WO2011040300A1 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2011040300A1 WO2011040300A1 PCT/JP2010/066382 JP2010066382W WO2011040300A1 WO 2011040300 A1 WO2011040300 A1 WO 2011040300A1 JP 2010066382 W JP2010066382 W JP 2010066382W WO 2011040300 A1 WO2011040300 A1 WO 2011040300A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- pick
- wafer
- potential side
- internal electrode
- carrier
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
- H01L21/6833—Details of electrostatic chucks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
Abstract
真空チャンバに窓を取り付けなくても、また、搬送体の裏面又は表面の状態にも関わらずに、搬送体が搬送装置に受け渡されたか否かを検出することができる搬送装置を開示する。この搬送装置は、伸縮及び旋回可能に構成された回転・伸縮部、この回転・伸縮部の先端に設けられ、搬送体が載置されるピック、このピック内に設けられた高電位側内部電極及び低電位側内部電極を含む、搬送体をピックに静電吸着させるジョンセン-ラーベック型の静電吸着機構と、上記ピック上に搬送体の有無に関わらずに、高電位側内部電極から低電位側内部電極に向かって流れる微小電流を検出し、微少電流の増減に基づいて、ピック上に搬送体が有るか無いかを判定する判定器と、を具備する。
Description
この発明は、搬送装置に関する。
半導体装置の製造において、ウエハを搬送する場合、例えば、特開平10-223732号公報に記載されているように、搬送アームを有した搬送装置が用いられる。搬送アームの先端にはピック(又はハンド)が取り付けられており、ウエハはピックの上に載せられて搬送される。
また、ウエハをピックの上に載せて搬送する場合、ウエハがピックに受け渡されたか否かを確認するため、処理ユニットの処理室に接続された搬送室に、ウエハ有無確認用の光学式センサを取り付けて確認を行っている。
しかしながら、光学式センサには、少なくとも光源が必要である。このために、搬送室、又は処理ユニットの処理室のような真空チャンバに、窓を取り付けなければならない。また、ウエハの裏面、又は表面の光学的状態によっては、光学式センサが正常に機能しないことがある。
この発明は、上記事情に鑑みて為されたもので、真空チャンバに窓を取り付けなくても、また、搬送体の裏面又は表面の光学的状態にも関わらずに、搬送体が搬送装置に受け渡されたか否かを検出することができる搬送装置を提供する。
この発明の一態様に係る搬送装置は、搬送体を搬送する搬送装置であって、伸縮及び旋回可能に構成された回転・伸縮部と、前記回転・伸縮部の先端に設けられ、前記搬送体が載置されるピックと、前記ピック内に設けられた高電位側内部電極及び低電位側内部電極を含む、前記搬送体を前記ピックに静電吸着させるジョンセン-ラーベック型の静電吸着機構と、前記ピック上に前記搬送体の有無に関わらずに、前記高電位側内部電極から前記低電位側内部電極に向かって流れる微小電流を検出し、前記微少電流の増減に基づいて、前記ピック上に前記搬送体が有るか無ないかを判定する判定器と、を具備する。
以下、この発明の実施形態を、図面を参照して説明する。なお、全図にわたり、共通の部分には共通の参照符号を付す。
図1は、この発明の一実施形態に係る搬送装置を利用することが可能な半導体製造システムの一例を概略的に示す平面図である。
図1に示すように、半導体製造システムは、例えば成膜処理のような高温処理を行う4つの真空処理ユニット1、2、3、4を備えており、これらの各真空処理ユニット1~4は六角形をなす搬送室5の4つの辺にそれぞれ対応して設けられている。また、搬送室5の他の2つの辺にはそれぞれロードロックユニット6、7が設けられている。これらロードロックユニット6、7の搬送室5と反対側には搬入出室8が設けられており、搬入出室8のロードロックユニット6、7と反対側には被処理体としての半導体ウエハWを収容可能な3つのフープ(FOUP;Front Opening Unified Pod)を取り付けるポート9、10、11が設けられている。真空処理ユニット1、2、3、4は、その中で処理プレート上に被処理体を載置した状態で所定の真空処理、例えば成膜処理やエッチング処理を行うようになっている。
真空処理ユニット1~4は、搬送室5の各辺にゲートバルブGを介して接続され、これらは対応するゲートバルブGを開放することにより搬送室5と連通され、対応するゲートバルブGを閉じることにより搬送室5から遮断される。また、ロードロックユニット6、7は、搬送室5の残りの辺のそれぞれに、第1のゲートバルブG1を介して接続され、また、搬入出室8に第2のゲートバルブG2を介して接続されている。そして、ロードロック室6、7は、第1のゲートバルブG1を開放することにより搬送室5に連通され、第1のゲートバルブG1を閉じることにより搬送室から遮断される。また、第2のゲートバルブG2を開放することにより搬入出室8に連通され、第2のゲートバルブG2を閉じることにより搬入出室8から遮断される。
搬送室5内には、真空処理ユニット1~4、ロードロックユニット6、7に対して、半導体ウエハWの搬入出を行う搬送装置12が設けられている。この搬送装置12は、搬送室5の略中央に配設されており、回転および伸縮可能な回転・伸縮部13の先端に半導体ウエハWを支持する2つのピック14a、14bを有しており、これら2つのピック14a、14bは互いに反対方向を向くように回転・伸縮部13に取り付けられている。この搬送室5内は所定の真空度に保持されるようになっている。
ロードロックユニット6、7はそれぞれ、内部を所定の真空度に減圧可能な真空容器として構成されるとともに、上記所定の真空度と、大気圧又はほぼ大気圧との間で圧力変換可能に構成されている。これにより、ウエハWの周囲の環境が搬送室5の内部の環境、及び搬入出室8の内部の環境に相互に変換される。ロードロックユニット6、7はそれぞれゲートバルブG1を介して搬送室5に接続されるとともに、ゲートバルブG2、G2を介して搬入出室8に接続される。
搬入出室8のウエハ収納容器であるフープF取り付け用の3つのポート9、10、11にはそれぞれ図示しないシャッターが設けられており、これらポート9、10、11にウエハWを収容した、または空のフープFが直接取り付けられ、取り付けられた際にシャッターが外れて外気の侵入を防止しつつ搬入出室8と連通するようになっている。また、搬入出室8の側面にはアライメントチャンバ15が設けられており、そこで半導体ウエハWのアライメントが行われる。
搬入出室8内には、搬送装置16が設けられている。搬送装置16は、フープFの配列方向に沿って設けられたレール18上を走行可能に構成されている。本例の搬送装置16は、高さを異ならせて上下2段に並ぶように配置した一対の搬送アーム16a、16bを有している。搬送アーム16a、16bは多関節アーム構造を有しており、回転軸を中心として、伸縮及び旋回可能に構成されている。搬送アーム16a、16bの先端には、ピック17a、17bが設けられており、ウエハWはピック17a、17bの上に載せられて、フープF、搬入出室8、ロードロックユニット6、7、及びアライメントチャンバ15間で搬送される。
この真空処理システムは、各構成部を制御するマイクロプロセッサ(コンピュータ)からなるプロセスコントローラ20を有しており、各構成部がこのプロセスコントローラ20に接続されて制御される構成となっている。また、プロセスコントローラ20には、オペレータが真空処理システムを管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、プラズマ処理装置の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなるユーザーインターフェース21が接続されている。
また、プロセスコントローラ20には、真空処理システムで実行される各種処理をプロセスコントローラ20の制御にて実現するための制御プログラムや、処理条件に応じて真空処理システムの各構成部に処理を実行させるためのプログラム、例えば成膜処理に関わる成膜レシピ、ウエハの搬送に関わる搬送レシピ、ロードロックユニットの内部の圧力調整などに関わるパージレシピ等が格納された記憶部22が接続されている。このような各種レシピは記憶部22の中の記憶媒体に記憶されている。記憶媒体は、ハードディスクのような固定的なものであってもよいし、CD-ROM、DVD、フラッシュメモリ等の可搬性のものであってもよい。また、他の装置から、例えば専用回線を介してレシピを適宜伝送させるようにしてもよい。
図2A及び図2Bはこの発明の一実施形態に係る搬送装置12のピック14a(14b)を概略的に示す平面図である。図2Aはウエハが載置されていない状態を、図2Bはウエハが載置されている状態を示している。
図2A及び図2Bに示すように、搬送装置12のピック14a(14b)は、内部に内部電極31(+)及び31(-)を含んでおり、ジョンセン-ラーベック力型の双電極式静電吸着機構30を備えている。静電吸着機構30は、ウエハWをピック14a(14b)に静電吸着させる。
ピック14a(14b)は、誘電体で構成されている。誘電体としては、ジョンセン-ラーベック効果をより良く得るために、例えば、体積抵抗率を109Ω・cm乃至1012Ω・cm程度のものから選ばれる。このような誘電体の例としては、例えば、Al2O3、及び/又はAlNを主原料に体積抵抗率を調整した金属酸化物を挙げることができる。
ジョンセン-ラーベック力型の静電吸着機構30は、チャック部材(本例ではピック14a(14b))とウエハWとの間に微小電流を流す。この微小電流により、電荷が、チャック部材の上面とウエハWの裏面とに移動し、内部電極31(+)、31(-)とチャック部材とウエハWとの間のクーロン力によって大きな吸着力を作り出す。
このようなジョンセン-ラーベック力型の静電吸着機構30では、内部電極31(+)から内部電極31(-)に、ウエハWが載置されているか否かに関わらずに、公称電流(nominal current)と呼ばれる微小電流が流れている。
この微小電流を観察してみると、チャック部材(本例ではピック14a(14b))上にウエハWが載置されていないときと、載置されているときとで、電流値の相違が見られることが分かった。図3AにウエハWが載置されていないときの微少電流の経路を、図3BにウエハWが載置されているときの微少電流の経路を示す。
図3Aに示すように、ウエハWがピック14a(14b)上に載置されていないときには、微小電流Iは、プラス側の内部電極31(+)からマイナス側の内部電極31(-)に向かって、ピック14a(14b)のウエハ載置面32の表面を流れる。
これに対して、図3Bに示すように、ウエハWがピック14a(14b)上に載置されているときには、微小電流Iは、プラス側の内部電極31(+)からマイナス側の内部電極31(-)に向かって、ウエハW内を流れる。ジョンセン-ラーベック力型の静電吸着機構30では、ピック14a(14b)の体積抵抗値は、ウエハWの体積抵抗値よりも高く設定される。このため、微少電流の電流値は、ウエハWがピック14a(14b)上に載置されていないときに比較して、ウエハWがピック14a(14b)上に載置されているときの方が大きくなる。
この発明の一実施形態に係る搬送装置12によれば、このような現象を利用し、例えば、図3A及び図3Bに示すように、マイナス側の内部電極31(-)と負電源との間に、電流値検出部33を設け、マイナス側の内部電極31(-)から負電源に向かう電流値を検出する。電流値検出部33によって検出された電流値は、ピック14a(14b)上にウエハWが有るか無いかを判定する判定器34に送られる。判定器34は、電流値検出部33から送られてきた電流値が、例えば、ウエハWが載置されていないときの電流値に比較して大きいか否かを判断し、ピック14a(14b)上にウエハWが有るか無いかを判定し、ウエハWの有無に関する信号(ウエハ有及びウエハ無)を、例えば、プロセスコントローラ20に出力する。プロセスコントローラ20は、ウエハWの有無に関する信号を受けることで、ピック14a及び14bに、ウエハWが載置されているか否かを知ることができる。
また、ウエハWの有無は、以下のようなルーチンで判定されることが良いであろう。
(ウエハWを取るとき)
ステップ1:ウエハWを取る前の状態で電流値を測定
ステップ2:ウエハWを取った状態で電流値を測定
即ち、ウエハWを取るときには、まず、ウエハWを取る前の状態で電流値を測定し、次いで、ウエハWを取った状態で電流値を測定する。これら2段階で測定された電流値どうしの間に相違が見られれば、ウエハWがピック14a(14b)上に載置された、と判定することができる。
ステップ1:ウエハWを取る前の状態で電流値を測定
ステップ2:ウエハWを取った状態で電流値を測定
即ち、ウエハWを取るときには、まず、ウエハWを取る前の状態で電流値を測定し、次いで、ウエハWを取った状態で電流値を測定する。これら2段階で測定された電流値どうしの間に相違が見られれば、ウエハWがピック14a(14b)上に載置された、と判定することができる。
(ウエハWを渡すとき)
ステップ1:ウエハWを渡す前の状態で電流値を測定
ステップ2:ウエハWを渡した状態で電流値を測定
即ち、ウエハWを渡すときにも、まず、ウエハWを渡す前の状態で電流値を測定し、次いで、ウエハWを渡した状態で電流値を測定する。この場合においても、2段階で測定された電流値どうしの間に相違が見られれば、ウエハWがピック14a(14b)上から離れた、と判定することができる。
ステップ1:ウエハWを渡す前の状態で電流値を測定
ステップ2:ウエハWを渡した状態で電流値を測定
即ち、ウエハWを渡すときにも、まず、ウエハWを渡す前の状態で電流値を測定し、次いで、ウエハWを渡した状態で電流値を測定する。この場合においても、2段階で測定された電流値どうしの間に相違が見られれば、ウエハWがピック14a(14b)上から離れた、と判定することができる。
上記ルーチンによれば、例えば、単純に微少電流Iの電流値のみを見てウエハWの有無を判定する場合に比較して、より高精度なウエハWの有無の判定ができる、という利点を得ることができる。
例えば、単純に微少電流Iの電流値のみを見てウエハWの有無を判定する場合、仮にピック14a(14b)に付着物が付着し、ピック14a(14b)の抵抗が低くなったとする。この場合に、微少電流Iの電流値が増加してしまうので、判定器34が、ウエハWが無い状態であるにも関わらず、ウエハWが有る、と誤検知する可能性がある。
この点、上記ルーチンによれば、判定器34が、ピック14a(14b)がウエハWを取る前の電流値と取った状態での電流値とを比較する、及びピック14a(14b)がウエハWを渡す前の電流値と渡した状態での電流値とを比較することで、ピック14a(14b)にウエハWが有るか無ないかを判定する。このように構成することで、例えば、ピック14a(14b)の抵抗が、付着物の付着等により低くなってしまった場合においても、ウエハWの有無を確実に判定することができる。
このように、この発明の一実施形態に係る搬送装置12によれば、ピック14a及び14b上にウエハWの有無に関わらずに、プラス側内部電極31(+)からマイナス側内部電極31(-)に向かって流れる微小電流Iを検出し、この微少電流Iの値の増減に基づいて、ピック14a及び14b上にウエハWが有るか無ないかを、判定器34によって判定する。この構成を有することで、光学式センサを用いることなく、ピック14a及び14bに、ウエハWが載置されているか否かを知ることができる。よって、光学式センサの場合には必要であった“窓”を、搬送室5や、真空処理ユニットの処理室のような真空チャンバに、取り付けずに済む。このため、半導体製造システムにかかるコストを削減することができる。
また、電流値を検出するようにしたので、光学式センサの場合にはあったウエハの裏面又は表面の光学的状態によっては検出不能となるような事情も解消することができる。
このように、この発明の一実施形態によれば、真空チャンバに窓を取り付けなくても、また、搬送体の裏面又は表面の光学的状態にも関わらずに、搬送体が搬送装置に受け渡されたか否かを検出することができる搬送装置を提供することができる。
また、一実施形態に係る搬送装置12では、ウエハWを、ピック14a及び14bにジョンセン-ラーベック効果を利用して静電吸着させるので、例えば、搬送装置12の搬送速度を上げても、ピック14a及び14bに載置されたウエハWがずれ難くなる、という副次的な利点も得ることができる。このため、上記一実施形態に係る搬送装置12は、スループットを向上させるために、搬送速度を向上させた搬送装置12への適用に有利である、という利点も得ることができる。
以上、この発明を一実施形態に従って説明したが、この発明は上記一実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々に変形することができる。また、この発明の実施形態は、上記一実施形態が唯一の実施形態でもない。
例えば、上記一実施形態においては、この発明を、搬送室5の内部に設けられた搬送装置12に適用した例を示したが、この発明は、搬入出室8内部に設けられた搬送装置16に適用することも可能である。
また、プラス側内部電極31(+)及びマイナス側内部電極31(-)の内部電極配置パターンの一例を図2に示したが、内部電極配置パターンは、図2に示したものに限られるものではなく、内部電極配置パターンは、様々に変更することができる。
その他、この発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形することができる。
その他、この発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形することができる。
Claims (4)
- 搬送体を搬送する搬送装置であって、
伸縮及び旋回可能に構成された回転・伸縮部と、
前記回転・伸縮部の先端に設けられ、前記搬送体が載置されるピックと、
前記ピック内に設けられた高電位側内部電極及び低電位側内部電極を含む、前記搬送体を前記ピックに静電吸着させるジョンセン-ラーベック型の静電吸着機構と、
前記ピック上に前記搬送体の有無に関わらずに、前記高電位側内部電極から前記低電位側内部電極に向かって流れる微小電流を検出し、前記微少電流の増減に基づいて、前記ピック上に前記搬送体が有るか無いかを判定する判定器と、
を具備する搬送装置。 - 前記微少電流を検出する検出器が、前記低電位側内部電極と負電源との間に接続されている請求項1に記載の搬送装置。
- 前記ピックの体積抵抗値が、109Ω・cm乃至1012Ω・cmである請求項1に記載の搬送装置。
- 前記判定器が、前記ピックが前記搬送体を取る前の電流値と取った状態での電流値とを比較する、及び前記ピックが前記搬送体を渡す前の電流値と渡した状態での電流値とを比較することで、前記ピック上に前記搬送体が有るか無いかを判定する請求項1に記載の搬送装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009224585A JP2011077127A (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | 搬送装置 |
JP2009-224585 | 2009-09-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2011040300A1 true WO2011040300A1 (ja) | 2011-04-07 |
Family
ID=43826124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2010/066382 WO2011040300A1 (ja) | 2009-09-29 | 2010-09-22 | 搬送装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011077127A (ja) |
WO (1) | WO2011040300A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5979545A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-08 | Toshiba Corp | 静電チャック装置 |
JPH11121599A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-04-30 | Nippon Steel Corp | 静電チャック基盤とその製造方法 |
JP2000114343A (ja) * | 1998-10-08 | 2000-04-21 | Hitachi Ltd | 基板処理方法および基板搬送装置 |
JP2001267400A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-28 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
-
2009
- 2009-09-29 JP JP2009224585A patent/JP2011077127A/ja active Pending
-
2010
- 2010-09-22 WO PCT/JP2010/066382 patent/WO2011040300A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5979545A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-08 | Toshiba Corp | 静電チャック装置 |
JPH11121599A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-04-30 | Nippon Steel Corp | 静電チャック基盤とその製造方法 |
JP2000114343A (ja) * | 1998-10-08 | 2000-04-21 | Hitachi Ltd | 基板処理方法および基板搬送装置 |
JP2001267400A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-28 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011077127A (ja) | 2011-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10490392B2 (en) | Focus ring replacement method and plasma processing system | |
JP6697984B2 (ja) | 基板処理方法及び基板処理システム | |
TWI728981B (zh) | 半導體製造裝置及基板運送方法 | |
JP5058836B2 (ja) | 処理装置、処理方法、被処理体の認識方法および記憶媒体 | |
JP6454201B2 (ja) | 基板搬送方法及び基板処理装置 | |
WO2007129558A1 (ja) | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 | |
WO2014077379A1 (ja) | 基板処理装置及び基板搬送方法 | |
JP4961893B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
WO2002007236A1 (fr) | Detecteur de deplacement et systeme de traitement | |
JP6063776B2 (ja) | 基板搬送経路の決定方法、基板搬送装置、基板処理装置及びプログラム | |
WO2011040300A1 (ja) | 搬送装置 | |
JP2011077288A (ja) | 搬送装置 | |
US8882429B2 (en) | Transfer device, processing system, control method of transfer device, and computer-readable storage medium | |
JP2004096089A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2012049306A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2007042929A (ja) | ロードロック装置とその方法及び半導体製造装置 | |
US20240128110A1 (en) | Method of controlling substrate transfer system | |
US20030075936A1 (en) | Wafer blade equipped with piezoelectric sensors | |
JP7425149B2 (ja) | プラズマ処理システム | |
TW202225710A (zh) | 執行裝置及執行方法 | |
WO2024101229A1 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
TW201909335A (zh) | 晶圓傳遞模組及傳遞晶圓的方法 | |
KR20120070788A (ko) | 기판 이송 장치 및 그 동작 방법 | |
KR20160149706A (ko) | 다중 기판 이송로봇 | |
TW202147376A (zh) | 具有自動化轉動式預先對準的邊緣環運送 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 10820419 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 10820419 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |