WO2014115707A1 - プラズマ生成装置、及び内燃機関 - Google Patents

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WO2014115707A1
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plasma generating
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池田　裕二
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イマジニアリング株式会社
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    • F02P23/045—Other physical ignition means, e.g. using laser rays using electromagnetic microwaves
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    • H05H1/24—Generating plasma
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    • F02P15/02—Arrangements having two or more sparking plugs
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    • F02P9/00—Electric spark ignition control, not otherwise provided for
    • F02P9/002—Control of spark intensity, intensifying, lengthening, suppression
    • F02P9/007—Control of spark intensity, intensifying, lengthening, suppression by supplementary electrical discharge in the pre-ionised electrode interspace of the sparking plug, e.g. plasma jet ignition

Definitions

  • the present invention relates to a plasma generator and an internal combustion engine equipped with the plasma generator.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-38025 describes a plasma generation device that generates a spark discharge in a discharge gap of a spark plug and radiates a microwave toward the discharge gap to expand the plasma.
  • plasma generated by spark discharge receives energy from a microwave pulse. This accelerates electrons in the plasma region, promotes ionization, and increases the volume of the plasma.
  • Japanese Patent Laid-Open No. 2006-132518 discloses an ignition device for an internal combustion engine that generates a plasma discharge by radiating electromagnetic waves from an electromagnetic wave radiator into a combustion chamber.
  • An ignition electrode insulated from the piston is provided on the upper surface of the piston. The ignition electrode serves to locally increase the electric field strength of the electromagnetic wave in the combustion chamber in the vicinity thereof. As a result, a plasma discharge is generated in the vicinity of the ignition electrode.
  • the plasma generating apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-38025 requires at least two power sources: a high voltage power source for causing discharge in the spark plug and a high frequency power source for emitting microwaves.
  • a high voltage power source for causing discharge in the spark plug
  • a high frequency power source for emitting microwaves.
  • the plasma generator is used in a combustion chamber of an automobile engine or the like, the installation space is limited, and thus there is a disadvantage that it is difficult to secure an installation place in such a plasma generator that requires a plurality of power sources.
  • a transmission system in such a plasma generation apparatus requires both a high voltage delivery system and an electromagnetic wave delivery system for a conventional spark plug, it is highly complicated.
  • the present invention has been made in view of such points, and the object thereof is a plasma generation apparatus that generates plasma by electromagnetic waves in a target space, and does not require a plurality of power supplies, complicated systems, and the like.
  • An object of the present invention is to provide a plasma generating apparatus that can reduce the amount of electric power and efficiently generate, expand and maintain plasma.
  • the invention made to solve the above problems is An electromagnetic wave oscillator that oscillates an electromagnetic wave, and a plasma generation apparatus including a control device that controls the electromagnetic wave oscillator, A booster circuit that resonates electromagnetic waves oscillated from the electromagnetic wave oscillator and generates a high voltage; And a discharge electrode for discharging the high voltage generated by the booster circuit.
  • the plasma generating apparatus of the present invention can generate, expand, and maintain plasma with only electromagnetic waves, so only one power source is required. Further, the plasma generating apparatus can generate a high voltage by including a booster circuit that resonates electromagnetic waves, and can efficiently generate sparks and generate plasma with only electromagnetic waves.
  • the booster circuit preferably includes a resonant circuit capacitively coupled to the electromagnetic wave oscillator.
  • the plasma generation apparatus can efficiently generate a high voltage, and can thereby generate a stable spark using only electromagnetic waves.
  • the booster circuit preferably includes a plurality of the resonance circuits.
  • the booster circuit since the booster circuit includes a plurality of resonance circuits, it is possible to generate a higher voltage, and therefore it is possible to generate a spark more stably only with an electromagnetic wave.
  • At least one of the resonance circuits is a parallel resonance circuit. Since the plasma generating apparatus includes the parallel resonant circuit, the plasma generating apparatus can generate a high voltage more efficiently. Therefore, the plasma generating apparatus can stably generate a spark only with an electromagnetic wave.
  • a series resonance circuit can be further provided on the discharge electrode side from the parallel resonance circuit.
  • the series resonance circuit plasma is generated from the discharge electrode, and even when the resistance becomes low, matching with the electromagnetic wave oscillator is maintained and reflection of the electromagnetic wave is reduced.
  • the resonance frequencies of the parallel resonance circuit and the series resonance circuit are substantially the same.
  • the control device controls the electromagnetic wave oscillator to oscillate according to an oscillation pattern including an electromagnetic wave pulse under a condition for causing a spark discharge at the discharge electrode and an electromagnetic wave pulse under a condition for expanding and maintaining the plasma generated by the spark discharge. It is preferable.
  • the plasma generation apparatus uses an oscillation pattern including an electromagnetic wave pulse under a condition for causing spark discharge and an electromagnetic wave pulse under a condition for expanding and maintaining the generated plasma using power lower than the electromagnetic wave pulse. Generation, expansion, and maintenance can be performed efficiently, and as a result, total power consumption can be reduced.
  • the oscillation pattern further includes an electromagnetic wave pulse under a condition for generating non-equilibrium plasma before the electromagnetic wave pulse under a condition for causing the spark discharge.
  • the plasma generation apparatus of the present invention can reduce the electric power required for spark discharge by generating non-equilibrium plasma before spark discharge.
  • the electromagnetic wave pulse under the condition for generating the non-equilibrium plasma is preferably an electromagnetic wave pulse under a condition for causing streamer discharge.
  • the streamer discharge can easily generate non-equilibrium plasma by applying a short pulse voltage of less than 1 microsecond, for example.
  • the plasma generator of the present invention is suitably used for an internal combustion engine. Since the plasma generation apparatus can efficiently generate, expand, and maintain plasma with only electromagnetic waves, the combustion efficiency can be further improved when used in an internal combustion engine.
  • the present invention also includes an internal combustion engine including the above-described plasma generation apparatus of the present invention and an internal combustion engine body in which a combustion chamber is formed.
  • the internal combustion engine of the present invention is excellent in combustion efficiency because it includes the above-described plasma generation device that can efficiently generate, maintain, and expand plasma with only electromagnetic waves.
  • the plasma generation apparatus of the present invention can generate a high voltage by including a booster circuit that resonates electromagnetic waves, and can generate sparks only by electromagnetic waves. For this reason, the plasma generating apparatus requires only one power source, and does not require a complicated transmission line.
  • the plasma generating apparatus uses a predetermined oscillation pattern including an electromagnetic wave pulse under a condition for causing a spark discharge and an electromagnetic wave pulse under a condition for causing a discharge for expanding and maintaining the generated plasma. Therefore, generation, expansion, and maintenance of plasma can be efficiently performed only by electromagnetic waves, and power consumption can be reduced.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an internal combustion engine according to Embodiment 1.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a plasma generation apparatus according to Embodiment 1.
