WO2011037159A1 - 波長変換粒子およびそれを用いた波長変換部材ならびに発光装置 - Google Patents

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light
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真治 柴本
山崎　圭一
俊平 藤井
智和 楠
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パナソニック電工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to wavelength conversion particles formed using phosphor particles, a wavelength conversion member using the same, and a light emitting device.
  • LED lamps using LED chips have been used in many fields such as signal lights, mobile phones, various types of lighting, in-vehicle displays, and various types of display devices.
  • a light emitting device that emits light of a color different from the emission color of the LED chip by combining the LED chip and phosphor particles that are excited by the light emitted from the LED chip and emit light having a longer wavelength than the LED chip.
  • Research and development are taking place at various locations.
  • this type of light-emitting device for example, there is a commercialization of a white light-emitting device (generally called a white LED) that obtains white light (white light emission spectrum) by combining an LED chip and a phosphor.
  • a white LED white light-emitting device
  • its application to liquid crystal display backlights, small strobes, etc. has become popular.
  • an LED chip that emits blue light and wavelength conversion particles formed using phosphor particles red phosphor particles, green phosphor particles
  • a translucent medium silicone resin, glass
  • the wavelength conversion member disclosed in the above document uses wavelength conversion particles in which phosphor particles (red phosphor particles, green phosphor particles) are covered with a light-transmitting film.
  • a material having a refractive index intermediate between the refractive index of the phosphor particles and the refractive index of the translucent medium is used.
  • the refractive index of the phosphor particles 171 is n 11
  • the refractive index of the translucent medium 173 is n 13
  • the refraction of the translucent film 172 is performed. If the rate is n 12 , then n 13 ⁇ n 12 ⁇ n 11 .
  • the refractive index changes stepwise in the normal direction of the surface of the phosphor particle 171.
  • a part of the excitation light from the LED chip is Fresnel reflected at the interface between the translucent medium 173 and the translucent film 172 and at the interface between the translucent film 172 and the phosphor particles 171.
  • the refractive index n 12 of the translucent film 172 is smaller than the refractive index n 11 of the phosphor particles 171.
  • an object of the present invention is to provide a wavelength conversion particle capable of further improving the incident efficiency of excitation light to the phosphor particles and further improving the extraction efficiency of converted light from the phosphor particles, and a wavelength using the wavelength conversion particle
  • the object is to provide a conversion member and a light emitting device.
  • the wavelength conversion particle of the present invention is formed using phosphor particles and absorbs incident excitation light and emits light having a longer wavelength than the excitation light.
  • the wavelength conversion particle includes a moth-eye structure having a fine uneven structure on the surface side of the phosphor particle, and the fine uneven structure is formed on the phosphor particle itself.
  • the moth-eye structure portion having the fine uneven structure is provided on the surface side of the phosphor particles, and the fine uneven structure is formed on the phosphor particles themselves, the phosphor particles are suppressed by suppressing the Fresnel reflection. It is possible to further improve the incident efficiency of the excitation light and the extraction efficiency of the converted light from the phosphor particles.
  • the wavelength conversion particles have a light-transmitting metal oxide layer formed on the surface side of the phosphor particles.
  • the metal oxide layer functions as a barrier layer that prevents external moisture from reaching the phosphor particles, moisture resistance can be improved (the fluorescence is affected by humidity). Therefore, the degree of freedom in selecting the material of the phosphor particles is increased.
  • the wavelength conversion member is a wavelength conversion particle that is formed using phosphor particles and absorbs incident excitation light and emits light having a longer wavelength than the excitation light.
  • a light-transmitting medium having a moth-eye structure portion having a fine uneven structure on the surface side thereof, wherein the wavelength conversion particles formed by forming the fine uneven structure on the phosphor particles themselves have a refractive index smaller than that of the phosphor particles.
  • An antireflection part comprising the moth-eye structure part and the translucent medium that has entered between the tapered fine protrusions of the moth-eye structure part on the surface side of the phosphor particles. It is equipped with.
  • an antireflection portion comprising the moth-eye structure portion and a translucent medium that has entered between the tapered fine protrusions of the moth-eye structure portion is provided.
  • the effective refractive index of the antireflection part in the thickness direction of the antireflection part is the refractive index of the phosphor particle and the transparent part. Since the refractive index changes continuously with the refractive index of the optical medium, the incident efficiency of the excitation light to the phosphor particles is further improved, and the conversion light extraction efficiency from the phosphor particles is further improved. Can be planned.
  • the wavelength conversion member is a wavelength conversion particle that is formed using phosphor particles and absorbs incident excitation light and emits light having a longer wavelength than the excitation light.
  • the formed wavelength conversion particles are dispersed in a translucent medium having a refractive index smaller than that of the phosphor particles and having substantially the same refractive index as that of the metal oxide layer.
  • an antireflection portion composed of the moth-eye structure and the metal oxide layer that has entered between the tapered fine protrusions of the moth-eye structure.
  • the antireflection portion composed of the moth-eye structure portion and the metal oxide layer that has entered between the tapered fine protrusions of the moth-eye structure portion.
  • Each of the fine projections of the moth-eye structure is formed on the phosphor particle itself, so that the effective refractive index of the antireflection part in the thickness direction of the antireflection part is the refractive index of the phosphor particle and the Since it continuously changes between the refractive index of the translucent medium, it is possible to further improve the incident efficiency of the excitation light to the phosphor particles and the extraction efficiency of the converted light from the phosphor particles.
  • the refractive index of the metal oxide layer is substantially the same as the refractive index of the translucent medium, the anti-reflection effect of the moth-eye structure portion is reduced while improving the moisture resistance. And can be suppressed It can suppress the reflection of the excitation light as well.
  • the translucent medium is preferably a silicone resin or glass.
  • the present invention it is possible to suppress the deterioration of the translucent medium due to the excitation light when general blue light or ultraviolet light is adopted as the excitation light of the phosphor particles.
  • the light emitting device includes an LED chip, and a color conversion member that converts a part of light emitted from the LED chip into light having a longer wavelength than the light and emits the light.
  • the wavelength conversion member is used as the color conversion member.
  • the wavelength conversion member is used as a color conversion member that converts and emits a part of the light emitted from the LED chip into light having a longer wavelength than the light
  • the color conversion member It is possible to further improve the incident efficiency of the excitation light to the phosphor particles and further improve the extraction efficiency of the converted light from the phosphor particles, thereby increasing the light output.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a light-emitting device using a wavelength conversion member according to Embodiment 1 of the present invention. It is principal part explanatory drawing of the wavelength conversion member of Embodiment 1 of this invention. It is principal part explanatory drawing of the wavelength conversion member of Embodiment 1 of this invention. It is principal part explanatory drawing of the wavelength conversion member of Embodiment 1 of this invention. It is principal part explanatory drawing of the wavelength conversion member of Embodiment 1 of this invention. It is a general
  • the light emitting device 1 in the present embodiment has a rectangular plate shape in which the LED chip 10 has conductor patterns 23 and 23 for supplying power to the LED chip 10 on one surface side, and the LED chip 10 is mounted on the one surface side. And a mounting board 20.
  • the light emitting device 1 also includes a dome-shaped optical member 60 made of a translucent material that controls the light distribution of the light emitted from the LED chip 10.
  • the optical member 60 is fixed to the one surface side of the mounting substrate 20 so that the LED chip 10 is accommodated between the optical member 60 and the mounting substrate 20.
  • the light emitting device 1 includes a plurality of (in this embodiment, two) bonding wires 14 made of fine metal wires (for example, gold fine wires, aluminum fine wires, etc.) electrically connected to the LED chip 10. Yes.
  • the light emitting device 1 includes a sealing portion 50 made of a translucent sealing material that is filled in a space surrounded by the optical member 60 and the mounting substrate 20 and seals the LED chip 10 and each bonding wire 14. ing.
  • the light emitting device 1 is excited by light (excitation light) emitted from the LED chip 10 and emits light having a wavelength longer than that of the excitation light (converted light composed of light having a color different from the emission color of the LED chip 10).
  • the phosphor particle 71 (refer FIG.
  • the wavelength conversion member 70 is formed in a dome shape, and is disposed on the one surface side of the mounting substrate 20 so as to surround the LED chip 10 and the like with the mounting substrate 20.
  • a gas layer (for example, an air layer) 80 is formed between the optical member 60 and the wavelength conversion member 70.
  • an annular dam portion 27 that dams the sealing resin overflowing from the space when the optical member 60 is fixed to the mounting substrate 20 protrudes. It is installed.
  • the LED chip 10 is a GaN-based blue LED chip that emits blue light, and uses an n-type SiC substrate having a lattice constant and a crystal structure close to GaN as compared to a sapphire substrate and having conductivity as a crystal growth substrate. ing.
  • the LED chip 10 is formed of a GaN-based compound semiconductor material on the main surface side of the SiC substrate, and a light emitting portion made of a laminated structure portion having a double hetero structure, for example, is grown by an epitaxial growth method (for example, MOVPE method).
  • MOVPE method epitaxial growth method
  • the LED chip 10 has an anode electrode (not shown) formed on one surface side (upper surface side in FIG.
  • the cathode electrode and the anode electrode are composed of a laminated film of a Ni film and an Au film.
  • the material for the cathode electrode and the anode electrode is not particularly limited as long as the material can provide good ohmic characteristics. For example, Al or the like may be employed.
  • the structure of the LED chip 10 is not particularly limited. For example, after the light emitting portion is epitaxially grown on the main surface side of the crystal growth substrate, the support substrate (for example, Si substrate) that supports the light emitting portion emits light. After fixing to the portion, a substrate obtained by removing the crystal growth substrate or the like may be used.
  • the mounting substrate 20 is made of a heat conductive material and has a rectangular plate-shaped heat transfer plate 21 on which the LED chip 10 is mounted, and a polyolefin-based fixing sheet 29 on one surface side (the upper surface side in FIG. 1A) of the heat transfer plate 21. It is comprised with the wiring board 22 which consists of a rectangular-plate-shaped flexible printed wiring board fixed through (refer FIG. 2).
  • the wiring board 22 which consists of a rectangular-plate-shaped flexible printed wiring board fixed through (refer FIG. 2).
  • a rectangular window hole 24 that exposes the mounting surface (a part of the one surface) of the LED chip 10 in the heat transfer plate 21 is formed at the center of the wiring substrate 22.
  • the LED chip 10 is mounted on the heat transfer plate 21 via a submount member 30 described later disposed inside the window hole 24. Therefore, the heat generated in the LED chip 10 is transferred to the submount member 30 and the heat transfer plate 21 without passing through the wiring board 22.
  • the above-mentioned wiring board 22 is provided with a pair of conductor patterns 23 and 23 for feeding power to the LED chip 10 on one surface side of an insulating base material 22a made of a polyimide film. Further, the wiring board 22 is laminated with a protective layer 26 made of a white resist (resin) covering the conductor patterns 23, 23 and the insulating base material 22a where the conductor patterns 23, 23 are not formed. . Therefore, in the light emitting device 1, the light emitted from the side surface of the LED chip 10 and incident on the surface of the protective layer 26 is reflected by the surface of the protective layer 26, so that the light emitted from the LED chip 10 is applied to the wiring substrate 22.
  • a white resist resin
  • each conductor pattern 23 and 23 is formed in the outer periphery shape a little smaller than half of the outer periphery shape of the insulating base material 22a.
  • glass cloth epoxy resin FR4, FR5
  • paper phenol or the like may be employed as a material of the insulating base material 22a.
  • the protective layer 26 is patterned so that two portions of the conductor patterns 23 and 23 are exposed in the vicinity of the window hole 24 of the wiring substrate 22 and one portion of the conductor patterns 23 and 23 is exposed in the peripheral portion of the wiring substrate 22.
  • two rectangular portions exposed in the vicinity of the window hole 24 of the wiring substrate 22 constitute a terminal portion 23 a to which the bonding wire 14 is connected, and the peripheral portion of the wiring substrate 22.
  • the circular part exposed in FIG. 3 constitutes the external connection electrode part 23b.
  • the conductor patterns 23 and 23 of the wiring board 22 are constituted by a laminated film of a Cu film, a Ni film, and an Au film.
  • the LED chip 10 is mounted on the heat transfer plate 21 via the above-described submount member 30 that relieves stress acting on the LED chip 10 due to a difference in linear expansion coefficient between the LED chip 10 and the heat transfer plate 21.
  • the submount member 30 is formed in a rectangular plate shape having a size larger than the chip size of the LED chip 10.
  • the submount member 30 has not only a function of relieving the stress but also a heat conduction function of transferring heat generated in the LED chip 10 to a range wider than the chip size of the LED chip 10 in the heat transfer plate 21. Yes. Therefore, in the light emitting device 1 according to the present embodiment, the stress acting on the LED chip 10 due to the difference in linear expansion coefficient between the LED chip 10 and the heat transfer plate 21 can be reduced, and the LED chip 10 Is mounted on the heat transfer plate 21 via the submount member 30, the heat generated in the LED chip 10 can be efficiently radiated via the submount member 30 and the heat transfer plate 21.
  • the cathode electrode is electrically connected to one conductor pattern 23 through an electrode pattern (not shown) provided on the surface of the submount member 30 on the LED chip 10 side and the bonding wire 14. It is connected.
  • the anode electrode is electrically connected to the other conductor pattern 23 via the bonding wire 14.
  • the LED chip 10 and the submount member 30 may be bonded using, for example, solder such as SnPb, AuSn, SnAgCu, or silver paste, but may be bonded using lead-free solder such as AuSn, SnAgCu. It is preferable.
  • the material of the submount member 30 is Cu and bonding is performed using AuSn
  • a pretreatment for forming a metal layer made of Au or Ag in advance on the bonding surface of the submount member 30 and the LED chip 10 is necessary. is there.
  • the submount member 30 and the heat transfer plate 21 are preferably joined using lead-free solder such as AuSn or SnAgCu, for example.
  • lead-free solder such as AuSn or SnAgCu
  • the material of the submount member 30 is not limited to AlN, and any material may be used as long as the coefficient of linear expansion is relatively close to 6H—SiC, which is the material for the crystal growth substrate, and the heat conductivity is relatively high.
  • SiC which is the material for the crystal growth substrate
  • the heat conductivity is relatively high.
  • composite SiC, Si, Cu, CuW or the like may be employed.
  • the surface area of the heat transfer plate 21 on the LED chip 10 side is equal to that of the LED chip 10 on the heat transfer plate 21 side. It is desirable that it is sufficiently larger than the surface area.
  • the thickness dimension of the submount member 30 is set so that the surface of the submount member 30 is farther from the heat transfer plate 21 than the surface of the protective layer 26 of the wiring board 22. is there. Therefore, in the light emitting device 1, the light emitted from the LED chip 10 to the side can be prevented from being absorbed by the wiring board 22 through the inner peripheral surface of the window hole 24 of the wiring board 22.
  • the reflective film may be formed of, for example, a laminated film of a Ni film and an Ag film.
  • the silicone resin is used as the sealing material that is the material of the sealing portion 50 described above, it is not limited to the silicone resin, and for example, glass or the like may be used.
  • a sealing material a resin / particle composite (nanocomposite) containing other metal components such as Ti, Zr, Al, Y, Ge, for example, metal oxide nanoparticles in addition to Si in a silicone resin ) Or a silicone resin hybrid material containing the above-mentioned metal component in the resin skeleton.
  • a silicone resin hybrid material in which a resin component such as olefin and a silicone resin component are combined may be used.
  • the glass of the sealing material a glass material whose refractive index and melting point are adjusted by adding a metal element such as Ti, Zr, Al, Y, or Ge may be used.
  • the optical member 60 is a molded product of a translucent material (for example, silicone resin, glass, etc.) and is formed in a dome shape.
  • a translucent material for example, silicone resin, glass, etc.
  • the optical member 60 is formed of a molded product of silicone resin, the refractive index difference and the linear expansion coefficient difference between the optical member 60 and the sealing portion 50 can be reduced.
  • the optical member 60 has a light emitting surface 60b formed in a convex curved surface shape that does not totally reflect the light incident from the light incident surface 60a at the boundary between the light emitting surface 60b and the gas layer 80, and the LED chip. 10 and the optical axis coincide with each other. Therefore, in the light emitting device 1, the light emitted from the LED chip 10 and incident on the light incident surface 60 a of the optical member 60 is not totally reflected at the boundary between the light emitting surface 60 b and the gas layer 80, and the wavelength conversion member 70. Can be easily reached, and the total luminous flux can be increased.
  • the optical member 60 is formed to have a uniform thickness along the normal direction regardless of the position.
  • the wavelength conversion member 70 is formed on a translucent medium (for example, silicone resin) 73 in which the wavelength conversion particles 7 formed using the phosphor particles 71 have a refractive index smaller than that of the phosphor particles 71 of the wavelength conversion particles 7. It is dispersed (the wavelength conversion particles 7 are scattered in the translucent medium 73), and red phosphor particles and green phosphor particles are employed as the phosphor particles 71. Therefore, the blue light emitted from the LED chip 10 and the light from each of the red phosphor particles and the green phosphor particles of the wavelength conversion member 70 are emitted through the light emitting surface (outer surface) 70b of the wavelength conversion member 70, White light can be obtained.
  • a translucent medium for example, silicone resin
  • yellow phosphor particles may be used instead of the red phosphor particles and the green phosphor particles.
  • green phosphor particles and orange phosphor particles may be used, or yellow-green phosphor particles and orange phosphor particles may be used.
  • an ultraviolet LED chip that emits ultraviolet light is used, and red phosphor particles, green phosphor particles, and blue phosphor particles are used as the phosphor particles 71. You may make it obtain white light by using.
  • the translucent medium 73 used as the material of the wavelength conversion member 70 is not limited to the silicone resin, and may be other resin (for example, epoxy resin) or glass, for example. However, by employing silicone resin or glass, it is possible to suppress the deterioration of the translucent medium 73 due to excitation light when general blue light or ultraviolet light is employed as excitation light.
  • the translucent medium 73 is not limited to a general silicone resin or glass, but in addition to Si, other metal components such as Ti, Zr, Al, Y, Ge, for example, metal oxide nanoparticles are included in the silicone resin.
  • a resin / particle composite (nanocomposite) to be contained or a silicone resin hybrid material in which the above metal components are mixed and bonded at a molecular level may be used.
  • a silicone resin hybrid material in which a resin component such as olefin and a silicone resin component are combined may be used.
  • an organic / inorganic hybrid material or nanocomposite material in which an organic component and an inorganic component are mixed and bonded at the nm level or molecular level may be used.
  • the glass used as the translucent medium 73 a glass material whose refractive index and melting point are adjusted by adding a metal element such as Ti, Zr, Al, Y, or Ge may be used.
  • the wavelength converting member 70 has a light incident surface (inner surface) 70 a formed along the light emitting surface 60 b of the optical member 60. Therefore, the distance between the light emitting surface 60b of the optical member 60 and the wavelength conversion member 70 in the normal direction is a substantially constant value regardless of the position of the light emitting surface 60b of the optical member 60.
  • the wavelength conversion member 70 is shape
  • the wavelength conversion member 70 may be fixed to the mounting substrate 20 with an end edge (periphery of the opening) on the mounting substrate 20 side using, for example, an adhesive (for example, silicone resin, epoxy resin, or the like).
  • the wavelength conversion member 70 of the present embodiment has a moth-eye structure portion 74 having a fine concavo-convex structure and a tapered shape of the moth-eye structure portion 74 on the surface side of the phosphor particles 71.
  • An antireflection portion 76 composed of a translucent medium 73 that has entered between the fine protrusions 75 is provided, and the fine concavo-convex structure of the moth-eye structure portion 74 is formed on the phosphor particles 71 themselves (that is, the moth-eye).
  • Each fine protrusion 75 of the cylindrical structure portion 74 is formed on the phosphor particle 71 itself).
  • the formation method is not particularly limited, but the formation method may be chemical etching, heat treatment, hydrothermal treatment, plasma etching, or the like. Processing. For example, by etching the surface of each phosphor particle 71 using an acid-based solution (for example, an aqueous solution of nitric acid, an aqueous solution of hydrofluoric acid, etc.), a large number of fine protrusions 75 are formed on each phosphor particle 71. Yes.
  • an acid-based solution for example, an aqueous solution of nitric acid, an aqueous solution of hydrofluoric acid, etc.
  • the shape and size of the fine protrusion 75 can be controlled by appropriately setting the type, concentration, temperature, etching time, and the like of the acid solution. Therefore, the shape of the fine protrusion 75 can be made, for example, a hemispherical shape as shown in FIG. 1B or a conical shape as shown in FIG. 4A described later. As for the size of the fine protrusions 75, the interval between the fine protrusions 75, the lateral width of the fine protrusions 75, and the protrusion dimension (height dimension) can be controlled.
  • the method of forming the moth-eye structure portion 74 having a fine concavo-convex structure on the surface of each phosphor particle 71 is not limited to the wet etching method using the above-described acid-based solution or the like.
  • heat treatment for example, heat treatment, hydrothermal treatment, ammonia gas Or a dry etching method such as plasma etching (plasma gas etching) or exposure to a gas such as hydrogen chloride gas.
  • plasma etching plasma etching
  • Ar ions are put on the surface of each phosphor particle 71 in a state where each phosphor particle 71 is suspended.
  • Sputtering may be performed by collision (that is, the surface of each phosphor particle 71 may be physically etched).
  • each phosphor particle 71 has a number of particles (average particle diameter) smaller than each phosphor particle 71 in advance as shown in FIG. 3A.
  • the fine particles 78 may be partially masked, and after the surfaces of the phosphor particles 71 are etched as shown in FIG. 3C, the fine particles 78 may be removed by washing or the like.
  • 3C shows phosphor particles 71 using plasma of reactive gas (for example, CF 4 gas, CH 4 gas, CF 6 gas, NH 3 gas, Cl 2 gas, H 2 gas, CO gas, etc.).
  • FIG. 3 shows an example of the shape of the moth-eye structure portion 74 formed on the surface of the phosphor particle 71 when reactive ion etching is performed. Moreover, FIG. 3B is explanatory drawing at the time of the start of reactive ion etching, and the arrow in FIG. 3B and 3C has shown the advancing direction of reactive ion typically.
  • the width can be 50 nm.
  • the distance between the centers of the adjacent fine particles 78 is, for example, 200 nm
  • an alcohol dispersion of the fine particles 78 composed of nanoparticles (monodispersed spherical alumina nanoparticles having an average particle diameter of 50 nm) and the phosphor particles.
  • 71 for example, phosphor particles having an average particle diameter of 15 ⁇ m and a composition of (Ba, Sr) 2 SiO 4 : Eu 2+
  • fine particles 78 adhere to the surface of the phosphor particles 71.
  • the amount of the fine particles 78 attached to the surface of the phosphor particles 71 can be changed, and the entire surface of the phosphor particles 71 is covered with the fine particles 78. From a state in which the surface of the phosphor particles 71 is masked by 100%, a state in which the surface of the phosphor particles 71 is not covered at all by the fine particles 78 (the surface of the phosphor particles 71 is masked by 0%) It becomes possible to control continuously until (status).
  • the average distance between the centers of the adjacent fine particles 78 is about 200 nm.
  • the protrusion size of the fine protrusions 75 and the interval (pitch) between the fine protrusions 75 in the moth-eye structure 74 are ⁇ / n 3 or less, where ⁇ is the wavelength of the excitation light and n 3 is the refractive index of the translucent medium 73 Must be set to Therefore, for example, as shown in FIG. 1B, the shape of the fine protrusion 75 in the moth-eye structure 74 is hemispherical, the excitation light is blue light, the wavelength ⁇ of the blue light is 480 nm, and the translucent medium 73 is silicone resin.
  • the refractive index n 3 is 1.4, it is necessary to set the protrusion dimension and interval of the fine protrusions 75 to 480 / 1.4 ⁇ 343 nm or less.
  • ⁇ 350 nm, it is necessary to set the protrusion size and interval of the fine protrusions 75 to 350 / 1.4 ⁇ 250 nm or less.
  • most of the fine protrusions 75 may be arranged at a pitch of 250 nm or less, for example, 100 nm to 20 nm.
  • the arithmetic average roughness Ra specified by JIS B 0601-2001 (ISO 4287-1997) is 171.5 nm or less, more preferably 125 nm.
  • the average length RSm of the contour curve element may be 171.5 nm or less, more preferably 125 nm or less.
  • the shape of the fine protrusions 75 in the moth-eye structure 74 is a cone
  • the excitation light is blue light
  • the wavelength ⁇ of the blue light is 480 nm
  • the translucent medium 73 is silicone resin.
  • the refractive index n 3 is 1.4
  • the interval between the fine protrusions 75 needs to be set to 480 / 1.4 ⁇ 343 nm or less.
  • ⁇ 350 nm
  • the interval between the fine protrusions 75 is 350/1. .4 ⁇ 250 nm or less must be set.
  • the moth-eye structure 74 in the antireflection part 76 on the surface side of the phosphor particles 71 has a fine concavo-convex structure in which conical fine protrusions 75 are arranged.
  • the refractive index of the translucent medium 73 entering between the fine protrusions 75 is n 3 and the refractive index of the phosphor particles 71 is n 1
  • the refractive index of the fine protrusions 75 is the refractive index of the phosphor particles 71.
  • the refractive index n 3 of the refractive index n 1 and the transparent medium 73 of the phosphor particles 71, as shown in Figure 4B in the thickness direction of the antireflective portion 76 Change continuously between.
  • the moth-eye structure 74 having the fine concavo-convex structure as shown in FIG. 4A alone is formed on the surface side of the phosphor particles 71 (that is, substantially all the fine protrusions 75 have a cone shape).
  • the wavelength conversion member 70 of the present embodiment has a fine concavo-convex structure in which tapered fine protrusions 75 are mostly arranged as shown in FIGS. 1B and 1C.
  • the effective refractive index of the antireflection portion 76 is such that the refractive index n 1 of the phosphor particles 71 and the refraction of the translucent medium 73 in the thickness direction of the antireflection portion 76. This is effective because it changes continuously between the rate n 3 .
  • phosphor particles having a composition of CaAlSiN 3 : Eu 2+ , a refractive index of 2.0, and a center particle diameter d 50 of 10 ⁇ m are used as red phosphor particles.
  • phosphor particles having a composition of CaSc 2 O 4 : Ce 3+ , a refractive index of 1.9, and a center particle diameter d 50 of 8 ⁇ m are used as red phosphor particles.
  • the composition is not limited to these, and examples of red phosphor particles include (Ca, Sr) AlSiN 3 : Eu 2+ , CaS: Eu 2+ , (Ca, Sr) 2 Si 5.
  • N 8 Eu 2+ or the like may be used.
  • the green phosphor particles include Ca 3 Sc 2 Si 3 O 12 : Ce 3+ , (Ca, Sr, Ba) Al 2 O 4 : Eu 2+ , SrGa 2 S 4 : Eu 2+, etc. May be used.
  • yellow phosphor particles are employed as the phosphor particles 71, for example, the composition is Y 3 Al 5 O 12 : Ce 3+ , (Ca, Sr, Ba, Zn) 2 SiO 4 : Eu 2+. Etc. may be used.
  • the composition is (Ba, Sr) 2 SiO 4 : Eu 2+, etc., as the yellow-green phosphor particles. May be used.
  • the orange phosphor particles those having a composition such as Sr 3 SiO 5 : Eu 2+ , Ca 0.7 Sr 0.3 AlSiN 3 : Eu 2+ may be used.
  • the phosphor particles 71 having a larger center particle size d 50 have a smaller defect density and less energy loss, resulting in higher light emission efficiency. From the viewpoint of light emission efficiency, the phosphor particles 71 should have a center particle size d 50 of 5 ⁇ m or more. It is preferable to adopt.
  • the wavelength conversion particle 7 of the wavelength conversion member 70 of the present embodiment described above is formed using the phosphor particles 71 and absorbs incident excitation light and emits light having a longer wavelength than the excitation light.
  • a moth-eye structure 74 having a fine concavo-convex structure is provided on the surface side of the phosphor particle 71, and the fine concavo-convex structure is formed on the phosphor particle 71 itself. Therefore, by further suppressing the Fresnel reflection, it is possible to further improve the incident efficiency of the excitation light to the phosphor particles 71 and further improve the extraction efficiency of the converted light from the phosphor particles 71.
  • the wavelength conversion member 70 of the present embodiment is obtained by dispersing the above-described wavelength conversion particles 7 in a translucent medium 73 having a refractive index smaller than that of the phosphor particles 71 of the wavelength conversion particles 7.
  • an antireflection portion 76 composed of a moth-eye structure portion 74 and a translucent medium 73 that has entered between the tapered fine protrusions 75 of the moth-eye structure portion 74 is provided.
  • the wavelength conversion member 70 has an effective refractive index of the antireflection portion 76 in the thickness direction of the antireflection portion 76 (the direction perpendicular to the envelope of the numerous fine protrusions 75 and the vertical direction in FIG. 1C).
  • the light emitting device 1 of the present embodiment uses the above-described wavelength conversion member 70 as a color conversion member that converts and emits a part of light emitted from the LED chip 10 into light having a longer wavelength than the light. Yes.
  • the wavelength conversion member 70 As a result, it is possible to further improve the incident efficiency of the excitation light to the phosphor particles 71 in the color conversion member and further improve the extraction efficiency of the converted light from the phosphor particles 71, and to improve the light output by improving the luminous flux. High output can be achieved.
  • Example 1 a blue LED chip having an emission peak wavelength of 460 nm is employed as the LED chip 10 in the light emitting device 1 of the first embodiment. Further, regarding the wavelength conversion member 70, a silicone resin having a refractive index of 1.4 is employed as the translucent medium 73. With respect to the phosphor particles 71, phosphor particles having a composition of CaSc 2 O 4 : Ce 3+ , a refractive index of 1.9 and a center particle diameter d 50 of 8 ⁇ m are used as green phosphor particles. Further, phosphor particles having a composition of CaAlSiN 3 : Eu 2+ , a refractive index of 2.0, and a center particle diameter d 50 of 10 ⁇ m are employed as red phosphor particles.
  • a predetermined amount of the phosphor particles 71 (a predetermined amount of green fluorescence) is obtained in pure water for each of the green phosphor particles and the red phosphor particles. Body particles or a predetermined amount of orange phosphor particles) is dispersed. Next, by filtering and washing the slurry obtained by mixing and stirring nitric acid, the fine uneven structure having an arithmetic average roughness Ra of 150 nm and an average length RSm of the contour curve element of 150 nm on the surface side of the phosphor particles 71 is obtained.
  • the wavelength conversion member 70 was formed by dispersing a predetermined amount of the wavelength conversion particle 7 in a silicone resin having a refractive index of 1.4 and forming it into a dome shape. Thereafter, the light emitting device 1 was assembled. Further, as Comparative Example 1, a light emitting device was manufactured for the phosphor particle 71 of Example 1 in which the moth-eye structure portion 74 was not formed.
  • Example 1 The reliability acceleration test was done on the test conditions of temperature 85 degreeC, relative humidity 85% RH, and intermittent electricity supply (30-minute lighting, 30-minute light-off cycle). Table 1 below shows the results of measuring the total luminous flux before the test and the total luminous flux after 1000 hours had elapsed from the start of the test. In Table 1, relative values normalized with the luminous flux before the test of Comparative Example 1 as 100 are shown.
  • the light output can be increased, but the luminous flux after 1000 hours has elapsed since the start of the reliability acceleration test has decreased from the start of the test. This is considered to be because the phosphor particles 71 of the wavelength conversion particles 7 in the wavelength conversion member 70 absorbed moisture from the outside and the characteristics of the phosphor particles 7 were deteriorated.
  • the basic configuration of the light emitting device 1 of the present embodiment shown in FIG. 5A is the same as that of the first embodiment.
  • the wavelength conversion member 70 as shown to FIG. 5B, 5C, and 5D, in the wavelength conversion particle 7, the translucent metal oxide is formed in the surface side of the fluorescent substance particle 71 in which the moth-eye-like structure part 74 was formed. It is characterized in that the layer 77 is formed.
  • symbol is attached
  • Material of metal oxide layer 77 is preferably a material having a refractive index n 3 and substantially the same refractive index as the transparent medium 73, according to the refractive index n 3 of the transparent medium 73, Si, What is necessary is just to select suitably from the metal oxide which contains at least 1 metal selected from the group of Ti, Al, Zr, Ge, and Y as a structural element.
  • the refractive index of SiO 2 is 1.4 to 1.5
  • the refractive index of TiO 2 is 2.3 to 2.55
  • the refractive index of Al 2 O 3 is 1.63
  • the refractive index of ZrO 2 is 2.
  • the refractive index of GeO 2 is 1.99
  • the refractive index of Y 2 O 3 is 1.87.
  • the translucent medium 73 when a silicone resin or glass is employed as the translucent medium 73, for example, SiO 2 may be employed as the material of the metal oxide layer 77.
  • the thickness of the metal oxide layer 77 is set in the range of 100 nm to 150 nm. However, this value is an example and is not particularly limited.
  • a metal such as Ti, Zr, Al, Y, Ge, etc. in the silicone resin as the translucent medium 73.
  • a resin / particle composite (nanocomposite) containing components such as metal oxide nanoparticles a silicone resin hybrid material in which the above metal components are mixed and bonded in a silicone resin at the molecular level, glass, etc. are adopted. Good. Further, when ZrO 2 , GeO 2, or TiO 2 is adopted as the material of the metal oxide layer 77, glass may be adopted as the material of the translucent medium 73.
  • the surface of the phosphor particles 71 as shown in FIG. 6A is dry-etched using a wet etching method using the acid-based solution described in the first embodiment or plasma etching. Etch by the method. Thereby, a moth-eye structure portion 74 having a fine concavo-convex structure constituted by a large number of fine protrusions 75 is formed on the surface side of the phosphor particles 71 (see FIG. 6B). Thereafter, a metal oxide layer 77 is formed on the surface side of the phosphor particles 71 by, for example, a sol-gel method to obtain the wavelength conversion particles 7 (see FIG. 6C).
  • a predetermined amount of the wavelength converting particle 7 is made of a material of the translucent medium 73 (for example, a silicone resin, glass, an organic / inorganic hybrid material in which an organic component and an inorganic component are mixed and bonded at the nm level or the molecular level, etc. )
  • a material of the translucent medium 73 for example, a silicone resin, glass, an organic / inorganic hybrid material in which an organic component and an inorganic component are mixed and bonded at the nm level or the molecular level, etc.
  • the method for forming the metal oxide layer 77 is not limited to the sol-gel method, and for example, a plasma deposition method may be used. In order to obtain a denser metal oxide layer 77, heat treatment may be performed as necessary.
  • the refractive index of the phosphor particles 71 is n 1
  • the refractive index of the translucent medium 73 is n 3
  • the refractive index of the metal oxide layer 77 is n 4
  • antireflection is performed.
  • the effective refractive index of the portion 76 is the refractive index n of the phosphor particles 71 as shown in FIG. 5D in the thickness direction of the antireflection portion 76 (the direction perpendicular to the envelope of the fine protrusion 75 and the vertical direction in FIG. 5C). 1 and the refractive index n 4 of the metal oxide layer 77 continuously change.
  • the effective refractive index of the antireflection portion 76 is the phosphor particle in the thickness direction of the antireflection portion 76. continuously varies between the refractive index n 3 of the refractive index n 1 and the transparent medium 73 of 71.
  • the refractive index n 4 of the metal oxide layer 77 is preferably substantially the same as the refractive index n 3 of the translucent medium 73, and more preferably the same.
  • the refractive index n 4 of the metal oxide layer 77 as substantially equal to the refractive index n 3 of the transparent medium 73, in FIG. 5D, with respect to the refractive index n 4 of the metal oxide layer 77, Toru
  • the upper limit value of the refractive index n 4 regarded as substantially the same as the refractive index n 3 of the optical medium 73 is shown as n 4max and the lower limit value is shown as n 4min .
  • the refractive index n 3 of the translucent medium 73 and the metal refractive index difference between the refractive index n 4 of the oxide layer 77 ratio to the refractive index n 3 of the transparent medium 73 of ((
  • a translucent metal oxide layer 77 is formed on the surface side of the phosphor particle 71. Therefore, the metal oxide layer 77 functions as a barrier layer that prevents moisture from the outside from reaching the phosphor particles 71 and can improve moisture resistance (phosphor particles 71 due to the influence of humidity). Can be prevented from deteriorating). As a result, the degree of freedom in selecting the material of the phosphor particles 71 is increased.
  • the wavelength conversion particles 7 are dispersed in the translucent medium 73 having a refractive index smaller than that of the phosphor particles 71 and having substantially the same refractive index as that of the metal oxide layer 77. Further, an antireflection portion 76 composed of a moth-eye structure portion 74 and a metal oxide layer 77 that has entered between the tapered fine protrusions 75 of the moth-eye structure portion 74 is provided on the surface side of the phosphor particles 71. ing.
  • the wavelength conversion member 70 of this embodiment the refractive index n 3 of the refractive index n 1 and the transparent medium 73 in the effective refractive index of the antireflection portion 76 in the thickness direction of the anti-reflection portion 76 phosphor particles 71 Therefore, it is possible to further improve the incident efficiency of the excitation light to the phosphor particles 71 and the extraction efficiency of the converted light from the phosphor particles 71.
  • the refractive index n 4 of the metal oxide layer 77 is substantially the same as the refractive index n 3 of the translucent medium 73, so that the moth-eye structure 74 is improved while improving the moisture resistance. It is possible to suppress a decrease in the antireflection effect of the light and to suppress reflection of excitation light.
  • the light emitting device 1 of the present embodiment also has the above-described wavelength as a color conversion member that converts and emits a part of light emitted from the LED chip 10 into light having a longer wavelength than the light, as in the first embodiment.
  • the conversion member 70 is used. As a result, it is possible to further improve the incident efficiency of the excitation light to the phosphor particles 71 in the color conversion member and further improve the extraction efficiency of the converted light from the phosphor particles 71, thereby increasing the light output. I can plan.
  • a blue LED chip having an emission peak wavelength of 460 nm is employed as the LED chip 10.
  • a silicone resin having a refractive index of 1.4 is employed as the translucent medium 73.
  • the phosphor particles 71 phosphor particles having a composition of CaSc 2 O 4 : Ce 3+ , a refractive index of 1.9, and a center particle diameter d 50 of 8 ⁇ m are adopted as green phosphor particles.
  • the red phosphor particles phosphor particles having a composition of CaAlSiN 3 : Eu 2+ , a refractive index of 2.0, and a center particle diameter d 50 of 10 ⁇ m are employed.
  • the wavelength conversion particle 7 when the wavelength conversion member 70 is manufactured, first, for each of the green phosphor particles and the red phosphor particles, a predetermined amount of the phosphor particles 71 (a predetermined amount of the phosphor particles 71 in pure water). Green phosphor particles or a predetermined amount of orange phosphor particles) are dispersed. Next, by filtering and washing the slurry obtained by mixing and stirring nitric acid, the fine uneven structure having an arithmetic average roughness Ra of 150 nm and an average length RSm of the contour curve element of 150 nm on the surface side of the phosphor particles 71 is obtained. A moth-eye structure 74 having the same was formed.
  • a predetermined amount of phosphor particles 71 predetermined amount of green phosphor particles in isopropanol for each of the green phosphor particles with the moth-eye structure portion 74 and the red phosphor particles with the moth-eye structure portion 74 formed.
  • Example 2 is the same as Example 1 except that the metal oxide layer 77 is provided.
  • Example 2 demonstrated above, the reliability acceleration test was done on the test conditions of temperature 85 degreeC, relative humidity 85% RH, and intermittent electricity supply (30-minute lighting, 30-minute light-off cycle).
  • the results of measuring the total luminous flux before the test and the total luminous flux after 1000 hours from the start of the test are shown in Table 2 below together with the results of Example 1 and Comparative Example 1 described above.
  • Table 2 relative values normalized with the luminous flux before the test of Comparative Example 1 described above as 100 are shown.
  • Example 2 From Table 2, in the light emitting device 1 of Example 2, the luminous flux before the start of the test is higher than that of Comparative Example 1 as in Example 1. In addition, the degradation of the luminous flux after 1000 hours from the start of the test is less than in Example 1, and it can be seen that higher output and improved moisture resistance can be achieved. That is, from the comparison between Example 2 and Example 1, the moisture resistance is improved in Example 2 including the metal oxide layer 77 compared to Example 1 not including the metal oxide layer 77. I understand that.
  • the structure of the light emitting device 1 to which the wavelength conversion member 70 is applied is not limited to the structure of each of the above embodiments and the above examples, and the shape of the wavelength conversion member 70 is not limited to a dome shape, for example, a sheet shape. The shape may be acceptable.

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Abstract

　波長変換部材７０の波長変換粒子７は、蛍光体粒子７１の表面側に微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部７４を備え、当該微細凹凸構造が蛍光体粒子７１自体に形成されている。波長変換部材７０は、波長変換粒子７が当該波長変換粒子７の蛍光体粒子７１よりも屈折率が小さな透光性媒体７３に分散されてなり、蛍光体粒子７１の表面側に、モスアイ状構造部７４とモスアイ状構造部７４の先細り状の微細突起７５間に入り込んだ透光性媒体７３とで構成される反射防止部７６を備えている。発光装置１は、ＬＥＤチップ１０から放射される光の一部を当該光よりも長波長の光に変換して放射する色変換部材として波長変換部材７０を用いている。

Description

波長変換粒子およびそれを用いた波長変換部材ならびに発光装置
　本発明は、蛍光体粒子を用いて形成された波長変換粒子およびそれを用いた波長変換部材ならびに発光装置に関するものである。
　従来から、ＬＥＤチップを用いたＬＥＤランプは、信号灯、携帯電話機、各種の電飾、車載用表示器、各種の表示装置など、多くの分野に利用されている。また、ＬＥＤチップとＬＥＤチップから放射された光によって励起されてＬＥＤチップよりも長波長の光を放射する蛍光体粒子とを組み合わせてＬＥＤチップの発光色とは異なる色合いの光を出す発光装置の研究開発が各所で行われている。この種の発光装置としては、例えば、ＬＥＤチップと蛍光体とを組み合わせて白色の光（白色光の発光スペクトル）を得る白色発光装置（一般的に白色ＬＥＤと呼ばれている）の商品化がなされており、液晶表示器のバックライト、小型ストロボなどへの応用が盛んになってきている。
　また、最近の白色ＬＥＤの高出力化に伴い、白色ＬＥＤを照明用途に展開する研究開発が盛んになってきており、長寿命・水銀フリーといった長所を活かすことにより、環境負荷の小さい蛍光灯代替光源として期待されている。
　上述の白色ＬＥＤとしては、例えば、青色光を放射するＬＥＤチップと、蛍光体粒子（赤色蛍光体粒子、緑色蛍光体粒子）を用いて形成した波長変換粒子を透光性媒体（シリコーン樹脂、ガラスなど）に分散させた波長変換部材（色変換部材）とを組み合わせた発光装置がある（例えば、日本国特許公開２００７－３２４４７５号公報参照）。
　ここで、上記文献に開示された波長変換部材は、蛍光体粒子（赤色蛍光体粒子、緑色蛍光体粒子）が透光性被膜で覆われた波長変換粒子を用いており、透光性被膜の材料として、蛍光体粒子の屈折率と透光性媒体の屈折率との中間の屈折率のものを用いている。しかして、この波長変換部材では、ＬＥＤチップから放射される光が蛍光体粒子内へ入射する効率（蛍光体粒子への励起光の入射効率）および蛍光体粒子からの変換光の取り出し効率を向上できる。
　しかしながら、上記文献に開示された波長変換部材では、図８Ａに示すように、蛍光体粒子１７１の屈折率をｎ11、透光性媒体１７３の屈折率をｎ13、透光性被膜１７２の屈折率をｎ12とすると、ｎ13＜ｎ12＜ｎ11である。そして、図８Ｂに示すように蛍光体粒子１７１の表面の法線方向において屈折率が段階的に変化している。この波長変換部材では、透光性媒体１７３と透光性被膜１７２との界面、透光性被膜１７２と蛍光体粒子１７１との界面それぞれでＬＥＤチップからの励起光の一部はフレネル反射する。そのため、蛍光体粒子１７１への励起光の入射効率のより一層の向上が望まれている。また、上述の波長変換部材では、蛍光体粒子１７１の屈折率ｎ11に比べて透光性被膜１７２の屈折率ｎ12が小さくなっている。その結果、蛍光体粒子１７１と透光性被膜１７２との界面で蛍光体粒子１７１からの変換光が全反射される全反射角が存在するので、蛍光体粒子１７１からの変換光の取り出し効率のより一層の向上が望まれている。
　そこで、本発明の目的は、蛍光体粒子への励起光の入射効率のより一層の向上および蛍光体粒子からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れる波長変換粒子およびそれを用いた波長変換部材ならびに発光装置を提供することにある。
　本発明の波長変換粒子は、蛍光体粒子を用いて形成され入射した励起光を吸収して励起光よりも長波長の光を放射する。本発明の第１の特徴において、波長変換粒子は、蛍光体粒子の表面側に微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部を備え、当該微細凹凸構造が蛍光体粒子自体に形成されてなる。
　この発明によれば、蛍光体粒子の表面側に微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部を備え、当該微細凹凸構造が蛍光体粒子自体に形成されているので、フレネル反射の抑制によって蛍光体粒子への励起光の入射効率のより一層の向上および蛍光体粒子からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れる。
　一実施形態において、波長変換粒子は、前記蛍光体粒子の前記表面側に、透光性の金属酸化物層が形成されてなることが好ましい。
　この発明によれば、金属酸化物層が、外部からの水分が前記蛍光体粒子へ到達するのを阻止するバリア層として機能するので、耐湿性を向上させることができる（湿度の影響で前記蛍光体粒子の特性が劣化するのを抑制することができる）から、前記蛍光体粒子の材料の選択の自由度が高くなる。
　本発明の第２の特徴において、波長変換部材は、蛍光体粒子を用いて形成され入射した励起光を吸収して励起光よりも長波長の光を放射する波長変換粒子であり、蛍光体粒子の表面側に微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部を備え、当該微細凹凸構造が蛍光体粒子自体に形成されてなる前記波長変換粒子が、前記蛍光体粒子よりも屈折率が小さな透光性媒体に分散されてなり、前記蛍光体粒子の前記表面側に、前記モスアイ状構造部と前記モスアイ状構造部の先細り状の微細突起間に入り込んだ前記透光性媒体とで構成される反射防止部を備えてなる。
　この発明によれば、前記蛍光体粒子の表面側に、前記モスアイ状構造部と前記モスアイ状構造部の先細り状の微細突起間に入り込んだ透光性媒体とで構成される反射防止部を備え、前記モスアイ状構造部の各微細突起が、蛍光体粒子自体に形成されているので、前記反射防止部の厚み方向において前記反射防止部の有効屈折率が前記蛍光体粒子の屈折率と前記透光性媒体の屈折率との間で連続的に変化するから、前記蛍光体粒子への励起光の入射効率のより一層の向上および前記蛍光体粒子からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れる。
　本発明の第３の特徴において、波長変換部材は、蛍光体粒子を用いて形成され入射した励起光を吸収して励起光よりも長波長の光を放射する波長変換粒子であり、蛍光体粒子の表面側に微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部を備え、当該微細凹凸構造が蛍光体粒子自体に形成されてなり、前記蛍光体粒子の前記表面側に、透光性の金属酸化物層が形成されてなる前記波長変換粒子が、前記蛍光体粒子よりも屈折率が小さく、且つ前記金属酸化物層と略同一の屈折率を有する透光性媒体に分散されてなり、前記蛍光体粒子の表面側に、前記モスアイ状構造部と前記モスアイ状構造部の先細り状の微細突起間に入り込んだ前記金属酸化物層とで構成される反射防止部を備える。
　この発明によれば、前記蛍光体粒子の表面側に、前記モスアイ状構造部と前記モスアイ状構造部の先細り状の微細突起間に入り込んだ前記金属酸化物層とで構成される反射防止部を備え、前記モスアイ状構造部の各微細突起が、蛍光体粒子自体に形成されているので、前記反射防止部の厚み方向において前記反射防止部の有効屈折率が前記蛍光体粒子の屈折率と前記透光性媒体の屈折率との間で連続的に変化するから、前記蛍光体粒子への励起光の入射効率のより一層の向上および前記蛍光体粒子からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れ、しかも、前記金属酸化物層の屈折率が前記透光性媒体の屈折率と略同一であることにより、耐湿性を高めながらも、前記モスアイ状構造部の反射防止効果の低下を抑制することができるとともに励起光の反射を抑制できる。
　一実施形態において、前記透光性媒体は、シリコーン樹脂もしくはガラスであることが好ましい。
　この発明によれば、前記蛍光体粒子の励起光として一般的な青色光や紫外光を採用した場合に前記透光性媒体が励起光により劣化するのを抑制することができる。
　本発明の第４の特徴において、発光装置は、ＬＥＤチップと、ＬＥＤチップから放射される光の一部を当該光よりも長波長の光に変換して放射する色変換部材とを備え、当該色変換部材として前記波長変換部材を用いてなる。
　この発明によれば、ＬＥＤチップから放射される光の一部を当該光よりも長波長の光に変換して放射する色変換部材として前記波長変換部材を用いているので、色変換部材における前記蛍光体粒子への励起光の入射効率のより一層の向上および前記蛍光体粒子からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れ、光出力の高出力化を図れる。
　本発明の好ましい実施形態をさらに詳細に記述する。本発明の他の特徴および利点は、以下の詳細な記述および添付図面に関連して一層良く理解されるものである。
本発明の実施形態１を示し、波長変換部材を用いた発光装置の概略断面図である。 本発明の実施形態１の波長変換部材の要部説明図である。 本発明の実施形態１の波長変換部材の要部説明図である。 本発明の実施形態１の波長変換部材の要部説明図である。 本発明の実施形態１の発光装置の概略分解斜視図である。 本発明の実施形態１の波長変換粒子の製造方法の説明図である。 本発明の実施形態１の波長変換粒子の製造方法の説明図である。 本発明の実施形態１の波長変換粒子の製造方法の説明図である。 本発明の実施形態１の理想的な波長変換部材の要部説明図である。 本発明の実施形態１の理想的な波長変換部材の要部説明図である。 本発明の実施形態２を示し、波長変換部材を用いた発光装置の概略断面図である。 本発明の実施形態２の波長変換部材の要部説明図である。 本発明の実施形態２の波長変換部材の要部説明図である。 本発明の実施形態２の波長変換部材の要部説明図である。 本発明の実施形態２の波長変換粒子の製造方法の説明図である。 本発明の実施形態２の波長変換粒子の製造方法の説明図である。 本発明の実施形態２の波長変換粒子の製造方法の説明図である。 本発明の実施形態２の波長変換部材の要部説明図である。 従来例を示す波長変換部材の要部説明図である。 従来例を示す波長変換部材の要部説明図である。
　（実施形態１）
　本実施形態では、図１Ａおよび図２に示すようにＬＥＤチップ１０と波長変換部材７０とを備えた発光装置１について説明した後で、蛍光体粒子７１を用いて形成された波長変換粒子７およびそれを用いた波長変換部材７０について説明する。
　本実施形態における発光装置１は、ＬＥＤチップ１０と、一表面側にＬＥＤチップ１０への給電用の導体パターン２３，２３を有しＬＥＤチップ１０が上記一表面側に実装された矩形板状の実装基板２０とを備えている。また、発光装置１は、ＬＥＤチップ１０から放射された光の配光を制御する透光性材料からなるドーム状の光学部材６０を備えている。この光学部材６０は、実装基板２０との間にＬＥＤチップ１０を収納する形で実装基板２０の上記一表面側に固着されている。また、発光装置１は、ＬＥＤチップ１０に電気的に接続された金属細線（例えば、金細線、アルミニウム細線など）からなる複数本（本実施形態では、２本）のボンディングワイヤ１４を有している。また、発光装置１は、光学部材６０と実装基板２０とで囲まれた空間に充実されＬＥＤチップ１０および各ボンディングワイヤ１４を封止した透光性の封止材料からなる封止部５０を備えている。さらに、発光装置１は、ＬＥＤチップ１０から放射された光（励起光）によって励起されて励起光よりも長波長の光（ＬＥＤチップ１０の発光色とは異なる色の光からなる変換光）を放射する蛍光体粒子７１（図１Ｂ参照）が透光性媒体７３（図１Ｂ参照）に分散された波長変換部材（色変換部材）７０を備えている。この波長変換部材７０は、ドーム状に形成されており、実装基板２０の上記一表面側において実装基板２０との間にＬＥＤチップ１０などを囲む形で配設される。ここで、光学部材６０と波長変換部材７０との間に気体層（例えば、空気層など）８０が形成されている。ここにおいて、実装基板２０の上記一表面において光学部材６０の外側には、光学部材６０を実装基板２０に固着する際に上記空間から溢れ出た封止樹脂を堰き止める環状の堰部２７が突設されている。
　ＬＥＤチップ１０は、青色光を放射するＧａＮ系の青色ＬＥＤチップであり、結晶成長用基板としてサファイア基板に比べて格子定数や結晶構造がＧａＮに近く且つ導電性を有するｎ形のＳｉＣ基板を用いている。そして、このＬＥＤチップ１０は、ＳｉＣ基板の主表面側にＧａＮ系化合物半導体材料により形成されて例えばダブルへテロ構造を有する積層構造部からなる発光部がエピタキシャル成長法（例えば、ＭＯＶＰＥ法など）により成長されている。ここで、ＬＥＤチップ１０は、一表面側（図１Ａにおける上面側）にアノード電極（図示せず）が形成され、他表面側（図１Ａにおける下面側）にカソード電極（図示せず）が形成されている。上記カソード電極および上記アノード電極は、Ｎｉ膜とＡｕ膜との積層膜により構成してある。上記カソード電極および上記アノード電極の材料は、特に限定するものではなく、良好なオーミック特性が得られる材料であればよく、例えば、Ａｌなどを採用してもよい。また、ＬＥＤチップ１０の構造は特に限定するものではなく、例えば、結晶成長用基板の主表面側に発光部などをエピタキシャル成長した後に、発光部を支持する支持基板（例えば、Ｓｉ基板など）を発光部に固着してから、結晶成長用基板などを除去したものを用いてもよい。
　実装基板２０は、熱伝導性材料からなりＬＥＤチップ１０が搭載される矩形板状の伝熱板２１と、伝熱板２１の一面側（図１Ａにおける上面側）に例えばポリオレフィン系の固着シート２９（図２参照）を介して固着された矩形板状のフレキシブルプリント配線板からなる配線基板２２とで構成されている。この実装基板２０は、配線基板２２の中央部に、伝熱板２１におけるＬＥＤチップ１０の実装面（上記一面の一部）を露出させる矩形状の窓孔２４が形成されている。そして、実装基板２０は、ＬＥＤチップ１０が、窓孔２４の内側に配置された後述のサブマウント部材３０を介して伝熱板２１に搭載されている。したがって、ＬＥＤチップ１０で発生した熱が配線基板２２を介さずにサブマウント部材３０および伝熱板２１に伝熱されるようになっている。
　上述の配線基板２２は、ポリイミドフィルムからなる絶縁性基材２２ａの一表面側に、ＬＥＤチップ１０への給電用の一対の導体パターン２３，２３が設けられている。さらに、配線基板２２は、各導体パターン２３，２３および絶縁性基材２２ａにおいて導体パターン２３，２３が形成されていない部位を覆う白色系のレジスト（樹脂）からなる保護層２６が積層されている。したがって、発光装置１では、ＬＥＤチップ１０の側面から放射され保護層２６の表面に入射した光が、保護層２６の表面で反射されるので、ＬＥＤチップ１０から放射された光が配線基板２２に吸収されるのを防止することができ、外部への光取り出し効率の向上による光出力の向上を図れる。なお、各導体パターン２３，２３は、絶縁性基材２２ａの外周形状の半分よりもやや小さな外周形状に形成されている。また、絶縁性基材２２ａの材料としては、ガラス布エポキシ樹脂（ＦＲ４、ＦＲ５）、紙フェノールなどを採用してもよい。
　保護層２６は、配線基板２２の窓孔２４の近傍において各導体パターン２３，２３の２箇所が露出し、配線基板２２の周部において各導体パターン２３，２３の１箇所が露出するようにパターニングされている。ここで、各導体パターン２３，２３は、配線基板２２の窓孔２４近傍において露出した２つの矩形状の部位が、ボンディングワイヤ１４が接続される端子部２３ａを構成し、配線基板２２の周部において露出した円形状の部位が、外部接続用電極部２３ｂを構成する。なお、配線基板２２の導体パターン２３，２３は、Ｃｕ膜とＮｉ膜とＡｕ膜との積層膜により構成されている。
　ところで、ＬＥＤチップ１０は、ＬＥＤチップ１０と伝熱板２１との線膨張率の差に起因してＬＥＤチップ１０に働く応力を緩和する上述のサブマウント部材３０を介して伝熱板２１に搭載されている。ここで、サブマウント部材３０は、ＬＥＤチップ１０のチップサイズよりも大きなサイズの矩形板状に形成されている。
　サブマウント部材３０は、上記応力を緩和する機能だけでなく、ＬＥＤチップ１０で発生した熱を伝熱板２１においてＬＥＤチップ１０のチップサイズよりも広い範囲に伝熱させる熱伝導機能を有している。したがって、本実施形態における発光装置１では、ＬＥＤチップ１０と伝熱板２１との線膨張率差に起因してＬＥＤチップ１０に働く上記応力を緩和することができるとととに、ＬＥＤチップ１０がサブマウント部材３０を介して伝熱板２１に搭載されているので、ＬＥＤチップ１０で発生した熱をサブマウント部材３０および伝熱板２１を介して効率良く放熱させることができる。
　サブマウント部材３０の材料としては、熱伝導率が比較的高く且つ絶縁性を有するＡｌＮを採用している。そして、ＬＥＤチップ１０は、上記カソード電極が、サブマウント部材３０におけるＬＥＤチップ１０側の表面に設けられた電極パターン（図示せず）およびボンディングワイヤ１４を介して一方の導体パターン２３と電気的に接続されている。また、ＬＥＤチップ１０は、上記アノード電極が、ボンディングワイヤ１４を介して他方の導体パターン２３と電気的に接続されている。なお、ＬＥＤチップ１０とサブマウント部材３０とは、例えば、ＳｎＰｂ、ＡｕＳｎ、ＳｎＡｇＣｕなどの半田や、銀ペーストなどを用いて接合すればよいが、ＡｕＳｎ、ＳｎＡｇＣｕなどの鉛フリー半田を用いて接合することが好ましい。サブマウント部材３０の材料がＣｕであって、ＡｕＳｎを用いて接合する場合には、サブマウント部材３０およびＬＥＤチップ１０における接合表面にあらかじめＡｕまたはＡｇからなる金属層を形成する前処理が必要である。また、サブマウント部材３０と伝熱板２１とは、例えば、ＡｕＳｎ、ＳｎＡｇＣｕなどの鉛フリー半田を用いて接合することが好ましい。ここで、ＡｕＳｎを用いて接合する場合には、伝熱板２１における接合表面にあらかじめＡｕまたはＡｇからなる金属層を形成する前処理が必要である。
　サブマウント部材３０の材料はＡｌＮに限らず、線膨張率が結晶成長用基板の材料である６Ｈ－ＳｉＣに比較的近く且つ熱伝導率が比較的高い材料であればよい。例えば、複合ＳｉＣ、Ｓｉ、Ｃｕ、ＣｕＷなどを採用してもよい。なお、発光装置１は、サブマウント部材３０が、上述の熱伝導機能を有しているので、伝熱板２１におけるＬＥＤチップ１０側の表面の面積が、ＬＥＤチップ１０における伝熱板２１側の表面の面積よりも十分に大きいことが望ましい。
　また、本実施形態における発光装置１では、サブマウント部材３０の厚み寸法を、当該サブマウント部材３０の表面が配線基板２２の保護層２６の表面よりも伝熱板２１から離れるように設定してある。したがって、発光装置１では、ＬＥＤチップ１０から側方に放射された光が配線基板２２の窓孔２４の内周面を通して配線基板２２に吸収されるのを防止することができる。なお、サブマウント部材３０においては、ＬＥＤチップ１０が接合される側の表面におけるＬＥＤチップ１０との接合部位の周囲に、ＬＥＤチップ１０から放射された光を反射する反射膜を形成することが好ましい。これにより、発光装置１において、ＬＥＤチップ１０の側面から放射された光がサブマウント部材３０に吸収されるのを防止することができ、外部への光取出し効率をさらに高めることが可能となる。ここで、反射膜は、例えば、Ｎｉ膜とＡｇ膜との積層膜により構成すればよい。
　上述の封止部５０の材料である封止材料としては、シリコーン樹脂を用いているが、シリコーン樹脂に限らず、例えば、ガラスなどを用いてもよい。また、封止材料としては、シリコーン樹脂の中にＳｉに加えてＴｉやＺｒ、Ａｌ、Ｙ、Ｇｅなどの他の金属成分、例えば金属酸化物ナノ粒子を含有する樹脂・粒子複合体（ナノコンポジット）や、上述の金属成分を樹脂骨格中に含有するシリコーン樹脂ハイブリッド材料を用いてもよい。さらに、金属成分以外に、例えばオレフィンのような樹脂成分とシリコーン樹脂成分を複合させたシリコーン樹脂ハイブリッド材料を用いてもよい。また、封止材料のガラスとしては、ＴｉやＺｒ、Ａｌ、Ｙ、Ｇｅなどの金属元素を添加することによって屈折率や融点を調整したガラス材料を用いてもよい。
　光学部材６０は、透光性材料（例えば、シリコーン樹脂、ガラスなど）の成形品であってドーム状に形成されている。ここで、光学部材６０をシリコーン樹脂の成形品により構成すれば、光学部材６０と封止部５０との屈折率差および線膨張率差を小さくすることができる。
　また、光学部材６０は、光出射面６０ｂが、光入射面６０ａから入射した光を光出射面６０ｂと上述の気体層８０との境界で全反射させない凸曲面状に形成されており、ＬＥＤチップ１０と光軸が一致するように配置されている。したがって、発光装置１では、ＬＥＤチップ１０から放射され光学部材６０の光入射面６０ａに入射された光が、光出射面６０ｂと気体層８０との境界で全反射されることなく波長変換部材７０まで到達しやすくなり、全光束を高めることができる。なお、光学部材６０は、位置によらず法線方向に沿って肉厚が一様となるように形成されている。
　波長変換部材７０は、蛍光体粒子７１を用いて形成された波長変換粒子７が当該波長変換粒子７の蛍光体粒子７１よりも屈折率が小さな透光性媒体（例えば、シリコーン樹脂など）７３に分散されており（波長変換粒子７が透光性媒体７３内に散在しており）、蛍光体粒子７１として、赤色蛍光体粒子および緑色蛍光体粒子を採用している。したがって、ＬＥＤチップ１０から放射された青色光と波長変換部材７０の赤色蛍光体粒子および緑色蛍光体粒子それぞれから光とが波長変換部材７０の光出射面（外面）７０ｂを通して放射されることとなり、白色光を得ることができる。
　波長変換部材７０の蛍光体粒子７１としては、赤色蛍光体粒子および緑色蛍光体粒子を用いる代わりに、例えば、黄色蛍光体粒子を用いてもよい。また、緑色蛍光体粒子と橙色蛍光体粒子とを用いてもよいし、黄緑色蛍光体粒子と橙色蛍光体粒子とを用いてもよい。また、ＬＥＤチップ１０として青色光を放射する青色ＬＥＤチップを用いる代わりに、紫外光を放射する紫外ＬＥＤチップを用い、蛍光体粒子７１として赤色蛍光体粒子、緑色蛍光体粒子および青色蛍光体粒子を用いることで、白色光を得るようにしてもよい。
　また、波長変換部材７０の材料として用いる透光性媒体７３は、シリコーン樹脂に限らず、例えば、他の樹脂（例えば、エポキシ樹脂など）やガラスでもよい。しかし、シリコーン樹脂やガラスを採用することにより、励起光として一般的な青色光や紫外光を採用した場合に透光性媒体７３が励起光により劣化するのを抑制することができる。透光性媒体７３は、一般的なシリコーン樹脂やガラスに限らず、シリコーン樹脂の中にＳｉに加えてＴｉやＺｒ、Ａｌ、Ｙ、Ｇｅなどの他の金属成分、例えば金属酸化物ナノ粒子を含有する樹脂・粒子複合体（ナノコンポジット）や、上記金属成分が分子レベルで混合、結合したシリコーン樹脂ハイブリッド材料を用いてもよい。さらに、金属成分以外に、例えばオレフィンのような樹脂成分とシリコーン樹脂成分を複合させたシリコーン樹脂ハイブリッド材料を用いてもよい。シリコーン樹脂ナノコンポジットやシリコーン樹脂ハイブリッド以外にも、有機成分と無機成分とがｎｍレベルもしくは分子レベルで混合、結合した有機・無機ハイブリッド材料やナノコンポジット材料などを採用してもよい。また、透光性媒体７３として用いるガラスとしては、ＴｉやＺｒ、Ａｌ、Ｙ、Ｇｅなどの金属元素を添加することによって屈折率や融点を調整したガラス材料を用いてもよい。
　また、波長変換部材７０は、光入射面（内面）７０ａが光学部材６０の光出射面６０ｂに沿った形状に形成されている。したがって、光学部材６０の光出射面６０ｂの位置によらず法線方向における当該光学部材６０の光出射面６０ｂと波長変換部材７０との間の距離が略一定値となっている。なお、波長変換部材７０は、位置によらず法線方向に沿った肉厚が一様となるように成形されている。また、波長変換部材７０は、実装基板２０側の端縁（開口部の周縁）を実装基板２０に対して、例えば接着剤（例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂など）を用いて固着すればよい。
　ところで、本実施形態の波長変換部材７０は、図１Ｂ及び１Ｃに示すように、蛍光体粒子７１の表面側に、微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部７４とモスアイ状構造部７４の先細り状の微細突起７５間に入り込んだ透光性媒体７３とで構成される反射防止部７６を備えており、モスアイ状構造部７４の微細凹凸構造が蛍光体粒子７１自体に形成されている（つまり、モスアイ状構造部７４の各微細突起７５が、蛍光体粒子７１自体に形成されている）。
　ここで、各蛍光体粒子７１の表面に微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部７４を形成するにあたっては、特に形成方法に制限はないが、形成方法として、ケミカルエッチングや熱処理、水熱処理、プラズマエッチング処理などが挙げられる。例えば、酸系溶液（例えば、硝酸の水溶液、フッ酸の水溶液など）を用いて各蛍光体粒子７１の表面をエッチングすることにより、各蛍光体粒子７１それぞれに多数の微細突起７５を形成している。酸系溶液の種類、濃度、温度、エッチング時間などを適宜設定することにより、微細突起７５の形状や大きさを制御することができる。したがって、微細突起７５の形状を、例えば図１Ｂのような半球状の形状にしたり、後述の図４Ａのような錐状の形状にすることが可能となる。また、微細突起７５の大きさについては、微細突起７５間の間隔や微細突起７５の横方向の幅や、突出寸法（高さ寸法）を制御することが可能となる。
　各蛍光体粒子７１の表面に微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部７４を形成する方法は、上述の酸系溶液などを用いた湿式のエッチング法に限らず、例えば、熱処理や水熱処理、アンモニアガスや塩化水素ガスなどのガスに曝す処理、プラズマエッチング（プラズマガスエッチング）などの乾式のエッチング法でもよい。ここにおいて、プラズマエッチングにより各蛍光体粒子７１の表面にモスアイ状構造部７４を形成する際には、例えば、各蛍光体粒子７１を浮遊させた状態でＡｒイオンを各蛍光体粒子７１の表面に衝突させてスパッタリングすればよい（つまり、各蛍光体粒子７１の表面を物理的にエッチングすればよい）。
　また、各蛍光体粒子７１の表面をエッチングする前に、予め、図３Ａに示すように各蛍光体粒子７１それぞれの表面を各蛍光体粒子７１よりも粒子径（平均粒子径）が小さな多数の微粒子７８で部分的にマスキングするようにし、図３Ｃに示すように各蛍光体粒子７１の表面をエッチングした後で、これらの微粒子７８を洗浄などによって除去するようにしてもよい。なお、図３Ｃは、反応性ガス（例えば、ＣＦ4ガス、ＣＨ4ガス、ＣＦ6ガス、ＮＨ3ガス、Ｃｌ2ガス、Ｈ2ガス、ＣＯガスなど）のプラズマを利用して蛍光体粒子７１を反応性イオンエッチングした場合に蛍光体粒子７１の表面に形成されるモスアイ状構造部７４の形状の一例を示している。また、図３Ｂは反応性イオンエッチングの開始時の説明図であり、図３Ｂ及び３Ｃ中の矢印は、反応性イオンの進行方向を模式的に示している。
　例えば、粒子径が５０ｎｍの多数の微粒子７８を各蛍光体粒子７１の表面に付着させた後に、マスキング用の各微粒子７８をマスクとして蛍光体粒子７１をエッチングすれば、微細突起７５の横方向の幅（凸部の横方向の幅）を５０ｎｍとすることができる。そして、隣り合う微粒子７８の中心間の距離が例えば２００ｎｍの場合には、隣り合う微細突起７５間の距離（凹部の横方向の幅）を、２００－（２５＋２５）＝１５０ｎｍとすることが可能となる。
　蛍光体粒子７１の表面を多数の微粒子７８で部分的にマスキングするには、例えば、ナノ粒子（平均粒子径が５０ｎｍの単分散球状アルミナナノ粒子）からなる微粒子７８のアルコール分散液と蛍光体粒子７１（例えば、平均粒子径が１５μｍで組成が（Ｂａ、Ｓｒ）2ＳｉＯ4：Ｅｕ2+の蛍光体粒子）を投入して攪拌、分散させると、蛍光体粒子７１の表面に微粒子７８を付着させることができる。ここにおいて、アルコール分散液中の微粒子７８の濃度を調節することによって、蛍光体粒子７１の表面への微粒子７８の付着量を変えることができ、蛍光体粒子７１の表面の全体が微粒子７８で覆われている状態（蛍光体粒子７１の表面が１００％マスキングされた状態）から、蛍光体粒子７１の表面が微粒子７８で全く覆われていない状態（蛍光体粒子７１の表面が０％マスキングされた状態）まで、連続的にコントロールすることが可能となる。この場合、平均粒子径が１５μｍの蛍光体粒子７１の表面を平均粒子径が５０ｎｍの微粒子７８により１１％マスキングすると、隣り合う微粒子７８の中心間の距離の平均が２００ｎｍ程度となる。
　モスアイ状構造部７４における微細突起７５の突出寸法および微細突起７５の間隔（ピッチ）は、励起光の波長をλ、透光性媒体７３の屈折率をｎ3とすれば、λ／ｎ3以下に設定する必要がある。したがって、例えば、図１Ｂのようにモスアイ状構造部７４における微細突起７５の形状が半球状であり、励起光が青色光で当該青色光の波長λが４８０ｎｍ、透光性媒体７３がシリコーン樹脂で屈折率ｎ3が１．４の場合には、微細突起７５の突出寸法および間隔を４８０／１．４≒３４３ｎｍ以下に設定する必要がある。λ＝３５０ｎｍの場合には、微細突起７５の突出寸法および間隔を３５０／１．４≒２５０ｎｍ以下に設定する必要がある。ここで、波長λが例えば、ｎ3＝１．４においてλ＝３５０ｎｍ～４８０ｎｍと波長範囲がある場合、微細突起７５の突出寸法および間隔を少なくとも４８０／１．４≒３４３ｎｍ以下に設定する必要があるが、より望ましくは短波長のλ＝３５０ｎｍにより規定される３５０／１．４≒２５０ｎｍを、微細突起７５の最大突出寸法および最大間隔（最大ピッチ）とするのがよい。なお、この場合、大部分の微細突起７５が２５０ｎｍ以下、例えば１００ｎｍ～２０ｎｍのピッチで並んでいてもよい。また、微細凹凸構造を形成した蛍光体粒子７１の表面粗さについては、ＪＩＳ　Ｂ　０６０１－２００１（ＩＳＯ　４２８７－１９９７）で規定されている算術平均粗さＲａが１７１．５ｎｍ以下、より望ましくは１２５ｎｍ以下、輪郭曲線要素についても平均長さＲＳｍが１７１．５ｎｍ以下、より望ましくは１２５ｎｍ以下となるようにすればよい。
　また、例えば、図４Ａのようにモスアイ状構造部７４における微細突起７５の形状が錐状であり、励起光が青色光で当該青色光の波長λが４８０ｎｍ、透光性媒体７３がシリコーン樹脂で屈折率ｎ3が１．４の場合には、微細突起７５の間隔を４８０／１．４≒３４３ｎｍ以下に設定する必要があり、λ＝３５０ｎｍの場合は、微細突起７５の間隔を３５０／１．４≒２５０ｎｍ以下に設定する必要がある。ここで、波長λが例えば、ｎ3＝１．４においてλ＝３５０ｎｍ～４８０ｎｍと波長範囲がある場合、微細突起７５の間隔を少なくとも４８０／１．４≒３４３ｎｍ以下に設定する必要があるが、より望ましくは短波長のλ＝３５０ｎｍにより規定される３５０／１．４≒２５０ｎｍを、微細突起７５の最大間隔（最大ピッチ）とするのがよい。なお、この場合、大部分の微細突起７５が２５０ｎｍ以下、例えば１００ｎｍ～２０ｎｍのピッチで並んでいてもよい。
　ところで、仮に、図４Ａに示すように、蛍光体粒子７１の表面側の反射防止部７６におけるモスアイ状構造部７４は、錐状の微細突起７５が配列された微細凹凸構造を有している。ここで、微細突起７５間に入り込んだ透光性媒体７３の屈折率をｎ3、蛍光体粒子７１の屈折率をｎ1とすれば、微細突起７５の屈折率が蛍光体粒子７１の屈折率と同じなので、反射防止部７６の有効屈折率は、当該反射防止部７６の厚さ方向において図４Ｂに示すように蛍光体粒子７１の屈折率ｎ1と透光性媒体７３の屈折率ｎ3との間で連続的に変化する。
　しかしながら、蛍光体粒子７１の表面側に図４Ａに示すような微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部７４を単独で形成する（つまり、略全ての微細突起７５の形状を錐状とする）のは困難である。したがって、本実施形態の波長変換部材７０では、大部分が図１Ｂ及び１Ｃに示すような先細り状の微細突起７５が配列された微細凹凸構造となっている。反射防止部７６の有効屈折率は、当該反射防止部７６の厚さ方向において図１Ｄに示すように蛍光体粒子７１の屈折率ｎ1と透光性媒体７３の屈折率ｎ3との間で連続的に変化する。なお、モスアイ状構造部７４をエッチングにより形成する際のエッチング条件によっては、図４Ａに示すような微細凹凸構造と図１Ｂ及び１Ｃに示すような先細り状の微細突起７５が配列された微細凹凸構造が混在した形となるが、この場合においても、反射防止部７６の有効屈折率は、当該反射防止部７６の厚さ方向において蛍光体粒子７１の屈折率ｎ1と透光性媒体７３の屈折率ｎ3との間で連続的に変化するので有効である。
　また、波長変換部材７０における蛍光体粒子７１に関し、赤色蛍光体粒子として組成がＣａＡｌＳｉＮ3：Ｅｕ2+で屈折率が２．０、中心粒径ｄ50が１０μｍの蛍光体粒子を用いている。緑色蛍光体粒子として組成がＣａＳｃ2Ｏ4：Ｃｅ3+で屈折率が１．９、中心粒径ｄ50が８μｍの蛍光体粒子を用いている。しかし、これらの組成に限定するものではなく、赤色蛍光体粒子としては、例えば、組成が、（Ｃａ、Ｓｒ）ＡｌＳｉＮ3：Ｅｕ2+、ＣａＳ：Ｅｕ2+、（Ｃａ、Ｓｒ）2Ｓｉ5Ｎ8：Ｅｕ2+などのものを用いてもよい。緑色蛍光体粒子としては、例えば、組成が、Ｃａ3Ｓｃ2Ｓｉ3Ｏ12：Ｃｅ3+、（Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ）Ａｌ2Ｏ4：Ｅｕ2+、ＳｒＧａ2Ｓ4：Ｅｕ2+などのものを用いてもよい。また、蛍光体粒子７１として黄色蛍光体粒子を採用する場合には、例えば、組成が、Ｙ3Ａｌ5Ｏ12：Ｃｅ3+、（Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ）2ＳｉＯ4：Ｅｕ2+などのものを用いればよい。蛍光体粒子７１として黄緑色蛍光体粒子と橙色蛍光体粒子とを採用する場合には、例えば、黄緑色蛍光体粒子として、組成が、（Ｂａ、Ｓｒ）2ＳｉＯ4：Ｅｕ2+などのものを用いればよい。橙色蛍光体粒子として、組成が、Ｓｒ3ＳｉＯ5：Ｅｕ2+、Ｃａ0.7Ｓｒ0.3ＡｌＳｉＮ3：Ｅｕ2+などのものを用いればよい。なお、蛍光体粒子７１は、中心粒径ｄ50が大きい方が、欠陥密度が小さくエネルギ損失が少なくて発光効率が高くなるので、発光効率の観点から中心粒径ｄ50が５μｍ以上のものを採用することが好ましい。
　以上説明した本実施形態の波長変換部材７０の波長変換粒子７は、蛍光体粒子７１を用いて形成され入射した励起光を吸収して励起光よりも長波長の光を放射するものであって、蛍光体粒子７１の表面側に微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部７４を備え、当該微細凹凸構造が蛍光体粒子７１自体に形成されている。したがって、フレネル反射の抑制によって蛍光体粒子７１への励起光の入射効率のより一層の向上および蛍光体粒子７１からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れる。
　また、本実施形態の波長変換部材７０は、上述の波長変換粒子７が当該波長変換粒子７の蛍光体粒子７１よりも屈折率が小さな透光性媒体７３に分散されてなり、蛍光体粒子７１の表面側に、モスアイ状構造部７４とモスアイ状構造部７４の先細り状の微細突起７５間に入り込んだ透光性媒体７３とで構成される反射防止部７６を備えている。これにより、波長変換部材７０は、反射防止部７６の厚み方向（多数の微細突起７５の包絡線に直交する方向であり、図１Ｃの上下方向）において反射防止部７６の有効屈折率が蛍光体粒子７１の屈折率ｎ1と透光性媒体７３の屈折率ｎ3との間で連続的に変化するから、蛍光体粒子７１への励起光の入射効率のより一層の向上および蛍光体粒子７１からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れる。
　また、本実施形態の発光装置１は、ＬＥＤチップ１０から放射される光の一部を当該光よりも長波長の光に変換して放射する色変換部材として上述の波長変換部材７０を用いている。その結果、色変換部材における蛍光体粒子７１への励起光の入射効率のより一層の向上および蛍光体粒子７１からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れ、光束の向上による光出力の高出力化を図れる。
　（実施例１）
　本実施例では、実施形態１の発光装置１において、ＬＥＤチップ１０として発光ピーク波長が４６０ｎｍの青色ＬＥＤチップを採用している。また、波長変換部材７０に関して、透光性媒体７３として、屈折率が１．４のシリコーン樹脂を採用している。そして、蛍光体粒子７１に関して、緑色蛍光体粒子として組成がＣａＳｃ2Ｏ4：Ｃｅ3+で屈折率が１．９、中心粒径ｄ50が８μｍの蛍光体粒子を採用している。さらに、赤色蛍光体粒子として組成がＣａＡｌＳｉＮ3：Ｅｕ2+で屈折率が２．０、中心粒径ｄ50が１０μｍの蛍光体粒子を採用している。
　ここにおいて、波長変換部材７０の製造に際し、波長変換粒子７を形成するにあたっては、緑色蛍光体粒子、赤色蛍光体粒子それぞれについて、純水中で所定量の蛍光体粒子７１（所定量の緑色蛍光体粒子、或いは、所定量の橙色蛍光体粒子）を分散させる。次いで硝酸を混合し攪拌して得たスラリーを濾過、洗浄することによって、蛍光体粒子７１の表面側に算術平均粗さＲａが１５０ｎｍ、輪郭曲線要素の平均長さＲＳｍが１５０ｎｍの微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部７４を備えた波長変換粒子７を形成した。その後、所定量の波長変換粒子７を屈折率が１．４のシリコーン樹脂に分散し、ドーム状に成形することにより、波長変換部材７０を形成した。その後、発光装置１の組み立てを行った。また、比較例１として、実施例１の蛍光体粒子７１にモスアイ状構造部７４を形成していないものについて発光装置を作製した。
　以上説明した実施例１および比較例１について、温度８５℃、相対湿度８５％ＲＨ、断続通電（３０分点灯、３０分消灯のサイクル）の試験条件で信頼性加速試験を行った。試験前の全光束および試験開始から１０００時間が経過した後の全光束それぞれを測定した結果を下記表１に示す。なお、表１では、比較例１の試験前の光束を１００として規格化した相対値を記載してある。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 　表１から、実施例１の発光装置１では、比較例１に比べて、試験開始前の光束が１５％向上するとともに、試験開始から１０００時間が経過した後の光束の劣化も少なくなっており、光出力の高出力化の向上を図れていることが分かる。
　（実施形態２）
　ところで、実施例１で説明した発光装置１では、光出力の高出力化を図れるが、信頼性加速試験の試験開始から１０００時間が経過した後の光束が試験開始前から低下している。これは、波長変換部材７０における波長変換粒子７の蛍光体粒子７１が外部からの水分を吸収して蛍光体粒子７の特性が低下したためであると考えられる。
　これに対して、図５Ａに示す本実施形態の発光装置１の基本構成は実施形態１と同じである。そして、波長変換部材７０に関して、図５Ｂ、５Ｃ及び５Ｄに示すように、波長変換粒子７において、モスアイ状構造部７４が形成された蛍光体粒子７１の表面側に、透光性の金属酸化物層７７が形成されている点に特徴がある。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
　金属酸化物層７７の材料は、透光性媒体７３と屈折率ｎ3と略同一の屈折率を有する材料であることが好ましく、透光性媒体７３の屈折率ｎ3に応じて、Ｓｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｇｅ、Ｙの群から選択される少なくとも１つの金属を構成元素して含む金属酸化物から適宜選択すればよい。なお、ＳｉＯ2の屈折率は１．４～１．５、ＴｉＯ2の屈折率は２．３～２．５５、Ａｌ2Ｏ3の屈折率は１．６３、ＺｒＯ2の屈折率は２．０５、ＧｅＯ2の屈折率は１．９９であり、Ｙ2Ｏ3の屈折率は１．８７である。
　ここにおいて、透光性媒体７３として、シリコーン樹脂やガラスを採用する場合には、金属酸化物層７７の材料として、例えば、ＳｉＯ2を採用すればよい。また、本実施形態では、金属酸化物層７７の厚みを１００ｎｍ～１５０ｎｍの範囲で設定してあるが、この数値は一例であり、特に限定するものではない。また、金属酸化物層７７の材料としてＡｌ2Ｏ3やＹ2Ｏ3を採用する場合には、透光性媒体７３として、シリコーン樹脂の中にＴｉやＺｒ、Ａｌ、Ｙ、Ｇｅなどの金属成分、例えば金属酸化物ナノ粒子を含有する樹脂・粒子複合体（ナノコンポジット）や、上述の金属成分をシリコーン樹脂中に分子レベルで混合、結合したシリコーン樹脂ハイブリッド材料や、ガラスなどを採用すればよい。また、金属酸化物層７７の材料としてＺｒＯ2やＧｅＯ2やＴｉＯ2を採用する場合には、透光性媒体７３の材料として、ガラスを採用すればよい。
　ここで、波長変換部材７０の製造に際しては、図６Ａに示すような蛍光体粒子７１の表面を実施形態１において説明した酸系溶液を用いた湿式のエッチング法やプラズマエッチングのような乾式のエッチング法によってエッチングする。これにより、蛍光体粒子７１の表面側に多数の微細突起７５により構成される微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部７４を形成する（図６Ｂ参照）。その後、蛍光体粒子７１の表面側に金属酸化物層７７を例えばゾル－ゲル法により形成することで波長変換粒子７を得る（図６Ｃ参照）。続いて、所定量の波長変換粒子７を透光性媒体７３の材料（例えば、シリコーン樹脂、ガラスや、有機成分と無機成分とがｎｍレベルもしくは分子レベルで混合、結合した有機・無機ハイブリッド材料など）に分散し、ドーム状に成形している。なお、金属酸化物層７７の形成方法は、ゾル－ゲル法に限らず、例えば、プラズマ蒸着法でもよい。更に緻密な金属酸化物層７７とするために、必要に応じて熱処理を行ってもよい。
　ここにおいて、実施形態１と同様、蛍光体粒子７１の屈折率をｎ1、透光性媒体７３の屈折率をｎ3とし、金属酸化物層７７の屈折率をｎ4とすれば、反射防止部７６の有効屈折率は、反射防止部７６の厚み方向（微細突起７５の包絡線に直交する方向であり、図５Ｃの上下方向）において図５Ｄに示すように蛍光体粒子７１の屈折率ｎ1と金属酸化物層７７の屈折率ｎ4との間で連続的に変化する。したがって、金属酸化物層７７の屈折率ｎ4が透光性媒体７３の屈折率ｎ3と同一であれば、反射防止部７６の有効屈折率は、反射防止部７６の厚み方向において蛍光体粒子７１の屈折率ｎ1と透光性媒体７３の屈折率ｎ3との間で連続的に変化する。要するに、金属酸化物層７７の屈折率ｎ4は、透光性媒体７３の屈折率ｎ3と略同一であることが好ましく、同一であることがより好ましい。本実施形態では、金属酸化物層７７の屈折率ｎ4を透光性媒体７３の屈折率ｎ3と略同一としてあるが、図５Ｄでは、金属酸化物層７７の屈折率ｎ4に関して、透光性媒体７３の屈折率ｎ3と略同一とみなす屈折率ｎ4の上限値をｎ4max、下限値をｎ4minとして図示してある。
　ここで、金属酸化物層７７の屈折率ｎ4を透光性媒体７３の屈折率ｎ3と略同一であるとみなす範囲を規定するために、透光性媒体７３の屈折率ｎ3と金属酸化物層７７の屈折率ｎ4との屈折率差（｜ｎ3－ｎ4｜）の透光性媒体７３の屈折率ｎ3に対する比率（｛｜ｎ3－ｎ4｜／ｎ3｝×１００）と、透光性媒体７３と金属酸化物層７７との界面（屈折率界面）における相対反射損失（正反射成分のみを考慮した反射損失の相対値）との関係をシミュレーションした結果を図７に示す。図７から分かるように、屈折率差の屈折率ｎ3に対する比率が２２％以上になると、透光性媒体７３と金属酸化物層７７との界面（屈折率界面）における相対反射損失が１％を超える。一方、上述の実施例１の発光装置１では、比較例１に対する光取り出し効率のアップ率が１５％であるので、相対反射損失の１％という値は無視できる値ではない。そこで、屈折率差の屈折率ｎ3に対する比率が１５％以下（相対反射損失が０．５％以下）となる場合に、金属酸化物層７７の屈折率ｎ4を透光性媒体７３の屈折率ｎ3と略同一であるとみなすこととする。
　以上説明した本実施形態の波長変換粒子７は、蛍光体粒子７１の表面側に、透光性の金属酸化物層７７が形成されている。そのため、金属酸化物層７７が、外部からの水分が蛍光体粒子７１へ到達するのを阻止するバリア層として機能することとなり、耐湿性を向上させることができる（湿度の影響で蛍光体粒子７１の特性が劣化するのを抑制することができる）。その結果、蛍光体粒子７１の材料の選択の自由度が高くなる。
　また、本実施形態の波長変換部材７０では、蛍光体粒子７１よりも屈折率が小さく且つ金属酸化物層７７と略同一の屈折率を有する透光性媒体７３に、波長変換粒子７が分散されており、蛍光体粒子７１の表面側に、モスアイ状構造部７４とモスアイ状構造部７４の先細り状の微細突起７５間に入り込んだ金属酸化物層７７とで構成される反射防止部７６を備えている。しかして、本実施形態の波長変換部材７０では、反射防止部７６の厚み方向において反射防止部７６の有効屈折率が蛍光体粒子７１の屈折率ｎ1と透光性媒体７３の屈折率ｎ3との間で連続的に変化するので、蛍光体粒子７１への励起光の入射効率のより一層の向上および蛍光体粒子７１からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れる。しかも、この波長変換部材７０では、金属酸化物層７７の屈折率ｎ4が透光性媒体７３の屈折率ｎ3と略同一であることにより、耐湿性を高めながらも、モスアイ状構造部７４の反射防止効果の低下を抑制することができるとともに励起光の反射を抑制できる。
　また、本実施形態の発光装置１も、実施形態１と同様、ＬＥＤチップ１０から放射される光の一部を当該光よりも長波長の光に変換して放射する色変換部材として上述の波長変換部材７０を用いている。その結果、色変換部材における蛍光体粒子７１への励起光の入射効率のより一層の向上および蛍光体粒子７１からの変換光の取り出し効率のより一層の向上を図れ、光出力の高出力化を図れる。
　（実施例２）
　本実施例では実施形態２の発光装置１において、ＬＥＤチップ１０として発光ピーク波長が４６０ｎｍの青色ＬＥＤチップを採用している。波長変換部材７０に関して、透光性媒体７３として、屈折率が１．４のシリコーン樹脂を採用している。蛍光体粒子７１に関して、緑色蛍光体粒子として組成がＣａＳｃ2Ｏ4：Ｃｅ3+で屈折率が１．９、中心粒径ｄ50が８μｍの蛍光体粒子を採用している。赤色蛍光体粒子として組成がＣａＡｌＳｉＮ3：Ｅｕ2+で屈折率が２．０、中心粒径ｄ50が１０μｍの蛍光体粒子を採用している。
　ここにおいて、波長変換部材７０の製造に際し、波長変換粒子７を形成するにあたっては、まず、緑色蛍光体粒子、赤色蛍光体粒子それぞれについて、純水中で所定量の蛍光体粒子７１（所定量の緑色蛍光体粒子、或いは、所定量の橙色蛍光体粒子）を分散させる。次いで硝酸を混合し攪拌して得たスラリーを濾過、洗浄することによって、蛍光体粒子７１の表面側に算術平均粗さＲａが１５０ｎｍ、輪郭曲線要素の平均長さＲＳｍが１５０ｎｍの微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部７４を形成した。その後、モスアイ状構造部７４が形成された緑色蛍光体粒子、モスアイ状構造部７４が形成された赤色蛍光体粒子それぞれについて、イソプロパノール中で所定量の蛍光体粒子７１（所定量の緑色蛍光体粒子、或いは、所定量の赤色蛍光体粒子）、ＴＥＯＳ（テトラエチルオルソシリケート）、水、触媒としての酢酸を６０℃で所定時間（１２時間）だけ混合攪拌して得たスラリーを、濾過、洗浄して、８０℃で乾燥する。更に３００℃で熱処理を施すことにより、屈折率が１．５のＳｉＯ2層からなる金属酸化物層７７を形成することで波長変換粒子７を製造した。更にその後、所定量の波長変換粒子７を屈折率が１．４のシリコーン樹脂に分散し、ドーム状に成形することにより、波長変換部材７０を形成した。その後、発光装置１の組み立てを行った。要するに、実施例２は、金属酸化物層７７を備えている点以外は実施例１と同じである。
　以上説明した実施例２について、温度８５℃、相対湿度８５％ＲＨ、断続通電（３０分点灯、３０分消灯のサイクル）の試験条件で信頼性加速試験を行った。試験前の全光束および試験開始から１０００時間が経過した後の全光束それぞれを測定した結果を上述の実施例１および比較例１の結果と併せて下記表２に示す。なお、表２では、上述の比較例１の試験前の光束を１００として規格化した相対値を記載してある。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 　表２から、実施例２の発光装置１では、試験開始前の光束が実施例１と同様、比較例１に比べて高くなっている。しかも、試験開始から１０００時間が経過した後の光束の劣化が実施例１よりも少なくなっており、高出力化および耐湿性の向上を図れていることが分かる。すなわち、実施例２と実施例１との比較から、金属酸化物層７７を備えた実施例２の方が金属酸化物層７７を備えていない実施例１に比べて、耐湿性が向上していることが分かる。
　ところで、波長変換部材７０を適用する発光装置１の構造は上記各実施形態および上記各実施例の構造に限定するものではなく、波長変換部材７０の形状もドーム状に限らず、例えば、シート状の形状でもよい。
　本発明を幾つかの好ましい実施形態について記述したが、この発明の本来の精神および範囲、即ち請求の範囲を逸脱することなく、当業者によって様々な修正および変形が可能である。

Claims (6)

  1. 　蛍光体粒子を用いて形成され入射した励起光を吸収して励起光よりも長波長の光を放射する波長変換粒子であって、蛍光体粒子の表面側に微細凹凸構造を有するモスアイ状構造部を備え、当該微細凹凸構造が蛍光体粒子自体に形成されてなることを特徴とする波長変換粒子。
  2. 　前記蛍光体粒子の前記表面側に、透光性の金属酸化物層が形成されてなることを特徴とする請求項１記載の波長変換粒子。
  3. 　請求項１記載の前記波長変換粒子が前記蛍光体粒子よりも屈折率が小さな透光性媒体に分散されてなり、前記蛍光体粒子の前記表面側に、前記モスアイ状構造部と前記モスアイ状構造部の先細り状の微細突起間に入り込んだ前記透光性媒体とで構成される反射防止部を備えてなることを特徴とする波長変換部材。
  4. 　請求項２記載の前記波長変換粒子が前記蛍光体粒子よりも屈折率が小さく且つ前記金属酸化物層と略同一の屈折率を有する透光性媒体に分散されてなり、前記蛍光体粒子の表面側に、前記モスアイ状構造部と前記モスアイ状構造部の先細り状の微細突起間に入り込んだ前記金属酸化物層とで構成される反射防止部を備えることを特徴とする波長変換部材。
  5. 　前記透光性媒体は、シリコーン樹脂もしくはガラスであることを特徴とする請求項３または請求項４記載の波長変換部材。
  6. 　ＬＥＤチップと、ＬＥＤチップから放射される光の一部を当該光よりも長波長の光に変換して放射する色変換部材とを備え、当該色変換部材として請求項３ないし請求項５のいずれか１項に記載の波長変換部材を用いてなることを特徴とする発光装置。
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