WO2014112443A1 - ターゲット保持冶具及び測定装置 - Google Patents

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WO2014112443A1
WO2014112443A1 PCT/JP2014/050361 JP2014050361W WO2014112443A1 WO 2014112443 A1 WO2014112443 A1 WO 2014112443A1 JP 2014050361 W JP2014050361 W JP 2014050361W WO 2014112443 A1 WO2014112443 A1 WO 2014112443A1
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measurement object
holding jig
light
measurement
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浩輔 小谷
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三菱重工業株式会社
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    • G01B21/047—Accessories, e.g. for positioning, for tool-setting, for measuring probes
    • G—PHYSICS
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    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
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    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004—Supports
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C15/00—Surveying instruments or accessories not provided for in groups G01C1/00 - G01C13/00
    • G01C15/02—Means for marking measuring points
    • G01C15/06—Surveyors' staffs; Movable markers

Definitions

  • the present invention relates to a target holding jig and a measuring apparatus for holding a spherical target that comes into contact with a measurement object.
  • Measured devices that measure the distance to a measurement object include devices that use measurement light.
  • Patent Literature 1 receives a light source that outputs a radiated light beam (measurement light), a target that includes an external retroreflector that reflects the measurement light, and light that is fixed integrally with the light source and reflected from the target.
  • An absolute distance meter having a light receiving unit and a signal processing device that analyzes the light received by the light receiving unit and calculates the distance to the target is described.
  • the absolute distance meter irradiates the target with measurement light from the light source while the target is in contact with the measurement object, receives the light reflected by the target at the light receiving unit, analyzes the received light, By calculating the distance, the distance to the measurement object in contact with the target can be measured.
  • Patent Document 2 as a jig for holding a spherical reflector (target) used for measuring a bending angle of a rod-like work (pipe) such as a cylinder or a column, an outer part that holds the spherical reflector in a slidable manner is disclosed. There is described a jig that is provided with a pair of semicircular jig structures formed with facing grooves, and that is fitted to the outer periphery of a pipe by combining the pair of semicircular jig structures.
  • the bending angle for each measurement part of the bar-shaped workpiece is recorded. Is going to be possible.
  • a plate-like member such as a seal fin of a steam turbine may be an object to be measured.
  • the object to be measured becomes thinner, unlike a rod-like workpiece such as a cylinder or a column. Since the target is spherical, when the target is brought into contact with the measurement object or moved along the measurement object, the contact position of the target is easily shifted in the thickness direction (plate thickness direction) of the measurement object. . Thus, when the contact position of the target shifts, the plate-shaped measurement object comes in contact with a direction shifted from the normal line toward the center of the spherical target, resulting in a measurement error.
  • This invention solves the subject mentioned above, and aims at providing the target holding jig and measuring apparatus which can make a target contact a measurement target object with high precision.
  • a target holding jig of the present invention holds a spherical target having a reflection mechanism that reflects measurement light emitted from a light source, and makes the target come into contact with an end surface of a measurement object.
  • a holding jig that supports the target in contact with the measurement object; and is disposed on a side of the support that faces the measurement object, the short side of the end surface of the measurement object
  • a guide part that regulates a position where the target contacts the measurement object in a direction, and restricts movement of the end surface of the measurement object in a short side direction of the target; and is fixed to the support part, And a connecting portion that is detachably connected to the measurement object.
  • the target can be brought into contact with the measurement object with high accuracy by connecting the connection part to the measurement object and regulating the relative position between the target and the measurement object by the guide part.
  • one target holding jig and a target can be used for the measurement of several points by connecting with a measuring object in the state which can attach or detach a connection part.
  • the connecting portion is connected to the measurement object by sandwiching the measurement object.
  • a detection unit that detects that the target and the measurement object are in contact with each other, and a notification that the detection unit has detected contact between the target and the measurement object. And a notification unit.
  • the target can be more reliably brought into contact with the measurement object, and the measurement accuracy can be further increased.
  • the detection unit includes a power source connected to the target and the connection unit, and the target, the connection unit, the power source, and the notification unit are connected in series, and the target And when the connection part comes into contact with the measurement object, the target, the connection part, the power source, the notification part, and the measurement object become a closed circuit, and electricity flows through the notification part. Yes.
  • the target holding jig according to the present invention is characterized in that the target holding jig further includes an insulating portion that is disposed between the support portion and the connection portion and insulates the support portion and the connection portion.
  • connection portion and the target from being electrically connected at a portion other than the circuit.
  • the target holding jig of the present invention is characterized in that the notification unit is a light emitting unit that emits light.
  • a measuring apparatus receives the target holding jig according to any one of the above, a target held by the target holding jig, a light source for irradiating the target with measurement light, and light reflected by the target. And a measuring device main body including a light receiving unit and a processing unit for analyzing a result received by the light receiving unit.
  • the distance to the measurement object can be measured with high accuracy.
  • the measurement object such as a plate member such as a seal fin of the steam turbine is connected to the connection part, and the relative position between the target and the measurement object is regulated by the guide part.
  • a plate-like member such as a seal fin of a steam turbine, can be brought into contact with a measurement object with high accuracy.
  • FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a target holding jig according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a top view of the target holding jig shown in FIG.
  • FIG. 3 is a bottom view of the target holding jig shown in FIG.
  • FIG. 4 is a side view showing a schematic configuration of a connecting portion of the target holding jig shown in FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a schematic configuration viewed from the line AA in FIG.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a schematic configuration viewed from the line BB in FIG.
  • FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a circuit configuration of the detection unit.
  • FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a target holding jig according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a top view of the target holding jig shown in FIG.
  • FIG. 3 is a bottom view of the target holding
  • FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a measuring apparatus including a target holding jig.
  • FIG. 9 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a measurement object.
  • FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a positional relationship between the measurement object and the target holding jig during measurement.
  • the target holding jig and the measuring device of the present invention will be described by taking an example of measuring the end surface on the inner peripheral side of the ring-shaped seal fin of the steam turbine. Is not limited to this.
  • the target holding jig and the measuring device of the present invention can obtain a more remarkable effect when the seal fin is used as a measurement object.
  • the position of the end face of the thin plate-like measurement object is measured. In this case, it can be suitably used.
  • FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a target holding jig according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a top view of the target holding jig shown in FIG.
  • FIG. 3 is a bottom view of the target holding jig shown in FIG.
  • FIG. 4 is a side view showing a schematic configuration of a connecting portion of the target holding jig shown in FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a schematic configuration viewed from the line AA in FIG.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a schematic configuration viewed from the line BB in FIG.
  • FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a circuit configuration of the detection unit.
  • the target holding jig 10 holds the target 8 and is detachably connected to the measurement object 50.
  • the target 8 is a part of a measuring apparatus described later, and includes a reflection mechanism that reflects measurement light.
  • the target 8 is a substantially spherical member partially formed with a notch, and a reflector that reflects measurement light is provided in the notch.
  • the measurement object 50 of the present embodiment is a ring-shaped seal fin of a steam turbine (hereinafter, the measurement object 50 is also referred to as a seal fin 50).
  • the target holding jig 10 includes a support part 14, a connection part 16, a connection part 18, a guide part 20, a battery folder 22, a light emitting part 24, a wiring 26, and a wiring 28.
  • the support portion 14 is a plate-like member, and is a member that becomes a base of the target holding jig 10.
  • the support portion 14 has an opening 14a formed on the surface having the largest area (the surface facing the measurement object 50 when facing the measurement object (seal fin) 50 as shown in FIG. 1). Yes.
  • the support portion 14 is formed with a notch 14 b that is connected to the opening 14 a and extends to the side surface of the support portion 14.
  • this notch 14 b it is possible to secure a region where the measurement light enters and reflects on the target 8. Also for the user, since the notch 14b is formed, the relative position between the target 8 and the measurement object 50 can be easily confirmed through the notch 14b.
  • the support unit 14 has a guide unit 20 disposed on a surface facing a measurement object (seal fin) 50, and a battery folder 22, a light emitting unit 24, A wiring 26 and a wiring 28 are arranged.
  • the support part 14 has the connection part 16 and the connection part 18 arranged on each of a pair of side surfaces among the side surfaces sandwiched by the surface opposite to the surface facing the measurement object 50. Yes.
  • positioned is a side surface in which the notch 14b is not formed.
  • the support portion 14 is made of a conductive material such as metal.
  • the support portion 14 is electrically connected to one electrode of the battery folder 22 and is electrically connected to the target 8. Furthermore, the connection part 16, the connection part 18, the wiring 26, the wiring 28, and the other member are electrically connected.
  • the connecting part 16 and the connecting part 18 are mechanisms for connecting to the measurement object 50.
  • the connecting portion 16 is disposed at one end portion of the support portion 14, and the connecting portion 18 is disposed at the other end portion of the support portion 14. That is, in the target holding jig 10, the connecting portion 16 and the connecting portion 18 are disposed at a position where the opening 14 a of the support portion 14 is sandwiched.
  • the connecting portion 16 is fixed to the support portion 14 via the insulating portion 32.
  • the connecting portion 18 is also fixed to the support portion 14 via the insulating portion 34.
  • An insulating portion 32 is disposed at a fixed portion between the connecting portion 16 and the supporting portion 14, and an insulating portion 34 is disposed at a fixing portion between the connecting portion 18 and the supporting portion 14, thereby preventing electricity from flowing.
  • the fixed part of the connection part 16 and the support part 14, and the fixed part of the connection part 18 and the support part 14 are being fixed by fastening mechanisms, such as a screw, maintaining the state which does not flow electricity.
  • the target 8 inserted into the opening 14a is held at a predetermined position in the opening 14a by being in contact with the guide portion 20 and being sandwiched by the opening 14a. For this reason, the target 8 can be held in a direction in which the measurement light can be incident and reflected while being in contact with the measurement object by the guide portion 20.
  • connection part 16 is a mechanism similar to what is called a clothespin, and has a clamping part 16a, a fulcrum 16b, a hinge pin 16c, and a spring 16d.
  • the clamping part 16a is two members that rotate around the fulcrum 16b.
  • the fulcrum 16b is connected to the connecting part 16, and supports the clamping part 16a in a rotatable state.
  • the hinge pin 16c is inserted into a portion on the opposite side to the measurement object 50 side of the sandwiching portion 16a via a fulcrum 16b.
  • the hinge pin 16c is configured not to be removed from the holding portion 16a by a retaining pin (not shown).
  • the spring 16d is inserted into the hinge pin 16c and is disposed between the two members of the sandwiching portion 16a.
  • the spring 16d pushes the two members of the clamping part 16a in the opening direction.
  • the connecting portion 16 is formed on the measurement object 50 side of the sandwiching portion 16a by applying a force in a direction in which a portion opposite to the measurement object 50 side of the sandwiching portion 16a is opened by the spring 16d via the fulcrum 16b.
  • the groove is narrowed. Thereby, the connection part 16 will be in the state connected with the measuring object 50 by pinching the measuring object 50 in a groove
  • the connecting portion 16 may be formed with a concave / convex mechanism for preventing slippage or a member such as rubber at the end of the clamping portion 16a on the measuring object 50 side.
  • the connection part 16 needs the function in which electricity flows between the measuring objects 50, and when providing rubber
  • the mechanism of the connecting portion 16 and the connecting portion 18 is a mechanism for sandwiching the measurement object 50, but is not limited thereto.
  • the target holding jig 10 may have a mechanism in which the connecting portion 16 and the connecting portion 18 are connected to the measurement object 50 by adsorption, such as a magnet.
  • the guide portion 20 is disposed at a position on the same line as the connecting portion 16 and the connecting portion 18 on the surface of the support portion 14 facing the measurement object (seal fin) 50.
  • the guide portion 20 is composed of two members extending along the same line, and a linear groove 21 is formed at a position on the same line as the groove formed in the holding portion of the connecting portion 16 and the connecting portion 18. ing.
  • the target holding jig 10 can sandwich the measurement object 50 between the groove formed in the clamping part of the connecting part and the groove 21 of the guide part 20.
  • the guide unit 20 is located at or near the position where the target 8 protrudes most toward the measurement object 50 as shown in FIG. 5. Can be brought into contact with the measurement object 50.
  • the guide part 20 is made of an insulating material such as phenol resin.
  • the guide portion 20 has a width that increases as the tip portion 20 a and the tip portion 20 b that are the tips of the groove 21 on the measurement object 50 side go to the measurement object 50 side. It becomes an inclined shape whose width becomes narrower as it goes to the support portion 14 side. Thereby, the guide part 20 becomes easy to insert the measuring object 50 in the groove
  • two members constituting the guide unit 20 are detachable from the support unit 14 in the guide unit 20.
  • a spacer 20 c is arranged in a region of the groove 21 where the measurement object 50 is not inserted.
  • the guide part 20 mounts two members on the support part 14, the spacer 20c is disposed between the two members, whereby the width of the groove 21 can be set to the width of the spacer 20c.
  • the guide part 20 can make the width
  • the guide part 20 can change the width
  • the interval between the grooves 21 is wider than the thickness of the measurement object 50.
  • the battery folder 22 is installed on the support unit 14 and a battery (not shown) is attached. In the battery folder 22, one electrode is electrically connected to the support portion 14 and the other electrode is connected to the wiring 26.
  • the light emitting unit 24 is installed on the support unit 14.
  • the light emitting unit 24 is a light emitting diode or the like, and is an element that emits light when a current flows.
  • the wiring 26 connects the other electrode of the battery folder 22 and the light emitting unit 24.
  • the wiring 28 connects the light emitting unit 24 and the connecting unit 18.
  • the target holding jig 10 becomes the detection unit 30 with the target 8, the support unit 14, the connection unit 18, the battery folder 22, the wiring 26, and the wiring 28.
  • the detection unit 30 forms a single series circuit including the light emitting unit 24 and the measurement object 50.
  • the detection unit 30 includes the target 8, the support unit 14, the connection unit 18, the battery folder 22, the wiring 26, and the wiring 28, and the target 8 and the support unit. 14, the battery folder 22, the wiring 26, the light emitting unit 24, the wiring 28, and the connecting unit 18 are connected in series in this order. Thereby, the detection part 30 will contact the connection part 18 and the measurement object 50, and if the target 8 and the measurement object 50 are contacted, the connection part 18, the measurement object 50, and the target 8 will be in series.
  • the target holding jig 10 is configured as described above.
  • the target 8 is supported by the support 14 and the measurement object 50 is sandwiched between the connection part 16, the connection part 18, and the guide part 20. 50.
  • the target holding jig 10 can regulate the position of the measurement object 50 with the guide unit 20.
  • the guide unit 20 sandwiches the measurement object 50, thereby restricting the position where the target 8 contacts the measurement object 50, and in the short side direction of the end surface of the measurement object 50 of the target 50. Restrict movement.
  • the contact position between the measurement object 50 and the target 8 can be set within a predetermined range, and the displacement of the contact position between the measurement object 50 and the target 8 can be reduced. Therefore, the user can perform the measurement using the target 8 with high accuracy by using the target holding jig 10 of the present embodiment.
  • the target holding jig 10 sandwiches the support portion 14 between the two connecting portions 16 and 18, and the extending direction of the groove 21 of the guide portion 20 is on a line connecting the connecting portion 16 and the connecting portion 18.
  • the target holding jig 10 can determine whether the target 8 has surely contacted the measurement object 50 by the detection unit 30. Thereby, it can suppress measuring in the state where the measuring object 50 and the target 8 are not contacting, and it becomes possible to perform the measurement using the target 8 with high precision.
  • the target holding jig 10 is configured such that the detection unit 30 is a circuit through which a current flows when the target 8 and the connecting unit 18 come into contact with the measurement object 50, so that the user attaches the target holding jig 10 to the measurement object 50. It is possible to detect whether the target 8 and the measuring object 50 are in contact with each other only by operating.
  • the target 8 and the measurement object 50 are visually recognized by the user. Can be recognized as touching.
  • the method of notifying the user that the target 8 and the measurement object 50 are in contact with each other by causing the light emitting unit 24 to emit light is not limited to light emission.
  • the target holding jig 10 can use various mechanisms for transmitting to the user's five senses as a notification method.
  • the target holding jig 10 may be provided with an audio output unit that emits sound instead of the light emitting unit 24.
  • FIG. 8 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a measuring apparatus including a target holding jig.
  • FIG. 9 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a measurement object.
  • FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a positional relationship between the measurement object and the target holding jig during measurement.
  • the measuring apparatus 80 including the target holding jig 10 includes a target 8, a target holding jig 10, and a measuring apparatus main body 82.
  • the target 8 is held by the target holding jig 10 and is in contact with the measurement object (seal fin) 50 by the target holding jig 10 at the time of measurement.
  • the measuring device main body 82 includes a light source 82a, a light receiving unit 82b, and a processing unit 82c.
  • the measuring apparatus main body 82 is provided with a head 84 and an optical system 86 that irradiate the measuring light toward the target 8 and guide the light reflected by the target 8 to the measuring apparatus main body 82.
  • the light source 82a outputs the measurement light L.
  • the light source 82a outputs, for example, laser light having a predetermined wavelength as the measurement light L.
  • the light receiving unit 82b is a light receiving element that detects the reached light.
  • the light receiving unit 82b detects light having the wavelength of the measurement light L.
  • the processing unit 82c controls the operation of each unit of the measuring device 80. In addition, the processing unit 82c analyzes the detection result of the light receiving unit 82b and the information of the measurement light L output from the light source 82a, thereby measuring the distance to the target 8 and calculating the difference generated in the shape of the target 8. The distance to the measuring object 50 is measured by removing it by processing.
  • the head 84 is disposed in a path through which the measurement light L output from the light source 82a passes, and adjusts the direction in which the measurement light L is irradiated.
  • the optical system 86 is disposed between the light source 82 a and the head 84 and between the light receiving unit 82 b and the head 84, outputs the light output from the light source 82 a toward the head 84, and enters the head 84. The light is guided to the light receiving part 82b.
  • the measuring device 80 installs the target holding jig 10 at the measurement position of the measurement object 50.
  • the measurement object (seal fin) 50 of the present embodiment is installed in a seal ring 102 disposed inside the seal attachment ring 100 as shown in FIG.
  • the seal fin 50 protrudes radially inward of the seal ring 102.
  • a plurality of seal fins 50 are provided on the seal ring 102.
  • the measuring device 80 is provided with a target holding jig 10 that holds the target 8 in the circumferential direction of the seal fins 50 arranged in a ring shape.
  • the measurement device 80 outputs measurement light L from the measurement device main body 82 toward the target 8 via the head 84, and the light reflected by the target 8 via the head 84 is received by the measurement device main body 82 and received. By analyzing the result, the distance to the measurement object 50 can be measured. Further, the diameter of the seal fin 50 can be measured by moving the target holding jig 10 on the seal fin 50 and measuring a plurality of positions on the seal fin 50.
  • the measurement object 50 is a seal fin as in the present embodiment, it is necessary to measure a large number of positions, but the target 8 is used as the measurement object 50 by using the detachable target holding jig 10.
  • the target holding jig 10 is provided with the guide portion 20, so that the target 8 can be brought into contact with the measurement object 50 with high accuracy at the time of mounting. Furthermore, since the target holding jig 10 can notify the detection unit 30 and the light emitting unit 24 that the target 8 has contacted the measurement object 50, the user can easily install the target 8.
  • Target 10 Target holding jig 14 Support portion 14a Opening 14b Notch 16, 18 Connection portion 16a Holding portion 16b Support point 16c Hinge pin 16d Spring 20 Guide portion 20a, 20b Tip portion 20c Spacer 21 Groove 22 Battery folder 24 Light emitting portion 26, 28 Wiring 32, 34 Insulation part 50 Seal fin (object to be measured) DESCRIPTION OF SYMBOLS 80 Measuring apparatus 82 Measuring apparatus main body 82a Light source 82b Light receiving part 82c Processing part 84 Head 86 Optical system 100 Seal mounting ring 102 Seal ring

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Abstract

　高い精度でターゲットを測定対象物に接触させるターゲット保持冶具及び測定装置を提供することを目的とする。ターゲット保持冶具は、光源から射出された測定光を反射する反射機構を備える球状のターゲットを保持し、ターゲットと測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具であって、測定対象物と接触させた状態でターゲットを支持する支持部と、支持部の測定対象物と対向する側に配置され、測定対象物の端面の短辺方向においてターゲットが測定対象物に接触する位置を規制し、かつ、ターゲットの測定対象物の端面の短辺方向への移動を規制するガイド部と、支持部に固定され、測定対象物に着脱可能に連結する連結部と、を備える。

Description

ターゲット保持冶具及び測定装置
　本発明は、測定対象物と接触する球状のターゲットを保持するターゲット保持冶具及び測定装置に関する。
　測定対象物までの距離を測定する測定装置には、測定光を用いて測定を行う装置がある。例えば、特許文献１には、放射光ビーム（測定光）を出力する光源と、測定光を反射する外部再帰反射器を備えるターゲットと、光源と一体で固定されターゲットから反射された光を受光する受光部と、受光部で受光した光を解析してターゲットまでの距離を算出する信号処理装置と、を有する絶対距離計が記載されている。絶対距離計は、ターゲットを測定対象物に接触させた状態で、光源からターゲットに測定光を照射し、ターゲットで反射された光を受光部で受光し、受光した光を解析し、ターゲットまでの距離を算出することで、ターゲットが接触している測定対象物までの距離を測定することができる。
　特許文献２には、筒体や柱体等の棒状ワーク（パイプ）の曲がり角度を測定するのに用いられる球状のリフレクタ（ターゲット）を保持する冶具として、球状のリフレクタをスライド可能に保持する外向き溝が形成され一対の半円形冶具構成体を備え、当該一対の半円形冶具構成体を互いに合体してパイプの外周に嵌合装着される冶具が記載されている。特許文献２には、この冶具に沿ってターゲットを移動させることで、棒状ワークの曲がり角度を簡単に測定することができるのに加えて、棒状ワークの測定部位毎の曲がり角度を記録に残すことが可能になるとしている。
特開２０１１－３９０５２号公報 特開２０１２－１３７３８２号公報
　特許文献１に記載されているような装置を用いて、測定対象物までの距離を測定する場合、ターゲットが測定対象物に接触していないと、測定対象物との距離や測定部位の曲がり角度を正確に測定することができない。
　ここで、蒸気タービンのシールフィン等の板状部材が測定対象物となる場合がある。シールフィン等の板状部材の端面を測定する場合では、筒体や柱体等の棒状ワークとは異なり、測定対象物が細くなる。ターゲットが球形であるため、ターゲットを測定対象物に接触させた時や、測定対象物に沿って移動させた時、ターゲットの接触位置が測定対象物の厚み方向（板厚方向）にずれ易くなる。このように、ターゲットの接触位置がずれてしまうと、板状の測定対象物が球状のターゲットの中心に向かう法線からずれた向きで接触することになり、測定誤差が生じる。
　本発明は、上述した課題を解決するものであり、高い精度でターゲットを測定対象物に接触させることができるターゲット保持冶具及び測定装置を提供することを目的とする。
