WO2012132381A1 - 積層シート製造装置、積層シートの製造方法 - Google Patents

Abstract

積層シートの製造装置（３０）は、第１の樹脂層（３）および第２の樹脂層（４）と繊維基材（２）とを接合して積層シート（４０）を製造するものである。この装置は、一対の壁部（６１）を有するハウジング（６）と、一対の壁部（６１）間に架設された第１のローラ（７１ａ）、（７１ｂ）と、一対の壁部（６１）間に架設された第２のローラ（７２ａ）、（７２ｂ）と、一対の壁部（６１）間に架設された第３のローラ（７３ａ）、（７３ｂ）と、一対の壁部（６１）と第１のローラ（７１ａ）、（７１ｂ）と第２のローラ（７２ａ）、（７２ｂ）と第３のローラ（７３ａ）、（７３ｂ）とで囲まれた空間（７０）を減圧する減圧手段（８）とを備えている。

Description

積層シート製造装置、積層シートの製造方法

　本発明は、積層シート製造装置、積層シートの製造方法に関する。

　近年、電子部品・電子機器等を小型化・薄膜化すべく、これに用いられる回路基板等を小型化・薄膜化することが要求されている。この要求に答えるために、多層構造の回路基板を用い、その各層を薄くすることが行なわれている。

　多層構造の回路基板には、例えば、繊維基材の両面に、樹脂組成物シート（樹脂層）を配置してラミネート接着させたシートが使用されている（たとえば特許文献１参照）。
　このシートは、繊維基材の両面に、Ｂステージ樹脂組成物シートを重ね合わせ、この積層体を加圧することで、製造される。

特開２００３－３４０９５２号公報

　しかしながら、このような製造方法では、樹脂層の繊維基材に対する圧着が不十分となる可能性があり、その結果、繊維基材から樹脂層が剥離するおそれがあった。
　なお、このような課題は、繊維基材と樹脂層とを積層する場合のみならず、樹脂層同士を積層する場合、繊維基材を含むプリプレグ同士を積層する場合においても、生じている。

　本発明はこのような課題を鑑みて発案されたものである。
　すなわち、本発明によれば、樹脂層を有するシートを、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、外周面同士が互いに当接し合うとともに、前記基材を送出する一対の第１のローラと、外周面同士が互いに当接し合うとともに、前記第１のローラから送出された前記基材を送出する一対の第２のローラと、前記第１のローラの基材搬送方向下流側に配置されるとともに、前記第２のローラの基材搬送方向上流側に配置され、前記一対の第１のローラから送出された前記基材の表面側および裏面側にそれぞれ配置された第３のローラと、前記一対の第１のローラ、前記一対の第２のローラ、前記第３のローラとで囲まれた空間内を減圧する減圧手段を有し、
前記一対の第１のローラは、前記空間内に前記基材を送出するローラであり、前記基材の表面側または裏面側において、一方の前記第３のローラと一方の前記第２のローラとの間から、前記空間内にむけて前記シートが送出され、前記第２のローラは、前記基材と前記シートの前記樹脂層とを圧着するとともに、前記基材および前記シートを含む積層シートを前記空間の外部へ送り出すローラである積層シートの製造装置が提供される。

　ここで、ローラの外周面同士が当接し合うとは、ローラ同士が直接接触する場合に限らず、基材等を介して接触する場合も含む。
　この発明によれば、減圧手段により、一対の第１のローラ、前記一対の第２のローラ、前記第３のローラで囲まれた空間内を減圧することができる。
　前記空間内には、基材およびシートが供給されるが、減圧手段にて、前記空間内を減圧することで基材およびシートが圧着されることとなる。圧着された基材およびシートが第２のローラ間でさらに圧着されることとなるので、基材、シートが強く圧着されて、基材、シート間で剥離が生じにくくなる。

　さらに、本発明によれば、上述した製造装置を使用した積層シートの製造方法も提供できる。

　本発明によれば、積層シートを構成する基材と樹脂層との接合を確実に行なうことができる積層シートの製造装置および積層シートの製造方法が提供される。

本発明の積層シート製造装置の第１実施形態を示す概略断面側面図である。 図１中のＡ－Ａ線断面図である。 図１中のＢ－Ｂ線断面図である。 図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｃ］の拡大図である。 図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｃ］の積層シートのＤ－Ｄ線断面図である。 本発明の積層シート製造装置の第２実施形態を示す概略側面図である。 本発明の積層シート製造装置の第３実施形態を示す概略側面図である。 本発明の積層シート製造装置の第４実施形態を示す概略断面側面図である。 本発明の積層シート製造装置の第５実施形態を示す概略断面側面図である。 本発明の積層シートを示す断面図である。 図１０に示す積層シートを用いて製造された基板を示す断面図である。 図１１に示す基板を用いて製造された半導体装置を示す断面図である。

　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同一符号を付し、その詳細な説明は重複しないように適宜省略される。

<第１実施形態>
　図１は、本発明の積層シート製造装置の第１実施形態を示す概略断面側面図、図２は図１中のＡ－Ａ線断面図、図３は、図１中のＢ－Ｂ線断面図、図４は、図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｃ］の拡大図、図５は、図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｃ］の積層シートのＤ－Ｄ線断面図である。図１０は、本発明の積層シートを示す断面図、図１１は、図１０に示す積層シートを用いて製造された基板を示す断面図、図１２は、図１１に示す基板を用いて製造された半導体装置を示す断面図である。なお、以下の説明では、図中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」として説明する。また、図１０～図１２は、厚さ方向（図中の上下方向）に大きく誇張して示してある。

　図１に示す積層シート製造装置３０は、図１０に示す構成の積層シート４０を製造する装置である。

<積層シート>
　まず、積層シート４０について、図１０を参照しつつ説明する。なお、積層シート４０をその長手方向の途中で所定の寸法に切断すると、プリプレグ１が得られる。

　図１０に示す積層シート４０は、その全体形状が帯状（長尺状）をなし、薄板状（平板状）の繊維基材（基材）２と、繊維基材２の一方の面（上面）側に位置し、固形または半固形の第１の樹脂組成物で構成される第１の樹脂層（樹脂層）３と、繊維基材２の他方の面（下面）側に位置し、固形または半固形の第２の樹脂組成物で構成される第２の樹脂層（樹脂層）４とを有する。各樹脂層３，４は、Ｂ－ステージ状態である。この積層シート４０は、所定の寸法に切断されて使用される。

　繊維基材２は、積層シート４０の機械的強度を向上する機能を有する。
　この繊維基材２としては、例えば、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維や全芳香族ポリアミド樹脂繊維等を含むアラミド繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリイミド樹脂繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙繊維基材等の有機繊維基材等の繊維基材等が挙げられる。
　なお、繊維基材は、上述した繊維のいずれか１種を使用してもよいし、２種以上を使用したものであってもよい。

　これらの中でも、繊維基材２は、ガラス繊維基材であるのが好ましい。かかるガラス繊維基材を用いることにより、積層シート４０を切断して得られたプリプレグ１の機械的強度をより向上することができる。また、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすることもできるという効果もある。

　このようなガラス繊維基材を構成するガラスとしては、例えば、Ｅガラス、Ｃガラス、Ａガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、ＮＥガラス、Ｔガラス、Ｈガラス、石英ガラス等が挙げられる。これらの中でも、ガラスは、Ｓガラス、石英ガラスまたは、Ｔガラスであるのが好ましい。これにより、ガラス繊維基材の熱膨張係数を比較的小さくすることができ、このため、積層シート４０をその熱膨張係数ができる限り小さいものとすることができる。

　繊維基材２の平均厚さＴは、特に限定されないが、１５０μｍ以下であるのが好ましく、１００μｍ以下であるのがより好ましく、１０～５０μｍ程度であるのがさらに好ましい。かかる厚さの繊維基材２を用いることにより、プリプレグ１（積層シート４０）の機械的強度を確保しつつ、その薄型化を図ることができる。さらには、プリプレグ１の加工性を向上することもできる。

　この繊維基材２の一方の面側には、第１の樹脂層３が設けられ、また、他方の面側には、第２の樹脂層４が設けられている。また、第１の樹脂層３は、第１の樹脂組成物で構成され、一方、第２の樹脂層４は、第２の樹脂組成物で構成されている。第１の樹脂組成物と第２樹脂組成物とは同じ組成物であってもよく、異なるものであってもよい。本実施形態では同じ組成物とする。

　図１０に示すように、本実施形態では、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物（第１の樹脂層３）が含浸され（以下この部分を「第１の含浸部３１」と言う）、繊維基材２の第１の樹脂組成物が含浸されていない残り部分に、第２の樹脂組成物（第２の樹脂層４）が含浸されている（以下この部分を「第２の含浸部４１」と言う）。これにより、第１の樹脂層３の一部である第１の含浸部３１と第２の樹脂層４の一部である第２の含浸部４１とが繊維基材２内に位置する。そして、繊維基材２内において、第１の含浸部３１（第１の樹脂層３の下面）と第２の含浸部４１（第２の樹脂層４の上面）とが接触している。換言すれば、第１の樹脂組成物が、繊維基材２の上面側から、繊維基材２に含浸され、第２の樹脂組成物が、繊維基材２の下面側から、繊維基材２に含浸され、これらの樹脂組成物で繊維基材２内の空隙が充填されている。
　本実施形態では、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは等しい。
　さらに、第１の樹脂層３の第１の含浸部３１を除く部分（第１の非含浸部３２）の厚みと、第２の樹脂層４の第２の含浸部４１を除く部分（第２の非含浸部４２）の厚みとは等しい。第１の非含浸部３２の厚み、第２の非含浸部４２の厚みは、たとえば、２～２０μｍである。なお、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは異なっていてもよく、また、第１の非含浸部３２の厚みと、第２の非含浸部４２の厚みとが異なっていてもよい。なお、符号２０は、含浸部３１，４１間の境界を模式的に示す。

　図１に示すように、第１の樹脂層３は、薄板状の第１の支持体（シート）５ａとして、積層シート製造装置３０に供給される。このシート５ａは、第１の樹脂層３と、この樹脂層３を支持する図示しない支持基材と、第１の樹脂層３を保護する保護シート５１とを備える。支持基材は、第１の樹脂層３を挟んで保護シート５１とは反対側に設けられている。したがって、図１では、図示しないが第２のローラ７２ａには、支持基材を介して第１の樹脂層３が接触している。
　同様に、第２の樹脂層４は、薄板状の第２の支持体（シート）５ｂとして、積層シート製造装置３０に供給される。このシート５ｂは、第２の樹脂層４と、この樹脂層４を支持する図示しない支持基材と、第２の樹脂層４を保護する保護シート５１とを備える。支持基材は、第２の樹脂層４を挟んで保護シート５１とは反対側に設けられている。したがって、図１では、図示しないが第２のローラ７２ｂには、支持基材を介して第２の樹脂層４が接触している。

　保護シート５１としては、例えば、樹脂フィルムが好ましい。樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、例えば、フッ素系樹脂、ポリイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレン等が挙げられる。そして、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、これらの中でも、耐熱性に優れ、安価であることから、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンが好ましい。また、樹脂フィルムは、その樹脂フィルムの樹脂層側の面に剥離可能な処理が施されたものであることが好ましい。これにより、後述するように保護シート５１と樹脂層とを容易に分離することができる。
　支持基材としては、保護シート５１と同様のものを使用することができる。

　保護シート５１や支持基材の平均厚さは、特に限定されないが、８～７０μｍ程度であるのが好ましく、１２～４０μｍ程度であるのがより好ましい。

　第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物は、次のような組成とするのが好ましい。

　各樹脂組成物は、例えば、硬化性樹脂を含み、必要に応じて、硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）および無機充填材のうちの少なくとも１種を含んで構成される。

　硬化性樹脂としては、例えば、ユリア（尿素）樹脂、メラミン樹脂、マレイミド化合物、ポリウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、ビスアリルナジイミド化合物、ビニルベンジル樹脂、ビニルベンジルエーテル樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、シアネート樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、嫌気硬化性樹脂などが挙げられる。これらの中でも、硬化性樹脂は、ガラス転移温度が２００℃以上になる組合せが好ましい。例えば、スピロ環含有、複素環式、トリメチローラ型、ビフェニル型、ナフタレン型、アントラセン型、ノボラック型の２または３官能以上のエポキシ樹脂、シアネート樹脂（シアネート樹脂のプレポリマーを含む）、マレイミド化合物、ベンゾシクロブテン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂を用いるのが好ましい。

　前記硬化性樹脂の中でも、熱硬化性樹脂を用いることにより、さらに、後述する基板１０（図１1参照）を作製した後において、硬化後の樹脂層３、４中において架橋密度が増加するので、硬化後の樹脂層３、４（得られる基板）の耐熱性の向上を図ることができる。

　前記熱硬化性樹脂と充填材を併用することにより、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすること（以下、「低熱膨張化」と言うこともある）ができる。さらに、プリプレグ１の電気特性（低誘電率、低誘電正接）等の向上を図ることもできる。前記エポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。

　これらの中でも、エポキシ樹脂は、ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂を用いることにより、硬化後の樹脂層３、４（得られる基板）において、吸湿半田耐熱性（吸湿後の半田耐熱性）および難燃性を向上させることができる。ナフタレン型エポキシとしては、ＤＩＣ（株）製のＨＰ－４７００、ＨＰ－４７７０、ＨＰ－４０３２Ｄ、ＨＰ－５０００、ＨＰ-６０００、日本化薬（株）製のＮＣ－７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ－３７５等が挙げられ、アリールアルキレン型エポキシ樹脂としては、日本化薬（株）製のＮＣ－３０００ＮＣ－３０００Ｌ、ＮＣ－３０００－ＦＨ、日本化薬（株）製のＮＣ－７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ－３７５等が挙げられる。アリールアルキレン型エポキシ樹脂とは、繰り返し単位中に芳香族基とメチレン等のアルキレン基の組合せを一つ以上含むエポキシ樹脂のことをいい、耐熱性、難燃性、および機械的強度が優れる。また、ハロゲンフリーの配線板に対応する上では、実質的にハロゲンを含まないエポキシ樹脂を用いることが好ましい。

　前記シアネート樹脂は、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類やナフトール類とを反応させ、必要に応じて加熱等の方法でプレポリマー化することにより得ることができる。また、このようにして調製された市販品を用いることもできる。

　前記シアネート樹脂は、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂、及びナフトールアラルキル型シアネート樹脂等を挙げることができる。

　また、前記シアネート樹脂は、分子内に２個以上のシアネート基（－Ｏ－ＣＮ）を有することが好ましい。例えば、２，２'－ビス（４－シアナトフェニル）イソプロピリデン、１，１'－ビス（４－シアナトフェニル）エタン、ビス（４－シアナト－３，５－ジメチルフェニル）メタン、１，３－ビス（４－シアナトフェニル－１－（１－メチルエチリデン））ベンゼン、ビス（４－シアナトフェニル）チオエーテル、ビス（４－シアナトフェニル）エーテル、１，１，１－トリス（４－シアナトフェニル）エタン、トリス（４－シアナトフェニル）ホスファイト、ビス（４－シアナトフェニル）スルホン、２，２－ビス（４－シアナトフェニル）プロパン、１，３－、１，４－、１，６－、１，８－、２，６－又は２，７－ジシアナトナフタレン、１，３，６－トリシアナトナフタレン、４，４－ジシアナトビフェニル、及びフェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ジシクロペンタジエン型等の多価フェノール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂、ナフトールアラルキル型の多価ナフトール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂等が挙げられる。これらの中で、フェノールノボラック型シアネート樹脂が難燃性、及び低熱膨張性に優れ、２，２－ビス（４－シアナトフェニル）イソプロピリデン、及びジシクロペンタジエン型シアネート樹脂が架橋密度の制御、及び耐湿信頼性に優れている。特に、フェノールノボラック型シアネート樹脂が低熱膨張性の点から好ましい。また、更に他のシアネート樹脂を１種類あるいは２種類以上併用したりすることもでき、特に限定されない。

　前記シアネート樹脂は、単独で用いてもよいし、重量平均分子量の異なるシアネート樹脂を併用したり、前記シアネート樹脂とそのプレポリマーとを併用したりすることもできる。

　これらシアネート樹脂を用いることにより、効果的に耐熱性、及び難燃性を発現させることができる。

　また、前記硬化性樹脂は、２種以上を併用して用いることもできる。例えば、硬化性樹脂として前記エポキシ樹脂を用いる場合、より難燃性を向上させる上で、前記シアネート樹脂を併用することができ、また、より耐熱性を向上させる上で、前記マレイミド化合物を併用することができる。さらに、硬化性樹脂として、前記シアネート樹脂を用いる場合は、より耐熱性や難燃性などを向上させる上で、前記エポキシ樹脂を併用することができる。

　硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物全体の５～７０質量％であるのが好ましく、１０～５０質量％であるのがより好ましい。硬化性樹脂の含有量が前記下限値未満であると、硬化性樹脂の種類等によっては、樹脂組成物のワニスの粘度が低くなりすぎ、プリプレグ１を形成するのが困難となる場合がある。一方、硬化性樹脂の含有量が前記上限値を超えると、他の成分の量が少なくなり過ぎるため、硬化性樹脂の種類等によっては、プリプレグ１の機械的強度が低下する場合がある。

　また、樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。これにより、プリプレグ１を薄型化（例えば、厚さ３５μｍ以下）しても、機械的強度に優れる基板１０を得ることができる。さらに、基板１０の低熱膨張化を向上することもできる。

　無機充填材としては、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、溶融シリカのようなシリカ、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等を挙げることができる。また、無機充填材の使用目的に応じて、破砕状、球状のものが適宜選択される。これらの中でも、低熱膨張性に優れる観点からは、無機充填材は、シリカであるのが好ましく、溶融シリカ（特に球状溶融シリカ）であるのがより好ましい。

　また、樹脂組成物は、以上に説明した成分のほか、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を配合することができる。他の成分としては、例えば、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、カップリング剤等の密着性付与剤、難燃剤、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック、アントラキノン類等の着色剤等を挙げることができる。

<積層シート製造装置（積層シートの製造方法）>
　次に、積層シート４０の製造に用いる積層シート製造装置３０、すなわち、本発明の積層シートの製造方法の実施形態において用いる積層シート製造装置３０について、図１～図５を参照しつつ説明する。
　はじめに、積層シート製造装置３０の概要について説明する。
　積層シート製造装置３０は、対向配置された一対の第１のローラ７１ａ、７１ｂと、一対の第１のローラ７１ａ、７１ｂから送出された基材２を送出する、対向配置された一対の第２のローラ７２ａ、７２ｂと、第１のローラ７１ａ、７１ｂのシート搬送方向下流側に配置されるとともに、第２のローラ７２ａ、７２ｂのシート搬送方向上流側に配置され、前記一対の第１のローラ７１ａ、７１ｂから送出された基材２を挟んで配置された２つの第３のローラ７３ａ、７３ｂとを備える。
　前記各ローラ７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂは回転軸が互いに平行となるように配置されている。
　また、積層シート製造装置３０は、一対の第１のローラ７１ａ、７１ｂ、前記一対の第２のローラ７２ａ、７２ｂ、前記２つの第３のローラ７３ａ、７３ｂとで囲まれた空間７０内を減圧する減圧手段８を有する。
　前記一対の第１のローラ７１ａ、７１ｂは、前記空間７０内に基材２を送出するローラである。基材２の一方の面側（たとえば、表面側）に配置された一方の第３のローラ７３ａと一方の第２のローラ７２ａとの間から空間７０内にむけてシートである支持体５ａが送出される。そして、第２のローラ７２ａ、７２ｂは、基材２および支持体５ａの樹脂層３を圧着するとともに、基材２および支持体５ａを含む積層シート４０を前記空間７０の外部へ送り出すローラである。
　ここで、積層シート製造装置３０においては、繊維基材２、支持体５ａ，５ｂは長尺状であり、その長手方向に沿って連続的に搬送される。

　次に、積層シート製造装置３０について詳細に説明する。
　図１に示すように、積層シート製造装置３０は、ハウジング６と、ハウジング６内に収納された第１のローラ７１ａ、７１ｂ、第２のローラ７２ａ、７２ｂおよび第３のローラ７３ａ、７３ｂと、ハウジング６内を減圧する減圧手段８とを備えている。以下、各部の構成について説明する。

　図２に示すように、ハウジング６は、間隔をおいて互いに対向配置された一対の壁部６１を有する、例えば箱状をなすものである。壁部６１の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム等の各種金属、またはこれらを含む合金が挙げられる。また、このような金属材料の他に、例えば、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン等のような樹脂材料も壁部６１の構成材料として用いることができる。
　ここで、壁部６１は、平板状のものであることが好ましいが、これに限られるものではない。第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで、シート搬送方向に沿った両端面が開口した筒状体が構成される。壁部６１は、この筒状体の前記開口を閉鎖するものであればよい。なお、一対の壁部６１は、各ローラ７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂが架け渡されるものであることが特に好ましい。

　ハウジング６の２つの壁部６１間には、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとがそれぞれ架設されている。これらのローラは、回転軸が互いに平行となっている。そして、これらのローラは、例えば、多数の歯車が配置された歯車機構（図示せず）を介してモータ（図示せず）と連結されている。そして、このモータが作動すると、その動力が歯車機構を介して伝達され、各ローラがそれぞれ回転することとなる。言うまでもないが、各ローラの駆動は歯車機構に限定されず、必要に応じ、各ローラに対して個別にモータを接続して駆動させてもよい。

　なお、これらのローラは、太さが異なること以外は同一の構成である。以下、第１のローラ７１ａの構成について代表的に説明するが、他のローラも同様の構造である。

　図２に示すように、第１のローラ７１ａは、外形形状が円柱状をなし、その長手方向の中間部に位置する本体部７４と、本体部７４の両端側にそれぞれ位置する軸７５とで構成されている。各軸７５は、それぞれ、その外径が本体部７４の外径よりも縮径している。

　この第１のローラ７１ａは、各軸７５がそれぞれ壁部６１に設置された軸受け（ベアリング）７６に挿入されており、当該軸受け７６により回転可能に壁部６１に支持されている。

　なお、第１のローラ７１ａは、図１、図２に示す構成では中実体のものであるが、これに限定されず、例えば、中空体のものであってもよい。中空体を用いる場合は、必要に応じて各ローラに熱媒を循環させてローラを加熱することができるためさらに好ましい。この場合の熱媒は、特に限定されないが例えば水、油等が挙げられる。

　また、第１のローラ７１ａの構成材料としては、特に限定されず、例えば、壁部６１の構成材料で挙げた材料を用いることができる。第１のローラ７１ａの本体部７４の外周面７４１には、外周面７４１が摩耗するのを防止する処理が施されていてもよい。この処理としては、例えば、外周面７４１にＤＬＣ（Diamond Like Carbon）の被膜を形成する方法が挙げられる。また、第１のローラ７１ａの構成材料としては、壁部６１の構成材料で挙げた材料の他に、例えば、ニトリルゴム、ブチルゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料も用いることができる。

　第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとは、水平方向に互いに平行に配置され、本体部７４の外周面７４１同士が、繊維基材２を介して、互いに当接し（圧接し）合っている（図１、２参照）。そして、第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとが回転すると、これらの間で長尺状の繊維基材２を、その長手方向に沿って、図１中の左側から右側へ搬送することができる。これにより、シート状の繊維基材２が後述する空間７０内部に搬送されることとなる。

　第２のローラ７２ａおよび第２のローラ７２ｂは、第１のローラ７１ａ、７１ｂと異なる位置、すなわち、第１のローラ７１ａ、７１ｂに対し繊維基材２の搬送方向前方（下流側）に配置されている。また、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとは、水平方向に互いに平行に配置され、本体部７４の外周面７４１同士が、繊維基材２、第１の樹脂層３、樹脂層３に設けられた前述した支持基材（図示略）、第２の樹脂層４、樹脂層４に設けられた前述した支持基材（図示略）を介して、互いに当接し（圧接し）合っている。そして、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとが回転すると、これらの間で繊維基材２に第１の樹脂層３と第２の樹脂層４とをそれぞれ圧着する（接合する）ことができる（図１参照）。
　第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとで、繊維基材２、樹脂層３、４、支持基材（図示略）の積層体が厚さ方向に加圧されることとなるが、このとき、樹脂層３,４は、繊維基材２に含浸する。また、前述したように、第２のローラ７２ａ、７２ｂに熱媒を循環させることにより加熱圧着させることが可能となる。これにより、繊維基材２に対して第１の樹脂層３と第２の樹脂層４の密着性が向上する。
　また、第２のローラ７２ａ、７２ｂを加熱ローラとすることで、繊維基材２に対して第１の樹脂層３と第２の樹脂層４とを含浸させやすくすることができる。
　第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、積層シート４０は後述する空間７０外部に送り出される。ここで、第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、積層シート４０は大気圧以上の雰囲気下に送り出されることが好ましい。本実施形態では、第２のローラ７２ａ、７２ｂのシート搬送方向下流側は大気圧であり、第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、積層シート４０は大気圧下に搬送されることとなる。

　第３のローラ７３ａ、７３ｂは、繊維基材２を挟んで配置されている。第３のローラ７３ａは、繊維基材２の一方の面側（表面側）に配置された第１のローラ７１ａのシート搬送方向下流側に配置されている。また、第３のローラ７３ａは、繊維基材２の一方の面側（表面側）に配置された第２のローラ７２ａのシート搬送方向上流側に配置されている。
　第３のローラ７３ｂは、繊維基材２の他方の面側（裏面側）に配置された第１のローラ７１ｂのシート搬送方向下流側に配置されている。また、第３のローラ７３ｂは、繊維基材２の他方の面側（裏面側）に配置された第２のローラ７２ｂのシート搬送方向上流側に配置されている。
　第３のローラ７３ａと第３のローラ７３ｂとは、互いに上下方向（鉛直方向）に離間し、平行に対向配置されている。そして、第３のローラ７３ａが回転すると、第１の支持体５ａの第１の樹脂層３から保護シート５１を剥離する（巻き取る）ことができる（図１参照）。これと同様に、第３のローラ７３ｂが回転すると、第２の支持体５ｂの第２の樹脂層４から保護シート５１を剥離することができる（図１参照）。

　さらに、第３のローラ７３ａは、その本体部７４の外周面７４１が、第１のローラ７１ａの本体部７４の外周面７４１と、第２のローラ７２ａの本体部７４の外周面７４１とにそれぞれ当接している。一方、第３のローラ７３ｂは、その本体部７４の外周面７４１が、第１のローラ７１ｂの本体部７４の外周面７４１と、第２のローラ７２ｂの本体部７４の外周面７４１とにそれぞれ当接している。このような配置により、積層シート製造装置３０では、ハウジング６の各壁部６１と、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで囲まれた空間７０が形成される。空間７０は、減圧手段８の作動により減圧される（図３参照）。

　図２に示すように、第１のローラ７１ａおよび７１ｂ（第２のローラ７２ａおよび７２ｂ、第３のローラ７３ａおよび７３ｂについても同様）のそれぞれの本体部７４の両端と、各壁部６１との間には、シール材６２が介在している。各シール材６２は、それぞれ、リング状の弾性体で構成され、壁部６１に形成されたリング状の凹部６１２に圧縮状態で挿入されている。これにより、空間７０の気密性が確実に維持され、よって、減圧手段８で空間７０を減圧した際、その減圧が迅速かつ確実に行なわれる。

　シール材６２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン－ブタジエンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン－プロピレンゴム、ヒドリンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料（特に加硫処理したもの）や、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。

　図１に示すように、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとは、互いに本体部７４の外径（大きさ）が異なっている。本実施形態では、その大小関係は、（第３のローラ）<（第１のローラ）<（第２のローラ）となっている。また、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとの各ローラの大きさは任意であるが、例えばローラに可撓性を有するシート材を沿わせたときに当該シート材に皺が生じない程度に、できる限り小さいのが好ましい。具体的には、直径が７５～３００ｍｍであるのが好ましく、１００～２００ｍｍであるのがより好ましい。

　また、第１のローラ７１ａと第２のローラ７２ａと第３のローラ７３ａとの中心同士を結んで形成された三角形を想定したとき、当該三角形の第３のローラ７３ａの中心を頂点とする角度は、６０°を超え、１８０°未満であるのが好ましい。第１のローラ７１ｂと第２のローラ７２ｂと第３のローラ７３ｂとの中心同士を結んで形成された三角形についても同様である。

　図３に示すように、減圧手段８は、ポンプ８１と、ポンプ８１と各壁部６１にそれぞれ形成された開口部６１１とを接続する接続管８２とを有している。ポンプ８１は、ハウジング６の外側に設置され、例えば真空ポンプが適用される。
　減圧手段８は、ローラで囲まれた空間７０内部を、空間７０外部の領域よりも低い気圧とする。減圧手段８を駆動することで、第１のローラ７１ａ、７１ｂよりもシート搬送方向上流側の領域、および、第２のローラ７２ａ、７２ｂのシート搬送方向下流側の領域よりも空間７０の気圧は低くなり、負圧となる。減圧手段８は、ローラ７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂで囲まれた空間７０内部の気圧を低くするものである。第１のローラ７１ａ、７１ｂを境界とし、この第１のローラ７１ａ、７１ｂよりもシート搬送方向上流側の領域は、大気圧以上（本実施形態では、大気圧下）である。
　同様に、第２のローラ７２ａ、７２ｂを境界とし、第２のローラ７２ａ、７２ｂよりも、シート搬送方向下流側の領域は、大気圧以上（本実施形態では、大気圧下）である。

　各接続管８２は、それぞれ、例えばステンレス鋼等のような金属材料で構成された硬質管である。

　各開口部６１１は、それぞれ、空間７０に向かって開口し、空間７０に連通している。なお、図３に示す構成では双方の壁部６１にそれぞれ開口部６１１が形成されているが、これに限定されず、例えば、一方の壁部６１にのみ開口部６１１が形成されていてもよい。

　そして、ポンプ８１を作動させることにより、各開口部６１１から空間７０内の気体（空気Ｇ）を吸引することができ、よって、空間７０を減圧することができる。また、これにより、隣接するローラ同士が互いに近づこうとする力が生じてさらに圧接し合い、よって、空間７０の気密性がより確実に維持される。

　次に、積層シート製造装置３０による積層シート４０の製造方法について説明する。

　はじめに、第１のローラ７１ａ、７１ｂと、第２のローラ７２ａ、７２ｂと、第３のローラ７３ａ、７３ｂとを回転させる前に、減圧手段８を作動させ、空間７０内の気体を吸引して、空間７０内を減圧しておく。
　空間７０内の気圧は、負圧となり、たとえば、８００Ｐａ以下、１００Ｐａ以上である。

　次に、図１に示すように、第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとが回転すると、これらのローラ間から繊維基材２が空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。
　繊維基材２はたとえば、図示しない供給ローラに巻回されており、供給ローラから、第１のローラ７１ａおよび第１のローラ７１ｂを介して、空間７０内に供給される。

　また、第２のローラ７２ａと第３のローラ７３ａとが回転すると、これらのローラ間から第１の支持体５ａが空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。この第１の支持体５ａは、保護シート５１が第３のローラ７３ａの外周面に沿って巻き取られ（引っ張られ）、これにより、第１の樹脂層３から保護シート５１が剥離される。保護シート５１が剥離した支持基材付きの第１の樹脂層３は、第２のローラ７２ａに沿って徐々に繊維基材２に接近していく。また、剥離された保護シート５１は、第１のローラ７１ａと第３のローラ７３ａとにより、第２のローラ７２ａ、７２ｂとは異なる方向に送出される。具体的には、第１のローラ７１ａと第３のローラ７３ａとの間から外側（空間７０外）に向かって送り出される。
　また、第１の樹脂層３は、Ｂステージの状態であり、固形、半固形、あるいは液体の状態である。

　また、第２のローラ７２ｂと第３のローラ７３ｂとが回転すると、これらのローラ間から第２の支持体５ｂが空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。この第２の支持体５ｂは、保護シート５１が第３のローラ７３ｂに巻き取られ、これにより、第２の樹脂層４から保護シート５１が剥離される。保護シート５１が剥離した支持基材付きの第２の樹脂層４は、第２のローラ７２ｂに沿って徐々に繊維基材２に接近していく。また、剥離された保護シート５１は、第１のローラ７１ｂと第３のローラ７３ｂとにより、第２のローラ７２ａ、７２ｂとは異なる方向に送出される。具体的には、第１のローラ７１ｂと第３のローラ７３ｂとの間から外側に向かって送り出される。
　また、第２の樹脂層４は、Ｂステージの状態であり、固形、半固形、あるいは液体の状態である。

　このように第１の樹脂層３および第２の樹脂層４がそれぞれ繊維基材２と圧着される直前に空間７０内で保護シート５１が剥離することができることにより、当該保護シート５１が各樹脂層の圧着の邪魔になるのを防止することができるとともに、圧着直前まで保護シート５１で各樹脂層を保護することができる。

　そして、繊維基材２と支持基材付きの第１の樹脂層３と支持基材付きの第２の樹脂層４とは、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間を一括して通過することとなる。
　このとき、第１の樹脂層３に設けられた支持基材が、第２のローラ７２ａに接触し、第２の樹脂層４に設けられた支持基材が、第２のローラ７２ｂに接触する。第１の樹脂層３および第２の樹脂層４は繊維基材２に直接接触する。
　そして、図４に示すように、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間の圧接力（当接力）Ｆ１により、第１の樹脂層３が上側から繊維基材２と圧着されるとともに、第２の樹脂層４が下側から繊維基材２と圧着される。
　繊維基材２と支持基材付きの第１の樹脂層３と支持基材付きの第２の樹脂層４とで構成された積層シート４０は、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間から連続的に排出される。
　なお、ここで、繊維基材２等が連続的に供給される、あるいは排出されるとは、枚葉式のように、繊維基材等が間欠的に供給、あるいは排出されるものを除く趣旨である。たとえば、空間７０内に繊維基材２等が存在する状態と、存在しない状態とが短期間で交互にいれかわるものを除く趣旨である。ただし、必要に応じて、繊維基材２等の搬送を停止してもよい。

　また、前述したように、空間７０は、減圧手段８の作動により減圧されている。これにより、図４に示すように、空間７０内に生じた減圧力Ｆ２が、繊維基材２と第１の樹脂層３との圧着と、繊維基材２と第２の樹脂層４との圧着とを補助することができる。

　このような圧接力Ｆ１による圧着と減圧力Ｆ２による圧着とが相まって、繊維基材２と第１の樹脂層３との接合と、繊維基材２と第２の樹脂層４との接合とが強化される。これにより、繊維基材２内部に樹脂層３,４を含浸させることができる。そして、例えば第１の樹脂層３や第２の樹脂層４の厚さや組成によらず、当該各樹脂層が繊維基材２に確実かつ強固に接合された積層シート４０を製造することができる。
　さらに、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂを加熱ローラとすることで、樹脂層３，４を繊維基材２内部に確実に含浸させることができる。
　さらに、空間７０内を減圧することで、繊維基材２内部の気体が吸引されることとなり、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとで、樹脂層３,４を含浸させる際に、繊維基材２内部に含浸した樹脂層中にボイドが発生しにくくなる。

　また、積層シート製造装置３０では、減圧すべき空間が、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで囲まれた空間７０であり、減圧すべき空間をできる限り小さくすることができる。これにより、積層シート製造装置３０を小型化できる。また、減圧手段８を作動させた際、その減圧を迅速に行なうことができる。また、減圧すべき空間を小さくすることができるので、空間７０内を高真空化することも可能である。具体的には、壁部６１に、開口部６１１を形成し、この開口部６１１から直接空間７０内の気体を吸引する構成を採用することで、空間７０内部のみを減圧でき、空間７０内を高真空化することができる。

　また、繊維基材２と第１の樹脂層３とが接合する際、これらの間に空気が溜まっていたとしても圧接力Ｆ１によりその空気を押し出すことができ、よって、空気が溜まったまま接合がなされてしまうのを確実に防止することができる（繊維基材２と第２の樹脂層４との接合時についても同様）。

　ここで、図５に、図１のＤ-Ｄ方向の繊維基材２、樹脂層３，４の断面図を示す。繊維基材２の搬送方向と直交する方向の幅寸法は、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４の搬送方向と直交する方向の幅寸法よりも小さい。
　一対の第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、繊維基材２、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４が圧着される。このとき、第１の樹脂層３の幅方向の一方の端部（搬送方向側の一方の端部）と、第２の樹脂層４の幅方向の一方の端部（搬送方向側の一方の端部）とが圧着（熱圧着）されるとともに、第１の樹脂層３の幅方向の他方の端部と、第２の樹脂層４の幅方向の他方の端部とが圧着（熱圧着）される。樹脂層３,４の幅方向の端部同士が溶融接合されて、接合部を形成し、繊維基材２が第１の樹脂層３および第２の樹脂層４内に内包される形となる。すなわち、積層シート４０の幅方向の両端部は密閉された状態となる。

