JP3887395B2

JP3887395B2 - Ｘ線発生装置

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Publication number: JP3887395B2
Application number: JP2005340272A
Authority: JP
Inventors: 良一高橋
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2005-11-25
Filing date: 2005-11-25
Publication date: 2007-02-28
Anticipated expiration: 2021-10-31
Also published as: JP2006128137A

Description

本発明は、ＣＴスキャナ等に用いられる大容量のＸ線発生装置に関し、特に、シールド構造体を流体で冷却するものに関する。

Ｘ線検出器のデジタル信号処理、画像再構成アルゴリズム及びコンピュータ能力の最近の進歩は、高速で信頼性の高いヘリカルＣＴスキャナの開発を可能にした。ヘリカルＣＴスキャナの処理能力は、Ｘ線発生装置の能力に左右される。

従来のＸ線発生装置は、冷却能力が乏しく、Ｘ線の連続発生が困難であった。この結果、ヘリカルＣＴスキャナの運転は、Ｘ線の発生、つまり、ＣＴ撮影と、Ｘ線発生装置の冷却のための一時的な停止の繰り返しとなり、稼動率が低下していた。

従来のＸ線発生装置は、真空容器を伴ったハウジングで構成される。さらに真空容器は、軸方向に配置された陰極と陽極から構成される。Ｘ線は、原子量の大きなターゲット金属（以下、「陽極」と称する）上で電子がすばやく減速し分散する間に発生する。陽極としては、タングステンやレニウムが使われる。電子は、加熱されたタングステンフィラメントから発射され、負にチャージされた陰極と正にチャージされた陽極の間を通過する間に加速される。そして、電子は、一般的に１２０〜１４０ｋｅＶのエネルギを持って、陽極表面に衝突する。陽極に衝突する電子がもつ運動エネルギのごくわずかの一部が、Ｘ線に変換される。

一方、残ったエネルギは熱となることから、陽極の集光スポット材料は、数ミリ秒の放射の間に２０００℃以上に達する。この熱を広い領域に拡散させるために、最も小さなＸ線発生装置でさえも、陽極は真空下で回転している。熱が拡散する領域をフォーカルトラックと呼んでいる。性能向上のために電子ビームパワーを増加させると、フォーカルトラックの温度が上昇することから、フォーカルトラック表面に大きな応力が発生し、クラックが発生する。このクラックは、Ｘ線発生装置の寿命を短くする。

エネルギを持った電子が陽極に衝突するときに、入射した電子の約半数は、逆方向に散乱する。逆方向に散乱した電子のほとんどは、最初から持っていた運動エネルギの多くの部分を持ちながら陽極の表面から離れるが、その後、陽極上の、Ｘ線を発生する集光スポットからある一定の距離の位置に再度衝突し、Ｘ線を放射する。この逆方向に散乱した電子によって生じる、集光スポットでない部分からの放射（以下、「オフフォーカル放射」と呼ぶ）は、Ｘ線の強度を低下させ、そして、Ｘ線の放射が正確な点光源からの放射でなくなるため、ＣＴ画像の画質を低下させる。

逆方向に散乱した電子はＣＴ画像を悪化させるだけでなく、Ｘ線チューブの陽極以外の部分にダメージを与える。例えば、電子のいくつかは、十分なエネルギを持ち、真空容器の壁やＸ線が出てくる窓に衝突し、真空容器とベリリウム窓を加熱する。冷媒がオイルの場合、真空容器の加熱された部分が３５０℃に達すると、冷却オイルが沸騰し、破壊され始める。この沸騰現象もＣＴ画像にアーチファクトを発生させる原因となる。また、冷却オイルの破壊は、カーボンを発生させ、時間の経過とともに、Ｘ線が出てくる窓や真空容器に堆積する。

従来のＸ線発生装置に用いられる冷媒は、オイルのような電気的な絶縁体であり、Ｘ線発生装置の中を循環するように設計されている。このようなＸ線発生装置の一例として例えば、冷却オイルが陽極のシャフトの中を循環するものが米国特許４，３０９，６３７に開示されている。さらにこの改良型として、オフフォーカル放射の効果を低減させるために、陽極の周囲を囲うシュラウドを設けることが提案されている。

しかしながら、シュラウドは電子源に向かって伸びていくため、電子ビームは、陽極に向かってシュラウドの穴を通過することになる。上記の米国特許に記載されたシュラウドは、冷却オイルがその中を流れるように中空構造である。このシュラウドがあるために、電子ビームは長い漂流領域を通過するため、電子ビームのぼけが発生する。また、このシュラウドでは、対流による熱伝達がもっとも必要であるにもかかわらず、冷却流体の流速は低い。さらに、陽極とカソード間の距離の増加に伴ってＸ線発生装置全体が大型化する。

このような欠点を改善したシールド構造体が米国特許５，６８９，５４２に開示されている。図１４はこのようなシールド構造体を用いたＸ線発生装置の要部を示す図である。図１４中１は真空容器、２は電子銃、３は陽極、４はシールド構造体を示している。電子銃２から照射された電子Ｅが陽極３に衝突するときに、入射した電子Ｅの約半数は、逆方向に散乱する。逆方向に散乱した電子Ｅは、前述したオフフォーカル放射の原因となる。また、陽極３の熱負荷を減少させるためには、陽極３に再衝突する前に電子を捕獲しなければならない。シールド構造体４はこのような逆方向に散乱した電子Ｅを捕獲する機能を有している。シールド構造体４に捕獲された電子Ｅのもつエネルギのほとんど全ては熱に変換される。よって、シールド構造体４は高度な冷却機能を持つ必要がある。

シールド構造体４は、高効率な対流熱伝達を実現することで高度な冷却機能を必要とする。例えば、７２ｋＷのＸ線発生装置の最大熱流束はシールド構造体４の内壁４ａで発生し、１０００Ｗ／ｃｍ^２以上となる。また、凹面壁４ｂでは、数百Ｗ／ｃｍ^２である。シールド構造体４の陽極３側の平らな壁面４ｃでは、陽極３からの熱放射（ふく射）により少量の熱負荷と、逆方向に散乱した電子Ｅによる熱負荷を受けるが、これは極少量である。

シールド構造体４の内部は、図１５の（ａ）〜（ｃ）に示すように構成されている。すなわち、内部が中空状に形成されたドーナツ状の本体５を備えている。本体５は電子ビーム及び反射した電子Ｅが通過する開口部５ａを備えている。本体５内部には仕切壁６が設けられ、第１流路６ａと第２流路６ｂとが形成されている。第１流路６ａには冷却液導入口７ａが設けられ、第２流路６ｂには冷却液排出７ｂが設けられている。また、仕切壁６の開口部５ａ側には隙間６ｃが設けられており、第１流路６ａと第２流路６ｂとが連通している。なお、電子Ｅが本体５に捕獲される外壁部が伝熱面８ａ，８ｂとなる。

冷却液導入口７ａから導入された冷却液は第１流路６ａを通流し、伝熱面８ａを介して加熱される。さらに、冷却液は隙間６ｃを通って第２流路６ｂに導入される。導入された冷却液は第２流路６ｂを通流し、伝熱面８ｂを介して加熱される。
国際公開第０１／０５１９６号公報特開平０８−１１５７９８号公報（図３）特表２００１−５０２４７３号公報（図３）特表平１１−５１０９５５号公報（第１１頁第１３−１４行）特開平０４−０３４８２３号公報（第２頁右下欄第１１−１４行）特開２０００−２５１８１０号公報（段落００１２）特開２０００−２５１８１１号公報（第４頁第５欄第９−２１行）

上述したＸ線発生装置には次のような問題があった。図１５の（ｃ）はシールド構造体４における冷却液の流れを概念的に示す図である。すなわち、冷却液は第１流路６ａ内で図中二点鎖線Ｆで示すように渦状に流れる。加熱された冷却液（暖かい）が新たに流入した冷却液（冷たい）と合流するため冷却液の温度が上昇する。よって、生温い冷却液が伝熱面８ａ，８ｂに接するため、冷却液が沸騰しやすくなり、バーンアウト現象を引き起こす可能性が大となる。

ここでバーンアウト現象、核沸騰熱伝達、膜沸騰熱伝達を説明する。

核沸騰熱伝達は、蒸気による小さな気泡が伝熱面に発生する状態である。大きな熱流束が得られるのが特徴である。核沸騰熱伝達を維持するためには、局所的に発生する小さな気泡が大きな気泡へと合体したり、膜状の気体に成長したりする前に、局所的な気泡を、加熱された表面からすばやく除去する必要がある。このためには、速い流速と適切な温度の多量の冷媒を必要とする。気泡は、周囲の大量の冷媒によって直ちに凝集し、冷媒の温度を沸騰しない程度に上昇させる。そして熱は、グツグツと沸騰している表面から除去される。

核沸騰熱伝達を維持するためには、局所的な流速は少なくとも１ｍ／ｓ以上必要である。そして、好ましい値は、その倍以上である。

次に膜沸騰熱伝達を説明する。これは、熱負荷が大きくなって、気泡が大きな気泡へと合体し熱源をとり囲むように膜状の気体に成長した状態である。この膜は熱を通さず、断熱材として作用するので、核沸騰熱伝達と比較して熱伝達率が大幅に低下して、パイプ壁面は高温（ほとんどの場合、金属の融点以上）になり、パイプは損傷する。これをバーンアウト現象という。

そこで本発明は、シールド構造体の冷却効率を上げ、逆方向に散乱する電子の捕獲により生じる加熱現象を最小化することで装置の冷却能力を向上し、連続運転を可能とするとともに、長寿命のＸ線発生装置を提供することを目的としている。

前記課題を解決し目的を達成するために、本発明のＸ線発生装置は次のように構成されている。

（１）陽極ターゲットと、この陽極ターゲットに電子ビームを照射する電子銃と、上記陽極ターゲットと上記電子銃との間に配置されたシールド構造体と、このシールド構造体内部に冷媒を循環させる冷却液循環部とを備え、上記シールド構造体は、上記電子ビームが通過する開口部を有するとともに、上記陽極ターゲットにて発生した電子を捕獲するボディ部と、このボディ部内部に形成され、上記開口部に隣接する内周部に設けられるとともに上記冷却液循環部から冷却液が導入される導入口を有する内側流路と、この内側流路の前記開口部側からみて外周側に壁面を介して設けられるとともに、上記内側流路を通過した上記冷却液が導入され、上記冷却液が上記冷却液循環部へ排出される排出口を有する外側流路とを具備し、上記内側流路は、上記陽極ターゲット側から上記電子銃側にかけて複数の流路に分割されていることを特徴とする。

（２）陽極ターゲットと、この陽極ターゲットに電子ビームを照射する電子銃と、上記陽極ターゲットと上記電子銃との間に配置されたシールド構造体と、このシールド構造体内部に冷媒を循環させる冷却液循環部とを備え、上記シールド構造体は、上記電子ビームが通過する開口部を有するとともに、上記陽極ターゲットにて発生した電子を捕獲するボディ部と、このボディ部内部に形成され、上記開口部に隣接する内周部に設けられるとともに上記冷却液循環部から冷却液が導入される導入口を有する内側流路と、この内側流路の前記開口部側からみて外周側に壁面を介して設けられるとともに、上記内側流路を通過した上記冷却液が導入され、上記冷却液が上記冷却液循環部へ排出される排出口を有する外側流路とを具備し、上記シールド構造体は、熱負荷が集中する部分に所定の熱伝導率を有する第１の材料を使用し、それ以外の部分に上記第１の材料よりも高い熱伝導率を有する第２の材料を使用したことを特徴とする。

（３）上記（２）に記載されたＸ線発生装置であって、上記第１の材料はステンレス鋼であり、上記第２の材料は銅又はタングステンの少なくとも一方であることを特徴とする。

（４）上記（１）〜（３）のいずれかに記載されたＸ線発生装置であって、上記内側流路と上記外側流路とは、接続口により接続されるとともに、この接続口は上記内側流路における上記導入口に対して最下流側に設けられ、かつ、上記外側流路における上記排出口に対して最上流側に設けられていることを特徴とする。

（５）上記（１）〜（３）のいずれかに記載されたＸ線発生装置であって、上記内側流路の外周側で、かつ、上記外側流路の内周側に上記内側流路及び上記外側流路と壁面を介して設けられるとともに、上記内側流路を通過した上記冷却液が導入され、かつ、上記外側流路にその内部を通過した冷却液を供給する中間流路が設けられていることを特徴とする。

（６）上記（１）〜（３）のいずれかに記載されたＸ線発生装置であって、上記シールド構造体は、上記内側流路又は外側流路の内壁面に凹凸部が設けられていることを特徴とする。

（７）上記（１）〜（３）のいずれかに記載されたＸ線発生装置であって、上記内側流路又は上記外側流路には、整流板が設けられていることを特徴とする。

（８）上記（１）〜（３）のいずれかに記載されたＸ線発生装置であって、上記内側流路と上記外側流路の断面積の比は、１：４〜１：７であることを特徴とする。

本発明によれば、シールド構造体の冷却効率を上げ、逆方向に散乱する電子の捕獲により生じる加熱現象を最小化することで装置の冷却能力を向上し、連続運転を可能とすることができる。さらに、陽極ターゲットの温度の上昇に伴うクラックの発生を防止できることにより装置の長寿命化を図ることが可能となる。

図１は本発明の第１の実施の形態に係るＸ線発生装置１０を示す断面図である。Ｘ線発生装置１０は、図示しないヘリカルＣＴスキャナ内に配置され冷却槽を構成する容器１１と、この容器１１内に設けられた真空容器１２とを備えている。容器１１及び真空容器１２にはそれぞれ発生したＸ線を透過させる窓１１ａ，１２ａが設けられている。真空容器１２内部は減圧されている。

真空容器１２内には、陰極を構成する電子銃２０と、陽極を構成する陽極部３０と、これら電子銃２０と陽極部３０との間に配置されたシールド構造体４０とが配置されている。また、図１中５０は、Ｘ線発生装置１０を冷却する冷却液を循環させる冷却循環系を示している。冷却液としては、鉱油、水、不凍液を混ぜた水、ナトリウム等が考えられるが、流体ならば何でもよい。

電子銃２０は、高電圧電源２１に接続され、後述する陽極板３３に向けて電子ビームを発射する機能を有している。陽極部３０は、真空容器１２内壁面に設けられた軸受部３１と、この軸受部３１に回転自在に支持される軸部３２と、この軸部３２に取り付けられた陽極板３３とを備えている。

シールド構造体４０は、ドーナツ状の本体４１を備えている。本体４１は電子ビーム及び反射した電子が通過する開口部４２を備えている。本体４１内部には仕切壁４３が設けられており、開口部４２側の内側流路４４とその外側に配置された外側流路４５とを備えている。

内側流路４４には冷却液導入口４６が設けられ、外側流路４５には冷却液排出４７が設けられている。また、内側流路４４と外側流路４５との間には接続口４８が設けられている。接続口４８は内側流路４４における最下流側、外側流路４５における最上流側に配置されている。

冷却循環系５０は、冷却槽５１と、循環ポンプ５２とを備え、容器１１と冷却槽５１を接続する配管５３と、冷却槽５１と循環ポンプ５２を接続する配管５４と、循環ポンプ５２とシールド構造体４０を接続する配管５５と、シールド構造体４０と容器１１とを接続する配管５６とを備えている。なお、冷却循環系５０は、冷却槽５１で冷却された冷却液を循環ポンプ５２を用いてシールド構造体４０内に送り込むとともに、シールド構造体４０内で温度上昇した冷却液を冷却槽５１に回収する機能を有している。

このように構成されたＸ線発生装置１０は、次のようにしてＸ線を発生する。すなわち、電子銃２０から出た電子ビームは、回転する陽極板３３に衝突し、Ｘ線を発生する。Ｘ線は、真空容器１２と容器１１に設けられた窓１２ａ，１１ａを通って放射される。

衝突した電子ビームは陽極板３３を加熱する。熱は、熱放射、及び、軸受３１を介した熱伝導により、陽極板３３から真空容器１２に伝熱される。一方、シールド構造体４０は、陽極板３３から逆方向に散乱する電子Ｅを捕獲することで、陽極板３３の熱負荷を低減するとともに、オフフォーカル放射を防止する（図１４参照）。

一方、電子Ｅが入射したシールド構造体４０の伝熱面においては熱が内側流路４４或は外側流路４５内の冷却液に伝達される。すなわち、冷却液導入口４６から導入された冷却液は内側流路４４を通流し、伝熱面を介して加熱される。冷却液は加熱されることで沸騰しない状態又は核沸騰状態により、熱が冷却液に伝達される。さらに、冷却液は接続口４８を通って外側流路４５に導入される。導入された冷却液は外側流路４５を通流し、伝熱面を介して加熱される。そして、冷却液排出口４７より冷却液は外部に排出される。

なお、外部に排出された冷却液は容器１１から配管５３を介して冷却槽５１に送られ、所定温度まで冷却される。そして、配管５４から循環ポンプ５２に送られ、さらに配管ポンプ５５を介してシールド構造体４０の冷却液導入口４６に送られる。

図３はシールド構造体４０内部の冷却液の流れをシミュレートした図を示す。解析は、シールド構造体４０を１／４に分割した形状で行った。図中二点鎖線Ｆ１，Ｆ２で示すように内側流路４４では安定した流れが形成されている。冷却液の流量を０．０００３ｍ３／Ｓ程度を想定しているが、流量はＸ線発生装置１０の容量によって決定されるため、流量は任意である。

冷却液の流路を内側流路４４と外側流路４５とに分けることで、内側流路４４内部の幅が狭くなる。このため、内側流路４４内で冷却液が渦状の流れを発生させて停滞することがない。したがって、冷却液導入口４６から導入された冷却液は円滑に接続口４８へ向かうこととなる。したがって、内側流路４４の断面積と冷却液循環系５０による冷却液の流量とに基づいて、熱負荷が最大となる内側流路４４の内壁近傍の流速を自由にコントロールすることができ、安定した核沸騰熱伝達状態を維持でき、バーンアウト現象を避けることができる。熱流束が最高になる領域だけに、そのような大きな流速が必要であるが、熱流束が大きくない領域で、大きな流速で流れていると、冷却系に必要としない圧力損失を引き起こすが、外側流路４５の断面積を大きくすることにより、流速は小さくなる。よって、外側流路４５では不要な圧力損失を発生させない。

なお、内側流路４４又は外側流路４５の内壁面に微細な凹凸をつけることにより、流れの乱流度合いを大きくして冷却効率をより向上させるようにしてもよい。また、陽極板３３とシールド構造体４０とを接地している。しかし、陽極板３３をプラスの電位、シールド構造体４０に任意の電位としても、同様の効果が得られる。

なお、内側流路４４と外側流路４５の断面積の比は、１：４〜１：７であることが好ましい。これは本体４１が受ける熱流束を内側流路４４及び外側流路４５に通流する冷却液に伝達する際の温度差を同等のものとするためである。したがって、本体４１の形状及びＸ線発生装置１０の出力及び冷却液の流量に基づいて断面積の比を算出する。

図４の（ａ），（ｂ）はシールド構造体４０の変形例に係るシールド構造体４０Ａを示す図である。なお、図４において図２と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

本変形例に係るシールド構造体４０Ａの本体４１の電子銃２０側の壁面４１ａは凹状の曲面に形成されている。このように構成されたシールド構造体４０Ａが組み込まれたＸ線発生装置１０でも同様の効果を得ることができる。

図５の（ａ），（ｂ）はシールド構造体４０の変形例に係るシールド構造体４０Ｂを示す図である。なお、図５において図２と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

本変形例に係るシールド構造体４０Ｂの本体４１の電子銃２０側の壁面４１ａは電子ビームの進行方向に対し直交する平面状に形成されている。このように構成されたシールド構造体４０Ｂが組み込まれたＸ線発生装置１０でも同様の効果を得ることができる。

図６の（ａ），（ｂ）はシールド構造体４０の変形例に係るシールド構造体４０Ｃを示す図である。なお、図６において図２と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

本変形例に係るシールド構造体４０Ｃの外側流路４５には整流板６０が設けられている。この整流板６０の作用により、冷却液は外側流路４５内で渦状の流れになることはなく、内部で停滞することがない。このように構成されたシールド構造体４０Ｃが組み込まれたＸ線発生装置１０でも同様の効果を得ることができる。

図７の（ａ），（ｂ）はシールド構造体４０の変形例に係るシールド構造体４０Ｄを示す図である。なお、図７において図２と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

本変形例に係るシールド構造体４０Ｄは内側流路４４及び外側流路４５がそれぞれ２つずつ設けられている。このように構成されたシールド構造体４０Ｄが組み込まれたＸ線発生装置１０でも同様の効果を得ることができる。

図８の（ａ），（ｂ）はシールド構造体４０の変形例に係るシールド構造体４０Ｅを示す図である。なお、図８において図２と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

本変形例に係るシールド構造体４０Ｅは内側流路４４と外側流路４５との間に中間流路７０が設けられている。このように構成されたシールド構造体４０Ｅが組み込まれたＸ線発生装置１０でも同様の効果を得ることができる。

図９の（ａ），（ｂ）はシールド構造体４０の変形例に係るシールド構造体４０Ｆを示す図、図１０はシールド構造体４０Ｆの分解斜視図である。なお、図９，図１０において図２と同一機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図９に示すように、シールド構造体４０Ｆにおいては内側流路４４の代わりに第１内側流路８０及び第２内側流路８１が設けられている。これら第１内側流路８０及び第２内側流路８１は電子ビームの進行方向に沿って並設されている。このように内側流路が２つあると、冷却液と壁面とが接触する伝熱面積が大きくなることからさらに冷却効率が向上する。

また、シールド構造体４０Ｆは電子銃２０側から３つの部材９０，９１，９２から構成されている。これらの部材９０〜９２のうち大きな熱流束を受ける部材９０，９１においては、熱流束を受ける壁部９０ａ，９１ａから壁部９０ｂ，９１ｂまで熱が伝導される。したがって、第１内側流路８０を通流する冷却液に効率よく熱伝達される。このように構成されたシールド構造体４０Ｆが組み込まれたＸ線発生装置１０でも同様の効果を得ることができる。

図１１は本発明の第２の実施の形態に係るＸ線発生装置に組み込まれるシールド構造体１００の要部を示す断面図である。

シールド構造体１００は、銅材製の本体１０１を備えており、この本体１０１の内部には内側流路１０２及び外側流路１０３が設けられている。内側流路１０２を構成する壁面１０１ａの一部は切欠されオースチナイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ３０４）製の板材１０４がろう付けにより接合されている。なお、銅は高熱伝導率（３８４Ｗ／ｍＫ）である第２の材料であり、ＳＵＳ３０４は低熱伝導率（１５Ｗ／ｍＫ）である第１の材料である。

図１２の（ａ），（ｂ）は本実施の形態に係るシールド構造体１００の作用を説明するための図である。すなわち、図１２の（ａ）は単一の材料（銅）により形成されている場合を示している。すなわち、Ｘ線発生装置の熱負荷がさらに大きくなり、内壁の熱流束が増大した場合、バーンアウト現象を避けるために冷却液の質量流量をより大きくする必要がある。しかし、この方法には限界がある。第１の限界は流量増大に伴う圧力損失の増大である。また、第２の限界は質量流量を増大しても冷却能力が頭打ちになる現象である。このため、内壁の熱流束が非常に大きい場合、どれだけ多くの冷却液を流しても、膜沸騰状態が形成され、熱流束が集中する部位Ｈにおいてバーンアウト現象が発生する。

図１２の（ｂ）は熱流束が集中する部位ＨにＳＵＳ３０４製の板材１０４を配置する。これにより、熱は熱伝導率の小さなステンレス鋼を迂回して流れるから、熱流束を分散することができる。このため、バーンアウト現象の発生を防止することができる。

本実施の形態に係るＸ線発生装置によれば、より大きい出力を有する場合であっても連続稼動が可能となるとともに、装置の寿命を延ばすことができる。

なお、第１の材料としてオーステナイト系ステンレス鋼、第２の材料として銅を用いて説明したが、熱伝導率の大きな材料と小さな材料の組み合わせなら、どのような材料を用いてもよい。

図１３はシールド構造体１００の変形例に係るシールド構造体１１０を示す要部断面図である。シールド構造体１１０は、銅材製の本体１０１を備えており、この本体１０１の内部には並行して設けられる２段構造の内側流路１０２ａ，１０２ｂ及び外側流路１０３が設けられている。内側流路１０２ａ，１０２ｂを構成する壁面１０１ａの一部は切欠されオースチナイト系ステンレス鋼材（ＳＵＳ３０４）製の板材１０４ａ，１０４ｂがろう付けにより接合されている。本変形例においても同様の効果が得られる。

なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではない。例えば、接合方法としてろう付けを例示したが、熱が十分に伝導させることができるものであれば、電子ビーム溶接や固相拡散接合等の他の接合方法でもよい。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。

本発明の第１の実施の形態に係るＸ線発生装置を示す断面図。同Ｘ線発生装置に組み込まれたシールド構造体を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）中Ｘ−Ｘ線で切断して矢印方向に見た断面図。同シールド構造体内部の冷却液の流れのシミュレーションを示す説明図。同シールド構造体の第１変形例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）中Ｘ−Ｘ線で切断して矢印方向に見た断面図。同シールド構造体の第２変形例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）中Ｘ−Ｘ線で切断して矢印方向に見た断面図。同シールド構造体の第３変形例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）中Ｘ−Ｘ線で切断して矢印方向に見た断面図。同シールド構造体の第４変形例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）中Ｘ−Ｘ線で切断して矢印方向に見た断面図。同シールド構造体の第５変形例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）中Ｘ−Ｘ線で切断して矢印方向に見た断面図。同シールド構造体の第６変形例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）中Ｘ−Ｘ線で切断して矢印方向に見た断面図。同シールド構造体を示す分解斜視図。本発明の第２の実施の形態に係るＸ線発生装置に組み込まれたシールド構造体の要部を示す断面図。同シールド構造体の作用を示す説明図。同シールド構造体の変形例を示す断面図。従来のＸ線発生装置の要部を示す断面図。同Ｘ線発生装置に組み込まれたシールド構造体を示す図。

符号の説明

１０…Ｘ線発生装置、１２…真空容器、２０…電子銃、３０…陽極部、４０…シールド構造体、４４…内側流路、４５…外側流路、５０…冷却循環系。

Claims

陽極ターゲットと、
この陽極ターゲットに電子ビームを照射する電子銃と、
上記陽極ターゲットと上記電子銃との間に配置されたシールド構造体と、
このシールド構造体内部に冷媒を循環させる冷却液循環部とを備え、
上記シールド構造体は、上記電子ビームが通過する開口部を有するとともに、上記陽極ターゲットにて発生した電子を捕獲するボディ部と、
このボディ部内部に形成され、上記開口部に隣接する内周部に設けられるとともに上記冷却液循環部から冷却液が導入される導入口を有する内側流路と、
この内側流路の前記開口部側からみて外周側に壁面を介して設けられるとともに、上記内側流路を通過した上記冷却液が導入され、上記冷却液が上記冷却液循環部へ排出される排出口を有する外側流路とを具備し、
上記内側流路は、上記陽極ターゲット側から上記電子銃側にかけて複数の流路に分割されていることを特徴とするＸ線発生装置。
陽極ターゲットと、
この陽極ターゲットに電子ビームを照射する電子銃と、
上記陽極ターゲットと上記電子銃との間に配置されたシールド構造体と、
このシールド構造体内部に冷媒を循環させる冷却液循環部とを備え、
上記シールド構造体は、上記電子ビームが通過する開口部を有するとともに、上記陽極ターゲットにて発生した電子を捕獲するボディ部と、
このボディ部内部に形成され、上記開口部に隣接する内周部に設けられるとともに上記冷却液循環部から冷却液が導入される導入口を有する内側流路と、
この内側流路の前記開口部側からみて外周側に壁面を介して設けられるとともに、上記内側流路を通過した上記冷却液が導入され、上記冷却液が上記冷却液循環部へ排出される排出口を有する外側流路とを具備し、
上記シールド構造体は、熱負荷が集中する部分に所定の熱伝導率を有する第１の材料を使用し、それ以外の部分に上記第１の材料よりも高い熱伝導率を有する第２の材料を使用したことを特徴とするＸ線発生装置。
上記第１の材料はステンレス鋼であり、上記第２の材料は銅又はタングステンの少なくとも一方であることを特徴とする請求項２に記載のＸ線発生装置。
上記内側流路と上記外側流路とは、接続口により接続されるとともに、この接続口は上記内側流路における上記導入口に対して最下流側に設けられ、かつ、上記外側流路における上記排出口に対して最上流側に設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線発生装置。
上記内側流路の外周側で、かつ、上記外側流路の内周側に上記内側流路及び上記外側流路と壁面を介して設けられるとともに、上記内側流路を通過した上記冷却液が導入され、かつ、上記外側流路にその内部を通過した冷却液を供給する中間流路が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線発生装置。
上記シールド構造体は、上記内側流路又は外側流路の内壁面に凹凸部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線発生装置。
上記内側流路又は上記外側流路には、整流板が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線発生装置。
上記内側流路と上記外側流路の断面積の比は、１：４〜１：７であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線発生装置。