CN102416598A - 基板的研磨方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种适于大型玻璃基板的研磨的玻璃基板的研磨方法及其装置。本发明的研磨装置(10)将玻璃基板(G)贴合于在托架(52)上装卸自如的膜框(14)上，在研磨结束后，在远离第二研磨台(20)的工作台(22)上，将研磨结束后的玻璃基板(G)从膜框(14)卸下。

Description

基板的研磨方法及其装置

技术领域

本发明涉及一种基板的研磨方法及其装置，尤其涉及用于研磨玻璃基板而制造液晶显示器用玻璃基板的研磨方法及其装置。

背景技术

对于适用于液晶显示器的玻璃基板，由于其表面的微小凹凸及起伏会导致画面变形，因此通过研磨装置除去该微小凹凸及起伏。作为此类研磨装置，一般熟知的是向设置于研磨平台的研磨布推压保持于托架上的玻璃基板，并且使研磨平台及托架相对旋转而研磨玻璃基板的研磨装置。

另外，关于日本特开9-141550号公报等所公开的研磨装置，在托架的下部设置可挠性膜，并且向可挠性膜和托架之间供给加压气体，利用该加压气体的压力，将贴在可挠性膜的基板按压在研磨布上而进行研磨。根据该研磨装置，利用存在于可挠性膜和托架之间的空间内的加压气体，对基板的各部分施加的压力成为均匀的压力，因此具有能够将基板研磨平坦并除去基板表面的微小凹凸的优点。

但是，上述目前的研磨装置中没有提出如何将从托架卸下的研磨完成后的玻璃基板从研磨台运出的运出单元。尤其是在例如一边超过1000mm的大型玻璃基板的情况下，在研磨台上的拆卸及对其进行处理而运出的情况是非常困难且需要很长时间的，从而导致生产性下降。

伴随近年来液晶显示器的大画面化，对于此类大型玻璃基板的研磨装置，期望得到消除研磨完成后的玻璃基板的运出所涉及的上述问题并提高生产性的研磨装置。

发明内容

本发明是鉴于这些情况而完成的，其目的在于提供适于大型玻璃基板的研磨的玻璃基板的研磨方法及其装置。

为了实现所述目的，本发明提供研磨方法，其特征在于，具有：在铺设有可贴合基板的膜体的膜框上贴合基板并将该膜框安装于托架的安装工序、或将铺设有可贴合基板的膜体的膜框安装于托架并将基板贴合在该膜框上的工序；使安装了该膜框的托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的基板的研磨面按压在所述研磨平台上而进行研磨的工序；及在基板研磨结束后从所述托架卸下所述膜框并从该膜框卸下所述基板的工序、或在基板研磨结束后从所述膜框卸下所述基板并从所述托架卸下所述膜框的工序。

优选的是，其特征在于，具有：在铺设有可贴合玻璃基板的膜体的膜框上贴合玻璃基板的工序；将贴合了该玻璃基板的所述膜框安装于托架的工序；使安装了该膜框的托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的玻璃基板的研磨面按压在所述研磨平台上进行研磨的工序；在该玻璃基板的研磨结束后从所述托架卸下所述膜框的工序；及从该膜框卸下研磨结束后的所述玻璃基板的工序。

另外，为了实现所述目的，本发明提供研磨装置，其特征在于，具备：在铺设有可贴合基板的膜体的膜框上贴合基板的基板贴合台；将膜框安装于托架的膜框安装台；在将膜框安装于托架后，使托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的基板的研磨面按压在所述研磨平台上进行研磨的研磨台；从托架卸下膜框的膜框拆卸台；将研磨结束后的基板从膜框卸下的基板拆卸台。

优选的是，具备：在铺设有可贴合玻璃基板的膜体的膜框上贴合玻璃基板的玻璃基板贴合台；在该膜框安装于托架后，使托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的玻璃基板的研磨面按压在所述研磨平台上进行研磨的研磨台；在该玻璃基板研磨结束后，在从该托架卸下膜框后输送膜框，并从该膜框卸下研磨结束后的所述玻璃基板的玻璃基板拆卸台。

根据第一、四方面所述的发明，首先，在玻璃基板贴合台上，将研磨前的玻璃基板贴合在膜框的膜体上。接着，在膜框安装台上，将贴合了所述玻璃基板的所述膜框安装于托架。另外，也可以在膜框安装台上将膜框安装于托架，之后，在玻璃基板贴合台上将研磨前的玻璃基板贴合在膜框的膜体上。

接着，在研磨台上，使安装了所述膜框的托架和研磨平台相对接近，将贴合在膜体上的玻璃基板的研磨面按压在研磨平台上进行研磨。

而后，在玻璃基板研磨结束后，将该膜框从研磨台向膜框拆卸台输送，在膜框拆卸台上将膜框从托架卸下，之后在玻璃基板拆卸台上将研磨结束后的玻璃基板从膜框卸下。另外，也可以在玻璃基板拆卸台上将研磨结束后的玻璃基板从膜框卸下，之后在膜框拆卸台上将膜框从托架卸下。

这样，本发明将玻璃基板贴合于在托架上装卸自如的膜框上，在研磨结束后不在研磨台上将玻璃基板从膜框卸下，而是在远离研磨台的玻璃基板拆卸台上将研磨结束后的玻璃基板从膜框卸下。由此，本发明能够消除大型玻璃基板特有的玻璃基板的运出所涉及的问题，生产性提高。

另外，第二、五方面所记载的发明在清洗台对卸下了玻璃基板的所述膜框进行了清洗后，将该膜框反复用于玻璃基板的贴合，因此使膜框为必要最小限即可，能够有利于节省资源。

根据第三、六方面所述的发明，从研磨用加压流体供给单元向托架和膜框的膜体之间供给加压流体，通过该加压流体的压力将玻璃基板按压在研磨平台上进行研磨，因此施加于玻璃基板的各部分的压力成为均匀的压力，能够将玻璃基板研磨平坦。伴随此过程，不会对研磨平台的表面形状产生影响，即，即使研磨平台的表面上多少存在起伏，该起伏也不会转印到玻璃基板上，因此研磨平台的精度不需要特别高，还能够抑制研磨平台的成本。

第七方面所述的发明，是涉及膜框的膜体的发明，本发明的膜体由三层结构构成，所述三层结构由其外周部紧贴托架且与托架之间保持气密的气密保持层、保持气密保持层并且具有可耐受因铺设膜体而产生的张力的规定的拉伸强度的强度保持层、及贴合玻璃基板的平滑层构成，因此能够将玻璃基板稳定地保持于膜体，由此能够高精度地对玻璃基板进行研磨。

根据第八方面所述的发明，其特征在于，膜体的强度保持层的材质由芳香族聚酰胺纤维、不锈钢丝网、钢丝网、碳纤维、玻璃纤维、尼龙纤维、或者与这些材料具有同等拉伸强度的材料制成。由此，能够保证以适合研磨的按压力将玻璃基板按压在研磨平台上时的、膜体的强度。

根据第九、第十方面所述的发明，在基板拆卸台上，从剥离用流体供给单元向膜框的膜体和基板的缘部之间的边界部供给流体，通过由此产生的剥离作用使基板从膜框剥离。使基板从膜框剥离的情况，也可以通过基板的自重进行剥离，但由于需要花费时间，因此如本申请所述通过供给流体而强制地产生剥离作用，能够在短时间内使基板从膜框剥离，能够提高生产性。

根据第十一、十二方面所述的发明，在基板贴合台上，首先，将基板载置于载置台上，接着，在载置于载置台的基板上放置膜框的膜体，接着，将贴合用辊按压在放置于基板上的膜体上，并且通过移动单元使载置台及贴合用辊相对地沿膜体的表面移动，并通过贴合用辊将膜体贴合在基板上。

该发明尤其对于研磨大面积的基板的研磨方法及装置有效。在小面积的基板的情况下，只将膜体按压在基板上，就可使基板和膜体之间不夹有气泡地将基板贴合在膜体上。气泡的存在引起贴合力降低，为了可靠地进行贴合，需要将气泡量尽可能控制为最小量。在大面积的基板的情况下，只是将膜体按压在基板上的话，各自的平坦度高，因此夹有的气泡量增加。因此，如本申请发明所述，通过贴合用辊进行按压，处理膜体而将介于膜体和基板之间的气泡强制性排出并进行贴合。由此，即使是大面积的基板，也能够使基板可靠且牢固地贴合在膜体上。

根据第十三方面所述的发明，经由多个销装卸自如地与膜框和托架连结，这些多个销中规定数量的销活动自如地安装于膜框，其余的销被固定在膜框上以便相对于托架进行定位。

该发明也尤其对于研磨大面积的基板的研磨方法及装置有效。通过将植设于膜框的多个销嵌入形成于托架的多个孔中，将膜框和托架定位并连结的情况，且为小型的膜框的情况下，易得到销的安装精度，即使将全部销固定于膜框，也能够将全部销嵌入孔内。相对于此，贴合大面积的基板的大型的膜框的情况下，难以得到销的安装精度，因此，在固定了全部销的情况下，难以将所述销嵌入孔内。另一方面，如果将全部销活动自如地安装于膜框，则能够利用活动量吸收安装误差量，因此能够嵌入全部销。但是，使全部销活动的情况下，膜框相对于托架摆动，因此不能定位，另外，销具有在研磨时抵抗自研磨平台施加的剪切力的功能，因此有时不能承受该剪切力。

因此，如本申请发明，将多个销中规定数量的销活动自如地安装于膜框，通过这些销吸收安装误差量，而且，其余的销固定于膜框，通过其余的销对抗自研磨平台施加的剪切力。由此，能够相对于托架对大型的膜框进行定位，并能够稳定地进行连结。

附图说明

图1是表示第一实施方式的研磨装置的整体构造的平面图；

图2是表示研磨头和研磨台的实施方式的侧面图；

图3是研磨头的装配立体图；

图4是表示膜框的膜体的三层构造的说明图；

图5是表示膜框相对于滑动环的装卸构造的要部放大剖面图；

图6是表示膜框相对于滑动环的其他的装卸构造的要部放大剖面图；

图7是表示膜框相对于滑动环的其他的装卸构造的要部放大图；

图8是玻璃基板的输送装置的概略构造图；

图9是表示膜框及玻璃基板相对于托架的贴合工序的说明图；

图10是表示将玻璃基板从膜框剥离的剥离工序的说明图；

图11是第二实施方式的研磨装置的正面图；

图12是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图13是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图14是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图15是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图16是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图17是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图18是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图19是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图20是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图21是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图22是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图23是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图24是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图25是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图26是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图27是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图28是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图29是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图30是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图31是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图32是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图33是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图34是图11所示的研磨装置的动作说明图；

图35是表示膜框相对于托架的定位构造的要部立体图；

图36是图35所示的定位构造中与销扣合的钩的平面图；

图37是表示带有气球的贴合用辊的构造的侧面图。

具体实施方式

下面，根据附图，对本发明的玻璃基板的研磨方法及其装置的优选的实施方式进行说明。

图1所示的第一实施方式的研磨装置10是将大型的玻璃基板G(例如一边超过1000mm，厚度0.3mm～1.1mm)的一面研磨成液晶显示器用玻璃基板所需要的平坦度的研磨装置。

该研磨装置10主要由如下部件构成：输送研磨前的基板G的传送带12；用于将玻璃基板G贴合于膜框14的工作台(玻璃基板贴合台)16；第一研磨台18；第二研磨台20；用于将研磨结束后的玻璃基板G从膜框14卸下的工作台(玻璃基板拆卸台)22；玻璃基板运出传送带24；膜框清洗台26；膜框干燥台28；及膜框运回传送带30。

另外，在研磨装置10上设有从工作台16向第一研磨台18输送膜框14的输送装置150、从第一研磨台18向第二研磨台20输送膜框14的输送装置152、及从第二研磨台20向工作台22输送膜框14的输送装置154。另外，研磨台根据用途的不同可以是一个，也可以是两个以上。若考虑到效率及成本，优选具备粗研磨台和精细研磨台这两个工作台，但根据情况，为了高品质的目的，也可追加精细研磨台。

通过传动带12输送来的研磨前的玻璃基板G被吸附保持在设置于机器人32的机械臂33的吸附垫34。而且，通过机械臂33的旋转动作，从传动带12向传送带36移载，通过传送带36向工作台16输送。

在工作台16上，首先，将玻璃基板G贴合于膜框14。对该贴合方法进行说明，膜框14在工作台16上被玻璃基板贴合单元即未图示的升降装置保持，在玻璃基板G位于膜框14的下方时，膜框14通过升降装置下降移动，将铺设于膜框14的膜体38(参照图3)按压在玻璃基板上。通过该按压力将玻璃基板G贴合于膜体38上。之后，膜框14被图1的输送装置150保持，向图2的第一研磨台18输送，在此安装于托架52上。另外，玻璃基板贴合单元并不限定于上述升降装置，只要是将玻璃基板G贴合于膜框14的装置，任何装置都能适用。另外，以下所述的膜框14是指铺设有膜体38的整体。

膜框14如图3所示，构成为：通过将可贴合玻璃基板G的膜体38铺设于上框40和下框42之间，之后利用未图示的螺栓连结上框40和下框42。

另外，膜框14及膜体38不限定于圆形形状，也可为矩形形状。

该膜体38如图4所示，构成为由气密保持层44、强度保持层46、及平滑层48组成的三层结构。气密保持层44如图5所示，为其外周部贴紧托架52的下部外周环部53而在与托架52的空气室54之间保持气密的片材。作为片材的材料，可例示橡胶类、硅酮类、氟类树脂、聚氯乙烯(PVC)等乙烯类、尼龙类及氨基甲酸乙酯等，但在制造上优选聚氯乙烯、氨基甲酸乙酯，尤其是优选氨基甲酸乙酯制的片材。另外，图4的强度保持层46是保持气密保持层44并具有可耐受因铺设膜体38而产生的张力的规定的拉伸强度的片材。

在此，基于研磨时作用于玻璃基板G的摩擦力，计算出强度保持层46所需要的拉伸强度。

首先，研磨时作用于玻璃基板G的摩擦力在将玻璃基板G的尺寸设为L时，为

“研磨时的玻璃基板G和研磨工具的摩擦系数”ד每单位宽度(cm)玻璃基板G的面积”ד研磨压力”＝μ×Lm×10^-2m×pPa。

例如，μ＝0.3、L＝1m、p＝3kPa时，为

0.3×1×10^-2×3×10³＝9N。

因此，强度保持层46所需要的拉伸强度需要为能够抵抗该摩擦力的张力，因此，以强度保持层46的每单位宽度(1cm)的长方形区域进行换算时，需要超过9N的拉伸强度。

另外，对于大面积的玻璃基板，假设为将研磨压力设定得较高的情况下，例如，如果设μ＝0.5、L＝1.8m、p＝20kPa，则实施方式中，强度保持层46所需要的拉伸强度以强度保持层46的每单位宽度(1cm)的长方形区域进行换算时，需要最低180N的拉伸强度。

作为强度保持层46的材料，一般考虑用橡胶、树脂类，但实施方式中，为了避免变形，而以如下材料进行制造，即，芳香族聚酰胺纤维、不锈钢制丝网、钢丝网、碳纤维、玻璃纤维、尼龙纤维、金属片材、树脂片材等，即使在L＝100cm、研磨压力为3kPa左右的情况下拉伸强度也为9N/cm以上、实际上L＝180cm的情况下冲击载荷预计具有180N/cm以上的拉伸强度的材料。作为材料，特别是由于芳香族聚酰胺纤维相对于拉伸力的伸展极少，因此优选。

另外，在实际的研磨中，玻璃基板G进行旋转，因此施加到强度保持层46的最大张力为以玻璃基板G的对角长度为基础算出的值。本例中，为了简化计算，以玻璃基板G的长边的长度为基础进行计算。

平滑层48贴上用于粘贴玻璃基板G的一般的玻璃保持片材而构成，但平滑层48的表面的凹凸较大时，存在研磨时该凹凸转印到玻璃基板G上的问题。因此，平滑层48需要平滑。但是，以涂胶等方法对树脂、橡胶层进行涂敷的方法的情况下，有时局部会产生凹凸。不能防止该情况时，可通过利用层压方法粘贴薄的片材来制造平滑的片材。薄的片材例如为PVC、PET、PP等，只要能够保持平滑性的片材即可。氨基甲酸乙酯、PVC能够以一般的层压方法进行制造，因此优选。尤其优选氨基甲酸乙酯制的片材。平滑层48的具体的平滑性为每100mm²、凹凸为0.1mm以下即可。为了得到平滑度，可重叠数层平滑层48。另外，为了保持可挠性，优选膜体38的片材厚度为0.1mm～5mm。进而，作为薄的片材也可以适用相对于玻璃基板G具有吸附力的多孔质性片材。该情况下，能够通过在玻璃基板G的表面或者片材的表面上预先形成有水膜，从而提高吸附力。

但是，一般对于研磨台的研磨垫，为了在使用前除去表层的微小起伏，实施修整(整形)。为此，在研磨装置中一般安装有修整砂轮机构。为了达到研磨面的基准，该修整砂轮机构理所当然的要求高精度。

实施方式中，通过在安装于托架52的膜框14的膜体38上安装包含研磨磨粒的市售片材，来实施该修整。即，与研磨玻璃基板G时同样，利用后述的加压流体对安装于膜框14的膜体38的市售片材均匀加压，将所述片材按压于研磨台的研磨垫上上并进行相对运动，由此，进行研磨垫的修整。其优点在于不需要高精度的砂轮机构。同时，代替玻璃基板G，能够将粘贴了研磨片材的膜框14不产生阻碍地投入生产周期，因此，能够最大限度地抑制修整带来的生产阻碍。

接着，对图2所示的研磨头50进行说明。另外，第一研磨台18的研磨头50及第二研磨台20的研磨头50为相同构造，因此，标注相同的标号进行说明。

研磨头50构成为在主体罩壳51内置有电动机且该电动机的输出轴与沿垂直方向垂下的主轴56连结。在该主轴56连结有托架52。另外，主体罩壳51经由升降机构156与滑块158连结。通过利用该升降机构156使主体罩壳51相对于滑块158升降，从而能够使托架52相对于第一研磨台18的研磨垫58及第二研磨台20的研磨垫60进退移动，且以规定的研磨压力将贴合于膜框14上的玻璃基板G按压在研磨垫58、60上。

另外，关于在托架52上装卸膜框14的装卸单元的构造及装卸方法，后面进行叙述。

研磨垫58贴在研磨平台62的上表面，在研磨平台62的下部连结有通过未图示的电动机进行旋转的旋转轴64。另外，研磨垫60贴在研磨平台66的上表面，在研磨平台66的下部连结有通过未图示的电动机进行旋转的旋转轴68。另外，研磨垫58、60侧有时也可以不旋转，因此不一定需要电动机。另外，也可以使研磨垫58、60侧摆动。另外，权利要求书中所述的“研磨平台”在本实施方式中包含研磨平台62、66和研磨垫58、60。

另外，主体罩壳51连结于未图示的公转驱动机构，也具有以规定的公转半径进行公转的功能。另外，该公转驱动机构也可通过在主体罩壳51内置行星齿轮机构并将行星齿轮机构的输出轴连结于主轴56而构成。

第一研磨台18及第二研磨台20的规格如下所述。

·研磨压力：2kPa～25kPa

·托架52的自转转速：0～25rpm，公转半径：100mm(50～200mm)，公转转速：20～150rpm、或者20～200rpm

·研磨平台62、66的自转转速：0～15rpm

·研磨液：从研磨平台的研磨液供给孔供给氧化铈水溶液

·研磨垫58：为发泡聚氨酯制，表面具有使研磨液流动的槽(槽间距5～10mm、槽宽度2～6mm、槽深度1～5mm)

·研磨垫60：为软质聚氨酯制绒面状，表面具有使研磨液流动的槽(槽间距5～10mm、槽宽度2～6mm、槽深度1～5mm)

·研磨时间：第一、第二研磨台18、20都为1～10min

·研磨平台62、66和托架52的摆动：在水平方向上相对为0～700mm

·玻璃基板G的厚度：0.3mm～3.0mm

·玻璃基板G的形状：一边超过1000mm的矩形状玻璃板

·玻璃基板G的非研磨面：由贴在膜体38的聚氨酯制的吸附垫(玻璃保持片材)进行气密保持。

以上为各研磨台18、20的规格，通过这些研磨台18、20研磨玻璃基板20，除去玻璃基板G的表面的微小的凹凸及起伏。

另一方面，在第一研磨台18的滑块158上安装有直动导向件70、70。直动导向件70、70嵌合于导轨72、72。该导轨72、72如图1所示朝向对第一研磨台18的主轴56、托架52进行维修的维修台74而设置。

另外，如图2所示，在第二研磨台20的滑块158上也同样安装有直动导向件70、70，直动导向件70、70嵌合于导轨160、160。该导轨160、160如图1所示朝向对第二研磨台20的主轴56、托架52进行维修的维修台76而设置。

对托架52的构造进行说明，如图3所示，通过未图示的螺栓将提升环78固定在托架52的上部外周部。在提升环78的从托架52的外周部突出的凸缘部，在同心圆上等间隔地形成多个贯通孔80、80…，在滑动环82的上表面突出设置的滑动环吊具84如图5所示从下方贯通这些贯通孔80、80…。另外，滑动环吊具84贯通配置于提升环78和提升用蝶形碟簧86之间的提升弹簧88，且贯通提升用碟形弹簧86的贯通孔90，并连结于螺旋千斤顶92。

因此，使螺旋千斤顶92进行动作，并使滑动环吊具84抵抗提升弹簧88的作用力而向上提升时，滑动环82相对于托架52被提升。由此，装卸自如地安装于滑动环82的膜框14被提升，并向膜体38施加规定的张力。

张力赋予自动化时，准备并运用多个膜框14和膜体38。但是，由于膜体38相对于膜框14的初始张力存在个体差异，另外多个的膜体38、38…的初始张力因使用时间的不同而存在差异，因此难以对具有任何张力个体差异的膜体38赋予相同的使用张力。另外，若向膜体38施加过大张力，则存在导致膜体38或周边设备破损的危险。为了解决该问题，监视提升弹簧88的收缩量(提升环78和提升用碟形弹簧86之间的间隔)。即，不仅仅监视螺旋千斤顶92的提升量，通过监视提升弹簧88的收缩量对实际上赋予膜体38的张力进行测定。由于具有该提升弹簧88，因此能够同时解决向膜体38施加一定张力以及防止向膜体38施加过大张力的问题。另外，为了设定为一定张力，需要测定提升弹簧88的收缩量，作为其中之一的手段，从经由总轴96连结于螺旋千斤顶92的未图示的电动机的电流值计算出扭矩，间接地得到螺旋千斤顶92的提升力，并对其进行管理，由此能够监视赋予膜体38的张力。总轴96是将所述电动机的驱动力向螺旋千斤顶92传递的轴。另外，标号94是用于承受在提升环78和提升用碟形弹簧86之间产生的提升弹簧88的反作用力的止动销。

在托架52上形成多个向空气室54喷出压缩空气的喷射口98、98…。这些喷射口98、98…经由形成于托架52的上面的空气室100，与图2上虚线所示的空气供给通路102连通。空气供给通路102经由安装于研磨头50的未图示的回转接头向研磨头50的外部延伸设置，经由阀104连接于空气泵106。因此，打开阀104时，来自空气泵106的压缩空气经由空气供给通路102、空气室100、及喷射口98向空气室54供给。由此，压缩空气的压力经由膜体38向玻璃基板G传递，通过该压力，将玻璃基板G按压在研磨垫58、60上而进行研磨。

接着，对膜框14相对于滑动环82的装卸单元的构造进行说明。

如图3所示，在膜框14的上框40上，在同心圆上等间隔地突出设置有多个销108、108…，并通过将形成于这些销108的上端部的、图5所示的大径的头部110扣合于固定在滑动环82的下部的钩112，将膜框14安装于滑动环82。头部110和钩112的扣合力由于利用螺旋千斤顶92擎起膜体38时的膜体38的反作用力而变得牢固，研磨时从膜体38承受的研磨阻力使头部110不会从钩112脱落。

另外，相对于滑动环82的膜框14的装卸构造不限定于图5所示的构造，例如图6(A)所示，也可以是由磁性体构成滑动环82并且由磁铁构成膜框14的上框40，并利用磁力使膜框14吸附保持于滑动环82的构造。另外，该构造例中，在上框40突出设置销114，通过将该销114插入形成于滑动环82的下表面的孔116，防止膜框14相对于滑动环82的水平移动。

图6(B)所示的构造例与图6(A)相同，为利用磁力使膜框14吸附保持于滑动环82的构造，在安装于滑动环82的下表面的止动板118上抵接有膜框14的上框40的内周面，防止膜框14相对于滑动环82的水平移动。

图6(C)所示的构造例是如下所述构造，即，在滑动环82形成有空气流路120，并将该空气流路120连接于抽气泵，经由空气流路120对膜框14的上框40抽真空并进行真空吸附保持。

图6(D)所示的构造例与图6(C)相同，为使膜框14真空保持于滑动环82的构造，通过将上框40的销114插入滑动环82的孔116，防止膜框14相对于滑动环82的水平移动。

图6(E)所示的构造例是如下所述的构造，即，在膜框14的外周部设有夹持部件122，通过利用夹持部件122的夹板124和膜框14夹压滑动环82的外周部，从而将膜框14安装于滑动环82。

另外，图7(A)、(B)所示的构造是如下所述的构造，即，在膜框14的上框40上突出设置有杆126，将该杆126插通滑动环82的贯通孔128，通过在形成于杆126的上端部的贯通孔130、固定于滑动环82的上表面的一对销支承部件132、132的贯通孔134、134插入止动销136，从而使膜框14保持于滑动环82。

另外，在图7中，膜框14通过提升弹簧88的作用力，与滑动环82一起以一定的张力向上方提升。即使假设膜体38发生了蠕变拉伸，也可通过提升弹簧88的作用力始终向膜体38施加一定的张力。另外，替代提升弹簧88，可使用液压缸、气缸、碟形弹簧、板簧等，总之若为即使膜体38蠕变拉伸也能够自动施加张力的机构，则任何机构都可以。设置为自动化的情况下，使用气缸、电动机等促动器即可。

另一方面，玻璃基板G的研磨如下所述进行实施，即，利用输送装置150将玻璃基板G从工作台16向第一研磨台18输送，另外，利用输送装置152将玻璃基板G从第一研磨基板18向第二研磨基板20依次输送。另外，在第二研磨台20上结束玻璃基板G的研磨后，在此将膜框14从托架52卸下，并通过输送装置154向工作台22输送。对于将膜框14从托架52卸下的方法，首先，使图5所示的螺旋千斤顶92向旋松方向动作，解除膜体38的张力。接着，使膜框14相对于托架52旋转规定角度，而将头部110从钩112卸下。由此，将膜框14从托架52卸下。

