WO2014038854A1 - 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치 - Google Patents

실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치 Download PDF

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WO2014038854A1
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motor
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syringe
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심규창
김준수
김세현
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헨켈테크놀러지스(유)
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    • B04B5/0421—Radial chamber apparatus for separating predominantly liquid mixtures, e.g. butyrometers for liquids contained in receptacles comprising test tubes pivotably mounted

Definitions

  • the present invention relates to a method and apparatus for removing microbubbles present in a syringe fill. More particularly, the present invention relates to a syringe by operating a centrifugal separator using a predetermined vacuum pressure when manufacturing an adhesive used in a semiconductor manufacturing process. The present invention relates to a centrifugal separator for removing bubbles of a syringe filling to completely remove microbubbles present in a filled adhesive.
  • defects caused by the expected air bubbles that can occur during the manufacture of a liquid adhesive are caused by bonding and soldering an adhesive between the chip and the substrate.
  • solder flows into the bubbles, thereby causing an electrical error in the chip wiring.
  • the prepared adhesive is filled in each syringe, and the syringe is mounted on the cradle of the centrifuge to be driven to drive the micro bubbles present inside through centrifugation. Removing the situation.
  • an object of the present invention is to present the inside of the adhesive filled in the syringe by operating the centrifuge using a predetermined vacuum pressure when manufacturing the adhesive used in the semiconductor manufacturing process
  • the present invention provides a centrifugal separator for removing bubbles from a syringe filling to completely remove microbubbles.
  • the present invention for achieving the above object is a circular main body, a sealing cover that is hermetically mounted on the upper portion of the main body, a rotating shaft and a rotating body rotated by the drive of the motor, and a hinge shaft formed on the four surfaces of the rotating body
  • a centrifuge comprising a mounting unit coupled to the mounting unit, a syringe mounted through a mounting unit, a vacuum tube and a vacuum release tube connected to a lower end of the main body, and a vacuum sensor installed on the vacuum tube;
  • a vacuum driving part which lowers the pressure inside the main body to a predetermined pressure through the vacuum tube;
  • a sensor detecting unit for inputting a pressure value detected from the vacuum sensor to a control unit;
  • a motor driving unit for rotating the rotating shaft by driving the motor;
  • a control unit for controlling the operation of the winshim separator, maintaining a constant internal pressure of the main body at a set value, and controlling driving of the motor with a set RPM and a driving time.
  • the internal pressure of the body is characterized in that 50 to 60 (torr) torr.
  • the RPM of the motor is characterized in that 700 ⁇ 1,200.
  • the present invention can be caused by an unexpected bubble, which is one of the risk factors in semiconductor assembly, by completely removing the microbubbles present in the adhesive filled in the syringe by operating the centrifuge using a predetermined vacuum pressure. It offers the advantage of preventing electrical faults.
  • the present invention enables more accurate amount of adhesive ejection by removing the internal bubble of the adhesive.
  • FIG. 1 is a block diagram of a centrifugal separator for removing bubbles of the syringe filling according to the present invention
  • FIG. 2 is an enlarged configuration diagram of the rotating body and the holder of FIG.
  • FIG. 3 is a configuration diagram of the operating state of the rotating body and the holder of FIG.
  • FIG. 1 is a block diagram of a centrifugal separator for removing bubbles of the syringe filling according to the present invention.
  • the centrifugal separator for removing bubbles of the syringe filling As shown, the centrifugal separator for removing bubbles of the syringe filling according to the present invention,
  • the centrifuge 100, the vacuum driver 210, the sensor detector 220, the motor driver 230, the display unit 240, the key input unit 250 and the controller 260 are included.
  • the centrifuge 100 includes a circular main body 110, a support 120 supporting the main body 110, and a sealing cover 130 that is hermetically mounted on an upper portion of the main body 110.
  • the rotating shaft 111 rotated by the driving of the motor 121, the rotating body 112 connected to the upper end of the rotating shaft 111, and the rotating body (
  • the mounting portion 114 is coupled to the hinge shaft 113 formed on the four sides of the 112.
  • the mounting portion 114 is equipped with a cradle 115 formed with a plurality of mounting grooves 116, the syringe 117 filled with the adhesive is mounted on the mounting groove 116.
  • the syringe 117 is preferably a 10cc or 30cc syringe, but can be applied to a larger syringe is not necessarily limited thereto.
  • the lower end of the main body 110 is configured with a connecting tube 140, the connecting tube 140 is configured to branch into a vacuum tube 141 and a vacuum release tube 142.
  • the vacuum sensor 143 for detecting a vacuum pressure is installed inside the vacuum tube 141.
  • the vacuum release pipe 142 is provided with an on-off valve 144, an air filter 145, a silencer 146, etc., the pressure gauge 131 is further attached to the sealing cover 130.
  • the vacuum driving unit 210 lowers the pressure inside the main body to a predetermined pressure by sucking the air inside the main body 110 through the vacuum tube 141.
  • the internal pressure of the main body 110 is preferably maintained at 50 to 60 torr (torr) during operation.
  • the sensor detection unit 220 processes the pressure value detected from the vacuum sensor 143 and inputs the signal to the controller 260.
  • the motor driving unit 230 drives the motor 121 to rotate the rotating shaft 111 inside the main body 110.
  • the RPM of the motor 121 maintains 700 to 1,200 RPM during exercise, and the driving time is preferably 3 to 7 minutes.
  • the display unit 240 displays the current internal pressure of the main body 110, the rotation speed (RPM) of the syringe 117, and the like.
  • the key input unit 250 includes a plurality of function switches to key input the internal pressure of the main body 110, the rotational speed of the motor 121, the driving time of the motor 121, and the like.
  • the control unit 260 is a circuit for controlling the operation of the winshim separator 100, the internal pressure of the main body 110 to a value set through the key input unit 250 is constantly maintained at a set value, and the set RPM and The driving time is controlled by the motor 121.
  • the user opens the airtight cover 130 of the centrifuge body 110, inserts the syringe filled with the adhesive 117 into the mounting groove 116 of the holder 115, and then the beacon 115 Is fixed to the mounting portion 114 of the rotating body (112).
  • the pressure inside the main body is set to 60 torr
  • the RPM of the motor 121 is set to 900
  • the driving time of the motor is set to 5 minutes.
  • control unit 260 drives the vacuum driving unit 210 to lower the pressure inside the main body 110.
  • the vibration driving unit 210 lowers the pressure by suctioning the air in the main body 110 through the vacuum tube 141, and at this time, detects the pressure input through the vacuum sensor 143 and the sensor detecting unit 220.
  • the pressure inside the main body 110 is set, that is, 60 torr is maintained.
  • the controller 260 controls the motor driver 230 to drive the motor 121.
  • the motor driving unit 230 controls to drive the motor 121 to maintain the set RPM under the control of the controller 260.
  • the rotation shaft 111 rotates in association with the rotation of the motor 121, and the rotation body 112 rotates by the rotation of the rotation shaft 111.
  • the mounting part 114 connected to the hinge shaft 113 on the four sides by the rotation of the rotating body 112 is rotated, and at the same time moves up and down.
  • the mounting portion 114 moves up and down about the hinge axis 113 as shown in (a) ⁇ (b) ⁇ (c) by centrifugal force and rotational movement. do.
  • the adhesive filled in the syringe 117 is subjected to a strong rotational centrifugal force, and the microbubble existing therein escapes, where an important feature of the present invention is pressure.
  • the microbubbles existing inside the adhesive through such centrifugation are easily released because the pressure inside the main body 110 is lower than atmospheric pressure.
  • the micro bubbles in the micro unit existing in the adhesive filled in the syringe 117 are also escaped to the outside of the adhesive due to the internal pressure of the main body 110 and the physical phenomenon caused by the centrifugation.
  • the controller 260 stops the output of the motor driving unit 230 to stop the driving of the motor 121 and the vacuum driving unit 210. Also cuts off the output.
  • the user opens the on / off valve 144 of the vacuum releasing tube 142 to return the pressure inside the main body 110 to room temperature, and when such a process is completed, the sealing valve 130 is opened to open the syringe 117.
  • the deaeration process of the adhesive is completed by removing.
  • the syringe 117 the bubble is removed through the vacuum centrifugation process is stored frozen (-40 °C or less), in order to remove the bubbles re-generated therein in the future use, again After performing a vacuum centrifugation process such as, it is used.

