WO2014123053A1 - 表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械 - Google Patents

表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械 Download PDF

Info

Publication number
WO2014123053A1
WO2014123053A1 PCT/JP2014/052025 JP2014052025W WO2014123053A1 WO 2014123053 A1 WO2014123053 A1 WO 2014123053A1 JP 2014052025 W JP2014052025 W JP 2014052025W WO 2014123053 A1 WO2014123053 A1 WO 2014123053A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
layer
coating material
surface coating
material according
nitride
Prior art date
Application number
PCT/JP2014/052025
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
雅信 三▲崎▼
泰路 菊池
Original Assignee
三菱重工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 三菱重工業株式会社 filed Critical 三菱重工業株式会社
Priority to JP2014560738A priority Critical patent/JP5973001B2/ja
Priority to CN201480002862.6A priority patent/CN104755201B/zh
Priority to US14/439,978 priority patent/US9528186B2/en
Publication of WO2014123053A1 publication Critical patent/WO2014123053A1/ja

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/148Composition of the cutting inserts
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B2228/00Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/08Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner applied by physical vapour deposition [PVD]
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B2228/00Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/10Coatings
    • B23B2228/105Coatings with specified thickness

Definitions

  • the present invention relates to a surface coating material, a cutting tool and a machine tool using the same.
  • a tool that forms a high-hardness film on the surface of a substrate using a physical vapor deposition method typified by ion plating has been developed.
  • the one that forms a metal nitride layer such as TiN-based or TiAlN-based on the surface of the substrate is most practically used.
  • an AlCrN film or an (AlCrM) N film (M is an element of the periodic table 4a, 5a, 6a group excluding Cr, B, Si, Y) It is considered that a surface coating material such as at least one or two or more elements selected from the above is provided on the surface of the substrate (for example, see Patent Documents 1 to 4 above).
  • Such problems are not limited to cutting tools used in machine tools as described above, but can be applied to parts and molds to which surface coating materials that require excellent wear resistance in high-temperature regions are applied. For example, it can occur in the same manner as described above.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and a surface coating material capable of exhibiting high peeling resistance and high chipping resistance, and cutting using the same. It aims to provide tools and machine tools.
  • the surface coating material according to the first invention for solving the above-described problem is An upper layer formed by alternately laminating one or more layers of an A layer made of nitride of aluminum, chromium and silicon and a B layer made of nitride of aluminum, chromium and yttrium is provided on the surface.
  • the upper layer is provided on the surface of the metal nitride.
  • the surface coating material according to the second invention for solving the above-described problem is the surface coating material according to the first invention described above,
  • the layer A is represented by the composition formula: (Al 1-ab Cr a Si b ) N
  • the atomic ratio satisfies 0.15 ⁇ a ⁇ 0.59 and 0.01 ⁇ b ⁇ 0.1.
  • the layer B is represented by the composition formula: (Al 1 -cd Cr c Y d ) N
  • the atomic ratio satisfies 0.15 ⁇ c ⁇ 0.60 and 0.005 ⁇ d ⁇ 0.1. It is characterized by.
  • the surface coating material according to the third invention for solving the above-described problem is the surface coating material according to the first or second invention described above,
  • the thicknesses of the A layer and the B layer are 240 nm or less, respectively.
  • the surface coating material according to the fourth invention for solving the above-described problem is the surface coating material according to the first invention described above,
  • the B layer further includes a nitride of silicon.
  • the surface coating material according to the fifth invention for solving the above-described problem is the surface coating material according to the fourth invention described above,
  • the layer A is represented by the composition formula: (Al 1-ab Cr a Si b ) N
  • the atomic ratio satisfies 0.15 ⁇ a ⁇ 0.60 and 0.01 ⁇ b ⁇ 0.1.
  • the B layer is a composition formula: (Al 1-cde Cr c Si d Y e) when expressed in N, in terms of atomic ratio, 0.15 ⁇ c ⁇ 0.60,0.01 ⁇ d ⁇ 0.1, 0.005 ⁇ e ⁇ 0.1 is satisfied.
  • the surface coating material according to the sixth invention for solving the above-described problem is the surface coating material according to the fourth or fifth invention described above,
  • the thicknesses of the A layer and the B layer are each 150 nm or less.
  • a surface coating material according to a seventh invention for solving the above-described problem is a surface coating material according to any one of the first to sixth inventions described above,
  • the upper layer has a thickness of 2 ⁇ m or more and 8 ⁇ m or less.
  • a surface coating material according to an eighth invention for solving the above-described problem is the surface coating material according to any one of the first to seventh inventions described above,
  • the metal nitride is made of at least one nitride selected from titanium, aluminum, chromium, and zirconium.
