JP2004191244A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 補正用の光を発光する光源と、
   入射される光を波長に応じて分散する分散手段と、
   前記分散手段で分散した光を受光し、受光した各波長成分の光強度に応じた電気信号を出力する光電変換素子が配列されてなる受光手段と、
   測定光が入射され前記分散手段を介して前記受光手段上に波長分散像を結像する第１入射開口と、
   前記補正用の光が入射され前記分散手段を介して前記受光手段上に０次反射光による像を結像する第２入射開口と、
   測定光の波長と該波長に対応する光電変換素子に割り当てられた画素番号との対応関係を示す波長画素番号対応情報を予め記憶する波長画素番号対応情報記憶手段と、
   前記受光手段の出力に基づく前記補正用の光の強度分布である基準プロファイルを予め記憶する基準プロファイル記憶手段と、
   補正量を求める場合には前記受光手段の出力に基づく前記補正用の光の強度分布である補正時プロファイルと前記基準プロファイルとを比較することによって前記補正時プロファイルと前記基準プロファイルとにおける前記受光手段上の結像位置の差を前記補正量として求め前記補正量を補正量記憶手段に記憶すると共に、測定光の分光強度分布を求める場合には前記受光手段の出力と前記波長画素番号対応情報と前記補正量とに基づいて補正し前記測定光の分光強度分布を求める演算処理手段とを備えること
   を特徴とする分光装置。
2. 前記第１入射開口及び前記第２入射開口は、経時的に前記第１入射開口と前記第２入射開口との相対位置が略一定である材料の板に形成されることを特徴とする請求項１に記載の分光装置。
3. 前記第１入射開口及び前記第２入射開口は、温度変化に対して前記第１入射開口と前記第２入射開口との相対位置が略一定である材料の板に形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の分光装置。
4. 前記補正用の光が点灯されている間に測定光を遮光する遮光手段をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の分光装置。
5. 前記基準プロファイル記憶手段は、前記基準プロファイルを所定の画素番号間隔でシフトしたシフト基準プロファイルを記憶し、
   前記演算処理手段は、前記補正時プロファイルとシフト基準プロファイルとの相関を求めることによって前記補正量を求めることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の分光装置。
6. 前記演算処理手段は、前記補正量を電源投入時に求めて補正量記憶手段に記憶することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の分光装置。
7. 前記演算処理手段は、前記補正量をユーザの指示があった場合に求めて補正量記憶手段に記憶することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の分光装置。
8. 補正用の光を発光する光源と、
   入射される光を波長に応じて分散する分散手段と、
   前記分散手段で分散した光を受光し、受光した各波長成分の光強度に応じた電気信号を出力する光電変換素子が配列されてなる受光手段と、
   測定光が入射され前記分散手段を介して前記受光手段上に波長分散像を結像する第１入射開口と、
   前記補正用の光が入射され前記分散手段を介して前記受光手段上に０次反射光による像を結像する第２入射開口と、
   前記受光手段の出力に基づく前記補正用の光の強度分布である基準プロファイルを予め記憶する基準プロファイル記憶手段と、
   警告を提示する警告手段と、
   補正量の許容範囲の限界値である閾値を記憶する閾値記憶手段と、
   前記受光手段の出力に基づく前記補正用の光の強度分布である補正時プロファイルと前記基準プロファイルとを比較することによって前記補正時プロファイルと前記基準プロファイルとの前記受光手段上の結像位置の差を補正量として求めると共に、求めた前記補正量が前記閾値以上である場合には前記警告手段で警告を提示する演算処理手段とを備えること
   を特徴とする分光装置。
9. 補正用の光を発光する光源と、入射される光を波長に応じて分散する分散手段と、前記分散手段で分散した光を受光し受光した各波長成分の光強度に応じた電気信号を出力する光電変換素子が配列されてなる受光手段と、測定光が入射され前記分散手段を介して前記受光手段上に波長分散像を結像する第１入射開口と、前記補正用の光が入射され前記分散手段を介して前記受光手段上に０次反射光による像を結像する第２入射開口と、情報を記憶する記憶手段と、測定光の分光強度分布を求める演算処理手段とを備える分光装置の波長シフトを補正する補正方法において、
   前記演算処理手段は、
   前記受光手段の出力に基づく前記補正用の光の強度分布である基準プロファイルを予め前記記憶手段に記憶するステップと、
   補正量を求める場合には前記受光手段の出力に基づく前記補正用の光の強度分布である補正時プロファイルと前記基準プロファイルとを比較することによって前記補正時プロファイルと前記基準プロファイルとの前記受光手段上の結像位置の差を前記補正量として求めるステップと、
   求めた前記補正量を前記記憶手段に記憶するステップと、
   測定光の分光強度分布を求める場合には前記受光手段の出力を前記補正量で補正することによって前記測定光の分光強度分布を求めるステップとを実行すること
   を特徴とする補正方法。