WO2010098192A1 - ターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプ用パーティクルトラップ - Google Patents

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blades
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関田　幸照
和馬 久保田
剛 守屋
栄一 菅原
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Shimadzu Corp
Tokyo Electron Ltd
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    • F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
    • F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps

Definitions

  • the present invention relates to a turbo molecular pump and a particle trap for the turbo molecular pump.
  • Turbo molecular pumps are used in etching processes and CVD processes such as semiconductor production.
  • particles such as reaction products flow into the turbo molecular pump from the vacuum chamber in which these processes are performed, the particles may be splashed by the rotor rotating at high speed, and the recoil particles may reach the vacuum chamber.
  • recoil particles adhere to the wafer and deteriorate the production yield of the semiconductor.
  • Patent Document 1 As configurations for reducing the backflow of recoil particles to the vacuum chamber, configurations as described in Patent Documents 1 to 3 have been proposed.
  • Patent Document 1 a small chamber for capturing particles is provided on the inner peripheral surface of the pump casing, and the particles are splashed off in the direction of the small chamber by a rotary blade.
  • Patent Document 2 a trapping member made of a rubber material, a sponge material, a cotton material, or the like, or a buffer member having a small repulsion coefficient is provided in the pump casing.
  • Patent Document 3 a cotton-like body made of stainless felt or fluororesin felt is provided as a particle capturing mechanism.
  • Patent Document 3 has a drawback in that a reduction in exhaust speed due to the provision of the capture member is large because a disk-shaped capture member is provided in the vicinity of the intake port.
  • a first aspect of the turbomolecular pump according to the present invention includes a rotor that is formed with multistage rotor blades and rotates at a high speed, a plurality of stationary blades alternately arranged in the pump axial direction with respect to the rotor blades,
  • a pump housing that houses fixed blades and has an air inlet formed therein, a disk that is provided close to the air inlet side of the rotor, and that is disposed so as to face a surface on the inner diameter side of the rotor blade root of the rotor;
  • a cylindrical mesh structure that is disposed between the air inlet and the rotor and is formed by braiding fine lines is formed, and the particles that are splashed by the rotor are captured inside the mesh structure.
  • a second aspect of the turbomolecular pump according to the present invention includes a rotor in which multistage rotor blades are formed and rotating at a high speed, a plurality of stationary blades alternately arranged in the pump axial direction with respect to the rotor blades, A pump housing that houses fixed blades and has an air inlet formed therein, a disk that is provided close to the air inlet side of the rotor, and that is disposed so as to face a surface on the inner diameter side of the rotor blade root of the rotor; A mesh structure provided along the inner wall of the pump housing and formed by braiding fine wires.
  • the mesh structure may be configured by layering cloth nets formed by knitting fine wires.
  • the fine wire may be made of a stainless steel fine wire, or may be made of alumina silica fiber having a silica ratio of 6 to 10%.
  • a third aspect of the turbomolecular pump according to the present invention includes a casing including a first flange connected to the intake flange of the turbomolecular pump, and a second flange connected to the exhaust flange on the vacuum apparatus side; And a cylindrical network structure formed by braiding fine lines so as to capture particles splashed by the rotor of the turbo molecular pump. It is also possible to provide a disk disposed on the first flange side so as to face the rotor upper surface of the turbo molecular pump and having a diameter dimension equal to or smaller than the diameter of the rotor blade root of the rotor of the turbo molecular pump.
  • a circular region having a diameter dimension equal to or smaller than the diameter of the rotor blade root of the rotor of the turbo molecular pump, and a net region provided so as to surround the circular region and having a plurality of openings formed therein You may make it provide the protective net
  • a plurality of plate-like network structures may be provided that are arranged radially with respect to the cylindrical network structure and extend in the axial direction of the first and second flanges.
  • the fine wire may be made of a stainless fine wire, or may be made of an alumina silica fiber having a silica ratio of 6 to 10%.
  • turbo molecular pump that prevents a backflow of recoil particles while suppressing a decrease in exhaust speed.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a turbo molecular pump according to the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a CVD film forming apparatus on which the turbo molecular pump 10 is mounted.
  • FIG. 3 is an enlarged view of a portion where the baffle 15 of the turbo molecular pump is provided.
  • FIG. 4 is a perspective view of the baffle 15.
  • FIG. 5 is a view showing the baffle 15 as viewed from the intake port side.
  • FIGS. 6A and 6B are diagrams for explaining a mesh structure 153 having a laminated structure, in which FIG. 6A is an exploded perspective view of the mesh structure 153, and FIG. FIG.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a modification example, where (a) illustrates a first modification example, and (b) illustrates a second modification example.
  • 8A and 8B are views showing the mesh structure 153 when the pump casing 34 is cylindrical.
  • FIG. 8A shows the case where the mesh structure 153 is provided on the baffle.
  • FIG. 8B shows the mesh structure 153 being pumped. The case where it provides in the inner peripheral surface of the casing 34 is shown.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a second embodiment.
  • FIG. 10 is a plan view of the protective net 101.
  • FIG. 11 is a diagram showing a configuration of the particle trap unit 100 when the protective net 101 is provided on the turbo molecular pump side of the casing 102.
  • FIG. 12 is a view showing a modification of the particle trap unit 100.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating a modified example of the frame 152 and the mesh structure 153.
  • FIG. 1 is a sectional view showing a schematic configuration of a turbo molecular pump according to the present invention.
  • a rotor 30 is rotatably provided in the pump casing 34.
  • the turbo-molecular pump 10 shown in FIG. 1 is a magnetic bearing type pump, and the rotor 30 is supported in a non-contact manner by electromagnets 37 and 38 constituting a 5-axis magnetic bearing.
  • the rotor 30 magnetically levitated by the magnetic bearing is driven to rotate at high speed by the motor 36.
  • the rotor 30 is formed with a plurality of stages of rotating blades 32 and a cylindrical screw rotor 31.
  • a fixed stage is provided with a plurality of stages of fixed blades 33 arranged alternately with the rotary blades 32 in the axial direction, and a screw stator 39 provided on the outer peripheral side of the screw rotor 31.
  • Each fixed wing 33 is placed on the base 40 via the spacer ring 35.
  • the base 40 is provided with an exhaust port 41, and a back pump is connected to the exhaust port 41.
  • a back pump is connected to the exhaust port 41.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of the semiconductor manufacturing apparatus 1 on which the turbo molecular pump 10 is mounted, and shows a schematic configuration of the CVD film forming apparatus.
  • a turbo molecular pump 10 is attached to the exhaust port 4 provided in the lower part of the process chamber 2 via a gate valve 5.
  • Process gas is supplied to the process chamber 2 by a gas supply unit 6.
  • the turbo molecular pump 10 includes a mechanism for capturing particles flowing from the air inlet 21a before entering the rotor 30, and a rotor.
  • a baffle 15 having a mechanism for capturing recoil particles bounced off at 30 was provided in the pump casing 34.
  • FIG. 3 and 4 are diagrams illustrating the baffle 15.
  • FIG. 3 is an enlarged view of a portion where the baffle 15 of FIG. 1 is provided.
  • FIG. 4 is a perspective view of the baffle 15.
  • the baffle 15 is attached to the flange 21 of the pump casing 34.
  • the baffle 15 includes a disk 150, support columns 151, a frame 152, and a mesh structure 153.
  • the frame 152 has a rib structure, and includes an inner ring 152a, an outer ring 152b, and radial ribs 152c that connect the rings 152a and 152b.
  • the plurality of struts 151 are fixed to the inner peripheral surface of the inner ring 152a at equal intervals, and a disk 150 is fixed to the lower end of each strut 151.
  • the length of the support column 151 is set so that the disk 150 is disposed in the vicinity of the upper surface of the rotor 30 as shown in FIG.
  • the rotor 30 is magnetically levitated and rotates at high speed, but slightly moves up and down in the axial direction according to the gas load. Therefore, the disk 150 is disposed at a position that does not contact the rotor 30 even when the rotor 30 moves up and down.
  • the outer diameter dimension of the disk 150 is set to be equal to or smaller than the diameter dimension of the root portion of the rotary blade 32 so that the disk 150 does not block the upper side of the rotary blade 32.
  • the plate-like mesh structure 153 is provided so as to cover the outer peripheral surface of the inner ring 152a, the inner peripheral surface of the outer ring 152b, and one surface of the radial ribs 152c, as indicated by reference numerals 153a to 153c.
  • the arrangement of the mesh structure 153c shown in FIG. 4 is applied when the rotor 30 is configured to rotate clockwise as viewed from the intake port side. In the case where the rotor 30 is configured to rotate counterclockwise, the mesh structure 153c is preferably attached so that the opposite surface of the radial rib 152c is covered.
  • FIG. 5 shows the baffle 15 viewed from the inlet side.
  • a broken line indicates the first-stage rotary blade 32 of the rotor 30. Particles that fall into the pump from the air inlet 21 a and pass through the baffle 15 fall on the disk 150 at the center or on the rotor blades 32 on the outer peripheral side of the disk 150. The particles that have fallen on the disk 150 remain on the disk and therefore do not return to the apparatus side.
  • FIG. 5 shows some trajectories P when the particles are simply bounced off in the tangential direction.
  • the mesh structure 153 is formed by braiding fine wires such as metal wires as will be described later, and the size of the mesh is larger than the size of the particles. Therefore, a part of the recoil particles incident on the mesh structure 153 is bounced back to the surface portion of the wire, but most of the recoil particles enter the inside of the structure and repeatedly collide with the wire inside. By repeating the collision, the kinetic energy of the recoil particles is reduced, and finally, it is captured inside the mesh structure 153.
  • FIG. 6A shows an example of the mesh structure 153.
  • a cloth-like net 155 constituting a mesh spring described in JP-A-2006-132741 is used.
  • the net 155 is formed by knit knitting a fine metal wire such as a stainless steel wire with a knitting machine. It is also possible to use a knitted net sandwiched between molding rollers and a corrugated net as the net 155. Instead of the fine metal wire net, it is also possible to use a woven alumina silica fiber made of alumina and silica. In that case, in order to obtain an appropriate flexibility, the ratio of silica is preferably 6 to 10%. Further, the method of knitting the fine metal wire is not limited to knitting, and plain weaving may be used.
  • the mesh structure 153 of the present embodiment is composed of a net 155 formed by braiding a metal wire or the like, the gap is larger than that of a conventional capturing member in which metal fibers are felt. For this reason, the recoil particles easily penetrate into the mesh structure 153 and are reliably captured.
  • the structure in which the nets 155 with coarse meshes are stacked makes it easy for recoil particles to enter the mesh structure 153 more inside.
  • the same mesh may be laminated, and the one close to the surface is made coarse, and the mesh is made finer so that the inner mesh where particles are trapped is slightly finer. It may be changed accordingly.
  • a relatively flat net such as a metal mesh is laminated, it is preferable that the metal mesh is wave-folded and then laminated to increase the bulk so that recoil particles can easily enter the interior.
  • the disk 150 is provided in order to prevent particles from splashing on the upper surface (non-rotating blade portion) of the rotor 30.
  • the disk 150 since the disk 150 is disposed in the vicinity of the upper surface of the rotor 30, there is almost no difference in conductance depending on the presence or absence of the disk 150, and a reduction in exhaust speed due to the provision of the disk 150 can be prevented.
  • the plate-like mesh structure 153 is provided perpendicular to the flange surface so that the surface faces right sideways, the aperture ratio when viewed from the intake port 21a can be maximized, and the exhaust speed can be increased. The decrease can be suppressed. That is, the baffle 15 in the present embodiment can reliably capture the recoil particles while suppressing the decrease in the exhaust speed as much as possible.
  • FIG. 7 is a diagram showing a modification of the present embodiment.
  • a decrease in conductance due to the baffle 15 is made smaller, and the exhaust speed is more important. Therefore, the inner ring 152a and the radial ribs 152c shown in FIG. 4 and the mesh structures 153a and 153c provided on them are omitted.
  • a plurality of support beams 152d are provided radially from the outer ring 152b, and the columns 151 are fixed to the support beams 152d.
  • a mesh structure 153d is provided directly on the inner peripheral surface of the pump casing 34 in place of the outer ring 152b and the mesh structure 153b shown in FIG. 7A. In this case as well, a decrease in exhaust speed can be suppressed as much as possible.
  • FIG. 8 shows a case where the pump casing 34 is applied to a cylindrical pump.
  • FIG. 8A corresponds to FIG. 3
  • FIG. 8B corresponds to FIG. 7B.
  • a disk 150 and a mesh structure 153e arranged on the inner peripheral surface of the pump casing are provided.
  • the outer ring 152b and the mesh structure 153b are provided. The structure is almost the same as that of the case of providing.
  • the frame 152 of the baffle 15 has a rib structure, but the rib structure may not be used. Further, the thermal emissivity of the surface of the disk 150 may be reduced to reduce the influence of thermal radiation between the process chamber and the rotor 30.
  • FIG. 9 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.
  • the baffle 15 for capturing particles is provided in the pump casing 34 of the turbo molecular pump.
  • the baffle 15 as described above can be mounted in the pump casing. Therefore, in a second embodiment described below, a particle trap unit that can be additionally mounted later even if it is a turbo molecular pump having a configuration in which the baffle 15 cannot be mounted in the pump casing will be described.
  • FIG. 9 shows the particle trap unit 100 attached to the turbo molecular pump.
  • the particle trap unit 100 includes a frame 152, a mesh structure 153, a casing 102, and a protective net 101.
  • the frame 152 and the mesh structure 153 are the same as the frame 152 and the mesh structure 153 of the baffle 15 shown in FIG. That is, the particle trap unit 100 captures the recoil particles bounced off by the rotor 30 and prevents the recoil particles from flowing back from the turbo molecular pump side to the apparatus side.
  • the frame 152 is fixed to the casing 102 by fastening the fixing portion 152b to the casing 102 with a screw 105.
  • the mesh structure 153 is attached to the frame 152.
  • the casing 102 includes a flange 102a fixed to the flange 21 of the turbo molecular pump 10 and a flange 102b fixed to the apparatus side.
  • the apparatus-side flange 102 b is connected to the gate valve 5.
  • the flange 102 b is connected to the process chamber 2. That is, the particle trap unit 100 is provided so as to be interposed between the turbo molecular pump 10 and the apparatus side.
  • a sealing material (O-ring) 106 is attached to the flange 102b.
  • the sealing material (O-ring) 21 b is attached to the flange 21 of the turbo molecular pump 10.
  • the flange 102a and the flange 21 are fastened by the bolt 103, the gap between the flange 102a and the flange 21 is sealed by the sealing material 21b.
  • FIG. 10 is a plan view of the protective net 101.
  • the protective net 101 is formed of a thin plate such as a stainless material.
  • the protective net 101 has a circular area 101a indicated by reference numeral A and an annular net area 101b indicated by reference numeral B.
  • a plurality of openings 101d are formed in the net region 101b by etching. In the example shown in FIG. 10, regular hexagonal openings 101d are formed in a honeycomb shape.
  • the circular region 101a is formed by performing circular masking during etching.
  • a screw hole 101 c is formed in the peripheral portion of the protective net 101.
  • the protective net 101 is fixed to the ring portion 210 of the flange 21 of the turbo molecular pump 10 by screws 107, but the gap between the flange 102 a of the casing 102 and the ring portion 210.
  • screws may be fixed to the flange 102 a on the turbo molecular pump side of the casing 102 or may be directly fixed to the frame 152.
  • the diameter of the circular area 101a of the protective net 101 is set to be equal to or less than the diameter of the root portion of the rotor blade 32 of the rotor 30, and the net area 101b faces the rotor blade 32.
  • the turbo molecular pump 10 exhausts the gas that has passed through the net region 101b.
  • the net region 101b is provided in order to prevent foreign matter (wafer fragments, a part of apparatus side parts, etc.) from falling into the turbo molecular pump and damaging the rotary blade 32 and the fixed blade 33.
  • the circular area 101 a of the protective net 101 functions in the same manner as the disk 150 described above, and prevents particles from the apparatus side from falling on the upper surface of the rotor 30.
  • the circular region 101a is formed by performing circular masking when etching the thin plate material. However, after the whole is etched into a net shape, the disk is attached to the center portion. Therefore. Further, when a net woven with metal wires is used as the protective net 101, the protective net 101 is formed by attaching a disk to the central portion.
  • the particle trap unit 100 includes the protective net 101.
  • the particle trap unit 100 may be constituted by components other than the protection net 101.
  • FIG. 12 is a view showing a modified example of the particle trap unit 100.
  • a disk 150 shown in FIG. 4 is provided in place of the protective net 101 shown in FIG.
  • the disk 150 is fixed to the inner ring 152 a by a column 151.
  • the position of the disk 150 in the axial direction may be within the casing 102 as indicated by the solid line, or the support column 151 is extended to the pump side as indicated by the two-dot chain line, and the disk 150 is disposed near the upper portion of the rotor 30. You may be made to do.
  • FIG. 13 shows a modified example of the frame 152 and the mesh structure 153 arranged in the casing 102.
  • the frame 152 is also provided with radial ribs 152e inside the inner ring 152a.
  • the mesh structures 153f and 153g were attached to the inner peripheral surface side of the inner ring 152a and the radial ribs 152e.
  • an opening 101d is also formed in the area indicated by reference numeral A.
  • the exhaust efficiency with respect to gas molecules incident on the inner side of the inner ring 152a can be improved, and a decrease in exhaust speed can be suppressed.
  • the particle trap unit 100 As shown in the second embodiment, it is possible to take measures against recoil particles without replacing the pump even if the turbo molecular pump is not provided with measures against recoil particles. Can do. Further, by integrally forming a disc for preventing particles from falling onto the upper surface of the rotor on the protective net for preventing foreign matter from entering, it is possible to suppress an increase in the number of parts and suppress an increase in cost.
  • the protective net 101 shown in FIG. 10 can be used instead of the disk 150.