  • a surface coating material according to a ninth invention for solving the above-described problem is a surface coating material according to any one of the first to eighth inventions described above, The metal nitride is provided on the surface of the base material.
  • the surface coating material according to the tenth invention for solving the above-described problem is the surface coating material according to the ninth invention described above,
  • the substrate is made of high-speed tool steel or cemented carbide.
  • a cutting tool according to an eleventh invention for solving the above-mentioned problems is characterized by comprising the surface coating material according to any one of the first to tenth inventions described above.
  • a machine tool according to a twelfth invention for solving the above-described problem is characterized by including a cutting tool made of the surface coating material according to any one of the first to tenth inventions described above.
  • the surface coating material according to the present invention high peeling resistance and high chipping resistance can be exhibited, so that the upper layer has excellent wear resistance in a high temperature region inherently possessed sufficiently. Can be made.
  • a surface coating material 10 includes a base material 11 made of high-speed tool steel or cemented carbide, and titanium (Ti), aluminum (Al ), Chromium (Cr), zirconium (Zr) at least one kind of nitride (N), and provided on the surface of the lower layer 12, aluminum (Al), chromium (Cr) and silicon.
  • the B layer 15 preferably contains a nitride (N) of silicon (Si).
  • Such a surface coating material 10 is provided with the lower layer 12 made of the above-described composition on the substrate 11 by a physical vapor deposition method (PVD) such as a sputtering vapor deposition method or an ion plating method. Thereafter, the upper layer 13 formed by alternately laminating one or more of the A layers 14 and the B layers 15 can be provided for easy manufacture.
  • PVD physical vapor deposition method
  • an upper layer is formed by forming an alternating layer structure (multilayer structure) of A layers 14 made of (AlCrSi) N and B layers 15 made of (AlCrY) N or (AlCrSiY) N.
  • a layers 14 made of (AlCrSi) N and B layers 15 made of (AlCrY) N or (AlCrSiY) N are alternating layer structure (multilayer structure) of A layers 14 made of (AlCrSi) N and B layers 15 made of (AlCrY) N or (AlCrSiY) N.
  • the lower layer 12 is made of at least one nitride of titanium (Ti), aluminum (Al), chromium (Cr), zirconium (Zr) (for example, TiN, CrN, ZrN, TiAlN, etc.). Adhesiveness with substrate 11 (cutting tool surface) can be improved.
  • the upper layer 13 is not peeled or chipped for a long time even when used under conditions where a high load is locally applied. Therefore, the upper layer 13 can sufficiently exhibit the characteristics excellent in wear resistance in the high temperature region inherently possessed by the upper layer 13.
  • the B layer 15 has an atomic ratio of 0.15 ⁇ c ⁇ 0.6 and 0.005 ⁇ d ⁇ 0.1 in the compositional formula: (Al 1 -cd Cr c Y d ) N. Is preferably satisfied. This is because if the composition ratio of c is smaller than 0.15, the higher the aluminum (Al) element ratio, and in particular, when the aluminum (Al) element ratio exceeds 0.75, the hardness of the B layer 15 itself increases. Since it tends to decrease, it is not so preferable. When the composition ratio of c is larger than 0.6, the higher the chromium (Cr) element ratio, the more easily the hardness of the B layer 15 itself is decreased.
  • composition ratio of d is smaller than 0.005, it is difficult to obtain the effect of improving heat resistance by adding yttrium (Y), so that the composition ratio of d is larger than 0.1. This is because it is difficult to manufacture the B layer 15 itself, which is not preferable.
  • the B layer 15 may be expressed by a composition formula (Al 1 -cd Cr c Y d ) N satisfying 0.15 ⁇ c ⁇ 0.6 and 0.005 ⁇ d ⁇ 0.1 in atomic ratio.
  • the A layer 14 has an atomic ratio of 0.15 ⁇ a ⁇ 0.59, 0.01 ⁇ b ⁇ 0,...
  • a composition formula: (Al 1-ab Cr a Si b ) N. 1 is preferably satisfied. This is because if the composition ratio of a is smaller than 0.15, the higher the aluminum (Al) element ratio, and in particular, when the aluminum (Al) element ratio exceeds 0.75, the hardness of the A layer 14 itself increases.
  • composition ratio of a is larger than 0.59, the higher the chromium (Cr) element ratio, the more easily the hardness of the A layer 14 itself tends to decrease.
  • composition ratio of b is less than 0.01, it is difficult to obtain the effect of improving the heat resistance by adding silicon (Si), and thus the composition ratio of b is less than 0.1. This is because it is difficult to manufacture the A layer 14 itself because it is too large.
  • the B layer 15 has an atomic ratio of 0.15 ⁇ c ⁇ 0.60 and 0.01 ⁇ d ⁇ 0 when expressed by the composition formula: (Al 1 -cde Cr c Si d Y e ) N. 0.1, 0.005 ⁇ e ⁇ 0.1 is preferably satisfied. This is because if the composition ratio of c is smaller than 0.15, the higher the aluminum (Al) element ratio, and in particular, when the aluminum (Al) element ratio exceeds 0.75, the hardness of the B layer 15 itself increases. Since it tends to decrease, it is not so preferable. When the composition ratio of c is larger than 0.60, the higher the chromium (Cr) element ratio, the more easily the hardness of the B layer 15 itself is decreased.
