CN111710621A - 贴膜方法及贴膜机 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种贴膜方法及贴膜机。贴膜方法，包括如下步骤：将待贴膜产品放置于第二压膜台；向待贴膜产品的正上方输送干膜；第一压膜台向第二压膜台运动并与第二压膜台密封连接，且使得待贴膜产品位于第一压膜台与第二压膜台之间；抽取第一压膜台与第二压膜台之间的空气；压紧组件将待贴膜产品与干膜压紧贴合。第一压膜台与第二压膜台之间实现密封连接；抽取第一压膜台与第二压膜台之间的空气，使得第一压膜台与第二压膜台之间形成接近真空的状态；进而避免了干膜贴附于待贴膜产品后待贴膜产品与干膜之间存在气泡，提升了干膜的贴膜效果。

Description

贴膜方法及贴膜机
技术领域
本发明涉及贴膜领域，尤其涉及一种贴膜方法及贴膜机。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
晶圆等产品的生产过程中，需要对成品进行贴膜处理，也即将干膜贴附于晶圆等产品的表面，现有的贴膜方式的贴合效果较差，晶圆与干膜之间容易存在气泡。
发明内容
本发明的目的在于提供一种贴膜方法及贴膜机，旨在解决现有技术中，晶圆与干膜之间容易存在气泡的问题。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
贴膜方法，包括如下步骤：
S100、将待贴膜产品放置于第二压膜台；
S200、向待贴膜产品的正上方输送干膜；
S300、第一压膜台向第二压膜台运动并与第二压膜台密封连接，且使得待贴膜产品位于第一压膜台与第二压膜台之间；
S400、抽取第一压膜台与第二压膜台之间的空气；
S500、压紧组件将待贴膜产品与干膜压紧贴合。
进一步地，在步骤S500之后，还包括以下步骤：
S600、第一压膜台远离第二压膜台；
S700、切除待贴膜产品的边界外的干膜。
进一步地，在步骤S700之后，还包括以下步骤：
S800、收取边界外的干膜被切除的待贴膜产品。
进一步地，在步骤S700之后，还包括以下步骤：
S900、收集被切除的干膜。
进一步地，在步骤S300与步骤S500之间，还包括以下步骤：
S350、对干膜进行加热；
S450、将第一压膜台锁紧固定。
进一步地，步骤S350具体为：第一压膜台内的第一加热组件和/或第二压膜台内的第二加热组件对干膜进行加热。
进一步地，步骤S200具体包括以下步骤：
S201原料膜供应组件向分膜组件输送原料膜；
S202、分膜组件伸入第一压膜台与第二压膜台之间的间隙；
S203、分膜组件将原料膜的干膜与底膜分离；
S204、拉平组件将干膜压住，分膜组件离开第一压膜台与第二压膜台之间的间隙，使得干膜停留于待贴膜产品的正上方；
S205、拉平组件将干膜拉平。
进一步地，步骤S500具体为：气泵通过压膜气管向压膜气囊充气，压膜气囊充气后体积膨胀并将干膜紧密压合于待贴膜产品上。
进一步地，步骤S700具体为：移动驱动组件带动切割组件伸入第一压膜台与第二压膜台之间的间隙，切割组件沿着待贴膜产品的边界将干膜切除。
贴膜机，用于实施上述的贴膜方法，包括贴膜装置、以及用于为所述贴膜装置供应干膜的放膜装置；所述贴膜装置包括第一压膜台、与所述第一压膜台相对设置且用于放置待贴膜产品的第二压膜台、用于带动所述第一压膜台相对所述第二压膜台移动以完成压膜动作的压膜驱动机构、设于所述第一压膜台的压紧组件、设于所述第二压膜台且用于与所述第一压膜台相接触的密封圈、真空泵、以及与所述真空泵相连的真空管；所述第二压膜台开设有真空孔，所述真空孔与所述真空管相通，所述真空孔位于所述密封圈的边界范围内；所述放膜装置包括送膜滑动座、设于所述送膜滑动座且用于供应原料膜的原料膜供应组件、以及设于所述送膜滑动座且用于将原料膜分离为干膜与底膜的分膜组件。
本发明的有益效果：第一压膜台与第二压膜台之间实现密封连接；抽取第一压膜台与第二压膜台之间的空气，使得第一压膜台与第二压膜台之间形成接近真空的状态；进而避免了干膜贴附于待贴膜产品后待贴膜产品与干膜之间存在气泡，提升了干膜的贴膜效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的实施例中贴膜方法的流程框图；
图2为本发明的实施例中贴膜机的剖视图；
图3为图2中A处的局部放大图；
图4为本发明的实施例中贴膜装置的结构示意图；
图5为本发明的实施例中贴膜装置的剖视图；
图6为本发明的实施例中分膜组件的结构示意图；
图7为本发明的实施例中送膜辅助机构的结构示意图；
图8为本发明的实施例中切膜装置的结构示意图；
图9为本发明的实施例中切割组件的结构示意图；
图中：
400、原料膜；4001、干膜；40011、废膜；4002、底膜；500、贴膜加工腔；600、晶圆；
