WO2011115201A1 - ディスプレーサ及びその製造方法及び蓄冷器式冷凍機 - Google Patents

ディスプレーサ及びその製造方法及び蓄冷器式冷凍機 Download PDF

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displacer
groove
sealing material
cylindrical member
material film
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貴裕 松原
純也 濱▲崎▼
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住友重機械工業株式会社
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    • F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
    • F25B9/14—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F25B2309/003—Gas cycle refrigeration machines characterised by construction or composition of the regenerator
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    • Y10T29/49229—Prime mover or fluid pump making
    • Y10T29/49249—Piston making

Definitions

  • the present invention relates to a displacer, a manufacturing method thereof, and a regenerator type refrigerator, and more particularly, to a displacer having a groove formed on a surface thereof, a manufacturing method thereof, and a regenerator type refrigerator using the displacer.
  • a Gifford McMahon (GM) cycle refrigerator is known as a regenerator type refrigerating machine having a regenerator containing a regenerator material using a refrigerant gas such as helium.
  • the GM refrigerator has a structure in which a displacer is inserted in a cylinder.
  • the expansion chamber is provided at the low temperature end in the cylinder, and the cavity is provided at the high temperature end.
  • a gas flow path is provided in the displacer, and the gas flow path is filled with a cold storage material.
  • the gas flow path in the displacer communicates with the expansion chamber and the cavity on the high temperature end side.
  • the displacer is configured to reciprocate in the axial direction of the cylinder by a drive mechanism including, for example, a motor and a scotch yoke mechanism.
  • a refrigerant gas supply system is connected to the GM refrigerator.
  • the refrigerant gas supply system supplies the refrigerant gas to the cavity on the high temperature end side and collects the refrigerant gas from the cavity.
  • the supply and recovery of the refrigerant gas is performed in synchronization with the reciprocating drive of the displacer.
  • the refrigerant gas is supplied to the cavity on the high temperature end side, the refrigerant gas is introduced to the expansion chamber through the gas flow path in the displacer.
  • the refrigerant gas in the expansion chamber is collected in the refrigerant gas supply system through the same path.
  • the refrigerant gas When the displacer reciprocates and the refrigerant gas expands in the expansion chamber, the refrigerant gas generates cold.
  • the refrigerant gas that has expanded to a very low temperature absorbs heat from the surroundings and cools the regenerator material in the displacer when it is recovered from the expansion chamber. And after heat-exchanging with a cool storage material and heating up, refrigerant gas is exhausted from a cylinder. Further, when the refrigerant gas is introduced into the expansion chamber in the next cycle, the refrigerant gas is cooled by the cold storage material that is stored cold. By repeating the above process, the low temperature side of the cylinder is maintained at a very low temperature.
  • the refrigerant gas may not be able to exhibit the desired refrigeration capacity.
  • a spiral groove is provided on the outer peripheral surface of the displacer. With this configuration, the refrigerant gas flows into the regular gas flow path that flows in the displacer and the gap between the cylinder and the displacer and is branched into the refrigerant gas that flows along the spiral groove.
  • FIG. 1A to 1C show a conventional method of forming a spiral groove 138 and a sealing material film 139 in the displacer 103.
  • FIG. 1A in order to form the spiral groove 138 and the sealing material film 139 in the displacer 103, first, as shown in FIG. 1A, a cylindrical member 130 serving as a base material of the displacer 103 is prepared, and then as shown in FIG. 1B.
  • a sealing material film 139 is coated on a predetermined range of the outer periphery by coating or the like.
  • the cylindrical member 130 on which the sealing material film 139 is formed is attached to a machining processing apparatus that processes a spiral groove such as a lathe, and the spiral groove 138 is formed by cutting. Things were going on.
  • the spiral groove and the sealing material film provided in the displacer are important elements.
  • the thickness of the sealing material film is important in order to improve the sealing performance, and when the sealing material film is formed thick on the surface of the displacer, due to the difference in thermal expansion coefficient between the material of the sealing material film and the material of the cylinder, Variations occur in the clearance between the sealing material film and the inner wall of the cylinder. When this variation occurs, a portion where the refrigerant gas leaks occurs between the displacer and the cylinder, and the refrigeration capacity decreases. Therefore, in order to reduce the variation in clearance between the sealing material film and the inner wall of the cylinder, it is effective to reduce the thickness of the sealing material film.
  • the sealing material film coated on the cylindrical member when the spiral groove 138 is machined is cylindrical. It will peel from the shape member 130. Thus, when peeling occurs in the sealing material film 139, the refrigerant gas leaks from the peeled portion, which causes a problem that the refrigerating capacity is lowered.
  • the present invention has a general object to provide an improved and useful displacer, a method for manufacturing the same, and a regenerator type refrigerator that solve the above-described problems of the prior art.
  • a more detailed object of the present invention is to improve the sealing performance between the displacer and the cylinder by preventing peeling of the sealing material film, thereby enabling a stable cooling process, a manufacturing method thereof, and a regenerator type refrigeration. Is to provide a machine.
  • the present invention is provided with a cold storage material disposed inside a cylindrical member, and reciprocating in the cylinder to expand the working fluid compressed in the cylinder to generate cold. And a groove is formed on the outer peripheral surface of the cylindrical member facing the cylinder, and at least the groove forming region of the outer peripheral surface of the cylindrical member covers the outer peripheral surface and the groove.
  • the sealing material film to be formed is formed.
  • the groove may be a spiral groove formed in a spiral shape on the outer peripheral surface of the cylindrical member.
  • the thickness of the sealing material film may be 5 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less.
  • the sealing material film may be a fluororesin.
  • the present invention provides a displacer manufacturing method for manufacturing a displacer from a cylindrical member, the groove processing step of processing a groove on the outer peripheral surface of the cylindrical member, and the groove And a sealing material film forming step of covering the outer peripheral surface including the region in which the groove of the cylindrical member is processed with a sealing material film after performing the processing step.
  • the groove may be formed in a spiral shape on the outer peripheral surface of the cylindrical member.
  • the groove may be formed by machining.
  • the sealing material film may be formed on the outer peripheral surface of the cylindrical member by a coating method or a plating method.
  • the sealing material film may be a fluororesin.
  • the present invention includes a cylinder to which a compressed working fluid is supplied, a cold storage material disposed therein, and a reciprocating motion within the cylinder.
  • the present invention it is possible to prevent the refrigerant gas from leaking between the displacer and the cylinder and to prevent the refrigerating capacity from being lowered.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of a Gifford McMahon refrigerator according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the rotary valve shown in FIG. 2.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the second stage displacer shown in FIG. 2. It is a figure expanding and showing the inside of a circle shown with a dashed-dotted line in Drawing 4A. It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the 2nd stage displacer used for the refrigerator which is one Embodiment of this invention, and is a front view which shows the cylindrical member before a process. It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the 2nd stage displacer used for the refrigerator which is one Embodiment of this invention, and is a front view which shows the state after performing groove processing.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a Gifford McMahon (GM) type refrigerator that is an embodiment of the present invention.
  • the GM refrigerator according to the present embodiment includes a gas compressor 1 and a cold head 2.
  • the cold head 2 has a housing 23 and a cylinder part 10.
  • the gas compressor 1 draws in refrigerant gas from the intake port 1a, compresses it, and discharges it as high-pressure refrigerant gas from the discharge port 1b.
  • helium gas is used as the refrigerant gas which is a working fluid.
  • the cylinder portion 10 has a two-stage configuration of a first-stage cylinder 10A and a second-stage cylinder 10B, and the second-stage cylinder 10B is set to be thinner than the first-stage cylinder 10A. Further, a first stage displacer 3A can be reciprocated in the first stage cylinder 10A, and a second stage displacer 3B can be reciprocated in the axial direction of each cylinder 10A, 10B inside the second stage cylinder 10B. Has been inserted.
  • the first stage displacer 3A and the second stage displacer 3B are connected to each other by a joint mechanism (not shown).
  • the first stage displacer 3A is provided with a cool storage material 4A
  • the second stage displacer 3B is filled with the cool storage material 4B.
  • gas flow paths L1 to L4 through which the refrigerant gas passes are formed in the displacers 3A and 3B.
  • the first stage expansion chamber 11 is formed at the end of the first stage cylinder 10A on the second stage cylinder 10B side, and the upper chamber 13 is formed at the other end.
  • a second-stage expansion chamber 12 is formed at the end of the second-stage cylinder 10B opposite to the first-stage cylinder 10A side.
  • the upper chamber 13 and the first stage expansion chamber 11 are connected to each other via a gas flow path L1, a first stage cold storage material filling chamber filled with the cold storage material 4, and a gas flow path L2.
  • the first-stage expansion chamber 11 and the second-stage expansion chamber 12 are connected via the gas flow path L3, the second-stage cold storage material filling chamber filled with the cold storage material 4B, and the gas flow path L4. ing.
  • the cooling stage 6 is disposed at a position substantially corresponding to the first stage expansion chamber 11 in the outer peripheral surface of the first stage cylinder 10A.
  • a cooling stage 7 is disposed at a position substantially corresponding to the second stage expansion chamber 12 in the outer peripheral surface of the second stage cylinder 10B.
  • a seal mechanism 50 is disposed in the vicinity of the end on the upper chamber 13 side in the outer peripheral surface of the first stage displacer 3A.
  • the seal mechanism 50 seals between the outer peripheral surface of the first stage displacer 3A and the inner peripheral surface of the cylinder 10A.
  • the first stage displacer 3A is connected to the output shaft 22a of the scotch yoke 22 constituting a rotation / reciprocating motion conversion mechanism.
  • the scotch yoke 22 is supported by a pair of sliding bearings 17a and 17b fixed to the housing 23 so as to be movable in the axial direction of the displacers 3A and 3B.
  • the sliding bearing 17b In the sliding bearing 17b, the airtightness of the sliding portion is maintained, and the space in the housing 23 and the upper chamber 13 are airtightly defined.
  • the motor 15 is connected to the scotch yoke 22.
  • the rotational movement of the motor 15 is converted into a reciprocating movement by the crank 14 and the scotch yoke 22.
  • This reciprocating motion is transmitted to the displacer 3A via the output shaft 22a, whereby the first stage displacer 3A is in the first stage cylinder 10A and the second stage displacer 3B is in the second stage cylinder 10B. Move back and forth.
  • the volume of the upper chamber 13 decreases, and conversely, the volumes of the first and second expansion chambers 11 and 12 increase. Conversely, when the displacers 3A and 3B move downward in the figure, the volume of the upper chamber 13 increases, and the volumes of the first and second expansion chambers 11 and 12 decrease. As the volumes of the upper chamber 13 and the expansion chambers 11 and 12 change, the refrigerant gas moves through the gas flow paths L1 to L4.
  • a rotary valve RV is disposed between the intake port 1 a and the discharge port 1 b of the compressor 1 and the upper chamber 13.
  • the rotary valve RV has a function of switching the flow path of the refrigerant gas.
  • the rotary valve RV has a first mode for guiding the refrigerant gas discharged from the discharge port 1b of the gas compressor 1 into the upper chamber 13, and the refrigerant gas in the upper chamber 13 of the gas compressor 1. Switching processing to the second mode leading to the intake port 1a is performed.
  • the rotary valve RV has a valve body 8 and a valve plate 9.
  • the valve plate 9 is made of, for example, an aluminum alloy, and the valve body 8 is made of, for example, tetrafluoroethylene (for example, BEAREE FL3000 manufactured by NTN).
  • the valve body 8 and the valve plate 9 have flat sliding surfaces, and the flat sliding surfaces are in surface contact with each other.
  • a thin film made of a hard material such as diamond-like carbon (DLC) is preferably formed on at least one of both sliding surfaces in order to reduce friction and improve wear resistance.
  • DLC diamond-like carbon
  • the valve plate 9 is rotatably supported in the housing 23 by a rotary bearing 16.
  • the eccentric pin 14a of the crank 14 that drives the scotch yoke 22 revolves around the rotation axis, the valve plate 9 rotates.
  • the valve body 8 is pressed against the valve plate 9 by a coil spring 20 and fixed by a pin 19 so as not to rotate.
  • the coil spring 20 is provided with pressing means for pressing the valve body 8 so that the valve body 8 does not move away from the valve plate 9 when the pressure on the exhaust side becomes larger than the pressure on the supply side. It is.
  • the force that presses the valve body 8 against the valve plate 9 during operation is generated by the pressure difference between the supply side pressure and the exhaust side pressure of the refrigerant gas acting on the valve body 8.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the rotary valve RV.
  • the flat sliding surface 8a of the cylindrical valve body 8 and the flat sliding surface 9a of the valve plate 9 are in surface contact.
  • a gas flow path 8 b serving as a gas supply path passes through the valve body 8 along the central axis of the valve body 8. That is, one end of the gas flow path 8b is open to the sliding surface 8a.
  • the other end of the gas flow path 8b is connected to the discharge port 1b of the gas compressor 1 shown in FIG. From the discharge port 1b of the compressor 1 to the gas flow path 8b of the valve body 8 corresponds to a gas supply path.
  • a groove 8c is formed on the sliding surface 8a of the valve body 8 along an arc centered on the central axis of the valve body 8.
  • One end of the gas flow path 8d formed inside the valve body 8 is open to the bottom surface of the groove 8c.
  • the other end of the gas flow path 8d opens to the outer peripheral surface of the valve body 8, and further communicates with the upper chamber 13 via a gas flow path 21 formed in the housing 23 shown in FIG.
  • a groove 9d extending in the radial direction from the center is formed on the sliding surface 9a of the valve plate 9.
  • a gas flow path 9 b parallel to the rotation axis extends through the valve plate 9.
  • the gas flow path 9b opens at substantially the same position as the groove 8c formed in the sliding surface 8a of the valve body 8 with respect to the radial direction in the sliding surface 9a.
  • the gas flow path 8d and the gas flow path 9b communicate with each other.
  • the other end of the gas flow path 9b communicates with the intake port 1a of the gas compressor 1 through the cavity in the housing 23 shown in FIG. From the gas flow path of the valve plate 9 to the intake port 1a of the compressor 1 corresponds to the gas discharge path.
  • the refrigerant gas sent from the compressor 1 is sent into the upper chamber 13 via the rotary valve RV.
  • the gas flow path 8d and the gas flow path 9b are in communication, the refrigerant gas in the upper chamber 13 is recovered by the gas compressor 1. Therefore, when the valve plate 9 is rotated, introduction of refrigerant gas into the upper chamber 13 (supply) and recovery of refrigerant gas from the upper chamber 13 (exhaust) are repeated.
  • FIG. 4A is a partial cross-sectional view of the second-stage displacer 3B
  • FIG. 4B is an enlarged view of the inside of the circle indicated by the alternate long and short dash line in FIG. 4A
  • the second stage displacer 3B has a cylindrical cylindrical member 30 as a base material.
  • a lid member 31 is inserted into and bonded to the lower end of the cylindrical member 30 whose upper and lower ends are open.
  • the cylindrical member 30 is made of stainless steel, and the lid member 31 is made of cloth-containing phenol.
  • a wire mesh 32 is disposed on the lid member 31, and a felt plug 33 is disposed thereon.
  • the cold storage material 4B is filled on the felt plug 33.
  • the cold storage material 4B may be formed of, for example, a small lead sphere, or a magnetic cold storage material may be used. When a magnetic regenerator material is used, the refrigerating capacity can be increased. Further, a felt plug 34 is disposed on the regenerator material 4 ⁇ / b> B, and a punching metal 35 is disposed on the felt plug 34.
  • An opening 37 is provided at a height position of the wire mesh 32 on the side wall of the cylindrical member 30.
  • a groove is formed on the outer peripheral surface above the opening 37 of the cylindrical member 30.
  • this groove is formed as one spiral groove 38A (hereinafter referred to as a spiral groove 38A) that connects the position of the opening 37 and the upper end position.
  • the spiral groove 38A forms a spiral gas flow path in cooperation with the inner surface of the cylinder 10B.
  • the outer diameter of the cylindrical member 30 below the opening 37 is slightly smaller than the outer diameter of the portion above it. Therefore, a gap is formed between the cylindrical member 30 and the second stage cylinder in a portion below the opening 37.
  • the gap and the above-described opening 37 form a gas flow path L4 that connects the inside of the cylindrical member 30 and the expansion space 12 shown in FIG. 2 (for convenience of illustration, in FIG. To show through).
  • the refrigerant gas flows into the gap formed between the inner peripheral surface of the cylinder 10B and the outer peripheral surface of the displacer 3B, the refrigerant gas flows along the spiral groove 38A.
  • heat exchange is performed between the refrigerant gas and the regenerator material 4 ⁇ / b> B through the cylindrical member 30.
  • the refrigerant gas flows through a long spiral dew formed by the spiral groove 38A, so that sufficient heat exchange can be performed.
  • heat exchange is reliably performed, and thus a decrease in the refrigerating capacity can be suppressed, so that the cooling efficiency of the GM refrigerator can be improved.
  • the spiral groove 38A is formed at the outer peripheral position of the second stage displacer 3B.
  • the sealing material film 39 is formed at least in the region where the spiral groove 38 ⁇ / b> A is formed on the outer peripheral surface of the cylindrical member 30.
  • the sealing material film 39 is configured to cover not only the outer peripheral surface of the cylindrical member 30 but also the spiral groove 38A.
  • This sealing material film 39 is disposed to enhance the sealing performance between the second stage displacer 3B and the inner wall of the second stage cylinder 10B.
  • a fluororesin having high thermal and mechanical characteristics and slipperiness is used as the sealing material film 39.
  • Teflon registered trademark
  • the thickness of the sealing material film 39 is set to 5 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less.
  • a cylindrical member 30 serving as a base material of the displacer 3B is prepared as shown in FIG. 5A.
  • the cylindrical member 30 is made of stainless steel and has a cylindrical shape in which a space for mounting the cold storage material 4B and the like is formed.
  • a spiral groove machining step for machining the spiral groove 38A on the outer peripheral surface of the cylindrical member 30 is performed.
  • the processing method of the spiral groove 38A is not different from the conventional method, and the cylindrical member 30 is mounted on a machining processing apparatus such as a lathe to perform the machining of the spiral groove 38A.
  • the spiral groove 38A is formed by the same conventional groove processing method, the processing cost does not increase.
  • FIG. 5B shows the cylindrical member 30 in which the spiral groove 38A is formed.
  • a sealing material film forming step of coating the sealing material film 39 on the cylindrical member 30 in which the spiral groove 38A is formed is performed.
  • a fluororesin serving as the sealing material film 39 is coated on a region including the region where the spiral groove 38A is formed on the outer peripheral surface of the cylindrical member 30.
  • a coating method or a plating method can be used as a method of coating the cylindrical member 30 with the sealing material film 39.
  • the film thickness of the sealing material film 39 is set to 5 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less as described above, but this film thickness can be easily controlled by managing the coating time or the plating time.
  • the sealing material film 39 is coated after the spiral groove processing step is performed, the sealing material film 39 is also coated inside the spiral groove 38 ⁇ / b> A together with the outer peripheral surface of the cylindrical member 30. For this reason, unlike the conventional method of forming the spiral groove 138 after coating the sealing material film 139, the sealing material film 39 is peeled off from the tubular member 30 according to the manufacturing method of the displacer 3B according to this embodiment. There is nothing.
  • the sealing material film 139 is formed only on the crest portion of the spiral groove 138, and the trough portion is removed during the processing of the spiral groove 138.
  • the sealing material film 39 is formed as a film including the formation position of the spiral groove 38A. That is, the sealing material film 39 is configured to cover the entire formation region of the spiral groove 38A of the cylindrical member 30 without being divided by the spiral groove 38A. Therefore, the sealing material film 39 is firmly fixed to the cylindrical member 30, and this can also prevent the sealing material film 39 from peeling from the cylindrical member 30.
  • the displacer 3B can prevent the sealing material film 39 from peeling from the cylindrical member 30 even if the sealing material film 39 is set to a thin film thickness of 5 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less.
  • the film thickness of the sealing material film 39 is set to 5 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less. If the film thickness is a thin film of less than 5 ⁇ m, the strength of the sealing material film 39 itself decreases, and the second stage cylinder This is because the sealing material film 39 may be peeled off by the reciprocating movement of the second stage displacer 3B in 10B. Further, if the thickness of the sealing material film 39 exceeds 50 ⁇ m, the clearance between the sealing material film 39 and the inner wall of the second stage cylinder 10B varies as described above.
  • FIGS. 6 and 6B show a modification of the second stage displacer 3B described with reference to FIGS. 4A and 4B.
  • FIG. 6A is a partial cross-sectional view of the second-stage displacer 3C according to this modification
  • FIG. 6B is an enlarged view of the inside of the circle indicated by the alternate long and short dash line in FIG. 6A.
  • 6A and 6B components corresponding to those shown in FIGS. 2 to 6A and 6B are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
  • annular grooves 38B are formed as shown in FIGS. 6 and 6B.
  • Each of the annular grooves 38B does not have a single configuration unlike the spiral spiral groove 38A, and each has an independent configuration.
  • Each annular groove 38B is configured to be arranged in parallel.
  • a connecting groove for flowing the refrigerant gas between the adjacent annular grooves 38B may be formed between the adjacent annular grooves 38B.
  • the sealing material film 39 is formed in at least the region of the outer peripheral surface of the cylindrical member 30 where the annular groove 38B is formed.
  • the sealing material film 39 covers not only the outer peripheral surface of the cylindrical member 30 but also the inside of the annular groove 38B.
  • the annular groove 38B is the same as the manufacturing method described with reference to FIGS. 5A to 5C, except for the difference in the groove formation method (difference in whether a spiral groove or an annular groove is formed). Can be formed.
  • the thickness of the sealing material film 39 is set to 5 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less similarly to the second stage displacer 3B.
  • the present invention is not limited to a two-stage type, but a single-stage type or It can also be applied to a multistage GM refrigerator.
  • the configuration example in which the spiral groove 38A and the sealing material film 39 are provided in the second stage displacer 3B has been described.
  • the second stage displacer 3A also has the second stage displacer 3A.
  • the spiral groove and the sealing material film may be provided in the same configuration as the displacer 3B.

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Abstract

　本発明は筒状部材の内部に蓄冷材が配設されると共に、シリンダ内で往復動することにより前記シリンダ内で圧縮された作動流体を膨張させ寒冷を発生させるディスプレーサであって、前記シリンダと対向する前記筒状部材の外周面に溝が形成され、かつ、前記筒状部材の外周面の少なくとも前記溝の形成領域に、前記外周面及び前記溝を被覆するシール材膜が形成されてなることを特徴とする。

Description

ディスプレーサ及びその製造方法及び蓄冷器式冷凍機
　本発明はディスプレーサ及びその製造方法及び蓄冷器式冷凍機に係り、特に表面に溝形成がされたディスプレーサ及びその製造方法及びこのディスプレーサを用いた蓄冷器式冷凍機に関する。
　　一般に、ヘリウム等の冷媒ガスを用い、蓄冷材を収容した蓄冷器を有する蓄冷器式冷凍機として、ギフォード・マクマホン（ＧＭ）サイクル冷凍機が知られている。ＧＭ冷凍機は、シリンダ内にディスプレーサが挿入された構造を有している。
　シリンダ内の低温端には膨張室が設けられ、高温端には空洞が設けられている。また、ディスプレーサ内にはガス流路が設けられており、このガス流路内に蓄冷材が充填されている。ディスプレーサ内のガス流路は、膨張室及び高温端側の空洞に連通している。このディスプレーサは、例えばモータ及びスコッチヨーク機構等から構成される駆動機構によりシリンダの軸方向に往復駆動する構成とされている。
　また、ＧＭ冷凍機には冷媒ガス供給系が接続されている。この冷媒ガス供給系は、高温端側の空洞に冷媒ガスを供給し、また空洞から冷媒ガスを回収する。冷媒ガスの供給と回収は、ディスプレーサの往復駆動に同期して行われる。高温端側の空洞に冷媒ガスが供給されると、ディスプレーサ内のガス流路を通って、膨張室まで冷媒ガスが導入される。膨張室内の冷媒ガスは、同一経路を通って冷媒ガス供給系に回収される。
　ディスプレーサが往復動に伴い、膨張室内において冷媒ガスが膨張すると、冷媒ガスは寒冷を発生する。膨張して極低温となった冷媒ガスは、周囲から熱を吸収すると共に、膨張室から回収される時にディスプレーサ内の蓄冷材を冷却する。そして、蓄冷材と熱交換して昇温された後、冷媒ガスはシリンダから排気される。また、次サイクルにおいて冷媒ガスが膨張室に導入される時、蓄冷された蓄冷材により冷媒ガスは冷却される。上記処理を繰り返すことにより、シリンダの低温側は極低温に維持される。
　また、シリンダとディスプレーサとの間のシールが十分でないと、冷媒ガスが所望の冷凍能力を発揮できなくなる場合がある。これを防止するため、特許文献１に開示された発明では、ディスプレーサの外周面上に螺旋溝を設けた構成としている。この構成とすることにより、冷媒ガスはディスプレーサ内を流れる正規のガス流路と、シリンダとディスプレーサとの間の隙間に流入し螺旋溝に沿って流れる冷媒ガスに分岐される。
　螺旋溝に沿って流れる冷媒ガスは、シリンダ軸に平行に流れる場合に比べてより長い経路を通るため、ディスプレーサと十分な熱交換を行うことができる。このため、シリンダとディスプレーサとの間の隙間を流れる冷媒ガスによる熱損失を少なくすることができ、冷凍能力の低下を抑制することができる。
　更に、冷媒ガスが螺旋溝内に確実に流入されるためには、ディスプレーサ（溝の山部分）とシリンダ内壁とのシール性を高める必要がある。このため、特許文献２に開示されているように、ディスプレーサの外周面に樹脂製のシール材膜を被膜することが提案されている。
　図１Ａ～図１Ｃは、従来においてディスプレーサ１０３に螺旋溝１３８及びシール材膜１３９を形成する方法を示している。従来においてディスプレーサ１０３に螺旋溝１３８及びシール材膜１３９を形成するには、先ず図１Ａに示すようにディスプレーサ１０３の基材となる筒状部材１３０を用意し、続いて図１Ｂに示すようにその外周の所定範囲にシール材膜１３９をコーティング等により被膜する。
　続いて、図１Ｃに示すようにシール材膜１３９が形成された筒状部材１３０を旋盤等の螺旋溝を加工する機械加工処理装置に装着し、螺旋溝１３８を切削加工を行うことにより形成することが行われていた。
特許第２６５９６８４号公報 特開２００１－２４８９２９号公報
　上記のようにＧＭ冷凍機において熱損失を少なくし冷凍能力を向上させるためには、ディスプレーサに設けられる螺旋溝及びシール材膜が重要な要素となる。
　特に、シール材膜においてはシール性を高めるためにはその厚みが重要となり、シール材膜をディスプレーサの表面に厚く形成すると、シール材膜の材質とシリンダの材質との熱膨張係数の違いにより、シール材膜とシリンダの内壁との間のクリアランスにばらつきが発生してしまう。このばらつきが発生すると、ディスプレーサとシリンダとの間に冷媒ガスが漏れる箇所が発生し、冷凍能力が低下してしまう。よって、シール材膜とシリンダの内壁との間におけるクリアランスのばらつきを低減するためには、シール材膜の膜厚を薄くすることが有効である。
　しかしながら、従来構成のＧＭ冷凍機において単にシール材膜の膜厚を薄くすると、シール材膜自体の強度が低下するため、螺旋溝１３８の機械加工時に筒状部材上に被膜したシール材膜が筒状部材１３０から剥がれてしまう。このように、シール材膜１３９に剥離が発生すると、この剥離部分から冷媒ガスが漏れ、やはり冷凍能力が低下してしまうという問題点が発生する。
　本発明は、上述した従来技術の問題を解決する、改良された有用なディスプレーサ及びその製造方法及び蓄冷器式冷凍機を提供することを総括的な目的とする。
　本発明のより詳細な目的は、シール材膜の剥離を防止することによりディスプレーサとシリンダ間のシール性を向上させ、これにより安定した冷却処理を可能とするディスプレーサ及びその製造方法及び蓄冷器式冷凍機を提供することにある。
　この目的を達成するために、本発明は、筒状部材の内部に蓄冷材が配設されると共に、シリンダ内で往復動することにより前記シリンダ内で圧縮された作動流体を膨張させ寒冷を発生させるディスプレーサであって、前記シリンダと対向する前記筒状部材の外周面に溝が形成され、かつ、前記筒状部材の外周面の少なくとも前記溝の形成領域に、前記外周面及び前記溝を被覆するシール材膜が形成されてなることを特徴とするものである。
　また、上記発明において、前記溝を前記筒状部材の外周面に螺旋状に形成された螺旋溝としてもよい。
　また、上記発明において、前記シール材膜の膜厚を5μｍ以上50μｍ以下としてもよい。
　また、上記発明において、前記シール材膜をフッ素樹脂としてもよい。
　また、上記の目的を達成するために、本発明は、筒状部材からディスプレーサを製造するディスプレーサの製造方法であって、前記筒状部材の外周面に溝を加工する溝加工工程と、該溝加工工程を実施した後に、前記筒状部材の前記溝が加工された領域を含む外周面をシール材膜で被覆するシール材膜形成工程とを有することを特徴とするものである。
　また、上記発明において、前記溝を前記筒状部材の外周面に螺旋状に形成することとしてもよい。
　また、上記発明において、前記溝を機械加工により形成してもよい。
　また、上記発明において、前記シール材膜を前記筒状部材の外周面にコーティング法又はメッキ法により形成してもよい。
　また、上記発明において、前記シール材膜をフッ素樹脂としてもよい。
　また、上記の目的を達成するために、本発明は、圧縮された作動流体が供給されるシリンダと、内部に蓄冷材が配設されると共に、シリンダ内で往復動することにより前記シリンダ内で圧縮された作動流体を膨張させ寒冷を発生させる請求項１記載のディスプレーサと、モータの回転運動を前記ディスプレーサの往復運動に変換する回転・往復運動変換機構とを有することを特徴とするものである。
　本発明によれば、ディスプレーサとシリンダとの間における冷媒ガスの漏れを防止でき、冷凍能力の低下を防止することが可能となる。
従来の一例であるディスプレーサの製造方法を説明するための図であり、加工前の筒状部材を示す正面図である。 従来の一例であるディスプレーサの製造方法を説明するための図であり、筒状部材にシール材膜を配設した状態を示す正面図である。 従来の一例であるディスプレーサの製造方法を説明するための図であり、溝加工を行った後の状態を示す正面図である。 本発明の一実施形態であるによるギフォード・マクマホン型冷凍機の断面図である。 図２に示すロータリバルブの分解斜視図である。 図２に示す第２段目ディスプレーサの断面図である。 図４Ａに一点鎖線で示す円内を拡大して示す図である。 本発明の一実施形態である冷凍機に用いる第２段目ディスプレーサの製造方法を説明するための図であり、加工前の筒状部材を示す正面図である。 本発明の一実施形態である冷凍機に用いる第２段目ディスプレーサの製造方法を説明するための図であり、溝加工を行った後の状態を示す正面図である。 本発明の一実施形態である冷凍機に用いる第２段目ディスプレーサの製造方法を説明するための図であり、溝加工を行った筒状部材にシール材膜を配設した状態を示す正面図である。 変形例である第２段目ディスプレーサの断面図である。 図６Ａに一点鎖線で示す円内を拡大して示す図である。
１　　ガス圧縮機
２　　コールドヘッド
３Ａ　　第１段目ディスプレーサ
３Ｂ，３Ｃ　　第２段目ディスプレーサ
４Ａ，４Ｂ　　蓄冷材
６，７　　冷却ステージ
８　　バルブ本体
９　　バルブプレート
１０　　シリンダ部
１０Ａ　　第１段目シリンダ
１０Ｂ　　第２段目シリンダ
１１　　第１段目膨張室
１２　　第２段目膨張室
１３　　上部室
１４　　クランク
１５　　モータ
１６　　回転軸受
２２　　スコッチヨーク
２３　　ハウジング
３０　　筒状部材
３６　　連結機構
３７　　開口
３８Ａ　　螺旋溝
３８Ｂ　　環状溝
３９　　シール材膜
　以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
　図２は本発明の一実施形態であるギフォード・マクマホン（ＧＭ）型冷凍機を模式的に示す断面図である。本実施形態によるＧＭ型冷凍機は、ガス圧縮機１とコールドヘッド２とを有する。コールドヘッド２は、ハウジング２３とシリンダ部１０とを有する。ガス圧縮機１は、吸気口１ａから冷媒ガスを吸い込み、圧縮して、吐出口１ｂから高圧の冷媒ガスとして吐出する。作動流体である冷媒ガスとして、通常はヘリウムガスが使用される。
　シリンダ部１０は、第１段目シリンダ１０Ａと第２段目シリンダ１０Ｂとの２段構成であり、第２段目シリンダ１０Ｂは、第１段目シリンダ１０Ａよりも細く設定されている。また、第１段目シリンダ１０Ａの内部には第１段目ディスプレーサ３Ａが、第２段目シリンダ１０Ｂの内部には第２段目ディスプレーサ３Ｂが、各シリンダ１０Ａ，１０Ｂの軸方向に往復運動可能に挿入されている。
　第１段目ディスプレーサ３Ａと第２段目ディスプレーサ３Ｂは、図示を省略したジョイント機構により相互に連結されている。また、第１段目ディスプレーサ３Ａの内部には蓄冷材４Ａが設けられ、第２段目ディスプレーサ３Ｂには蓄冷材４Ｂが充填されている。更に、各ディスプレーサ３Ａ，３Ｂには、冷媒ガスが通過するガス流路Ｌ１～Ｌ４が形成されている。
　第１段目シリンダ１０Ａ内の、第２段目シリンダ１０Ｂ側の端部には第１段目膨張室１１が形成され、他方の端部に上は上部室１３が形成されている。また、第２段目シリンダ１０Ｂの第１段目シリンダ１０Ａ側とは反対側の端部には、第２段目膨張室１２が形成されている。
　上部室１３と第１段目膨張室１１とは、ガス流路Ｌ１、蓄冷材４が充填された第１段蓄冷材充填室、及びガス流路Ｌ２を介して接続されている。また、第１段目膨張室１１と第２段目膨張室１２とは、ガス流路Ｌ３、蓄冷材４Ｂが充填された第２段蓄冷材充填室、及びガス流路Ｌ４を介して接続されている。
　第１段目シリンダ１０Ａの外周面の内、第１段目膨張室１１にほぼ対応する位置には冷却ステージ６が配設されている。また、第２段目シリンダ１０Ｂの外周面の内、第２段目膨張室１２にほぼ対応する位置には冷却ステージ７が配設されている。
　第１段目ディスプレーサ３Ａの外周面のうち、上部室１３側の端部近傍にシール機構５０が配置されている。このシール機構５０は、第１段目ディスプレーサ３Ａの外周面とシリンダ１０Ａの内周面との間をシールする。
　第１段目ディスプレーサ３Ａは、回転・往復運動変換機構を構成するスコッチヨーク２２の出力軸２２ａに接続されている。スコッチヨーク２２は、ハウジング２３に固定された一対の摺動軸受１７ａ，１７ｂにより、ディスプレーサ３Ａ，３Ｂの軸方向に移動可能に支持されている。摺動軸受１７ｂにおいては、摺動部の気密性が保たれており、ハウジング２３内の空間と上部室１３とが気密に画成されている。
　また、スコッチヨーク２２にはモータ１５が接続されている。モータ１５の回転運動は、クランク１４及びスコッチヨーク２２により往復運動に変換される。この往復運動は出力軸２２ａを介してディスプレーサ３Ａに伝達され、これにより第１段目ディスプレーサ３Ａは第１段目シリンダ１０Ａ内で、また第２段目ディスプレーサ３Ｂは第２段目シリンダ１０Ｂ内で往復移動を行う。
　各ディスプレーサ３Ａ，３Ｂが図中上方に移動する時、上部室１３の容積は減少し、逆に第１段目及び第２段目の膨張室１１及び１２の容積は増加する。また反対に、各ディスプレーサ３Ａ，３Ｂが図中下方に移動する時、上部室１３の容積は増大し、第１段目及び第２段目の膨張室１１及び１２の容積は減少する。この上部室１３、膨張室１１及び１２の容積の変動に伴い、冷媒ガスがガス流路Ｌ１～Ｌ４を通って移動する。
　また、冷媒ガスが各ディスプレーサ３Ａ，３Ｂに充填された蓄冷材４Ａ，４Ｂ内を通過する際、冷媒ガスと蓄冷材４Ａ，４Ｂとの間で熱交換が行われる。これにより、蓄冷材４Ａ，４Ｂは冷媒ガスにより冷却される。
　冷媒ガスの流路において、圧縮機１の吸気口１ａ及び吐出口１ｂと上部室１３との間には、ロータリバルブＲＶが配置されている。ロータリバルブＲＶは、冷媒ガスの流路を切り換える機能を奏する。具体的には、ロータリバルブＲＶは、ガス圧縮機１の吐出口１ｂから吐出された冷媒ガスを上部室１３内に導く第１の態様と、上部室１３内の冷媒ガスをガス圧縮機１の吸気口１ａに導く第２の態様との切り換え処理を行う。
　ロータリバルブＲＶは、バルブ本体８及びバルブプレート９を有する。バルブプレート９は、例えばアルミニウム合金で形成され、バルブ本体８は、例えば四フッ化エチレン（例えば、ＮＴＮ社製のベアリーＦＬ３０００）で形成されている。バルブ本体８及びバルブプレート９は平坦な摺動面を有し、この平坦な摺動面同士が面接触している。両者の摺動面の少なくとも一方に、摩擦を低減して耐磨耗性を向上させるために、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の硬質材からなる薄膜が形成されることが好ましい。
　バルブプレート９は、回転軸受１６により、ハウジング２３内に回転可能に支持されている。スコッチヨーク２２を駆動するクランク１４の偏心ピン１４ａが回転軸を中心として公転することにより、バルブプレート９が回転する。バルブ本体８は、コイルバネ２０によりバルブプレート９に押し付けられ、ピン１９により回転しないように固定されている。
　コイルバネ２０は、排気側の圧力が給気側の圧力より大きくなってしまった場合に、バルブ本体８がバルブプレート９から離れてしまわないようにバルブ本体８を押圧するために設けられた押圧手段である。作動時にバルブ本体８をバルブプレート９に押圧する力は、冷媒ガスの給気側の圧力と排気側の圧力の差圧がバルブ本体８に作用することにより生じるようになっている。
　図３は、ロータリバルブＲＶの分解斜視図である。円柱状のバルブ本体８の平坦な摺動面８ａとバルブプレート９の平坦な摺動面９ａとが面接触する。ガス供給路となるガス流路８ｂが、バルブ本体８の中心軸に沿ってバルブ本体８を貫通している。すなわち、ガス流路８ｂの一端が、摺動面８ａに開口している。ガス流路８ｂの他端は、図２に示したガス圧縮機１の吐出口１ｂに接続されている。圧縮機１の吐出口１ｂからバルブ本体８のガス流路８ｂまでがガス供給路に相当する。
　バルブ本体８の摺動面８ａに、バルブ本体８の中心軸を中心とした円弧に沿った溝８ｃが形成されている。バルブ本体８の内部に形成されたガス流路８ｄの一端が、溝８ｃの底面に開口している。ガス流路８ｄの他端は、バルブ本体８の外周面に開口し、更に図２に示すハウジング２３に形成されたガス流路２１を経由して上部室１３に連通している。
　バルブプレート９の摺動面９ａに、その中心から半径方向に伸びる溝９ｄが形成されている。バルブプレート９が回転し、溝９ｄの外周側の端部が溝８ｃに部分的に重なった時、ガス流路８ｂとガス流路８ｄとが溝９ｄを介して連通する。
　回転軸に平行なガス流路９ｂが、バルブプレート９を貫通して延在している。ガス流路９ｂは、摺動面９ａ内の半径方向に関して、バルブ本体８の摺動面８ａに形成された溝８ｃとほぼ同じ位置に開口している。バルブプレート９が回転し、ガス流路９ｂの開口部が溝８ｃに部分的に重なった時、ガス流路８ｄとガス流路９ｂとが連通する。ガス流路９ｂの他端は、図２に示したハウジング２３内の空洞を介してガス圧縮機１の吸気口１ａに連通している。バルブプレート９のガス流路から圧縮機１の吸気口１ａまでがガス排出路に相当する。
　ガス流路８ｂとガス流路８ｄとが溝８ｃを介して連通している時、圧縮機１から送られる冷媒ガスはロータリバルブＲＶを介して上部室１３内に送り込まれる。ガス流路８ｄとガス流路９ｂとが連通している時、上部室１３内の冷媒ガスがガス圧縮機１に回収される。従って、バルブプレート９を回転させると、上部室１３への冷媒ガスの導入（給気）と、上部室１３からの冷媒ガスの回収（排気）が繰り返される。
　図４Ａは第２段目ディスプレーサ３Ｂの部分断面図であり、図４Ｂは図４Ａに一点鎖線で示す円内を拡大して示す図である。第２段目ディスプレーサ３Ｂは、円筒筒状の筒状部材３０を基材とする。この上下端が開放された筒状部材３０の下端には蓋部材３１が挿入され上で接着されている。筒状部材３０はステンレスにより形成されており、また蓋部材３１は布入りフェノールで形成されている。また筒状部材３０内で、蓋部材３１の上には金網３２が配設され、その上にはフェルト栓３３が配設されている。
　蓄冷材４Ｂは、このフェルト栓３３の上に充填されている。蓄冷材４Ｂは、例えば小さな鉛球で形成してもよく、また磁性蓄冷材を用いてもよい。磁性蓄冷材を用いると冷凍能力を高めることができる。また、蓄冷材４Ｂの上にはフェルト栓３４が配置され、フェルト栓３４の上にはパンチングメタル３５が配置される。
　筒状部材３０の側壁の金網３２の高さの位置には、開口３７が設けられている。
また、筒状部材３０の開口３７よりも上の外周面には溝が形成されている。本実施形態では、この溝を開口３７の位置と上端位置とを結ぶ１本の螺旋状の溝３８Ａ（以下、螺旋溝３８Ａという）として形成されている。この螺旋溝３８Ａは、シリンダ１０Ｂの内面と協働して螺旋状のガス流路を形成する。
　また、開口３７よりも下の筒状部材３０の外径は、それよりも上の部分の外径よりも僅かに小さくされている。従って、開口３７よりも下の部分では、筒状部材３０と第２段目シリンダとの間に間隙が形成される。この間隙及び上記した開口３７は、筒状部材３０の内部と図２に示す膨張空間１２とを結ぶガス流路Ｌ４を形成する（図示の便宜上、図２ではガス流路Ｌ１を蓋部材を上下に貫通するよう図示している）。
　上記構成とされた第２段目ディスプレーサ３Ｂにおいて、シリンダ１０Ｂの内周面とディスプレーサ３Ｂの外周面との間に形成された間隙に冷媒ガスが流入すると、冷媒ガスは螺旋溝３８Ａに沿って流れ、冷媒ガスと蓄冷材４Ｂとの間には筒状部材３０を介して熱交換が行われる。この際、筒状部材３０の表面に螺旋溝３８Ａを形成することにより、冷媒ガスは螺旋溝３８Ａが形成する螺旋状の長い流露を通り流れるため、十分な熱交換を行うことが可能となる。これにより確実に熱交換が行われ、よって冷凍能力の低下を抑制できるため、ＧＭ冷凍機の冷却効率の向上を図ることができる。
　ここで、本実施形態に係るＧＭ冷凍機に組み込まれた第２段目ディスプレーサ３Ｂの外周面に注目し説明を続ける。
　前記のように、第２段目ディスプレーサ３Ｂの外周位置には螺旋溝３８Ａが形成されている。本実施形態では、筒状部材３０の外周面の少なくとも螺旋溝３８Ａが形成された領域にシール材膜３９を形成している。このシール材膜３９は、筒状部材３０の外周面を被覆するばかりでなく、螺旋溝３８Ａをも被覆した構成とされている。
　このシール材膜３９は、第２段目ディスプレーサ３Ｂと第２段目シリンダ１０Ｂの内壁との間におけるシール性を高めるために配設される。本実施形態では、シール材膜３９として熱的及び機械的に特性が高くかつ滑性を有したフッ素樹脂を用いている。具体的には、シール材膜３９としてテフロン（登録商標）を用いている。
　このシール材膜３９は、第２段目ディスプレーサ３Ｂの表面に厚く形成すると、シール材膜３９と第２段目シリンダ１０Ｂの熱膨張係数の違いにより両者の間のクリアランスにばらつきが発生し、冷凍能力が低下してしまうことは前述した通りである。そこで本実施形態では、シール材膜３９の膜厚を5μｍ以上50μｍ以下に設定した。このようにシール材膜３９の膜厚を薄く設定することにより、シール材膜３９と第２段目シリンダ１０Ｂの熱膨張係数の違いに起因したクリアランスのばらいつき発生を抑制でき、冷却効率の低下を抑制することができる。
　しかしながら、単にシール材膜の膜厚を薄くすると、シール材膜自体の強度が低下するため、螺旋溝３８Ａの機械加工時に筒状部材上に被膜したシール材膜が筒状部材３０から剥がれてしまうおそれがある。そこで本実施形態では、螺旋溝３８Ａを形成した後にシール材膜３９を形成することにより、この問題点を解決している。
　ここで、図５Ａ～図５Ｃを用いて筒状部材３０の螺旋溝３８Ａが形成された領域の全体にシール材膜３９を形成する方法について説明する。
　本実施形態に係る筒状部材３０を形成するには、先ず図５Ａに示すようにディスプレーサ３Ｂの基材となる筒状部材３０を用意する。この筒状部材３０はステンレス製であり、内部には蓄冷材４Ｂ等を装着するための空間が形成された円筒形状とされている。
　本実施形態では、先ずこの筒状部材３０の外周面に対して螺旋溝３８Ａを加工する螺旋溝加工工程を実施する。螺旋溝３８Ａの加工方法は、従来と変わることはなく、旋盤等の機械加工処理装置に筒状部材３０装着して螺旋溝３８Ａの機械加工を行う。このように、本実施形態においても従来の同じ溝加工方法により螺旋溝３８Ａを形成するため、加工コストが上昇するようなことはない。図５Ｂは、螺旋溝３８Ａが形成された筒状部材３０を示している。
　螺旋溝加工工程が終了すると、螺旋溝３８Ａが形成された筒状部材３０に対してシール材膜３９を被膜するシール材膜形成工程を実施する。このシール材膜形成工程では、次に図５Ｃに示すように、筒状部材３０の外周面で螺旋溝３８Ａが形成された領域を含む領域にシール材膜３９となるフッ素樹脂を被膜する。
　この筒状部材３０にシール材膜３９を被膜する方法としては、コーティング法又はメッキ法を用いることができる。またシール材膜３９の膜厚は上記のように5μｍ以上50μｍ以下に設定されるが、この膜厚はコーティング時間或いはメッキ時間を管理することにより容易に制御することができる。本実施形態では、シール材膜３９の膜厚を上記のように薄く形成するため、シール材膜３９の形成方法としてコーティング法又はメッキ法を用いることが好適である。
　また本実施形態では、螺旋溝加工工程を実施した後にシール材膜３９を被膜するため、筒状部材３０の外周面と共に螺旋溝３８Ａの内部にもシール材膜３９の被覆が行われる。このため、従来のシール材膜１３９を被膜した後に螺旋溝１３８を形成する方法と異なり、本実施形態に係るディスプレーサ３Ｂの製造方法によればシール材膜３９が筒状部材３０から剥離するようなことはない。
　また従来では、シール材膜１３９が螺旋溝１３８の山の部分にのみ形成され、谷の部分においては螺旋溝１３８の加工時に除去されていた。これに対して本実施形態では、シール材膜３９は螺旋溝３８Ａの形成位置も含み被膜形成される。即ち、シール材膜３９は螺旋溝３８Ａにより分断されることなく、筒状部材３０の螺旋溝３８Ａの形成領域全体を被覆する構成となる。よって、シール材膜３９は筒状部材３０に強固に固着された状態となり、これによってもシール材膜３９が筒状部材３０から剥離することを防止することができる。
　上述のように本実施形態に係るディスプレーサ３Ｂは、シール材膜３９の膜厚を5μｍ以上50μｍ以下と薄く設定しても、シール材膜３９が筒状部材３０から剥離することを防止できる。
　よって、シール材膜３９の膜厚が薄くなることによりシール材膜３９と第２段目シリンダ１０Ｂの内壁との間のクリアランスにばらつきが発生することを防止でき、第２段目ディスプレーサ３Ｂと第２段目シリンダ１０Ｂとの間における冷媒ガスの漏れを防止できる。また、シール材膜３９が筒状部材３０から剥離すること確実に防止できることにより、従来発生していた剥離箇所からの冷媒ガスの漏れを防止できる。これにより、第２段目ディスプレーサ３Ｂと第２段目シリンダ１０Ｂとの間における冷媒ガスの漏れが防止されるため、ＧＭ冷凍機の冷凍能力の低下を確実に防止することができる。
　尚、本実施形態においてシール材膜３９の膜厚を5μｍ以上50μｍ以下に設定したのは、膜厚を5μｍ未満の薄膜とするとシール材膜３９自体の強度が低下して、第２段目シリンダ１０Ｂ内における第２段目ディスプレーサ３Ｂの往復移動によりシール材膜３９が剥離するおそれがあるからである。また、シール材膜３９の膜厚を50μｍを越える厚さとすると、上記したようにシール材膜３９と第２段目シリンダ１０Ｂの内壁との間のクリアランスにばらつきが発生するからである。
　次に、上記した実施形態の変形例について説明する。
　図６及び図６Ｂは、図４Ａ及び図４Ｂを用いて説明した第２段目ディスプレーサ３Ｂの変形例を示している。図６Ａは本変形例に係る第２段目ディスプレーサ３Ｃの部分断面図であり、図６Ｂは図６Ａに一点鎖線で示す円内を拡大して示す図である。尚、図６Ａ及び図６Ｂにおいて、図２乃至図６Ａ，６Ｂに示した構成と対応する構成については、同一符号を付してその説明は省略するものとする。
　先に図４Ａ及び図４Ｂを用いて説明した第２段目ディスプレーサ３Ｂでは、筒状部材３０外周面に１本の螺旋溝３８を形成した構成を示した。これに対して本変形例では、図６及び図６Ｂに示すように環状の溝３８Ｂ（以下、環状溝３８Ｂという）を複数形成したことを特徴とするものである。
　この各環状溝３８Ｂは、螺旋状の螺旋溝３８Ａと異なり一本の構成とはなっておらず、各々が独立した構成となっている。また各環状溝３８Ｂは、各々が平行に配置された構成となっている。
　本変形例のように筒状部材３０に複数の螺旋溝３８を形成する構成としても、溝を形成しないディスプレーサに比べて冷媒ガスとの間で効率の高い熱交換を行うことができ、よって冷凍機の冷凍能力の低下を抑制することができる。
　この際、隣接する環状溝３８Ｂの間に、隣接する環状溝３８Ｂ間で冷媒ガスを流す連結溝を形成してもよい。この構成とすることにより、冷媒ガスと第２段目ディスプレーサ３Ｃとの間における熱交換の効率をより高めることができる。
　また、本変形例においても、シール材膜３９は筒状部材３０の外周面の少なくとも環状溝３８Ｂが形成された領域に形成されている。そして、このシール材膜３９は筒状部材３０の外周面を被覆するばかりでなく、環状溝３８Ｂ内をも被覆した構成とされている。この環状溝３８Ｂは、溝の形成方法の違い（螺旋溝を形成するか、環状の溝を形成するかの相違）を除き、図５Ａ～図５Ｃを用いて説明した製造方法と同様の方法で形成することができる。また、シール材膜３９の厚さも第２段目ディスプレーサ３Ｂと同様に5μｍ以上50μｍ以下に設定している。
　よって、本変形例に係る第２段目ディスプレーサ３Ｃを用いることによっても、図２乃至図６Ａ，６Ｂに示した実施形態と同様に、ＧＭ冷凍機の冷凍能力の低下を確実に防止することができる。
　以上、本発明の好ましい実施形態及びその変形例について詳述したが、本発明は上記した特定の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変更が可能なものである。
　具体的には、上述の実施形態は、２段式のギフォード・マクマホン（ＧＭ）型冷凍機に本発明を適用した例を示したが、本発明は２段式に限らず、１段式或いは多段式のＧＭ冷凍機にも適用することができる。
　また、上記した実施形態においては、第２段目ディスプレーサ３Ｂに螺旋溝３８Ａ及びシール材膜３９を設けた構成例に付いて説明したが、第１段目ディスプレーサ３Ａに対しても第２段目ディスプレーサ３Ｂと同様の構成で螺旋溝及びシール材膜を設けた構成としてもよいことは勿論である。
　本国際出願は２０１０年３月１７日に出願された日本国特許出願２０１０－０６０９９８号に基づく優先権を主張するものであり、２０１０－０６０９９８号の全内容をここに本国際出願に援用する。

Claims (10)

  1. 　筒状部材の内部に蓄冷材が配設されると共に、シリンダ内で往復動することにより前記シリンダ内で圧縮された作動流体を膨張させ寒冷を発生させるディスプレーサであって、
    　前記シリンダと対向する前記筒状部材の外周面に溝が形成され、
    　かつ、前記筒状部材の外周面の少なくとも前記溝の形成領域に、前記外周面及び前記溝を被覆するシール材膜が形成されてなることを特徴とするディスプレーサ。
  2. 　前記溝は前記筒状部材の外周面に螺旋状に形成された螺旋溝である請求項１記載のディスプレーサ。
  3. 　前記シール材膜の膜厚は、5μｍ以上50μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のディスプレーサ。
  4. 　前記シール材膜は、フッ素樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のディスプレーサ。
  5. 　筒状部材からディスプレーサを製造するディスプレーサの製造方法であって、
    　前記筒状部材の外周面に溝を加工する溝加工工程と、
    　該溝加工工程を実施した後に、前記筒状部材の前記溝が加工された領域を含む外周面をシール材膜で被覆するシール材膜形成工程と
    を有することを特徴とするディスプレーサの製造方法。
  6. 　前記溝を前記筒状部材の外周面に螺旋状に形成することを特徴とする請求項５に記載のディスプレーサの製造方法。
  7. 　前記溝を機械加工により形成することを特徴とする請求項５に記載のディスプレーサの製造方法。
  8. 　前記シール材膜を前記筒状部材の外周面にコーティング法又はメッキ法により形成したことを特徴とする請求項５に記載のディスプレーサの製造方法。
  9. 　前記シール材膜は、フッ素樹脂であることを特徴とする請求項５に記載のディスプレーサの製造方法。
  10. 　圧縮された作動流体が供給されるシリンダと、
    　内部に蓄冷材が配設されると共に、シリンダ内で往復動することにより前記シリンダ内で圧縮された作動流体を膨張させ寒冷を発生させる請求項１記載のディスプレーサと、
    　モータの回転運動を前記ディスプレーサの往復運動に変換する回転・往復運動変換機構とを有することを特徴とする蓄冷器式冷凍機。
     
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