JP2002361748A - ラミネート装置 - Google Patents

ラミネート装置

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JP2002361748A
JP2002361748A JP2001170082A JP2001170082A JP2002361748A JP 2002361748 A JP2002361748 A JP 2002361748A JP 2001170082 A JP2001170082 A JP 2001170082A JP 2001170082 A JP2001170082 A JP 2001170082A JP 2002361748 A JP2002361748 A JP 2002361748A
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chamber
supply
film
discharge
shutter
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JP2001170082A
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Minoru Hagiwara
實 萩原
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Taisei Laminator Co Ltd JP
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Taisei Laminator Co Ltd JP
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】接合用の空間を常に真空状態にしながらしかも
ベースフィルムの供給とラミネートフィルムの排出とを
大気開放状態において間欠的に行なうようにしたラミネ
ート装置を提供する。 【解決手段】ベースフィルム10のストレージ手段27
を有する大気圧と減圧とに切換えられる供給側チャンバ
ー16と、ラミネートフィルム13のストレージ手段6
7を有する大気圧と減圧とに切換えられる排出側チャン
バ17と、供給側チャンバーと接合用チャンバー15間
の仕切壁18および接合用チャンバーと排出側チャンバ
ー間の仕切壁19にそれぞれシャッタ手段31、63を
設けた、接合用チャンバー内において減圧下でフィルム
を接合するラミネート装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はラミネート装置に係
り、とくに真空チャンバ内において減圧下でベースフィ
ルムにラミネートフィルムを積層して接合するラミネー
ト装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ドライフィルムから成るレジストフィル
ムとプリント基板を構成する合成樹脂基板との圧着装置
は、例えば特公昭55−13341号公報に記載されて
いるように、可撓性重合体フィルム状支持体上のフォト
レジスト膜と基板とを減圧下で接触せしめ、支持体の反
フォトレジスト層側からフィルム状支持体とフォトレジ
スト層とをともにフレキシブル基板上に加圧しながら加
熱して圧着するようにしている。
【0003】特公昭55−13341号公報の装置によ
れば、フォトレジスト層を有するフィルム状支持体に大
気圧をかけて加圧する方法、または重合体シートを介し
て大気圧をかけて加圧する方法が採用されているが、フ
ィルム状支持体への加圧は大気圧によっているために、
フォトレジスト層と基板との圧着が数個所で瞬間的にか
つ統制のとれない状態で始まり、フィルム状支持体に皺
が発生する欠点があった。
【0004】そこで特公平6−22199号公報によっ
て改良された薄膜圧着方法が提案されている。この方法
はフィルムを減圧された環境の下で、基板に圧着して積
層体を形成するフィルム圧着方法において、減圧された
環境を形成可能な真空室の中でラミネートフィルムとベ
ースフィルムとの圧着を基板の中央部から基板の周縁部
へと圧着面積を次第に広げて行くような湾曲面から成る
押圧面を有する圧力板を用いるようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】特公平6−22199
号公報の装置は、搬送フィルムによって支持された基板
とラミネートフィルムとを開かれた真空チャンバの内部
に導入し、この後に真空チャンバを閉じて減圧した後に
押圧板でラミネートフィルムを基板に圧着するようにし
ており、間欠的なバッチ処理によって圧着が行なわれ
る。
【0006】すなわち圧着を終った後に真空チャンバを
開き、基板およびフィルムを送った後また真空吸引をし
て減圧し、圧着を行なう動作を繰返すことになる。ここ
で圧着を行なう度に真空容器を開いて基板とフィルムを
送った後に再び真空吸引による減圧動作を行なわなけれ
ばならず、このような減圧動作によって生産性が著しく
阻害される問題がある。
【0007】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、ベースフィルムにラミネートフィルム
を真空チャンバ内で効率的に積層するようにしたラミネ
ート装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願の主要な発明は、接
合用チャンバ内において減圧下でベースフィルムにラミ
ネートフィルムを積層して接合するラミネート装置にお
いて、前記接合用チャンバに対して前記ベースフィルム
の供給側に設けられ、前記ベースフィルムをストレージ
するストレージ手段を有し、大気圧と減圧とに切換えら
れる供給側チャンバと、前記供給側チャンバと前記接合
用チャンバとの間の仕切り壁に形成された前記ベースフ
ィルムの供給口を開閉するシャッタ手段と、前記接合用
チャンバに対して前記ラミネートフィルムの排出側に設
けられ、前記ラミネートフィルムをストレージするスト
レージ手段を有し、大気圧と減圧とに切換えられる排出
側チャンバと、前記接合用チャンバと前記排出側チャン
バとの間に仕切り壁に形成された前記ラミネートフィル
ムの排出口を開閉するシャッタ手段と、を具備するラミ
ネート装置に関するものである。
【0009】ここで接合用チャンバ内にラミネートフィ
ルムをストレージする別のストレージ手段が設けられて
よい。また前記接合用チャンバ内にラミネートフィルム
の供給ローラが配されてよい。また前記供給側チャンバ
のベースフィルムの導入口または前記排出側チャンバの
ラミネートフィルムの取出し口にシャッタ手段が設けら
れ、前記シャッタ手段を閉じて真空吸引すると前記供給
側チャンバまたは前記排出側チャンバが減圧状態に切換
えられてよい。また前記ベースフィルムの供給口若しく
は導入口または前記ラミネートフィルムの排出口若しく
は取出し口を開閉するシャッタ手段が互いに近接および
離間自在に設けられた一対のシャッタ板から成り、しか
も前記一対のシャッタ板と前記供給口若しくは導入口ま
たは前記排出口若しくは取出し口が設けられた仕切り板
との間にゴムシートが介装され、該ゴムシートの前記シ
ャッタ手段の移動方向の一端または両端の折返し屈曲部
が前記シャッタ板に接合されてよい。
【0010】
【発明の実施の形態】以下本願に含まれる発明を図示の
実施の形態によって説明する。図1および図2は本発明
の一実施の形態に係るラミネート装置の全体の構成を示
すものであって、この装置はベースフィルム10の上面
と下面とにそれぞれラミネートフィルム11、12を接
合してラミネートフィルム13を製造するための装置に
関するものである。なおベースフィルム10の両面にと
もにラミネートフィルム11、12を接合する代りに、
一方の面にのみラミネートフィルム11または12を接
合するようにしてもよい。
【0011】このようなラミネートフィルム13を製造
する装置は図1に示すように、その中間位置に設けられ
ている容積の大きな接合用チャンバ15と、接合用チャ
ンバ15に対してベースフィルム10の供給側に設けら
れる供給側チャンバ16と、接合用チャンバ15に対し
てラミネートフィルム13の排出側に設けられる排出側
チャンバ17とから構成される。接合用チャンバ15と
供給側チャンバ16とは仕切り壁18によって仕切ら
れ、接合用チャンバ15と排出側チャンバ17とは仕切
り壁19によって仕切られる。そしてこれら3つのチャ
ンバ15、16、17はそれぞれ独立の真空排気手段に
よって真空排気されて減圧状態に切換えられるようにな
っている。
【0012】次に供給側チャンバ16について説明す
る。供給側チャンバ16の導入側の部分にはベースフィ
ルムを導入するためのスリット状の導入口23が用いら
れるとともに、この導入口23の外側にガイドローラ2
4が配される。そして上記導入口23をシャッタ機構2
5によって開閉している。また導入口23の内側にはガ
イドローラ26が配され、さらに供給側チャンバ16に
はストレージローラ27が案内レール28に沿って移動
自在に配されている。
【0013】上記供給側チャンバ16のストレージロー
ラ27を経たベースフィルム10はガイドローラ29に
よって上方に引出され、仕切り壁18の供給口30を通
して接合用チャンバ15に供給される。そして供給口3
0にシャッタ機構31が設けられ、供給口30の開閉を
行なう。
【0014】次に接合用チャンバ15の構成について説
明する。接合用チャンバ15内にはガイドローラ34、
35が設けられ、これによってベースフィルム10を水
平な状態から上方に案内するようにしている。そして上
方に引出されたベースフィルム10をストレージローラ
36によって蓄えられるようにしている。ストレージロ
ーラ36から引出されたベースフィルム10は上方のガ
イドローラ37に掛渡され、さらにガイドローラ38を
通って上下一対の接合ローラ39、40間に供給され
る。
【0015】次に上側のラミネートフィルム11の供給
のための機構について説明する。ラミネートフィルム1
1はラミネートフィルム供給ローラ43から供給され
る。そしてガイドローラ44、45によって案内される
とともに、ガイドローラ45の上側に配されている剥離
ローラ46によって剥離紙47が剥離される。剥離紙4
7はその上側に位置する剥離紙巻取りローラ48によっ
て巻取られるようになっている。
【0016】下側のラミネートフィルム12はラミネー
トフィルム供給ローラ51から供給される。そしてガイ
ドローラ52、53によって案内されるとともに、ガイ
ドローラ53の下側に配された剥離ローラ54によって
剥離紙56が剥離される。なお剥離された剥離紙56は
ガイドローラ55によって案内され、剥離紙巻取りロー
ラ57によって巻取られるようになっている。
【0017】上記一対の接合ローラ39、40の下流側
にはガイドローラ59が配されるとともに、このガイド
ローラ59によって下方に導かれたラミネートフィルム
13をストレージローラ60によって蓄えるようにして
いる。なおストレージローラ60は案内レール64によ
って上下に案内される。またストレージローラ60から
引出されたラミネートフィルムを水平方向に導くために
ガイドローラ61が配されている。そしてガイドローラ
61の下流側であって仕切り壁19には排出口62が設
けられている。この排出口62はシャッタ機構63によ
って開閉される。
【0018】次に排出側チャンバ17の構成について説
明すると、排出側チャンバ17の排出口62の前方には
ガイドローラ66が配されている。そしてこのガイドロ
ーラ66によって下方に案内されるラミネートフィルム
13を蓄えるためのストレージローラ67が案内レール
68によって上下方向に移動自在に支持されている。そ
して上記ストレージローラ67によって蓄えられたラミ
ネートフィルム13を上方に引出すためにガイドローラ
69、70が設けられている。そしてガイドローラ70
によって水平に案内されたラミネートフィルムを取出す
ための取出し口72がこの排出側チャンバ17の出口側
に設けられている。なお上記取出し口72の近傍であっ
て外側にはガイドローラ71が配されている。また上記
取出し口72はシャッタ機構73によって開閉される。
【0019】次に上記シャッタ機構25、31、63、
73について説明する。これらは何れもほぼ同一の構造
を有しているので、シャッタ機構25について説明す
る。シャッタ機構25は図3に示すように左右一対の縦
方向に延びるレール76を備え、これらのレール76に
よって上側の可動式のシャッタ板77と下側の固定式の
シャッタ板78とが取付けられている。これらのシャッ
タ板77、78の互いに突合わされる先端側の部分には
ゴム79、80が焼付けて取付けられている。
【0020】そして上記シャッタ板77、78と外板8
7との間には図4および図5に示すようにゴムシート8
2が介装される。ゴムシート82は図4に示すように横
長のスリット状の開口81を備え、この開口81によっ
てベースフィルム10を挿通させる。そしてゴムシート
82の上端および下端がそれぞれシャッタ板77、78
の外板87と対向する面にそれぞれ形成されている横溝
83、84に接着テープ85、86を介して接着固定さ
れる。ここでとくにゴムシート82の上端側の部分がU
字状に屈曲され、しかも屈曲された部分が接着テープ8
5によってシャッタ板77の横溝83の底部に接着され
るようになっている。
【0021】従ってこのようなシャッタ機構25はとく
に下側の固定式のシャッタ板78に対して上側のシャッ
タ板77が案内レール76によって案内されながら上下
に移動すると、これに伴ってその背面側に取付けられて
いるゴムシート82の屈曲部が上下に移動することにな
る。すなわちシャッタ板77の移動に連動してゴムシー
ト82の屈曲部の位置が上下に移動するようになってい
る。従ってゴムシート82とシャッタ板77、78ある
いは外板87との間での相互の摺動を発生しない。しか
もゴムシート82はシャッタ板77、78と外板87と
の間に配置されているために、シャッタ板77、78と
外板87との間の隙間をこのゴムシート82によってシ
ールすることができる。
【0022】次に以上のような構成に係るラミネート装
置のラミネートの動作についてとくに図1により説明す
る。このラミネート装置は中央の接合用チャンバ15に
対してその上流側と下流側とにそれぞれ供給側チャンバ
16と排出側チャンバ17とを配した構造になってい
る。そして接合用チャンバ15は常時減圧下であって真
空吸引された状態に維持される。これに対してその両側
の供給側チャンバ16および排出側チャンバ17は大気
開放された大気圧と減圧下とに切換えられる。
【0023】ここで接合用チャンバ15と供給側チャン
バ16との間の供給口30をシャッタ機構31によって
閉じる。また接合用チャンバ15と排出側チャンバ17
との間の排出口62をシャッタ機構63によって閉じ
る。このような状態において供給側チャンバ16と排出
側チャンバ17とをともに大気開放する。そしてシャッ
タ機構25を開き、導入口23から所定の長さのベース
フィルム10を供給側チャンバ16に導入する。ここで
導入された所定の長さのベースフィルム10はストレー
ジローラ27が最上方位置から最下方位置に移動するこ
とによってベースフィルム10の経路長が長くなり、こ
れによってベースフィルム10のストレージが行なわれ
る。所定量のベースフィルム10のストレージが行なわ
れたならば、シャッタ機構25によって導入口23を閉
じ、この供給側チャンバ16を減圧する。
【0024】また排出側チャンバ17内にストレージロ
ーラ67によってラミネートフィルム13がストレージ
されている場合には、排出口62をシャッタ機構63で
閉じた後にこの排出側チャンバ17を大気開放する。そ
してシャッタ機構73によって取出し口72を開放し、
ストレージローラ67によって蓄えられているラミネー
トフィルム13をこの排出側チャンバ17から排出す
る。これによってストレージローラ67が下方から上方
位置へ移動し、その経路長が短くなる。そしてラミネー
トフィルム13を完全に排出したならば、シャッタ機構
63によって取出し口72を閉じ、この排出側チャンバ
17を真空吸引して減圧下におく。
【0025】このように供給側チャンバ16に所定量の
ベースフィルム10がストレージされかつ減圧状態に切
換えられ、しかも排出側チャンバ17にラミネートフィ
ルム13が存在せず、減圧状態になったならば、仕切り
壁18の供給口30のシャッタ31を開く。また仕切り
壁19の排出口62のシャッタ機構63を開く。そして
このような状態でラミネート動作を行なう。
【0026】ラミネート動作はストレージローラ27に
蓄えられているベースフィルム10を引出し、上下一対
の接合ローラ39、40間に供給する。同時に上下のラ
ミネートフィルム11、12をそれぞれラミネートフィ
ルム供給ローラ43、51から繰出し、剥離紙47、5
6をそれぞれ剥離ローラ46、54で剥離した後に剥離
紙巻取りローラ48、57によって巻取りながら上下の
ラミネートフィルム11、12をそれぞれベースフィル
ム10の上下面に接合する。これによって3層構造のラ
ミネートが行なわれるとともに、ラミネートフィルム1
3が製造される。
【0027】このようなラミネートフィルム13は接合
用チャンバ15のストレージローラ60によって蓄えら
れるとともに、さらに排出側チャンバ17のストレージ
ローラ67によって蓄えられる。すなわち最も高い位置
に位置するストレージローラ67が案内レール68によ
って最下方位置まで移動する。これによってラミネート
フィルム13の経路長が増加し、その経路長の増加分に
等しい長さのラミネートフィルム13が排出側チャンバ
17に蓄えられる。
【0028】このようにして供給側チャンバ16内のほ
ぼ総てのベースフィルム10が供給されるとともに、排
出側チャンバ17に最大量のラミネートフィルム13が
蓄えられた状態で一旦ラミネート動作を停止する。そし
て仕切り壁18の供給口30をシャッタ機構31によっ
て閉じる。また仕切り壁19の排出口62をシャッタ機
構63によって閉じる。そして供給側チャンバ16と排
出側チャンバ17とをともに大気開放する。このような
状態でシャッタ機構25を作動させて導入口23を開
き、供給側チャンバ16にベースフィルム10を導入す
る。またシャッタ機構73を作動させて取出し口72か
らこの排出側チャンバ17に蓄えられているラミネート
フィルム13を排出する。そしてまた先の動作を繰返
す。すなわち両側の供給側チャンバ16と排出側チャン
バ17とをそれぞれ減圧状態と大気開放状態とに交互に
切換えながら両側のチャンバ16、17がともに減圧下
の状態で中間の接合用チャンバ15によって間欠的にラ
ミネート動作を行なう。
【0029】なおこのラミネート装置は、とくに中間の
接合用チャンバ15内にストレージローラ36から成る
ベースフィルム10のストレージ手段と、ストレージロ
ーラ60から成るラミネートフィルム13のラミネート
手段とを備え、これによってさらに接合用チャンバ15
内におけるストレージをも可能にしている。しかるにこ
れらのストレージ手段36、60は必ずしも必須ではな
く、場合によっては省略することも可能である。
【0030】このようなラミネート装置によれば、とく
に常時減圧下におかれる接合用チャンバ15内でラミネ
ート動作が行なわれる。従ってベースフィルム10とラ
ミネートフィルム11、12との間に気泡を噛込むこと
がなく、これによって高品質のラミネートフィルム13
が提供される。
【0031】また接合用チャンバ15は常時真空減圧下
に維持され、両側の供給側チャンバ16と排出側チャン
バ17とが大気圧と減圧とに切換えられるようになって
おり、これらのチャンバ16、17の容積が小さいため
に、減圧吸引のための負担が軽くなり、これによってエ
ネルギの浪費を防止できる。
【0032】また上記シャッタ機構25、31、63、
73が何れも図3〜図5に示すようなゴムシート82を
備えるシャッタ機構から構成されている。このシャッタ
機構はとくにゴムシート82によって側面からの空気の
漏れを防止することが可能になる。しかもゴムシート8
2はその上端の屈曲部が移動することによって上側の可
動シャッタ板77の移動に追随できるために、ゴムシー
ト82が伸縮したり摺動したりすることがなく、円滑な
シール動作が達成される。従ってこのようなシャッタ機
構によって空気の漏れを最小限に抑えることが可能にな
る。
【0033】
【発明の効果】本願の主要な発明は、接合用チャンバ内
において減圧下でベースフィルムにラミネートフィルム
を積層して接合するラミネート装置において、接合用チ
ャンバに対してベースフィルムの供給側に設けられ、ベ
ースフィルムをストレージするストレージ手段を有し、
大気圧と減圧とに切換えられる供給側チャンバと、供給
側チャンバと接合用チャンバとの間の仕切り壁に形成さ
れたベースフィルムの供給口を開閉するシャッタ手段
と、接合用チャンバに対してラミネートフィルムの排出
側に設けられ、ラミネートフィルムをストレージするス
トレージ手段を有し、大気圧と減圧とに切換えられる排
出側チャンバと、接合用チャンバと排出側チャンバとの
間に仕切り壁に形成されたラミネートフィルムの排出口
を開閉するシャッタ手段と、を具備するものである。
【0034】従ってこのようなラミネート装置によれ
ば、シャッタ手段によって供給側チャンバと接合用チャ
ンバとの間の仕切り壁の供給口を閉じて供給側チャンバ
を大気開放することによってベースフィルムが供給側チ
ャンバにストレージされ、接合用チャンバと排出側チャ
ンバとの間の仕切り壁に形成された排出口をシャッタ手
段によって閉鎖するとともに排出側チャンバを大気開放
すると、この排出側チャンバにストレージされたラミネ
ートフィルムを排出することが可能になる。従って接合
用チャンバを常時真空圧に維持しながらしかも間欠的に
減圧下でラミネート動作を行なうことが可能なラミネー
ト装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】ラミネート装置の全体の構成を示す縦断面図で
ある。
【図2】同内部の構造を示す平面図である
【図3】シャッタ機構の正面図である。
【図4】同シャッタ機構の分解斜視図である。
【図5】同シャッタ機構の縦断面図である。
【符号の説明】
10‥‥ベースフィルム、11‥‥ラミネートフィルム
(上)、12‥‥ラミネートフィルム(下)、13‥‥
ラミネートフィルム、15‥‥接合用チャンバ、16‥
‥供給側チャンバ、17‥‥排出側チャンバ、18、1
9‥‥仕切り壁、23‥‥導入口、24‥‥ガイドロー
ラ、25‥‥シャッタ機構、26‥‥ガイドローラ、2
7‥‥ストレージローラ、28‥‥案内レール、29‥
‥ガイドローラ、30‥‥供給口、31‥‥シャッタ機
構、34、35‥‥ガイドローラ、36‥‥ストレージ
ローラ、37、38‥‥ガイドローラ、39‥‥接合ロ
ーラ(上)、40‥‥接合ローラ(下)、43‥‥ラミ
ネートフィルム供給ローラ、44、45‥‥ガイドロー
ラ、46‥‥剥離ローラ、47‥‥剥離紙、48‥‥剥
離紙巻取りローラ、51‥‥ラミネートフィルム供給ロ
ーラ、52、53‥‥ガイドローラ、54‥‥剥離ロー
ラ、55‥‥ガイドローラ、56‥‥剥離紙、57‥‥
剥離紙巻取りローラ、59‥‥ガイドローラ、60‥‥
ストレージローラ、61‥‥ガイドローラ、62‥‥排
出口、63‥‥シャッタ機構、64‥‥案内レール、6
6‥‥ガイドローラ、67‥‥ストレージローラ、68
‥‥案内レール、69、70‥‥ガイドローラ、71‥
‥ガイドローラ、72‥‥取出し口、73‥‥シャッタ
機構、76‥‥案内レール、77‥‥シャッタ板(上、
可動)、78‥‥シャッタ板(下、固定)、79、80
‥‥ゴム、81‥‥横長開口、82‥‥ゴムシート、8
3、84‥‥横溝、85、86‥‥接着テープ、87‥
‥外板

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】接合用チャンバ内において減圧下でベース
    フィルムにラミネートフィルムを積層して接合するラミ
    ネート装置において、 前記接合用チャンバに対して前記ベースフィルムの供給
    側に設けられ、前記ベースフィルムをストレージするス
    トレージ手段を有し、大気圧と減圧とに切換えられる供
    給側チャンバと、 前記供給側チャンバと前記接合用チャンバとの間の仕切
    り壁に形成された前記ベースフィルムの供給口を開閉す
    るシャッタ手段と、 前記接合用チャンバに対して前記ラミネートフィルムの
    排出側に設けられ、前記ラミネートフィルムをストレー
    ジするストレージ手段を有し、大気圧と減圧とに切換え
    られる排出側チャンバと、 前記接合用チャンバと前記排出側チャンバとの間に仕切
    り壁に形成された前記ラミネートフィルムの排出口を開
    閉するシャッタ手段と、 を具備するラミネート装置。
  2. 【請求項2】接合用チャンバ内にラミネートフィルムを
    ストレージする別のストレージ手段が設けられることを
    特徴とする請求項1に記載のラミネート装置。
  3. 【請求項3】前記接合用チャンバ内にラミネートフィル
    ムの供給ローラが配されることを特徴とする請求項1に
    記載のラミネート装置。
  4. 【請求項4】前記供給側チャンバのベースフィルムの導
    入口または前記排出側チャンバのラミネートフィルムの
    取出し口にシャッタ手段が設けられ、前記シャッタ手段
    を閉じて真空吸引すると前記供給側チャンバまたは前記
    排出側チャンバが減圧状態に切換えられることを特徴と
    する請求項1に記載のラミネート装置。
  5. 【請求項5】前記ベースフィルムの供給口若しくは導入
    口または前記ラミネートフィルムの排出口若しくは取出
    し口を開閉するシャッタ手段が互いに近接および離間自
    在に設けられた一対のシャッタ板から成り、しかも前記
    一対のシャッタ板と前記供給口若しくは導入口または前
    記排出口若しくは取出し口が設けられた仕切り板との間
    にゴムシートが介装され、該ゴムシートの前記シャッタ
    手段の移動方向の一端または両端の折返し屈曲部が前記
    シャッタ板に接合されることを特徴とする請求項4に記
    載のラミネート装置。
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