WO2010103807A1 - 光学特性測定装置、光学特性測定方法および二分光放射率係数測定方法 - Google Patents

光学特性測定装置、光学特性測定方法および二分光放射率係数測定方法 Download PDF

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井村健二
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コニカミノルタセンシング株式会社
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    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence

Definitions

  • the present invention relates to an optical property measuring apparatus, an optical property measuring method, and a bispectral emissivity coefficient measuring method.
  • a sample not containing a fluorescent substance (hereinafter referred to as a non-fluorescent sample) is illuminated with illumination light having a certain wavelength, reflected light of the same wavelength is emitted from the sample according to the reflection characteristics of the sample.
  • a sample containing a fluorescent material hereinafter referred to as a fluorescent sample
  • the wavelength is usually longer than the wavelength of the illumination light, depending on the fluorescence characteristics of the sample. Is emitted.
  • Such optical characteristics of the fluorescent sample are generally represented by a bispectral emissivity coefficient, a bispectral fluorescent emissivity coefficient, or the like.
  • the dual spectral emissivity coefficient is the ratio B of the wavelength of the emitted light from the fluorescent sample illuminated with the single wavelength illumination light of each wavelength and the emitted light from the completely white diffused surface illuminated and received in the same manner. It is expressed by ( ⁇ , ⁇ ).
  • is the wavelength of the single wavelength illumination light
  • is the wavelength of the emitted light.
  • the bispectral emissivity coefficient is, for example, matrix data as shown in FIG.
  • Spectral fluorescence emissivity coefficient Bf ( ⁇ , ⁇ ), and bispectral emissivity coefficient B ( ⁇ , ⁇ ) is the sum of these.
  • the spectral fluorescence quantum yield is obtained by cutting out the two-spectral fluorescence emissivity coefficient obtained by removing the diagonal component from the two-spectral emissivity coefficient shown in FIG. 13 for a specific fluorescence wavelength.
  • Spectral fluorescence quantum yield is often used to represent optical properties of fluorescent samples, as well as bispectral emissivity coefficient and bispectral fluorescence emissivity coefficient.
  • FIG. 14 shows the relative fluorescent quantum yield of fluorescent whitening paper, which is a representative fluorescent sample, and the representative relative spectral intensity of the fluorescence they emit.
  • R3 is the relative spectral fluorescence quantum yield of fluorescent reference paper
  • Photo is the relative spectral fluorescence quantum yield of photographic paper
  • ColorCopy is the relative spectral fluorescence quantum yield of color copy paper
  • B / WCopy is monochrome.
  • the relative spectral fluorescence quantum yield of copy paper and Gloss represents the relative spectral fluorescence quantum yield of glossy coated paper, respectively. Indicates the relative spectral distribution of the fluorescence emitted by a typical fluorescent white paper.
  • a total spectral emissivity coefficient that generally represents the optical characteristics of the sample.
  • the total spectral emissivity coefficient is the complete white diffusion that is observed when the sample is illuminated with the illumination light for evaluation having a predetermined spectral distribution, and the emitted light from the fluorescent sample is illuminated and observed under the same conditions as above. It is the ratio for each wavelength of the emitted light from the surface. Using the total spectral emissivity coefficient, a value representing a visual characteristic, such as a color value, is obtained.
  • the total spectral emissivity coefficient of the non-fluorescent sample is the spectral reflectance coefficient.
  • the total spectral emissivity coefficient of the fluorescent sample is the sum of the spectral reflectance coefficient and the fluorescent spectral emissivity coefficient.
  • the bispectral emissivity coefficient and the bispectral fluorescence emissivity coefficient are important for obtaining optical characteristics such as the total spectral emissivity coefficient in addition to the optical characteristics of the fluorescence.
  • the optical property measuring apparatus for measuring the two-spectral emissivity coefficient and the spectrofluorescence quantum yield include, for example, a two-spectral emissivity coefficient measuring apparatus for measuring the two-spectral emissivity coefficient and a spectrofluorescence quantum yield for measuring the spectroscopic fluorescence quantum yield.
  • a rate measuring device and the like are known.
  • the dual spectral emissivity coefficient is obtained by, for example, sequentially irradiating a sample to be measured with single wavelength light while scanning the wavelength as shown in Patent Document 1, and radiating light from the irradiated sample for each wavelength of irradiation light. Is measured by measuring the spectral distribution.
  • the spectral fluorescence quantum yield is obtained by sequentially irradiating a sample to be measured with single wavelength light while scanning the wavelength, and by exciting the emitted single wavelength light and radiating fluorescence intensity for each wavelength of the irradiated light. It is measured by measuring in the wavelength region.
  • the bispectral emissivity coefficient measuring apparatus disclosed in Patent Document 1 is large and expensive, and it takes several minutes to several tens of minutes for measurement.
  • the spectrofluorescence quantum yield measurement device is large and expensive, and the measurement time is long.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an optical property measuring apparatus and an optical property measuring method capable of measuring the optical property of a fluorescent sample in a shorter time. is there. Another object is to provide a bispectral emissivity coefficient measurement method capable of measuring the bispectral emissivity coefficient in a shorter time.
  • the optical characteristic measurement device, the optical characteristic measurement method, and the two-spectral emissivity coefficient measurement method according to the present invention different parts in the measurement region are illuminated with illumination light having different spectral distributions for each part, and the obtained Predetermined optical characteristics of the sample are obtained based on information regarding the emitted light for each part. For this reason, the optical characteristics of the fluorescent sample and the optical characteristics such as the bispectral emissivity coefficient are measured in a short time.
  • FIG. It is a figure which shows the structure of the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1a in Embodiment 1.
  • FIG. It is a figure which shows the relative spectral fluorescence quantum yield of fluorescent whitening paper, relative spectral fluorescence intensity, and the spectral transmittance of a filter.
  • FIG. It is a block diagram of the optical system of the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1c in Embodiment 3. It is a block diagram of the optical system of the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1d in Embodiment 4. It is a figure which shows the structure by the side view of the optical system of the bispectral emissivity coefficient measuring apparatus M2 in Embodiment 5. It is a figure which shows the structure by the front view of the bispectral emissivity coefficient measuring apparatus M2 in Embodiment 5.
  • FIG. It is a flowchart which shows the operation
  • FIG. 10 is a flowchart showing the operation of white calibration in the dual spectral emissivity coefficient measurement apparatus M2 for the fluorescent sample shown in FIG.
  • FIG. It is a figure for demonstrating the dual spectral emissivity coefficient of typical fluorescent white paper. It is a figure for demonstrating the relative spectral fluorescence quantum yield and relative spectral fluorescence intensity of typical fluorescent white paper.
  • the optical characteristic measurement apparatus for example, simultaneously illuminates different parts of a fluorescent sample with illumination light having different spectral distributions for each part, and radiates light from each part illuminated with the illumination light having the spectral distribution.
  • This is an apparatus for measuring the spectral optical characteristics of a fluorescent sample based on the information on.
  • the spectral optical characteristics of the fluorescent sample are represented by, for example, a spectral fluorescence quantum yield, a bispectral emissivity coefficient, a bispectral fluorescence emissivity coefficient, and the like.
  • a spectral fluorescence quantum yield measuring device and a dual spectral emissivity coefficient measuring device will be described.
  • the optical characteristic measurement apparatus according to the present embodiment can be applied to an optical characteristic measurement apparatus that measures various optical characteristics including the total spectral emissivity coefficient. It is not limited to an emissivity coefficient measuring device.
  • Embodiments 1 to 4 the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus will be described in Embodiments 1 to 4, and the dual spectral emissivity coefficient measuring apparatus will be described in Embodiment 5 based on the drawings.
  • the spectral fluorescence quantum yield measurement apparatus for example, simultaneously illuminates different parts of a fluorescent sample with illumination light with different spectral distributions for each part, and from each part illuminated with the illumination light with the spectral distribution.
  • This is an apparatus for measuring the spectrofluorescence quantum yield of a fluorescent sample based on information on the emitted light.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1a according to the first embodiment.
  • FIG. 1A is a layout diagram of the incident aperture S1a, the sample aperture As, and the reference area Ar
  • FIG. 1B is a configuration diagram of the optical system
  • FIG. 1C is a configuration of the light receiving unit.
  • (D) is an enlarged view of (a)
  • (e) is a block diagram of the arithmetic control unit 40.
  • p shown in FIG. 1A is an intersection of the optical axis ax of the light receiving system shown in FIG. 1B and a plane including the sample opening As (a plane perpendicular to the paper surface).
  • FIG. 2 shows the relative spectral fluorescence quantum yield of fluorescent whitening paper, which is a typical fluorescent sample, the typical relative spectral intensity of the fluorescence emitted by them, and the spectral transmittance of the two types of filters.
  • R3, Photo, ColorCopy, B / WCopy, Gloss and Fluor. are the same as those in FIG. 14, SPF (Short Pass Filter) is a short wavelength transmission filter having a spectral transmittance with a cutoff wavelength ⁇ s of 420 nm, and LPF (Long Pass Filter) is a cutoff wavelength.
  • SPF Short Pass Filter
  • LPF Long Pass Filter
  • the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1a includes an illumination unit 10, an imaging unit 20, a light receiving unit 30, and a calculation.
  • the fluorescent sample O is disposed in the sample opening As so as to be illuminated by the illumination unit 10.
  • Fluorescent sample O is a sample containing a fluorescent substance, such as a fiber or paper product containing a fluorescent substance.
  • the fluorescent sample O may be a plate or the like coated with a phosphor that emits fluorescence in the visible range when irradiated with electromagnetic waves having a short wavelength such as ultraviolet rays.
  • the illumination unit 10 is a distributed illumination system that illuminates different parts of the measurement area As in the fluorescent sample O with light having different spectral distributions for each part.
  • the fluorescent sample O emits fluorescence when illuminated by the illumination unit 10.
  • the illumination unit 10 includes a light source 11, a short wavelength transmission unit 12, a first opening member 13, a dispersion element 14, and a sample opening member 15. Is done.
  • the light source 11 is a light source having a continuous spectrum that covers the excitation wavelength range of the fluorescent sample O, is connected to the control unit 41, and is controlled to be turned on and off by the control unit 41.
  • the light source 11 is appropriately used according to the fluorescent material of the fluorescent sample O, and is, for example, a xenon flash lamp or a xenon lamp, and a deuterium lamp and an incandescent lamp can also be used in combination.
  • Xenon flash lamps are characterized by high strength and high efficiency, low heat generation and low cost.
  • the short wavelength transmission part 12 is a member for blocking the light on the long wavelength side and transmitting the light on the short wavelength side with the cutoff wavelength ⁇ s as a boundary in the light flux emitted from the light source 11.
  • the cutoff wavelength ⁇ s is set so as to block light in the fluorescent wavelength region by the fluorescent sample O.
  • the short wavelength transmission part 12 having such a cutoff wavelength ⁇ s removes the fluorescence wavelength region from the illumination light. Accordingly, there is an advantage that only the fluorescence from the fluorescent sample O is received by the light receiving unit 30 and the accuracy of the spectral fluorescence quantum yield calculated by the calculation unit 411 described later is increased.
  • the short wavelength transmission unit 12 is a short wavelength transmission filter having a spectral transmittance with a cutoff wavelength ⁇ s of 420 nm indicated by SPF (Short Pass Filter) in FIG.
  • the first opening member 13 is a member having an incident opening S1a having a predetermined shape, and the light flux from which the fluorescent wavelength region has been removed by the short wavelength transmission part 12 is incident on the incident opening S1a.
  • the first opening member 13 is, for example, a slit plate having an incident slit as the incident opening S1a.
  • the incident slit has, for example, a rectangular shape, and the longitudinal direction of the rectangular shape is illustrated in FIG. ) Along the direction perpendicular to the paper surface.
  • the dispersion element 14 is an optical element for tying a dispersion image S1a ′ obtained by wavelength-dispersing light incident from the incident opening S1a on the sample opening member 15.
  • the dispersive element 14 is, for example, a concave diffraction grating in which a plurality of grooves are engraved in parallel on a concave surface, as shown in FIG.
  • the optical element is configured such that the optical distance between the dispersive element 14 and the first opening member 13 is substantially equal to the optical distance between the dispersive element 14 and the sample opening member 15,
  • the wavelength dispersion image S1a ′ of the incident aperture S1a is connected to the sample aperture member 15 at approximately the same magnification.
  • the sample opening member 15 determines the measurement area of the fluorescent sample O, makes the radiated light emitted from each part of the illuminated measurement area incident on the imaging unit 20 and reflects from the illuminated reference area Ar. It is a member that causes light (reference light) to enter the imaging unit 20.
  • the sample opening member 15 is, for example, a plate having a sample opening As that defines the measurement area.
  • the sample opening member 15 includes, for example, a sample opening As and a reference area Ar as shown in FIG.
  • the sample opening As is provided on one side of an intersection point p where the sample opening member 15 intersects the optical axis ax of the optical system from the imaging unit 20 to the light receiving unit 30.
  • the rectangular opening is provided so that the longitudinal direction of the rectangle is parallel to the dispersion direction x1.
  • the fluorescent sample O is disposed in the sample opening As, and the area corresponding to the sample opening As in the fluorescent sample O is a measurement area.
  • this measurement area is referred to as measurement area As.
  • the reference area Ar is provided on the other side of the intersection point p, and is provided at a point-symmetrical position with respect to the sample opening As and the intersection point p.
  • the reference area Ar (reflection area) has a white diffusing surface.
  • the imaging unit 20 is arranged in the sample opening As (that is, the measurement area As), and is based on the image of the measurement area As by the emitted light of the fluorescent sample O illuminated by the dispersion image S1a ′ and the reflected light from the reference area Ar. This is an optical system for connecting the image of the reference area Ar to the light receiving unit 30.
  • the imaging unit 20 is an optical system that forms an image by transmitting illumination light and light in the fluorescent wavelength region, and is, for example, an imaging lens.
  • the light receiving unit 30 is connected to the calculation control unit 40, receives the image of the measurement area As by the fluorescence from the fluorescent sample O in the measurement area As and the image of the reference area Ar by the reflected light from the reference area Ar, and measures the measured fluorescence. The intensity of each part in the measurement area image and the reference area image by reflected light is output to the control unit 41.
  • the light receiving unit 30 includes a long wavelength transmission unit 31 and a light receiving element 32.
  • the long-wavelength transmission unit 31 blocks light on the short wavelength side from the radiation light imaged on the light receiving unit 30 by the imaging unit 20 at the cutoff wavelength ⁇ l, and transmits light on the long wavelength side, that is, fluorescence. It is a member for doing.
  • the long wavelength transmission part 31 is disposed in front of the fluorescence light receiving element SAs.
  • the cutoff wavelength ⁇ l is set so as to block the reflected light from the fluorescent sample O and transmit at least part of the fluorescent wavelength region of the fluorescent sample O. Illumination light reflected from the measurement region As is removed by the long wavelength transmission unit 31 having such a cutoff wavelength ⁇ l, and the measurement region As necessary for calculation of the spectral fluorescence quantum yield in the calculation unit 411 described later. Only the fluorescent component can be measured.
  • the long wavelength transmission unit 31 is, for example, a long wavelength transmission filter having a spectral transmittance indicated by an LPF (Long Pass Filter) whose cutoff wavelength ⁇ l is 460 nm in FIG.
  • the light receiving element 32 receives the fluorescence from the fluorescent sample O in the measurement area As and the reference light from the reference area Ar.
  • the light receiving element 32 includes, for example, a two-channel sensor array for receiving fluorescence from each part of the fluorescent sample O in the measurement area As and reflected light (reference light) from each part in the reference area Ar for each part. Configured.
  • the light receiving element 32 includes, for example, a fluorescence light receiving element SAs and a reference light receiving element SAr as shown in FIG.
  • the fluorescence light receiving element SAs is an element that receives fluorescence from each part of the measurement area As and outputs the fluorescence intensity F (x) that is the intensity distribution to the control unit 41.
  • the reference light receiving element SAr is an element that receives reference light from each part of the reference area Ar and outputs a reference light intensity I (x) that is an intensity distribution to the control unit 41.
  • x shows a site
  • the arithmetic control unit 40 controls turning on and off of the illumination unit 10 and inputs and stores in advance information on the fluorescence intensity distribution F (x) and the reference light intensity distribution I (x) output from the light receiving unit 30.
  • the arithmetic control unit 40 includes a control unit 41, an input unit 413, and an output unit 414.
  • the input unit 413 is, for example, a spectral fluorescence quantum yield that is priced to the standard fluorescence sample R by a public institution, which is necessary for an instruction to start measurement or for calculating a spectral fluorescence quantum yield Q traceable to the public institution. This is a device for inputting data relating to Q0.
  • the input unit 413 is, for example, a keyboard or a touch panel.
  • the input unit 413 is connected to the control unit 41 and outputs data related to the standard fluorescent sample R to the storage unit 412 described later.
  • the output unit 414 is an apparatus that is connected to the control unit 41 and outputs the spectral fluorescence quantum yield of the fluorescent sample O calculated by the control unit 41.
  • the output unit 414 includes, for example, a display device such as a liquid crystal display device (LCD), a 7-segment LED, an organic photoluminescence display device, a CRT (Cathode Ray Tube) display device, a plasma display device, a printer, and the like. Printing device or the like.
  • the control unit 41 controls the illumination unit 10 and the light receiving unit 30, the fluorescence intensity distribution F (x) output from the light receiving unit 30, the reference light intensity distribution I (x), and the standard fluorescent sample input from the input unit 413.
  • This is a device that outputs the optical characteristics of the fluorescent sample to the output unit 414 based on the data relating to R.
  • the control unit 41 is, for example, a ROM (Read Only Memory) that stores arithmetic processing programs for performing arithmetic processing to be described later, a RAM (Random Access Memory) that functions as a so-called working memory and temporarily stores data, and can be rewritten.
  • a non-volatile storage element such as an EEPROM (Electrically Erasable Programmable Read Only Memory), a central processing unit (CPU) that reads and executes the arithmetic processing program and the like from the ROM, and peripheral circuits thereof.
  • EEPROM Electrically Erasable Programmable Read Only Memory
  • CPU central processing unit
  • control unit 41 includes a calculation unit 411 and a storage unit 412, and according to a control program stored in advance, the light source 11, the light receiving unit 30, the input unit 413, and the output unit 414. Are controlled according to the function concerned.
  • the calculation unit 411 functions as a central processing unit, and data related to the spectral fluorescence quantum yield Q0 that is priced to the standard fluorescence sample R by a public institution stored in the storage unit 412 and measurement data output from the light receiving unit 30. Based on (fluorescence intensity distribution F (x) and reference light intensity distribution I (x)), a spectral fluorescence quantum yield traceable to a public institution is calculated, and the calculated spectral fluorescence quantum yield is output to the output unit 414. Output.
  • the storage unit 412 includes data on the spectral fluorescence quantum yield Q0 assigned to the standard fluorescent sample R by a public institution, a program for calculating the bispectral fluorescent quantum yield of the fluorescent sample O, a program for controlling the illumination unit 10, and the like. And various data such as data necessary for executing the various programs and data generated during the execution of the various programs.
  • FIG. 3 is a flowchart showing an operation in the case of measuring the spectral fluorescence quantum yield in the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1a in the first embodiment.
  • FIG. 4 is a flowchart showing an operation of calculating a conversion coefficient in the spectral fluorescence quantum yield measurement apparatus M1a according to the first embodiment.
  • the spectrofluorescence quantum yield measurement apparatus M1a executes an arithmetic processing program upon activation thereof.
  • the spectrofluorescence quantum yield measuring apparatus M1a then performs the following operations on the basis of data relating to the spectrofluorescence quantum yield Q0 assigned to the standard fluorescence sample R by the public institution, and the spectral fluorescence traceable to the public institution.
  • the quantum yield is measured.
  • Spectroscopic fluorescence quantum yield calculation flow (S1 to S5) >> In the spectrofluorescence quantum yield calculation flow, after the measurement (step S1 to step S3) of the fluorescence intensity distribution F (x) and the reference light intensity distribution I (x) of the fluorescent sample O is performed, it is traceable to a public institution.
  • the spectral fluorescence quantum yield Q is calculated (step S4), and the spectral fluorescence quantum yield Q is output (step S5).
  • the fluorescent sample O Prior to the measurement, the fluorescent sample O is disposed in the sample opening As of the sample opening member 15.
  • step S1 the control unit 41 turns on the illumination unit 10, that is, turns on the light source 11.
  • step S2 the light from the light source 11 having sufficient intensity in the ultraviolet region is incident on the incident aperture S1a of the first aperture member 13 through the short wavelength transmission unit 12 by turning on the illumination unit 10.
  • the light source 11 is, for example, a xenon flash lamp having sufficient intensity in the ultraviolet region having a wavelength of 400 nm or less.
  • the dispersion element 14 forms a wavelength dispersion image S1a ′ of the opening S1a on the sample opening member 15 by the light beam incident from the incident opening S1a.
  • the dispersive element 14 is, for example, a concave diffraction grating.
  • a chromatic dispersion image S1a ′ obtained by dispersing the light beam incident from the incident aperture S1a is connected to the sample aperture member 15 at approximately the same magnification.
  • each part in the sample opening As of the fluorescent sample O is illuminated with substantially single wavelength light in a narrow wavelength band in which the center wavelength changes in the x1 direction. Fluorescence excited by the single wavelength light is emitted together with the reflected light from each part of the fluorescent sample O illuminated with the single wavelength light of wavelength ⁇ .
  • the dispersion width of the wavelength dispersion image S1a ′ covering the wavelength region 300 to 430 nm with a linear dispersion of 0.1 mm / nm is approximately 14 mm.
  • the size of the incident aperture S1a is, for example, 1 mm in width and 5 mm in length and the linear dispersion is 0.1 mm / nm as described above
  • the size of the dispersed image S1a ′ is about 5 mm in length and about 14 mm in the dispersion width. It becomes.
  • the sample opening As is, for example, 2 mm ⁇ 15 mm in size
  • the sample surface per 10 nm of the wavelength dispersion image S1a ′ is 2 mm ⁇ 1 mm.
  • the fluorescent sample O is Fluor.
  • the wavelength range of the fluorescence emitted from the fluorescent sample O excited by the above-described wavelength dispersion image S1a ′ in the wavelength range 300-430 nm is the wavelength of 400-600 nm.
  • the central wavelength of the substantially single wavelength light changing in the x1 direction is ⁇ (x1)
  • the part x1 of the fluorescent sample O in the measurement area As is illuminated with the illumination light having the central wavelength ⁇ (x1).
  • Radiation light Es ( ⁇ (x1), ⁇ ) is simultaneously emitted from x1.
  • the emitted light Es ( ⁇ (x1), ⁇ ) is the sum of the fluorescent component Esf ( ⁇ (x1), ⁇ ) and the reflected light component Esr ( ⁇ (x1)).
  • is the wavelength of the emitted light
  • the fluorescent component Esf ( ⁇ (x1), ⁇ ) is the fluorescence of the wavelength ⁇ by the region x1 in the measurement area As excited by the illumination light of the wavelength ⁇ (x1). is there.
  • the reflected light component Esr ( ⁇ (x1)) is reflected light of the wavelength ⁇ (x1) by the part x1 in the measurement area As of the illumination light of the wavelength ⁇ (x1) and does not undergo wavelength conversion.
  • the fluorescent component Esf ( ⁇ (x1), ⁇ ) emitted from the part x1 depends on the intensity of the illumination light and the spectral fluorescence quantum yield of the fluorescent sample O.
  • the imaging unit 20 ties an image of the equal measurement area As by the incident radiated light from the measurement area As onto the fluorescent light receiving element SAs.
  • a long wavelength transmission unit 31 is installed on the front surface of the fluorescence light receiving element SAs. Since the long wavelength transmission unit 31 removes the reflected light component Esr ( ⁇ ) emitted by the fluorescent sample O, the fluorescence light receiving element SAs receives only the fluorescence component Esf ( ⁇ , ⁇ ). For example, when the long wavelength transmission unit 31 is a long wavelength transmission filter having a cutoff wavelength of 460 nm and having a spectral transmittance of LPF (Long Pass Filter) of FIG. 2, components having a wavelength of 430 nm or less are removed.
  • LPF Long Pass Filter
  • each pixel of the fluorescence light receiving element SAs has a long wavelength of the fluorescence component Esf ( ⁇ (x1), ⁇ ) excited by the single wavelength illumination light of the wavelength ⁇ (x1) from the corresponding part x1 of the fluorescent sample O.
  • the component that has passed through the transmission filter is incident.
  • Each pixel of the fluorescence light receiving element SAs receives the component of the fluorescence component Esf ( ⁇ (x1), ⁇ ) that has passed through the long wavelength transmission filter, and measures the fluorescence intensity F ( ⁇ (x1)). In this way, the light receiving unit 30 measures the fluorescence intensity F ( ⁇ (x1)) at the excitation wavelength ⁇ (x1) and outputs it to the calculation unit 411.
  • each part x1 in the reference area Ar is illuminated with single-wavelength illumination light having a wavelength ⁇ (x1) corresponding to each part, similarly to each part x1 in the measurement area As, and the reference light is simultaneously emitted from each part x1 in the reference area Ar.
  • Er ( ⁇ (x1)) is emitted.
  • the reference light Er ( ⁇ (x1)) is reflected light that is not accompanied by wavelength conversion by the part x1 in the reference area Ar of the illumination light having the wavelength ⁇ (x1).
  • Reflected light (reference light) Er ( ⁇ (x1)) of illumination light having a corresponding wavelength is incident on a pixel of the reference light receiving element SAr from a corresponding part x1 of the reference area Ar.
  • Each pixel of the reference light receiving element SAr simultaneously measures the reference light intensity I (x1) of the single-wavelength illumination light having the wavelength ⁇ (x1) that illuminates the corresponding part of the fluorescent sample O.
  • the reference light intensity I (x1) for referring to the intensity is output to the calculation unit 411.
  • a fluorescent light receiving element SAs and a reference light receiving element SAr are arranged in parallel (for example, the fluorescent light receiving element SAs and the reference light receiving element SAr each have a plurality of pixels at a pitch of 0.5 mm. Linearly).
  • Each pixel of the fluorescence light receiving element SAs and each pixel of the reference light receiving element SAr are the fluorescence component Esf ( ⁇ (x1), ⁇ ) from the part x1 of the measurement area As excited by the illumination light having the wavelength ⁇ (x1).
  • pixels that receive the reference light Er ( ⁇ (x1)) from the part x1 of the reference area Ar by the illumination light having the wavelength ⁇ (x1) are pixels (reference light reception) of the fluorescence light receiving element SAs.
  • the respective pixels of the element SAr are arranged at corresponding positions in the arrangement direction.
  • step S3 the control unit 41 turns off the light source 11 of the illumination unit 10.
  • step S4 the calculation unit 411 calculates the spectral fluorescence quantum yield.
  • the calculation unit 411 calculates the relative fluorescence intensity using the fluorescence intensity F ( ⁇ (x1)) and the reference light intensity I ( ⁇ (x1)).
  • the relative fluorescence intensity is F (x1) / I (x1).
  • F ( ⁇ (x1)) is abbreviated as F ( ⁇ )
  • I ( ⁇ (x1)) is abbreviated as I ( ⁇ ).
  • the fluorescence intensity F ( ⁇ ) of the fluorescence light receiving element SAs is changed from the reference light intensity I output from the pixel of the reference light receiving element SAr corresponding to the pixel of the fluorescence light receiving element SAs that outputs the fluorescence intensity F ( ⁇ ).
  • ( ⁇ ) By relativizing by ( ⁇ ), it is possible to suppress the influence of fluctuation of the spectral distribution of illumination light by the light source 11 for each light emission.
  • the calculation unit 411 gives the relativized fluorescence intensity distribution (F ( ⁇ ) / I ( ⁇ )) by Expression (1) by the conversion coefficient C ( ⁇ ) stored in the storage unit 412 in advance. Convert to spectral fluorescence quantum yield Q ( ⁇ ).
  • the conversion coefficient C ( ⁇ ) is obtained by using the relative fluorescence intensity distribution F ( ⁇ ) / I ( ⁇ ) measured by the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1a in the present embodiment as a spectroscopic spectrum traceable to a public institution. This is a coefficient for conversion to the fluorescence quantum yield Q ( ⁇ ).
  • sensitivity calibration for obtaining a conversion coefficient C ( ⁇ ) is performed at the time of manufacture.
  • step S5 the control unit 41 outputs a spectral fluorescence quantum yield Q ( ⁇ ) traceable to a public institution to the output unit 414.
  • the control unit 41 outputs the result indicated by R3 in FIG. 2 as the measured spectral fluorescence quantum yield.
  • the image connected to the light receiving unit 30 by the imaging unit 20 is set to the same magnification. However, if this is 0.5 times, for example, the sizes of the fluorescence light receiving element SAs and the reference light receiving element SAr are halved. can do.
  • Step S6 to S9 the measurement (step S6 to step S8) of the fluorescence intensity F0 ( ⁇ ) and the reference light intensity I0 ( ⁇ ) of the standard fluorescent sample is performed, and then the conversion coefficient C ( ⁇ ) is calculated.
  • Step S8 Prior to measurement, standard fluorescent sample R (Spectralon Fluorescent Standard from Labsphere) USFS-205 or the like) is disposed in the sample opening As of the sample opening member 15.
  • the standard fluorescent sample R has an excitation wavelength region and a fluorescent wavelength region similar to those of the measurement sample, and the spectral fluorescence quantum yield Q0 ( ⁇ ) is priced by a public organization such as NRC (National Research Council Canada). Yes.
  • step S 6 the control unit 41 receives the priced spectral fluorescence quantum yield Q 0 ( ⁇ ) from the input unit 413.
  • the storage unit 412 stores the inputted spectral fluorescence quantum yield Q0 ( ⁇ ).
  • the arithmetic control unit 40 turns on the illumination unit 10, that is, turns on the light source 11.
  • the standard fluorescent sample R in the sample opening As is illuminated with wavelength-dispersed light.
  • step S7 the control unit 41 simultaneously measures the fluorescence intensity F0 ( ⁇ ) excited by the illumination light of each wavelength ⁇ and the reference light intensity I0 ( ⁇ ) by the light receiving unit 30, and the measurement result is obtained. Output to the control unit 41.
  • step S ⁇ b> 8 the control unit 41 stores the fluorescence intensity F ⁇ b> 0 ( ⁇ ) excited by the illumination light having the wavelength ⁇ and the reference light intensity I ⁇ b> 0 ( ⁇ ) output from the light receiving unit 30. To remember. Subsequently, the control unit 41 turns off the light source 11.
  • step S9 the calculation unit 411 stores the spectral fluorescence quantum yield Q0 ( ⁇ ) stored in the storage unit 412 in advance at the time of manufacture or input to the input unit 413 and stored in the storage unit 412 and the fluorescence intensity distribution.
  • Q0 ( ⁇ ) the spectral fluorescence quantum yield
  • I0 ( ⁇ ) the reference light intensity distribution
  • Obtaining the conversion coefficient C ( ⁇ ) is a calibration of the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1a, and the spectral fluorescence quantum yield measured by the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1a is determined by this calibration. It becomes traceable to the target organization.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of an optical system of the spectral fluorescence quantum yield measurement apparatus M1b according to the second embodiment.
  • A is an arrangement diagram of the sample aperture As and reference area Ar
  • (b) is the optical system
  • (c) is a block diagram of the light receiving system.
  • the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1b is configured to include an illumination unit 10b instead of the illumination unit 10 in the first embodiment.
  • the illumination unit 10b is similar to the illumination unit 10 in the first embodiment, but the optical distance between the dispersion element 14b and the sample opening member 15b is greater than the optical distance between the dispersion element 14 and the first opening member 13. Configured to be large.
  • the dispersive element 14b connects the wavelength dispersion image S1a ′ enlarged from Embodiment 1 on the sample opening member 15b.
  • the magnification of the wavelength dispersion image S1a ′ is proportional to the ratio between the optical distance between the dispersion element 14b and the sample opening member 15b and the optical distance between the dispersion element 14b and the first opening member 13.
  • the measurement area As and the reference area Ar per 10 nm of the enlarged wavelength dispersion image S1a ′ are larger than the measurement area As and the reference area Ar per 10 nm in the first embodiment.
  • the illumination unit 10b will be described in more detail using specific numerical examples.
  • the wavelength on the sample opening member 15b is 1.5 times the optical distance between the first opening member 13 and the dispersion element 14b
  • the dispersion image S1a ′ is 1.5 times the wavelength dispersion image S1a ′ of the first embodiment.
  • the size of the incident opening S1a is assumed to be the same width of 1 mm and the length of 5 mm as in the first embodiment.
  • the linear dispersion of the wavelength dispersion image S1a ′ on the sample opening member 15b is 0.15 mm / nm, and the image covering 300 to 430 nm has a length of about 7.5 mm and a dispersion width of about 21 mm. Accordingly, if the size of the sample opening As is 3 mm ⁇ 22.5 mm, the sample surface per 10 nm is 3 mm ⁇ 1.5 mm. This is 2.25 times the sample surface of 2 mm ⁇ 1 mm per 10 nm of the first embodiment.
  • the spectrofluorescence quantum yield measuring device M1b measures the fluorescence that arrives from the fluorescent sample O in the wider measurement area As than in the first embodiment with the light receiving unit 30, and thus the nonuniformity of the fluorescent sample O The impact can be reduced.
  • the sample opening member 15b is separated from the light source system including the light source 11, the short wavelength transmission portion 12, the first opening member 13, and the like (FIG. 5B). ),
  • the fluorescent sample O can be disposed in the sample opening As without interfering with the light source system. Therefore, the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1b in Embodiment 2 can measure the spectral fluorescence quantum yield without cutting out a large fluorescent sample.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of an optical system of the spectral fluorescence quantum yield measurement apparatus M1c according to the third embodiment.
  • the spectrofluorescence quantum yield measurement apparatus M1c is configured to further include an expansion unit 16 between the dispersion element 14 and the sample opening member 15.
  • the enlargement unit 16 is an optical system that enlarges the wavelength dispersion image S1a ′ by the dispersion element 14 and re-images it on the sample aperture member 15 as the wavelength dispersion image S1a ′′.
  • the enlarging unit 16 is a relay lens arranged at a predetermined position (a predetermined distance from the dispersive element 14) between the dispersive element 14 and the sample opening member 15 on the optical axis. Etc.
  • the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1c can reduce the influence of the non-uniformity of the fluorescent sample O as in the second embodiment.
  • the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1c is expanded without degrading the performance of the dispersion system because the dispersion system such as the dispersion element 14 and the expansion system such as the enlargement unit 16 are separated.
  • the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1c can avoid interference between the fluorescent sample O and the light source system, as in the second embodiment. Therefore, the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1c in Embodiment 3 can measure the spectral fluorescence quantum yield without cutting out a large fluorescent sample.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of an optical system of the spectral fluorescence quantum yield measurement apparatus M1d according to the fourth embodiment.
  • the spectrofluorescence quantum yield measuring apparatus M1d includes a light source 11d in place of the illumination unit 10 including the light source 11, the short wavelength transmission unit 12, the first opening member 13, and the dispersion element 14 in the first embodiment.
  • the illumination unit 10d including the filter unit 14d and the illumination imaging unit 17 is provided.
  • the light source 11d is a surface light source that has a continuous spectrum covering the excitation wavelength region of the fluorescent sample O and emits a light beam from a predetermined region, similarly to the light source 11.
  • the filter unit 14d is a member that transmits band light having a different wavelength (center wavelength) ⁇ (x0) for each part x0 of the filter unit 14d in the light flux emitted from the light source 11d.
  • the filter unit 14d is arranged on the radiation surface of the light source 11d so that the x0 direction in which the transmission wavelength ⁇ (x0) of the filter unit 14d changes and the longitudinal direction of the light source 11d are parallel to each other. Is done. In this manner, the filter unit 14d can obtain light beams having different wavelengths for each part x0.
  • the filter unit 14d is, for example, a wedge band transmission filter. More specifically, the filter unit 14d is, for example, a wedge band transmission filter that changes from 300 nm to 430 nm in the x0 direction of FIG.
  • the illumination imaging unit 17 is arranged at a predetermined position (a predetermined distance from the light source 11d) between the light source 11d and the sample opening member 15 on the optical axis, and is incident on the filter unit 14d and is different in the x0 direction.
  • This is a member for connecting an image of the filter portion 14d by a light beam having a central wavelength ⁇ (x0) on the sample aperture member 15 as an image of illumination light having a different wavelength ⁇ (x1) in the x1 direction.
  • the fluorescent sample O and the reference area Ar in the measurement region As on the sample opening member 15 are illuminated with illumination light having different central wavelengths ⁇ (x1) in the x1 direction, as in the first embodiment. Is done. Therefore, the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1d of the fourth embodiment can obtain the same effects as those of the first embodiment.
  • the spectral fluorescence quantum yield measuring apparatus M1d uses a linear light source such as a xenon flash lamp, the luminous flux can be effectively used by setting the longitudinal direction of the light source parallel to the x0 direction. The intensity of illumination light can be increased.
  • the bispectral emissivity coefficient measurement apparatus for example, simultaneously illuminates different parts of a fluorescent sample with illumination light having different spectral distributions for each part, and receives received fluorescence excited by the illumination light of the spectral distributions. It is an apparatus for measuring the bispectral fluorescence emissivity coefficient of a fluorescent sample based on information on the emitted light from each part it contains.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration of the optical system of the dual spectral emissivity coefficient measurement apparatus M2 according to the fifth embodiment as viewed from the side.
  • FIG. 8A is a layout diagram of the sample opening As and the reference area Ar
  • FIG. 8B is a configuration diagram of the optical system.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of the dual spectral emissivity coefficient measurement apparatus M2 according to the fifth embodiment when viewed from the front.
  • 9A is a layout diagram of the incident aperture S1a, the sample aperture As, and the reference area Ar
  • FIG. 9B is a configuration diagram of the optical system thereof
  • FIG. 9C is a radiated light aperture S2s.
  • FIG. 4 is a layout diagram of the reference light aperture S2r
  • (d) is an enlarged view of the light receiving element 233 viewed from the light traveling direction
  • (e) is a block diagram of the calculation control unit 240. .
  • the dual spectral emissivity coefficient measurement apparatus M2 in the fifth embodiment includes an illumination unit 210, an imaging unit 220, The light receiving unit 230 and the calculation control unit 240 are configured, and the fluorescent sample O is arranged as a sample to be measured so as to be illuminated by the illumination unit 210.
  • the illumination unit 210 is a distributed illumination system similar to the illumination unit 10 in the first embodiment.
  • the illumination unit 210 includes a light source 211, a first opening member 213, a first dispersion unit 214, and a sample opening member 215.
  • the light source 211 corresponds to the light source 11
  • the first opening member 213 corresponds to the first opening member 13
  • the first dispersion portion 214 corresponds to the dispersion element 14
  • the sample opening member 215 corresponds to the sample opening member 15.
  • the illumination unit 210 is configured without a member for removing a long wavelength corresponding to the short wavelength transmission unit 12 in the illumination unit 10.
  • the light receiving element 233 receives light individually by each light receiving element (pixel) without overlapping the reflected light component and the fluorescence component of the radiated light emitted from the measurement area As. Therefore, the illumination unit 210 does not include a member corresponding to the short wavelength transmission unit 12.
  • the imaging unit 220 is measured on the second opening member 231 of the light receiving unit 230 by the emitted light from the fluorescent sample O, which is disposed in the sample opening As (that is, the measurement area As) and illuminated with the dispersion image S1a ′.
  • This is an optical system for connecting the image of the area As and the image of the reference area Ar by the reflected light (reference light) from the reference area Ar.
  • the imaging unit 220 includes, for example, an imaging optical element 221 and an image surface optical element 222 as shown in FIG. 9B.
  • the imaging optical element 221 is an optical element that connects the image of the measurement area As by the radiated light from the measurement area As and the image of the reference area Ar by the reflected light from the reference area Ar on the second opening member 231.
  • the imaging optical element 221 is an optical element that forms an image by transmitting light in the wavelength regions of both the radiation light and the reference light from the measurement region As, and is, for example, an imaging lens.
  • the image surface optical element 222 is an optical element that creates an image of the imaging optical element 221 on a second dispersion unit 232 described later.
  • the image surface optical element 222 emits light from the measurement area As and the reference area Ar incident on the imaging optical element.
  • the reference light is efficiently incident on the second dispersion unit 232.
  • the image surface optical element 222 is, for example, a convex lens.
  • the second opening member 231 is a member having a radiated light opening S2s and a reference light opening S2r having a predetermined shape.
  • the radiated light from the measurement area As and the reference light from the reference area Ar enter the radiated light opening S2s and the reference light opening S2r, respectively.
  • the second opening member 231 is a slit plate or the like having an entrance slit disposed on the rear surface of the image surface optical element 222 as viewed from the light traveling direction.
  • the slit has, for example, a rectangular shape, and the longitudinal direction of the rectangular shape is on the second opening member 231 corresponding to the distribution direction x1 of the illumination light on the measurement area As, as shown in FIG. Are provided in parallel to the direction x2.
  • the second dispersion unit 232 wavelength-disperses the light incident from each part of the radiation light opening S2s and the reference light opening S2r in the ys and yr directions orthogonal to the x2 direction, and the dispersion image of the light receiving element 233. It is an optical element for connecting two-dimensionally on the light receiving surface.
  • the second dispersion unit 232 is an optical element similar to the first dispersion unit 214.
  • the light receiving element 233 emits radiation from each part of the fluorescent sample O in the measurement area As.
  • the wavelength dispersion image of the light and the wavelength dispersion image of the reference light from each part of the reference area Ar are received, and the spectral distribution of the emitted light from each part and the spectral distribution of the reference light from each part are output to the control unit 241. To do.
  • the light receiving element 233 measures the spectral distribution of the radiated light and the reference light obtained from each part of the measurement region and the reference region illuminated with the single wavelength light of different wavelengths ⁇ , the wavelength region ⁇ of the illumination light and the radiated light
  • This is a two-dimensional sensor array in which pixels are two-dimensionally arranged corresponding to the wavelength range ⁇ .
  • the light receiving element 233 has, for example, a wavelength ( ⁇ ) region 300-700 nm of illumination light in the column direction (x3 direction) and a wavelength region ( ⁇ ) region 300-780 nm of emitted light in the row direction (ys and yr directions). Is a two-dimensional sensor array.
  • the input unit 2413 is a device corresponding to the input unit 413.
  • the output unit 2414 is a device corresponding to the output unit 414.
  • the control unit 241 controls the illumination unit 210 and the light receiving element 233 and outputs measurement data (radiated light spectral distribution E ( ⁇ , ⁇ ) and reference light spectral distribution I ( ⁇ for each wavelength ⁇ of illumination light) output from the light receiving unit. ), A sensitivity correction coefficient D ( ⁇ , ⁇ ), and a calibration coefficient K ( ⁇ ), and calculates the two spectral emissivity coefficients and outputs the two spectral emissivity coefficients to the output unit 2414.
  • the control unit 241 is the same device as the control unit 41.
  • control unit 241 functionally includes a calculation unit 2411 and a storage unit 2412, and an illumination unit 210, a light receiving element 233, and an input according to a control program stored in advance.
  • the unit 2413 and the output unit 2414 are controlled according to the function.
  • the calculation unit 2411 stores the sensitivity correction coefficient D ( ⁇ , ⁇ ) obtained at the time of manufacture, the calibration coefficient K ( ⁇ ) obtained by white calibration, and the light receiving element 233, which are stored in the storage unit 2412, for example. Based on the measurement data output from, the bispectral emissivity coefficient is calculated, and the calculated bispectral emissivity coefficient is output to the output unit 2414.
  • the storage unit 2412 stores correction and calibration data input from the input unit 2413 or the bispectral emissivity coefficient calculated by the calculation unit 2411.
  • the storage unit 2412 stores various programs such as a program for calculating the bispectral emissivity coefficient of the fluorescent sample O, a program for controlling the illumination unit 210, data necessary for execution of the various programs, data generated during the execution, and the like. Stores various data.
  • the storage unit 2412 corresponds to the storage unit 412.
  • the light receiving unit 30 is arranged at the imaging position of the emitted light from the measurement region As and the reference light from the reference region Ar by the imaging unit 20.
  • the second opening member 231 is disposed instead of the light receiving unit 30, and the image surface optical element 222 is disposed immediately before the second opening member 231.
  • FIG. 10 is a flowchart showing an operation in the case of measuring the bispectral emissivity coefficient in the bispectral emissivity coefficient measuring apparatus M2 in the fifth embodiment.
  • FIG. 11 is a flowchart showing the white calibration operation in the fluorescence sample bispectral emissivity coefficient measurement apparatus M2 according to the fifth embodiment.
  • the bispectral emissivity coefficient measurement apparatus M2 executes an arithmetic processing program by, for example, activation thereof.
  • the bispectral emissivity coefficient measurement apparatus M2 performs the following operations based on the sensitivity correction coefficient D ( ⁇ , ⁇ ) obtained at the time of manufacture, for example, and the calibration coefficient K ( ⁇ ) obtained by white calibration. Then, the two-spectral emissivity coefficient B ( ⁇ , ⁇ ) is measured.
  • Two spectral emissivity coefficient calculation flow (S11 to S15) >>
  • the spectral distribution E ( ⁇ , ⁇ ) and the spectral distribution I ( ⁇ ) of the illumination light for each wavelength ⁇ of the emitted light of the fluorescent sample O are measured (steps S11 to S11).
  • a bispectral emissivity coefficient is calculated (step S14), and the bispectral emissivity coefficient is output (step S15).
  • the fluorescent sample O is disposed in the sample opening As of the sample opening member 15.
  • step S11 the control unit 241 turns on the illumination unit 210, that is, turns on the light source 211.
  • step S12 as in step S2 in the first embodiment, when the light source 211 is turned on, a part of the radiated light radiated from the measurement area As and the reference light (reflected light) reflected from the reference area Ar are respectively The light enters the imaging optical element 221.
  • the fluorescent sample O in the measurement region As and the region x1 in the reference region have the central wavelength ⁇ ( Illuminated with single wavelength illumination light of x1). Therefore, from the part x1 of the measurement area As, the radiated light Es ( ⁇ (x1), ⁇ ) (the radiated light Es is the fluorescence component Esf (( ⁇ (x1), ⁇ )) and the reflected light component Esr ( ⁇ (x1)). However, the reference light Er ( ⁇ (x1)) is emitted from the portion x1 of the reference area Ar.
  • the imaging optical element 221 emits the radiated light Es ( ⁇ , ⁇ ) and Er ( ⁇ ) from the fluorescent sample O in the measurement area As and the reference area Ar onto the second aperture member 231 via the image plane optical element 222. Make an image.
  • Radiation light Es ( ⁇ (x1), ⁇ ) from the region x1 of the measurement area As imaged on the radiation light opening S2s and reference light Er from the region x1 of the reference area Ar imaged on the reference light opening S2r ( ⁇ (x1)) forms an image on the imaging portion x2 in the longitudinal direction of the rectangular shape of the radiation light opening S2s and the reference light opening S2r.
  • the part x2 is the x1 direction. It changes to x2 direction which is the opposite direction.
  • the radiated light Es ( ⁇ , ⁇ ) from the part x1 in the measurement area As and the reference light Er ( ⁇ ) from the part x1 in the reference area Ar are transmitted through the corresponding part x2 of the radiant light opening S2s and the reference light opening S2r. Then, the light is incident on the second dispersion part 232.
  • the second dispersion part 232 is a direction orthogonal to x2 of the radiated light Es ( ⁇ , ⁇ ) and the reference light Er ( ⁇ ) that have passed through the radiated light opening S2s and the reference light opening S2r of the second opening member 231 respectively And is incident on the light receiving element 233.
  • Each chromatic dispersion image of the radiated light Es ( ⁇ (x2), ⁇ ) obtained from the part x2 of the radiant light opening S2s and the reference light Er ( ⁇ (x2)) obtained from the part x2 of the reference light opening S2r is Then, an image is formed on a corresponding row of x3 coordinates on the light receiving element 233.
  • the chromatic dispersion image of the radiated light Es ( ⁇ , ⁇ ) obtained from the part x2 of the radiant light opening S2s is the ys coordinate corresponding to the wavelength ⁇ of the x3 coordinate in which the reflected light component Esr ( ⁇ ) corresponds to the wavelength ⁇ .
  • the fluorescence component Esf ( ⁇ , ⁇ ) also enters the ys coordinate corresponding to the fluorescence wavelength ⁇ of the same x3 coordinate.
  • the position of the fluorescence component (FL) is the same as the reflected light component (Rs) of the same x3 coordinate. Long wavelength side from the position.
  • the wavelength dispersion image of the reference light Er ( ⁇ ) obtained from the part x2 of the reference light opening S2r is incident on the yr coordinate corresponding to the wavelength ⁇ of the same x3 coordinate as shown in FIG. 9 (d).
  • ⁇ y is a shift in the incident position between Esr ( ⁇ ) and Er ( ⁇ ).
  • This positional deviation is caused by the fact that the radiation light aperture S2s and the reference light aperture S2r are arranged in parallel at a predetermined interval (horizontal interval in the direction orthogonal to x2).
  • the reflected light component Esr and the reference light Er of the same wavelength ⁇ (x1) from the corresponding part x1 of As and the reference area Ar enter at the same time, and the respective wavelength dispersion images are incident on positions shifted by ⁇ y. It depends.
  • This positional deviation ⁇ y depends on the distance between the radiated light opening S2s and the reference light opening S2r (for example, the horizontal distance in the direction orthogonal to the x2 direction as shown in FIG. 9C).
  • the reflected light component Esr, the fluorescence component Esf, and the reference light Er obtained from each part x1 of the measurement area As and the reference area Ar are the corresponding x3 coordinates on the light receiving element 233, and the ys and yr coordinates corresponding to the wavelengths. And incident simultaneously.
  • Each pixel in the corresponding row of the light receiving element 233 receives the wavelength dispersion image of the reflected light component Esr, the fluorescent component Esf, and the reference light Er.
  • the matrix data obtained from the light receiving element 233 includes the matrix data I2r of the radiated light obtained from the reference area Ar, the diagonal component Rs, and the ⁇ . It consists of matrix data I2s of the radiated light obtained from the measurement area As, consisting of> ⁇ fluorescent components FL.
  • FL is an area where the fluorescent component Esf from the measurement area As is imaged
  • Rs is an area where the reflected light component Esr from the measurement area As is imaged
  • Rr is from the reference area Ar. This is an area where the reference light is imaged.
  • FL is a region extending in both the x3 and ys directions
  • Rs and Rr are regions near the diagonal line separated by ⁇ y.
  • a component near the diagonal line is referred to as a diagonal component.
  • the matrix is obtained. From the data, the diagonal component Ir ( ⁇ , ⁇ ) of the reference light Er obtained from the reference area Ar and the matrix data Is ( ⁇ , ⁇ ) of the radiated light Es obtained from the measurement area As can be easily separated. it can.
  • the light receiving element 233 sends the measured spectral distribution Ir ( ⁇ , ⁇ ) of the reference light Er from the reference area Ar and the spectral distribution Is ( ⁇ , ⁇ ) of the radiated light Es from the measurement area As to the control unit 240. Output.
  • the control unit 240 stores the input Ir ( ⁇ , ⁇ ) and Is ( ⁇ , ⁇ ) in the storage unit 2412, and proceeds to step S13.
  • step S13 the control unit 240 turns off the illumination unit 210.
  • step S14 the calculation unit 2411, the sensitivity correction coefficient D ( ⁇ , ⁇ ), the calibration coefficient K ( ⁇ ), Ir ( ⁇ , ⁇ ), and Is ( ⁇ ) stored in the storage unit 2412. , ⁇ ) and the bispectral emissivity coefficient B ( ⁇ , ⁇ ) given by equation (3) is calculated.
  • the sensitivity correction coefficient D ( ⁇ , ⁇ ) is a coefficient for correcting the relative sensitivity including the efficiency of the optical system reaching each pixel that receives the sample radiation in each row of the light receiving elements 233, and is a calibration coefficient.
  • K ( ⁇ ) is a coefficient for converting the intensity of the reference light in each row into the intensity of the reflected light from the completely white diffused surface illuminated and observed under the same conditions as the sample, and details will be described later.
  • step S15 the output unit 2414 outputs the bispectral emissivity coefficient B ( ⁇ , ⁇ ).
  • This bispectral emissivity coefficient measuring apparatus M2 can calculate the total spectral emissivity coefficient, the color value, and the like based on the bispectral emissivity coefficient B ( ⁇ , ⁇ ).
  • the bispectral emissivity coefficient measurement apparatus M2 performs wavelength calibration and sensitivity correction at the time of manufacture, for example.
  • the wavelength calibration is calibration in which the wavelength ⁇ is made to correspond to the coordinates in the row direction of the light receiving element 233 shown in FIG. 12 by a known method.
  • Sensitivity correction means that the matrix data Is ( ⁇ , ⁇ ) is normalized spectral distribution Is ′ ( ⁇ , ⁇ ) by correcting the relative sensitivity of each pixel in the row of the light receiving elements 233 with a sensitivity correction coefficient D ( ⁇ , ⁇ ). ) Is converted into The sensitivity correction coefficient D ( ⁇ , ⁇ ) is determined based on matrix data Is0 ( ⁇ ) obtained from the light receiving element 233 when illumination light having a known spectral distribution I0 ( ⁇ ) is incident substantially uniformly from the entire area of the sample aperture As. , ⁇ ) is obtained by the following equation (4).
  • the incident light from each part x1 of the sample opening As has the same relative spectral distribution as I0 ( ⁇ ), and outputs corresponding to the same relative spectral distribution are obtained from the pixels in all rows of the light receiving elements 233.
  • Sensitivity correction is performed by the following equation (5).
  • the white calibration is a calibration for obtaining a calibration coefficient K ( ⁇ ) for converting the spectral distribution of the radiated light from the measurement area As into a bispectral emissivity coefficient.
  • K ( ⁇ ) for converting the spectral distribution of the radiated light from the measurement area
  • a calibration coefficient is calculated (step S19).
  • a non-fluorescent white standard sample W having a known spectral reflectance coefficient Rw ( ⁇ ) is arranged in the sample opening As of the sample opening member 215.
  • step S ⁇ b> 16 the spectral reflectance coefficient Rw ( ⁇ ) assigned to the white standard sample W is input to the control unit 41 from the input unit 413.
  • the storage unit 412 stores the input spectral reflectance coefficient Rw ( ⁇ ).
  • the control unit 241 illuminates the white standard sample W by turning on the light source 11.
  • the light receiving element 233 measures matrix data Iw ( ⁇ , ⁇ ). Since only reflected light is emitted as emitted light from the non-fluorescent white standard sample in the measurement area As, the light receiving element 233 uses the diagonal component Rrw of the emitted light obtained from the reference area Ar as matrix data Iw ( ⁇ , ⁇ ). And the spectral distribution Isw ( ⁇ , ⁇ ) of the diagonal component of the emitted light obtained from the white standard sample are measured, and the measurement result is output to the control unit 241. The control unit 241 stores the measurement result in the storage unit 2412.
  • step S18 the control unit 241 turns off the light source 11.
  • step S19 the calculation unit 2411 integrates Isw ( ⁇ , ⁇ ) stored in the storage unit 2412 with respect to ⁇ to obtain the intensity Isw ( ⁇ ) of the diagonal component of the emitted light from the white reference sample.
  • the intensity Irw ( ⁇ ) of the diagonal component of the reference light is obtained by integrating Irw ( ⁇ , ⁇ ) with respect to ⁇ .
  • the calculation unit 2411 uses Isw ( ⁇ ), Irw ( ⁇ ), and Rw ( ⁇ ) to calculate the intensity Irw ( ⁇ ) of the diagonal component of the radiated light obtained from the reference area Ar when the fluorescent sample is measured.
  • a calibration coefficient K ( ⁇ ) that is converted into the intensity of the radiated light obtained from the completely white diffused surface illuminated and observed under the same conditions is obtained by Expression (6).
  • the dual spectral emissivity coefficient measurement apparatus is configured to include a multi-channel spectroscope instead of the second opening member 231, the second dispersion unit 232, and the light receiving element 233.
  • the multi-channel spectroscope is a device that performs spectroscopic measurement for each part with respect to a light beam incident on each part of the radiation light opening S2s and the reference light opening S2r.
  • the multichannel spectroscope includes, for example, a second opening member 231, a second dispersion unit 232, and a light receiving element 233.
  • An optical property measurement apparatus is configured to illuminate different portions in a measurement region of a fluorescent sample with illumination light having a different spectral distribution for each portion and the fluorescent sample illuminated by the illumination light.
  • An imaging unit that forms an image of the measurement area by the emitted light; a light receiving unit that includes a plurality of pixels and that receives an image formed by the imaging unit with a predetermined spectral sensitivity; and And an arithmetic unit that obtains spectral optical characteristics of the fluorescent sample based on the output information regarding the emitted light for each region.
  • the radiated light emitted from each part of the fluorescent sample illuminated by the illumination light having different spectral distributions is simultaneously measured, and based on the characteristics of the radiated light emitted from the respective parts.
  • the spectral optical characteristics of the fluorescent sample can be obtained. Therefore, since there is no mechanical wavelength scanning, the optical characteristics of the fluorescent sample can be obtained in a short time with high reliability.
  • the radiated light from each part of the fluorescent sample illuminated with illumination light having a different spectral distribution can be received separately from the radiated light from other parts. The optical characteristics of the fluorescent sample can be obtained with high accuracy.
  • the optical characteristic measurement apparatus further includes a reference area that is illuminated for each part with illumination light that illuminates each part of the measurement area, and the imaging unit includes the illumination light.
  • the illuminated image of the reference area is imaged
  • the light receiving unit further receives the image of the reference area imaged by the image forming unit
  • the calculation unit is output from the light receiving unit. Based on the information regarding the radiated light emitted from each part of the reference area, the reference intensity of the illumination light that illuminates each part of the measurement area is obtained, and the reference intensity of the illuminating light of each part and the radiated light of each part
  • the spectral optical characteristics of the fluorescent sample are obtained on the basis of the information regarding.
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration measures the intensity of the radiated light in the reference area, thereby correcting the intensity change of the illumination light in each part of the measurement area and measuring the spectroscopic optical characteristic with higher accuracy. be able to.
  • the light receiving unit is a sensor array including a plurality of pixels that receive radiation emitted from each part of the measurement area and the reference area, The calculation unit obtains a spectral fluorescence quantum yield of the fluorescent sample as the optical characteristic.
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration has high measurement accuracy because the sensor array simultaneously measures the radiated light emitted from the measurement area and the reference area illuminated by the single wavelength illumination light of all wavelengths.
  • a spectrofluorescence quantum yield measuring apparatus with a short measurement time can be realized.
  • the fluorescent sample is a standard fluorescent sample having a known spectral fluorescent quantum yield
  • the calculation unit is configured to detect the spectral fluorescent quantum of the standard fluorescent sample. And obtaining a calibration coefficient for calibrating the spectral fluorescence quantum yield measurement value of the fluorescent sample based on the spectral fluorescence quantum yield measurement value and the known spectral fluorescence quantum yield.
  • the optical property measuring apparatus having such a configuration can measure a spectral fluorescence quantum yield traceable to a public institution that has priced a standard fluorescent sample.
  • the illumination unit illuminates with illumination light that is single-wavelength light having a different wavelength for each part.
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration can easily convert the characteristics of the radiated light emitted from the plurality of parts into the spectral optical characteristics of the fluorescent sample.
  • the illumination unit includes a light source, a first aperture member having a first incident aperture, and a first wavelength dispersion unit,
  • the chromatic dispersion unit forms a chromatic dispersion image of the first incident aperture in the measurement area by a light beam incident on the first incident aperture from the light source.
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration can efficiently illuminate each part of the measurement area with single-wavelength light having a different wavelength for each part.
  • the illumination unit further includes a fluorescence wavelength removal unit that at least partially removes a component in the fluorescence wavelength region from the light flux emitted from the light source.
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration can suppress the influence of illumination light having a light intensity stronger than that of fluorescence, and can measure the spectral fluorescence quantum yield more accurately.
  • the light receiving unit further includes a wavelength selection unit that selects a wavelength of incident light to a sensor array including a plurality of pixels.
  • the optical property measuring apparatus having such a configuration can suppress the influence of illumination light and can accurately measure the spectral fluorescence quantum yield.
  • the light source is a xenon flash lamp.
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration can obtain illumination light having sufficient ultraviolet intensity at a low cost by using a widely used xenon flash lamp. Further, for example, since high-intensity illumination light is illuminated in a short time of 1 ms or less, this optical characteristic measurement apparatus is not easily affected by external light. In addition, since this optical property measuring apparatus generates little heat, it has little thermal influence on the circuit and the optical system. Furthermore, since this optical characteristic measuring device has low power consumption and a small drive circuit scale, a portable measuring device can be realized.
  • the first wavelength dispersion unit further includes wavelength dispersion of the first incident aperture due to a light beam incident on the first incident aperture from the light source. The image is enlarged to create the measurement area.
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration can reduce the influence of nonuniformity of the measurement surface.
  • the optical property measurement method includes an illumination step of illuminating different portions in the measurement region of the fluorescent sample with illumination light having a different spectral distribution for each portion, and the fluorescence illuminated by the illumination light. Based on the light receiving process for receiving the radiated light emitted from the sample by a sensor array including a plurality of pixels and the information on the radiated light for each part of the measurement area output from the sensor array, A calculation step for obtaining spectral optical characteristics.
  • the spectral fluorescence quantum yield measurement method having such a configuration simultaneously measures the intensity of the radiated light emitted from each part of the fluorescent sample illuminated by the illumination light having a different spectral distribution, and the intensity of the radiated light from each part.
  • the spectral fluorescence quantum yield can be measured based on the above. Therefore, since this spectral fluorescence quantum yield measurement method does not have mechanical wavelength scanning, the optical characteristics of the fluorescent sample can be obtained in a short time.
  • the light receiving unit is a multi-channel spectrometer that measures a spectral distribution of radiated light emitted from each part of the measurement region for each part.
  • the calculation unit obtains a bispectral emissivity coefficient of the fluorescent sample based on information on radiation emitted from each part of the measurement area output from the multi-channel spectrometer.
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration can realize a bispectral emissivity coefficient measuring apparatus that is highly reliable and miniaturized.
  • this optical characteristic measurement apparatus performs simultaneous measurement with a multi-channel spectrometer, it is possible to obtain a bispectral emissivity coefficient in a short time.
  • the multi-channel spectroscope may include a second incident in which radiated light radiated from each part of the measurement area forms an image of the measurement area.
  • a second aperture member having an aperture; a second wavelength dispersion portion; and a two-dimensional sensor array including a plurality of pixels two-dimensionally, wherein the second wavelength dispersion portion is provided at the second incident aperture.
  • a chromatic dispersion image of the second incident aperture is created on the two-dimensional sensor array by the radiated light radiated from each part of the measurement area that is incident, and the calculation unit is output from the two-dimensional sensor array.
  • the bispectral emissivity coefficient of a fluorescent sample is calculated
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration can realize a bispectral emissivity coefficient measuring apparatus that is highly reliable and miniaturized.
  • this optical property measuring apparatus can simultaneously measure the spectral distribution of the emitted light by the single-wavelength illumination light of all wavelengths with the two-dimensional sensor array, thereby reducing the measurement time.
  • the multi-channel spectrometer may further include a reference area that is illuminated for each part with illumination light that illuminates each part of the measurement area. And further comprising a third aperture member having a third incident aperture through which the radiated light radiated from each of the regions forms an image of the reference area, and the second wavelength dispersion section includes the third incident aperture.
  • a chromatic dispersion image of the third entrance aperture is formed on the two-dimensional sensor array by radiation emitted from each part of the reference area incident on the two-dimensional sensor array, and the computing unit is output from the two-dimensional sensor array.
  • the reference intensity of the illumination light that illuminates each part of the measurement area is obtained based on the information on the radiated light emitted from each part of the reference area, and the reference intensity of the illumination light of each part and the Regarding synchrotron radiation Based on the information, and requests bi-spectral radiance factor of the fluorescent sample.
  • the optical characteristic measuring apparatus having such a configuration can measure the intensity of the illumination light in the reference region, thereby correcting the intensity change of the illumination light in each part and measuring the bispectral emissivity coefficient. Therefore, this optical property measuring apparatus can measure the bispectral emissivity coefficient with higher accuracy.
  • the second aperture member having the second incident aperture and the third aperture member having the third incident aperture have a dispersion image of the third incident aperture in the first aperture aperture. Each of them is arranged so as to form an image on a shorter wavelength side than the dispersion image of the two incident apertures.
  • the dispersion light of the radiated light having the same wavelength as each single-wavelength illumination light radiated from the reference region and the wavelength of the single-wavelength illumination light radiated from the measurement region are easily separate the dispersed light of the longer wavelength side radiation, and radiate light from each part of the measurement area and the spectral distribution of the reference area illumination light that approximates the illumination light that illuminates the same part Obtainable.
  • the two-spectral emissivity coefficient measurement method includes an illumination step of illuminating different portions in a measurement region of a fluorescent sample with illumination light having a different spectral distribution for each portion, and illumination of the different spectral distributions
  • a calculation step for obtaining a bispectral emissivity coefficient of the fluorescent sample based on information on the emitted light is provided.
  • the radiation light emitted from the fluorescent sample illuminated with the illumination light having different spectral distributions is simultaneously measured by the multichannel spectrometer. It can be obtained in a short time.
  • an optical characteristic measuring device it is possible to provide an optical characteristic measuring device, the method, and a dual spectral emissivity coefficient measuring device.

Abstract

 本発明にかかる光学特性測定装置および光学特性測定方法ならびに二分光放射率係数測定方法では、測定域における互いに異なる部位が、部位ごとに異なる分光分布の照明光で照明され、これによって得られた前記部位ごとの放射光に関する情報に基づいて、試料の所定の光学特性が求められる。このため、蛍光試料の光学特性や二分光放射率係数等の光学特性が短時間で測定される。

Description

光学特性測定装置、光学特性測定方法および二分光放射率係数測定方法
 本発明は、光学特性測定装置、光学特性測定方法および二分光放射率係数測定方法に関する。
 蛍光物質を光エネルギーで励起すると、電子状態は、励起状態から中間状態を経て、最終的に再び基底状態に戻り、その途中の過程で蛍光が放射される。このような蛍光の放射過程から、蛍光は、物質中の電子状態を研究する重要な手段となっている。
 蛍光物質を含まない試料(以下、非蛍光試料)を或る波長の照明光で照明すると、試料から同じ波長の反射光が、試料の反射特性に応じて放射される。一方、蛍光物質を含む試料(以下、蛍光試料)を或る波長の照明光で照明すると、同じ波長の反射光の他に、試料の蛍光特性に応じて、通常、照明光の波長より長い波長の蛍光が放射される。このような蛍光試料の光学特性は、一般に二分光放射率係数や二分光蛍光放射率係数等で表される。
 二分光放射率係数は、各波長の単波長照明光で照明された蛍光試料からの放射光と、それと同様に照明、受光された完全白色拡散面からの放射光と、の波長毎の比B(μ,λ)で表される。ここで、μは、単波長照明光の波長、λは、放射光の波長である。二分光放射率係数は、例えば、図13に示すようなマトリクスデータである。照明光の波長と放射光の波長とが一致する(μ=λ)マトリクスの対角成分は、波長保存される分光反射率係数Br(μ)であり、μ<λの領域におけるふくらみは、二分光蛍光放射率係数Bf(μ,λ)であり、二分光放射率係数B(μ,λ)は、これらの和である。
 分光蛍光量子収率は、図13に示す二分光放射率係数から対角成分を除いた二分光蛍光放射率係数を特定の蛍光波長について切り出したものである。分光蛍光量子収率は、二分光放射率係数や二分光蛍光放射率係数と同様に、蛍光試料の光学特性を表すためにしばしば用いられる。図14は、代表的な蛍光試料である蛍光増白紙の相対蛍光量子収率およびそれらが放射する蛍光の代表的な相対分光強度である。R3は、蛍光基準紙の相対分光蛍光量子収率を、Photoは、印画紙の相対分光蛍光量子収率を、ColorCopyは、カラーコピー用紙の相対分光蛍光量子収率を、B/WCopyは、モノクロコピー用紙の相対分光蛍光量子収率を、Glossは、艶コート紙の相対分光蛍光量子収率を、それぞれ示し、Fluor.は、代表的な蛍光増白紙が放射する蛍光の相対分光分布を示す。
 一方、試料に蛍光物質が含まれるか否かに関わらず、一般的に試料の光学的特性を表すものとして、全分光放射率係数がある。全分光放射率係数は、試料を所定の分光分布をもつ評価用照明光で照明した場合に観察される、蛍光試料からの放射光と、前記条件と同じ条件で照明、観察される完全白色拡散面からの放射光と、の波長毎の比である。全分光放射率係数を用いて、視覚的な特性を表す値、例えば色彩値が求まる。
 非蛍光試料の全分光放射率係数は、分光反射率係数となる。一方、蛍光試料の全分光放射率係数は、分光反射率係数と蛍光分光放射率係数との和となる。二分光放射率係数と全分光放射率係数との既知の関係を用いて、二分光放射率係数から全分光放射率係数を求めることができる。
 このように二分光放射率係数や二分光蛍光放射率係数は、それら自身が蛍光の光学的特性を示すほか、全分光放射率係数などの光学特性を求めるために重要である。二分光放射率係数および分光蛍光量子収率を測定する光学特性測定装置として、例えば、二分光放射率係数を測定する二分光放射率係数測定装置および分光蛍光量子収率を測定する分光蛍光量子収率測定装置などが知られている。
 二分光放射率係数は、例えば、特許文献1に示されるように波長走査しつつ単波長光を、被測定試料に順次照射して、照射光の波長毎に、照射された試料からの放射光の分光分布を測定することによって測定される。
 また、分光蛍光量子収率は、波長を走査しつつ単波長光を、被測定試料に順次照射し、照射された単波長光によって励起され、放射される蛍光強度を照射光の波長毎に所定の波長域で測定することによって測定される。
 ところで、前記特許文献1に開示の二分光放射率係数測定装置は、大掛かりで高価であり、測定には数分から数10分を要してしまう。
 また、分光蛍光量子収率測定装置も、大掛かりかつ高価であり、測定時間も長い。
特開平10-300583号公報
 本発明は、上述の事情に鑑みて為された発明であり、その目的は、蛍光試料の光学特性をより短い時間で測定することができる光学特性測定装置および光学特性測定方法を提供することである。また、他の目的は、二分光放射率係数をより短い時間で測定することができる二分光放射率係数測定方法を提供することである。
 本発明にかかる光学特性測定装置および光学特性測定方法ならびに二分光放射率係数測定方法では、測定域における互いに異なる部位が、部位ごとに異なる分光分布の照明光で照明され、これによって得られた前記部位ごとの放射光に関する情報に基づいて、試料の所定の光学特性が求められる。このため、蛍光試料の光学特性や二分光放射率係数等の光学特性が短時間で測定される。
 上記並びにその他の本発明の目的、特徴および利点は、以下の詳細な記載と添付図面から明らかになるであろう。
実施形態1における分光蛍光量子収率測定装置M1aの構成を示す図である。 蛍光増白紙の相対分光蛍光量子収率と相対分光蛍光強度とフィルターの分光透過率を示す図である。 図1に示す分光蛍光量子収率測定装置M1aにおける分光蛍光量子収率を測定する場合の動作を示すフローチャートである。 図1に示す分光蛍光量子収率測定装置M1aにおける変換係数を演算する動作を示すフローチャートである。 実施形態2における分光蛍光量子収率測定装置M1bの構成を示す図である。 実施形態3における分光蛍光量子収率測定装置M1cの光学系の構成図である。 実施形態4における分光蛍光量子収率測定装置M1dの光学系の構成図である。 実施形態5における二分光放射率係数測定装置M2の光学系の側面視による構成を示す図である。 実施形態5における二分光放射率係数測定装置M2の正面視による構成を示す図である。 図9に示す二分光放射率係数測定装置M2における二分光放射率係数を測定する場合の動作を示すフローチャートである。 図9に示す蛍光試料の二分光放射率係数測定装置M2における白色校正の動作を示すフローチャートである。 図9に示す二分光放射率係数測定装置M2の受光素子233で測定される、測定域Asから放射される放射光のマトリクスデータと参照域Arから放射される参照光のマトリクスデータとを説明するための図である。 典型的な蛍光増白紙の二分光放射率係数を説明するための図である。 典型的な蛍光増白紙の相対分光蛍光量子収率と相対分光蛍光強度とを説明するための図である。
 以下、本発明にかかる実施の一形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、適宜、その説明を省略する。
 本実施の形態に係る光学特性測定装置は、例えば、蛍光試料における異なる部位を部位毎に異なる分光分布の照明光で同時に照明し、前記分光分布の照明光で照明された各部位からの放射光に関する情報に基づいて、蛍光試料の分光的な光学特性を測定する装置である。
 蛍光試料の分光的な光学特性は、例えば、分光蛍光量子収率、二分光放射率係数および二分光蛍光放射率係数等で表される。ここでは、本発明の一実施形態として、分光蛍光量子収率測定装置および二分光放射率係数測定装置について説明する。なお、背景技術で述べたように、例えば、二分光放射率係数に基づいて、全分光放射率係数等を演算することは可能である。よって、本実施の形態に係る光学特性測定装置は、全分光放射率係数をはじめとする光学諸特性を測定する光学特性測定装置に適用が可能であり、分光蛍光量子収率測定装置および二分光放射率係数測定装置に限定されるものではない。
 以下、分光蛍光量子収率測定装置を実施形態1乃至実施形態4で説明し、二分光放射率係数測定装置を実施形態5で、図面に基づいて説明する。
 <実施形態1>
 本実施形態1における分光蛍光量子収率測定装置は、例えば、蛍光試料における異なる部位を部位毎に異なる分光分布の照明光で同時に照明して、前記分光分布の照明光で照明された各部位からの放射光に関する情報に基づいて、蛍光試料の分光蛍光量子収率を測定する装置である。
 図1は、実施形態1における分光蛍光量子収率測定装置M1aの構成を示す図である。図1(a)は、入射開口部S1a、試料用開口Asおよび参照域Arの配置図であり、(b)は、その光学系の構成図であり、(c)は、その受光部の構成図であり、(d)は、(a)の拡大図であり、そして(e)は、その演算制御部40のブロック図である。なお、図1(a)に示すpは、図1(b)に示す受光系の光軸axと試料用開口Asを含む平面(紙面に垂直な平面)との交点である。
 図2は、代表的な蛍光試料である蛍光増白紙の相対的な分光蛍光量子収率、それらが放射する蛍光の代表的な相対分光強度および二種のフィルターの分光透過率である。図2におけるR3、Photo、ColorCopy、B/WCopy、GlossおよびFluor.は、それぞれ、前記図14の場合と同じであり、SPF(Short Pass Filter)は、遮断波長μsが420nmである分光透過率をもつ短波長透過フィルターを、LPF(Long Pass Filter)は、遮断波長μlが460nmである分光透過率をもつ長波長透過フィルターをそれぞれ示す。
 まず、本実施形態1の構成について説明する。本実施形態1の分光蛍光量子収率測定装置M1aは、例えば、図1(b)および図1(e)に示すように、照明部10と、結像部20と、受光部30と、演算制御部40とを備えて構成され、照明部10によって照明されるように、試料用開口Asに蛍光試料Oが配置されている。
 蛍光試料Oは、蛍光物質を含む試料であり、例えば、蛍光物質を含む繊維、紙製品などである。この他、蛍光試料Oは、紫外線など波長の短い電磁波の照射によって可視域の蛍光を発する蛍光体を塗布した板等であっても良い。
 照明部10は、蛍光試料Oにおける測定域Asの互いに異なる部位を、部位毎に異なる分光分布の光で照明する分散照明系である。蛍光試料Oは、この照明部10に照明されることで、蛍光を放射する。照明部10は、例えば、図1(b)に示すように、光源11と、短波長透過部12と、第1開口部材13と、分散素子14と、試料用開口部材15とを備えて構成される。
 光源11は、蛍光試料Oの励起波長域をカバーする連続スペクトルをもつ光源であり、制御部41に接続され、制御部41によってその点灯および消灯が制御される。光源11は、蛍光試料Oの蛍光物質に応じて適宜用いられ、例えば、キセノンフラッシュランプ、キセノンランプなどであり、重水素ランプと白熱灯とを組み合わせて用いることもできる。キセノンフラッシュランプは、高強度かつ高効率であり、低発熱で低コストという特長をもつ。
 短波長透過部12は、光源11から射出される光束のうち、遮断波長μsを境として、長波長側の光を遮断し、短波長側の光を透過するための部材である。遮断波長μsは、蛍光試料Oによる蛍光の波長域の光を阻止するように設定される。このような遮断波長μsをもつ短波長透過部12によって、照明光から蛍光の波長域が除去される。これによって、受光部30で蛍光試料Oによる蛍光のみが受光され、後述する演算部411で算出される分光蛍光量子収率の精度が高くなるという利点がある。短波長透過部12は、より具体的には、例えば、図2のSPF(Short Pass Filter)で示される遮断波長μsが420nmである分光透過率をもつような短波長透過フィルターである。
 第1開口部材13は、所定形状の入射開口部S1aをもつ部材であり、この入射開口部S1aには、短波長透過部12で蛍光波長域が除去された光束が入射する。第1開口部材13は、例えば、入射開口部S1aとして、入射スリットを持つスリット板等であり、入射スリットは、例えば、矩形形状を有しており、矩形形状の長手方向は、図1(b)の紙面に直交する方向に沿うように設けられている。
 分散素子14は、入射開口部S1aから入射した光を波長分散した分散像S1a’を、試料用開口部材15上に結ぶための光学素子である。分散素子14は、例えば、図1(b)に示すように、凹面に複数の溝を略平行に刻線した凹面回折格子等である。例えば、分散素子14と第1開口部材13との光学的距離が、分散素子14と試料用開口部材15との光学的距離にほぼ等しくなるように構成された場合には、分散素子14は、入射開口部S1aの波長分散像S1a’を、ほぼ等倍で試料用開口部材15上に結ぶ。
 試料用開口部材15は、蛍光試料Oの測定域を決定し、照明された測定域の各部位から放射される放射光を結像部20へ入射させると共に、照明された参照域Arからの反射光(参照光)を結像部20へ入射させる部材である。試料用開口部材15は、例えば、前記測定域を規定する試料用開口Asを空けられた板等である。試料用開口部材15は、例えば、図1(d)に示すように、試料用開口Asと、参照域Arとを備えて構成される。
 試料用開口Asは、例えば、図1(d)に示すように、試料用開口部材15が結像部20から受光部30に至る光学系の光軸axと交わる交点pの一方片側に設けられた矩形の開口であり、矩形の長手方向が分散方向x1に平行に設けられている。試料用開口Asに蛍光試料Oが配設され、蛍光試料Oにおける試料用開口Asに対応する区域内が測定域となる。以下、この測定域は、測定域Asと表される。
 参照域Arは、例えば、図1(d)に示すように、前記交点pの他方片側に設けられ、試料用開口Asと前記交点pに対し点対称な位置に設けられている。参照域Ar(反射域)は、白色拡散面を有する。
 結像部20は、試料用開口As(すなわち、測定域As)に配置され、分散像S1a’で照明された蛍光試料Oの放射光による測定域Asの像および参照域Arからの反射光による参照域Arの像を、受光部30に結ぶための光学系である。結像部20は、照明光および蛍光の波長域の光を透過させ結像する光学系であり、例えば、結像レンズ等である。
 受光部30は、演算制御部40に接続され、測定域Asの蛍光試料Oからの蛍光による測定域Asの像および参照域Arからの反射光による参照域Arの像を受光し、測定した蛍光による測定域の像および反射光による参照域の像における各部位毎の強度を、制御部41に出力する。受光部30は、長波長透過部31と受光素子32とを備えて構成される。
 長波長透過部31は、結像部20により受光部30に結像する放射光のうち、遮断波長μlを境として、短波長側の光を遮断し、長波長側の光、つまり蛍光を透過するための部材である。長波長透過部31は、蛍光受光素子SAsの前面に配置される。遮断波長μlは、蛍光試料Oによる反射光を遮断し、かつ、蛍光試料Oの蛍光波長域の少なくとも一部の光を透過するように設定される。このような遮断波長μlを持つ長波長透過部31によって、測定域Asから反射される照明光が除去され、後述する演算部411での分光蛍光量子収率の演算に必要となる測定域Asからの蛍光成分のみを測定することができる。長波長透過部31は、例えば、図2において、遮断波長μlが460nmであるLPF(Long Pass Filter)で示される分光透過率をもつ長波長透過フィルター等である。
 受光素子32は、測定域Asの蛍光試料Oからの蛍光および参照域Arからの参照光を受光する。受光素子32は、例えば、測定域Asにおける蛍光試料Oの各部位からの蛍光および参照域Arにおける各部位からの反射光(参照光)をそれぞれ部位毎に受光すべく、2チャンネルセンサーアレイを備えて構成される。
 受光素子32は、例えば、図1(c)に示すように、蛍光受光素子SAsと、参照光受光素子SArとを備えて構成される。蛍光受光素子SAsは、測定域Asの各部位からの蛍光を受光し、その強度分布である蛍光強度F(x)を制御部41に出力する素子である。参照光受光素子SArは、参照域Arの各部位からの参照光を受光し、その強度分布である参照光強度I(x)を制御部41に出力する素子である。ただし、xは、部位を示す。
 演算制御部40は、照明部10の点灯および消灯を制御すると共に、受光部30より出力される蛍光強度分布F(x)および参照光強度分布I(x)に関する情報と、予め入力され記憶された、公的機関で標準蛍光試料Rに値付けされた分光蛍光量子収率Q0に関するデータとに基づいて、公的機関にトレーサブルな蛍光試料Oの分光蛍光量子収率を演算し、出力する装置である。演算制御部40は、制御部41と、入力部413と、出力部414とを備えて構成される。
 入力部413は、例えば、測定開始の指示や、公的機関にトレーサブルな分光蛍光量子収率Qの演算に必要となる、公的機関で標準蛍光試料Rに値付けされた分光蛍光量子収率Q0に関するデータを入力するための装置である。入力部413は、例えばキーボードやタッチパネル等である。入力部413は、制御部41に接続され、標準蛍光試料Rに関するデータを後述する記憶部412へ出力する。
 出力部414は、制御部41に接続され、制御部41で演算された蛍光試料Oの分光蛍光量子収率を出力するための装置である。出力部414は、例えば、液晶表示装置(LCD;Liquid Crystal Display)、7セグメントLED、有機フォトルミネセンス表示装置、CRT(Cathode Ray Tube)表示装置およびプラズマ表示装置等の表示装置や、プリンタ等の印刷装置等である。
 制御部41は、照明部10および受光部30を制御し、受光部30から出力される蛍光強度分布F(x)と参照光強度分布I(x)と入力部413から入力される標準蛍光試料Rに関するデータとに基づいて、蛍光試料の光学的特性を出力部414に出力する装置である。制御部41は、例えば、後述する演算処理を行う各演算処理プログラム等を記憶するROM(Read Only Memory)、いわゆるワーキングメモリとして機能し一時的にデータを格納するRAM(Random Access Memory)、書換え可能なEEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)等の不揮発性の記憶素子および前記演算処理プログラム等を前記ROMから読み出して実行する中央処理装置(CPU)およびその周辺回路等である。
 制御部41は、例えば、図1(e)に示すように、演算部411と記憶部412とを備え、予め記憶された制御プログラムに従い、光源11、受光部30、入力部413および出力部414を当該機能に応じてそれぞれ制御する。
 演算部411は、中央処理装置として機能し、記憶部412に格納された公的機関で標準蛍光試料Rに値付けされた分光蛍光量子収率Q0に関するデータと受光部30から出力される測定データ(蛍光強度分布F(x)および参照光強度分布I(x))とに基づいて、公的機関にトレーサブルな分光蛍光量子収率を演算し、演算した分光蛍光量子収率を出力部414に出力する。
 記憶部412は、公的機関で標準蛍光試料Rに値付けされた分光蛍光量子収率Q0に関するデータ、蛍光試料Oの二分光蛍光量子収率を演算するプログラムや照明部10を制御するプログラム等の各種プログラム、および、各種プログラムの実行に必要なデータやその実行中に生じるデータ等の各種データを記憶する。
 次に、本実施形態の動作について図3および図4を用いて説明する。
 図3は、実施形態1における分光蛍光量子収率測定装置M1aにおける分光蛍光量子収率を測定する場合の動作を示すフローチャートである。図4は、実施形態1における分光蛍光量子収率測定装置M1aにおける変換係数を演算する動作を示すフローチャートである。分光蛍光量子収率測定装置M1aは、例えば、その起動によって演算処理プログラムを実行する。そして、分光蛍光量子収率測定装置M1aは、以下の動作によって、公的機関で標準蛍光試料Rに値付けされた分光蛍光量子収率Q0に関するデータに基づいて、公的機関にトレーサブルな分光蛍光量子収率を測定する。
 <<分光蛍光量子収率演算フロー(S1~S5)>>
 分光蛍光量子収率演算フローでは、蛍光試料Oの蛍光強度分布F(x)および参照光強度分布I(x)について、測定(ステップS1~ステップS3)が行われた後に、公的機関にトレーサブルな分光蛍光量子収率Qが演算され(ステップS4)、前記分光蛍光量子収率Qが出力される(ステップS5)。測定に先立って、蛍光試料Oが試料用開口部材15の試料用開口Asに配置される。
 まず、ステップS1において、制御部41は、照明部10を点灯する、すなわち、光源11を点灯する。
 次に、ステップS2では、照明部10の点灯により、紫外域で十分な強度をもつ光源11からの光束が、短波長透過部12を経て第1開口部材13の入射開口部S1aに入射する。光源11は、例えば、波長400nm以下の紫外域で十分な強度を持つキセノンフラッシュランプである。
 分散素子14は、入射開口部S1aから入射した光束によって、試料用開口部材15上に開口部S1aの波長分散像S1a´を結像させる。分散素子14は、例えば、凹面回折格子である。例えば、分散素子14と第1開口部材13との光学的距離が、分散素子14と試料用開口部材15との光学的距離にほぼ等しくなるように構成された場合には、分散素子14は、入射開口部S1aから入射した光束を分散した波長分散像S1a’を、ほぼ等倍で試料用開口部材15上に結ぶ。したがって、蛍光試料Oの試料用開口As内の各部位は、x1方向に中心波長が変化する狭い波長帯域の略単波長光で照明される。波長μの単波長光で照明される蛍光試料Oの各部位から、反射光とともに、該単波長光で励起された蛍光が放射される。例えば、波長域300-430nmを線分散0.1mm/nmでカバーする波長分散像S1a´の分散幅は、およそ14mmとなる。
 入射開口部S1aの大きさが、例えば、幅1mm、長さ5mmで線分散が上述したような0.1mm/nmの場合、分散像S1a´の大きさは、長さ5mm、分散幅14mm程度となる。試料用開口Asが、例えば、2mm×15mmの大きさの場合には、波長分散像S1a´の10nmあたりの試料面は、2mm×1mmとなる。また、例えば、蛍光試料Oが図2のFluor.で示す分光分布をもつ場合には、上述した波長域300-430nmの波長分散像S1a´で励起される蛍光試料Oが放射する蛍光の波長域は、波長400-600nmである。
 つまり、x1方向に変化する略単波長光の中心波長をμ(x1)とすれば、測定域Asの蛍光試料Oの部位x1は、中心波長μ(x1)の照明光で照明され、各部位x1から、放射光Es(μ(x1),λ)が同時に放射される。放射光Es(μ(x1),λ)は、蛍光成分Esf(μ(x1),λ)と反射光成分Esr(μ(x1))との和である。ここで、λは、放射光の波長であり、蛍光成分Esf(μ(x1), λ)は、波長μ(x1)の照明光で励起された測定域Asの部位x1による波長λの蛍光である。また、反射光成分Esr(μ(x1))は、波長μ(x1)の照明光の測定域Asの部位x1による波長μ(x1)の反射光で波長変換を伴わない。
 部位x1から放射される蛍光成分Esf(μ(x1), λ)は、照明光の強度と蛍光試料Oの分光蛍光量子収率に依存する。
 結像部20は、入射した測定域Asからの放射光による等倍の測定域Asの像を蛍光受光素子SAs上に結ぶ。蛍光受光素子SAsの前面には、長波長透過部31が設置されている。長波長透過部31は、蛍光試料Oによって放射された反射光成分Esr(μ)を除去するので、蛍光受光素子SAsは、蛍光成分Esf(μ,λ)のみを受光する。例えば、長波長透過部31が図2のLPF(Long Pass Filter)の分光透過率をもつ遮断波長460nmの長波長透過フィルターである場合には、波長430nm以下の成分が除去される。
 したがって、蛍光受光素子SAsの各画素には、蛍光試料Oの対応する部位x1から、波長μ(x1)の単波長照明光で励起された蛍光成分Esf(μ(x1),λ)の長波長透過フィルターを透過した成分が入射する。蛍光受光素子SAsの各画素は、蛍光成分Esf(μ(x1),λ)の長波長透過フィルターを透過した成分を受光し、蛍光強度F(μ(x1))を測定する。このように受光部30は、励起波長μ(x1)での蛍光強度F(μ(x1))を測定して、演算部411に出力する。
 次に、蛍光強度F(μ(x1))と同時に受光部30で測定される、参照域Arから放射される参照光について説明する。参照域Arの各部位x1は、測定域Asの各部位x1と同様、各部位に対応する波長μ(x1)の単波長照明光で照明され、参照域Arの各部位x1から同時に、参照光Er(μ(x1))が放射される。ここで、参照光Er(μ(x1))は、波長μ(x1)の照明光の参照域Arの部位x1による波長変換を伴わない反射光である。
 拡散反射された参照域Arからの参照光Erの一部が結像部20に入射し、結像部20による参照域Arの像が受光部30の参照光受光素子SAr上につくられる。参照光受光素子SArの画素には参照域Arの対応する部位x1から、対応する波長の照明光の反射光(参照光)Er(μ(x1))が入射する。参照光受光素子SArの各画素は、蛍光試料Oの対応する部位を照明する波長μ(x1)の単波長照明光、の参照光強度I(x1)を同時に測定し、各単波長照明光の強度を参照するための参照光強度I(x1)を演算部411に出力する。
 受光部30には、蛍光受光素子SAsと参照光受光素子SArとが並列している(例えば、蛍光受光素子SAsと参照光受光素子SArとには、それぞれ、複数の画素が0.5mmピッチで直線的に配列する)。蛍光受光素子SAsの各画素と参照光受光素子SArの各画素とは、波長μ(x1)の照明光によって励起される測定域Asの部位x1からの蛍光成分Esf(μ(x1),λ)を受光する画素と、波長μ(x1)の照明光による参照域Arの部位x1からの参照光Er(μ(x1))を受光する画素とが、蛍光受光素子SAsの各画素(参照光受光素子SArの各画素)の配列方向の対応する位置に配置されている。
 次に、ステップS3では、制御部41は、照明部10の光源11を消灯する。
 続いて、ステップS4では、演算部411は、分光蛍光量子収率を演算する。まず、演算部411は、蛍光強度F(μ(x1))と参照光強度I(μ(x1))とを用いて、相対化蛍光強度を演算する。相対化蛍光強度は、F(x1)/I(x1)である。以下、F(μ(x1))をF(μ)と、I(μ(x1))をI(μ)と略記する。
 このように、蛍光受光素子SAsの蛍光強度F(μ)を、蛍光強度F(μ)を出力した蛍光受光素子SAsの画素に対応する参照光受光素子SArの画素から出力される参照光強度I(μ)で相対化することで、光源11による照明光の分光分布の発光ごとの変動の影響を抑制することができる。
 次に、演算部411は、相対化蛍光強度分布(F(μ)/I(μ))を、予め記憶部412に格納されている変換係数C(μ)によって、式(1)で与えられる分光蛍光量子収率Q(μ)に変換する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000001
 ここで、変換係数C(μ)は、本実施形態における分光蛍光量子収率測定装置M1aで測定された相対化蛍光強度分布F(μ)/I(μ)を、公的機関にトレーサブルな分光蛍光量子収率Q(μ)に変換するための係数である。分光蛍光量子収率測定装置M1aでは、例えば製造時に変換係数C(μ)を求める感度校正が行われる。
 次に、ステップS5では、制御部41は、公的機関にトレーサブルな分光蛍光量子収率Q(μ)を出力部414に出力する。例えば、蛍光試料OがR3である場合には、制御部41は、測定される分光蛍光量子収率として、図2のR3で示される結果を出力する。
 上記実施形態では、結像部20により受光部30に結ばれる像を等倍としたが、これを例えば0.5倍とすれば、蛍光受光素子SAsと参照光受光素子SArのサイズを半分にすることができる。
 <<変換係数演算フロー(S6~S9)>>
 変換係数演算フローでは、標準蛍光試料の蛍光強度F0(μ)および参照光強度I0(μ)について、その測定(ステップS6~ステップS8)が行われた後に、変換係数C(μ)が演算される(ステップS8)。測定に先立って、標準蛍光試料R(Labsphere社のSpectralon Fluorescent Standard
USFS-205など)が試料用開口部材15の試料用開口Asに配置される。なお、標準蛍光試料Rは、測定試料と類似の励起波長域および蛍光波長域をもち、NRC(National Research Council Canada)などの公的機関で分光蛍光量子収率Q0(μ)が値付けされている。
 まず、ステップS6では、制御部41は、入力部413から、値付けされた分光蛍光量子収率Q0(μ)が入力される。記憶部412は、入力された分光蛍光量子収率Q0(μ)を記憶する。続いて、演算制御部40は、照明部10を点灯する、すなわち、光源11を点灯する。これによって、試料用開口Asの標準蛍光試料Rは、波長分散光で照明される。
 そして、ステップS7では、制御部41は、受光部30によって、各波長μの照明光によって励起された蛍光強度F0(μ)と、参照光強度I0(μ)とを同時に測定し、測定結果を制御部41に出力する。
 次に、ステップS8では、制御部41は、受光部30により出力された、波長μの照明光によって励起された蛍光強度F0(μ)と、参照光の強度I0(μ)とを記憶部412に記憶する。続いて、制御部41は、光源11を消灯する。
 ステップS9において、演算部411は、製造時に予め記憶部412に格納されるか、または入力部413に入力されて記憶部412に記憶される分光蛍光量子収率Q0(μ)と、蛍光強度分布F0(μ)と、参照光強度分布I0(μ)とを用いて、式(2)で与えられる変換係数C(μ)を演算する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000002
 変換係数C(μ)を求めることが、この分光蛍光量子収率測定装置M1aの校正であり、この校正によって、この分光蛍光量子収率測定装置M1aで測定された分光蛍光量子収率は、公的機関にトレーサブルとなる。
<実施形態2>
 図5は、実施形態2における分光蛍光量子収率測定装置M1bの光学系の構成を示す図である。(a)は、その試料用開口Asと参照域Arの配置図であり、(b)は、その光学系であり、そして、(c)は、その受光系の構成図である。
 実施形態2では、分光蛍光量子収率測定装置M1bは、実施形態1における照明部10に代えて、照明部10bを備えて構成される。照明部10bは、実施形態1における照明部10と類似しているが、分散素子14bと試料用開口部材15bとの光学的距離が、分散素子14と第1開口部材13との光学的距離より大きくなるように構成される。
 実施形態2では、分散素子14bは、実施形態1より拡大した波長分散像S1a´を試料用開口部材15b上に結ぶ。なお、この波長分散像S1a´の拡大倍率は、分散素子14bと試料用開口部材15bとの光学的距離と分散素子14bと第1開口部材13との光学的距離との比に比例する。
 この拡大した波長分散像S1a´の10nmあたりの測定域Asおよび参照域Arは、実施形態1における10nmあたりの測定域Asおよび参照域Arよりも大きくなる。
 以下、具体的な数値例を用いて、より詳細に照明部10bについて説明する。例えば、試料用開口部材15bと分散素子14bとの光学的距離が、第1開口部材13と分散素子14bとの光学的距離の1.5倍の場合には、試料用開口部材15b上の波長分散像S1a´は、実施形態1の波長分散像S1a´の1.5倍となる。実施形態2においても、入射開口部S1aの大きさを、実施形態1と同じ幅1mm、長さ5mmであるとする。実施形態2では、試料用開口部材15b上の波長分散像S1a´の線分散は、0.15mm/nmであり、300-430nmをカバーする像は、長さ7.5mm、分散幅21mm程度となり、それに応じて試料用開口Asの大きさが3mm×22.5mmとすると、10nmあたりの試料面は、3mm×1.5mmである。これは、実施形態1の10nmあたりの試料面2mm×1mmの2.25倍である。
 このように実施形態2では、照明部10bを備えることにより、波長分散像S1a´の10nmあたりの試料面が、実施形態1における波長分散像S1a´の10nmあたりの試料面より広くなる。したがって、実施形態2では、分光蛍光量子収率測定装置M1bは、実施形態1より広い測定域Asの蛍光試料Oから到達する蛍光を受光部30で測定するので、蛍光試料Oの不均一性の影響を軽減することができる。
 また、図5(b)に示すように、実施形態2では、試料用開口部材15bが、光源11、短波長透過部12、第1開口部材13などからなる光源系から離れる(図5(b)で左側に離れる)ので、光源系に干渉することなく蛍光試料Oを試料用開口Asに配設することができる。したがって、実施形態2における分光蛍光量子収率測定装置M1bは、大きな蛍光試料を切り取ることなく、分光蛍光量子収率を測定することができる。
 <実施形態3>
 図6は、実施形態3における分光蛍光量子収率測定装置M1cの光学系の構成を示す図である。実施形態3では、分光蛍光量子収率測定装置M1cは、分散素子14と試料用開口部材15との間に、拡大部16をさらに備えて構成される。拡大部16は、分散素子14による波長分散像S1a´を拡大して、試料用開口部材15上に波長分散像S1a´´として再結像させる光学系である。拡大部16は、例えば、図6に示すように、光軸上の、分散素子14と試料用開口部材15との間における所定の位置(分散素子14から所定の距離)に配置されたリレーレンズ等である。
 拡大部16により、試料用開口部材15上に再結像した波長分散像S1a´´で照明される10nmあたりの蛍光試料Oの試料面が、実施形態1の波長分散像S1a´で照明される10nmあたりの試料面より大きくなる。したがって、実施形態3では、分光蛍光量子収率測定装置M1cは、実施形態2と同様に、蛍光試料Oの不均一性の影響を軽減することができる。そして、実施形態3では、分光蛍光量子収率測定装置M1cは、分散素子14のような分散系と拡大部16のような拡大系とが分離されるので、分散系の性能を損なうことなく拡大した波長分散像S1a´´を得ることができる。さらに、実施形態3では、分光蛍光量子収率測定装置M1cは、実施形態2と同様、蛍光試料Oと光源系との干渉を避けることができる。したがって、実施形態3における分光蛍光量子収率測定装置M1cは、大きな蛍光試料を切り取ることなく、分光蛍光量子収率を測定することができる。
 <実施形態4>
 図7は、実施形態4における分光蛍光量子収率測定装置M1dの光学系の構成を示す図である。実施形態4では、分光蛍光量子収率測定装置M1dは、実施形態1における光源11と短波長透過部12と第1開口部材13と分散素子14とからなる照明部10に代えて、光源11dとフィルター部14dと照明結像部17とからなる照明部10dを備えて構成されている。
 光源11dは、光源11と同様に蛍光試料Oの励起波長域をカバーする連続スペクトルを持ち、所定の領域から光束を放射する面光源である。
 フィルター部14dは、光源11dが放射する光束のうち、フィルター部14dの部位x0ごとに異なる波長(中心波長)μ(x0)の帯域光を透過する部材である。フィルター部14dは、例えば、図7に示すように、フィルター部14dの透過波長μ(x0)の変化するx0方向と光源11dの長手方向とが平行になるように、光源11dの放射面に配置される。このように、フィルター部14dによって、その部位x0ごとに異なる波長の光束が得られる。フィルター部14dは、例えば、ウェッジ帯域透過フィルターである。フィルター部14dは、より具体的には、例えば、図7のx0方向に、300nmから430nmまで変化するウェッジ帯域透過フィルターである。
 照明結像部17は、光軸上の、光源11dと試料用開口部材15との間における所定の位置(光源11dから所定の距離)に配置され、フィルター部14dから入射した、x0方向に異なる中心波長μ(x0)をもつ光束による、フィルター部14dの像を試料用開口部材15上に、x1方向に異なる波長μ(x1)をもつ照明光の像として結ぶための部材である。
 このように実施形態4では、試料用開口部材15上の測定域Asの蛍光試料Oおよび参照域Arは、実施形態1と同様に、x1方向に中心波長μ(x1)が異なる照明光で照明される。したがって、実施形態4の分光蛍光量子収率測定装置M1dは、実施形態1と同様な効果が得られる。そして、この分光蛍光量子収率測定装置M1dは、キセノンフラッシュランプのような線状の光源を用いる場合、光源の長手方向をx0方向に平行に設置することで放射光束を有効に用いることができ、照明光の強度を高めることができる。
 <実施形態5>
 実施形態5における二分光放射率係数測定装置は、例えば、蛍光試料における異なる部位を部位毎に異なる分光分布の照明光で同時に照明し、受光した、前記分光分布の照明光で励起された蛍光を含む各部位からの放射光に関する情報に基づいて、蛍光試料の二分光蛍光放射率係数を測定する装置である。
 図8は、実施形態5における二分光放射率係数測定装置M2の光学系の側面視による構成を示す図である。図8(a)は、その試料用開口Asおよび参照域Arの配置図であり、そして(b)は、その光学系の構成図である。図9は、実施形態5における二分光放射率係数測定装置M2の正面視による構成を示す図である。図9(a)は、入射開口部S1a、試料用開口Asおよび参照域Arの配置図であり、(b)は、その光学系の構成図であり、(c)は、放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rの配置図であり、(d)は、光の進行方向から視た受光素子233の拡大図であり、そして、(e)は、その演算制御部240のブロック図である。
 まず、本実施形態5の構成について説明する。本実施形態5における二分光放射率係数測定装置M2は、例えば、図8(b)、図9(b)および図9(e)に示すように、照明部210と、結像部220と、受光部230と、演算制御部240とを備えて構成され、照明部210によって照明されるように被測定試料として蛍光試料Oが配置されている。
 照明部210は、実施形態1における照明部10と類似した分散照明系である。照明部210は、例えば、図9(b)に示すように、光源211と、第1開口部材213と、第1分散部214と、試料用開口部材215とを備えて構成される。光源211は、光源11に、第1開口部材213は、第1開口部材13に、第1分散部214は、分散素子14に、試料用開口部材215は、試料用開口部材15に、それぞれ対応する。ここで、照明部210は、照明部10における、短波長透過部12に対応する長波長を除去するための部材を備えずに構成されている。後述するように、実施形態5では、受光素子233が、測定域Asから放射される放射光の反射光成分と蛍光成分とを重複することなく各受光素子(画素)によって個別に受光することができるので、照明部210は、短波長透過部12に相当する部材を備えていない。
 結像部220は、受光部230の第2開口部材231上に、試料用開口As(すなわち、測定域As)に配置され分散像S1a’で照明された、蛍光試料Oからの放射光による測定域Asの像および参照域Arからの反射光(参照光)による参照域Arの像を結ぶための光学系である。結像部220は、例えば、図9(b)に示すように、結像光学素子221と、像面光学素子222とを備えて構成される。
 結像光学素子221は、測定域Asからの放射光による測定域Asの像および参照域Arからの反射光による参照域Arの像を第2開口部材231上に結ぶ光学素子である。結像光学素子221は、測定域Asからの放射光および参照光両方の波長域の光を透過させ結像する光学素子であり、例えば結像レンズである。
 像面光学素子222は、結像光学素子221の像を後述する第2分散部232上につくる光学素子であり、結像光学素子に入射した測定域Asからの放射光および参照域Arからの参照光を、効率よく第2分散部232に入射させる。像面光学素子222は、例えば、凸レンズ等である。
 第2開口部材231は、所定形状の放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rをもつ部材である。測定域Asからの放射光および参照域Arからの参照光は、それぞれ放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rに入射する。第2開口部材231は、例えば、図8(b)に示すように、光の進行方向からみて像面光学素子222の後面に配置される、入射用のスリットを持つスリット板等である。前記スリットは、例えば矩形形状を有しており、矩形形状の長手方向は、図9(c)に示すように、測定域As上の照明光の分散方向x1に対応する第2開口部材231上の方向x2に平行に設けられている。
 第2分散部232は、放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rの各部位から入射した光をx2方向と直交するysおよびyr方向にそれぞれ波長分散し、その分散像を、受光素子233の受光面上に二次元的に結ぶための光学素子である。第2分散部232は、第1分散部214と同様な光学素子である。
 放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rには、それぞれ測定域Asおよび参照域Arの像が結像するので、受光素子233は、測定域Asにおける蛍光試料Oの各部位から放射される放射光の波長分散像および参照域Arの各部位からの参照光の波長分散像を受光し、各部位からの放射光の分光分布および各部位からの参照光の分光分布を、制御部241に出力する。受光素子233は、異なる波長μの単波長光で照明された測定域および参照域の各部位から得られる放射光および参照光の分光分布を測定するので、照明光の波長域μと放射光の波長域λとに対応して画素が二次元配列された2次元センサーアレイである。受光素子233は、例えば、列方向(x3方向)に照明光の波長(μ)域300-700nmを、行方向(ysおよびyr方向)に放射光の波長(λ)域300-780nmの波長域を受光する2次元センサーアレイである。
 入力部2413は、入力部413に対応する装置である。出力部2414は、出力部414に対応する装置である。
 制御部241は、照明部210および受光素子233を制御し、受光部から出力される測定データ(照明光の波長μ毎の放射光分光分布E(μ,λ)および参照光分光分布I(μ)と、感度補正係数D(μ,λ)と校正係数K(μ)とに基づいて、二分光放射率係数を演算し、前記二分光放射率係数を出力部2414に出力する装置である。制御部241は、制御部41と同様な装置である。
 この制御部241は、例えば、図9(e)に示すように、機能的に、演算部2411と記憶部2412とを備え、予め記憶された制御プログラムに従い、照明部210、受光素子233、入力部2413および出力部2414を当該機能に応じてそれぞれ制御する。
 演算部2411は、記憶部2412に格納されている、例えば製造時等に求められた感度補正係数D(μ,λ)と、白色校正で求められた校正係数K(μ)と、受光素子233から出力される測定データとに基づいて、二分光放射率係数を演算し、演算した二分光放射率係数を出力部2414に出力する。記憶部2412は、入力部2413から入力された、あるいは、算出された補正および校正用データと演算部2411で演算した二分光放射率係数とを記憶する。
 記憶部2412は、蛍光試料Oの二分光放射率係数を演算するプログラムや照明部210を制御するプログラム等の各種プログラム、および、各種プログラムの実行に必要なデータやその実行中に生じるデータ等の各種データを記憶する。記憶部2412は、記憶部412に対応する。
 上述した実施形態2における分光蛍光量子収率測定装置M1bでは、結像部20による測定域Asからの放射光および参照域Arからの参照光の結像位置に受光部30が配置されていたが、実施形態5における二分光放射率係数測定装置M2では、受光部30に代えて第2開口部材231が配置され、その直前に像面光学素子222が配置される。
 以下、本実施形態5の動作について、図面に基づき説明する。図10は、実施形態5における二分光放射率係数測定装置M2における二分光放射率係数を測定する場合の動作を示すフローチャートである。図11は、実施形態5における蛍光試料の二分光放射率係数測定装置M2における白色校正の動作を示すフローチャートである。二分光放射率係数測定装置M2は、例えば、その起動によって演算処理プログラムを実行する。そして、二分光放射率係数測定装置M2は、以下の動作によって、例えば製造時等に求められた感度補正係数D(μ,λ)および白色校正で求められた校正係数K(μ)に基づいて、二分光放射率係数B(μ,λ)を測定する。
 <<二分光放射率係数演算フロー(S11~S15)>>
 二分光放射率係数演算フローでは、蛍光試料Oの放射光の照明光の波長μ毎の分光分布E(μ,λ)および照明光の分光分布I(μ)について、その測定(ステップS11~ステップS13)が行われた後に、二分光放射率係数が演算され(ステップS14)、前記二分光放射率係数が出力される(ステップS15)。測定に先立って、蛍光試料Oが試料用開口部材15の試料用開口Asに配置される。
 ステップS11において、制御部241は、照明部210を点灯する、すなわち光源211を点灯する。
 ステップS12では、実施形態1におけるステップS2と同様に、光源211の点灯により、測定域Asから放射される放射光および参照域Arから反射される参照光(反射光)の一部が、それぞれが結像光学素子221に入射する。
 実施形態1での説明と同様に、x1方向に変化する略単波長光の中心波長をμ(x1)とすれば、測定域Asの蛍光試料Oおよび参照域の部位x1は、中心波長μ(x1)の単波長照明光で照明される。したがって、測定域Asの部位x1から放射光Es(μ(x1),λ)(放射光Esは蛍光成分Esf((μ(x1),λ)と反射光成分Esr(μ(x1))との和である)が、参照域Arの部位x1から参照光Er(μ(x1))が、放射される。
 結像光学素子221は、測定域As内の蛍光試料Oおよび参照域Arからの放射光Es(μ,λ)、Er(μ)を、像面光学素子222を経て第2開口部材231上に結像させる。放射光開口部S2sに結像する測定域Asの部位x1からの放射光Es(μ(x1),λ)および参照光開口部S2rに結像する参照域Arの部位x1からの参照光Er(μ(x1))は、放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rの矩形形状の長手方向の結像部位x2に結像する。測定域Asおよび参照域Arでの部位x1のx1方向の変化に対応して、図9(c)に示すように、放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rにおいて、部位x2は、x1方向と反対方向であるx2方向に変化する。測定域Asの部位x1からの放射光Es(μ,λ)および参照域Arの部位x1からの参照光Er(μ)は、放射光開口部S2s、参照光開口部S2rの対応する部位x2を通って、第2分散部232に入射する。第2分散部232は、第2開口部材231の放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rをそれぞれ通過した、放射光Es(μ,λ)および参照光Er(μ)をx2と直交する方向に波長分散し、受光素子233上に入射させる。
 放射光開口部S2sの部位x2から得られる放射光Es(μ(x2),λ)および参照光開口部S2rの部位x2から得られる参照光Er(μ(x2))、の各波長分散像は、受光素子233上の対応するx3座標の行に結像する。
 放射光開口部S2sの部位x2から得られる放射光Es(μ,λ)の波長分散像は、反射光成分Esr(μ)が波長μに対応するx3座標の、波長μに対応するys座標に入射すると共に、蛍光成分Esf(μ,λ)も同じx3座標の蛍光波長λに対応するys座標に入射する。図9(d)および図13に示すように、蛍光は、励起光より長波長側に波長変換されるために、蛍光成分(FL)の位置は、同じx3座標の反射光成分(Rs)の位置より長波長側になる。
 参照光開口部S2rの部位x2から得られる参照光Er(μ)の波長分散像は、図9(d)に示すように、同じx3座標の波長μに対応するyr座標に入射する。
 ここで、ysとyrとには、関係式ys=yr+Δyが成立する。ここで、Δyは、Esr(μ)とEr(μ)との入射位置のずれである。この位置のずれは、放射光開口部S2sと参照光開口部S2rとが所定の間隔(x2に直交する方向での水平間隔)で並列しているために、受光素子233の各行には測定域Asおよび参照域Arの対応する部位x1からの、同じ波長μ(x1)の反射光成分Esrおよび参照光Erとが同時に入射し、それぞれの波長分散像がΔyだけずれた位置に入射することに因る。この位置のずれΔyは、放射光開口部S2sと参照光開口部S2rとの間隔(例えば、図9(c)に示すように、x2方向に直交する方向での水平距離)に依存する。
 したがって、測定域Asおよび参照域Arの各部位x1から得られる、反射光成分Esr、蛍光成分Esfおよび参照光Erが、受光素子233上の対応するx3座標と、波長に対応するysおよびyr座標との位置に、同時に入射する。受光素子233の対応する行の各画素は、反射光成分Esr、蛍光成分Esfおよび参照光Erの波長分散像をそれぞれ受光する。
 参照域Arからの参照光Er(μ)は、照明光の波長が保存されるので、波長分散像は、λ=μの成分のみである。一方、測定域Asの蛍光試料Oからの放射光Es(μ,λ)は、反射光成分Esr(μ)とともに波長変換を伴う蛍光成分Esf(μ,λ)とを含むので、波長分散像は、λ=μの反射光成分とともに、λ>μの領域の蛍光成分を含む。
 したがって、受光素子233から得られるマトリクスデータは、図12に示すように、λ=μの対角成分Erから成る、参照域Arから得られる放射光のマトリクスデータI2rと、対角成分Rsとλ>μの蛍光成分FLとから成る、測定域Asから得られる放射光のマトリクスデータI2sとから成る。ここで、FLは、測定域Asからの蛍光成分Esfが結像する領域であり、Rsは、測定域Asからの反射光成分Esrが結像する領域であり、Rrは、参照域Arからの参照光が結像する領域である。例えば、図9(d)に示すように、FLは、x3、ysの両方向に拡がる領域で、RsとRrは、Δyだけ離れた対角線近傍の領域である。以下、対角線近傍の成分を対角成分と記す。このように、測定域Asから得られる放射光Esの蛍光成分の領域FLは、λ=μの対角成分Rsより短波長側で生じることはないので、図9(d)のように、参照域Arから得られる放射光の対角成分Rrを対角成分Rsの短波長側になるように、図9(c)の放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rを配置することで、マトリクスデータから、参照域Arから得られる参照光Erの対角成分Ir(μ,λ)と、測定域Asから得られる放射光EsのマトリクスデータIs(μ,λ)とを容易に分離することができる。
 受光素子233は、測定した参照域Arからの参照光Erの分光分布Ir(μ,λ)と、測定域Asからの放射光Esの分光分布Is(μ,λ)とを、制御部240へ出力する。制御部240は、入力されたIr(μ,λ)とIs(μ,λ)とを記憶部2412に記憶させ、ステップS13に進む。
 ステップS13では、制御部240は、照明部210を消灯する。
 続いて、ステップS14では、演算部2411は、記憶部2412に記憶されている感度補正係数D(μ,λ)と、校正係数K(μ)と、Ir(μ,λ)と、Is(μ,λ)とに基づき、式(3)で与えられる二分光放射率係数B(μ,λ)を演算する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000003
 ここで、感度補正係数D(μ,λ)は、受光素子233の各行内の試料放射光を受光する各画素のそれぞれに至る光学系の効率を含む相対感度を補正する係数であり、校正係数K(μ)は、各行の参照光の強度を試料と同じ条件で照明、観察された完全白色拡散面からの反射光の強度に変換するための係数であり、詳細については、後述する。
 次に、ステップS15では、出力部2414は、二分光放射率係数B(μ,λ)を出力する。
 この二分光放射率係数測定装置M2は、二分光放射率係数B(μ,λ)に基づいて、全分光放射率係数や色彩値等を演算することができる。
 以下、波長校正、感度補正および白色校正について説明する。二分光放射率係数測定装置M2は、例えば製造時等に波長校正と感度補正とが行われる。波長校正とは、公知の方法によって、図12に示す受光素子233の行方向の座標に波長λを対応させる校正である。
 感度補正とは、受光素子233の行内における各画素の相対感度を感度補正係数D(μ,λ)で補正することによってマトリクスデータIs(μ,λ)を基準化分光分布Is´(μ,λ)に変換する補正である。感度補正係数D(μ,λ)は、既知の分光分布I0(λ)をもつ照明光を試料用開口As全域からほぼ一様に入射させたときに受光素子233から得られるマトリクスデータIs0(μ,λ)から、以下の式(4)によって求められる。この場合、試料用開口Asの各部位x1からの入射光は、I0(λ)と同じ相対分光分布を持ち、受光素子233の全ての行の画素から同じ相対分光分布に対応する出力が得られる。感度補正は、以下の式(5)によって行われる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000005
 <<白色校正フロー(S16~S19)>>
 白色校正とは、測定域Asからの放射光の分光分布を二分光放射率係数に変換するための校正係数K(μ)を求める校正である。白色校正時、白色標準試料Wの反射光(照明光)の強度について、その測定(ステップS16~ステップS18)が行われた後に、校正係数が演算される(ステップS19)。測定に先立って、分光反射率係数Rw(μ)が既知の、無蛍光の白色標準試料Wが試料用開口部材215の試料用開口Asに配置される。
 まず、ステップS16では、制御部41には、入力部413から、白色標準試料Wに値付けされた分光反射率係数Rw(μ)が入力される。記憶部412は、入力された分光反射率係数Rw(μ)を記憶する。そして、制御部241は、光源11を点灯することで、白色標準試料Wを照明する。
 次に、ステップS17では、受光素子233は、マトリクスデータIw(μ,λ)を測定する。測定域Asにおける無蛍光の白色標準試料から放射光として反射光のみが放射されるので、受光素子233は、マトリクスデータIw(μ,λ)として参照域Arから得られる放射光の対角成分Rrwの分光分布Irw(μ)と、白色標準試料から得られる放射光の対角成分の分光分布Isw(μ,λ)とを測定し、測定結果を制御部241に出力する。制御部241は、測定結果を記憶部2412に記憶する。
 次に、ステップS18では、制御部241は、光源11を消灯する。
 続いて、ステップS19では、演算部2411は、記憶部2412に記憶されたIsw(μ,λ)をλについて積分することによって白色基準試料からの放射光の対角成分の強度Isw(μ)を求め、Irw(μ,λ)をλについて積分することによって参照光の対角成分の強度Irw(μ)を求める。演算部2411は、Isw(μ)、Irw(μ)およびRw(μ)を用いて、蛍光試料測定時の、参照域Arから得られる放射光の対角成分の強度Irw(μ)を試料と同じ条件で照明、観察された完全白色拡散面から得られる放射光の強度に変換する校正係数K(μ)を、式(6)で求める。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000006
 白色校正は、測定に先立って行われ、校正係数K(μ)は記憶部2412に記憶される。
 他の実施形態において、二分光放射率係数測定装置は、第2開口部材231と第2分散部232と受光素子233とに代えて、多チャンネル分光器を備えて構成される。多チャンネル分光器は、放射光開口部S2sおよび参照光開口部S2rの各部位に入射する光束に対し部位毎に分光測定を行う装置である。多チャンネル分光器は、例えば、第2開口部材231と第2分散部232と受光素子233とを備えて構成される。
 本明細書は、上記のように様々な態様の技術を開示しているが、そのうち主な技術を以下に纏める。
 一態様にかかる光学特性測定装置は、蛍光試料の測定域における互いに異なる部位を、部位ごとに異なる分光分布の照明光で照明する照明部と、前記照明光によって照明された前記蛍光試料から放射される放射光による前記測定域の像を結像する結像部と、複数の画素を備え、所定の分光感度で前記結像部によって結像された像を受光する受光部と、前記受光部から出力される前記部位ごとの放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の分光的な光学特性を求める演算部とを備える。
 このような構成の光学特性測定装置では、異なる分光分布の照明光によって照明された蛍光試料の各部位から放射される放射光を同時に測定し、前記各部位から放射される放射光の特性に基づいて蛍光試料の分光的な光学特性を求めることができる。したがって、機械的な波長走査が無いので、信頼性が高く、短時間に蛍光試料の光学特性を求めることができる。さらに、このような構成の光学特性測定装置では、異なる分光分布の照明光で照明された蛍光試料の各部位からの放射光を、他の部位からの放射光と分離して受光することができ、蛍光試料の光学特性を精度よく求めることができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記測定域の各部位を照明する照明光で部位ごとに照明される参照域をさらに備え、前記結像部は、前記照明光で照明された前記参照域の像を結像し、前記受光部は、さらに前記結像部によって結像された前記参照域の像を受光し、前記演算部は、前記受光部から出力される前記参照域の各部位から放射される放射光に関する情報に基づいて、前記測定域の各部位を照明する照明光の参照強度を求め、前記各部位の照明光の参照強度および前記各部位の放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の分光的な光学特性を求めるものである。
 このような構成の光学特性測定装置は、参照域の放射光の強度を測定することで、測定域各部位の照明光の強度変化を補正してより高精度に分光的な光学特性を測定することができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記受光部は、前記測定域および前記参照域の各部位から放射される放射光を受光する複数の画素を備えるセンサーアレイであり、前記演算部は、前記光学特性として、前記蛍光試料の分光蛍光量子収率を求めるものである。
 このような構成の光学特性測定装置は、全ての波長の単波長照明光によって照明された測定域および参照域から放射される放射光を、センサーアレイで並列に同時に測定するので、測定精度が高く測定時間の短い分光蛍光量子収率測定装置を実現できる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記蛍光試料は、既知の分光蛍光量子収率をもつ標準蛍光試料であり、前記演算部は、前記標準蛍光試料の分光蛍光量子収率を求め、前記分光蛍光量子収率測定値と前記既知の分光蛍光量子収率とに基づいて、前記蛍光試料の分光蛍光量子収率測定値を校正するための校正係数をさらに求めるものである。
 このような構成の光学特性測定装置は、標準蛍光試料を値付けした公的機関にトレーサブルな分光蛍光量子収率を測定することができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記照明部は、部位ごとに異なる波長の単波長光である照明光で照明するものである。
 このような構成の光学特性測定装置は、前記複数部位から放射される放射光の特性を容易に蛍光試料の分光的な光学特性に変換することができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記照明部は、光源と、第1の入射開口を持つ第1開口部材と、第1の波長分散部とを備え、前記第1の波長分散部は、前記光源から前記第1の入射開口に入射した光束による、前記第1の入射開口の波長分散像を前記測定域につくるものである。
 このような構成の光学特性測定装置は、測定域の各部位を部位ごとに異なる波長の単波長光で効率よく照明することができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記照明部は、前記光源から放射される光束から、蛍光波長域の成分を少なくとも部分的に除去する蛍光波長除去部をさらに備える。
 このような構成の光学特性測定装置は、蛍光より光強度の強い照明光の影響を抑制することができ、より精度よく分光蛍光量子収率を測定することができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記受光部は、複数の画素を備えるセンサーアレイへの入射光の波長を選択する波長選択部をさらに備える。
 このような構成の光学特性測定装置は、照明光の影響を抑制することができ、精度よく分光蛍光量子収率を測定することができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記光源は、キセノンフラッシュランプである。
 このような構成の光学特性測定装置は、一般に普及しているキセノンフラッシュランプを用いることで、低コストで十分な紫外強度をもつ照明光を得ることができる。また、例えば、1ms以下の短時間に高強度の照明光が照明されるので、この光学特性測定装置は、外光の影響を受けにくい。また、この光学特性測定装置は、発熱が小さいため、回路、光学系への熱的影響が小さい。さらに、この光学特性測定装置は、消費電力が小さく、駆動回路の規模も小さいので、ポータブルな測定装置を実現することができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記第1の波長分散部は、さらに前記光源から前記第1の入射開口に入射した光束による、前記第1の入射開口の波長分散像を拡大して前記測定域につくるものである。
 このような構成の光学特性測定装置は、測定面の不均一性の影響を軽減することができる。
 また、他の一態様にかかる光学特性測定方法は、蛍光試料の測定域における互いに異なる部位を、部位ごとに異なる分光分布の照明光で照明する照明工程と、前記照明光によって照明された前記蛍光試料から放射される放射光を、複数の画素を備えるセンサーアレイで受光する受光工程と、前記センサーアレイから出力される前記測定域の前記部位ごとの放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の分光的な光学特性を求める演算工程とを備える。
 このような構成の分光蛍光量子収率測定方法は、異なる分光分布の照明光によって照明された蛍光試料の各部位から放射される放射光の強度を同時に測定し、前記各部位の放射光の強度に基づいて分光蛍光量子収率を測定することができる。したがって、この分光蛍光量子収率測定方法は、機械的な波長走査が無いので、短時間に蛍光試料の光学特性を求めることができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記受光部は、前記測定域の各部位から放射される放射光の分光分布を前記部位ごとに測定する多チャンネル分光器であり、前記演算部は、前記多チャンネル分光器から出力される前記測定域の各部位から放射される放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の二分光放射率係数を求めるものである。
 このような構成の光学特性測定装置は、信頼性が高く小型化した二分光放射率係数測定装置を実現することができる。また、この光学特性測定装置は、多チャンネル分光器で同時測定するので、二分光放射率係数を短時間に求めることができる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記多チャンネル分光器は、前記測定域の各部位から放射される放射光が前記測定域の像をつくって入射する第2の入射開口を持つ第2開口部材と、第2の波長分散部と、複数の画素を二次元的に備える二次元センサーアレイとを備え、前記第2の波長分散部は、前記第2の入射開口に入射した前記測定域の各部位から放射される放射光による、前記第2の入射開口の波長分散像を前記二次元センサーアレイ上につくり、前記演算部は、前記二次元センサーアレイから出力される前記各部位から放射される放射光に関する情報に基づいて、蛍光試料の二分光放射率係数を求めるものである。
 このような構成の光学特性測定装置は、信頼性が高く小型化した二分光放射率係数測定装置を実現することができる。また、この光学特性測定装置は、全ての波長の単波長照明光による放射光の分光分布を、二次元センサーアレイで同時測定するので、測定時間を短縮できる。
 また、他の一態様では、上述の光学特性測定装置において、前記測定域の各部位を照明する照明光で部位ごとに照明される参照域をさらに備え、前記多チャンネル分光器は、前記参照域の各部位から放射される放射光が前記参照域の像をつくって入射する第3の入射開口を持つ第3開口部材をさらに備え、前記第2の波長分散部は、前記第3の入射開口に入射した前記参照域の各部位から放射される放射光による、前記第3の入射開口の波長分散像を前記二次元センサーアレイ上につくり、前記演算部は、前記二次元センサーアレイから出力される前記参照域の各部位から放射される放射光に関する情報に基づいて、前記測定域の各部位を照明する照明光の参照強度を求め、前記各部位の照明光の参照強度および前記各部位の放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の二分光放射率係数を求めるものである。
 このような構成の光学特性測定装置は、参照域の照明光の強度を測定することで、各部位の照明光の強度変化を補正して二分光放射率係数を測定することができる。したがって、この光学特性測定装置は、より高精度に二分光放射率係数を測定することができる。
 また、上述の光学特性測定装置において、前記第2の入射開口をもつ前記第2開口部材および第3の入射開口をもつ前記第3開口部材は、前記第3の入射開口の分散像が前記第2の入射開口の分散像よりも短波長側に結像するように、それぞれ配置されることを特徴とする。
 このような構成の光学特性測定装置では、参照域から放射される各単波長照明光と同じ波長の放射光の分散光と、測定域から放射される単波長照明光の波長と同じか、それより長波長側の放射光の分散光とを容易に分離して、測定域の各部位から放射される放射光と、同じ部位を照明する照明光に近似する参照域照明光の分光分布とを得ることができる。
 また、他の一態様にかかる二分光放射率係数測定方法は、蛍光試料の測定域における互いに異なる部位を、部位ごとに異なる分光分布の照明光で照明する照明工程と、前記異なる分光分布の照明光によって照明された蛍光試料から放射される放射光の分光分布を、多チャンネル分光器により前記部位ごとに測定する測定工程と、前記多チャンネル分光器から出力される前記測定域の前記部位ごとの放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の二分光放射率係数を求める演算工程を備える。
 このような構成の二分光放射率係数測定方法は、異なる分光分布の照明光で照明された蛍光試料から放射される放射光を、多チャンネル分光器で同時測定するので、二分光放射率係数を短時間に求めることができる。
 この出願は、2009年3月11日に出願された日本国特許出願特願2009-57812を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。
 本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および/または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。
 本発明によれば、光学特性測定装置および該方法ならびに二分光放射率係数測定装置を提供することができる。

Claims (16)

  1.  蛍光試料の測定域における互いに異なる部位を、部位ごとに異なる分光分布の照明光で照明する照明部と、
     前記照明光によって照明された前記蛍光試料から放射される放射光による前記測定域の像を結像する結像部と、
     複数の画素を備え、所定の分光感度で前記結像部によって結像された像を受光する受光部と、
     前記受光部から出力される前記部位ごとの放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の分光的な光学特性を求める演算部とを備えること
     を特徴とする光学特性測定装置。
  2.  前記測定域の各部位を照明する照明光で部位ごとに照明される参照域をさらに備え、
     前記結像部は、前記照明光で照明された前記参照域の像を結像し、
     前記受光部は、さらに前記結像部によって結像された前記参照域の像を受光し、
     前記演算部は、前記受光部から出力される前記参照域の各部位から放射される放射光に関する情報に基づいて、前記測定域の各部位を照明する照明光の参照強度を求め、前記各部位の照明光の参照強度および前記各部位の放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の分光的な光学特性を求めること
     を特徴とする請求項1に記載の光学特性測定装置。
  3.  前記受光部は、前記測定域および前記参照域の各部位から放射される放射光を受光する複数の画素を備えるセンサーアレイであり、
     前記演算部は、前記光学特性として、前記蛍光試料の分光蛍光量子収率を求めること
     を特徴とする請求項2に記載の光学特性測定装置。
  4.  前記蛍光試料は、既知の分光蛍光量子収率をもつ標準蛍光試料であり、
     前記演算部は、前記標準蛍光試料の分光蛍光量子収率を求め、前記分光蛍光量子収率測定値と前記既知の分光蛍光量子収率とに基づいて、前記蛍光試料の分光蛍光量子収率測定値を校正するための校正係数をさらに求めること
     を特徴とする請求項3に記載の光学特性測定装置。
  5.  前記照明部は、部位ごとに異なる波長の単波長光である照明光で照明すること
     を特徴とする請求項1に記載の光学特性測定装置。
  6.  前記照明部は、光源と、第1の入射開口を持つ第1開口部材と、第1の波長分散部とを備え、
     前記第1の波長分散部は、前記光源から前記第1の入射開口に入射した光束による、前記第1の入射開口の波長分散像を前記測定域につくること
     を特徴とする請求項5に記載の光学特性測定装置。
  7.  前記照明部は、前記光源から放射される光束から、蛍光波長域の成分を少なくとも部分的に除去する蛍光波長除去部をさらに備えること
     を特徴とする請求項6に記載の光学特性測定装置。
  8.  前記受光部は、複数の画素を備えるセンサーアレイを備え、該センサーアレイへの入射光の波長を選択する波長選択部をさらに備えること
     を特徴とする請求項7に記載の光学特性測定装置。
  9.  前記光源は、キセノンフラッシュランプであること
    を特徴とする請求項6に記載の光学特性測定装置。
  10.  前記第1の波長分散部は、さらに前記光源から前記第1の入射開口に入射した光束による、前記第1の入射開口の波長分散像を拡大して前記測定域につくること
     を特徴とする請求項6に記載の光学特性測定装置。
  11.  蛍光試料の測定域における互いに異なる部位を、部位ごとに異なる分光分布の照明光で照明する照明工程と、
     前記照明光によって照明された前記蛍光試料から放射される放射光を、複数の画素を備えるセンサーアレイで受光する受光工程と、
     前記センサーアレイから出力される前記測定域の前記部位ごとの放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の分光的な光学特性を求める演算工程とを備えること
     を特徴とする光学特性測定方法。
  12.  前記受光部は、前記測定域の各部位から放射される放射光の分光分布を前記部位ごとに測定する多チャンネル分光器であり、
     前記演算部は、前記多チャンネル分光器から出力される前記測定域の各部位から放射される放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の二分光放射率係数を求めること
     を特徴とする請求項1に記載の光学特性測定装置。
  13.  前記多チャンネル分光器は、前記測定域の各部位から放射される放射光が前記測定域の像をつくって入射する第2の入射開口を持つ第2開口部材と、第2の波長分散部と、複数の画素を二次元的に備える二次元センサーアレイとを備え、
     前記第2の波長分散部は、前記第2の入射開口に入射した前記測定域の各部位から放射される放射光による、前記第2の入射開口の波長分散像を前記二次元センサーアレイ上につくり、
     前記演算部は、前記二次元センサーアレイから出力される前記各部位から放射される放射光に関する情報に基づいて、蛍光試料の二分光放射率係数を求めること
     を特徴とする請求項12に記載の光学特性測定装置。
  14.  前記測定域の各部位を照明する照明光で部位ごとに照明される参照域をさらに備え、
     前記多チャンネル分光器は、前記参照域の各部位から放射される放射光が前記参照域の像をつくって入射する第3の入射開口を持つ第3開口部材をさらに備え、
     前記第2の波長分散部は、前記第3の入射開口に入射した前記参照域の各部位から放射される放射光による、前記第3の入射開口の波長分散像を前記二次元センサーアレイ上につくり、
     前記演算部は、前記二次元センサーアレイから出力される前記参照域の各部位から放射される放射光に関する情報に基づいて、前記測定域の各部位を照明する照明光の参照強度を求め、前記各部位の照明光の参照強度および前記各部位の放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の二分光放射率係数を求めること
     を特徴とする請求項13に記載の光学特性測定装置。
  15.  前記第2の入射開口をもつ前記第2開口部材および第3の入射開口をもつ前記第3開口部材は、前記第3の入射開口の分散像が前記第2の入射開口の分散像よりも短波長側に結像するように、それぞれ配置されること
     を特徴とする請求項14に記載の光学特性測定装置。
  16.  蛍光試料の測定域における互いに異なる部位を、部位ごとに異なる分光分布の照明光で照明する照明工程と、
     前記異なる分光分布の照明光によって照明された前記蛍光試料から放射される放射光の分光分布を、多チャンネル分光器により前記部位ごとに測定する測定工程と、
     前記多チャンネル分光器から出力される前記測定域の前記部位ごとの放射光に関する情報に基づいて、前記蛍光試料の二分光放射率係数を求める演算工程を備えること
     を特徴とする二分光放射率係数測定方法。
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