  • composition ratio of d is less than 0.01, it is difficult to obtain the effect of improving the heat resistance by adding silicon (Si), so that the composition ratio of d is larger than 0.1. Since the target discharge at the time of film formation becomes unstable and it becomes difficult to manufacture the B layer 15 itself, it is not so preferable. If the composition ratio of e is smaller than 0.005, it is not good. Since the effect of improving the wear resistance due to the addition of (Y) is difficult, it is not so preferable. This is because it is difficult to manufacture itself, which is not preferable.
  • the B layer 15 has an atomic ratio of 0.15 ⁇ c ⁇ 0.60, 0.01 ⁇ d ⁇ 0.1, and 0.005 ⁇ e ⁇ 0.1: (Al 1-cde Cr c Si d Y e ) N, the A layer 14 can be expressed by the composition formula: (Al 1-ab Cr a Si b ) N, and the atomic ratio is 0.15 ⁇ a ⁇ It is preferable that 0.60 and 0.01 ⁇ b ⁇ 0.1 are satisfied. This is because if the composition ratio of a is smaller than 0.15, the higher the aluminum (Al) element ratio, and in particular, when the aluminum (Al) element ratio exceeds 0.75, the hardness of the A layer 14 itself increases.
  • composition ratio of a is larger than 0.60, the hardness of the A layer 14 itself tends to decrease as the chromium (Cr) element ratio increases.
  • composition ratio of b is less than 0.01, it is difficult to obtain the effect of improving the heat resistance by adding silicon (Si), and thus the composition ratio of b is less than 0.1. This is because it is difficult to manufacture the A layer 14 itself because it is too large.
  • the A layer 14 and the B layer 15 each have a thickness of 240 nm or less (particularly, 200 nm or less). It is preferable. This is because when the thicknesses of the A layer 14 and the B layer 15 are larger than 240 nm, the plastic deformability in the A layer 14 and the B layer 15 (single layer) is lowered, and the peel resistance obtained from the alternately laminated structure. This is because the chipping resistance tends to be low, which is not preferable.
  • the A layer 14 and the B layer 15 each have a thickness of 150 nm or less (particularly, 100 nm or less). And preferred. This is because when the thicknesses of the A layer 14 and the B layer 15 are greater than 150 nm, the plastic deformability in the A layer 14 and the B layer 15 (single layer) is lowered, and the peel resistance obtained from the alternately laminated structure. This is because the chipping resistance tends to be low, which is not preferable.
  • the A layer 14 and the B layer 15 have the same thickness. This is because if the thicknesses of the A layer 14 and the B layer 15 are different, the peelability between the A layer 14 and the B layer 15 tends to increase, which is not preferable.
  • the upper layer 13 preferably has a thickness of 2 ⁇ m to 8 ⁇ m (particularly 3 ⁇ m to 6 ⁇ m). This is because if the thickness of the upper layer 13 exceeds 8 ⁇ m, the cutting edge part is liable to be peeled off or chipped under high-speed and high-feed cutting conditions, particularly in intermittent cutting, and the life is likely to be shortened. If the thickness of the upper layer 13 is less than 2 ⁇ m, the wear resistance of the upper layer 13 cannot be sufficiently exhibited, and it becomes difficult to ensure the cutting performance over a long period of time. .
  • the base material 11 is preferably made of high-speed tool steel or cemented carbide. Because, when the base material 11 is made of high-speed tool steel or cemented carbide, it does not cause peeling or chipping of the lower layer 12 in the high-speed and high-feed cutting conditions, particularly in intermittent cutting, This is because it exhibits excellent wear resistance and can exhibit stable cutting performance over a long period of time.
  • the cutting tool is not particularly limited as long as it is a tool for cutting, but it is very suitable if it is a gear cutting tool such as a hob or pinion cutter, or a broach
  • the machine tool is not particularly limited as long as it is capable of cutting, but a gear cutter such as a hobbing machine or a gear shaper or a broaching machine is very suitable. is there.
  • the surface coating material 10 is provided with the upper layer 13 in which one or more of the A layers 14 and the B layers 15 are alternately laminated, and the B layer 15 is provided on the surface of the A layer 14.
  • the surface coating material 10 includes the upper layer 13 formed by alternately laminating one or more A layers 14 and B layers 15, and the A layer 14 is provided on the surface of the B layer 15. .
  • the upper layer 13 that is a composite nitride mainly composed of aluminum (Al), chromium (Cr), silicon (Si), and yttrium (Y) has excellent wear resistance in a high temperature region inherent to the upper layer 13. The characteristics can be fully exhibited.
  • the upper layer 13 that is a composite nitride mainly composed of aluminum (Al), chromium (Cr), silicon (Si), and yttrium (Y) has excellent wear resistance in a high temperature region inherent to the upper layer 13. The characteristics can be fully exhibited.
  • the surface coating material and the cutting tool and machine tool using the surface coating material according to the present invention can exhibit high peeling resistance and high chipping resistance, and have high wear resistance in the high temperature range inherent in the upper layer. Since the excellent characteristics can be sufficiently exhibited, it can be used extremely beneficially industrially.

Abstract

 高耐剥離性及び高耐チッピング性を発現することができる表面被覆材料を提供することにある。高速度工具や超硬合金からなる基材(11)と、基材(11)の表面に設けられてチタン,アルミニウム,クロム,ジルコニウムのうちの少なくとも一種の窒化物からなる下部層(12)と、下部層(12)の表面に設けられて、アルミニウムとクロムとケイ素との窒化物からなるA層(14)と、アルミニウムとクロムとイットリウムとの窒化物からなるB層(15)とが交互に1層以上積層してなる上部層(13)とを備えてなる表面被覆材料(10)とした。

Description

表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械
 本発明は、表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械に関する。
 工作機械で切削加工を行う切削工具として、イオンプレーティングに代表される物理蒸着法を用いて基材の表面に高硬度皮膜を形成するものが開発されている。その中でも、TiN系やTiAlN系などの金属窒化物の層を基材の表面に形成するものが最も実用化が進んでいる。
特開平10-25566号公報 特開2005-330539号公報 特開2009-285758号公報 特許第3963354号明細書
 ところで、上述した切削工具は、800℃を超えるようなさらなる高温領域で使用すると、上記金属窒化物の酸化が始まるため、長時間使用できないという問題があった。このため、さらなる高温領域での使用を可能にする切削工具として、AlCrN皮膜や(AlCrM)N皮膜(MはCrを除く周期律表4a,5a,6a族の元素、B,Si,Yのうちから選ばれた少なくとも1種又は2種以上の元素)などの表面被覆材料を基材の表面に設けることが考えられている(例えば、上記の特許文献1~4参照)。
 しかしながら、上述した表面被覆材料を基材の表面に設けた切削工具においては、表面被覆材料の密着性の点で問題があり、高い発熱に伴い切れ刃部に局部的に高負荷がかかるような高速高送りの切削条件では、表面被覆材料の剥離やチッピング(微少欠け)が早期に発生し、比較的短時間で寿命に至りこの表面被覆材料が本来持つ高温領域での耐摩耗性に優れた特性を十分発揮できないという課題がある。
 このような問題は、上述したような工作機械に使用される切削工具に限らず、高温領域での耐摩耗性に優れた特性を要求される表面被覆材料が適用される部品や金型であれば、上述の場合と同様に生じ得ることである。
 このようなことから、本発明は、前述した課題を解決するために為されたものであって、高耐剥離性及び高耐チッピング性を発現することができる表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械を提供することを目的としている。
 上述した課題を解決する第1の発明に係る表面被覆材料は、
 アルミニウム,クロム,ケイ素の窒化物からなるA層と、アルミニウム,クロム,イットリウムの窒化物からなるB層とが交互に1層以上積層してなる上部層を表面に有し、
 前記上部層が、金属窒化物の表面に設けられている
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第2の発明に係る表面被覆材料は、前述した第1の発明に係る表面被覆材料であって、
 前記A層が、組成式:(Al1-a-bCraSib)Nで表した場合、原子比で、0.15≦a≦0.59、0.01≦b≦0.1を満足し、
 前記B層が、組成式:(Al1-c-dCrcd)Nで表した場合、原子比で、0.15≦c≦0.60、0.005≦d≦0.1を満足している
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第3の発明に係る表面被覆材料は、前述した第1または第2の発明に係る表面被覆材料であって、
 前記A層および前記B層の厚さが、それぞれ240nm以下である
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第4の発明に係る表面被覆材料は、前述した第1の発明に係る表面被覆材料であって、
 前記B層がさらにケイ素の窒化物を含む
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第5の発明に係る表面被覆材料は、前述した第4の発明に係る表面被覆材料であって、
 前記A層は、組成式:(Al1-a-bCraSib)Nで表した場合、原子比で、0.15≦a≦0.60、0.01≦b≦0.1を満足し、
 前記B層は、組成式:(Al1-c-d-eCrcSide)Nで表した場合、原子比で、0.15≦c≦0.60、0.01≦d≦0.1、0.005≦e≦0.1を満足している
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第6の発明に係る表面被覆材料は、前述した第4または第5の発明に係る表面被覆材料であって、
 前記A層および前記B層の厚さが、それぞれ150nm以下である
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第7の発明に係る表面被覆材料は、前述した第1乃至第6の発明の何れか一つに係る表面被覆材料であって、
 前記上部層の厚さが2μm以上8μm以下である
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第8の発明に係る表面被覆材料は、前述した第1乃至第7の発明の何れか一つに係る表面被覆材料であって、
 前記金属窒化物が、チタン,アルミニウム,クロム,ジルコニウムのうちの少なくとも一種の窒化物からなる
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第9の発明に係る表面被覆材料は、前述した第1乃至第8の発明の何れか一つに係る表面被覆材料であって、
 前記金属窒化物が、基材の表面に設けられている
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第10の発明に係る表面被覆材料は、前述した第9の発明に係る表面被覆材料であって、
 前記基材が、高速度工具鋼または超硬合金からなる
ことを特徴とする。
 上述した課題を解決する第11の発明に係る切削工具は、前述した第1乃至第10の発明の何れか一つに係る表面被覆材料からなることを特徴とする。
 上述した課題を解決する第12の発明に係る工作機械は、前述した第1乃至第10の発明の何れか一つに係る表面被覆材料からなる切削工具を備えていることを特徴とする。
 本発明に係る表面被覆材料によれば、高耐剥離性及び高耐チッピング性を発現することができることから、上部層が本来持っている高温領域での耐摩耗性に優れた特性を十分に発揮させることができる。
本発明に係る表面被覆材料の一実施形態の構造説明図である。
 本発明に係る表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械を好適に実施するための形態を図面に基づいて説明するが、本発明は、図面に基づいて説明する以下の実施形態のみに限定されるものではない。
 本発明に係る表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械の一実施形態を図1に基づいて説明する。
 図1に示すように、本実施形態に係る表面被覆材料10は、高速度工具鋼や超硬合金からなる基材11と、基材11の表面に設けられてチタン(Ti),アルミニウム(Al),クロム(Cr),ジルコニウム(Zr)のうちの少なくとも一種の窒化物(N)からなる下部層12と、下部層12の表面に設けられて、アルミニウム(Al)とクロム(Cr)とケイ素(Si)との窒化物(N)からなるA層14と、アルミニウム(Al)とクロム(Cr)とイットリウム(Y)との窒化物(N)からなるB層15とが交互に1層以上(図示例では7層)積層してなる上部層13とを備えてなるものである。
 また、前記B層15は、ケイ素(Si)の窒化物(N)を含むことが好ましい。
 このような表面被覆材料10は、スパッタ蒸着法やイオンプレーティング法等のような物理蒸着法(PVD)等により、前記基材11に対して、上述した組成物からなる前記下部層12を設けた後に、前記A層14と前記B層15とを交互に1層以上積層してなる前記上部層13を設けて、容易に製造することができる。
 このような前記表面被覆材料10においては、(AlCrSi)NからなるA層14と(AlCrY)Nまたは(AlCrSiY)NからなるB層15との交互積層構造(多層構造)にすることにより、上部層13の耐剥離性及び耐チッピング性を向上させ、Al,Cr,Si,Yを必須成分とする複合窒化物である硬質皮膜が本来持っている高温領域での耐摩耗性に優れた特性を十分に発揮させることができる。
 さらに、下部層12が、チタン(Ti),アルミニウム(Al),クロム(Cr),ジルコニウム(Zr)のうちの少なくとも一種の窒化物(例えば、TiN、CrN、ZrN、TiAlNなど)からなることにより、基材11(切削工具表面)との密着性を向上させることができる。
 したがって、本実施形態に係る表面被覆材料10を利用した切削工具及び工作機械においては、局部的に高負荷がかかるような条件で使用しても、前記上部層13の剥離やチッピングの発生を長期に亘って防止することができることから、前記上部層13が本来持っている高温領域での耐摩耗性に優れた特性を十分に発揮させることができる。
 なお、前記B層15は、組成式:(Al1-c-dCrcd)Nで表した場合、原子比で、0.15≦c≦0.6、0.005≦d≦0.1を満足することが好ましい。なぜなら、前記cの組成比率が0.15よりも小さいと、アルミニウム(Al)元素比率が高くなる程、特に、アルミニウム(Al)元素比率が0.75を超えると、B層15自体の硬度が低下しやすくなるため、あまり好ましくなく、前記cの組成比率が0.6よりも大きくなると、クロム(Cr)元素比率が高くなる程、B層15自体の硬度が低下しやすくなるため、あまり好ましくなく、前記dの組成比率が0.005よりも小さいと、イットリウム(Y)添加による耐熱性向上の効果を得にくくなるため、あまり好ましくなく、前記dの組成比率が0.1よりも大きくなると、B層15自体を製造しにくくなるため、あまり好ましくないからである。
 前記B層15を、原子比で、0.15≦c≦0.6、0.005≦d≦0.1を満足する組成式:(Al1-c-dCrcd)Nで表すことができるとき、前記A層14は、組成式:(Al1-a-bCraSib)Nで表した場合、原子比で、0.15≦a≦0.59、0.01≦b≦0.1を満足することが好ましい。なぜなら、前記aの組成比率が0.15よりも小さいと、アルミニウム(Al)元素比率が高くなる程、特に、アルミニウム(Al)元素比率が0.75を超えると、A層14自体の硬度が低下しやすくなりやすいため、あまり好ましくなく、前記aの組成比率が0.59よりも大きくなると、クロム(Cr)元素比率が高くなる程、A層14自体の硬度が低下しやすくなりやすいため、あまり好ましくなく、前記bの組成比率が0.01よりも小さいと、ケイ素(Si)添加による耐熱性向上の効果を得にくくなりやすいため、あまり好ましくなく、前記bの組成比率が0.1よりも大きくなると、A層14自体を製造しにくくなりやすいため、あまり好ましくないからである。
 なお、前記B層15は、組成式:(Al1-c-d-eCrcSide)Nで表した場合、原子比で、0.15≦c≦0.60、0.01≦d≦0.1、0.005≦e≦0.1を満足することが好ましい。なぜなら、前記cの組成比率が0.15よりも小さいと、アルミニウム(Al)元素比率が高くなる程、特に、アルミニウム(Al)元素比率が0.75を超えると、B層15自体の硬度が低下しやすくなるため、あまり好ましくなく、前記cの組成比率が0.60よりも大きくなると、クロム(Cr)元素比率が高くなる程、B層15自体の硬度が低下しやすくなるため、あまり好ましくなく、前記dの組成比率が0.01よりも小さいと、ケイ素(Si)添加による耐熱性向上の効果を得にくくなるため、あまり好ましくなく、前記dの組成比率が0.1よりも大きくなると、成膜時のターゲット放電が不安定になりB層15自体を製造しにくくなるため、あまり好ましくなく、前記eの組成比率が0.005よりも小さいと、イットリウム(Y)添加による耐摩耗性向上の効果を得にくくなるため、あまり好ましくなく、前記eの組成比率が0.1よりも大きくなると、成膜時のターゲット放電が不安定になりB層15自体を製造しにくくなるため、あまり好ましくないからである。
 前記B層15を、原子比で、0.15≦c≦0.60、0.01≦d≦0.1、0.005≦e≦0.1を満足する組成式:(Al1-c-d-eCrcSide)Nで表すことができるとき、前記A層14は、組成式:(Al1-a-bCraSib)Nで表した場合、原子比で、0.15≦a≦0.60、0.01≦b≦0.1を満足することが好ましい。なぜなら、前記aの組成比率が0.15よりも小さいと、アルミニウム(Al)元素比率が高くなる程、特に、アルミニウム(Al)元素比率が0.75を超えると、A層14自体の硬度が低下しやすくなりやすいため、あまり好ましくなく、前記aの組成比率が0.60よりも大きくなると、クロム(Cr)元素比率が高くなる程、A層14自体の硬度が低下しやすくなりやすいため、あまり好ましくなく、前記bの組成比率が0.01よりも小さいと、ケイ素(Si)添加による耐熱性向上の効果を得にくくなりやすいため、あまり好ましくなく、前記bの組成比率が0.1よりも大きくなると、A層14自体を製造しにくくなりやすいため、あまり好ましくないからである。
 また、前記A層14が(AlCrSi)Nからなり、前記B層が(AlCrY)Nからなる場合、前記A層14及び前記B層15は、厚さがそれぞれ240nm以下(特に、200nm以下)であると好ましい。なぜなら、A層14及びB層15の厚さが240nmよりも厚くなると、前記A層14及び前記B層15(単層)での塑性変形性が低下し、交互積層構造より得られる耐剥離性及び耐チッピング性が低くなりやすいため、あまり好ましくないからである。
 前記A層14が(AlCrSi)Nからなり、前記B層15が(AlCrSiY)Nからなる場合、前記A層14及び前記B層15は、厚さがそれぞれ150nm以下(特に、100nm以下)であると好ましい。なぜなら、A層14及びB層15の厚さが150nmよりも厚くなると、前記A層14及び前記B層15(単層)での塑性変形性が低下し、交互積層構造より得られる耐剥離性及び耐チッピング性が低くなりやすいため、あまり好ましくないからである。
 前記A層14と前記B層15は、厚さが同じであると好ましい。なぜなら、前記A層14と前記B層15の厚さが異なると、前記A層14と前記B層15との間での剥離性が高まりやすいため、あまり好ましくないからである。
 前記上部層13は、厚さが2μm~8μm(特に、3μm~6μm)であると好ましい。なぜなら、上部層13の厚さが8μmを超えると、高速高送りの切削条件において、特に断続切削加工において、切れ刃部に剥離やチッピングが発生し易くなり、寿命が短くなりやすいため、あまり好ましくなく、上部層13の厚さが2μmを下回ると、上部層13の耐摩耗性を十分に発現することができず、切削性能を長期に亘って確保しにくくなるため、あまり好ましくないからである。
 前記基材11は、高速度工具鋼または超硬合金からなることが好ましい。なぜなら、前記基材11が高速度工具鋼または超硬合金からなることにより、高速高送りの切削条件のときに、特に断続切削加工において、下部層12の剥離やチッピングなどを発生させることなく、優れた耐摩耗性を発揮し、長期に亘って安定した切削性能を示すことができるからである。
 また、上記切削工具としては、切削加工を施す工具であれば、特に限定されるものではないが、ホブやピニオンカッタ等のような歯切り工具や、ブローチであると、非常に好適であり、上記工作機械としては、切削加工を施すものであれば、特に限定されるものではないが、ホブ盤や歯車形削り盤等のような歯切り盤や、ブローチ盤であると、非常に好適である。
[他の実施形態]
 なお、前述した実施形態においては、高速度工具鋼や超硬合金からなる基材11を適用した表面被覆材料10の場合について説明したが、他の金属材料(例えば、各種の特殊鋼や合金鋼等)からなる基材を適用することも可能である。
 前述した実施形態においては、A層14とB層15とを交互に1層以上積層してなる上部層13を備え、A層14の表面にB層15を設けた表面被覆材料10の場合について説明したが、A層14とB層15とを交互に1層以上積層してなる上部層13を備え、B層15の表面にA層14を設けた表面被覆材料とすることも可能である。
 本発明に係る表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械の作用効果を確認するために行った実施例を以下に説明するが、本発明は、各種データに基づいて説明する以下の実施例のみに限定されるものではない。
 [確認試験1]
 本試験において、アークイオンプレーティング装置を用いて高速度工具鋼SKH55を基材とした舞ツール工具(切削工具)の表面に以下の表1に示す表面被覆材料を設けた試験体及び比較体及び参考体を作製した。これら試験体及び比較体及び参考体に対し、下記の切削条件で加工試験を行い、工具の逃げ面摩耗幅を測定した。
 <切削条件>
  被削材種 :SCM415
  切削方法 :断続切削
  切削速度 :200m/分
  送り   :1.2mm/刃
  切込み深さ:1mm
  切削油材 :エアーブロー
  切削長  :1m
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
 上述した表2及び表3に示すように、アルミニウム(Al),クロム(Cr),ケイ素(Si)の窒化物(N)からなるA層と、アルミニウム(Al),クロム(Cr),イットリウム(Y)の窒化物(N)からなるB層とが交互に1層以上積層してなる上部層を表面に有し、前記上部層を金属窒化物の表面に設けた表面被覆材料とすることにより、基材11あるいは上部層13での耐剥離性及び耐チッピング性を改善することができることが確認された。これにより、アルミニウム(Al),クロム(Cr),ケイ素(Si),イットリウム(Y)を主成分とする複合窒化物である上部層13が本来持っている高温領域での耐摩耗性に優れた特性を十分に発揮させることができる。
 [確認試験2]
 本試験において、アークイオンプレーティング装置を用いて高速度工具鋼SKH55を基材とした舞ツール工具(切削工具)の表面に以下の表4に示す表面被覆材料を設けた試験体及び比較体及び参考体を作製した。これら試験体及び比較体及び参考体に対し、上記確認試験1と同じ切削条件で加工試験を行い、工具の逃げ面摩耗幅を測定した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
 上述した表5及び表6に示すように、アルミニウム(Al),クロム(Cr),ケイ素(Si)の窒化物(N)からなるA層と、アルミニウム(Al),クロム(Cr),ケイ素(Si),イットリウム(Y)の窒化物(N)からなるB層とが交互に1層以上積層してなる上部層を表面に有し、前記上部層を金属窒化物の表面に設けた表面被覆材料とすることにより、基材11あるいは上部層13での耐剥離性及び耐チッピング性を改善することができることが確認された。これにより、アルミニウム(Al),クロム(Cr),ケイ素(Si),イットリウム(Y)を主成分とする複合窒化物である上部層13が本来持っている高温領域での耐摩耗性に優れた特性を十分に発揮させることができる。
 本発明に係る表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械は、高耐剥離性及び高耐チッピング性を発現することができ、上部層が本来持っている高温領域での耐摩耗性に優れた特性を十分に発揮させることができるので、産業上、極めて有益に利用することができる。
10      表面被覆材料
11      基材
12      下部層
13      上部層
14      A層
15      B層

Claims (12)

  1.  アルミニウム,クロム,ケイ素の窒化物からなるA層と、アルミニウム,クロム,イットリウムの窒化物からなるB層とが交互に1層以上積層してなる上部層を表面に有し、
     前記上部層が、金属窒化物の表面に設けられている
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  2.  請求項1に記載された表面被覆材料であって、
     前記A層は、組成式:(Al1-a-bCraSib)Nで表した場合、原子比で、0.15≦a≦0.59、0.01≦b≦0.1を満足し、
     前記B層は、組成式:(Al1-c-dCrcd)Nで表した場合、原子比で、0.15≦c≦0.60、0.005≦d≦0.1を満足している
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  3.  請求項1または請求項2に記載された表面被覆材料であって、
     前記A層および前記B層の厚さは、それぞれ240nm以下である
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  4.  請求項1に記載された表面被覆材料であって、
     前記B層がさらにケイ素の窒化物を含む
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  5.  請求項4に記載された表面被覆材料であって、
     前記A層は、組成式:(Al1-a-bCraSib)Nで表した場合、原子比で、0.15≦a≦0.60、0.01≦b≦0.1を満足し、
     前記B層は、組成式:(Al1-c-d-eCrcSide)Nで表した場合、原子比で、0.15≦c≦0.60、0.01≦d≦0.1、0.005≦e≦0.1を満足している
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  6.  請求項4または請求項5に記載された表面被覆材料であって、
     前記A層および前記B層の厚さは、それぞれ150nm以下である
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  7.  請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載された表面被覆材料であって、
     前記上部層の厚さが2μm以上8μm以下である
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  8.  請求項1乃至請求項7の何れか一項に記載された表面被覆材料であって、
     前記金属窒化物が、チタン,アルミニウム,クロム,ジルコニウムのうちの少なくとも一種の窒化物からなる
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  9.  請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載された表面被覆材料であって、
     前記金属窒化物が、基材の表面に設けられている
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  10.  請求項9に記載された表面被覆材料であって、
     前記基材が、高速度工具鋼または超硬合金からなる
    ことを特徴とする表面被覆材料。
  11.  請求項1乃至請求項10の何れか一項に記載された表面被覆材料からなる
    ことを特徴とする切削工具。
  12.  請求項1乃至請求項10の何れか一項に記載された表面被覆材料からなる切削工具を備えている
    ことを特徴とする工作機械。
PCT/JP2014/052025 2013-02-07 2014-01-30 表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械 WO2014123053A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014560738A JP5973001B2 (ja) 2013-02-07 2014-01-30 表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械
CN201480002862.6A CN104755201B (zh) 2013-02-07 2014-01-30 表面包覆材料、利用该表面包覆材料的切削工具及机床
US14/439,978 US9528186B2 (en) 2013-02-07 2014-01-30 Surface-coating material, cutting tool in which said material is used, and working machine in which said material is used

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013-022091 2013-02-07
JP2013022091 2013-02-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2014123053A1 true WO2014123053A1 (ja) 2014-08-14

Family

ID=51299649

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2014/052025 WO2014123053A1 (ja) 2013-02-07 2014-01-30 表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9528186B2 (ja)
JP (1) JP5973001B2 (ja)
CN (1) CN104755201B (ja)
WO (1) WO2014123053A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106283049A (zh) * 2016-10-25 2017-01-04 郑州航空工业管理学院 用于航空涡桨发动机桨叶的耐摩擦耐冲蚀膜及其制备方法
WO2019188783A1 (ja) * 2018-03-27 2019-10-03 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
WO2019188967A1 (ja) * 2018-03-27 2019-10-03 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6726403B2 (ja) * 2015-08-31 2020-07-22 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
CN111519145A (zh) * 2020-05-28 2020-08-11 宁波迈柯新材料科技有限公司 压铸模具表面AlCrYN/AlCrSiN纳米复合梯度涂层及其制备方法
DE102022113731A1 (de) * 2022-05-31 2023-11-30 Hartmetall-Werkzeugfabrik Paul Horn Gmbh Beschichtetes Werkzeugteil und Beschichtungsverfahren

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009037776A1 (ja) * 2007-09-20 2009-03-26 Osg Corporation 硬質積層被膜、硬質積層被膜被覆工具、および被膜形成方法
JP2009101491A (ja) * 2007-10-25 2009-05-14 Mitsubishi Materials Corp 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
WO2010150411A1 (ja) * 2009-06-26 2010-12-29 オーエスジー株式会社 硬質被膜、および硬質被膜被覆工具
JP2011045970A (ja) * 2009-08-27 2011-03-10 Osg Corp 硬質被膜、および硬質被膜被覆工具

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3039381B2 (ja) 1996-07-12 2000-05-08 山口県 耐高温酸化特性に優れた複合硬質皮膜の形成法
JP3963354B2 (ja) 2001-07-13 2007-08-22 日立ツール株式会社 被覆切削工具
JP2005330539A (ja) 2004-05-20 2005-12-02 Tungaloy Corp 耐摩耗性被覆部材
JP4702520B2 (ja) 2005-02-14 2011-06-15 三菱マテリアル株式会社 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
JP4950499B2 (ja) * 2006-02-03 2012-06-13 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜およびその成膜方法
CN101426947A (zh) * 2006-04-21 2009-05-06 塞美康股份公司 涂覆体
JP4713413B2 (ja) * 2006-06-30 2011-06-29 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜およびその製造方法
JP5261981B2 (ja) 2007-05-17 2013-08-14 日立ツール株式会社 被覆切削工具
GB2450933A (en) * 2007-07-13 2009-01-14 Hauzer Techno Coating Bv Method of providing a hard coating
JP5067060B2 (ja) * 2007-07-31 2012-11-07 凸版印刷株式会社 キャップ式部分洗浄除去装置
JP5099495B2 (ja) 2007-10-16 2012-12-19 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
JP5234499B2 (ja) 2008-05-28 2013-07-10 三菱マテリアル株式会社 高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP5234931B2 (ja) * 2008-06-23 2013-07-10 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜被覆部材および成形用冶工具
JP2010137335A (ja) 2008-12-12 2010-06-24 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具
JP2010137336A (ja) 2008-12-12 2010-06-24 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具
JP5304228B2 (ja) * 2008-12-25 2013-10-02 日本電気株式会社 三次元架橋ポリウレタンの製造方法、及びこれを用いた成形体
JP2010207916A (ja) 2009-03-06 2010-09-24 Mitsubishi Materials Corp 表面被覆切削工具

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009037776A1 (ja) * 2007-09-20 2009-03-26 Osg Corporation 硬質積層被膜、硬質積層被膜被覆工具、および被膜形成方法
JP2009101491A (ja) * 2007-10-25 2009-05-14 Mitsubishi Materials Corp 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた潤滑性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
WO2010150411A1 (ja) * 2009-06-26 2010-12-29 オーエスジー株式会社 硬質被膜、および硬質被膜被覆工具
JP2011045970A (ja) * 2009-08-27 2011-03-10 Osg Corp 硬質被膜、および硬質被膜被覆工具

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106283049A (zh) * 2016-10-25 2017-01-04 郑州航空工业管理学院 用于航空涡桨发动机桨叶的耐摩擦耐冲蚀膜及其制备方法
WO2019188783A1 (ja) * 2018-03-27 2019-10-03 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
WO2019188967A1 (ja) * 2018-03-27 2019-10-03 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
CN104755201A (zh) 2015-07-01
US20150299866A1 (en) 2015-10-22
JPWO2014123053A1 (ja) 2017-02-02
US9528186B2 (en) 2016-12-27
JP5973001B2 (ja) 2016-08-17
CN104755201B (zh) 2017-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5973001B2 (ja) 表面被覆材料及びこれを利用する切削工具及び工作機械
JP6014959B2 (ja) 表面被覆切削工具
KR101818280B1 (ko) 다층 코팅을 포함하는 절삭 공구
JP2013534186A5 (ja)
US11359272B2 (en) Hard film having excellent wear resistance and toughness
JP6601694B2 (ja) 被覆切削工具
KR20170008295A (ko) 적층형 경질 피막 및 절삭 공구
JP2014087858A (ja) 切削工具
JP3586217B2 (ja) 耐摩耗皮膜被覆工具
KR101702255B1 (ko) 내마모성이 우수한 적층 피막
JP2009148856A (ja) 表面被覆切削工具
CN113166919B (zh) 切削工具用硬质涂层
JP7110352B2 (ja) 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
KR101727420B1 (ko) 내마모성이 우수한 적층 피막
JP5734318B2 (ja) 硬質積層被膜
JP5214392B2 (ja) 被覆切削工具基材
WO2023120080A1 (ja) 帯鋸刃
JP4459936B2 (ja) 切削工具用硬質皮膜
JP4716006B2 (ja) 合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具
JP2002337004A (ja) 耐摩耗皮膜被覆工具
JP2005238402A (ja) 硬質皮膜被覆工具及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 14748524

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2014560738

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14439978

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 14748524

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1