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Abstract

　ターボ分子ポンプは、多段の回転翼(32)が形成され、高速回転するロータ(30)と、回転翼(32)に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼(33)と、回転翼(32)および固定翼(33)を収容し、吸気口(21a)が形成されたポンプハウジング(34)と、ロータ(30)の吸気口側に近接して設けられ、ロータ(30)の回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤(150)と、吸気口(21a)とロータ(30)との間に配置され、細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体(153a，153b)とを備え、ロータにより跳ね飛ばされたパーティクルを、網目構造体（153a,153b)の内部に捕捉する。

Description

ターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプ用パーティクルトラップ
　本発明は、ターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプ用パーティクルトラップに関する。
　ターボ分子ポンプは、半導体生産などのエッチングプロセスやＣＶＤプロセスで使用されている。それらのプロセスが行われる真空室からターボ分子ポンプ内に反応生成物などのパーティクルが流入すると、パーティクルは高速回転するロータにより跳ね飛ばされ、その反跳パーティクルが真空室まで達することがある。その結果、反跳パーティクルがウェハ上に付着して、半導体の生産歩留まりを悪化させるという問題がある。
　このような反跳パーティクルの真空室への逆流を低減する構成として、特許文献１～３に記載のような構成が提案されている。特許文献１においては、ポンプケーシング内周面にパーティクルを捕捉する小室を設け、回転翼によってその小室方向へパーティクルを跳ね飛ばすようにしている。特許文献２においては、ポンプケーシング内にゴム材、スポンジ材、コットン材等から成る捕捉部材や、反撥係数の小さな緩衝部材を設けるようにしている。また、特許文献３においては、ステンレスフェルトやフッ素樹脂のフェルトからなる綿状体をパーティクル捕捉機構として備えるようにしている。
日本国特開２００６－３０７８２３号公報 日本国特開２００７－２１１６９６号公報 日本国特開２００７－１８０４６７号公報
　しかしながら、小室や、ゴム材、スポンジ材、コットン材、フェルト等の捕捉部材では、パーティクルの捕捉を十分に行うことができないという問題がある。さらに、特許文献３に記載の構成では、吸気口近傍に円盤状の捕捉部材を設けているため、捕捉部材を設けたことによる排気速度低下が大きいという欠点がある。
　本発明によるターボ分子ポンプの第１の態様は、多段の回転翼が形成され、高速回転するロータと、回転翼に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼と、回転翼および固定翼を収容し、吸気口が形成されたポンプハウジングと、ロータの吸気口側に近接して設けられ、ロータの回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤と、吸気口とロータとの間に配置され、細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体とを備え、ロータにより跳ね飛ばされたパーティクルを、網目構造体の内部に捕捉する。
　なお、円筒状の網目構造体に対して放射状に配置され、ポンプ吸気口に対して垂直な板状の網目構造体を複数備えるようにしても良い。
　本発明によるターボ分子ポンプの第２の態様は、多段の回転翼が形成され、高速回転するロータと、回転翼に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼と、回転翼および固定翼を収容し、吸気口が形成されたポンプハウジングと、ロータの吸気口側に近接して設けられ、ロータの回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤と、ポンプハウジングの内壁に沿って設けられ、細線を編み上げて形成された網目構造体とを備える。
　なお、円盤と、該円盤を囲むように設けられるとともに複数の開口が形成されたネット領域とを有して、前記吸気口を介した前記ポンプハウジング内への異物の侵入を防止する保護ネットを備えるようにしても良い。
　また、網目構造体を、細線を編み上げて形成された布状のネットを層状に配置したもので構成しても良い。
　さらに、細線は、ステンレス細線で構成されていても良いし、シリカの比率が６～１０％のアルミナシリカ繊維で構成されていても良い。
　本発明によるターボ分子ポンプの第３の態様は、ターボ分子ポンプの吸気口フランジに接続される第１のフランジ、および真空装置側の排気口フランジに接続される第２のフランジを備えるケーシングと、ケーシング内に配置され、ターボ分子ポンプのロータにより跳ね飛ばされたパーティクルを内部に捕捉するように細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体と、を備える。
　なお、ターボ分子ポンプのロータ上面に対向するように第１のフランジ側に配置され、直径寸法がターボ分子ポンプのロータの回転翼根元の直径以下である円盤を備えるようにしても良い。
　また、直径寸法がターボ分子ポンプのロータの回転翼根元の直径以下である円形領域と、該円形領域の周囲を囲むように設けられるとともに複数の開口が形成されたネット領域とを有して、吸気口フランジを介したターボ分子ポンプ内への異物の侵入を防止する保護ネットを備えるようにしても良い。
　さらに、円筒状の網目構造体に対して放射状に配置され、第１および第２のフランジの軸方向に沿った板状の網目構造体を複数備えるようにしても良い。
　また、細線はステンレス細線で構成されていても良いし、シリカの比率が６～１０％のアルミナシリカ繊維で構成されていても良い。
　本発明によれば、排気速度の低下を抑えつつ、反跳パーティクルの逆流を防止するターボ分子ポンプを提供することができる。
図１は、本発明によるターボ分子ポンプの概略構成を示す断面図である。 図２は、ターボ分子ポンプ１０が搭載されたＣＶＤ成膜装置の概略構成を示す図である。 図３は、ターボ分子ポンプのバッフル１５が設けられている部分の拡大図である。 図４は、バッフル１５の斜視図である。 図５は、吸気口側から見たバッフル１５を示す図である。 図６は、積層構造の網目構造体１５３を説明する図であり、（ａ）は、網目構造体１５３の分解斜視図、（ｂ）はネット１５５を示す図である。 図７は、変形例を示す図であり、（ａ）は第１の変形例を示し、（ｂ）は第２の変形例を示す。 図８は、ポンプケーシング３４が円筒状の場合の網目構造体１５３を示す図であり、（ａ）は網目構造体１５３をバッフルに設けた場合を示し、（ｂ）は網目構造体１５３をポンプケーシング３４の内周面に設けた場合を示す。 図９は、第２の実施の形態を示す図である。 図１０は、保護ネット１０１の平面図である。 図１１は、保護ネット１０１をケーシング１０２のターボ分子ポンプ側に設けた場合の、パーティクルトラップユニット１００の構成を示す図である。 図１２は、パーティクルトラップユニット１００の変形例を示す図である。 図１３は、枠１５２および網目構造体１５３の変形例を示す図である。
　以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
－第１の実施の形態－
　図１は本発明によるターボ分子ポンプの概略構成を示す断面図である。ポンプケーシング３４内にはロータ３０が回転自在に設けられている。図１に示したターボ分子ポンプ１０は磁気軸受式のポンプであり、ロータ３０は、５軸磁気軸受を構成する電磁石３７，３８によって非接触支持される。磁気軸受によって磁気浮上されたロータ３０は、モータ３６により高速回転駆動される。
　ロータ３０には、複数段の回転翼３２と円筒状のネジロータ３１とが形成されている。一方、固定側には、軸方向に対して回転翼３２と交互に配置された複数段の固定翼３３と、ネジロータ３１の外周側に設けられたネジステータ３９が設けられている。各固定翼３３は、スペーサリング３５を介してベース４０上に載置される。吸気口フランジ２１が形成されたポンプケーシング３４をベース４０に固定すると、積層されたスペーサリング３５がベース４０とポンプケーシング３４との間に挟持され、固定翼３３が位置決めされる。
　ベース４０には排気ポート４１が設けられ、この排気ポート４１にバックポンプが接続される。ロータ３０を磁気浮上させつつモータ３６により高速回転駆動することにより、吸気口２１ａ側の気体分子は排気ポート４１側へと排気される。
　図２は、ターボ分子ポンプ１０が搭載される半導体製造装置１の一例を示す図であり、ＣＶＤ成膜装置の概略構成を示したものである。プロセス室２の下部に設けられた排気ポート４には、ゲートバルブ５を介してターボ分子ポンプ１０が装着されている。プロセス室２にはガス供給部６によりプロセスガスが供給される。
　このような成膜装置では、成膜プロセスの化学反応や機械部品の摺動などによって、サブミクロンオーダーのパーティクルが発生することが多い。これらのパーティクルが吸気口２１ａを介してターボ分子ポンプ１０内に流入すると、高速回転するロータによって跳ね飛ばされることになる。上述したように、これらの反跳パーティクルがプロセス室まで達すると、パーティクルがウェハ上に付着して、半導体の生産歩留まりの悪化の原因となる。
　このような反跳パーティクルの半導体生産への悪影響を低減するために、本実施の形態のターボ分子ポンプ１０では、吸気口２１ａから流入したパーティクルをロータ３０に入射する前に捕捉する機構と、ロータ３０で跳ね飛ばされた反跳パーティクルを捕捉する機構とを備えたバッフル１５を、ポンプケーシング３４内に設けた。
　図３および図４は、バッフル１５を説明する図である。図３は、図１のバッフル１５が設けられている部分の拡大図である。図４は、バッフル１５の斜視図である。バッフル１５は、ポンプケーシング３４のフランジ２１に取り付けられている。図４に示すように、バッフル１５は、円盤１５０、支柱１５１，枠１５２、網目構造体１５３を備えている。枠１５２はリブ構造を有しており、内側リング１５２ａと、外側リング１５２ｂと、リング１５２ａおよび１５２ｂを接続する放射状リブ１５２ｃとを備えている。
　複数の支柱１５１は内側リング１５２ａの内周面に等間隔で固定されており、各支柱１５１の下端には円盤１５０が固定されている。支柱１５１の長さは、図３に示すように、円盤１５０がロータ３０の上面の近傍に配置されるように設定される。ロータ３０は磁気浮上されて高速で回転するが、ガス負荷に応じて軸方向に僅かに上下する。そのため、円盤１５０は、ロータ３０が上下に移動してもロータ３０と接触しない程度の位置に配置される。また、円盤１５０が回転翼３２の上方を塞がないように、円盤１５０の外径寸法は、回転翼３２の付け根部分の直径寸法以下に設定される。
　板状の網目構造体１５３は、符号１５３ａ～１５３ｃで示すように、内側リング１５２ａの外周面、外側リング１５２ｂの内周面、および放射状リブ１５２ｃの一方の面を覆うように設けられている。なお、図４に示す網目構造体１５３ｃの配置は、ロータ３０が、吸気口側から見て時計回りに回転する構成の場合に適用される。ロータ３０が反時計回りに回転する構成の場合には、網目構造体１５３ｃを、放射状リブ１５２ｃの反対側の面が覆われるように取り付けるのが好ましい。
　図５は、吸気口側から見たバッフル１５を示す。破線は、ロータ３０の一段目の回転翼３２を示す。吸気口２１ａからポンプ内に落下し、バッフル１５を通過したパーティクルは、中央部分の円盤１５０の上に落下するか、または、円盤１５０よりも外周側の回転翼３２の上に落下する。円盤１５０上に落下したパーティクルは円盤上に留まるので、装置側に戻ることはない。
　一方、回転翼３２上に落下したパーティクルは、高速回転する回転翼３２により跳ね飛ばされる。図５では、回転翼３２は矢印Ｒのように時計回りに回転している。回転翼３２に落下したパーティクルは、接線方向に力を受けるので、接線方向に跳ね飛ばされる傾向が大きい。図５では、パーティクルが単純に接線方向に跳ね飛ばされた場合の軌跡Ｐをいくつか示した。このように接線方向に跳ね飛ばされることから、反跳パーティクルは、外周側の網目構造体１５３ｂにより多く入射すると考えられる。
　網目構造体１５３は、後述するように金属ワイヤ等の細線を編み上げたものからなり、網目の大きさはパーティクルの大きさよりも大きい。そのため、網目構造体１５３に入射した反跳パーティクルは、一部は表面部分のワイヤに跳ね返されるが、大部分は構造体内部に侵入し、内部でワイヤとの衝突を繰り返すことになる。衝突を繰り返すことで反跳パーティクルの運動エネルギーは小さくなり、最終的には網目構造体１５３の内部に捕捉されることになる。
　図６（ａ）は、網目構造体１５３の一例を示したものである。網目構造体１５３には、例えば、特開２００６－１３２７４１号公報に記載のメッシュバネを構成している布状のネット１５５が用いられる。ネット１５５は、図６（ｂ）に示すように、ステンレスワイヤ等の金属細線を、編機によりメリヤス編みしたものである。なお、メリヤス編みしたネットを型付けローラで挟んで、波付けしたものをネット１５５として用いても良い。金属細線のネットに代えて、アルミナとシリカとから成るアルミナシリカ繊維を編み上げて布状としたものを用いても良い。その場合、適度の柔軟性を得るために、シリカの比率を６～１０％とすることが好ましい。さらに、金属細線の編み方はメリヤス編みに限るものではなく平織り等でも良い。
　本実施の形態の網目構造体１５３は、金属ワイヤ等を編み上げたネット１５５で構成されているため、金属繊維をフェルト状とした従来の捕捉部材に比べて隙間が大きい。そのため、反跳パーティクルは網目構造体１５３の内部まで侵入しやすく、確実に補足されることになる。
　一方、フェルト状の捕捉部材の場合には、短い繊維を圧縮してフェルト状としているため、ネット１５５に比べて緻密な構造となり、反跳パーティクルは捕捉部材の内部にまで入り込み難くなる。そのため、高速な反跳パーティクルが運動エネルギーを失うのに十分な衝突回数を行うことが難しくなり、捕捉率が網目構造体１５３に比べて劣ることになる。その結果、捕捉されなかったパーティクルは再びロータ３０により跳ね飛ばされることになり、そのような反跳を繰り返す内に、吸気口２１ａからプロセス室側に逆流することになる。すなわち、捕捉率に劣る従来の構成では、反跳パーティクルがプロセス室に逆流する確率が高くなる。
　なお、本実施の形態では、目の粗いネット１５５を積層した構造とすることで、反跳パーティクルが網目構造体１５３のより内部まで入り込み易くしている。その場合、同一網目のものを積層しても良いし、表面に近いものは網目を粗くするとともに、パーティクルが捕捉される内部の層の網目についてやや細かくするように、網目の粗さを層に応じて変えても良い。また、金属メッシュ等の比較的平らなネットを積層する場合には、金属メッシュを波折りしてから積層することにより嵩を大きくし、反跳パーティクルを内部にまで入り易くするのが好ましい。
　また、円盤１５０は、ロータ３０の上面（非回転翼部分）でパーティクルが跳ね飛ばされるのを防止するために設けられたものである。本実施の形態では、円盤１５０をロータ３０の上面近傍に配置しているので、円盤１５０の有無によるコンダクタンスの違いはほとんど無く、円盤１５０を設けたことによる排気速度の低下を防止できる。また、板状の網目構造体１５３は面が真横を向くようにフランジ面に対して垂直に設けられているので、吸気口２１ａから見たときの開口率を極力大きくすることができ、排気速度低下を抑えることができる。すなわち、本実施の形態におけるバッフル１５は、排気速度の低下を極力抑えつつ、反跳パーティクルを確実に捕捉することができる。
　図７は、本実施の形態の変形例を示す図である。図７（ａ）に示す第１の変形例では、バッフル１５によるコンダクタンス低下をより小さくして、排気速度をより重視する構成としたものである。そのため、図４に示した内側リング１５２ａおよび放射状リブ１５２ｃと、それらに設けられた網目構造体１５３ａ，１５３ｃを省略した。外側リング１５２ｂからは放射状に複数の支持梁１５２ｄが設けられ、支柱１５１はこれらの支持梁１５２ｄに固定されている。
　図５に示したように、ロータ３０により跳ね飛ばされた反跳パーティクルは外周方向に進行するので、反跳パーティクルが装置側に直接侵入する確率は非常に小さい。すなわち、何回かポンプ内で反射されたものが装置側に逆流すると考えられる。そのため、内側リング１５２ａや放射状リブ１５２ｃに設けられる網目構造体１５３ａ，１５３ｃを省略しても、パーティクル捕捉率の低下は小さいと考えて良い。
　図７（ｂ）に示す第２の変形例では、図７（ａ）に示す外側リング１５２ｂおよび網目構造体１５３ｂに代えて、網目構造体１５３ｄをポンプケーシング３４の内周面に直接設けた。この場合も、排気速度の低下を極力抑えることができる。
　上述した実施の形態では、ポンプケーシング３４がフランジ近傍でくびれるように径が小さくなっていたが、図８に示す変形例では、ポンプケーシング３４が円筒状のポンプに適用した場合を示す。図８（ａ）は図３に対応し、図８（ｂ）は図７（ｂ）に対応する。図８（ｂ）の構造の場合、円盤１５０とポンプケーシング内周面に配された網目構造体１５３ｅとが設けられているが、図７（ａ）のように外側リング１５２ｂおよび網目構造体１５３ｂを設ける場合と、殆ど同じ構造となる。
　なお、上述した実施の形態では、バッフル１５の枠１５２をリブ構造としたが、リブ構造でなくても構わない。また、円盤１５０の表面の熱放射率を小さくして、プロセス室とロータ３０との間の熱輻射の影響を低減するようにしても良い。
－第２の実施の形態－
　図９は、本発明の第２の実施の形態を示す図である。上述した第１の実施の形態では、パーティクル補足用のバッフル１５をターボ分子ポンプのポンプケーシング３４内に設けた。しかしながら、全てのターボ分子ポンプが、上述したようなバッフル１５をポンプケーシング内に取り付けられるような構成となっているとは限らない。そこで、以下に説明する第２の実施の形態では、バッフル１５をポンプケーシング内に取り付けられない構成のターボ分子ポンプであっても、後から付加的に装着できるパーティクルトラップユニットについて説明する。
　図９は、ターボ分子ポンプに装着されたパーティクルトラップユニット１００を示したものである。パーティクルトラップユニット１００は、枠１５２、網目構造体１５３、ケーシング１０２および保護ネット１０１から構成される。枠１５２および網目構造体１５３は、図４に示したバッフル１５の枠１５２および網目構造体１５３と同様のものである。すなわち、パーティクルトラップユニット１００は、ロータ３０により跳ね飛ばされた反跳パーティクルを捕捉し、反跳パーティクルがターボ分子ポンプ側から装置側に逆流するのを防止する。
　枠１５２は、ビス１０５で固定部１５２ｂをケーシング１０２に締結することにより、ケーシング１０２に固定されている。網目構造体１５３は、枠１５２に取り付けられている。ケーシング１０２は、ターボ分子ポンプ１０のフランジ２１に固定されるフランジ１０２ａと、装置側に固定されるフランジ１０２ｂとを備えている。例えば、図２に示すようにゲートバルブ５を介してプロセス室２にターボ分子ポンプ１０を接続する場合には、装置側のフランジ１０２ｂはゲートバルブ５に接続される。ターボ分子ポンプ１０を直接プロセス室２に接続する場合には、フランジ１０２ｂはプロセス室２に接続される。すなわち、パーティクルトラップユニット１００は、ターボ分子ポンプ１０と装置側との間に介在するように設けられる。
　フランジ１０２ｂにはシール材（Ｏリング）１０６が装着される。ボルト１０４によりフランジ１０２ｂをゲートバルブ５に締結すると、シール材１０６によってゲートバルブ５とフランジ１０２ｂとの隙間がシールされる。一方、フランジ１０２ａ側においては、シール材（Ｏリング）２１ｂはターボ分子ポンプ１０のフランジ２１に装着されている。フランジ１０２ａとフランジ２１とをボルト１０３により締結すると、フランジ１０２ａとフランジ２１との間の隙間が、シール材２１ｂによってシールされる。
　図１０は、保護ネット１０１の平面図である。保護ネット１０１は、ステンレス材などの薄板で形成されている。保護ネット１０１は、符号Ａで示す円形領域１０１ａと、符号Ｂで示す円環状のネット領域１０１ｂとを有している。ネット領域１０１ｂには、複数の開口１０１ｄがエッチングにより形成されている。図１０に示す例では、正六角形の開口１０１ｄが蜂の巣状に形成されている。円形領域１０１ａは、エッチングの際に円形のマスキングを行うことにより形成される。保護ネット１０１の周辺部分には、ビス用孔１０１ｃが形成されている。
　図９に示す構成の場合には、保護ネット１０１は、ビス１０７によってターボ分子ポンプ１０のフランジ２１のリング部２１０に固定されているが、ケーシング１０２のフランジ１０２ａとリング部２１０との間の隙間に、単に配置するだけでも良い。また、図１１に示すように、ケーシング１０２のターボ分子ポンプ側のフランジ１０２ａにビス固定しても良いし、枠１５２に直接固定しても構わない。
　保護ネット１０１の円形領域１０１ａの直径は、ロータ３０の回転翼３２の付け根部分の直径寸法以下に設定されており、回転翼３２にはネット領域１０１ｂが対向している。ターボ分子ポンプ１０はネット領域１０１ｂを通過した気体を排気する。ネット領域１０１ｂはターボ分子ポンプ内に異物（ウェハの破片や、装置側部品の一部など）が落下して回転翼３２や固定翼３３が損傷するのを防止するために設けられている。また、保護ネット１０１の円形領域１０１ａは、上述した円盤１５０と同様の機能をするものであり、装置側からのパーティクルがロータ３０の上面に落下するのを防止している。
　なお、上述した保護ネット１０１では、薄板材をエッチング加工する際に円形のマスキングを施すことで円形領域１０１ａを形成したが、全体をネット状にエッチング加工した後に、円盤を中央部分に付設するようにしても良い。また、金属ワイヤを編み込んだネットを保護ネット１０１として使用する場合にも、中央部分に円盤を付設することで、保護ネット１０１が形成される。
　なお、図９に示した例では、パーティクルトラップユニット１００に保護ネット１０１を含む構成とした。しかし、専用の保護ネットを有するターボ分子ポンプの場合には、保護ネット１０１を除く構成部品によってパーティクルトラップユニット１００を構成するようにしても良い。
　図１２は、パーティクルトラップユニット１００の変形例を示す図である。図１２に示すパーティクルトラップユニット１００では、図９の保護ネット１０１に代えて、図４に示した円盤１５０を設けた。円盤１５０は支柱１５１によって内側リング１５２ａに固定されている。円盤１５０の軸方向位置は、実線で示すようにケーシング１０２内であっても良いし、二点差線で示すように支柱１５１をポンプ側に延長して、円盤１５０がロータ３０の上方近傍に配置されるようにしても良い。
　図１３は、ケーシング１０２内に配置される枠１５２および網目構造体１５３の、変形例を示したものである。枠１５２は、内側リング１５２ａの内側にも放射状リブ１５２ｅが設けられている。そして、内側リング１５２ａの内周面側および放射状リブ１５２ｅに網目構造体１５３ｆ，１５３ｇを取り付けた。このように、ロータ３０の上面と対向する位置に網目構造体１５３ｆ，１５３ｇを設けることにより、円盤１５０や円形領域１０１ａを省略しても、ロータ上面で跳ね飛ばされたパーティクルを網目構造体１５３ｆ，１５３ｇで捕捉し、装置側への逆流を防止することができる。図１０において円形領域１０１ａを省略した場合には、符号Ａで示す領域にも開口１０１ｄが形成される。また、図１３に示すような構造を採用することで、内側リング１５２ａの内側に入射する気体分子に対する排気効率を向上させることができ、排気速度の低下を抑えることができる。
　第２の実施の形態に示すようなパーティクルトラップユニット１００を設けることにより、反跳パーティクル対策が施されていないターボ分子ポンプであっても、ポンプを交換することなく反跳パーティクルに対する対策を施すことができる。また、異物混入防止用の保護ネットにロータ上面へのパーティクル落下を防止する円盤を一体で形成することにより、部品点数の増加を抑えて、コスト上昇の抑制を図ることができる。なお、第１の実施の形態においても、円盤１５０の代わりに図１０に示す保護ネット１０１を用いることができる。
　上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
　次の優先権基礎出願の開示内容は引用文としてここに組み込まれる。　
　日本国特許出願２００９年第４１３１８号（２００９年２月２４日出願）
　日本国特許出願２００９年第２５１８０１号（２００９年１１月２日出願）

Claims (13)

  1. 　多段の回転翼が形成され、高速回転するロータと、
    　前記回転翼に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼と、
    　前記回転翼および固定翼を収容し、吸気口が形成されたポンプハウジングと、
    　前記ロータの吸気口側に近接して設けられ、前記ロータの回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤と、
    　前記吸気口と前記ロータとの間に配置され、細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体とを備え、
    　前記ロータにより跳ね飛ばされたパーティクルを、前記網目構造体の内部に捕捉するターボ分子ポンプ。
  2. 　請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
    　前記円筒状の網目構造体に対して放射状に配置され、ポンプ吸気口に対して垂直な板状の網目構造体を複数備える。
  3. 　多段の回転翼が形成され、高速回転するロータと、
    　前記回転翼に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼と、
    　前記回転翼および固定翼を収容し、吸気口が形成されたポンプハウジングと、
    　前記ロータの吸気口側に近接して設けられ、前記ロータの回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤と、
    　前記ポンプハウジングの内壁に沿って設けられ、細線を編み上げて形成された網目構造体とを備えたターボ分子ポンプ。
  4. 　請求項１～３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
    　前記円盤と、該円盤を囲むように設けられるとともに複数の開口が形成されたネット領域とを有して、前記吸気口を介した前記ポンプハウジング内への異物の侵入を防止する保護ネットを備える。
  5. 　請求項１～４のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
    　前記網目構造体は、細線を編み上げて形成された布状のネットを層状に配置したものである。
  6. 　請求項１～５のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
    　前記細線はステンレス細線で構成されている。
  7. 　請求項１～５のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
    　前記細線は、シリカの比率が６～１０％のアルミナシリカ繊維で構成されている。
  8. 　ターボ分子ポンプの吸気口フランジに接続される第１のフランジ、および真空装置側の排気口フランジに接続される第２のフランジを備えるケーシングと、
    　前記ケーシング内に配置され、前記ターボ分子ポンプのロータにより跳ね飛ばされたパーティクルを内部に捕捉するように細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体と、を備えたターボ分子ポンプ用パーティクルトラップ。
  9. 　請求項８に記載のターボ分子ポンプ用パーティクルトラップにおいて、
    　前記ターボ分子ポンプのロータ上面に対向するように前記第１のフランジ側に配置され、直径寸法が前記ターボ分子ポンプのロータの回転翼根元の直径以下である円盤を備える。
  10. 　請求項８に記載のターボ分子ポンプ用パーティクルトラップにおいて、
    　直径寸法が前記ターボ分子ポンプのロータの回転翼根元の直径以下である円形領域と、該円形領域の周囲を囲むように設けられるとともに複数の開口が形成されたネット領域とを有して、前記吸気口フランジを介したターボ分子ポンプ内への異物の侵入を防止する保護ネットを備える。
  11. 　請求項８～１０のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプ用パーティクルトラップにおいて、
    　前記円筒状の網目構造体に対して放射状に配置され、前記第１および第２のフランジの軸方向に沿った板状の網目構造体を複数備える。
  12. 　請求項８～１１のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプ用パーティクルトラップにおいて、
    　前記細線はステンレス細線で構成されている。
  13. 　請求項８～１１のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプ用パーティクルトラップにおいて、
    　前記細線は、シリカの比率が６～１０％のアルミナシリカ繊維で構成されている。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5460982B2 (ja) * 2008-07-30 2014-04-02 東京エレクトロン株式会社 弁体、粒子進入阻止機構、排気制御装置及び基板処理装置
JP5865596B2 (ja) * 2011-03-25 2016-02-17 東京エレクトロン株式会社 粒子捕捉ユニット、該粒子捕捉ユニットの製造方法及び基板処理装置
JP5944883B2 (ja) * 2013-12-18 2016-07-05 東京エレクトロン株式会社 粒子逆流防止部材及び基板処理装置
US10107151B2 (en) 2013-12-25 2018-10-23 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha Control valve
JP6353257B2 (ja) * 2014-03-31 2018-07-04 エドワーズ株式会社 排気口部品、および真空ポンプ
CN105879540A (zh) * 2014-12-16 2016-08-24 时剑 一种离心式空气净化器
JP6014215B2 (ja) * 2015-08-26 2016-10-25 東京エレクトロン株式会社 粒子捕捉ユニット、該粒子捕捉ユニットの製造方法及び基板処理装置
CN106611693B (zh) * 2015-10-27 2019-02-19 北京北方华创微电子装备有限公司 反应腔室及半导体加工设备
JP6706553B2 (ja) * 2015-12-15 2020-06-10 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプに搭載される回転翼、反射機構
JP6906377B2 (ja) * 2017-06-23 2021-07-21 東京エレクトロン株式会社 排気プレート及びプラズマ処理装置
JP6885851B2 (ja) 2017-10-27 2021-06-16 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、ロータ、ロータフィン、およびケーシング
JP7327229B2 (ja) * 2020-03-18 2023-08-16 株式会社島津製作所 保護ネット、ターボ分子ポンプおよび質量分析装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005344512A (ja) * 2004-05-31 2005-12-15 Osaka Vacuum Ltd 分子ポンプ
JP2008240701A (ja) * 2007-03-28 2008-10-09 Tokyo Electron Ltd 排気ポンプ、連通管及び排気システム

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1012518B (zh) * 1988-07-12 1991-05-01 中国科学院北京真空物理实验室 复合式分子泵
WO1994007033A1 (en) * 1992-09-23 1994-03-31 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Turbo-molecular blower
US20030017047A1 (en) * 1998-06-25 2003-01-23 Ebara Corporation Turbo-molecular pump
JP3812635B2 (ja) 1999-06-14 2006-08-23 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ
KR20010007349A (ko) 1999-06-14 2001-01-26 마에다 시게루 터보분자펌프
TW475034B (en) 1999-10-28 2002-02-01 Mosel Vitelic Inc Evacuation device
JP2004278500A (ja) 2003-03-19 2004-10-07 Boc Edwards Kk 分子ポンプ
JP2007180467A (ja) 2005-03-02 2007-07-12 Tokyo Electron Ltd 反射装置、連通管、排気ポンプ、排気システム、該システムの洗浄方法、記憶媒体、基板処理装置及びパーティクル捕捉部品
US7927066B2 (en) * 2005-03-02 2011-04-19 Tokyo Electron Limited Reflecting device, communicating pipe, exhausting pump, exhaust system, method for cleaning the system, storage medium storing program for implementing the method, substrate processing apparatus, and particle capturing component
JP2006307823A (ja) * 2005-03-31 2006-11-09 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
JP4760424B2 (ja) * 2006-02-09 2011-08-31 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
JP5050369B2 (ja) 2006-03-06 2012-10-17 東京エレクトロン株式会社 処理装置
DE102007048703A1 (de) 2007-10-11 2009-04-16 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Mehrstufiger Turbomolekularpumpen-Pumpenrotor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005344512A (ja) * 2004-05-31 2005-12-15 Osaka Vacuum Ltd 分子ポンプ
JP2008240701A (ja) * 2007-03-28 2008-10-09 Tokyo Electron Ltd 排気ポンプ、連通管及び排気システム

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