1、贴膜装置；11、第一压膜台；12、第二压膜台；121、真空孔；13、压膜驱动机构；131、压膜升降杆；132、压膜升降板；1321、第一锁紧凸块；133、压膜升降气缸；134、压膜固定板；1341、第二锁紧凸块；135、压膜导杆；14、压紧组件；141、压膜气囊；142、压膜气管；15、密封圈；16、真空管；17、锁紧驱动件；18、锁紧块；181、锁紧让位槽；19、压膜导轨；
2、放膜装置；21、送膜滑动座；22、原料膜供应组件；23、分膜组件；231、分膜框体；232、送膜张紧辊；233、分膜辊；24、分膜升降驱动组件；241、分膜连接杆；242、分膜固定板；243、分膜升降杆；244、分膜升降板；245、分膜升降驱动件；25、送膜滑轨；26、底膜收卷组件；27、废膜收卷组件；28、送膜辅助机构；281、辅助安装座；282、辅助连接杆；283、辅助固定板；284、辅助升降杆；285、辅助升降座；286、辅助升降板；287、第一辅助导辊；2871、拉平柔性件；288、辅助升降驱动件；289、第二辅助导辊；29、拉平组件；291、拉平导轨；292、拉平滑块；293、拉平气缸；294、拉平压板；
3、切膜装置；31、切割组件；311、切割固定台；312、切刀组件；3121、刀座；3122、刀具；313、切割驱动组件；314、安装板；315、破膜驱动组件；3151、转动块；3152、驱动气缸；32、移动驱动组件；321、支撑台；322、第一驱动模组；323、第二驱动模组；324、第三驱动模组。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
以下结合具体实施例对本发明的实现进行详细的描述。
如图1及图2-图9所示，本发明实施例提出了一种贴膜方法，包括如下步骤：
S100、将待贴膜产品放置于第二压膜台12；
S200、向待贴膜产品的正上方输送干膜4001；
S300、第一压膜台11向第二压膜台12运动并与第二压膜台12密封连接，且使得待贴膜产品位于第一压膜台11与第二压膜台12之间；第一压膜台11与第二压膜台12之间可通过密封圈15实现密封连接；
S400、抽取第一压膜台11与第二压膜台12之间的空气；压膜驱动机构13带动第一压膜台11移动并与第二压膜台12上的密封圈15相抵接实现二者之间的密封连接，真空泵通过真空管16抽取第一压膜台11与第二压膜台12之间的空气，使得第一压膜台11与第二压膜台12之间形成接近真空的状态；
S500、压紧组件14将待贴膜产品与干膜4001压紧贴合；且由于第一压膜台11与第二压膜台12之间形成接近真空的状态，避免了干膜4001贴附于待贴膜产品后待贴膜产品与干膜4001之间存在气泡，提升了干膜4001的贴膜效果。
进一步地，请参阅图1及图2-图9，作为本发明提供的贴膜方法的另一种具体实施方式，在步骤S500之后，还包括以下步骤：
S600、第一压膜台11远离第二压膜台12；此时第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙形成贴膜加工腔500。
S700、切除待贴膜产品的边界外的干膜4001；由于干膜4001较大，需要将待贴膜产品的边界外的干膜4001切除。
进一步地，请参阅图1及图2-图9，作为本发明提供的贴膜方法的另一种具体实施方式，在步骤S700之后，还包括以下步骤：
S800、收取边界外的干膜4001被切除的待贴膜产品。上下料驱动组件驱动第二压膜台12沿压膜导轨19滑动至下料位置，人工或机械手将完成贴膜且切除了多余干膜4001的待贴膜产品取下，提升了下料的速率。
进一步地，请参阅图1及图2-图9，作为本发明提供的贴膜方法的另一种具体实施方式，在步骤S700之后，还包括以下步骤：
S900、收集被切除的干膜4001。被切除的干膜4001形成废膜40011，废膜收卷组件27将废膜40011收卷进行收集。
进一步地，请参阅图1及图2-图9，作为本发明提供的贴膜方法的另一种具体实施方式，在步骤S300与步骤S500之间，还包括以下步骤：
S350、对干膜4001进行加热；干膜4001与底膜4002分离后，干膜4001通过自身的胶水与待贴膜产品粘接，为了避免干膜4001与底膜4002分离后胶水硬化影响干膜4001贴附于待贴膜产品的效果，对干膜4001进行加热，以缓解胶水的硬化。
S450、将第一压膜台11锁紧固定；压紧组件14对干膜4001施加压力将干膜4001与待贴膜产品压紧贴覆，压紧组件14对干膜4001施加压力时，放置于第二压膜台12的干膜4001对压紧组件14施加反作用力，并使得与第一压膜台11相连的压紧组件14具有远离干膜4001的趋势，但由于锁紧驱动件17带动锁紧块18伸出限制了压膜升降板132沿压膜升降杆131的轴线方向运动，也即对第一压膜台11进行了锁紧固定，因此通过压膜升降杆131与压膜升降板132相连的第一压膜台11不会移动，也即压紧组件14受到反作用力后不会移动，使得压紧组件14持续对干膜4001施加较大的且稳定的压力，保证了贴膜的效果。
进一步地，请参阅图1及图2-图9，作为本发明提供的贴膜方法的另一种具体实施方式，步骤S350具体为：第一压膜台11内的第一加热组件和/或第二压膜台12内的第二加热组件对干膜4001进行加热。第一加热组件包括第一加热件、与第一加热件靠近第二压膜台12的一侧相连的第一导热件、以及与第一加热件远离第一导热件的一侧相连的第一隔热件；第一加热件发热产生热量通过第一导热件传导至压膜气囊141并对干膜4001加热。在第一加热件远离第一导热件的一侧设置第一隔热件，避免第一加热件产生的热量通过传递至其他位置，进而提升热量的利用率。第二加热组件包括第二加热件、与第二加热件靠近第一压膜台11的一侧相连的第二导热件、以及与第二加热件远离第二导热件的一侧相连的第二隔热件；第二加热组件对第二压膜台12进行加热，进而配合第一压膜台11内的第一加热组件对待贴膜产品及干膜4001加热，以缓解胶水的硬化。第二加热件发热产生热量通过第二导热件传导至第二压膜台12，使得放置在第二压膜台12上的待贴膜产品及干膜4001受热。在第二加热件远离第一压膜台11的一侧设置第二隔热件，避免热量向远离第一压膜台11的方向传递，提升热量的利用率。
进一步地，请参阅图1及图2-图9，作为本发明提供的贴膜方法的另一种具体实施方式，步骤S200具体包括以下步骤：
S201原料膜供应组件22向分膜组件23输送原料膜400；
S202、分膜组件23伸入第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙；
S203、分膜组件23将原料膜400的干膜4001与底膜4002分离；
S204、拉平组件29将干膜4001压住，分膜组件23离开第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙，使得干膜4001停留于待贴膜产品的正上方；也即干膜4001与底膜4002在第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙内进行分离，相对于先分离再进入第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙进行贴膜，减少了干膜4001暴露于空气中的时间，避免了干膜4001上的胶水的过度硬化，进而确保了后续贴膜的稳固性。
S205、拉平组件29将干膜4001拉平，避免褶皱的干膜4001与待贴膜产品贴合接触而产生不良品。拉平组件29将褶皱的干膜4001拉平的具体过程为：拉平气缸293带动拉平压板294移动压住干膜4001，使得干膜4001位于拉平压板294与第一辅助导辊287之间，两个拉平组件29上的拉平驱动件分别带动两个拉平气缸293向相反的方向运动，干膜4001相对的两侧受到拉力，进而实现褶皱的干膜4001被拉平。
进一步地，请参阅图1及图2-图9，作为本发明提供的贴膜方法的另一种具体实施方式，步骤S500具体为：气泵通过压膜气管142向压膜气囊141充气，压膜气囊141充气后体积膨胀并将干膜4001紧密压合于待贴膜产品上。压紧组件14对干膜4001与待贴膜产品的压紧过程为：气泵通过压膜气管142向压膜气囊141充气，压膜气囊141充气后体积膨胀并将干膜4001紧密压合于待贴膜产品上，由于压膜气囊141内充满气体，因此压膜气囊141各处对干膜4001及待贴膜产品施加的压力基本相同，使得干膜4001各处均与待贴膜产品较好的贴合，避免了局部贴合效果差的问题，进而提升了将干膜4001压合于待贴膜产品的效果。
进一步地，请参阅图1及图2-图9，作为本发明提供的贴膜方法的另一种具体实施方式，步骤S700具体为：移动驱动组件32带动切割组件31伸入第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙，切割组件31沿着待贴膜产品的边界将干膜4001切除。移动驱动组件32带动切割组件31伸入贴膜加工腔500(第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙)，切割组件31对完成贴膜的待贴膜产品等待切割产品进行切膜，沿着待切割产品的边界将干膜4001切割实现待贴膜产品与干膜4001的分离，也即无需将待贴膜产品及干膜4001拉离上型腔与下型腔之间的间隙即可完成干膜4001的切割，简化了切膜的步骤，提升了切膜的效率。
如图2-图9所示，本发明实施例还提出了一种贴膜机，用于实施上述的贴膜方法，包括贴膜装置1、以及用于为贴膜装置1供应干膜4001的放膜装置2；贴膜装置1包括第一压膜台11、与第一压膜台11相对设置且用于放置待贴膜产品的第二压膜台12、用于带动第一压膜台11相对第二压膜台12移动以完成压膜动作的压膜驱动机构13、设于第一压膜台11的压紧组件14、设于第二压膜台12且用于与第一压膜台11相接触的密封圈15、真空泵、以及与真空泵相连的真空管16；第二压膜台12开设有真空孔121，真空孔121与真空管16相通，真空孔121位于密封圈15的边界范围内；放膜装置2包括送膜滑动座21、设于送膜滑动座21且用于供应原料膜400的原料膜供应组件22、以及设于送膜滑动座21且用于将原料膜400分离为干膜4001与底膜4002的分膜组件23；分膜组件23包括分膜框体231、与分膜框体231转动连接的送膜张紧辊232、以及与分膜框体231转动连接的分膜辊233。
如图2-图9所示，本发明实施例还提出了一种贴膜机，用于实施上述的贴膜方法，包括贴膜装置1、用于为贴膜装置1供应干膜4001的放膜装置2、以及切膜装置3；贴膜装置1包括第一压膜台11、与第一压膜台11相对设置且用于放置待贴膜产品的第二压膜台12、用于带动第一压膜台11相对第二压膜台12移动以完成压膜动作的压膜驱动机构13；切膜装置3包括切割组件31、以及用于带动切割组件31移动以完成对待贴膜产品的边界外的干膜4001进行切割的移动驱动组件32。
在本发明的实施例中，贴膜机的工作过程为：放膜装置2将原料膜400的干膜4001与底膜4002分离并将干膜4001输送至第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙(第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙定义为贴膜加工腔500)并位于第二压膜台12上的待贴膜产品(例如晶圆600)的正上方，压膜驱动机构13带动第一压膜台11靠近第二压膜台12并将干膜4001与晶圆600压紧，使得面积大于晶圆600的表面尺寸的干膜4001与晶圆600粘合，压膜驱动机构13带动第一压膜台11远离第二压膜台12使得第一压膜台11与第二压膜台12之间具有足够的间隙，也即形成上述贴膜加工腔500，移动驱动组件32带动切割组件31伸入贴膜加工腔500，切割组件31沿着晶圆600的边界对干膜4001进行切割，使得贴覆有干膜4001的晶圆600与干膜4001的整体分离，进而实现对产品进行贴膜处理，并将产品边界外的干膜4001切除。
进一步地，请参阅图4-图5，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，贴膜装置1还包括设于第一压膜台11的压紧组件14、设于第二压膜台12且用于与第一压膜台11相接触的密封圈15、真空泵、以及与真空泵相连的真空管16；第二压膜台12开设有真空孔121，真空孔121与真空管16相通，真空孔121位于密封圈15的边界范围内。压膜驱动机构13带动第一压膜台11移动并与第二压膜台12上的密封圈15相抵接，真空泵通过真空管16抽取第一压膜台11与第二压膜台12之间的空气，使得第一压膜台11与第二压膜台12之间形成接近真空的状态，此时压膜驱动机构13可继续带动第一压膜台11将干膜4001与晶圆600压紧(也可直接用第一压膜台11上的压紧组件14对干膜4001及晶圆600施力将干膜4001与晶圆600压紧)，且由于第一压膜台11与第二压膜台12之间形成接近真空的状态，避免了干膜4001贴附于晶圆600后晶圆600与干膜4001之间存在气泡，提升了干膜4001的贴膜效果。
进一步地，请参阅图4，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，压膜驱动机构13包括与第一压膜台11相连的压膜升降杆131、与压膜升降杆131远离第一压膜台11的一端相连的压膜升降板132、活动端与压膜升降板132相连的压膜升降气缸133、以及与压膜升降气缸133的固定端相连的压膜固定板134；压膜驱动机构13还包括设于压膜固定板134的压膜导杆135，压膜升降板132开设有以供压膜导杆135通过的压膜导向孔。压膜升降气缸133带动压膜升降板132移动，进而带动通过压膜升降杆131与压膜升降板132相连的第一压膜台11移动，使得第一压膜台11完成相对第二压膜台12的移动。
进一步地，请参阅图4-图5，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，贴膜装置1还包括设于第一压膜台11的压紧组件14、设于压膜固定板134上的锁紧驱动件17、以及设于锁紧驱动件17的输出端且用于限制压膜升降板132沿压膜升降杆131的轴线方向运动的锁紧块18；锁紧块18开设有锁紧让位槽181；压膜升降板132设有第一锁紧凸块1321；压膜固定板134设有第二锁紧凸块1341；贴膜装置1还包括与第二压膜台12滑动连接的压膜导轨19、以及用于驱动第二压膜台12沿压膜导轨19滑动的上下料驱动组件(可为电机与丝杠副的配合或者气缸)。压膜驱动机构13带动第一压膜台11移动并与靠近第二压膜台12，使得第一压膜台11上的压紧组件14与第二压膜台12上放置于晶圆600的表面的干膜4001接触，此时锁紧驱动件17带动锁紧块18伸出，使得压膜升降板132位于压膜固定板134与锁紧块18之间，压膜升降板132无法沿压膜升降杆131的轴线方向运动，然后压紧组件14对干膜4001施加压力将干膜4001与晶圆600压紧贴覆，压紧组件14对干膜4001施加压力时，放置于第二压膜台12的干膜4001对压紧组件14施加反作用力，并使得与第一压膜台11相连的压紧组件14具有远离干膜4001的趋势，但由于锁紧驱动件17带动锁紧块18伸出限制了压膜升降板132沿压膜升降杆131的轴线方向运动，因此通过压膜升降杆131与压膜升降板132相连的第一压膜台11不会移动，也即压紧组件14受到反作用力后不会移动，使得压紧组件14持续对干膜4001施加较大的且稳定的压力，保证了贴膜的效果。
锁紧驱动件17为锁紧驱动气缸3152，锁紧驱动气缸3152的活塞杆的伸缩带动锁紧块18的移动。锁紧驱动件17带动锁紧块18移动，使得压膜升降板132上的第一锁紧凸块1321进入锁紧块18的锁紧让位槽181内，且同时压膜固定板134上的第二锁紧凸块1341进入锁紧块18的锁紧让位槽181内，第一锁紧凸块1321与第二锁紧凸块1341分别与锁紧让位槽181的相对的两端，也即压膜升降板132上的第一锁紧凸块1321对锁紧块18施力拉力并具有移动的趋势时，压膜固定板134上的第二锁紧凸块1341将锁紧块18抵住，提升锁紧块18对压膜升降板132整体的限位作用。
进一步地，请参阅图5，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，压紧组件14包括设于第一压膜台11的压膜气囊141、与压膜气囊141相通的压膜气管142、以及与压膜气管142相连的气泵。压紧组件142对干膜4001与晶圆600的压紧过程为：气泵通过压膜气管142向压膜气囊141充气，压膜气囊141充气后体积膨胀并将干膜4001紧密压合于晶圆600上，由于压膜气囊141内充满气体，因此压膜气囊141各处对干膜4001及晶圆600施加的压力基本相同，使得干膜4001各处均与晶圆600较好的贴合，避免了局部贴合效果差的问题，进而提升了将干膜4001压合于晶圆600的效果。
进一步地，请参阅图5，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，第一压膜台11具有第一加热腔，第一加热腔内设有第一加热组件；第一加热组件包括第一加热件、与第一加热件靠近第二压膜台12的一侧相连的第一导热件、以及与第一加热件远离第一导热件的一侧相连的第一隔热件；第二压膜台12具有第二加热腔，第二加热腔内设有第二加热组件；第二加热组件包括第二加热件、与第二加热件靠近第一压膜台11的一侧相连的第二导热件、以及与第二加热件远离第二导热件的一侧相连的第二隔热件。干膜4001与底膜4002分离后，干膜4001通过自身的胶水与晶圆600粘接，为了避免干膜4001与底膜4002分离后胶水硬化影响干膜4001贴附于晶圆600的效果，设置第一加热组件对干膜4001进行加热，以缓解胶水的硬化。第一加热件发热产生热量通过第一导热件传导至压膜气囊141并对干膜4001加热。在第一加热件远离第一导热件的一侧设置第一隔热件，避免第一加热件产生的热量通过传递至其他位置，进而提升热量的利用率。在第二压膜台12内设置第二加热组件对第二压膜台12进行加热，进而配合第一压膜台11内的第一加热组件对晶圆600及干膜4001加热，以缓解胶水的硬化。第二加热件发热产生热量通过第二导热件传导至第二压膜台12，使得放置在第二压膜台12上的晶圆600及干膜4001受热。在第二加热件远离第一压膜台11的一侧设置第二隔热件，避免热量向远离第一压膜台11的方向传递，提升热量的利用率。
进一步地，请参阅图6，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，放膜装置2包括送膜滑动座21、设于送膜滑动座21且用于供应原料膜400的原料膜供应组件22、以及设于送膜滑动座21且用于将原料膜400分离为干膜4001与底膜4002的分膜组件23；分膜组件23包括分膜框体231、与分膜框体231转动连接的送膜张紧辊232、以及与分膜框体231转动连接的分膜辊233。原料膜供应组件22用于为分膜组件23输送原料膜400，原料膜400于分膜组件23的分膜辊233处完成分离，原料膜400经过分膜辊233后底膜4002反向运动形成与干膜4001的分离，与底膜4002分离的干膜4001继续运动至贴膜加工腔500，以供与晶圆600的贴合。
