JP2013538421A - 高分解能x線装置用の微小焦点x線管 - Google Patents
高分解能x線装置用の微小焦点x線管 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013538421A JP2013538421A JP2013525146A JP2013525146A JP2013538421A JP 2013538421 A JP2013538421 A JP 2013538421A JP 2013525146 A JP2013525146 A JP 2013525146A JP 2013525146 A JP2013525146 A JP 2013525146A JP 2013538421 A JP2013538421 A JP 2013538421A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling chamber
- ray
- tube
- ray tube
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
- H01J35/153—Spot position control
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/02—Constructional details
- H05G1/025—Means for cooling the X-ray tube or the generator
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/12—Cooling
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/12—Cooling
- H01J2235/1216—Cooling of the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/12—Cooling
- H01J2235/1225—Cooling characterised by method
- H01J2235/1262—Circulating fluids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/12—Cooling
- H01J2235/1225—Cooling characterised by method
- H01J2235/1262—Circulating fluids
- H01J2235/1266—Circulating fluids flow being via moving conduit or shaft
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/112—Non-rotating anodes
- H01J35/116—Transmissive anodes
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【選択図】図1
Description
11 X線管
12 X線検出器
13 サンプル
14 X線放射
15 カソードエレメント、電子ビーム源
16 集束点
19 アノード
20 サンプル保持具
21 ウェーネルト円筒
22 集束レンズ
23 ターゲット
24 電子ビーム
25 電磁レンズ
30 冷却チャンバ
31 入口
32 出口
33 コイル
34 ハウジング
35 ハウジング
36 ハウジング
37 ハウジング
38 冷媒配管、冷却配管、冷却ダクト
39 管取り付け台
41 計算装置
42 画面
45 外部壁
46 内部壁
47 側壁
48 仕切り
Claims (9)
- ハウジング(34)、電子ビーム(24)を生成するための電子ビーム源(15)、およびターゲット(23)上に電子ビーム(24)を集束させるための集束レンズ(22)を備える高分解能X線装置用の微小焦点X線管(11)であって、液体冷却媒体を循環させるために設置された実質的に回転対称のリング状の冷却チャンバ(30)を有することを特徴とする、X線管(11)。
- 長手方向断面における前記冷却チャンバ(30)の断面積が、前記冷却チャンバ(30)に接続されるべき冷却ダクト(38)の断面積よりも少なくとも5倍大きいことを特徴とする、請求項1記載のX線管。
- 長手方向断面における前記冷却チャンバ(30)の正味の内部寸法が、冷却チャンバ壁(45〜47)の壁厚より大きいことを特徴とする、請求項1乃至2のいずれか1項記載のX線管。
- 前記冷却チャンバ(30)が、環状円筒の形状を有することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項記載のX線管。
- 前記管の円周方向における前記冷却媒体用の入口(31)および出口(32)が、互いにオフセットされて配置されていることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項記載のX線管。
- 前記冷却媒体用の入口(31)および出口(32)が、管軸に関して反対側に配置されていることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項記載のX線管。
- 前記冷却チャンバ(30)が、前記集束レンズ(22)のコイル(33)に隣接して配置されていることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか1項記載のX線管。
- 前記冷却チャンバ(30)を形成する前記壁(45〜47)が、少なくとも50W/mKの熱伝導率を有する材料から成ることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか1項記載のX線管。
- 前記冷却チャンバ(30)を形成する前記壁(45〜47)が、アルミニウム、銅、および/または真鍮をベースとする材料から成ることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか1項記載のX線管。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/EP2010/005273 WO2012025136A1 (de) | 2010-08-27 | 2010-08-27 | Mikrofokus-röntgenröhre für eine hochauflösende röntgenvorrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013538421A true JP2013538421A (ja) | 2013-10-10 |
JP5675987B2 JP5675987B2 (ja) | 2015-02-25 |
Family
ID=43904027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013525146A Expired - Fee Related JP5675987B2 (ja) | 2010-08-27 | 2010-08-27 | 高分解能x線装置用の微小焦点x線管 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9153408B2 (ja) |
EP (1) | EP2609612B1 (ja) |
JP (1) | JP5675987B2 (ja) |
CN (1) | CN103189955A (ja) |
WO (1) | WO2012025136A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2765408B1 (en) * | 2011-10-04 | 2018-07-25 | Nikon Corporation | X-ray device, x-ray irradiation method, and manufacturing method for structure |
EP2911179B1 (en) * | 2012-10-22 | 2017-11-29 | Shimadzu Corporation | X-ray tube device |
CN103367083A (zh) * | 2013-07-10 | 2013-10-23 | 杭州电子科技大学 | 小束斑x射线设备 |
CN103578886B (zh) * | 2013-11-12 | 2016-08-17 | 陆振民 | 电磁波发生装置 |
US10354418B2 (en) * | 2014-08-16 | 2019-07-16 | Fei Company | Tomographic reconstruction for material characterization |
CN105047509B (zh) * | 2015-07-24 | 2017-03-29 | 中国科学院电工研究所 | 大束流电子束打靶微束斑x射线源的聚焦装置 |
EP3389055A1 (de) * | 2017-04-11 | 2018-10-17 | Siemens Healthcare GmbH | Röntgeneinrichtung zur erzeugung von hochenergetischer röntgenstrahlung |
DE102018107952B4 (de) * | 2018-04-04 | 2024-01-04 | Comet Ag | Blendenhalter für eine Objektivblende einer Röntgenröhre, Objektivblende und Röntgenröhre |
CN109087838A (zh) * | 2018-06-19 | 2018-12-25 | 广州市昊志影像科技有限公司 | 一种基于碳纳米管场发射的微焦点x射线管 |
US11721515B2 (en) * | 2021-01-22 | 2023-08-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray module |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03152844A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-28 | Hitachi Ltd | 電子レンズの冷却系 |
JP2001006592A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-12 | Nikon Corp | 冷却装置、荷電粒子線露光装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2004055262A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Toshiba Corp | 回転陽極型x線管 |
JP2004079304A (ja) * | 2002-08-14 | 2004-03-11 | Hamamatsu Photonics Kk | X線管 |
JP2005038857A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-10 | Fei Co | 磁界レンズ |
JP2006128137A (ja) * | 2005-11-25 | 2006-05-18 | Toshiba Corp | X線発生装置 |
JP2009123555A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Institute Of Physical & Chemical Research | 荷電粒子線装置における冷却装置 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL16090C (ja) * | 1924-06-18 | |||
US1917099A (en) | 1929-10-18 | 1933-07-04 | Gen Electric | x-ray tube |
US2356645A (en) * | 1943-02-08 | 1944-08-22 | Gen Electric X Ray Corp | X-ray tube |
BE474550A (ja) * | 1945-09-18 | |||
DE3222511C2 (de) * | 1982-06-16 | 1985-08-29 | Feinfocus Röntgensysteme GmbH, 3050 Wunstorf | Feinfokus-Röntgenröhre |
US6249569B1 (en) * | 1998-12-22 | 2001-06-19 | General Electric Company | X-ray tube having increased cooling capabilities |
US6438207B1 (en) * | 1999-09-14 | 2002-08-20 | Varian Medical Systems, Inc. | X-ray tube having improved focal spot control |
US6580780B1 (en) * | 2000-09-07 | 2003-06-17 | Varian Medical Systems, Inc. | Cooling system for stationary anode x-ray tubes |
US6430263B1 (en) * | 2000-12-01 | 2002-08-06 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Cold-plate window in a metal-frame x-ray insert |
DE10320361B3 (de) * | 2003-05-07 | 2004-12-16 | Siemens Ag | Vorrichtung mit einem in einem Fluid eingetauchten Drehkörper, insbesondere Röntgenstrahler |
JP4987299B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2012-07-25 | 株式会社東芝 | X線装置 |
US6977991B1 (en) * | 2004-01-13 | 2005-12-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Cooling arrangement for an X-ray tube having an external electron beam deflector |
DE602005018441D1 (de) * | 2004-01-13 | 2010-02-04 | Koninkl Philips Electronics Nv | Zusammengesetzter rahmen für röntgenröhren |
ATE493868T1 (de) | 2004-01-13 | 2011-01-15 | Koninkl Philips Electronics Nv | Röntgenröhren-kühlkragen |
JP2007523447A (ja) * | 2004-01-13 | 2007-08-16 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | X線管のための流体流れセンサ |
DE102005049270B4 (de) * | 2005-10-14 | 2012-02-16 | Siemens Ag | Drehkolbenröhre mit einer von Kühlflüssigkeit durchströmten Kühleinrichtung sowie Verwendung der Kühlflüssigkeit |
DE102005049455B4 (de) * | 2005-10-15 | 2007-11-22 | Ziehm Imaging Gmbh | Wärmetauscher für einen Einkessel-Generator einer Röntgendiagnostikeinrichtung mit einer Drehanodenröhre mit Glasgehäuse |
FR2895831B1 (fr) | 2006-01-03 | 2009-06-12 | Alcatel Sa | Source compacte a faisceau de rayons x de tres grande brillance |
JP2007294420A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-11-08 | Toshiba Corp | 回転陽極x線管装置 |
US7520672B2 (en) * | 2006-03-31 | 2009-04-21 | General Electric Company | Cooling assembly for an X-ray tube |
JP4908341B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2012-04-04 | 株式会社東芝 | 回転陽極型x線管装置 |
US7508916B2 (en) * | 2006-12-08 | 2009-03-24 | General Electric Company | Convectively cooled x-ray tube target and method of making same |
DE602007011888D1 (de) | 2007-03-14 | 2011-02-24 | Integrated Circuit Testing | Kühlung der Spule einer Magnetlinse |
DE102008038582A1 (de) * | 2008-08-21 | 2010-02-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenstrahler |
US8009805B2 (en) * | 2009-06-09 | 2011-08-30 | General Electric Company | Rotating union for a liquid cooled rotating X-ray target |
US8009806B2 (en) * | 2009-07-13 | 2011-08-30 | General Electric Company | Apparatus and method of cooling a liquid metal bearing in an x-ray tube |
-
2010
- 2010-08-27 US US13/818,994 patent/US9153408B2/en active Active
- 2010-08-27 JP JP2013525146A patent/JP5675987B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-08-27 WO PCT/EP2010/005273 patent/WO2012025136A1/de active Application Filing
- 2010-08-27 EP EP10749795.0A patent/EP2609612B1/de active Active
- 2010-08-27 CN CN2010800688420A patent/CN103189955A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03152844A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-28 | Hitachi Ltd | 電子レンズの冷却系 |
JP2001006592A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-12 | Nikon Corp | 冷却装置、荷電粒子線露光装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2004055262A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Toshiba Corp | 回転陽極型x線管 |
JP2004079304A (ja) * | 2002-08-14 | 2004-03-11 | Hamamatsu Photonics Kk | X線管 |
JP2005038857A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-10 | Fei Co | 磁界レンズ |
JP2006128137A (ja) * | 2005-11-25 | 2006-05-18 | Toshiba Corp | X線発生装置 |
JP2009123555A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Institute Of Physical & Chemical Research | 荷電粒子線装置における冷却装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130208870A1 (en) | 2013-08-15 |
EP2609612B1 (de) | 2019-11-13 |
CN103189955A (zh) | 2013-07-03 |
EP2609612A1 (de) | 2013-07-03 |
US9153408B2 (en) | 2015-10-06 |
JP5675987B2 (ja) | 2015-02-25 |
WO2012025136A1 (de) | 2012-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5675987B2 (ja) | 高分解能x線装置用の微小焦点x線管 | |
CN105393330B (zh) | x射线源、高电压发生器、电子束枪、旋转靶组件、旋转靶以及旋转真空密封件 | |
US9251994B2 (en) | X-ray tube assembly and X-ray computerized tomography scanner | |
JP2009545840A (ja) | 透過アノードを有するx線管 | |
JP5975667B2 (ja) | Euvリソグラフィ用斜入射集光器の熱管理システム、アセンブリ、方法 | |
JP2014026964A (ja) | X線管およびその動作方法 | |
JP2005527067A (ja) | 回転する陰極x線管ヒートバリア | |
US20150023472A1 (en) | X-Ray Testing Device for Material Testing and Method for the Generation of High-Resolution Projections of a Test Object by means of X-Ray Beams | |
Chen et al. | Determination of laser entrance hole size for ignition-scale octahedral spherical hohlraums | |
JP5890309B2 (ja) | X線管装置及びx線ct装置 | |
US20090252298A1 (en) | Radiation generator | |
US9131590B2 (en) | Radiation generating unit and radiography system | |
US11361930B2 (en) | Radiation emission device | |
JP5893927B2 (ja) | X線管装置及びx線ct装置 | |
JP7032915B2 (ja) | 原子力プラント、及びスリーブ冷却機構 | |
JP4846214B2 (ja) | 回転陽極型x線管 | |
Yu-dong et al. | Direct drive implosion experiments on SGIII prototype laser facility: Assessing energy coupling efficiency and implosion symmetry | |
JPH0513193A (ja) | X線束形成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130822 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140626 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5675987 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |