WO2014010384A1 - 板状体の研磨装置及び板状体の研磨方法 - Google Patents

板状体の研磨装置及び板状体の研磨方法 Download PDF

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WO2014010384A1
WO2014010384A1 PCT/JP2013/066845 JP2013066845W WO2014010384A1 WO 2014010384 A1 WO2014010384 A1 WO 2014010384A1 JP 2013066845 W JP2013066845 W JP 2013066845W WO 2014010384 A1 WO2014010384 A1 WO 2014010384A1
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WO
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sheet
polishing
plate
film body
film
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PCT/JP2013/066845
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Inventor
木村　宏
秀晴 鳥井
Original Assignee
旭硝子株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a plate-like body polishing apparatus and a plate-like body polishing method.
  • a plate-like body, particularly a glass plate for a flat panel display such as a liquid crystal display, is known as a production method using a forming method called a float method as an example of the production method.
  • the manufacturing method includes a step of manufacturing a molten glass into a strip-shaped glass plate by the float method, a step of cutting the strip-shaped glass plate into a rectangular glass plate of a predetermined size, and a surface of the rectangular glass plate by a polishing apparatus. It includes a step of polishing and removing minute irregularities and undulations.
  • the rectangular glass plate is manufactured into a glass plate having a thickness of 0.05 to 2.0 mm suitable for a flat panel display.
  • This polishing apparatus includes a unit sheet including an adsorption sheet that adsorbs and holds a glass plate and a film body to which the adsorption sheet is attached. According to this polishing apparatus, a pressurized fluid is supplied between the film body and a carrier to which the film body is attached, and the glass plate adsorbed and held on the adsorption sheet is pressed against the polishing pad by the pressure of the pressurized fluid. Grind.
  • the film body disclosed in Patent Document 1 has a three-layer structure including an airtight holding layer, a strength holding layer, and a smooth layer, and the adsorbing sheet is constituted by a porous foamed polyurethane sheet having a self-adsorbing force. Has been.
  • Patent Document 1 has a problem in that during the polishing of the glass plate, the adsorbing sheet peels off from the film body due to polishing resistance, and the glass plate is damaged.
  • Patent Document 2 discloses a polishing apparatus that solves the above-mentioned problem of Patent Document 1 in Patent Document 2.
  • the polishing apparatus of Patent Document 2 is a unit formed by interposing an intermediate sheet between the film body and the suction sheet having a higher rigidity in the pulling direction than the rigidity in the pulling direction of the suction sheet to the film body and the suction sheet. It has a seat.
  • peeling may occur between the intermediate sheet and the film body having lower rigidity than the intermediate sheet by the expansion and contraction operation of the film body due to the polishing resistance.
  • the suction sheet since the suction sheet is not peeled off from the intermediate sheet, it is possible to prevent the suction sheet from peeling off and rising, and to prevent the glass plate from being damaged.
  • Patent Document 2 discloses that the adsorbing sheet is made of foamed polyurethane, and that the intermediate sheet is made of hard polycarbonate. Further, the film body has a double structure composed of an airtight holding layer made of rubber and a strength holding layer made of aramid fiber, and has a lower rigidity than the intermediate sheet.
  • the polishing apparatus of Patent Document 2 must replace the entire unit sheet when the suction sheet or the intermediate sheet to which the suction sheet is bonded is damaged, or the film body having lower rigidity than the intermediate sheet is damaged. .
  • the aramid fibers constituting the film body are expensive, it is resource-wise to replace the entire unit sheet due to damage to the sheet other than the film body, even though the film body is not damaged. There was also waste in terms of cost.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and is a plate-like polishing apparatus that eliminates waste in terms of resources and costs in a unit sheet composed of a film body, an intermediate sheet, and an adsorption sheet, and It aims at providing the grinding
  • the present invention comprises an adsorption sheet that adsorbs and holds a plate-like body, a film body to which the adsorption sheet is attached, a carrier to which the film body is attached, and a polishing pad, Polishing of a plate-like body in which a pressurized fluid is supplied between the film body and the carrier, and the plate-like body adsorbed and held by the adsorption sheet is pressed against the polishing pad by the pressure of the pressurized fluid and polished.
  • An intermediate sheet is interposed between the film body and the suction sheet.
  • the intermediate sheet has a higher rigidity in the pulling direction than the pulling direction rigidity of the suction sheet, and one surface of the intermediate sheet is attached to the suction sheet.
  • a plate-like polishing apparatus in which the other surface of the intermediate sheet is detachably attached to the film body via a surface fastener.
  • the adsorption sheet since the intermediate sheet is bonded between the film body and the adsorption sheet, the adsorption sheet can be prevented from peeling off and rising, and the glass plate can be prevented from being damaged.
  • one surface of the intermediate sheet is bonded to the suction sheet, and the other surface of the intermediate sheet is detachably attached to the film body via a surface fastener. Therefore, if the suction sheet or the intermediate sheet to which the suction sheet is bonded is damaged, the surface fastener is peeled off, the intermediate sheet is removed from the film body, and a new suction sheet and intermediate sheet are attached to the film body by the surface fastener and replaced. To do. Similarly, when the film body is damaged, the surface fastener is peeled off to remove the film body from the intermediate sheet, and a new film body is attached to the intermediate sheet by the surface fastener and replaced.
  • the unit sheet including the film body, the intermediate sheet, and the suction sheet.
  • the entire other surface of the intermediate sheet is detachably attached to the film body via the surface fastener. Therefore, the intermediate sheet has high rigidity attached to the film body via the surface fastener. There is no part and any other low rigidity part. That is, the rigidity on the surface of the intermediate sheet becomes uniform, so that uneven polishing does not occur in the plate-like body, and the polishing quality of the plate-like body is improved.
  • the adsorbing sheet is made of polyurethane foam
  • the intermediate sheet is made of polycarbonate, acrylic, aluminum, iron, stainless steel, glass, or carbon fiber reinforced plastic (CFRP: Carbon Fiber Reinforced Plastics).
  • CFRP Carbon Fiber Reinforced Plastics
  • the intermediate sheet is made of aluminum.
  • ABS Acrylonitrile Butadiene Styrene
  • FRP fiber reinforced plastics
  • the film body is configured in a double structure including an airtight holding layer and an aramid fiber strength holding layer, and an intermediate sheet is interposed between the strength fastener and the surface fastener. And is detachably attached.
  • the membrane body has an expensive aramid fiber, it is very advantageous in terms of cost when it is not necessary to exchange the membrane body.
  • the present invention also provides a plate-like polishing method for polishing a plate-like body using the polishing apparatus.
  • the plate-like body polishing apparatus and the plate-like body polishing method according to the present invention it is only necessary to replace a damaged sheet. It is possible to eliminate waste.
  • FIG. 1 is a plan view showing an overall configuration of a plate-like polishing apparatus according to an embodiment.
  • FIG. 2 is an assembled perspective view of the membrane frame and the unit sheet.
  • FIG. 3 is a side view of the first polishing stage and the second polishing stage.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the main part showing the configuration of the unit sheet.
  • FIG. 5 is a side view showing the configuration of the unit sheet.
  • FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the carrier to which the membrane frame is attached.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram for separating the film body and the intermediate sheet using the hook-and-loop fastener.
  • FIG. 1 is a plan view showing an overall configuration of a plate-like body polishing apparatus 10 according to an embodiment.
  • a polishing apparatus 10 shown in FIG. 1 polishes a large glass plate G (for example, one side of 1000 mm or more) to a thickness (for example, 0.05 to 2.0 mm) required for a glass plate for a liquid crystal display, This is a polishing apparatus for polishing one surface (polishing surface) of the glass plate G to the flatness required for the glass plate for liquid crystal display.
  • the polishing apparatus 10 includes a conveyor 12 that conveys the glass plate G before polishing, a stage 16 that adheres the glass plate G to the film frame 14, a first polishing stage 18, a second polishing stage 20, and a glass plate that has been polished.
  • a stage 22 for removing G from the membrane frame 14, a glass plate carry-out conveyor 24, a membrane frame cleaning stage 26, a membrane frame drying stage 28, and a membrane frame return conveyor 30 are configured as main elements.
  • the polishing apparatus 10 also includes a transfer device 150 that transfers the film frame 14 from the stage 16 to the first polishing stage 18, and a transfer device that transfers the film frame 14 from the first polishing stage 18 to the second polishing stage 20. 152 and a transfer device 154 for transferring the film frame 14 from the second polishing stage 20 to the stage 22.
  • the unpolished glass plate G conveyed by the conveyor 12 is sucked and held by a suction pad 34 provided on the arm 33 of the robot 32. Then, it is transferred from the conveyor 12 to the conveyor 36 by the rotation operation of the arm 33, and conveyed toward the stage 16 by the conveyor 36.
  • the glass plate G is held on the film frame 14.
  • a method for holding the glass plate G with respect to the film frame 14 will be described.
  • FIG. 2 is an assembled perspective view of the membrane frame 14 and the unit sheet 230.
  • the unit sheet 230 includes a film body 38 stretched on the film frame 14, an adsorption sheet 200, an intermediate sheet 210, and a surface fastener 220.
  • the porous foamed polyurethane adsorption sheet 200 that self-adsorbs the glass plate G is disposed on the lower surface of the film body 38, and between the adsorption sheet 200 and the film body 38. Further, an intermediate sheet 210 is interposed. Further, the lower surface of the intermediate sheet 210 is bonded to the upper surface of the suction sheet 200, and the entire upper surface of the intermediate sheet 210 is detachably attached to the film body 38 via the surface fastener 220. That is, a hook-and-loop fastener 220 having a surface area equal to the surface area of the intermediate sheet 210 is attached to the upper surface of the intermediate sheet 210.
  • the intermediate sheet 210 is made of a material whose rigidity in the pulling direction is higher than that of the suction sheet 200 in the pulling direction.
  • the intermediate sheet 210 may be made of polycarbonate, acrylic, aluminum, iron, stainless steel, glass, or carbon fiber reinforced plastic (CFRP: Carbon Fiber Reinforced Plastics).
  • CFRP Carbon Fiber Reinforced Plastics
  • the lower surface of the suction sheet 200 is pressed against the upper surface of the glass plate G by the pressing force by the lifting mechanism described above.
  • the glass plate G is adsorbed on the lower surface of the adsorbing sheet 200 and held on the film frame 14.
  • the film frame 14 is held by the transfer device 150 of FIG. 1 and transferred along the guide rail 170 to the first polishing stage 18 of FIG. 3, where the film frame 14 is the carrier of the first polishing stage 18. 52 is attached.
  • the film frame 14 (film frame 14 holding the glass plate G) that has been polished by the first polishing stage 18 is removed from the carrier 52 of the first polishing stage 18 and then held by the transfer device 152.
  • FIG. 3 is a side view of the first polishing stage 18 and the second polishing stage 20.
  • the film frame 14 includes a rectangular upper frame 40 and a lower frame 42 as shown in FIG.
  • the rectangular film body 38 is stretched between the upper frame 40 and the lower frame 42 and then fixed to the film frame 14 by fastening the upper frame 40 and the lower frame 42 with bolts (not shown).
  • the film frame 14 and the film body 38 are not limited to rectangles, and may be circular.
  • FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the unit sheet 230.
  • FIG. 5 is a side view showing the configuration of the unit sheet 230.
  • FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the carrier 52 to which the membrane frame 14 is attached.
  • the film body 38 has a two-layer structure including an airtight holding layer 44 and a strength holding layer 46.
  • the airtight holding layer 44 is a sheet material whose outer peripheral portion is in close contact with the lower outer peripheral frame portion 53 of the carrier 52 and maintains airtightness with the air chamber 54 of the carrier 52.
  • the material of the hermetic holding layer 44 include rubbers, silicons, fluororesins, vinyl chlorides such as vinyl chloride (PVC), nylons, urethanes, and the like.
  • the strength holding layer 46 of FIG. 4 is a sheet material having a predetermined tensile strength that can withstand the tension that holds the airtight holding layer 44 and stretches the entire film body 38.
  • the material of the strength retaining layer 46 is aramid fiber, stainless steel wire mesh, steel wire mesh, carbon fiber, glass fiber, nylon fiber, metal sheet, resin sheet, etc., because aramid fiber has very little elongation with respect to tensile force. preferable.
  • one fastener 222 for example, a fastener in which a large number of hooks are raised together
  • the surface fastener for example, Velcro tape: registered trademark
  • the lower surface of the other fastener for example, a fastener in which a large number of loops are raised
  • the adhesive for example, urethane adhesive or epoxy adhesive can be preferably used.
  • polishing head 50 shown in FIG. 3 will be described. Since the polishing head 50 of the first polishing stage 18 and the polishing head 50 of the second polishing stage 20 have the same structure, they will be described with the same reference numerals. .
  • the polishing head 50 is configured such that a motor is built in a main body casing 51, and an output shaft of the motor is connected to a spindle 56 suspended in a vertical direction.
  • a carrier 52 is connected to the spindle 56.
  • the main body casing 51 is connected to the slider 158 via the lifting mechanism 156.
  • the main body casing 51 is moved up and down with respect to the slider 158 by the lifting mechanism 156, so that the carrier 52 moves forward and backward with respect to the polishing pad 58 of the first polishing stage 18 and the polishing pad 60 of the second polishing stage 20. Is done. Therefore, when the carrier 52 moves forward, the lower surface (one surface: polishing surface) of the glass plate G on which the upper surface is sucked and held comes into contact with the polishing pads 58 and 60 on the lower surface of the suction sheet 200.
  • the polishing pad 58 is attached to the upper surface of the polishing surface plate 62, and a rotating shaft 64 that is rotated by a motor (not shown) is connected to the lower portion of the polishing surface plate 62.
  • the polishing pad 60 is affixed to the upper surface of the polishing surface plate 66, and a rotating shaft 68 that is rotated by a motor (not shown) is connected to the lower portion of the polishing surface plate 66.
  • the main body casing 51 is connected to a revolving drive mechanism (not shown) and has a function of revolving at a predetermined revolving radius.
  • This revolution drive mechanism can also be configured by incorporating a planetary gear mechanism in the main body casing 51 and connecting the output shaft of the planetary gear mechanism to the spindle 56.
  • the above is the configuration of the first polishing stage 18 and the second polishing stage 20.
  • the lower surface of the glass plate G is polished by the first polishing stage 18 and the second polishing stage 20, and the surface of the glass plate G is minute. Irregularities and undulations are removed.
  • linear motion guides 70 are attached to the slider 158 of the first polishing stage 18.
  • the linear motion guides 70, 70 are fitted to the guide rails 72, 72.
  • the guide rails 72 and 72 are arranged toward a maintenance stage 74 that maintains the spindle 56 and the carrier 52 of the first polishing stage 18.
  • linear motion guides 70 and 70 are similarly attached to the slider 158 of the second polishing stage 20, and the linear motion guides 70 and 70 are fitted to the guide rails 160 and 160. As shown in FIG. 1, the guide rails 160 and 160 are disposed toward a maintenance stage 76 for maintaining the spindle 56 and the carrier 52 of the second polishing stage 20.
  • the carrier 52 has a lifting frame 78 fixed to the upper outer peripheral portion of the carrier 52 by bolts (not shown).
  • a plurality of through holes 80, 80... Are formed at equal intervals in the flange portion protruding from the outer peripheral portion of the carrier 52 of the lifting frame 78, and a sliding frame (slide-contact) is formed in these through holes 80, 80.
  • a hanger 84 projecting from the upper surface of the frame 82 is penetrated from below as shown in FIG.
  • the lifting tool 84 is penetrated by a lifting spring 88 disposed between the lifting frame 78 and the lifting disk spring 86, and is also passed through the through hole 90 of the lifting disk spring 86, thereby screwing the screw. It is connected to a jack 92.
  • the carrier 52 is formed with a plurality of ejection ports 98, 98... For ejecting compressed air (pressurized fluid) into the air chamber 54 of FIG.
  • These injection ports 98, 98... Communicate with an air supply path 102 indicated by a broken line in FIG. 3 through an air chamber 100 formed on the upper surface of the carrier 52.
  • the air supply path 102 extends to the outside of the polishing head 50 via a rotary joint (not shown) attached to the polishing head 50, and is connected to an air pump 106 via a valve 104. Therefore, when the valve 104 is opened, compressed air from the air pump 106 is supplied to the air chamber 54 via the air supply path 102, the air chamber 100, and the injection port 98. Thereby, the pressure of compressed air is transmitted to the glass plate G through the unit sheet 230, and the lower surface of the glass plate G is pressed against the polishing pads 58 and 60 by this pressure and polished.
  • a plurality of pins 108, 108... are projected at equal intervals on the upper frame 40 of the film frame 14, and the circular head shown in FIG.
  • the part 110 is engaged with a hook 112 fixed to the lower part of the sliding frame 82.
  • the membrane frame 14 is attached to the sliding frame 82.
  • the engaging force between the head portion 110 and the hook 112 is strengthened by the reaction force of the film body 38 when the film body 38 is lifted by the screw jack 92, and the polishing resistance received from the film body 38 during polishing causes the head portion from the hook 112. 110 does not come off.
  • the film frame 14 is removed from the carrier 52 and transferred to the stage 22 by the transfer device 154.
  • the screw jack 92 shown in FIG. the film frame 14 is rotated by a predetermined angle with respect to the carrier 52 to remove the head portion 110 from the hook 112. Thereby, the film frame 14 is removed from the carrier 52.
  • the polished glass sheet G is peeled off from the unit sheet 230 of the film frame 14 conveyed by the conveying device 154.
  • the peeled glass plate G is transported by the conveyor 138 and sucked by the suction head 144 attached to the arm 142 of the robot 140.
  • the glass plate G is transferred to the glass plate carry-out conveyor 24 by the operation of the robot 140 and is carried out of the polishing apparatus 10 by the glass plate carry-out conveyor 24.
  • the film frame 14 (including the unit sheet 230) from which the glass plate G has been peeled off is transported to the film frame cleaning stage 26 by the conveyor 146, where it is washed with water.
  • the washed film frame 14 is conveyed to the film frame drying stage 28 by the conveyor 148, where it is heated and dried.
  • the dried film frame 14 is transported to the stage 16 by the film frame return conveyor 30 and reused for adsorbing and holding the glass plate G before polishing.
  • the above is the overall configuration of the polishing apparatus 10.
  • an intermediate sheet 210 having a tensile direction rigidity higher than the tensile direction rigidity of the suction sheet 200 is bonded between the film body 38 and the suction sheet 200. It can be prevented that the glass plate G is peeled off and broken, and damage to the glass plate G can be prevented.
  • the lower surface of the intermediate sheet 210 is bonded to the upper surface of the suction sheet 200 as shown in FIG. 5, and the entire upper surface of the intermediate sheet 210 is detachably attached to the film body 38 via the surface fastener 220. ing.
  • the surface fastener 220 is peeled off, the intermediate sheet 210 is removed from the film body 38, and a new suction sheet 200 is bonded.
  • the intermediate sheet 210 is attached to the film body 38 by the surface fastener 220 and replaced.
  • the film body 38 is broken as shown in FIG. 7, the surface fastener 220 is peeled off, the film body 38 is removed from the intermediate sheet 210, and a new film body 38 is attached to the intermediate sheet 210 by the surface fastener 220 and replaced. To do.
  • the polishing apparatus 10 of the embodiment only the damaged sheet needs to be replaced, and therefore the unit sheet 230 including the film body 38, the intermediate sheet 210, and the suction sheet 200 is wasteful in terms of resources and costs. Can be eliminated.
  • the entire upper surface of the intermediate sheet 210 is detachably attached to the film body 38 via the surface fastener 220.
  • the intermediate sheet 210 is attached to the film body 38 via the surface fastener.
  • the polishing apparatus 10 since the entire upper surface of the intermediate sheet 210 is detachably attached to the film body 38 via the surface fastener 220, the rigidity on the surface of the intermediate sheet 210 is low. Thus, the glass plate G is not evenly polished and the polishing quality of the glass plate G is improved. However, a mode in which only a part of the upper surface of the intermediate sheet 210 is detachably attached to the film body 38 via the surface fastener 220 is not excluded.
  • the film body 38 is configured in a double structure including the airtight holding layer 44 and the strength holding layer 46 made of aramid fiber, and the intermediate sheet 210 serves as the strength holding layer 46. It is detachably attached via the hook-and-loop fastener 220. According to the polishing apparatus 10 of the embodiment, since the film body 38 has an expensive aramid fiber, it is very advantageous in terms of cost when it is not necessary to replace the film body 38.
  • auxiliary plate 232 surrounding the glass plate G is held by suction on the suction sheet 200 of the embodiment.
  • the auxiliary plate 232 relaxes the high pressure generated at the end of the glass plate G due to the polishing pressure applied to the glass plate G through the polishing pad 58 during polishing, that is, prevents the polishing pressure from being applied to the glass plate G.
  • the suction sheet 200 are arranged to prevent the suction sheet 200 from rising.
  • the distance S between the auxiliary plate 232 and the glass plate G is preferably 5 mm or more. If the distance S is 5 mm or more, even if the arrangement position of the glass plate G or the auxiliary plate 232 is shifted during polishing, the glass plate G and the auxiliary plate 232 are difficult to contact, and there is no possibility that the glass plate G is damaged.
  • the thickness t of the auxiliary plate 232 is preferably equal to or less than the thickness of the glass plate G. Specifically, the difference between the thickness t of the auxiliary plate 232 and the thickness of the glass plate G is ⁇ 0. It is preferably 1 mm to 0 mm.
  • the material of the auxiliary plate 232 is a material having high wear resistance such as a fluororesin such as ultra high molecular weight polyethylene (UPE), stainless steel (SUS), polytetrafluoroethylene (Teflon (registered trademark)), or glass epoxy. Is preferred. If the D-hardness (according to ISO 7619: 2010) of the auxiliary plate 232 is higher than the D-hardness of the polishing pad 58, the auxiliary plate 232 is not easily worn even if the polishing pad 58 contacts the auxiliary plate 232.
  • UPE ultra high molecular weight polyethylene
  • SUS stainless steel
  • Teflon polytetrafluoroethylene
  • the suction sheet 200 generated during polishing can be prevented from rising, so that the suction sheet 200 contacts the polishing pad 58. Can prevent tearing.
  • the thin plate glass used for the flat panel display or the like is exemplified as the plate-like object to be polished.
  • the present invention is not limited to this, and any glass plate that requires surface polishing may be used. It is not limited to glass, and may be a metal or resin plate that requires surface polishing.

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Abstract

　本発明は、板状体を吸着して保持する吸着シートと、前記吸着シートが取り付けられる膜体と、前記膜体が取り付けられるキャリアと、研磨パッドとを備え、前記膜体と前記キャリアとの間に加圧流体を供給し、前記吸着シートに吸着されて保持された板状体を前記加圧流体の圧力によって前記研磨パッドに押し付けて研磨する板状体の研磨装置であって、前記膜体と前記吸着シートとの間に、引っ張り方向の剛性が前記吸着シートの引っ張り方向の剛性よりも高い中間シートが介在され、前記中間シートの一方面は前記吸着シートに接着され、前記中間シートの他方面が前記膜体に面ファスナを介して着脱自在に取り付けられている板状体の研磨装置に関する。

Description

板状体の研磨装置及び板状体の研磨方法
　本発明は、板状体の研磨装置及び板状体の研磨方法に関する。
　板状体、特に、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ用のガラス板は、その製造方法の一例として、フロート法といわれる成形法を用いた製造方法が知られている。この製造方法は、前記フロート法によって溶融ガラスを帯状ガラス板に製造する工程、前記帯状ガラス板を所定サイズの矩形状ガラス板に切断する工程、及び前記矩形状ガラス板を研磨装置によってその表面の微小な凹凸やうねりを研磨して除去する工程を備える。これによって、矩形状ガラス板をフラットパネルディスプレイに適した厚さ０．０５～２．０ｍｍのガラス板に製造する。
　本願出願人は、特許文献１において、特にフラットパネルディスプレイ用のガラス板を対象とする研磨装置を提案している。この研磨装置は、ガラス板を吸着して保持する吸着シートと、該吸着シートが取り付けられた膜体とからなるユニットシートを備えている。この研磨装置によれば、前記膜体と該膜体が取り付けられるキャリアとの間に加圧流体を供給し、吸着シートに吸着保持されたガラス板を加圧流体の圧力によって研磨パッドに押し付けて研磨する。
　また、特許文献１に開示された膜体は気密保持層、強度保持層、及び平滑層からなる三層構造に構成されるとともに、吸着シートは自己吸着力を有する多孔質の発泡ポリウレタンシートによって構成されている。
　しかしながら、特許文献１に開示された研磨装置では、ガラス板の研磨中に、研磨抵抗によって吸着シートが膜体から剥がれて捲れ上がりガラス板が破損するという問題があった。
　そこで、本願出願人は、特許文献１の前記問題を解消する研磨装置を特許文献２において開示している。
　特許文献２の研磨装置は、膜体と吸着シートとの間に、引っ張り方向の剛性が吸着シートの引っ張り方向の剛性よりも高い中間シートを介在させて膜体と吸着シートに接着させてなるユニットシートを備えている。
　特許文献２の研磨装置のユニットシートによれば、研磨抵抗による膜体の引っ張り方向の伸縮動作によって中間シートと、中間シートよりも剛性の低い膜体との間に剥がれが生じる場合があるが、中間シートと吸着シートとの間では相対的なずれは発生しない。すなわち、吸着シートはガラス板を吸着しているため伸縮が制約されており、中間シートは吸着シートよりも引っ張り方向の剛性が高く引っ張り方向に伸縮しないためである。その結果、吸着シートが中間シートから剥がれなくなるので、吸着シートが剥がれて捲り上がることを防止でき、ガラス板の破損を防止できるという効果を有する。
　また、特許文献２には、吸着シートが発泡ポリウレタン製であること、中間シートが硬質のポリカーボネイト製であることが開示されている。また、膜体は、ゴム製の気密保持層とアラミド繊維製の強度保持層とからなる二重構造に構成されており、中間シートよりも剛性が低いものである。
日本国特開２００４－１２２３５１号公報 国際公開第２００７／０２０８５９号
　ところで、特許文献２の研磨装置は、吸着シート又は吸着シートが接着された中間シートが破損したり、中間シートよりも剛性の低い膜体が破損したりすると、ユニットシート全体を交換しなければならない。特に、膜体を構成するアラミド繊維は高価なものなので、膜体が破損していないにもかかわらず、膜体以外のシートの破損が原因で前記ユニットシート全体を交換するには資源的にもコスト的にも無駄があった。
　本発明は、前記のような問題に鑑みてなされたものであり、膜体、中間シート、及び吸着シートからなるユニットシートにおいて資源的、コスト的に無駄を無くした板状体の研磨装置、及び該研磨装置を用いた板状体の研磨方法を提供することを目的とする。
　前記目的を達成するために本発明は、板状体を吸着して保持する吸着シートと、前記吸着シートが取り付けられる膜体と、前記膜体が取り付けられるキャリアと、研磨パッドとを備え、前記膜体と前記キャリアとの間に加圧流体を供給し、前記吸着シートに吸着されて保持された板状体を前記加圧流体の圧力によって前記研磨パッドに押し付けて研磨する板状体の研磨装置であって、前記膜体と前記吸着シートとの間に、引っ張り方向の剛性が前記吸着シートの引っ張り方向の剛性よりも高い中間シートが介在され、前記中間シートの一方面は前記吸着シートに接着され、前記中間シートの他方面が前記膜体に面ファスナを介して着脱自在に取り付けられている板状体の研磨装置を提供する。
　まず、本発明では、膜体と吸着シートとの間に中間シートが接着されているので、吸着シートが剥がれて捲り上がることを防止でき、ガラス板の破損を防止できる。
　本発明では、中間シートの一方面が吸着シートに接着され、中間シートの他方面が膜体に面ファスナを介して着脱自在に取り付けられている。したがって、吸着シート又は吸着シートが接着された中間シートが破損した場合には、面ファスナを剥がして中間シートを膜体から取り外し、新たな吸着シートと中間シートを面ファスナによって膜体に取り付けて交換する。同様に、膜体が破損した場合には、面ファスナを剥がして膜体を中間シートから取り外し、新たな膜体を面ファスナによって中間シートに取り付けて交換する。
　これにより、本発明によれば、破損したシートのみを交換すればよいので、膜体、中間シート、及び吸着シートからなるユニットシートにおいて資源的、コスト的に無駄を無くすことができる。
　本発明の好ましい形態では、中間シートの他方面の全面が膜体に面ファスナを介して着脱自在に取り付けられているので、中間シートにおいて、面ファスナを介して膜体に取り付けられた剛性の高い一部分と、それ以外の剛性の低い部分とが存在しない。すなわち、中間シートの面上の剛性は均一となり、よって、板状体に研磨むらは発生せず、板状体の研磨品質が向上する。
　本発明の好ましい形態では、前記吸着シートが発泡ポリウレタンからなり、前記中間シートがポリカーボネイト、アクリル、アルミニウム、鉄、ステンレス、ガラス、又は炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ：Ｃａｒｂｏｎ　Ｆｉｂｅｒ　Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ　Ｐｌａｓｔｉｃｓ）からなるものを使用できる。これらの材料によって中間シートを製造することにより、板状体の研磨中において引っ張り方向に伸縮しない剛性の高い中間シートを提供できる。前記中間シートはアルミニウムからなるものであればより好ましい。また、これらの材料の他、ＡＢＳ（Ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ　Ｂｕｔａｄｉｅｎｅ　Ｓｔｙｒｅｎｅ）、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ：Ｆｉｂｅｒ　Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ　Ｐｌａｓｔｉｃｓ）も例示できる。
　また、本発明の好ましい形態では、前記膜体が気密保持層とアラミド繊維製の強度保持層とからなる二重構造に構成されており、中間シートが前記強度保持層に、前記面ファスナを介して着脱自在に取り付けられている。
　これにより、膜体が高価なアラミド繊維を有しているので、膜体を交換する必要の無い場合にはコスト的に非常に有利になる。
　また、本発明は、前記の研磨装置を用いて板状体を研磨する板状体の研磨方法を提供する。
　これにより、ニットシートにおいて資源的、コスト的に無駄を無くすことができるとともに、板状体に研磨むらは発生せず、板状体の研磨品質が向上する。
　本発明に係る板状体の研磨装置及び板状体の研磨方法によれば、破損したシートのみ交換すればよいので、膜体、中間シート、及び吸着シートからなるユニットシートにおいて資源的、コスト的に無駄を無くすことができる。
図１は、実施の形態の板状体の研磨装置の全体構成を示す平面図である。 図２は、膜枠とユニットシートとの組立斜視図である。 図３は、第１の研磨ステージと第２の研磨ステージとの側面図である。 図４は、ユニットシートの構成を示した要部断面図である。 図５は、ユニットシートの構成を示した側面図である。 図６は、膜枠が取り付けられたキャリアの要部拡大断面図である。 図７は、面ファスナを利用して膜体と中間シートとを分離する説明図である。
　以下、図面に従って本発明に係る板状体の研磨装置及び板状体の研磨方法の好ましい実施の形態について詳説する。
　図１は、実施の形態の板状体の研磨装置１０の全体構成を示した平面図である。
　図１に示す研磨装置１０は、大型（例えば、一辺が１０００ｍｍ以上）のガラス板Ｇを、液晶ディスプレイ用ガラス板に必要な厚さ（例えば、０．０５～２．０ｍｍ）に研磨するとともに、ガラス板Ｇの片面（研磨面）を液晶ディスプレイ用ガラス板に必要な平坦度に研磨する研磨装置である。
　研磨装置１０は、研磨前のガラス板Ｇを搬送するコンベア１２、ガラス板Ｇを膜枠１４に貼着するステージ１６、第１の研磨ステージ１８、第２の研磨ステージ２０、研磨完了したガラス板Ｇを膜枠１４から取り外すステージ２２、ガラス板搬出コンベア２４、膜枠洗浄ステージ２６、膜枠乾燥ステージ２８、及び膜枠返送コンベア３０を主要素として構成されている。
　また、研磨装置１０には、ステージ１６から第１の研磨ステージ１８に膜枠１４を搬送する搬送装置１５０、第１の研磨ステージ１８から第２の研磨ステージ２０に膜枠１４を搬送する搬送装置１５２、及び第２の研磨ステージ２０からステージ２２に膜枠１４を搬送する搬送装置１５４が設けられている。
　コンベア１２によって搬送されてきた研磨前のガラス板Ｇは、ロボット３２のアーム３３に設けられた吸着パッド３４に吸着保持される。そして、アーム３３の回転動作によってコンベア１２からコンベア３６に移載され、コンベア３６によってステージ１６に向けて搬送される。
　ステージ１６において、まず、ガラス板Ｇが膜枠１４に保持される。以下、膜枠１４に対するガラス板Ｇの保持方法について説明する。
　膜枠１４はステージ１６において、不図示の昇降機構に保持されており、膜枠１４の下方にガラス板Ｇが位置したところで、膜枠１４が昇降機構により下降移動され、膜枠１４に張設された図２のユニットシート２３０の吸着シート２００の下面がガラス板Ｇの上面（非研磨面）に押し付けられる。図２は、膜枠１４とユニットシート２３０との組立斜視図である。
　ユニットシート２３０は、膜枠１４に張設される膜体３８、吸着シート２００、中間シート２１０、及び面ファスナ２２０から構成される。
　すなわち、ユニットシート２３０によれば、膜体３８の下面に、ガラス板Ｇを自己吸着する多孔質性の発泡ポリウレタン製の吸着シート２００が配置されるとともに、吸着シート２００と膜体３８との間に、中間シート２１０が介在されている。更に、中間シート２１０の下面は、吸着シート２００の上面に接着され、中間シート２１０の上面の全面が膜体３８に面ファスナ２２０を介して着脱自在に取り付けられている。すなわち、中間シート２１０の表面積と等しい表面積をもつ面ファスナ２２０が中間シート２１０の上面に取り付けられている。
　また、中間シート２１０は、引っ張り方向の剛性が吸着シート２００の引っ張り方向の剛性よりも高い材質のものが使用されている。中間シート２１０としては、ポリカーボネイト、アクリル、アルミニウム、鉄、ステンレス、ガラス、又は炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ：Ｃａｒｂｏｎ　Ｆｉｂｅｒ　Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ　Ｐｌａｓｔｉｃｓ）からなるものを使用できる。これらの材料によって中間シート２１０を製造することにより、ガラス板Ｇの研磨中において引っ張り方向に伸縮しない剛性の高い中間シート２１０を提供できる。また、これらの材料の他、ＡＢＳ（Ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ　Ｂｕｔａｄｉｅｎｅ　Ｓｔｙｒｅｎｅ）、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ：Ｆｉｂｅｒ　Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ　Ｐｌａｓｔｉｃｓ）も例示できる。なお、ユニットシート２３０の作用、及び機能については後述する。
　前述した昇降機構による押圧力によって吸着シート２００の下面がガラス板Ｇの上面に押し付けられる。これによって、ガラス板Ｇが吸着シート２００の下面に吸着されて膜枠１４に保持される。その後、膜枠１４が図１の搬送装置１５０に保持されて、図３の第１の研磨ステージ１８にガイドレール１７０に沿って搬送され、ここで膜枠１４が第１の研磨ステージ１８のキャリア５２に取り付けられる。また、第１の研磨ステージ１８によって研磨終了した膜枠１４（ガラス板Ｇが保持された膜枠１４）は、第１の研磨ステージ１８のキャリア５２から取り外された後、搬送装置１５２に保持される。そして、膜枠１４は、搬送装置１５２に保持されて、ガイドレール１７０に沿って第２の研磨ステージ２０に搬送され、ここで膜枠１４が第２の研磨ステージ２０のキャリア５２に取り付けられる。更に、第２の研磨ステージ２０によって研磨終了した膜枠１４は、第２の研磨ステージ２０のキャリア５２から取り外された後、搬送装置１５４に保持される。そして、膜枠１４は、搬送装置１５４に保持されて、ガイドレール１７０に沿ってステージ２２に搬送される。図３は、第１の研磨ステージ１８と第２の研磨ステージ２０との側面図である。
　膜枠１４は図２の如く、矩形の上枠４０と下枠４２とを備えている。矩形の膜体３８は、上枠４０と下枠４２との間で張設された後、上枠４０と下枠４２とを不図示のボルトによって締結することにより膜枠１４に固定される。なお、膜枠１４、及び膜体３８は矩形に限定されるものではなく円形であってもよい。
　図４は、ユニットシート２３０の要部拡大断面図である。図５は、ユニットシート２３０の構成を示した側面図である。図６は、膜枠１４が取り付けられたキャリア５２の要部拡大断面図である。
　図４の如く膜体３８は、気密保持層４４、強度保持層４６からなる二層構造に構成されている。気密保持層４４は図２及び図６に示すように、その外周部がキャリア５２の下部外周フレーム部５３に密着されてキャリア５２の空気室５４との間で気密を保持するシート材である。気密保持層４４の材料としてはゴム類、シリコン類、フッ素樹脂、塩化ビニル（ＰＶＣ）等のビニル系、ナイロン系及びウレタン等を例示できる。
　また、図４の強度保持層４６は、気密保持層４４を保持するとともに膜体３８全体を張設する張力に耐え得る所定の引っ張り強さを有するシート材である。強度保持層４６の材料としては、アラミド繊維、ステンレス製金網、スチール金網、炭素繊維、ガラス繊維、ナイロン繊維、金属シート、樹脂シート等であり、アラミド繊維が引っ張り力に対する伸びが極めて少ないという理由で好ましい。
　強度保持層４６の下面には、面ファスナ（例えば、マジックテープ：登録商標）２２０を構成する一方のファスナ（例えば、多数のフックが密集して起毛されたファスナ）２２２が接着剤によって接着されている。また、面ファスナ２２０の他方のファスナ（例えば、多数のループが密集して起毛されたファスナ）２２４の下面は、接着剤によって中間シート２１０の上面に接着され、中間シート２１０の下面に吸着シート２００が接着剤によって接着されている。前記接着剤としては、例えばウレタン系接着剤又はエポキシ系接着剤が好ましく使用できる。
　次に、図３に示す研磨ヘッド５０について説明するが、第１の研磨ステージ１８の研磨ヘッド５０と第２の研磨ステージ２０の研磨ヘッド５０は同一構造なので、同一の符号を付して説明する。
　研磨ヘッド５０は、本体ケーシング５１にモータが内蔵され、このモータの出力軸が、鉛直方向に垂下されたスピンドル５６に連結されて構成される。このスピンドル５６にキャリア５２が連結されている。また、本体ケーシング５１は、昇降機構１５６を介してスライダ１５８に連結されている。この昇降機構１５６によって本体ケーシング５１がスライダ１５８に対して昇降されることにより、キャリア５２が第１の研磨ステージ１８の研磨パッド５８、及び第２の研磨ステージ２０の研磨パッド６０に対して進退移動される。したがって、キャリア５２が進出移動されると、吸着シート２００の下面に、その上面が吸着保持されたガラス板Ｇの下面（片面：研磨面）が研磨パッド５８、６０に接触する。
　研磨パッド５８は、研磨定盤６２の上面に貼り付けられ、研磨定盤６２の下部には、不図示のモータによって回転される回転軸６４が連結される。また、研磨パッド６０は、研磨定盤６６の上面に貼り付けられ、研磨定盤６６の下部には、不図示のモータによって回転される回転軸６８が連結されている。
　更に、本体ケーシング５１は、不図示の公転駆動機構に連結され、所定の公転半径で公転する機能も有している。なお、この公転駆動機構は、本体ケーシング５１にプラネタリーギア機構を内蔵し、プラネタリーギア機構の出力軸をスピンドル５６に連結することによっても構成できる。以上が第１の研磨ステージ１８及び第２の研磨ステージ２０の構成であり、第１の研磨ステージ１８及び第２の研磨ステージ２０によってガラス板Ｇの下面が研磨され、ガラス板Ｇの表面の微小な凹凸やうねりが除去される。
　一方、第１の研磨ステージ１８のスライダ１５８には、直動ガイド７０、７０が取り付けられている。直動ガイド７０、７０はガイドレール７２、７２に嵌合されている。このガイドレール７２、７２は、図１の如く第１の研磨ステージ１８のスピンドル５６やキャリア５２をメンテナンスするメンテナンスステージ７４に向けて配設されている。
　また、図３の如く第２の研磨ステージ２０のスライダ１５８にも同様に、直動ガイド７０、７０が取り付けられ、直動ガイド７０、７０はガイドレール１６０、１６０に嵌合されている。このガイドレール１６０、１６０は、図１の如く第２の研磨ステージ２０のスピンドル５６やキャリア５２をメンテナンスするメンテナンスステージ７６に向けて配設されている。
　キャリア５２は、図２の如くキャリア５２の上部外周部に吊上フレーム７８が不図示のボルトによって固定されている。吊上フレーム７８のキャリア５２の外周部から突出したフランジ部には、貫通孔８０、８０…が等間隔に複数個形成され、これらの貫通孔８０、８０…に、摺動フレーム（ｓｌｉｄｅ－ｃｏｎｔａｃｔ　ｆｒａｍｅ）８２の上面に突設された吊具８４が図６の如く下方から貫通される。また、吊具８４は、吊上フレーム７８と吊上用皿ばね８６との間に配置された吊上ばね８８に貫通されるとともに、吊上用皿ばね８６の貫通孔９０に貫通され、スクリュウジャッキ９２に連結されている。
　したがって、スクリュウジャッキ９２を動作させ、吊具８４を吊上ばね８８の付勢力に抗して上方に引き上げると、摺動フレーム８２がキャリア５２に対して引き上げられる。これにより、摺動フレーム８２に着脱自在に取り付けられた膜枠１４が引き上げられて、膜体３８に所定の張力が付与される。
　キャリア５２には、図６の空気室５４に圧縮エア（加圧流体）を噴出する噴射口９８、９８…が複数形成される。これらの噴射口９８、９８…は、キャリア５２の上面に形成された空気室１００を介して、図３の破線で示すエア供給路１０２に連通される。エア供給路１０２は、研磨ヘッド５０に取り付けられた不図示のロータリジョイントを介して研磨ヘッド５０の外部に延設され、バルブ１０４を介してエアポンプ１０６に接続されている。したがって、バルブ１０４を開放すると、エアポンプ１０６からの圧縮エアがエア供給路１０２、空気室１００、及び噴射口９８を介して空気室５４に供給される。これにより、圧縮エアの圧力がユニットシート２３０を介してガラス板Ｇに伝達され、この圧力によってガラス板Ｇの下面が研磨パッド５８、６０に押し付けられて研磨される。
　一方、図２の如く膜枠１４の上枠４０には、複数のピン１０８、１０８…が等間隔に突設され、これらのピン１０８の上端部に備えられた、図６に示す円形のヘッド部１１０が、摺動フレーム８２の下部に固定されたフック１１２に係合される。これによって、膜枠１４が摺動フレーム８２に取り付けられる。ヘッド部１１０とフック１１２との係合力は、スクリュウジャッキ９２によって膜体３８を張り上げた時の膜体３８の反力によって強固になり、研磨時に膜体３８から受ける研磨抵抗ではフック１１２からヘッド部１１０が外れることはない。
　図１に示した第２の研磨ステージ２０でガラス板Ｇの研磨が終了すると、ここで膜枠１４がキャリア５２から取り外されて搬送装置１５４によってステージ２２に搬送される。
　キャリア５２から膜枠１４を取り外す方法は、まず、図６に示したスクリュウジャッキ９２を緩める方向に動作させ、膜体３８の張力を解消する。次に、キャリア５２に対して膜枠１４を所定角度回動させてフック１１２からヘッド部１１０を取り外す。これにより、キャリア５２から膜枠１４が取り外される。
　図１に示したステージ２２では、搬送装置１５４で搬送されてきた膜枠１４のユニットシート２３０から、研磨終了したガラス板Ｇを剥ぎ取る。剥ぎ取られたガラス板Ｇは、コンベア１３８によって搬送され、そして、ロボット１４０のアーム１４２に取り付けられた吸着ヘッド１４４に吸着される。そして、ロボット１４０の動作によってガラス板搬出コンベア２４にガラス板Ｇが移載され、ガラス板搬出コンベア２４によって研磨装置１０の外部に搬出される。
　ガラス板Ｇが剥ぎ取られた膜枠１４（ユニットシート２３０も含む）は、コンベア１４６によって膜枠洗浄ステージ２６に搬送され、ここで水洗浄される。洗浄終了した膜枠１４は、コンベア１４８によって膜枠乾燥ステージ２８に搬送され、ここで加熱されて乾燥される。そして、乾燥終了した膜枠１４は、膜枠返送コンベア３０によってステージ１６に搬送され、研磨前のガラス板Ｇの吸着保持に再使用される。以上が研磨装置１０の全体構成である。
　次に、前記の如く構成された研磨装置１０のユニットシート２３０による作用、機能について説明する。
　まず、この研磨装置１０は、膜体３８と吸着シート２００との間に、引っ張り方向の剛性が吸着シート２００の引っ張り方向の剛性よりも高い中間シート２１０が接着されているので、吸着シート２００が剥がれて捲り上がることを防止でき、ガラス板Ｇの破損を防止できる。
　このような研磨装置１０において、図５の如く中間シート２１０の下面が吸着シート２００の上面に接着され、中間シート２１０の上面の全面が膜体３８に面ファスナ２２０を介して着脱自在に取り付けられている。
　したがって、吸着シート２００又は吸着シート２００が接着された中間シート２１０が破損した場合には、面ファスナ２２０を剥がして中間シート２１０を膜体３８から取り外し、新たな吸着シート２００が接着された新たな中間シート２１０を面ファスナ２２０によって膜体３８に取り付けて交換する。同様に、図７の如く膜体３８が破損した場合には、面ファスナ２２０を剥がして膜体３８を中間シート２１０から取り外し、新たな膜体３８を面ファスナ２２０によって中間シート２１０に取り付けて交換する。
　これにより、実施の形態の研磨装置１０によれば、破損したシートのみを交換すればよいので、膜体３８、中間シート２１０、及び吸着シート２００からなるユニットシート２３０において資源的、コスト的に無駄を無くすことができる。
　また、実施の形態の研磨装置１０は、中間シート２１０の上面の全面が膜体３８に面ファスナ２２０を介して着脱自在に取り付けられている。実施の形態の研磨装置１０に対して、例えば中間シート２１０の上面の一部分のみを面ファスナを介して膜体３８に取り付けた場合、中間シート２１０において、前記面ファスナを介して膜体３８に取り付けられた剛性の高い一部分と、それ以外の剛性の低い部分とが存在する。すなわち、中間シート２１０の面上において剛性に分布ができるので、ガラス板Ｇに研磨むらが生じ、ガラス板Ｇの研磨品質が低下する場合がある。
　これに対して、実施の形態の研磨装置１０は、中間シート２１０の上面の全面が膜体３８に面ファスナ２２０を介して着脱自在に取り付けられているので、中間シート２１０の面上の剛性は均一となり、よって、ガラス板Ｇに研磨むらは発生せず、ガラス板Ｇの研磨品質が向上する。ただし、中間シート２１０の上面の一部分のみを膜体３８に面ファスナ２２０を介して着脱自在に取り付ける態様を排除するものではない。
　また、好ましい実施の形態の研磨装置１０では、膜体３８が気密保持層４４とアラミド繊維製の強度保持層４６とからなる二重構造に構成されており、中間シート２１０が強度保持層４６に、面ファスナ２２０を介して着脱自在に取り付けられている。実施の形態の研磨装置１０によれば、膜体３８が高価なアラミド繊維を有しているので、膜体３８を交換する必要の無い場合にはコスト的に非常に有利になる。
　なお、実施の形態の吸着シート２００には図２、図５～図７に示すように、ガラス板Ｇを包囲する矩形の補助プレート２３２が吸着保持されている。
　この補助プレート２３２は、研磨時に研磨パッド５８を介してガラス板Ｇに付加される研磨圧によるガラス板Ｇの端部に生じる高圧力の緩和効果、つまりガラス板Ｇに掛かる研磨圧の偏重の防止、及び吸着シート２００の盛り上がりを防止するために配置されている。
　図５の如く補助プレート２３２とガラス板Ｇとの間の間隔Ｓは５ｍｍ以上であることが好ましい。間隔Ｓが５ｍｍ以上であれば、ガラス板Ｇ又は補助プレート２３２の配置位置が研磨中にずれても、ガラス板Ｇと補助プレート２３２が接触し難くなり、ガラス板Ｇが破損する虞がない。また、補助プレート２３２の厚さｔは、ガラス板Ｇの厚さ以下であることが好ましく、具体的には、補助プレート２３２の厚さｔとガラス板Ｇの厚さとの差が、－０．１ｍｍ～０ｍｍであることが好ましい。補助プレート２３２の厚さｔとガラス板Ｇの厚さとの差が、－０．１ｍｍ～０ｍｍであれば、ガラス板Ｇに掛かる研磨圧の偏重を防止できる。更に、補助プレート２３２の材質は、超高分子量ポリエチレン（ＵＰＥ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、ポリ四フッ化エチレン（テフロン（登録商標））などのフッ素樹脂、又はガラスエポキシなど耐摩耗性が高い材質が好ましい。補助プレート２３２のＤ硬度（ＩＳＯ　７６１９：２０１０に準ずる）が研磨パッド５８のＤ硬度よりも高ければ、研磨パッド５８が補助プレート２３２に接触しても補助プレート２３２は摩耗し難くなる。
　このように、ガラス板Ｇを包囲するように補助プレート２３２を吸着シート２００によって吸着保持することにより、研磨時に生じる吸着シート２００が盛り上がりを抑制できるので、吸着シート２００が研磨パッド５８に接触して破れるのを防止できる。
　また、実施の形態では、研磨対象の板状体としてフラットパネルディスプレイ等に用いる薄板ガラスを例示したが、これに限定されるものではなく、表面研磨が必要なガラス板であればよく、また、ガラスに限定されず、表面研磨が必要な金属製及び樹脂製の板状体であってもよい。
　本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の範囲と精神を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
　本出願は、２０１２年７月１３日出願の日本特許出願２０１２－１５７３２２に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
　Ｇ…ガラス板、１０…研磨装置、１２…コンベア、１４…膜枠、１６…ステージ、１８…第１の研磨ステージ、２０…第２の研磨ステージ、２２…ステージ、２４…ガラス板搬出コンベア、２６…膜枠洗浄ステージ、２８…膜枠乾燥ステージ、３０…膜枠返送コンベア、３２…ロボット、３３…アーム、３４…吸着パッド、３６…コンベア、３８…膜体、４０…上枠、４２…下枠、４４…気密保持層、４６…強度保持層、５０…研磨ヘッド、５１…本体ケーシング、５２…キャリア、５３…下部外周フレーム部、５４…空気室、５６…スピンドル、５８…研磨パッド、６０…研磨パッド、６２…研磨定盤、６４…回転軸、６６…研磨定盤、６８…回転軸、７０…直動ガイド、７２…ガイドレール、７４…メンテナンスステージ、７６…メンテナンスステージ、７８…吊上フレーム、８０…貫通孔、８２…摺動フレーム、８４…吊具、８６…吊上用皿ばね、８８…吊上ばね、９０…貫通孔、９２…スクリュウジャッキ、９８…噴射口、１００…空気室、１０２…エア供給路、１０４…バルブ、１０６…エアポンプ、１０８…ピン、１１０…ヘッド部、１１２…フック、１３８…コンベア、１４０…ロボット、１４２…アーム、１４４…吸着ヘッド、１４６、１４８…コンベア、１５０、１５２、１５４…搬送装置、１５６…昇降機構、１５８…スライダ、１６０…ガイドレール、１７０…ガイドレール、２００…吸着シート、２１０…中間シート、２２０…面ファスナ、２２２…一方のファスナ、２２４…他方のファスナ、２３０…ユニットシート、２３２…補助プレート

Claims (5)

  1. 　板状体を吸着して保持する吸着シートと、前記吸着シートが取り付けられる膜体と、前記膜体が取り付けられるキャリアと、研磨パッドとを備え、前記膜体と前記キャリアとの間に加圧流体を供給し、前記吸着シートに吸着されて保持された板状体を前記加圧流体の圧力によって前記研磨パッドに押し付けて研磨する板状体の研磨装置であって、
    　前記膜体と前記吸着シートとの間に、引っ張り方向の剛性が前記吸着シートの引っ張り方向の剛性よりも高い中間シートが介在され、
    　前記中間シートの一方面は前記吸着シートに接着され、
    　前記中間シートの他方面が前記膜体に面ファスナを介して着脱自在に取り付けられている板状体の研磨装置。
  2. 　前記中間シートの他方面の全面が前記膜体に前記面ファスナを介して着脱自在に取り付けられている請求項１に記載の板状体の研磨装置。
  3. 　前記吸着シートが、発泡ポリウレタンからなり、
    　前記中間シートが、ポリカーボネイト、アクリル、アルミニウム、鉄、ステンレス、ガラス又は炭素繊維強化プラスチックからなる請求項１又は２に記載の板状体の研磨装置。
  4. 　前記膜体が気密保持層とアラミド繊維製の強度保持層とからなる二重構造に構成されており、前記中間シートが前記強度保持層に、前記面ファスナを介して着脱自在に取り付けられている請求項１～３のいずれか１項に記載の板状体の研磨装置。
  5. 　請求項１～４のいずれか１項に記載の板状体の研磨装置を用いて板状体を研磨する板状体の研磨方法。
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