WO2012025136A1 - Mikrofokus-röntgenröhre für eine hochauflösende röntgenvorrichtung - Google Patents

Mikrofokus-röntgenröhre für eine hochauflösende röntgenvorrichtung Download PDF

Info

Publication number
WO2012025136A1
WO2012025136A1 PCT/EP2010/005273 EP2010005273W WO2012025136A1 WO 2012025136 A1 WO2012025136 A1 WO 2012025136A1 EP 2010005273 W EP2010005273 W EP 2010005273W WO 2012025136 A1 WO2012025136 A1 WO 2012025136A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
cooling chamber
ray tube
ray
cooling
tube according
Prior art date
Application number
PCT/EP2010/005273
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Andreas Schmitt
Wolfgang Sperner
Eberhard Neuser
Original Assignee
Ge Sensing & Inspection Technologies Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ge Sensing & Inspection Technologies Gmbh filed Critical Ge Sensing & Inspection Technologies Gmbh
Priority to PCT/EP2010/005273 priority Critical patent/WO2012025136A1/de
Priority to US13/818,994 priority patent/US9153408B2/en
Priority to JP2013525146A priority patent/JP5675987B2/ja
Priority to CN2010800688420A priority patent/CN103189955A/zh
Priority to EP10749795.0A priority patent/EP2609612B1/de
Publication of WO2012025136A1 publication Critical patent/WO2012025136A1/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
    • H01J35/153—Spot position control
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/02—Constructional details
    • H05G1/025—Means for cooling the X-ray tube or the generator
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/12—Cooling
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/12—Cooling
    • H01J2235/1216—Cooling of the vessel
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/12—Cooling
    • H01J2235/1225—Cooling characterised by method
    • H01J2235/1262—Circulating fluids
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00—X-ray tubes
    • H01J2235/12—Cooling
    • H01J2235/1225—Cooling characterised by method
    • H01J2235/1262—Circulating fluids
    • H01J2235/1266—Circulating fluids flow being via moving conduit or shaft
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/112—Non-rotating anodes
    • H01J35/116—Transmissive anodes

Definitions

  • the invention relates to a microfocus X-ray tube for a high-resolution X-ray device comprising a housing, an electron beam source for generating an electron beam and a focusing lens for focusing the electron beam onto a target.
  • Such X-ray tubes are known, for example, for high-resolution computed tomography devices.
  • microcomputer tomography enables volume reconstruction with a very high spatial resolution (voxel size) down to the sub-micron range. Since the measurement of all the X-ray projections required for high-resolution reconstruction takes several hours on the rule, thermally induced shifts in the sample projections on the detector create significant problems. Although it is known to compensate for these shifts with the aid of software-based algorithms. However, the resolution improvement achievable thereby is limited.
  • the critical component is the X-ray tube, because it is not possible to fix the tube in the focal spot on a thermally insensitive manipulator; it always remains a thermally sensitive (usually metallic) verbin Over the tube housing between the focus and the attachment of the tube to the manipulator, which without further action causes the focus position of the X-ray tube shifts significantly over the measurement period.
  • the object of the invention is to provide a microfocus X-ray tube, which makes it possible to obtain data in the industrial application in a shorter time with a higher resolution.
  • the invention solves this problem with the features of independent claim 1. Due to the cooling of the X-ray tube by means of the cooling medium flowing through the cooling chamber thermally induced shifts of the focus position is counteracted genge. A decisive feature is that the cooling chamber according to the invention is substantially rotationally symmetrical. As a result, the substantially rotationally symmetrical temperature distribution in the tube, which is predominantly due to rotationally symmetric heat input, in particular due to the energy dissipation in the electron optics and the absorption of thermal energy over the surface of the tube housing is sustained, even if the tube is not in thermal equilibrium.
  • axial thermal displacements of the focal point Due to the essentially rotationally symmetrical cooling according to the invention, essentially only axial thermal displacements of the focal point remain. These have less serious effects on the spatial resolution on the detector. Furthermore, as required, axial thermal displacements of the focal point can be achieved by means of increased cooling power, i. a suitably designed cooling pump to be effectively prevented.
  • the invention is advantageously delimited from a particular helically arranged around the axis of rotation cooling line, where in particular in the axial end regions significant deviations from the rotational symmetry of the cooling occur.
  • the cross-sectional area of the cooling chamber in a longitudinal cross section is at least five times, more preferably at least ten times as large as the cross-sectional area of cooling lines to be connected to the cooling chamber.
  • This feature contributes to a particularly efficient cooling due to a maximum cooling volume in the cooling chamber for a given size.
  • the clear inner dimensions of the cooling chamber in a longitudinal cross section are preferably greater than the wall thicknesses of the cooling chamber, so that as much of the available installation space as the coolant volume can be used.
  • the cooling chamber is annularly cylindrical, wherein a radial inner wall and a radial outer wall of the cooling chamber are cylindrically shaped.
  • This shape allows a particularly efficient cooling due to a maximum cooling volume for a given size, and is also advantageous in terms of manufacturing technology.
  • an inlet and an outlet for the cooling medium in the circumferential direction of the tube are offset from each other, more preferably offset by at least 90 °, even more preferably offset by 180 °, i. arranged opposite each other with respect to the tube axis. This arrangement can contribute to the most uniform possible flow through the entire cooling chamber volume.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a microcomputer tomography system
  • 2 shows a longitudinal cross section through an X-ray tube in a first embodiment
  • 3 shows a cross section through an x-ray tube perpendicular to the longitudinal axis.
  • FIG. 4 shows a longitudinal cross section through an X-ray tube in a second embodiment
  • FIG. 5 shows a longitudinal cross section through an X-ray tube in a third embodiment
  • Fig. 6 shows a cross section through an X-ray tube perpendicular to
  • the microcomputer tomography apparatus shown in FIG. 1 includes an x-ray system 10 adapted to receive a set of x-ray projections of a sample 13.
  • the X-ray system 10 comprises a microfocus X-ray tube 11 which emits X-radiation 14 from a focal point or focus 16 of the X-ray tube 11, an X-ray imaging detector 12 and a sample holder 20 which is preferably arranged to rotate the sample 13 about a vertical axis
  • the X-ray detector 12 is preferably an area detector, in particular a flat-panel detector, but a line detector is also possible.
  • a set of X-ray projections of the sample 13 is obtained, for example, by stepwise rotation of the sample holder 20 by a defined small angle step and recording of an X-ray projection at each rotation angle.
  • the X-ray system 10 is not limited to rotation of the sample holder 20 about a vertical axis.
  • the X-ray tube 11 and the X-ray detector 12 may be rotated around the fixed sample 13.
  • the X-ray projections are read out of the X-ray detector 12 and transmitted to a computer device 41 where reconstructed three-dimensional volume data of the sample 13 are calculated from the recorded set of X-ray projections by means of a basically known reconstruction algorithm and displayed, for example, on a screen 42.
  • the computing device 41 may also be configured to control the X-ray source 11, the sample holder 20, and the X-ray detector 12; Alternatively, a separate control device may be provided.
  • the microfocus X-ray tube 11 comprises a cathode element 15, a Wehnelt cylinder 21, an anode 19, a focusing lens 22 preferably embodied as an electromagnetic lens, and an electron beam target 23. Furthermore, a further electromagnetic lens 25 may be provided, preferably as a condenser lens is arranged to align the electron beam 24 approximately parallel or to produce an intermediate image; However, the condenser lens 25 is not mandatory.
  • the microfocus X-ray tube 11 further suitably comprises a deflection unit, not shown, for adjusting the beam position.
  • the microfocus X-ray tube 11 is set up such that the minimum focus or focal spot on the target 23 is less than or equal to 10 .mu.m, preferably less than or equal to 4 .mu.m, even more preferably less than or equal to 2 .mu.m.
  • the microfocus X-ray tube 11 further includes a housing that may be composed of multiple sections.
  • a housing section 35 accommodating the cathode element 15 and forming the anode 19
  • the condenser lens 25 may be disposed may be provided.
  • the housing 36 surrounding the coil 33 is advantageously free of thermally insulating, in particular non-metallic, shields or layers which would hinder the setting of a thermal equilibrium
  • the x-ray tube 11 comprises an annular cooling chamber 30, which has an inlet 31 and an outlet 32, which are connectable via coolant lines 38 with a coolant pump, not shown, to a cooling circuit.
  • a liquid coolant in particular water or oil
  • the heat sources mentioned arise, for example, due to the impact of the electron beam 24 on the target 23, the energy dissipation in the electron optics 22 and the absorption of thermal energy across the surface of the tube housing 34
  • the cooling chamber 30 is annularly closed in itself, as best seen in Figures 3 and 6 can be seen.
  • the liquid-flow-through interior of the cooling chamber 30 is circumferentially completely continuous.
  • inlet 31 and outlet 32 are preferably offset 180 ° from each other, i. arranged opposite one another, as shown in Fig. 3, so that the cooling chamber 30 is flowed through as uniformly as possible and forms no preferential flow direction for the cooling medium.
  • a radial dividing wall 48 is provided in the cooling chamber 30, which radially adjoins the interior of the cooling chamber 30 through which liquid flows Intercepts interrupts.
  • inlet 31 and outlet 32 are expediently arranged in the region of the dividing wall 48 on opposite sides thereof in order to achieve a complete flow through the cooling chamber 30.
  • inlet and outlet can also be arranged substantially without circumferential offset, but instead axially offset.
  • the cooling chamber 30 is arranged around the tubular housing 34, in particular around the housing section 36 surrounding the focusing lens 22.
  • the cooling chamber 30 extends predominantly axially, i. their axial extension is preferably at least twice as large as their radial extent.
  • the axial extent of the cooling chamber 30 can be adapted to the axial extent of the coil 33 of the focusing lens 22.
  • the cooling chamber 30 is arranged in the tubular housing 34.
  • the cooling chamber 30 is outside of the surrounding the focusing lens 22 housing portion 36, here in the middle housing portion 37, arranged.
  • the cooling chamber 30 is arranged in the housing section 36 surrounding the focusing lens 22 directly next to the coil 33.
  • the cooling chamber 30 extends predominantly radially, ie its radial extent is preferably at least 50% greater than its axial extent.
  • the radial extent of the cooling chamber 30 may be adapted to the radial extent of the coil 33 of the focusing lens 22.
  • the cooling chamber 30 is arranged adjacent to the coil 33 of the focusing lens 22, since this constitutes a main heat source in the tube 11.
  • the invention is not limited to an arrangement of the cooling chamber 30 adjacent to the focusing lens 25.
  • the cooling chamber has the preferred shape of an annular cylinder.
  • the radial outer wall 45 and the radial inner wall 46 of the cooling chamber 30 are thus cylindrical in shape.
  • the side walls 47 required for forming a closed cooling chamber 30 are preferably disk-shaped.
  • the walls 45, 46, 47 forming the cooling chamber are preferably made of a material having a good thermal conductivity of at least 50 W / mK, in particular of a material based on aluminum, copper and / or brass.
  • the cross sectional area of the cooling chamber 30 in a longitudinal cross section is more than ten times as large as the cross sectional area of the cooling chamber 30 to be connected via the terminals 31, 32 Cooling lines 38.
  • the flow rate of the cooling medium in the cooling chamber 30 is therefore preferably more than ten times smaller than in the cooling lines 38 to be connected to the cooling chamber 30 via the connections 31, 32.
  • the clear internal dimensions of the cooling chamber 30 in a longitudinal cross section are considerably greater than those Wall thickness of the walls 45 to 47, so that as much of the available space is used as the coolant volume. The aforementioned features contribute to efficient cooling due to the largest possible cooling volume in the cooling chamber 30 for a given size.
  • the invention is not limited to a coolant inlet 31, a coolant outlet 32 and optionally a partition wall 48. Further embodiments with a plurality of coolant inlets 31, a plurality of coolant inlets 31 and / or a plurality of partitions 48 are conceivable.
  • the tube 11 may have a plurality of cooling chambers 30, which may be arranged, for example, axially offset from one another.
  • the cooling chamber 30 has been described above in connection with a tube 11 with transmission target. However, the cooling chamber 30 may readily be alternatively housed in a tube 11 of direct jet geometry, i. with reflection target, be used advantageously.
  • the tube 11 has been described above for the preferred use in a CT device. However, other applications for industrial X-ray inspection or X-ray measurement of components are conceivable. In general, the X-ray tube 11 can be advantageously used in a high-resolution X-ray device with an imaging detector.

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Eine Mikrofokus-Röntgenröhre (11) für eine hochauflösende Röntgenvorrichtung umfasst ein Gehäuse (34), eine Elektronenstrahlquelle (15) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls (14) und eine Fokussierlinse (22) zur Fokussierung des Elektronenstrahls (24) auf ein Target (23). Die Röntgenröhre (11) weist eine im Wesentlichen rotationssymmetrische, ringförmige Kühlkammer (30) auf, die zur Durchströmung mit einem flüssigen Kühlmedium eingerichtet ist.

Description

Mikrofokus-Röntgenröhre für eine hochauflösende
Röntgenvorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Mikrofokus -Röntgenröhre für eine hochauflösende Röntgenvorrichtung umfassend ein Gehäuse, eine Elektronenstrahlquelle zur Erzeugung eines Elektronenstrahls und eine Fokussierlinse zur Fokussierung des Elektronenstrahl auf ein Target .
Derartige Röntgenröhren sind beispielsweise für hochauflösenden Computertomografievorrichtungen bekannt.
Aufgrund von Fortschritten in der Detektortechnologie, der Rechner- und Speicherkapazitäten sowie der gesteigerten Auflö sung von Mikrofokus-Röntgenröhren ermöglicht die Mikro-Compu- tertomografie Volumenrekonstruktion mit einer sehr hohen Ortsauflösung (Voxelgröße) bis in den sub-Mikrometer-Bereich . Da die Messung sämtlicher Röntgenprojektionen, die für eine Rekonstruktion mit hoher Auflösung benötigt werden, in der Re gel mehrere Stunden dauert, bereiten thermisch verursachte Verschiebungen der Probenprojektionen auf dem Detektor erhebliche Probleme. Es ist zwar bekannt, diese Verschiebungen mit hilfe von Software-basierten Algorithmen zu kompensieren. Jedoch ist die dadurch erzielbare Auflösungsverbesserung begrenzt .
Die kritische Komponente ist dabei die Röntgenröhre, weil es nicht möglich ist, die Röhre im Brennfleck an einem thermisch unempfindlichen Manipulator zu befestigen; es verbleibt immer eine thermisch empfindliche (in der Regel metallische) Verbin dung über das Röhrengehäuse zwischen dem Fokus und der Befestigung der Röhre an dem Manipulator, was ohne weitere Maßnahmen dazu führt, dass sich die Fokusposition der Röntgenröhre über die Messdauer erheblich verschiebt.
Eine übliche Maßnahme, die Fokusposition der Röntgenröhre übe die gesamte Messdauer so konstant wie möglich zu halten, besteht darin, die Röhre auf Betriebstemperatur aufzuheizen und zu warten, bis sich ein thermisches Gleichgewicht eingestellt hat, bevor die Scans gestartet werden. Allerdings dauert es aufgrund der erheblichen Masse der Röntgenröhre und der damit verbundenen großen Wärmekapazität etliche Stunden, bis sich das thermische Gleichgewicht einstellt. Des Weiteren wird das thermische Gleichgewicht durch jede Parameteränderung der Röh re erneut gestört, was zusätzliche erhebliche Wartezeiten ver ursacht .
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Mikrofokus- Röntgenröhre bereitzustellen, die es ermöglicht, in der indus triellen Anwendung Daten in kürzerer Zeit mit einer höheren Auflösung zu erhalten.
Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1. Aufgrund der Kühlung der Röntgenröhre mittels des durch die Kühlkammer strömenden Kühlmediums wird thermisch verursachten Verschiebungen der Fokusposition entge gengewirkt. Ein entscheidendes Merkmal ist dabei, dass die Kühlkammer erfindungsgemäß im Wesentlichen rotationssymmetrisch ist. Dadurch kann die im Wesentlichen rotationssymmetri sehe Temperaturverteilung in der Röhre, die überwiegend durch rotationssymmetrischen Wärmeeintrag insbesondere aufgrund der Energiedissipation in der Elektronenoptik und der Absorption thermischer Energie über die Oberfläche des Röhrengehäuses er zeugt wird, auch dann aufrecht erhalten werden, wenn sich die Röhre nicht im thermischen Gleichgewicht befindet. Durch die Aufrechterhaltung der rotationssymmetrischen Temperaturverteilung in der Röhre können seitliche Verschiebungen des Fokus, d.h. Verschiebungen in der senkrecht zur Rotationsachse angeordneten Fokusebene, sehr wirksam unterbunden werden. Da diese Verschiebungen in der Fokusebene einen großen Einfluss auf die Ortsauflösung auf dem Detektor haben, kann erfindungsgemäß eine signifikante Steigerung der Ortsauflösung in der Volumenrekonstruktion erreicht werden. Auf eine Vorwärmung der Röhre und Warten auf Einstellen des thermischen Gleichgewichts kann verzichtet werden, was die Messdauer insgesamt erheblich reduziert .
Aufgrund der erfindungsgemäßen im Wesentlichen rotationssymmetrischen Kühlung verbleiben im Wesentlichen lediglich axiale thermische Verschiebungen des Fokuspunkts. Diese haben weniger gravierende Auswirkungen auf die Ortsauflösung auf dem Detektor. Des Weiteren können, soweit erforderlich, axiale thermische Verschiebungen des Fokuspunkts mittels einer erhöhten Kühlleistung, d.h. einer entsprechend ausgelegten Kühlpumpe, wirksam unterbunden werden.
Durch die ringförmige Kühlkammer ist die Erfindung vorteilhaft abgegrenzt von einer insbesondere schraubenförmig um die Rotationsachse angeordneten Kühlleitung, wo insbesondere in den axialen Endbereichen erhebliche Abweichungen von der Rotationssymmetrie der Kühlung auftreten.
Vorzugsweise ist die Querschnittsfläche der Kühlkammer in einem Längsquerschnitt mindestens fünfmal, weiter vorzugsweise mindestens zehnmal so groß wie die Querschnittsfläche von mit der Kühlkammer zu verbindenden Kühlleitungen. Dieses Merkmal trägt zu einer besonders effizienten Kühlung aufgrund eines größtmöglichen Kühlvolumens in der Kühlkammer bei gegebener Baugröße bei. Aus dem gleichen Grund sind vorzugsweise die lichten Innenabmessungen der Kühlkammer in einem Längsquerschnitt größer als die Wandstärken der Kühlkammer, damit möglichst viel von dem zur Verfügung stehenden Bauraum als Kühl- mittelvolumen nutzbar ist.
Vorzugsweise ist die Kühlkammer ringzylindrisch geformt, wobei eine radiale Innenwand und eine radiale Außenwand der Kühlkammer zylindrisch geformt sind. Diese Form erlaubt eine besonders effiziente Kühlung aufgrund eines größtmöglichen Kühlvolumens bei gegebener Baugröße, und ist darüber hinaus auch fertigungstechnisch vorteilhaft.
Vorzugsweise sind ein Einlass und ein Auslass für das Kühlmedium in Umfangsrichtung der Röhre versetzt zueinander angeordnet, weiter vorzugsweise um mindestens 90° versetzt, noch weiter vorzugsweise um 180° versetzt, d.h. einander gegenüberliegend in Bezug auf die Röhrenachse angeordnet . Diese Anordnung kann zu einer möglichst gleichförmigen Durchströmung des gesamten Kühlkammervolumens beitragen.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand vorteilhafter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren erläutert. Dabei zeigt
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Mikro-Computertomo- grafiesystems ;
Fig. 2 einen Längsquerschnitt durch eine Röntgenröhre in einer ersten Ausführungsform; Fig. 3 einen Querschnitt durch eine Röntgenröhre senkrecht zur Längsachse ;
Fig. 4 einen Längsquerschnitt durch eine Röntgenröhre in einer zweiten Ausführungsform;
Fig. 5 einen Längsquerschnitt durch eine Röntgenröhre in einer dritten Ausführungsform; und
Fig. 6 einen Querschnitt durch eine Röntgenröhre senkrecht zur
Längsachse in einer zu Figur 3 alternativen Ausführungsform.
Die in Figur 1 gezeigte Mikro-Computertomografievorrichtung umfasst ein Röntgensystem 10, das zur Aufnahme eines Satzes von Röntgenprojektionen einer Probe 13 eingerichtet ist. Zu diesem Zweck umfasst das Röntgensystem 10 eine Mikrofokus- Röntgenröhre 11, die Röntgenstrahlung 14 ausgehend von einem Brennpunkt oder Fokus 16 der Röntgenröhre 11 emittiert, einen bildgebenden Rontgendetektor 12 und einen Probenhalter 20, der vorzugsweise zum Rotieren der Probe 13 um eine vertikale Achse eingerichtet ist. Der Rontgendetektor 12 ist vorzugsweise ein Flächendetektor, insbesondere ein flat panel-Detektor, jedoch ist auch ein Zeilendetektor möglich. Ein Satz von Röntgenpro- jektionen der Probe 13 wird beispielsweise durch schrittweises Rotieren des Probenhalters 20 um jeweils einen definierten kleinen Winkelschritt und Aufnahme einer Röntgenprojektion bei jedem Rotationswinkel erhalten. Das Röntgensystem 10 ist nicht auf eine Rotation des Probenhalters 20 um eine vertikale Achse beschränkt. Alternativ können beispielsweise die Röntgenröhre 11 und der Rontgendetektor 12 um die feststehende Probe 13 rotiert werden. Die Röntgenprojektionen werden aus dem Röntgendetektor 12 ausgelesen und an eine Computervorrichtung 41 übermittelt, wo aus dem aufgenommenen Satz von Röntgenprojektionen mittels eines grundsätzlich bekannten Rekonstruktionsalgorithmus rekonstruierte dreidimensionale Volumendaten der Probe 13 errechnet und beispielsweise auf einem Bildschirm 42 dargestellt werden. Die Computervorrichtung 41 kann, wie in Fig. 1 gezeigt, ebenfalls zur Steuerung der Röntgenquelle 11, des Probenhalters 20 und des Röntgendetektors 12 eingerichtet sein; alternativ kann eine separate Steuervorrichtung vorgesehen sein.
Die Mikrofokus-Röntgenröhre 11 umfasst ein Kathodenelement 15, einen Wehnelt -Zylinder 21, eine Anode 19, eine vorzugsweise als elektromagnetische Linse ausgeführte Fokussierlinse 22 und ein Elektronenstrahl -Target 23. Des Weiteren kann eine weitere elektromagnetische Linse 25 vorgesehen sein, die vorzugsweise als Kondensorlinse eingerichtet ist, um den Elektronenstrahl 24 näherungsweise parallel auszurichten oder um eine Zwischenabbildung zu erzeugen; die Kondensorlinse 25 ist jedoch nicht zwingend erforderlich. Die Mikrofokus -Röntgenröhre 11 umfasst weiterhin zweckmäßigerweise eine nicht gezeigte Ablenkeinheit zur Strahllagejustierung . Die Mikrofokus-Röntgenröhre 11 ist so eingerichtet, dass der minimale Fokus bzw. Brennfleck auf dem Target 23 kleiner oder gleich 10 μπι, vorzugsweise kleiner oder gleich 4 μπι, noch weiter vorzugsweise kleiner oder gleich 2 μπι beträgt .
Die Mikrofokus-Röntgenröhre 11 umfasst des Weiteren ein Gehäuse, das aus mehreren Abschnitten zusammengesetzt sein kann. Insbesondere kann ein das Kathodenelement 15 aufnehmender und die Anode 19 bildender Gehäuseabschnitt 35, ein die Fokussierlinse 22 umgebender Gehäuseabschnitt 36 und gegebenenfalls ein dazwischen angeordneter mittlerer Gehäuseabschnitt 37, in dem beispielsweise die Kondensorlinse 25 angeordnet sein kann, vorgesehen sein. Das die Spule 33 umgebende Gehäuse 36 ist vorteilhafterweise frei von thermisch isolierenden, insbesondere nichtmetallischen Abschirmungen oder Schichten, die die Einstellung eines thermischen Gleichgewichts behindern würden
Die Röntgenröhre 11 umfasst eine ringförmige Kühlkammer 30, die einen Einlass 31 und einen Auslass 32 aufweist, die über Kühlmittelleitungen 38 mit einer nicht gezeigten Kühlmittelpumpe zu einem Kühlkreislauf verbindbar sind. Auf diese Weise kann ein flüssiges Kühlmittel, insbesondere Wasser oder Öl, durch die Kühlkammer 30 strömen, um dem Eintrag von Wärmeener gie aus verschiedenen internen und externen Wärmequellen und einer damit verbundenen Verschiebung des Fokuspunkts 16 relativ zu der Röhrenbefestigung 39 entgegenzuwirken. Die genannten Wärmequellen entstehen beispielsweise aufgrund des Auf- treffens des Elektronenstrahls 24 auf dem Target 23, der Ener giedissipation in der Elektronenoptik 22 und der Absorption thermischer Energie über die Oberfläche des Röhrengehäuses 34
Die Kühlkammer 30 ist ringförmig in sich geschlossen, wie am besten aus den Figuren 3 und 6 ersichtlich ist. In der Ausfüh rungsform gemäß Figur 3 ist der flüssigkeitsdurchströmte Innenraum der Kühlkammer 30 umlaufend vollständig durchgängig. In dieser Ausführungsform sind Einlass 31 und Auslass 32 vorzugsweise um 180° versetzt zueinander, d.h. einander gegenüberliegend angeordnet, wie in Fig. 3 gezeigt, damit die Kühlkammer 30 möglichst gleichförmig durchströmt wird und sich keine Vorzugsfließrichtung für das Kühlmedium ausbildet.
In der Ausführungsform gemäß Figur 6 ist dagegen in der Kühlkammer 30 eine radiale Trennwand 48 vorgesehen, die den flüs- sigkeitsdurchströmten Innenraum der Kühlkammer 30 an einer Um fangssteile unterbricht. In diesem Fall sind Einlass 31 und Auslass 32 zweckmäßigerweise im Bereich der Trennwand 48 auf entgegengesetzten Seiten derselben angeordnet, um eine vollständige Durchströmung der Kühlkammer 30 zu erreichen. In diesem Ausführungsbeispiel können Einlass und Auslass auch im Wesentlichen ohne Umfangsversatz , sondern stattdessen axial versetzt angeordnet sein.
Die Ausführungsform gemäß Figur 6 verdeutlicht, dass das erfindungsgemäße Merkmal „im Wesentlichen rotationssymmetrisch" bedeutet: rotationssymmetrisch abgesehen von Ein- und Auslässen 31, 32 für das Kühlmittel, etwaigen Trennwänden 48 in der Kühlkammer und gegebenenfalls weiteren, die Rotationssymmetrie nicht wesentlich störenden Funktionselementen. Die Begriffe axial, radial und rotationssymmetrisch beziehen sich im Rahmen dieser Anmeldung auf die Längsachse der Röhre 11, welche durch die Mittelachse des Elektronenstrahls 24 zwischen der Kathode 15 und dem Target 23 definiert ist.
In der Ausführungsform gemäß Figur 2 ist die Kühlkammer 30 um das Röhrengehäuse 34, insbesondere um den die Fokussierlinse 22 umgebenden Gehäuseabschnitt 36 angeordnet. In dieser Ausführungsform erstreckt sich die Kühlkammer 30 überwiegend axial, d.h. ihre axiale Erstreckung ist vorzugsweise mindestens doppelt so groß wie ihre radiale Erstreckung. Beispielsweise kann die axiale Erstreckung der Kühlkammer 30 an die axiale Erstreckung der Spule 33 der Fokussierlinse 22 ange- passt sein.
In den Ausführungsformen gemäß Figur 4 und 5 ist die Kühlkammer 30 in dem Röhrengehäuse 34 angeordnet. In der in Figur 4 gezeigten Variante ist die Kühlkammer 30 außen an dem die Fokussierlinse 22 umgebenden Gehäuseabschnitt 36, hier in dem mittleren Gehäuseabschnitt 37, angeordnet. In der in Figur 5 gezeigten Variante ist die Kühlkammer 30 in dem die Fokussierlinse 22 umgebenden Gehäuseabschnitt 36 unmittelbar neben der Spule 33 angeordnet. In beiden Ausführungsformen erstreckt sich die Kühlkammer 30 überwiegend radial, d.h. ihre radiale Erstreckung ist vorzugsweise um mindestens 50% größer als ihre axiale Erstreckung. Beispielsweise kann die radiale Erstreckung der Kühlkammer 30 an die radiale Erstreckung der Spule 33 der Fokussierlinse 22 angepasst sein.
In den Ausführungsbeispielen gemäß Figuren 2, 4 und 5 ist die Kühlkammer 30 benachbart zu der Spule 33 der Fokussierlinse 22 angeordnet, da diese eine Hauptwärmequelle in der Röhre 11 darstellt. Die Erfindung ist aber nicht auf eine zu der Fokussierlinse 25 benachbarte Anordnung der Kühlkammer 30 beschränkt .
In den Ausführungsformen gemäß Figuren 2 bis 6 weist die Kühlkammer die bevorzugte Form eines Ringzylinders auf. Die radiale Außenwand 45 und die radiale Innenwand 46 der Kühlkammer 30 sind demnach zylindrisch geformt. Die zur Bildung einer geschlossenen Kühlkammer 30 erforderlichen Seitenwände 47 sind vorzugsweise scheibenförmig.
Die die Kühlkammer bildende Wände 45, 46, 47 bestehen vorzugsweise aus einem Material mit einer guten Wärmeleitfähigkeit von mindestens 50 W/mK, insbesondere aus einem Material auf der Grundlage von Aluminium, Kupfer und/oder Messing.
Wie aus den Figuren 2, 4 und 5 ersichtlich ist, ist die Querschnittsfläche der Kühlkammer 30 in einem Längsquerschnitt mehr als zehnmal so groß wie die Querschnittsfläche von mit der Kühlkammer 30 über die Anschlüsse 31, 32 zu verbindenden Kühlleitungen 38. Die Fließgeschwindigkeit des Kühlmediums in der Kühlkammer 30 ist daher vorzugsweise mehr als zehnmal kleiner als in den mit der Kühlkammer 30 über die Anschlüsse 31, 32 zu verbindenden Kühlleitungen 38. Die lichten Innenabmessungen der Kühlkammer 30 in einem Längsquerschnitt sind erheblich größer als die Wandstärken der Wände 45 bis 47, damit möglichst viel von dem zur Verfügung stehenden Bauraum als Kühlmittelvolumen nutzbar ist. Die vorgenannten Merkmale tragen zu einer effizienten Kühlung aufgrund größtmöglichen Kühl- volumens in der Kühlkammer 30 bei gegebener Baugröße bei.
Die Erfindung ist nicht auf einen Kühlmitteleinlass 31, einen Kühlmittelauslass 32 und gegebenenfalls eine Trennwand 48 beschränkt. Es sind weitere Ausführungsformen mit einer Mehrzahl von Kühlmitteleinlässen 31, einer Mehrzahl von Kühlmittelein- lässen 31 und/oder einer Mehrzahl von Trennwänden 48 denkbar.
Die Röhre 11 kann eine Mehrzahl von Kühlkammern 30 aufweisen, die beispielsweise axial versetzt zueinander angeordnet sein können .
Die Kühlkammer 30 wurde vorstehend im Zusammenhang mit einer Röhre 11 mit Transmissionstarget beschrieben. Die Kühlkammer 30 kann jedoch ohne Weiteres alternativ in einer Röhre 11 mit Direktstrahlgeometrie, d.h. mit Reflektionstarget , vorteilhaft eingesetzt werden.
Die Röhre 11 wurde vorstehend für die bevorzugte Anwendung in einer CT-Vorrichtung beschrieben. Es sind jedoch andere Anwendungen für die industrielle Röntgenprüfung oder Röntgenvermes- sung von Bauteilen denkbar. Im Allgemeinen kann die Röntgenröhre 11 vorteilhaft in einer hochauflösenden Röntgenvorrich- tung mit einem bildgebenden Detektor verwendet werden.

Claims

Ansprüche :
1. Mikrofokus -Röntgenröhre (11) für eine hochauflösende Rönt- genvorrichtung, umfassend ein Gehäuse (34) , eine Elektro- nenstrahlquelle (15) zur Erzeugung eines Elektronenstrahls (14) und eine Fokussierlinse (22) zur Fokussierung des E- lektronenstrahls (24) auf ein Target (23) , dadurch gekennzeichnet, dass die Röntgenröhre (11) eine im Wesentlichen rotationssymmetrische, ringförmige Kühlkammer (30) aufweist, die zur Durchströmung mit einem flüssigen Kühlmedium eingerichtet ist.
2. Röntgenröhre nach Anspruch 1, wobei die Querschnittsfläche der Kühlkammer (30) in einem Längsquerschnitt mindestens fünfmal so groß ist wie die Querschnittsfläche von mit der Kühlkammer (30) zu verbindenden Kühlleitungen (38) .
3. Röntgenröhre nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die lichten Innenabmessungen der Kühlkammer (30) in einem Längsquerschnitt größer sind als die Wandstärken der Kühl- kammerwände (47-47) .
4. Röntgenröhre nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Kühlkammer (30) die Form eines Ringzylinders aufweist.
5. Röntgenröhre nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Einlass (31) und ein Auslass (32) für das Kühlmedium in Umfangsrichtung der Röhre versetzt zueinander angeordnet sind .
6. Röntgenröhre nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Einlass (31) und ein Auslass (32) für das Kühlmedium einander gegenüberliegend in Bezug auf die Röhrenachse an- geordnet sind.
7. Röntgenröhre nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Kühlkammer (30) benachbart zu einer Spule (33) der Fo- kussierlinse (22) angeordnet ist.
8. Röntgenröhre nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Kühlkammer (30) bildende Wände (45-47) aus einem Material mit einer Wärmeleitfähigkeit von mindestens 50 W/mK bestehen.
9. Röntgenröhre nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Kühlkammer (30) bildende Wände (45-47) aus einem Material auf der Grundlage von Aluminium, Kupfer und/oder Messing besteht .
PCT/EP2010/005273 2010-08-27 2010-08-27 Mikrofokus-röntgenröhre für eine hochauflösende röntgenvorrichtung WO2012025136A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2010/005273 WO2012025136A1 (de) 2010-08-27 2010-08-27 Mikrofokus-röntgenröhre für eine hochauflösende röntgenvorrichtung
US13/818,994 US9153408B2 (en) 2010-08-27 2010-08-27 Microfocus X-ray tube for a high-resolution X-ray apparatus
JP2013525146A JP5675987B2 (ja) 2010-08-27 2010-08-27 高分解能ｘ線装置用の微小焦点ｘ線管
CN2010800688420A CN103189955A (zh) 2010-08-27 2010-08-27 用于高分辨率x射线设备的微焦点x射线管
EP10749795.0A EP2609612B1 (de) 2010-08-27 2010-08-27 Mikrofokus-röntgenröhre für eine hochauflösende röntgenvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2010/005273 WO2012025136A1 (de) 2010-08-27 2010-08-27 Mikrofokus-röntgenröhre für eine hochauflösende röntgenvorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012025136A1 true WO2012025136A1 (de) 2012-03-01

Family

ID=43904027

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2010/005273 WO2012025136A1 (de) 2010-08-27 2010-08-27 Mikrofokus-röntgenröhre für eine hochauflösende röntgenvorrichtung

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9153408B2 (de)
EP (1) EP2609612B1 (de)
JP (1) JP5675987B2 (de)
CN (1) CN103189955A (de)
WO (1) WO2012025136A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103367083A (zh) * 2013-07-10 2013-10-23 杭州电子科技大学 小束斑x射线设备
CN104756222A (zh) * 2012-10-22 2015-07-01 株式会社岛津制作所 X射线管装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2765408B1 (de) * 2011-10-04 2018-07-25 Nikon Corporation Röntgenstrahlenvorrichtung, röntgenbestrahlungsverfahren und herstellungsverfahren für eine struktur
CN103578886B (zh) * 2013-11-12 2016-08-17 陆振民 电磁波发生装置
US10354418B2 (en) * 2014-08-16 2019-07-16 Fei Company Tomographic reconstruction for material characterization
CN105047509B (zh) * 2015-07-24 2017-03-29 中国科学院电工研究所 大束流电子束打靶微束斑x射线源的聚焦装置
EP3389055A1 (de) * 2017-04-11 2018-10-17 Siemens Healthcare GmbH Röntgeneinrichtung zur erzeugung von hochenergetischer röntgenstrahlung
DE102018107952B4 (de) * 2018-04-04 2024-01-04 Comet Ag Blendenhalter für eine Objektivblende einer Röntgenröhre, Objektivblende und Röntgenröhre
CN109087838A (zh) * 2018-06-19 2018-12-25 广州市昊志影像科技有限公司 一种基于碳纳米管场发射的微焦点x射线管
US11721515B2 (en) * 2021-01-22 2023-08-08 Hamamatsu Photonics K.K. X-ray module

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB235892A (en) * 1924-06-18 1925-11-05 Philips Nv Improvements in or relating to x-ray tubes
US1917099A (en) * 1929-10-18 1933-07-04 Gen Electric x-ray tube
US2356645A (en) * 1943-02-08 1944-08-22 Gen Electric X Ray Corp X-ray tube
US2608664A (en) * 1945-09-18 1952-08-26 Research Corp Method of generating an accurately focused beam of charged particles
US6430263B1 (en) * 2000-12-01 2002-08-06 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Cold-plate window in a metal-frame x-ray insert

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3222511C2 (de) * 1982-06-16 1985-08-29 Feinfocus Röntgensysteme GmbH, 3050 Wunstorf Feinfokus-Röntgenröhre
JP2920390B2 (ja) 1989-11-08 1999-07-19 株式会社日立製作所 電子レンズの冷却系
US6249569B1 (en) * 1998-12-22 2001-06-19 General Electric Company X-ray tube having increased cooling capabilities
JP2001006592A (ja) 1999-06-24 2001-01-12 Nikon Corp 冷却装置、荷電粒子線露光装置及び半導体装置の製造方法
US6438207B1 (en) * 1999-09-14 2002-08-20 Varian Medical Systems, Inc. X-ray tube having improved focal spot control
US6580780B1 (en) * 2000-09-07 2003-06-17 Varian Medical Systems, Inc. Cooling system for stationary anode x-ray tubes
JP3880897B2 (ja) 2002-07-18 2007-02-14 株式会社東芝 回転陽極型ｘ線管
JP3950389B2 (ja) 2002-08-14 2007-08-01 浜松ホトニクス株式会社 Ｘ線管
DE10320361B3 (de) * 2003-05-07 2004-12-16 Siemens Ag Vorrichtung mit einem in einem Fluid eingetauchten Drehkörper, insbesondere Röntgenstrahler
US6852982B1 (en) 2003-07-14 2005-02-08 Fei Company Magnetic lens
JP4987299B2 (ja) * 2003-10-17 2012-07-25 株式会社東芝 Ｘ線装置
US6977991B1 (en) * 2004-01-13 2005-12-20 Siemens Aktiengesellschaft Cooling arrangement for an X-ray tube having an external electron beam deflector
DE602005018441D1 (de) * 2004-01-13 2010-02-04 Koninkl Philips Electronics Nv Zusammengesetzter rahmen für röntgenröhren
ATE493868T1 (de) 2004-01-13 2011-01-15 Koninkl Philips Electronics Nv Röntgenröhren-kühlkragen
JP2007523447A (ja) * 2004-01-13 2007-08-16 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Ｘ線管のための流体流れセンサ
DE102005049270B4 (de) * 2005-10-14 2012-02-16 Siemens Ag Drehkolbenröhre mit einer von Kühlflüssigkeit durchströmten Kühleinrichtung sowie Verwendung der Kühlflüssigkeit
DE102005049455B4 (de) * 2005-10-15 2007-11-22 Ziehm Imaging Gmbh Wärmetauscher für einen Einkessel-Generator einer Röntgendiagnostikeinrichtung mit einer Drehanodenröhre mit Glasgehäuse
JP3887395B2 (ja) 2005-11-25 2007-02-28 株式会社東芝 Ｘ線発生装置
FR2895831B1 (fr) 2006-01-03 2009-06-12 Alcatel Sa Source compacte a faisceau de rayons x de tres grande brillance
JP2007294420A (ja) * 2006-03-29 2007-11-08 Toshiba Corp 回転陽極ｘ線管装置
US7520672B2 (en) * 2006-03-31 2009-04-21 General Electric Company Cooling assembly for an X-ray tube
JP4908341B2 (ja) * 2006-09-29 2012-04-04 株式会社東芝 回転陽極型ｘ線管装置
US7508916B2 (en) * 2006-12-08 2009-03-24 General Electric Company Convectively cooled x-ray tube target and method of making same
DE602007011888D1 (de) 2007-03-14 2011-02-24 Integrated Circuit Testing Kühlung der Spule einer Magnetlinse
JP5363721B2 (ja) 2007-11-15 2013-12-11 株式会社日立製作所 荷電粒子線装置における冷却装置
DE102008038582A1 (de) * 2008-08-21 2010-02-25 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenstrahler
US8009805B2 (en) * 2009-06-09 2011-08-30 General Electric Company Rotating union for a liquid cooled rotating X-ray target
US8009806B2 (en) * 2009-07-13 2011-08-30 General Electric Company Apparatus and method of cooling a liquid metal bearing in an x-ray tube

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB235892A (en) * 1924-06-18 1925-11-05 Philips Nv Improvements in or relating to x-ray tubes
US1917099A (en) * 1929-10-18 1933-07-04 Gen Electric x-ray tube
US2356645A (en) * 1943-02-08 1944-08-22 Gen Electric X Ray Corp X-ray tube
US2608664A (en) * 1945-09-18 1952-08-26 Research Corp Method of generating an accurately focused beam of charged particles
US6430263B1 (en) * 2000-12-01 2002-08-06 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Cold-plate window in a metal-frame x-ray insert

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104756222A (zh) * 2012-10-22 2015-07-01 株式会社岛津制作所 X射线管装置
CN103367083A (zh) * 2013-07-10 2013-10-23 杭州电子科技大学 小束斑x射线设备

Also Published As

Publication number Publication date
US20130208870A1 (en) 2013-08-15
JP2013538421A (ja) 2013-10-10
EP2609612B1 (de) 2019-11-13
CN103189955A (zh) 2013-07-03
EP2609612A1 (de) 2013-07-03
US9153408B2 (en) 2015-10-06
JP5675987B2 (ja) 2015-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2609612A1 (de) Mikrofokus-röntgenröhre für eine hochauflösende röntgenvorrichtung
DE102012002633B4 (de) Wärmemanagementsysteme und -anordnungen für Kollektoren mit streifendem Einfall für die EUV-Lithographie sowie EUV-Lithographiesystem
EP2849649B1 (de) Röntgendetektor mit manipulationseinrichtung zum bewegen von detektormodulen auf einer kreisbahn
DE19950660B4 (de) Kühlanordnung für einen Motor
EP3060903B1 (de) Verfahren zum rotieren eines prüfobjekts mittels eines röntgenprüfsystems
DE202012006851U1 (de) Zoomobjektiveinrichtung mit Fokuseinstellung und optische Abbildungsvorrichtung mit dieser Einrichtung
DE102004018765A1 (de) Stationäres Computertomographiesystem mit kompakter Röntgenquellen-Baueinheit
DE102005037807A1 (de) Ausleger- und Spreiz-Röntgenröhrenkonfigurationen für eine rotierende Anode mit Vakuumübergangskammern
DE102009052627A1 (de) Streustrahlungskollimator und Verfahren zur Herstellung eines Streustrahlungskollimators
DE102010029080A1 (de) Temperiereinrichtung für ein NMR-Probenröhrchen
DE102010002298A1 (de) Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit einer Kühlvorrichtung
DE202010017348U1 (de) Kühleinrichtung für einen bei erhöhter Umgebungstemperatur einsetzbaren Sensor
DE2813860A1 (de) Eintank-roentgengenerator
DE102013227060A1 (de) Drehrahmen für die Gantry eines Computertomographen, sowie Gantry und Computertomograph mit einem solchen Drehrahmen
DE102005060242B4 (de) Verfahren und Aufbau zur Milderung der elektrischen Beanspruchung an Hochspannungsisolatoren in Röntgenröhren
DE102006046416B4 (de) Vorrichtung zur Temperaturkompensation eines optischen Systems
DE2653905A1 (de) Waermeuebertrager mit einem buendel schraubenlinienfoermig gewundener rohre
EP1705419B1 (de) Kryostatanordnung mit thermisch kompensierter Zentrierung
DE102010039965B4 (de) EUV-Kollektor
DE102018222625A1 (de) Kühlkörper für einen elektrischen Motor, elektrischer Motor und Verfahren zum Kühlen des Motors
DE102018206138A1 (de) Gehäuse eines Elektromotors
DE102009037724B4 (de) Röntgenstrahler
DE102012217567A1 (de) Kühleinrichtung einer Gantry eines Computertomographen
DE102017207726A1 (de) Baugruppe zur Kühlung eines optischen Elements, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
DE102010054816B3 (de) Stabanode einer Mikrofocus-Röntgenröhre

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 10749795

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2010749795

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2013525146

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13818994

Country of ref document: US