WO2011081285A3 - 레지스트 하층막용 방향족 고리 함유 중합체 및 이를 포함하는 레지스트 하층막 조성물 - Google Patents

레지스트 하층막용 방향족 고리 함유 중합체 및 이를 포함하는 레지스트 하층막 조성물 Download PDF

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Abstract

레지스트 하층막용 방향족 고리 함유 중합체　및　이를 포함하는 레지스트 하층막 조성물을 제공한다.　상기 방향족 고리 함유　중합체는 화학식 1로 표시되는 단위구조를　포함한다.
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