JP2006194737A - 光学検査機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、ガラスチップの着脱が容易であることと、ガラスチップの反りや破損を確実に防止して、ガラスチップの位置変動を無くし、常に安定してセンシング結果を求めることができ、信頼性の向上に繋げられる光学検査機器を提供する。
【解決手段】投光用開口部5aを介してセンシング機能を備えたガラスチップGに光を照射し、得られる光信号によりセンシング結果を得る光学検査機器において、ガラスチップを載置するとともに、このガラスチップによって閉成される投光用開口部を備えたベース本体6と、このベース本体のガラスチップ外側部位に植設される複数のガイドピン8および、これらガイドピンのさらに外側部位に設けられる雄ねじ部9と、ガイドピンに掛合する掛合孔13を備えガラスチップの上面に載る押え板12と、ベース本体の雄ねじ部に螺挿される雌ねじ部18を備え、螺挿にともなって押え板を介してガラスチップをベース本体に押付けるリングナット15とを具備する。
【選択図】 図2
【解決手段】投光用開口部5aを介してセンシング機能を備えたガラスチップGに光を照射し、得られる光信号によりセンシング結果を得る光学検査機器において、ガラスチップを載置するとともに、このガラスチップによって閉成される投光用開口部を備えたベース本体6と、このベース本体のガラスチップ外側部位に植設される複数のガイドピン8および、これらガイドピンのさらに外側部位に設けられる雄ねじ部9と、ガイドピンに掛合する掛合孔13を備えガラスチップの上面に載る押え板12と、ベース本体の雄ねじ部に螺挿される雌ねじ部18を備え、螺挿にともなって押え板を介してガラスチップをベース本体に押付けるリングナット15とを具備する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、被検査物を備えたガラスチップに光を照射して得られる光信号によりセンシングを判定する光学検査機器に係り、特に、ガラスチップに対する保持構造の改良に関する。
たとえば、医療用としてセンサの開発と改良化が促進されている。[ 特許文献1]では、生体から注射器等で抽出した血液等を、分子認識機能および情報交換機能を有する膜上に滴下した状態で、回析格子を通してレーザ光を光導波路層に入射させる平面光導波路型測定装置が開示されている。
前記光導波路層において特殊波を発生させ、光導波路層上の膜による血液等に含まれる生体分子との反応に起因する特殊波の変化量を、回析格子から放出される光として受光し、血液等に含まれる生体分子を分析するものである。
前記光導波路層において特殊波を発生させ、光導波路層上の膜による血液等に含まれる生体分子との反応に起因する特殊波の変化量を、回析格子から放出される光として受光し、血液等に含まれる生体分子を分析するものである。
基本的には、板状のガラスチップ表面に形成される受け部にセンシング機能を有する薄膜や生体反応物質を貼付け、この部分に生体組織もしくは生体組織液を接触させて被検査物を形成する。そして、ガラスチップの裏面側から光を照射して被検査物において反射させ、この反射光を受けて得られる光信号によりセンシング結果を判定する。
したがって、前記のような医療用光学検査機器においては、センシング機能を持った板状のガラスチップは消耗品であって、検査を行う度に検査作業者が検査機器に着脱する必要がある。
したがって、前記のような医療用光学検査機器においては、センシング機能を持った板状のガラスチップは消耗品であって、検査を行う度に検査作業者が検査機器に着脱する必要がある。
一方、光学検査機器として高い測定性能を引き出すには、照射する光とセンシング機能部分の空間的な位置関係を高い精度で確保することが重要なポイントとなる。この位置関係を一定に保てない場合には、得られる信号のS/N比が悪化し、センシング分解能の低下を招いてしまう。
すなわち、センシング機能を備えた板状のガラスチップに光を照射し、結果を判定する医療用光学検査機器においては、ガラスチップの着脱が容易であることと、ガラスチップと照射する光との位置関係を確保することの、2点が重要なポイントとなる。
特開平9−61346号公報
すなわち、センシング機能を備えた板状のガラスチップに光を照射し、結果を判定する医療用光学検査機器においては、ガラスチップの着脱が容易であることと、ガラスチップと照射する光との位置関係を確保することの、2点が重要なポイントとなる。
以上の問題の解決を図るために、はじめ図4(A)に、概略的に示すような光学検査機器Sxが提案された。すなわち、所定の板厚を有し、平面視で矩形状のベースaには、中央部に投光用開口部bが設けられ、この投光用開口部bの一側部には固定ブロックcが設けられる。
前記固定ブロックcは、断面が逆凸状に形成され、平面視で所定の長さの縦長矩形状をなす。固定ブロックcと投光用開口部bを介して他側部には、ガイド長孔dが設けられ、ここには弾性機構(図示しない)に支持された可動ブロックeが移動自在に嵌め込まれる。この可動ブロックeも、断面が逆凸状に形成され、平面視で所定の長さの縦長矩形状をなす。
前記固定ブロックcは、断面が逆凸状に形成され、平面視で所定の長さの縦長矩形状をなす。固定ブロックcと投光用開口部bを介して他側部には、ガイド長孔dが設けられ、ここには弾性機構(図示しない)に支持された可動ブロックeが移動自在に嵌め込まれる。この可動ブロックeも、断面が逆凸状に形成され、平面視で所定の長さの縦長矩形状をなす。
ベースa上にガラスチップGを載置して投光用開口部bを閉成し、このガラスチップGの側部を固定ブロックcに接触する。ついで、可動ブロックeをガイド長孔dに沿って移動し、ガラスチップGの側部に弾性的に接触させて、固定ブロックcとの間にガラスチップGを挟み込む。
光学検査機器SxにガラスチップGをセットしてからスイッチをオンすると、ベースaの下方部位にある発光素子から照射された光が、ガラスチップGに供給された被検査物Zに導かれる。光は被検査物Zにおいて反射し、その反射光を受光素子(いずれも図示しない)が受けてセンシングをなす。
光学検査機器SxにガラスチップGをセットしてからスイッチをオンすると、ベースaの下方部位にある発光素子から照射された光が、ガラスチップGに供給された被検査物Zに導かれる。光は被検査物Zにおいて反射し、その反射光を受光素子(いずれも図示しない)が受けてセンシングをなす。
センシング中は、図4(B)に示すように、ガラスチップGは固定ブロックcと可動ブロックeとの間に挟み込まれて、図に矢印で示すように、ガラスチップGの両側部から押し圧を受ける。
このような検査機器Sxであると、ベースaの上方からガラスチップGを着脱できるために、作業的には容易に行えるが、ガラスチップGと、ガラスチップGへ照射する光との位置関係の確保において大きな問題がある。
このような検査機器Sxであると、ベースaの上方からガラスチップGを着脱できるために、作業的には容易に行えるが、ガラスチップGと、ガラスチップGへ照射する光との位置関係の確保において大きな問題がある。
すなわち、ガラスチップGは、常時、相対する方向から押し圧を受けるので、図4(C)に示すように、反りが発生し易い。そのために、センシング中にガラスチップGに入射した光が微妙に屈折変化し、ガラスチップGとともに被検査物Zに対する光の入射角度と反射角度が一定に保持できなくなる。当然、検査結果に誤差が生じる虞れがあり、信頼性の低下を招いてしまう。
そこで、図5(A)に概略的に示すような光学検査機器Szが提案されるに至った。基本的には図4(A)で示す光学検査機器Sxの構成と同一であるが、固定ブロックfおよび可動ブロックhにおける、ベースa上から突出する部分の断面形状が逆台形状をなしているのが相違する。
この場合、図5(B)に示すように、固定・可動ブロックf、hともに、斜めに形成された側面部fa,haがガラスチップGのエッジ(角部)Kに当接し、ガラスチップGに対して斜め下方に押し圧をかける。ガラスチップGにおいては、斜め方向からベースaに押付けられることとなり、先に説明したような反りの発生がない。
この場合、図5(B)に示すように、固定・可動ブロックf、hともに、斜めに形成された側面部fa,haがガラスチップGのエッジ(角部)Kに当接し、ガラスチップGに対して斜め下方に押し圧をかける。ガラスチップGにおいては、斜め方向からベースaに押付けられることとなり、先に説明したような反りの発生がない。
しかしながら、この種の構成では、固定・可動ブロックf、hのそれぞれ側面部fa,haがガラスチップGの側面および上面の境界であるエッジKでのみ接しているために、図5(C)に示すように、脆性の高いガラスチップGにおいて、特に脆性の高いエッジK部分に応力が集中する。その結果、ガラスチップGのエッジK部分が破損し易く、センシング中にガラスチップGの位置が変動して検査結果に誤差が生じることとなり、信頼性の低下を招いてしまう。
本発明は前記事情に着目してなされたものであり、その目的とするところは、ガラスチップの着脱が容易であることと、ガラスチップの反りや破損を確実に防止して位置変動を無くし、常に安定してセンシングが行えて、信頼性の向上に繋げられる光学検査機器を提供しようとするものである。
前記目的を達成するため本発明は、被検査物を備えたガラスチップに光を照射し得られる光信号によりセンシング結果を得る光学検査機器において、ガラスチップが載置されるとともにガラスチップによって閉成される投光用開口部を備えたベース本体と、このベース本体のガラスチップ外側部位に設けられる位置規制手段および位置規制手段のさらに外側部位に設けられる結合手段と、位置規制手段に掛脱自在な掛合部を備えガラスチップの上面に載置される押え板と、ベース本体の結合手段と接続する連結手段を備え連結にともなって押え板を押圧し、押え板を介してガラスチップをベース本体に押付ける定着部材とを具備する。
本発明によれば、ガラスチップの着脱が容易に行えるとともに、センシング中におけるガラスチップの位置と姿勢を安定させ、信頼性の向上化を得られる等の効果を奏する。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図1(A)(B)(C)は、光学検査機器SにガラスチップGを載置し、かつ固定する作業を順に説明する図である。
図中1は、所定の厚さを有し、平面視でたとえば円形状に形成される基台であって、内部に空間部が形成される。この基台1の上面略中央部には、平面視で円形状の投光用開口部1aが設けられる。前記基台1の内部で、投光用開口部1aの一側部にはLD(レーザーダイオード)である発光素子2が、かつ他側部にはPD(フォトダイオード)である受光素子3が、それぞれ収容配置される。
図1(A)(B)(C)は、光学検査機器SにガラスチップGを載置し、かつ固定する作業を順に説明する図である。
図中1は、所定の厚さを有し、平面視でたとえば円形状に形成される基台であって、内部に空間部が形成される。この基台1の上面略中央部には、平面視で円形状の投光用開口部1aが設けられる。前記基台1の内部で、投光用開口部1aの一側部にはLD(レーザーダイオード)である発光素子2が、かつ他側部にはPD(フォトダイオード)である受光素子3が、それぞれ収容配置される。
これら発光素子2と受光素子3との間には、たとえば反射ミラーからなる光学系4が設けられていて、発光素子2から受けた光を投光用開口部1aへ向けて反射するように配置される。また、前記受光素子3は投光用開口部1a上方部位に後述するガラスチップGが配置された状態で、ガラスチップGから反射する光を受けるよう向きが設定されている。
前記ベース1の上面には、平面視で円形状の支持台5が載設され、たとえば接着等の手段で互いに一体化される。これらベース1と支持台5とでベース本体6が構成されるが、当然、はじめからベース1と支持台5とを一体成形したベース本体6としてもよい。前記支持台5の中央部には、前記ベース1の投光用開口部1aと全く同一寸法形状の投光用開口部5aが設けられている。
前記支持台5には、投光用開口部5aから所定間隔だけ離間した外側部位に、複数本の位置決めピン7が互いに等間隔に設けられる。これら位置決めピン7は、それぞれの上端部が支持台5の上面から極くわずかな寸法だけ突出するように高さが設定される。位置決めピン7のさらに外側部位には、複数本のガイドピン(位置規制手段)8が設けられる。ガイドピン8の高さ寸法は、位置決めピン7よりも大に設定されている。そして、支持台5の周端面に沿って雄ねじ部(結合手段)9が設けられる。
図1(A)に示すように、ベース本体6上に、表面にセンシング機能を持った薄膜や生体反応性物質が貼付けられる受け部を備え、この部分に生体組織もしくは生体組織液を接触させてなる被検査物Zを備えたガラスチップGが載置される。このガラスチップGは、前記投光用開口部5aの直径よりも大なる幅寸法に形成され、投光用開口部5aを閉成する。
ガラスチップGの下面部には、支持台5上面から突出する前記位置決めピン7端部が嵌め込まれる凹部10が設けられる。そして、ガラスチップGは前記ガイドピン8相互間に介在していて、ガイドピン8の上端部はガラスチップGの上面よりも所定量突出するように寸法設定されている。
図1(B)に示すように、押え板12をガラスチップGの上面に載置する。押え板12は、前記投光用開口部5aと略同一直径、もしくは、それよりも小さい直径の開口部12aを備えた薄板円板であり、この開口部12a周辺部分がガラスチップGの周端部上に載る。押え板12はガラスチップG外周縁から外方に突出する寸法形状であり、この突出部分の所定位置には前記ガイドピン8の上端部が掛脱自在に挿入する掛合孔(掛合部)13が設けられる。
さらに、押え板12の外周端部に沿って、押え板12の大部分を形成する板部12bの板厚よりも上下面に厚いリング部12cが一体に設けられていて、このリング部12c端縁から板部12bに亘って、かつ周方向に所定間隔を存して複数の図示しない切欠凹部が設けられている。
図1(C)に示すように、前記支持台5および押え板12とともにリングナット15(定着部材)が用意されていて、これらベース1と支持台5とが一体化されたベース本体6と、押え板12およびリングナット15で光学検査機器Sが構成される。
前記リングナット15は、上板部15Aと、円筒部15Bおよび複数の抜け止め部15Cとが一体に成形されてなる。上板部15Aには、前記投光用開口部5aと略同一直径、もしくはそれよりも大なる直径の開口部16が設けられる。
前記リングナット15は、上板部15Aと、円筒部15Bおよび複数の抜け止め部15Cとが一体に成形されてなる。上板部15Aには、前記投光用開口部5aと略同一直径、もしくはそれよりも大なる直径の開口部16が設けられる。
上板部15Aの下方で円筒部15Bの内周面に、上板部15Aと並行に前記抜け止め部15Cが設けられている。この抜け止め部15Cは、前記押え板12に設けられる切欠凹部と対向する位置に設けられ、かつ抜け止め部15Cは切欠凹部に挿通可能に突設される。
上板部15Aと抜け止め部15Cとの間隔は、前記押え板12を構成する板部12bの板厚よりもわずかに大に設定され、かつ上板部15Aの下面および抜け止め部15Cの上面には、押え板12のリング部12cと掛合可能にガイド凹部17が設けられる。
さらに、前記円筒部15Bの内周面で、抜け止め部15Cの下部側には雌ねじ部(連結手段)18が設けられる。この雌ねじ部18は、前記支持台5に設けられる雄ねじ部9と同一のネジ径に形成されていて、互いに螺合可能である。
さらに、前記円筒部15Bの内周面で、抜け止め部15Cの下部側には雌ねじ部(連結手段)18が設けられる。この雌ねじ部18は、前記支持台5に設けられる雄ねじ部9と同一のネジ径に形成されていて、互いに螺合可能である。
なお、円筒部15Bの下端面から上板部15Aの下面までの高さ寸法Hは、支持台5上にガラスチップGが載置され、かつこのガラスチップG上に押え板12が載置された状態で、基台1上面から押え板12上面に至る高さ寸法よりも僅かに小になるよう設定される。
このようにして構成されるリングナット15を押え板12の上方部位に位置し、かつリングナット15の抜け止め部15Cを押え板12の切欠凹部に対向する。この状態にしてから、リングナット15を傾かないよう基台1と平行な姿勢を保持したまま降下して、抜け止め部15Cを切欠凹部に対して挿通する。したがって、リングナット15の雌ねじ部18端が支持台5の雄ねじ部9端と接するので、今度はリングナット15を回動して雌ねじ部18を雄ねじ部9に螺挿する。
図2は、組立てられた状態の光学検査機器Sの断面図である。
ガラスチップG表面に形成される受け部に、センシング機能を持った薄膜や、生体反応性物質を貼付け、この部分に生体組織もしくは生体組織液を接触させた被検査物Zを備えている。また、前記発光素子2と受光素子3には電気制御部20がリード線を介して電気的に接続される。
ガラスチップG表面に形成される受け部に、センシング機能を持った薄膜や、生体反応性物質を貼付け、この部分に生体組織もしくは生体組織液を接触させた被検査物Zを備えている。また、前記発光素子2と受光素子3には電気制御部20がリード線を介して電気的に接続される。
図1(C)の状態から引き続いてリングナット15を回動し螺挿していくと、雌ねじ部18が雄ねじ部9に徐々に締まり込んでいくが、このときリングナット15の上板部15Aと抜け止め部15Cとの間に押え板12が介在し、上板部15Aおよび抜け止め部15Cに設けられるガイド凹部17間に、押え板12のリング部12cが介在したまま、押え板12はリングナット15によって押し込まれていく。すなわち、リングナット15は基台1と支持台5からなるベース本体1に対して並行な姿勢を保持したまま移動する。
前記押え板12に設けられる掛合孔13がガイドピン8に掛合しているので、押え板12はガイドピン8によって回り止めされ、回動はしない。リングナット15の上板部15Aが押え板12に接触し、かつ押え板12はガラスチップGの上面に載っているので、リングナット15により押え板12を介してガラスチップGは支持台5に押付けられる。
支持台5の雄ねじ部9に対してリングナット15の雌ねじ部18の全部を螺挿することで、ガラスチップGの光学検査機器Sに対するセットが完了する。そこで、図示しないスイッチをオンして電気制御部20を作動させ、発光素子2から発光させる。この光は光学系4を介してガラスチップGに収容される被検査物Zを照射し、その反射光を受光素子3が受ける。ここで得られた光信号にもとづいて電気制御部20ではセンシング結果を判定する。
以上の検査作業が終了したら、リングナット15を逆方向に回転して支持台5から取外す。このとき、リングナット15の抜け止め部15Cを押え板12の切欠凹部に対向させてから抜取ることで、押え板12をガラスチップG上に残したまま、リングナット15のみ取外せる。
そのあと、押え板12をガイドピン8から抜き出してガラスチップG上から取外せば、再び図1(A)に示すようにガラスチップGが支持台5上に載置した状態に戻るので、これを取外して新たなセンシングすべきガラスチップGを以上説明したようにセットすればよい。
なお、リングナット15の取外しにあたって、必ずしも抜け止め部15Cを押え板12の切欠凹部に対向させる必要はない。すなわち、抜け止め部15Cと切欠凹部はリングナット15の上板部15Aに遮蔽されて見えないから、これらを互いに対向させるのには面倒である。
そこで、抜け止め部15Cと切欠凹部とを非対向のまま、リングナット15を支持台5から取外せば、押え板12はリングナット15とともに取外されることとなり、直接、ガラスチップGが露出して作業が容易になる。リングナット15に押え板12が一体に組み込まれた状態になっているから、押え板12の置き忘れ・紛失等を確実に防止できる。
ただし、新たなガラスチップGを支持台5上に載置して、再度、押え板12とリングナット15をセットする際には、押え板12に設けられる掛合孔13がリングナット15の上板部15Aに遮蔽されて見えない。
このときは、リングナット15の雌ねじ部18を支持台5の雄ねじ部9に宛がって、リングナット上板部15Aの開口部16から突出する押え板12の開口部12a周縁を回動付勢していけば、掛合孔13がガイドピン8に対して容易に掛合する。その意味から、押え板12の開口部12a周縁がリングナット上板部15Aの開口部16周縁から内側に突出するような寸法設定をなすとよい。さらには、押え板12の開口部12a周縁に沿って、たとえば連続する波形状の引っ掛り部を設けておくと、回動作業がし易くなる。
このように、ガラスチップGの着脱作業が極めて容易に行えて、作業性の大幅な向上化を図れる。そして、図3(A)に示すように、ガラスチップGに対して、前記リングナット15は押え板12を介して垂直方向に押し圧を作用する。ガラスチップGにおいては、上面部から下面部方向に押し圧を受け、そのままベース本体6に対して押付け力が作用する。先に説明したような、斜め方向に作用する力、もしくは両側面から相対する力は、決して発生しない。
したがって、図3(B)に示すように、ガラスチップGのエッジKが破損することがなく、また、反りが生じることもない。センシング中はガラスチップGの位置と姿勢が不動のものとなっていて、照射される光とガラスチップGの位置関係が高い精度で保持される。
すなわち、板状のガラスチップGに光を照射して得られる光信号によりセンシング結果を判定する光学検査機器Sにおいては、ガラスチップGを損傷することなく、容易にガラスチップGを着脱できるばかりでなく、測定信号のS/N比が改善されて、高い測定分解能で安定した測定を行うことが可能となる。
すなわち、板状のガラスチップGに光を照射して得られる光信号によりセンシング結果を判定する光学検査機器Sにおいては、ガラスチップGを損傷することなく、容易にガラスチップGを着脱できるばかりでなく、測定信号のS/N比が改善されて、高い測定分解能で安定した測定を行うことが可能となる。
なお、本発明は上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。そして、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。たとえば、定着部材15としてリングナットを用いる代りに、スナップフィット構造の板状部材を用いた連結構造であってもよい。すなわち、押え板12をガラスチップGに対して相対的に固定できればよい。
5a…投光用開口部、G…ガラスチップ、6…ベース本体、8…ガイドピン(位置規制手段)、9…雄ねじ部(結合手段)、13…掛合孔(掛合部)、12…押え板、18…雌ねじ部(連結手段)、15…リングナット(定着部材)。
Claims (2)
- 被検査物を備えたガラスチップに光を照射し、得られる光信号によりセンシング結果を得る光学検査機器において、
前記ガラスチップが載置されるとともに、このガラスチップによって閉成される投光用開口部を備えたベース本体と、
このベース本体のガラスチップ外側部位に設けられる位置規制手段および、この位置規制手段のさらに外側部位に設けられる結合手段と、
前記位置規制手段に掛脱自在な掛合部を備え、前記ガラスチップの上面に載置される押え板と、
前記ベース本体の結合手段と接続する連結手段を備え、かつ連結にともなって前記押え板を押圧し、前記押え板を介してガラスチップをベース本体に押付ける定着部材と
を具備することを特徴とする光学検査機器。 - 被検査物を備えたガラスチップに光を照射し、得られる光信号によりセンシング結果を得る光学検査機器において、
前記ガラスチップが載置されるとともに、このガラスチップによって閉成される投光用開口部を備えたベース本体と、
このベース本体のガラスチップ外側部位に設けられる複数のガイドピンおよび、このガイドピンのさらに外側部位に設けられる雄ねじ部と、
前記ガイドピンに掛脱自在な掛合孔を備え、前記ガラスチップの上面に載置される押え板と、
前記ベース本体の雄ねじ部に螺挿される雌ねじ部を備え、かつ螺挿にともなって押え板を介してガラスチップをベース本体に押付けるリングナットと
を具備することを特徴とする光学検査機器。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009168594A (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面プラズモン共鳴現象測定装置の試料セル固定構造 |
JP2010276489A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 計測装置、及び計測方法 |
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2005
- 2005-01-13 JP JP2005006464A patent/JP2006194737A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080111 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090928 |