WO2014041630A1 - X線検査装置 - Google Patents

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ray
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cooling
cooling container
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倫秋 池田
和教 山田
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株式会社システムスクエア
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    • H05G1/025Means for cooling the X-ray tube or the generator
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    • G01V5/22Active interrogation, i.e. by irradiating objects or goods using external radiation sources, e.g. using gamma rays or cosmic rays
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    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
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    • H01J2235/12Cooling
    • H01J2235/1225Cooling characterised by method
    • H01J2235/1262Circulating fluids
    • H01J2235/127Control of flow

Definitions

  • the present invention relates to an X-ray inspection apparatus which irradiates X-rays to a work such as a package and inspects a packaging state, etc. In particular, it effectively cools an X-ray generation source and The present invention relates to an X-ray inspection apparatus capable of suppressing a temperature rise.
  • an X-ray generator is installed on the top of the apparatus main body.
  • an insulating oil is housed inside a metal box, and the X-ray tube is immersed and housed therein.
  • an X-ray detector for detecting X-rays is provided below the X-ray generator.
  • a concealing box covering an X-ray irradiation unit provided with an X-ray tube is provided openably and closably on the upper part of the casing, and an opening for introduction is provided in the concealing box.
  • a part and an outlet opening are provided, and a fan is provided in each of the openings.
  • a partition body is provided inside the concealing box, and an introduction side circulation portion extending from the introduction opening to the X-ray irradiation portion and a lead side circulation portion extending from the X-ray irradiation portion to the extraction opening are divided. ing.
  • control substrate is disposed on the ceiling, bottom or side of the concealment box, and the air flow in the introduction side circulation portion and the discharge side circulation portion indicates the presence of the control substrate It is configured not to be inhibited by
  • the X-ray tube provided in the X-ray generator is a heat generation source, a considerable amount of heat is emitted from the box housing the X-ray tube, and the X-ray generator is disposed The temperature of the inner space becomes very high.
  • the circuit board is disposed near the X-ray generator, the circuit components mounted on the circuit board are susceptible to heat. For example, in the case where the circuit component is a CPU, a malfunction due to heat may be a concern, and in the case of an AC / DC converter, inconveniences such as reduction in converted DC output power may easily occur. Therefore, the arrangement place of the circuit board is limited.
  • a display is provided near the X-ray generation unit, but in consideration of the influence of heat generated from the X-ray generation unit, display drive for operating the display It becomes difficult to stabilize the display operation of the display because the circuit has to be placed away from the display.
  • Patent Document 2 air from the outside is introduced into the inside of the concealing box, and the air flow in the inside of the concealing box is intended to cool the X-ray irradiation unit.
  • the foreign substance inspection device may be installed in a high temperature or high humidity work place or a work place where chemicals such as chlorine are used. In such a case, the internal temperature of the concealing box is sufficiently lowered. In addition, moisture and chemical components are led to the inside of the concealing box and easily attached to the control substrate, which tends to cause a failure of the control circuit.
  • control substrate is disposed at a position not obstructing the airflow of the introduction side circulation portion and the discharge side circulation portion inside the concealing box, the arrangement position of the control substrate is limited, for example, for display devices It is also difficult to arrange the drive circuit of the device near the display device.
  • the present invention solves the above-mentioned conventional problems, can effectively cool the X-ray tube which is the X-ray source, and effectively raise the temperature of the circuit components disposed near the X-ray source. It is an object of the present invention to provide an X-ray inspection apparatus which can be suppressed to
  • the present invention is an X-ray inspection provided with a work passing portion, an X-ray generation source provided on one side across the work passing portion, and a sensor provided on the other side for detecting X-rays.
  • the cooling container is installed in an upper storage space which is an internal space of a housing, the radiator is installed outside the upper storage space, and a circuit component forming an electric circuit is the upper portion together with the cooling container. It is characterized in that it is disposed in the storage space.
  • the cooling container containing the X-ray generation source is cooled by the circulating cooling medium, and the heat generated from the X-ray generation source is released from the radiator outside the upper storage space to the outside air Released. Therefore, the cooling container in which the X-ray generation source is stored can be effectively cooled, and the temperature rise of the internal space of the upper storage space in which the cooling container is disposed can be suppressed.
  • the upper storage space is formed inside the upper opening / closing portion of the housing, and the upper storage space is shut off from the external space and sealed when the upper opening / closing portion is closed.
  • a lower storage space communicating with the upper storage space may be provided below the upper storage space, and another circuit component may be stored in the lower storage space.
  • the upper opening / closing portion is fixed by a fixing mechanism which can be released only when the fixing release operation is performed from the outside.
  • the present invention can be configured such that a display device is attached to the upper opening and closing portion, and the display device approaches and faces the cooling container when the upper opening and closing portion is closed.
  • a circuit component constituting a drive circuit for driving the display device can be arranged.
  • the present invention can prevent the temperature in the vicinity of the display device from becoming abnormally high due to the cooling medium circulating inside the cooling container, even if the display device is arranged near the X-ray generation source. Furthermore, since the temperature rise of the drive circuit for the display device is also suppressed, the drive circuit can be disposed near the display device, and deterioration of the information display quality by the display device can be prevented.
  • the senor is stored in a sensor storage space, and the sensor storage space is in communication with the upper storage space.
  • the heat generated from the sensor is easily transmitted to the upper storage space.
  • the heat generated from the sensor is easily transported to the outside by the cooling medium.
  • the cooling container containing the X-ray source is cooled by the cooling medium, it is possible to suppress the temperature rise of the upper storage space in which the cooling container is installed. Therefore, even if the circuit component is disposed in the upper storage space, it is easy to prevent the circuit component from being affected by heat. Further, the heat generation from the circuit component can also be cooled by the cooling container disposed in the same space, and the temperature rise due to the heat generation from the circuit component can be suppressed.
  • FIG. 17 is a perspective view of the X-ray inspection apparatus as viewed from the rear, showing the positional relationship between the upper storage space and the lower storage space, and the sensor storage space formed inside the housing Diagram showing the measurement results of the internal temperature of the upper storage space,
  • the X-ray inspection apparatus 1 has the leg 3 attached to the lower gantry 2 and is installed on a work base.
  • a support rack 4 is provided on the lower rack 2, and a housing 10 is fixed and supported on the support rack 4.
  • the lower mount 2, the support mount 4 and the housing 10 are formed of a metal plate.
  • the housing 10 has an upper opening / closing portion 10a, a lower fixing portion 10b, and a projecting portion 10c extending forward from the lower fixing portion 10b.
  • the inside of the upper opening / closing portion 10 a is the upper storage space 11
  • the inside of the lower fixing portion 10 b is the lower storage space 12
  • the inside of the overhang portion 10 c is the sensor storage space 13.
  • the upper storage space 11 and the lower storage space 12 communicate with each other through the communication portion 14, and the lower storage space 12 and the sensor storage space 13 communicate with each other through the communication portion 15.
  • a hinge portion 17 is provided between the upper opening and closing portion 10a and the lower fixing portion 10b, and the upper opening and closing portion 10a uses the hinge portion 17 as a rotation fulcrum and has a closed posture shown by a solid line in FIG. It is pivotable between the release posture shown by.
  • the hinge mechanism is provided in the said hinge part 17 between the metal plate which comprises the upper opening / closing part 10a, and the metal plate which comprises the lower fixing
  • a stopper mechanism 18 is provided between the upper end portion of the lower fixed portion 10b and the upper opening / closing portion 10a, and the upper opening / closing portion 10a can be stabilized in the release posture shown in FIG. It has become.
  • the upper opening / closing portion 10a is fixed by a fixing mechanism which can be released only when the fixing release operation is performed from the outside in a state in which the upper opening / closing portion 10a is in a closed posture as shown by a solid line in FIG.
  • This fixing mechanism is screwing or the like.
  • the fixing mechanism is released only when necessary for maintenance and the like, and the upper opening / closing portion 10a is in the release posture, and replacement, repair, and the like of each member disposed in the upper storage space 11 are performed.
  • the upper storage space 11 is sealed off from the outside except for the communication portion 14 with the lower storage space 12.
  • the lower storage space 12 is sealed except for the communication portion 14 with the upper storage space 11 and the communication portion 15 with the sensor storage space 13, and the sensor storage space 13 also excludes the communication portion 15 with the lower storage space 12. It is sealed.
  • the metal plate constituting the housing 10 when the internal space of the upper storage space 11 and the lower storage space 12 and the sensor storage space 13 are sealed, they are shielded from the outside air by the metal plate constituting the housing 10 and the air between the outside air and the outside air. It means a structure without an air passage etc. which actively promotes the outflow and inflow of Therefore, a slight gap is formed at the overlapping portion of the edges of the metal plate, or a slight gap is formed between the upper opening and closing portion 10a and the lower fixing portion 10b which are opened and closed, or There may be minimal holes or the like for drawing out of the body.
  • the communication portion 14 has an opening for communicating the upper storage space 11 with the lower storage space 12, and the communication portion 15 has a communication between the lower storage space 12 and the sensor storage space 13. An opening is formed.
  • a work passage portion 20 is formed between the upper opening / closing portion 10 a of the housing 10 and the overhang portion 10 c. As shown in FIG. 2, in the work passing portion 20, a fixed cover 21 is provided at the rear and an open / close cover 22 is provided at the front. The fixed cover 21 is fixed to the front of the lower fixed portion 10 b of the housing 10.
  • the open / close cover 22 is rotatably connected at its lower edge to the tip of the overhang 10 c of the housing 10 via the hinge 23 shown in FIG. 1.
  • the open / close cover 22 is pivotable between a closed attitude shown by a solid line in FIG. 2 and an open / close attitude which is turned forward as shown by a broken line.
  • an inlet 24 a is formed between the fixed cover 21 and the openable cover 22.
  • an outlet 24b is formed on the side facing the inlet 24a.
  • an X-ray shielding sheet 25 containing lead is provided at the inlet 24a, and an X-ray shielding sheet 25 is similarly provided at the outlet 24b.
  • cutting lines extending in the vertical direction are formed at regular intervals to allow the workpiece to pass through.
  • a roller 26a is provided below the introduction port 24a, and a roller 26b is provided below the discharge port 24b.
  • One of the rollers 26a and 26b is a drive roller and the other is a driven roller.
  • a transport belt 27 is hung on the rollers 26a and 26b.
  • the overhanging portion 10 c of the housing 10 is located between two conveyor belts 27 extending at intervals in the vertical direction.
  • the cooling container 30 is housed in the upper housing space 11 inside the upper opening and closing portion 10 a, and the X-ray source 32 is housed inside the cooling container 30.
  • the X-ray source is an X-ray tube, and a target for generating X-rays inside the glass tube and an electrode for causing electrons to collide with the target are accommodated.
  • the cooling container 30 is formed of a metal material having an X-ray shielding function and capable of transmitting heat and sealed inside, and is fixed on a support base 31 installed at the bottom of the upper opening 10a. There is.
  • the radiator 33 is supported by the support rack 4.
  • the radiator 33 is a radiator.
  • the inside of the cooling container 30 and the inside of the radiator 33 are connected by circulation pipes 35a and 35b, and a pump 36 is provided in the middle of the circulation pipe 35a.
  • the transfer force of the pump 36 circulates a cooling medium between the cooling container 30 and the radiator 33 via the circulation conduits 35 a and 35 b.
  • a cooling medium an insulating oil having high electrical insulation and excellent thermal conductivity is used.
  • the cooling container 30 is disposed inside the upper storage space 11, and the radiator 33 is fixed to the support rack 4 outside the upper storage space 11, that is, outside the housing 10.
  • the support rack 4 is provided with a cooling fan 37 for promoting air circulation around the radiator 33.
  • a metal plate and a filter disposed in the window portion of the metal plate are provided between the upper storage space 11 and the work passage portion 20 therebelow, and a space between the upper storage space 11 and the workpiece passage 20 is provided. Are shielded.