  • FIG. 2 is an equivalent circuit of the plasma generation apparatus according to the first embodiment. 2 is an example of an electromagnetic wave oscillation pattern of the plasma generation apparatus according to the first embodiment. 6 is an example of an electromagnetic wave oscillation pattern of a plasma generation apparatus according to a first modification of the first embodiment. It is another longitudinal cross-sectional view of the plasma production apparatus concerning Embodiment 1. 3 is another equivalent circuit of the plasma generation apparatus according to the first embodiment.
  • Plasma generator This Embodiment 1 is a plasma generator according to the present invention. As shown in FIG. 1, the plasma generation apparatus includes an electromagnetic wave power source 2, an electromagnetic wave oscillator 3, a booster circuit 6, a discharge electrode 5, and a control device 4.
  • the electromagnetic wave power source 2 When receiving an electromagnetic wave oscillation signal (for example, a TTL signal) from the control device 4, the electromagnetic wave power source 2 outputs a pulse current to the electromagnetic wave oscillator 3 in a pattern in which a predetermined duty ratio, a pulse time, and the like are set.
  • an electromagnetic wave oscillation signal for example, a TTL signal
  • the electromagnetic wave oscillator 3 is, for example, a semiconductor oscillator.
  • the electromagnetic wave oscillator 3 is electrically connected to the electromagnetic wave power source 2.
  • the electromagnetic wave oscillator 3 When receiving a pulse current from the electromagnetic wave power source 2, the electromagnetic wave oscillator 3 outputs a microwave pulse to the booster circuit 6.
  • the booster circuit 6 includes a center electrode 53 of the input unit, a center electrode 56 of the output unit, an electrode 54 of the coupling unit, a ground coil 55, and an insulator 59.
  • the center electrode 53 is installed in the microwave plasma plug 50 from the electromagnetic wave oscillator 3 through the input unit 52 and is capacitively coupled through the electrode 54 of the coupling unit and the insulator 59.
  • One end of the center electrode 56 of the output part is directly connected to the electrode 54 of the coupling part.
  • the other end of the center electrode 56 of the output part is the discharge electrode 5.
  • a portion other than the discharge electrode 5 of the center electrode 56 of the output portion is covered with an insulating material 59, and a coil structure of the ground coil 55 is formed around the portion.
  • ground coil 55 One end of the ground coil 55 is connected to the electrode 54 of the coupling portion, and the other end is grounded in the vicinity of the discharge electrode.
  • the stray capacitance between the ground coil 55 and the outer case 51 and the stray capacitance between the electrode 54 and the outer case 51 in the coupling portion resonate to generate a high voltage.
  • the coil structure portion of the ground coil 55 is embedded in the insulating material 59. The generated high voltage is discharged from the discharge electrode 5 toward the ground electrode 57 in the vicinity thereof.
  • the booster circuit 6 is built in the microwave plasma plug 50 as shown in FIG.
  • the equivalent circuit of the booster circuit 6 is shown in FIG.
  • the booster circuit 6 includes a parallel resonant circuit that is capacitively coupled to the electromagnetic wave oscillator 3 and includes a coil L1 and a capacitor C2. Furthermore, a resonance circuit including a coil L2 and a capacitor C3, which is capacitively coupled to the electromagnetic wave oscillator 3, is included.
  • the ratio of the frequency of the resonance circuit to the frequency of the parallel resonance circuit is preferably 0.80 or more and 1.20 or less, more preferably 0.90 or more and 1.10 or less, and 0.95 or more and 1 or less. Is more preferably 0.05 or less, and most preferably 1.00.
  • a series resonance circuit can be further provided on the discharge electrode 58 pole side from the parallel resonance circuit.
  • the booster circuit 60 in this case is shown in FIG. 6, and the equivalent circuit of the booster circuit 60 is shown in FIG.
  • the booster circuit 60 includes a series resonance circuit including a coil L2 and a capacitor C4 on the discharge electrode 58 side of a parallel resonance circuit including a coil L1 and a capacitor C2.
  • the end of the discharge electrode 58 that also serves as the coil L2 is separated from the electrode 54 of the coupling portion, and a capacitor C4 is configured between the end portion of the discharge electrode 58 and the electrode 54.
  • the resonance frequencies of the parallel resonance circuit and the series resonance circuit are substantially the same.
  • the control device 4 In a specific plasma generation operation, first, the control device 4 outputs an electromagnetic wave oscillation signal under conditions that cause spark discharge.
  • the electromagnetic wave power source 2 When receiving the electromagnetic wave oscillation signal from the control device 4, the electromagnetic wave power source 2 outputs a pulse current with a predetermined duty ratio over a predetermined set time.
  • the electromagnetic wave oscillator 3 outputs an electromagnetic wave pulse with a predetermined duty ratio over a set time.
  • the electromagnetic wave pulse output from the electromagnetic wave oscillator 3 becomes a high voltage by the boost circuit 6 resonating between the stray capacitance between the ground coil 55 and the outer case 51 and the stray capacitance between the electrode 54 and the outer case 51 of the coupling portion.
  • discharge occurs from the discharge electrode 5 toward the ground electrode 57, and spark is generated. Due to this spark, electrons are emitted from the gas molecules in the vicinity of the discharge electrode 5 to generate plasma.
  • the control device 4 outputs an electromagnetic wave oscillation signal under a condition for maintaining and expanding the plasma.
  • the electromagnetic wave power source 2 When receiving the electromagnetic wave oscillation signal from the control device 4, the electromagnetic wave power source 2 outputs a pulse current with a predetermined duty ratio over a predetermined set time.
  • the electromagnetic wave oscillator 3 outputs an electromagnetic wave pulse with a predetermined duty ratio over a set time.
  • the microwave (assist microwave) output from the electromagnetic wave oscillator 3 is discharged from the discharge electrode 5 through the booster circuit 6. Thereby, the plasma generated by the spark discharge can be maintained and expanded.
  • FIG. 5 shows an example of a predetermined oscillation pattern including an electromagnetic wave pulse under a condition for causing a spark discharge and an electromagnetic wave pulse under a condition for maintaining and expanding the generated plasma in the plasma generation apparatus 1 of the present embodiment. That is, in order to generate a spark discharge in the discharge electrode 5 and generate plasma, it is necessary to radiate a microwave having a certain power or more. Such a microwave may be a single pulse, or a plurality of pulses over a predetermined duty ratio and a predetermined set time as required. Thereafter, the plasma can be maintained and expanded by oscillating microwaves for a predetermined set time with a predetermined duty ratio. The electric power necessary for maintaining and expanding the plasma can be kept lower than the electric power necessary for causing the spark discharge.
  • the generated plasma functions as a resistance, so that the voltage is lowered. Therefore, even when the oscillation of the electromagnetic wave pulse under the condition for causing the spark discharge is continued, after the plasma is generated by the spark, it is naturally controlled and becomes a low voltage, and the plasma can be maintained and expanded.
