WO2014010262A1

WO2014010262A1 - 蓄熱式排ガス浄化装置

Info

Publication number: WO2014010262A1
Application number: PCT/JP2013/053828
Authority: WO
Inventors: 勝也中山; 浩安井
Original assignee: Sintokogio Ltd
Current assignee: Sintokogio Ltd
Priority date: 2012-07-12
Filing date: 2013-02-18
Publication date: 2014-01-16
Anticipated expiration: 2015-01-12
Also published as: TWI553276B; JPWO2014010262A1; CN104302977B; JP6066460B2; TW201403003A; CN104302977A

Abstract

　本発明は、蓄熱体を用いて被処理ガスを浄化する蓄熱式排ガス浄化装置であって、第１蓄熱体及び第２蓄熱体をそれぞれ収容する第１蓄熱室及び第２蓄熱室と、これらの第１蓄熱室及び第２蓄熱室に連通するように設けられた燃焼室と、第１蓄熱室及び第２蓄熱室に被処理ガスを供給するための第１供給部及び第２供給部と、第１蓄熱室及び第２蓄熱室から処理済ガスを排出するための第１排出部及び第２排出部と、第１供給部及び第２供給部に被処理ガスを供給するための供給通路と、被処理ガスを第１供給部及び第２供給部に導く送風機と、第１蓄熱室及び第２蓄熱室と供給通路を接続する循環通路と、循環通路に設けられた第１開閉弁及び第２開閉弁と、排ガス浄化モードと付着物除去モードとを実行する制御部と、を有する。

Description

蓄熱式排ガス浄化装置

　本発明は、蓄熱式排ガス浄化装置に係り、特に、蓄熱体を用いて排ガスの浄化処理を行う蓄熱式排ガス浄化装置に関する。

　従来から、例えば特許文献１に記載された排ガス浄化装置を用いて、接着業界（ラミネート包装、接着テープ等）の施設、印刷業界（グラビア印刷、オフセット印刷）の施設、塗装施設、化学工場、電子・セラミックス業界の施設、工場用洗浄施設等から発生する揮発性有機化合物（ＶＯＣ：Volatile Organic Compounds）等の可燃性有害成分を含有する排ガスの浄化処理が行われている。

　排ガス浄化装置は、例えば、蓄熱体を収容する複数の蓄熱室と、これらの蓄熱室の上方に連通する燃焼室と、蓄熱室の下方に設けられた一対の給気・排気弁が取付けられた給気口・排気口を備えている。この排ガス浄化装置においては、蓄熱室の給気・排気弁により排ガスの給気・排気を切り換えて運転することにより、排ガスの浄化処理が行われるようになっている。

特開２００４－７７０１７号公報

　しかしながら、従来の排ガス浄化装置においては、タール成分等の高沸点物質を含む排ガスを処理する場合に、蓄熱体に高沸点物質が付着するという問題があり、さらに、この高沸点物質が付着した状態で排ガス処理を続けると蓄熱体が閉塞し排ガスが流れなくなるという問題がある。また、この蓄熱体に付着した高沸点物質を除去するために複雑な構造の装置が必要となり、このため、排ガス浄化装置自体も複雑となり、高コストとなる。

　そこで、本発明は、簡易な構造により蓄熱体に付着した高沸点物質を除去できる蓄熱式排ガス浄化装置を提供することを目的としている。

　上述した目的を達成するために、本発明は、蓄熱体を用いて被処理ガスを浄化する蓄熱式排ガス浄化装置であって、第１蓄熱体及び第２蓄熱体をそれぞれ収容する第１蓄熱室及び第２蓄熱室と、これらの第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの一端に連通するように設けられた、加熱手段を備えた燃焼室と、第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの他端に設けられ、供給用開閉弁を備えるとともに被処理ガスを供給するための第１供給部及び第２供給部と、第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの他端に設けられ、排出用開閉弁を備えるとともに処理済ガスを排出するための第１排出部及び第２排出部と、第１供給部及び第２供給部に接続され、被処理ガスを供給するための供給通路と、この供給通路に設けられ、被処理ガスを第１供給部及び第２供給部に導く送風機と、第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの他端側と供給通路を接続する循環通路と、循環通路に設けられ、第１蓄熱室の他端側から供給通路への流れの開閉を行う循環通路用第１開閉弁と、循環通路に設けられ、第２蓄熱室の他端側から上記供給通路への流れの開閉を行う循環通路用第２開閉弁と、被処理ガスを浄化する排ガス浄化モードと、付着物除去用ガスを用いて第１蓄熱体及び第２蓄熱体に付着した物質を除去する付着物除去モードと、を実行する制御部と、を有し、制御部は、付着物除去モードにおいて、送風機を作動させて付着物除去用ガスを供給通路に流入させ、この付着物除去用ガスが、第２蓄熱体を通過して加熱され、燃料室で加熱され、第１蓄熱体を通過することにより、第１蓄熱体の温度を上昇させて、第１蓄熱体に付着した物質を除去し、その後、付着物除去用ガスを循環通路を経て供給通路に戻し、且つ、送風機を作動させて付着物除去用ガスを供給通路に流入させ、この付着物除去用ガスが、第１蓄熱体を通過して加熱され、燃料室で加熱され、第２蓄熱体を通過することにより、第２蓄熱体の温度を上昇させて、第２蓄熱体に付着した物質を除去し、その後、付着物除去用ガスを循環通路を経て供給通路に戻すように、供給用開閉弁、排出用開閉弁、循環通路用第１開閉弁、循環通路用第２開閉弁を制御することを特徴としている。
　このように構成された本発明においては、従来の蓄熱式排ガス処理装置に対して、第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの他端側と供給通路を接続する循環通路と、循環通路に設けられた循環通路用第１開閉弁及び循環通路用第２開閉弁とを設けるという簡易な構造により、「排ガス浄化モード」に加えて、「付着物除去モード」を実行することができ、この「付着物除去モード」により、第１蓄熱体及び第２蓄熱体に付着した高沸点物質を除去することができる。

　本発明において、好ましくは、循環通路は、第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの他端側と供給通路の送風機の上流側の位置とを接続する。
　このように構成された本発明においては、循環通路が供給通路の送風機の上流側の位置に接続されているので、送風機の上流側の位置で、循環通路により供給通路に戻される付着物除去用ガスが新たに供給通路の流入する付着物除去用ガスと混合されることで冷却され、これにより、送風機及び送風機の下流側の設備が耐熱性を有する必要がなくなる。

　本発明は、好ましくは、更に、第１蓄熱室の他端側の温度を検出する第１温度検出器と、第２蓄熱室の他端側の温度を検出する第２温度検出器を有し、制御部は、第１温度検出器及び第２温度検出器により検出された温度が所定範囲内のときに、付着物除去モードを実行する。
　このように構成された本発明においては、第１温度検出器及び第２温度検出器により検出された温度が所定範囲内のときに、付着物除去モードが実行されるので、第１蓄熱体及び第２蓄熱体に付着した高沸点物質を確実に除去することができる。

　本発明は、好ましくは、更に、循環通路に設けられ、付着物除去モードの実行時に、供給通路へ戻される付着物除去用ガスの流量を調整する循環通路用調整弁と、を有し、制御部は、付着物除去モードにおいて、循環通路用調整弁の開度を制御する。
このように構成された本発明においては、循環通路用調整弁により供給通路へ戻される付着物除去用ガスの流量を調整するので、第１蓄熱体及び第２蓄熱体に供給される熱風の量を制御できるので、適切な高沸点物質の除去が可能となる。

　本発明において、好ましくは、制御部は、循環通路を流れる風量が送風機の定格風量の１～２０％の範囲内となるように循環通路用調整弁の開度を制御する。
　このように構成された本発明によれば、循環通路を流れる風量が送風機の定格風量の１～２０％の範囲内であるので、高沸点物質の除去に必要な熱風を第１蓄熱体及び第２蓄熱体に供給することができ且つ急激に加熱することによる第１蓄熱体及び第２蓄熱体の損傷を防止できる。

　本発明において、好ましくは、制御部は、排ガス浄化モードにおいて、供給用開閉弁及び排出用供給弁の開閉切換動作中に、供給用開閉弁及び排出用供給弁の全てが開状態のとき、循環通路用第１開閉弁及び循環通路用第２開閉弁の両方が開となるように制御し、さらに、開閉切換動作完了時に、循環通路用第１開閉弁及び循環通路用第２開閉弁の両方が閉となるように制御する。
　このように構成された本発明においては、排ガス浄化モードにおいて、供給用開閉弁及び排出用供給弁の全てが開状態のとき、循環通路用第１開閉弁及び循環通路用第２開閉弁の両方が開となるように制御するので、供給用開閉弁及び排出用供給弁の全てが開状態のときに被処理ガスが漏洩することを防止できる。

　本発明は、好ましくは、更に、供給通路に接続され、送風機に流入する前の被処理ガスに付着物除去用ガスを合流させる合流部に設けられる合流用開閉弁を有し、この合流用開閉弁は、開状態又は閉状態を保持でき且つ開度を調整できる。
　このように構成された本発明においては、合流用開閉弁が開状態又は閉状態を保持でき且つ開度を調整できるので、設置スペースを小さくでき、制御が簡単となる。さらに、合流開閉弁の開度を調整して、被処理ガスの付着物除去用ガスの混合割合を最適に制御することができる。

　本発明において、好ましくは、合流用開閉弁は、流通口が設けられた流通口形成部材と、この流通口形成部材に対して近接する方向及び離間する方向に移動可能である当接部と、この当接部に一体に形成される流量調整部とを備えた弁体と、を有し、当接部は、流通口形成部材に近接する方向に移動して流通口形成部材に当接したときに、流通口形成部材の流通口から供給通路へ付着物除去用ガスが流入することを阻止し、流量調整部は、当接部が流通口形成部材に当接した状態で流通口に挿入され、当接部が当接した状態から離間する方向に移動したときに、流通口との間の流体が流通する隙間が漸次大きくなるように形成されている。

　本発明において、好ましくは、流量調整部は、円錐台形状部により形成されている。

　本発明において、好ましくは、供給用開閉弁及び排出用開閉弁は、それぞれ、被処理ガス又は処理済ガスが流通するガス流通口が設けられた第１部材と、第１部材に対して近接及び離間する方向に移動可能とされ、第１部材に当接してガス流通口を閉とするとともに、第１部材から離間してガス流通口を開とする第２部材と、この第２部材を当接及び離間する方向に駆動する駆動部と、を有し、これらの第１部材及び第２部材のいずれか一方には、ガス流通口より外側の部分を囲う包囲壁部が一体的に形成され、第１及び第２部材のいずれか他方には、包囲壁部に対応する位置に、包囲壁部の厚みより太い幅で且つガス流通口を囲うように形成され、第１及び第２部材が近接して包囲壁部が当接されたときに変形してこの当接部分からの被処理瓦斯の流出を防止するシール部材が設けられている。

　本発明の蓄熱式排ガス浄化装置によれば、簡易な構造により蓄熱体に付着した高沸点物質を除去することができる。

本発明の実施形態による蓄熱式排ガス浄化装置を示した概略図であり、付着物除去モードの場合を示している。図１に示された蓄熱式排ガス浄化装置を示す通常運転時の概要図である。図１に示された蓄熱式排ガス浄化装置を示す通常運転時の概要図であり、図２に示す状態から一対の蓄熱室の供給口及び排出口の開閉弁の開閉切換動作を行った後の状態を示している。図１に示された蓄熱式排ガス浄化装置の開閉弁切換途中の状態を示す概要図である。図４に示された蓄熱式排ガス浄化装置の比較例の蓄熱式排ガス浄化装置を示す概要図である。図１に示された蓄熱式排ガス浄化装置の合流用開閉弁を示す概略図である。（ａ）は、合流用開閉弁の開閉機能と開度調整機能を示す概要図であり、（ｂ）は、合流用開閉弁の開度を検出する機能を説明するための概要図である。（ｃ）は、合流用開閉弁の変形例を示す概略図である。図６（ａ）（ｂ）で示された合流用開閉弁の弁体の位置と各状態について説明するための概略図である。（ａ）は、全閉状態を示す断面図であり、（ｂ）は、半閉状態を示す断面図であり、（ｃ）は、全開状態を示す断面図である。図１に示された蓄熱式排ガス浄化装置の供給用開閉弁及び排出用開閉弁の具体例を示す概略図である。（ａ）は、開閉弁の一例であり、（ｂ）は、開閉弁の高いガスリーク防止効果を有する変形例である。本発明の蓄熱式排ガス浄化装置の変形例を示す概略図である。（ａ）は、バイパスダクト及び熱回収ダクトを追加して設けた蓄熱式排ガス浄化装置の変形例を示す概略図であり、（ｂ）は、バイパスダクトを追加して設けた蓄熱式排ガス浄化装置の他の変形例を示す概略図である。図９（ａ）に示す蓄熱式排ガス浄化装置の外観（各構成要素の配置）の一例を示す斜視図である。図９（ｂ）に示す蓄熱式排ガス浄化装置の外観（各構成要素の配置）の一例を示す斜視図である。

　以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態による蓄熱式排ガス浄化装置について説明する。この蓄熱式排ガス浄化装置は、有機性揮発化合物等の可燃性有害成分を含有する害ガスの処理に適している。

