

図９に示す例では、磁束源５は、上下方向に二極着磁された永久磁石であり、左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒを含む。そして、磁束源５（左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒ）と磁性部材１Ｍ（上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤ）との間には磁気的な吸引力が作用するように構成されている。

この構成は、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間に作用する磁気的な吸引力によって磁束源保持部材６と枠体１Ｗとが互いに引き付け合うような力を作用させ、磁束源保持部材６の張出部６Ｇとレール９とによるボールセット７の挟持を確かなものとすることができる。具体的には、この構成は、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間に作用する磁気的な吸引力（上側吸引力）によって磁束源保持部材６と上側枠体１ＷＵとが互いに引き付け合うような力を作用させ、張出部６Ｇと上側レール９Ｕとによる上側ボールセット７Ｕの挟持を確かなものとすることができる。同様に、この構成は、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間に作用する磁気的な吸引力（下側吸引力）によって磁束源保持部材６と下側枠体１ＷＤとが互いに引き付け合うような力を作用させ、張出部６Ｇと下側レール９Ｄとによる下側ボールセット７Ｄの挟持を確かなものとすることができる。また、この構成により、レール９及びボールセット７は、磁束源保持部材６の張出部６Ｇと枠体１Ｗとの間で挟持され且つ磁気的な吸引力によって締め付けられる。そのため、レール９は、接着剤を用いて枠体１Ｗに接着固定される必要は無い。上述の実施形態では、枠体１Ｗとレール９との間には接着剤は塗布されていない。但し、上側レール９Ｕは、接着剤によって上側枠体１ＷＵに接着固定されてもよく、下側レール９Ｄは、接着剤によって下側枠体１ＷＤに接着固定されてもよい。

ボールセット７は、望ましくは、固定側端面ＦＳと可動側端面ＭＳとの間に挟持された複数のボールで構成される。そして、複数のボールは、所定の間隔を空けて配置される。本実施形態では、ボールセット７は、図５に示すように、上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、下後側ボールセット７ＤＢ、及び下前側ボールセット７ＤＦを含んでいる。そして、下前側ボールセット７ＤＦは、図６及び図７に示すように、五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）で構成されており、下前側ボールガイド８ＤＦによって、左右方向（Ｙ軸方向）において等間隔を隔てて配置されている。上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、及び下後側ボールセット７ＤＢについても同様である。なお、上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、下後側ボールセット７ＤＢ、及び下前側ボールセット７ＤＦのそれぞれを構成するボールの数は、四つ以下であってもよく、六つ以上であってもよい。

この構成では、磁束源保持部材６の張出部６Ｇの上端面と上側レール９Ｕの下端面との間に複数のボールが配置され、且つ、張出部６Ｇの下端面と下側レール９Ｄの上端面との間に複数のボールが配置される。そのため、この構成は、張出部６Ｇの上端面と上側レール９Ｕの下端面との間に一つのボールが配置される構成、或いは、張出部６Ｇの下端面と上側レール９Ｕの上端面との間に一つのボールが配置される構成に比べ、磁束源保持部材６を低摩擦で左右方向（Ｙ軸方向）に移動させることができるという効果をもたらす。一つのボールに荷重が集中してしまうのを防止できるためである。また、この構成は、所定の間隔を空けて配置される複数のボールを用いることにより、磁束源保持部材６が傾いてしまうのを抑制できる。但し、上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、下後側ボールセット７ＤＢ、及び下前側ボールセット７ＤＦの少なくとも一つは、一つのボールで構成されていてもよい。

振動発生装置１０１は、図１１の中段に示すように可動体ＭＢが可動範囲の右端に位置するときには、磁性部材１Ｍの左端が磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）よりも外側（左側）に位置する一方で、磁性部材１Ｍの右端が磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）よりも内側（左側）に位置するように構成されていてもよい。

反対に、振動発生装置１０１は、図１１の下段に示すように可動体ＭＢが可動範囲の左端に位置するときには、磁性部材１Ｍの右端が磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）よりも外側（右側）に位置する一方で、磁性部材１Ｍの左端が磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）よりも内側（右側）に位置するように構成されていてもよい。

なお、振動発生装置１０１は、図１１の上段に示すように可動体ＭＢが可動範囲の中心（中央）に位置するときには、磁性部材１Ｍの右端が磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）よりも内側（左側）に位置し、且つ、磁性部材１Ｍの左端が磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）よりも内側（右側）に位置するように構成されている。

この構成により、振動発生装置１０１は、可動体ＭＢが可動範囲の中心から左右方向に移動しているときには、付勢手段ＢＭにより、すなわち、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力により、可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて付勢することができる。

案内手段ＧＭは、可動体ＭＢに中心復帰力を付与しないように構成されていてもよい。中心復帰力は、可動範囲の中心に位置していない可動体ＭＢを可動範囲の中心に復帰させようとする、バネ部材等の機械要素による機械的な弾性力である。具体的には、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）は、図９の上図に示すように、案内手段ＧＭを構成しているボールセット７及びレール９によって左右方向に移動可能に支持されており、バネ部材等の機械要素が接続されていない。バネ部材等の機械要素によって可動体ＭＢに中心復帰力が付与されなくとも、可動体ＭＢが可動範囲の中心から左右方向に移動すると、可動体ＭＢは、付勢手段ＢＭにより、すなわち、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力により、可動範囲の中心に引き戻されるためである。すなわち、可動体ＭＢは、バネ部材等の機械要素による中心復帰力が付与されなくとも、可動範囲の中心に戻ることができるためである。

この構成により、振動発生装置１０１は、中心復帰力を発生させるためのバネ部材等の機械要素を省略できる。但し、可動体ＭＢ（磁束源保持部材６）には、中心復帰力を付与するためのバネ部材等の機械要素が接続されていてもよい。

振動発生装置１０１は、図１１の上段に示すように可動体ＭＢが可動範囲の中心に位置するときには、磁束源５の左端よりも磁性部材１Ｍの左端が内側（右側）に位置し、且つ、磁束源５の右端よりも磁性部材１Ｍの右端が内側（左側）に位置するように構成されている。しかしながら、振動発生装置１０１は、可動体ＭＢが可動範囲の中心に位置するときには、磁性部材１Ｍの左端が磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）と同じか磁束源５の左端（左側磁石５Ｌの左端）よりも外側（左側）に位置し、且つ、磁性部材１Ｍの右端が磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）と同じか磁束源５の右端（右側磁石５Ｒの右端）よりも外側（右側）に位置するように構成されていてもよい。