图8表示输送装置150(152、154)的一例。对于该输送装置150，保持膜框14的上框40和下框42的保持部162、162配置于膜框14的输送路径的两侧，这些保持部162、162与小型机器人164的机械臂166连结，并通过机械臂166的动作向上下左右方向移动。另外，在小型机器人164的下部固定有导向块168，该导向块168嵌合于配设在膜框14的输送路径的两侧的导轨170。另外，在导向块168上螺合有进刀螺杆装置(未图示)的进刀螺杆。由此，玻璃基板G通过输送装置150(152、154)保持并被输送至规定的位置。

另一方面，在图1所示的工作台22上，从由输送装置154输送来的膜框14剥取下研磨结束后的玻璃基板G。剥取下的玻璃基板G通过传送带138进行输送，而且，被安装在机器人140的机械臂142的吸附头144吸附，并通过机器人140的动作，向玻璃基板运出用传动带24移载，输送至研磨装置10的外部。

剥取下玻璃基板G的膜框14通过传送带146输送至膜框清洗台26，在此进行水清洗。清洗结束后的膜框14通过传动带148输送至膜框干燥台28，在此进行加热干燥。而且，干燥结束后的膜框14通过膜框运回传送带30输送至工作台16，再利用于玻璃基板G的贴合。

因此，根据这样构成的玻璃基板G的研磨装置10，在第二研磨台20上的玻璃基板G的研磨结束后，将膜框14通过输送装置154从第二研磨台20运出至工作台22，在此将研磨结束后的玻璃基板G从膜框14卸下。即，对于实施方式的研磨装置10，将玻璃基板G贴合于在托架52上装卸自如的膜框14上，在研磨结束后，不在第二研磨台20上将玻璃基板G从膜框14卸下，而在远离第二研磨台20的工作台22上将研磨结束后的玻璃基板G从膜框14卸下，因此能够消除例如一边超过1000mm的大型玻璃基板特有的玻璃基板G的运出所涉及的问题(该问题在于，在研磨台上的拆卸及对其进行处理而运出是非常难且需要时间的，并且使生产性降低)。因此，生产性提高。

另外，对于研磨装置10，将卸下玻璃基板G的膜框14在膜框清洗台26进行清洗，在膜框干燥台28进行干燥后，将该膜框14输送至工作台16，并反复使用于玻璃基板G的贴合，因此，能够将膜框14保持为必要最小限即可，能够有利于省资源化。

进而，根据研磨装置10，从空气泵106向托架52和膜框14的膜体38之间供给压缩空气，通过压缩空气的压力将玻璃基板G按压在研磨垫58、60上并进行研磨，因此向玻璃基板G的各部分施加的压力成为均匀的压力，能够将玻璃基板G研磨得平坦。伴随此过程，不会对研磨垫58、60的表面形状产生影响，即，即使研磨垫58、60的表面上多少存在起伏，该起伏也不会转印到玻璃基板G上，因此研磨垫58、60的精度不需要特别高，还能够抑制研磨垫58、60的成本。

另外，膜框14的膜体38构成为由气密保持层44、强度保持层46及平滑层48组成的三层结构，因此能够将玻璃基板G稳定地保持于膜体38，因此，能够高精度地研磨玻璃基板G。

另外，强度保持层46的材质可以由芳香族聚酰胺纤维、不锈钢制丝网、钢丝网、碳纤维、玻璃纤维、尼龙纤维、金属片材、树脂片材等或者与这些材料具有同等拉伸强度的材料制成，因此能够保证以适合研磨的按压力将玻璃基板G按压在研磨垫58、60上时的、膜体38的强度。

另外，在此所说的拉伸强度，在强度保持层46由纺织物构成的情况下，是指由JIS L1096(1999年)或者以其为准的规格所规定的拉伸强度，在强度保持层46由树脂片材或金属片材构成的情况下，是指通常使用的拉伸强度(例如塑料的情况下，由JIS K7161(1994年)或者以其为准的规格，金属的情况下也相同)。

图9表示膜框14及玻璃基板G相对于托架52的贴合工序的其他实施例，该贴合在工作台16上实施。

首先，如图9(a)所示，研磨前的玻璃基板G载置于设置在工作台16上的作业台200上，在其上方，膜框14由千斤顶202、202…支承。另一方面，托架52在膜框14的上方待机，该状态为贴合初始状态。托架52从该状态下降移动，托架52与膜框14接触后的状态为图9(b)，该状态为利用螺旋千斤顶92等开始安装膜框14的状态。

接着，如图9(c)所示，膜框14的销108(参照图5)的头部110扣合于固定在滑动环82的下部的钩112，之后，螺旋千斤顶92被驱动，膜框14的膜体38以规定的张力被擎起。由此，在托架52上安装膜框14。

图9(d)、(e)表示将玻璃基板G贴合于膜框14的膜体38上的工序，首先，如图9(d)，经由空气供给通路102向空气室54供给空气，使膜体38膨胀，并将膜体38贴合于玻璃基板G整个面上。贴合完成后，如图9(e)，将空气室54的空气从空气供给通路102释掉，使膜体38收缩。由此，在一处的工作台16上，能够实施膜框14相对于托架52的安装作业、及玻璃基板G向膜框14的贴合作业。

图10表示在工作台22上实施的、将研磨结束后的玻璃基板G从膜框14卸下的工序。

如图10(a)所示，在托架52位于设置于工作台22上的作业台204的上方时，经由空气供给通路102向空气室54供给空气，使膜体38膨胀。该状态为玻璃基板G的剥离初始状态。为该状态时，通过玻璃基板G和膜体38相对产生位置偏移、以及玻璃基板G恢复平坦的弹性力，从而玻璃基板G容易地从膜体38剥离。即，以往是由于强制剥离而对设备带来负担的板剥离工序，但能够通过使膜体38膨胀而容易地进行剥离。

实施方式中，从该状态开始，如图10(b)所示，为了进一步缩短生产节拍，将水和空气或者仅是水或者仅是空气(流体)从与玻璃基板G的缘部相对配置的多个空气喷射喷嘴(也可为水喷射喷嘴：剥离用流体供给单元)206、206，向玻璃基板G的缘部和膜体38之间的边界部喷射，利用该能量将玻璃基板G如图10(c)所示从膜体38剥离。另外，图10(c)中省略喷嘴206。

图10(d)表示将玻璃基板G从膜体38完全剥离而载置于工作台204上的状态。之后，玻璃基板G通过图1所示的传送带138进行输送，然后，通过机器人140向玻璃基板运出用传送带24移载，运出至研磨装置10的外部。

