JP2013064872A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】露光対象のフィルムが幅方向に変形した場合においても、マスクを取り替えることなく露光できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光対象のフィルム１は、例えば供給リール４１、搬送ローラ４２，４３、リール４４等の搬送装置により１方向に移動される。光源５Ａ，５Ｂから出射された露光光は、夫々、アパーチャ３Ａ及びマスク２Ａ，２Ｂを透過して、フィルム１に照射される。マスク２には、フィルム１の移動方向に直交する方向に複数本のスリット２ｂが設けられ、その幅は、フィルム移動方向に沿って線形的に変化するように設けられている。アパーチャ３には、フィルム移動方向に直交する方向に延びる開口３ｂが設けられており、制御装置は、マスク２とアパーチャ３とのフィルム移動方向における相対的な位置を制御するので、フィルム１の露光すべき幅が変化しても、マスク２を取り替えることなく露光できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、露光対象のフィルムを１方向に搬送しながら、マスクに設けられた複数本のスリットを介して露光光をフィルムに照射して、フィルム上に帯状の露光領域を形成する露光装置に関し、特に、熱膨張及び冷却収縮等によりフィルム幅が変化した場合に、マスクを交換することなくフィルムを露光できる露光装置に関する。

近時、３Ｄ（Ｔｈｒｅｅ Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ）液晶ディスプレイ等の表示装置が、ますます注目を浴びるようになってきている。そして、この表示装置に使用される偏光フィルムの表面に配向膜を形成する際には、例えば１画素又は１絵素に対応するフィルム上の領域を例えばその幅方向に２分割し、分割領域ごとに配向方向が異なる配向膜を形成することが行われている。これにより、同一の画素又は絵素に対応する領域において、２種類のプレチルト角を有する表示光を偏光フィルムに透過させることができ、表示装置の視野角を広げたり、２種類の表示光を、夫々、例えば右目用及び左目用の表示光として使用することができる。

図６（ａ）は、このような３Ｄ液晶ディスプレイ等に使用される偏光フィルムを示す図である。図６（ａ）に示すように、偏光フィルムとなるフィルム１上の領域ａには、偏光方向が―４５°の直線偏光又は偏光方向がＣＷ（Ｃｌｏｃｋ Ｗｉｓｅ）の円偏光の表示光を透過させる配向膜が形成され、領域ｂには、偏光方向が＋４５°の直線偏光又は偏光方向がＣＣＷ（Ｃｏｕｎｔｅｒ Ｃｌｏｃｋ Ｗｉｓｅ）の円偏光の表示光を透過させる配向膜が形成されている。そして、このような偏光フィルムを３Ｄ液晶ディスプレイのガラス基板等に貼付することにより、領域ａ及び領域ｂを透過した表示光を、夫々、右目用及び左目用の表示光とすることができる。

このように、フィルム上の隣接する帯状の露光領域ごとに配向方向を異ならせるためには、例えば図６（ｂ）に示すような露光装置が使用されている。図６（ｂ）に示す従来の露光装置においては、フィルムを１方向に移動させる搬送装置（図示せず）が設けられており、フィルム移動方向に並ぶように２個のマスク２０，２１が設けられており、各マスク２０，２１に対応して設けられた光源により、偏光方向が異なる露光光が夫々照射される。図６（ｃ）に示すように、各マスク２０，２１は、遮光性の材料からなる基部２ａに、夫々、フィルム上に形成する露光領域の幅に対応させて複数本のスリット２ｂが設けられている。また、マスク２０，２１の側部には、例えば、フィルム１の側部に形成されたアライメントマーク１ａを検出するための開口１ｃが設けられており、開口１ｃを介してアライメントマーク１ａを検出し、例えばフィルム１が搬送に伴って蛇行した場合には、マスクの位置を補正できるように構成されている。また、アライメントマーク１ａを検出してマスクの位置を補正することにより、２個のマスク２０，２１相互間の相対的位置合わせを高精度で行うことができる。即ち、図６（ｂ）に示す露光装置においては、フィルム移動方向に直交する方向からみたときに、フィルム移動方向に並ぶ２個のマスク２０とマスク２１との間で、スリット２ｂが相互に隣接するように配置されている。よって、２個のマスク２０，２１の夫々に偏光方向が異なる露光光が照射されると、各マスクのスリット２ｂを透過した露光光が、フィルム１上に照射され、フィルム１の移動に伴って、隣接する露光領域間で配向方向が異なる配向膜が、フィルム移動方向に帯状に形成されていく。

液晶表示装置等に使用されるこのようなフィルム１は、温度変化等により変形しやすく、例えば露光時の温度変化に対して容易に変形してしまう。例えば、フィルム１は、露光時の加熱により、膨張しやすく、また、搬送時における冷却により、収縮しやすい。そして、特に、フィルム移動方向に直交する幅方向にフィルムが変形すると、形成される帯状の配向膜の幅が表示装置の画素又は絵素の幅に対応できず、相互間の幅のずれにより表示不良が発生してしまう。

このようなフィルムの変形により発生する表示装置の表示不良を防止する技術が提案されている。例えば、特許文献１には、表示装置のガラス基板に貼り付けるフィルムに、外光を拡散反射させる反射材を形成する表示装置の製造方法において、フィルムに水洗処理又は乾燥処理を施す場合に発生するフィルムの伸縮及び反射材の硬化に伴うフィルムの反りを防止する技術が開示されており、反射材をガラス基板上に設け、その上に接着層を介してフィルムを接着している。

また、特許文献２においては、フィルム基材上にカラーフィルタ用感光性樹脂組成物を塗布し、これを露光、現像及び熱硬化処理して画素を形成するカラーフィルタの製造方法において、フィルム基材としてノルボルネン系化合物付加重合体からなるものを使用し、熱硬化処理における酸素濃度を１００００ｐｐｍ以下とすることにより、フィルムの熱変形そのものを防止している。

特開２００２−１８９２１９号公報 特開２００９−１５７００６号公報

しかしながら、特許文献１の技術は、フィルムが変形する原因をガラス基板上に移動させたものであり、フィルム上に上述したような配向膜を形成する必要がある場合には使用できない。また、特許文献２は、フィルムの熱変形そのものを防止する技術であり、変形したフィルムに対応させて高精度の露光を行うものではない。

フィルム１が、熱変形等により、フィルム移動方向に直交する幅方向に変形した場合においては、変形後のフィルム幅に対応させて、マスクを取り替えることが考えられる。即ち、図７に示すように、フィルム１は、例えば露光時の加熱により、特に、フィルム移動方向に直交する方向に膨張し、搬送時の冷却により、膨張前の幅に収縮する。そこで、マスク２０，２１を、夫々、フィルム１の幅方向の膨張率を考慮したスリットが設けられたマスク２００，２１０に取り替えて露光することが考えられる。しかし、この場合においては、フィルム１の膨張率に合わせて、複数種類のマスクを用意する必要があり、偏光フィルムの製造コストが増大するという問題点がある。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、露光対象のフィルムが幅方向に変形した場合においても、マスクを取り替えることなく露光できる露光装置を提供することを目的とする。

本発明に係る露光装置は、露光対象のフィルムを第１方向に移動させる搬送装置と、露光光を出射する光源と、前記第１方向に傾斜する方向に延びるスリットが前記第１方向に直交する第２方向に複数本配列され、前記スリットを介して前記露光光を前記フィルムに照射するマスクと、前記マスクに重ね合わされ、前記第２方向に延びて全ての前記スリットと交差する開口が形成された遮光部材と、前記遮光部材と前記マスクとの前記第１方向における相対的な位置を制御する制御部と、を有し、
前記スリットは、その幅が前記第１方向に関して線形的に変化しており、前記スリット間の間隔は前記第２方向にみたときに前記スリットの幅と同一であり、
前記制御部は、前記フィルムの幅方向の伸びに応じて前記マスクと前記遮光部材との相対的な位置を制御することを特徴とする。