このように、振動発生装置１０１は、振動方向である左右方向における磁束源５の全幅が磁性部材１Ｍの全幅よりも大きいか否かにかかわらず、可動体ＭＢが可動範囲の中心から左右方向に移動しているときには、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間の吸引力により、可動体ＭＢを可動範囲の中心に向けて付勢することができる。

コイル４は、図２に示すように、可動体ＭＢの上方に配置される上側コイル４Ｕと、可動体ＭＢの下方に配置される下側コイル４Ｄと、を含んでいてもよい。また、磁性部材１Ｍは、可動体ＭＢの上方に配置される上側磁性部材１ＭＵと、可動体ＭＢの下方に配置される下側磁性部材１ＭＤと、を含んでいてもよい。

この構成により、振動発生装置１０１は、可動体ＭＢの上方又は下方の何れかにコイル４及び磁性部材１Ｍが配置される構成に比べ、筐体ＨＳ内のスペースを有効活用しながら、駆動手段ＤＭによる駆動力を大きくすることができる。但し、上側コイル４Ｕ及び下側コイル４Ｄのうちの何れか一方は省略されてもよい。また、上側磁性部材１ＭＵ及び下側磁性部材１ＭＤのうちの何れか一方は省略されてもよい。

案内手段ＧＭは、図５に示すように、張出部６Ｇが上側レール９Ｕと下側レール９Ｄとの間でボールセット７を介して挟持され且つ左右方向に沿って移動自在にガイドされるように構成されていてもよい。

具体的には、図５の上図に示すように、上側レール９Ｕは、磁束源保持部材６の前側に配置される上前側レール９ＵＦと磁束源保持部材６の後側に配置される上後側レール９ＵＢとを含んでいてもよい。また、下側レール９Ｄは、磁束源保持部材６の前側に配置される下前側レール９ＤＦと磁束源保持部材６の後側に配置される下後側レール９ＤＢとを含んでいてもよい。そして、磁束源保持部材６の張出部６Ｇは、磁束源保持部材６の本体部６Ｍの前側に配置される前側張出部６ＧＦと、本体部６Ｍの後側に配置される後側張出部６ＧＢとを含んでいてもよい。

より具体的には、磁束源保持部材６は、上前側レール９ＵＦの先端面（下端面）と下前側レール９ＤＦの先端面（上端面）との間に形成された略直方体形状の空間内に嵌め込まれるように、本体部６Ｍの前面から前方に突出するように形成された凸状の前側張出部６ＧＦを有していてもよい。また、磁束源保持部材６は、上後側レール９ＵＢの先端面と下後側レール９ＤＢの先端面との間に形成された略直方体形状の空間内に嵌め込まれるように、本体部６Ｍの後面から後方に突出するように形成された凸状の後側張出部６ＧＢを有していてもよい。

この構成では、案内手段ＧＭは、張出部６Ｇが左右方向（Ｙ軸方向）以外の方向に移動するのを抑制できる。すなわち、案内手段ＧＭは、可動体ＭＢが前後方向（Ｘ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動するのを抑制できる。

筐体ＨＳは、矩形筒状のサイドカバー２を含んでいてもよい。この場合、筐体ＨＳは、図８の上図に示すように、上側カバー１Ｕがサイドカバー２の上端部に上から当接して位置決めされるとともに、下側カバー１Ｄがサイドカバー２の下端部に下から当接して位置決めされるように構成されていてもよい。

この構成は、上後側レール９ＵＢの先端面（下端面）と下後側レール９ＤＢの先端面（上端面）との間に形成される空間の所望のサイズが高精度に実現されるのを可能にする。そのため、この構成は、左右方向における可動体ＭＢの滑らかな移動を実現できる。

カバー１は、図２に示すように、締結部材３によりサイドカバー２に締結されてもよい。具体的には、上側カバー１Ｕは、第１上側雄ネジ３Ｕ１～第４上側雄ネジ３Ｕ４によりサイドカバー２の上端部に締結され、下側カバー１Ｄは、第１下側雄ネジ３Ｄ１～第４下側雄ネジ３Ｄ４によりサイドカバー２の下端部に締結されてもよい。

この構成は、上側カバー１Ｕと下側カバー１Ｄとの間の隙間ＧＰ２（図９の上図参照。）を調整できるという効果をもたらす。すなわち、この構成は、枠体１Ｗ、磁束源保持部材６、ボールセット７、及びレール９の寸法誤差及び組立誤差を吸収できるという効果をもたらす。

上側カバー１Ｕと下側カバー１Ｄとは、同じ形状及び同じ大きさを有するように構成されていてもよい。この構成は、振動発生装置１０１を構成する部品の点数を更に削減できるという効果をもたらす。

次に、図１３Ａ及び図１３Ｂを参照し、振動発生装置１０１の詳細について説明する。図１３Ａは、振動発生装置１０１の断面図であり、図８の上図に対応している。図１３Ｂは、振動発生装置１０１の別の断面図であり、図１１の上段に対応している。具体的には、図１３Ａは、図１３Ｂにおける一点鎖線で示す切断線ＸＩＩＩＡ－ＸＩＩＩＡを含む平面をＹ１側から見たときの振動発生装置１０１の断面を示す。図１３Ｂは、図１３Ａにおける一点鎖線で示す切断線ＸＩＩＩＢ－ＸＩＩＩＢを含む平面をＸ１側から見たときの振動発生装置１０１の断面を示す。

振動発生装置１０１は、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間に作用する磁気的な吸引力（上側吸引力）の大きさが、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間に作用する磁気的な吸引力（下側吸引力）の大きさよりも大きくなるように構成されている。

