WO2011161873A1 - 超音波式流量計測装置 - Google Patents

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佐藤　真人
藤井　裕史
後藤　尋一
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パナソニック株式会社
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    • G01F1/667—Arrangements of transducers for ultrasonic flowmeters; Circuits for operating ultrasonic flowmeters

Definitions

  • the present invention relates to an ultrasonic transducer that transmits and receives ultrasonic pulses, and an apparatus that measures the flow rate and flow velocity of gas and liquid using the ultrasonic transducer.
  • the oscillation circuit 3 oscillates for a certain period of time at the operating frequency set by the frequency control means 4 in response to a start signal from the control unit 6.
  • the ultrasonic probe 2 is driven.
  • the ultrasonic wave emitted from the first ultrasonic probe 2 propagates in the fluid to be measured filled in the measurement channel 1 and is detected by the second ultrasonic probe 7 after the elapse of time t.
  • the detected reception signal is compared with the reference voltage 8 in the comparator 9, and when the voltage relationship between the reference voltage 8 and the reception signal is inverted, a stop signal is sent to the timer 5 to stop the timer 5.
  • a thermistor 10 for detecting temperature is installed in the measurement path 1 to measure the temperature of the fluid to be measured.
  • the fluid to be measured is disturbed, and the density distribution of the fluid to be measured is disrupted in a range where time measurement is performed with ultrasonic waves. If the ultrasonic waves cannot be transmitted and received uniformly, there is a possibility that the ultrasonic propagation time cannot be measured correctly.
  • the present invention solves the above-mentioned conventional problems, and can detect temperature without using a thermistor, and enables temperature correction and the like.
  • an ultrasonic flow measuring device of the present invention is arranged in a flow measuring unit through which a fluid to be measured flows and the flow measuring unit, and transmits ultrasonic waves from one side, Based on a measurement value of the pair of ultrasonic transducers, a propagation time measurement unit for measuring a propagation time exchanged between the pair of ultrasonic transducers, and the propagation time measurement unit A flow rate calculation unit that calculates the flow rate, and a temperature detection unit that measures the characteristics of the parts having temperature characteristics that constitute the propagation time measurement unit or the flow rate calculation unit, and performs temperature detection. According to the configuration, a thermistor for detecting the temperature can be eliminated.
  • the ultrasonic flow measuring device of the present invention since temperature detection is performed using the frequency change due to the temperature of the oscillation circuit unit, a thermistor for detecting the temperature is unnecessary, and the cost can be reduced. Become. Further, since it is not necessary to dispose a thermistor in the measured fluid atmosphere, it is possible to measure the flow velocity and detect the temperature without disturbing the flow of the measured fluid.
  • a flow rate measurement unit through which a fluid to be measured flows, a pair of ultrasonic transducers arranged in the flow rate measurement unit, configured to transmit ultrasonic waves from one side and receive from the other side, A propagation time measurement unit for measuring a propagation time exchanged between a pair of ultrasonic transducers, a flow rate calculation unit for calculating a flow rate based on a measurement value of the propagation time measurement unit, and the ultrasonic flow rate And a temperature detector that detects the temperature by measuring the characteristics of the parts that have the temperature characteristics that make up the measuring device, and the characteristics of the parts that make up the ultrasonic flow measuring device depend on the temperature.
  • the temperature can be detected by measuring the characteristics of parts that change depending on the device (for example, resistors, capacitors, oscillators, etc.), eliminating the need for a thermistor as a dedicated component to detect the temperature and reducing costs. Will be able to
  • the component having the temperature characteristic is an oscillator of an oscillation circuit unit used as a reference clock for measuring a propagation time in the propagation time measurement unit, and the temperature detection
  • the section is characterized in that the temperature of the oscillator is measured and temperature is detected, and the temperature is detected by using the frequency change due to the temperature of the oscillation circuit section to detect the temperature.
  • a thermistor or the like as a dedicated part becomes unnecessary, and the cost can be reduced.
  • the component having the temperature characteristic is arranged in the atmosphere of the fluid to be measured, and the component for measuring the temperature is the temperature of the fluid to be measured. Therefore, the temperature detection unit can measure an accurate temperature.
  • a pressure detection unit that detects the pressure of the fluid to be measured is provided, and the flow rate value of the fluid to be measured calculated by the flow rate calculation unit
  • a calorific value calculation unit that calculates the calorific value of the fluid under measurement from the temperature obtained by the temperature detection unit and the pressure value of the fluid under measurement detected by the pressure detection unit;
  • a case main body including a fluid supply unit and a fluid discharge unit, a flow rate measurement unit disposed in the case main body, and a supply side of the flow rate measurement unit are provided.
  • a pair of ultrasonic transducers wherein a flow passage section of the flow rate measuring unit is formed in a rectangular shape, and a flow passage section of the flow rate measuring unit is formed in a rectangular shape.
  • a measurement circuit board including a terminal portion for applying a voltage of the ultrasonic transducer, the propagation time measurement unit, the oscillation circuit unit, and the temperature detection unit covered with an insulating layer, The measurement circuit board and the flow rate measurement unit are integrated to fit in the measured fluid atmosphere. In Rukoto, easy to temperature detection of the fluid to be measured, it is possible to secure the insulation.
  • FIG. 1 is an overall block diagram of an ultrasonic flow rate measuring apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
  • a first ultrasonic transducer 12 that transmits ultrasonic waves and a second ultrasonic transducer 13 that receives ultrasonic waves are arranged in the flow direction of a flow rate measurement unit 11 in the flow direction.
  • the control unit 14 outputs a measurement start signal to the drive circuit 15 and simultaneously drives the oscillation circuit 16 to start the time measurement of the counter 17.
  • the drive circuit 15 drives the first ultrasonic transducer 12 and transmits an ultrasonic wave.
  • the transmitted ultrasonic wave propagates through the fluid and is received by the second ultrasonic transducer 13.
  • the reception detection circuit 18 receives the received ultrasonic signal, processes the signal, and outputs the signal to the counter 17 serving as a propagation time measuring unit.
  • the counter 17 receives the input signal from the reception detection circuit 18 and stops time measurement, and stops the oscillation circuit 16.
  • the flow rate calculation unit 19 receives the time measurement result of the counter 17 and calculates the flow rate by calculation.
  • the oscillation circuit 16 as an oscillation circuit unit is composed of an oscillator 16a and is used as a reference clock for measuring the propagation time in the counter 17.
  • the temperature detection unit 20 can detect the temperature by measuring the frequency of the oscillator 16a whose transmission frequency changes depending on the temperature. In other words, the temperature detection unit 20 calculates the ambient temperature of the fluid to be measured by measuring the oscillation frequency of the oscillator 16a with an oscillator (for example, a crystal oscillator) that is not easily changed in frequency by temperature.
  • the oscillation circuit 16 corresponds to a component having temperature characteristics that constitutes the ultrasonic flow measurement device, and is mounted on the measurement circuit board 22 and disposed in the atmosphere of the fluid to be measured.
  • the flow rate value (volume flow rate) obtained by the flow rate calculation unit 19 the temperature of the fluid to be measured obtained by the temperature detection unit 20, and the fluid to be measured measured by the pressure detection unit 23. Calculate the standard flow rate from the pressure value.
  • the calorific value calculation unit 21 calculates the calorific value of the fluid under measurement from the known density and specific heat of the fluid under measurement.
  • the control unit 14, drive circuit 15, oscillation circuit 16, counter 17, reception detection circuit 18, flow rate calculation unit 19, temperature detection unit 20, heat quantity calculation unit 21, and pressure detection unit 23 are placed on the measurement circuit board 22. Arranged and configured. *
  • FIG. 2 shows the relationship between the temperature and frequency (Xb) of the oscillator 16a of the oscillation circuit 16 and the relationship between the temperature and frequency (Xa) of a crystal oscillator that is less susceptible to frequency changes due to temperature.
  • the frequency change is measured using the oscillator of the oscillation circuit 16, but the present invention is not limited to this.
  • the resistance value of the resistance element provided in the circuit constituting the capacitor, the capacitance value of the capacitor, and the like can be used.
  • FIG. 3 is a configuration diagram of the ultrasonic flow rate measuring apparatus according to the second embodiment of the present invention.
  • the case body 24 includes a fluid supply unit 25 that supplies a fluid to be measured and a fluid discharge unit 26 that discharges the fluid to be measured.
  • the flow rate measurement unit 11 including a pair of ultrasonic transducers (the first ultrasonic transducer 12 and the second ultrasonic transducer 13) and the measurement circuit board 22 is accommodated.
  • a detachable rectifying member 27 is provided on the supply side of the flow rate measuring unit 11, and a detachable discharge connecting member 28 connected to the fluid discharge unit 26 is provided on the discharge side.
  • a lower space 29 is provided between the flow rate measuring unit 11 and the case body 24.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the ultrasonic flow measuring device according to the present embodiment.
  • the flow rate measuring unit 11 is configured such that the channel cross section is rectangular, and the length B in the vertical direction is the length A in the width direction of the channel cross section with respect to the fluid flow direction. Has a long structure. As shown in FIG. 3, the flow rate measurement unit 11 arranges a pair of ultrasonic transducers 12 and 13 on the short side of the flow path cross section, and transmits ultrasonic waves from one ultrasonic transducer. Is reflected by the inner wall of the channel on the short side facing the channel and received by the other ultrasonic transducer.
  • the flow rate measuring unit 11 is provided with a plurality of partition plates 32a, 32b, 32c with respect to the vertical surface so that the aspect ratio is high in order to keep the flow of the measuring unit of the fluid to be measured rectified.
  • the flow path 30 of the flow rate measuring unit is divided into four.
  • the case body 24 is provided with a case lid 33, and the case body 24 and the case lid 33 are sealed with a packing (not shown) so that the fluid to be measured does not leak from the gas chamber 31.
  • the case lid 33 has a display unit 34 for displaying the flow rate of the fluid to be measured measured by the flow rate measuring unit 11, and a lead wire 22 a for electrically connecting the display unit 34 and the measurement circuit board 22.
  • the through-hole 33 a is sealed with a glass hermetic seal 35.
  • the main body cover 36 is attached to the case cover 33 and the case main body 24 with screws (not shown).
  • FIG. 5 is an enlarged view of the flow rate measuring unit.
  • the terminal portions 12a and 13a to which the voltages of the first ultrasonic transducer 12 and the second ultrasonic transducer 13 are applied and the measurement circuit board 22 are insulated by an insulating material 37 having an insulating property. It is coated and configured integrally with the flow path member 11a.
  • the material of the insulating material 37 a material excellent in gas resistance and solvent resistance in addition to insulating properties is used.
  • the insulating material 37 may have a multilayer structure.
  • the layer closer to the fluid to be measured is made of a material having high hardness in order to reduce stress on the circuit board.
  • the fluid to be measured supplied from the fluid supply unit 25 has a large volume of the upstream gas chamber 31 before entering the rectifying member 27, the flow of the fluid to be measured interferes and a stable flow is achieved. It can be secured. Moreover, even if a fluid to be measured having a pressure fluctuation flows in, the pressure is relieved, so that stable flow rate measurement can be performed.
  • the ultrasonic flow measuring device can be realized at a lower cost than the temperature measurement of the conventional ultrasonic flow measuring device, a flow measurement reference device, a gas meter, a calorimeter, a water meter, etc. It can be applied to other uses.
  • Flow measurement unit 12 First ultrasonic transducer (ultrasonic transducer) 12a, 13a Terminal portion 13 Second ultrasonic transducer (ultrasonic transducer) 16 Oscillation circuit (oscillation circuit part) 16a Oscillator 17 Counter (Propagation time measurement unit) DESCRIPTION OF SYMBOLS 19 Flow volume calculating part 20 Temperature detection part 22 Measurement circuit board 23 Pressure detection part 25 Fluid supply part 26 Fluid discharge part 27 Rectification member 28 Discharge connection member 37 Insulation material (insulation layer) 38 Ultrasonic flow meter

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Abstract

　サーミスタ等の温度測定専用のセンサーを使用することなく、温度を検出して温度補正が可能な超音波流量計を提供すること。流量計測部１１に配置され、超音波を送信し他方で受信するように配置した第１の超音波振動子１２および第２の超音波振動子１３と、第１と第２の超音波振動子１２、１３間で授受される伝搬時間を計測するためのカウンター１７と、カウンター１７の計測値に基づいて流量を算出する流量演算部１９と、カウンター１７において伝搬時間を算出する上で時間カウンターとして用いる発振回路１６と、発振回路１６の温度による周波数変化を利用して、温度検知を行う温度検知部２０とを備えている。

Description

超音波式流量計測装置
　本発明は、超音波パルスの送受信を行う超音波振動子およびこの超音波振動子を用いて気体や液体の流量や流速の計測を行う装置に関するものである。
　従来、この種の超音波流量計は、図６に示すように、制御部６からのスタート信号によって、発振回路３は周波数コントロール手段４によって設定した動作周波数により一定時間発振を行い、第１の超音波プローブ２を駆動する。第１の超音波プローブ２から発せられた超音波は測定流路１に満たされた被測定流体中を伝搬し、時間ｔ　経過後に第二の超音波プローブ７によって検出される。検出された受信信号を、比較器９において基準電圧８と比較し基準電圧８と受信信号との電圧の関係が反転したときにストップ信号をタイマー５に送り、タイマー５をストップさせる。
　そして、温度検出を行うためのサーミスタ１０を測定経路１の中に設置して被測定流体の温度を測定していた。
日本国特許第３６５１１１０号公報
　しかしながら、前記従来の流量計測装置では、測定経路中に温度検知手段を備えることで、被測定流体に乱れが生じてしまい超音波で時間計測を行う範囲において、被測定計測流体の密度分布が崩れ、均一に超音波が送受信できなくなることで超音波の伝搬時間が正しく測定できなくなる可能性があった。
　本発明は、前記従来の課題を解決するもので、サーミスタを用いることなく温度検出を行うことができ、温度補正等を行うことを可能とする。
　前記従来の課題を解決するために、本発明の超音波式流量計測装置は、被測定流体が流れる流量計測部と、前記流量計測部に配置されており、一方から超音波を送信し、他方で受信するようにした一対の超音波振動子と、前記一対の超音波振動子の間で授受される伝搬時間を計測するための伝搬時間計測部と、前記伝搬時間計測部の計測値に基づいて流量を算出する流量演算部と、前記伝搬時間計測部または前記流量演算部を構成する温度特性を有する部品の特性を測定して温度検知を行う温度検知部と、を備えたもので、この構成により、温度を検知するためのサーミスタを不要とすることができる。
　本発明の超音波式流量計測装置によれば、発振回路部の温度による周波数変化を利用して温度検知を行うため、温度を検知するためのサーミスタが不要となり、コストを削減することが可能となる。また、被測定流体雰囲気中にサーミスタを配置する必要が無い為、被測定流体の流れを乱すことなく、流速を計測し温度検知も可能となる。
実施の形態１に係る超音波式流量計測装置の全体ブロック図 同流超音波式流量計測装置の発振回路部と温度検知部の周波数と温度の関係を示す特性図 実施の形態２に係る超音波式流量計測装置の構成図 同超音波式流量計測装置の断面図 同超音波式流量計測装置の流量計測部の断面図 従来の超音波式流量計測装置の全ブロック図
　第１の発明は、被測定流体が流れる流量計測部と、前記流量計測部に配置されており、一方から超音波を送信し、他方で受信するようにした一対の超音波振動子と、前記一対の超音波振動子の間で授受される伝搬時間を計測するための伝搬時間計測部と、前記伝搬時間計測部の計測値に基づいて流量を算出する流量演算部と、当該超音波式流量計測装置を構成する温度特性を有する部品の特性を測定して温度検知を行う温度検知部と、を備えたもので、超音波式流量計測装置を構成する部品の内、特性が温度に依存して変わる部品（例えば、抵抗、コンデンサ、発振子等）の特性を測定することで、温度を検出することができるため、温度を検知するための専用部品としてのサーミスタ等が不要となり、コストを削減することが可能となる。
　第２の発明は、特に第１の発明において、前記温度特性を有する部品は、前記伝搬時間計測部において伝搬時間を計測する上で基準クロックとして用いる発振回路部の発振子であり、前記温度検知部は、前記発振子の周波数を測定して温度検知を行うこと、を特徴とするもので、発振回路部の温度による周波数変化を利用して温度検知を行うことにより、温度を検知するための専用部品としてのサーミスタ等が不要となり、コストを削減することが可能となる。
　第３の発明は、特に第１または２の発明において、前記温度特性を有する部品は、前記被測定流体の雰囲気中に配置されたもので、温度を測定するための部品が被測定流体の温度の影響を受け易くなり、温度検知部は正確な温度を測定することが可能となる。
　第４の発明は、特に第１～３のいずれか１つの発明において、前記被測定流体の圧力を検出する圧力検出部を備え、前記流量演算部で算出された被計測流体の流量値と前記温度検知部で求めた温度および前記圧力検出部で検出した被計測流体の圧力値から前記被計測流体の熱量を算出する熱量算出部と、を備えたもので、熱量計測が可能となる。
　第５の発明は、特に第２の発明において、流体供給部と流体排出部とを備えたケース本体と、前記ケース本体内に配置された流量計測部と、前記流量計測部の供給側に備えられた整流部材と、前記流量計測部の排出側と前記流体排出部を接続する排出接続部材と、を備え、前記流量計測部の流路断面を長方形に構成し、前記一対の超音波振動子を共に流路断面の短辺側に配置して、一方の超音波振動子から発信された超音波は、流路の対向する短辺側の流路内壁に反射して他方の超音波振動子に受信される構成とし、前記超音波振動子の電圧を印加する端子部および前記伝搬時間計測部と前記発振回路部と前記温度検知部とを含む計測回路基板を絶縁層で覆ったもので、計測回路基板と流量計測部を一体に構成し、被測定流体雰囲気中に収めることで、被測定流体の温度検知が容易に行え、絶縁性の確保が可能となる。
　以下、本発明の実施形態に係る超音波式流量計測装置について、図面を参照して説明する。なお図面中で同一符号を付しているものは同一なものであり、詳細な説明は省略する。
　（実施の形態１）
　図１は、本発明の実施の形態１の超音波式流量計測装置の全体ブロック図である。図１において、流量計測部１１の流路中に超音波を発信する第１の超音波振動子１２と受信する第２の超音波振動子１３を流れ方向に配置している。制御部１４は、駆動回路１５に計測開始の信号を出力すると同時に、発振回路１６を駆動させカウンター１７の時間計測をスタートさせる。駆動回路１５は、信号入力があると第１の超音波振動子１２を駆動し超音波を発信する。発信された超音波は、流体を伝搬し第２の超音波振動子１３で受信される。受信検知回路１８は、受信した超音波信号を入力し信号処理して伝搬時間計測部としてのカウンター１７へ出力する。
　カウンター１７は、受信検知回路１８からの入力信号を受け時間計測をストップさせ、発振回路１６を停止させる。流量演算部１９では、カウンター１７の時間計測結果を受け取り演算によって流量を求める。
　発振回路部としての発振回路１６は、発振子１６ａで構成されており、カウンター１７において伝搬時間を計測する上で基準クロックとして用いられる。温度検知部２０は、温度に依存して発信周波数が変化する発振子１６ａの周波数を測定することで温度を検出することができる。即ち、温度検知部２０は、温度により周波数変化の受けにくい発振子（例えば、水晶発振子）で発振子１６ａの発振周波数を測定ことにより被測定流体の雰囲気温度を演算する。この場合、発振回路１６は、超音波式流量計測装置を構成する温度特性を有する部品に相当し、計測回路基板２２に搭載されて被測定流体の雰囲気中に配置される。
　また、熱量算出部２１では、流量演算部１９で求めた流量値（体積流量）と、温度検知部２０で求められた被測定流体の温度、および圧力検出部２３で計測された被測定流体の圧力値より、標準流量を求める。更に、熱量算出部２１は、既知である被測定流体の密度及び比熱から被測定流体の熱量を演算している。そして、これらの制御部１４、駆動回路１５、発振回路１６、カウンター１７、受信検知回路１８、流量演算部１９、温度検知部２０、熱量算出部２１、圧力検出部２３を計測回路基板２２上に配置して構成している。　　　
　図２は、発振回路１６の発振子１６ａの温度と周波数の関係（Ｘｂ）と、温度により周波数変化の受けにくい水晶発振子の温度と周波数の関係（Ｘａ）を示す。
　この水晶発振子と発振子１６ａの温度特性（Ｘａ、Ｘｂ）を比較することにより、温度を求めることも可能である。
　なお、本実施の形態では、超音波式流量計測装置を構成する温度特性を有する部品として、発振回路１６の発振子を利用し周波数の変化を測定するように構成したが、これに限定されない。被測定流体の雰囲気中に配置され、温度（ここでは被測定流体の雰囲気温度）に依存して特性が所定の変化を示すもの、例えば、計測回路基板上の伝搬時間計測部または流量演算部などを構成する回路に設けられる抵抗素子の抵抗値、コンデンサの容量値などを利用できることは、言うまでもない。
　（実施の形態２）
　図３は本発明の実施の形態２の超音波式流量計測装置の構成図である。
　ケース本体２４には、被測定流体を供給する流体供給部２５と、被測定流体を排出する流体排出部２６とを備えている。ケース本体２４内部には、一対の超音波振動子（第１の超音波振動子１２および第２の超音波振動子１３）と計測回路基板２２を備えた流量計測部１１が収まる。流量計測部１１の供給側には、脱着可能な整流部材２７、排出側には流体排出部２６と接続する脱着可能な排出接続部材２８がそれぞれ設けられている。流量計測部１１とケース本体２４の間には下部空間２９を設けている。
　図４は本実施の形態における超音波式流量計測装置の断面図である。
　図４に示すように、流量計測部１１は、流路断面が長方形に構成され、流体の流れ方向に対して流路断面の幅方向の長さＡに対して縦方向の長さＢの方が長い構成をしている。そして、図３に示すように、流量計測部１１は、一対の超音波振動子１２、１３を共に流路断面の短辺側に配置して、一方の超音波振動子から発信された超音波が流路の対向する短辺側の流路内壁に反射して他方の超音波振動子に受信される構成としている。さらに、流量計測部１１には、被測定流体の計測部の流れを整流に保つためにアスペクト比が高くなるように、縦方向の面に対して複数枚の仕切板３２ａ、３２ｂ、３２ｃがほぼ平行に配列されて、流量計測部の流路３０を４分割している。
　ケース本体２４にはケースフタ３３が設けられており、ケース本体２４とケースフタ３３は被測定流体がガス室３１から漏れないように図示していないパッキンでシールしている。ケースフタ３３には、流量計測部１１で計測した被測定流体の流量を表示させる表示部３４と、表示部３４と計測回路基板２２とを電気的に結ぶためのリード線２２ａが貫通部３３ａの孔を貫通して接続されており、この貫通部３３ａはガラスハーメチックシール３５でシールされている。また、表示部３４を保護するために、本体フタ３６がケースフタ３３とケース本体２４に図示していないビスで取り付けられている。
　図５は流量計測部の拡大図である。この図に示したように、第１の超音波振動子１２および第２の超音波振動子１３の電圧を印加する端子部１２ａ、１３ａと計測回路基板２２を、絶縁性を持つ絶縁材３７でコーティングして、流路部材１１ａと一体に構成している。絶縁材３７の材料として、絶縁性のほかに耐ガス性、耐溶剤性に優れた材料のものを使用している。また、絶縁材３７は多層構造にしてもよい。
　絶縁材３７が多層構造の場合、被測定流体に近い方の層を硬度の高い材質にした方が回路基盤へのストレスを低減する上で好ましい。
　次に、この超音波式流量計測装置３８における作用について説明する。
　流体供給部２５から供給された被測定流体は、整流部材２７に入るまでに上流側のガス室３１の容積を広く構成しているので、被測定流体の流れが干渉することで安定した流れを確保できる。また、圧力変動を持つ被測定流体が流入して来ても圧力が緩和されるため安定した流量計測が行える。
　また、下部空間２９を設けることで、被測定流体に砂、水等の計測対象外のものが流入した場合、砂、水等が下部空間２９に溜まることで、誤計測を防止することが可能となる。
　なお、本発明は、本発明の趣旨ならびに範囲を逸脱することなく、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が様々な変更、応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。
　本出願は、２０１０年６月２４日出願の日本特許出願（特願2010-143476）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
　以上のように、本発明にかかる超音波式流量計測装置は、従来の超音波式流量計測装置の温度計測に比べて安価に実現できるため、流量測定基準器及びガスメーターや熱量計または水道メーター等の用途にも適用できる。
　１１　流量計測部
　１２　第１の超音波振動子（超音波振動子）
　１２ａ、１３ａ　端子部
　１３　第２の超音波振動子（超音波振動子）
　１６　発振回路（発振回路部）
　１６ａ　発振子
　１７　カウンター（伝搬時間計測部）
　１９　流量演算部
　２０　温度検知部
　２２　計測回路基板
　２３　圧力検出部
　２５　流体供給部
　２６　流体排出部
　２７　整流部材
　２８　排出接続部材
　３７　絶縁材（絶縁層）
　３８　超音波式流量計測装置

Claims (5)

  1. 　被測定流体が流れる流量計測部と、
    　前記流量計測部に配置されており、一方から超音波を送信し、他方で受信するようにした一対の超音波振動子と、
    　前記一対の超音波振動子の間で授受される前記超音波の伝搬時間を計測するための伝搬時間計測部と、
    　前記伝搬時間計測部の計測値に基づいて流量を算出する流量演算部と、
    　当該超音波式流量計測装置を構成する温度特性を有する部品の特性を測定して温度検知を行う温度検知部と、
    　を備えた超音波式流量計測装置。
  2. 　前記温度特性を有する部品は、
    　前記伝搬時間計測部において伝搬時間を計測する上で基準クロックとして用いる発振回路部の発振子であり、
    　前記温度検知部は、前記発振子の周波数を測定して温度検知を行うこと、
    　を特徴とする請求項１に記載の超音波式流量計測装置。
  3. 　前記温度特性を有する部品は、前記被測定流体の雰囲気中に配置された請求項１または２に記載の超音波式流量計測装置。
  4. 　前記被測定流体の圧力を検出する圧力検出部を備え、
    　前記流量演算部で算出された被計測流体の流量値と前記温度検知部で求めた温度および前記圧力検出部で検出した被計測流体の圧力値から前記被計測流体の熱量を算出する熱量算出部と、
    　を備えた請求項１～３のいずれか１項に記載の超音波式流量計測装置。
  5. 　流体供給部と流体排出部とを備えたケース本体と、
    　前記ケース本体内に配置された流量計測部と、
    　前記流量計測部の供給側に備えられた整流部材と、
    　前記流量計測部の排出側と前記流体排出部を接続する排出接続部材と、
    　を備え、
    　前記流量計測部の流路断面を長方形に構成し、
    　前記一対の超音波振動子を共に流路断面の短辺側に配置して、一方の超音波振動子から発信された超音波は、流路の対向する短辺側の流路内壁に反射して他方の超音波振動子に受信される構成とし、
    　前記超音波振動子の電圧を印加する端子部および前記伝搬時間計測部と前記発振回路部と前記温度検知部とを含む計測回路基板を絶縁層で覆った請求項２に記載の超音波式流量計測装置。
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