JP7030445B2 - 電磁波発振装置 - Google Patents
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電源から印加される直流電圧によって電磁波を発振する電磁波発振器と、
該電磁波発振器から発振される電磁波を増幅する増幅器と、
該増幅器に直流電圧を供給する直流可変安定化電源と、
前記増幅器から発振される電磁波の一部を分配し、直流電圧に変換する分配器と、
予め定められた増幅器から発振する電磁波の出力値を記憶するとともに、前記分配器からの直流電圧値を前記記憶した出力値と比較する比較器とを備え、
該比較器で比較した電圧値の値に応じて、直流可変安定化電源からの出力値を変更するようにしている。
電源から印加される直流電圧によって電磁波を発振する電磁波発振器と、
該電磁波発振器から発振される電磁波を増幅する増幅器と、
該増幅器に直流電圧を供給する直流可変安定化電源と、
前記増幅器のトランジスタの温度を計測し、計測した温度を直流電圧値に換算する温度計測器と、
予め定められたトランジスタの温度を電圧値に換算した値を記憶するとともに、前記温度計測器からの直流電圧値を前記記憶した温度の電圧値と比較する比較器とを備え、
該比較器で比較したで夏値の値に応じて、直流可変安定化電源からの出力値を変更するようにしている。
本実施形態1は、本発明に係る電磁波発振装置である。この電磁波発振装置1Aは、図1に示すように、電源から印加される直流電圧によって電磁波を発振する電磁波発振器MWと、この電磁波発振器MWから発振される電磁波を増幅する増幅器2と、この増幅器2に直流電圧を供給する直流可変安定化電源3と、増幅器2から発振される電磁波の一部を分配し、直流電圧に変換する分配器6と、予め定められた増幅器2から発振する電磁波の出力値を記憶するとともに、分配器からの直流電圧の値を記憶した出力値と比較する比較器4とを備えている。そして、比較器4で比較した値に応じて、直流可変安定化電源3から増幅器2へ出力するドレイン電圧値を変更するようにしている。
電磁波発振器MWは、マグネトロンの利用が一般的であったが、近年半導体デバイスを利用した電磁波発振器が実用化されている。半導体デバイスとして一般的に使用される半導体材料は、シリコン(ケイ素(Si))である。シリコンを使った半導体デバイスは、酸化物SiO2を還元、清留させて製造される高純度のシリコンにさらに加工を加えて作ったシリコンウェーハから製造される。このシリコンウェーハの製造方法は確立しており、大量生産が可能なことから半導体材料として汎用されており、本実施形態の電磁波発振器MWに好適に用いることができる。また、炭化ケイ素(SiC)、窒化ガリウム(GaN)、酸化ガリウム(Ga2O3)又はダイヤモンドを用いることで、エネルギ効率が70%以上を確保することができ、本実施形態で用いる電磁波発振器MWの半導体材料として利用することができる。
本実施形態2は、本第2の発明に係る電磁波発振装置である。この電磁波発振器1Bは、電源から印加される直流電圧によって電磁波を発振する電磁波発振器MWと、この電磁波発振器MWから発振される電磁波を増幅する増幅器2と、この増幅器2に直流電圧を供給する直流可変安定化電源3と、増幅器2のトランジスタであるデバイスの温度を計測し、計測した温度を直流電圧値に換算する温度計測器7と、予め定められたトランジスタの温度を電圧値に換算した値を記憶するとともに、温度計測器7からの直流電圧値を記憶した温度の電圧値と比較する比較器4とを備えている。そして、比較器4で比較した値に応じて、直流可変安定化電源3から増幅器2へ出力するドレイン電圧値を変更するようにしている。
本第2発明の電磁波発振装置1Bは、電磁波発振装置1Aと比べて増幅器2からの出力値の一部を分配する必要がないため、電磁波の供給効率が高い。
1B 電磁波発振装置
2 増幅器
3 直流可変安定化電源
4 比較器
5A 出力値テーブル
5B 温度データテーブル
6 分配器
7 温度計測器
MW 電磁波発振器
Claims (2)
- 電源から印加される直流電圧によって電磁波を発振する電磁波発振器と、
該電磁波発振器から発振される電磁波を増幅する増幅器と、
前記増幅器のドレインに接続され、該増幅器に直流電圧をドレイン電圧として供給する直流可変安定化電源と、
前記増幅器から発振される電磁波の一部を分配し、直流電圧に変換する分配器と、
前記増幅器から出力される電磁波についての出力値を記憶する出力値テーブルと、
前記分配器からの直流電圧の値を、前記出力値テーブルに記憶された出力値と比較する比較器とを備え、
該比較器で比較した値に応じて、直流可変安定化電源から増幅器へ出力するドレイン電圧の出力値を変更するようにした電磁波発振装置。 - 電源から印加される直流電圧によって電磁波を発振する電磁波発振器と、
該電磁波発振器から発振される電磁波を増幅する増幅器と、
前記増幅器のドレインに接続され、該増幅器に直流電圧をドレイン電圧として供給する直流可変安定化電源と、
前記増幅器のトランジスタの温度を計測し、計測した温度を直流電圧値に換算する温度計測器と、
前記増幅器から出力される電磁波についての出力値に対応したトランジスタの温度を直流電圧値に換算した値を記憶する温度データテーブルと、
前記温度計測器において換算される直流電圧値を、前記温度データテーブルに記憶された直流電圧値と比較する比較器とを備え、
該比較器で比較した値に応じて、直流可変安定化電源から増幅器へ出力するドレイン電圧の出力値を変更するようにした電磁波発振装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2014115707A1 (ja) | 2013-01-22 | 2014-07-31 | イマジニアリング株式会社 | プラズマ生成装置、及び内燃機関 |
WO2018021464A1 (ja) | 2016-07-27 | 2018-02-01 | イマジニアリング株式会社 | 昇圧回路を含む電磁波発振装置 |
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