WO2014003157A1 - 水性加工液 - Google Patents

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  • the aqueous working fluid of the present invention is suitable for cutting a brittle material such as a silicon ingot with a multi-wire saw of fixed abrasive grains.

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Abstract

 ワイヤーソーによる脆性材料切断時に用いる水性加工液であって、水溶性高分子を配合してなり、前記水溶性高分子の質量平均分子量が3×10以上、6×10以下であり、当該水性加工液の25℃における粘度が1.5mPa・s以上、15Pa・s以下であることを特徴とする。

Description

水性加工液
 本発明は水性加工液に関し、詳しくは、固定砥粒ワイヤーソーで脆性材料を切断する際に用いられる水性加工液に関する。
 半導体製品の製造においては、脆性材料であるシリコンインゴットを切断する必要があり、切断精度および生産性の観点から一般にワイヤーソー加工が利用されている。ここで、シリコンインゴットの切断においては、加工液に砥粒を分散させた状態でシリコンインゴットを切断する遊離砥粒方式と、ワイヤーの表面にあらかじめ砥粒を固定した状態でシリコンインゴットを切断する固定砥粒方式とがある。
 遊離砥粒方式に用いられる加工液としては、例えば、摩擦係数低下剤および防錆力補助剤などが含まれる水溶性の加工液がある。この加工液に含まれる摩擦係数低下剤としては、不飽和脂肪酸が用いられ、防錆力補助剤としては、ベンゾトリアゾールが用いられる(特許文献1参照)。このような遊離砥粒方式では、ワイヤーが太い場合、切代が大きくなるため、切粉が多く生じシリコンインゴットの切断における歩留まりが悪化する。また、ワイヤーは、使用するにつれて削れていくため、ワイヤー自体を細くするには限界がある。従って、今後大幅な増産が期待される太陽電池用などのシリコンウェハの製造においては、遊離砥粒方式では生産性に問題がある。
 一方、固定砥粒方式に用いられる加工液としては、例えば、グリコール類を含有させた水溶性加工液が知られている(特許文献2、3参照)。このような固定砥粒方式によれば、あらかじめワイヤーに砥粒を固定するため、ワイヤーを細くすることができ、切粉を少なくできるので生産性に優れる。
特開平8-57848号公報 特開2003-82334号公報 特開2011-21096号公報
 ワイヤーソーによりシリコンインゴットを切断してウェハを得る加工では、低コスト化の要求が厳しく、ウェハの歩留りを上げるためにワイヤーの線径は極力細いことが望まれる。しかし、ワイヤーの線径が細くなると、低い張力でインゴットを切断する必要があるため、ワイヤーが撓み易く、切断精度も低下するおそれがある。特許文献2、3に記載されたような水溶性加工液を用いた固定砥粒方式では上述した問題には十分に対処できない。
 本発明は、細い線径のワイヤーを用いて脆性材料を切断した場合でもワイヤーの撓みを抑制し、良好な切断精度を得ることができる水性加工液を提供することを目的とする。
 前記課題を解決すべく、本発明は、以下のような水性加工液を提供するものである。
(1)ワイヤーソーによる脆性材料切断時に用いる水性加工液であって、水溶性高分子を配合してなり、前記水溶性高分子の質量平均分子量が3×10以上、6×10以下であり、当該水性加工液の25℃における粘度が1.5mPa・s以上、15Pa・s以下であることを特徴とする水性加工液。
(2)上述の(1)に記載の水性加工液において、前記ワイヤーソーが固定砥粒ワイヤーソーであることを特徴とする水性加工液。
(3)上述の(2)に記載の水性加工液において、前記固定砥粒ワイヤーソーにおけるワイヤー線径がφ0.2mm以下であることを特徴とする水性加工液。
(4)上述の(1)から(3)までのいずれか1つに記載の水性加工液において、前記水溶性高分子の配合量が当該加工液全量基準で0.5質量%以上、40質量%以下であることを特徴とする水性加工液。
(5)上述の(1)から(4)までのいずれか1つに記載の水性加工液において、さらに、防錆剤、摩擦調整剤、消泡剤、金属不活性化剤、殺菌剤(防腐剤)、およびpH調整剤のうち少なくともいずれか1種を配合してなることを特徴とする水性加工液。
(6)上述の(1)から(5)までのいずれか1つに記載の水性加工液において、前記脆性材料がシリコンインゴットであることを特徴とする水性加工液。
 本発明の水性加工液によれば、細い線径のワイヤーを用いて脆性材料を切断した場合でもワイヤーの撓みを抑制し、高い切断精度を得ることができる。本発明の水性加工液は、特に、固定砥粒方式のワイヤーソーに好適に用いることができる。