　上記の目的を達成するための本発明のターゲット保持冶具は、光源から射出された測定光を反射する反射機構を備える球状のターゲットを保持し、前記ターゲットと測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具であって、前記測定対象物と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を規制し、かつ、前記ターゲットの前記測定対象物の端面の短辺方向への移動を規制するガイド部と、前記支持部に固定され、前記測定対象物に着脱可能に連結する連結部と、を備えることを特徴とする。
　従って、連結部が測定対象物と連結し、かつガイド部でターゲットと測定対象物との相対位置を規制することで、高い精度でターゲットを測定対象物に接触させることができる。また、連結部が着脱可能な状態で、測定対象物に連結することで、１つのターゲット保持冶具及びターゲットを複数点の測定に用いることができる。
　本発明のターゲット保持冶具では、前記連結部は、前記測定対象物を挟持することで、前記測定対象物に連結することを特徴としている。
　従って、測定対象物を挟持して、測定対象物と連結することで、簡単に着脱することができる。
　本発明のターゲット保持冶具では、前記ターゲットと前記測定対象物とが接触していることを検出する検出部と、前記検出部が前記ターゲットと前記測定対象物との接触を検出したことを報知する報知部と、をさらに備えることを特徴としている。
　従って、測定対象物にターゲットをより確実に接触させることができ、測定精度をより高くすることができる。
　本発明のターゲット保持冶具では、前記検出部は、前記ターゲット及び前記連結部と接続された電源を有し、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部とが直列で接続され、前記ターゲット及び前記連結部が前記測定対象物と接触すると、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部と前記測定対象物とが閉じられた回路となり、前記報知部に電気が流れることを特徴としている。
　従って、測定対象物にターゲット保持冶具を連結させるために連結部を接触させつつ位置調整するのみで、ターゲットが測定対象物に接触した状態になったか否かを知ることができる。
　本発明のターゲット保持冶具では、前記支持部と前記連結部との間に配置され、前記支持部と前記連結部とを絶縁する絶縁部をさらに有することを特徴としている。
　従って、これにより、連結部とターゲットとが、回路以外の部分で電気的に繋がることを抑制できる。
　本発明のターゲット保持冶具では、前記報知部は、発光する発光部であることを特徴としている。
　従って、ターゲットと測定対象物とが接触したかを視覚でわかりやすく知ることができる。
　本発明の測定装置は、上記のいずれかに記載のターゲット保持冶具と、前記ターゲット保持冶具に保持されたターゲットと、前記ターゲットに測定光を照射する光源と前記ターゲットで反射された光を受光する受光部と前記受光部で受光した結果を解析する処理部とを備える測定装置本体と、を有することを特徴とする。
　従って、ターゲットと測定対象物とを高い精度で接触できるため、つまり位置ずれを抑制できるため、高い精度で測定対象物までの距離を測定することができる。
　本発明のターゲット保持冶具及び測定装置によれば、蒸気タービンのシールフィン等の板状部材等の測定対象物と連結部が連結し、かつガイド部でターゲットと測定対象物との相対位置を規制することで、高い精度でターゲットを蒸気タービンのシールフィン等の板状部材を測定対象物に接触させることができる。
図１は、本発明の一実施例に係るターゲット保持冶具の概略構成を示す正面図である。 図２は、図１に示すターゲット保持冶具の上面図である。 図３は、図１に示すターゲット保持冶具の底面図である。 図４は、図１に示すターゲット保持冶具の連結部の概略構成を示す側面図である。 図５は、図１のＡ－Ａ線から見た概略構成を示す断面図である。 図６は、図１のＢ－Ｂ線から見た概略構成を示す断面図である。 図７は、検出部の回路構成を示す模式図である。 図８は、ターゲット保持冶具を備える測定装置の概略構成を示す模式図である。 図９は、測定対象物の概略構成を示す斜視図である。 図１０は、測定対象物とターゲット保持冶具との測定時の位置関係を示す模式図である。
　以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。例えば、以下に説明する実施例では、本発明のターゲット保持冶具及び測定装置を蒸気タービンのリング形状のシールフィンの内周側の端面を測定する場合を例に挙げて説明するが、測定対象物はこれに限定されない。本発明のターゲット保持冶具及び測定装置は、シールフィンを測定対象物とした場合に、より顕著な効果を得ることができるが、シールフィンと同様に薄板状の測定対象物の端面の位置を測定する場合も好適に用いることができる。
　図１は、本発明の一実施例に係るターゲット保持冶具の概略構成を示す正面図である。図２は、図１に示すターゲット保持冶具の上面図である。図３は、図１に示すターゲット保持冶具の底面図である。図４は、図１に示すターゲット保持冶具の連結部の概略構成を示す側面図である。図５は、図１のＡ－Ａ線から見た概略構成を示す断面図である。図６は、図１のＢ－Ｂ線から見た概略構成を示す断面図である。図７は、検出部の回路構成を示す模式図である。
　ターゲット保持冶具１０は、ターゲット８を保持し、測定対象物５０に着脱可能に連結される。ここで、ターゲット８は、後述する測定装置の一部であり、測定光を反射する反射機構を備えている。具体的には、ターゲット８は、一部に切欠きが形成された略球状の部材であり、切欠きに測定光を反射するリフレクタが設置されている。本実施形態の測定対象物５０は、蒸気タービンのリング形状のシールフィンである（以下、測定対象物５０をシールフィン５０ともいう。）。
　ターゲット保持冶具１０は、支持部１４と、連結部１６と、連結部１８と、ガイド部２０と、電池フォルダ２２と、発光部２４と、配線２６と、配線２８と、を有する。
　支持部１４は、板状の部材であり、ターゲット保持冶具１０の土台となる部材である。支持部１４は、面積が最も大きい面（図１に示すように測定対象物（シールフィン）５０と対向している場合、測定対象物５０と対面している面）に開口１４ａが形成されている。この開口１４ａにターゲット８を内挿することで、ターゲット８はターゲット保持冶具１０に保持される。また、支持部１４は、開口１４ａと繋がり、かつ、支持部１４の側面まで延在する切欠き１４ｂが形成されている。この切欠き１４ｂを設けることで、ターゲット８に測定光が入反射する領域を確保することができる。ユーザにとっても、切欠き１４ｂが形成されていることで、この切欠き１４ｂを介して、ターゲット８と測定対象物５０との相対位置を容易に確認することができる。
　支持部１４は、図１に示すように測定対象物（シールフィン）５０と対向している面にガイド部２０が配置され、その反対側の面に、電池フォルダ２２と、発光部２４と、配線２６と、配線２８とが配置されている。また、支持部１４は、測定対象物５０と対向している面と反対側の面に挟まれた面である側面のうち、一対の側面のそれぞれに連結部１６と連結部１８が配置されている。なお、連結部１６と連結部１８が配置されている側面は、切欠き１４ｂが形成されていない側面である。
　また、支持部１４は、金属等の導電性の材料で作製されている。支持部１４は、電池フォルダ２２の一方の電極と電気的に繋がっており、かつ、ターゲット８と電気的に繋がっている。さらに、連結部１６と、連結部１８と、配線２６と、配線２８と、他の部材を介して電気的に繋がっている。
　連結部１６と連結部１８は、測定対象物５０と連結する機構である。図１に示すように、ターゲット保持冶具１０は、支持部１４の一方の端部に連結部１６が配置され、支持部１４の他方の端部に連結部１８が配置されている。つまり、ターゲット保持冶具１０は、支持部１４の開口１４ａを挟み込む位置に連結部１６と連結部１８とを配置している。連結部１６は、絶縁部３２を介して支持部１４に固定されている。同様に、連結部１８も、絶縁部３４を介して支持部１４に固定されている。連結部１６と支持部１４との固定部分には絶縁部３２が配置され、連結部１８と支持部１４との固定部分には絶縁部３４が配置されることで電気が流れない状態となる。なお、連結部１６と支持部１４の固定部分及び連結部１８と支持部１４の固定部分は、電気が流れない状態を維持しつつ、ネジ等の締結機構で固定されている。
　本実施例のターゲット保持冶具１０において、開口１４ａに内挿されたターゲット８は、ガイド部２０と当接して開口１４ａで挟み込まれることにより、開口１４ａ内の所定位置に保持される。このため、ターゲット８は、ガイド部２０により測定対象物と接触する状態で、測定光が入反射できる向きに保持させることができる。
　次に、図４を用いて、連結部１６の構成について説明する。連結部１８は、配置位置が異なるのみであるので、説明を省略する。連結部１６は、いわゆる洗濯ばさみと同様の機構であり、挟持部１６ａと、支点１６ｂと、ヒンジピン１６ｃと、バネ１６ｄと、を有する。挟持部１６ａは、支点１６ｂを中心に回動する２つの部材である。支点１６ｂは、連結部１６に連結されており、挟持部１６ａを回動可能な状態で支持する。ヒンジピン１６ｃは、挟持部１６ａの測定対象物５０側とは支点１６ｂを介して反対側の部分に挿入されている。ヒンジピン１６ｃは、図示しない抜け止めピンにより挟持部１６ａから抜けない構成となっている。バネ１６ｄは、ヒンジピン１６ｃに挿入され、かつ、挟持部１６ａの２つの部材の間に配置されている。バネ１６ｄは、挟持部１６ａの２つの部材を開く方向に押す。連結部１６は、挟持部１６ａの測定対象物５０側とは支点１６ｂを介して反対側の部分がバネ１６ｄにより開かれる方向に力が加わることで、挟持部１６ａの測定対象物５０側に形成された溝が狭くなる。これにより、連結部１６は、溝に測定対象物５０を挟み込むことで、測定対象物５０に連結された状態となる。また、連結部１６はバネ１６ｄが配置されている側の挟持部１６ａを閉じることで、連結部１６を測定対象物５０から離脱させることができる。
　連結部１６は、挟持部１６ａの測定対象物５０側の端部に、滑り止めとなる凹凸機構を形成したり、ゴム等の部材を配置したりしてもよい。なお、連結部１６は、測定対象物５０との間で電気が流れる機能が必要であり、かつ、ゴムを設ける場合、一方にゴムを設けないか、導電性のゴムを用いることが好ましい。
　上記の本実施例のターゲット保持冶具１０は、連結部１６及び連結部１８の機構を、測定対象物５０を挟み込む機構としたがこれに限定されない。ターゲット保持冶具１０は、連結部１６及び連結部１８を磁石等、吸着により測定対象物５０に連結される機構としてもよい。
　ガイド部２０は、図１に示すように、支持部１４の測定対象物（シールフィン）５０と対向している面において、連結部１６及び連結部１８と同一線上の位置に配置されている。ガイド部２０は、この同一線上に沿って延在する２つの部材から構成され、連結部１６及び連結部１８の挟持部に形成された溝と同一線上の位置に直線状の溝２１が形成されている。ターゲット保持冶具１０は、連結部の挟持部に形成された溝とガイド部２０の溝２１で測定対象物５０を挟み込むことができる。このように、ターゲット保持冶具１０を測定対象物５０に挟み込んだ状態では、図５に示すように、ガイド部２０はターゲット８が測定対象物５０側に最も突出した位置またはその近傍で、ターゲット８を測定対象物５０に接触させることができる。なお、ガイド部２０は、フェノール樹脂等の絶縁材料で作成させている。
　また、ガイド部２０は、図５及び図６に示すように、溝２１の測定対象物５０側の先端である先端部２０ａ及び先端部２０ｂが、測定対象物５０側に行くほど幅が広く、支持部１４側に行くにしたがって幅が狭くなる傾斜形状となる。これにより、ガイド部２０は、測定対象物５０を溝２１に挿入させやすくなる。
　ここで、ガイド部２０は、ガイド部２０を構成する２つの部材が、支持部１４に対して着脱可能となっている。また、ガイド部２０は、溝２１の測定対象物５０が挿入されない領域にスペーサ２０ｃが配置されている。ガイド部２０は、２つの部材を支持部１４に対して装着する際にこの２つの部材の間にスペーサ２０ｃを配置することで、溝２１の幅をスペーサ２０ｃの幅とすることができる。これにより、ガイド部２０は、溝２１の幅を所定の幅とすることができる。また、ガイド部２０は、スペーサ２０ｃの厚みを変えることで、溝２１の幅を変えることができる。なお、溝２１は、間隔が測定対象物５０の厚みよりも広くなる。
　電池フォルダ２２は、支持部１４に設置され、図示しない電池が取り付けられている。電池フォルダ２２は、電気的に一方の極が支持部１４に接続され、他方の極が配線２６に接続されている。発光部２４は、支持部１４に設置されている。発光部２４は、発光ダイオード等であり、電流が流れることで発光する素子である。配線２６は、電池フォルダ２２の他方の極と発光部２４とを接続している。配線２８は、発光部２４と連結部１８とを接続している。
　ここで、ターゲット保持冶具１０は、ターゲット８と、支持部１４と、連結部１８と、電池フォルダ２２と、配線２６と、配線２８とで、検出部３０となる。この検出部３０は、発光部２４と、測定対象物５０と、を含めて１つの直列な回路を形成する。具体的には、図７に示すように、検出部３０は、ターゲット８と、支持部１４と、連結部１８と、電池フォルダ２２と、配線２６と、配線２８とが、ターゲット８、支持部１４、電池フォルダ２２、配線２６、発光部２４、配線２８、連結部１８の順で直列に繋がった回路となる。これにより、検出部３０は、連結部１８と測定対象物５０と接触させ、かつ、ターゲット８と測定対象物５０とが接触されると、連結部１８と測定対象物５０とターゲット８が直列でつながり、１つの閉じられた回路となる。これにより、電池が取り付けられた電池フォルダ２２から電流が流れる状態となり、発光部２４に電流が流れることで、発光部２４から光が出力される。また、検出部３０は、連結部１８とターゲット８のいずれかが測定対象物５０と非接触となると電気が流れないため、発光部２４が発光しない。
　ターゲット保持冶具１０は、以上のような構成であり、ターゲット８を支持部１４で支持し、測定対象物５０に連結部１６と、連結部１８と、ガイド部２０とを挟み込むことで測定対象物５０と連結することができる。これにより、ターゲット保持冶具１０は、ガイド部２０で測定対象物５０の位置を規制できる。具体的には、ガイド部２０が測定対象物５０を挟み込むことで、ターゲット８が測定対象物５０に接触する位置を規制し、かつ、ターゲット５０の測定対象物５０の端面の短辺方向への移動を規制する。このため、測定対象物５０とターゲット８との接触位置を所定の範囲とすることができ、測定対象物５０とターゲット８との接触位置の位置ずれを低減することができる。したがって、ユーザは、本実施例のターゲット保持冶具１０を使用することにより、ターゲット８を用いた測定を高い精度で行うことが可能となる。
　また、ターゲット保持冶具１０は、２つの連結部１６及び連結部１８で支持部１４を挟み、かつ、ガイド部２０の溝２１の延在方向を連結部１６と連結部１８とを結んだ線上に重ねることで、連結部１６及び連結部１８で連結した測定対象物５０を溝２１に案内しやすくすることができる。これにより、測定対象物５０とターゲット８とをより接触させやすくすることができる。また、ガイド部２０の溝２１の延在方向を連結部１６と連結部１８とを結んだ線上に重ねることで、溝２１の延在方向に直交する方向における測定対象物５０とターゲット８との位置ずれを低減することができる。
　また、ターゲット保持冶具１０は、検出部３０によって、測定対象物５０にターゲット８が確実に接触したかを判定することができる。これにより、測定対象物５０とターゲット８とが接触していない状態で測定を行うことを抑制でき、ターゲット８を用いた測定を高い精度で行うことが可能となる。また、ターゲット保持冶具１０は、検出部３０を、ターゲット８及び連結部１８が測定対象物５０に接触したら電流が流れる回路とすることで、ユーザが測定対象物５０にターゲット保持冶具１０を装着する動作をしているだけで、ターゲット８と測定対象物５０とが接触しているかを検出することができる。
　また、発光部２４を設け、検出部３０でターゲット８と測定対象物５０との接触を検出すると電流が流れ、発光部２４が発光するので、ユーザに視覚的にターゲット８と測定対象物５０とが接触したことを認識させることができる。
　本実施形態のターゲット保持冶具１０は、発光部２４を発光させることで、ターゲット８と測定対象物５０とが接触したことをユーザに報知する方法は、発光に限定されない。ターゲット保持冶具１０は、報知する方法として、ユーザの五感に伝達する各種機構を用いることができ、例えば発光部２４に換えて音を出す音声出力部を設けてもよい。
　次に、図８から図１０を用いて、本実施例のターゲット保持冶具を備える測定装置について説明する。図８は、ターゲット保持冶具を備える測定装置の概略構成を示す模式図である。図９は、測定対象物の概略構成を示す斜視図である。図１０は、測定対象物とターゲット保持冶具との測定時の位置関係を示す模式図である。
　図８に示すように、ターゲット保持冶具１０を備える測定装置８０は、ターゲット８と、ターゲット保持冶具１０と、測定装置本体８２と、を有する。上述したようにターゲット８は、ターゲット保持冶具１０に保持され、測定時はターゲット保持冶具１０によって測定対象物（シールフィン）５０に接触している。
　測定装置本体８２は、光源８２ａと、受光部８２ｂと、処理部８２ｃと、を有する。また、測定装置本体８２には、測定光をターゲット８に向けて照射し、ターゲット８で反射した光を測定装置本体８２に案内するヘッド８４及び光学系８６が設けられている。
　光源８２ａは、測定光Ｌを出力する。なお、光源８２ａは、測定光Ｌとして、例えば、所定の波長のレーザ光を出力する。受光部８２ｂは、到達した光を検出する受光素子である。受光部８２ｂは、測定光Ｌの波長の光を検出する。処理部８２ｃは、測定装置８０の各部の動作を制御する。また、処理部８２ｃは、受光部８２ｂの検出結果、さらには光源８２ａから出力した測定光Ｌの情報を解析することで、ターゲット８までの距離を測定し、ターゲット８の形状で生じる差分を演算処理で除去することで、測定対象物５０までの距離を測定する。
　ヘッド８４は、光源８２ａから出力された測定光Ｌが通過する経路に配置されており、測定光Ｌが照射される方向を調整する。光学系８６は、光源８２ａとヘッド８４との間及び受光部８２ｂとヘッド８４との間に配置されており、光源８２ａから出力された光をヘッド８４に向けて出力し、ヘッド８４に入射した光を受光部８２ｂに案内する。
　測定装置８０は、ターゲット保持冶具１０を測定対象物５０の測定位置に設置する。ここで、本実施形態の測定対象物（シールフィン）５０は、図９に示すように、シール取付環１００の内側に配置されたシールリング１０２に設置されている。シールフィン５０は、シールリング１０２の径方向内側に突出している。また、シールフィン５０は、シールリング１０２に複数設けられている。また、蒸気タービンは、シールリング１０２を複数備えているので、シールリング１０２の数に対応した数のシールフィン５０が配置されている。測定装置８０は、図１０に示すようにリング状に配置されたシールフィン５０の円周方向にターゲット８を保持したターゲット保持冶具１０を設置する。
　測定装置８０は、測定装置本体８２からヘッド８４を介してターゲット８に向けて測定光Ｌを出力し、ヘッド８４を介してターゲット８で反射された光を測定装置本体８２で受光し、受光した結果を解析することで、測定対象物５０までの距離を測定することができる。また、ターゲット保持冶具１０をシールフィン５０上において移動させ、シールフィン５０上の複数の位置の測定を行うことで、シールフィン５０の径を測定することができる。
　また、本実施形態のように測定対象物５０をシールフィンとした場合、多数の位置についての測定が必要となるが、着脱可能なターゲット保持冶具１０を用いて、ターゲット８を測定対象物５０に設置し移動させながら計測を行うことで、少ないターゲット８で計測を行うことができる。また、ターゲット保持冶具１０は、ガイド部２０を設けていることで、装着時に高い精度でターゲット８を測定対象物５０に接触させることができる。さらに、ターゲット保持冶具１０は、検出部３０及び発光部２４によって、ターゲット８が測定対象物５０に接触したことを報知できるため、ユーザによるターゲット８の設置作業を簡単にすることができる。
　　８　ターゲット
　１０　ターゲット保持冶具
　１４　支持部
　１４ａ　開口
　１４ｂ　切欠き
　１６、１８　連結部
　１６ａ　挟持部
　１６ｂ　支点
　１６ｃ　ヒンジピン
　１６ｄ　バネ
　２０　ガイド部
　２０ａ、２０ｂ　先端部
　２０ｃ　スペーサ
　２１　溝
　２２　電池フォルダ
　２４　発光部
　２６、２８　配線
　３２、３４　絶縁部
　５０　シールフィン（測定対象物）
　８０　測定装置
　８２　測定装置本体
　８２ａ　光源
　８２ｂ　受光部
　８２ｃ　処理部
　８４　ヘッド
　８６　光学系
　１００　シール取付環
　１０２　シールリング

Claims (7)

  1. 　光源から射出された測定光を反射する反射機構を備える球状のターゲットを保持し、前記ターゲットと測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具であって、
    　前記測定対象物と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、
    　前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を規制し、かつ、前記ターゲットの前記測定対象物の端面の短辺方向への移動を規制するガイド部と、
    　前記支持部に固定され、前記測定対象物に着脱可能に連結する連結部と、を備えることを特徴とするターゲット保持冶具。
  2. 　前記連結部は、前記測定対象物を挟持することで、前記測定対象物に連結することを特徴とする請求項１に記載のターゲット保持冶具。
  3. 　前記ターゲットと前記測定対象物とが接触していることを検出する検出部と、
    　前記検出部が前記ターゲットと前記測定対象物との接触を検出したことを報知する報知部と、をさらに備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のターゲット保持冶具。
  4. 　前記検出部は、前記ターゲット及び前記連結部と接続された電源を有し、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部とが直列で接続され、
    　前記ターゲット及び前記連結部が前記測定対象物と接触すると、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部と前記測定対象物とが閉じられた回路となることを特徴とする請求項３に記載のターゲット保持冶具。
  5. 　前記支持部と前記連結部との間に配置され、前記支持部と前記連結部とを絶縁する絶縁部をさらに有することを特徴とする請求項４に記載のターゲット保持冶具。
  6. 　前記報知部は、発光する発光部であることを特徴とする請求項３から請求項５のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。
  7. 　請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具と、
    　前記ターゲット保持冶具に保持されたターゲットと、
    　前記ターゲットに測定光を照射する光源と前記ターゲットで反射された測定光を受光する受光部と前記受光部で受光した結果を解析する処理部とを備える測定装置本体と、を有することを特徴とする測定装置。
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JP (1) JP5627719B2 (ja)
KR (1) KR101538612B1 (ja)
CN (1) CN104254756B (ja)
WO (1) WO2014112443A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114043402A (zh) * 2021-11-08 2022-02-15 陕西飞机工业有限责任公司 数控调姿定位组件在飞机装配平台上的安装方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5908147B1 (ja) * 2015-06-22 2016-04-26 三菱日立パワーシステムズ株式会社 ターゲット保持冶具及び測定装置並びにターゲット保持方法
CN111215887B (zh) * 2019-12-04 2021-12-14 上海航天控制技术研究所 一种用于敏感包快速装配对准的防错式组合装置
JP7445496B2 (ja) * 2020-03-31 2024-03-07 三菱重工業株式会社 フィン先端位置の計測方法、フィン先端位置の計測システム、及びフィン先端位置の計測用冶具
CN111709500B (zh) * 2020-06-01 2022-05-24 国网天津市电力公司电力科学研究院 一种输电铁塔紧固件服役异常的快速检测装置及方法
CN112180335B (zh) * 2020-09-29 2023-08-15 北京富奥星电子技术有限公司 一种多普勒雷达模组验证装置及验证方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08219790A (ja) * 1995-02-20 1996-08-30 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 反射板保持治具
JPH10246635A (ja) * 1997-02-28 1998-09-14 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 三次元計測におけるレール測定用ターゲット
JPH11153438A (ja) * 1997-11-21 1999-06-08 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 芯出治具及びそれを用いた測定装置
JP2011039052A (ja) 2009-08-07 2011-02-24 Faro Technologies Inc 光スイッチを備える絶対距離計
JP2012137382A (ja) 2010-12-27 2012-07-19 Ihi Corp 三次元計測治具及びこれを用いた三次元計測方法
JP2012237661A (ja) * 2011-05-12 2012-12-06 Ntn Corp 測定補助器具およびそれを用いた直径測定方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5272814A (en) 1989-04-14 1993-12-28 Key Bruce G Device for defining a horizontal plane
US6219931B1 (en) * 1998-03-10 2001-04-24 Northrop Grumman Corporation Target base for a measuring system
ES2194748T3 (es) 1999-07-28 2003-12-01 Leica Geosystems Ag Procedimiento y dispositivo destinados para la determinacion de posiciones y de orientaciones espaciales.
DE102008043977A1 (de) * 2008-11-21 2010-06-10 Airbus Deutschland Gmbh Strukturelement für eine Rumpfzellenstruktur eines Flugzeugs
CN202281855U (zh) 2011-10-08 2012-06-20 江阴香江光电仪器有限公司 金属单框棱镜组
DE102011089837A1 (de) * 2011-12-23 2013-06-27 Hilti Aktiengesellschaft Optisches System
CN104838234B (zh) * 2013-09-19 2016-10-05 株式会社小松制作所 测定工具

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08219790A (ja) * 1995-02-20 1996-08-30 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 反射板保持治具
JPH10246635A (ja) * 1997-02-28 1998-09-14 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 三次元計測におけるレール測定用ターゲット
JPH11153438A (ja) * 1997-11-21 1999-06-08 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 芯出治具及びそれを用いた測定装置
JP2011039052A (ja) 2009-08-07 2011-02-24 Faro Technologies Inc 光スイッチを備える絶対距離計
JP2012137382A (ja) 2010-12-27 2012-07-19 Ihi Corp 三次元計測治具及びこれを用いた三次元計測方法
JP2012237661A (ja) * 2011-05-12 2012-12-06 Ntn Corp 測定補助器具およびそれを用いた直径測定方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2908090A4

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114043402A (zh) * 2021-11-08 2022-02-15 陕西飞机工业有限责任公司 数控调姿定位组件在飞机装配平台上的安装方法

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