　繊維基材２は、複数の孔が形成された多孔質材である。繊維基材２に形成された孔は、他の孔を介して、シート搬送方向に連通し、さらに、繊維基材２表裏面に連通する。そのため、空間７０外部に位置する繊維基材２であっても、その内部は、空間７０に連通することとなる。空間７０外部に位置する繊維基材２内部の気体は、繊維基材２内部の孔および空間７０を介して、減圧手段８により吸引されることとなる。
　前述したように、一対の第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、繊維基材２内部に、樹脂層３，４が含浸される。しかしながら、樹脂層３,４により繊維基材２内部が完全に埋め込まれた状態（完全含浸）とはなっていない。第２のローラ７２ａおよび第２のローラ７２ｂ間を通過して得られた積層シート４０においては、繊維基材２内部の孔は、他の孔を介して、空間７０内に位置する繊維基材２の表裏面の孔に連通しているのである。
　したがって、空間７０外部に位置する繊維基材２内部の気体は、繊維基材２内部の孔および空間７０を介して、減圧手段８により吸引されることとなるのである。
　一方で、一対の第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、樹脂層３，４が加熱されて粘度が低くなった状態となるので、空間７０から送り出された積層シート４０においても、樹脂層３，４の繊維基材２への含浸は進行する。
　そして、前述したように、空間７０外部に位置する繊維基材２内部の気体は、繊維基材２内部の孔および空間７０を介して、減圧手段８により吸引されることとなるが、この吸引は、樹脂層３，４が繊維基材２内部に一定程度、含浸するまで続くこととなる。すなわち、繊維基材２内部の気体が減圧手段８に吸引されている間に、樹脂層３,４の繊維基材２への含浸が進行することとなる。これにより、樹脂層３，４が繊維基材２により含浸しやすくなるとともに、繊維基材２内部にボイドが発生してしまうことが防止される。
　また、積層シート４０の幅方向の両端部には、樹脂層３,４の端部同士が溶融接合した接合部が形成されているため、空間７０外部において、繊維基材２の端面側から気体が繊維基材２内部に流入してしまうことを防止できる。したがって、空間７０外部に位置する積層シート４０の繊維基材２内部の気体を減圧手段８により、確実に吸引することができる。
　なお、製造装置３０において、空間７０から送出された積層シート４０が搬送されている状態で、樹脂層３，４の繊維基材２への含浸が進行していく。

　また、本実施形態では、第２のローラ７２ａ，７２ｂのシート搬送方向下流側は大気圧であり、第２のローラ７２ａ，７２ｂから送り出された積層シートは、大気圧で加圧されることとなる。これにより、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４の繊維基材２への含浸を進行させることができる。

<基板>
　次に、プリプレグ１を用いた基板１０について、図１１を参照しつつ説明する。この図１１に示す基板１０は、積層体１１と、この積層体１１の両面に設けられた金属層１２とを有している。

　積層体１１は、第２の樹脂層４同士を内側にして配置された２つのプリプレグ１と、第２の樹脂層４同士間で挟持された繊維基材１３とを備える。

　繊維基材１３には、前述した繊維基材２と同様のものを用いることができる。また、本実施形態では、第２の樹脂層４は、前述したような特性（可撓性）を有するため、繊維基材１３の少なくとも一部は、第２の樹脂層４に確実に埋め込まれる（埋設される）。

　金属層１２は、配線部に加工される部分であり、例えば、銅箔、アルミ箔等の金属箔を積層体１１に接合すること、銅、アルミニウムを積層体１１の表面にメッキすること等により形成される。また、本実施形態では、第１の樹脂層３は、前述したような特性を有するため、高い密着性で金属層１２を保持することができるとともに、高い加工精度で金属層１２を配線部に形成することができるようになっている。

　金属層１２と第１の樹脂層３とのピール強度は、０．５ｋＮ／ｍ以上であるのが好ましく、０．６ｋＮ／ｍ以上であるのがより好ましい。これにより、金属層１２を配線部に加工し、得られる半導体装置１００（図１２参照）における接続信頼性をより向上させることができる。

　このような基板１０は、第１の樹脂層３上に金属層１２を形成したプリプレグ１を２つ用意し、これらのプリプレグ１で繊維基材１３を挟持した状態で、例えば、真空ラミネート法等を用いて製造することができる。

　なお、基板１０は、繊維基材１３が省略され、２つのプリプレグ１が第２の樹脂層４同士を直接接合してなる積層体を含むものであってもよく、金属層１２が省略されたものであってもよい。

<半導体装置>
　次に、基板１０を用いた半導体装置１００について、図１２を参照しつつ説明する。なお、図１２中では、繊維基材２、１３を省略して示し、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４を一体として示してある。

　図１２に示す半導体装置１００は、多層基板（回路基板（多層プリント配線板））２００と、多層基板２００の上面に設けられたパッド部３００と、多層基板２００の下面に設けられた配線部４００と、パッド部３００にバンプ５０１を接続することにより、多層基板２００上に搭載された半導体素子５００とを有している。

　多層基板２００は、コア基板として設けられた基板１０と、この基板１０の上側に設けられた３つのプリプレグ１ａ、１ｂ、１ｃと、基板１０の下側に設けられた３つのプリプレグ１ｄ、１ｅ、１ｆとを備えている。プリプレグ１ａ～１ｃをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番と、プリプレグ１ｄ～１ｆをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番とは、同じとなっている。すなわち、プリプレグ１ａ～１ｃとプリプレグ１ｄ～１ｆとは、互いに上下反転したもの同士となっている。

　また、多層基板２００は、プリプレグ１ａとプリプレグ１ｂとの間に設けられた回路部２０１ａと、プリプレグ１ｂとプリプレグ１ｃとの間に設けられた回路部２０１ｂと、プリプレグ１ｄとプリプレグ１ｅとの間に設けられた回路部２０１ｄと、プリプレグ１ｅとプリプレグ１ｆとの間に設けられた回路部２０１ｅとを有している。

　さらに、多層基板２００は、各プリプレグ１ａ～１ｆをそれぞれ貫通して設けられ、隣接する回路部同士や、回路部とパッド部とを電気的に接続する導体部２０２とを備えている。

　基板１０の各金属層１２は、それぞれ、所定のパターンに加工され、当該加工された金属層１２同士は、基板１０を貫通して設けられた導体部２０３により電気的に接続されている。

　なお、半導体装置１００（多層基板２００）は、基板１０の片面側に、４つ以上のプリプレグ１を設けるようにしてもよい。さらに、半導体装置１００は、プリプレグ１以外のプリプレグを含んでいてもよい。

<第２実施形態>
　図６は、本発明の積層シート製造装置の第２実施形態を示す概略側面図である。

　以下、この図を参照して本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートの第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。

　本実施形態は、積層シート製造装置が調整手段（当接力調整手段）をさらに備えること以外は前記第１実施形態と同様である。

　図６に示す積層シート製造装置３０Ａは、空間７０が減圧されたとき、その減圧力Ｆ２の大きさによらず、隣接するローラ間、例えば第１のローラ７１ａ、７１ｂ同士間や第２のローラ７２ａ、７２ｂ同士の間の圧接力Ｆ１をほぼ一定に維持するための調整手段（当接力調整手段）９を備えている。

　調整手段９は、第１のローラ７１ａ、７１ｂ同士を、それらが離間する方向に付勢する圧縮コイルバネ９１を有する。
　なお、調整手段９は、第２のローラ７２ａ、７２ｂ同士を離間する方向に付勢する圧縮コイルバネ９１を有するものとしてもよい。

　第１のローラ７１ａの軸７５は、圧縮コイルバネ９１の一方の端面が当接するブロック状の一方のバネ座９２に支持されている。同様に、第１のローラ７１ｂの軸７５は、圧縮コイルバネ９１の他方の端面が当接するブロック状の他方のバネ座９２に支持されている。
　そして、圧縮コイルバネ９１は、第１のローラ７１ａにおけるバネ座９２と第１のローラ７１ｂにおけるバネ座９２との間に、圧縮状態で設置されている。これにより、第１のローラ７１ａを上方に向かって付勢するとともに第１のローラ７１ｂを下方に向かって付勢する、すなわち、第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとを互いに離間する方向へ付勢する付勢力Ｆ３が生じる。

　このような構成の調整手段９により、例えば空間７０が減圧され過ぎて、過剰な圧接力Ｆ１が生じても、その過剰分を相殺するように付勢力Ｆ３が作用する。これにより、積層シート４０を過剰に押圧して、当該積層シート４０が不本意に潰れて変形するのを確実に防止することができる。

<第３実施形態>
　図７は、本発明の積層シート製造装置の第３実施形態を示す概略側面図である。

　以下、この図を参照して本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートの第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
　本実施形態は、調整手段の構成が異なること以外は前記第２実施形態と同様である。

　図７に示す積層シート製造装置３０Ｂの調整手段９は、空間７０内の圧力を検出する圧力センサ（検出部）９３と、隣接するローラ同士、例えば第１のローラ７１ａ、７１ｂ同士や第２のローラ７２ａ、７２ｂ同士をそれらが接近・離間する方向に移動させる移動機構９４とを有している。

　圧力センサ９３は、空間７０内に設置されている。この圧力センサ９３としては、例えば、隔膜（ダイアフラム）に加わる圧力を膜の変形として検出するよう構成されたものを用いることができる。

　移動機構９４は、シリンダ９５と、シリンダ９５を作動させるポンプ９６と、シリンダ９５とポンプ９６との間に設置された電磁弁９７と、ポンプ９６と電磁弁９７との作動を制御する機能を有する制御部９８とを有している。

　シリンダ９５は、第１のローラ７１ｂ（７２ｂ）に連結され、当該第１のローラ７１ｂ（７２ｂ）を上下方向、すなわち、第１のローラ７１ａ（７２ａ）に対し接近・離間する方向に移動させることができる。なお、第１のローラ７１ａ（７２ａ）は、その位置が固定されている。

　このような構成の調整手段９では、制御部９８で得られた圧力センサ９３の検出結果に基づいて、電磁弁９７を切り替え、ポンプ９６の作動により第１のローラ７１ｂ（７２ｂ）の位置を調整することができる。これにより、例えば空間７０が減圧され過ぎて、過剰な圧接力Ｆ１が生じても、その過剰分を相殺するように第１のローラ７１ｂ（７２ｂ）の位置を下方へ調整することができる。これにより、積層シート４０を過剰に押圧して、当該積層シート４０が不本意に潰れて変形するのを確実に防止することができる。

<第４実施形態>
　図８は、本発明の積層シート製造装置の第４実施形態を示す概略断面側面図である。

　以下、この図を参照して本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートの第４実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
　本実施形態は、ローラの配置が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。

　図７に示す積層シート製造装置３０Ｃは、第１のローラ７１ａ、７１ｂと、第２のローラ７２ａ、７２ｂとの間に、３組の第３のローラ７３ａ、７３ｂと、第３のローラ７３ｃ、７３ｄと、第３のローラ７３ｅ、７３ｆとが配置されている。第３のローラ７３ｃ、７３ｄ、７３ｅ、７３ｆの構造は、第３のローラ７３ａ、７３ｂと同様である。

　より詳細に説明すると、第１のローラ７１ａのシート搬送方向下流側であり、第２のローラ７２ａのシート搬送方向上流側には、３つの第３のローラ７３ａ、７３ｃ、７３ｅが配置されている。
　同様に、第１のローラ７１ｂのシート搬送方向下流側であり、第２のローラ７２ｂの上流側には、３つの第３のローラ７３ｂ、７３ｄ、７３ｆが配置されている。
　各ローラは回転軸が互いに平行となるように配置されており、各ローラは、一対の壁部６１間に架け渡されている。

　なお、第１のローラ７１ａのシート搬送方向下流側であり、第２のローラ７２ａの上流側には、第３のローラが３つ配置されているとしたが、３以上の奇数個であればよい。同様に、第１のローラ７１ｂのシート搬送方向下流側であり、第２のローラ７２ｂの上流側には、３つの第３のローラが配置されているとしたが、３以上の奇数個であればよい。また、第１のローラ７１ａのシート搬送方向下流側であり、第２のローラ７２ａの上流側には、第３のローラを３以上の奇数個配置し、第１のローラ７１ｂのシート搬送方向下流側であり、第２のローラ７２ｂの上流側には、第３のローラを一つしか配置しなくてもよい。

　第１のローラ、第２のローラ、第３のローラのうち、隣接するローラ同士が接しており、筒状体を構成している。具体的には、繊維基材２の一方の面側（たとえば、表面側）において、第１のローラ７１ａの外周面に対し、第３のローラ７３ａの外周面が直接接触している。また、第３のローラ７３ａの外周面と、第３のローラ７３ｃの外周面とが樹脂層３を介して接触している。さらに、第３のローラ７３ｃの外周面と、第３のローラ７３ｅの外周面とが直接接触している。そして、第３のローラ７３ｅの外周面と第２のローラ７２ａの外周面とが、樹脂層３'を介して接触している。
　同様に、繊維基材２の他方の面側（たとえば、裏面側）において、第１のローラ７１ｂの外周面に対し、第３のローラ７３ｂの外周面が直接接触している。また、第３のローラ７３ｂの外周面と、第３のローラ７３ｄの外周面とが樹脂層４を介して接触している。さらに、第３のローラ７３ｄの外周面と、第３のローラ７３ｆの外周面とが直接接触している。そして、第３のローラ７３ｆの外周面と第２のローラ７２ｂの外周面とが、樹脂層４'を介して接触している。
　そして、第１のローラ、第２のローラ、第３のローラにより、一つの空間７０が囲まれることとなり、減圧手段８によって減圧される空間７０が形成される。

　このようにローラが配置されていることにより、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の他に、第１の樹脂層３と組成が異なる（または同じ）第１の樹脂層３'と、第２の樹脂層４と組成が異なる（または同じ）第２の樹脂層４'とを積層した積層シート４０を製造することができる。

　なお、積層シート製造装置３０Ｃでは、基材２の一方の面側に配置された隣接する第３のローラ間および、基材２の前記一方の面側に配置された第２のローラとこの第２のローラに隣接する前記第３のローラとの間の少なくとも２箇所の供給箇所のうち、いずれかの供給箇所から、シート（たとえば、第１の樹脂層３あるいは、第２の樹脂層４）が前記空間７０内に供給されるとともに、シートが供給される前記供給箇所とは異なる前記供給箇所から、第二シート（たとえば、第１の樹脂層３'あるいは、第２の樹脂層４'）が前記空間内に供給される。
　具体的には、第１の樹脂層３は、第３のローラ７３ａと第３のローラ７３ｃとの間から空間７０内に供給される。第１の樹脂層３'は、第２のローラ７２ａと第３のローラ７３ｅとの間から空間７０内に供給される。第２の樹脂層４は、第３のローラ７３ｂと第３のローラ７３ｄとの間から空間７０内に供給される。第２の樹脂層４'は、第２のローラ７２ｂと第３のローラ７３ｆとの間から空間７０内に供給される。
　いずれの樹脂層もＢステージ状態である。
　なお、本実施形態においても、第２実施形態、第３実施形態の調整手段を採用してもよい。
　さらに、樹脂層４'、樹脂層３'のシート搬送方向と直交する方向の幅寸法は、基材２の幅寸法よりも大きくてもよく、小さくてもよい。
　また、本実施形態では、前記実施形態と同様に、樹脂層３,４のシート搬送方向に沿った端部同士が圧着（溶融接合）されて、基材２、樹脂層３、４が内包される構成としたが、樹脂層４'、樹脂層３'のシート搬送方向に沿った端部同士が圧着（溶融接合）されて、基材２、樹脂層３、４が内包される構成としてもよい。
　また、前記各実施形態と同様に、空間７０から送り出された積層シート４０の繊維基材２内部の気体が減圧手段８により吸引され、樹脂層３，４の繊維基材２への含浸が進行する。

　このような第４実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏することができるうえ、以下の効果を奏することができる。
　本実施形態では、一つの空間７０を囲むように、ローラを配置している。これにより、減圧すべき空間を一つとすることができる。
　また、本実施形態では、複数の樹脂層３、３'、４、４'および繊維基材２を第２のローラ７２ａ、７２ｂで一度に圧着することができる。これにより、複数回、繊維基材２がローラで加圧されることが防止され、繊維基材２に変形が生じてしまうことを防止できる。

<第５実施形態>
　図９は、本発明の積層シート製造装置の第５実施形態を示す概略断面側面図である。

　以下、この図を参照して本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートの第５実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
　本実施形態は、ローラの配置が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。

　図９に示す積層シート製造装置３０Ｄは、第１実施形態の積層シート製造装置に、２組の第４のローラ７４ａ、７４ｂと、第5のローラ７５ａ、７５ｂとを加えた装置である。
　第４のローラ７４ａ、７４ｂは、第２のローラ７２ａ、７２ｂのシート搬送方向下流側に配置され、第４のローラ７４ａ、７４ｂ間には、第２のローラ７２ａ、７２ｂからの積層シート（繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の積層体）が供給される。第４のローラ７４ａ、７４ｂは、前記積層シートを挟んで対向配置されている。
  第４のローラ７４ａ、７４ｂ、第５のローラ７５ａ、７５ｂの構造は、第１のローラ７１ａ、７１ｂと同様である。ただし、第４のローラ７４ａ、７４ｂは、第２のローラと同様、加熱ローラであることが好ましい。

　第５のローラ７５ａ、７５ｂは、第２のローラ７２ａ、７２ｂから送出されたシートを挟んで配置されている。この第５のローラ７５a、７５ｂは、第２のローラ７２ａ、７２ｂのシート搬送方向下流側に配置されるとともに、第４のローラ７４ａ、７４ｂのシート搬送方向上流側に位置する。