 本発明の水性加工液(以下、単に「本加工液」ともいう。)は、ワイヤーソーによる脆性材料加工時に用いる水性加工液であって、特定の水溶性高分子を配合してなるものである。
 従って、本加工液の主成分は水である。水としては、特に制限なく使用することができるが、好ましくは精製水が用いられ、特に脱イオン水が好ましい。水の配合量は、本加工液全量を基準として50質量%以上、99質量%以下であることが好ましく、より好ましくは60質量%以上、95質量%以下である。50質量%以上であることで、引火性が下がるため安全性が向上するとともに省資源化および環境面からも好ましい。上限については、他の成分の配合量との関係で99質量%以下とすることが好ましい。
 なお、本加工液は、水溶性高分子等の成分を最初から必要な濃度で配合して調製してもよいが、いったん濃縮液(原液)を調製しておいて、使用時に希釈して使用してもよい。このような濃縮液としては、ハンドリング性の観点より体積倍率で2倍以上、160倍以下程度のものが好ましい。
 本加工液の、25℃における粘度は、1.5mPa・s以上、15Pa・s以下であり、好ましくは2mPa・s以上、10mPa・s以下、より好ましくは3mPa・s以上、8mPa・s以下である。この粘度が1.5mPa・s未満であると、ワイヤー付着性が低下して貧潤滑となり切断精度が低下する。一方、この粘度が高すぎると、切断中のワイヤー表面の油膜が厚くなり、砥粒のワークへの食いつきが悪くなる。その結果、ワイヤー撓みが大きくなり切断精度が低下する。
 本加工液に用いられる水溶性高分子としては、その質量平均分子量が3×10以上、6×10以下であることが好ましく、5×10以上、5×10以下であることがより好ましく、7×10以上、3×10以下であることがさらに好ましく、7×10以上、1×10以下であることが最も好ましい。
 この質量平均分子量が3×10以上であると増粘効果が向上するため、本加工液がワイヤーに付着しやすくなって加工間隙へ浸透し、砥粒の剥離を効果的に抑制できるようになるため切断速度をより速くできる。ただし、この質量平均分子量が6×10を超えると、せん断により分子鎖が切れやすくなり粘度低下が大きくなるおそれがある。それ故、このような高い分子量の水溶性高分子を配合した場合、適度な分子量の水溶性高分子を配合した場合にくらべて、たとえ同粘度の加工液であってもワイヤーによる切断精度が劣るようになる。
 前記した水溶性高分子としては、加工性の観点より酸素含有基を有することが好ましい。このような酸素含有基としては、例えば、カルボキシル基、水酸基およびオキシエチレン基、およびオキシプロピレン基が挙げられる。ここで、このカルボキシル基や水酸基は、脱プロトン化や中和によってアニオンになっているものも含む。
 このような水溶性高分子としては、例えば、ポリ(メタ)アクリル酸、ポリ(メタ)アクリル酸の金属塩(Na、K等)、(メタ)アクリル酸/マレイン酸共重合体あるいはその金属塩(Na、K等)、(メタ)アクリル酸/スルホン酸共重合体あるいはその金属塩(Na、K等)、ポリオキシエチレングリコールやポリオキシプロピレングリコールなどのポリオキシアルキレングリコール、ポリビニルアルコール、エチレン性不飽和モノマ-と酢酸ビニルとの共重合体をケン化したもの、および変性澱粉などが挙げられる。
 本加工液における、前記水溶性高分子の配合量は、0.5質量%以上、40質量%以下であることが好ましく、1質量%以上、20質量%以下であることがより好ましく、2質量%以上、12質量%以下であることがさらに好ましい。前記水溶性高分子の配合量がこの範囲であると、本加工液の粘度範囲も好ましい範囲に制御でき、本発明の効果をより発揮しやすくなる。
 このような本加工液は、砥粒の脱落を防ぎながらシリコンインゴット等の脆性材料を高速で切断できるので、固定砥粒ワイヤーによっても高い精度で切断できる。それ故、低い張力で切断する必要のある細線の固定砥粒ワイヤーを用いる場合に極めて有効である。
 固定砥粒ワイヤーソーの線径は、φ0.2mm以下であることが好ましく、φ0.12mmφ以下であることがより好ましく、φ0.1mmφ以下であることがさらに好ましく、φ0.08mm以下であることが特に好ましい。当該ワイヤーソーの線径を小さくすると、加工対象となる脆性材料から製品を得る際の歩留まりを上げることができる。本加工液を用いると、砥粒の食いつきが向上し、切断効率を上げることができるので線径の小さなワイヤーソーを用いた場合でも撓みを抑制することができる。ただし、当該ワイヤーソーの線径は、強度の観点より、φ0.06mm以上であることが好ましい。
 本加工液には、発明の効果を損なわない範囲で、防錆剤、摩擦調整剤、消泡剤、金属不活性化剤、殺菌剤(防腐剤)、およびpH調整剤などの公知の添加剤を含んでもよい。
 防錆剤としては、アルキルベンゼンスルフォネート、ジノニルナフタレンスルフォネート、アルケニルコハク酸エステル、多価アルコールエステル等が挙げられる。配合量としては、加工液全量基準で0.01質量%以上5質量%以下程度が好ましい。
 摩擦調整剤は、砥粒の摩耗を抑制するために用いられる。摩擦調整剤としては、各種の界面活性剤を用いることができる。界面活性剤としては、グリコール類などの非イオン界面活性剤が好適に挙げられる。配合量としては、加工液全量基準で0.01質量%以上5質量%以下程度が好ましい。
 消泡剤は、加工室内に設けられた加工液タンクから加工液がオーバーフローしてしまうことを防止するために用いられる。消泡剤としては、例えば、シリコーン油、フロオロシリコーン油、フルオロアルキルエーテルなどが挙げられる。配合量としては、加工液全量基準で0.001質量%以上、1質量%以下程度が好ましい。
 金属不活性化剤としては、イミダゾリン、ピリミジン誘導体、チアジアゾール、ベンゾトリアゾールなどが挙げられる。配合量としては、加工液全量基準で0.01質量%以上5質量%以下程度が好ましい。
 殺菌剤(防腐剤)は、加工液が腐敗することを防止するために用いられる。殺菌剤(防腐剤)としては、パラオキシ安息香酸エステル類(パラベン類)、安息香酸、サリチル酸、ソルビン酸、デヒドロ酢酸、p-トルエンスルホン酸およびそれらの塩類、フェノキシエタノールなどが挙げられる。配合量としては、加工液全量基準で0.01質量%以上1質量%以下程度が好ましい。
 pH調整剤は、加工液のpHを3以上9以下の範囲に調整するために用いられる。pHが3未満であると、防錆性が悪化するおそれがあり、pHが9より高いとシリコンが腐食するおそれがある。このようなpH調整剤としては、酢酸、リンゴ酸、クエン酸などの有機酸やその塩、リン酸などとその塩が挙げられる。
 次に、本発明を実施例および比較例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの例によって何ら限定されるものではない。
〔実施例1~6、比較例1~3〕
 表1に示す配合組成の水性加工液(供試液)を調製し、以下に示す切断加工と評価を行った。評価結果も併せて表1に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
※1 質量平均分子量13,000のエチレンオキサイド・プロピレンオキサイドブロック共重合体
※2 質量平均分子量20,000のポリエチレングリコール
※3 質量平均分子量798,000のポリアクリル酸
(加工方法)
 固定砥粒ワイヤーソーに供試液を掛け流しながらシリコンインゴットを切断してシリコンウェハを得た。具体的な条件は、以下の通りである。
  切断機:WSD-K2(タカトリ製)
  ワイヤー:電着ダイヤモンドワイヤー(φ0.08mm 粒度8-16μm)
  ワーク(インゴット):多結晶シリコン□125mm
  張力:10N
  線速:700m/min
  新線供給量:0.2m/min
  ワイヤー一定速時間:10s
  ワイヤー加減速時間:3s
  切断距離:133mm
(評価方法)
 上述の切断加工により得られたウェハの平坦度(TTV:Total Thickness Variation)および反り量(SORI)を測定した。
 平坦度(TTV)とは、得られたウェハの厚みをダイヤルゲージで測定し、最大厚みと最小厚みの差であらわしたものである。本実施例では、ダイヤルゲージとしてミツトヨ製DIGIMATIC INDICATOR ID-C112CXを用いた。
 反り量(SORI)とは、日本水晶デバイス工業会により制定された技術標準QIAJ-B-007(2000年2月10日制定)に規定された方法で測定されたパラメータであり、クランプされない状態のウェハのうねりを示し、ウェハの裏面に接する平面を基準平面として、その平面からのずれの最大値であらわしたものである。本実施例では、黒田精工製ナノメトロ440Fを用いて測定した。
 また、加工液の粘度は、B型回転粘度計TVB-10(東機産業製)を用いて測定した。
(評価結果)
実施例1~6の供試液は、本発明所定の水溶性高分子を含み、供試液の粘度も所定の範囲であるので、切り出されたシリコンウェハの精度(TTVおよびSORI)に優れていた。また、ワイヤーの線径がφ0.08mmと極めて細いにもかかわらず、切断加工中の撓みが大幅に減少した。
 一方、水溶性高分子が全く配合されていないイオン交換水100質量%を供試液とした比較例1では、切断途中でワイヤーが断線してしまった。比較例2は、供試液の粘度が高すぎるため、シリコンウェハの精度(TTVおよびSORI)が非常に悪い。また、比較例3は、供試液の粘度は所定の範囲であるが、配合された水溶性高分子の質量平均分子量が高すぎるため、やはりシリコンウェハの精度(TTVおよびSORI)が劣る。
 本発明の水性加工液は、固定砥粒のマルチワイヤーソーによりシリコンインゴット等の脆性材料を切断加工する際に好適である。

Claims (6)

  1.  ワイヤーソーによる脆性材料切断時に用いる水性加工液であって、
     水溶性高分子を配合してなり、
     前記水溶性高分子の質量平均分子量が3×10以上、6×10以下であり、
     当該水性加工液の25℃における粘度が1.5mPa・s以上、15Pa・s以下である
     ことを特徴とする水性加工液。
  2.  請求項1に記載の水性加工液において、
     前記ワイヤーソーが固定砥粒ワイヤーソーである
     ことを特徴とする水性加工液。
  3.  請求項2に記載の水性加工液において、
     前記固定砥粒ワイヤーソーにおけるワイヤー線径がφ0.2mm以下である
     ことを特徴とする水性加工液。
  4.  請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の水性加工液において、
     前記水溶性高分子の配合量が当該加工液全量基準で0.5質量%以上、40質量%以下である
     ことを特徴とする水性加工液。
  5.  請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の水性加工液において、
     さらに、防錆剤、摩擦調整剤、消泡剤、金属不活性化剤、殺菌剤(防腐剤)、およびpH調整剤のうち少なくともいずれか1種を配合してなる
     ことを特徴とする水性加工液。
  6.  請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の水性加工液において、
     前記脆性材料がシリコンインゴットである
     ことを特徴とする水性加工液。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104611115A (zh) * 2015-01-29 2015-05-13 安徽铖友汽车零部件制造有限公司 一种水性切削液
CN104611119A (zh) * 2015-01-29 2015-05-13 安徽铖友汽车零部件制造有限公司 一种抗腐蚀切削液
CN104611111A (zh) * 2015-01-29 2015-05-13 安徽铖友汽车零部件制造有限公司 一种环保切削液
JP2015157922A (ja) * 2014-02-25 2015-09-03 出光興産株式会社 水系潤滑剤

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6204029B2 (ja) 2013-03-06 2017-09-27 出光興産株式会社 水性加工液
US20190062670A1 (en) * 2016-02-10 2019-02-28 B Food Science Co., Ltd. Cutting fluid, cutting method, and smoothness improver for cut surface
JP2017190398A (ja) * 2016-04-13 2017-10-19 株式会社ディスコ 切削水用添加剤、切削水及び切削加工方法
JP6232480B2 (ja) * 2016-08-31 2017-11-15 出光興産株式会社 水性加工液
CN106929124A (zh) * 2017-03-23 2017-07-07 江苏美科硅能源有限公司 一种粘度调节剂、其制备方法及其应用
CN108659915A (zh) * 2017-03-28 2018-10-16 常州协鑫光伏科技有限公司 硅片切割用防沉剂以及砂浆切割液
CN109762645A (zh) * 2019-01-21 2019-05-17 安徽华顺半导体发展有限公司 一种高润滑性多晶硅切片用水基切割液及其制备方法
CN112745982B (zh) * 2020-12-29 2022-08-09 江苏奥首材料科技有限公司 一种含有低聚皂化合物的晶圆切割液

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0857848A (ja) 1994-08-25 1996-03-05 Shin Etsu Handotai Co Ltd 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法
JP2003082334A (ja) 2001-09-06 2003-03-19 Yushiro Chem Ind Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液組成物
WO2010113678A1 (ja) * 2009-03-31 2010-10-07 出光興産株式会社 脆性材料用加工液及び硬質材料用加工液
WO2011007590A1 (ja) * 2009-07-15 2011-01-20 ユシロ化学工業株式会社 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
JP2011161613A (ja) * 2010-02-15 2011-08-25 Kanai Hiroaki 固定砥粒式ソーワイヤ
JP2011256377A (ja) * 2010-05-11 2011-12-22 Kyodo Yushi Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工油剤組成物
WO2012017947A1 (ja) * 2010-08-03 2012-02-09 ユシロ化学工業株式会社 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
JP2012126812A (ja) * 2010-12-15 2012-07-05 Kyodo Yushi Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー用油剤組成物
WO2012115099A1 (ja) * 2011-02-23 2012-08-30 ユシロ化学工業株式会社 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
WO2012132448A1 (ja) * 2011-03-31 2012-10-04 三洋化成工業株式会社 シリコンインゴットスライス用含水切削液

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04216897A (ja) * 1990-12-19 1992-08-06 Nippon Steel Corp ワイヤソーによる切断法および加工液
JP3869520B2 (ja) * 1997-03-21 2007-01-17 株式会社ネオス ワイヤソー用水溶性切削液
JP2000160185A (ja) * 1998-12-02 2000-06-13 Kyodo Yushi Co Ltd 切断加工用水溶性油剤
TW575660B (en) * 2001-09-07 2004-02-11 Dai Ichi Kogyo Seiyaku Co Ltd Nonflammable water-based cutting fluid composition and nonflammable water-based cutting fluid
JP2003082336A (ja) * 2001-09-12 2003-03-19 Asahi Denka Kogyo Kk 水系ラップ液及び水系ラップ剤
US7690968B2 (en) * 2006-08-30 2010-04-06 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Aqueous fluid compositions for abrasive slurries, methods of production, and methods of use thereof
DE102007033430A1 (de) * 2007-07-18 2009-01-22 Evonik Goldschmidt Gmbh Siliconfreies Schneidöl und seine Verwendung
US8157876B2 (en) * 2007-07-31 2012-04-17 Cabot Microelectronics Corporation Slurry composition containing non-ionic polymer and method for use
WO2010030371A1 (en) * 2008-09-12 2010-03-18 Sekisui Specialty Chemicals America Llc Improved barrier layer
SG172288A1 (en) * 2008-12-20 2011-07-28 Cabot Microelectronics Corp Composition for improving dryness during wire sawing
JP5323042B2 (ja) * 2009-12-25 2013-10-23 三洋化成工業株式会社 シリコンインゴット用水性切削液
JP2011256376A (ja) * 2010-05-11 2011-12-22 Kyodo Yushi Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工油剤組成物
JP5588786B2 (ja) * 2010-08-24 2014-09-10 出光興産株式会社 シリコンウェハ加工液およびシリコンウェハ加工方法
JP2012121101A (ja) * 2010-12-08 2012-06-28 Japan Fine Steel Co Ltd 固定砥粒ワイヤ
JP5780423B2 (ja) * 2011-07-25 2015-09-16 日油株式会社 水性切削液および水性切削剤
US20130236386A1 (en) * 2012-02-01 2013-09-12 Hans-Peter Seelmann-Eggebert Cooling and/or lubricating fluids for wafer production

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0857848A (ja) 1994-08-25 1996-03-05 Shin Etsu Handotai Co Ltd 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法
JP2003082334A (ja) 2001-09-06 2003-03-19 Yushiro Chem Ind Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液組成物
WO2010113678A1 (ja) * 2009-03-31 2010-10-07 出光興産株式会社 脆性材料用加工液及び硬質材料用加工液
WO2011007590A1 (ja) * 2009-07-15 2011-01-20 ユシロ化学工業株式会社 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
JP2011021096A (ja) 2009-07-15 2011-02-03 Yushiro Chemical Industry Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
JP2011161613A (ja) * 2010-02-15 2011-08-25 Kanai Hiroaki 固定砥粒式ソーワイヤ
JP2011256377A (ja) * 2010-05-11 2011-12-22 Kyodo Yushi Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工油剤組成物
WO2012017947A1 (ja) * 2010-08-03 2012-02-09 ユシロ化学工業株式会社 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
JP2012126812A (ja) * 2010-12-15 2012-07-05 Kyodo Yushi Co Ltd 固定砥粒ワイヤソー用油剤組成物
WO2012115099A1 (ja) * 2011-02-23 2012-08-30 ユシロ化学工業株式会社 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
WO2012132448A1 (ja) * 2011-03-31 2012-10-04 三洋化成工業株式会社 シリコンインゴットスライス用含水切削液

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2868741A4

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015157922A (ja) * 2014-02-25 2015-09-03 出光興産株式会社 水系潤滑剤
CN104611115A (zh) * 2015-01-29 2015-05-13 安徽铖友汽车零部件制造有限公司 一种水性切削液
CN104611119A (zh) * 2015-01-29 2015-05-13 安徽铖友汽车零部件制造有限公司 一种抗腐蚀切削液
CN104611111A (zh) * 2015-01-29 2015-05-13 安徽铖友汽车零部件制造有限公司 一种环保切削液

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Publication number Publication date
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EP2868741A4 (en) 2016-03-23

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