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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 접착제 제조 시, 소정의 진공압을 이용하여 원심 분리기를 동작시킴으로써 실린지에 충진된 접착제 내부에 존재하는 미세기포를 완전하게 제거할 수 있도록 한 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치에 관한 것으로, 원형의 본체와, 본체의 상부에 밀폐 장착되는 밀폐덮개와, 모터의 구동에 의해 회전되는 회전축 및 회전체와, 상기 회전체의 4면에 형성된 힌지축에 결합되는 장착부와, 상기 장착부에 거치대를 통해 거치되는 실린지와, 상기 본체의 하단에 연결 형성되는 진공관 및 진공해제관과, 상기 진공관에 설치되는 진공센서를 포함하는 원심분리기; 상기 진공관을 통해 본체 내부의 압력을 소정 압력으로 낮추어 주는 진공구동부; 상기 진공센서로부터 검출된 압력값을 제어부로 입력하는 센서감지부; 상기 모터를 구동시켜 상기 회전축을 회전시켜 주는 모터구동부; 및 상기 윈심분리기를 작동 제어하며, 상기 본체의 내부압력을 설정된 값으로 일정하게 유지하고, 설정된 RPM과 구동시간으로 상기 모터를 구동 제어하는 제어부를 포함하여 된 것을 특징으로 한다.

Description

실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치
본 발명은 실린지 충진물에 존재하는 미세 기포를 제거하기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조공정에 사용되는 접착제 제조 시, 소정의 진공압을 이용하여 원심 분리기를 동작시킴으로써 실린지에 충진된 접착제 내부에 존재하는 미세기포를 완벽하게 제거할 수 있도록 한 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치에 관한 것이다.
반도체 제조공정에 있어서, 액상상태의 접착제 제조 시 발생할 수 있는 예상치 기포(Air bubble)가 야기하는 불량, 특히 필립 칩 패키지(Filp chip package)의 경우 칩과 기판 사이에 접착제를 붙이고 납땜을 하게 되는 데, 이때 상기 접착제에 미세 기포가 존재하는 경우, 상기 기포로 땜납이 흘러들어가 칩 배선에 전기적 오류가 발생하게 된다.
따라서 이와 같은 접착제 내부의 미세기포로 인한 제품 불량을 방지하기 위하여, 제조된 접착제를 각각의 실린지에 충진하고, 원심분리기의 거치대에 상기 실린지를 장착하여 구동시킴으로써, 원심분리를 통해 내부에 존재하는 미세기포를 제거하고 있는 실정이다.
그러나 이러한 원심분리기를 이용한 경우에도, 실린지에 충진된 접착제 내부의 미세한 마이크로 단위의 기포는 사실상 제거가 어려워 접착제 토출 시 다량의 기포가 발견되는 등 문제점이 발생되고 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명이 목적은 반도체 제조공정에 사용되는 접착제 제조 시, 소정의 진공압을 이용하여 원심 분리기를 동작시킴으로써 실린지에 충진된 접착제 내부에 존재하는 미세기포를 완벽하게 제거할 수 있도록 한 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치를 제공하는 것에 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 원형의 본체와, 본체의 상부에 밀폐 장착되는 밀폐덮개와, 모터의 구동에 의해 회전되는 회전축 및 회전체와, 상기 회전체의 4면에 형성된 힌지축에 결합되는 장착부와, 상기 장착부에 거치대를 통해 거치되는 실린지와, 상기 본체의 하단에 연결 형성되는 진공관 및 진공해제관과, 상기 진공관에 설치되는 진공센서를 포함하는 원심분리기; 상기 진공관을 통해 본체 내부의 압력을 소정 압력으로 낮추어 주는 진공구동부; 상기 진공센서로부터 검출된 압력값을 제어부로 입력하는 센서감지부; 상기 모터를 구동시켜 상기 회전축을 회전시켜 주는 모터구동부; 및 상기 윈심분리기를 작동 제어하며, 상기 본체의 내부압력을 설정된 값으로 일정하게 유지하고, 설정된 RPM과 구동시간으로 상기 모터를 구동 제어하는 제어부를 포함하여 된 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 상기 원심분리기 운전 시, 본체의 내부압력은 50~60(torr)토르인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 상기 원심분리기 운전 시, 상기 모터의 RPM은 700~1,200인 것을 특징으로 한다.
이와 같이 본 발명은 소정의 진공압을 이용하여 원심 분리기를 동작시킴으로써 실린지에 충진된 접착제 내부에 존재하는 미세기포를 완벽하게 제거함으로써, 반도체 조립에서의 위험요소 중 하나인 예상치 못한 기포로 인해 발생할 수 있는 전기적 결함을 예방할 수 있는 장점을 제공한다.
또한 본 발명은 접착제 내부 기포가 제거됨으로써 보다 정확한 양의 접착제 토출이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치의 구성도,
도 2는 상기 도 1의 회전체 및 거치대의 확대 구성도,
도 3은 상기 도 1의 회전체 및 거치대의 작동 상태 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치의 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치는,
원심분리기(100), 진공구동부(210), 센서감지부(220), 모터구동부(230), 표시부(240), 키입력부(250) 및 제어부(260)를 포함한다.
상기 원심분리기(100)는 원형의 본체(110)와, 상기 본체(110)를 지지하는 지지부(120)와, 상기 본체(110)의 상부에 밀폐 장착되는 밀폐덮개(130)를 포함한다.
상기 본체(110)의 내부에는 도 2에서와 같이 모터(121)의 구동에 의해 회전되는 회전축(111)과, 상기 회전축(111)의 상단에 연결되는 회전체(112)와, 상기 회전체(112)의 4면에 형성된 힌지축(113)에 결합되는 장착부(114)를 포함한다.
상기 장착부(114)에는 복수개의 거치홈(116)이 형성된 거치대(115)가 장착되고, 상기 거치홈(116)에는 접착제가 충진된 실린지(117)가 거치된다.
여기서 상기 실린지(117)는 10cc 또는 30cc 실린지가 바람직지만 보다 큰 실린지에도 적용이 가능한 것으로 꼭 이에 한정되는 것은 아니다.
또한 상기 본체(110)의 하단에는 연결관(140)이 구성되며, 상기 연결관(140)은 진공관(141)과 진공해제관(142)으로 분기되도록 구성된다.
상기 진공관(141)의 내부에는 진공압력을 감지하는 진공센서(143)가 설치된다.
상기 진공해제관(142)에는 개폐밸브(144), 공기필터(145), 소음기(146) 등이 설치되고, 상기 밀폐덮개(130)에는 압력계(131)가 더 부착 구성된다.
또한 상기 진공구동부(210)는 진공관(141)을 통해 본체(110) 내부의 공기를 흡입하여 본체 내부의 압력을 소정 압력으로 낮추어 주게 된다.
본 발명에 따르자면 상기 본체(110)의 내부압력은 운전 시, 50~60토르(torr)로 유지하는 것이 바람직하다.
또한 상기 센서감지부(220)는 상기 진공센서(143)로부터 검출된 압력값을 신호 처리하여 제어부(260)로 입력하여 준다.
상기 모터구동부(230)는 모터(121)를 구동시켜 본체(110) 내부의 회전축(111)을 회전시켜 준다.
본 발명에 따르자면 상기 모터(121)의 RPM은 운동 시, 700~1,200RPM을 유지하고, 구동시간은 3~7분이 바람직하다.
상기 표시부(240)는 현재의 본체(110) 내부 압력, 실린지(117)의 회전 속도(RPM) 등을 표시하여 준다.
상기 키입력부(250)는 복수개의 기능 스위치를 구비하여 본체(110)의 내부압력 설정, 모터(121)의 회전 속도 설정, 모터(121)의 구동시간 설정 등을 키입력하여 준다.
상기 제어부(260)는 상기 윈심분리기(100)를 작동 제어하는 회로로, 상기 키입력부(250)를 통해 설정된 값으로 상기 본체(110)의 내부압력을 설정된 값으로 일정하게 유지하고, 설정된 RPM과 구동시간으로 모터(121)를 구동 제어한다.
이와 같이 구성된 본 발명의 동작을 이하 설명한다.
먼저, 사용자는 원심분리기 본체(110)의 밀폐덮개(130)를 열고, 접착제가 충진된 실린지(117)를 거치대(115)의 거치홈(116)에 삽입한 후, 상기 거지대(115)를 회전체(112)의 장착부(114)에 장착 고정한다.
그리고 난 후, 상기 밀폐덮개(130)를 덮고, 진공해제관(142)의 개폐밸브(144)를 폐쇄시킨다.
이와 같이 접착제가 충진된 실린지(117)를 원심분리기(100)에 장착 완료하면, 키입력부(250)를 통해, 원심분리기 본체(110) 내부의 압력과, 모터(121)의 회전 RPM과 모터의 구동시간을 설정한다.
여기에서는 일례로, 본체 내부의 압력을 60토르(torr)로 설정하고, 모터(121)의 RPM을 900으로 설정하고, 모터의 구동시간을 5분으로 설정한다.
이와 같은 키입력이 제어부(260)로 입력되면, 상기 제어부(260)는 진공구동부(210)를 구동시켜 본체(110) 내부의 압력을 낮춰 준다.
상기 진동구동부(210)는 진공관(141)을 통해 본체(110) 내부의 공기를 흡입하여 압력을 낮춰주게 되는 데, 이때 진공센서(143) 및 센서감지부(220)를 통해 입력되는 압력을 검출하여 본체(110) 내부의 압력이 설정된 값, 즉 60토르가 유지되도록 하여준다.
이와 같이 본체(110) 내부의 압력이 설정된 값에 이르면, 상기 제어부(260)는 모터구동부(230)를 제어하여 모터(121)를 구동시킨다.
여기서 상기 모터구동부(230)는 상기 제어부(260)의 제어에 의해 상기 모터(121)가 설정된 RPM을 유지하도록 구동 제어한다.
따라서 상기 모터(121)가 회전 구동하면, 이에 연동하여 회전축(111)이 회전하고, 상기 회전축(111)의 회전으로 회전체(112)가 회전한다.
상기 회전체(112)의 회전으로 4면의 힌지축(113)에 연결된 장착부(114)는 회전되며, 동시에 상하로 운동하게 된다.
즉 도 3에서와 같이 회전체(112)가 회전하면서 장착부(114)는 원심력과 회전운동에 의해 (a)→(b)→(c)와 같이 힌지축(113)을 중심으로 상하로 운동하게 된다.
따라서 실린지(117)에 충진된 접착제는 강한 회전 원심력을 받게 되어, 내부에 존재하는 미세 기포가 빠져나가게 되는 데, 여기서 중요한 본 발명의 특징은 압력이다.
즉 이러한 원심 분리를 통해 접착제 내부에 존재하는 미세기포는 본체(110) 내부의 압력이 대기압 보다 낮은 관계로, 매우 용이하게 빠져나간다는 것이다.
결국, 실린지(117)에 충진된 접착제 내부에 존재하는 마이크로 단위의 미세 기포도 본체(110) 내부 압력과, 원심분리에 따른 물리적 현상으로 접착제 외부로 빠져나가게 되는 것이다.
이와 같이 모터(121)가 구동하여 설정된 시간, 즉 5분이 경과하면, 상기 제어부(260)는 모터구동부(230)로의 출력을 중지시켜 모터(121)의 구동을 중지시키고, 진공구동부(210)의 출력도 차단한다.
따라서 회전축(111)과 회전체(112)는 정지한다.
사용자는 진공해제관(142)의 개폐밸브(144)를 개방시켜 본체(110) 내부의 압력을 상온으로 복귀시켜 주며, 이와 같은 과정이 완료되면 밀폐밸브(130)를 개방하여 실린지(117)를 꺼냄으로써 접착제의 기포제거 과정을 완료하게 된다.
또한 본 발명에 따르자면, 상기 진공 원심분리 과정을 통해 기포가 제거된 실린지(117)는 냉동(-40℃ 이하) 보관되고, 추후 사용 시 내부에 재 발생된 기포를 제거하기 위하여, 다시 상기와 같은 진공 원심분리 과정을 수행한 후, 사용하게 된다.

Claims (3)

  1. 원형의 본체와, 본체의 상부에 밀폐 장착되는 밀폐덮개와, 모터의 구동에 의해 회전되는 회전축 및 회전체와, 상기 회전체의 4면에 형성된 힌지축에 결합되는 장착부와, 상기 장착부에 거치대를 통해 거치되는 실린지와, 상기 본체의 하단에 연결 형성되는 진공관 및 진공해제관과, 상기 진공관에 설치되는 진공센서를 포함하는 원심분리기;
    상기 진공관을 통해 본체 내부의 압력을 소정 압력으로 낮추어 주는 진공구동부;
    상기 진공센서로부터 검출된 압력값을 제어부로 입력하는 센서감지부;
    상기 모터를 구동시켜 상기 회전축을 회전시켜 주는 모터구동부; 및
    상기 윈심분리기를 작동 제어하며, 상기 본체의 내부압력을 설정된 값으로 일정하게 유지하고, 설정된 RPM과 구동시간으로 상기 모터를 구동 제어하는 제어부를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 원심분리기 운전 시, 본체의 내부압력은 50~60토르(torr)인 것을 특징으로 하는 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 원심분리기 운전 시, 상기 모터의 RPM은 700~1,200인 것을 특징으로 하는 실린지 충진물의 기포를 제거하는 원심분리장치.
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