  • region L of the X-ray emitted from the X-ray source 32 is shown by FIG. 2 and FIG.
  • the X-rays emitted downward from the X-ray generation source 32 pass through the internal space of the support table 31, pass through the filter provided at the bottom portion 11 a of the upper storage space 11, and the workpiece passage portion 20 therebelow Given to
  • the front surface portion 10 d of the upper opening / closing portion 10 a of the housing 10 is formed to be inclined, and the display device 38 is mounted on the front surface portion 10 d.
  • the display screen 38a of the display device 38 is visible from the front.
  • the display screen 38a is configured of a color liquid crystal panel or the like.
  • the display device 38 faces the cooling container 30, and the display device 38 and the cooling container 30 are disposed close to each other.
  • a first circuit 41 and a second circuit 42 are provided in the upper storage space 11.
  • the first circuit 41 has a mother substrate, on which circuit components such as a CPU and a drive circuit for operating the display device 38 are mounted.
  • circuit components constituting a switching power supply that is, an AC / DC converter are mounted on a circuit board.
  • the first circuit 41 and the second circuit 42 are disposed behind the support base 31 that supports the cooling container 30, but these circuits are forward of the support base 31 (the support base 31 is It may be disposed on the opposite side to that in FIG. 3), or may be disposed on the left and right sides of the support base 31 (the front and back direction in FIG. 2).
  • a third circuit 43 and a fourth circuit 44 are disposed in the lower housing space 12 in the housing 10.
  • circuit components constituting an inverter are mounted on a circuit board.
  • An X-ray sensor 45 is installed in the sensor storage space 13 inside the projecting portion 13 of the housing 10.
  • the X-ray sensor 45 is a line sensor, and faces the lower side of the X-ray generation source 32 with the workpiece passing portion 20 interposed therebetween.
  • the rollers 26a and 26b rotate, and the transport belt 27 circulates in the counterclockwise direction (T direction) in FIG.
  • a work such as a package in which food is stored in a bag is delivered onto the transport belt 27, transferred by the transfer force of the transport belt 27 from the introduction port 24a to the work passing portion 20, and further transported out from the discharge port 24b.
  • X-rays emitted from the X-ray generation source 32 are irradiated to the workpiece, X-rays transmitted through the workpiece are detected by the X-ray sensor 45, and an image of the workpiece such as a package is obtained. Based on this image, a check is made as to whether foreign matter is mixed or not.
  • the X-ray source 32 continues to generate heat.
  • the calorific value is about 100 to 500 Wh (watt hour).
  • a cooling medium is circulated inside the cooling container 30, and the heat generated by the X-ray generation source 32 is carried by the cooling medium and transmitted to the radiator 33 through the circulation conduits 35a and 35b to dissipate heat. From the container 33 to the outside of the housing 10.
  • the temperature rise of the cooling container 30 is suppressed by the circulation of the cooling medium, the temperature rise inside the upper storage space 11 in which the cooling container 30 is installed is also suppressed. Therefore, even if a circuit component that constitutes a CPU or an AC / DC converter having characteristics of being relatively weak to heat is disposed in the upper storage space 11, the circuit component is installed under a high temperature environment. It can prevent. Therefore, it is possible to prevent the malfunction of the CPU and the reduction of the conversion efficiency of the AC / DC converter.
  • the display device 38 is disposed close to the cooling device 30 at a position facing the cooling container 30, but the temperature of the cooling container 30 is controlled so as not to rise by the circulation of the cooling medium. It can suppress that the display apparatus 38 is heated by 32 heat_generation
  • the drive circuit for the display device is disposed near the cooling container 30 and in proximity to the display device 38. Becomes possible. Since the distance between the drive circuit and the display device 38 can be reduced, the display quality of the display device 38 can be stabilized.
  • the heat generated from these circuit components is generated in the upper storage space 11. It emanates inside.
  • the cooling container 30 cooled by the circulating cooling medium is present in the upper storage space 11, the temperature rise of the upper storage space 11 can be suppressed even if heat is generated from the circuit components.
  • the cooling container 30 functions as a kind of cooling device, and the upper storage space 11 becomes a cooling space. Therefore, even if the heat generating circuit component is disposed inside the upper storage space 11, the temperature of the upper storage space 11 is prevented from being excessively raised.
  • the third circuit 43 and the fourth circuit 44 are disposed in the lower housing space 12.
  • the generated heat rises inside the housing 10 and shifts to the upper storage space 11.
  • heat from the X-ray sensor 45 and its peripheral circuits also pass through the lower storage space 12 and reach the upper storage space 11. Also with regard to this heat, since the upper storage space 11 functions as a cooling space, an excessive increase in the temperature of the upper storage space 11 is suppressed.
  • the temperature rise inside the upper storage space 11 is suppressed by the presence of the cooling container 30, but it is still possible to avoid the occurrence of a temperature gradient inside the upper storage space 11, and the upper portion of the upper storage space 11
  • the temperature is relatively high, and the temperature is relatively low below. Therefore, the circuit component mounted on the top of the first circuit 41 and the second circuit 42 is at the same height position as the upper surface 30 b of the cooling container 30 which is cooling the upper storage space 11 or higher than that. It is preferable to arrange it on the lower side. More preferably, the circuit component is provided in a space below the bottom 30 a of the cooling container 30.
  • the cooling container 30 that functions as a cooling device, at least one of the circuit components that are susceptible to heat, ie, at least a part of the circuit components, among the plurality of circuit components provided in the upper storage space 11.
  • FIG. 4 shows changes in temperature measured at a plurality of locations inside the upper storage space 11 when the X-ray generation source 32 is operating.
  • the height H shown in FIG. 3 is 320 mm
  • the front and rear length L is 550 mm
  • the width W is 458 mm.
  • the temperature measurement points are (i) above the cooling vessel 30, (ii) near the bottom 30 a of the cooling vessel 30, (iii) after the bottom of the upper storage space 11, This is a portion (iv) in front of the bottom of the upper storage space 11.