　図１乃至図３に示すように、本発明の実施形態による蓄熱式排ガス浄化装置１は、燃焼室１０と、この燃焼室１０にそれらの一端（上端）が結合されて連通される一対の蓄熱室１１，１２（第１蓄熱室１１及び第２蓄熱室１２）を備えている。燃焼室１０には、温度検出器８及びバーナ９が設けられている。

　また、蓄熱式排ガス浄化装置１は、一対の蓄熱室１１，１２のそれぞれの他端（下端）に設けられ、供給用開閉弁１４，１５を有するとともに被処理ガスを供給させる供給口２０，２１（第１供給口２０，第２供給口２１）を備える。また、一対の蓄熱室１１，１２のそれぞれの他端（下端）に設けられ、排出用開閉弁１６，１７を有するとともに処理済ガスを排出させる排出口２２，２３（第１排出口２２，第２排出口２３）を備える。

　また、蓄熱式排ガス浄化装置１は、複数の蓄熱室１１，１２にそれぞれの一端（上端）及び他端（下端）の間に設けられる蓄熱体２６，２７（第１蓄熱体２６，第２蓄熱体２７）を備える。蓄熱体２６，２７は、複数の貫通孔を有するセラミック部材が隣接されて並べられるような構造となっている。

　また、蓄熱式排ガス浄化装置１は、排出口２２，２３に接続される排気ダクト２８を備える。排気ダクト２８は、処理済ガスを蓄熱式排ガス浄化装置１から排出して所定の場所に導くための通路である。

　蓄熱式排ガス浄化装置１は、供給口２０，２１に接続される供給ダクト２９を備える。供給ダクト２９は、被処理ガスを蓄熱式排ガス浄化装置１内に供給するための通路である。この供給ダクト２９には送風機３０が設けられる。送風機３０は、被処理ガスを供給口２０，２１に導くとともに、蓄熱室１１，１２及び燃焼室１０に導く。それとともに、送風機３０は、処理済ガスを排出口２２，２３、排気ダクト２８を経由して所定の排出場所に導く。

　蓄熱式排ガス浄化装置１は、蓄熱室１１，１２の他端側と、供給ダクト２９とを接続し、蓄熱室１１，１２の他端側のガスを送風機３０に流入する前のガスに合流させる循環配管３３を備える。この循環配管３３は、送風機３０の上流側の位置で供給ダクト２９に接続され、そのため、この循環配管３３は、蓄熱室１１，１２の他端側に流入したガスを送風機３０の上流側に一旦戻す戻り配管として機能する。

　循環配管３３には、循環配管用第１開閉弁３１と、循環配管用第２開閉弁３２と、循環配管用調整弁３４とが設けられている。循環配管用第１開閉弁３１は、一方の蓄熱室１１の他端側から供給ダクト２９への流れの開閉を行う。循環配管用第２開閉弁３２は、他方の蓄熱室１２の他端側から供給ダクト２９への流れの開閉を行う。循環配管用調整弁３４は、循環配管３３に設けられ、一方及び他方の蓄熱室１１，１２の他端側から供給ダクト２９に合流されるガスの流量を調整する。

　すなわち、循環配管３３は、蓄熱室１１，１２の下方部分１１ａ，１２ａからそれぞれ接続される第１戻り配管部３３ａ、第２戻り配管部３３ｂと、これらの第１及び第２戻り配管部３３ａ，３３ｂが合流する合流部３３ｃを経由して形成される合流配管部３３ｄとを有している（合流部３３ｃは、分岐管で形成される。）。この合流配管部３３ｄが供給ダクト２９に接続されている。循環配管用第１開閉弁３１は、第１戻り配管部３３ａに設けられる。循環配管用第２開閉弁３２は、第２戻り配管部３３ｂに設けられる。循環配管用調整弁３４は、合流配管部３３ｄに設けられる。

　蓄熱式排ガス浄化装置１は、蓄熱室１１の他端側部分（下方部分１１ａ）の温度を検出する第１温度検出器３５と、蓄熱室１２の他端側部分（下方部分１２ａ）の温度を検出する第２温度検出器３６と、を備える。
　さらに、蓄熱式排ガス浄化装置１は、詳細は後述する「被処理ガスを浄化する排ガス浄化モード」と「蓄熱体に付着した物質を除去する付着物除去モード」を実行するための制御部３７と、を備える。

　供給ダクト２９は、被処理ガスの供給元（排ガスの排出施設）との間に供給用開閉弁３８を備える。また、供給ダクト２９には、このダクトに接続され、送風機３０に流入する前であって且つ循環配管３３から合流される前の被処理ガスに付着物除去用ガスである常温の空気（外気）を合流させる合流部３９が接続される。合流部３９には、合流用開閉弁４０が設けられ、この合流用開閉弁４０を開にすることにより、供給ダクト２９に付着物除去用ガスである常温の空気（外気）が流入するようになっている。

　合流用開閉弁４０は、例えば後述の図６（ａ）に示すように、開状態又は閉状態を保持でき且つ開度も調整でき、合流部３９から合流させる流体の流量を調整できるようになっている。なお、この合流流体用開閉弁４０に換えて、図６（ｃ）に示すような、合流用開閉弁４５を用いてもよい。制御部３７は、付着物除去モードの際には、供給用開閉弁３８を閉として、合流用開閉弁４０，４５を開とする。

　供給口２０，２１の開閉弁１４、１５及び排出口２２，２３の開閉弁１６，１７は、所謂ポペットダンパ（ポペット弁）であり、ガスの流れ方向の切換に用いられる。開閉弁１４～１７は、それぞれ、弁体１４ａ，１５ａ，１６ａ，１７ａと、シリンダ１４ｂ，１５ｂ，１６ｂ，１７ｂと、を有する。弁体１４ａ～１７ａは、鉛直方向に移動可能とされる。すなわち、弁体１４ａ～１７ａは、シリンダ１４ｂ～１７ｂのロッド１４ｃ，１５ｃ，１６ｃ，１７ｃの先端に取り付けられ、ロッド１４ｃ～１７ｃの伸縮に応じて移動される。

　以上のような開閉弁１４～１７を所定時間経過毎に切り換えることにより、蓄熱室１１，１２の給気側（被処理ガスが供給される側）と排気側（処理済みガスが排出される側）とを切換えて運転が行われる。尚、開閉弁の切り換えのタイミングは、出入口温度（給気及び排気されるガスの温度を温度検出器により測定しその温度）に基づいて行うようにしてもよい。