  • the plasma generating apparatus 1 can generate a high voltage by including the booster circuit 6 that resonates the electromagnetic wave, and can generate a spark only by the electromagnetic wave. Therefore, plasma can be generated, maintained, and expanded only in the target space with the electromagnetic wave, and only the electromagnetic wave power source 2 is sufficient as the power source, and a complicated transmission line or the like is not required. Furthermore, since a predetermined oscillation pattern including an electromagnetic wave pulse under conditions that cause spark discharge and an electromagnetic pulse under conditions that expand and maintain the generated plasma is used, plasma generation, expansion, and maintenance can be efficiently performed only by electromagnetic waves. And total power consumption can be reduced. Further, since the center electrode 56 of the output portion passes through the inside of the coil structure portion of the ground coil 55, the diameter of the microwave plasma plug can be further reduced.
  • the first modification of the first embodiment is partially different from the first embodiment in the plasma generation operation. That is, as shown in FIG. 6, first, the control device 4 outputs an electromagnetic wave oscillation signal under a condition for generating non-equilibrium plasma before outputting an electromagnetic wave oscillation signal under a condition for causing spark discharge. Thereby, the electromagnetic wave power source 2 outputs a pulse current for a predetermined set time with a predetermined duty ratio. An electromagnetic pulse is oscillated by the output pulse current, and is discharged from the discharge electrode 5 through the high voltage circuit 6. By this discharge, electrons are emitted from the gas molecules in the target space, and non-equilibrium plasma is generated.
  • an electromagnetic pulse under the condition for generating such non-equilibrium plasma an electromagnetic pulse under the condition for causing streamer discharge is preferable.
  • a dielectric barrier discharge electrode (not shown) is further provided in the vicinity of the discharge electrode 5 of the microwave plasma plug 50.
  • the dielectric barrier discharge electrode is covered with an insulator. Due to the discharge from the dielectric barrier discharge electrode, non-equilibrium plasma is generated in the target space. Similarly to the microwave plasma plug 50, the discharge from the dielectric barrier discharge electrode is also controlled by the control device 4.
  • the discharge electrode 5 causes a spark discharge and the assist discharge.
  • the installation position of the electromagnetic wave radiation antenna covered with the insulator in this modification is not particularly limited as long as the effect of the present invention is not hindered, but is located in the vicinity of the discharge electrode 5 of the microwave plasma plug 50, It is preferable to dispose the dielectric barrier discharge in the region where the spark discharge occurs.
  • the pattern shown in FIG. 6 is mentioned.
  • the control device 4 first outputs an electromagnetic wave oscillation signal under a condition for generating non-equilibrium plasma by dielectric barrier discharge.
  • the electromagnetic wave power source 2 outputs a pulse current at a predetermined duty ratio for a predetermined set time, and promotes discharge from the dielectric barrier discharge electrode. By this discharge, electrons are emitted from the gas molecules in the target space, and non-equilibrium plasma is generated.
  • the control device 4 outputs an electromagnetic wave oscillation signal under conditions that cause spark discharge.
  • the electromagnetic wave power source 2 When receiving the electromagnetic wave oscillation signal from the control device 4, the electromagnetic wave power source 2 outputs a pulse current with a predetermined duty ratio over a predetermined set time.
  • the electromagnetic wave oscillator 3 outputs an electromagnetic wave pulse with a predetermined duty ratio over a set time.
  • the electromagnetic wave pulse output from the electromagnetic wave oscillator 3 causes a spark discharge through a booster circuit. By this spark discharge, electrons are emitted from gas molecules in the target space, and plasma is generated.
  • the control device 4 gives energy to the plasma and outputs an electromagnetic wave oscillation signal that causes discharge under conditions for expanding and maintaining the plasma.
  • the electromagnetic wave power source 2 When receiving the electromagnetic wave oscillation signal from the control device 4, the electromagnetic wave power source 2 outputs a pulse current with a predetermined duty ratio over a predetermined set time.
  • the electromagnetic wave oscillator 3 outputs an electromagnetic wave pulse with a predetermined duty ratio over a set time.
  • the microwave (assist microwave) output from the electromagnetic wave oscillator 3 is discharged from the discharge electrode 5 through the booster circuit, and can give energy to the plasma generated by the spark discharge, thereby expanding and maintaining the plasma.
  • the energy state of the gas molecules in the target space can be increased by the dielectric barrier discharge, so that the power required for the spark discharge can be reduced.
  • the total amount of electric power required in the entire process can be reduced.
  • the voltage used in spark discharge can be reduced, the wear of the discharge electrode 5 can also be prevented.
  • Embodiment 2 is an internal combustion engine 10 provided with a plasma generation device 12 according to the present invention.
  • the plasma generator 12 generates microwave plasma using the combustion chamber 20 as a target space.
  • the internal combustion engine 10 is a direct-injection gasoline engine.
  • the internal combustion engine 10 includes an internal combustion engine body 11 and a plasma generator 12.
  • the internal combustion engine body 11 includes a cylinder block 21, a cylinder head 22, and a piston 23.
  • the cylinder block 21 is formed with a plurality of cylinders having a circular cross section.
  • a piston 23 is provided in each cylinder 24 so as to reciprocate.
  • the piston 23 is connected to the crankshaft via a connecting rod (not shown).
  • the crankshaft is rotatably supported by the cylinder block 21.
  • the cylinder head 22 is placed on the cylinder block 21 with the gasket 18 in between.
  • the cylinder head 22 defines the combustion chamber 20 together with the cylinder 24 and the piston 23.
  • the cylinder head 22 is provided with one microwave plasma plug 50 for each cylinder 24.
  • the tip portion 50a of the microwave plasma plug 50 functions as a discharge electrode.
  • the microwave plasma plug 50 constitutes a part of the plasma generation device 12.
  • the microwave plasma plug 50 has the same shape as a spark plug of a conventional automobile engine, and incorporates an electromagnetic wave oscillator 3 and a discharge electrode 5.
  • an intake port 25 and an exhaust port 26 are formed for each cylinder 24.
  • the intake port 25 is provided with an intake valve 27 that opens and closes the intake port 25.
  • the exhaust port 26 is provided with an exhaust valve 28 for opening and closing the exhaust port 26.
  • the cylinder head 22 is provided with one injector 29 for each cylinder 24.
  • the injector 29 projects into the combustion chamber 20 from between the openings of the two intake ports 25.
  • the injector 29 injects fuel from a plurality of nozzles in different directions.
  • the injector 29 injects fuel toward the top surface of the piston 23.
  • plasma generation operation in the internal combustion engine of the present embodiment will be described.
  • plasma is generated by discharging from the tip portion 50a of the microwave plasma plug 50 that functions as a discharge electrode.
  • the control device 4 outputs an electromagnetic wave oscillation signal that causes a spark discharge.
  • the electromagnetic wave power source 2 When receiving the electromagnetic wave oscillation signal from the control device 4, the electromagnetic wave power source 2 outputs a pulse current with a predetermined duty ratio over a predetermined set time.
  • the electromagnetic wave oscillator 3 outputs an electromagnetic wave pulse with a predetermined duty ratio over a set time.
  • the electromagnetic wave pulse output from the electromagnetic wave oscillator 3 becomes a high voltage by the booster circuit 6 incorporated in the microwave plasma plug 50 and causes a spark discharge in the vicinity of the tip portion 50 a of the microwave plasma plug 50. Electrons are emitted from the fuel gas molecules in the reaction chamber 20 by this spark discharge, and plasma is generated.
