WO2010134417A1 - タンタルスパッタリングターゲット - Google Patents
タンタルスパッタリングターゲット Download PDFInfo
- Publication number
- WO2010134417A1 WO2010134417A1 PCT/JP2010/057237 JP2010057237W WO2010134417A1 WO 2010134417 A1 WO2010134417 A1 WO 2010134417A1 JP 2010057237 W JP2010057237 W JP 2010057237W WO 2010134417 A1 WO2010134417 A1 WO 2010134417A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- grain size
- crystal grain
- niobium
- variation
- tantalum
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C27/00—Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C27/00—Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
- C22C27/02—Alloys based on vanadium, niobium, or tantalum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
Definitions
- high-purity Ta target for forming a TaN film used as a barrier layer for a Cu wiring film contains 0.001 to 20 ppm of an element selected from Ag, Au and Cu as elements having self-sustaining discharge characteristics Further, high-purity Ta is used in which the total amount of Fe, Ni, Cr, Si, Al, Na, and K as impurity elements is 100 ppm or less, and the value obtained by subtracting these is in the range of 99.99 to 99.999%. (See Patent Document 3). As far as these patent documents are viewed, the inclusion of a specific element does not refine the structure and thereby stabilize the plasma.
- first time -cold forging
- second time Cold forging
- plasma is stable and film uniformity (uniformity) is excellent.
- plasma stabilization at the time of sputtering is stabilized even in the initial stage, so that the burn-in time can be shortened.
- the sheet resistance depends on the film thickness
- the distribution of the sheet resistance in the wafer (12 inches) was measured, thereby examining the film thickness distribution. Specifically, the sheet resistance at 49 points on the wafer was measured, and the standard deviation ( ⁇ ) was calculated.
- Table 2 As is apparent from Table 2, in this example, the variation in the resistance distribution in the sheet is large (4.5 to 7.0%) from the initial stage to the late stage of sputtering, that is, the variation in the film thickness distribution is large. It was. Moreover, when the electric energy until the initial stabilization of sputtering was measured, it was 300 kwh and increased. The results are also shown in Table 2. Thus, the burn-in time cannot be shortened, the uniformity of the film (uniformity) is poor, and the quality of the sputter film formation cannot be improved.
- the present invention contains niobium of 1 mass ppm or more and 100 mass ppm or less as an essential component, and the purity excluding niobium and gas components is 99.998% or more, thereby providing a uniform fine structure, It has an excellent effect that a high-purity tantalum sputtering target that is stable and excellent in film uniformity (uniformity) can be provided.
- plasma stabilization during sputtering is stabilized even in the initial stage, it has the effect of shortening the burn-in time, so that it has the effect of shortening the burn-in time. It is useful as a target suitable for formation.
Abstract
Description
スパッタリング法自体は上記の分野で、よく知られた方法であるが、最近では、特にエレクトロニクスの分野において、複雑な形状の被膜の形成や回路の形成、あるいはバリア膜の形成等に適合するタンタルスパッタリングターゲットが要求されている。
このような製造工程において、インゴット又はビレットの熱間鍛造は、鋳造組織を破壊し、気孔や偏析を拡散、消失させ、さらにこれを焼鈍することにより再結晶化し、組織の緻密化と強度を高めることによって製造されている。
一般に、溶解鋳造されたインゴット又はビレットは、50mm以上の結晶粒径を有している。そして、インゴット又はビレットの熱間鍛造と再結晶焼鈍により、鋳造組織が破壊され、おおむね均一かつ微細(100μm以下の)結晶粒が得られる。
そのため、ターゲットの製造工程において、再結晶組織の微細化と均一化、さらには特定の結晶方位に揃えようとする方策が採られている(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
これらの特許文献を見る限り、特定の元素の含有が、組織を微細化させ、これによってプラズマを安定化させるということは行われていない。
しかも、特許文献3の表1に示すように、Mo、W、Ge、Co量は、それぞれ10ppm、20ppm、10ppm、10ppm未満の含有が許容されている。これだけでも50ppm未満の不純物がある。
これは、従来の高純度タンタルのレベル以下であり、高純度タンタルの特性を活かすことはできないことが強く予想される。
本発明は、この知見に基づいて、
1)1massppm以上、100massppm以下のニオブを必須成分として含有し、ニオブ及びガス成分を除く純度が99.998%以上であることを特徴とするタンタルスパッタリングターゲット
2)10massppm以上、100massppm以下のニオブを必須成分として含有し、ニオブ及びガス成分を除く純度が99.999%以上であることを特徴とするタンタルスパッタリングターゲット
3)ニオブを10massppm以上、50massppm以下を必須成分として含有し、ニオブ及びガス成分を除く純度が99.999%以上であることを特徴とするタンタルスパッタリングターゲット
4)ターゲット中のニオブ含有量のばらつきが±20%以下であることを特徴とする上記1)~3)のいずれか一項に記載のタンタルスパッタリングターゲット
5)平均結晶粒径が100μm以下であることを特徴とする上記1)~4)のいずれか一項に記載のタンタルスパッタリングターゲット
6)結晶粒径のばらつきが±20%以下であることを特徴とする上記5)記載のタンタルスパッタリングターゲット、を提供する。
この表1では、ガス成分を除き、全ての不純物は1massppm未満である。すなわち99.999~99.9999mass%となっているが、このような高純度タンタルを使用することができる。
その一例を示すと、まずタンタル、例えば4N(99.99%以上)の高純度タンタルを使用し、これにニオブ(Nb)を適量添加してターゲットの原料とする。これを電子ビーム溶解等により溶解・精製して純度を高め、これを鋳造してインゴット又はビレットを作製する。当然ながら、最初から表1に示す99.999~99.9999mass%高純度タンタルを使用することもできる。
次に、このインゴット又はビレットを焼鈍-鍛造、圧延、焼鈍(熱処理)、仕上げ加工等の一連の加工を行う。
タンタルターゲットの特性を活かすために、6Nレベルの純度の材料を使用することが多いが、どうしてもターゲットの結晶粒が粗大化し易いという欠点があった。
本発明者らは、このような6Nレベルのターゲットの製造工程において、通常であれば0.5massppm程度の含有量であるNbが、たまたま1massppm程度に偏析していた部分で、結晶粒径が局所的に微細化していることを発見した。このことから、Nbの添加がタンタルターゲットの微細化に有効ではないかというヒントを得、これが本願発明につながる契機となった。
この場合、タンタルの純度は、高純度すなわち99.998%以上とする必要がある。この場合、原子半径の小さい、酸素、水素、炭素、窒素等のガス成分は除外することができる。一般にガス成分は特殊な方法でなければ除去は困難であり、通常の生産工程で精製の際に除去することは難しいので、ガス成分は本願発明のタンタルの純度からは除外する。
本願発明のタンタルスパッタリングターゲットは、より好ましい範囲として、10massppm以上、100massppm以下のニオブを必須成分として含有し、ニオブ及びガス成分を除く純度が99.999%以上であることである。
さらに、ニオブを10massppm以上、50massppm以下を必須成分として含有し、ニオブ及びガス成分を除く純度が99.999%を超えるタンタルスパッタリングターゲットである。
適度なニオブの含有がタンタルスパッタリングターゲットの均一微細な組織を形成する機能(性質)を有する以上、ニオブはより均一に分散していることは、ターゲット組織の均一微細な組織に、より強く貢献させことができる。
当然ながら、通常の製造工程において、これらは容易に達成できるのであるが、ターゲットのニオブ含有量のばらつきを±20%以下とする点に留意し、その意図を明確に持つことが必要である。
そして、各点において、{(最大値-最小値)/(最大値+最小値)}×100の式に基づいて、ばらつきを計算することができる。
本発明のタンタルスパッタリングターゲットは、さらに平均結晶粒径が100μm以下であることが望ましい。ニオブの適度な添加と通常の製造工程において、結晶粒径の微細化が達成できるのであるが、平均結晶粒径が100μm以下とする点に留意し、その意図を明確に持つことが必要である。
また、この結晶粒径のばらつきが±20%以下とすることがより望ましい。
そして、各点において、{(最大値-最小値)/(最大値+最小値)}×100の式に基づいて、結晶粒径のばらつきを計算することができる。
純度99.998%のタンタルにニオブ1massppm相当量を添加した原料を電子ビーム溶解し、これを鋳造して厚さ200mm、直径200mmφのインゴットとした。この場合の結晶粒径は約55mmであった。
次に、このインゴット又はビレットを室温で鍛伸した後、1500Kの温度で再結晶焼鈍した。これによって平均結晶粒径が200μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得られた。
次に、これを再度室温で鍛伸及び据え込み鍛造し、再び1480K温度で再結晶焼鈍を実施した。鍛造、熱処理を再度繰り返し、これによって平均結晶粒径が100μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得た。
ターゲットの平均結晶粒径は100μmであり、結晶粒径のばらつきは±20%であった。また、ニオブ含有量のばらつきは±20%であった。この結果を表2に示す。
その結果を、同様に表2に示す。表2から明らかなように、本実施例においては、スパッタ初期から後期にかけてシート内抵抗分布の変動が少ない(2.6~3.2%)、すなわち膜厚分布の変動が少ないことを示している。
また、スパッタリングの初期安定化に至るまでの電力量を測定したところ、100kwhであり、短縮した。この結果も表2に示す。このようにバーンイン時間を短縮化することができると共に、膜の均一性(ユニフォーミティ)が良好であり、スパッタ成膜の品質を向上させることができた。
純度99.999%のタンタルにニオブ5massppm相当量を添加した原料を電子ビーム溶解し、これを鋳造して厚さ200mm、直径200mmφのインゴットとした。この場合の結晶粒径は約50mmであった。
次に、このインゴット又はビレットを室温で鍛伸した後、1500Kの温度で再結晶焼鈍した。これによって平均結晶粒径が200μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得られた。
次に、これを再度室温で鍛伸及び据え込み鍛造し、再び1400~1500K温度で再結晶焼鈍を実施した。鍛造、熱処理を再度繰り返し、これによって平均結晶粒径が100μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料を得た。
ターゲットの平均結晶粒径は80μmであり、結晶粒径のばらつきは±17%であった。また、ニオブ含有量のばらつきは±18%であった。この結果を、同様に表2に示す。
その結果を、同様に表2に示す。表2から明らかなように、本実施例においては、スパッタ初期から後期にかけてシート内抵抗分布の変動が少ない(2.5~3.0%)、すなわち膜厚分布の変動が少ないことを示している。
また、スパッタリングの初期安定化に至るまでの電力量を測定したところ、85kwhであり、短縮した。この結果も表2に示す。このようにバーンイン時間を短縮化することができると共に、膜の均一性(ユニフォーミティ)が良好であり、スパッタ成膜の品質を向上させることができた。
純度99.999%のタンタルにニオブ10massppm相当量を添加した原料を電子ビーム溶解し、これを鋳造して厚さ200mm、直径200mmφのインゴットとした。この場合の結晶粒径は約45mmであった。
次に、このインゴット又はビレットを室温で鍛伸した後、1500Kの温度で再結晶焼鈍した。これによって平均結晶粒径が200μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得られた。
次に、これを再度室温で鍛伸及び据え込み鍛造し、再び1400~1500K温度で再結晶焼鈍を実施した。鍛造、熱処理を再度繰り返し、これによって平均結晶粒径が100μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料を得た。
ターゲットの平均結晶粒径は70μmであり、結晶粒径のばらつきは±15%であった。また、ニオブ含有量のばらつきは±16%であった。この結果を、同様に表2に示す。
その結果を、同様に表2に示す。表2から明らかなように、本実施例においては、スパッタ初期から後期にかけてシート内抵抗分布の変動が少ない(2.3~2.7%)、すなわち膜厚分布の変動が少ないことを示している。
また、スパッタリングの初期安定化に至るまでの電力量を測定したところ、75kwhであり、短縮した。この結果も表2に示す。このようにバーンイン時間を短縮化することができると共に、膜の均一性(ユニフォーミティ)が良好であり、スパッタ成膜の品質を向上させることができた。
純度99.999%のタンタルにニオブ20massppm相当量を添加した原料を電子ビーム溶解し、これを鋳造して厚さ200mm、直径200mmφのインゴットとした。この場合の結晶粒径は約40mmであった。
次に、このインゴット又はビレットを室温で鍛伸した後、1500Kの温度で再結晶焼鈍した。これによって平均結晶粒径が200μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得られた。
次に、これを再度室温で鍛伸及び据え込み鍛造し、再び1400~1500K温度で再結晶焼鈍を実施した。鍛造、熱処理を再度繰り返し、これによって平均結晶粒径が100μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料を得た。
ターゲットの平均結晶粒径は60μmであり、結晶粒径のばらつきは±10%であった。また、ニオブ含有量のばらつきは±12%であった。この結果を、同様に表2に示す。
その結果を、同様に表2に示す。表2から明らかなように、本実施例においては、スパッタ初期から後期にかけてシート内抵抗分布の変動が少ない(2.0~2.2%)、すなわち膜厚分布の変動が少ないことを示している。
また、スパッタリングの初期安定化に至るまでの電力量を測定したところ、72kwhであり、短縮した。この結果も表2に示す。このようにバーンイン時間を短縮化することができると共に、膜の均一性(ユニフォーミティ)が良好であり、スパッタ成膜の品質を向上させることができた。
純度99.999%のタンタルにニオブ50massppm相当量を添加した原料を電子ビーム溶解し、これを鋳造して厚さ200mm、直径200mmφのインゴットとした。この場合の結晶粒径は約35mmであった。
次に、このインゴット又はビレットを室温で鍛伸した後、1500Kの温度で再結晶焼鈍した。これによって平均結晶粒径が200μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得られた。
次に、これを再度室温で鍛伸及び据え込み鍛造し、再び1400~1500K温度で再結晶焼鈍を実施した。鍛造、熱処理を再度繰り返し、これによって平均結晶粒径が100μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料を得た。
ターゲットの平均結晶粒径は50μmであり、結晶粒径のばらつきは±8%であった。また、ニオブ含有量のばらつきは±10%であった。この結果を、同様に表2に示す。
その結果を、同様に表2に示す。表2から明らかなように、本実施例においては、スパッタ初期から後期にかけてシート内抵抗分布の変動が少ない(1.7~1.9%)、すなわち膜厚分布の変動が少ないことを示している。
また、スパッタリングの初期安定化に至るまでの電力量を測定したところ、50kwhであり、短縮した。この結果も表2に示す。このようにバーンイン時間を短縮化することができると共に、膜の均一性(ユニフォーミティ)が良好であり、スパッタ成膜の品質を向上させることができた。
純度99.999%のタンタルにニオブ70massppm相当量を添加した原料を電子ビーム溶解し、これを鋳造して厚さ200mm、直径200mmφのインゴットとした。この場合の結晶粒径は約30mmであった。
次に、このインゴット又はビレットを室温で鍛伸した後、1500Kの温度で再結晶焼鈍した。これによって平均結晶粒径が200μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得られた。
次に、これを再度室温で鍛伸及び据え込み鍛造し、再び1400~1500K温度で再結晶焼鈍を実施した。鍛造、熱処理を再度繰り返し、これによって平均結晶粒径が100μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料を得た。
ターゲットの平均結晶粒径は45μmであり、結晶粒径のばらつきは±7%であった。また、ニオブ含有量のばらつきは±8%であった。この結果を、同様に表2に示す。
その結果を、同様に表2に示す。表2から明らかなように、本実施例においては、スパッタ初期から後期にかけてシート内抵抗分布の変動が少ない(1.3~1.5%)、すなわち膜厚分布の変動が少ないことを示している。
また、スパッタリングの初期安定化に至るまでの電力量を測定したところ、45kwhであり、短縮した。この結果も表2に示す。このようにバーンイン時間を短縮化することができると共に、膜の均一性(ユニフォーミティ)が良好であり、スパッタ成膜の品質を向上させることができた。
純度99.999%のタンタルにニオブ100massppm相当量を添加した原料を電子ビーム溶解し、これを鋳造して厚さ200mm、直径200mmφのインゴットとした。この場合の結晶粒径は約25mmであった。
次に、このインゴット又はビレットを室温で鍛伸した後、1500Kの温度で再結晶焼鈍した。これによって平均結晶粒径が200μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得られた。
次に、これを再度室温で鍛伸及び据え込み鍛造し、再び1400~1500K温度で再結晶焼鈍を実施した。鍛造、熱処理を再度繰り返し、これによって平均結晶粒径が100μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料を得た。
ターゲットの平均結晶粒径は40μmであり、結晶粒径のばらつきは±5%であった。また、ニオブ含有量のばらつきは±6%であった。この結果を、同様に表2に示す。
その結果を、同様に表2に示す。表2から明らかなように、本実施例においては、スパッタ初期から後期にかけてシート内抵抗分布の変動が少ない(1.0~1.2%)、すなわち膜厚分布の変動が少ないことを示している。
また、スパッタリングの初期安定化に至るまでの電力量を測定したところ、35kwhであり、短縮した。この結果も表2に示す。このようにバーンイン時間を短縮化することができると共に、膜の均一性(ユニフォーミティ)が良好であり、スパッタ成膜の品質を向上させることができた。
純度99.995%のタンタルにニオブ0.5massppm相当量を添加した原料を電子ビーム溶解し、これを鋳造して厚さ200mm、直径200mmφのインゴットとした。この場合の結晶粒径は約60mmであった。
次に、このインゴット又はビレットを室温で鍛伸した後、1500Kの温度で再結晶焼鈍した。これによって平均結晶粒径が200μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得られた。
次に、これを再度室温で鍛伸及び据え込み鍛造し、再び1400~1500K温度で再結晶焼鈍を実施した。鍛造、熱処理を再度繰り返し、これによって平均結晶粒径が100μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料を得た。
ターゲットの平均結晶粒径は120μmであり、結晶粒径のばらつきは±35%であった。また、ニオブ含有量のばらつきは±40%であった。この結果を、同様に表2に示す。
その結果を、同様に表2に示す。表2から明らかなように、本実施例においては、スパッタ初期から後期にかけてシート内抵抗分布の変動が大きく(3.8~6.0%)、すなわち膜厚分布の変動が大きくなることを示していた。
また、スパッタリングの初期安定化に至るまでの電力量を測定したところ、150kwhであり、増加した。この結果も表2に示す。このようにバーンイン時間を短縮化できず、膜の均一性(ユニフォーミティ)も不良であり、スパッタ成膜の品質を向上させることができなかった。
以上について、純度99.999%のタンタルにニオブ0.5massppmを添加した場合についても、同様の試験をしてみたが、この比較例1と同様の傾向が見られた。これは、タンタルの純度にも影響することが明らかであった。
純度99.999%のタンタルにニオブ150massppm相当量を添加した原料を電子ビーム溶解し、これを鋳造して厚さ200mm、直径200mmφのインゴットとした。この場合の結晶粒径は約20mmであった。
次に、このインゴット又はビレットを室温で鍛伸した後、1500Kの温度で再結晶焼鈍した。これによって平均結晶粒径が200μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料が得られた。
次に、これを再度室温で鍛伸及び据え込み鍛造し、再び1400~1500K温度で再結晶焼鈍を実施した。鍛造、熱処理を再度繰り返し、これによって平均結晶粒径が100μmの組織を持つ厚さ120mm、直径130mmφの材料を得た。
その結果を、同様に表2に示す。表2から明らかなように、本実施例においては、スパッタ初期から後期にかけてシート内抵抗分布の変動が大きく(4.5~7.0%)、すなわち膜厚分布の変動が大きくなることを示していた。
また、スパッタリングの初期安定化に至るまでの電力量を測定したところ、300kwhであり、増加した。この結果も表2に示す。このようにバーンイン時間を短縮化できず、膜の均一性(ユニフォーミティ)も不良であり、スパッタ成膜の品質を向上させることができなかった。
これは、ニオブが偏析した結果と考えられ、過剰なニオブ添加は、好ましくないことが分かった。
Claims (6)
- 1massppm以上、100massppm以下のニオブを必須成分として含有し、ニオブ及びガス成分を除く純度が99.998%以上であることを特徴とするタンタルスパッタリングターゲット。
- 10massppm以上、100massppm以下のニオブを必須成分として含有し、ニオブ及びガス成分を除く純度が99.999%以上であることを特徴とするタンタルスパッタリングターゲット。
- ニオブを10massppm以上、50massppm以下を必須成分として含有し、ニオブ及びガス成分を除く純度が99.999%以上であることを特徴とするタンタルスパッタリングターゲット。
- ターゲット中のニオブ含有量のばらつきが±20%以下であることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のタンタルスパッタリングターゲット。
- 平均結晶粒径が100μm以下であることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載のタンタルスパッタリングターゲット。
- 結晶粒径のばらつきが±20%以下であることを特徴とする請求項5記載のタンタルスパッタリングターゲット。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP10777652.8A EP2418299A4 (en) | 2009-05-22 | 2010-04-23 | TANTALE CATHODIC SPUTTERING TARGET |
KR1020117008749A KR101288651B1 (ko) | 2009-05-22 | 2010-04-23 | 탄탈륨 스퍼터링 타겟 |
SG2011053857A SG173141A1 (en) | 2009-05-22 | 2010-04-23 | Tantalum sputtering target |
JP2010523232A JP5144760B2 (ja) | 2009-05-22 | 2010-04-23 | タンタルスパッタリングターゲット |
US13/142,427 US10266924B2 (en) | 2009-05-22 | 2010-04-23 | Tantalum sputtering target |
CN2010800121203A CN102356179B (zh) | 2009-05-22 | 2010-04-23 | 钽溅射靶 |
IL212815A IL212815A (en) | 2009-05-22 | 2011-05-11 | Tantalum emitting target |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009-124566 | 2009-05-22 | ||
JP2009124566 | 2009-05-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2010134417A1 true WO2010134417A1 (ja) | 2010-11-25 |
Family
ID=43126102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2010/057237 WO2010134417A1 (ja) | 2009-05-22 | 2010-04-23 | タンタルスパッタリングターゲット |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10266924B2 (ja) |
EP (1) | EP2418299A4 (ja) |
JP (1) | JP5144760B2 (ja) |
KR (1) | KR101288651B1 (ja) |
CN (1) | CN102356179B (ja) |
IL (1) | IL212815A (ja) |
SG (1) | SG173141A1 (ja) |
TW (1) | TWI413703B (ja) |
WO (1) | WO2010134417A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012020662A1 (ja) * | 2010-08-09 | 2012-02-16 | Jx日鉱日石金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲット |
WO2015050041A1 (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-09 | Jx日鉱日石金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲット |
WO2015068625A1 (ja) | 2013-11-06 | 2015-05-14 | Jx日鉱日石金属株式会社 | スパッタリングターゲット/バッキングプレート組立体 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2465968A4 (en) | 2009-08-11 | 2014-04-30 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | TANTALE SPRAY TARGET |
US9085819B2 (en) | 2010-08-09 | 2015-07-21 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Tantalum sputtering target |
WO2013141231A1 (ja) | 2012-03-21 | 2013-09-26 | Jx日鉱日石金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲット及びその製造方法並びに同ターゲットを用いて形成した半導体配線用バリア膜 |
CN103091278A (zh) * | 2012-08-28 | 2013-05-08 | 河北工业大学 | 大尺寸硅单晶片表面有机物沾污的红外镜反射检测方法 |
CN103091277A (zh) * | 2012-08-28 | 2013-05-08 | 河北工业大学 | 大尺寸单晶硅片表面有机物沾污的红外透射检测方法 |
US10490393B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-11-26 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Tantalum sputtering target and method for producing same |
US10407766B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-09-10 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Tantalum sputtering target and method for producing same |
CN104937133A (zh) | 2013-03-04 | 2015-09-23 | 吉坤日矿日石金属株式会社 | 钽溅射靶及其制造方法 |
CN104419901B (zh) * | 2013-08-27 | 2017-06-30 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种钽靶材的制造方法 |
EP3260572A4 (en) | 2015-05-22 | 2018-08-01 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | Tantalum sputtering target, and production method therefor |
EP3211118B1 (en) | 2015-05-22 | 2020-09-09 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | Tantalum sputtering target, and production method therefor |
CN115522089B (zh) * | 2022-10-10 | 2023-06-23 | 南京理工大学 | 一种钽材料变形制备方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000212678A (ja) * | 1999-01-21 | 2000-08-02 | Japan Energy Corp | 薄膜形成用高純度タンタル及びその製造方法 |
US6331233B1 (en) | 2000-02-02 | 2001-12-18 | Honeywell International Inc. | Tantalum sputtering target with fine grains and uniform texture and method of manufacture |
JP2002060934A (ja) | 2000-08-24 | 2002-02-28 | Toshiba Corp | スパッタリングターゲット |
JP2002518593A (ja) | 1998-06-17 | 2002-06-25 | ジヨンソン マテイ エレクトロニクス,インコーポレーテツド | 微細で一様な構造とテキスチュアを有する金属製品及びその製造方法 |
JP2002530534A (ja) * | 1998-11-25 | 2002-09-17 | キャボット コーポレイション | 高純度タンタルおよびそれを含む、スパッタターゲットのような製品 |
US20050155677A1 (en) | 2004-01-08 | 2005-07-21 | Wickersham Charles E.Jr. | Tantalum and other metals with (110) orientation |
JP2005336617A (ja) * | 2005-05-30 | 2005-12-08 | Hitachi Metals Ltd | スパッタリング用ターゲット及びその製造方法ならびに高融点金属粉末材料 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5693203A (en) | 1992-09-29 | 1997-12-02 | Japan Energy Corporation | Sputtering target assembly having solid-phase bonded interface |
JPH1180942A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-26 | Japan Energy Corp | Taスパッタターゲットとその製造方法及び組立体 |
JP2001020065A (ja) | 1999-07-07 | 2001-01-23 | Hitachi Metals Ltd | スパッタリング用ターゲット及びその製造方法ならびに高融点金属粉末材料 |
US6878250B1 (en) * | 1999-12-16 | 2005-04-12 | Honeywell International Inc. | Sputtering targets formed from cast materials |
JP3905301B2 (ja) | 2000-10-31 | 2007-04-18 | 日鉱金属株式会社 | タンタル又はタングステンターゲット−銅合金製バッキングプレート組立体及びその製造方法 |
US6887356B2 (en) * | 2000-11-27 | 2005-05-03 | Cabot Corporation | Hollow cathode target and methods of making same |
US6770154B2 (en) | 2001-09-18 | 2004-08-03 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Textured-grain-powder metallurgy tantalum sputter target |
JP4883546B2 (ja) | 2002-09-20 | 2012-02-22 | Jx日鉱日石金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲットの製造方法 |
JP4263900B2 (ja) | 2002-11-13 | 2009-05-13 | 日鉱金属株式会社 | Taスパッタリングターゲット及びその製造方法 |
EP2253731B1 (en) | 2003-04-01 | 2019-07-31 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | Tantalum spattering target |
EP1681368B1 (en) | 2003-11-06 | 2021-06-30 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | Method to produce a tantalum sputtering target |
US20050230244A1 (en) | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Hitachi Metals, Ltd | Sputter target material and method of producing the same |
US7998287B2 (en) * | 2005-02-10 | 2011-08-16 | Cabot Corporation | Tantalum sputtering target and method of fabrication |
WO2006117949A1 (ja) | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | スパッタリングターゲット |
JP4949259B2 (ja) | 2005-10-04 | 2012-06-06 | Jx日鉱日石金属株式会社 | スパッタリングターゲット |
EP2465968A4 (en) | 2009-08-11 | 2014-04-30 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | TANTALE SPRAY TARGET |
SG185976A1 (en) | 2009-08-11 | 2012-12-28 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Tantalum sputtering target |
US9085819B2 (en) | 2010-08-09 | 2015-07-21 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Tantalum sputtering target |
WO2012020662A1 (ja) | 2010-08-09 | 2012-02-16 | Jx日鉱日石金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲット |
KR20160108570A (ko) | 2011-11-30 | 2016-09-19 | 제이엑스금속주식회사 | 탄탈 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법 |
WO2013141231A1 (ja) | 2012-03-21 | 2013-09-26 | Jx日鉱日石金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲット及びその製造方法並びに同ターゲットを用いて形成した半導体配線用バリア膜 |
-
2010
- 2010-04-23 SG SG2011053857A patent/SG173141A1/en unknown
- 2010-04-23 CN CN2010800121203A patent/CN102356179B/zh active Active
- 2010-04-23 KR KR1020117008749A patent/KR101288651B1/ko active IP Right Grant
- 2010-04-23 US US13/142,427 patent/US10266924B2/en active Active
- 2010-04-23 WO PCT/JP2010/057237 patent/WO2010134417A1/ja active Application Filing
- 2010-04-23 JP JP2010523232A patent/JP5144760B2/ja active Active
- 2010-04-23 EP EP10777652.8A patent/EP2418299A4/en not_active Withdrawn
- 2010-05-13 TW TW099115251A patent/TWI413703B/zh active
-
2011
- 2011-05-11 IL IL212815A patent/IL212815A/en active IP Right Grant
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002518593A (ja) | 1998-06-17 | 2002-06-25 | ジヨンソン マテイ エレクトロニクス,インコーポレーテツド | 微細で一様な構造とテキスチュアを有する金属製品及びその製造方法 |
JP2002530534A (ja) * | 1998-11-25 | 2002-09-17 | キャボット コーポレイション | 高純度タンタルおよびそれを含む、スパッタターゲットのような製品 |
JP2000212678A (ja) * | 1999-01-21 | 2000-08-02 | Japan Energy Corp | 薄膜形成用高純度タンタル及びその製造方法 |
US6331233B1 (en) | 2000-02-02 | 2001-12-18 | Honeywell International Inc. | Tantalum sputtering target with fine grains and uniform texture and method of manufacture |
JP2002060934A (ja) | 2000-08-24 | 2002-02-28 | Toshiba Corp | スパッタリングターゲット |
US20050155677A1 (en) | 2004-01-08 | 2005-07-21 | Wickersham Charles E.Jr. | Tantalum and other metals with (110) orientation |
JP2005336617A (ja) * | 2005-05-30 | 2005-12-08 | Hitachi Metals Ltd | スパッタリング用ターゲット及びその製造方法ならびに高融点金属粉末材料 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
See also references of EP2418299A4 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012020662A1 (ja) * | 2010-08-09 | 2012-02-16 | Jx日鉱日石金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲット |
WO2015050041A1 (ja) * | 2013-10-01 | 2015-04-09 | Jx日鉱日石金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲット |
JP5969138B2 (ja) * | 2013-10-01 | 2016-08-17 | Jx金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲット |
WO2015068625A1 (ja) | 2013-11-06 | 2015-05-14 | Jx日鉱日石金属株式会社 | スパッタリングターゲット/バッキングプレート組立体 |
JP5897767B2 (ja) * | 2013-11-06 | 2016-03-30 | Jx金属株式会社 | スパッタリングターゲット/バッキングプレート組立体 |
KR20170070275A (ko) | 2013-11-06 | 2017-06-21 | 제이엑스금속주식회사 | 스퍼터링 타깃/배킹 플레이트 조립체 |
TWI607105B (zh) * | 2013-11-06 | 2017-12-01 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | 濺鍍靶/背板組裝體 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG173141A1 (en) | 2011-08-29 |
US10266924B2 (en) | 2019-04-23 |
JP5144760B2 (ja) | 2013-02-13 |
CN102356179B (zh) | 2013-10-30 |
TW201042069A (en) | 2010-12-01 |
KR20110056418A (ko) | 2011-05-27 |
EP2418299A1 (en) | 2012-02-15 |
IL212815A (en) | 2015-08-31 |
US20110266145A1 (en) | 2011-11-03 |
KR101288651B1 (ko) | 2013-07-22 |
TWI413703B (zh) | 2013-11-01 |
CN102356179A (zh) | 2012-02-15 |
IL212815A0 (en) | 2011-07-31 |
JPWO2010134417A1 (ja) | 2012-11-08 |
EP2418299A4 (en) | 2013-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5144760B2 (ja) | タンタルスパッタリングターゲット | |
JP5236758B2 (ja) | タンタルスパッタリングターゲット | |
JP4913261B2 (ja) | タンタルスパッタリングターゲット | |
JP5524976B2 (ja) | タンタルスパッタリングターゲット | |
JP5389955B2 (ja) | タンタルスパッタリングターゲット | |
JP5837214B2 (ja) | ニオブスパッタリングターゲット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 201080012120.3 Country of ref document: CN |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 2010523232 Country of ref document: JP Kind code of ref document: A |
|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 10777652 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 20117008749 Country of ref document: KR Kind code of ref document: A |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2010777652 Country of ref document: EP |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 212815 Country of ref document: IL |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 13142427 Country of ref document: US |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |