WO2012023586A1 - イオン風発生体及びイオン風発生装置 - Google Patents

イオン風発生体及びイオン風発生装置 Download PDF

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WO2012023586A1
WO2012023586A1 PCT/JP2011/068696 JP2011068696W WO2012023586A1 WO 2012023586 A1 WO2012023586 A1 WO 2012023586A1 JP 2011068696 W JP2011068696 W JP 2011068696W WO 2012023586 A1 WO2012023586 A1 WO 2012023586A1
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WO
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electrode
ion wind
dielectric
inner electrode
wind generator
Prior art date
Application number
PCT/JP2011/068696
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English (en)
French (fr)
Inventor
東條　哲也
隆茂 八木
浩 牧野
Original Assignee
京セラ株式会社
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T23/00—Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere

Definitions

  • the present invention relates to an ion wind generator and an ion wind generator.
  • Patent Document 1 An apparatus that induces ion wind by the movement of electrons or ions is known.
  • an AC voltage is applied to two electrodes provided on a substrate-like dielectric material to generate a dielectric barrier discharge, and an ion wind is generated on one main surface of the dielectric material.
  • Patent Document 1 focuses only on generating an ion wind on one main surface of a substrate-like dielectric, and focuses on the influence of two electrodes on the other surface of the dielectric such as the other main surface. Not. As a result, for example, an ion wind in the opposite direction to the one main surface is induced on the other main surface, and the air flow of the ion wind on the one main surface is reduced. There is a risk that it will not be demonstrated.
  • an ion wind generator and an ion wind generator that can suitably generate an ion wind along the surface of the dielectric.
  • An ion wind generator includes a dielectric having a first surface and a second surface facing in different directions, an inner electrode disposed in the dielectric, and the inner electrode.
  • a first electrode disposed on the first surface side; and a second electrode disposed on the second surface side with respect to the inner electrode.
  • the inner electrode has a first downstream region located in a first direction along the first surface with respect to the first electrode, and a voltage is applied between the inner electrode and the first electrode.
  • An ion wind that can be induced along one surface, a second downstream region located in a second direction along the second surface with respect to the second electrode, and a voltage between the second electrode and the second electrode Can be applied to induce an ion wind along the second surface.
  • An ion wind generator includes a dielectric having first and second surfaces facing in different directions, an inner electrode disposed in the dielectric, and the inner electrode with respect to the inner electrode. A voltage is applied between the first electrode disposed on the first surface side, the second electrode disposed on the second surface side with respect to the inner electrode, and the inner electrode and the first electrode. And a power source for applying a voltage between the inner electrode and the second electrode.
  • the inner electrode has a first downstream region located in a first direction along the first surface with respect to the first electrode, and a voltage is applied between the inner electrode and the first electrode.
  • An ion wind that can be induced along one surface, a second downstream region located in a second direction along the second surface with respect to the second electrode, and a voltage between the second electrode and the second electrode Can be applied to induce an ion wind along the second surface.
  • an ion wind along the surface of the dielectric can be suitably generated.
  • FIG. 1A is a perspective view schematically showing an ion wind generator according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line Ib-Ib in FIG. is there. It is sectional drawing explaining the manufacturing method of the ion wind generator of FIG. It is sectional drawing which shows typically the principal part of the ion wind generator which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. It is sectional drawing explaining the manufacturing method of the ion wind generator of FIG. It is the perspective view and front view which show typically the principal part of the ion wind generator which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.
  • FIG. 1A is a perspective view schematically showing an ion wind generator 1 according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line Ib-Ib in FIG. It is.
  • the ion wind generator 1 is configured as an apparatus that generates an ion wind that flows in the directions indicated by the arrows y1 and y2 (FIG. 1B).
  • the direction in which the ion wind flows may be referred to as the x direction, the width direction of the ion wind as the y direction, and the height direction of the ion wind as the z direction.
  • the ion wind generator 1 includes an ion wind generator 3 that generates an ion wind, and a drive unit 5 (FIG. 1A) that drives and controls the ion wind generator 3.
  • the ion wind generator 3 includes a dielectric 7, a first electrode 9 ⁇ / b> A, a second electrode 9 ⁇ / b> B, and an inner electrode 11 provided on the dielectric 7.
  • the first electrode 9A and the second electrode 9B are referred to as “outer electrode 9”, and the two may not be distinguished.
  • the ion wind generator 3 generates a dielectric barrier discharge when a voltage is applied between the outer electrode 9 and the inner electrode 11 separated by the dielectric 7, and generates an ion wind.
  • the dielectric 7 is formed in a flat plate shape (substrate shape) having a constant thickness, for example, and has a first main surface 7a and a second main surface 7b on the back surface thereof.
  • the ion wind flows on the first main surface 7a along the first main surface 7a as shown by the arrow y1, and on the second main surface 7b along the second main surface 7b as shown by the arrow y2. Flowing.
  • the ion wind flowing on the first main surface 7a and the ion wind flowing on the second main surface 7b flow in the same direction (x direction).
  • the planar shape of the dielectric 7 may be an appropriate shape, but FIG. 1 illustrates a case where the dielectric 7 is a rectangle having sides parallel to the x direction and the y direction.
  • the dielectric 7 is configured, for example, by laminating a first insulating layer 13A and a second insulating layer 13B (hereinafter simply referred to as “insulating layer 13”, which may not be distinguished from each other).
  • insulating layer 13 hereinafter simply referred to as “insulating layer 13”, which may not be distinguished from each other.
  • FIG. 1 for convenience of explanation, the boundary line between the first insulating layer 13A and the second insulating layer 13B is clearly shown.
  • the first insulating layer 13A and the second insulating layer 13B are It is integrated and the boundary line may not be observable.
  • the position of the boundary line can be specified from the position of the inner electrode 11 as will be understood from the following description.
  • the insulating layer 13 is formed in a flat plate shape having a constant thickness, for example.
  • 13 A of 1st insulating layers have the 1st main surface 7a and the 3rd main surface 13c (FIG.1 (b)) of the back.
  • the second insulating layer 13B has a second main surface 7b and a fourth main surface 13d (FIG. 1B) on the back surface thereof.
  • the two insulating layers 13 have the same thickness in this embodiment. Further, the planar shapes of the two insulating layers 13 are the same as each other, for example.
  • Each insulating layer 13 may also be formed from a plurality of insulating layers.
  • the dielectric 7 may be formed of an inorganic insulator or an organic insulator.
  • the inorganic insulator include ceramic and glass.
  • the ceramic include an aluminum oxide sintered body (alumina ceramic), a glass ceramic sintered body (glass ceramic), a mullite sintered body, an aluminum nitride sintered body, a cordierite sintered body, and a silicon carbide sintered body.
  • Examples include ligation.
  • the organic insulator include polyimide, epoxy, and rubber.
  • the first electrode 9A is stacked on the first main surface 7a
  • the second electrode 9B is stacked on the second main surface 7b
  • the inner electrode 11 is disposed between the two insulating layers 13.
  • the inner electrode 11 is disposed in the dielectric 7
  • the first electrode 9A is disposed on the first main surface 7a side with respect to the inner electrode 11
  • the second electrode 9B is disposed on the inner electrode 11. Arranged on the second main surface 7b side. Thereby, these electrodes are separated by the dielectric 7.
  • the two outer electrodes 9 are set to have the same shape and position except for the position in the thickness direction (z direction), for example. That is, the two outer electrodes 9 are formed in the same shape, and the positions in the flow direction (x direction) and the width direction (y direction) are the same. This is to make the air volume and the like the same on the first main surface 7a side and the second main surface 7b side.
  • the inner electrode 11 is a first downstream region (in this embodiment, the inner electrode in the downstream direction in the flow direction (the positive side in the x direction, the first direction along the first main surface 7a) with respect to the first electrode 9A. 11). Thereby, the induction
  • the inner electrode 11 is a second downstream region (this embodiment) located on the downstream side in the flow direction with respect to the second electrode 9B (the positive side in the x direction, the second direction along the second main surface 7b). Then, the entire inner electrode 11) is included. Thereby, the induction
  • the inner electrode 11 is arranged with a position shifted from the outer electrode 9 in the flow direction (positive side in the x direction). Due to this deviation, it is possible to induce ion wind with the outer electrode 9 side as the upstream side and the inner electrode 11 side as the downstream side.
  • the inner electrode 11 when the first main surface 7a or the second main surface 7b is viewed in plan, the inner electrode 11 is adjacent to the outer electrode 9 without a gap in the x direction.
  • the inner electrode 11 when the first main surface 7a or the second main surface 7b is viewed in plan, a part of the upstream side overlaps the whole of the outer electrode 9 or a part of the downstream side in the x direction.
  • the downstream area may be a part of the inner electrode 11) or may be separated from the outer electrode 9 by a predetermined gap.
  • the outer electrode 9 and the inner electrode 11 are arranged so that the inner electrode 11 overlaps a part of the outer electrode 9 in the x direction when the first main surface 7a or the second main surface 7b is viewed in plan. It may be displaced, or the inner electrode 11 may be displaced so as to overlap the entire outer electrode 9. Further, when the first main surface 7a or the second main surface 7b is viewed in plan, the outer electrode 9 and the inner electrode 11 may be shifted so as to be adjacent to each other with no gap in the x direction. It may be shifted (separated by a predetermined gap).
  • the distance between the first electrode 9A and the inner electrode 11 in the thickness direction (z direction), the second electrode 9B and the inner electrode 11 Is the same distance. Further, since the positions of the two outer electrodes 9 in the flow direction (x direction) are the same, the distance between the first electrode 9A and the inner electrode 11 and the second electrode 9B and the inner side in the flow direction (x direction). The distance to the electrode 11 is the same. Further, from these, in the xz plane, the distance between the first electrode 9A and the inner electrode 11 (first downstream region), and the distance between the second electrode 9B and the inner electrode 11 (second downstream region) Are the same.
  • the outer electrode 9 and the inner electrode 11 are, for example, formed in a layered shape (including a flat plate shape) with a constant thickness.
  • the planar shape of these electrodes may be an appropriate shape, but FIG. 1 illustrates a case where the electrodes are rectangular having sides parallel to the x direction and the y direction. Note that the lengths of the outer electrode 9 and the inner electrode 11 in the y direction are set to be the same, for example.
  • the outer electrode 9 and the inner electrode 11 are made of a conductive material such as metal.
  • a conductive material such as metal.
  • the metal include tungsten, molybdenum, manganese, copper, silver, gold, palladium, platinum, nickel, cobalt, and alloys containing these as a main component.
  • the driving unit 5 (FIG. 1A) includes a power supply device 15 that applies an AC voltage between the outer electrode 9 and the inner electrode 11, and a control device 19 that controls the power supply device 15.
  • the two outer electrodes 9 are connected in parallel by wiring provided on the dielectric 7 or other wiring. Therefore, the power supply device 15 applies voltages having the same voltage value, frequency, and phase between the first electrode 9A and the inner electrode 11 and between the second electrode 9B and the inner electrode 11.
  • the AC voltage applied by the power supply device 15 may be a voltage whose potential is continuously changed, represented by a sine wave or the like, or a pulse-like voltage whose potential change is discontinuous.
  • the alternating voltage may be one in which the potential varies with respect to the reference potential in both the outer electrode 9 and the inner electrode 11, or one of the outer electrode 9 and the inner electrode 11 is connected to the reference potential, and the other The potential may vary only with respect to the reference potential.
  • the fluctuation of the potential may be positive and negative with respect to the reference potential, or may be only positive and negative with respect to the reference potential.
  • FIG. 1A illustrates a case where a reference potential is applied to the outer electrode 9 and an AC voltage is applied so that the potential of the inner electrode 11 varies.
  • the reference potential is preferably the same as the ground potential (reference potential in a narrow sense).
  • the control device 19 controls, for example, on / off of voltage application by the power supply device 15 according to a predetermined sequence or user operation, or the magnitude of the applied voltage.
  • the dimensions of the dielectric 7, the outer electrode 9 and the inner electrode 11, and the magnitude and frequency of the AC voltage vary depending on the technology to which the ion wind generator 1 is applied or the nature of the required ion wind. It may be set appropriately according to the circumstances.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating a method for manufacturing the ion wind generator 3.
  • the dielectric 7 is formed by laminating a first insulating layer 13A provided with the first electrode 9A and a second insulating layer 13B provided with the second electrode 9B and the inner electrode 11. Manufactured by. Specifically, taking the case where the dielectric 7 is composed of a ceramic sintered body as an example, the following is performed.
  • a ceramic green sheet to be the insulating layer 13 is prepared.
  • the ceramic green sheet is formed by forming a slurry prepared by adding and mixing an appropriate organic solvent and solvent to the raw material powder into a sheet shape by a forming method such as a doctor blade method or a calender roll method.
  • a forming method such as a doctor blade method or a calender roll method.
  • the raw material powder is alumina (Al 2 O 3 ), silica (SiO 2 ), calcia (CaO), magnesia (MgO), or the like.
  • a conductive paste to be the first electrode 9A is provided on the surface to be the first main surface 7a of the ceramic green sheet (first insulating layer 13A). Further, a conductive paste to be the second electrode 9B is provided on the surface to be the second main surface 7b of the ceramic green sheet (second insulating layer 13B), and a conductive paste to be the inner electrode 11 is provided on the surface to be the fourth main surface 13d. .
  • the conductive paste is produced, for example, by adding an organic solvent and an organic binder to a metal powder such as tungsten, molybdenum, copper or silver and mixing them.
  • a dispersant, a plasticizer, or the like may be added as necessary.
  • Mixing is performed by kneading means such as a ball mill, a three-roll mill, or a planetary mixer.
  • the conductive paste is printed and applied to the ceramic green sheet by using a printing means such as a screen printing method.
  • the ceramic green sheet to be the first insulating layer 13A and the ceramic green sheet to be the second insulating layer 13B are laminated, and the conductive paste and the ceramic green sheet are fired simultaneously.
  • the dielectric 7 in which the outer electrode 9 and the inner electrode 11 are arranged, that is, the ion wind generator 3 is formed.
  • the conductive paste when fired at the same time as the ceramic green sheet, it is necessary to match the sintering behavior of the ceramic green sheet or to increase the bonding strength with the sintered dielectric by relaxing the residual stress. Glass or ceramic powder may be added.
  • the ion wind generator 3 is placed in the atmosphere, and air exists around the ion wind generator 3.
  • the ion wind generator 3 may be used by being placed in a specific type of gas atmosphere (for example, in a nitrogen atmosphere).
  • Electrons or ions in the plasma move due to the electric field formed by the outer electrode 9 and the inner electrode 11. Neutral molecules also move with electrons or ions. In this way, an ionic wind is induced.
  • the ion wind is generated on the inner side on the first main surface 7a and the second main surface 7b by electrons or ions moving from the outer electrode 9 side to the inner electrode 11 side. It is induced around a region overlapping with the electrode 11 and flows from the outer electrode 9 side to the inner electrode 11 side.
  • the first electrode 9A and the second electrode 9B are provided under the same conditions except for the position in the z direction, and the same voltage is applied to the first main surface.
  • the 7a side and the second main surface 7b side ion winds having the same wind direction, wind speed, and air volume are generated.
  • the ion wind generator 3 includes the dielectric 7 having the first main surface 7a and the second main surface 7b on the back surface thereof, the inner electrode 11 disposed in the dielectric 7, It has the 1st electrode 9A arrange
  • the inner electrode 11 has a first downstream region located in the first direction (positive side in the x direction) along the first main surface 7a with respect to the first electrode 9A, and is second with respect to the second electrode 9B. It has a second downstream area located in the second direction (positive side in the x direction) along the main surface 7b.
  • the first electrode 9A and the second electrode 9B are displaced in the same direction along the first main surface 7a and the second main surface 7b with respect to the inner electrode 11 (the first direction and the second direction are the same direction). .
  • the ion wind generated on the first main surface 7a and the ion wind generated on the second main surface 7b flow in the same direction as indicated by arrows y1 and y2 in FIG.
  • the second electrode 9B is not provided, focusing only on the generation of the ion wind of the arrow y1 on the first main surface 7a, as in the prior art, the first electrode on the second main surface 7b Due to the voltage applied to 9A and the inner electrode 11, an ion wind in the direction opposite to the arrow y2 is generated.
  • the wind speed and the air volume of the ion wind indicated by the arrow y1 are reduced.
  • such inconvenience is solved.
  • the dielectric 7 is a substrate configured by laminating a plurality of flat (two in this embodiment) insulating layers 13.
  • the first main surface 7 a and the second main surface 7 b are both surfaces of the substrate facing the stacking direction of the plurality of insulating layers 13.
  • the first electrode 9A is a layered electrode laminated on the first major surface 7a.
  • the second electrode 9B is a layered electrode laminated on the second major surface 7b.
  • the inner electrode 11 is a layered electrode disposed anywhere between the plurality of insulating layers 13.
  • the ion wind generator 3 has the same configuration as that of the multilayer wiring board, and various techniques related to the multilayer wiring board can be used. As a result, for example, it is easy to realize the ion wind generator 3 excellent in mechanical strength, thermal strength, and electrical characteristics, and it is easy to optimize the manufacturing method and reduce costs.
  • the dielectric 7 is made of ceramic. Therefore, the ion wind generator 3 excellent in mechanical strength, thermal strength, and electrical characteristics can be realized.
  • the inner electrode 11 embedded in the dielectric 7 can be formed by simultaneous firing of the conductive paste and the ceramic green sheet, and the ion wind generator 3 can be manufactured. Easy.
  • the first electrode 9A and the second electrode 9B have the same distance from the inner electrode 11 (the distance (shortest distance) between the first electrode 9A and the first downstream area, the second electrode 9B, and the second lower electrode 9B).
  • the distance (shortest distance) to the basin is the same.) Therefore, it is easy to generate an ion wind having the same wind speed on the first main surface 7a and the second main surface 7b. As a result, for example, unintended deflection of the ion wind at the junction of the ion wind on the first main surface 7a and the ion wind on the second main surface 7b is suppressed.
  • the first electrode 9A and the second electrode 9B are exposed to the outside of the dielectric 7, and the power supply device 15 applies a reference potential to the first electrode 9A and the second electrode 9B.
  • a potential that varies with respect to the reference potential is applied to the inner electrode 11.
  • the first main surface 7a and the second main surface 7b are examples of the first surface and the second surface of the present invention, and the positive side in the x direction is the first direction and the second surface.
  • the inner electrode 11 is an example of the first downstream region and the second downstream region of the inner electrode, and the power supply device 15 is an example of the power source of the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a main part of the ion wind generating device 101 according to the second embodiment of the present invention.
  • the configuration of the dielectric 107 and the configuration of the inner electrode 111 in the ion wind generator 103 are different from those in the first embodiment. Specifically, it is as follows.
  • the dielectric 107 is configured by laminating a first insulating layer 13A, a second insulating layer 13B, and a third insulating layer 13C interposed therebetween.
  • the first insulating layer 13A and the second insulating layer 13B may have the same configuration as the first insulating layer 13A and the second insulating layer 13B of the first embodiment.
  • the third insulating layer 13C has substantially the same configuration as the first insulating layer 13A and the second insulating layer 13B.
  • the thickness of the third insulating layer 13C may be set as appropriate, and FIG. 3 illustrates the case where the third insulating layer 13C is formed thinner than the first insulating layer 13A and the second insulating layer 13B. is doing.
  • the inner electrode 111 has a third electrode 10 ⁇ / b> C, a fourth electrode 10 ⁇ / b> D, and a via conductor 12.
  • the third electrode 10C, the fourth electrode 10D, and the via conductor 12 are connected to each other, and function as the inner electrode 111 as a whole.
  • the third electrode 10C and the fourth electrode 10D may each have the same configuration as the inner electrode 11 of the first embodiment. However, the third electrode 10C is disposed between the first insulating layer 13A and the third insulating layer 13C, and the fourth electrode 10D is disposed between the second insulating layer 13B and the third insulating layer 13C. Yes.
  • the via conductor 12 passes through the third insulating layer 13C and connects the third electrode 10C and the fourth electrode 10D.
  • the number, arrangement position, planar shape, cross-sectional shape, and dimensions of the via conductors 12 may be set as appropriate.
  • the material of the via conductor 12 is the same as the material of the layered electrodes (9A, 9B, 10C, and 10D), for example.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for explaining a method for manufacturing the ion wind generator 103.
  • the ion wind generator 103 is manufactured by laminating the insulating layer 13 in which various electrodes are arranged, like the ion wind generator 3 of the first embodiment.
  • a method of laminating and firing ceramic green sheets coated with a conductive paste may be applied, as in the first embodiment.
  • the conductive paste that becomes the third electrode 10C is applied to the third main surface 13c of the ceramic green sheet that becomes the first insulating layer 13A. That is, the conductive paste that becomes the third electrode 10C is applied to the ceramic green sheet to which the conductive paste that becomes the first electrode 9A is applied.
  • the conductive paste that becomes the fourth electrode 10D is applied to the fourth main surface 13d of the ceramic green sheet that becomes the second insulating layer 13B. That is, the conductive paste that becomes the fourth electrode 10D is applied to the ceramic green sheet to which the conductive paste that becomes the second electrode 9B is applied.
  • the conductive paste that becomes the via conductor 12 is filled in the via 13v formed in the ceramic green sheet that becomes the third insulating layer 13C.
  • a known technique may be used as a method for forming the via 13v and a method for filling the conductive paste.
  • the inner electrode 11 composed of the third electrode 10C, the fourth electrode 10D, and the via conductor 12 is formed.
  • the same operations and effects as those of the first embodiment can be obtained. That is, by applying a voltage between the inner electrode 11 and the first electrode 9A, an ion wind along the first main surface 7a can be generated as shown by an arrow y1 in FIG. By applying a voltage between the first electrode 9B and the second electrode 9B, an ion wind along the second main surface 7b can be generated as shown by an arrow y2 in FIG. As a result, ion wind can be suitably generated on both surfaces of the dielectric 7, and simplification and downsizing of the configuration by sharing the inner electrode 11 can be achieved.
  • the dielectric 107 has a first insulating layer 13A constituting the first main surface 7a and a second insulating layer 13B constituting the second main surface 7b.
  • the first electrode 9A is provided on the first insulating layer 13A
  • the second electrode 9B is provided on the second insulating layer 13B.
  • the inner electrode 11 includes a third electrode 10C provided closer to the second insulating layer 13B than the first electrode 9A in the first insulating layer 13A, and a first insulating layer than the second electrode 9B in the second insulating layer 13B. It has the 4th electrode 10D provided in the layer 13A side, and the via conductor 12 which connects the 3rd electrode 10C and the 4th electrode 10D.
  • the distance between the first electrode 9A and the inner electrode 11 is defined by the distance between the first electrode 9A and the third electrode 10C.
  • the distance between the second electrode 9B and the inner electrode 11 is defined by the distance between the second electrode 9B and the fourth electrode 10D.
  • the two outer electrodes 9 are different from each other in the portion of the inner electrode 11 that serves as a reference for the distance from the inner electrode 11. As a result, for example, it is facilitated to individually adjust the wind speed of the ion wind between the first main surface 7a side and the second main surface 7b side.
  • the ion wind generator 3 of the first embodiment when the distance between each outer electrode 9 and the inner electrode 11 is decreased in order to increase the wind speed of the ion wind, that is, when the two insulating layers 13 are thinned, The thickness of the dielectric 7 as a whole is also reduced, and the mechanical strength of the ion wind generator 3 is reduced.
  • the ion wind generator 103 of the present embodiment even if the first insulating layer 13A and the second insulating layer 13B are thinned, it is possible to ensure the thickness of the dielectric 107 as a whole.
  • the displacement when the three insulating layers 13 are overlapped does not affect the distance between the first electrode 9A and the inner electrode 11 and the distance between the second electrode 9B and the inner electrode 11. That is, it is possible to suppress the influence of errors in the stacking process on the wind speed of the ion wind.
  • the dielectric 107 is a substrate configured by laminating a plurality of flat plate-like (three in this embodiment) insulating layers 13, and the first main surface 7 a and the second main surface 7 b are formed of the plurality of insulating layers 13. It is both surfaces of the board
  • the plurality of insulating layers 13 includes a first insulating layer 13A having a first main surface 7a and a third main surface 13c on the back surface thereof, and a second insulating layer having a second main surface 7b and a fourth main surface 13d on the back surface thereof. 13B and a third insulating layer 13C interposed between the third main surface 13c and the fourth main surface 13d.
  • the first electrode 9A is a layered electrode stacked on the first main surface 7a
  • the second electrode 9B is a layered electrode stacked on the second main surface 7b
  • the third electrode 10C is stacked on the third main surface 13c
  • the fourth electrode 10D is a layered electrode laminated on the fourth major surface 13d.
  • the via conductor 12 that connects the third electrode 10C and the fourth electrode 10D is a conductor that penetrates the third insulating layer 13C.
  • the ion wind generator 103 has the same configuration as that of the multilayer wiring board, and various technologies related to the multilayer wiring board can be used.
  • the dielectric 7 is made of ceramic, the ion wind generator 103 having excellent mechanical strength, thermal strength, and electrical characteristics can be realized by using the technology of the ceramic multilayer substrate. .
  • the first electrode 9A and the second electrode 9B have the same distance from the inner electrode 11 (the distance between the first electrode 9A and the first downstream region, and the distance between the second electrode 9B and the second downstream region). The distance is the same.) In this case, the effect of suppressing the error due to the positional deviation at the time of stacking described above works effectively.
  • the first main surface 7a and the second main surface 7b have the same wind speed, higher accuracy is required to suppress the occurrence of unintended fluid phenomena than when the first main surface 7a and the second main surface 7b have different wind speeds. This is because it is considered that there are many cases.
  • the first insulating layer 13A and the second insulating layer 13B are examples of the first partial dielectric and the second partial dielectric of the present invention
  • the via conductor 12 is the connection of the present invention. It is an example of a conductor.
  • FIG.5 (a) is a perspective view which shows typically the principal part of the ion wind generator 201 which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.
  • FIG. 5B is a front view of the ion wind generator 203 of the ion wind generator 201 as viewed in the x-axis direction.
  • the ion wind generator 201 is different from the first embodiment in the configuration of the ion wind generator 203. Specifically, it is as follows.
  • the dielectric 207 is generally formed in a cylindrical shape.
  • the inner electrode 211 is formed in an axial shape extending along the center line of the dielectric 207.
  • the outer electrode 209 is formed in a cylindrical shape surrounding the outer peripheral surface of the dielectric 207.
  • the inner electrode 211 includes a downstream region (the entire inner electrode 211 in the present embodiment) located on one side of the dielectric 207 in the axial direction with respect to the outer electrode 209.
  • the cross-sectional view of the ion wind generator 203 cut in parallel to the xz plane is the same as FIG. 1B except that the dielectric 207 is not composed of the two insulating layers 13.
  • the dielectric 207 is not composed of the two insulating layers 13.
  • the dielectric 207 can be regarded as having a plurality of curved surfaces 207a to 207d facing in different directions. That is, the dielectric 207 has a curved surface 207a and a curved surface 207b on the back surface thereof, and a curved surface 207c and a curved surface 207d facing the sides of these curved surfaces.
  • the outer electrode 209 has partial electrodes 209a to 209d provided on the curved surfaces 207a to 207d, respectively.
  • the dielectric 207 can be regarded as having two curved surfaces (semi-cylindrical surfaces) facing in opposite directions.
  • the outer electrode 209 can also be regarded as having two partial electrodes respectively provided on the two curved surfaces.
  • the same operations and effects as in the first embodiment can be obtained. That is, by applying a voltage between the inner electrode 211 and the outer electrode 209, as shown by arrows y1 and y2 in FIG. 5A, the ion wind is preferably applied to the curved surfaces 207a to 207d facing in different directions.
  • the configuration can be simplified and miniaturized by sharing the inner electrode 11.
  • the ion wind generator 203 includes partial electrodes 209 a to 209 d and has an annular outer electrode 209 formed so as to surround the outer periphery of the dielectric 207. Therefore, the ion wind generator 203 can generate the ion wind over the entire circumference of the dielectric 207 around the predetermined axis. As a result, for example, it is expected that a large air volume ion wind is realized with a small configuration.
  • any two of the curved surfaces 207a to 207d are examples of the first surface and the second surface of the present invention, and any two of the partial electrodes 209a to 209d are the first surface of the present invention. It is an example of an electrode and a 2nd electrode.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing the main part of an ion wind generator 301 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the ion wind generator 3 is configured such that the distance between the first electrode 9A and the inner electrode 11 and the distance between the second electrode 9B and the inner electrode 11 are equal.
  • the ion wind generators 303 are configured so that they are different from each other.
  • the difference in the distance is realized by a difference in the distance in the thickness direction (z). More specifically, for example, the number of insulating layers 13 interposed between the first electrode 309A and the inner electrode 11 and the number of insulating layers 13 interposed between the second electrode 309B and the inner electrode 11 are determined. This is realized by making them different from each other. In addition, the thickness of the some insulating layer 13 is mutually the same, for example. Of course, the difference in the distance in the thickness direction can also be realized by changing the thickness of the insulating layer 13 in the case where the dielectric is constituted by the two insulating layers 13 as in the first embodiment. .
  • the difference in the distance is realized by the difference in the distance in the flow direction (x direction). More specifically, for example, it is realized by making the positions of the two outer electrodes 309 different from each other by a predetermined distance d. In FIG. 6, the sizes of the two outer electrodes 309 in the x direction are different from each other, but the sizes may be the same.
  • the distance between the first electrode 309A and the inner electrode 11 and the distance between the second electrode 309B and the inner electrode 11 are made different from each other, so that each of the first principal surface 7a and the second principal surface 7b is generated. It is easy to vary the ion wind. For example, even if two outer electrodes are connected in parallel, the respective wind speeds of the first main surface 7a and the second main surface 7b can be set to arbitrary wind speeds.
  • FIG. 7 is sectional drawing which shows typically the principal part of the ion wind generator 401 which concerns on the 5th Embodiment of this invention.
  • the first electrode 9A and the second electrode 9B are displaced in the same direction along the first main surface 7a and the second main surface 7b with respect to the inner electrode 11 (relative to the first electrode 9A).
  • the direction in which the first downstream region of the inner electrode is positioned (first direction) and the direction in which the second downstream region of the inner electrode is positioned relative to the second electrode 9B (second direction) were the same direction.
  • the first electrode 9A and the second electrode 9B are displaced in different directions along the first main surface 7a and the second main surface 7b with respect to the inner electrode 11 (first The direction and the second direction are different from each other.)
  • the first electrode 9 ⁇ / b> A and the second electrode 9 ⁇ / b> B are displaced in the opposite directions in the x direction with respect to the inner electrode 11 (the first direction and the second direction are opposite directions).
  • the ion wind generator 403 as indicated by the arrows y1 and y3, the ion wind flows in different directions (in the opposite direction in the present embodiment) between the first main surface 7a and the second main surface 7b.
  • the flow direction of the ion wind along different surfaces can be appropriately set according to the use of the ion wind generator.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing a main part of an application example of the ion wind generator 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 illustrates the case where the ion wind generator 1 is used in a reaction apparatus that reforms a fluid such as exhaust gas.
  • a plurality of ion wind generators 3 are arranged at predetermined intervals in the width direction of the flow path. Each ion wind generator 3 is arranged so that the flow direction of the ion wind is along the flow path.
  • the plurality of ion wind generators 3 perform fluid reforming on both the first main surface 7a and the second main surface 7b, and the ion wind And the modified fluid is delivered.
  • the present invention is not limited to the above embodiment, and may be implemented in various modes.
  • the ion wind generator and ion wind generator of the present invention can be used in various fields.
  • the present invention may be used for suppressing separation of a boundary layer in a blade, or may be used for forming a flow in a minute space (for example, forming cooling air for a small electronic device).
  • the first surface and the second surface of the dielectric facing in different directions are not limited to planes facing in opposite directions.
  • the first surface and the second surface may be surfaces that face in directions orthogonal to each other, or surfaces that face in directions inclined with respect to each other.
  • the shape of the dielectric is not limited to a thin rectangular parallelepiped or a cylindrical shape, and may be an appropriate shape.
  • the dielectric is not limited to one formed by stacking insulating layers.
  • the dielectric material may be formed by filling a metal material serving as an electrode with a material material serving as a dielectric material.
  • the dielectric is not limited to one obtained by stacking and firing ceramic green sheets.
  • the dielectric may be one in which an insulating layer is laminated by ceramic spraying, or may be one in which an uncured thermosetting resin is laminated and heated and pressurized.
  • the shape and number of the first electrode, the second electrode (outer electrode), and the inner electrode may be set as appropriate.
  • one of the outer electrode and the inner electrode has a triangular shape or a wavy shape, and the distance between the outer electrode and the inner electrode in the x direction varies depending on the position in the width direction of the ion wind. Also good.
  • one of the outer electrode and the inner electrode may be divided into a plurality in the width direction of the ion wind, and the voltage may be controlled for each of the divided electrodes.
  • the inner electrode is not limited to the layered electrode, and the first electrode and the second electrode (outer electrode) are also layered electrodes. It is not limited to.
  • the first electrode and the second electrode may be axial electrodes extending in the y direction.
  • the first electrode and the second electrode (outer electrode) may be disposed on the surface side of the dielectric with respect to the inner electrode, and need not be exposed on the surface of the dielectric. Further, when the outer electrode is exposed on the surface of the dielectric, the outer electrode is not limited to the one disposed on the surface of the dielectric. For example, the outer electrode may be fitted into a recess formed in the dielectric, and only a part of the outer electrode may be exposed from the dielectric. The first electrode and the second electrode (outer electrode) may be fixed to a member separate from the dielectric and separated from the dielectric.
  • the displacement direction of the first electrode and the second electrode with respect to the inner electrode is not limited to the same direction and the reverse direction, but is a direction orthogonal to each other or a direction inclined with respect to each other. Also good.
  • the first downstream area or the second downstream area is not limited to the entire inner electrode, and may be a part of the inner electrode.
  • the first downstream region and the second downstream region may be in a range that does not overlap each other in the inner electrode, or may be in different ranges in which some overlap.
  • the first electrode and the second electrode are not limited to those connected in parallel.
  • the first electrode and the second electrode may be connected in series.
  • the voltages of the first electrode and the second electrode are individually controlled. May be.
  • the dielectric having the first and second partial dielectrics (13A and 13B in the embodiment) exemplified in the second embodiment (FIG. 3) is not limited to one made of a flat insulating layer.
  • the first partial dielectric and the second partial dielectric may be fixed to each other by an appropriate fixing member such as solder in a state of being opposed to each other with an appropriate spacer.
  • connection conductor via conductor 12 in the embodiment
  • connection conductor that connects the third and fourth electrodes provided in the first and second partial dielectrics is not limited to the via conductor.
  • a conductor may be disposed on the side of the third insulating layer 13C to form a connection conductor.

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)

Abstract

誘電体の表面に沿うイオン風を好適に発生させることができるイオン風発生体を提供する。イオン風発生体（３）は、第１主面（７ａ）及びその背面の第２主面（７ｂ）を有する誘電体（７）と、誘電体（７）内に配置された内側電極（１１）と、内側電極（１１）に対して第１主面（７ａ）側に配置された第１電極（９Ａ）と、内側電極（１１）に対して第２主面（７ｂ）側に配置された第２電極（９Ｂ）とを有する。内側電極（１１）は、第１電極（９Ａ）に対して第１主面（７ａ）に沿う第１方向（ｘ方向の正側）に位置する第１下流域部を有するとともに、第２電極（９Ｂ）に対して第２主面（７ｂ）に沿う第２方向（ｘ方向の正側）に位置する第２下流域部を有する。

Description

イオン風発生体及びイオン風発生装置
　本発明は、イオン風発生体及びイオン風発生装置に関する。
　電子若しくはイオンの移動によりイオン風を誘起する装置が知られている。例えば、特許文献１では、基板状の誘電体に設けられた２つの電極に交流電圧を印加して誘電体バリア放電を生じさせ、誘電体の一方主面にイオン風を発生させている。
特開２００７－３１７６５６号公報
　特許文献１は、基板状の誘電体の一方主面においてイオン風を発生させることのみに着目しており、２つの電極が他方主面等の誘電体の他の面に及ぼす影響については着目していない。その結果、例えば、他方主面において、発生させることを意図していない、一方主面とは反対方向のイオン風が誘起され、一方主面におけるイオン風の風量を減じてしまい、所要の機能が発揮されないおそれがある。
　従って、誘電体の表面に沿うイオン風を好適に発生させることができるイオン風発生体及びイオン風発生装置が提供されることが望ましい。
　本発明の一態様に係るイオン風発生体は、互いに異なる方向に面する第１面及び第２面を有する誘電体と、前記誘電体内に配置された内側電極と、前記内側電極に対して前記第１面側に配置された第１電極と、前記内側電極に対して前記第２面側に配置された第２電極と、を有する。前記内側電極は、前記第１電極に対して前記第１面に沿う第１方向に位置する第１下流域部を有し、前記第１電極との間に電圧が印加されることにより前記第１面に沿うイオン風を誘起可能であるとともに、前記第２電極に対して前記第２面に沿う第２方向に位置する第２下流域部を有し、前記第２電極との間に電圧が印加されることにより前記第２面に沿うイオン風を誘起可能である。
　本発明の一態様に係るイオン風発生装置は、互いに異なる方向に面する第１面及び第２面を有する誘電体と、前記誘電体内に配置された内側電極と、前記内側電極に対して前記第１面側に配置された第１電極と、前記内側電極に対して前記第２面側に配置された第２電極と、前記内側電極と前記第１電極との間に電圧を印加するとともに、前記内側電極と前記第２電極との間に電圧を印加する電源と、を有する。前記内側電極は、前記第１電極に対して前記第１面に沿う第１方向に位置する第１下流域部を有し、前記第１電極との間に電圧が印加されることにより前記第１面に沿うイオン風を誘起可能であるとともに、前記第２電極に対して前記第２面に沿う第２方向に位置する第２下流域部を有し、前記第２電極との間に電圧が印加されることにより前記第２面に沿うイオン風を誘起可能である。
　上記の構成によれば、誘電体の表面に沿うイオン風を好適に発生させることができる。
図１（ａ）は本発明の第１の実施形態に係るイオン風発生装置を模式的に示す斜視図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＩｂ－Ｉｂ線における断面図である。 図１のイオン風発生体の製造方法を説明する断面図である。 本発明の第２の実施形態に係るイオン風発生装置の要部を模式的に示す断面図である。 図３のイオン風発生体の製造方法を説明する断面図である。 本発明の第３の実施形態に係るイオン風発生装置の要部を模式的に示す斜視図及び正面図である。 本発明の第４の実施形態に係るイオン風発生装置の要部を模式的に示す断面図である。 本発明の第５の実施形態に係るイオン風発生装置の要部を模式的に示す断面図である。 図１のイオン風発生装置の利用例の要部を模式的に示す断面図である。
　以下、本発明の複数の実施形態に係るイオン風発生体及びイオン風発生装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。
　また、第２の実施形態以降において、既に説明された実施形態と共通又は類似する構成について、既に説明された実施形態と共通の符号を用い、また、図示や説明を省略することがある。
＜第１の実施形態＞
　図１（ａ）は本発明の第１の実施形態に係るイオン風発生装置１を模式的に示す斜視図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＩｂ－Ｉｂ線における断面図である。
　イオン風発生装置１は、矢印ｙ１及びｙ２（図１（ｂ））で示される方向に流れるイオン風を発生させる装置として構成されている。なお、本実施形態では、イオン風が流れる方向をｘ方向、イオン風の幅方向をｙ方向、イオン風の高さ方向をｚ方向として参照することがある。
　イオン風発生装置１は、イオン風を発生させるイオン風発生体３と、イオン風発生体３の駆動及び制御を行う駆動部５（図１（ａ））とを有している。
　イオン風発生体３は、誘電体７と、誘電体７に設けられた第１電極９Ａ、第２電極９Ｂ及び内側電極１１とを有している。なお、以下では、第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂを「外側電極９」といい、両者を区別しないことがある。イオン風発生体３は、誘電体７に隔てられた外側電極９と内側電極１１との間に電圧が印加されることにより、誘電体バリア放電を生じ、イオン風を発生させる。
　誘電体７は、例えば、厚さが一定の平板状（基板状）に形成されており、第１主面７ａと、その背面の第２主面７ｂとを有している。なお、イオン風は、矢印ｙ１で示すように第１主面７ａ上を第１主面７ａに沿って流れるとともに、矢印ｙ２で示すように第２主面７ｂ上を第２主面７ｂに沿って流れる。また、第１主面７ａ上を流れるイオン風と第２主面７ｂ上を流れるイオン風とは互いに同一方向（ｘ方向）に流れる。誘電体７の平面形状は適宜な形状とされてよいが、図１ではｘ方向及びｙ方向に平行な辺を有する矩形とされた場合を例示している。
　誘電体７は、例えば、第１絶縁層１３Ａ及び第２絶縁層１３Ｂ（以下、単に「絶縁層１３」といい、両者を区別しないことがある。）が積層されることにより構成されている。なお、図１では、説明の便宜上、第１絶縁層１３Ａと第２絶縁層１３Ｂとの境界線を明示しているが、実際の製品においては、第１絶縁層１３Ａ及び第２絶縁層１３Ｂは一体化され、その境界線が観察できなくてもよい。なお、境界線は、観察が不可能であっても、後述の説明から理解されるように、内側電極１１の位置からその位置を特定可能である。
　絶縁層１３は、例えば、厚さが一定の平板状に形成されている。第１絶縁層１３Ａは、第１主面７ａ及びその背面の第３主面１３ｃ（図１（ｂ））を有している。第２絶縁層１３Ｂは、第２主面７ｂ及びその背面の第４主面１３ｄ（図１（ｂ））を有している。２つの絶縁層１３の厚さは、本実施形態では互いに同一とされている。また、２つの絶縁層１３の平面形状は、例えば、互いに同一とされている。なお、絶縁層１３それぞれも、複数の絶縁層から形成されていてもよい。
　誘電体７（絶縁層１３）は、無機絶縁物により形成されてもよいし、有機絶縁物により形成されてもよい。無機絶縁物としては、例えば、セラミック、ガラスが挙げられる。セラミックとしては、例えば、酸化アルミニウム質焼結体（アルミナセラミックス）、ガラスセラミック焼結体（ガラスセラミックス）、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、コーディライト焼結体、炭化珪素質焼結体が挙げられる。有機絶縁物としては、例えば、ポリイミド、エポキシ、ゴムが挙げられる。
　第１電極９Ａは、第１主面７ａに積層され、第２電極９Ｂは、第２主面７ｂに積層され、内側電極１１は、２つの絶縁層１３の間に配置されている。換言すれば、内側電極１１は、誘電体７内に配置され、第１電極９Ａは、内側電極１１に対して第１主面７ａ側に配置され、第２電極９Ｂは、内側電極１１に対して第２主面７ｂ側に配置されている。これにより、これらの電極は、誘電体７により隔てられている。
　２つの外側電極９は、例えば、厚み方向（ｚ方向）の位置以外は、形状及び位置が同一に設定されている。すなわち、２つの外側電極９は、互いに同一の形状に形成され、流れ方向（ｘ方向）及び幅方向（ｙ方向）の位置は互いに同一である。これは、第１主面７ａ側と第２主面７ｂ側とで風量等を同一にするためである。
　内側電極１１は、第１電極９Ａに対して流れ方向の下流側（ｘ方向の正側、第１主面７ａに沿う第１方向）に位置する第１下流域部（本実施形態では内側電極１１の全体）を含んでいる。これにより、第１電極９Ａ側を上流側とするイオン風の誘起が可能となる。同様に、内側電極１１は、第２電極９Ｂに対して流れ方向の下流側（ｘ方向の正側、第２主面７ｂに沿う第２方向）に位置する第２下流域部（本実施形態では内側電極１１の全体）を含んでいる。これにより、第２電極９Ｂ側を上流側とするイオン風の誘起が可能となる。
　言い換えれば、内側電極１１は、外側電極９に対して流れ方向（ｘ方向の正側）に位置がずれて配置されている。このずれにより、外側電極９側を上流側、内側電極１１側を下流側とするイオン風の誘起が可能となっている。
　本実施形態では、第１主面７ａ又は第２主面７ｂを平面視したときに、ｘ方向において、内側電極１１は外側電極９に隙間なく隣接している。ただし、内側電極１１は、第１主面７ａ又は第２主面７ｂを平面視したときに、ｘ方向において、上流側の一部が外側電極９の全部若しくは下流側の一部に重複していてもよいし（下流域部は内側電極１１の一部であってもよいし）、外側電極９と所定の隙間で離間していてもよい。
　言い換えれば、外側電極９と内側電極１１とは、第１主面７ａ又は第２主面７ｂを平面視したときに、ｘ方向において、外側電極９の一部に内側電極１１が重複するようにずれていてもよいし、外側電極９の全部に内側電極１１が重複するようにずれていてもよい。また、外側電極９と内側電極１１とは、第１主面７ａ又は第２主面７ｂを平面視したときに、ｘ方向において、隙間なく隣接し合うようにずれていてもよいし、完全にずれて（所定の隙間で離間して）いてもよい。
　上述のように、２つの絶縁層１３の厚さは互いに同一であるから、厚み方向（ｚ方向）における、第１電極９Ａと内側電極１１との距離と、第２電極９Ｂと内側電極１１との距離とは同一である。また、２つの外側電極９の流れ方向（ｘ方向）における位置は互いに同一であるから、流れ方向（ｘ方向）における、第１電極９Ａと内側電極１１との距離と、第２電極９Ｂと内側電極１１との距離とは同一である。また、これらのことから、ｘｚ平面における、第１電極９Ａと内側電極１１（第１下流域部）との距離と、第２電極９Ｂと内側電極１１（第２下流域部）との距離とは同一である。
　外側電極９及び内側電極１１は、例えば、厚さが一定の層状（平板状含む）に形成されている。これらの電極の平面形状は適宜な形状とされてよいが、図１ではｘ方向及びｙ方向に平行な辺を有する矩形とされた場合を例示している。なお、外側電極９及び内側電極１１のｙ方向の長さは、例えば、互いに同一に設定される。
　外側電極９及び内側電極１１は、金属等の導電性材料により形成されている。金属としては、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀、金、パラジウム、白金、ニッケル、コバルトまたはこれらを主成分とする合金が挙げられる。
　駆動部５（図１（ａ））は、外側電極９と内側電極１１との間に交流電圧を印加する電源装置１５と、電源装置１５を制御する制御装置１９とを有している。
　２つの外側電極９は、誘電体７に設けられた配線若しくはその他の配線により並列に接続されている。従って、電源装置１５は、第１電極９Ａと内側電極１１との間、及び、第２電極９Ｂと内側電極１１との間に、電圧値、周波数及び位相が互いに同一の電圧を印加する。
　電源装置１５により印加される交流電圧は、正弦波等により表わされる、電位が連続的に変化するものであってもよいし、パルス状の、電位の変化が不連続なものであってもよい。また、交流電圧は、外側電極９及び内側電極１１の双方において基準電位に対して電位が変動するものであってもよいし、外側電極９及び内側電極１１の一方が基準電位に接続され、他方においてのみ電位が基準電位に対して変動するものであってもよい。電位の変動は、基準電位に対して正及び負の双方に変動するものであってもよいし、基準電位に対して正及び負の一方のみに変動するものであってもよい。
　図１（ａ）では、外側電極９に基準電位が付与され、内側電極１１の電位が変動するように交流電圧が印加される場合を例示している。なお、図１（ａ）に示す例においては、基準電位は、大地の電位と同じ（狭義の基準電位）であることが好ましい。
　制御装置１９は、例えば、所定のシーケンスに従って、若しくは、ユーザの操作に従って、電源装置１５による電圧の印加のオン・オフ、若しくは、印加される電圧の大きさなどを制御する。
　なお、誘電体７、外側電極９及び内側電極１１の寸法、並びに、交流電圧の大きさ及び周波数は、イオン風発生装置１が適用される技術、又は、要求されるイオン風の性質等の種々の事情に応じて適宜に設定されてよい。
　図２は、イオン風発生体３の製造方法を説明する模式的な断面図である。
　誘電体７は、図２に示すように、第１電極９Ａが設けられた第１絶縁層１３Ａと、第２電極９Ｂ及び内側電極１１が設けられた第２絶縁層１３Ｂとが積層されることにより製造される。具体的には、誘電体７がセラミック焼結体により構成される場合を例にとると、以下のとおりである。
　まず、絶縁層１３となるセラミックグリーンシートを用意する。セラミックグリーンシートは、原料粉末に適当な有機溶剤及び溶媒を添加混合して作製したスラリーをドクターブレード法やカレンダーロール法等の成形方法でシート状に成形することによって形成される。原料粉末は、アルミナセラミックを例にとると、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、シリカ（ＳｉＯ２）、カルシア（ＣａＯ）及びマグネシア（ＭｇＯ）等である。
　次に、セラミックグリーンシート（第１絶縁層１３Ａ）の第１主面７ａとなる面に第１電極９Ａとなる導電ペーストを設ける。また、セラミックグリーンシート（第２絶縁層１３Ｂ）の第２主面７ｂとなる面に第２電極９Ｂとなる導電ペーストを、第４主面１３ｄとなる面に内側電極１１となる導電ペーストを設ける。
　導電ペーストは、例えば、タングステン、モリブデン、銅または銀等の金属粉末に有機溶剤及び有機バインダを添加し混合することによって作製される。導電ペーストは、必要に応じて分散剤や可塑剤などが添加されていてもよい。混合は、例えば、ボールミル、三本ロールミル、またはプラネタリーミキサー等の混練手段により行われる。また、導電ペーストは、例えば、スクリーン印刷法等の印刷手段を用いてセラミックグリーンシートに印刷塗布される。
　そして、第１絶縁層１３Ａとなるセラミックグリーンシートと、第２絶縁層１３Ｂとなるセラミックグリーンシートとを積層し、導電ペースト及びセラミックグリーンシートを同時焼成する。これにより、外側電極９及び内側電極１１が配置された誘電体７、すなわち、イオン風発生体３が形成される。
　なお、導電ペーストは、セラミックグリーンシートと同時焼成される場合には、セラミックグリーンシートの焼結挙動に合わせたり、残留応力の緩和によって焼結後の誘電体との接合強度を高めたりするために、ガラスやセラミックスの粉末が添加されてもよい。
　次に、イオン風発生装置１の作用について説明する。
　イオン風発生体３は、大気中に置かれ、イオン風発生体３の周囲には空気が存在している。なお、イオン風発生体３は、特定の種類の気体雰囲気下（例えば窒素雰囲気下）に置かれて使用されてもよい。
　電源装置１５により外側電極９と内側電極１１との間に電圧が印加され、これらの電極間の電位差が一定の閾値を超えると、誘電体バリア放電が生じる。そして、放電に伴ってプラズマが生成される。
　プラズマ中の電子又はイオンは、外側電極９及び内側電極１１により形成された電界により移動する。また、中性分子も電子又はイオンに随伴して移動する。このようにしてイオン風が誘起される。
　より具体的には、イオン風は、矢印ｙ１及びｙ２で示すように、外側電極９側から内側電極１１側へ移動する電子又はイオンにより、第１主面７ａ及び第２主面７ｂ上の内側電極１１と重なる領域を中心として誘起され、外側電極９側から内側電極１１側へ流れる。
　各主面におけるイオン風の風速（風量）は、各主面に設けられた外側電極９及び内側電極１１に印加される電圧が大きいほど、また、各主面に設けられた外側電極９と内側電極１１との距離が小さくなるほど、大きくなる。
　本実施形態では、第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂは、ｚ方向の位置を除いては、互いに同一の条件で設けられ、また、互いに同一の電圧が印加されているから、第１主面７ａ側と、第２主面７ｂ側とでは、互いに同一の風向、風速及び風量のイオン風が発生する。
　以上のとおり、本実施形態では、イオン風発生体３は、第１主面７ａ及びその背面の第２主面７ｂを有する誘電体７と、誘電体７内に配置された内側電極１１と、内側電極１１に対して第１主面７ａ側に配置された第１電極９Ａと、内側電極１１に対して第２主面７ｂ側に配置された第２電極９Ｂとを有する。内側電極１１は、第１電極９Ａに対して第１主面７ａに沿う第１方向（ｘ方向の正側）に位置する第１下流域部を有するとともに、第２電極９Ｂに対して第２主面７ｂに沿う第２方向（ｘ方向の正側）に位置する第２下流域部を有する。
　従って、内側電極１１と第１電極９Ａとの間に電圧を印加することにより、第１主面７ａに沿うイオン風を発生させるとともに、内側電極１１と第２電極９Ｂとの間に電圧を印加することにより、第２主面７ｂに沿うイオン風を発生させることができる。その結果、例えば、内側電極１１と第１電極９Ａとの位置関係の調整と、内側電極１１と第２電極９Ｂとの位置関係の調整とを個別に行うことにより、第１主面７ａ及び第２主面７ｂそれぞれにおいて任意の風向及び風量のイオン風を発生させることができる。すなわち、誘電体７の両面において好適にイオン風を発生させることができる。しかも、内側電極１１は、第１主面７ａにおけるイオン風の発生と、第２主面７ｂにおけるイオン風の発生とに共用されていることから、構成の簡素化及び小型化も図られる。
　第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂは、内側電極１１に対して第１主面７ａ及び第２主面７ｂに沿う同一の方向にずれている（上記の第１方向及び第２方向は同一方向である。）。
　従って、第１主面７ａにおいて発生するイオン風と、第２主面７ｂにおいて発生するイオン風とは、図１において矢印ｙ１及びｙ２により示すように、同一方向に流れる。仮に、従来技術と同様に、第１主面７ａにおいて矢印ｙ１のイオン風を発生させることのみに着目し、第２電極９Ｂが設けられないとすると、第２主面７ｂにおいては、第１電極９Ａと内側電極１１とに印加される電圧により、矢印ｙ２とは反対方向のイオン風が発生する。その結果、矢印ｙ１で示すイオン風は風速及び風量が減じられてしまう。しかし、本実施形態では、そのような不都合が解消される。
　誘電体７は、平板状の複数（本実施形態では２つ）の絶縁層１３が積層されて構成された基板である。第１主面７ａ及び第２主面７ｂは複数の絶縁層１３の積層方向に面する基板の両表面である。第１電極９Ａは第１主面７ａに積層された層状電極である。第２電極９Ｂは第２主面７ｂに積層された層状電極である。内側電極１１は複数の絶縁層１３間のいずれかに配置された層状電極である。
　従って、イオン風発生体３は、多層配線基板と同様の構成であり、多層配線基板に係る技術を種々利用することができる。その結果、例えば、力学的強度、熱的強度及び電気的特性に優れたイオン風発生体３を実現することが容易であるとともに、製造方法の好適化及びコスト削減も容易である。
　誘電体７は、セラミックにより構成されている。従って、力学的強度、熱的強度及び電気的特性に優れたイオン風発生体３を実現することができる。また、図２を参照して説明したように、導電ペーストとセラミックグリーンシートとの同時焼成により、誘電体７に埋設された内側電極１１を形成することができ、イオン風発生体３の製造が容易である。
　第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂは、内側電極１１との距離が互いに同一である（第１電極９Ａと第１下流域部との距離（最短距離）と、第２電極９Ｂと第２下流域部との距離（最短距離）とが互いに同一である。）。従って、第１主面７ａと第２主面７ｂとで同等の風速のイオン風を発生させることが容易である。その結果、例えば、第１主面７ａにおけるイオン風と第２主面７ｂにおけるイオン風との合流点において、意図していないイオン風の偏向が生じることなどが抑制される。
　イオン風発生装置１において、第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂは、誘電体７の外部へ露出しており、電源装置１５は、第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂに基準電位を付与するとともに、内側電極１１に基準電位に対して変動する電位を付与する。
　従って、イオン風発生体３の露出部分においては電位の変動が抑制され、安全性が向上する。換言すれば、イオン風発生装置１の取扱性が向上する。
　なお、以上の第１の実施形態において、第１主面７ａ及び第２主面７ｂは本発明の第１面及び第２面の一例であり、ｘ方向の正側は、第１方向及び第２方向の一例であり、内側電極１１の全体は内側電極の第１下流域部及び第２下流域部の一例であり、電源装置１５は本発明の電源の一例である。
＜第２の実施形態＞
　図３は、本発明の第２の実施形態に係るイオン風発生装置１０１の要部を模式的に示す断面図である。
　イオン風発生装置１０１は、イオン風発生体１０３における、誘電体１０７の構成、及び、内側電極１１１の構成が第１の実施形態の構成と異なっている。具体的には、以下のとおりである。
　誘電体１０７は、第１絶縁層１３Ａ、第２絶縁層１３Ｂ、及び、これらの間に介在する第３絶縁層１３Ｃが積層されて構成されている。第１絶縁層１３Ａ及び第２絶縁層１３Ｂは、第１の実施形態の第１絶縁層１３Ａ及び第２絶縁層１３Ｂと同様の構成でよい。第３絶縁層１３Ｃも、第１絶縁層１３Ａ及び第２絶縁層１３Ｂと概ね同様の構成である。ただし、第３絶縁層１３Ｃの厚さは、適宜に設定されてよく、図３では、第３絶縁層１３Ｃが第１絶縁層１３Ａ及び第２絶縁層１３Ｂよりも薄く形成されている場合を例示している。
　内側電極１１１は、第３電極１０Ｃと、第４電極１０Ｄと、ビア導体１２とを有している。第３電極１０Ｃ、第４電極１０Ｄ及びビア導体１２は、互いに接続されており、これら全体で内側電極１１１として機能する。
　第３電極１０Ｃ及び第４電極１０Ｄは、それぞれ、第１の実施形態の内側電極１１と同様の構成でよい。ただし、第３電極１０Ｃは、第１絶縁層１３Ａと第３絶縁層１３Ｃとの間に配置され、第４電極１０Ｄは、第２絶縁層１３Ｂと第３絶縁層１３Ｃとの間に配置されている。
　ビア導体１２は、第３絶縁層１３Ｃを貫通して、第３電極１０Ｃと第４電極１０Ｄとを接続している。ビア導体１２の数、配置位置、平面形状、断面形状及び寸法は適宜に設定されてよい。ビア導体１２の材料は、例えば、層状電極（９Ａ、９Ｂ、１０Ｃ及び１０Ｄ）の材料と同様である。
　図４は、イオン風発生体１０３の製造方法を説明する模式的な断面図である。
　イオン風発生体１０３は、第１の実施形態のイオン風発生体３と同様に、各種電極が配置された絶縁層１３が積層されることにより製造される。その具体的方法として、導電ペーストが塗布されたセラミックグリーンシートを積層して焼成する方法が適用されてよいことも、第１の実施形態と同様である。
　ただし、第３電極１０Ｃとなる導電ペーストは、第１絶縁層１３Ａとなるセラミックグリーンシートの第３主面１３ｃに塗布される。すなわち、第３電極１０Ｃとなる導電ペーストは、第１電極９Ａとなる導電ペーストが塗布されるセラミックグリーンシートに塗布される。
　また、第４電極１０Ｄとなる導電ペーストは、第２絶縁層１３Ｂとなるセラミックグリーンシートの第４主面１３ｄに塗布される。すなわち、第４電極１０Ｄとなる導電ペーストは、第２電極９Ｂとなる導電ペーストが塗布されるセラミックグリーンシートに塗布される。
　また、ビア導体１２となる導電ペーストは、第３絶縁層１３Ｃとなるセラミックグリーンシートに形成されたビア１３ｖに充填される。なお、ビア１３ｖの形成方法及び導電ペーストの充填方法は、公知の技術が用いられてよい。
　そして、３つのセラミックグリーンシートを積層して焼成することにより、第３電極１０Ｃ、第４電極１０Ｄ及びビア導体１２からなる内側電極１１が形成される。
　以上の第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の作用及び効果を得られる。すなわち、内側電極１１と第１電極９Ａとの間に電圧を印加することにより、図３において矢印ｙ１で示すように、第１主面７ａに沿うイオン風を発生させることができ、内側電極１１と第２電極９Ｂとの間に電圧を印加することにより、図３において矢印ｙ２で示すように、第２主面７ｂに沿うイオン風を発生させることができる。その結果、誘電体７の両面において好適にイオン風を発生させることができ、且つ、内側電極１１の共用による構成の簡素化及び小型化が図られる。
　また、誘電体１０７は、第１主面７ａを構成する第１絶縁層１３Ａと、第２主面７ｂを構成する第２絶縁層１３Ｂとを有する。第１電極９Ａは第１絶縁層１３Ａに設けられ、第２電極９Ｂは第２絶縁層１３Ｂに設けられている。内側電極１１は、第１絶縁層１３Ａの、第１電極９Ａよりも第２絶縁層１３Ｂ側に設けられた第３電極１０Ｃと、第２絶縁層１３Ｂの、第２電極９Ｂよりも第１絶縁層１３Ａ側に設けられた第４電極１０Ｄと、第３電極１０Ｃと第４電極１０Ｄとを接続するビア導体１２とを有する。
　従って、第１電極９Ａと内側電極１１（第１下流域部）との距離は、第１電極９Ａと第３電極１０Ｃとの距離により規定される。同様に、第２電極９Ｂと内側電極１１（第２下流域部）との距離は、第２電極９Ｂと第４電極１０Ｄとの距離により規定される。換言すれば、２つの外側電極９は、内側電極１１との距離の基準となる内側電極１１の部位が異なる。その結果、例えば、イオン風の風速を第１主面７ａ側と第２主面７ｂ側とで個別に調整することが容易化される。
　また、第１の実施形態のイオン風発生体３では、イオン風の風速を大きくするために各外側電極９と内側電極１１との距離を小さくすると、すなわち、２つの絶縁層１３を薄くすると、誘電体７全体としての厚みも小さくなり、イオン風発生体３の力学的強度が低下する。しかし、本実施形態のイオン風発生体１０３では、第１絶縁層１３Ａ及び第２絶縁層１３Ｂを薄くしても、誘電体１０７全体としての厚みを確保することなどができる。
　また、第１の実施形態では、図２に示すように、第１絶縁層１３Ａと第２絶縁層１３Ｂとを重ね合わせるときに位置ずれが生じ、ひいては、第１電極９Ａと内側電極１１との間に位置誤差が生じるおそれがある。その結果、例えば、第１電極９Ａと内側電極１１との距離と、第２電極９Ｂと内側電極１１との距離との間に差が生じるおそれがある。しかし、本実施形態では、３つの絶縁層１３を重ね合わせるときの位置ずれは、第１電極９Ａと内側電極１１との距離、及び、第２電極９Ｂと内側電極１１との距離に影響しない。すなわち、積層工程における誤差がイオン風の風速に及ぼす影響を抑制できる。
　誘電体１０７は、平板状の複数（本実施形態では３つ）の絶縁層１３が積層されて構成された基板であり、第１主面７ａ及び第２主面７ｂは複数の絶縁層１３の積層方向に面する基板の両表面である。複数の絶縁層１３は、第１主面７ａ及びその背面の第３主面１３ｃを有する第１絶縁層１３Ａと、第２主面７ｂ及びその背面の第４主面１３ｄを有する第２絶縁層１３Ｂと、第３主面１３ｃ及び第４主面１３ｄとの間に介在する第３絶縁層１３Ｃとを有する。第１電極９Ａは第１主面７ａに積層された層状電極であり、第２電極９Ｂは第２主面７ｂに積層された層状電極であり、第３電極１０Ｃは第３主面１３ｃに積層された層状電極であり、第４電極１０Ｄは第４主面１３ｄに積層された層状電極である。また、第３電極１０Ｃと第４電極１０Ｄとを接続するビア導体１２は、第３絶縁層１３Ｃを貫通する導体である。
　従って、第１の実施形態と同様に、イオン風発生体１０３は、多層配線基板と同様の構成であり、多層配線基板に係る技術を種々利用することができる。特に、誘電体７がセラミックにより構成されていることにより、セラミック多層基板の技術を利用して、力学的強度、熱的強度及び電気的特性に優れたイオン風発生体１０３を実現することができる。
　第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂは、内側電極１１との距離が互いに同一である（第１電極９Ａと第１下流域部との距離と、第２電極９Ｂと第２下流域部との距離とが互いに同一である。）。この場合、上述した、積層時の位置ずれによる誤差抑制の効果が有効に作用する。第１主面７ａと第２主面７ｂとで互いに同一の風速とするときは、互いに異なる風速とするときに比較して、意図しない流体現象の発生を抑制するために、高い精度を要求されることが多いと考えられることからである。
　なお、以上の第２の実施形態において、第１絶縁層１３Ａ及び第２絶縁層１３Ｂは本発明の第１部分誘電体及び第２部分誘電体の一例であり、ビア導体１２は本発明の接続導体の一例である。
＜第３の実施形態＞
　図５（ａ）は、本発明の第３の実施形態に係るイオン風発生装置２０１の要部を模式的に示す斜視図である。図５（ｂ）はイオン風発生装置２０１のイオン風発生体２０３をｘ軸方向に見た正面図である。
　イオン風発生装置２０１は、イオン風発生体２０３の構成が第１の実施形態と異なっている。具体的には、以下のとおりである。
　誘電体２０７は、概ね円柱状に形成されている。また、内側電極２１１は、誘電体２０７の中心線に沿って延びる軸状に形成されている。外側電極２０９は、誘電体２０７の外周面を囲む筒状に形成されている。内側電極２１１は、外側電極２０９に対して誘電体２０７の軸方向の一方側に位置する下流域部（本実施形態では内側電極２１１の全体）を含んでいる。
　イオン風発生体２０３をｘｚ平面に平行に切断した断面図は、誘電体２０７が２つの絶縁層１３により構成されていない点を除いては、図１（ｂ）と同様である。このことから理解されるように、外側電極２０９及び内側電極２１１に電圧を印加すると、誘電体バリア放電が生じ、誘電体２０７の外周面においては、軸方向に流れるイオン風が発生する。
　なお、図４（ｂ）に示すように、誘電体２０７は、互いに異なる方向に面する複数の曲面２０７ａ～２０７ｄを有していると捉えることができる。すなわち、誘電体２０７は、曲面２０７ａ及びその背面の曲面２０７ｂを有するとともに、これらの曲面の側方に面する曲面２０７ｃ及び曲面２０７ｄを有している。
　また、外側電極２０９は、曲面２０７ａ～曲面２０７ｄそれぞれに設けられた部分電極２０９ａ～２０９ｄを有していると捉えることができる。
　なお、誘電体２０７は、互いに反対方向に面する２つの曲面（半円筒面）を有していると捉えることもできる。外側電極２０９は、その２つの曲面にそれぞれ設けられた２つの部分電極を有していると捉えることもできる。
　以上の第３の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の作用及び効果を得られる。すなわち、内側電極２１１と外側電極２０９との間に電圧を印加することにより、図５（ａ）において矢印ｙ１及びｙ２で示すように、互いに異なる方向に面する曲面２０７ａ～２０７ｄにおいて好適にイオン風を発生させることができ、且つ、内側電極１１の共用による構成の簡素化及び小型化が図られる。
　また、イオン風発生体２０３は、部分電極２０９ａ～２０９ｄを含み、誘電体２０７の外周を囲むように形成された環状の外側電極２０９を有する。従って、イオン風発生体２０３は、誘電体２０７の所定の軸回りの全周に亘ってイオン風を発生させることができる。その結果、例えば、大風量のイオン風が小型な構成で実現されることが期待される。
　なお、第３の実施形態において、曲面２０７ａ～２０７ｄのいずれか２つは本発明の第１面及び第２面の一例であり、部分電極２０９ａ～２０９ｄのいずれか２つは本発明の第１電極及び第２電極の一例である。
＜第４の実施形態＞
　図６は、本発明の第４の実施形態に係るイオン風発生装置３０１の要部を模式的に示す断面図である。
　第１の実施形態では、第１電極９Ａと内側電極１１との距離と、第２電極９Ｂと内側電極１１との距離が等しくなるようにイオン風発生体３が構成された。これに対し、第４の実施形態においては、第１電極３０９Ａと内側電極１１（第１下流域部）との距離と、第２電極３０９Ｂと内側電極１１（第２下流域部）との距離が互いに異なるようにイオン風発生体３０３が構成されている。
　例えば、当該距離の相違は、厚さ方向（ｚ）の距離の相違により実現される。より具体的には、例えば、第１電極３０９Ａと内側電極１１との間に介在する絶縁層１３の数と、第２電極３０９Ｂと内側電極１１との間に介在する絶縁層１３の数とを互いに異ならせることにより実現される。なお、複数の絶縁層１３の厚さは、例えば、互いに同一である。もちろん、厚さ方向の距離の相違は、第１の実施形態のように２つの絶縁層１３により誘電体が構成される場合において、絶縁層１３の厚さを異ならせることによっても実現可能である。
　また、例えば、当該距離の相違は、流れ方向（ｘ方向）の距離の相違により実現される。より具体的には、例えば、２つの外側電極３０９の位置を所定の距離ｄで互いに異ならせることにより、実現される。なお、図６では、２つの外側電極３０９のｘ方向における大きさが互いに異なっているが、当該大きさは互いに同一であってもよい。
　このように、第１電極３０９Ａと内側電極１１との距離と、第２電極３０９Ｂと内側電極１１との距離を互いに異ならせることにより、第１主面７ａ及び第２主面７ｂのそれぞれにおいて発生するイオン風を異ならせることが容易化される。例えば、２つの外側電極を並列接続していても、第１主面７ａ及び第２主面７ｂのそれぞれの風速を任意の風速とすることができる。
＜第５の実施形態＞
　図７は、本発明の第５の実施形態に係るイオン風発生装置４０１の要部を模式的に示す断面図である。
　第１の実施形態では、第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂは、内側電極１１に対して第１主面７ａ及び第２主面７ｂに沿う同一の方向にずれた（第１電極９Ａに対して内側電極の第１下流域部が位置する方向（第１方向）と第２電極９Ｂに対して内側電極の第２下流域部が位置する方向（第２方向）とが同一方向であった。）。これに対して、本実施形態では、第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂは、内側電極１１に対して第１主面７ａ及び第２主面７ｂに沿う互いに異なる方向にずれている（第１方向と第２方向とが互いに異なる方向である。）。例えば、第１電極９Ａ及び第２電極９Ｂは、内側電極１１に対してｘ方向の互いに反対方向にずれている（第１方向と第２方向とが反対方向である。）。
　従って、イオン風発生体４０３においては、矢印ｙ１及びｙ３で示すように、第１主面７ａと第２主面７ｂとで互いに異なる方向（本実施形態では反対方向）にイオン風が流れる。このように、複数の外側電極９の内側電極１１に対するずれ方向の調整により、イオン風発生装置の用途に応じて、互いに異なる面に沿うイオン風の流れ方向を適宜に設定することができる。
＜利用例＞
　図８は、本発明の第１の実施形態に係るイオン風発生装置１の利用例の要部を模式的に示す断面図である。
　図８では、イオン風発生装置１が排気ガス等の流体の改質を行う反応装置に利用された場合を例示している。改質対象の流体の流路内には、複数のイオン風発生体３が流路の幅方向に所定の間隔で離間して配列されている。各イオン風発生体３は、イオン風の流れ方向が流路に沿うように配置されている。そして、外側電極９及び内側電極１１に電圧が印加されると、複数のイオン風発生体３は、第１主面７ａ及び第２主面７ｂの双方において流体の改質を行うとともに、イオン風を発生させ、改質後の流体を送出する。
　本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
　本発明のイオン風発生装置及びイオン風発生体は、種々の分野において利用可能である。例えば、本発明は、翼における境界層の剥離抑制に利用されてもよいし、微小空間における流れの形成（例えば小型電子機器の冷却風の形成）に利用されてもよい。
　第３の実施形態（図５）から理解されるように、誘電体の、互いに異なる方向に面する第１面及び第２面は、互いに反対方向に面する平面に限定されない。第１面及び第２面は、互いに直交する方向に面する面であってもよいし、互いに傾いた方向に面する面であってもよい。誘電体の形状も、薄型直方体若しくは円柱状に限定されず、適宜な形状とされてよい。
　誘電体は、絶縁層の積層により形成されたものに限定されない。例えば、誘電体は、電極となる金属を配置した金型内に誘電体となる材料が充填され、成形されたものであってもよい。また、誘電体が絶縁層の積層により形成される場合において、誘電体はセラミックグリーンシートを積層して焼成したものに限定されない。例えば、誘電体は、セラミックの溶射により絶縁層が積層されたものでもよいし、未硬化の熱硬化性樹脂が積層されて加熱・加圧されたものでもよい。
　第１電極及び第２電極（外側電極）並びに内側電極の形状及び数は適宜に設定されてよい。例えば、第１の実施形態において、外側電極及び内側電極の一方は、３角形状若しくは波状形状とされ、イオン風の幅方向の位置によってｘ方向における外側電極と内側電極との距離が変化してもよい。また、例えば、第１の実施形態において、外側電極及び内側電極の一方は、イオン風の幅方向において複数に分割され、その分割された電極毎に電圧が制御されてもよい。
　第２及び第３の実施形態（図３及び図５）から理解されるように、内側電極は、層状電極に限定されず、また、第１電極及び第２電極（外側電極）も、層状電極に限定されない。例えば、第１の実施形態において、第１電極及び第２電極は、ｙ方向に延びる軸状電極であってもよい。
　第１電極及び第２電極（外側電極）は、内側電極に対して誘電体の表面側に配置されていればよく、誘電体の表面に露出している必要はない。また、外側電極が誘電体の表面に露出する場合、外側電極は、誘電体の表面に配置されるものに限定されない。例えば、外側電極は、誘電体に形成された凹部に嵌合し、一部のみが誘電体から露出されてもよい。また、第１電極及び第２電極（外側電極）は、誘電体とは別個の部材に固定されて誘電体から離間していてもよい。
　第１電極及び第２電極の内側電極に対するずれ方向（別の観点では第１方向及び第２方向）は、同一方向及び逆方向に限定されず、互いに直交する方向若しくは互いに傾斜する方向であってもよい。
　既に述べたように、第１下流域部若しくは第２下流域部は、内側電極の全体に限定されず、内側電極の一部であってもよい。この場合において、第１下流域部及び第２下流域部は、内側電極のうち、互いに重複しない範囲であってもよいし、一部が重複する互いに異なる範囲であってもよい。
　第１電極及び第２電極は、並列に接続されるものに限定されない。例えば、第１電極及び第２電極は、直列に接続されてもよい。また、例えば、内側電極に基準電位を付与し、第１電極及び第２電極に周波数及び／又は振幅の異なる変動電位を付与することなどにより、第１電極及び第２電極は個別に電圧が制御されてもよい。
　第２の実施形態（図３）に例示した、第１及び第２部分誘電体（実施形態では１３Ａ及び１３Ｂ）を有する誘電体は、平板状の絶縁層からなるものに限定されない。また、第１部分誘電体及び第２部分誘電体は、適宜なスペーサを介して対向した状態で、半田などの適宜な固定部材により互いに固定されてもよい。
　また、これらの第１及び第２部分誘電体に設けられる第３及び第４電極を接続する接続導体（実施形態ではビア導体１２）は、ビア導体に限定されない。例えば、第２の実施形態において、第３絶縁層１３Ｃの側方に導体が配置されて接続導体が構成されてもよい。
　１…イオン風発生装置、３…イオン風発生体、７…誘電体、７ａ…第１主面（第１面）、７ｂ…第２主面（第２面）、９Ａ…第１電極、９Ｂ…第２電極、１１…内側電極（第１下流域部、第２下流域部）、１５…電源装置（電源）。

Claims (12)

  1. 　互いに異なる方向に面する第１面及び第２面を有する誘電体と、
    　前記誘電体内に配置された内側電極と、
    　前記内側電極に対して前記第１面側に配置された第１電極と、
    　前記内側電極に対して前記第２面側に配置された第２電極と、
    　を有し、
    　前記内側電極は、前記第１電極に対して前記第１面に沿う第１方向に位置する第１下流域部を有し、前記第１電極との間に電圧が印加されることにより前記第１面に沿うイオン風を誘起可能であるとともに、前記第２電極に対して前記第２面に沿う第２方向に位置する第２下流域部を有し、前記第２電極との間に電圧が印加されることにより前記第２面に沿うイオン風を誘起可能である
    　イオン風発生体。
  2. 　前記第１面及び前記第２面は互いに反対方向に面する
    　請求項１に記載のイオン風発生体。
  3. 　前記第１方向及び前記第２方向は同一方向である
    　請求項２に記載のイオン風発生体。
  4. 　前記誘電体は、平板状の複数の絶縁層が積層されて構成された基板であり、
    　前記第１面及び前記第２面は前記複数の絶縁層の積層方向に面する前記基板の両主面であり、
    　前記第１電極は前記第１面に積層された層状電極であり、
    　前記第２電極は前記第２面に積層された層状電極であり、
    　前記内側電極は前記複数の絶縁層間のいずれかに配置された層状電極である
    　請求項２又は３に記載のイオン風発生体。
  5. 　前記誘電体は、
    　　前記第１面を構成する第１部分誘電体と、
    　　前記第２面を構成する第２部分誘電体と、
    　　を有し、
    　前記第１電極は前記第１部分誘電体に設けられ、
    　前記第２電極は前記第２部分誘電体に設けられ、
    　前記内側電極は、
    　　前記第１部分誘電体の、前記第１電極よりも前記第２部分誘電体側に設けられた第３電極と、
    　　前記第２部分誘電体の、前記第２電極よりも前記第１部分誘電体側に設けられた第４電極と、
    　　前記第３電極と前記第４電極とを接続する接続導体と、
    　　を有する
    　請求項２又は３に記載のイオン風発生体。
  6. 　前記誘電体は、平板状の複数の絶縁層が積層されて構成された基板であり、
    　前記第１面及び前記第２面は前記複数の絶縁層の積層方向に面する前記基板の両主面であり、
    　前記複数の絶縁層は、
    　　前記第１面及びその背面の第３面を有する、前記第１部分誘電体としての第１絶縁層と、
    　　前記第２面及びその背面の第４面を有する、前記第２部分誘電体としての第２絶縁層と、
    　　前記第３面及び前記第４面との間に介在する第３絶縁層と、
    　　を有し、
    　前記第１電極は前記第１面に積層された層状電極であり、
    　前記第２電極は前記第２面に積層された層状電極であり、
    　前記第３電極は前記第３面に積層された層状電極であり、
    　前記第４電極は前記第４面に積層された層状電極であり、
    　前記接続導体は前記第３絶縁層を貫通するビア導体である
    　請求項５に記載のイオン風発生体。
  7. 　前記第１電極及び前記第２電極を含み、前記誘電体の外周を囲むように形成された環状電極を有する
    　請求項１～３のいずれか１項に記載のイオン風発生体。
  8. 　前記誘電体は、セラミックにより構成されている
    　請求項１～７のいずれか１項に記載のイオン風発生体。
  9. 　前記第１電極と前記第１下流域部との距離と、前記第２電極と前記第２下流域部との距離とが互いに同一である
    　請求項１～８のいずれか１項に記載のイオン風発生体。
  10. 　前記第１電極と前記第１下流域部との距離と、前記第２電極と前記第２下流域部との距離とが互いに異なる
    　請求項１～８のいずれか１項に記載のイオン風発生体。
  11. 　互いに異なる方向に面する第１面及び第２面を有する誘電体と、
    　前記誘電体内に配置された内側電極と、
    　前記内側電極に対して前記第１面側に配置された第１電極と、
    　前記内側電極に対して前記第２面側に配置された第２電極と、
    　前記内側電極と前記第１電極との間に電圧を印加するとともに、前記内側電極と前記第２電極との間に電圧を印加する電源と、
    　を有し、
    　前記内側電極は、前記第１電極に対して前記第１面に沿う第１方向に位置する第１下流域部を有し、前記第１電極との間に電圧が印加されることにより前記第１面に沿うイオン風を誘起可能であるとともに、前記第２電極に対して前記第２面に沿う第２方向に位置する第２下流域部を有し、前記第２電極との間に電圧が印加されることにより前記第２面に沿うイオン風を誘起可能である
    　イオン風発生装置。
  12. 　前記第１電極及び前記第２電極は、前記誘電体の外部へ露出しており、
    　前記電源は、前記第１電極及び前記第２電極に基準電位を付与するとともに、前記内側電極に基準電位に対して変動する電位を付与する
    　請求項１１に記載のイオン風発生装置。
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