  • the control device 4 gives energy to the plasma and outputs an electromagnetic wave oscillation signal under a condition for expanding and maintaining the plasma.
  • the electromagnetic wave power source 2 When receiving the electromagnetic wave oscillation signal from the control device 4, the electromagnetic wave power source 2 outputs a pulse current at a predetermined duty ratio for a predetermined set time.
  • the electromagnetic wave oscillator 3 outputs an electromagnetic wave pulse with a predetermined duty ratio over a set time.
  • the electromagnetic wave pulse output from the electromagnetic wave oscillator 3 becomes a high voltage through the booster circuit 6 and discharges at the tip portion 50a of the microwave plasma plug 50, giving energy to the plasma generated by the spark discharge, and expanding the plasma. Can be maintained.
  • FIG. 1 As an example of a predetermined oscillation pattern including an electromagnetic wave pulse under a condition for causing a spark discharge and an electromagnetic wave pulse under a condition for expanding and maintaining the generated plasma, FIG. The pattern shown can be mentioned. That is, in order to generate a spark discharge in the reaction chamber 20 and generate plasma, an electromagnetic wave pulse with a certain power or more is required. Such an electromagnetic wave pulse may be a single pulse, or a plurality of pulses over a predetermined duty ratio and a predetermined set time as required. Thereafter, in order to maintain and expand the generated plasma, an electromagnetic wave pulse is oscillated over a predetermined set time with a predetermined duty ratio. The expansion and maintenance of this plasma requires only a lower power than that required to cause a spark discharge.
  • an internal combustion engine including a conventional plasma generation device including a spark plug using a high voltage and a microwave radiation antenna by using the same plasma generation device as that of the first embodiment an internal combustion engine including a conventional plasma generation device including a spark plug using a high voltage and a microwave radiation antenna by using the same plasma generation device as that of the first embodiment.
  • a plurality of power sources are not required, and complicated transmission lines are not required.
  • the electromagnetic wave oscillator 3 and the discharge electrode 5 can be incorporated in a microwave plasma plug 50 having the same shape as a spark plug of a conventional automobile engine. For this reason, when the plasma generating apparatus of the present embodiment is used for an automobile engine, it is not necessary to change the structure of the engine itself.
  • the first modification of the second embodiment includes the same plasma generator as that of the first modification of the first embodiment. Details of such a plasma generation apparatus have been described in detail in Modification 1 of Embodiment 1, and thus description thereof is omitted here. In the internal combustion engine of the present modification, the total amount of necessary electric power can be reduced by including such a plasma generation device.
  • the second modification of the second embodiment includes the same plasma generator as that of the second modification of the first embodiment. Details of such a plasma generation apparatus have been described in detail in Modification 2 of Embodiment 1, and thus description thereof is omitted here.
  • the installation position of the dielectric barrier discharge electrode in this modification is not particularly limited as long as the effect of the present invention is not hindered, but it is in the vicinity of the discharge electrode 5 so as to cause the dielectric barrier discharge in the spark discharge region. It is preferable that it is arrange
  • the plasma generation apparatus can be used as an exhaust gas decomposition apparatus.
  • the exhaust gas decomposition apparatus includes an electromagnetic wave power source, an electromagnetic wave oscillator, a control device, a microwave plasma plug containing a booster circuit and a discharge electrode, and a microwave resonance cavity (cavity) that resonates a predetermined electromagnetic wave band. Since the plasma generating apparatus of the present invention can generate effective plasma only by electromagnetic waves, a complicated system such as a transmission line is unnecessary, and further contributes to reduction of power consumption.
  • harmful emissions, chemical substances, suspended particulate matter, soot, etc. are chemically oxidized and reacted using products (OH radicals, ozone (O 3 )) by plasma.
  • products OH radicals, ozone (O 3 )
  • plasma can be efficiently generated in the fluid in the microwave resonant cavity (cavity).
  • the plasma generating apparatus of the present invention is suitably used as an ozone generating / sterilizing / disinfecting apparatus and deodorizing apparatus.
  • the plasma generation apparatus of the present invention is used, high-pressure steam containing moisture can be efficiently converted into a large amount of OH radicals and O 3 .
  • the exhaust gas quantity of OH radicals with have a strong oxidizing power of O 3 to decompose into harmless gases, to generate a large amount of O 3 for the ozone layer repair of stratospheric destroyed by freon Can do.
  • the plasma generation apparatus of the present invention can improve the generation / expansion efficiency of plasma with respect to the electric power used, these apparatuses including the plasma generation apparatus perform ozone generation / sterilization / disinfection / deodorization more efficiently. I can do this.
  • the plasma generation apparatus of the present invention can generate, expand, and maintain plasma only with electromagnetic waves, so that only one power source is required and no complicated transmission line or the like is required. Furthermore, since a predetermined oscillation pattern including an electromagnetic wave pulse under conditions that cause spark discharge and an electromagnetic pulse under conditions that expand and maintain the generated plasma is used, plasma generation, expansion, and maintenance can be efficiently performed only by electromagnetic waves. And the total amount of power consumption can be reduced. Therefore, the plasma generation apparatus of the present invention is suitably used for internal combustion engines such as automobile engines, exhaust gas decomposition apparatuses, and the like.

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Abstract

　本発明は、電磁波を放射することにより電磁波プラズマを生成するプラズマ生成装置において、複数の電源、複雑なシステム等を必要とせず、必要な電力量を低減し、プラズマの発生、拡大及び維持を効率よく行えるプラズマ生成装置の供給を課題とする。本発明は、電磁波を発振する電磁波発振器、及び上記電磁波発振器を制御する制御装置を備えるプラズマ生成装置であって、上記電磁波発振器から発振される電磁波を共振させて高電圧を発生させる昇圧回路と、上記昇圧回路により発生した高電圧を放電させる放電電極とを備えることを特徴とする。

Description

プラズマ生成装置、及び内燃機関
　本発明は、プラズマ生成装置及びそのプラズマ生成装置を備えた内燃機関に関する。
　従来から、対象空間に電磁波を放射して電磁波プラズマを生成するプラズマ生成装置が知られている。例えば特開２００９－３８０２５号公報及び特開２００６－１３２５１８号公報には、この種のプラズマ生成装置が記載されている。
　特開２００９－３８０２５号公報には、スパークプラグの放電ギャップでスパーク放電を生じさせると共に、その放電ギャップに向けてマイクロ波を放射してプラズマを拡大するプラズマ生成装置が記載されている。このプラズマ生成装置では、スパーク放電により生成されたプラズマがマイクロ波パルスからエネルギーを受ける。これにより、プラズマ領域の電子が加速され、電離が促進されて、プラズマの体積が増大する。
　また、特開２００６－１３２５１８号公報には、電磁波放射器から燃焼室内に電磁波を放射することによりプラズマ放電を発生させる内燃機関の点火装置が開示されている。ピストンの上面には、ピストンから絶縁された点火用電極が設けられている。点火用電極は、その近傍にて燃焼室内の電磁波の電界強度を局所的に高める役割を果たす。これにより点火用電極の近傍にてプラズマ放電が生成される。
特開２００９－３８０２５号公報 特開２００６－１３２５１８号公報
　しかし、特開２００９－３８０２５号公報に記載のプラズマ生成装置では、スパークプラグにおいて放電を起こさせるための高電圧電源、及びマイクロ波を放射するための高周波電源の少なくとも２つの電源が必要となる。例えばプラズマ生成装置を自動車エンジン等の燃焼室に用いる場合には設置スペースに限界があるため、このように複数の電源を要するプラズマ生成装置では設置場所を確保することが難しいという不都合がある。また、このようなプラズマ生成装置における伝送システムとしては、従来のスパークプラグに対する高電圧配送システムと電磁波配送システムの双方が必要とされるため、高度に複雑化される。一方、特開２００６－１３２５１８号公報に記載のプラズマ生成装置は、電磁波のみを用いてプラズマを生成するため、電源は１つしか必要ないものの電磁波のみで着火及び燃焼反応を起こさせるためには、高周波電源から多量の電力を供給する必要がある。
　本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、対象空間に電磁波によりプラズマを生成するプラズマ生成装置において、複数の電源、複雑なシステム等を必要とせず、さらには、必要な電力量を低減し、プラズマの発生、拡大及び維持を効率よく行うことができるプラズマ生成装置を供給することである。
　上記課題を解決するためになされた発明は、
　電磁波を発振する電磁波発振器、及び上記電磁波発振器を制御する制御装置を備えるプラズマ生成装置であって、
　上記電磁波発振器から発振される電磁波を共振させて高電圧を発生させる昇圧回路と、
　上記昇圧回路により発生した高電圧を放電させる放電電極とを備えることを特徴とするものである。
　本発明のプラズマ生成装置は、電磁波のみでプラズマを生成、拡大、維持させることができるため、電源は一つで足りる。さらに当該プラズマ生成装置は、電磁波を共振させる昇圧回路を含むことで高電圧を発生させることができ、電磁波のみで効率よくスパークを起こしプラズマを発生させることができる。
　上記昇圧回路は、上記電磁波発振器と容量結合した共振回路を含むことが好ましい。当該プラズマ生成装置は、上記共振回路を含むことで、効率的に高電圧を発生させることができ、それにより電磁波のみで安定してスパークを生じさせることができる。
　上記昇圧回路は、上記共振回路を複数含むことが好ましい。当該プラズマ装置は、上記昇圧回路が複数の共振回路を含むことで、より高い電圧を発生させることが可能となるため、電磁波のみでより安定してスパークを生じさせることができる。
　上記共振回路の少なくとも１つは、並列共振回路であることが好ましい。当該プラズマ生成装置は、上記並列共振回路を含むことで、より効率的に高電圧を発生させることができるため、電磁波のみで安定してスパークを生じさせることができる。
　また、上記並列共振回路より放電電極側に、さらに直列共振回路を備えることができる。直列共振回路を備えることで、放電電極からプラズマが発生し、低抵抗になっても電磁波発振器との整合を維持し、電磁波の反射を低減する。この場合、並列共振回路と直列共振回路の共振周波数は略同一とすることが好ましい。
　上記制御装置は、上記放電電極においてスパーク放電を引き起こす条件の電磁波パルスと、上記スパーク放電により生じたプラズマを拡大・維持させる条件の電磁波パルスとを含む発振パターンに従って発振するよう上記電磁波発振器を制御することが好ましい。
　当該プラズマ生成装置は、スパーク放電を起こす条件の電磁波パルスと、この電磁波パルスよりも低い電力を用い、生じたプラズマを拡大・維持させる条件の電磁波パルスとを含む発振パターンを用いることで、プラズマの生成、拡大、維持を効率よく行うことができ、その結果としてトータルの消費電力を低減することができる。
　上記発振パターンは、上記スパーク放電を引き起こす条件の電磁波パルスの前に、非平衡プラズマを生成させる条件の電磁波パルスをさらに含むことが好ましい。本発明のプラズマ生成装置は、スパーク放電の前に非平衡プラズマを生成させることで、スパーク放電の際に必要な電力をより低減することができる。
　上記非平衡プラズマを生成させる条件の電磁波パルスは、ストリーマ放電を起こす条件の電磁波パルスであることが好ましい。上記ストリーマ放電は、例えば１マイクロ秒未満の短パルス電圧を印加することで、簡便に非平衡プラズマを生成することができる。
　本発明のプラズマ生成装置は、内燃機関用として好適に用いられる。当該プラズマ生成装置は、電磁波のみで効率良くプラズマを生成、拡大、維持する事ができるため、内燃機関に用いた場合に、燃焼効率をより向上することができる。
　本発明は、上述の本発明のプラズマ生成装置と、燃焼室が形成された内燃機関本体とを備える内燃機関も含む。
　本発明の内燃機関は、電磁波のみで効率良くプラズマを生成、維持、拡大する事ができる上述のプラズマ生成装置を備えているため、燃焼効率により優れる。
　本発明のプラズマ生成装置は、電磁波を共振させる昇圧回路を含むことで高電圧を発生させることができ、電磁波のみでスパークを起こすことができる。そのため、当該プラズマ生成装置においては、電源が一つで足り、複雑な伝送線路等を必要としない。また、当該プラズマ生成装置は、スパーク放電を起こす条件の電磁波パルスと、生じたプラズマを拡大・維持させるための放電を起こす条件の電磁波パルスとを含む所定の発振パターンを用いる。そのため、電磁波のみによってもプラズマの生成、拡大、維持を効率よく行うことができ、消費電力を低減することができる。
実施形態１のプラズマ生成装置のブロック図である。 実施形態１に係る内燃機関の縦断面図である。 実施形態１に係るプラズマ生成装置の縦断面図である。 実施形態１に係るプラズマ生成装置の等価回路である。 実施形態１に係るプラズマ生成装置の電磁波発振パターンの一例である。 実施形態１の変形例１に係るプラズマ生成装置の電磁波発振パターンの一例である。 実施形態１に係るプラズマ生成装置の別の縦断面図である。 実施形態１に係るプラズマ生成装置の別の等価回路である。
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
＜実施形態１＞プラズマ生成装置
　本実施形態１は、本発明に係るプラズマ生成装置である。当該プラズマ生成装置は、図１に示すように、電磁波用電源２、電磁波発振器３、昇圧回路６、放電電極５及び制御装置４を備えている。
　電磁波用電源２は、制御装置４から電磁波発振信号（例えばＴＴＬ信号）を受けると、所定のデューティー比、パルス時間等を設定したパターンで電磁波発振器３にパルス電流を出力する。
　電磁波発振器３は、例えば半導体発振器である。電磁波発振器３は、電磁波用電源２に電気的に接続されている。電磁波発振器３は、電磁波用電源２からパルス電流を受けると、昇圧回路６にマイクロ波パルスを出力する。
　昇圧回路６は、図３に示すように、入力部の中心電極５３、出力部の中心電極５６、結合部の電極５４、接地コイル５５及び絶縁体５９を備える。中心電極５３は、電磁波発振器３から入力部５２を介してマイクロ波プラズマプラグ５０内に設置され、結合部の電極５４と絶縁体５９を介して容量結合している。出力部の中心電極５６の一方の端部は結合部の電極５４に直結している。出力部の中心電極５６のもう一方の端部は放電電極５となっている。出力部の中心電極５６の放電電極５以外の部分は絶縁材５９で覆われており、その周囲に接地コイル５５のコイル構造が形成されている。接地コイル５５の一方の端部は結合部の電極５４に接続しており、もう一方の端部は放電電極付近で接地している。接地コイル５５と外ケース５１との浮遊容量、及び結合部の電極５４と外ケース５１との浮遊容量が共振することで高電圧を発生する構造になっている。接地コイル５５のコイル構造部分は、絶縁材５９中に埋め込まれる構造となっている。発生した高電圧は、放電電極５からその近傍の接地電極５７に向かって放電される。なお、昇圧回路６は、図３に示すようにマイクロ波プラズマプラグ５０に内蔵されている。
　昇圧回路６の等価回路を図４に示す。昇圧回路６は、電磁波発振器３と容量結合した、コイルＬ１とコンデンサＣ２とからなる並列共振回路を含んでいる。さらに、電磁波発振器３と容量結合した、コイルＬ２とコンデンサＣ３とからなる共振回路を含んでいる。上記並列共振回路の周波数に対する上記共振回路の周波数の比は、０．８０以上１．２０以下であることが好ましく、０．９０以上１．１０以下であることがより好ましく、０．９５以上１．０５以下であることがさらに好ましく、１．００であることが最も好ましい。
　また、並列共振回路より放電電５８極側に、さらに直列共振回路を備えることができる。この場合の昇圧回路６０を図６に、昇圧回路６０の等価回路を図７に示す。この昇圧回路６０は、コイルＬ１とコンデンサＣ２とからなる並列共振回路より放電電極５８側に、コイルＬ２とコンデンサＣ４とからなる直列共振回路を備えている。具体的には、図６に示すように、コイルＬ２を兼ねる放電電極５８の末端が結合部の電極５４と分離し、放電電極５８の末端部分と電極５４との間でコンデンサＣ４を構成する。直列共振回路を備えることで、放電電極からプラズマが発生し、低抵抗になっても電磁波発振器との整合を維持し、電磁波の反射を低減する。この場合、並列共振回路と直列共振回路の共振周波数は略同一とすることが好ましい。
－プラズマ生成装置の動作－
　プラズマ生成装置１のプラズマ生成動作について説明する。プラズマ生成動作では、放電電極５からの放電により、放電電極５の近傍にプラズマが生じる。
　具体的なプラズマ生成動作では、まず制御装置４が、スパーク放電を起こす条件の電磁波発振信号を出力する。電磁波用電源２は、制御装置４からこのような電磁波発振信号を受けると、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってパルス電流を出力する。電磁波発振器３は、設定時間に亘って電磁波パルスを所定のデューティー比で出力する。電磁波発振器３から出力された電磁波パルスは、昇圧回路６により、接地コイル５５と外ケース５１との浮遊容量、及び結合部の電極５４と外ケース５１との浮遊容量が共振することで高電圧となり、放電電極５から接地電極５７に向かって放電が起こり、スパークを生じさせる。このスパークにより放電電極５の近傍のガス分子から電子が放出され、プラズマが生成される。
　引き続き制御装置４は、上記プラズマを維持・拡大する条件の電磁波発振信号を出力する。電磁波用電源２は、制御装置４からこのような電磁波発振信号を受けると、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってパルス電流を出力する。電磁波発振器３は、設定時間に亘って電磁波パルスを所定のデューティー比で出力する。電磁波発振器３から出力されたマイクロ波（アシストのマイクロ波）は、昇圧回路６を経て放電電極５から放電される。これにより、スパーク放電によって生じたプラズマを維持・拡大させることができる。
　本実施形態のプラズマ生成装置１における、スパーク放電を起こす条件の電磁波パルスと、生じたプラズマを維持・拡大させる条件の電磁波パルスとを含む所定の発振パターンの一例を図５に示した。すなわち、放電電極５においてスパーク放電を起こし、プラズマを発生させるためには、ある一定以上の電力のマイクロ波を放射することが必要である。このようなマイクロ波としては、一回のパルスであってもよいし、必要に応じて所定のデューティー比、所定の設定時間に亘る複数回のパルスであってもよい。その後、生じたプラズマに対して、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってマイクロ波を発振することで、プラズマを維持・拡大させることができる。このプラズマの維持・拡大のために必要な電力は、スパーク放電を起こすのに必要な電力よりも低く抑えることができる。
　なお、上述のように、スパーク放電を起こすことによりプラズマが発生すると、生じたプラズマが抵抗として機能するため電圧が低くなる。そのため、スパーク放電を起こす条件の電磁波パルスの発振を継続した場合であっても、スパークによりプラズマを生じさせた後自然に制御がかかり低電圧となり、プラズマを維持・拡大させることも可能である。
　電磁波発振信号の立ち上がり時点から所定の設定時間が経過すると、マイクロ波パルスの発振が停止され、マイクロ波プラズマが消滅する。
－実施形態１の効果－
　本実施形態１のプラズマ生成装置１は、電磁波を共振させる昇圧回路６を含むことで高電圧を発生させることができ、電磁波のみでスパークを起こすことができる。そのため、対象空間において、電磁波のみでプラズマを生成、維持、拡大させることができ、電源は電磁波用電源２のみで足り、複雑な伝送線路等を必要としない。さらには、スパーク放電を起こす条件の電磁波パルスと、生じたプラズマを拡大・維持させる条件の電磁波パルスを含む所定の発振パターンを用いるため、電磁波のみによってもプラズマの生成、拡大、維持を効率よく行うことができ、トータルでの消費電力を低減することができる。また、出力部の中心電極５６が接地コイル５５のコイル構造部分の内部を通る構造となっていることで、マイクロ波プラズマプラグの径をより細くすることも可能となる。
－実施形態１の変形例１－
　実施形態１の変形例１では、実施形態１とはプラズマの生成動作が一部異なる。すなわち、図６に示すように、まず制御装置４が、スパーク放電を起こす条件の電磁波発振信号を出力する前に、非平衡プラズマを生成する条件の電磁波発振信号を出力する。これにより、電磁波用電源２は、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってパルス電流を出力する。出力されたパルス電流により電磁波パルスが発振され、高圧回路６を経て放電電極５から放電される。この放電により対象空間のガス分子から電子が放出され、非平衡プラズマが生成される。この非平衡プラズマにおいては、放出される電子温度のみが高くなり、粒子温度は低温に保たれる。そのため、この条件においては、スパークを生じることはない。しかし、対象空間のガス分子のエネルギー状態が高くなっているため、引き続き行われるスパーク放電のために必要な電力を低減することができる。これらの結果として、本発明のプラズマ生成装置において、全行程において必要とされる電力の合計量を低減させることができる。また、スパーク放電において用いられる電圧を低減させることができるため、放電電極５の摩耗を防止することもできる。
　このような非平衡プラズマを生成させる条件の電磁波パルスとしては、ストリーマ放電を起こす条件の電磁波パルスが好ましいものとして挙げられる。
－実施形態１の変形例２－
　実施形態１の変形例２では、マイクロ波プラズマプラグ５０の放電電極５の近傍に誘電体バリア放電用電極（図示省略）をさらに備える。この誘電体バリア放電用電極は絶縁体で覆われている。この誘電体バリア放電用電極からの放電により、対象空間において非平衡プラズマが生成される。上記誘電体バリア放電用電極からの放電も、マイクロ波プラズマプラグ５０と同様に制御装置４により制御される。
　引き続き、放電電極５においては、スパーク放電及び上記アシストの放電を起こす。なお、本変形例における絶縁体で覆われている上記電磁波放射アンテナの設置位置としては、本発明の効果を妨げない限り特に限定されないが、マイクロ波プラズマプラグ５０の放電電極５近傍に位置し、スパーク放電をおこす領域において誘電体バリア放電を起こすよう配設されていることが好ましい。また、本変形例における電磁波の発振パターンの一例としては、図６に示すパターンが挙げられる。
　すなわち、制御装置４は、まず誘電体バリア放電により非平衡プラズマを生成する条件の電磁波発振信号を出力する。これにより、電磁波用電源２は、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってパルス電流を出力し、上記誘電体バリア放電用電極からの放電を促す。この放電により対象空間のガス分子から電子が放出され、非平衡プラズマが生成される。引き続き制御装置４が、スパーク放電を起こす条件の電磁波発振信号を出力する。電磁波用電源２は、制御装置４からこのような電磁波発振信号を受けると、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってパルス電流を出力する。電磁波発振器３は、設定時間に亘って電磁波パルスを所定のデューティー比で出力する。電磁波発振器３から出力された電磁波パルスは、昇圧回路を経てスパーク放電を生じさせる。このスパーク放電により対象空間のガス分子から電子が放出され、プラズマが生成される。
　次に制御装置４は、上記プラズマにエネルギーを与え、このプラズマを拡大・維持する条件の放電を起こすような電磁波発振信号を出力する。電磁波用電源２は、制御装置４からこのような電磁波発振信号を受けると、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってパルス電流を出力する。電磁波発振器３は、設定時間に亘って電磁波パルスを所定のデューティー比で出力する。電磁波発振器３から出力されたマイクロ波（アシストのマイクロ波）は、昇圧回路を経て放電電極５より放電され、スパーク放電によって生じたプラズマにエネルギーを与え、プラズマを拡大・維持させることができる。
　本変形例においては、誘電体バリア放電により対象空間のガス分子のエネルギー状態を高くすることができるため、スパーク放電のために必要な電力を低減することができる。これらの結果として、本発明のプラズマ生成装置において、全行程において必要とされる電力の合計量を低減させることができる。また、スパーク放電において用いられる電圧を低減させることができるため、放電電極５の摩耗を防止することもできる。
＜実施形態２＞内燃機関
　本実施形態２は、本発明に係るプラズマ生成装置１２を備えた内燃機関１０である。プラズマ生成装置１２は、燃焼室２０を対象空間としてマイクロ波プラズマを生成する。内燃機関１０は、図２に示すように、直噴式のガソリンエンジンである。内燃機関１０は、内燃機関本体１１とプラズマ生成装置１２とを備えている。
　内燃機関本体１１は、シリンダブロック２１とシリンダヘッド２２とピストン２３とを備えている。シリンダブロック２１には、横断面が円形のシリンダが複数形成されている。各シリンダ２４内には、ピストン２３が往復自在に設けられている。ピストン２３は、コネクティングロッドを介して、クランクシャフトに連結されている（図示省略）。クランクシャフトは、シリンダブロック２１に回転自在に支持されている。各シリンダ２４内においてシリンダ２４の軸方向にピストン２３が往復運動すると、コネクティングロッドがピストン２３の往復運動をクランクシャフトの回転運動に変換する。
　シリンダヘッド２２は、ガスケット１８を挟んで、シリンダブロック２１上に載置されている。シリンダヘッド２２は、シリンダ２４及びピストン２３と共に、燃焼室２０を区画している。
　シリンダヘッド２２には、各シリンダ２４に対して、マイクロ波プラズマプラグ５０が１つずつ設けられている。マイクロ波プラズマプラグ５０の先端部分５０ａは、放電電極として機能する。本実施形態では、マイクロ波プラズマプラグ５０が、プラズマ生成装置１２の一部を構成している。マイクロ波プラズマプラグ５０は、従来の自動車エンジンのスパークプラグと同一形状であり、電磁波発振器３及び放電電極５を内蔵している。
　シリンダヘッド２２には、各シリンダ２４に対して、吸気ポート２５及び排気ポート２６が形成されている。吸気ポート２５には、吸気ポート２５を開閉する吸気バルブ２７が設けられている。一方、排気ポート２６には、排気ポート２６を開閉する排気バルブ２８が設けられている。
　シリンダヘッド２２には、各シリンダ２４に対して、インジェクター２９が１つずつ設けられている。インジェクター２９は、２つの吸気ポート２５の開口の間から燃焼室２０に突出している。インジェクター２９は、複数の噴口から互いに異なる方向へ燃料を噴射する。インジェクター２９は、ピストン２３の頂面に向かって燃料を噴射する。
－内燃機関の動作－
　本実施形態の内燃機関におけるプラズマ生成動作について説明する。本実施形態の内燃機関では、放電電極として機能するマイクロ波プラズマプラグ５０の先端部分５０ａから放電することによりプラズマが生成される。
　まず制御装置４が、スパーク放電を起こす条件の電磁波発振信号を出力する。電磁波用電源２は、制御装置４からこのような電磁波発振信号を受けると、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってパルス電流を出力する。電磁波発振器３は、設定時間に亘って電磁波パルスを所定のデューティー比で出力する。電磁波発振器３から出力された電磁波パルスは、マイクロ波プラズマプラグ５０に内臓された昇圧回路６により高圧となり、マイクロ波プラズマプラグ５０の先端部分５０ａ近傍においてスパーク放電を生じさせる。このスパーク放電により反応室２０内の燃料ガス分子から電子が放出され、プラズマが生成される。