另一方面，如图10(d)，玻璃基板G完全从膜体38剥离后，接着，如图10(e)，通过拆卸装置将膜框14从托架52卸下，并将膜框14载置于千斤顶208、208上。该膜框14通过图1所示的传送带146向膜框清洗台26输送。

图11表示第二实施方式的研磨装置300的正面图，对于与图1～图10所示的第一实施方式的研磨装置10相同或类似的部件标注相同的标号而进行说明。

图11所示的研磨装置300的特征在于：使两台研磨头50A、50B沿轨道302水平移动，膜框14(参照图3等)从第一研磨台18向第二研磨台20的转运自不必说，还进行膜框14从膜框安装台304向第一研磨台18的转运、及膜框14从第二研磨台20向膜框拆卸台306的转运，由此提高制造节拍。

研磨装置300主要由如下部件构成：具有载置研磨前的玻璃基板G的载置台308的板贴合梭310；具有贴合用辊312的玻璃基板贴合台160；将膜框14安装于托架52上的膜框安装台304；第一研磨台18；第二研磨台20；及将膜框14从托架52卸下的膜框拆卸台306。另外，膜框拆卸台306也兼做将研磨结束后的玻璃基板G从膜框14卸下的玻璃基板拆卸台22。另外，标号314是将研磨结束后的玻璃基板G从玻璃基板拆卸台22运出的板剥离梭。另外，研磨装置300上，与研磨装置10相同，也设置有膜框清洗台、膜框干燥台、及膜框运回传送带，但图11中省略这些。

下面，对利用研磨装置300进行的玻璃基板G的研磨顺序进行说明。

在玻璃基板贴合台16上待机的板贴合梭310的载置台308上，通过未图示的机器人输送来的玻璃基板G使研磨面朝向下方而载置。载置台308经由升降装置316搭载于板贴合梭310，在接收玻璃基板G时，如图11所示上升，比载置了膜框14的上缘部311稍微向上方突出。另外，上缘部311形成为与膜体14的形状相对应的形状。即，膜框14若为矩形，则上缘部311形成为矩形。

接着，板贴合梭310从玻璃基板贴合台16如图12所示向膜框安装台304移动，并且载置台308比板贴合梭310的上缘部311更向下方移动以不妨碍膜框14的载置。之后，在膜框安装台304上，从未图示的膜框运回传送带输送来的膜框14载置于板贴合梭310的上缘部311。由此，使膜框14的膜体38位于玻璃基板G的上方。另外，为了使膜框14的载置容易，优选在上缘部311设置多个导辊。

在板贴合梭310接收膜框14后，板贴合梭310如图13所示朝向玻璃基板贴合台16移动。而且，与该移动动作连动，在玻璃基板贴合台16的上方待机的贴合用辊312通过气缸装置313的伸长动作而下降，将膜体38按压在玻璃基板G上。该贴合用辊312形成为比玻璃基板G的宽度(与移动方向正交的方向的长度)长，所述贴合用辊的动作时间由未图示的控制器控制，以使通过板贴合梭310移动来的玻璃基板G的移动方向前缘部在通过贴合用辊312的紧下方之前按压膜体38。另外，贴合用辊312如图14所示持续进行按压动作直至通过板贴合梭310移动的玻璃基板G的移动方向后缘部通过，之后，如图15所示，所述贴合用辊的动作时间由所述控制器控制，以使所述贴合用辊从膜体38的按压位置向上方退避移动。

通过上述贴合用辊312的按压动作及板贴合梭310的移动，膜体38和玻璃基板G之间不夹有气泡，而在玻璃基板贴合台16上将膜体38贴合于玻璃基板G。

使用了贴合用辊312的玻璃基板G的贴合尤其对研磨大面积的玻璃基板的研磨装置有效。小面积的玻璃基板的情况下，仅通过将膜体38按压在玻璃基板上就能够使玻璃基板和膜体38之间不夹有气泡地将玻璃基板贴合于膜体38。气泡的存在引起贴合力降低，为了可靠地进行贴合，需要尽可能减少气泡量。大面积的玻璃基板的情况下，仅将玻璃基板按压在膜体38上的话，则由于各自的平坦度高，因此夹有的气泡量也增大。因此，这样，通过贴合用辊312将膜体38按压在玻璃基板G上，对膜体进行处理，将介于膜体38和玻璃基板G之间的气泡强制排出并进行贴合。由此，即使是大面积的玻璃基板G，也能够将玻璃基板G可靠且牢固地贴合于膜体38。另外，实施方式中，相对于贴合用辊312使膜框14及玻璃基板G移动而实施贴合，但也可相对于膜框14及玻璃基板G使贴合用辊312移动而实施贴合。另外，贴合用辊优选由塑料、橡胶、氨基甲酸乙酯等具有不会对膜体38带来损伤的柔软性的材料制成。另外，当然贴合用辊312的按压力设定为不会对玻璃基板G造成损伤的值。

在膜体38上贴合有玻璃基板G的膜框14如图16所示通过板贴合梭310向膜框安装台304的正下方输送。而且，如图17所示，驱动板贴合梭310的升降装置316，使膜框14朝向研磨头50A的托架52上升，将膜框14安装于托架52侧，并且使螺旋千斤顶92动作而将膜框14擎起，向膜体38施加规定的张力。由此，将膜框14安装于研磨头50A的托架52。

但是，通过螺旋千斤顶92向膜体38施加张力的情况下，膜体38的一部分相对于玻璃基板G偏离，因此贴合力有可能下降。因此，为了解决该问题，如图18所示，通过升降装置316使载置台308稍微上升，通过载置台308将玻璃基板G按压在膜体38上。由此，玻璃基板G再次被贴合于膜体38，因此能够防止膜框14通过研磨头50A进行转运时，膜框14从研磨头50A脱落。

另外，也可在膜框安装台304上将膜框14安装于研磨头50A，之后在玻璃基板贴合台16上将膜体38贴合于玻璃基板G。

在膜框安装台304上，膜框14的安装结束时，如图19所示，板贴合梭310返回玻璃基板贴合台16，并在该位置待机，直至第二个玻璃基板G载置于载置台308上。

另一方面，安装了膜框14的研磨头50A如图20所示在轨道302上行驶，并移动至第一研磨台18，在此将贴合于膜框14的第一个玻璃基板G按压在第一研磨台18的研磨垫58上并进行粗研磨。该粗研磨中，第二个玻璃基板G载置于板贴合梭310的载置台308上，而且，如图20所示，通过板贴合梭310输送至膜框安装台304后，接着，将膜框14载置于板贴合梭310。

将下一个膜框14载置于板贴合梭310后，膜框14的膜体38从图21～图25所示的第一研磨台18上的粗研磨工序向第二研磨台20转运期间，通过贴合用辊312将第二个玻璃基板G按压并进行贴合。利用贴合用辊312进行的贴合工序如图13～图15所示，因此，在此省略说明。第二个玻璃基板G在完全贴合于膜体38的状态下待机。另外，在第一研磨台18完成粗研磨后，研磨头50A在轨道302上行驶并向第二研磨台20移动。

移动至第二研磨台20后，在将玻璃基板G载置于研磨垫60上的状态下，将研磨头50A的螺旋千斤顶92旋松，将膜框14从研磨头50A卸下。之后，在将膜框14如图26所示置于研磨垫60上的状态下使研磨头50A上升。利用该时间，将第二个玻璃基板G贴合于膜框14，并在膜框安装台304待机。

接着，如图27所示，研磨头50A朝向膜框安装台304移动，并且在基板拆卸台22(膜框拆卸台306)待机的研磨头50B朝向第二研磨台20移动，且将置于研磨垫60上的膜框14安装于研磨头50B。该情况下，通过螺旋千斤顶92再次向张力松弛的膜体38施加张力，因此，有时膜体38相对于玻璃基板G偏移而贴合力下降。因此，在通过螺旋千斤顶92赋予张力后，利用向研磨头50B的托架50和膜体38之间的空间供给的压缩空气(参照图5)，将膜体38如图28所示按压在玻璃基板G上。由此，再次贴合璃基板G，因此，能够防止从研磨头50B脱落。而且，玻璃基板G在安装于研磨头50B侧的状态下，通过第二研磨台20的研磨垫60进行精细研磨。另一方面，在研磨头50A安装下一个膜框14。

在研磨头50A上安装下一个膜框14后，研磨头50A如图29所示向第一研磨台18移动，在此，对第二个玻璃基板G进行粗研磨加工。在该粗研磨加工中，板剥离梭314向基板拆卸台22(膜框拆卸台306)移动，在此待机。接着，研磨头50B如图30所示向基板拆卸台22(膜框拆卸台306)移动。该板剥离梭314具有玻璃基板G的载置台320，该载置台320经由升降装置322设置于梭主体324上。

板剥离梭314向基板拆卸台22(膜框拆卸台306)移动后，如图31所示，研磨头50B的螺旋千斤顶92旋松，将膜框14从研磨头50B卸下，并载置于输送台326的上缘部328。

而且，从设置于输送台326的多个空气喷射喷嘴(也可为水喷射喷嘴：剥离用流体供给单元)330、330向玻璃基板G的缘部和膜体38的边界部喷射空气(水：流体)，利用该能量将玻璃基板G如图32所示从膜体38剥离。剥离后的玻璃基板G如图33所示载置于板剥离梭314的载置台320。该玻璃基板G的剥离中，第二个玻璃基板G通过研磨头50A输送至第二研磨台20。然后，从研磨头50A卸下膜框14，并使研磨头50A向膜框安装台304移动，然后，使研磨头50B向第二研磨台20移动。而且，玻璃基板G在安装于研磨头50B侧的状态下，通过第二研磨台20的研磨垫60进行精细研磨。

另外，通过基板拆卸台22(膜框拆卸台306)的流体，能够将玻璃基板G从膜体38强制剥离，但也可以不使用流体而通过玻璃基板G的自重从膜体38剥离。而且，剥离并载置于板剥离梭314的载置台320的玻璃基板G如图34所示从基板拆卸台22(膜框拆卸台306)向产品保管场所输送。通过反复进行上述一系列的动作，能够高效率地实施玻璃基板G的连续研磨。

另外，也可在基板拆卸台22(膜框拆卸台306)上，在将玻璃基板G从膜体38剥离后，将膜框14从研磨头50B卸下。

图35、36是表示膜框14相对于托架52的滑动环82的定位机构的构造的图。根据图35，在膜框14植设多个销340、340…(图35中仅图示两个销)，嵌合该销340、340…的孔342、342…形成于滑动环82，通过将销340、340…嵌合于孔342、342…，将膜框14定位于滑动环82。

另外，多个销340、340中规定个数的销340如图35中箭头所示活动自如地安装于膜框14，其余的销340固定在膜框14上以便相对于托架进行定位。

将销340活动自如地安装于膜框14的情况尤其对研磨大面积的玻璃基板G的研磨装置有效。通过将植设于膜框14的多个销340、340…嵌入形成在滑动环82的多个孔342、342…来对膜框14和滑动环82(即托架52)进行定位并连结的情况下，为小型的膜框时，由于易于得到销340的安装精度，因此，即使将全部销340、340…都固定在膜框上，也能够毫无问题地将全部销340、340…嵌入孔342、342…内。

与此相对，贴合大面积的玻璃基板G的大型的膜框14的情况下，难以得到销340的安装精度，因此，将全部销340、340…固定于膜框14的情况下，难以将销340、340…嵌入孔342、342…内。另一方面，如果将全部销340、340…活动自如地安装于膜框14，则能够通过活动量来吸收安装误差量，因此能够嵌入全部销340、340…。但是，将全部销340、340…设为活动的情况下，膜框14相对于托架52摆动，因此位置不稳定，另外，销340还具有在研磨加工时抵抗自研磨垫58、60施加的剪切力的功能，因此，有时不能承受该剪切力。

因此，如图35所示，通过将多个销340、340…中规定个数的销340活动自如地安装于膜框14，通过这些活动销340吸收安装误差量，而且，将其余的销(例如两个)340、340固定于膜框14，以其余的销340、340…对抗自研磨垫58、60施加的剪切力。由此，能够将大型的膜框14相对于托架52进行定位，并稳定地连结。

另外，销340为了使相对于孔342的嵌合容易，前端部344形成尖细状，而且，在前端部344和圆柱状主体部341的边界部形成中间细部346。该中间细部346在将销340嵌合于孔342时，从孔342突出，嵌合于图36所示的钩350的圆弧状扣合部352。钩350以支点O为中心转动自如地安装于托架52，通过从图36(A)的状态向逆时针旋转方向转动，嵌合于销340的中间细部346。由此，销340与钩350扣合，因此，膜框14保持于托架52。

图37是表示在图11所示的玻璃基板贴合台16上，在贴合用辊312的基础上还设置了膜体按压用气球360的例子的构造。

该膜体按压用气球360为橡胶制，形成圆形状，按照闭塞头362的下部开放部的方式进行安装。通过从未图示的空气供给源向头362和膜体按压用气球360之间的空间部供给压缩空气，进行膨胀。

另外，头362经由气缸装置366可升降地安装于支承贴合用辊312的架台364，相对于位于玻璃基板G的上方的膜框14进退移动。

对于使用膜体按压用气球360的贴合方法的一例，首先，先实施利用贴合用辊312进行的贴合，将膨胀了的膜体按压用气球360向膜体38的中央部按压，使膜体38的中央部紧贴在玻璃基板G上。之后，使膜体按压用气球360从膜框14向上方退避，而且，开始利用贴合用辊312进行的贴合。由此，能够在膜体38和玻璃基板G之间实施无气泡的稳定的贴合。

如以上说明，根据本发明的基板的研磨方法及其装置，将基板贴合于在托架上装卸自如的膜框，研磨结束后，在远离研磨台的基板拆卸台将研磨结束后的基板从膜框卸下，因此能够消除大型基板特有的基板的卸下及运出时研磨机的运转停止引起的生产性降低这一问题，由此，生产性大幅提高。即，在研磨基板期间，由于能够进行下一个基板向膜框的贴合、及研磨后的基板的卸下，因此能够确保稳定的作业，并以稳定的品质安全地对大型基板进行研磨。

另外，本发明中，在清洗台上对卸下了基板的膜框进行清洗后，通过将该膜框重复用于基板的贴合，则准备必要最小限的膜框即可，可有利于节省资源。

另外，在发明中，从研磨用加压流体供给单元向托架和膜框的膜体之间供给加压流体，利用该加压流体的压力将基板按压在研磨平台上而进行研磨，由此向基板的各部分施加的压力成为均匀的压力，能够将基板研磨平坦。

另外，本发明的膜体中，通过构成为三层结构，能够稳定地将基板保持于膜体，因此能够高精度地对基板进行研磨，所述三层结构由其外周部紧贴托架且在与托架之间保持气密的气密保持层、保持气密保持层并具有可耐受因铺设膜体而产生的张力的规定的拉伸强度的强度保持层、及贴合基板的平滑层组成。

另外，膜体的强度保持层的材质由芳香族聚酰胺纤维、不锈钢制丝网、钢丝网、碳纤维、玻璃纤维、尼龙纤维、或者与这些材料具有同等拉伸强度的材料制成，由此，能够保证以适合研磨的按压力将基板按压在研磨平台上时的、膜体的强度。

另外，本发明中，在基板拆卸台上，从剥离用流体供给单元向膜框的膜体和基板的缘部之间的边界部供给流体，如果利用由此产生的剥离作用将基板从膜框剥离，则能够在短时间内使基板从膜框剥离，能够使生产性提高。

另外，本发明中，如果在基板贴合台上，首先将基板载置于载置台上，接着，在载置于载置台的基板上放置膜框的膜体，接着，将贴合用辊按压于放置在基板上的膜体上，并且通过移动单元使载置台及贴合用辊相对地沿膜体的表面移动，并通过贴合用辊将膜体贴合于基板上，则即使是大面积的基板，也能够将基板可靠且牢固地贴合于膜体。

另外，本发明中，如果经由多个销使膜框和托架装卸自如，并将这些多个销中规定个数的销活动自如地安装于膜框，将其余的销固定在膜框上以便相对于托架进行定位并，则能够使大型的膜框相对于托架进行定位，并稳定地连结。

Claims (13)

1.一种基板的研磨方法，其特征在于，具有：

在铺设有可贴合基板的膜体的膜框上贴合基板并将该膜框安装于托架的工序、或者将铺设有可贴合基板的膜体的膜框安装于托架并将基板贴合在该膜框上的工序；

使安装了该膜框的托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的基板的研磨面按压在所述研磨平台上进行研磨的工序；及

在基板研磨结束后从所述托架卸下所述膜框并从该膜框卸下所述基板的工序、或在基板研磨结束后从所述膜框卸下所述基板并从所述托架卸下所述膜框的工序。

2.如权利要求1所述的基板的研磨方法，其特征在于，具有：

对卸下了所述基板的所述膜框进行清洗的工序；及

将清洗后的所述膜框送回到该膜框与所述基板的贴合位置的工序。

3.如权利要求1或2所述的基板的研磨方法，其特征在于，

向所述托架和所述膜框的膜体之间供给的加压流体的压力经由该膜体而被传递到所述基板，由此所述基板被按压到所述研磨平台而进行研磨。

4.一种基板的研磨装置，其特征在于，具备：

在铺设有可贴合基板的膜体的膜框上贴合基板的基板贴合台；

将膜框安装于托架的膜框安装台；

在将膜框安装于托架后，使托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的基板的研磨面按压在所述研磨平台上进行研磨的研磨台；

从托架卸下膜框的膜框拆卸台；及

将研磨结束后的基板从膜框卸下的基板拆卸台。

5.如权利要求4所述的基板的研磨装置，其特征在于，具备：

对卸下了所述基板的所述膜框进行清洗的清洗台；及

将在清洗台清洗后的所述膜框送回所述基板贴合台的膜框搬运单元。

6.如权利要求4或5所述的基板的研磨装置，其特征在于，

向所述托架和所述膜框的膜体之间供给加压流体的研磨用加压流体供给单元设置于所述托架上。

7.如权利要求4、5或6中任一项所述的基板的研磨装置，其特征在于，

所述膜框的膜体由三层结构构成，所述三层结构由在所述膜体与所述托架之间保持气密性的气密保持层、保持该气密保持层并具有可耐受因铺设膜体而产生的张力的规定拉伸强度的强度保持层、及与所述基板贴合的平滑层构成。

8.如权利要求7所述的基板的研磨装置，其特征在于，

所述膜体的所述强度保持层的材质由芳香族聚酰胺纤维、不锈钢丝网、钢丝网、碳纤维、玻璃纤维、尼龙纤维、或者与这些材料具有同等拉伸强度的材料制成。

9.如权利要求1所述的基板的研磨方法，其特征在于，

通过向所述膜框的膜体和基板的缘部之间的边界部供给流体而使基板从膜框剥离。

10.如权利要求4所述的基板的研磨装置，其特征在于，

在所述基板拆卸台上设置有剥离用流体供给单元，该剥离用流体供给单元通过向所述膜框的膜体和基板的缘部之间的边界部供给流体而使基板从膜框剥离。

11.如权利要求1所述的基板的研磨方法，其特征在于，

在将所述膜框安装于所述托架之前将基板贴合于所述膜框的工序中，具有：将基板载置于载置台的工序；在载置于载置台的基板上放置膜框的膜体的工序；及将贴合用辊按压在基板上所放置的膜体上，并且使载置台及贴合用辊沿膜体的表面相对地移动，通过贴合用辊将膜体贴合于基板的工序。

12.如权利要求4所述的基板的研磨装置，其特征在于，

在将所述膜框安装于所述托架之前将基板贴合于所述膜框上的基板的研磨装置中，所述基板贴合台具备载置所述基板的载置台、贴合用辊、及使所述载置台及所述贴合用辊相对移动的移动单元，将贴合用辊按压在载置台上的基板上所放置的膜体上，并且通过移动单元使载置台及贴合用辊沿膜体的表面相对地移动，通过贴合用辊将膜体贴合在基板上。

13.如权利要求4所述的基板的研磨装置，其特征在于，

所述膜框通过多个销装卸自如地与所述托架连结，该多个销中规定数量的销活动自如地安装于膜框上，其余的销被固定在膜框上以便相对于所述托架进行定位。

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