本発明に係る露光装置において、例えば前記光源、前記遮光部材及び前記マスクは、前記第１方向に沿って２組配置され、一方のマスクのスリットは、他方のマスクのスリットに対し、前記第２方向に前記スリットの配列ピッチだけ偏倚しているように配置されている。この場合に、例えば前記２個の光源による露光により、相互に偏光方向が異なる帯状の偏光部を第２方向に交互に形成する。

本発明においては、マスクには、フィルムの移動方向の第１方向に傾斜する方向に延びるスリットが第１方向に直交する第２方向に複数本配列されており、このスリットの幅は、第１方向に関して線形的に変化しており、スリット間の間隔は、第２方向にみたときにスリットの幅と同一である。そして、第２方向に延びて全てのスリットと交差する開口が形成された遮光部材がマスクに重ね合わされて設けられている。これにより、本発明においては、第２方向に延びる遮光部材の開口及びマスクのスリットを透過した露光光がフィルムに照射される。そして、制御部は、フィルムの幅方向の伸びに応じて、遮光部材とマスクとの第１方向における相対的な位置を制御することにより、フィルムに対する露光光の照射領域の幅を調節することができる。よって、露光対象のフィルムが幅方向に変形した場合においても、マスクを取り替えることなく露光できる。

（ａ）は本発明の実施形態に係る露光装置の全体の構成を示す側面図、（ｂ）はマスクを示す平面図、（ｃ）は同じくアパーチャを示す平面図である。 （ａ），（ｂ）は、露光すべき幅が異なるフィルムを露光する場合に、アパーチャ及びマスクの相対的位置関係をフィルムと共に示す図である。 本発明の実施形態に係る露光装置において、フィルムが熱変形した場合における露光態様を示す図である。 本発明の実施形態に係る露光装置において、マスクの変形例を示す平面図である。 （ａ），（ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る露光装置による露光工程を示す図である。 （ａ）は隣接する帯状の露光領域間で偏光方向が相互に異なる配向膜が形成されたフィルムを示す図、（ｂ）は従来の露光態様を一例として示す図、（ｃ）は従来の露光装置におけるマスクを示す平面図である。 従来の露光装置において、フィルムが熱変形した場合における露光態様を一例として示す図である。

以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１（ａ）は本発明の実施形態に係る露光装置の全体の構成を示す側面図、図１（ｂ）はマスクを示す平面図、図１（ｃ）は同じくアパーチャを示す平面図である。図１（ａ）に示すように、本実施形態に係る露光装置には、例えばロール状の供給リール４１から露光対象のフィルム１が連続的に供給され、巻き取り側のリール４４に巻き取られるまでの間に、例えば、配向膜材料の塗布、露光、乾燥処理等が施される。なお、図１（ａ）においては、フィルム１に対する露光工程のみを図示している。例えば供給リール４１及びリール４４は、モータ等の駆動装置により回転駆動されることにより、露光装置内にフィルム１が連続的に供給され、フィルム１の表面側又は裏面側に設けられた搬送ローラ４２，４３等により、フィルム１は緊張状態で支持されている。そして、露光装置内においては、フィルム１は、供給リール４１及びリール４４の回転駆動力により、１方向に移動される。本実施形態においては、２個の搬送ローラ４２，４３間におけるフィルム１の上方に、光源、マスク及びアパーチャが２組設けられている。そして、光源５Ａ，５Ｂから、夫々、偏光方向が異なる露光光を出射させ、アパーチャ３Ａ，３Ｂ及びマスク２Ａ，２Ｂを透過した露光光をフィルム１の表面に形成された配向材料膜に照射することにより、露光光ごとに偏光方向が異なる配向膜（本発明における偏光部）を帯状に形成する。即ち、例えば、光源５Ａから出射された露光光により、偏光方向が―４５°の直線偏光又は偏光方向がＣＷ（Ｃｌｏｃｋ Ｗｉｓｅ）の円偏光の表示光を透過させる配向膜ａを形成し、光源５Ｂから出射された露光光により、偏光方向が＋４５°の直線偏光又は偏光方向がＣＣＷ（Ｃｏｕｎｔｅｒ Ｃｌｏｃｋ Ｗｉｓｅ）の円偏光の表示光を透過させる配向膜ｂを形成する。

フィルム１の移動方向の上流側には、フィルム１が露光時の加熱又は搬送時の冷却等により熱変形していない位置において、フィルムの両側部に線状のフィルムアライメントマーク１ａを形成するアライメントマーカ６が設けられている。

マスク２の裏面側には、例えばフィルム１の側部に形成された１対のフィルムアライメントマーク１ａを検出するカメラ７（図１における符号７Ａ，７Ｂ）が設けられており、このカメラ７により検出されるフィルムアライメントマーク１ａの位置により、露光前におけるフィルム１の幅が例えば図示しない演算部により算出され、例えばフィルム１の熱変形前の幅と熱変形後の幅とにより、露光前におけるフィルムの膨張率が演算されるように構成されている。

図１（ｂ）に示すように、マスク２は、遮光性の材料からなる基部２ａに、フィルム１の移動方向に直交する方向に複数本のスリット２ｂが配列されたものであり、各スリット２ｂは、その幅が線形的に変化するように設けられており、スリット間の間隔はフィルム移動方向に直交する方向からみたときにスリットの幅と同一である。即ち、図１（ｂ）に示すマスクにおいて、各スリット２ｂの幅は、最上部が最も狭く、スリットの長手方向に沿って下方へ行くほど、広くなるように設けられている。そして、各スリット２ｂは、フィルム１の移動方向に傾斜して延びている。このスリット２ｂの傾斜は、フィルム移動方向に直交する方向に関して、マスク２の中央よりも側部側の方が大きく、例えばフィルム移動方向における各スリット２ｂの長さを３００ｍｍとしたときに、マスク２の最も側部側のスリットの縁部は、フィルム移動方向における端部間がフィルム移動方向に直交する方向に１００μｍ程度変位して設けられている。

アパーチャ３は、例えばＳＵＳ製の遮光性の板材であり、図１（ｃ）に示すように、その基部３ａの中央には、１方向に延びるように、幅が例えば２０乃至３０ｍｍの開口３ｂが設けられている。そして、この開口３ｂの長手方向がフィルム１の移動方向に直交するように光源５とマスク２との間に配置されている。よって、光源５から出射された露光光は、アパーチャ３によりその一部が遮光され、アパーチャ３の開口３ｂを透過した露光光のみがマスク２に照射される。よって、制御部により、フィルム移動方向におけるマスク２と遮光部材３との相対的位置が制御されることにより、マスク２に対する露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動し、マスク２のスリット２ｂを透過してフィルム１上に照射される露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動すると共に、露光光照射領域の幅が変化する。

前記マスク２は、図２に示すように、例えばアクチュエータ等（図示せず）により、アパーチャ３に対して、相対的にフィルム移動方向に移動可能に構成されており、アパーチャ３とマスク２とのフィルム移動方向における相対的位置は、図示しない制御部により制御されている。そして、制御部により、アパーチャ３とマスク２とのフィルム移動方向における相対的位置がフィルム１の幅方向の伸びに応じて制御されることにより、マスク２に対する露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動する。