　引き続き制御装置４は、上記プラズマにエネルギーを与え、このプラズマを拡大・維持する条件の電磁波発振信号を出力する。電磁波用電源２は、制御装置４からこのような電磁波発振信号を受けると、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘ってパルス電流を出力する。電磁波発振器３は、設定時間に亘って電磁波パルスを所定のデューティー比で出力する。電磁波発振器３から出力された電磁波パルスは、昇圧回路６を経て高圧となり、マイクロ波プラズマプラグ５０の先端部分５０ａにおいて放電を起こし、上記スパーク放電によって生じたプラズマにエネルギーを与え、上記プラズマを拡大・維持させることができる。
　本実施形態の内燃機関における、スパーク放電を起こす条件の電磁波パルスと、生じたプラズマを拡大・維持させる条件の電磁波パルスを含む所定の発振パターンの一例としては、実施形態１と同様に図５に示すパターンを挙げることができる。すなわち、反応室２０においてスパーク放電を起こし、プラズマを発生させるためには、ある一定以上の電力の電磁波パルスが必要である。このような電磁波パルスとしては、一回のパルスであってもよいし、必要に応じて所定のデューティー比、所定の設定時間に亘る複数回のパルスであってもよい。その後、生じたプラズマを維持・拡大させるためには、所定のデューティー比で所定の設定時間に亘って電磁波パルスが発振される。このプラズマの拡大・維持には、スパーク放電を起こすのに必要な電力よりも低い電力しか必要としない。
－実施形態２の効果－
　本実施形態２の内燃機関においては、実施形態１と同様のプラズマ生成装置を用いていることで、高電圧を利用した点火プラグとマイクロ波放射アンテナとを備える従来のプラズマ生成装置を備える内燃機関のように複数の電源を必要とせず、複雑な伝送線路等も必要としない。さらに、本実施形態の内燃機関においては、電磁波発振器３及び放電電極５は、従来の自動車エンジンのスパークプラグと同一形状のマイクロ波プラズマプラグ５０に内蔵することができる。そのため、本実施形態のプラズマ生成装置を自動車エンジンに用いる場合には、エンジン自体の構造変更を必要としない。
－実施形態２の変形例１－
　実施形態２の変形例１においては、実施形態１の変形例１と同様のプラズマ生成装置を備えている。このようなプラズマ生成装置の詳細については、実施形態１の変形例１において詳細に説明したので、ここでの説明を省略する。本変形例の内燃機関においては、このようなプラズマ生成装置を備えていることで、必要な電力の合計量を低減させることができる。
－実施形態２の変形例２－
　実施形態２の変形例２では、実施形態１の変形例２と同様のプラズマ生成装置を備えている。このようなプラズマ生成装置の詳細については、実施形態１の変形例２において詳細に説明したので、ここでの説明を省略する。なお、本変形例における誘電体バリア放電用電極の設置位置としては、本発明の効果を妨げない限り特に限定されないが、スパーク放電をおこす領域において誘電体バリア放電を起こすよう、放電電極５の近傍に配設されていることが好ましい。本変形例の内燃機関においては、このようなプラズマ生成装置を備えていることで、必要な電力の合計量を低減させることができる。
＜実施形態３＞排ガス分解装置
　本発明に係るプラズマ生成装置は、排ガス分解装置として用いることができる。この排ガス分解装置は、電磁波用電源、電磁波発振器、制御装置、昇圧回路及び放電電極を内臓するマイクロ波プラズマプラグ、並びに所定の電磁波帯域を共振するマイクロ波共振空洞（キャビティ）を備える。本発明のプラズマ生成装置は、電磁波のみにより有効なプラズマを生成することができるため、複雑な伝送線路等のシステムが不要であり、さらには使用電力の低減にも資する。
　本実施形態の排ガス分解装置においては、有害排出物、化学物質、浮遊粒子状物質、スス等をプラズマによる生成物（ＯＨラジカル、オゾン（Ｏ３））を利用して化学的に酸化、反応させ、無害化するために、マイクロ波共振空洞（キャビティ）内流体に、効率よくプラズマを発生させることができる。
＜実施形態４＞オゾン発生・滅菌・消毒装置、消臭装置
　本発明のプラズマ生成装置は、オゾン発生・滅菌・消毒装置、消臭装置として好適に用いられる。本発明のプラズマ生成装置を用いると、水分を含んだ高圧蒸気を多量のＯＨラジカル、Ｏ３に効率良く変換することができる。これにより、例えば排気ガスを多量のＯＨラジカル、Ｏ３の強力な酸化力をもって無害なガスに分解するとともに、フロン等で破壊された成層圏のオゾン層修復のために多量のＯ３を発生させることができる。本発明のプラズマ生成装置は、用いる電力に対するプラズマの発生・拡大効率を向上させることができるため、当該プラズマ生成装置を備えるこれらの装置は、より効率よくオゾン発生・滅菌・消毒・消臭を行うこができる。
　以上説明したように、本発明のプラズマ生成装置は、電磁波のみでプラズマを生成、拡大、維持させることができるため、電源は一つで足り、複雑な伝送線路等を必要としない。さらには、スパーク放電を起こす条件の電磁波パルスと、生じたプラズマを拡大・維持させる条件の電磁波パルスを含む所定の発振パターンを用いるため、電磁波のみによってもプラズマの生成、拡大、維持を効率よく行うことができ、消費電力の合計量を低減することができる。そのため、本発明のプラズマ生成装置は、自動車エンジン等の内燃機関、排ガス分解装置等に好適に用いられる。
　１　　プラズマ生成装置
　２　　電磁波用電源
　３　　電磁波発振器
　４　　制御装置
　５　　放電電極
　６　　昇圧回路
　７　　マイクロ波プラズマプラグ
　１０　内燃機関
　１２　プラズマ生成装置
　２０　対象空間（反応室）
　５０　マイクロ波プラズマプラグ

Claims (10)

  1. 　電磁波を発振する電磁波発振器、及び上記電磁波発振器を制御する制御装置を備えるプラズマ生成装置であって、
    　上記電磁波発振器から発振される電磁波を共振させて高電圧を発生させる昇圧回路と、
    　上記昇圧回路により発生した高電圧を放電させる放電電極と
    を備えることを特徴とするプラズマ生成装置。
  2. 　上記昇圧回路が、上記電磁波発振器と容量結合した共振回路を含む請求項１に記載のプラズマ生成装置。
  3. 　上記昇圧回路が、上記共振回路を複数含む請求項２に記載のプラズマ生成装置。
  4. 　上記共振回路の少なくとも１つが、並列共振回路である請求項２又は請求項３に記載のプラズマ生成装置。
  5. 　上記並列共振回路より放電電極側に、さらに直列共振回路を備えた請求項４に記載のプラズマ生成装置。
  6. 　上記制御装置が、上記放電電極においてスパーク放電を引き起こす条件の電磁波パルスと、上記スパーク放電により生じたプラズマを拡大・維持させる条件の電磁波パルスとを含む発振パターンに従って発振するよう上記電磁波発振器を制御する請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のプラズマ生成装置。
  7. 　上記発振パターンが、上記スパーク放電を引き起こす条件の電磁波パルスの前に、非平衡プラズマを生成させる条件の電磁波パルスをさらに含む請求項６に記載のプラズマ生成装置。
  8. 　上記非平衡プラズマを生成させる条件の電磁波パルスが、ストリーマ放電を起こす条件の電磁波パルスである請求項７に記載のプラズマ生成装置。
  9. 　内燃機関用である請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のプラズマ生成装置。
  10. 　請求項９に記載のプラズマ生成装置と、燃焼室が形成された内燃機関本体とを備える内燃機関。
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