进一步地，请参阅图6，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，放膜装置2还包括用于带动分膜组件23沿竖直方向运动的分膜升降驱动组件24；分膜升降驱动组件24包括与送膜滑动座21相连的分膜连接杆241、与分膜连接杆241相连的分膜固定板242、贯穿送膜滑动座21且与送膜滑动座21滑动连接的分膜升降杆243、与分膜升降杆243相连的分膜升降板244、以及设于分膜固定板242的分膜升降驱动件245(可为气缸)；分膜框体231与分膜升降杆243远离分膜升降板244的一端相连，分膜升降板244与分膜升降驱动件245的输出端相连。干膜4001移动过程中，分膜升降驱动件245带动分膜升降板244沿分膜升降杆243的轴线方向做上升运动，与分膜升降杆243的另一端相连的分膜组件23随着分膜升降板244做同步的上升运动，进而带动分膜组件23整体做上升运动，进而将分膜组件23上升至一定的高度，使得被分膜组件23分离出的干膜4001以高于晶圆600的表面的一定距离移动，避免了干膜4001移动时触碰晶圆600进而使得晶圆600偏离贴膜位置的情况发生。待全新的干膜4001位于晶圆600的正上方时，再将分膜组件23整体下降使得干膜4001与晶圆600接触。
进一步地，请参阅图6，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，放膜装置2还包括与送膜滑动座21滑动连接的送膜滑轨25、以及用于驱动送膜滑动座21滑动的送膜滑动驱动组件；放膜装置2还包括设于送膜滑动座21且用于收卷底膜4002的底膜收卷组件26、以及与原料膜供应组件22相配合的废膜收卷组件27。原料膜400包括干膜4001以及覆盖于干膜4001的表面的底膜4002，原料膜400卷绕在原料膜供应组件22上，与干膜4001分离的底膜4002卷绕在底膜收卷组件26上，干膜4001在贴膜加工腔500完成与晶圆600的粘接贴覆后，切割机构可沿晶圆600的边界对干膜4001进行切割，晶圆600脱离干膜4001，干膜4001被切割的部分形成废膜40011并被废膜收卷组件27收卷。原料膜400于分膜辊233处完成分离，原料膜400经过分膜辊233后底膜4002反向运动形成与干膜4001的分离。
送膜滑动驱动组件(可为电机与丝杠副配合或者气缸)带动送膜滑动座21沿送膜滑轨25移动使得分膜组件23进入贴膜加工腔500(第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙)，废膜收卷组件27将干膜4001远离原料膜供应组件22的一端固定，送膜滑动驱动组件带动送膜滑动座21沿送膜滑轨25移动并使得分膜组件23逐渐离开贴膜加工腔500；送膜滑动座21移动的同时，原料膜供应组件22释放原料膜400，且底膜收卷组件26工作收卷底膜4002使得底膜4002与干膜4001分离，由于废膜收卷组件27将干膜4001远离原料膜供应组件22的一端固定，因此干膜4001不会相对贴膜加工腔500移动，因此干膜4001在贴膜加工腔500内完成与底膜4002的分离，当送膜滑动座21上的分膜组件23完全离开贴膜加工腔500后，贴膜加工腔500内的干膜4001均完成了与底膜4002的分离，此时第一压膜台11和第二压膜台12立即动作将干膜4001与晶圆600贴合，减少了干膜4001与底膜4002分离后移动至贴膜加工腔500的时间，避免了干膜4001上胶水的硬化，提升了干膜4001与晶圆600的粘接效果。
进一步地，请参阅图7，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，放膜装置2还包括与原料膜供应组件22相配合的送膜辅助机构28；送膜辅助机构28包括辅助安装座281、与辅助安装座281相连的辅助连接杆282、与辅助连接杆282相连的辅助固定板283、贯穿辅助安装座281且与辅助安装座281滑动连接的辅助升降杆284、与辅助升降杆284的一端相连的辅助升降座285、与辅助升降杆284的另一端相连的辅助升降板286、设于辅助升降座285的第一辅助导辊287、以及设于辅助固定板283且用于带动辅助升降板286沿辅助升降杆284的轴线方向运动的辅助升降驱动件288(可为气缸)。原料膜供应组件22输送的原料膜400经过分膜组件23分离后，干膜4001进入贴膜加工腔500完成与晶圆600的贴合，被局部切除的干膜4001形成废膜40011穿过贴膜加工腔500并经过送膜辅助机构28，送膜辅助机构28将废膜40011整体提升至一定高度(与分膜组件23的高度一致)，使得贴膜加工腔500两端的干膜4001与废膜40011均高于晶圆600一定的高度一定，进一步避免干膜4001与废膜40011移动时接触到晶圆600，也即确保干膜4001以及干膜4001被局部切除形成的废膜40011移动时触碰到晶圆600，避免了晶圆600偏离贴膜位置的情况发生。
进一步地，请参阅图2及图7，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，送膜辅助机构28还包括设于辅助升降座285的第二辅助导辊289，第二辅助导辊289与辅助升降座285转动连接；辅助升降座285上设有相对设置的两个拉平组件29，拉平组件29包括设于辅助升降座285的拉平导轨291、与拉平导轨291滑动连接的拉平滑块292、用于驱动拉平滑块292滑动的拉平驱动件、设于拉平滑块292的拉平气缸293、与拉平气缸293的活动端相连且与第一辅助导辊287相配合的拉平压板294；拉平压板294与第一辅助导辊287相接触的面具有拉平凹槽，第一辅助导辊287设有与拉平压板294相接触的拉平柔性件2871。辅助升降座285还设有与第一辅助导辊287相配合的第二辅助导辊289。干膜4001移动时与第一辅助导辊287的顶部接触，与第二辅助导辊289的底部接触，以绕设的方式穿过第一辅助导辊287和第二辅助导辊289，增加干膜4001移动时的张力。干膜4001(或废膜40011)移动过程中容易存在褶皱的情况，拉平组件29用于将褶皱的干膜4001拉平，具体过程为：拉平气缸293带动拉平压板294移动压住干膜4001，使得干膜4001位于拉平压板294与第一辅助导辊287之间，两个拉平组件29上的拉平驱动件分别带动两个拉平气缸293向相反的方向运动，干膜4001相对的两侧受到拉力，进而实现褶皱的干膜4001被拉平。拉平柔性件2871具有一定的摩擦力，拉平压板294拉平干膜4001时，干膜4001不会沿着第一辅助导辊287滑动，只完成拉平压板294将干膜4001拉平。
于本发明的实施例中，原料膜供应组件22包括第一气涨轴、以及用于驱动第一气涨轴转动的原料膜400供应驱动件(可为电机)；原料膜400缠绕于第一气涨轴上，原料膜400供应驱动件带动第一气涨轴的转动实现第一气涨轴对原料膜400的释放，进而供应原料膜400。底膜收卷组件26包括第二气涨轴、以及用于驱动第二气涨轴转动的底膜4002收卷驱动件(可为电机)；底膜4002缠绕于第二气涨轴上，底膜4002收卷驱动件带动第二气涨轴的转动实现第二气涨轴对底膜4002的收卷。废膜收卷组件27包括第三气涨轴、以及用于驱动第三气涨轴转动的废膜40011收卷驱动件(可为电机)；干膜4001与晶圆600粘覆后被切割机构沿着晶圆600的边界切割，部分被切除的干膜4001形成废膜40011，废膜40011缠绕于第三气涨轴上，废膜40011收卷驱动件带动第三气涨轴转动实现对废膜40011的收卷。
进一步地，请参阅图8，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，移动驱动组件32包括支撑台321、设于支撑台321的第一驱动模组322、与第一驱动模组322的输出端相连的第二驱动模组323、以及与第二驱动模组323的输出端相连的第三驱动模组324；切割组件31包括与第三驱动模组324的输出端相连的切割固定台311、切刀组件312、以及设于切割固定台311且用于驱动切刀组件312完成切割动作的切割驱动组件313(可为现有技术中带动切刀组件312完成直线、圆形或曲线运动以完成切割动作的驱动件)。切膜装置3的切膜过程为：移动驱动组件32带动切割组件31伸入贴膜加工腔500(第一压膜台11与第二压膜台12之间的间隙)，切割组件31对完成贴膜的晶圆600等待切割产品进行切膜，沿着待切割产品的边界将干膜4001切割实现晶圆600与干膜4001的分离，也即无需将晶圆600及干膜4001拉离上型腔与下型腔之间的间隙即可完成干膜4001的切割，简化了切膜的步骤，提升了切膜的效率。具体地，可为第二驱动模组323带动第三驱动模组324伸入贴膜加工腔500，使得与第三驱动模组324的输出端相连的切割组件31位于贴膜加工腔500，并完成对晶圆600的边界的干膜4001的切割，第一驱动模组322可带动第二驱动模组323至多个加工位，因此对于多个晶圆600同时在贴膜加工腔500完成贴膜的情况，可依次对多个晶圆600完成切膜。
进一步地，请参阅图9，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，切割组件31还包括设于切割驱动组件313与切刀组件312之间的安装板314，切刀组件312与安装板314转动连接；切割组件31还包括用于驱动切刀组件312相对安装板314转动以使切刀组件312与待切产品的边界抵接的破膜驱动组件315。切割组件31在初始状态下，切刀组件312向远离待切割产品的方向倾斜，且切刀组件312位于干膜4001的上方且间隙较小；破膜驱动组件315带动切刀组件312向靠近待切割产品的方向转动，切刀组件312转动过程具有水平及竖直方向的两个分运动，竖直分运动使得切刀组件312将干膜4001切破并使得切刀组件312的端部低于带切割产品，水平分运动使得切刀组件312向靠近待切割产品的方向运动直至与待切割产品的边界抵接；因此可实现切刀组件312在低于低于带切割产品后再与待切割产品的边界抵接，不会对待切割产品造成损坏。相对于切刀组件312直接从竖直方向向下运动将干膜4001切破并与待切割产品的边界抵接的方式，能避免切刀组件312直接从竖直方向向下运动时将待切割产品损坏。安装板314可通过连接板与切割驱动组件313的输出端相连。
进一步地，请参阅图9，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，切刀组件312包括与安装板314转动连接的刀座3121、以及固定安装于刀座3121的刀具3122；刀座3121相对安装板314转动时带动刀具3122转动。切刀组件312也可为切刀直接与安装板314转动连接。刀具3122上设有倾斜的刀刃，刀具3122上设有与刀座3121相连多个安装位置，以实现刀具3122伸出刀座3121的长度的调节。
进一步地，请参阅图9，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，破膜驱动组件315包括与刀座3121转动连接的转动块3151、以及活动端与转动块3151相连的驱动气缸3152；驱动气缸3152的固定端与安装板314转动连接；破膜驱动组件315带动切刀组件312转动的过程为：驱动气缸3152的活动端的伸缩过程带动转动块3151的运动，转动块3151运动过程中带动切刀组件312转动。
进一步地，请参阅图9，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，刀座3121上设有第一转动座；转动块3151与第一转动座转动连接；第一转动座可为相对且间隔设置的两块导向板，转动块3151与第一转动座的导向板之间可设置转轴以实现转动连接。
进一步地，请参阅图9，作为本发明提供的贴膜机的另一种具体实施方式，安装板314上设有第二转动座；驱动气缸3152的固定端与第二转动座转动连接。第二转动座可为相对且间隔设置的两块导向板，驱动气缸3152的固定端与第二转动座的导向板之间可设置转轴以实现转动连接。
可以理解的是，另一种具体实施方式中的方案可为在其他实施例的基础上进一步改进的实施方案。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.贴膜方法，其特征在于，包括如下步骤：
S100、将待贴膜产品放置于第二压膜台；
S200、向待贴膜产品的正上方输送干膜；
S300、第一压膜台向第二压膜台运动并与第二压膜台密封连接，且使得待贴膜产品位于第一压膜台与第二压膜台之间；
S400、抽取第一压膜台与第二压膜台之间的空气；
S500、将待贴膜产品与干膜压紧贴合。
2.根据权利要求1所述的贴膜方法，其特征在于，在步骤S500之后，还包括以下步骤：
S600、第一压膜台远离第二压膜台；
S700、切除待贴膜产品的边界外的干膜。
3.根据权利要求2所述的贴膜方法，其特征在于，在步骤S700之后，还包括以下步骤：
S800、收取边界外的干膜被切除的待贴膜产品。
4.根据权利要求2所述的贴膜方法，其特征在于，在步骤S700之后，还包括以下步骤：
S900、收集被切除的干膜。
5.根据权利要求1所述的贴膜方法，其特征在于，在步骤S300与步骤S500之间，还包括以下步骤：
S350、对干膜进行加热；
S450、将第一压膜台锁紧固定。
6.根据权利要求5所述的贴膜方法，其特征在于，步骤S350具体为：第一压膜台内的第一加热组件和/或第二压膜台内的第二加热组件对干膜进行加热。
7.根据权利要求1-6任一项所述的贴膜方法，其特征在于，步骤S200具体包括以下步骤：
S201原料膜供应组件向分膜组件输送原料膜；
S202、分膜组件伸入第一压膜台与第二压膜台之间的间隙；
S203、分膜组件将原料膜的干膜与底膜分离；
S204、拉平组件将干膜压住，分膜组件离开第一压膜台与第二压膜台之间的间隙，使得干膜停留于待贴膜产品的正上方；
S205、拉平组件将干膜拉平。
8.根据权利要求1-6任一项所述的贴膜方法，其特征在于，步骤S500具体为：气泵通过压膜气管向压膜气囊充气，压膜气囊充气后体积膨胀并将干膜紧密压合于待贴膜产品上。
9.根据权利要求2-4任一项所述的贴膜方法，其特征在于，步骤S700具体为：移动驱动组件带动切割组件伸入第一压膜台与第二压膜台之间的间隙，切割组件沿着待贴膜产品的边界将干膜切除。
10.贴膜机，其特征在于，用于实施如权利要求1-9任一项所述的贴膜方法，包括贴膜装置、以及用于为所述贴膜装置供应干膜的放膜装置；所述贴膜装置包括第一压膜台、与所述第一压膜台相对设置且用于放置待贴膜产品的第二压膜台、用于带动所述第一压膜台相对所述第二压膜台移动以完成压膜动作的压膜驱动机构、设于所述第一压膜台的压紧组件、设于所述第二压膜台且用于与所述第一压膜台相接触的密封圈、真空泵、以及与所述真空泵相连的真空管；所述第二压膜台开设有真空孔，所述真空孔与所述真空管相通，所述真空孔位于所述密封圈的边界范围内；所述放膜装置包括送膜滑动座、设于所述送膜滑动座且用于供应原料膜的原料膜供应组件、以及设于所述送膜滑动座且用于将原料膜分离为干膜与底膜的分膜组件。
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