JP2002052610A

JP2002052610A - ラミネート装置

Info

Publication number: JP2002052610A
Application number: JP2000312201A
Authority: JP
Inventors: Minoru Hagiwara; 實萩原
Original assignee: Taisei Laminator Co Ltd JP
Current assignee: Taisei Laminator Co Ltd JP
Priority date: 2000-05-30
Filing date: 2000-10-12
Publication date: 2002-02-19

Abstract

(57)【要約】【課題】１タクトタイムで得られる接合フィルムの長さ
を長くし、生産性を高めるようにしたラミネート装置を
提供することを目的とする。【解決手段】真空チャンバ１５内にベースフィルム２０
とラミネートフィルム２１、２２と接合フィルムのスト
レージ手段３４、５３、６６、３９をそれぞれ設けるよ
うにし、ベースフィルム２０とラミネートフィルム２
１、２２とをそれぞれストレージ手段３４、５３、６６
に蓄えた状態で真空チャンバ１５を閉じて減圧し、加圧
ローラ１７、１８によって連続的に加圧するとともに、
加圧された接合フィルムをストレージ手段３９に蓄える
ようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はラミネート装置に係
り、とくに真空チャンバ内において減圧下でベースフィ
ルムまたは基板上にラミネートフィルムを積層して接合
するラミネート装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ドライフィルムから成るレジストフィル
ムとプリント基板を構成する合成樹脂基板との圧着装置
は、例えば特公昭５５−１３３４１号公報に記載されて
いるように、可撓性重合体フィルム状支持体上のフォト
レジスト膜と基板とを減圧下で接触せしめ、支持体の反
フォトレジスト層側からフィルム状支持体とフォトレジ
スト層とをともにフレキシブル基板上に加圧しながら加
熱して圧着するようにしている。

【０００３】特公昭５５−１３３４１号公報の装置によ
れば、フォトレジスト層を有するフィルム状支持体に大
気圧をかけて加圧する方法、または重合体シートを介し
て大気圧をかけて加圧する方法が採用されているが、フ
ィルム状支持体への加圧は大気圧によっているために、
フォトレジスト層と基板との圧着が数個所で瞬間的にか
つ統制のとれない状態で始まり、フィルム状支持体に皺
が発生する欠点があった。

【０００４】そこで特公平６−２２１９９号公報によっ
て改良された薄膜圧着方法が提案されている。この方法
はフィルムを減圧された環境の下で、基板に圧着して積
層体を形成するフィルム圧着方法において、減圧された
環境を形成可能な真空室の中でラミネートフィルムとベ
ースフィルムとの圧着を基板の中央部から基板の周縁部
へと圧着面積を次第に広げて行くような湾曲面から成る
押圧面を有する圧力板を用いるようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】特公平６−２２１９９
号公報の装置は、搬送フィルムによって支持された基板
とラミネートフィルムとを開かれた真空チャンバの内部
に導入し、この後に真空チャンバを閉じて減圧した後に
押圧板でラミネートフィルムを基板に圧着するようにし
ており、間欠的なバッチ処理によって圧着が行なわれ
る。

【０００６】すなわち圧着を終った後に真空チャンバを
開き、基板およびフィルムを送った後また真空吸引をし
て減圧し、圧着を行なう動作を繰返すことになる。ここ
で圧着を行なう度に真空容器を開いて基板とフィルムを
送った後に再び真空吸引による減圧動作を行なわなけれ
ばならず、このような減圧動作によって生産性が著しく
阻害される問題がある。

【０００７】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、ベースフィルムにラミネートフィルム
を真空チャンバ内で効率的に積層するようにしたラミネ
ート装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願の一発明は、真空チ
ャンバ内において減圧下でベースフィルム上にラミネー
トフィルムを積層して接合するラミネート装置におい
て、前記ベースフィルムと前記ラミネートフィルムとを
積層した状態で加圧する加圧手段と、前記ベースフィル
ムを前記真空チャンバの外から引込んで真空チャンバ内
でストレージするベースフィルムのストレージ手段と、
前記ラミネートフィルムを前記真空チャンバの外から引
込んで前記真空チャンバ内でストレージするラミネート
フィルムのストレージ手段と、前記ベースフィルムと前
記ラミネートフィルムとが接合された接合フィルムを真
空チャンバ内でストレージする接合フィルムのストレー
ジ手段と、を具備し、前記真空チャンバを閉じて前記ベ
ースフィルムのストレージ手段から引出される前記ベー
スフィルムと前記ラミネートフィルムのストレージ手段
から引出される前記ラミネートフィルムとを連続的に前
記加圧手段によって加圧するとともに、該加圧によって
接合された接合フィルムを前記接合フィルムのストレー
ジ手段に順次ストレージすることを特徴とするラミネー
ト装置に関するものである。

【０００９】ここで前記ベースフィルムのストレージ手
段、前記ラミネートフィルムのストレージ手段、および
前記接合フィルムのストレージ手段の内の少なくとも１
つが中心位置が移動するストレージローラから構成さ
れ、ストレージローラの中心位置の移動に伴う経路長の
変化によって前記ベースフィルム、前記ラミネートフィ
ルム、または前記接合フィルムのストレージが行なわれ
てよい。また前記ベースフィルムのストレージ手段、前
記ラミネートフィルムのストレージ手段、および前記接
合フィルムのストレージ手段の内の少なくとも１つが前
記ベースフィルム、前記ラミネートフィルム、または前
記接合フィルムをジグザグに屈曲させてストレージする
ストレージボックスから構成されてよい。

【００１０】また前記真空チャンバがそれぞれ側壁を有
する上側チャンバと下側チャンバとから構成され、前記
上側チャンバの接合部と前記下側チャンバの接合部の内
の少なくとも一方にシール手段が設けられ、該シール手
段によって上側チャンバと下側チャンバとを接合シール
して真空チャンバ内を減圧することにより真空雰囲気を
形成するようにしてよい。また前記加圧手段が上下一対
の加圧ローラから構成され、上側の加圧ローラの両端が
前記上側チャンバの側壁に回転可能に支持され、下側の
加圧ローラの両端が前記下側チャンバの側壁に回転可能
に支持され、前記真空チャンバを減圧すると前記シール
手段が変形して前記上下一対の加圧ローラが互いに圧接
されてよい。また前記加圧手段が上下一対の加圧ローラ
から構成され、少なくとも一方の加圧ローラはその内部
に加熱手段と冷却手段とを有するものであってよい。ま
た前記加熱手段がコイルとコアとから構成され、コイル
に交流電圧を印加すると前記コアが電磁誘導により発熱
してよい。また前記冷却手段が内部に設けられている冷
却用媒体の循環用空洞であって、軸の一端に形成されて
いる導入口から冷却用媒体が前記循環用空洞に導入さ
れ、軸の他端に形成されている排出口から排出されてよ
い。

【００１１】また前記ラミネートフィルムに接合されて
いる離型紙を剥離する剥離手段を前記真空チャンバ内に
備え、前記ラミネートフィルムのストレージ手段の下流
側であって前記加圧手段の上流側で剥離紙を剥離するよ
うにしてよい。また前記ベースフィルムが回路基板を構
成するフレキシブルフィルムであって、前記ラミネート
フィルムがレジストフィルムであってよい。

【００１２】本願の別の発明は、真空チャンバ内におい
て減圧下で基板上にラミネートフィルムを積層して接合
するラミネート装置において、前記基板と前記ラミネー
トフィルムとを積層した状態で加圧する加圧手段と、前
記ラミネートフィルムを前記真空チャンバの外から引込
んで前記真空チャンバ内でストレージするラミネートフ
ィルムのストレージ手段と、を具備し、前記ラミネート
フィルムのストレージ手段から引出される前記ラミネー
トフィルムを前記基板に対して連続的に前記加圧手段に
よって加圧しながら積層して接合することを特徴とする
ラミネート装置に関するものである。

【００１３】ここで前記ラミネートフィルムのストレー
ジ手段が中心位置が移動するストレージローラから構成
され、ストレージローラの中心位置の移動に伴う経路長
の変化によって前記ラミネートフィルムのストレージが
行なわれてよい。また前記ラミネートフィルムが接合さ
れた基板が前記ラミネートフィルムによって連結された
状態で折畳まれて前記チャンバ内にストレージされるよ
うにしてよい。

【００１４】本願のさらに別の発明は、ベースフィルム
または基板にラミネートフィルムを積層して接合するラ
ミネート装置において、前記ラミネートフィルムを前記
ベースフィルムまたは前記基板に対して圧着する加圧手
段がベルトから構成されることを特徴とするラミネート
装置に関するものである。ここで加圧手段を構成するベ
ルトが基材の表面に弾性層を形成した帯状材から成り、
該帯状材をエンドレスに連結したものであってよい。ま
た前記ベルトが一対の加圧ローラ間に掛渡されるように
張設されるとともに、前記一対のベルト間において補助
ローラで前記ベルトを押えるようにすることが好まし
い。

【発明の実施の形態】以下本発明を図示の実施の形態に
よって説明する。

【００１５】図１〜図６は本発明の第１の実施の形態の
ラミネート装置を示すものであって、このラミネート装
置はベース１０を備えている。そしてベース１０は支持
脚１１を介して下側チャンバ１３と上側チャンバ１４と
から成る真空チャンバ１５を支持している。ここで上側
チャンバ１４は下側チャンバ１３に対して昇降自在に構
成されており、これによって真空チャンバ１５を開閉可
能にしている。

【００１６】真空チャンバ１５内には上下一対の加圧ロ
ーラ１７、１８が設けられており、これらの加圧ローラ
１７、１８によって加熱および加圧を行ないながら、ベ
ースフィルム２０と上下のレジストフィルム２１、２２
とを積層し、３層の接合フィルムを製造するようになっ
ている。

【００１７】ベースフィルム２０は供給ローラ２５から
繰出され、ガイドローラ２６、２８、２９を通して真空
チャンバ１５内に導入される。ここでガイドローラ２６
の斜め上方に位置する剥離ローラ２７によってベースフ
ィルム２０上の離型紙３０を剥離するようにしている。

【００１８】真空チャンバ１５を構成する下側チャンバ
１３と上側チャンバ１４の接合部にはそれぞれシール部
材３２が取付けられている。これらのシール部材３２は
変形可能なゴムから構成されている。そして真空チャン
バ１５に導入されたベースフィルム２０を案内するため
のガイドローラ３３、ストレージローラ３４、およびガ
イドローラ３５が下側チャンバ１３に設けられている。
また加圧ローラ１７、１８の下流側において接合された
接合フィルムを案内するためにガイドローラ３８、スト
レージローラ３９、ガイドローラ４０、４１が配されて
いる。また真空チャンバ１５の図１において右側から接
合フィルムが引出されるようになっており、その位置に
上下一対の排出ローラ４３、４４が設けられている。

【００１９】次に上側に接合されるレジストフィルム２
１は供給ローラ４７から繰出される。このレジストフィ
ルム２１はガイドローラ４８で案内され、上側チャンバ
１４の導入口４９を通して上側チャンバ１４内に導入さ
れる。なお導入口４９には開閉自在にシャッタ５０が設
けられている。また導入口４９の内側には一対のガイド
ローラ５１、５２とストレージローラ５３とガイドロー
ラ５４、５５とが配されている。

【００２０】レジストフィルム２１には離型紙５９が接
合されており、この離型紙５９が図２、図３、および図
６に示すように、一対のガイドローラ５４、５５間にお
いて斜め４５度の折曲げ線の部分で折曲げられて剥離さ
れ、側方に巻取られるようになっている。すなわち上側
のチャンバ１４にはサイドチャンバ５７が連通するよう
に設けられるとともに、このサイドチャンバ５７に離型
紙巻取りローラ５８が配され、この巻取りローラ５８に
よって離型紙５９が巻取られるようになっている。

