WO2013039100A1 - Dispositif d'exposition de film - Google Patents

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敏成 新井
和重 橋本
敬行 佐藤
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Abstract

Un film d'alignement constitué d'un film de matériau d'alignement appliqué sur un substrat de film est fourni à un dispositif d'enroulement, qui est destiné à un film d'exposition d'alignement, après avoir été enroulé autour d'un cylindre arrière. Le film d'alignement est maintenu sur le cylindre arrière, ce qui permet de faire disparaître les plis éventuels, et un masque ainsi qu'un masque à fentes se trouvent dans la zone de déplacement du film d'alignement. Une lumière d'exposition, qui est une lumière polarisée circulairement dans le sens des aiguilles d'une montre et issue d'une source de lumière d'exposition, éclaire presque toute la surface du film d'alignement par l'intermédiaire d'une ouverture pratiquée dans le masque, et une lumière d'exposition, qui est une lumière polarisée circulairement dans le sens inverse des aiguilles d'une montre et issue de la source de lumière d'exposition, éclaire les bandes du film d'alignement par le biais d'une pluralité de fentes sur le masque à fentes. Ainsi, la précision de formation d'une unité d'exposition n'est pas réduite à cause de la vibration verticale du film d'alignement mince, l'apparition de plis est évitée, et il est possible d'obtenir un film polarisant formé avec une grande précision par l'unité d'exposition.
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