  • the vertical axis represents temperature (° C.) and the horizontal axis represents operation time (minutes) of the X-ray inspection apparatus 1, and was measured at each part of (i) (ii) (iii) (iv) in the graph. The change in temperature is shown.
  • the cooling container 30 is disposed in the upper storage space 11, the temperature rise inside the upper storage space 11 can be suppressed, and the temperature can be set to about 45 ° C. at the maximum. In particular, the temperature can be set to 35 ° C. or lower below the bottom portion 30 a of the cooling container 30, which is a place suitable for arranging a circuit component susceptible to heat.

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Abstract

【課題】X線発生源からの熱による影響を抑制し、熱の影響を受けやすい回路構成部材をX線発熱源と同じ収納空間に配置することを可能としたX線検査装置を提供する。 【解決手段】筐体10に、上部収納空間11が設けられ、その内部に冷却容器30に収納されたX線発生源32が設けられている。冷却容器30と放熱器33との間で冷却溶媒がポンプ36の圧力で循環し、冷却容器30の温度上昇が抑制される。上部収納空間11に冷却容器30が設けられているため、上部収納空間11そのものが冷却空間となり、温度が上昇しにくくなる。よって、上部収納空間11に、熱の影響を受けやすい回路構成部材や発熱性の回路構成部材を配置できるようになる。

Description

X線検査装置
 本発明は、包装体などのワークにX線を曝射して、包装状態などの検査を行うX線検査装置に係り、特に、X線発生源を効果的に冷却するとともに、回路構成部材の温度上昇を抑制することができるX線検査装置に関する。
 特許文献1に示すX線検査装置は、装置本体の上部にX線発生器が設置されている。X線発生器は、金属製の箱体の内部に絶縁油が収納され、その中にX線管が浸漬されて収納されている。X線発生器の下方に、X線を検出するX線検出器が設けられている。
 被検査物がX線発生器とX線検出器との間を通過するときに、X線発生器から発せられたX線が被検査物に曝射される。被検査物を透過したX線がX線検出器で検出されて、包装体である被検査物の内容物が濃淡映像で把握され、異物が混入していないかなどの検査が行われる。
 特許文献2に記載された異物検査装置は、X線管を備えたX線照射部を覆う隠蔽箱体が、筐体の上部に開閉自在に設けられており、この隠蔽箱体に導入用開口部と導出用開口部が設けられ、それぞれの開口部にファンが設けられている。隠蔽箱体の内部に、仕切り体が設けられて、導入用開口部からX線照射部に至る導入側流通部と、X線照射部から導出用開口部に至る導出側流通部とが区分されている。
 さらに、隠蔽箱体の内部では、制御用基板が隠蔽箱体の天井部や底面部あるいは側面部に配置されて、前記導入側流通部と導出側流通部内での空気流が、制御基板の存在によって阻害されないように構成されている。
特開2005-91015号公報 特開2009-270876号公報
 前記X線発生器に設けられたX線管は発熱源であるため、X線管を収納している箱体からかなり多くの熱が発せられ、X線発生器が配置されている装置本体の内部空間の温度が非常に高くなる。X線発生器の近くに回路基板が配置されていると、この回路基板に実装されている回路構成部材が熱の影響を受けやすくなる。例えば、回路構成部材がCPUの場合には、熱による誤動作が心配され、AC/DCコンバータの場合には、変換されたDC出力電力が低下するなどの不都合が発生しやすくなる。そのため、回路基板の配置場所が制限されることになる。
 特許文献1に記載されたX線発生装置では、X線発生部の近くに表示器が設けられているが、X線発生部から発せられる熱の影響を考慮すると、表示器を動作させる表示駆動回路を表示器から離れて配置しなくてはならなくなり、表示器の表示動作を安定させるのが難しくなる。
 一方、特許文献2では、隠蔽箱体の内部に外部からの空気を導入し、隠蔽箱体の内部の空気流によってX線照射部を冷却しようとしている。
 しかし、隠蔽箱体に外部からの空気を導入しているため、隠蔽箱体の内部に外気と共に侵入した塵埃が制御基板に付着しやすくなり、制御回路の短絡などの問題が生じやすい。また、異物検査装置は、高温や高湿な作業場や、塩素などの薬品が使用される作業場に設置されることがあるが、このような場合に、隠蔽箱体の内部温度を十分に低下させることができず、さらには湿気や薬品成分が隠蔽箱体の内部に導かれて制御基板に付着ししやすくなり、制御回路の故障を喚起しやすくなる。
 また、隠蔽箱体の内部の導入側流通部と導出側流通部の空気流を妨げない位置に制御基板を配置しているため、制御基板の配置位置が限られてしまい、例えば、表示装置用の駆動回路を表示装置の近くに配置することも難しくなる。
 本発明は上記従来の課題を解決するものであり、X線発生源であるX線管を効果的に冷却でき、さらにX線発生源の近くに配置された回路構成部材の温度上昇を効果的に抑制することができるX線検査装置を提供することを目的としている。
 本発明は、ワーク通過部と、前記ワーク通過部を挟んで一方の側に設けられたX線発生源と、他方の側に設けられてX線を検知するセンサーとが設けられたX線検査装置において、
 前記X線発生源を収納する冷却容器と、放熱器と、前記冷却容器の内部と前記放熱器とを連結する管路と、前記管路を介して前記冷却容器の内部と前記放熱器との間で冷却媒体を循環させるポンプとが設けられ、
 筐体の内部空間である上部収納空間に前記冷却容器が設置され、前記放熱器が前記上部収納空間の外部に設置されており、電気回路を構成する回路構成部材が、前記冷却容器と共に前記上部収納空間に配置されていることを特徴とするものである。
 本発明のX線検査装置では、X線発生源を収納する冷却容器が、循環する冷却媒体によって冷却され、X線発生源から発せられる熱が、上部収納空間の外にある放熱器から外気に放出される。そのため、X線発生源が収納された冷却容器を効果的に冷却でき、冷却容器が配置されている上部収納空間の内部空間の温度上昇を抑制できる。
 上部収納空間の内部空間の温度上昇を抑制できるため、各種回路構成部材を冷却容器と共に上部収納空間の同じ空間内に配置しても、各種回路構成部材の温度上昇を抑制することが可能になる。さらに、電源回路などのように発熱を伴う回路に使用される回路構成部材が用いられている場合には、この回路構成部材を上部収納空間の内部に配置することで、この回路構成部材から発せられる熱を、同じ空間内の冷却容器によって冷却する効果を期待できる。
 本発明は、前記上部収納空間が、筐体の上部開閉部の内部に形成されており、前記上部開閉部が閉じられたときに、前記上部収納空間が外部空間から遮断されて密閉されるものとして構成できる。
 筐体の上部開閉部を閉鎖した状態で、上部収納空間が密閉されるので、冷却容器を収納した上部収納空間の温度上昇を効果的に抑制できるようになる。
 また、本発明は、前記上部収納空間よりも下側に、前記上部収納空間に連通する下部収納空間が設けられ、この下部収納空間に他の回路構成部材が収納されているものとしても構成できる。
 この場合に、前記上部収納空間と前記下部収納空間の少なくとも一方に発熱性の回路構成部材を配置することが可能である。
 他の回路構成部材であって特に発熱性の回路構成部材が上部収納空間やこれと連通する下部収納空間の内部に配置されていると、発熱性の回路構成部材から発せられる熱が上部収納空間に与えられる。しかし、上部収納空間に冷却装置として機能する冷却容器が存在しているため、熱が冷却媒体によって外部に運搬されやすくなり、上部収納空間のみならず下部収納空間の温度上昇も抑制できる。そのため、上部収納空間や下部収納空間の内部に配置されている熱に弱い回路構成部材を熱から保護できるようになる。
 なお、本発明は、前記上部開閉部は、外部から固定解除操作が行われたときにのみ解放可能となる固定機構で固定されているものである。
 本発明は、前記上部開閉部に、表示装置が取り付けられており、前記上部開閉部が閉じられたときに、前記表示装置が前記冷却容器に接近して対向するものとして構成できる。
 また、前記上部収納空間に、前記表示装置を駆動する駆動回路を構成する回路構成部材が配置されているものとして構成できる。
 本発明は、表示装置をX線発生源の近くに配置しても、冷却容器の内部を循環する冷却媒体により、表示装置の近傍の温度が異常に高くなるのを防止できる。さらに、表示装置用の駆動回路の温度上昇も抑制されるので、駆動回路を表示装置の近く配置することができるようになり、表示装置による情報表示品質の劣化を防止できるようになる。
 本発明は、前記センサーはセンサー収納空間に収納されており、前記センサー収納空間が前記上部収納空間に連通していることが好ましい。
 センサーが、上部収納空間と連通するセンサー収納空間に収納されていると、センサーから発せられる熱が上部収納空間に伝達されやすくなる。しかし、上部収納空間に冷却装置として機能する冷却容器が存在しているため、センサーから発せられる熱が冷却媒体によって外部に運搬されやすくなる。
 本発明は、X線発生源を収納した冷却容器が冷却媒体で冷却されているため、この冷却容器が設置されている上部収納空間の温度上昇を抑制できる。よって、上部収納空間に回路構成部材が配置されていても、回路構成部材が熱による影響を受けるのを防止しやすくなる。また、回路構成部材からの発熱も同じ空間に配置されている冷却容器によって冷却することができ、回路構成部材からの発熱による温度上昇も抑制できるようになる。
本発明の実施の形態のX線検査装置を示す正面図、 X線検査装置の右側面図、 筐体の内部に形成された上部収納空間と下部収納空間ならびにセンサー収納空間の位置関係を示すものであり、X線検査装置を後方から見た斜視図、 上部収納空間の内部温度の測定結果を示す線図、
 図1と図2に示すように、本発明の実施の形態のX線検査装置1は、下部架台2に脚部3が取り付けられて、作業土台の上に設置される。下部架台2の上に支持架台4が設けられ、支持架台4の上に筐体10が固定されて支持されている。下部架台2と支持架台4ならびに筐体10は、金属板で形成されている。
 図2と図3に示すように、筐体10は、上部開閉部10aと下部固定部10bならびに下部固定部10bから前方に延びる張出部10cを有している。上部開閉部10aの内部が上部収納空間11であり、下部固定部10bの内部が下部収納空間12であり、張出部10cの内部がセンサー収納空間13である。上部収納空間11と下部収納空間12は連通部14を介して連通しており、下部収納空間12とセンサー収納空間13は連通部15を介して連通している。
 上部開閉部10aと下部固定部10bとの間にヒンジ部17が設けられており、上部開閉部10aはヒンジ部17を回動支点として、図2において実線で示す閉鎖姿勢と、図2において破線で示す解放姿勢との間で回動自在である。なお、前記ヒンジ部17には、上部開閉部10aを構成する金属板と下部固定部10bを構成する金属板との間にヒンジ機構が設けられているが、ヒンジ機構の図示は省略している。
 図2に示すように、下部固定部10bの上端部と上部開閉部10aとの間にストッパ機構18が設けられており、上部開閉部10aを、図2に示す解放姿勢で安定させることが可能となっている。
 図2において実線で示すように上部開閉部10aを閉鎖姿勢にした状態で、前記上部開閉部10aは、外部から固定解除操作が行われたときにのみ解放可能となる固定機構で固定される。この固定機構は、ねじ止めなどである。メンテナンスなどにおいて必要なときにのみ前記固定機構が解除され、上部開閉部10aが解放姿勢とされて、上部収納空間11に配置された各部材の交換や修理などが行われる。
 上部開閉部10aが閉鎖姿勢のとき、上部収納空間11は、下部収納空間12との連通部14を除いて外部と遮断されて密閉される。下部収納空間12は、上部収納空間11との連通部14とセンサー収納空間13との連通部15を除いて密閉されており、センサー収納空間13も、下部収納空間12との連通部15を除いて密閉されている。
 本明細書において、上部収納空間11の内部空間と下部収納空間12ならびにセンサー収納空間13が密閉されているときは、筐体10を構成する金属板によって外気から遮断され、外気との間で空気の流出と流入を積極的に促進する通気路などが形成されていない構造を意味している。したがって、金属板の縁部どうしの重なり部にわずかな隙間が形成されていたり、開閉動作する上部開閉部10aと下部固定部10bとの間にわずかな隙間が形成されていたり、または配線を筐体の外部に引き出すための最小限度の穴などが存在していてもよい。
 連通部14には、上部収納空間11と下部収納空間12とを連通させるための開口部が形成されており、連通部15には、下部収納空間12とセンサー収納空間13との連通させるための開口部が形成されている。
 筐体10の上部開閉部10aと張出部10cとの間にワーク通過部20が形成されている。図2に示すように、ワーク通過部20では、後方に固定カバー21が設けられ、前方に開閉カバー22が設けられている。固定カバー21は、筐体10の下部固定部10bの前方に固定されて設けられている。
 開閉カバー22は、その下縁部が図1に示すヒンジ部23を介して筐体10の張出部10cの先部に回動自在に連結されている。開閉カバー22は、図2において実線で示す閉鎖姿勢と、破線で示すように前方へ回動する開閉姿勢との間で回動自在である。
 図2に示すように、開閉カバー22が閉鎖姿勢となったときに、固定カバー21と開閉カバー22との間に導入口24aが形成される。図1に示すように、導入口24aと対向する側には搬出口24bが形成される。図2に示すように、導入口24aには、鉛を含むX線遮蔽シート25が設けられ、搬出口24bにもX線遮蔽シート25が同様にして設けられている。X線遮蔽シート25には、上下に延びる切断線が一定の間隔を形成されて、ワークを通過させることができるようになっている。
 図1に示すように、ワーク通過部20では、導入口24aの下側にローラ26aが、搬出口24bの下側にローラ26bが設けられている。ローラ26a,26bの一方が駆動ローラで他方が従動ローラである。ローラ26aと26bとに搬送ベルト27が掛けられている。図1と図2に示すように、筐体10の張出部10cは、上下に間隔を空けて延びている2つの搬送ベルト27の間に位置している。
 上部開閉部10aの内部の上部収納空間11に、冷却容器30が収納され、冷却容器30の内部にX線発生源32が収納されている。X線発生源はX線管であり、ガラス管の内部にX線を発生するターゲットと、このターゲットに電子を衝突させる電極とが収納されている。冷却容器30は、X線の遮蔽機能を有し且つ熱を伝達できる金属材料で形成されて内部が密封されており、上部開閉部10aの底部に設置された支持台31の上に固定されている。
 図1と図2に示すように、支持架台4に放熱器33が支持されている。放熱器33はラジエターである。図3に示すように、冷却容器30の内部と放熱器33の内部との間が循環用管路35a,35bで連結され、循環用管路35aの途中にポンプ36が設けられている。ポンプ36の移送力により、循環用管路35a,35bを介して、冷却容器30と放熱器33との間を冷却媒体が循環する。冷却媒体としては、電気的絶縁性が高く熱伝導性に優れた絶縁油剤が使用される。
 図3に示すように、冷却容器30は上部収納空間11の内部に配置され、放熱器33は上部収納空間11の外部、すなわち筐体10の外部において、支持架台4に固定されている。また、支持架台4には、放熱器33の周囲の空気循環を促進するための冷却ファン37が設けられている。
 上部収納空間11とその下のワーク通過部20との間には、金属板とこの金属板の窓部に配置されたフィルターとが設けられて、上部収納空間11とワーク通過部20の空間とが遮蔽されている。図2と図3に、X線発生源32から発せられるX線の照射領域Lが示されている。X線発生源32から下向きに発せられたX線は、支持台31の内部空間を通過し、上部収納空間11の底部11aに設けられた前記フィルターを透過して、その下のワーク通過部20に与えられる。
 図1ないし図3に示すように、筐体10の上部開閉部10aの前面部10dは、傾斜して形成されており、この前面部10dに表示装置38が実装されている。図1に示すように、表示装置38の表示画面38aは前方から目視可能である。表示画面38aはカラー液晶パネルなどで構成されている。
 図2と図3に示すように、上部収納空間11の内部では、表示装置38が冷却容器30と対向し、表示装置38と冷却容器30とが互いに接近して配置されている。
 図3に示すように、上部収納空間11には、第1の回路41と第2の回路42が設けられている。第1の回路41は、マザー基板を有し、CPUや表示装置38を動作させるための駆動回路などの回路構成部材が実装されている。第2の回路42は、回路基板にスイッチング電源すなわちAC/DCコンバータを構成する回路構成部材が実装されている。図3では、第1の回路41と第2の回路42が、冷却容器30を支持する支持台31の背後に配置されているが、これら回路は、支持台31よりも前方(支持台31を挟んで図3と逆の側)に配置されていてもよいし、支持台31の左右両側方(図2の紙面前後方向)に配置されていてもよい。
 図3に示すように、筐体10内の下部収納空間12には、第3の回路43と第4の回路44が配置されている。これら回路43,44は、回路基板にインバータを構成する回路構成部材が実装されている。
 筐体10の張出部13の内部のセンサー収納空間13にX線センサー45が設置されている。X線センサー45はラインセンサであり、ワーク通過部20を挟んで、X線発生源32の下方に対向している。
 X線検査装置1が検査動作を行うときは、ローラ26a,26bが回転し、搬送ベルト27が図1において反時計方向(T方向)に周回する。袋内に食品が収納された包装体などのワークは、搬送ベルト27上へ受け渡され、搬送ベルト27の移送力によって導入口24aからワーク通過部20に移送され、さらに搬出口24bから搬出される。
 ワーク通過部20では、X線発生源32から発せられたX線がワークに曝射され、ワークを透過したX線がX線センサー45で検知され、包装体などのワークの映像が取得され、この映像に基づいて異物が混入しているかなどの検査が行われる。
 検査を行っている間、X線発生源32が発熱を継続する。その発熱量は100~500Wh(ワット時)程度である。冷却容器30の内部には冷却媒体が循環しており、X線発生源32で発せられた熱は、冷却媒体で運搬されて、循環用管路35a,35bを通じて放熱器33に伝えられ、放熱器33から筐体10の外部に放出される。
 冷却媒体の循環によって冷却容器30の温度上昇が抑制されるため、冷却容器30が設置されている上部収納空間11の内部の温度の上昇も抑制される。そのため、上部収納空間11に比較的熱に弱い特性を持つCPUやAC/DCコンバータなどを構成する回路構成部材が配置されていても、これら回路構成部材が高温の環境下に設置されるのを防止できる。よってCPUの誤動作や、AC/DCコンバータの変換効率の低下を防止できるようになる。
 表示装置38が冷却容器30と対向する位置で冷却装置30に接近して配置されているが、冷却容器30が冷却媒体の循環で温度が上昇しないように制御されているため、X線発生源32の発熱によって表示装置38が加熱されるのを抑制できる。さらに、冷却容器30の内部を循環する冷却媒体によって、表示装置38から発せられる熱を放熱器33から外気へ排出することも可能である。
 また、上部収納空間11に冷却容器30が設けられて内部の温度上昇が抑制されているため、表示装置用の駆動回路を、冷却容器30の近くで且つ表示装置38に接近させて配置することが可能になる。駆動回路と表示装置38との距離を接近させることができるため、表示装置38の表示品質を安定させることが可能になる。
 上部収納空間11に配置された第1の回路41や第2の回路42が発熱性の回路構成部材を有している場合には、これら回路構成部材から発せられた熱が上部収納空間11の内部に発散される。しかし、上部収納空間11に、循環する冷却媒体によって冷却されている冷却容器30が存在しているため、回路構成部材の発熱があったとしても上部収納空間11の温度の上昇を抑制できる。
 すなわち、上部収納空間11では、冷却容器30が一種の冷却装置として機能し、上部収納空間11が冷却空間となる。したがって、上部収納空間11の内部に発熱性の回路構成部材が配置されていても、上部収納空間11の温度が過剰に上昇するのが抑制される。
 図3に示すように、下部収納空間12に第3の回路43と第4の回路44が配置されている。これら回路が発熱性の回路構成部材を有していると、発せられた熱が筐体10の内部を上昇して上部収納空間11に移行する。また、X線センサー45ならびにその周辺回路からの熱も、下部収納空間12を通過して上部収納空間11に至る。この熱に関しても、上部収納空間11が冷却空間として機能するため、上部収納空間11の温度が過剰に上昇するのが抑制される。
 上部収納空間11の内部は冷却容器30の存在により温度上昇が抑制されているが、それでも上部収納空間11の内部に温度勾配が発生するのを避けることができず、上部収納空間11の上方が比較的温度が高く、下方で比較的温度が低くなる。したがって、第1の回路41と第2の回路42の最上部に実装された回路構成部材を、上部収納空間11を冷却している冷却容器30の上面30bと同じ高さ位置か、それよりも下側に配置することが好ましい。また、回路構成部材が冷却容器30の底部30aよりも下側の空間に設けられていることがさらに好ましい。
 すなわち、上部収納空間11の内部に複数組設けられた回路構成部材のうちの少なくとも熱による影響を受けやすい回路構成部材、すなわち少なくとも一部の回路構成部材を、冷却装置として機能する冷却容器30の上面30bよりも下方で、好ましくは底部30aよりも下方に配置することで、熱に弱い回路構成部材が高温にさらされるのを防止しやすくなる。
 図4には、X線発生源32が動作しているときに上部収納空間11の内部の複数個所で測定した温度の変化が示されている。
 測定したX線検査装置1の上部収納空間11は、図3に示す高さHが320mm、前後の長さLが550mm、幅Wが458mmであった。温度測定点を、図3に示すように、冷却容器30よりも上側の(i)部、冷却容器30の底部30aに近い(ii)部、上部収納空間11の底部後方の(iii)部、上部収納空間11の底部前方の(iv)部とした。
 図4は、縦軸が温度(℃)で横軸がX線検査装置1の運転時間(分)であり、グラフ内に(i)(ii)(iii)(iv)の各部で測定された温度の変化が示されている。
 図4に示すように、上部収納空間11に冷却容器30が配置されているため、上部収納空間11の内部の温度上昇を抑制でき、最高で45℃程度に設定することが可能である。特に、冷却容器30の底部30aよりも下側では温度を35℃以下に設定でき、熱による影響を受けやすい回路構成部材を配置するのに適した場所となっている。
1 X線検査装置
10 筐体
10a 上部開閉部
10b 下部固定部
10c 張出部
11 上部収納空間
12 下部収納空間
13 センサー収納空間
20 ワーク通過部
30 冷却容器
30b 冷却容器の上面
31 支持台
32 X線発生源
33 放熱器
35a,35b 循環用管路
36 ポンプ
41,42,43,44 回路
45 X線センサー

Claims (8)

  1.  ワーク通過部と、前記ワーク通過部を挟んで一方の側に設けられたX線発生源と、他方の側に設けられてX線を検知するセンサーとが設けられたX線検査装置において、
     前記X線発生源を収納する冷却容器と、放熱器と、前記冷却容器の内部と前記放熱器とを連結する管路と、前記管路を介して前記冷却容器の内部と前記放熱器との間で冷却媒体を循環させるポンプとが設けられ、
     筐体の内部空間である上部収納空間に前記冷却容器が設置され、前記放熱器が前記上部収納空間の外部に設置されており、電気回路を構成する回路構成部材が、前記冷却容器と共に前記上部収納空間に配置されていることを特徴とするX線検査装置。
  2.  前記上部収納空間は、筐体の上部開閉部の内部に形成されており、前記上部開閉部が閉じられたときに、前記上部収納空間が外部空間から遮断されて密閉される請求項1記載のX線検査装置。
  3.  前記上部収納空間よりも下側に、前記上部収納空間に連通する下部収納空間が設けられ、この下部収納空間に他の回路構成部材が収納されている請求項2記載のX線検査装置。
  4.  前記上部収納空間と前記下部収納空間の少なくとも一方に発熱性の回路構成部材が配置されている請求項2または3記載のX線検査装置。
  5.  前記上部開閉部は、外部から固定解除操作が行われたときにのみ解放可能となる固定機構で固定されている請求項2ないし4のいずれかに記載のX線検査装置。
  6.  前記上部開閉部に表示装置が取り付けられており、前記上部開閉部が閉じられたときに、前記表示装置が前記冷却容器に接近して対向する請求項2ないし5のいずれかに記載のX線検査装置。
  7.  前記上部収納空間に、前記表示装置を駆動する駆動回路を構成する回路構成部材が配置されている請求項6記載のX線検査装置。
  8.  前記センサーはセンサー収納空間に収納されており、前記センサー収納空間が前記上部収納空間に連通している請求項1ないし7のいずれかに記載のX線検査装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI664423B (zh) * 2014-08-01 2019-07-01 德商黑爾穆特佛雪爾電子學和計量技術公司 用於x射線螢光分析之手持器具及行動裝置以及運輸容器
JP2020122771A (ja) * 2019-01-31 2020-08-13 株式会社イシダ X線検査装置

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015134277A1 (en) 2014-03-05 2015-09-11 Faxitron Bioptics, Llc System and method for multi-axis imaging of specimens
CA163498S (en) 2015-02-13 2017-09-28 Helmut Fischer Gmbh Inst Für Elektronik Und Messtechnik Handheld x-ray fluorescence measuring instrument
WO2017040977A1 (en) 2015-09-04 2017-03-09 Faxitron Bioptics, Llc Multi-axis specimen imaging device with embedded orientation markers
JP6799917B2 (ja) 2015-12-21 2020-12-16 浜松ホトニクス株式会社 放射線検出装置、放射線検査システム、及び、放射線検出装置の調整方法
WO2018085719A1 (en) 2016-11-04 2018-05-11 Hologic, Inc. Specimen radiography system
JP6717784B2 (ja) * 2017-06-30 2020-07-08 アンリツインフィビス株式会社 物品検査装置およびその校正方法
WO2019051496A1 (en) 2017-09-11 2019-03-14 Faxitron Bioptics, Llc IMAGING SYSTEM WITH ADAPTIVE OBJECT MAGNIFICATION
MX2020009274A (es) 2018-03-14 2020-10-01 Monsanto Technology Llc Imaginologia de semillas.
JP2019164088A (ja) * 2018-03-20 2019-09-26 株式会社イシダ X線検査装置
JP7442462B2 (ja) 2018-06-11 2024-03-04 モンサント テクノロジー エルエルシー 種子選別
CN108760786B (zh) * 2018-07-18 2023-10-03 国家地质实验测试中心 冷却循环系统
EP3902473B1 (en) 2018-12-26 2023-02-01 Hologic, Inc. Tissue imaging in presence of fluid during biopsy procedure
EP4058791A4 (en) * 2019-11-13 2024-03-06 Monsanto Technology Llc X-RAY SEED IMAGING SYSTEM, RADIOGRAPHY CABINET DEVICE, AND METHODS OF SEED EVALUATION

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07327973A (ja) * 1994-06-02 1995-12-19 Toshiba Corp X線ct装置
JP2005091015A (ja) 2003-09-12 2005-04-07 Anritsu Sanki System Co Ltd X線検査装置
JP2009270876A (ja) 2008-05-02 2009-11-19 System Square Inc 異物検査装置
JP2009300379A (ja) * 2008-06-17 2009-12-24 Anritsu Sanki System Co Ltd X線異物検出装置
JP3172652U (ja) * 2011-10-14 2012-01-05 株式会社イシダ X線検査装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2980800A (en) * 1958-07-24 1961-04-18 Machlett Lab Inc X-ray units
DE58905402D1 (de) * 1989-11-09 1993-09-30 Siemens Ag Röntgenstrahler.
JPH11354288A (ja) * 1998-06-04 1999-12-24 Yosuke Omichi 照射用軟x線発生装置
CN2426273Y (zh) * 2000-06-05 2001-04-11 李文钜 珍珠贝珠核检测装置
JP3777539B2 (ja) * 2000-12-07 2006-05-24 株式会社島津製作所 X線発生装置
JP3961262B2 (ja) * 2001-10-31 2007-08-22 ジーイー・メディカル・システムズ・グローバル・テクノロジー・カンパニー・エルエルシー X線発生装置
JP4664025B2 (ja) * 2004-09-02 2011-04-06 浜松ホトニクス株式会社 X線源
US7543987B2 (en) * 2004-12-29 2009-06-09 Varian Medical Systems, Inc. Modular cooling unit for x-ray device
US7280638B1 (en) * 2006-05-09 2007-10-09 General Electric Systems, methods and apparatus for X-ray tube housing
JP5455880B2 (ja) * 2010-12-10 2014-03-26 キヤノン株式会社 放射線発生管、放射線発生装置ならびに放射線撮影装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07327973A (ja) * 1994-06-02 1995-12-19 Toshiba Corp X線ct装置
JP2005091015A (ja) 2003-09-12 2005-04-07 Anritsu Sanki System Co Ltd X線検査装置
JP2009270876A (ja) 2008-05-02 2009-11-19 System Square Inc 異物検査装置
JP2009300379A (ja) * 2008-06-17 2009-12-24 Anritsu Sanki System Co Ltd X線異物検出装置
JP3172652U (ja) * 2011-10-14 2012-01-05 株式会社イシダ X線検査装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2896959A4

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI664423B (zh) * 2014-08-01 2019-07-01 德商黑爾穆特佛雪爾電子學和計量技術公司 用於x射線螢光分析之手持器具及行動裝置以及運輸容器
JP2020122771A (ja) * 2019-01-31 2020-08-13 株式会社イシダ X線検査装置
JP7338844B2 (ja) 2019-01-31 2023-09-05 株式会社イシダ X線検査装置

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