　次に、図２及び図３により、本実施形態による蓄熱燃焼式排ガス浄化装置１の「被処理ガス浄化モード」において実行される排ガス浄化方法について説明する。図２及び図３中の矢印は、開とされた供給用開閉弁３８を経由して流入した被処理ガス及び浄化処理された処理済ガスの流れを示す。
　先ず、図２に示すように、蓄熱室１１が供給側で、蓄熱室１２が排出側であるとする。処理される排気ガスは、供給口２０を通って蓄熱室１１に到達する。

　次に、排気ガスは、蓄熱室１１側の蓄熱体２６を通過する際に、この蓄熱体２６と熱交換を行うことによって加熱される。一方、蓄熱体２６は、放熱・冷却される。蓄熱体２６で加熱され燃焼室１０に到達した排気ガスは、燃焼室内１０にて、含有する成分の燃焼分解が行われる。

　次に、燃焼後の処理済ガスは、蓄熱室１２の蓄熱体２７を通過する。このとき、処理済ガスは、蓄熱体２７と熱交換を行うことにより冷却される。その一方で、蓄熱体２７は、蓄熱される。冷却された処理済ガスは、排出口２３を通り、排気ダクト２８に至る。

　この運転を継続すると、一方の蓄熱室１１の蓄熱体２６は、放熱・冷却され、他方の蓄熱室１２の蓄熱体２７は、蓄熱・加熱される。このため、一定時間経過後、図３に示すように、蓄熱室１１の供給口２０の開閉弁１４を閉とし、排出口２２の開閉弁１６を開とする。これとともに、蓄熱室１２の供給口２１の開閉弁１５を開とし、排出口２３の開閉弁１７を閉とする。この動作により、図３に示すように、ガスの流れ方向が反転し、蓄熱室１１が排出側で、蓄熱室１２が供給側に切り換えられる。

　これにより、次に処理される排気ガスは、十分に蓄熱された蓄熱体２７との熱交換により加熱できる。加熱後の排気ガスは、燃焼室１０で処理され、蓄熱体２６との熱交換により冷却されて排気される。一定時間経過後、蓄熱室１１の供給口２０の開閉弁１４を開とし、排出口２２の開閉弁１６を閉とする。これとともに、蓄熱室１２の供給口２１の開閉弁１５を閉とし、排出口２３の開閉弁１７を開とする。この動作により、図２に示すように、ガスの流れ方向が反転し、蓄熱室１１が供給側で、蓄熱室１２が排出側に切り換えられる。

　以上の動作を、一定時間ごとに繰り返して、運転を継続することにより、排熱を利用した効率的な燃焼処理（排ガス浄化モード）を実行することができる。

　次に、図１により、本実施形態による蓄熱燃焼式排ガス浄化装置１の蓄熱体１１，１２に付着した高沸点物質を除去する「付着物除去モード」において実行される付着物除去方法について説明する。図１中の矢印は、合流用開閉弁４０を経由して流入された付着物除去用ガスである空気（外気）の流れを示す。
　制御部３７は、例えば、予め設定した時間や、第１及び第２温度検出器３５，３６の検出結果に基づいて、付着物除去モードを実行する。
　まず、付着物除去モードにおいて、第２蓄熱体２７に付着した高沸点汚物を除去する場合を説明する。制御部３７は、供給用開閉弁３８を閉とし、合流用開閉弁４０を開とする。また、制御部３７は、図１に示すように、蓄熱室１１側の開閉弁１４，１６を開とし、蓄熱室１２側の開閉弁１５，１７を閉とする。制御部３７は、循環配管用第２開閉弁３２を開とし、循環配管用第１開閉弁３１を閉（閉のまま）とする。

　また、制御部３７は、合流部３９から合流後の供給ダクト２９の静圧（外気取り込み部分の静圧）を検出する圧力検出器５１の検出出力に基づいて合流用開閉弁４０の開度を調整する。例えば、静圧（この外気取り込み部分の静圧）が－１．５～０ｋＰａの範囲であれば望ましい。

　また、制御部３７は、送風機３０の風量が一定（定格風量の２０～１００％）となるように設定する。温度等の観点からある程度の希釈が必要であり２０％以上としている。送風機３０により送風され、合流用開閉弁４０を介して外気が流入される。送風機３０により送風されたガス（外気）は、供給口２０を介して蓄熱室１１の下方部分１１ａに流入する。このとき、排出口２２の開閉弁１６も開とされているので、流入された大部分の外気は、蓄熱体２６を通過することなく、排出口２２及び排出ダクト２８を介して装置外部に排出される。

　蓄熱室１２側の開閉弁１５，１７が閉とされ、蓄熱室１２側の循環配管用第２開閉弁３２が開とされ、蓄熱室１１側の循環配管用第１開閉弁３１が閉とされているので、蓄熱室１２の下方部分１２ａにはマイナスの静圧がかかる。これは、下方部分１２ａが循環配管３３により送風機３０の吸引側（上流側）に連結されているからである。この下方部分１２ａのマイナスの静圧により、供給口２０から蓄熱室１１の下方部分１１ａに流入した外気（空気）の一部は、蓄熱体２６、燃焼室１０、蓄熱体２７を経由して蓄熱室１２の下方部分１２ａに流れる。このとき戻り配管としての循環配管３３を経由して下方部分１２ａから供給配管２９に戻される風量は、循環配管用調整弁３４により調整される。

　また、このとき、循環配管３３を流れる風量が、送風機３０の定格風量の１～２０％の範囲内となるように、制御部３７が、循環配管用調整弁３４を制御すれば適切な高沸点物質除去が可能となる。１％未満の場合には、十分な熱風を蓄熱体に供給できないため高沸点物質の除去ができない。２０％を超えると蓄熱体が急激に加熱されるため、蓄熱体の熱衝撃による損傷を起こすおそれがある。ここで、定格風量（rated gas volume）とは、送風機の標準性能であり、これはこの蓄熱式排ガス浄化装置における最大処理風量と同じである。

　蓄熱室１１の蓄熱体２６に流れた外気は、蓄熱体２６により加熱され、燃焼室１０でさらに加熱される。このとき、燃焼室１０は、温度検出器８の検出結果に基づいてバーナ９の出力が制御部３７に制御され、燃焼室１０内部が５００～１０００℃程度となるように調整される。燃焼室１０で加熱された外気が蓄熱室１２の蓄熱体２７を通過する際に、蓄熱体２７と熱交換がなされることにより、蓄熱体２７は、温度が上昇する。これにより、第２蓄熱体２７に付着した高沸点物質が除去される。

　次に、各バルブを切り換えることにより、第１蓄熱体２６の高沸点物質を除去する。この場合には、制御部３７は、蓄熱室１１側の開閉弁１４，１６を閉とし、蓄熱室１２側の開閉弁１５，１７を開とする。制御部３７は、循環配管用第２開閉弁３２を閉とし、循環配管用第１開閉弁３１を開とする。これにより、供給口２１を介して蓄熱室１２の下方部分１２ａに流入された大部分の外気は、蓄熱体２７を通過することなく、排出ダクト２８を介して装置外部に排出される。下方部分１２ａに流入した外気（空気）の一部は、蓄熱体２７、燃焼室１０、蓄熱体２６を経由して蓄熱室１１の下方部分１１ａに流れ、循環配管３３を経由して供給ダクト２９に戻される。第２蓄熱体２７の場合と同様に、第１蓄熱体２６の高沸点物質も除去できる。

　図１の場合は、第２温度検出器３６の検出結果に基づいて、第２蓄熱体２７の温度が管理される。弁を切り換えて第１蓄熱体２６の高沸点物質を除去する場合には、第１温度検出器３５の検出結果に基づいて、温度が管理される。それぞれ第１、第２温度検出器３５，３６による検出結果が１００～５００℃程度が望ましい。蓄熱体２７に付着した高沸点物質を除去する、所謂ベイクアウト温度に達するまでの時間は、１～５時間程度が望ましい。ベイクアウト温度の保持時間は０～５時間が望ましい(保持しない場合もある)。ベイクアウト温度は、１００～５００℃程度である。

　蓄熱室１２の下方部分１２ａから循環配管３３を通過する空気は、合流用開閉弁４０から取り込んだ外気と混合されることで、冷却されて送風機３０を通過する。これにより、送風機３０及びその後に通過する設備が耐熱性を有する必要がなくなる。加熱保持完了後は、蓄熱体の損傷を防止するため２時間以上の冷却時間により、ゆっくりと冷却を行う。

　以上のように、本実施形態による蓄熱燃焼式排ガス浄化装置１によれば、簡易な構造により蓄熱体に付着した高沸点物質を除去することができる。さらに、送風機３０を耐熱仕様とする必要がない。蓄熱体の損傷を防止しながら高沸点物質の除去ができ、蓄熱体の使用寿命が延びる。

　次に、図２乃至図４により、本実施形態による蓄熱式排ガス浄化装置の「排ガス浄化モード」において発揮される別の利点について説明する。

　通常の排ガス浄化運転中（排ガス浄化モード）において、蓄熱燃焼式排ガス浄化装置１の制御部３７は、一方の蓄熱室の供給口に設けられた開閉弁（例えば図２の場合蓄熱室１１の供給口２０に設けられた開閉弁１４）が開のときは、排出口に設けられた開閉弁（図２の場合、排出口２２に設けられた開閉弁１６）が閉であるとともに、他方の蓄熱室の供給口に設けられた開閉弁（図２の場合、蓄熱室１２の供給口２１に設けられた開閉弁１５）が閉で排出口に設けられた開閉弁（図２の場合、排出口２３に設けられた開閉弁１７）が開となるように開閉弁を制御している。

　この図２に示す状態から、制御部３７は、一方の蓄熱室の供給口に設けられた開閉弁１４を開から閉に切り換えるとき（図３に示す状態となるように切り換えるとき）には、一方の蓄熱室の排出口に設けられた開閉弁１６を閉から開に切り換え、且つ他方の蓄熱室の供給口に設けられた開閉弁１５を閉から開に切り換え、且つ他方の蓄熱室の排出口に設けられた開閉弁１７を開から閉に切り換えるよう各開閉弁を制御する。それとともに、制御部３７は、図４に示すように、これらの開閉弁の開閉切換動作時に一方及び他方の蓄熱室１１，１２に設けられた循環配管用開閉弁３１，３２が開になるように制御する。ここで図４に示す開閉弁１４～１７は、図２の状態から図３の状態に移行中の状態を示している。すなわち、ポペット式の開閉弁１４～１７の切換動作中は、排出口及び供給口の両方の開閉弁が開いていることがある。

　また、図３に示す状態から、制御部３７は、一方の蓄熱室の供給口に設けられた開閉弁１４を閉から開に切り換えるとき（図２に示す状態となるように切り換えるとき）には、一方の蓄熱室の排出口に設けられた開閉弁１６を開から閉に切り換え、且つ他方の蓄熱室の供給口に設けられた開閉弁１５を開から閉に切り換え、且つ他方の蓄熱室の排出口に設けられた開閉弁１７を閉から開に切り換えるよう開閉弁を制御する。それとともに、制御部３７は、図４に示すように、これらの開閉弁の開閉切換動作時に一方及び他方の蓄熱室１１，１２に設けられた循環配管用開閉弁３１，３２が開になるように制御する。なお、図４に示す開閉弁１４～１７は、図３の状態から図２の状態に移行中の状態を示しているとも言える。すなわち、ポペット式の開閉弁１４～１７の切換動作中は、排出口及び供給口の両方の開閉弁が開いていることがある。

　制御部３７は、開閉弁の開閉切換動作が完了した後は開とされていた循環配管用開閉弁３１，３２を閉とする。すなわち、開閉弁の切換動作時以外の運転モード（排ガス浄化モード）の際には、基本的には、一方及び他方の蓄熱室１１，１２に設けられた循環配管用開閉弁３１，３２は閉とされている。また、これらの開閉弁の開閉切換動作の開始から動作が完了するまでの間には、循環配管用開閉弁３１，３２が開とされる。

　以上の操作により、確実な被処理ガスの処理を実現するが、この利点を説明するに先立ち、図５に示す比較例の蓄熱式排ガス浄化装置１０１について説明する。比較例の蓄熱式排ガス浄化装置１０１は、循環配管３３及び循環配管用開閉弁３１，３２を備えておらず、他の構成は、図１～図４に示す蓄熱式排ガス浄化装置１と同様である。すなわち、蓄熱式排ガス浄化装置１０１は、燃焼室１０、蓄熱室１１，１２、開閉弁１４～１７等を備える。図５も図４と同様に、開閉弁１４～１７の切換動作中の状態を示している。図５の状態において、供給口２０から蓄熱室１１の下方部分１１ａに流入された被処理ガスが蓄熱体２６を介して燃焼室１０に流入せずに、排出口２２を介して排気ダクト２８に流入する可能性がある。この供給口２０から排出口２２へのダイレクトの流入により、僅かであるが被処理ガスの排気ダクト２８への漏洩のおそれがある。

　これに対して、図４に示すような切換操作手法を行った場合には、蓄熱室１１，１２の下方部分１１ａ，１２ａが循環配管３３を介して送風機３０の吸引側に接続されて、マイナス圧となり、この下方部分１１ａ，１２ａから被処理ガスが循環配管３３を介して供給ダクト２９に導かれる。これにより、排出口２２，２３から排気ダクト２８への被処理ガスの流出が防止できる。

