WO2011034037A2 - ガラスブランク、ガラスブランク製造方法、情報記録媒体用基板製造方法および情報記録媒体製造方法 - Google Patents
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- C03B11/088—Flat discs
Definitions
- the present invention relates to a glass blank, a glass blank manufacturing method, an information recording medium substrate manufacturing method, and an information recording medium manufacturing method. Snippet
- Glass substrates are widely used as substrates for information recording media such as magnetic recording media.
- a method of manufacturing such a glass information recording medium substrate in addition to a method of cutting glass from a plate-shaped raw glass into a disk shape, a method of pressing molten glass with a pair of molds (so-called direct press) Method) or glass blanks that have been made to a size close to the product, reheated and melted, and pressed more precisely (so-called reheat press), and the glass blanks produced into a predetermined shape are processed into an information recording medium.
- a substrate is prepared.
- An information recording medium substrate produced through such a process needs to have a predetermined thickness and almost no warpage.
- glass blanks are required not only to be thin, but also to further improve flatness (reduction of warpage).
- the present applicant has a technology for correcting the warp of the glass blank by performing a warp correction step of re-pressing the softened glass that has become substantially plate-like immediately after pressing. It has been proposed (Patent Document 1).
- the present invention has been made in view of the above circumstances, and is a glass capable of producing a substrate for an information recording medium that has excellent flatness and suppresses the generation of dents even when the processing amount is reduced by thinning the glass blank. It is an object of the present invention to provide a blank, a manufacturing method thereof, a substrate manufacturing method for an information recording medium using the glass blank, and an information recording medium manufacturing method.
- the glass blank of the present invention comprises a disk-shaped thin portion, and a thick portion provided so as to form convex portions on both sides of the thin portion along the peripheral portion of the thin portion.
- the radial width of the convex portion on one surface side with respect to the diameter direction of the thin-walled portion is larger than the radial width of the convex portion on the other surface side.
- the glass blank manufacturing method of the present invention as a pair of molds arranged so as to be movable relative to the vertical direction, is in contact with the glass in a softened state during press molding, and has a circular central portion and the center
- a first mold having a press surface having an outer edge provided so as to form a recess with respect to the central part on the peripheral side of the part, and a first mold that comes into contact with the softened glass during press molding
- the second molding provided with a press surface having a circular central portion having a diameter smaller than that of the central portion and an outer edge portion provided on the peripheral side of the central portion so as to form a recess with respect to the central portion.
- a mold placed on the lower side in the vertical direction is used as the first mold, and a mold placed on the upper side in the vertical direction is used as the second mold.
- the first molding after placing on the press surface of the mold
- the mold to be placed is the second mold
- the mold placed on the upper side in the vertical direction is the first mold
- the softened glass lump is placed on the press surface of the second mold.
- a second pressing step of pressing the glass lump so as to reach the outer edge of the first mold press surface by the press surface of the first mold and the press surface of the second mold
- the glass blank of the present invention is produced through at least one pressing step selected from the above.
- a warpage suppressing step for suppressing the occurrence of warpage on the softened glass that has become substantially plate-like through the pressing step.
- the substrate manufacturing method for an information recording medium of the present invention comprises grinding and / or both surfaces of any one of the glass blanks selected from the glass blank of the present invention and the glass blank manufactured by the glass blank manufacturing method of the present invention.
- the information recording medium substrate is manufactured through at least a polishing process.
- the information recording medium manufacturing method of the present invention includes at least an information recording layer forming step of forming an information recording layer on the main surface of the information recording medium substrate manufactured by the information recording medium substrate manufacturing method of the present invention, An information recording medium is manufactured.
- a glass blank capable of producing a substrate for an information recording medium excellent in flatness and capable of producing a substrate for recording with suppressed generation of recesses even if the amount of processing is reduced by thinning the glass blank, and a method for producing the same, and An information recording medium substrate manufacturing method and an information recording medium manufacturing method using a glass blank can be provided.
- the glass blank of the present embodiment has a disk-shaped thin part and a thick part provided so as to form convex portions on both surfaces of the thin part along the peripheral part of the thin part.
- the radial width of the convex portion on one surface side with respect to the diameter direction of the thin wall portion is larger than the radial width of the convex portion on the other surface side.
- the pressing force applied to both surfaces of the glass blank is received only by this thick part by a pair of grinding machines (lap surface plates) arranged to sandwich the glass blank during lapping. In this state, lapping progresses and the thick part is cut, and the thin part is also cut, so that the glass blank can be lapped without elastic deformation by the pressing force received from the grinding machine. Therefore, if the glass blank is processed flat by lapping, the flatness of the glass is maintained even if the pressing force by the grinding machine is removed.
- the radial width of the convex portion on one surface side relative to the radial direction of the thin wall portion is larger than the radial width of the convex portion on the other surface side of the thin wall portion. Is also big. This is arranged so as to effectively suppress the warpage of the glass in the cooling process immediately after pressing the glass blank. From the above, in the glass blank of this embodiment, when an information recording medium substrate is produced, it is possible to suppress dents caused by warpage and deformation of the glass blank.
- FIGS. 4 to 6 are explanatory views for explaining the principle of generating a dent when an information recording medium substrate is manufactured using a conventional glass blank.
- the glass blank 100 shown in FIG. 4 and FIG. 5 includes a disc-shaped thin portion 110 and a thick portion 112 that forms ring-shaped convex portions 112U and 112D on both surfaces of the thin portion 110. Is common to the glass blank of the present embodiment.
- the glass blank of the present embodiment is that the radial width of the convex portion 112D on one surface side D of the glass blank 100 is the same as the radial width of the convex portion 112U on the other surface side U. Is different.
- FIG. 4 shows a cross-sectional shape in the diametrical direction of a glass blank 100H in a high temperature state immediately after being press-molded by a pair of molds (upper mold and lower mold) and immediately before the upper mold is separated from the glass blank 100. It is a schematic cross section. In FIG. 4, the description of the upper mold and the lower mold is omitted.
- FIG. 4 shows a cross-sectional shape in the diametrical direction of a glass blank 100H in a high temperature state immediately after being press-molded by a pair of molds (upper mold and lower mold) and immediately before the upper mold is separated from the glass blank 100. It is a schematic cross section. In FIG. 4, the description of the upper mold and the lower mold is omitted.
- FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a cross-sectional shape in the diameter direction of the glass blank 100C after the glass blank 100H shown in FIG. 4 has been cooled to a temperature range equal to or lower than the glass transition temperature Tg.
- FIG. 6 shows a cross-sectional shape in the diametrical direction of an information recording medium substrate 102 (before end face processing) obtained by performing a post-process such as lapping on the glass blank 100C shown in FIG.
- the surface indicated by the symbol U means the surface that is in contact with the upper mold at the time of press molding or the surface that has been in contact with the surface
- the surface indicated by the symbol D is the bottom surface at the time of press molding. It means the surface that is in contact with the mold or the surface that was in contact with it.
- the surface indicated by the symbol U may be referred to as “upper surface” and the surface indicated by the symbol D may be referred to as “lower surface”.
- the shape of the mold is transferred to the glass blank, and no warpage occurs.
- the cooling process on the upper surface side and the lower surface side is different after pressing, the warpage of the glass blank due to the difference in thermal shrinkage of the glass becomes significant. Therefore, when the glass blank 100H shown in FIG. 4 is cooled, as shown in FIG. 5, the glass blank 100C is curved so as to warp on the upper surface side.
- a warp correction press as shown in Patent Document 1 may be performed on the glass blank 100C.
- the warp correction press presses the entire upper surface side (the region indicated by the symbol RP shown in FIG. 5) of the thin portion 110 of the glass blank 100C that has a deformable temperature with the warp correction press member.
- FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the glass blank of the present embodiment.
- the symbols RP, U, and D shown in the figure are the same as those shown in FIGS.
- the glass blank 1 shown in FIG. 1 has a disk-shaped thin portion 10 and a thickness that forms ring-shaped convex portions 12U and 12D on both surfaces of the thin portion 10 along the peripheral portion of the thin portion 10. It is common to the conventional glass blank 100 illustrated in FIGS. 4 and 5 in that the meat portion 12 is provided.
- the glass blank 1 is conventional in that the radial width W1 of the convex portion 12D on the one surface side D of the glass blank 1 is larger than the radial width W2 of the convex portion 12U on the other surface side U. This is different from the glass blank 100.
- the width W2 of the convex portion 12U has a function of receiving the pressing force applied by the grinding machine at the time of lapping (the pressing force receiving), as in the case of the conventional glass blank 100 illustrated in FIGS. Function) is determined.
- the width W1 of the convex portion 12D is determined in consideration of the viewpoint of further improving the rigidity of the glass blank 1 as compared with the conventional glass blank 100 in addition to the pressing force receiving function. That is, the temperature history in advance with respect to the warp of the glass blank in the process in which the upper surface of the glass blank 1 is separated from the upper mold and cooled to the glass transition temperature Tg or less from the state immediately after pressing the glass blank in a high temperature state.
- a warp correction press may be performed on the glass blank 1 as in the conventional case.
- the outermost peripheral end of the warp correction press region RP is set outside the inner peripheral side surface (line indicated by the dotted line in FIG. 1) of the convex portion 12D.
- the warp correction press is performed in such a state, not only the thin portion 10 but also a part of the thick portion 12 (in the diameter direction, on the inner peripheral side than the inner peripheral side surface of the convex portion 12U, and The pressing force may also be applied to the outer peripheral side portion of the convex portion 12D.
- the surface on the side where the narrow convex portion 12U is provided is in contact with the upper mold during pressing, and when performing a warp correction press, a warp correction press member is used.
- the surface to be pressed (upper surface) is used.
- the upper surface of the glass blank 1 is pressed by a member different from the upper mold used in press molding.
- the thick portion 12 of the glass blank 1 has a lower viscosity than the thin portion 10 and pressing the thick portion 12 may cause the thick portion 12 to be deformed. It is preferable to press only, and it is preferable to press the thin portion 10 over a wide range.
- the warp correction press is pressed by a member different from the upper die as described above, if the entire thin portion 10 is pressed with the member slightly displaced, a part of the thick portion 12 is also pressed. There is a fear. Therefore, in order to press the upper surface of the glass blank 1 over a wide range without pressing the thick wall portion 12, the narrow convex portion 12U becomes the upper surface, that is, the wider side of the thin wall portion 10 becomes the upper surface. It is desirable to perform press molding.
- the surface on the side provided with the narrow convex portion 12U may be a surface in contact with the upper die or a surface in contact with the lower die at the time of pressing. . In any case, the ratio of the region that is relatively thick with respect to the diameter direction of the glass blank 1 is increased, the rigidity is further improved, and the warpage is suppressed.
- the inner peripheral side surface of the convex portion 12 ⁇ / b> D is a surface perpendicular to the lower surface of the thin portion 10.
- the inner peripheral side surface of the convex portion 12D is inclined with respect to the lower surface of the thin portion 10 so that the skirt extends from the top side of the convex portion 12D to the lower surface side of the thin portion 10 as shown in FIG.
- the surface 12S may be sufficient.
- the inclination angle (angle ⁇ shown in FIG. 2) is preferably not less than 30 degrees and less than 90 degrees from the viewpoint of preventing breakage of the portion where the inclined surface 12S intersects the top surface of the convex portion 12D. Further, it is more preferably 40 degrees or more and less than 80 degrees.
- the width W2 of the convex portion 12U can be set to around 2.0 mm as exemplified in paragraph 0008 of Patent Document 2 from the viewpoint of securing a pressure receiving function during lapping. Specifically, it is preferably in the range of 1 mm to 6 mm, and more preferably in the range of 1 mm to 4.5 mm.
- the width W2 is preferably in the range of 1 mm to 6 mm, and more preferably in the range of 1 mm to 4.5 mm.
- the ratio (W1 / W2) of the width W1 of the convex portion 12D to the width W2 of the convex portion 12U is preferably 1.0 or more, more preferably 2.0 or more, and more preferably 3.0 or more. preferable.
- W1 / W2 is preferably 6.0 or less, more preferably 5.0 or less, and even more preferably 4.5 or less from the easiness of glass processing (lap processing time).
- the height of the convex portion 12U (the height with the upper surface of the thin portion 10 indicated by reference numeral H1 in FIG. 1 as a reference surface) is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.05 mm to 0.1 mm.
- the convex portion 12U can reliably exert a pressure receiving function during lapping.
- the height H1 of the convex portion 12U to 0.1 mm or less, it is possible to prevent the polishing margin from being increased more than necessary at the time of lapping and prevent a decrease in the manufacturing efficiency of the information recording medium substrate. .
- the height of the convex portion 12D (the height with the lower surface of the thin portion 10 indicated by symbol H2 in FIG. 1 as a reference surface) is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.05 mm to 0.1 mm.
- the convex portion 12D can reliably exert the pressure receiving function during lapping.
- the height H2 of the convex portion 12D it is possible to prevent the polishing margin from being increased more than necessary at the time of lapping and prevent a decrease in the manufacturing efficiency of the information recording medium substrate. .
- the generation of the recesses 114 ⁇ / b> P and 114 ⁇ / b> Q is caused by the thinning of the glass blank 100. That is, the aspect ratio of the glass blank 100 (the ratio of the thickness t of the thin portion 110 to the diameter d of the glass blank 100, t / d) tends to become more prominent.
- the glass blank 1 of the present embodiment has a larger proportion of the thick portion in the diameter direction than the conventional glass blank 100.
- the glass blank 1 of the present embodiment is less likely to generate the indentation 114P because the decrease in rigidity is small and the warp is small even when the aspect ratio is smaller than that of the conventional glass blank 100.
- the aspect ratio of the glass blank 1 of this embodiment is preferably 0.018 or less, and more preferably in the range of 0.013 to 0.017. In the glass blank of this embodiment, even if the aspect ratio is 0.018 or less, the generation of the dents 114P and 114Q that are difficult to avoid in the conventional glass blank 100 can be more reliably suppressed.
- the lower limit of the aspect ratio is not particularly limited, but if the aspect ratio is too small, it is difficult to stretch the glass thinly at the time of pressing, and it becomes impossible to manufacture the glass blank itself from a practical viewpoint. , 0.010 or more is preferable.
- the thickness t used for determining the aspect ratio means the thickness of the thin portions 10 and 110 as shown in FIGS.
- production of the dent 114Q can be suppressed more reliably, but this dent 114Q is finally for information recording media.
- a hole is drilled in the center of the substrate 102, it may remain. This is because the recess 114Q is removed by drilling, and therefore the recess 114Q does not remain on the information recording medium substrate (finished product) that has undergone drilling.
- the glass blank 1 of this embodiment is produced by the direct press method.
- a second mold having a press surface having an outer edge portion provided so as to form a recess with respect to the central portion on the peripheral side of the central portion is used.
- molding die shall be arrange
- the glass blank of this embodiment can be produced through at least one pressing step shown in the following (1) or (2).
- a mold (lower mold) disposed on the lower side in the vertical direction is a first mold
- a mold (upper mold) disposed on the upper side in the vertical direction is a second mold.
- the glass lump is formed on the press surface of the first mold by the press surface of the first mold and the press surface of the second mold. Pressing process for pressing to reach the outer edge (first pressing process)
- the mold (lower mold) disposed on the lower side in the vertical direction is the second mold
- the mold (upper mold) disposed on the upper side in the vertical direction is the first mold.
- the glass lump is placed on the press surface of the first mold by the press surface of the first mold and the press surface of the second mold. Pressing process for pressing to reach the outer edge (second pressing process)
- FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a pair of molds used in the glass blank manufacturing method of the present embodiment. Specifically, the molds are orthogonal to the press surface.
- Fig. 3 shows a cross section when cut.
- a pair of forming dies shown in FIG. 3 includes an upper die 20 and a lower die 30. During pressing, the upper die 20 is arranged on the upper side in the vertical direction, and the lower die 20 is arranged on the lower side in the vertical direction.
- the upper die 20 includes a circular center portion 22A and a press surface 22 having a ring-shaped outer edge portion 22B provided so as to be recessed with respect to the center portion 22A on the peripheral side of the center portion 22A.
- the lower mold 30 includes a circular center portion 32A and a press surface 32 having a ring-shaped outer edge portion 32B provided on the peripheral side of the center portion 32A so as to be recessed with respect to the center portion 32A.
- the diameter of the central portion 32A of the press surface 32 of the lower die 30 is smaller than the diameter of the central portion 22A of the press surface 22 of the upper die 20.
- each of the pair of molds may be constituted by one member, or may be constituted by combining a plurality of members. When a plurality of members are combined and configured, the members may be fixed to each other, or the molding die may be configured with the members movable relative to each other.
- the softened glass lump is supplied onto the central portion 32 ⁇ / b> A of the press surface 32 of the lower mold 30, and then the upper mold 20 and the lower mold are used. 30, the glass lump is press-molded so as to reach the outer edge 22 ⁇ / b> B of the press surface 22 of the upper mold 20.
- type 30 with respect to a perpendicular direction may be upside down.
- a warpage suppressing step for suppressing the occurrence of warpage on the softened glass that has become substantially plate-like after the pressing step it is preferable to carry out a warpage suppressing step for suppressing the occurrence of warpage on the softened glass that has become substantially plate-like after the pressing step.
- the warpage suppressing step for suppressing the occurrence of warpage it can be broadly classified as follows: (1) a method of forcibly correcting warpage once generated by applying external force (warpage correction press), and (2) a rough plate immediately after pressing. It is possible to use at least one of the methods of preventing the difference between the cooling conditions of the upper and lower surfaces of the softened glass that has become a shape and cooling the upper and lower surfaces under substantially the same conditions.
- the warp correction press of (1) after obtaining a glass blank 1 as shown in FIG. 1, it is pressed with a pair of flat substrates in a state where it is heated again to a temperature at which it can be easily deformed. Then, a method of deforming to a flat form by an external force or a glass in a softened state immediately after press molding (as a shape, a glass having the same shape as the glass blank 1 of the present embodiment illustrated in FIG. 1) is flat. There is a method in which a pair of substrates is pressed and deformed so as to have a flat shape by an external force.
- the temperature inside the glass blank 1 when performing the warp correction press is higher than the glass transition temperature Tg.
- the glass blank 1 has the softness which is moderately easy to deform
- the upper limit of the temperature inside the glass blank 1 is not specifically limited, It is preferable to set it as glass transition temperature Tg + 80 degrees C or less practically. Thereby, since it becomes difficult to maintain the glass blank 1 in a soft and easy-to-deform state even after the warp correction press is performed, the second deformation after the warp correction press can be suppressed.
- the temperature of the flat substrate used in the warp correction press is preferably in the range of 400 to 650 ° C. from the viewpoint of preventing the glass from fusing to the substrate while preventing the glass from cracking.
- (2) soaking and cooling on the upper and lower surfaces is the same as that of the lower die so as to be close to or in contact with the upper surface of the softened glass that is substantially plate-like immediately after the upper die is separated from the upper surface.
- cooling is performed until the temperature of the softened glass that has become substantially plate-shaped is equal to or lower than the temperature at which deformation is difficult (that is, the glass transition temperature). Is called. If such cooling is performed, the deviation of the cooling conditions on both sides of the softened glass that has become substantially plate-like after press molding is suppressed, and almost uniform thermal shrinkage occurs on both sides, thus suppressing the occurrence of warpage. it can.
- molten glass made of these glass materials that has been melted, clarified, and stirred and homogenized is continuously discharged from the outflow nozzle at a constant outflow speed, and this molten glass flow is always kept at a constant mass by a cutting machine called shear. Periodically cut to obtain a softened glass lump.
- the softened glass lump that has been cut is supplied (cast) onto the press surface of the lower mold waiting just under the outflow nozzle.
- the molten glass discharged from the outflow nozzle is in a softened state and has a viscosity of about 0.3 to 100 Pa ⁇ s.
- the temperature of the lower mold is lower than the temperature of the glass lump, the temperature of the lower mold is adjusted to a temperature at which the temperature of the glass lump suddenly drops and is not pressable.
- a solid lubricant such as boron nitride (BN) powder may be attached to the lower mold press surface in advance. Good.
- the lower mold in which the cast is finished and the softened glass is placed on the press surface is transferred to a press position where the upper mold is waiting, and is pressed by the upper mold and the lower mold.
- the temperature of the upper mold and the lower mold, the pressing pressure, and the pressing time are appropriately set in consideration of the thermal properties of the glass such as the glass transition temperature, the diameter and thickness of the glass blank to be manufactured, and the like.
- the upper mold temperature can be set to 250 to 550 ° C.
- the lower mold temperature can be set to 350 to 650 ° C.
- the pressing force during pressing can be about several GPa, but is not particularly limited to this range, and can be adjusted as appropriate.
- the upper surface of the molded product is released from the upper mold, and the lower mold on which the molded product is placed is transferred to a position (takeout position) where the molded product is taken out from the lower mold.
- the lower die is stopped between the press position and the take-out position, the upper surface of the molded product on the lower die is pressed with the pressing die, and the warp correction press for correcting the warpage of the molded product is performed and then the take-out position.
- the lower mold may be transferred.
- the lower die while the lower die is transferred from the press position to the take-out position, it is heated to a temperature similar to that of the lower die so as to be close to or in contact with the upper surface of the molded product placed on the lower die, and
- the temperature history of the glass may be adjusted by arranging a flat plate member that covers the entire top surface of the molded product.
- the molded product is put into an annealing furnace and annealed to remove distortion.
- the glass blank of this embodiment can be obtained through such a series of processes.
- the glass composition of the glass blank 1 of the present embodiment can be appropriately selected according to the substrate and information recording medium produced using the glass blank.
- aluminosilicate glass, soda lime glass, soda aluminosilicate glass, aluminoboro examples thereof include silicate glass, borosilicate glass, quartz glass, and chain silicate glass. These glasses may be crystallized glass that crystallizes by heat treatment.
- SiO 2 is 58% by mass to 75% by mass
- Al 2 O 3 is 5% by mass to 23% by mass
- Li 2 O is 2% by mass to 10% by mass
- Na 2 O May be an aluminosilicate glass containing 5% by mass or more and 18% by mass or less as a main component (however, an aluminosilicate glass containing no phosphorus oxide).
- SiO 2 is 62 mass% to 75 mass%
- Al 2 O 3 is 5 mass% to 20 mass%
- Li 2 O is 2 mass% to 8 mass%
- Na 2 O is 6 mass% to 15 mass%.
- It may be an amorphous aluminosilicate glass containing, as a main component, 0 mass% or less and ZrO 2 of 0 mass% or more and 8 mass% or less.
- an information recording medium substrate (hereinafter, simply referred to as “substrate” in some cases) is manufactured using the glass blank 1 of the present embodiment will be described.
- the information recording medium substrate can be manufactured through at least a lapping step of lapping the glass blank 1 of the present embodiment while being sandwiched between lap surface plates.
- the glass which comprises the glass blank 1 has a glass composition which can be crystallized by heat processing, the crystallizing process crystallized by heating substantially plate-like glass other than the said process can also be combined.
- (1) lapping step, (2) drilling step and end face processing step, (3) main surface polishing step, and (4) chemical strengthening step are performed. can do. Note that the order of these steps may be changed.
- a disk-shaped glass base plate is obtained by lapping both the main surfaces of the glass blank 1.
- This lapping process can be performed using alumina free abrasive grains or the like by a double-sided lapping apparatus using a planetary gear mechanism.
- Main surface polishing step The main surface is subjected to a polishing step mainly for removing residual scratches and distortions.
- a polishing liquid for example, cerium oxide abrasive grains or colloidal silica can be used.
- the substantially plate-like glass used for the production of the information recording medium substrate is made of glass containing an alkali metal such as lithium or sodium, the glass substrate that has been subjected to the lapping process and the polishing process described above, It is preferable to apply chemical strengthening.
- chemical strengthening step a high compressive stress can be generated in the surface layer portion of the information recording medium substrate. For this reason, the impact resistance of the surface of the information recording medium substrate can be improved.
- Chemical strengthening is performed by immersing glass in a chemical strengthening solution in which potassium nitrate and sodium nitrate are mixed. Thereby, the lithium ion and sodium ion of the surface layer of a glass substrate are each substituted by the sodium ion and potassium ion in a chemical strengthening solution, and a glass substrate is strengthened.
- the surface roughness of the information recording medium produced through these can be set to an order of sub-nanometers by Ra.
- the surface roughness can be appropriately adjusted by selecting conditions.
- the information recording medium substrate obtained through the above steps can be used for production of an information recording medium employing various known recording methods such as known magnetic recording, optical recording, and magneto-optical recording. In particular, it is suitable for use in producing a magnetic recording medium.
- the information recording medium can be manufactured through at least an information recording layer forming step for forming an information recording layer on the main surface of the information recording medium substrate thus obtained.
- a magnetic recording layer is provided as an information recording layer.
- the magnetic recording medium may be either a horizontal magnetic recording system or a perpendicular magnetic recording system, but is preferably a perpendicular magnetic recording system.
- a perpendicular magnetic recording type magnetic recording medium for example, an adhesion layer made of a Cr alloy, a soft magnetic layer made of an FeCoCrB alloy, an underlayer made of Ru, and CoCrPt—TiO 2 on both surfaces of an information recording medium substrate.
- a perpendicular magnetic recording layer made of an alloy, a protective layer made of hydrogenated carbon, and a lubricating layer made of perfluoropolyether can be sequentially formed in this order.
- the adhesion layer, the soft magnetic layer, the underlayer, and the perpendicular magnetic recording layer can be formed by a sputtering method
- the protective layer can be formed by a sputtering method or a CVD method (Chemical Vapor Deposition method).
- the lubricating layer can be formed by a dip coating method.
- in-line type or single-wafer type sputtering apparatus capable of continuous film formation of each layer can be used for film formation from the adhesion layer to the protective layer
- immersion coating apparatus can be used for film formation of the lubricating layer.
- a position P (cast) for supplying molten glass onto the lower mold press surface (2) lower Position P (press) where molten glass (glass gob) supplied on the mold press surface is pressed using the upper mold placed above the lower mold press surface and the lower mold, (3) Position P (press) From the upper surface of the glass blank formed in step (2), the position P (press # 2) to press (warp correction press) using a warp correction press die that is a separate article from the upper die, (4) A position P (take-out) for taking out from the lower die press surface is assigned.
- This press machine has 16 lower molds, and the position where each lower mold stops is the outer edge of the rotary table and is provided at equal intervals in the circumferential direction.
- the position P (press) is the third position P (press #). 2) is the fourth position, and the position P (take-out) is the twelfth position.
- the lower die and the upper die are formed by a molding die (outer edge concave portion) having a center portion having a circular press surface and an outer edge portion provided at the peripheral edge portion of the central portion so as to be recessed with respect to the central portion.
- Type molding die or a molding die having a flat pressing surface (full flat type molding die) was used.
- an outer edge concave mold or an entire flat type A mold was selected.
- a mold having a different diameter between the central part and a step between the peripheral part and the central part was appropriately used according to the shape of the glass blank to be produced.
- the convex parts 12U and 112U are provided in the upper surface U side like the glass blank 1 shown in FIG. 1, and the glass blank 100 shown in FIG.
- the thing which can press only the thin part meaning the area
- the diameter of the press surface was selected so that the margin (the length indicated by the symbol M in FIG. 1) was 1.5 mm.
- the diameter of the press surface of the warp correction press mold was selected so that the entire upper surface could be pressed.
- Example 1 Direct press- A glass blank 1 having a cross-sectional shape shown in FIG. 1 was obtained by supplying the molten glass obtained by melting the aluminosilicate glass onto the press surface of the lower mold and then pressing it with the upper mold and the lower mold.
- the ratio of the thickness t to the diameter d of the thin wall portion 10 of the glass blank 1, that is, the aspect ratio (t / d), the width W2 and height of the convex portion 12U, and the width W2 and height of the convex portion 12D are W1 / W2 is as shown in Table 1.
- the diameter d is 66.0 mm, which is the same for the glass blanks produced in other examples and comparative examples.
- Example 1 when manufacturing the glass blank 1 by the direct press method, each process was implemented in the following procedures. That is, molten glass is supplied onto the lower mold at P (cast), pressed at the lower mold stop position P (press), and the warp correction arranged above at the lower mold stop position P (press # 2) is corrected. The upper surface of the glass blank on the lower die press surface is warped and corrected by the press die, and the lower die moves from the lower die stop position P (press # 2) to P (take-out). The glass that has become substantially plate-like in the placed state is naturally cooled, and the glass blank that has become substantially plate-like cooled at the lower die stop position P (take-out) is taken out, and the lower die stop position P (take) is taken. The lower mold is circulated and transferred again from -out) to the lower mold stop position P (cast). In addition, the taken-out glass blank was put into the slow cooling furnace, and was cooled to normal temperature.
- Example 2 to 11 When the glass blank 1 was produced, direct pressing was performed in the same manner as in Example 1 except that the mold used was appropriately changed so that the convex portions 12D and 12U had the shapes shown in Table 1. Moreover, the conditions for producing an information recording medium substrate using the obtained glass blank 1 were the same as in Example 1, and an information recording medium substrate was obtained.
- Example 1 A glass blank 100 shown in FIG. 4 was produced.
- direct pressing was performed in the same manner as in Example 1 except that the mold used was appropriately changed so that the shapes of the convex portions 112D and 112U were as shown in Table 2.
- the conditions at the time of producing the information recording medium substrate using the obtained glass blank 100 were the same as those in Example 1, and an information recording medium substrate was obtained.
- Comparative Example 2 A glass blank having no convex portions as illustrated in FIGS. 1 and 4 on both the upper and lower surfaces and a flat surface on both surfaces was produced.
- direct pressing was performed in the same manner as in Example 1 except that the mold used was appropriately changed.
- the conditions at the time of producing the information recording medium substrate using the obtained glass blank 100 were the same as those in Example 1, and an information recording medium substrate was obtained.
- FIG. 4 a glass blank having no protrusions 112D on the upper surface was produced.
- direct pressing was performed in the same manner as in Example 1 except that the mold used was appropriately changed so that the shape of the convex portion 112U was as shown in Table 2.
- the conditions at the time of producing the information recording medium substrate using the obtained glass blank 100 were the same as those in Example 1, and an information recording medium substrate was obtained.
- the evaluation method and evaluation criteria for the dents and flatness are as follows. -Recess- The dents on the surface of the information recording medium substrate were obtained by irradiating the surface of the substrate with light from a visual inspection light source (Olympus Long Life Halogen Light Source ILK-7C) in a dark room environment for 1000 samples. Whether or not a ring-shaped dent was observed along the outer peripheral edge of the substrate was evaluated.
- the evaluation criteria are as follows. A: None of the dents are observed in 1000 sheets. ⁇ : In 1000 sheets, dents are observed in the range of 1 or more and less than 5 sheets. (Triangle
- the flatness of the portion excluding the convex portion was measured with 10 samples, and the average value was obtained.
- the flatness was obtained by measuring the displacement at a 1 mm pitch with a laser focus displacement meter while moving the sample placed on the XY stage. Then, the difference between the maximum value and the minimum value of the displacement obtained after correcting the inclination of the measured value was obtained for each sample, and the average value of these values was defined as flatness.
- the evaluation criteria are as follows. A: Less than 4 ⁇ m B: 4 ⁇ m or more and less than 10 ⁇ m ⁇ : 10 ⁇ m or more and less than 20 ⁇ m ⁇ : 20 ⁇ m or more
- Processing time is less than + 5% with respect to Example 1.
- B Processing time is + 5% or more and less than + 10% with respect to Example 1.
- ⁇ Processing time is + 10% or more with respect to Example 1 and less than + 15%. Processing time + 15% or more with respect to Example 1
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Abstract
ガラスブランクから情報記録媒体用基板を作製した場合に、平面性に優れると共に、ガラスブランクの薄板化により加工量を低減させても凹跡の発生も抑制すること。 円板状の薄肉部10と、この薄肉部10の周縁部に沿って、薄肉部の両面に対して凸部12U、12Dを形成するように設けられた厚肉部12と、を有し、薄肉部10の直径方向において、薄肉部10の直径方向に対する、一方の面側の凸部12Dの径方向の幅W1が、他方の面側の凸部12Uの径方向の幅W2よりも大きいガラスブランクおよびその製造方法、ならびに、当該ガラスブランクを用いた情報記録媒体用基板製造方法および情報記録媒体製造方法。
Description
本発明は、ガラスブランク、ガラスブランク製造方法、情報記録媒体用基板製造方法および情報記録媒体製造方法に関するものである。
磁気記録媒体などの情報記録媒体用の基板として、ガラス基板が広く利用されている。このようなガラス製の情報記録媒体用基板の製造方法としては、板状の素板ガラスから円板状にガラスを切り出す方法の他に、溶融ガラスを一対の成形型でプレスする方法(いわゆるダイレクトプレス法)や一旦製品に近い大きさに作製したガラスを再加熱して熔解し、より精密にプレスしなおす方法(いわゆるリヒートプレス)で作製されたガラスブランクを所定の形状に加工し、情報記録媒体用基板を作製する。
このようなプロセスを経て作製される情報記録媒体用基板は、所定の厚みを有し、かつ、反りが殆ど無いことが必要である。これに加えて、コストダウンに対応するためには、ガラスブランクから情報記録媒体用基板を作製する際の研磨代を小さくすることが重要である。このため、ガラスブランクには、薄肉化のみならず、平面性の更なる向上(反りの低減)が求められている。平面性向上というニーズに対応するために、本出願人によりプレス直後に略板状となった軟化状態のガラスを再プレスする反り修正工程を実施することで、ガラスブランクの反りを修正する技術が提案されている(特許文献1)。
また、プレス成型時に発生した反りは、程度の差はあれどもガラスブランクに残留する。よって、このような反りを有するガラスブランクに対して、両面から圧力を加えた状態で研削しても、印加していた圧力を解除した時点で反りが再び発生してしまう。この問題を解決するために、ガラスブランクをラップ研磨する際に、ラップ研磨時にガラスブランクの両面に加わる圧力を受け止めることを目的とした肉厚部を、ガラスブランクの外周端等に設ける技術が、本出願人により提案されている(特許文献2の請求項1、段落0013、図2等)。
これら本出願人により提案された技術は、ガラスブランクや、最終製品である情報記録媒体用基板の反りを抑制する上で、非常に有用である。しかしながら、特許文献2に記載の技術を利用して、円板状の薄肉部の周縁部の両面に凸を成すように厚肉部を設けたガラスブランクを用いて情報記録媒体用基板を作製する際、コストダウンを図るためにガラスブランクを薄板化させていき、ガラスブランクの加工量を低減させていくと、当該基板の片面に、外周端に沿ってリング状に形成される凹跡が発生することがある。このような凹跡が残った基板は、情報記録媒体用の基板としては使用できない。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、平面性に優れ、ガラスブランクの薄板化により加工量を低減させても凹跡の発生が抑制された情報記録媒体用基板を作製できるガラスブランクおよびその製造方法、ならびに、当該ガラスブランクを用いた情報記録媒体用基板製造方法および情報記録媒体製造方法を提供することを課題とする。
上記課題は以下の本発明により達成される。すなわち、本発明のガラスブランクは、円板状の薄肉部と、この薄肉部の周縁部に沿って、薄肉部の両面に対して凸部を形成するように設けられた厚肉部と、を有し、薄肉部の直径方向に対する、一方の面側の上記凸部の径方向の幅が、他方の面側の上記凸部の径方向の幅よりも大きいことを特徴とする。
本発明のガラスブランク製造方法は、鉛直方向に対して相対的に移動可能に配置された一対の成形型として、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、円形状の中央部、および、当該中央部の周縁側に中央部に対して凹みを成すように設けられた外縁部を有するプレス面を備えた第一の成形型と、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、第一の成形型の中央部よりも直径の小さい円形状の中央部、および、当該中央部の周縁側に当該中央部に対して凹みを成すように設けられた外縁部を有するプレス面を備えた第二の成形型とを用い、鉛直方向下方側に配置される成形型を第一の成形型とし、鉛直方向上方側に配置される成形型を第二の成形型として、軟化状態のガラス塊を、第一の成形型のプレス面上に配置した後に、第一の成形型のプレス面と第二の成形型のプレス面とにより、ガラス塊を、第一の成形型プレス面の外縁部にまで到達するようにプレスする第一のプレス工程、および、鉛直方向下方側に配置される成形型を第二の成形型とし、鉛直方向上方側に配置される成形型を第一の成形型として、軟化状態のガラス塊を、第二の成形型のプレス面上に配置した後に、第一の成形型のプレス面と第二の成形型のプレス面とにより、ガラス塊を、第一の成形型プレス面の外縁部にまで到達するようにプレスする第二のプレス工程、から選択されるいずれか一方のプレス工程を少なくとも経て、本発明のガラスブランクを製造することを特徴とする。
本発明のガラスブランク製造方法の一実施態様は、プレス工程を経て、略板状となった軟化状態のガラスに対して、反りの発生を抑制する反り抑制工程を実施することが好ましい。
本発明の情報記録媒体用基板製造方法は、本発明のガラスブランク、および、本発明のガラスブランク製造方法により製造されたガラスブランクから選択されるいずれかのガラスブランクの両面を、研削加工及び/又は研磨加工を行う工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を製造することを特徴とする。
本発明の情報記録媒体製造方法は、本発明の情報記録媒体用基板製造方法により作製された情報記録媒体用基板の主表面上に、情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体を製造することを特徴とする。
本発明によれば、平面性に優れ、ガラスブランクの薄板化により加工量を低減させても凹跡の発生も抑制された情報記録媒体用基板が作製できるガラスブランクおよびその製造方法、ならびに、当該ガラスブランクを用いた情報記録媒体用基板製造方法および情報記録媒体製造方法を提供することができる。
(ガラスブランクおよびその製造方法)
-ガラスブランク-
本実施形態のガラスブランクは、円板状の薄肉部と、この薄肉部の周縁部に沿って、薄肉部の両面に対して凸部を形成するように設けられた厚肉部と、を有し、薄肉部の直径方向に対する、一方の面側の上記凸部の径方向の幅が、他方の面側の上記凸部の径方向の幅よりも大きいことを特徴とする。
-ガラスブランク-
本実施形態のガラスブランクは、円板状の薄肉部と、この薄肉部の周縁部に沿って、薄肉部の両面に対して凸部を形成するように設けられた厚肉部と、を有し、薄肉部の直径方向に対する、一方の面側の上記凸部の径方向の幅が、他方の面側の上記凸部の径方向の幅よりも大きいことを特徴とする。
本実施形態のガラスブランクでは、薄肉部の両面に対して凸部を形成する厚肉部が設けられている。よって、ラップ研磨時に、ガラスブランクを挟持するように配置された一対の研削盤(ラップ定盤)により、ガラスブランクの両面に加えられる押圧力が、この肉厚部のみによって受け止められる。この状態でラップ研磨が進んで肉厚部が削られ、さらに薄肉部も削られることになるため、研削盤から受ける押圧力によって、ガラスブランクを弾性変形させずにラップ研磨することができる。そのため、ガラスブランクをラップ研磨で平坦に加工すれば、研削盤による押圧力を取り除いてもガラスの平坦性は保たれる。一方、弾性変形した状態でラップ研磨すると、ガラスブランクを平坦に加工したつもりでも、研削盤による押圧力を取り除くと、ガラスの変形が戻り、平坦性が得られない。したがって、ラップ研磨工程を経て得られる情報記録媒体用基板の平面性に優れる。
これに加えて、本実施形態のガラスブランクでは、薄肉部の直径方向に対する、一方の面側の凸部の径方向の幅が、薄肉部の他方の面側の凸部の径方向の幅よりも大きい。これは、ガラスブランクのプレス直後の冷却過程におけるガラスの反りに対して、効果的に反りを抑制できるように配置したものである。以上のことから、本実施形態のガラスブランクでは、情報記録媒体用基板を作製した場合に、ガラスブランクが有する反りや変形に起因して発生する凹跡を抑制することができる。
このような凹跡の発生を抑制できる効果について、本実施形態のガラスブランクと従来のガラスブランクとを対比させつつ、以下に図面を用いてより具体的に説明する。図4~図6は、従来のガラスブランクを用いて情報記録媒体用基板を作製した際に、凹跡が発生する原理を説明するための説明図である。ここで、図4および図5中に示すガラスブランク100は、円板状の薄肉部110と、この薄肉部110の両面に対してリング状の凸部112U、112Dを形成する厚肉部112とを有する点では本実施形態のガラスブランクと共通する。しかし、ガラスブランク100の一方の面側Dの凸部112Dの径方向の幅と、他方の面側Uの凸部112Uの径方向の幅とが同一である点で、本実施形態のガラスブランクと異なるものである。図4は、一対の成形型(上型および下型)によりプレス成型された直後であって、上型がガラスブランク100から離間する直前における高温状態のガラスブランク100Hの直径方向における断面形状を示す模式断面図である。なお、図4中、上型および下型については記載を省略してある。図5は、図4に示すガラスブランク100Hがガラス転移温度Tg以下の温度域まで冷却された後のガラスブランク100Cの直径方向における断面形状を示す模式断面図である。図6は、図5に示すガラスブランク100Cに対して、ラップ研磨等の後工程を実施することにより得られた情報記録媒体用基板102(端面加工前の状態)の直径方向における断面形状を示す模式断面図である。なお、図4~図5中、符号Uで示される面は、プレス成型時に上型と接触している面または接触していた面を意味し、符号Dで示される面は、プレス成型時に下型と接触している面または接触していた面を意味する。以下の説明においては、符号Uで示される面を「上面」、符号Dで示される面を「下面」と称す場合がある。
図4に示すように、プレス直後の高温状態を維持しているガラスブランク100Hにおいては、ガラスブランクは金型の形状が転写されており反りが発生していない。しかし、プレス後に、上面側と下面側の冷却過程が異なると、ガラスの熱収縮の差によるガラスブランクの反りが顕著となる。それゆえ、図4に示すガラスブランク100Hが冷却されると、図5に示すように、上面側に反るように湾曲したガラスブランク100Cとなる。
このため、このガラスブランク100Cを用いて、情報記録媒体用基板102を作製した場合、ガラスブランク100Cの薄肉化により研磨代が小さくなると、下面の角部114Cの部分および上面の中央部に凹跡114P、114Qが発生してしまう(図6)。
このような凹跡114P、114Qは、ガラスブランク100Cの反りが大きい程、および/または、ガラスブランク100Cをより薄肉にするほど(すなわち、情報記録媒体用基板102を作製する際の研磨代が小さくなるほど)顕著になる。
このような凹跡114P、114Qは、ガラスブランク100Cの反りが大きい程、および/または、ガラスブランク100Cをより薄肉にするほど(すなわち、情報記録媒体用基板102を作製する際の研磨代が小さくなるほど)顕著になる。
また、ガラスブランク100Cの反りを修正するために、ガラスブランク100Cに対して、特許文献1等に示されるような反り修正プレスを実施する場合がある。この場合、反り修正プレスは、変形可能な温度とされたガラスブランク100Cの薄肉部110の上面側全体(図5中に示す符号RPで示す領域)を反り修正プレス部材でプレスする。
図1は、本実施形態のガラスブランクの一例を示す模式断面図である。なお、図中に示す符号RP、U、Dは、図4~図6中に示したものと同様である。図1中に示すガラスブランク1は、円板状の薄肉部10と、この薄肉部10の周縁部に沿って、薄肉部10の両面に対してリング状の凸部12U、12Dを形成する厚肉部12とが設けられている点では図4および図5に例示した従来のガラスブランク100と共通する。しかし、ガラスブランク1は、ガラスブランク1の一方の面側Dの凸部12Dの径方向の幅W1が、他方の面側Uの凸部12Uの径方向の幅W2よりも大きい点で、従来のガラスブランク100と異なる。
すなわち、凸部12Uの幅W2は、図4および図5に例示する従来のガラスブランク100の場合と同様に、ラップ研磨時に、研削盤により印加される押圧力を受け止めるという機能(押圧力受止め機能)が確保できるように決定される。これに対して、凸部12Dの幅W1は、この押圧力受止め機能に加えて、従来のガラスブランク100よりも、ガラスブランク1の剛性を更に向上させるという観点も考慮して決定される。すなわち、ガラスブランクの高温状態のプレス直後の状態から、ガラスブランク1の上面と、上型とが離間しガラス転移温度Tg以下に冷却される過程でのガラスブランクの反りに対して、あらかじめ温度履歴からガラスブランクが反る方向を求めておき、その方向に対して各々の面に設けられる凸部12U、12Dの幅を変えることで、ガラスの反りを抑制する。
このため、このガラスブランク1を用いて、ラップ研磨等の後工程を実施することにより情報記録媒体用基板を作製した場合、ガラスブランク1の薄肉化により研磨代を小さくしても、図5および図6に示すような反りに起因する凹跡114Pの発生も抑制される。
このため、このガラスブランク1を用いて、ラップ研磨等の後工程を実施することにより情報記録媒体用基板を作製した場合、ガラスブランク1の薄肉化により研磨代を小さくしても、図5および図6に示すような反りに起因する凹跡114Pの発生も抑制される。
また、ガラスブランク1に対しても、従来と同様に反り修正プレスを実施してもよい。この場合、反り修正プレス領域RPは、その最外周端が、凸部12Dの内周側側面(図1中の点線で示されるライン)よりも外側に設定される。そして、このような状態で反り修正プレスを実施した場合、薄肉部10のみならず、厚肉部12の一部(直径方向において、凸部12Uの内周側側面よりも内周側で、かつ、凸部12Dの内周側側面よりも外周側の部分)にも、押圧力を印加しても良い。
なお、図1に示すガラスブランク1では、幅の狭い凸部12Uが設けられた側の面が、プレス時において上型と接触し、さらに反り修正プレスを実施する場合は、反り修正プレス部材でプレスされる側の面(上面)とされている。反り修正プレス時、ガラスブランク1の上面は、プレス成形で使用した上型とは別の部材でプレスされる。反り修正プレス時、ガラスブランク1の厚肉部12の粘度は薄肉部10に比べて低く、厚肉部12をプレスすると厚肉部12を変形させてしまうおそれがあるため、上方から薄肉部10のみをプレスすることが好ましく、しかも薄肉部10を広範囲にわたりプレスすることが好ましい。しかし、反り修正プレスは前述のように上型とは別の部材でプレスするため、部材が僅かに位置ずれを起こした状態で薄肉部10全域をプレスすると厚肉部12の一部もプレスするおそれが生じる。そこで、厚肉部12をプレスせずに、ガラスブランク1上面を広範囲にわたりプレスするには、幅の狭い凸部12Uが上面になるように、すなわち、薄肉部10の面積の広い側が上面になるようにプレス成形することが望ましい。反り修正プレスを実施しない場合は、幅の狭い凸部12Uが設けられた側の面は、プレス時において、上型と接する面であってもよいし、下型と接する面であってもよい。いずれの場合であっても、ガラスブランク1の直径方向に対して、相対的に厚肉となる領域の割合が増加して剛性が更に向上し、反りが抑制されるからである。
また、図1に示すガラスブランク1では、凸部12Dの内周側側面は、薄肉部10の下面に対して垂直を成す面である。しかしながら、凸部12Dの内周側側面は、図2に示すように凸部12Dの頂上部側から、薄肉部10の下面側へと裾野が広がるように、薄肉部10の下面に対して傾斜した面12Sであってもよい。この場合の傾斜角(図2中に示す角度θ)は傾斜した面12Sと凸部12Dの頂上面とが交差する部分の破損防止の観点から、30度以上90度未満であることが好ましい。さらには40度以上80度未満であることがより好ましい。
ここで、凸部12Uの幅W2は、ラップ研磨時における圧力受止め機能を確保する観点から、特許文献2の段落0008にも例示されるように2.0mm前後とすることができるが、具体的には1mm~6mmの範囲内とすることが好ましく、1mm~4.5mmの範囲内とすることがより好ましい。幅W2を1mm以上とすることにより、凸部12Uによりラップ研磨時における圧力受止め機能を確実に発揮させることができる。また、幅W2を4.5mm以下とすることにより、ラップ研磨時における研磨レートの必要以上の低下を防いで、情報記録媒体用基板の製造効率の低下を防止することができる。
ガラスの熱履歴から、ガラスブランク1が反る方向をあらかじめ求めておき、ガラスブランク1が反って凸面になる側をW1、凹面になる側をW2と定義する。このとき、凸部12Uの幅W2に対する凸部12Dの幅W1の比(W1/W2)は、1.0以上であることが好ましく、さらには2.0以上が好ましく、3.0以上が一層好ましい。加えてガラス加工の加工容易性(ラップ加工の加工時間)から、W1/W2は6.0以下が好ましく、さらには5.0以下がより好ましく、4.5以下が一層好ましい。
凸部12Uの高さ(図1中、符号H1で示される薄肉部10の上面を基準面とした高さ)は特に限定されないが0.05mm~0.1mmの範囲内が好ましい。凸部12Uの高さを0.05mm以上とすることにより、凸部12Uによりラップ研磨時における圧力受止め機能を確実に発揮させることができる。また、凸部12Uの高さH1を0.1mm以下とすることにより、ラップ研磨時における研磨代の必要以上の増大を防いで、情報記録媒体用基板の製造効率の低下を防止することができる。
凸部12Dの高さ(図1中、符号H2で示される薄肉部10の下面を基準面とした高さ)は特に限定されないが0.05mm~0.1mmの範囲内が好ましい。凸部12Dの高さを0.05mm以上とすることにより、凸部12Dによりラップ研磨時における圧力受止め機能を確実に発揮させることができる。また、凸部12Dの高さH2を0.1mm以下とすることにより、ラップ研磨時における研磨代の必要以上の増大を防いで、情報記録媒体用基板の製造効率の低下を防止することができる。
また、既述したように、図4、図5に例示したような従来のガラスブランク100から情報記録媒体用基板102を作製した場合において、凹跡114P、114Q発生は、ガラスブランク100の薄肉化、すなわちガラスブランク100のアスペクト比(ガラスブランク100の直径dに対する薄肉部110の厚みtの比率、t/d)が小さくなるほど顕著になる傾向がある。しかしながら、本実施形態のガラスブランク1は、従来のガラスブランク100と比べて直径方向に対する肉厚な部分の割合が大きい。このため、本実施形態のガラスブランク1は、従来のガラスブランク100よりもアスペクト比が小さくなっても剛性の低下が小さく、反りも少ないため、凹跡114Pも発生し難しい。この点を考慮すれば、本実施形態のガラスブランク1のアスペクト比は、0.018以下であることが好ましく、0.013~0.017の範囲がより好ましい。本実施形態のガラスブランクでは、アスペクト比を0.018以下としても、従来のガラスブランク100では、発生が避け難かった凹跡114P、114Qの発生をより確実に抑制することができる。なお、アスペクト比の下限は特に限定されるものではないが、アスペクト比が小さ過ぎる場合はプレス時にガラスを薄く延伸させることが困難となり、ガラスブランクの製造自体ができなくなるなど、実用上の観点から、0.010以上とすることが好ましい。なお、本願明細書において、アスペクト比を決定するために用いる厚みtとは、図1や図4に示すように薄肉部10、110の厚みを意味する。なお、本実施形態のガラスブランクでは、アスペクト比を0.018以下としても、凹跡114Qの発生をより確実に抑制することができるが、この凹跡114Qは、最終的に、情報記録媒体用基板102の中央部に穴あけ加工が施される場合は、残存していてもよい。凹跡114Qは、穴あけ加工により除去されるため穴開け加工も経た情報記録媒体用基板(完成品)では、凹跡114Qが残らないためである。
-ガラスブランク製造方法-
本実施形態のガラスブランク1は、ダイレクトプレス法により作製される。ここで、プレス成形に際しては、一対の成形型として、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、円形状の中央部、および、当該中央部の周縁側に中央部に対して凹みを成すように設けられた外縁部を有するプレス面を備えた第一の成形型と、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、第一の成形型の中央部よりも直径の小さい円形状の中央部、および、当該中央部の周縁側に当該中央部に対して凹みを成すように設けられた外縁部を有するプレス面を備えた第二の成形型とを用いる。一対の成形型は、例えば、鉛直方向に対して相対的に移動可能に配置されたものとすることができる。
本実施形態のガラスブランク1は、ダイレクトプレス法により作製される。ここで、プレス成形に際しては、一対の成形型として、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、円形状の中央部、および、当該中央部の周縁側に中央部に対して凹みを成すように設けられた外縁部を有するプレス面を備えた第一の成形型と、プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、第一の成形型の中央部よりも直径の小さい円形状の中央部、および、当該中央部の周縁側に当該中央部に対して凹みを成すように設けられた外縁部を有するプレス面を備えた第二の成形型とを用いる。一対の成形型は、例えば、鉛直方向に対して相対的に移動可能に配置されたものとすることができる。
この場合、以下の(1)または(2)に示すいずれか一方のプレス工程を少なくとも経ることにより、本実施形態のガラスブランクを作製することができる。
(1)鉛直方向下方側に配置される成形型(下型)を第一の成形型とし、鉛直方向上方側に配置される成形型(上型)を第二の成形型として、軟化状態のガラス塊を、第一の成形型のプレス面上に配置した後に、第一の成形型のプレス面と第二の成形型のプレス面とにより、ガラス塊を、第一の成形型プレス面の外縁部にまで到達するようにプレスするプレス工程(第一のプレス工程)
(2)鉛直方向下方側に配置される成形型(下型)を第二の成形型とし、鉛直方向上方側に配置される成形型(上型)を第一の成形型として、軟化状態のガラス塊を、第二の成形型のプレス面上に配置した後に、第一の成形型のプレス面と第二の成形型のプレス面とにより、ガラス塊を、第一の成形型プレス面の外縁部にまで到達するようにプレスするプレス工程(第二のプレス工程)
(1)鉛直方向下方側に配置される成形型(下型)を第一の成形型とし、鉛直方向上方側に配置される成形型(上型)を第二の成形型として、軟化状態のガラス塊を、第一の成形型のプレス面上に配置した後に、第一の成形型のプレス面と第二の成形型のプレス面とにより、ガラス塊を、第一の成形型プレス面の外縁部にまで到達するようにプレスするプレス工程(第一のプレス工程)
(2)鉛直方向下方側に配置される成形型(下型)を第二の成形型とし、鉛直方向上方側に配置される成形型(上型)を第一の成形型として、軟化状態のガラス塊を、第二の成形型のプレス面上に配置した後に、第一の成形型のプレス面と第二の成形型のプレス面とにより、ガラス塊を、第一の成形型プレス面の外縁部にまで到達するようにプレスするプレス工程(第二のプレス工程)
ここで、図3は、本実施形態のガラスブランクの製造方法に用いられる一対の成形型の一例を示す模式断面図であり、具体的には、成形型をそのプレス面に対して直交するように切断した場合の断面について示したものである。図3に示す一対の成形型は、上型20と下型30とから構成され、プレス時には、上型20は鉛直方向上方側に配置され、下型20は鉛直方向下方側に配置される。上型20は、円形状の中央部22A、および、中央部22Aの周縁側に中央部22Aに対して凹みを成すように設けられたリング状の外縁部22Bを有するプレス面22を備える。下型30は、円形状の中央部32A、および、中央部32Aの周縁側に中央部32Aに対して凹みを成すように設けられたリング状の外縁部32Bを有するプレス面32を備えている。ただし、下型30のプレス面32の中央部32Aの直径は、上型20のプレス面22の中央部22Aの直径よりも小さい。なお、一対の成形型は、各々、一つの部材で構成してもよく、複数の部材を組み合わせて構成してもよい。複数の部材を組合わせて構成する場合、各部材を相互に固定したものとしてもよいし、各部材を相互に可動な状態で成形型を構成してもよい。
図1に例示したような本実施形態のガラスブランク1を製造する場合は、軟化状態のガラス塊を、下型30のプレス面32の中央部32A上に供給した後、上型20と下型30とにより、このガラス塊を、上型20のプレス面22の外縁部22Bにまで到達するようにプレス成形する。なお、図1に示すガラスブランク1と同形状のガラスブランクを得る上では、鉛直方向に対する上型20と下型30との配置関係は、上下逆であってもよい。
このため、プレス工程を経た後に、略板状となった軟化状態のガラスに対して、反りの発生を抑制する反り抑制工程を実施することが好ましい。反りの発生を抑制する反り抑制工程では、大別すると、(1)一旦発生した反りを、外力を加えて強制的に修正する方法(反り修正プレス)、および、(2)プレス直後の略板状となった軟化状態のガラスの上下両面の冷却条件の乖離を防いで、上下両面を略同一の条件で冷却する方法の少なくとも一方が利用できる。
(1)の反り修正プレスとしては、既述したように、図1に示すようなガラスブランク1を得た後に、これを変形容易な温度まで再度加熱した状態で、平坦な一対の基板で押圧して、外力によって平坦な形態になるように変形させる方式や、プレス成形直後の軟化状態のガラス(形状としては、図1に例示する本実施形態のガラスブランク1と同形状のガラス)を平坦な一対の基板で押圧して、外力によって平坦な形態になるように変形させる方式が挙げられる。
ここで、反り修正プレスを行う際の、ガラスブランク1の内部の温度としては、ガラス転移温度Tgよりも高い温度であることが好ましい。これにより、ガラスブランク1が適度に変形容易な柔らかさを有するため、ガラスブランク1に外力が加わっても割れやヒビが発生するのをより確実に抑制できる。なお、ガラスブランク1の内部の温度の上限は特に限定されないが、実用上はガラス転移温度Tg+80℃以下とすることが好ましい。これにより、反り修正プレスを実施した後にも、ガラスブランク1が柔らかく変形しやすい状態を維持することが困難となるため、反り修正プレス後の再度の変形を抑制できる。反り修正プレスで使用する平坦な基板の温度は、ガラスの割れを防止しつつ、基板にガラスが融着するのを防止する観点から400~650℃の範囲内とすることが好ましい。
また、(2)の上下面均熱冷却は、プレス成形後に、上面から上型が離間した直後の略板状となった軟化状態のガラスの上面に、近接または接触するように下型と同程度の温度に加熱された平面状の部材を配置した状態で、略板状となった軟化状態のガラスの温度が変形困難な温度(すなわち、ガラス転移温度)以下となるまで冷却することにより行われる。このような冷却を実施すれば、プレス成形後の略板状となった軟化状態のガラスの両面の冷却条件の乖離が抑制され、両面でほぼ均等な熱収縮が起こるため、反りの発生が抑制できる。
次に、プレス工程も含めた本実施形態のガラスブランク1の製造方法の典型例について以下に説明する。まず、溶解、清澄、攪拌均一化されたこれらガラス材料からなる溶融ガラスを、流出ノズルから一定の流出速度で連続して排出させ、この溶融ガラス流をシアと呼ばれる切断機によって、常に一定質量の軟化状態のガラス塊が得られるように周期的に切断する。切断された軟化状態のガラス塊は流出ノズル直下で待機している下型のプレス面上に供給(キャスト)される。流出ノズルから排出される溶融ガラスは、軟化した状態であり、その粘度は0.3~100Pa・s程度である。なお、下型の温度はガラス塊の温度よりも低温ではあるが、ガラス塊の温度が急降下してプレス不能とならない温度に調温される。なお、下型のプレス面には、キャストされる溶融ガラスのプレス面に対する潤滑性を向上させるために、必要に応じて予め窒化ホウ素(BN)粉末などの固体潤滑剤を付着させておいてもよい。
上記キャストが終わって軟化状態のガラスをそのプレス面上に載置した下型は、上型が待機しているプレス位置に移送されて、上型及び下型によりプレス成形される。この際の上型および下型の温度、プレス圧力、プレス時間は、ガラス転移温度等のガラスの熱物性や、作製するガラスブランクの直径・厚み等を考慮して適宜設定する。たとえば、上型の温度を250~550℃、下型の温度を350~650℃に設定することができる。プレス時の加圧力については数GPa程度を目安にできるが、特にこの範囲に限定されるものではなく、適宜調整することができる。
プレス成形を終えると、成形品上面が上型から離型され、成形品を載置した下型は成形品を下型から取出す位置(テイクアウト位置)に移送される。なお、プレス位置とテイクアウト位置との間で下型を停留させて、下型上の成形品の上面を押し型で押圧し、成形品の反りを修正する反り修正プレスを実施してからテイクアウト位置に下型ごとを移送してもよい。あるいは、プレス位置からテイクアウト位置へと下型が移送される間に、下型上に載置された成形品の上面に近接または接触するように、下型と同程度の温度に加熱され、かつ、成形品の上面全体を覆う平板状の部材を配置することで、ガラスの温度履歴を調整してもよい。
また、成形品は除歪するためにアニール炉に入れられてアニールされる。そして、このような一連の工程を経ることで本実施形態のガラスブランクを得ることができる。また、必要に応じて、アニール後のガラスブランクに対して反り修正プレスを実施してもよい。
-ガラス組成-
本実施形態のガラスブランク1のガラス組成としては、これを用いて作製される基板や情報記録媒体に応じて適宜選択できるが、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラスなどを挙げることができる。また、これらのガラスは加熱処理により結晶化する結晶化ガラスであってもよい。
本実施形態のガラスブランク1のガラス組成としては、これを用いて作製される基板や情報記録媒体に応じて適宜選択できるが、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラスなどを挙げることができる。また、これらのガラスは加熱処理により結晶化する結晶化ガラスであってもよい。
なお、アルミノシリケートガラスとしては、SiO2が58質量%以上75質量%以下、Al2O3が5質量%以上23質量%以下、Li2Oが2質量%以上10質量%以下、Na2Oが5質量%以上18質量%以下を主成分として含有するアルミノシリケートガラス(ただし、リン酸化物を含まないアルミノシリケートガラス)を用いてよい。たとえば、SiO2が62質量%以上75質量%以下、Al2O3が5質量%以上20質量%以下、Li2Oが2質量%以上8質量%以下、Na2Oが6質量%以上15質量%以下、ZrO2が0質量%以上8質量%以下を主成分として含有するアモルファスのアルミノシリケートガラスとしてよい。
(情報記録媒体用基板製造方法)
次に、本実施形態のガラスブランク1を用いて、情報記録媒体用基板(以下、単に「基板」と略す場合がある)を製造する場合について説明する。この場合、本実施形態のガラスブランク1をラップ定盤で挟持した状態でラッピングするラッピング工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を製造することができる。また、ガラスブランク1を構成するガラスが熱処理により結晶化可能なガラス組成を有する場合は、上記工程の他に、略板状ガラスを加熱することにより結晶化させる結晶化工程を組み合わせることもできる。なお、情報記録媒体用基板の製造の一典型例としては、たとえば、(1)ラッピング工程、(2)穴あけ工程および端面加工工程、(3)主表面研磨工程、(4)化学強化工程を実施することができる。なお、これらの工程順は入れ替えても良い。
次に、本実施形態のガラスブランク1を用いて、情報記録媒体用基板(以下、単に「基板」と略す場合がある)を製造する場合について説明する。この場合、本実施形態のガラスブランク1をラップ定盤で挟持した状態でラッピングするラッピング工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を製造することができる。また、ガラスブランク1を構成するガラスが熱処理により結晶化可能なガラス組成を有する場合は、上記工程の他に、略板状ガラスを加熱することにより結晶化させる結晶化工程を組み合わせることもできる。なお、情報記録媒体用基板の製造の一典型例としては、たとえば、(1)ラッピング工程、(2)穴あけ工程および端面加工工程、(3)主表面研磨工程、(4)化学強化工程を実施することができる。なお、これらの工程順は入れ替えても良い。
(1)ラッピング工程
ラッピング工程では、ガラスブランク1の両主表面をラッピング加工することで、ディスク状のガラス素板を得る。このラッピング加工は、遊星歯車機構を利用した両面ラッピング装置により、アルミナ系遊離砥粒などを用いて行うことができる。
ラッピング工程では、ガラスブランク1の両主表面をラッピング加工することで、ディスク状のガラス素板を得る。このラッピング加工は、遊星歯車機構を利用した両面ラッピング装置により、アルミナ系遊離砥粒などを用いて行うことができる。
(2)穴あけ工程および端面加工工程
次に、ダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に円孔を形成し、ドーナツ状のガラス基板を得る。ガラス基板の外径部および内径部に面取加工および研磨加工を行うことが出来る。
次に、ダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に円孔を形成し、ドーナツ状のガラス基板を得る。ガラス基板の外径部および内径部に面取加工および研磨加工を行うことが出来る。
(3)主表面研磨工程
主表面に対して、残留したキズや歪みの除去を主たる目的とした研磨工程を実施する。研磨液としては、たとえば、酸化セリウム砥粒やコロイダルシリカを用いることができる。
主表面に対して、残留したキズや歪みの除去を主たる目的とした研磨工程を実施する。研磨液としては、たとえば、酸化セリウム砥粒やコロイダルシリカを用いることができる。
(4)化学強化工程
情報記録媒体用基板の作製に用いる略板状ガラスが、リチウムやナトリウムなどのアルカリ金属を含むガラスからなる場合は、前述のラッピング工程および研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施すのが好ましい。化学強化工程を行うことにより、情報記録媒体用基板の表層部に高い圧縮応力を生じさせることができる。このため、情報記録媒体用基板の表面の耐衝撃性を向上させることができる。
情報記録媒体用基板の作製に用いる略板状ガラスが、リチウムやナトリウムなどのアルカリ金属を含むガラスからなる場合は、前述のラッピング工程および研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施すのが好ましい。化学強化工程を行うことにより、情報記録媒体用基板の表層部に高い圧縮応力を生じさせることができる。このため、情報記録媒体用基板の表面の耐衝撃性を向上させることができる。
化学強化は、硝酸カリウムと硝酸ナトリウムを混合した化学強化溶液にガラスを浸漬することによって行う。これによりガラス基板の表層のリチウムイオンおよびナトリウムイオンが、化学強化溶液中のナトリウムイオンおよびカリウムイオンにそれぞれ置換され、ガラス基板が強化される。
これらの一連の工程については、この順番でなくても良い。これらを経て作製された情報記録媒体の表面粗さは、Raでサブナノメーターのオーダーとすることができる。なお、表面粗さは、条件を選択することにより適宜調整することができる。なお、以上の工程を経て得られた情報記録媒体用基板は、公知の磁気記録、光記録、光磁気記録等の公知の各種記録方式を採用した情報記録媒体の作製に用いることができるが、特に磁気記録媒体の作製に用いることが好適である。
(情報記録媒体製造方法)
このようにして得られた情報記録媒体用基板の主表面上に、情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経ることで、情報記録媒体を製造することができる。なお、磁気記録媒体を作製する場合は、情報記録層として磁気記録層が設けられる。この磁気記録媒体は、水平磁気記録方式および垂直磁気記録方式のいずれであってもよいが、垂直磁気記録方式であることが好ましい。垂直磁気記録方式の磁気記録媒体を作製する場合は、たとえば、情報記録媒体用基板の両面に、Cr合金からなる付着層、FeCoCrB合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt-TiO2合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を、この順に順次成膜することができる。なお、付着層、軟磁性層、下地層、垂直磁気記録層は、スパッタリング法により成膜することができ、保護層は、スパッタリング法やCVD法(Chemical Vapor Deposition法)により成膜することができ、潤滑層は浸漬塗布法により成膜することができる。また、付着層から保護層までの成膜は、各層の連続成膜が可能なインライン型または枚葉型のスパッタリング装置を用いることができ、潤滑層の成膜は浸漬塗布装置を用いることができる。
このようにして得られた情報記録媒体用基板の主表面上に、情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経ることで、情報記録媒体を製造することができる。なお、磁気記録媒体を作製する場合は、情報記録層として磁気記録層が設けられる。この磁気記録媒体は、水平磁気記録方式および垂直磁気記録方式のいずれであってもよいが、垂直磁気記録方式であることが好ましい。垂直磁気記録方式の磁気記録媒体を作製する場合は、たとえば、情報記録媒体用基板の両面に、Cr合金からなる付着層、FeCoCrB合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt-TiO2合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を、この順に順次成膜することができる。なお、付着層、軟磁性層、下地層、垂直磁気記録層は、スパッタリング法により成膜することができ、保護層は、スパッタリング法やCVD法(Chemical Vapor Deposition法)により成膜することができ、潤滑層は浸漬塗布法により成膜することができる。また、付着層から保護層までの成膜は、各層の連続成膜が可能なインライン型または枚葉型のスパッタリング装置を用いることができ、潤滑層の成膜は浸漬塗布装置を用いることができる。
以下に本発明を実施例を挙げてより詳細に説明するが、本発明は以下の実施例にのみ限定されるものではない。
(プレス成型装置)
各実施例および各比較例のガラスブランクの作製においては、外周縁に沿って等間隔に複数個の下型が配置され、プレスに際しては、一方向にインデックス回転する回転テーブルを備えたプレス装置を用いた。このプレス装置では、回転テーブルのインデックス回転する方向に沿って、下型が停留する所定の位置に、(1)溶融ガラスを下型プレス面上に供給する位置P(cast)、(2)下型プレス面上に供給された溶融ガラス(ガラスゴブ)をこの下型プレス面の上方に配した上型と当該下型とを用いてプレスする位置P(press)、(3)位置P(press)で成形されたガラスブランクをその上面から、上型とは別物品である反り修正プレス型を用いて、プレス(反り修正プレス)する位置P(press#2)、(4)成形したガラスブランクを下型プレス面から取り出す位置P(take-out)が割り当てられている。
各実施例および各比較例のガラスブランクの作製においては、外周縁に沿って等間隔に複数個の下型が配置され、プレスに際しては、一方向にインデックス回転する回転テーブルを備えたプレス装置を用いた。このプレス装置では、回転テーブルのインデックス回転する方向に沿って、下型が停留する所定の位置に、(1)溶融ガラスを下型プレス面上に供給する位置P(cast)、(2)下型プレス面上に供給された溶融ガラス(ガラスゴブ)をこの下型プレス面の上方に配した上型と当該下型とを用いてプレスする位置P(press)、(3)位置P(press)で成形されたガラスブランクをその上面から、上型とは別物品である反り修正プレス型を用いて、プレス(反り修正プレス)する位置P(press#2)、(4)成形したガラスブランクを下型プレス面から取り出す位置P(take-out)が割り当てられている。
このプレス装置は、下型を16個備え、各々の下型が停止する位置が回転テーブルの外縁部であってその周方向に等間隔に設けられている。ここで、下型が停止する位置を、回転方向に1番~16番の番号を付し、位置P(cast)を1番目とすると、位置P(press)は3番目、位置P(press#2)は4番目、位置P(take-out)は12番目である。
下型および上型としては、プレス面が円形状の中央部と、この中央部の周縁部に中央部に対して凹みを成すように設けられた外縁部とから構成される成形型(外縁凹タイプの成形型)、または、プレス面が平坦面のみからなる成形型(全面フラットタイプの成形型)を用いた。そして、各実施例および各比較例のガラスブランクの作製に際しては、作製するガラスブランクの形状に応じて、上型や下型として利用する成形型として、外縁凹タイプの成形型または全面フラットタイプの成形型を選択した。また、外縁凹タイプの成形型を用いた場合は、作製するガラスブランクの形状に応じて、中央部の直径や、周縁部と中央部との段差を変えた成形型を適宜利用した。
また、反り修正プレスに用いた反り修正プレス型のプレス面の直径については、図1に示すガラスブランク1や図4に示すガラスブランク100のように、上面U側に凸部12U、112Uが設けられるガラスブランクを製造する場合は、凸部12U、112Uが設けられていない薄肉部分(図1中に示すRPで示される領域を意味)のみをプレスできるものを用いた。なお、この場合、マージン(図1中の記号Mで示される長さ)が1.5mmとなるようにプレス面の直径を選択した。一方、図1や図4において、上面U側に凸部12U、112Uが設けられないガラスブランクを製造する場合は、上面全面がプレスできるように反り修正プレス型のプレス面の直径を選択した。
(実施例1)
-ダイレクトプレス-
アルミノシリケートガラスを溶融した溶融ガラスを、下型のプレス面上に供給した後、上型と下型とによりプレスすることにより図1に示す断面形状を有するガラスブランク1を得た。このガラスブランク1の薄肉部10の厚みtと直径dの比、すなわちアスペクト比(t/d)や、凸部12Uの幅W2、高さ、凸部12Dの幅W2、高さは、W1/W2は、表1に示す通りである。また、直径dは66.0mmであり、これは他の実施例および比較例で作製したガラスブランクでも同様である。
-ダイレクトプレス-
アルミノシリケートガラスを溶融した溶融ガラスを、下型のプレス面上に供給した後、上型と下型とによりプレスすることにより図1に示す断面形状を有するガラスブランク1を得た。このガラスブランク1の薄肉部10の厚みtと直径dの比、すなわちアスペクト比(t/d)や、凸部12Uの幅W2、高さ、凸部12Dの幅W2、高さは、W1/W2は、表1に示す通りである。また、直径dは66.0mmであり、これは他の実施例および比較例で作製したガラスブランクでも同様である。
実施例1においてダイレクトプレス法によりガラスブランク1を作製する際には、各工程を以下の手順で実施した。すなわち、P(cast)にて下型上に溶融ガラスを供給し、下型停止位置P(press)にてプレスを行い、下型停止位置P(press#2)において、上方に配した反り修正プレス型で下型プレス面上のガラスブランク上面を反り修正プレスし、下型停止位置P(press#2)からP(take-out)へと下型が移動する過程で、下型上に積置した状態で略板状となったガラスを自然放冷し、下型停止位置P(take-out)にて冷却された略板状となったガラスブランクを取り出し、下型停止位置P(take-out)から再び下型停止位置P(cast)へと下型が循環移送される。なお、取り出されたガラスブランクは徐冷炉に入れ、常温まで冷却した。
ここで、主要な製造条件は以下の通りである。
・ガラス転移温度Tg:485℃
・ガラスの平均線膨張係数:95×10-7/K(100~300℃)、98×10-7/K(300~Tg℃)、37×10-6/K(Tg~530℃)
・溶融ガラスを下型のプレス面上に供給する際のプレス面の温度:500℃
・プレス時の上型プレス面の温度:450℃
・下型上に投入される溶融ガラスの粘度:40Pa・s
・プレス時間(ガラスに圧力を加える時間):1秒
・反り修正プレス時間:1秒
・上型および下型のプレス面を構成する材料:鋳鉄(コーティング処理無し)
・下型からガラスブランク1をテイクアウトする際のガラスブランク1の温度:520℃
・ガラス転移温度Tg:485℃
・ガラスの平均線膨張係数:95×10-7/K(100~300℃)、98×10-7/K(300~Tg℃)、37×10-6/K(Tg~530℃)
・溶融ガラスを下型のプレス面上に供給する際のプレス面の温度:500℃
・プレス時の上型プレス面の温度:450℃
・下型上に投入される溶融ガラスの粘度:40Pa・s
・プレス時間(ガラスに圧力を加える時間):1秒
・反り修正プレス時間:1秒
・上型および下型のプレス面を構成する材料:鋳鉄(コーティング処理無し)
・下型からガラスブランク1をテイクアウトする際のガラスブランク1の温度:520℃
-情報記録媒体用基板の作製-
以上のプロセスを経て得られたガラスブランク1については、(1)ラッピング工程、(2)穴あけ工程および端面加工工程、(3)主表面研磨工程および(4)化学強化工程を実施し、その後、洗浄して情報記録媒体用基板(外径:65.0mm、厚み:0.635mm、中心穴内径:20.0mm)を得た。得られた情報記録媒体用基板については、凹跡、平面度について評価すると共に、ラッピング加工に要した時間を元に、加工容易性についても評価した。
以上のプロセスを経て得られたガラスブランク1については、(1)ラッピング工程、(2)穴あけ工程および端面加工工程、(3)主表面研磨工程および(4)化学強化工程を実施し、その後、洗浄して情報記録媒体用基板(外径:65.0mm、厚み:0.635mm、中心穴内径:20.0mm)を得た。得られた情報記録媒体用基板については、凹跡、平面度について評価すると共に、ラッピング加工に要した時間を元に、加工容易性についても評価した。
(実施例2~11)
ガラスブランク1の作製に際して、凸部12D、12Uの形状が表1に示すものとなるように、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク1を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
ガラスブランク1の作製に際して、凸部12D、12Uの形状が表1に示すものとなるように、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク1を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
(比較例1)
図4に示すガラスブランク100を作製した。ガラスブランク100の作製に際して、凸部112D、112Uの形状が表2に示すものとなるように、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク100を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
図4に示すガラスブランク100を作製した。ガラスブランク100の作製に際して、凸部112D、112Uの形状が表2に示すものとなるように、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク100を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
(比較例2)
上下両面に図1や図4に例示するような凸部が無く、両面が平坦面からなるガラスブランクを作製した。このガラスブランクの作製に際しては、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク100を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
上下両面に図1や図4に例示するような凸部が無く、両面が平坦面からなるガラスブランクを作製した。このガラスブランクの作製に際しては、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク100を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
(比較例3,4)
図4において下面に凸部112Uが無いガラスブランクを作製した。このガラスブランクの作製に際しては、凸部112Dの形状が表2に示すものとなるように、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク100を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
図4において下面に凸部112Uが無いガラスブランクを作製した。このガラスブランクの作製に際しては、凸部112Dの形状が表2に示すものとなるように、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク100を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
(比較例5,6)
図4において上面に凸部112Dが無いガラスブランクを作製した。このガラスブランクの作製に際しては、凸部112Uの形状が表2に示すものとなるように、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク100を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
図4において上面に凸部112Dが無いガラスブランクを作製した。このガラスブランクの作製に際しては、凸部112Uの形状が表2に示すものとなるように、使用する成形型を適宜変更した以外は、実施例1と同様にしてダイレクトプレスを行った。また、得られたガラスブランク100を用いて情報記録媒体用基板を作製する際の条件も実施例1と同様とし、情報記録媒体用基板を得た。
(評価)
各実施例および比較例で得られた情報記録媒体用基板について、凹跡および平面度の評価を行った。また、ラッピング加工時の加工容易性についても評価した。結果を以下の表1および表2に示す。
各実施例および比較例で得られた情報記録媒体用基板について、凹跡および平面度の評価を行った。また、ラッピング加工時の加工容易性についても評価した。結果を以下の表1および表2に示す。
なお、表1および表2中、凹跡および平面度の評価方法および評価基準は以下の通りである。
-凹跡-
情報記録媒体用基板表面の凹跡は、1000枚のサンプルについて暗室環境下にて、目視検査用光源(オリンパス社製 長寿命ハロゲン光源装置 ILK-7C)の光を基板の表面に照射して、基板の外周端に沿ってリング状の凹跡が観察されるか否かや、その程度を評価した。評価基準は以下の通りである。
◎:1000枚中、凹跡は1枚も観察されない。
○:1000枚中、凹跡が1枚以上5枚未満の範囲で観察される。
△:1000枚中、凹跡が5枚以上20枚未満の範囲で観察される。
×:1000枚中、凹跡が20枚以上観察される。
-凹跡-
情報記録媒体用基板表面の凹跡は、1000枚のサンプルについて暗室環境下にて、目視検査用光源(オリンパス社製 長寿命ハロゲン光源装置 ILK-7C)の光を基板の表面に照射して、基板の外周端に沿ってリング状の凹跡が観察されるか否かや、その程度を評価した。評価基準は以下の通りである。
◎:1000枚中、凹跡は1枚も観察されない。
○:1000枚中、凹跡が1枚以上5枚未満の範囲で観察される。
△:1000枚中、凹跡が5枚以上20枚未満の範囲で観察される。
×:1000枚中、凹跡が20枚以上観察される。
-平面度-
10枚のサンプルにて、凸部を除いた部分の平面度を測定しその平均値を求めた。なお、平面度は、XYステージに載せたサンプルを移動させながら、レーザーフォーカス式変位計で1mmピッチに変位を測定して求めた。そしてこの測定値の傾き補正した後に得られた変位の最大値と最小値との差をサンプル毎に求め、この値の平均値を平面度とした。評価基準は以下の通りである。
◎:4μm未満
○:4μm以上10μm未満
△:10μm以上20μm未満
×:20μm以上
10枚のサンプルにて、凸部を除いた部分の平面度を測定しその平均値を求めた。なお、平面度は、XYステージに載せたサンプルを移動させながら、レーザーフォーカス式変位計で1mmピッチに変位を測定して求めた。そしてこの測定値の傾き補正した後に得られた変位の最大値と最小値との差をサンプル毎に求め、この値の平均値を平面度とした。評価基準は以下の通りである。
◎:4μm未満
○:4μm以上10μm未満
△:10μm以上20μm未満
×:20μm以上
-加工容易性(加工時間)-
ラッピング加工に要した時間を、実施例1でのラッピング加工時間を基準に相対評価した。評価基準は以下の通りである。
◎:加工時間が実施例1に対して+5%未満
○:加工時間が実施例1に対して+5%以上+10%未満
△:加工時間が実施例1に対して+10%以上+15%未満
×:加工時間が実施例1に対して+15%以上
ラッピング加工に要した時間を、実施例1でのラッピング加工時間を基準に相対評価した。評価基準は以下の通りである。
◎:加工時間が実施例1に対して+5%未満
○:加工時間が実施例1に対して+5%以上+10%未満
△:加工時間が実施例1に対して+10%以上+15%未満
×:加工時間が実施例1に対して+15%以上
1 ガラスブランク
10 薄肉部
12 厚肉部
12U、12D 凸部
12S 傾斜した面
14C 角部
20 上型
30 下型
22 プレス面
22A 中央部
22B 外縁部
32 プレス面
32A 中央部
32B 外縁部
100、100H、100C ガラスブランク
102 情報記録媒体用基板
110 薄肉部
112 厚肉部
112U、112D 凸部
114C 角部
114P、114Q 凹跡
10 薄肉部
12 厚肉部
12U、12D 凸部
12S 傾斜した面
14C 角部
20 上型
30 下型
22 プレス面
22A 中央部
22B 外縁部
32 プレス面
32A 中央部
32B 外縁部
100、100H、100C ガラスブランク
102 情報記録媒体用基板
110 薄肉部
112 厚肉部
112U、112D 凸部
114C 角部
114P、114Q 凹跡
Claims (5)
- 円板状の薄肉部と、
該薄肉部の周縁部に沿って、上記薄肉部の両面に対して凸部を形成するように設けられた厚肉部と、を有し、
上記薄肉部の直径方向に対する、一方の面側の上記凸部の径方向の幅が、他方の面側の上記凸部の径方向の幅よりも大きいことを特徴とするガラスブランク。 - 鉛直方向に対して相対的に移動可能に配置された一対の成形型として、
プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、円形状の中央部、および、当該中央部の周縁側に上記中央部に対して凹みを成すように設けられた外縁部を有するプレス面を備えた第一の成形型と、
プレス成形時に軟化状態のガラスと接触し、上記第一の成形型の中央部よりも直径の小さい円形状の中央部、および、当該中央部の周縁側に当該中央部に対して凹みを成すように設けられた外縁部を有するプレス面を備えた第二の成形型とを用い、
鉛直方向下方側に配置される成形型を上記第一の成形型とし、鉛直方向上方側に配置される成形型を上記第二の成形型として、
軟化状態のガラス塊を、上記第一の成形型のプレス面上に配置した後に、上記第一の成形型のプレス面と第二の成形型のプレス面とにより、上記ガラス塊を、上記第一の成形型プレス面の外縁部にまで到達するようにプレスする第一のプレス工程、および、
鉛直方向下方側に配置される成形型を上記第二の成形型とし、鉛直方向上方側に配置される成形型を上記第一の成形型として、
軟化状態のガラス塊を、上記第二の成形型のプレス面上に配置した後に、上記第一の成形型のプレス面と第二の成形型のプレス面とにより、上記ガラス塊を、上記第一の成形型プレス面の外縁部にまで到達するようにプレスする第二のプレス工程、から選択されるいずれか一方のプレス工程を少なくとも経て、
ガラスブランクを製造することを特徴とするガラスブランク製造方法。 - 請求項2に記載のガラスブランク製造方法において、
前記プレス工程を経て、略板状となった軟化状態のガラスに対して、反りの発生を抑制する反り抑制工程を実施することを特徴とするガラスブランク製造方法。 - 請求項1に記載のガラスブランク、および、請求項2または3に記載のガラスブランク製造方法により製造されたガラスブランクから選択されるいずれかのガラスブランクの両面を、
研削加工及び/又は研磨加工を行う工程を少なくとも経て、情報記録媒体用基板を製造することを特徴とする情報記録媒体用基板製造方法。 - 請求項4に記載の情報記録媒体用基板製造方法により製造された情報記録媒体用基板の主表面上に、情報記録層を形成する情報記録層形成工程を少なくとも経て、情報記録媒体を製造することを特徴とする情報記録媒体製造方法。
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CN102603161A (zh) * | 2012-03-27 | 2012-07-25 | 四川钟顺太阳能开发有限公司 | 透镜阵列坯生产方法、透镜阵列生产方法以及透镜阵列 |
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JPH11189423A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Ngk Insulators Ltd | ガラス基板の作製方法 |
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- 2009-09-16 JP JP2009214715A patent/JP5449938B2/ja active Active
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- 2010-09-14 MY MYPI2012000978A patent/MY156912A/en unknown
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