WO2011129189A1 - 元素分析装置及び方法 - Google Patents

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light
light source
absorption element
measurement sample
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栗田　浩二
白崎　俊浩
裕之 越
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Hitachi High Tech Corp
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Hitachi High Technologies Corp
Hitachi High Tech Corp
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/3103—Atomic absorption analysis

Definitions

  • the present invention relates to an elemental analysis apparatus and method for performing atomic absorption analysis.
  • ICP emission analyzer Inductively coupled plasma emission analyzer
  • atomic absorption photometer For elemental analysis, an inductively coupled plasma emission analyzer (ICP emission analyzer), an atomic absorption photometer, and the like are widely used.
  • the inductively coupled plasma optical emission spectrometer can analyze a plurality of elements in one measurement by selecting a spectrometer or a detector.
  • atomic absorption spectrophotometers can generally measure single elements in one measurement.
  • an atomic absorption photometer there are a flame method and an electric heating furnace method.
  • a sample is introduced into a frame and atomized, and in the latter, the sample is dispensed into an electric heating furnace, and a voltage is applied to the furnace to heat and atomize.
  • This is an elemental analysis method by irradiating the atomized state with light from a light source and measuring the absorbance.
  • the sample is heated using high frequency induction heating described in Patent Document 1, and atomized to generate plasma.
  • Patent Document 1 since the technique described in Patent Document 1 generates plasma using high-frequency power, a gas such as argon gas is required to form plasma.
  • the atomic absorption spectrophotometer based on the electric heating method in the prior art also requires measures against gas leakage of the gas supply means and the gas supply means, and the elemental analyzer is large in size, large in weight and inconvenient to handle. .
  • An object of the present invention is to realize an elemental analysis apparatus and method capable of performing atomic absorption analysis by an electric heating method that can form plasma without using gas and can be reduced in size and weight.
  • the present invention is configured as follows.
  • the measurement sample is positioned between two electrodes arranged in the atomization section, and a voltage is applied between these two electrodes. Bubbles are generated in the measurement sample between the two electrodes, plasma is generated in the bubbles, and light is passed through the generated plasma to perform atomic absorption analysis.
  • an elemental analysis apparatus and method capable of performing atomic absorption analysis by an electric heating method that can form plasma without using gas and can be reduced in size and weight can be realized.
  • FIG. 1 is an overall configuration diagram of an atomic absorption spectrometer using plasma for atomization according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. It is the block diagram which showed an example of the atomization part periphery of the atomic absorption analyzer shown in FIG. It is a graph which shows the example of a measurement result display of an atomic absorption method analysis. It is a flowchart which shows the flow of the analysis operation
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an elemental analyzer (plasma emission spectroscopic atomic absorption spectrometer) 100 that performs atomic absorption analysis according to an embodiment of the present invention.
  • elemental analyzer plasma emission spectroscopic atomic absorption spectrometer
  • the elemental analysis apparatus includes a liquid sending unit 101, a channel 102, an atomization unit 103, a power supply device 104, an optical fiber 105, a spectroscope 106, a detector 107, a computer 108, and a light source 109.
  • An optical absorption analysis unit is formed by the optical fiber 105, the spectroscope 106, the detector 107, and the computer (operation control / analysis unit) 108.
  • Two electrodes 118 are installed in the middle of the flow path 102, the atomization unit 103 is positioned between the two electrodes 118, and plasma 110 is generated.
  • the liquid sample is fed from the liquid feeding unit 101 to the atomization unit 103 via the flow path 102, reaches the waste liquid unit 119 from the atomization unit 103, and is discharged as waste liquid.
  • the channel 102 is made of, for example, quartz glass having a diameter of 100 ⁇ m.
  • the light 112 from the light source 109 passes through the sample located in the atomization unit 103, and the transmitted light 111 is received by the optical fiber 105 and guided to the spectrometer 106.
  • the light separated by the spectroscope 106 is detected by the detector 107.
  • the light source 109 may be a holo cathode lamp, deuterium lamp, tungsten iodine lamp, xenon lamp, light emitting diode, or the like.
  • the computer 108 is connected to the liquid feeding unit 101, the power supply device 104, the spectroscope 106, and the detector 107, and sends control signals 113, 114, 115, 116, and 117 to control each device. In addition, the computer 108 analyzes the measurement sample based on the light detected by the detector 107.
  • FIG. 2 is a diagram showing details of the atomization unit 103 shown in FIG.
  • the sample fed to the liquid feeding part 101 or the flow path 102 shown in FIG. 1 fills the flow path of the atomization part 103.
  • An electrode 118 formed of Pt or the like provided in the flow path 102 is connected to the power supply device 104 and the computer 108 in FIG.
  • the voltage (for example, 2.5 kV) applied to the electrode 118 by the power supply device 104 and the voltage application time are controlled by the control signal 114 from the computer 108.
  • the light 111 that has passed through the plasma 110 is guided to the spectroscope 106 by the optical fiber 105 and dispersed, and the detector 107 can detect the light to perform elemental analysis of the sample solution.
  • a condensing lens or the like may be used without using the optical fiber 105.
  • each apparatus is controlled by the computer 108, and apparatus conditions are input and analysis results are displayed by an input unit (such as a keyboard) and a display unit of the computer 108.
  • FIG. 3 shows an image of the analysis result, which is an example that can be displayed on the display unit of the computer 108.
  • the vertical axis in FIG. 3 indicates absorbance (abs), and the horizontal axis indicates time (for example, in seconds).
  • the principle of elemental analysis according to the present invention is that when a plasma is generated between the electrodes 118, the element contained in the sample is excited and atomized by the plasma, and when the atomized element is irradiated with light, light of a specific wavelength is resonantly absorbed. By measuring this light, the element in the sample is identified and quantified.
  • FIG. 4 is an operation flowchart of a measurement method using an atomic absorption method in one embodiment.
  • the operator first activates the analyzer (step 201).
  • the sample is injected into the liquid feeding unit 101 (for example, a syringe pump) and fed to the flow path 102 at a constant flow rate (for example, 1 ml / min) (step 202).
  • a control signal 114 is sent from the computer 108 to the power supply device 104, and a voltage is applied to the electrode 118 (step 203).
  • the light 111 from the light source 109 irradiated and transmitted from the light source 109 (for example, a holo-cathode lamp) to the atomizing unit 103 is received by the optical fiber 105 and dispersed by the spectroscope 106 (step 205).
  • the dispersed light quantity is detected by the detector 107 (step 206).
  • the absorbance is obtained from the amount of light detected by the detector 107 by the computer 108 and displayed (step 207). Note that the absorbance can be continuously measured by applying a voltage multiple times through the electrode 118.
  • Whether or not the sample is atomized by the atomization unit 103 can be determined based on whether or not an absorbance peak is detected as shown in FIG. This is because the absorbance peak is not detected unless the sample is atomized.
  • whether or not bubbles are generated in the sample can be determined by monitoring the current between the electrodes 118. This is because when bubbles are generated, the current between the electrodes 118 decreases rapidly.
  • the sample river water used here is prepared in advance in a 0.1 M nitric acid solution.
  • the acid used for analyzing the sample is not limited to nitric acid or a concentration of 0.1M.
  • the measurer inputs measurement conditions such as voltage and liquid feeding speed to the computer 108.
  • Each unit of the analysis apparatus 100 receives the control signal from the computer 108 and sets measurement conditions.
  • the measurement condition setting is completed, a message to that effect is displayed on the display unit of the computer 108 or the like.
  • the atomization unit 103 positioned between the two electrodes 118 is irradiated with liquid feeding, application, or light from the light source.
  • the solution sample such as river water (prepared) is injected into the liquid feeding unit 101 to perform liquid feeding.
  • the measurer starts liquid feeding at a constant flow rate manually or by a control command from the computer 108.
  • a solution sample such as river water sent at a constant flow rate fills the atomization unit 103 through the flow path 102.
  • the liquid feeding unit 101 When further liquid feeding is performed by the liquid feeding unit 101, the liquid is discharged from the waste liquid unit 119 through the flow path 102.
  • a voltage is applied to the atomization unit 103 from the two electrodes 118.
  • the voltage application is controlled manually or by the computer 108. Examples of the voltage application conditions include voltage value, application time, application interval (pulse voltage application interval), and the like.
  • the light 111 that has passed through the flow path 102 and the sample is received by the optical fiber 105, guided to the spectroscope 106, dispersed, and detected by the detector 107.
  • elemental analysis can be performed by monitoring light of a specific wavelength.
  • a calibration curve is created from the absorbance obtained by measuring the sample not containing Cd and the sample containing a known amount of Cd by the methods (1) to (6) above, and analyzing the river water By comparing the obtained absorbance, Cd can be quantitatively analyzed.
  • plasma can be formed without using a gas. Therefore, the gas supply means and the gas leakage countermeasure of the gas supply means are unnecessary, and the size and weight can be reduced.
  • An elemental analysis apparatus and method capable of performing atomic absorption analysis by a possible electric heating method can be realized.
  • the light source 109 includes a plurality of types of lamps such as a holocathode lamp, a deuterium lamp, a tungsten iodine lamp, a xenon lamp, and a light emitting diode.
  • a holocathode lamp such as a holocathode lamp, a deuterium lamp, a tungsten iodine lamp, a xenon lamp, and a light emitting diode.
  • One of the lamps can also be driven. Thereby, a plurality of kinds of elements can be measured by one analyzer.
  • the liquid sample is discarded in the waste liquid unit 119.
  • a flow path for returning the sample from the waste liquid unit 119 to the liquid feeding unit 101 is provided, atomization is performed again, and the sample It is also possible to carry out the analysis and then drain it.
  • the channel 102 is a transparent material resistant to acidity, and any material other than quartz glass can be used as long as the sample does not have metal contamination.
  • a silicon tube can be used as the flow path 102.
  • DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Plasma emission spectroscopy / atomic absorption analyzer, 101 ... Liquid feeding part, 102 ... Flow path, 103 ... Atomization part, 104 ... Power supply device, 105 ... Optical fiber, 106 ⁇ ⁇ ⁇ Spectroscope, 107 ... Detector, 108 ... Computer, 109 ... Light source, 110 ... Plasma, 111 ... Light that has passed through the sample, 112 ... Light from the light source, 113, 114, 115, 116, 117 ... control signal, 118 ... electrode, 119 ... waste liquid part

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Abstract

ガスを用いることなく、プラズマの形成が可能であり、小型軽量化が可能な電気加熱法による原子吸光分析が可能な元素分析装置が実現される。試料は送液部（１０１）により流路（１０２）から原子化部（１０３）に送液され、電極（１１８）間に電圧が印加される。電極（１１８）に電圧が印加されると、原子化部（１０３）で電流と電界が集中し、気泡が発生しこの気泡中にプラズマ（１１０）が生じ、プラズマ（１１０）により試料中の元素が原子化される。光源（１０９）から原子化部（１０３）に照射され透過した光源（１０９）からの光（１１１）を光ファイバー（１０５）などで受光し、分光器（１０６）で分光する。この分光された光量が検出器（１０７）により検出され、コンピュータ（１０８）で分析される。

Description

元素分析装置及び方法
　本発明は、原子吸光分析を行う元素分析装置及び方法に関する。
　元素分析には、誘導結合式プラズマ発光分析装置（ＩＣＰ発光分析装置）や原子吸光光度計などが広く用いられている。
　誘導結合式プラズマ発光分析装置は、分光器の選択や検出器の選択により一度の測定で複数の元素を分析することができる。
　一方、原子吸光光度計は、一般的に一度の測定で単元素の測定が可能である。原子吸光光度計の場合、フレーム法と電気加熱炉法がある。前者は試料をフレームの中に導入し原子化を行い、後者は電気加熱炉にサンプルを分注して炉に電圧を印加し加熱して原子化を行う。この原子化された状態に光源からの光を照射し吸光度を測定して元素分析方法である。
　電気加熱法の例としては、特許文献１に記載された高周波誘導加熱を用いてサンプルを加熱し、原子化してプラズマを発生させている。
特開平１－１６１６５１号公報
　しかし、特許文献１に記載された技術は、高周波電力を用いてプラズマを発生させているので、プラズマを形成するためのアルゴンガス等のガスが必要である。
　このため、従来技術における電気加熱法による原子吸光光度計は、ガス供給手段及びガス供給手段のガス漏れ対策も必要であり、元素分析装置が大型であり、重量も大で取り扱いも不便であった。
　本発明の目的は、ガスを用いることなく、プラズマの形成が可能であり、小型軽量化が可能な電気加熱法による原子吸光分析が可能な元素分析装置及び方法を実現することである。
　上記目的を達成するため、本発明は以下のように構成される。
　原子化部に配置された２つの電極間に測定試料を位置させ、これら２つの電極間に電圧を印加する。２つの電極間の測定試料中に気泡が発生し、その気泡中にプラズマを発生させ、発生したプラズマに光を通過させて、原子吸光分析を行う。
　本発明により、ガスを用いることなく、プラズマの形成が可能であり、小型軽量化が可能な電気加熱法による原子吸光分析が可能な元素分析装置及び方法を実現することができる。
本発明の一実施例であるプラズマを原子化に用いた原子吸光分析装置の全体の構成図である。 図１に示した原子吸光分析装置の原子化部周辺の一例を示した構成図である。 原子吸光法分析の測定結果表示例を示すグラフである。 本発明の分析動作の流れを示すフローチャートである。
　以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して説明する。
　図１は、本発明の一実施例である原子吸光分析を行う元素分析装置（プラズマ発光分光原子吸光分析装置）１００の概略構成図である。
　図１において、元素分析装置は、送液部１０１、流路１０２、原子化部１０３、電源装置１０４、光ファイバー１０５、分光器１０６、検出器１０７、コンピュータ１０８、光源１０９を備えている。なお、光ファイバー１０５と、分光器１０６と、検出器１０７と、コンピュータ（動作制御・分析部）１０８とにより、原子吸光分析部が形成される。
　流路１０２の途中に２つの電極１１８が設置されており、この２つの電極１１８間に原子化部１０３が位置され、プラズマ１１０が発生される。液体試料は、送液部１０１から流路１０２を介して原子化部１０３に送液され、原子化部１０３から廃液部１１９に到達し、廃液として排出される。
　流路１０２は、例えば、径が１００μｍの石英ガラスにより形成されている。
　光源１０９からの光１１２は、原子化部１０３に位置する試料を透過し、透過光１１１は、光ファイバー１０５で受光され、分光器１０６に導かれる。そして、分光器１０６によって分光された光は検出器１０７で検出される。
　また、光源１０９は、ホロカソードランプ、重水素ランプ、タングステンヨウ素ランプ、キセノンランプ、発光ダイオード等を使用することができる。
　コンピュータ１０８は、送液部１０１、電源装置１０４、分光器１０６、検出器１０７に接続され、それぞれに制御信号１１３、１１４、１１５、１１６、１１７を送り、各装置の制御を行う。また、コンピュータ１０８は、検出器１０７で検出された光に基づいて、測定試料の分析を行う。
　図２は、図１に示した原子化部１０３の詳細を示す図である。
　図２において、図１に示した送液部１０１か流路１０２に送液された試料は、原子化部１０３の流路を満たす。流路１０２に設けられたＰｔなどから形成される電極１１８は、図１の電源装置１０４とコンピュータ１０８に接続される。
　コンピュータ１０８からの制御信号１１４により電源装置１０４が電極１１８に印加する電圧（例えば、２．５ｋＶ）や電圧印加時間などが制御される。
　図２に示した流路１０２において試料に電極１１８を用いて電圧を印加することにより原子化部１０３で、電流と電界が集中し、気泡が発生しこの気泡中にプラズマ１１０が生じる。プラズマ１１０によって試料に含まれる元素は原子化され、光源１０９からの光１１２を吸収する。
　プラズマ１１０を通過した光１１１は光ファイバー１０５により分光器１０６に導かれ分光され、検出器１０７で光を検出することにより試料溶液の元素分析が行うことができる。なお、光ファイバー１０５を用いずに集光レンズなどを用いてもよい。
　上述したように、コンピュータ１０８により各装置の制御が行われ、コンピュータ１０８の入力部（キーボード等）、表示部により、装置条件の入力や分析結果の表示も行われる。図３に分析結果のイメージであり、コンピュータ１０８の表示部に表示可能な例である。図３の縦軸は、吸光度（ａｂｓ）を示し、横軸は時間（例えば、秒単位）を示す。
　本発明による元素分析の原理は、電極１１８間にプラズマが発生すると、試料中に含まれる元素がプラズマにより励起され原子化し、原子化した元素に光を照射すると特定波長の光を共鳴吸収するため、この光を測定することによって、試料中の元素の同定および定量を行うものである。
　図４は、一実施例における原子吸光法による測定方法の動作フローチャートである。
　図４において、初めに操作者が分析装置を起動する（ステップ２０１）。次に、試料を送液部１０１（例えばシリンジポンプなど）に注入し一定の流速（例えば、１ｍｌ／分）で流路１０２に送液する（ステップ２０２）。流路１０２が溶液試料で満たされた後、コンピュータ１０８から電源装置１０４に制御信号１１４を送り、電極１１８に電圧が印加される（ステップ２０３）。
　電極１１８に電圧が印加されると、流路１０２の原子化部１０３で電流と電界が集中し、気泡が発生しこの気泡中にプラズマ１１０が生じる。そして、このプラズマ１１０により試料中の元素が原子化される（ステップ２０４）。
　ここで、光源１０９（例えばホロカソードランプ）から原子化部１０３に照射され透過した光源１０９からの光１１１を光ファイバー１０５などで受光し、分光器１０６で分光する（ステップ２０５）。この分光された光量が検出器１０７により検出される（ステップ２０６）。
　そして、コンピュータ１０８により検出器１０７で検出された光量から吸光度を求め表示する（ステップ２０７）。なお、電極１１８により電圧を複数回印加することにより、連続的に吸光度の測定を行うことが可能である。
　原子化部１０３にて、試料が原子化されたか否かの判断は、図3に示したように、吸光度のピークが検出されたか否かで判断することができる。試料が原子化されていなければ、吸光度のピークは検出されないからである。
　また、試料中に気泡が発生したか否かは、電極１１８間の電流をモニタすることにより判断することができる。気泡が発生した場合は、電極１１８間電流が急速に減少するからである。
　次に、本発明の一実施例による河川水中などの溶液試料中のＣｄの原子吸光法による分析手順を以下に示す。ここで用いる試料の河川水は予め０．１Ｍ硝酸溶液に調製を行ったものを使用する。なお、試料の分析に用いる酸は硝酸や濃度も０．１Ｍに限ったものではない。
　（１）測定者はコンピュータ１０８に電圧や送液速度などの測定条件の入力を行う。分析装置１００の各部は、コンピュータ１０８からの制御信号を受けて測定条件設定を行う。測定条件設定が完了すると、その旨の表示がコンピュータ１０８の表示部等に行われる。測定条件設定が完了した時点では、送液や印加、光源からの光は、２つの電極１１８間に位置する原子化部１０３に照射される。
　（２）河川水などの溶液試料の設置、装置の条件設定などが完了したら、河川水などの溶液試料（調製済）を送液部１０１に注入し送液を行う。測定者は、手動またはコンピュータ１０８の制御指令により、一定の流速での送液を開始させる。
　（３）一定の流速で送液された河川水などの溶液試料は、流路１０２を通って原子化部１０３を満たす。送液部１０１によりさらに送液が行われると、流路１０２を通って廃液部１１９から排出される。
　（４）原子化部１０３が河川水で満たされたら、２つの電極１１８から電圧を原子化部１０３に印加する。電圧印加は手動又はコンピュータ１０８により制御される。電圧印加条件の項目としては、電圧値、印加時間、印加間隔（パルス電圧印加間隔）などが挙げられる。
　（５）電圧が印加されると、２つの電極１１８により原子化部１０３内の試料に電流と電界が集中して気泡が発生し、この気泡中にプラズマが生じる。このとき、河川水などの溶液試料に含まれるＣｄは原子化され、光源１０９から照射されている光の特定波長の光をＣｄが吸収する。
　（６）流路１０２および試料を透過した光１１１は光ファイバー１０５で受光され、分光器１０６に導かれて分光され検出器１０７で検出される。検出器１０７において、特定波長の光をモニタすることにより元素分析を行うことができる。
　（７）上記の（１）～（６）の方法でＣｄを含まない試料と、既知量のＣｄを含む試料の測定を行って得られた吸光度から検量線を作成し、河川水の分析で得られた吸光度を対比することにより、Ｃｄの定量分析が可能となる。
　以上のように、本発明の一実施例によれば、ガスを用いることなく、プラズマの形成が可能であるため、ガス供給手段及びガス供給手段のガス漏れ対策も不要であり、小型軽量化が可能な電気加熱法による原子吸光分析が可能な元素分析装置及び方法を実現することができる。
　上記実施例の変形例としては、光源１０９に、ホロカソードランプ、重水素ランプ、タングステンヨウ素ランプ、キセノンランプ、発光ダイオードの複数種類のランプを備え、測定試料に応じて、コンピュータ１０８により複数種類のランプのうちの一つを駆動することもできる。これにより、一つの分析装置により、複数種類の元素の測定を行うことができる。
　なお、上述した例においては、廃液部１１９にて、液体試料を廃液することとしたが、廃液部１１９から送液部１０１に試料を戻す流路を設け、再度、原子化を行い、試料の分析を行い、その後、廃液することも可能である。
　また、流路１０２は、酸性に耐性を有する透明な材質であり、試料に対して金属汚染が無いものであれば、石英ガラス以外の材質も適用可能である。例えば、シリコンチューブを流路１０２として用いることも可能である。　
　１００・・・プラズマ発光分光・原子吸光分析装置、　１０１・・・送液部、　１０２・・・流路、　１０３・・・原子化部、　１０４・・・電源装置、　１０５・・・光ファイバー、　１０６・・・分光器、　１０７・・・検出器、　１０８・・・コンピュータ、　１０９・・・光源、　１１０・・・プラズマ、　１１１・・・試料を通過した光、　１１２・・・光源からの光、　１１３、１１４、１１５、１１６、１１７・・・制御信号、　１１８・・・電極、　１１９・・・廃液部

Claims (10)

  1. 　測定試料を原子化する原子化部（１０３）と、
    　上記原子化部（１０３）に配置された２つの電極（１１８）と、
    　上記２つの電極（１１８）に電圧を印加し、上記原子化部（１０３）内に位置する測定試料中にプラズマを発生させる電源部（１０４）と、
    　上記原子化部（１０３）に光を照射する光源（１０９）と、
    　上記原子化部（１０３）に位置する測定試料中に発生したプラズマを通過した上記光源（１０９）からの光を検出し、測定試料の原子吸光を分析する原子吸光分析部（１０５～１０８）と、
    　を備えることを特徴とする原子吸光元素分析装置。
  2. 　請求項１記載の原子吸光元素分析装置において、上記原子吸光分析部（１０５～１０８）は、上記測定試料中に発生したプラズマを通過した上記光源（１０９）からの光を分光する分光器（１０６）と、この分光器（１０６）により分光された光を検出する検出器（１０７）とを備えることを特徴とする原子吸光元素分析装置。
  3. 　請求項２記載の原子吸光元素分析装置において、上記原子化部（１０３）に接続された流路（１０２）と、この流路（１０２）を介して上記原子化部（１０３）に分測定試料を送液する送液部（１０１）とを、さらに備えることを特徴とする原子吸光元素分析装置。
  4. 　請求項３記載の原子吸光元素分析装置において、上記原子吸光分析部（１０５～１０８）は、上記検出器（１０７）により検出された光を分析するともに、上記電源部（１０４）、上記光源（１０９）、上記送液部（１０１）の動作を制御する動作制御・分析部（１０８）を有することを特徴とする原子吸光元素分析装置。
  5. 　請求項４記載の原子吸光元素分析装置において、上記光源（１０９）は、複数種類の光源ランプを有し、上記動作制御・分析部（１０８）により、複数種類の光源ランプのうちの一つが選択され、光を発生させることを特徴とする原子吸光元素分析装置。
  6. 　請求項５記載の原子吸光元素分析装置において、上記複数種類の光源ランプは、ホロカソードランプ、重水素ランプ、タングステンヨウ素ランプ、キセノンランプ、発光ダイオードであることを特徴とする原子吸光元素分析装置。
  7. 　測定試料を２つの電極（１１８）間に配置し、上記２つの電極（１１８）に電圧を印加して、測定試料中にプラズマを発生させ、
    　発生したプラズマに光源（１０９）からの光を照射し、
    　測定試料中に発生したプラズマを通過した上記光源（１０９）からの光を検出し、測定試料の原子吸光を分析することを特徴とする原子吸光元素分析方法。
  8. 　請求項７記載の原子吸光元素分析方法において、上記試料中に発生したプラズマを通過した上記光源（１０９）からの光を分光し、分光した光を検出して測定試料の原子吸光を分析することを特徴とする原子吸光元素分析方法。
  9. 　請求項８記載の原子吸光元素分析方法において、上記光源（１０９）は、複数種類の光源ランプを有し、複数種類の光源ランプのうちの一つが選択され、光を発生させることを特徴とする原子吸光元素分析方法。
  10. 　請求項９記載の原子吸光元素分析方法において、上記複数種類の光源ランプは、ホロカソードランプ、重水素ランプ、タングステンヨウ素ランプ、キセノンランプ、発光ダイオードであることを特徴とする原子吸光元素分析方法。
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