　以上のように、蓄熱燃焼式排ガス浄化装置１によれば、開閉弁１４～１７切換時の被処理ガスの排気ダクト２８への僅かな漏洩をも防止し、確実な被処理ガスの処理を実現する。すなわち、装置１は、簡易な構成で、確実な排ガス処理を実行することができる。

　次に、図６及び図７により、上述した合流用開閉弁について説明する。合流用開閉弁４０は、流通口４１ａが設けられた流通口形成部材４１と、弁体４２と、弁体４２を上下方向に駆動するアクチュエータ４３と、開度検出部４４と、を備える。また、合流用開閉弁４０の本体４０ａには、流体入口４０ｂと、流体出口４０ｃとが設けられる。弁体４２は、流通口形成部材４１に対して近接する方向及び離間する方向に移動可能とされる当接部４２ａと、当接部４２ａに一体に形成される流量調整部４２ｂと、を有する。

　当接部４２ａは、シール面を有しており、流通口形成部材４１に近接する方向に移動されて流通口形成部材４１に当接したときに、流通口形成部材４１の流通口４１ａから供給ダクト２９へ流体が流入することを阻止する。図７（ａ）は、この全閉の状態を示す。

　流量調整部４２ｂは、当接部４２ａが流通口形成部材４１に当接した状態で流通口４１ａに挿入される。流量調整部４２ｂは、当接部４２ａが当接した状態から離間する方向に移動されたときに、流通口４１ａとの間の流体が流通する隙間が漸次大きくなるように形成される。例えば、流量調整部４２ｂは、円錐台形状（錐体）とされている。図７（ｂ）は、流量が全閉と全開の間で隙間（開度）が調整された状態を示す。図７（ｃ）は、全開の状態を示す。

　アクチュエータ４３は、例えばエアシリンダである。アクチュエータ４３のロッド４３ａには、摺動面４３ｃを有する摺動部材４３ｂが設けられる。すなわち、ロッド４３ａの一方端部に流量調整部４２ｂが設けられ、ロッド４３ａの他方端部に摺動部材４３ｂが設けられる。開度検出部４４には、摺動面４３ｃに向けて当接される当接部材４４ａを有している。当接部材４４ａは、図示しない付勢部材により摺動面４３ｃ側に付勢されている。摺動面４３ｃは、鉛直面に対して傾斜されている。ロッド４３ａが上下した場合に、当接部材４４ａの姿勢（角度）が変わる。開度検出部４４は、当接部材４４ａの角度により、アクチュエータ４３のロッド４３ａの位置、すなわち、流量調整部４２ｂの位置を検出する。流量調整部４２ｂの位置に応じて、流体が流通する隙間が変化し、これにより開度が変化する。このように、開度検出部４４は、合流流体用開閉弁４０の開度を検出できる。

　合流流体用開閉弁４０は、遮断と調整の機能の両方を有する。すなわち、合流用開閉弁４０は、図７（ａ）～（ｃ）に示すように、開状態又は閉状態を保持できるとともに、開度を調整でき、合流部３９から供給ダクト２９に合流させる流体の流量を調整できる。合流流体用開閉弁４０は、遮断と調整の機能の両方を有するため、後述する図６（ｃ）の合流流体用開閉弁４５に比べて設置スペースを小さくできる。また、遮断と調整の両機能を一つの弁体４２の駆動で行うことができるため、制御が簡単になるとともに、電気配線も少なくできる。

　合流用開閉弁４０は、被処理ガスの排出量、すなわち、供給ダクト２９への供給量が減り、送風機３０の最低吸引風量（定格風量の約１／３）より小さくなった場合に、不足分の流体を供給することができる。また、合流用開閉弁４０は、被処理ガスの濃度が高い場合にも外気を供給することで、供給ダクト２９から蓄熱室１１，１２等に供給されるガスの濃度を適切にすることで、適切な運転を実現する。さらに、合流用開閉弁４０は、上述の付着物除去モードの際の流入空気の流量調整もできる。

　尚、蓄熱式排ガス浄化装置１の合流用開閉弁は、図６（ａ）に示す合流用開閉弁４０に限られるものではない。例えば、図６（ｃ）に示す合流用開閉弁４５であってもよい。図６（ｃ）に示す合流用開閉弁４５は、流量調整機能を有する流量調整用の弁体４６と、閉状態（遮断）と開状態とを保持する機能を有する開閉用の弁体４７とを有する。また、合流用開閉弁４５の本体４５ａには、流体入口４５ｂと、流体出口４５ｃとが設けられる。

　弁体４７は、ポペットダンパ（ポペット弁）であり、エアシリンダ等のアクチュエータ４８により駆動される。弁体４７は、流体出口４５ｃと当接することで全閉状態とし、流体出口４５ｃから離間されることで全開状態とする。弁体４６は、バタフライダンパ（バタフライ弁）であり、回動されることで流量を調整する。

　合流用開閉弁４５も、遮断と調整の機能を有する。すなわち、合流用開閉弁４５は、合流用開閉弁４０と、同様に、開状態又は閉状態を保持できるとともに、開度を調整でき、合流部３９から供給ダクト２９に合流させる流体の流量を調整できる。

　次に、図８により、開閉弁１４，１５，１６，１７の構造について詳細に説明する。蓄熱室１１，１２の供給口及び排出口に設けられる開閉弁１４，１５，１６，１７は、図８（ａ）に示すように、流通口６１ａが形成された流通口形成部材６１と、弁体１４ａ，１５ａ，１６ａ，１７ａと、シリンダ１４ｂ，１５ｂ，１６ｂ，１７ｂと、を有する。流通口形成部材６１は、蓄熱室１１，１２の底部が兼ねている。流通口形成部材６１の上面側にはシール部材６１ｂが設けられている。シール部材６１ｂとしては、例えばノンアスベストパッキンを用いても良い。弁体１４ａ～１７ａは、シール部材６１ｂに当接することで、ガスの流通を遮断して閉状態を保持する。

　尚、蓄熱式排ガス浄化装置１の供給口及び排出口用の開閉弁は、図８（ａ）に示す開閉弁に限られるものではない。例えば、図８（ｂ）に示す開閉弁６５であってもよい。図８（ｂ）の開閉弁６５は、ガスが流通するガス流通口（以下「流通口」という）６６ａが設けられた第１部材６６と、第１部材６６に対して近接及び離間する方向に移動可能とされる第２部材６７と、第２部材６７を当接及び離間する方向に駆動する駆動部６８ｂとを有する。第２部材６７は、第１部材６６に当接されることで流通口６６ａを閉とするとともに、第１部材６６から離間されることで流通口６６ａを開とする。第１部材６６は、流通口形成部材である。第２部材６７は、弁体であり、駆動部６８ｂのロッド６８ｃの伸縮に応じて移動される。

　第１及び第２部材６６，６７のいずれか一方（図８（ｂ）では第２部材６７）には、流通口６６ａより外側の部分を囲うように立ち上がり形成された包囲壁部６９が一体化される。第１及び第２部材６６，６７のいずれか他方（図８（ｂ）では第１部材６６）には、包囲壁部６９に対応する位置に、包囲壁部６９の厚みより太い幅で且つ流通口６６ａを囲うように形成されるシール部材６４が設けられる。シール部材６４は、例えば第１部材６６に設けられた取付部材６４ａに取り付けられる。シール部材６４は、第１及び第２部材６６，６７が近接して包囲壁部６９が当接されたときに変形して、この当接部分からのガスの流出を防止する。このシール部材６４としては、柔らかめの材質が適しており、例えばバイント、シリコンスポンジ、ネオプレンスポンジであってもよい。包囲壁部６９の厚みは、シール部材６４と当接したときに、そのエッジにより、シール部材を変形させることができる程度の厚みとされており、例えば、１０ｍｍ～５０ｍｍ程度とされている。

　上述した開閉弁６５は、エッジのある包囲壁部６９と柔らかめのシール部材６４とにより、接触面積が減ることにより、単位面積当たりのシール圧力を高めることができる。よって、開閉弁６５は、流体リークを低減させることができる。

　次に、図９乃至図１１により、本実施形態による蓄熱式排ガス浄化装置の変形例を説明する。蓄熱式排ガス浄化装置１は、さらに、燃焼室１０に接続される第１バイパスダクト７１及び第２バイパスダクト７２を備えるようにしてもよい。このような第１及び第２バイパスダクト７１，７２等を加えた蓄熱式排ガス浄化装置７０が図９（ａ）及び図１０に示されている。図１０においては、燃焼室１０と蓄熱室１１，１２との筐体が一体として構成されている。

　第１バイパスダクト７１は、燃焼室１０と排気ダクト２８とを連通するものであり、すなわち、燃焼室１０と排出口２２，２３の排出側とを連通するバイパス通路である。第１バイパスダクト７１は、熱排出ダンパとして機能する。第１バイパスダクト７１は、調整弁７３を有する。調整弁７３は、バタフライ弁であり、弁体の回転力により、流れるガスの流量を調整可能である。第１バイパスダクト７１は、余剰熱が発生したときに、設備保護のために燃焼ガスを排出することができる。

　第２バイパスダクト７２は、燃焼室１０で発生した熱を外部に設けられる熱回収システム７４で利用するための熱回収ダクトである。第２バイパスダクト７２は、調整弁７３と同様の調整弁７５を有する。第２バイパスダクト７２は、燃焼室１０と熱回収システム７４とを連通して、燃焼室１０で燃焼後の処理済ガスを熱回収システム７４に導く。

　熱回収システム７４は、例えば炉筒煙管式等の廃熱ボイラである。熱回収システム７４は、燃焼室１０からの排ガスと熱交換させる水（軟水等）を供給する水供給部７４ａと、この水に熱が加えられることにより発生する蒸気を回収するための蒸気回収部７４ｂとを有する。また、熱回収システム７４は、熱交換後の処理済ガスを排出するための排ガス排出部７４ｃを有する。

　また、蓄熱式排ガス浄化装置７０は、排気ダクト２８に設けられる調整弁７６と、燃焼室１０内の圧力を検出する圧力検出器７７とを有する。制御部３７は、圧力検出器７７の検出結果に基づいて、調整弁７６を制御して、熱回収や熱排出を行うことができ、余剰熱の有効利用を実現する。

　図９（ａ）及び図１０に示された蓄熱式排ガス浄化装置７０では、余剰熱排出用のダクトとして、第１及び第２バイパスダクト７１，７２の両方を設けるように構成したが、本発明は、これに限られるものではない。すなわち、図９（ｂ）及び図１１に示された、バイパスダクト８１のみを有する蓄熱式排ガス浄化装置８０においても、上述の蓄熱式排ガス浄化装置７０と同様の効果を得ることができる。すなわち、蓄熱式排ガス浄化装置８０は、蓄熱式排ガス浄化装置１に対してバイパスダクト８１、熱交換器８２等を加えたものである。

　図９（ｂ）及び図１１に示すように、バイパスダクト８１は、燃焼室１０と排気ダクト２８とを連通するものであり、すなわち、燃焼室１０と排出口２２，２３の排出側とを連通する。バイパスダクト８１は、熱排出ダンパとして機能する。バイパスダクト８１は、調整弁７３と同様の調整弁８１ａを有する。バイパスダクト８１は、余剰熱が発生したときに、設備保護のために燃焼ガスを排出することができる。

　熱交換器８２は、熱回収用に設けられ、排気ダクト２８中に配置される。熱交換器８２は、例えば、ガス及びガスの熱交換を行うプレート式熱交換器である。熱交換器８２は、燃焼室１０等からの処理済ガスと熱交換させる大気を供給する大気供給部８２ａと、この空気に熱が加えられることにより発生する熱風を導く熱風導通部８２ｂとを有する。また、熱交換器８２は、熱交換後の処理済ガスを排出するためのガス排出部８２ｃを有する。

　図１１では、この回収した熱をコータ（塗工）＆乾燥ライン８３に導いて利用する例について示す。すなわち、図１１に示す蓄熱式排ガス浄化装置８０は、コータ＆乾燥ライン８３からの排ガスを浄化するとともに、装置８０で発生した熱を回収して、コータ＆乾燥ライン８３で再利用するのに用いた例を示している。

　コータ＆乾燥ライン８３は、乾燥用の熱風を供給するための供給部８３ａと、乾燥に用いられた後の排ガスを排出する排出部８３ｂとを有する。供給部８３ａは、ファン８４及び温度調整器８５を介して熱風導通部８２ｂに接続されている。排出部８３ｂは、供給ダクト２９に導く導通ダクト８３ｃに接続される。導通ダクト８３ｃは、ファン８６、フィルタボックス８７、及びファン８８が設けられ、排出部８３ｂからの排ガスを供給ダクト２９に導く。

　蓄熱式排ガス浄化装置８０は、装置７０と同様に、調整弁７６及び圧力検出器７７を有する。以上のような蓄熱式排ガス浄化装置８０は、余剰熱の有効利用を実現する。

　蓄熱式排ガス浄化装置７０，８０は、上述した装置１と同様の構成も備え、すなわち、図９乃至図１１では図示を省略するが、循環配管３３、循環配管用第１及び第２開閉弁３１，３２、循環配管用調整弁３４、第１及び第２温度検出器３５，３６、制御部３７等を備える。よって、装置７０，８０は、装置１と同様に、簡易な構造で蓄熱体に付着した高沸点物質を除去することができ、さらに、上述した他の作用効果も奏することができる。

１，７０，８０　蓄熱式排ガス浄化装置
９　バーナ
１０　燃焼室
１１，１２　一対の蓄熱室（第１蓄熱室、第２蓄熱室）
１４，１５　供給用開閉弁
１６，１７　排出用開閉弁
２０，２１　供給口
２２，２３　排出口
２８　排気ダクト
２９　供給ダクト
３０　送風機
３１　循環配管用第１開閉弁
３２　循環配管用第２開閉弁
３４　循環配管用調整弁
３５　第１温度検出器
３６　第２温度検出器
３７　制御部
３８　供給用開閉弁
４０，４５　合流用開閉弁

Claims

　蓄熱体を用いて被処理ガスを浄化する蓄熱式排ガス浄化装置であって、
　第１蓄熱体及び第２蓄熱体をそれぞれ収容する第１蓄熱室及び第２蓄熱室と、
　これらの第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの一端に連通するように設けられた、加熱手段を備えた燃焼室と、
　上記第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの他端に設けられ、供給用開閉弁を備えるとともに被処理ガスを供給するための第１供給部及び第２供給部と、
　上記第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの他端に設けられ、排出用開閉弁を備えるとともに処理済ガスを排出するための第１排出部及び第２排出部と、
　上記第１供給部及び第２供給部に接続され、被処理ガスを供給するための供給通路と、
　この供給通路に設けられ、被処理ガスを上記第１供給部及び第２供給部に導く送風機と、
　上記第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの他端側と上記供給通路を接続する循環通路と、
　上記循環通路に設けられ、上記第１蓄熱室の他端側から上記供給通路への流れの開閉を行う循環通路用第１開閉弁と、
　上記循環通路に設けられ、上記第２蓄熱室の他端側から上記供給通路への流れの開閉を行う循環通路用第２開閉弁と、
　被処理ガスを浄化する排ガス浄化モードと、付着物除去用ガスを用いて上記第１蓄熱体及び第２蓄熱体に付着した物質を除去する付着物除去モードと、を実行する制御部と、を有し、
　上記制御部は、上記付着物除去モードにおいて、上記送風機を作動させて付着物除去用ガスを供給通路に流入させ、この付着物除去用ガスが、第２蓄熱体を通過して加熱され、燃料室で加熱され、第１蓄熱体を通過することにより、第１蓄熱体の温度を上昇させて、第１蓄熱体に付着した物質を除去し、その後、付着物除去用ガスを循環通路を経て供給通路に戻し、且つ、上記送風機を作動させて付着物除去用ガスを供給通路に流入させ、この付着物除去用ガスが、第１蓄熱体を通過して加熱され、燃料室で加熱され、第２蓄熱体を通過することにより、第２蓄熱体の温度を上昇させて、第２蓄熱体に付着した物質を除去し、その後、付着物除去用ガスを循環通路を経て供給通路に戻すように、上記供給用開閉弁、排出用開閉弁、循環通路用第１開閉弁、循環通路用第２開閉弁を制御することを特徴とする蓄熱式排ガス浄化装置。
　上記循環通路は、第１蓄熱室及び第２蓄熱室のそれぞれの他端側と上記供給通路の上記送風機の上流側の位置とを接続する請求項１に記載の蓄熱式排ガス処理装置。
　更に、第１蓄熱室の他端側の温度を検出する第１温度検出器と、第２蓄熱室の他端側の温度を検出する第２温度検出器を有し、上記制御部は、上記第１温度検出器及び第２温度検出器により検出された温度が所定範囲内のときに、上記付着物除去モードを実行する請求項２に記載の蓄熱式排ガス浄化装置。
　更に、上記循環通路に設けられ、付着物除去モードの実行時に、上記供給通路へ戻される付着物除去用ガスの流量を調整する循環通路用調整弁と、を有し、
　上記制御部は、上記付着物除去モードにおいて、上記循環通路用調整弁の開度を制御する請求項３に記載の排ガス浄化装置。
　上記制御部は、上記循環通路を流れる風量が上記送風機の定格風量の１～２０％の範囲内となるように上記循環通路用調整弁の開度を制御する請求項４に記載の蓄熱式排ガス浄化装置。
　上記制御部は、排ガス浄化モードにおいて、上記供給用開閉弁及び排出用供給弁の開閉切換動作中に、上記供給用開閉弁及び排出用供給弁の全てが開状態のとき、上記循環通路用第１開閉弁及び循環通路用第２開閉弁の両方が開となるように制御し、さらに、上記開閉切換動作完了時に、上記循環通路用第１開閉弁及び循環通路用第２開閉弁の両方が閉となるように制御する請求項５に記載の蓄熱式排ガス浄化装置。
　更に、上記供給通路に接続され、上記送風機に流入する前の被処理ガスに上記付着物除去用ガスを合流させる合流部に設けられる合流用開閉弁を有し、
　この合流用開閉弁は、開状態又は閉状態を保持でき且つ開度を調整できる請求項６に記載の蓄熱式排ガス浄化装置。
　上記合流用開閉弁は、流通口が設けられた流通口形成部材と、
　この流通口形成部材に対して近接する方向及び離間する方向に移動可能である当接部と、この当接部に一体に形成される流量調整部とを備えた弁体と、を有し、
　上記当接部は、流通口形成部材に近接する方向に移動して流通口形成部材に当接したときに、流通口形成部材の流通口から供給通路へ付着物除去用ガスが流入することを阻止し、
　上記流量調整部は、当接部が流通口形成部材に当接した状態で流通口に挿入され、当接部が当接した状態から離間する方向に移動したときに、流通口との間の流体が流通する隙間が漸次大きくなるように形成されている請求項７に記載の蓄熱式排ガス浄化装置。
　上記流量調整部は、円錐台形状部により形成されている請求項８に記載の蓄熱式排ガス浄化装置。
　上記供給用開閉弁及び排出用開閉弁は、それぞれ、被処理ガス又は処理済ガスが流通するガス流通口が設けられた第１部材と、
　上記第１部材に対して近接及び離間する方向に移動可能とされ、第１部材に当接してガス流通口を閉とするとともに、第１部材から離間してガス流通口を開とする第２部材と、
　この第２部材を当接及び離間する方向に駆動する駆動部と、を有し、
　これらの第１部材及び第２部材のいずれか一方には、ガス流通口より外側の部分を囲う包囲壁部が一体的に形成され、第１及び第２部材のいずれか他方には、包囲壁部に対応する位置に、包囲壁部の厚みより太い幅で且つガス流通口を囲うように形成され、第１及び第２部材が近接して包囲壁部が当接されたときに変形してこの当接部分からの被処理瓦斯の流出を防止するシール部材が設けられている請求項７記載の蓄熱式排ガス浄化装置。