　第１のローラ～第５のローラは前述した一対の壁部６１間に架け渡されており、互いに回転軸が平行となっている。第５のローラ７５ａの外周面は、第２のローラ７２ａの外周面に直接接触している。また、第５のローラ７５ａの外周面は樹脂層３'を介して間接的に、第４のローラ７４ａに接触している。同様に、第５のローラ７５ｂの外周面は、第２のローラ７２ｂの外周面に直接接触している。また、第５のローラ７５ｂの外周面は樹脂層４'を介して間接的に、第４のローラ７４ｂに接触している。これにより、第２のローラ７２ａ、７２ｂ、第５のローラ７５ａ、７５ｂ、第４のローラ７４ａ、７４ｂで筒状体が構成され、これらのローラで囲まれた第二の空間７７が形成されることとなる。そして、壁部には、空間７７に連通する開口６１３が形成されている。この開口６１３には、減圧手段８の配管が接続され、配管を介してポンプにより、第二空間７７内の気体を吸引し、第二空間７７内を減圧することができる。
　本実施形態では、減圧手段は、ローラで囲まれた空間（空間７０，７７）のみを減圧し、他の領域は、減圧しない。
　すなわち、第１のローラ７１ａ、７１ｂを境界とし、第１のローラ７１ａ、７１ｂよりも、シート搬送方向上流側の領域は、大気圧以上（本実施形態では大気圧）となっている。
　また、第４のローラ７４ａ、７４ｂを境界とし、第４のローラ７４ａ、７４ｂよりも、シート搬送方向下流側の領域は、大気圧以上（本実施形態では大気圧）となっている。

　このような製造装置３０Ｄを使用して、以下のように積層シートを製造することができる。
　まず、空間７０,７７内の気体（空気）を減圧手段により吸引し、空間７０,７７内を減圧する。
　次に、前記実施形態と同様に、前記空間７０内で繊維基材２の表面側に第１の樹脂層３を積層し、裏面側に第２の樹脂層４を積層する。その後、第２のローラ７２ａ、７２ｂにより、繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４を圧着する。第２のローラ７２ａ、７２ｂから送り出された積層シートは、空間７７内に供給される。一方で、第５のローラ７５ａと、第４のローラ７４ａとの間から前記空間７７に向けて、樹脂層３'が供給される。
　また、第５のローラ７５ｂと、第４のローラ７４ｂとの間から前記空間７７に向けて、樹脂層４'が供給される。
　樹脂層３'は、樹脂層３上に供給され、樹脂層４'は、樹脂層４上に供給される。
　そして、樹脂層４'、樹脂層４、繊維基材２、樹脂層３、樹脂層３'で構成される積層シートは、第４のローラ７４ａ、７４ｂ間に供給されて、第４のローラ７４ａ、７４ｂにより圧着される。このとき、第４のローラ７４ａ、７４ｂにより、樹脂層４'、樹脂層４、繊維基材２、樹脂層３、樹脂層３'で構成される積層シートが加熱され、繊維基材２への樹脂層３，４の含浸がさらに進行する。
　その後、第４のローラ７４ａ、７４ｂにより、前記積層シートが空間７７の外部（大気圧以上の雰囲気下（本実施形態では大気圧雰囲気下））に送り出される。
　なお、本実施形態においても、第２実施形態、第３実施形態の調整手段を採用してもよい。調整手段は、第４のローラ７４ａ、７４ｂの圧着力を調整するように設けてもよく、第２のローラ７２ａ、７２ｂの圧着力を調整するように設けてもよい。
　また、前記各実施形態と同様に、空間７０から送り出された積層シートの繊維基材２内部の気体が減圧手段８により吸引され、樹脂層３，４の繊維基材２への含浸が進行する。具体的には、本実施形態では、空間７０から第二空間７７へ送り出された積層シートは、減圧手段８により繊維基材２内部の気体が吸引されながら、ローラ７４ａ、７４ｂで挟圧され、樹脂層３,４の繊維基材２への含浸が進行する。さらに、第二空間７７から外部に送出された積層シート４０の繊維基材２内部の気体が減圧手段８により吸引され、樹脂層３，４の繊維基材２への含浸がさらに進行することとなる。

　このような第５実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏することができるうえ、以下の効果を奏することができる。
　積層シート製造装置３０Ｄでは、各層を積層するごとに圧着することができ、よって、当該各層の圧着状態が強固な積層シート４０を得ることができる。
　また、本実施形態では、第２のローラ７２ａ、７２ｂで、樹脂層４、繊維基材２、樹脂層３の積層体を圧着し（一段目の圧着）、第４のローラ７４ａ、７４ｂで、樹脂層４'、樹脂層４、繊維基材２、樹脂層３、樹脂層４'で構成される積層シートを圧着している（二段目の圧着）。そのため、一段目の圧着力と二段目の圧着力とを変えることができ、所望の圧着状態の積層シートを得ることができる。
　さらに、本実施形態では、ローラの配置により、減圧すべき空間７０,７７を複数形成することで、各空間７０,７７の体積を比較的小さいものとすることができる。これにより、各空間７０,７７内を迅速に減圧することができる。
　なお、樹脂層４'、樹脂層３'のシート搬送方向と直交する方向の幅寸法は、基材２の幅寸法よりも大きくてもよく、小さくてもよい。
　また、本実施形態では、前記実施形態と同様に、樹脂層３,４のシート搬送方向に沿った端部同士が圧着（溶融接合）されて、基材２、樹脂層３、４が内包される構成としたが、樹脂層４'、樹脂層３'のシート搬送方向に沿った端部同士が圧着（溶融接合）されて、接合部を形成し、基材２、樹脂層３、４が内包される構成としてもよい。

　以上、本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートを図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、積層シート製造装置および積層シートを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。

　また、本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートは、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

　また、積層シート製造装置は、図１に示す構成では一対の第３のローラが１組設置されているが、これに限定されず、例えば、３組以上の奇数組設置されていてもよい。

　また、各第１のローラと各第２のローラと各第３のローラとは、図１に示す構成では互いに本体部の外径が異なっているが、これに限定されず、例えば、互いに本体部の外径が同一であってもよい。

　また、積層シート製造装置は、空間から送り出された積層シートを乾燥するよう構成されていてもよい。

　また、積層シートは、図１０に示す構成では繊維基材の両面にそれぞれ樹脂層が接合されたものであるが、これに限定されず、繊維基材の片面にのみ樹脂層が接合されたものであってもよい。このような構成の積層シートも積層シート製造装置で製造することができる。

　また、積層シートは、図１０に示す構成では繊維基材に第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物がそれぞれ含浸したものであるが、これに限定されず、例えば次のようなものであってもよい。１つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない積層シート。
　２つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない積層シート。３つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない積層シート。４つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない積層シート。以上４つの例の積層シートでも、第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは、互いに組成が異なるものでもよく、また、互いに組成が同一のものでもよい。そして、このような構成の積層シートも積層シート製造装置で製造することができる。

　また、積層シートは、図１０に示す構成では繊維基材を有するものであるが、これに限定されず、例えば、繊維基材に代えて、プリント配線板等の基材を有するものであってもよい。
　さらに、前記各実施形態では、繊維基材２と、樹脂層３,４との積層シートを製造したが、これに限られず、たとえば、樹脂層の少なくとも一方の面に、他の樹脂層を積層して積層シートを製造してもよい。さらには、プリプレグの少なくとも一方の面に、樹脂層や他のプリプレグを積層して積層シートを製造してもよい。また、不織布の少なくとも一方の面に樹脂層を積層してもよい。

　また、本発明は、以下の構成に基づくものである。
（１）一方の面側に固形または半固形の樹脂組成物で構成された樹脂層を有し、連続的に供給される薄板状の支持体の前記樹脂層を、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、
互いに対向配置された一対の壁部を有するハウジングと、
前記一対の壁部間に架設され、外周面同士が互いに当接し合う一対の第１のローラと、
前記一対の壁部間であって前記一対の第１のローラと異なる位置に架設され、外周面同士が互いに当接し合う一対の第２のローラと、
前記一対の壁部間に架設され、前記一対の第１のローラと前記一対の第２のローラとの間に配置された、少なくとも一対の第３のローラと、
前記一対の壁部のうちの少なくとも一方に形成され、前記一対の壁部と前記一対の第１のローラと前記一対の第２のローラと前記一対の第３のローラとで囲まれた空間に向かって開口する開口部を有し、該開口部から前記空間内の空気を吸引して該空間を減圧する減圧手段とを備え、
前記一対の第１のローラ間で前記基材を送り出しつつ、前記一対の第２のローラ間で前記基材と前記樹脂層とを圧着し、その際、前記減圧手段で前記空間を減圧するよう構成されていることを特徴とする積層シート製造装置。
（２）前記空間が減圧された際、その減圧力により前記基材と前記樹脂層との圧着が補助される（１）に記載の積層シート製造装置。
（３）前記支持体は、前記樹脂層を支持する支持シートを有し、前記第３のローラには、前記基材と前記樹脂層とが圧着される以前に、該樹脂層から前記支持シートを剥離する機能を有するものがある（１）または（２）に記載の積層シート製造装置。
（４）前記積層シートは、前記基材の両面にそれぞれ前記樹脂層が接合されたものであり、前記一対の第２のローラ間で前記基材の両面にそれぞれ前記樹脂層を一括して圧着する（１）ないし（３）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（５）前記減圧手段は、ポンプと、該ポンプと前記開口部と接続する接続管とを有する（１）ないし（４）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（６）前記空間が減圧されたときの前記一対の第１のローラ同士の当接力と前記一対の第２のローラ同士の当接力とをそれぞれ一定に維持する当接力維持手段をさらに備える（１）ないし（５）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（７）前記当接力維持手段は、前記一対の第１のローラ同士、前記一対の第２のローラ同士をそれぞれ離間する方向に付勢する圧縮コイルバネを有する（６）に記載の積層シート製造装置。
（８）前記当接力維持手段は、前記空間内の圧力を検出する検出部と、該検出部の検出結果に基づいて、前記一対の第１のローラ同士をそれらが接近・離間する方向に移動させるとともに、前記一対の第２のローラ同士をそれらが接近・離間する方向に移動させる移動機構とを有する（６）に記載の積層シート製造装置。
（９）前記各壁部と前記各第１のローラの両端部との間、前記各壁部と前記各第２のローラの両端部との間に、それぞれ、介在するシール材とをさらに備える（１）ないし（８）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（１０）（１）ないし（９）のいずれかに記載の積層シート製造装置を用いて前記積層シートを製造することを特徴とする積層シートの製造方法。
（１１）（１）ないし（９）のいずれかに記載の積層シート製造装置を用いて製造されたことを特徴とする積層シート。
（１２）当該積層シートは、その長手方向の途中で切断され、該切断されたものがプリプレグとなるものである（１１）に記載の積層シート。
　この出願は、２０１１年３月３０日に出願された日本特許出願２０１１－０７６６６３および２０１２年３月２２日に出願された日本特許出願２０１２－０６５０１３を基礎とする優先権を主張し、その開示をすべてここに取り込む。



 

Claims (16)

1. 　樹脂層を有するシートを、薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シートの製造装置であって、
   　外周面同士が互いに当接し合うとともに、前記基材を送出する一対の第１のローラと、
   　外周面同士が互いに当接し合うとともに、前記第１のローラから送出された前記基材を送出する一対の第２のローラと、
   　前記第１のローラの基材搬送方向下流側に配置されるとともに、前記第２のローラの基材搬送方向上流側に配置され、前記一対の第１のローラから送出された前記基材の表面側および裏面側にそれぞれ配置された第３のローラと、
   　前記一対の第１のローラ、前記一対の第２のローラ、前記第３のローラとで囲まれた空間内を減圧する減圧手段を有し、
   　前記一対の第１のローラは、前記空間内に前記基材を送出するローラであり、
   　前記基材の表面側または裏面側において、一方の前記第３のローラと一方の前記第２のローラとの間から、前記空間内にむけて前記シートが送出され、
   　前記第２のローラは、前記基材と前記シートの前記樹脂層とを圧着するとともに、前記基材および前記シートを含む積層シートを前記空間の外部へ送り出すローラである積層シートの製造装置。　
2. 　請求項１に記載の積層シートの製造装置において、
   　対向配置された一対の壁部を有し、
   　前記第１のローラ、前記第２のローラ、前記第３のローラは、前記一対の壁部間に架渡されており、
   　前記減圧手段は、前記壁部に形成された開口部に接続され、前記一対の第１のローラ、前記一対の第２のローラ、前記第３のローラ、前記一対の壁部で囲まれた前記空間内を減圧する積層シートの製造装置。
3. 　請求項１または２に記載の積層シートの製造装置において、
   　他方の前記第２のローラと他方の前記第３のローラとの間から、前記空間に向けて前記シートが送出され、
   　前記第２のローラは、前記基材の一方の面に前記シートの前記樹脂層を圧着するとともに、前記基材の他方の面に前記シートの前記樹脂層を圧着するように構成された積層シートの製造装置。
4. 　請求項３に記載の積層シートの製造装置において、
   　前記基材および前記シートは、長尺であり、前記空間内に連続的に供給され、
   　前記基材は、繊維基材であり、
   　前記基材の搬送方向と直交する方向の幅寸法は、前記各シートの搬送方向と直交する方向の幅寸法よりも小さく、
   　前記一対の第２のローラは、前記一対のシートの前記樹脂層の幅方向の端部同士を圧着するとともに、前記基材に対して少なくとも一方の前記シートの樹脂層を含浸させるように構成された積層シートの製造装置。
5. 　請求項４に記載の積層シートの製造装置において、
   　前記第２のローラは、前記空間から外部へ積層シートを送出するものであり、
   　前記第２のローラよりもシート搬送方向下流側は、大気圧以上の雰囲気下である積層シートの製造装置。
6. 　請求項４または５に記載の積層シートの製造装置において、
   　前記一対の第２ローラから送り出された積層シートの前記繊維基材の内部の空間が、前記空間内部に位置する前記繊維基材内部の空間と連通する程度に、前記一対の第２ローラが前記シートの樹脂層を前記繊維基材に含浸させるように構成された積層シートの製造装置。
7. 　請求項２に記載の積層シートの製造装置において、
   　前記減圧手段は、前記開口部に接続された配管と、前記配管に接続されたポンプとを備える積層シートの製造装置。
8. 　請求項１乃至７のいずれかに記載の積層シートの製造装置において、
   　前記シートは前記樹脂層と、この樹脂層を保護する保護シートとを備え、
   　前記空間内に前記シートが供給された後、前記保護シートは、前記一対の第２のローラとは異なる方向に送出されて、前記樹脂層と前記保護シートとが剥離するように構成された積層シートの製造装置。
9. 　請求項１乃至８のいずれかに記載の積層シートの製造装置において、
   　前記基材の表面および裏面のうちの一方の面側であって、一方の第１のローラの基材搬送方向下流側かつ前記第２のローラの基材搬送方向上流側には、前記第３のローラが３以上の奇数個、配置されており、
   　前記減圧手段は、前記第１のローラ、前記第２のローラ、およびすべての前記第３のローラで囲まれた一つの空間内を減圧し、
   　前記基材の前記一方の面側に配置された隣接する前記第３のローラ間および、前記基材の前記一方の面側に配置された前記第２のローラとこの第２のローラに隣接する前記第３のローラとの間の少なくとも２箇所の供給箇所のうち、いずれかの供給箇所から、前記シートが前記空間内に供給されるとともに、
   　前記シートが供給される前記供給箇所とは異なる前記供給箇所から、第二シートが前記空間内に供給され、
   　前記一対の第２のローラは、前記基材と、前記シートと、前記第二シートとを圧着する圧着ローラである積層シートの製造装置。
10. 　請求項１乃至８のいずれかに記載の積層シートの製造装置において、
    　前記第２のローラの積層シート搬送方向下流側に対向配置された一対の第４のローラと、
    　前記第２のローラの積層シート搬送方向下流側に配置されるとともに、前記第４のローラの積層シート搬送方向上流側に配置され、前記一対の第２のローラから送出された積層シートの表裏面にそれぞれ配置された第５のローラとを備え、
    　前記一対の第１のローラ、前記一対の第２のローラ、前記第３のローラで囲まれた前記空間である第一の空間、および前記一対の第２のローラ、前記一対の第４のローラ、前記第５のローラで囲まれた第二の空間が形成されており、
    　前記減圧手段は、各空間内を減圧し、
    　前記一対の第２のローラからは、前記第二の空間内に前記積層シートが供給され、
    　前記積層シートの表面あるいは裏面側であって、一方の前記第５のローラと一方の前記第４のローラとの間から前記第二の空間内にむけて第二シートが送出され、
    　前記第４のローラは、前記積層シートおよび前記第二シートを圧着する圧着ローラである積層シートの製造装置。
11. 　請求項１乃至１０のいずれかに記載の積層シートの製造装置において、
    　前記一対の第２のローラによる圧着力を調整する調整手段を備える積層シートの製造装置。
12. 　請求項１１に記載の積層シートの製造装置において、
    　前記調整手段は、前記一対の第２のローラを離間する方向に付勢する圧縮コイルバネを有する積層シートの製造装置。
13. 　請求項１１に記載の積層シートの製造装置において、
    　前記調整手段は、前記空間内の圧力を検出する検出部と、該検出部の検出結果に基づいて、前記一対の第２のローラ同士をそれらが接近・離間する方向に移動させる移動機構とを有する積層シートの製造装置。
14. 　請求項１乃至１３のいずれかに記載の積層シートの製造装置において、
    　前記シートの前記樹脂層は、固形、半固形、または液状の樹脂組成物で構成される積層シートの製造装置。
15. 　請求項１ないし１４のいずれかに記載の積層シートの製造装置を用いて前記積層シートを製造することを特徴とする積層シートの製造方法。
16. 　請求項１５に記載の積層シートの製造方法において、
    　前記基材の搬送方向と直交する方向の幅寸法は、前記シートの搬送方向と直交する方向の幅寸法よりも小さく、
    　前記一対の第１のローラ間から、前記空間に向けて、繊維基材である前記基材を連続的に送出する工程と、
    　一方の前記第２のローラと一方の前記第３のローラとの間から、前記空間に向けて前記樹脂層を有する前記シートを連続的に送出する工程と、
    　他方の前記第２のローラと他方の前記第３のローラとの間から、前記空間に向けて前記樹脂層を有する前記シートを連続的に送出する工程と、
    　前記一対の第２のローラにより、前記繊維基材に対して、前記各シートの前記樹脂層を圧着するとともに、前記繊維基材に対して各樹脂層を含浸させ、さらに、前記各シートの前記樹脂層の幅方向の端部同士を圧着する工程と、
    　前記基材および前記シートの積層シートを、前記第２のローラにより、前記空間の外部に送出する工程と、
    　前記空間内に位置する前記繊維基材内部の気体を前記減圧手段で吸引することで、前記空間外部に位置する前記繊維基材内の気体が吸引され、前記空間外部に位置する前記繊維基材内の気体が吸引された状態で、前記各樹脂層の前記繊維基材への含浸がさらに進行する工程とを含む積層シートの製造方法。

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