【００２１】次に下側のレジストフィルム２２の供給は
供給ローラ６１から繰出されることによって行なわれ
る。そしてレジストフィルム２２を案内するためのガイ
ドローラ６２が下側チャンバ１３の導入口６３の外側に
設けられている。なお導入口６３はシャッタ６４によっ
て開閉自在になっている。

【００２２】下側チャンバ１３の内側にはガイドローラ
６５、ストレージローラ６６、ガイドローラ６７、６８
がレジストフィルム２２の走行方向に沿って配されてい
る。

【００２３】下側のレジストフィルム２１の下面には離
型紙７３が接合されており、この離型紙７３がガイドロ
ーラ６７、６８間において斜め４５度の折曲げ線の部分
で折曲げて剥離され、側方に巻取られるようになってい
る。すなわち下側チャンバ１３には図３に示すようにこ
のチャンバ１３と連通するようにサイドチャンバ７１が
設けられ、このサイドチャンバ７１内に離型紙巻取りロ
ーラ７２が配されている。この離型紙巻取りローラ７２
によって下側のレジストフィルム２２から剥離された離
型紙７３が巻取られるようになっている。

【００２４】上下一対のチャンバ１４、１３から成る真
空チャンバ１５を真空吸引するために下側のチャンバ１
３には吸引パイプ７５が接続され、この吸引パイプ７５
の先端に真空ポンプ７６が接続されている。また下側チ
ャンバ１３には接続パイプ７７を介して給気弁７８が接
続され、この給気弁７８によって真空チャンバ１５内に
大気を導入するようにしている。

【００２５】ベース１０上にはギヤードモータ８１が設
けられており、その出力軸にプーリ８２が取付けられて
いる。プーリ８２は下側の加圧ローラ１８の軸に取付け
られているプーリ８３とタイミングベルト８４によって
連動されるようになっている。

【００２６】一対の加圧ローラ１７、１８の両端の軸の
部分は図４に示すように、上側チャンバ１４および下側
チャンバ１３の側壁にそれぞれ形成されている貫通穴８
７、８８を貫通しており、しかも上側チャンバ１４およ
び下側チャンバ１３の外側において軸受８９、９０によ
って回動自在に支持されている。

【００２７】上側の加圧ローラ１７に対して振動を与え
るためのシリンダ９１が設けられており、このシリンダ
９１のピストンロッド９２に取付けられている押圧板９
３が軸受８９に植設されているロッド９４の回りに介装
されている圧縮コイルばね９５を介して軸受８９に振動
を伝達し、これによって上側の加圧ローラ１７に対して
振動数が１００〜５００回／分の上下方向の振動を与え
るようにしている。

【００２８】次に加圧ローラ１７の加熱および冷却の構
造について図５により説明する。加圧ローラ１７の支軸
９９には一対のフランジ１００が形成されるとともに、
フランジ１００間において支軸９９の外周側にはコア１
０１が取付けられ、さらにコア１０１上にコイル１０２
が巻装されている。またコイル１０２の外周側は循環用
空洞１０３になっている。

【００２９】軸９９は貫通する中心孔１０５を有すると
ともに、この中心孔１０５は一対の栓１０６によってそ
の中間部分が閉塞されている。そして中心孔１０５の左
端が導入口１０７を構成するとともに、中心孔１０５の
右端が排出口１０８を構成している。上記導入口１０７
は通路１０９を介して循環用空洞１０３に連通してい
る。また排出口１０８は通路１１０を介して循環用空洞
１０３に連通している。これらの導入口１０７、排出口
１０８、通路１０９、１１０および循環用空洞１０３に
よって冷却用オイルが加圧ローラ１７の内部を循環する
ようになっている。

【００３０】上記冷却用空洞１０３の外周側は金属ロー
ル部１１３になっており、その上にビーズ層１１４が形
成されている。ビーズ層１１４は、耐熱性ガラス、セラ
ミックス等の耐熱性および剛性を有する直径が１ｍｍ前
後あるいはそれ以下のビーズを多数密接して均等に配し
たものである。そしてその外側に表面ゴム層１１５が形
成されている。

【００３１】次に以上のような構成に係るラミネート装
置のラミネートの動作を説明する。図１および図６にお
いて、ベースフィルム２０は供給ローラ２５から繰出さ
れ、剥離ローラ２７によって剥離紙３０が剥離された後
に、上下一対のチャンバ１４、１３が開かれた真空チャ
ンバ１５内に導入され、ストレージローラ３４によって
所定の長さがストレージされる。すなわちストレージロ
ーラ３４はその中心が図１において上下に移動可能にな
っており、ストレージする際には下方に移動するように
し、経路長の増加によってベースフィルム２０をストレ
ージしている。

【００３２】上側のレジストフィルム２１は供給ローラ
４７から繰出され、シャッタ５０を開いて導入口４９か
ら導入し、ストレージローラ５３でストレージされる。
ここでストレージローラ５３は横方向に中心位置が移動
するようになっており、図１において左方へ移動すると
レジストフィルム２１のストレージが行なわれる。

【００３３】下側のレジストフィルム２２は供給ローラ
６１から繰出され、シャッタ６４が開かれて導入口６３
から下側チャンバ１３内に導入される。そしてストレー
ジローラ６６によってストレージされる。ストレージロ
ーラ６６は図１において左右に移動可能になっており、
図１において左方へ移動するとその経路長の増加によっ
てレジストフィルム２２のストレージを行なうようにな
っている。

【００３４】このようにベースフィルム２０とレジスト
フィルム２１、２２とをそれぞれ真空チャンバ１５内に
引込んでストレージしたならば、上側のチャンバ１４を
その自重によって下降させ、シール部材３２を下側チャ
ンバ１３のシール部材３２と軽く接触させる。そしてこ
のような状態で給気弁７８を閉塞し、真空ポンプ７６を
駆動する。すると真空チャンバ１５内の空気が真空ポン
プ７６によって排気されて負圧になる。

【００３５】このように真空吸引によって真空チャンバ
１５の内部を減圧すると、大気圧によって上下のチャン
バ１４、１３がそれぞれ下向きの力および上向きの力を
受け、接合部のシール部材３２がぺっちゃんこに圧縮さ
れる。これによって上下の加圧ローラ１７、１８が互い
に接触するようになる。

【００３６】従ってこの状態でギヤードモータ８１によ
って加圧ローラ１７、１８を回転駆動すると、レジスト
フィルム２１、２２が加圧ローラ１７、１８間でベース
フィルム２０に接合され、接合フィルムが得られる。上
側のレジストフィルム２１はストレージローラ５３の右
方への移動によって繰出され、ガイドローラ５４、５５
間においてその上面に接合されている離型紙５９が剥離
されて図３に示すサイドチャンバ５７内の離型紙巻取り
ローラ５８に巻取られる。同様に下側のレジストフィル
ム２２の下面に接合されている離型紙７３はこのレジス
トフィルム２２から剥離され、下側のサイドチャンバ７
１内の離型紙巻取りローラ７２によって巻取られる。

【００３７】このように離型紙５９、７３がそれぞれ剥
離された上下のレジストフィルム２１、２２が加圧ロー
ラ１７、１８間で加圧および加熱され、これによってベ
ースフィルム２０の上面と下面とにそれぞれレジストフ
ィルム２１、２２が接合される。このような加圧ローラ
１７、１８による加圧は連続的に行なわれ、上下のレジ
ストフィルム２１、２２がストレージローラ５３、６６
の移動によって連続的に繰出される。またベースフィル
ム２０はストレージローラ３４の上方への移動によって
連続的に繰出される。そして加圧ローラ１７、１８によ
って接合された接合フィルムはガイドローラ３８を通し
てストレージローラ３９に案内され、このストレージロ
ーラ３９が図１において左方へ移動してストレージを行
なう。

【００３８】このようにストレージローラ５３、６６に
よって繰出されたレジストフィルム２１、２２とストレ
ージローラ３４から繰出されたベースフィルム２０とが
完全に繰出されるとともに、接合フィルムが完全にスト
レージローラ３９によってストレージされると、それ以
上接合を行なうことができないために、ここで一旦ギヤ
ードモータ８１を停止して加圧ローラ１７、１８を停止
させる。そして給気弁７８を開き、真空チャンバ１５内
に大気を導入して大気圧にする。このような状態で上下
のチャンバ１４、１３を開く。そして接合フィルムを排
出ローラ４３、４４によって図１において真空チャンバ
１５の右端から引出す。これによってストレージローラ
３９から接合フィルムが完全に繰出される。

【００３９】このとき同時にベースフィルム２０を開か
れた真空チャンバ１５内に導入し、ストレージローラ３
４によってストレージする。また上下のレジストフィル
ム２１、２２をそれぞれ供給ローラ４７、６１から繰出
してストレージローラ５３、６６にストレージする。そ
してベースフィルム２０および上下のレジストフィルム
２１、２２のストレージを終った後に、上下のチャンバ
１４、１３を閉じて真空チャンバ１５を真空ポンプ７６
によって真空吸引して一定の圧力に減圧する。そしてこ
のような状態で再び上記と同様に加圧ローラ１７、１８
における加圧および接合を繰返して行なう。

【００４０】このようなラミネート装置の特徴は、真空
チャンバ１５を開いてストレージローラ３４、５３、６
６によってそれぞれベースフィルム２０とレジストフィ
ルム２１、２２とをストレージする点にある。すなわち
所定長のベースフィルム２０とレジストフィルム２１、
２２とをともに真空チャンバ１５内にストレージした状
態で真空チャンバ１５を閉じて減圧する。そして加圧ロ
ーラ１７、１８をギヤードモータ８１によって回転して
連続的に接合動作を行なうようにしている。しかも接合
されたフィルムをストレージローラ３９によってストレ
ージするようにしている。従ってバッチ処理で接合を行
なう従来の真空ラミネート装置に比べて格段に生産性が
向上する。

【００４１】またここで上下一対の加圧ローラ１７、１
８の加圧を大気圧によって行なうようにしている。すな
わちベースフィルム２０とレジストフィルム２１、２２
とを真空チャンバ１５内に導入したならば、上側チャン
バ１４を下降させて上下のチャンバ１４、１３のシール
部材３２を互いに接触させた状態で真空ポンプ７６を作
動させて真空吸引を行なうようにしている。

【００４２】真空チャンバ１５の内部を減圧すると、上
側のチャンバ１４の上面に加わる下向きの圧力と下側の
チャンバ１３の下面に加わる上向きの圧力とによって、
上下のチャンバ１４、１３の接合面が互いに圧着するよ
うな力を大気圧によって受ける。このような大気圧によ
る力によって、接合部のシール部材３２が変形して上側
のチャンバ１４の接合部と下側のチャンバ１３の接合部
とが密着するとともに、加圧ローラ１７、１８が上下の
チャンバ１４、１３が受ける大気の圧力によって互いに
圧着される。このことから、加圧ローラ１７、１８の加
圧力を真空チャンバ１５内の減圧度に応じて調整するこ
とが可能になる。

【００４３】加圧ローラ１７には図５に示すように、そ
の内部にコア１０１とコイル１０２とが埋設されてお
り、コイル１０２に交番電圧を印加すると誘導コイル１
０２が交番磁界を発生する。そして誘導コイル１０２と
同心状に位置するコア１０１は１巻回の電磁誘導線輪を
形成することになり、コア１０１の厚さ方向に円周方向
の短絡電流を誘起し、コア１０１全体が発熱源となって
自己発熱する。これによってローラ１７の加熱が行なわ
れる。なお下側の加圧ローラ１８についても同様の加熱
機構が設けられる。

【００４４】さらに冷却用オイルが軸の一端側の導入口
１０７から通路１０９を通してローラ内部の循環用空洞
１０３に還流し、この後通路１１０から排出口１０８を
通して排出される。このような冷却用オイルの制御を行
なうことによって、加圧ローラ１７の表面の温度を適正
な値に維持することが可能になる。しかも上記の加熱お
よび冷却を真空チャンバ１５の外側から任意に行なうこ
とが可能になり、これによって真空チャンバ１５内で適
正な温度でベースフィルム２０とレジストフィルム２
１、２２との接合が行なわれる。

【００４５】しかもこの加圧ローラ１７は図５に示すよ
うに、とくにその表面ゴム１１５の内側にビーズ層１１
４を備えており、しかも軸受８９の部分に図４に示すシ
リンダ９１によって振動を加えるようにしている。従っ
てこのような振動によって、ベースフィルム２０とレジ
ストフィルム２１、２２とのより完全な接合を可能にし
ている。とくにベースフィルム２０の表面に銅箔等によ
る凹凸が形成されている場合には、この銅箔のエッジの
段差の部分にも確実にレジストフィルム２１、２２を接
合させることが可能になる。

【００４６】またこの真空ラミネート装置は、とくに図
２、図３、および図６に示すように、真空チャンバ１５
内において上下のレジストフィルム２１、２２の表面か
ら剥離紙５９、７３をそれぞれ剥離するようにしてお
り、真空チャンバ１５と連通するサイドチャンバ５７、
７１の離型紙巻取りローラ５８、７２によって巻取るよ
うにしている。すなわち真空雰囲気中で離型紙５９、７
３の巻取りを行なうようにしているために、離型紙５
９、７３の剥離の際に静電気が発生することがない。

【００４７】またこの真空ラミネート装置は、とくに図
１から明らかなように、上下のレジストフィルム２１、
２２の供給ローラ４７、６１をそれぞれ真空チャンバ１
５の外側に配置している。すなわち真空チャンバ１５内
にはストレージローラ５３、６６によってストレージさ
れる長さだけしかレジストフィルム２１、２２が導入さ
れるにすぎない。このようにレジストフィルム２１、２
２を巻装した供給ローラ４７、６１をそれぞれ真空チャ
ンバ１５の外側に配置するようにしているために、レジ
ストフィルム２１、２２が真空チャンバ１５内の熱で劣
化することが防止される。

【００４８】またこのラミネート装置は、ベースフィル
ム２０およびレジストフィルム２１、２２が何れも静止
する部材との間で摩擦を起して擦られることがないよう
にしている。従ってベースフィルム２０やレジストフィ
ルム２１、２２が擦れてゴミを発生する問題がない。

【００４９】次に別の実施の形態を図７によって説明す
る。この実施の形態はベースフィルム２０のストレージ
手段としてストレージローラ３４に代えてストレージボ
ックス１１８を用いるようにし、上側のレジストフィル
ム２１のストレージ手段としてストレージローラ５３に
代えてストレージボックス１２６を用いるようにし、下
側のレジストフィルム２２のストレージ手段としてスト
レージローラ６６に代えてストレージボックス１３０を
用いるようにしている。また接合フィルムのストレージ
手段としてストレージローラ３９に代えてストレージボ
ックス１２２を用いるようにしている。

【００５０】ここでストレージボックス１１８はその入
口側の部分に一対の押込みローラ１１９を備えるととも
に、出口側がスリット１２０になっている。またストレ
ージボックス１２２はその入口部分に一対の押込みロー
ラ１２３を備え、出口がスリット１２４から構成されて
いる。同様にストレージボックス１２６はその入口部分
に一対の押込みローラ１２７を備え、また出口がスリッ
ト１２８から構成されている。さらにストレージボック
ス１３０はその入口に一対の押込みローラ１３１を備
え、出口がスリット１３２になっている。

【００５１】従ってこのような実施の形態によれば、真
空チャンバ１５が開かれて大気開放になった状態におい
てベースフィルム２０がストレージボックス１１８に蓄
えられる。また上下のレジストフィルム２１、２２がそ
れぞれストレージボックス１２６、１３０に蓄えられ
る。そしてこの状態で真空チャンバ１５が閉じられ、真
空ポンプ７６によって減圧される。

【００５２】そして所定の減圧下においてギヤードモー
タ８１によって加圧ローラ１７、１８を駆動し、ベース
フィルム２０の上下面にそれぞれレジストフィルム２
１、２２を接合する。そして接合された接合フィルムを
ストレージボックス１２２に蓄える。そして所定の長さ
の接合動作を終了したならば、ここで真空チャンバ１５
を開き、接合フィルムをストレージボックス１２２から
取出すとともに、新たなベースフィルム２０とレジスト
フィルム２１、２２とをストレージボックス１１８、１
２６、１３０に蓄え、次のサイクルの動作を行なう。

【００５３】この実施の形態によれば、ストレージロー
ラ３４、５３、６６、３９によるストレージに比べて、
フィルムのストレージ量が増加するために、１タクトタ
イムの接合フィルムの生産量がさらに増加し、生産性が
さらに向上する。

【００５４】次にさらに別の実施の形態を図８〜図１１
によって説明する。なおこの実施の形態において、上記
第１の実施の形態と同一の構成の部分については同一の
符号を付すとともに、その説明を省略する。この実施の
形態の特徴は、プリント基板５０の上面と下面とにそれ
ぞれラミネートフィルム２１、２２を接合するようにし
たものである。

【００５５】ここでプリント基板１５０は図８に示すチ
ャンバ１５の左側に配されている受け台１５７によって
供給される。これに対して上下のラミネートフィルム２
１、２２はそれぞれ供給ローラ４７、６１から供給され
るようになっている。上側のラミネートフィルム２１は
案内ローラ４８によって案内されてチャンバ１５内に導
入されるとともに、案内ローラ５２を経てストレージロ
ーラ５３に掛渡され、このストレージローラ５３によっ
てストレージが行なわれる。一方下側のラミネートフィ
ルム２２は案内ローラ６２によって真空チャンバ１５内
に導入されるとともに、この真空チャンバ１５内におい
て案内ローラ６５、６７によってストレージローラ６６
に掛渡される。

【００５６】ストレージローラ５３、６６によってスト
レージされる段階において、上下のラミネートフィルム
２１、２２にはそれぞれ離型紙５９、７３が接合されて
いる。上側のラミネートフィルム２１は案内ローラ５５
と左側の加圧ローラ１７との間において斜め４５度の折
曲げ線によって折曲げられ、側方に引出されるととも
に、図９に示すサイドチャンバ５７内の離型紙巻取りロ
ーラ５８によって巻取られる。これに対して下側のラミ
ネートフィルム２２は、ガイドローラ６７と左側の加圧
ローラ１８との間の区間において、斜め４５度の折曲げ
線を介して折曲げて離型紙７３が剥離され、図９に示す
下側のサイドチャンバ７１内の離型紙巻取りローラ７２
によって巻取られる。

【００５７】離型紙５９、７３がそれぞれ剥離された上
下のラミネートフィルム２１、２２は加圧ゾーンに至
り、この加圧ゾーンにおいて上下のベルト１５１、１５
２によってプリント基板１５０の上面と下面とにそれぞ
れ加圧されるようになっている。すなわちここではベル
ト式の加圧機構を備えている。上側のベルト１５１は左
右一対の加圧ローラ１７間に掛渡されるとともに、これ
らの加圧ローラ１７間において補助ローラ１５３によっ
て押圧されるようになっている。そしてベルト１５１を
押えるためのテンションローラ１５５が上から押圧ベル
ト１５１を押圧するようにしている。

【００５８】これに対して下側のベルト１５２は左右一
対の加圧ローラ１８間に掛渡されるとともに、これらの
ローラ１８間において補助ローラ１５４によってベルト
１５２が上方へ押されるようになっている。またベルト
１５２はテンションローラ１５６によって適正なテンシ
ョンに維持されるようになっている。

【００５９】受け台１５７によって供給されるプリント
基板１５０はストレージローラ５３、６６によってそれ
ぞれストレージされる上下のラミネートフィルム２１、
２２間に挟まれた状態で加圧ゾーンに供給され、上下の
加圧ベルト１５１、１５２によって加圧される。なおこ
のときに上下の加圧ローラ１７、１８によって加圧が行
なわれる。これによってプリント基板１５０の上下面に
それぞれラミネートフィルム２１、２２の接合が行なわ
れる。そしてラミネートフィルム２１、２２が接合され
たプリント基板１５０は図８に示すように、下流側の加
圧ローラ１７、１８を出たところでＶ字状に屈曲した状
態でストレージされる。

【００６０】加圧手段を構成する加圧ベルト１５１、１
５２は図１０に示すように、ステンレス鋼板１６０の表
面にシリコンゴム１６１を接合したものであって、この
ような帯状材をエンドレスに結合したベルトから構成さ
れている。このようなベルト１５１、１５２によってプ
リント基板１５０に対してラミネートフィルム２１、２
２を接合すると、ステンレス鋼板１６０の表面に形成さ
れているシリコンゴム１６１の層によってプリント基板
１５０の表面の配線パターン１６２間の段差の部分に確
実にラミネートフィルム２１、２２を接合することが可
能になり、極めて品質の高いラミネートが達成される。

【００６１】一般にローラによるラミネートを行なう
と、ローラの表面の弾性層の変形によってラミネートフ
ィルム２１、２２がしごかれるとともに、中心に対して
円周方向にずれるようになり、このためにフィルム２
１、２２に対して送り方向の力が作用し、ラミネートフ
ィルム２１、２２が延伸する。これに対して押圧ベルト
１５１、１５２によるラミネートは、これらのベルト１
５１、１５２がプリント基板１５０に対して圧着方向の
力しか付加しないために、ラミネートフィルム２１、２
２が送り方向に延伸されることがない。しかもベルト１
５１、１５２の表面のシリコンゴム層１６１によってラ
ミネートフィルム２１、２２がプリント基板１５０の配
線パターン１６２から成る凹凸に忠実になじむようにな
る。これによって高品質のラミネート構造を有するプリ
ント基板１５０が生産される。

【００６２】しかも上記のラミネートフィルム２１、２
２の接合が、真空チャンバ１５を閉じた状態でストレー
ジローラ５３、６６からラミネートフィルム２１、２２
を供給しながらプリント基板１５０の表面に連続的に接
合するとともに、接合されたプリント基板１５０をチャ
ンバ１５内においてラミネートフィルム２１、２２で連
結された状態でＶ字状にストレージしているために、生
産性の高いラミネート装置が提供される。

【００６３】

【発明の効果】本願の主要な発明は、真空チャンバ内に
おいて減圧下でベースフィルム上にラミネートフィルム
を積層して接合するラミネート装置において、ベースフ
ィルムとラミネートフィルムとを積層した状態で加圧す
る加圧手段と、ベースフィルムを真空チャンバの外から
引込んで真空チャンバ内でストレージするベースフィル
ムのストレージ手段と、ラミネートフィルムを真空チャ
ンバの外から引込んで真空チャンバ内でストレージする
ラミネートフィルムのストレージ手段と、ベースフィル
ムとラミネートフィルムとが接合された接合フィルムを
真空チャンバ内でストレージする接合フィルムのストレ
ージ手段と、を具備し、真空チャンバを閉じてベースフ
ィルムのストレージ手段から引出されるベースフィルム
とラミネートフィルムのストレージ手段から引出される
ラミネートフィルムとを連続的に加圧手段によって加圧
するとともに、該加圧によって接合された接合フィルム
を接合フィルムのストレージ手段に順次ストレージする
ようにしたものである。

【００６４】従ってこのようなラミネート装置によれ
ば、真空チャンバを閉じた状態でストレージ手段から引
出されるベースフィルムとラミネートフィルムとを連続
的に加圧手段によって加圧することによって接合フィル
ムを得ることが可能になる。従って１タクトタイムで得
られる接合フィルムの長さが従来の間欠型のバッチ処理
の真空ラミネート装置に比べて大幅に増加し、生産性の
高いラミネート装置が提供される。

【００６５】本願の別の発明は、真空チャンバ内におい
て減圧下で基板上にラミネートフィルムを積層して接合
するラミネート装置において、基板とラミネートフィル
ムとを積層した状態で加圧する加圧手段と、ラミネート
フィルムを真空チャンバの外から引込んで真空チャンバ
内でストレージするラミネートフィルムのストレージ手
段と、を具備し、ラミネートフィルムのストレージ手段
から引出されるラミネートフィルムを基板に対して連続
的に加圧手段によって加圧しながら積層して接合するよ
うにしたものである。

【００６６】従ってこのようなラミネート装置によれ
ば、真空チャンバを閉じた状態でストレージ手段から引
出されるラミネートフィルムを基板上に連続的に積層し
て接合することが可能になる。従って基板に対するラミ
ネートフィルムの接合を効率的に行なうことが可能な生
産性の高いラミネート装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】真空ラミネート装置の全体の構造を示す縦断面
図である。

【図２】真空ラミネート装置の上側のチャンバの横断面
図である。

【図３】同真空ラミネート装置の出口側から見た縦断面
図である。

【図４】加圧ローラの部分の取付けを示す真空ラミネー
ト装置の縦断面図である。

【図５】加圧ローラの縦断面図である。

【図６】フィルムの接合の状態を示す要部斜視図であ
る。

【図７】別の実施の形態の真空ラミネート装置の要部縦
断面図である。

【図８】別の実施の形態の真空ラミネート装置の全体の
構造を示す縦断面図である。

【図９】同真空ラミネート装置の出口側から見た縦断面
図である。

【図１０】加圧ベルトの要部拡大断面図である。

【図１１】加圧ベルトによるラミネートフィルムの基板
に対する接合の動作を示す要部拡大断面図である。

【符号の説明】

１０‥‥ベース、１１‥‥支持脚、１３‥‥下側チャン
バ、１４‥‥上側チャンバ、１５‥‥真空チャンバ、１
７‥‥加圧ローラ（上）、１８‥‥加圧ローラ（下）、
２０‥‥ベースフィルム、２１‥‥レジストフィルム
（上）、２２‥‥レジストフィルム（下）、２５‥‥供
給ローラ、２６‥‥ガイドローラ、２７‥‥剥離ロー
ラ、２８、２９‥‥ガイドローラ、３０‥‥離型紙、３
２‥‥シール部材、３３‥‥ガイドローラ、３４‥‥ス
トレージローラ、３５‥‥ガイドローラ、３８‥‥ガイ
ドローラ、３９‥‥ストレージローラ、４０、４１‥‥
ガイドローラ、４３‥‥排出ローラ（上）、４４‥‥排
出ローラ（下）、４７‥‥供給ローラ、４８‥‥ガイド
ローラ、４９‥‥導入口、５０‥‥シャッタ、５１、５
２‥‥ガイドローラ、５３‥‥ストレージローラ、５
４、５５‥‥ガイドローラ、５７‥‥サイドチャンバ
（上）、５８‥‥離型紙巻取りローラ、５９‥‥離型
紙、６１‥‥供給ローラ、６２‥‥ガイドローラ、６３
‥‥導入口、６４‥‥シャッタ、６５‥‥ガイドロー
ラ、６６‥‥ストレージローラ、６７、６８‥‥ガイド
ローラ、７１‥‥サイドチャンバ（下）、７２‥‥離型
紙巻取りローラ、７３‥‥離型紙、７５‥‥吸引パイ
プ、７６‥‥真空ポンプ、７７‥‥接続パイプ、７８‥
‥給気弁、８１‥‥ギヤードモータ、８２‥‥プーリ、
８３‥‥プーリ、８４‥‥タイミングベルト、８７、８
８‥‥貫通穴、８９、９０‥‥軸受、９１‥‥シリン
ダ、９２‥‥ピストンロッド、９３‥‥押圧板、９４‥
‥ロッド、９５‥‥圧縮コイルばね、９９‥‥支軸、１
００‥‥フランジ、１０１‥‥コア、１０２‥‥コイ
ル、１０３‥‥循環用空洞、１０５‥‥中心孔、１０６
‥‥栓、１０７‥‥導入口、１０８‥‥排出口、１０
９、１１０‥‥通路、１１３‥‥金属ロール部、１１４
‥‥ビーズ層、１１５‥‥表面ゴム、１１８‥‥ストレ
ージボックス、１１９‥‥押込みローラ、１２０‥‥ス
リット、１２２‥‥ストレージボックス、１２３‥‥押
込みローラ、１２４‥‥スリット、１２６‥‥ストレー
ジボックス、１２７‥‥押込みローラ、１２８‥‥スリ
ット、１３０‥‥ストレージボックス、１３１‥‥押込
みローラ、１３２‥‥スリット、１５０‥‥プリント基
板、１５１‥‥押圧ベルト（上）、１５２‥‥押圧ベル
ト（下）、１５３‥‥補助ローラ（上）、１５４‥‥補
助ローラ（下）、１５５‥‥テンションローラ（上）、
１５６‥‥テンションローラ（下）、１５７、１５８‥
‥受け台、１６０‥‥ステンレス鋼板、１６１‥‥シリ
コンゴム、１６２‥‥配線パターン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ２９Ｌ 9:00 Ｂ２９Ｌ 9:00 Ｆターム(参考） 2H025 AB11 AB15 AC01 AD01 BC42 EA08 4F211 AD03 AD05 AD08 AG01 AG03 AH36 AM28 SA07 SC05 SD01 SH06 SH28 SJ01 SJ06 SJ13 SJ15 SJ26 SJ31 SP04 SP06 SP17 SP30 SP36 SP41 5E314 AA26 BB02 BB11 BB12 EE03 FF06 GG24 5E339 AA02 AB02 BC02 CE12 CE16 GG10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空チャンバ内において減圧下でベースフ
ィルム上にラミネートフィルムを積層して接合するラミ
ネート装置において、前記ベースフィルムと前記ラミネートフィルムとを積層
した状態で加圧する加圧手段と、前記ベースフィルムを前記真空チャンバの外から引込ん
で真空チャンバ内でストレージするベースフィルムのス
トレージ手段と、前記ラミネートフィルムを前記真空チャンバの外から引
込んで前記真空チャンバ内でストレージするラミネート
フィルムのストレージ手段と、前記ベースフィルムと前記ラミネートフィルムとが接合
された接合フィルムを真空チャンバ内でストレージする
接合フィルムのストレージ手段と、を具備し、前記真空チャンバを閉じて前記ベースフィル
ムのストレージ手段から引出される前記ベースフィルム
と前記ラミネートフィルムのストレージ手段から引出さ
れる前記ラミネートフィルムとを連続的に前記加圧手段
によって加圧するとともに、該加圧によって接合された
接合フィルムを前記接合フィルムのストレージ手段に順
次ストレージすることを特徴とするラミネート装置。
【請求項２】前記ベースフィルムのストレージ手段、前
記ラミネートフィルムのストレージ手段、および前記接
合フィルムのストレージ手段の内の少なくとも１つが中
心位置が移動するストレージローラから構成され、スト
レージローラの中心位置の移動に伴う経路長の変化によ
って前記ベースフィルム、前記ラミネートフィルム、ま
たは前記接合フィルムのストレージが行なわれることを
特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項３】前記ベースフィルムのストレージ手段、前
記ラミネートフィルムのストレージ手段、および前記接
合フィルムのストレージ手段の内の少なくとも１つが前
記ベースフィルム、前記ラミネートフィルム、または前
記接合フィルムをジグザグに屈曲させてストレージする
ストレージボックスから構成されることを特徴とする請
求項１に記載のラミネート装置。
【請求項４】前記真空チャンバがそれぞれ側壁を有する
上側チャンバと下側チャンバとから構成され、前記上側
チャンバの接合部と前記下側チャンバの接合部の内の少
なくとも一方にシール手段が設けられ、該シール手段に
よって上側チャンバと下側チャンバとを接合シールして
真空チャンバ内を減圧することにより真空雰囲気を形成
することを特徴とする請求項１に記載のラミネート装
置。
【請求項５】前記加圧手段が上下一対の加圧ローラから
構成され、上側の加圧ローラの両端が前記上側チャンバ
の側壁に回転可能に支持され、下側の加圧ローラの両端
が前記下側チャンバの側壁に回転可能に支持され、前記
真空チャンバを減圧すると前記シール手段が変形して前
記上下一対の加圧ローラが互いに圧接されることを特徴
とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項６】前記加圧手段が上下一対の加圧ローラから
構成され、少なくとも一方の加圧ローラはその内部に加
熱手段と冷却手段とを有することを特徴とする請求項１
に記載のラミネート装置。
【請求項７】前記加熱手段がコイルとコアとから構成さ
れ、コイルに交流電圧を印加すると前記コアが電磁誘導
により発熱することを特徴とする請求項６に記載のラミ
ネート装置。
【請求項８】前記冷却手段が内部に設けられている冷却
用媒体の循環用空洞であって、軸の一端に形成されてい
る導入口から冷却用媒体が前記循環用空洞に導入され、
軸の他端に形成されている排出口から排出されることを
特徴とする請求項６に記載のラミネート装置。
【請求項９】前記ラミネートフィルムに接合されている
離型紙を剥離する剥離手段を前記真空チャンバ内に備
え、前記ラミネートフィルムのストレージ手段の下流側
であって前記加圧手段の上流側で剥離紙を剥離すること
を特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項１０】前記ベースフィルムが回路基板を構成す
るフレキシブルフィルムであって、前記ラミネートフィ
ルムがレジストフィルムであることを特徴とする請求項
１に記載のラミネート装置。
【請求項１１】真空チャンバ内において減圧下で基板上
にラミネートフィルムを積層して接合するラミネート装
置において、前記基板と前記ラミネートフィルムとを積
層した状態で加圧する加圧手段と、前記ラミネートフィ
ルムを前記真空チャンバの外から引込んで前記真空チャ
ンバ内でストレージするラミネートフィルムのストレー
ジ手段と、を具備し、前記ラミネートフィルムのストレ
ージ手段から引出される前記ラミネートフィルムを前記
基板に対して連続的に前記加圧手段によって加圧しなが
ら積層して接合することを特徴とするラミネート装置。
【請求項１２】前記ラミネートフィルムのストレージ手
段が中心位置が移動するストレージローラから構成さ
れ、ストレージローラの中心位置の移動に伴う経路長の
変化によって前記ラミネートフィルムのストレージが行
なわれることを特徴とする請求項１１に記載のラミネー
ト装置。
【請求項１３】前記ラミネートフィルムが接合された基
板が前記ラミネートフィルムによって連結された状態で
折畳まれて前記チャンバ内にストレージされることを特
徴とする請求項１１に記載のラミネート装置。
【請求項１４】ベースフィルムまたは基板にラミネート
フィルムを積層して接合するラミネート装置において、
前記ラミネートフィルムを前記ベースフィルムまたは前
記基板に対して圧着する加圧手段がベルトから構成され
ることを特徴とするラミネート装置。
【請求項１５】加圧手段を構成するベルトが基材の表面
に弾性層を形成した帯状材から成り、該帯状材をエンド
レスに連結したことを特徴とする請求項１４に記載のラ
ミネート装置。
【請求項１６】前記ベルトが一対の加圧ローラ間に掛渡
されるように張設されるとともに、前記一対のベルト間
において補助ローラで前記ベルトを押えるようにしたこ
とを特徴とする請求項１４に記載のラミネート装置。