上述の如く、本実施形態においては、マスク２に設けられた複数本のスリット２ｂは、フィルム１の移動方向に傾斜して延び、また、各スリット２ｂの幅は、フィルム１の移動方向に沿って線形的に変化するように設けられており、スリット間の間隔はフィルム移動方向に直交する方向からみたときにスリットの幅と同一である。よって、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、アパーチャ３に対してマスク２が相対的にフィルム移動方向に移動されると、これに伴って、アパーチャ３の開口３ｂを透過してマスク２に照射される露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動し、スリット２ｂに透過されてフィルム１上に照射される露光光の照射領域の幅が変化する。これにより、例えば露光時の高温等により、フィルム１が膨張した場合においても、変形後のフィルム１の幅に対応させて、フィルム１上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができる。本実施形態においては、制御部は、前記カメラ７が検出したフィルムアライメントマーク１ａの位置により演算部が演算したフィルムの膨張率に基づいて、マスク２をアパーチャ３に対して相対的にフィルム移動方向に移動させる。これにより、フィルム１がその幅方向に膨張した場合においても、フィルム１の幅方向の伸びに基づいて、フィルム上の露光領域の幅を調節することができる。

次に、上述の如く構成された本実施形態の露光装置の動作について説明する。露光対象のフィルム１は、例えばロール状の供給リール４１から連続的に供給され、巻き取り側のリール４４に巻き取られるまでの間に、例えば、配向膜材料の塗布、露光、乾燥処理等が施される。即ち、露光装置内に供給されるフィルム１の表面には、配向材料が膜状に塗布されている。

図３に示すように、本実施形態においては、先ず、アライメントマーカ６により、露光装置内に供給されたフィルム１の側部に、線状のフィルムアライメントマーク１ａを連続的又は断続的に形成する。このフィルムアライメントマーク１ａを形成する時点においては、フィルム１は熱変形していない。フィルムアライメントマーク１ａが形成されたフィルム１は、例えば供給リール４１及びリール４４等の回転駆動力により、露光装置内に連続的に供給され、露光装置内においては、搬送ローラ４２，４３等により支持されて、露光装置内を１方向に移動される。このとき、例えば、露光時の高温等により、フィルム１が膨張する。搬送ローラ４２，４３等によりフィルムが搬送されている間においては、特に、フィルム１はその移動方向に直交する幅方向に変形しやすく、加熱による膨張により、フィルム１の幅が大きくなる。

露光前に熱膨張したフィルム１は、搬送ローラ４２，４３等による搬送により、露光光の照射位置に搬送される。この膨張後のフィルム１において、カメラ７Ａにより、両側部に設けられたフィルムアライメントマーク１ａの位置を検出する。このカメラ７Ａによる検出結果は、例えば図示しない演算部に送信され、フィルム１の膨張率が算出される。そして、算出されたフィルム１の膨張率が図示しない制御部に送信される。そして、制御部は、フィルム１の膨張率に基づいて、フィルム移動方向におけるマスク２の位置をアパーチャ３に対してフィルム移動方向に相対的に移動させ、アパーチャ３の開口３ｂを、マスク２のスリット２ｂの幅広の領域に対応させる。

本実施形態においては、マスク２に設けられたスリット２ｂは、フィルム移動方向における長さが３００ｍｍであり、マスク２の最も側部側におけるスリット２ｂの縁部は、フィルム移動方向における端部間がフィルム移動方向に直交する方向に１００μｍ（マスク２の両側部で２００μｍ）程度変位するように設けられている。よって、例えば、フィルムの伸びに伴って、マスクアライメントマーク１ａ間の距離が２０μｍ増えた場合には、制御部は、マスク２の位置を、フィルム１が膨張していない状態に対応する位置からフィルム移動方向に３０ｍｍ移動するように制御し、フィルム１に対する露光光の照射領域の幅を広げる。即ち、光源５Ａ，５Ｂから出射された露光光は、アパーチャ３の開口３ｂを透過し、マスク２上に照射されるが、アパーチャ３に対するマスク２の相対的位置がフィルム移動方向に移動されることにより、アパーチャ３の開口３ｂを透過してマスク２に照射される露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動する。本発明においては、マスク２に設けられた複数本のスリット２ｂは、フィルム移動方向に傾斜して延び、また、各スリット２ｂの幅は、フィルム１の移動方向に沿って線形的に変化するように設けられている。よって、マスク２の移動に伴って、マスク２に対する露光光の照射位置がフィルム移動方向に移動すると、スリット２ｂに透過されてフィルム１上に照射される露光光照射領域の幅が変化する。このように、本実施形態においては、フィルム１が膨張してその幅方向に伸びた場合においても、変形後のフィルム１の幅に対応させて、フィルム１上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができる。よって、本実施形態においては、フィルム１がその移動方向に直交する幅方向に変形した場合においても、マスク２を取り替えることなく露光できる。

露光光の照射により、フィルム１上に塗布された配向材料は、照射光の偏光方向に応じて光配向し、配向膜が形成される。例えば、光源５Ａから出射された露光光により、偏光方向が―４５°の直線偏光又は偏光方向がＣＷ（Ｃｌｏｃｋ Ｗｉｓｅ）の円偏光の表示光を透過させる配向膜ａが形成される。一方、マスク２のスリット２ｂ間の領域には、露光光は透過されないため、配向膜ａ間には未露光の領域が残される。このマスク２のスリット２ｂ間の間隔は、スリット２ｂの幅と同一であるため、配向膜ａ間の未露光の領域は、配向膜ａと幅が等しい。本実施形態においては、フィルム移動方向の下流側に設けられた光源５Ｂ、マスク２Ｂ、及びアパーチャ３Ｂにより、この未露光の領域が露光される。

この場合においても、例えばカメラ７Ｂにより、フィルム１の両側部に設けられたフィルムアライメントマーク１ａの位置を検出する。そして、カメラ７Ｂによる検出結果は、例えば図示しない演算部に送信され、フィルム１の膨張率が算出され、算出されたフィルム１の膨張率は、図示しない制御部に送信される。そして、配向膜ａの形成工程と同様に、制御部は、フィルム１の膨張率に基づいて、フィルム移動方向におけるマスク２の位置をアパーチャ３に対して相対的に制御し、アパーチャ３の開口３ｂをスリット２ｂの所定の幅の領域に対応させる。よって、フィルム移動方向下流側においても、フィルム１の幅に対応させて、フィルム１上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができ、フィルム１がその移動方向に直交する幅方向に変形した場合においても、マスク２を取り替えることなく露光できる。

そして、光源５Ｂから出射された露光光の照射により、配向膜ａ間の未露光の領域に配向膜ａと隣接するように、偏光方向が＋４５°の直線偏光又は偏光方向がＣＣＷ（Ｃｏｕｎｔｅｒ Ｃｌｏｃｋ Ｗｉｓｅ）の円偏光の表示光を透過させる配向膜ｂが形成される。

フィルム１は、搬送に伴い、その移動方向に直交する方向に蛇行する場合がある。しかし、本実施形態のように、光源５、マスク２及びアパーチャ３が２組設けられ、偏光方向が異なる２種類の露光光を照射する形式の露光装置においては、配向材料を光配向させる２種類の露光光は、その照射位置の相対的な位置合わせが重要となる。例えば、露光光の照射位置がフィルム１の幅方向にずれてしまうと、未露光の領域が残ったり、重ね露光される領域が生じて、露光不良となる。しかし、本実施形態においては、フィルムアライメントマーク１ａは、フィルム１の両側部に形成されているので、例えばフィルム移動方向に直交する方向において、マスク２の中央位置と１対のフィルムアライメントマーク１ａの中央位置とが一致するように、例えば制御部により、フィルム移動方向に直交する方向におけるマスク２の位置を制御することにより、上記露光不良を防止できる。この場合において、フィルム移動方向に直交する方向におけるマスク２の位置を制御する第２の制御部が設けられていてもよい。これにより、例えばフィルム１が、移動に伴って蛇行した場合においても、配向膜ａ及び配向膜ｂを相互に隣接するように、交互に形成することができる。

露光光の照射により、配向膜ａ，配向膜ｂが形成されたフィルムは、搬送により、冷却され、やがて、膨張前の幅に収縮する。よって、幅広に形成された配向膜ａ，配向膜ｂは、フィルム１の収縮に伴い、所定の幅となり、図６に示すような偏光フィルムが製造される。

以上のように、本実施形態においては、フィルム１が加熱によりその幅方向に膨張した場合においても、マスク２に設けられたスリット形状、アパーチャ３の構成及び制御部による制御により、マスクを取り替えることなく露光できる。

なお、本実施形態においては、フィルム１が加熱により膨張した場合について述べたが、フィルム１が露光前に例えば冷却されて収縮している場合においても、制御部により、フィルム１の収縮率に対応させて、マスク２とアパーチャ３とのフィルム移動方向における相対的位置を制御することにより、マスクを取り替えることなく、偏光フィルムを精度よく製造することができる。

また、本実施形態においては、光源５、マスク２及びアパーチャ３がフィルムの移動方向に沿って２組配置され、光源５Ａ，５Ｂが夫々、偏光方向が異なる露光光を出射し、配向膜ａ及び配向膜ｂを一連の工程で形成する場合について説明したが、配向膜ａ及び配向膜ｂを形成する露光装置は、夫々、別の露光装置を使用してもよい。又は、フィルムに対する露光光の照射方向を偏光することにより、１台の露光装置により、偏光方向が異なる配向膜を形成することもできる。

更に、本実施形態においては、アパーチャ３が光源５とマスク２との間に配置されている場合について説明したが、本発明においては、フィルム１に対する露光光の照射領域をマスク２のスリット２ｂ及びアパーチャ３の開口３ｂにより規制できればよく、アパーチャ３は、例えばマスク２とフィルム１との間に配置されていてもよい。

更にまた、マスク２としては、図４に示すようなスリット２ｂを有するマスク２Ｃを使用することができる。このマスク２Ｃにおいても、複数本のスリット２ｂは、その幅がフィルム移動方向に関して線形的に変化しており、スリット間の間隔は、フィルム移動方向に直交する方向からみたときに、スリット２ｂの幅と同一である。図４に示すマスク２Ｃにおいては、マスク２Ｃの両端部に設けられたスリットのうち、一端部に設けられたスリット２ｂは、その側縁がフィルム１の移動方向と平行に設けられており、その他の複数本のスリット２ｂは、フィルム１の移動方向に傾斜して延び、スリット２ｂの傾斜は、フィルム移動方向に直交する方向に関して、一端部側から他端部側へと、徐々に大きくなるように設けられている。このようなマスク２Ｃを使用した場合においても、フィルム１の幅方向の伸びに応じて、例えばフィルム１の膨張率により、マスク２とアパーチャ３との相対的な位置を制御することにより、本発明の効果を得ることができる。

更にまた、本実施形態においては、フィルム１上には、露光光の照射により硬化量が変化する露光材料からなる配向材料膜が形成されていても、露光光の照射により配向方向が一意的に定まり、更に露光光を照射しても配向方向が変化しない露光材料からなる配向材料膜が形成されていてもよい。

次に、本発明の第２実施形態に係る露光装置について説明する。図５は、第２実施形態に係る露光装置による露光工程を示す図である。本実施形態においては、フィルム１には、露光光の照射により硬化量が変化する露光材料からなる配向材料膜が形成されている。また、第１実施形態におけるマスク２Ａに代えて、マスク２Ｄが設けられている。このマスク２Ｄには、スリット２ｂではなく、フィルム移動方向に幅が変化する開口２ｅが設けられている。そして、アパーチャ３の開口３ｂ及びマスク２Ｄの開口を介して、露光光をフィルム１の露光対象領域の全域に照射できるように構成されている。その他の構成は、第１実施形態と同様である。

本実施形態においては、フィルム１には、その表面上に、露光光の照射により硬化量が変化する露光材料からなる配向材料膜が形成されている。本実施形態においては、先ず、図５（ａ）に示すように、光源５Ａから出射された露光光により、フィルム１の表面に形成された配向材料膜の全域を所定の第１の硬化量となるまで露光する。そして、その後、図５（ｂ）に示すように、光源５Ｂから出射された露光光により、アパーチャ３Ｂの開口及びマスク２Ｂのスリットに対応させて配向材料膜に照射して第１の硬化量より大きい第２の硬化量となるまで露光する。これにより、第１実施形態と同様の配向膜を形成する。例えば配向膜が所定の偏光方向で形成され、露光光を更に照射しても偏光方向が変化しないときの硬化量を１００％とした場合に、光源５Ａから出射された露光光による露光により、配向材料膜を硬化量が５０％になるまで硬化させる。そして、その後、光源５Ｂから出射された露光光による露光により、配向材料膜をアパーチャ３Ｂの開口及びマスク２Ｂの所定幅のスリットに対応させて、硬化量が１００％になるまで硬化させる。このとき、光源５Ｂからの露光光が照射されない領域は、硬化量が５０％のままであるが、例えば露光後にポストベークを施す（材料塗布後の乾燥（プリベーク）温度よりも高い温度で熱硬化させる）ことにより、硬化量が１００％となるまで硬化させて配向方向を固定する。

本実施形態においても、露光による加熱により、フィルム１が膨張してその幅方向に伸びた場合においても、制御部により、フィルム移動方向におけるマスク２とアパーチャ３との相対的な位置を制御することにより、フィルム１上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができ、マスク２を取り替えることなく露光できる。

なお、第１実施形態の露光装置において、フィルム移動方向における下流側のマスク２Ｂに代えて、本第２実施形態のようなマスク２Ｄを配置し、上流側の光源５Ａから出射された露光光による露光により、配向材料膜をアパーチャ３Ｂの開口及びマスク２Ｂの所定幅のスリットに対応させて、硬化量が１００％となるまで硬化させ、下流側の光源５Ｂから出射された露光光による露光により、露光対象領域の全面を露光するように構成した場合においても、第１実施形態及び第２実施形態と同様の配向膜を形成することができる。この場合においても、制御部により、フィルム移動方向におけるマスク２とアパーチャ３との相対的な位置を相対的に制御することにより、フィルム１上に形成される帯状の露光領域の幅を調節することができ、マスク２を取り替えることなく露光できる。

１：フィルム、１ａ：フィルムアライメントマーク、２，２０，２１，２００，２１０，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ：マスク、２ａ：基部、２ｂ：スリット、２ｅ：開口、３，３Ａ，３Ｂ：アパーチャ、３ａ：基部、３ｂ：開口、４１：供給リール、４２，４３：搬送ロール、４４：（巻き取り側の）リール、５：光源、６：アライメントマーカ、７：カメラ

Claims (3)

1. 露光対象のフィルムを第１方向に移動させる搬送装置と、
   露光光を出射する光源と、
   前記第１方向に傾斜する方向に延びるスリットが前記第１方向に直交する第２方向に複数本配列され、前記スリットを介して前記露光光を前記フィルムに照射するマスクと、
   前記マスクに重ね合わされ、前記第２方向に延びて全ての前記スリットと交差する開口が形成された遮光部材と、
   前記遮光部材と前記マスクとの前記第１方向における相対的な位置を制御する制御部と、を有し、
   前記スリットは、その幅が前記第１方向に関して線形的に変化しており、前記スリット間の間隔は前記第２方向にみたときに前記スリットの幅と同一であり、
   前記制御部は、前記フィルムの幅方向の伸びに応じて前記マスクと前記遮光部材との相対的な位置を制御することを特徴とする露光装置。
2. 前記光源、前記遮光部材及び前記マスクは、前記第１方向に沿って２組配置され、一方のマスクのスリットは、他方のマスクのスリットに対し、前記第２方向に前記スリットの配列ピッチだけ偏倚しているように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記２個の光源による露光により、相互に偏光方向が異なる帯状の偏光部を第２方向に交互に形成することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。

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