図示例では、振動発生装置１０１は、上側吸引力の大きさが２０（Ｎ）となり、下側吸引力の大きさが１９（Ｎ）となり、その差が１（Ｎ）となるように構成されている。すなわち、下側吸引力は上側吸引力によって相殺されるため、最終的に可動体ＭＢに作用する力は、可動体ＭＢを上側磁性部材１ＭＵに引き付ける１（Ｎ）の力となる。換言すれば、最終的に可動体ＭＢに作用する力は、可動体ＭＢを上側磁性部材１ＭＵに引き付ける、上側吸引力の２０分の１の大きさの力となる。以下では、最終的に可動体ＭＢに作用する力は、可動体ＭＢを固定体（レール９）に押し付ける力を意味する「押し付け力」と称され、押し付け力の大きさは、上側吸引力と下側吸引力との差に相当する。

この構成は、上側吸引力の大きさが２（Ｎ）となり、下側吸引力の大きさが１（Ｎ）となり、押し付け力の大きさが１（Ｎ）となる構成と比べ、可動体ＭＢを左右方向に移動させるためのローレンツ力に基づく駆動力を顕著に大きくできるという効果をもたらす。駆動力は、磁束源５が発生させる磁力が大きいほど、すなわち、上側吸引力及び下側吸引力のそれぞれが大きいほど大きいためである。なお、図示の構成において、仮に上側吸引力の大きさが２（Ｎ）であり、下側吸引力の大きさが１（Ｎ）である場合、押し付け力の大きさは適切な値（１（Ｎ））となるが、駆動力は不十分となる。そのため、振動発生装置１０１は、可動体ＭＢを円滑に振動させることができない。なお、図示例では、適切な押し付け力の大きさは、好適には、吸引力の８分の１から４０分の１程度であり、より好適には、吸引力の１５分の１から２５分の１程度であり、最も好適には、吸引力の２０分の１程度である。具体的には、適切な押し付け力の大きさは、好適には、０．５（Ｎ）から２．５（Ｎ）程度であり、より好適には、０．８（Ｎ）から１．３（Ｎ）程度であり、最も好適には１（Ｎ）程度である。

また、この構成は、可動体ＭＢに上側吸引力が作用する一方で下側吸引力が作用しない構成と比べ、可動体ＭＢをより確実に振動させることができるという効果をもたらす。なお、可動体ＭＢに上側吸引力が作用する一方で下側吸引力が作用しない構成は、例えば、下側磁性部材１ＭＤが省略された構成である。例えば、上側吸引力の大きさが２０（Ｎ）の場合、振動発生装置１０１は、所望の駆動力を発生させることができるが、可動体ＭＢを上側レール９Ｕ（上側ボールセット７Ｕ）に押し付ける押し付け力の大きさが過度に大きくなってしまうため（上側吸引力の大きさと同じになってしまうため）、摩擦力の増大によって可動体ＭＢの動きを妨げてしまう。一方で、上側吸引力の大きさが仮に１（Ｎ）の場合、振動発生装置１０１は、所望の押し付け力を発生させることができるが、駆動力の大きさが過度に小さくなってしまうため（押し付け力の大きさと同じになってしまうため）、可動体ＭＢを円滑に移動させることができなくなってしまう。

上述した特性に鑑み、振動発生装置１０１は、上側吸引力及び下側吸引力のそれぞれの大きさが所望の大きさとなるようにしながら押し付け力もが所望の大きさとなるように構成されることが望まれる。

そこで、振動発生装置１０１は、図１３Ａに示すように、上側レール９Ｕ（上後側レール９ＵＢ及び上前側レール９ＵＦ）のＺ軸方向における長さＬＴ１が、下側レール９Ｄ（下後側レール９ＤＢ及び下前側レール９ＤＦ）のＺ軸方向における長さＬＴ２よりも短くなるように構成されている。すなわち、振動発生装置１０１は、可動体ＭＢを上側レール９Ｕ（上側ボールセット７Ｕ）に押し付ける押し付け力の大きさを１（Ｎ）とすべく、図１３Ｂに示すように、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間の距離ＤＳ１が、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間の距離ＤＳ２よりも小さくなるように構成されている。

或いは、振動発生装置１０１は、磁束源保持部材６の本体部６ＭのＺ軸方向における長さ（高さＨＧ）を維持しながら、張出部６Ｇの上端面と本体部６Ｍの上端面との間の距離ＤＳ５が、張出部６Ｇの下端面と本体部６Ｍの下端面との間の距離ＤＳ６よりも大きくなるように構成されていてもよい。磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間の距離ＤＳ１が、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間の距離ＤＳ２よりも小さくなるようにするためである。

或いは、振動発生装置１０１は、上側磁性部材１ＭＵの上下方向における厚みＴＫ１（図１３Ａ参照）が下側磁性部材１ＭＤの上下方向における厚みＴＫ２（図１３Ａ参照）よりも大きくなるように構成されていてもよい。上側磁性部材１ＭＵの体積を下側磁性部材１ＭＤの体積よりも大きくすることによって上側吸引力を下側吸引力よりも大きくするためである。或いは、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間の距離ＤＳ１を磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間の距離ＤＳ２よりも小さくことによって上側吸引力を下側吸引力よりも大きくするためである。この構成は、上側磁性部材１ＭＵの厚みＴＫ１を厚くすることによって実現されてもよく、下側磁性部材１ＭＤの厚みＴＫ２を薄くすることによって実現されてもよい。

或いは、振動発生装置１０１は、磁束源保持部材６における磁束源５の配置位置を所望の距離だけ上方（Ｚ１方向）にずらすことにより、上側吸引力及び下側吸引力のそれぞれの大きさが所望の大きさとなるようにしながら押し付け力もが所望の大きさとなるように構成されていてもよい。

或いは、振動発生装置１０１は、上側磁性部材１ＭＵの形状又は材料等と下側磁性部材１ＭＤの形状又は材料等とを異ならせることにより、上側吸引力及び下側吸引力のそれぞれの大きさが所望の大きさとなるようにしながら押し付け力もが所望の大きさとなるように構成されていてもよい。

なお、図１３Ａ及び図１３Ｂを参照する上述の例では、振動発生装置１０１は、張出部６Ｇの上端面である上可動側端面ＭＳＵと、上側ボールセット７Ｕ（上後側ボールセット７ＵＢ及び上前側ボールセット７ＵＦ）と、上側レール９Ｕの先端面である上固定側端面ＦＳＵとが密接し、且つ、張出部６Ｇの下端面である下可動側端面ＭＳＤと、下側ボールセット７Ｄ（下後側ボールセット７ＤＢ及び下前側ボールセット７ＤＦ）と、下側枠体１ＷＤに一体化された下側レール９Ｄの先端面である下固定側端面ＦＳＤとが密接するように構成されている。しかしながら、振動発生装置１０１は、上可動側端面ＭＳＵと上側ボールセット７Ｕと上固定側端面ＦＳＵとが密接する一方で、下可動側端面ＭＳＤと下側ボールセット７Ｄと下固定側端面ＦＳＤとが密接しないように、すなわち、下可動側端面ＭＳＤと下側ボールセット７Ｄとが僅かな隙間を隔てて対向するように構成されていてもよい。この構成は、例えば、下側レール９Ｄ（下後側レール９ＤＢ及び下前側レール９ＤＦ）のＺ軸方向における長さＬＴ２をより短くすることによって実現される。そして、上述の隙間は、磁束源保持部材６が上側吸引力によって上側レール９Ｕの先端面である上固定側端面ＦＳＵに押し付けられるためにもたらされる。

また、図１３Ａ及び図１３Ｂを参照する上述の例では、振動発生装置１０１は、上側吸引力が下側吸引力よりも大きくなるように構成されているが、上側吸引力が下側吸引力よりも小さくなるように構成されていてもよい。そして、上側吸引力が下側吸引力よりも小さくなるように構成される振動発生装置１０１においても、上側吸引力が下側吸引力よりも大きくなるようにするために採用された上述の様々な構成は同様に利用される。

次に、図１４、図１５Ａ、及び図１５Ｂを参照し、本発明の実施形態に係る振動発生装置１０１の別の構成例である振動発生装置１０１Ａについて説明する。図１４は、振動発生装置１０１Ａの分解斜視図であり、図２に対応している。図１５Ａは、振動発生装置１０１Ａの断面図であり、図１３Ａに対応している。図１５Ｂは、振動発生装置１０１Ａの別の断面図であり、図１３Ｂに対応している。具体的には、図１５Ａは、図１５Ｂにおける一点鎖線で示す切断線ＸＶＡ－ＸＶＡを含む平面をＹ１側から見たときの振動発生装置１０１の断面を示す。図１５Ｂは、図１５Ａにおける一点鎖線で示す切断線ＸＶＢ－ＸＶＢを含む平面をＸ１側から見たときの振動発生装置１０１の断面を示す。

振動発生装置１０１Ａは、ボールセット７及びボールガイド８が省略されている点、レール９が枠体１Ｗに一体化されている点、上側コイル４Ｕが二つのコイル（第１上側コイル４Ｕ１及び第２上側コイル４Ｕ２）を含む点、下側コイル４Ｄが二つのコイル（第１下側コイル４Ｄ１及び第２下側コイル４Ｄ２）を含む点、並びに、磁束源保持部材６が三つの磁石（左側磁石５Ｌ、中央磁石５Ｃ、及び右側磁石５Ｒ）を保持する点で、振動発生装置１０１と異なる。

また、振動発生装置１０１Ａは、張出部６Ｇの端面である可動側端面ＭＳとレール９の先端面である固定側端面ＦＳとが直接的に接触する点で、振動発生装置１０１と異なる。
振動発生装置１０１では、可動側端面ＭＳと固定側端面ＦＳとはボールセット７を挟んで互いに対向するように（互いに直接的に接触しないように）配置されるためである。

具体的には、振動発生装置１０１Ａは、図１５Ａに示すように、張出部６Ｇの上端面である上可動側端面ＭＳＵと、上側枠体１ＷＵに一体化された上側レール９Ｕの先端面である上固定側端面ＦＳＵとが直接的に接触し、且つ、張出部６Ｇの下端面である下可動側端面ＭＳＤと、下側枠体１ＷＤに一体化された下側レール９Ｄの先端面である下固定側端面ＦＳＤとが直接的に接触するように構成されている。

振動発生装置１０１Ａは、振動発生装置１０１と同様に、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間に作用する磁気的な吸引力（上側吸引力）の大きさが、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間に作用する磁気的な吸引力（下側吸引力）の大きさよりも大きくなるように構成されている。

図示例では、振動発生装置１０１Ａは、上側吸引力の大きさが１０（Ｎ）となり、下側吸引力の大きさが９（Ｎ）となり、その差が１（Ｎ）となるように構成されている。すなわち、下側吸引力は上側吸引力によって相殺されるため、最終的に可動体ＭＢに作用する力は、可動体ＭＢを上側磁性部材１ＭＵに引き付ける１（Ｎ）の力となる。換言すれば、最終的に可動体ＭＢに作用する力は、可動体ＭＢを上側磁性部材１ＭＵに引き付ける、上側吸引力の１０分の１の大きさの力となる。以下では、最終的に可動体ＭＢに作用する力は、可動体ＭＢを固定体（レール９）に押し付ける力を意味する「押し付け力」と称され、押し付け力の大きさは、上側吸引力と下側吸引力との差に相当する。

この構成は、上側吸引力の大きさが２（Ｎ）となり、下側吸引力の大きさが１（Ｎ）となり、押し付け力の大きさが１（Ｎ）となる構成と比べ、可動体ＭＢを左右方向に移動させるためのローレンツ力に基づく駆動力を顕著に大きくできるという効果をもたらす。駆動力は、磁束源５が発生させる磁力が大きいほど、すなわち、上側吸引力及び下側吸引力のそれぞれが大きいほど大きいためである。なお、図示の構成において、仮に上側吸引力の大きさが２（Ｎ）であり、下側吸引力の大きさが１（Ｎ）である場合、押し付け力の大きさは適切な値（１（Ｎ））となるが、駆動力は不十分となる。そのため、振動発生装置１０１は、可動体ＭＢを円滑に振動させることができない。

また、この構成は、可動体ＭＢに上側吸引力が作用する一方で下側吸引力が作用しない構成と比べ、可動体ＭＢをより確実に振動させることができるという効果をもたらす。なお、可動体ＭＢに上側吸引力が作用する一方で下側吸引力が作用しない構成は、例えば、下側磁性部材１ＭＤが省略された構成である。例えば、上側吸引力の大きさが２０（Ｎ）の場合、振動発生装置１０１は、所望の駆動力を発生させることができるが、可動体ＭＢを上側レール９Ｕ（上側ボールセット７Ｕ）に押し付ける押し付け力の大きさが過度に大きくなってしまうため（上側吸引力の大きさと同じになってしまうため）、摩擦力の増大によって可動体ＭＢの動きを妨げてしまう。一方で、上側吸引力の大きさが仮に１（Ｎ）の場合、振動発生装置１０１は、所望の押し付け力を発生させることができるが、駆動力の大きさが過度に小さくなってしまうため（押し付け力の大きさと同じになってしまうため）、可動体ＭＢを円滑に移動させることができなくなってしまう。

上述した特性に鑑み、振動発生装置１０１Ａは、上側吸引力及び下側吸引力のそれぞれの大きさが所望の大きさとなるようにしながら押し付け力もが所望の大きさとなるように構成されることが望まれる。

そこで、振動発生装置１０１Ａは、図１５Ａに示すように、上側枠体１ＷＵに一体化された上側レール９Ｕ（上後側レール９ＵＢ及び上前側レール９ＵＦ）のＺ軸方向における長さＬＴ１が、下側枠体１ＷＤに一体化された下側レール９Ｄ（下後側レール９ＤＢ及び下前側レール９ＤＦ）のＺ軸方向における長さＬＴ２よりも短くなるように構成されている。すなわち、振動発生装置１０１Ａは、可動体ＭＢを上側レール９Ｕに押し付ける押し付け力の大きさを１（Ｎ）とすべく、図１５Ｂに示すように、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間の距離ＤＳ１が、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間の距離ＤＳ２よりも小さくなるように構成されている。

或いは、振動発生装置１０１Ａは、磁束源保持部材６の本体部６ＭのＺ軸方向における長さ（高さＨＧ）を維持しながら、張出部６Ｇの上端面と本体部６Ｍの上端面との間の距離ＤＳ５が、張出部６Ｇの下端面と本体部６Ｍの下端面との間の距離ＤＳ６よりも大きくなるように構成されていてもよい。磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間の距離ＤＳ１が、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間の距離ＤＳ２よりも小さくなるようにするためである。

或いは、振動発生装置１０１Ａは、上側磁性部材１ＭＵの上下方向における厚みＴＫ１（図１５Ａ参照）が下側磁性部材１ＭＤの上下方向における厚みＴＫ２（図１５Ａ参照）よりも大きくなるように構成されていてもよい。上側磁性部材１ＭＵの体積を下側磁性部材１ＭＤの体積よりも大きくすることによって上側吸引力を下側吸引力よりも大きくするためである。或いは、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間の距離ＤＳ１を磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間の距離ＤＳ２よりも小さくことによって上側吸引力を下側吸引力よりも大きくするためである。この構成は、上側磁性部材１ＭＵの厚みＴＫ１を厚くすることによって実現されてもよく、下側磁性部材１ＭＤの厚みＴＫ２を薄くすることによって実現されてもよい。

或いは、振動発生装置１０１Ａは、磁束源保持部材６における磁束源５の配置位置を所望の距離だけ上方（Ｚ１方向）にずらすことにより、上側吸引力及び下側吸引力のそれぞれの大きさが所望の大きさとなるようにしながら押し付け力もが所望の大きさとなるように構成されていてもよい。

或いは、振動発生装置１０１は、上側磁性部材１ＭＵの形状又は材料等と下側磁性部材１ＭＤの形状又は材料等とを異ならせることにより、上側吸引力及び下側吸引力のそれぞれの大きさが所望の大きさとなるようにしながら押し付け力もが所望の大きさとなるように構成されていてもよい。

なお、図１５Ａ及び図１５Ｂを参照する上述の例では、振動発生装置１０１Ａは、張出部６Ｇの上端面である上可動側端面ＭＳＵと、上側枠体１ＷＵに一体化された上側レール９Ｕの先端面である上固定側端面ＦＳＵとが直接的に接触し、且つ、張出部６Ｇの下端面である下可動側端面ＭＳＤと、下側枠体１ＷＤに一体化された下側レール９Ｄの先端面である下固定側端面ＦＳＤとが直接的に接触するように構成されている。しかしながら、振動発生装置１０１Ａは、上可動側端面ＭＳＵと上固定側端面ＦＳＵとが直接的に接触する一方で、下可動側端面ＭＳＤと下固定側端面ＦＳＤとが接触しないように、すなわち、下可動側端面ＭＳＤと下固定側端面ＦＳＤとが僅かな隙間を隔てて対向するように構成されていてもよい。この構成は、例えば、下側レール９Ｄ（下後側レール９ＤＢ及び下前側レール９ＤＦ）のＺ軸方向における長さＬＴ２をより短くすることによって実現される。そして、上述の隙間は、磁束源保持部材６が上側吸引力によって上側レール９Ｕの先端面である上固定側端面ＦＳＵに押し付けられるためにもたらされる。

また、図１５Ａ及び図１５Ｂを参照する上述の例では、振動発生装置１０１Ａは、上側吸引力が下側吸引力よりも大きくなるように構成されているが、上側吸引力が下側吸引力よりも小さくなるように構成されていてもよい。そして、上側吸引力が下側吸引力よりも小さくなるように構成される振動発生装置１０１Ａにおいても、上側吸引力が下側吸引力よりも大きくなるようにするために採用された上述の様々な構成は同様に利用される。

上述のように、本発明の実施形態に係る振動発生装置１０１、１０１Ａは、図２及び図１４に示すように、固定体（筐体ＨＳ）と、固定体（筐体ＨＳ）内に収容される可動体ＭＢと、可動体ＭＢを固定体（筐体ＨＳ）内で左右方向（Ｙ軸方向）に沿って往復動可能に案内する案内手段ＧＭと、可動体ＭＢに取り付けられる磁束源５と、固定体（筐体ＨＳ）に取り付けられるとともに前後方向（Ｘ軸方向）に沿って延在し左右方向（Ｙ軸方向）に沿って並設されるコイル４とによって構成される駆動手段ＤＭと、固定体（筐体ＨＳ）の一部として可動体ＭＢの上側（Ｚ１側）に配置される上側磁性部材１ＭＵと、固定体（筐体ＨＳ）の一部として可動体ＭＢの下側（Ｚ２側）に配置される下側磁性部材１ＭＤと、を備えている。磁束源５は、１又は複数の磁石を含み、磁束源５に含まれる１又は複数の磁石のそれぞれは、上下方向においてＮ極部分とＳ極部分とが隣接するように配置されている。振動発生装置１０１では、図３に示すように、磁束源５は、四つの磁石（左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒ）を含み、四つの磁石（左側磁石５Ｌ、第１中央磁石５Ｃ１、第２中央磁石５Ｃ２、及び右側磁石５Ｒ）のそれぞれは、上下方向（Ｚ軸方向）に二極に着磁されている。また、振動発生装置１０１Ａでは、図１５Ａに示すように、磁束源５は、三つの磁石（左側磁石５Ｌ、中央磁石５Ｃ、及び右側磁石５Ｒ）を含み、三つの磁石（左側磁石５Ｌ、中央磁石５Ｃ、及び右側磁石５Ｒ）のそれぞれは、上下方向（Ｚ軸方向）に二極に着磁されている。なお、磁束源５を構成する１又は複数の磁石は、上下方向においてＮ極部分とＳ極部分とが隣接するように配置される構成であれば、前後方向（Ｘ軸方向）又は左右方向（Ｙ軸方向）に二極に着磁された磁石を含んでいてもよく、四極磁石等の多極磁石を含んでいてもよい。そして、振動発生装置１０１、１０１Ａは、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間に作用する磁気的な吸引力の大きさと、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間に作用する磁気的な吸引力の大きさとが互いに異なるように構成されている。典型的には、振動発生装置１０１、１０１Ａは、可動体ＭＢと可動体ＭＢの上側にある固定体（上側ボールセット７Ｕ又は上側レール９Ｕ）との間の上側接触圧と、可動体ＭＢと可動体ＭＢの下側にある固定体（下側ボールセット７Ｄ又は下側レール９Ｄ）との間の下側接触圧とが互いに異なるように構成されている。例えば、振動発生装置１０１、１０１Ａは、上側接触圧が下側接触圧よりも大きくなるように構成されていてもよい。この場合、下側接触圧はゼロであってもよい。すなわち、可動体ＭＢと可動体ＭＢの下側にある固定体とは接触していなくてもよい。

この構成は、振動発生装置１０１、１０１Ａの長寿命化を実現できるとともに、所望の振動方向以外の方向に可動体ＭＢが振動してしまうのを抑制できる。振動発生装置１０１、１０１Ａの長寿命化を実現できる理由は、例えば、磁束源５と磁性部材１Ｍとの間に作用する吸引力に比べて顕著に小さい押し付け力を実現できるためである。また、所望の振動方向以外の方向、すなわち、Ｙ軸方向以外の方向であるＸ軸方向及びＺ軸方向のそれぞれに可動体ＭＢが振動してしまうのを抑制できる理由は、例えば、磁束源保持部材６を上側レール９Ｕ又は下側レール９Ｄの何れか一方に押し付けることができるためである。

また、この構成は、可動体ＭＢを上側レール９Ｕ又は下側レール９Ｄの何れか一方に押し付けることができるため、可動体ＭＢの位置決め精度を高めることができる。また、この構成は、同様の理由により、上下方向（Ｚ軸方向）における可動体ＭＢの振動を抑制できる。

また、この構成は、レール９等の部品の寸法のバラつきが大きく、可動体ＭＢと固定体との間に形成される隙間が大きくなってしまう場合であっても、磁気的な吸引力によって可動体ＭＢを片側（上側又は下側）に寄せることができるため、可動体ＭＢがガタつくのを抑制できる。

具体的には、振動発生装置１０１、１０１Ａは、図１３Ｂ、図１５Ｂに示すように、磁束源５と上側磁性部材１ＭＵとの間の距離ＤＳ１が、磁束源５と下側磁性部材１ＭＤとの間の距離ＤＳ２よりも小さくなるように構成されていてもよい。

或いは、振動発生装置１０１、１０１Ａは、図１３Ａ、図１５Ａに示すように、上側磁性部材１ＭＵの上下方向における厚みＴＫ１が下側磁性部材１ＭＤの上下方向における厚みＴＫ２よりも大きくなるように構成されていてもよい。

振動発生装置１０１では、案内手段ＧＭは、図２に示すように、固定体（筐体ＨＳ）に左右方向（Ｙ軸方向）に沿って設定される固定側端面ＦＳと、可動体ＭＢに左右方向（Ｙ軸方向）に沿って設定される可動側端面ＭＳと、固定側端面ＦＳと可動側端面ＭＳとの間に転動自在に挟持された転動部材（ボールセット７）とを含んでいてもよい。

この構成は、可動側端面ＭＳと固定側端面ＦＳとが直接的に接触する場合に比べ、可動体ＭＢを円滑に移動させることができるという効果をもたらす。摩擦を低減できるためである。

振動発生装置１０１Ａでは、案内手段ＧＭは、図１４に示すように、固定体（筐体ＨＳ）に左右方向（Ｙ軸方向）に沿って設定される固定側端面ＦＳと、可動体ＭＢに左右方向（Ｙ軸方向）に沿って設定される可動側端面ＭＳとを含んでいてもよい。そして、固定側端面ＦＳと可動側端面ＭＳとは摺動可能に接触していてもよい。

この構成は、可動側端面ＭＳと固定側端面ＦＳとの間に転動部材が配置される構成に比べ、少ない部品点数を実現できるという効果をもたらす。転動部材が省略されるためである。

固定側端面ＦＳは、図１３Ａ及び図１５Ａのそれぞれに示すように、上固定側端面ＦＳＵと下固定側端面ＦＳＤとを含んでいてもよい。また、可動側端面ＭＳは、図１３Ａ及び図１５Ａのそれぞれに示すように、上固定側端面ＦＳＵに対向する上可動側端面ＭＳＵと下固定側端面ＦＳＤに対向する下可動側端面ＭＳＤとを含んでいてもよい。この場合、上固定側端面ＦＳＵ及び下固定側端面ＦＳＤは、図１３Ａ及び図１５Ａのそれぞれに示すように、上下方向における上側磁性部材１ＭＵと下側磁性部材１ＭＤとの間の距離の中点を含む上下方向（Ｚ軸方向）に垂直な平面ＰＬ１と上固定側端面ＦＳＵとの間の第１距離ＤＳ３と、平面ＰＬ１と下固定側端面ＦＳＤとの間の第２距離ＤＳ４とが異なるように配置されていてもよい。図１３Ａに示す例では、振動発生装置１０１は、第１距離ＤＳ３が第２距離ＤＳ４よりも大きくなるように構成されている。但し、振動発生装置１０１は、第１距離ＤＳ３が第２距離ＤＳ４よりも小さくなるように構成されていてもよい。同様に、図１５Ａに示す例では、振動発生装置１０１Ａは、第１距離ＤＳ３が第２距離ＤＳ４よりも大きくなるように構成されている。但し、振動発生装置１０１Ａは、第１距離ＤＳ３が第２距離ＤＳ４よりも小さくなるように構成されていてもよい。

この構成は、上述のように、振動発生装置１０１、１０１Ａの長寿命化を実現できるとともに、所望の振動方向以外の方向に可動体ＭＢが振動してしまうのを抑制できるという効果をもたらす。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳説した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態に制限されることはない。上述した実施形態は、本発明の範囲を逸脱することなしに、種々の変形又は置換等が適用され得る。また、上述の実施形態を参照して説明された特徴のそれぞれは、技術的に矛盾しない限り、適宜に組み合わされてもよい。

例えば、上述の実施形態では、下側カバー１Ｄ、上側カバー１Ｕ、及びサイドカバー２は互いに独立した別個の部材として形成されている。しかしながら、サイドカバー２は、下側カバー１Ｄ又は上側カバー１Ｕに一体化されていてもよい。例えば、上側カバー１Ｕとサイドカバー２とは、統合されて一部品として形成されていてもよい。

また、上側レール９Ｕ及び下側レール９Ｄは、第２側板部２Ａ２及び第４側板部２Ａ４のそれぞれと対向するように配置されていてもよい。すなわち、上側レール９Ｕ及び下側レール９Ｄは、可動体ＭＢの左側及び右側のそれぞれに配置されていてもよい。この場合、張出部６Ｇは、可動体ＭＢの左端部及び右端部に形成されていてもよい。例えば、張出部６Ｇは、磁束源保持部材６の左端部から左方に突出する左側張出部と、磁束源保持部材６の右端部から右方に突出する右側張出部とを含んでいてもよい。また、この場合、案内手段ＧＭは、上側レール９Ｕが上右側レール及び上左側レールを有し、下側レール９Ｄが下右側レール及び下左側レールを有するように構成されていてもよい。そして、左側張出部は、上左側レールの先端面（下端面）と下左側レールの先端面（上端面）との間でボールセット７を介して挟持され且つ左右方向に移動可能にガイドされるように構成され、右側張出部は、上右側レールの先端面（下端面）と下右側レールの先端面（上端面）との間でボールセット７を介して挟持され且つ左右方向に移動可能にガイドされるように構成されていてもよい。

また、上述の実施形態では、レール９は、カバー１とは別の部材として設けられているが、カバー１に一体化されていてもよい。

また、上述の実施形態では、Ｖ溝６ＶＤ、Ｖ溝６ＶＵ、Ｖ溝９ＶＤ、及びＶ溝９ＶＵのそれぞれは、Ｙ軸方向に沿って連続する一つのＶ溝で構成されているが、Ｙ軸方向に沿って複数のＶ溝が断続的に並ぶように構成されていてもよい。この場合、断続的に並ぶ複数のＶ溝のそれぞれに一つのボールが対応するように構成されていてもよい。この場合、ボールガイド８は省略されてもよい。また、Ｖ溝６ＶＤ、Ｖ溝６ＶＵ、Ｖ溝９ＶＤ、及びＶ溝９ＶＵのそれぞれは、Ｕ溝又は矩形溝等の他の断面形状を有する溝であってもよい。

また、上述の実施形態では、図６及び図７に示すように、下前側ボールセット７ＤＦを構成する五つのボール（第１ボール７ＤＦ１～第５ボール７ＤＦ５）は、下前側ボールガイド８ＤＦによって等間隔を隔てて配置されている。しかしながら、五つのボールは、非等間隔に配置されていてもよい。上後側ボールセット７ＵＢ、上前側ボールセット７ＵＦ、及び下後側ボールセット７ＤＢについても同様である。

１・・・カバー １Ｄ・・・下側カバー １ＤＰ・・・下側内部空間 １ＤＰＣ・・・中央下側内部空間 １ＤＰＬ・・・左下側内部空間 １ＤＰＲ・・・右下側内部空間 １Ｍ・・・磁性部材 １ＭＤ・・・下側磁性部材 １ＭＬａ、１ＭＲａ・・・部分 １ＭＵ・・・上側磁性部材 １Ｕ・・・上側カバー １Ｗ・・・枠体 １ＷＤ・・・下側枠体 １ＷＵ・・・上側枠体 ２・・・サイドカバー ２Ａ１・・・第１側板部 ２Ａ２・・・第２側板部 ２Ａ３・・・第３側板部 ２Ａ４・・・第４側板部 ２Ｔ１・・・第１雌ネジ孔 ２Ｔ２・・・第２雌ネジ孔 ２Ｔ３・・・第３雌ネジ孔 ２Ｔ４・・・第４雌ネジ孔 ３・・・締結部材 ３Ｄ・・・下側締結部材 ３Ｄ１・・・第１下側雄ネジ ３Ｄ２・・・第２下側雄ネジ ３Ｄ３・・・第３下側雄ネジ ３Ｄ４・・・第４下側雄ネジ ３Ｕ・・・上側締結部材 ３Ｕ１・・・第１上側雄ネジ ３Ｕ２・・・第２上側雄ネジ ３Ｕ３・・・第３上側雄ネジ ３Ｕ４・・・第４上側雄ネジ ４・・・コイル ４Ｃ・・・中央コイル ４Ｄ・・・下側コイル ４Ｄ１・・・第１下側コイル ４Ｄ１Ｌ・・・左側束線部 ４Ｄ１Ｒ・・・右側束線部 ４Ｄ２・・・第２下側コイル ４Ｄ２Ｌ・・・左側束線部 ４Ｄ２Ｒ・・・右側束線部 ４Ｄ３・・・第３下側コイル ４Ｄ３Ｌ・・・左側束線部 ４Ｄ３Ｒ・・・右側束線部 ４Ｌ・・・左側コイル ４Ｒ・・・右側コイル ４Ｕ・・・上側コイル ４Ｕ１・・・第１上側コイル ４Ｕ１Ｌ・・・左側束線部 ４Ｕ１Ｒ・・・右側束線部 ４Ｕ２・・・第２上側コイル ４Ｕ２Ｌ・・・左側束線部 ４Ｕ２Ｒ・・・右側束線部 ４Ｕ３・・・第３上側コイル ４Ｕ３Ｌ・・・左側束線部 ４Ｕ３Ｒ・・・右側束線部 ５・・・磁束源 ５Ｃ・・・中央磁石 ５Ｃ１・・・第１中央磁石 ５Ｃ２・・・第２中央磁石 ５Ｌ・・・左側磁石 ５Ｌａ・・・部分 ５Ｒ・・・右側磁石 ５Ｒａ・・・部分 ６・・・磁束源保持部材 ６Ｇ・・・張出部 ６ＧＢ・・・後側張出部 ６ＧＦ・・・前側張出部 ６Ｍ・・・本体部 ６ＶＤ、６ＶＤＢ、６ＶＤＦ、６ＶＵ、６ＶＵＢ、６ＶＵＦ・・・Ｖ溝 ７・・・ボールセット ７Ｄ・・・下側ボールセット ７ＤＢ・・・下後側ボールセット ７ＤＦ・・・下前側ボールセット ７ＤＦ１・・・第１ボール ７ＤＦ２・・・第２ボール ７ＤＦ３・・・第３ボール ７ＤＦ４・・・第４ボール ７ＤＦ５・・・第５ボール ７Ｕ・・・上側ボールセット ７ＵＢ・・・上後側ボールセット ７ＵＦ・・・上前側ボールセット ８・・・ボールガイド ８Ｄ・・・下側ボールガイド ８ＤＢ・・・下後側ボールガイド ８ＤＦ・・・下前側ボールガイド ８Ｕ・・・上側ボールガイド ８ＵＢ・・・上後側ボールガイド ８ＵＦ・・・上前側ボールガイド ９・・・レール ９Ｄ・・・下側レール ９ＤＢ・・・下後側レール ９ＤＦ・・・下前側レール ９Ｕ・・・上側レール ９ＵＢ・・・上後側レール ９ＵＦ・・・上前側レール ９ＶＤ、９ＶＤＢ、９ＶＤＦ、９ＶＵ、９ＶＵＢ、９ＶＵＦ・・・Ｖ溝 １０１、１０１Ａ・・・振動発生装置 ＢＦ１、ＢＦ２・・・下端面 ＢＭ・・・付勢手段 ＣＰ１～ＣＰ４・・・接触点 ＣＴＲ・・・制御部 ＤＬＥ・・・左端 ＤＭ・・・駆動手段 ＤＲＥ・・・右端 ＦＳ・・・固定側端面 ＦＳＤ・・・下固定側端面 ＦＳＵ・・・上固定側端面 ＧＭ・・・案内手段 ＨＬ１・・・第１貫通孔 ＨＬ２・・・第２貫通孔 ＨＬ３・・・第３貫通孔 ＨＬ４・・・第４貫通孔 ＨＬ５・・・第５貫通孔 ＨＳ・・・筐体 ＬＥ・・・左端 ＭＢ・・・可動体 ＭＳ・・・可動側端面 ＭＳＤ・・・下可動側端面 ＭＳＵ・・・上可動側端面 ＲＥ・・・右端 ＴＦ１・・・上端面 ＵＬＥ・・・左端 ＵＲＥ・・・右端 ＶＡ・・・振動軸 ＶＥ・・・振動装置

Claims (6)

1. 固定体と、
   前記固定体内に収容される可動体と、
   前記可動体を前記固定体内で左右方向に沿って往復動可能に案内する案内手段と、
   前記可動体に取り付けられる磁束源と、前記固定体に取り付けられるとともに前後方向に沿って延在し左右方向に沿って並設されるコイルとによって構成される駆動手段と、
   前記固定体の一部として前記可動体の上側に配置される上側磁性部材と、
   前記固定体の一部として前記可動体の下側に配置される下側磁性部材と、を備え、
   前記磁束源は、１又は複数の磁石を含み、前記磁束源に含まれる１又は複数の前記磁石のそれぞれは、上下方向においてＮ極部分とＳ極部分とが隣接するように配置されており、
   前記磁束源と前記上側磁性部材との間に作用する磁気的な吸引力の大きさと、前記磁束源と前記下側磁性部材との間に作用する磁気的な吸引力の大きさとが互いに異なるように構成されている、
   ことを特徴とする振動発生装置。
2. 前記磁束源と前記上側磁性部材との間の距離は、前記磁束源と前記下側磁性部材との間の距離よりも小さい、
   請求項１に記載の振動発生装置。
3. 前記上側磁性部材の上下方向における厚みは、前記下側磁性部材の上下方向における厚みよりも大きい、
   請求項１又は請求項２に記載の振動発生装置。
4. 前記案内手段は、前記固定体に左右方向に沿って設定される固定側端面と、前記可動体に左右方向に沿って設定される可動側端面と、を含み、
   前記固定側端面と前記可動側端面とは摺動可能に接触している、
   請求項１乃至請求項３の何れかに記載の振動発生装置。
5. 前記案内手段は、前記固定体に左右方向に沿って設定される固定側端面と、前記可動体に左右方向に沿って設定される可動側端面と、前記固定側端面と前記可動側端面との間に転動自在に挟持された転動部材とを含む、
   請求項１乃至請求項３の何れかに記載の振動発生装置。
6. 前記固定側端面は、上固定側端面と下固定側端面とを含み、
   前記可動側端面は、前記上固定側端面に対向する上可動側端面と前記下固定側端面に対向する下可動側端面とを含み、
   前記上固定側端面及び前記下固定側端面は、上下方向における前記上側磁性部材と前記下側磁性部材との間の距離の中点を含む上下方向に垂直な平面と前記上固定側端面との間の第１距離と、前記平面と前記下固定側端面との間の第２距離とが異なるように配置されている、
   請求項４又は請求項５に記載の振動発生装置。

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